JP2010271135A - 光リフレクトメトリ測定方法及び光リフレクトメトリ測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源12の出力光をカプラ11で2分岐し、一方の分岐光を被測定対象18に入射してその反射光を取り込み、この反射光と他方の分岐光とをカプラ19で合波してその干渉波を光検出器20で検出することで干渉信号を測定するようにし、光源12を外部変調することによって、被測定対象18上においてデルタ関数形状のコヒーレンスピークを立て、コヒーレンスピークを測定対象18上に長手方向に対して掃引させ、被測定対象18における反射光と後方散乱光強度の光伝播方向に対する分布を測定する。ここで、光源11として光コム光源を用い、光コムの間隔を距離調整装置13で制御することで被測定対象18上のコヒーレンスピークを掃引する。
【選択図】 図4
Description
(1)光源の出力光を2分岐し、一方の分岐光を測定対象に入射してその反射光を取り込み、この反射光と他方の分岐光とを合波して光検出することで干渉信号を測定するようにし、前記光源を外部変調することによって、前記測定対象上においてデルタ関数形状のコヒーレンスピークを立て、コヒーレンスピークを測定対象上に長手方向に対して掃引することで、測定対象における後方散乱光強度の光伝播方向に対する分布を測定する光リフレクトメトリ測定方法において、前記光源で光コムを形成し、光コムの間隔を制御して前記コヒーレンスピークを掃引し、その掃引期間の測定対象における後方散乱光強度の光伝播方向に対する分布を測定する態様の構成とする。
(3)(1)の光リフレクトメトリ測定方法において、前記光コムは、光ループと光周波数シフタにより作り出し、前記光コムの間隔制御は、前記周波数シフタの周波数調整により行なう態様の構成とする。
また、本発明に係る光リフレクトメトリ測定装置は以下のような態様の構成とする。
まず、本発明に係る光リフレクトメトリ測定方法の一実施形態について説明する。
前述のように、光波コヒーレンス関数の合成及び合成したピークの掃引を実現する光源のスペクトル変調技術には、階段型変調と正弦波変調の二つの方式がある。
コヒーレンスピークを掃引するためには、位相変調器が必要となる。この位相変調器があれば、位相変調信号によってコヒーレンスピークの位置を調整することができる。図1(d)は位相変調を示すイメージ図である。Aの時の位相信号とBの時の位相信号が異なっている。そして、図1(e)に示すように、コヒーレンスピークが違う位置に現す。
ここで、コヒーレンスピークの距離がf2によって決まるものであるので、f2を掃引することによってピークの掃引を実現できる。パラメータf2の掃引は高速に実現できるので、この方法のメリットは高速である。ただ、正弦波変調による合成されたコヒーレンス関数のダイナミックレンジが低いという問題点がある。
まず、光コムの周波数間隔をfsとし、周波数櫛の数をNとすると、コヒーレンスピークの空間分解能ΔZ(図3参照)は次式(3)に示すようになる。
図4は本発明に係る光リフレクトメトリ測定装置の第1の実施例の構成を示すもので、カプラ11、広帯域光源12、距離調整装置13、アイソレータ14、偏波コントローラ15がリング状に光接続されている。すなわち、狭間隔光コムを実現するために、広帯域光源12のスペクトルをスライスして光コムを作る。スライスを行なうために、カプラ11とアイソレータ14を利用してリング長Lのファイバリングを作り、このリングをフィルタとして用いる。また、リング内の偏波状態を合わせるために、リング内に偏波コントローラ15も設置する。このリング内に広帯域光源12が周回するいくつもの周波数のうち、丁度リング長にあった周波数のみが増幅され、リング長に合わない周波数は、出力端においての位相がばらばらのため弱め合い、光コムになる。このときのコムの間隔は次式(5)に示すようになる。
上記カプラ11の出力光S1は光コムとなり、カプラ16によって参照光S2と測定光S3に分岐される。測定光S3はサーキュレータ17に通して被測定対象18に入射された後、その被測定対象18の反射や散乱による戻り光S4が参照光S2とカプラ19によって合波され、光検出器20にて検波し測定結果を得る。
図5は本発明に係る光リフレクトメトリ測定装置の第2の実施例の構成を示すもので、光源21からの出力光をアイソレータ22とカプラ23によって一部の光がループに入るようになされている。ループ内には、周波数シフタ24、光アンプ25、アイソレータ26、偏波コントローラ27が配置される。
(第3の実施例)
図6は本発明に係る光リフレクトメトリ測定装置の第3の実施例の構成を示すもので、この実施例では、コム形の多モードファイバレーザ41を光コムとし、共振器長さ調整器42によってレーザ41に対する共振器長を調整することで光コムの周波数間隔を調整する。レーザ41の出力光S1’’はカプラ43によって参照光S2’’と測定光S3’’に分岐される。測定光S3’’はサーキュレータ44を通って被測定対象45に入射され、これによって被測定対象45で発生される反射や散乱による戻り光S4’’はサーキュレータ44を介してカプラ46に送られ、ここで参照光S2’’と合波される。このときに生じる干渉光を光検出器47にて検波することで測定結果を得る。
図7(a)は、円筒型ビエゾ素子を使用する例である。ここでは、ループ共振器49には、円筒型ピエゾ素子50を備え、この円筒型ピエゾ素子50にループの光ファイバを数十や数百周回し、ピエゾ素子50をドライバ51で駆動することによってループ光ファイバの長さを調整するので、共振器長の調整になる。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成を削除してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。
Claims (8)
- 光源の出力光を2分岐し、一方の分岐光を測定対象に入射してその反射光を取り込み、この反射光と他方の分岐光とを合波して光検出することで干渉信号を測定するようにし、前記光源を外部変調することによって、前記測定対象上においてデルタ関数形状のコヒーレンスピークを立て、コヒーレンスピークを測定対象上に長手方向に対して掃引することで、測定対象における反射光と後方散乱光強度の光伝播方向に対する分布を測定する光リフレクトメトリ測定方法において、
前記光源で光コムを形成し、光コムの間隔を制御して前記コヒーレンスピークを掃引し、その掃引期間の測定対象における反射光と後方散乱光強度の光伝播方向に対する分布を測定することを特徴とする光リフレクトメトリ測定方法。 - 請求項1の光リフレクトメトリ測定方法において、
前記光コムは、光ファイバリングにより広帯域光源のスペクトルをスライスして作り出し、
前記光コムの間隔制御は、前記光ファイバリングの距離調整により行なうことを特徴とする光リフレクトメトリ測定方法。 - 請求項1の光リフレクトメトリ測定方法において、
前記光コムは、光ループと光周波数シフタにより作り出し、
前記光コムの間隔制御は、前記周波数シフタの周波数調整により行なうことを特徴とする光リフレクトメトリ測定方法。 - 請求項1の光リフレクトメトリ測定方法において、
前記光コムは、コム形のスペクトルを有する多モードレーザを使用し、
前記光コムの間隔制御は、前記レーザに対する共振器の長さを調整することにより行なうことを特徴とする光リフレクトメトリ測定方法。 - 光源の出力光を2分岐し、一方の分岐光を測定対象に入射してその反射光を取り込み、この反射光と他方の分岐光とを合波して光検出することで干渉信号を測定するようにし、前記光源を外部変調することによって、前記測定対象上においてデルタ関数形状のコヒーレンスピークを立て、コヒーレンスピークを測定対象上に長手方向に対して掃引することで、測定対象における反射光と後方散乱光強度の光伝播方向に対する分布を測定する光リフレクトメトリ測定装置において、
前記光源として用いられ、外部変調により光周波数の間隔が変化する光コムを形成する光コム光源と、
前記光コムの間隔を制御することで前記コヒーレンスピークを掃引するコヒーレンスピーク掃引手段と
を具備することを特徴とする光リフレクトメトリ測定装置。 - 請求項5の光リフレクトメトリ測定装置において、
前記光コム光源は、広帯域光源のスペクトルをスライスして前記光コムを作り出す光ファイバリングを備え、
前記コヒーレンスピーク掃引手段は、前記ファイバリングの距離を調整することで前記コヒーレンスピークを掃引することを特徴とする光リフレクトメトリ測定装置。 - 請求項5の光リフレクトメトリ測定装置において、
前記光コム光源は、前記光コムを作り出す光ループと光周波数シフタとを備え、
前記コヒーレンスピーク掃引手段は、前記周波数シフタの周波数を調整することで前記コヒーレンスピークを掃引することを特徴とする光リフレクトメトリ測定装置。 - 請求項5の光リフレクトメトリ測定装置において、
前記光コム光源は、ファイバ共振器長に応じて間隔が変化するコム形のスペクトルを有する多モードレーザであり、
前記コヒーレンスピーク掃引手段は、前記ファイバ共振器の長さを調整することで前記コヒーレンスピークを掃引することを特徴とする光リフレクトメトリ測定装置。
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JP2013231657A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光線路監視装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001228053A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-24 | Japan Science & Technology Corp | 群速度分散測定装置および群速度分散測定方法 |
JP2006179779A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Intelligent Cosmos Research Institute | 二重周波数安定化モード同期レーザ光源 |
JP2008089515A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光周波数領域反射測定方法および装置 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001228053A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-24 | Japan Science & Technology Corp | 群速度分散測定装置および群速度分散測定方法 |
JP2006179779A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Intelligent Cosmos Research Institute | 二重周波数安定化モード同期レーザ光源 |
JP2008089515A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光周波数領域反射測定方法および装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013231657A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光線路監視装置 |
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