JP2010032239A - Pressure sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、圧力導入孔が備えられていると共に金属ステム固定用ネジ孔が備えられているハウジングに対してダイヤフラムを有する金属ステムをネジ結合して構成される圧力センサに関する。 The present invention relates to a pressure sensor configured by screwing a metal stem having a diaphragm to a housing having a pressure introduction hole and a metal stem fixing screw hole.
従来より、中空部を有する中空筒形状のハウジングに、中空部を有する中空筒形状の金属ステムが組みつけられて構成されている圧力センサが開示されている（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, a pressure sensor is disclosed in which a hollow cylindrical metal stem having a hollow portion is assembled to a hollow cylindrical housing having a hollow portion (see, for example, Patent Document 1).
具体的には、このような圧力センサでは、ハウジングに備えられる中空部は圧力導入孔と金属ステム固定用ネジ孔とを有して構成されており、ハウジングの一端部にはネジ部が形成されている。また、金属ステムは、一端部にダイヤフラムが備えられていると共に他端部に測定媒体をダイヤフラムへ導入するための開口部が備えられており、外周壁面にネジ部が形成されている。そして、金属ステムは、金属ステム固定用ネジ孔とネジ結合されることにより、開口部が圧力導入孔と連通するようにしてハウジングに固定されている。このとき、金属ステムのネジ部と金属ステム固定用ネジ孔とのネジ結合の軸力により、金属ステムに対して金属ステムの挿入方向に圧力が印加される。そして、この圧力によって金属ステムのうち開口部側の先端面と金属ステム固定用ネジ孔の底面との間でメタルタッチシールが行われ、ハウジングと金属ステムとの間が気密封止されている。 Specifically, in such a pressure sensor, the hollow portion provided in the housing has a pressure introducing hole and a metal stem fixing screw hole, and a screw portion is formed at one end of the housing. ing. The metal stem is provided with a diaphragm at one end, an opening for introducing a measurement medium into the diaphragm at the other end, and a screw portion on the outer peripheral wall surface. The metal stem is fixed to the housing such that the opening communicates with the pressure introduction hole by being screw-coupled to the metal stem fixing screw hole. At this time, pressure is applied to the metal stem in the insertion direction of the metal stem by an axial force of screw connection between the screw portion of the metal stem and the screw hole for fixing the metal stem. By this pressure, a metal touch seal is performed between the tip end surface on the opening side of the metal stem and the bottom surface of the metal stem fixing screw hole, and the housing and the metal stem are hermetically sealed.
このような圧力センサを被取り付け部材に取り付ける際には、被取り付け部材に形成されているネジ孔とハウジングのネジ部とのネジ結合により圧力センサが被取り付け部材に固定される。このとき、ハウジングと金属ステムとのメタルタッチシールと同様に、ハウジングのうちネジ部の先端面と被取り付け部材におけるネジ孔の底面との間でメタルタッチシールが行われることでハウジングと被取り付け部材との間が気密封止される。
しかしながら、ハウジングにおけるネジ部の先端面と被取り付け部材におけるネジ孔の底面との間でメタルタッチシールを行う場合には、被取り付け部材におけるネジ孔の底面の面粗度をハウジングにおけるネジ部の先端面とメタルタッチシールを行うことができるように向上させなければならないため製造工程が増大すると共に複雑になるという問題がある。 However, when metal touch sealing is performed between the front end surface of the screw portion in the housing and the bottom surface of the screw hole in the attached member, the surface roughness of the bottom surface of the screw hole in the attached member is set to the front end of the screw portion in the housing. There is a problem that the manufacturing process increases and becomes complicated because the surface must be improved so that the metal touch seal can be performed.
そこで、本発明者らは、次のように圧力センサを被取り付け部材に取り付けることを考えた。図４は、本発明らが考えた圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図である。図４に示されるように、本発明者らは、ハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間にガスケットやＯリング等のシール部材Ｊ２を配置し、シール部材Ｊ２によりハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間を気密封止することを考えた。具体的には、ハウジングＪ１のうちネジ部Ｊ３の根元部分を囲うようにシール部材Ｊ２を配置する。そして、ハウジングＪ１のネジ部Ｊ３と被取り付け部材Ｊ１０のネジ孔Ｊ１１とのネジ結合の軸力にてシール部材Ｊ２を押し潰すことにより、ハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間を気密封止している。 Then, the present inventors considered attaching a pressure sensor to a to-be-attached member as follows. FIG. 4 is a diagram showing a cross-sectional configuration when the pressure sensor considered by the present invention is attached to a member to be attached. As shown in FIG. 4, the present inventors arrange a seal member J2 such as a gasket or an O-ring between the housing J1 and the attached member J10, and the seal member J2 allows the housing J1 and the attached member J10 to be connected. Considered hermetic sealing between the two. Specifically, the seal member J2 is disposed so as to surround the root portion of the screw portion J3 in the housing J1. Then, the seal member J2 is crushed by the axial force of the screw connection between the screw portion J3 of the housing J1 and the screw hole J11 of the attached member J10, thereby hermetically sealing between the housing J1 and the attached member J10. ing.
このように、圧力センサを被取り付け部材Ｊ１０に取り付ける際に、シール部材Ｊ２を配置してシール部材Ｊ２によりハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間を気密封止することにより、被取り付け部材Ｊ１０におけるネジ孔Ｊ１１の底面の面粗度を向上させる製造工程を行う必要がなくなる。 As described above, when the pressure sensor is attached to the attachment member J10, the seal member J2 is arranged, and the space between the housing J1 and the attachment member J10 is hermetically sealed by the seal member J2, so that It is not necessary to perform a manufacturing process for improving the surface roughness of the bottom surface of the screw hole J11.
しかしながら、このようにシール部材Ｊ２を配置してハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間を気密封止する場合には次の問題がある。まず、ハウジングＪ１を被取り付け部材Ｊ１０に取り付けるときには、ハウジングＪ１のネジ部Ｊ３と被取り付け部材Ｊ１０のネジ孔Ｊ１１とのネジ結合の軸力により、図４中矢印Ａで示すように、ハウジングＪ１のネジ部Ｊ３に対してハウジングＪ１の挿入方向に圧力が印加され、ネジ部Ｊ３の先端面が被取り付け部材Ｊ１０におけるネジ孔Ｊ１１の底面に向かって挿入される。このとき、ハウジングＪ１と被取り付け部材Ｊ１０との間にシール部材Ｊ２を配置した場合には、ハウジングＪ１のうちシール部材Ｊ２と接触する部分に、図４中矢印Ｂで示すように、シール部材Ｊ２からの反発力によりハウジングＪ１の挿入方向と反対方向に圧力が印加されることになる。そして、これらの圧力はハウジングＪ１内を伝達されて金属ステム固定用ネジ孔Ｊ４の底面に印加される。 However, in the case where the seal member J2 is arranged in this manner and the space between the housing J1 and the attached member J10 is hermetically sealed, the following problems arise. First, when the housing J1 is attached to the attachment member J10, the axial force of the screw connection between the screw portion J3 of the housing J1 and the screw hole J11 of the attachment member J10, as shown by the arrow A in FIG. Pressure is applied to the screw portion J3 in the insertion direction of the housing J1, and the tip end surface of the screw portion J3 is inserted toward the bottom surface of the screw hole J11 in the attachment member J10. At this time, when the sealing member J2 is arranged between the housing J1 and the member to be attached J10, the portion of the housing J1 that comes into contact with the sealing member J2 is sealed with the sealing member J2 as indicated by an arrow B in FIG. Pressure is applied in the direction opposite to the insertion direction of the housing J1 due to the repulsive force from. These pressures are transmitted through the housing J1 and applied to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole J4.
このため、ハウジングＪ１に形成されている金属ステム固定用ネジ孔Ｊ４の底面の中心部分には、図４中矢印Ａ´で示すように、ハウジングＪ１の挿入方向に圧力が印加されることになる。また、ハウジングＪ１に形成されている金属ステム固定用ネジ孔Ｊ４の底面のうち中心部分の外側の部分には、図４中矢印Ｂ´で示すように、ハウジングＪ１の挿入方向と反対方向に圧力が印加されることになる。つまり、シール部材Ｊ２を配置したことにより金属ステム固定用ネジ孔Ｊ４の底面における中心部分と中心部分の外側の部分とで反対方向の圧力が印加されることになり、金属ステム固定用ネジ孔Ｊ４と金属ステムＪ５との間の気密封止性が損なわれるという問題がある。 For this reason, pressure is applied to the center portion of the bottom surface of the metal stem fixing screw hole J4 formed in the housing J1 in the insertion direction of the housing J1, as indicated by an arrow A ′ in FIG. . Further, as shown by an arrow B ′ in FIG. 4, a pressure in a direction opposite to the insertion direction of the housing J1 is applied to a portion outside the center portion of the bottom surface of the metal stem fixing screw hole J4 formed in the housing J1. Will be applied. That is, by disposing the seal member J2, pressures in opposite directions are applied between the central portion of the bottom surface of the metal stem fixing screw hole J4 and the outer portion of the central portion, and the metal stem fixing screw hole J4. There is a problem that the hermetic sealing property between the metal stem J5 and the metal stem J5 is impaired.
本発明は上記点に鑑みて、ハウジングと被取り付け部材との間にシール部材を配置して圧力センサを被取り付け部材に取り付けた際に、ハウジングと金属ステムとの間の気密封止性が低下することを抑制することができる圧力センサを提供することを目的とする。 In view of the above points, the present invention reduces the hermetic sealing performance between the housing and the metal stem when the seal member is disposed between the housing and the attached member and the pressure sensor is attached to the attached member. It is an object of the present invention to provide a pressure sensor that can suppress this.
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、外部から測定媒体を導入する圧力導入孔（１１）と金属ステム固定用ネジ孔（１２）とを有して構成される中空部（１３）を備えた中空筒形状とされ、金属ステム固定用ネジ孔（１２）が備えられる側と反対側の一端部にはネジ部（１５）が形成されているハウジング（１０）と、中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム（２１）を備えると共に他端部に測定媒体をダイヤフラム（２１）に導入するための開口部（２２）を有し、外周壁面にネジ部（２３）が形成され、開口部（２２）が圧力導入孔（１１）と連通した状態でハウジング（１０）における金属ステム固定用ネジ孔（１２）にネジ結合により取り付けられ、金属ステム固定用ネジ孔（１２）との間を気密封止する金属ステム（２０）と、ダイヤフラム（２１）に備えられ、測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ（３０）と、を有し、ハウジング（１０）には、ネジ部（１５）が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面との間の部分にハウジング（１０）の外周壁面から溝（１６）が形成されていることを特徴としている。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a hollow portion (11) having a pressure introducing hole (11) for introducing a measurement medium from the outside and a metal stem fixing screw hole (12) ( A housing (10) having a hollow cylindrical shape with 13) and having a threaded portion (15) formed at one end opposite to the side on which the metal stem fixing screw hole (12) is provided; It has a shape, and has a diaphragm (21) at one end and an opening (22) for introducing a measurement medium into the diaphragm (21) at the other end, and a screw portion (23) on the outer peripheral wall surface. The metal stem fixing screw hole (12) is formed and attached to the metal stem fixing screw hole (12) in the housing (10) in a state where the opening (22) communicates with the pressure introducing hole (11). Airtight seal between And a sensor chip (30) that is provided in the diaphragm (21) and outputs an electrical signal in accordance with the pressure of the measurement medium. The housing (10) has a screw portion (15). A groove (16) is formed from the outer peripheral wall surface of the housing (10) in a portion between the tip surface of the portion on the side where the metal is formed and the bottom surface of the screw hole (12) for fixing the metal stem. .
このような圧力センサは、ハウジング（１０）と被取り付け部材（７０）との間にシール部材（７１）を配置し、シール部材（７１）によりハウジング（１０）と被取り付け部材（７０）との間を気密封止して被取り付け部材（７０）に取り付けられる。このとき、このような圧力センサによれば、ハウジング（１０）にネジ部（１５）が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面との間の部分に外周壁面から溝（１６）が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面にシール部材（７１）からの反発力が伝達されることを抑制することができる。したがって、ハウジング（１０）と金属ステム（２０）との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。 In such a pressure sensor, a seal member (71) is disposed between the housing (10) and the attached member (70), and the housing (10) and the attached member (70) are separated by the seal member (71). The gap is hermetically sealed and attached to the member to be attached (70). At this time, according to such a pressure sensor, the housing (10) has a portion between the tip surface of the portion where the screw portion (15) is formed and the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12). Since the groove (16) is formed from the outer peripheral wall surface, it is possible to suppress the repulsive force from the seal member (71) being transmitted to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12). Therefore, it can suppress that the airtight sealing performance between a housing (10) and a metal stem (20) falls.
この場合、例えば、請求項２の記載の発明のように、溝（１６）をハウジング（１０）の外周壁面を一周するように形成することができる。このような圧力センサによれば、さらに、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面にシール部材（７１）からの反発力が伝達されることを抑制することができ、ハウジング（１０）と金属ステム（２０）との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。 In this case, for example, as in the invention described in claim 2, the groove (16) can be formed so as to go around the outer peripheral wall surface of the housing (10). According to such a pressure sensor, the repulsive force from the seal member (71) can be further suppressed from being transmitted to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12). It can suppress that the airtight sealing performance between stems (20) falls.
また、請求項３に記載の発明のように、ハウジング（１０）に、ネジ部（１５）が形成されている部分より金属ステム固定用ネジ孔（１２）側の部分に圧力導入孔（１１）の壁面から溝（１６）を形成してもよい。 Further, as in the third aspect of the present invention, the pressure introduction hole (11) is formed in a portion closer to the metal stem fixing screw hole (12) than the portion where the screw portion (15) is formed in the housing (10). A groove (16) may be formed from the wall surface.
このような圧力センサによれば、ネジ部（１５）は形成されている部分より金属ステム固定用ネジ孔（１２）側の部分に圧力導入孔（１１）の壁面から溝（１６）が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面にハウジング（１０）のネジ部（１５）に印加される圧力が伝達されることを抑制することができる。したがって、ハウジング（１０）と金属ステム（２０）との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。 According to such a pressure sensor, the groove (16) is formed from the wall surface of the pressure introduction hole (11) in the portion closer to the metal stem fixing screw hole (12) than the portion where the screw portion (15) is formed. Therefore, it is possible to suppress the pressure applied to the screw portion (15) of the housing (10) from being transmitted to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12). Therefore, it can suppress that the airtight sealing performance between a housing (10) and a metal stem (20) falls.
この場合、例えば、請求項４に記載の発明のように、溝（１６）をハウジング（１０）における圧力導入孔（１１）の壁面を一周するように形成してもよい。このような圧力センサによれば、さらに、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面にネジ部（１５）に印加される圧力が伝達されることを抑制することができ、ハウジング（１０）と金属ステム（２０）との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。 In this case, for example, as in the invention described in claim 4, the groove (16) may be formed so as to go around the wall surface of the pressure introducing hole (11) in the housing (10). According to such a pressure sensor, it is possible to further suppress the pressure applied to the screw portion (15) from being transmitted to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12). It can suppress that the airtight sealing property between metal stems (20) falls.
また、請求項５または請求項６に記載の発明のように、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面を圧力導入孔（１１）から金属ステム固定用ネジ孔（１２）の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とし、金属ステム（２０）の外周壁面のうち開口部（２２）側の部分に金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面と対応する一面を形成する。そして、金属ステム固定用ネジ孔（１２）と金属ステム（２０）との間を、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面と金属ステム（２０）の一面とを接触させることにより気密封止してもよい。 Further, as in the invention according to claim 5 or 6, the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12) is directed from the pressure introducing hole (11) to the side surface of the metal stem fixing screw hole (12). A tapered shape with an increased diameter is formed, and one surface corresponding to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12) is formed on the opening (22) side portion of the outer peripheral wall surface of the metal stem (20). Then, the metal stem fixing screw hole (12) and the metal stem (20) are hermetically sealed by bringing the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12) and one surface of the metal stem (20) into contact with each other. May be.
このような圧力センサによれば、金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面に接触する金属ステム（２０）の面積を従来の圧力センサより大きくすることができ、ハウジング（１０）と被取り付け部材（７０）との間にシール部材（７１）を配置しても従来の圧力センサよりハウジング（１０）と金属ステム（２０）との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。 According to such a pressure sensor, the area of the metal stem (20) contacting the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12) can be made larger than that of the conventional pressure sensor, and the housing (10) and the attached member Even if the seal member (71) is disposed between the housing (70) and the conventional pressure sensor, it is possible to suppress a decrease in the hermetic sealing performance between the housing (10) and the metal stem (20). .
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each means described in this column and the claim shows the correspondence with the specific means as described in embodiment mentioned later.
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について説明する。図１は本実施形態にかかる圧力センサを被取り付け部材に取り付けたときの断面構成を示す図であり、この図に基づいて説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、自動者の燃料噴射系における燃料パイプに取り付けられ、この燃料パイプ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional configuration when the pressure sensor according to the present embodiment is attached to a member to be attached. The pressure sensor of this embodiment is preferably attached to, for example, a fuel pipe in an automatic fuel injection system and used to detect the pressure of the measurement medium in the fuel pipe.
図１に示されるように、ハウジング１０は、例えば、ＳＵＳ等の金属材料よりなるものであり、切削や冷間鍛造等により加工され、測定媒体を導入する圧力導入孔１１と金属ステム固定用ネジ孔１２とを有して構成される中空部１３を備えた中空筒形状とされている。そして、金属ステム固定用ネジ孔１２の側壁には雄ネジ部１４が形成されており、金属ステム固定用ネジ孔１２には金属ステム２０が収容されている。 As shown in FIG. 1, the housing 10 is made of, for example, a metal material such as SUS, and is processed by cutting, cold forging, or the like, and a pressure introduction hole 11 for introducing a measurement medium and a metal stem fixing screw. A hollow cylinder shape having a hollow portion 13 having a hole 12 is provided. A male screw portion 14 is formed on the side wall of the metal stem fixing screw hole 12, and the metal stem 20 is accommodated in the metal stem fixing screw hole 12.
また、ハウジング１０の一端部には、例えば、燃料パイプ等の被取り付け部材７０にネジ結合可能な雄ネジ部１５が形成されている。さらに、ハウジング１０には、ネジ部１５が形成される側の部分の先端面と金属ステム固定用ネジ孔１２の底面との間の部分にハウジング１０の外周壁面を一周する溝１６が形成されている。本実施形態では、この溝１６は、ハウジング１０のうち、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と、後述する圧力センサを取り付けるときに用いられるシール部材７１と接触する部分との間を結ぶ線を遮るように形成されている。 In addition, a male screw portion 15 that can be screw-coupled to an attachment member 70 such as a fuel pipe is formed at one end of the housing 10. Further, the housing 10 is formed with a groove 16 that goes around the outer peripheral wall surface of the housing 10 at a portion between the tip surface of the portion where the screw portion 15 is formed and the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12. Yes. In the present embodiment, the groove 16 is a line connecting the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 and a portion in contact with a seal member 71 used when a pressure sensor described later is attached in the housing 10. It is formed to block.
金属ステム２０は、プレス、切削および冷間鍛造等により加工されて中空部を有する中空筒形状とされており、一端部にはハウジング１０に導入された測定媒体の圧力によって変形可能な薄肉形状のダイヤフラム２１が備えられ、他端部には圧力導入孔１１と連通する開口部２２が備えられている。 The metal stem 20 is processed by pressing, cutting, cold forging, or the like into a hollow cylindrical shape having a hollow portion, and has a thin-walled shape that can be deformed by the pressure of a measurement medium introduced into the housing 10 at one end. A diaphragm 21 is provided, and an opening 22 communicating with the pressure introducing hole 11 is provided at the other end.
また、この金属ステム２０のうちダイヤフラム２１上には、シリコンなどからなる圧力検出用のセンサチップ３０が図示しない低融点ガラスにより接合固定されている。このセンサチップ３０には、ブリッジ回路が形成されており、金属ステム２０の開口部から金属ステム２０の内部に導入された測定媒体の圧力によってダイヤフラム２１が変形したとき、この変形に応じた抵抗値変化を電気信号に変換して出力する検出部として機能するものである。 In addition, a pressure detecting sensor chip 30 made of silicon or the like is bonded and fixed to the diaphragm 21 of the metal stem 20 by a low melting point glass (not shown). The sensor chip 30 is formed with a bridge circuit, and when the diaphragm 21 is deformed by the pressure of the measurement medium introduced into the metal stem 20 from the opening of the metal stem 20, a resistance value corresponding to the deformation. It functions as a detection unit that converts changes into electrical signals and outputs them.
さらに、金属ステム２０の外周壁面には、金属ステム２０を挿入方向へ押圧するようにハウジング１０に備えられている金属ステム固定用ネジ孔１２とネジ結合を行うための雄ネジ部２３が切削加工等により形成されている。この雄ネジ部２３はハウジング１０における金属ステム固定用ネジ孔１２に形成された雌ネジ部１４に対応した形状とされており、金属ステム２０のうちこの雄ネジ部２３よりもダイヤフラム２１側の部分にはナット部２４が形成されている。 Further, a male thread portion 23 for screw coupling with the metal stem fixing screw hole 12 provided in the housing 10 so as to press the metal stem 20 in the insertion direction is cut on the outer peripheral wall surface of the metal stem 20. Etc. are formed. The male screw portion 23 has a shape corresponding to the female screw portion 14 formed in the metal stem fixing screw hole 12 in the housing 10, and a portion of the metal stem 20 closer to the diaphragm 21 than the male screw portion 23. A nut portion 24 is formed on the inner surface.
そして、金属ステム２０の雄ネジ部２３と金属ステム固定用ネジ孔１２の雌ネジ部１４とのネジ結合により、金属ステム２０の開口部２２がハウジング１０の圧力導入孔１１と連通するように金属ステム２０がハウジング１０に固定されている。また、これら金属ステム固定用ネジ孔１２の雌ネジ部１４と金属ステム２０の雄ネジ部２３とのネジ結合の軸力により、金属ステム２０に対して金属ステム２０の挿入方向へ圧力が印加されることになる。したがて、この圧力によって金属ステム２０の開口部２２側の先端面とハウジング１０のうち金属ステム固定用ネジ孔１２の底面との間でメタルタッチシールが行われ、ハウジング１０と金属ステム２０との間が気密封止されている。 The metal screw 20 is connected to the male screw portion 23 of the metal stem 20 and the female screw portion 14 of the metal stem fixing screw hole 12 so that the opening 22 of the metal stem 20 communicates with the pressure introducing hole 11 of the housing 10. A stem 20 is fixed to the housing 10. Further, pressure is applied to the metal stem 20 in the insertion direction of the metal stem 20 by the axial force of the screw connection between the female screw portion 14 of the metal stem fixing screw hole 12 and the male screw portion 23 of the metal stem 20. Will be. Therefore, a metal touch seal is performed between the front end surface of the metal stem 20 on the opening 22 side and the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 in the housing 10 by this pressure. The space is hermetically sealed.
なお、金属ステム２０は、高強度であること、およびＳｉ等を有して構成されるセンサチップ３０をガラスにより接合するため低熱線膨張係数であること、が求められ、Ｆｅ、Ｎｉ、ＣｏまたはＦｅ、Ｎｉを主体とし、析出強化材料としてＴｉ、Ｎｂ、Ａｌまたは、Ｔｉ、Ｎｂが加えられた材料等で構成されている。 The metal stem 20 is required to have high strength and to have a low coefficient of thermal expansion in order to join the sensor chip 30 having Si or the like with glass, Fe, Ni, Co or The main component is Fe, Ni, and Ti, Nb, Al, or a material to which Ti or Nb is added as a precipitation strengthening material.
また、ハウジング１０には、金属ステム２０の外周を囲むようにスペーサ４０が備えられている。そして、スペーサ４０にはセラミック基板４１が備えられており、セラミック基板４１は金属ステム２０に備えられたセンサチップ３０とボンディングワイヤ４２により電気的に接続されている。 The housing 10 is provided with a spacer 40 so as to surround the outer periphery of the metal stem 20. The spacer 40 is provided with a ceramic substrate 41, and the ceramic substrate 41 is electrically connected to the sensor chip 30 provided on the metal stem 20 by a bonding wire 42.
また、セラミック基板４１のうちセンサチップ３０とワイヤボンディングされる面にはピン４３が銀ろう等により電気的に接続されており、ピン４３を介してセラミック基板４１とコネクタターミナル５０に備えられているターミナル５１とが電気的に接続されている。そして、セラミック基板４１のうちセンサチップ３０とワイヤボンディングされる面と反対側の面には、センサチップの出力を増幅すると共に、特性調整を行うＩＣチップ４４が備えられている。そして、ＩＣチップ４４はセラミック基板４１に形成されているスルーホール等を介してピン４３と電気的に接続されている。 Further, a pin 43 is electrically connected to the surface of the ceramic substrate 41 that is wire-bonded to the sensor chip 30 by silver solder or the like, and is provided on the ceramic substrate 41 and the connector terminal 50 via the pin 43. The terminal 51 is electrically connected. An IC chip 44 for amplifying the output of the sensor chip and adjusting the characteristics is provided on the surface of the ceramic substrate 41 opposite to the surface to be wire-bonded to the sensor chip 30. The IC chip 44 is electrically connected to the pin 43 through a through hole or the like formed in the ceramic substrate 41.
コネクタターミナル５０は、ターミナル５１が樹脂５２にインサート成形されることにより構成されたアッシーである。また、コネクタターミナル５０は、ハウジング１０のうち雄ネジ部１５が形成される側と反対側の端部１７をコネクタケース６０にかしめることにより、 コネクタケース６０とスペーサ４０により固定保持されている。そして、ターミナル５１はコネクタケース６０に形成されている開口部６１内に突出し、自動車のＥＣＵ等へ配線部材を介して電気的に接続可能となっている。 The connector terminal 50 is an assembly configured by insert-molding the terminal 51 into the resin 52. Further, the connector terminal 50 is fixedly held by the connector case 60 and the spacer 40 by caulking the connector case 60 with the end portion 17 on the side opposite to the side where the male screw portion 15 is formed in the housing 10. The terminal 51 protrudes into an opening 61 formed in the connector case 60, and can be electrically connected to an ECU or the like of an automobile via a wiring member.
コネクタケース６０はコネクタターミナル５０の外形を成すものである。また、コネクタケース６０とハウジング１０とのかしめ部はシール材１８によりシールされている。なお、このコネクタケース６０は、例えば、ＰＰＳ等の樹脂を型成形することにより製造される。 The connector case 60 forms the outer shape of the connector terminal 50. Further, the caulking portion between the connector case 60 and the housing 10 is sealed with a sealing material 18. The connector case 60 is manufactured, for example, by molding a resin such as PPS.
このような圧力センサは、基本的には従来と同様（例えば、特開２００１−２７２２９７号公報参照）にして製造され、ハウジング１０に溝１６を形成する工程を追加すればよい。 Such a pressure sensor is basically manufactured in the same manner as the conventional one (for example, see Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-272297), and a process of forming the groove 16 in the housing 10 may be added.
かかる圧力センサは、図１に示されるように、ハウジング１０の雄ネジ部１５と被取り付け部材７０のネジ孔７２に形成された雌ネジ部７３とのネジ結合により被取り付け部材７０に取り付けられる。また、ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にはガスケットやＯリング等のシール部材７１が配置されており、シール部材７１によりハウジング１０と被取り付け部材７０との間が気密封止されている。具体的には、ハウジング１０のうち雄ネジ部１５の根元部分を囲うようにシール部材７１が配置されている。 As shown in FIG. 1, the pressure sensor is attached to the attached member 70 by screw connection between the male screw portion 15 of the housing 10 and the female screw portion 73 formed in the screw hole 72 of the attached member 70. Further, a seal member 71 such as a gasket or an O-ring is disposed between the housing 10 and the attached member 70, and the housing 10 and the attached member 70 are hermetically sealed by the seal member 71. . Specifically, the seal member 71 is disposed so as to surround the base portion of the male screw portion 15 in the housing 10.
このような圧力センサによれば、ハウジング１０の外周壁面を一周する溝１６が形成されているので金属ステム固定用ネジ孔１２の底面にシール部材７１からの反発力が伝達されることを抑制することができる。具体的には、ハウジング１０を被取り付け部材７０に取り付けるときには、ハウジング１０の雄ネジ部１５と被取り付け部材７０のネジ孔７２に形成された雌ネジ部７３とのネジ結合の軸力により、図１中矢印Ａで示すように、ハウジング１０の雄ネジ部１５に対してハウジング１０の挿入方向に圧力が印加され、雄ネジ部１５の先端面が被取り付け部材７０におけるネジ孔７２の底面に向かって挿入される。このとき、ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にシール部材７１を配置した場合には、ハウジング１０のうちシール部材７１と接触する部分に、図１中矢印Ｂで示すように、シール部材７１からの反発力によりハウジング１０の挿入方向と反対方向に圧力が印加されることになる。そして、これらの圧力はハウジング１０内を伝達されて金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に印加されることになるが、本実施形態では、ハウジング１０の外周壁面に溝１６が形成されているため、シール部材７１からの反発力が金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に伝達されることを抑制することができる。 According to such a pressure sensor, since the groove 16 that goes around the outer peripheral wall surface of the housing 10 is formed, the repulsive force from the seal member 71 is prevented from being transmitted to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12. be able to. Specifically, when the housing 10 is attached to the attached member 70, the axial force of the screw connection between the male screw portion 15 of the housing 10 and the female screw portion 73 formed in the screw hole 72 of the attached member 70 is reduced. 1, a pressure is applied to the male screw portion 15 of the housing 10 in the insertion direction of the housing 10, so that the front end surface of the male screw portion 15 faces the bottom surface of the screw hole 72 in the attached member 70. Inserted. At this time, when the seal member 71 is disposed between the housing 10 and the attached member 70, the seal member 71 is disposed on a portion of the housing 10 that contacts the seal member 71 as indicated by an arrow B in FIG. Pressure is applied in the direction opposite to the insertion direction of the housing 10 due to the repulsive force from. These pressures are transmitted through the housing 10 and applied to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12. In this embodiment, the groove 16 is formed on the outer peripheral wall surface of the housing 10. The repulsive force from the seal member 71 can be suppressed from being transmitted to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12.
つまり、このような圧力センサでは、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に印加される圧力を図１中矢印Ａ´のみにすることができる。したがって、圧力センサを被取り付け部材７０に取りつける際に、ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にシール部材７１を配置してもハウジング１０と金属ステム２０との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。 That is, in such a pressure sensor, the pressure applied to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 can be only the arrow A ′ in FIG. Therefore, when the pressure sensor is attached to the attached member 70, even if the seal member 71 is disposed between the housing 10 and the attached member 70, the hermetic sealing performance between the housing 10 and the metal stem 20 is deteriorated. This can be suppressed.
また、かかる圧力センサでは、被取り付け部材７０内の測定媒体が圧力導入孔１１から金属ステム２０内へ導入される。そして、測定媒体の圧力がダイヤフラム２１に印加されると、ダイヤフラム２１が変形し、センサチップ３０が測定媒体の圧力に応じた電気信号を出力することで測定媒体の圧力の検出が行われる。 In such a pressure sensor, the measurement medium in the attachment member 70 is introduced into the metal stem 20 from the pressure introduction hole 11. When the pressure of the measurement medium is applied to the diaphragm 21, the diaphragm 21 is deformed, and the sensor chip 30 outputs an electrical signal corresponding to the pressure of the measurement medium, thereby detecting the pressure of the measurement medium.
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第１実施形態に対して、溝１６を形成する部分を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
(Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the portion where the groove 16 is formed with respect to the first embodiment, and the other parts are the same as those of the first embodiment, and thus the description thereof is omitted here.
図２は本実施形態の圧力センサの断面構成を示す図である。図２に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ハウジング１０のうち、雄ネジ部１５が形成されている部分より金属ステム固定用ネジ孔１２側の部分に圧力導入孔１１の壁面から内周壁面を一周するように溝１６が形成されている。 FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional configuration of the pressure sensor of the present embodiment. As shown in FIG. 2, the pressure sensor of the present embodiment is configured so that the wall 10 of the pressure introducing hole 11 extends from the portion of the housing 10 where the male screw portion 15 is formed to the portion closer to the metal stem fixing screw hole 12. A groove 16 is formed so as to go around the inner peripheral wall surface.
このような圧力センサによれば、圧力導入孔の内周壁面を一周する溝１６が形成されているので、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面にハウジング１０の雄ネジ部１５に印加されるハウジング１０の挿入方向の圧力が伝達されることを抑制することができる。このため、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に印加される圧力を図２中矢印Ｂ´のみにすることができる。したがって、圧力センサを被取り付け部材７０に取りつける際に、ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にシール部材７１を配置してもハウジング１０と金属ステム２０との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。 According to such a pressure sensor, since the groove 16 that goes around the inner peripheral wall surface of the pressure introducing hole is formed, the housing applied to the male screw portion 15 of the housing 10 on the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12. It can suppress that the pressure of 10 insertion directions is transmitted. For this reason, the pressure applied to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 can be only the arrow B ′ in FIG. Therefore, when the pressure sensor is attached to the attached member 70, even if the seal member 71 is disposed between the housing 10 and the attached member 70, the hermetic sealing performance between the housing 10 and the metal stem 20 is deteriorated. This can be suppressed.
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について説明する。本実施形態の圧力センサは、第１実施形態に対して金属ステム固定用ネジ孔１２の底面の形状を変更したものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるためここでは説明を省略する。
(Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described. The pressure sensor of the present embodiment is obtained by changing the shape of the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 with respect to the first embodiment. To do.
図３は本実施形態の圧力センサの断面構成を示す図である。図３に示されるように、本実施形態の圧力センサでは、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面が圧力導入孔１１から金属ステム固定用ネジ孔１２の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とされている。また、金属ステム２０には外周壁面のうち開口部２２側の部分に金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と対応する一面が形成されている。そして、金属ステム固定用ネジ孔１２と金属ステム２０との間は、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と金属ステム２０の一面とを接触させることにより気密封止されている。 FIG. 3 is a diagram showing a cross-sectional configuration of the pressure sensor of the present embodiment. As shown in FIG. 3, in the pressure sensor of this embodiment, the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 has a tapered shape in which the diameter increases from the pressure introducing hole 11 toward the side surface of the metal stem fixing screw hole 12. Has been. The metal stem 20 has a surface corresponding to the bottom surface of the screw hole 12 for fixing the metal stem at a portion on the opening 22 side of the outer peripheral wall surface. The metal stem fixing screw hole 12 and the metal stem 20 are hermetically sealed by bringing the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 into contact with one surface of the metal stem 20.
このような圧力センサによれば、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に接触する金属ステム２０の面積を従来の圧力センサより大きくすることができ、ハウジング１０と被取り付け部材７０との間にシール部材７１を配置しても従来の圧力センサよりハウジング１０と金属ステム２０との間の気密封止性が低下することを抑制することができる。 According to such a pressure sensor, the area of the metal stem 20 contacting the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 can be made larger than that of the conventional pressure sensor, and a seal is provided between the housing 10 and the attached member 70. Even if the member 71 is disposed, it is possible to suppress a decrease in the hermetic sealing performance between the housing 10 and the metal stem 20 as compared with the conventional pressure sensor.
（他の実施形態）
上記各実施形態を組み合わせて圧力センサを構成してもよい。例えば、上記第１実施形態と上記第２実施形態とを組み合わせて、ハウジング１０の外周壁面および圧力導入孔１１に溝１６が形成されている圧力センサとしてもよい。さらに、この圧力センサに上記第３実施形態を組み合わせて、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面をテーパ形状にすると共に金属ステム２０の外周壁面のうち開口部２２側の部分に金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と対応する一面を形成してもよい。また、上記第１実施形態および上記第２実施形態に上記第３実施形態を組み合わせて、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面をテーパ形状にすると共に金属ステム２０の外周壁面のうち開口部２２側の部分に金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と対応する一面を形成してもよい。
(Other embodiments)
You may comprise a pressure sensor combining the said each embodiment. For example, the pressure sensor in which the groove 16 is formed in the outer peripheral wall surface of the housing 10 and the pressure introduction hole 11 may be combined with the first embodiment and the second embodiment. Further, by combining the pressure sensor with the third embodiment, the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 is tapered and the metal stem fixing screw is formed on the opening 22 side of the outer peripheral wall surface of the metal stem 20. One surface corresponding to the bottom surface of the hole 12 may be formed. Further, the first embodiment and the second embodiment are combined with the third embodiment to make the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 into a tapered shape, and at the opening 22 side of the outer peripheral wall surface of the metal stem 20. One surface corresponding to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12 may be formed in this portion.
また、上記第１実施形態では、溝１６は、ハウジング１０のうち、金属ステム固定用ネジ孔１２の底面と、圧力センサを取り付けるときに用いられるシール部材７１と接触する部分との間を結ぶ線を遮るように形成されているが、もちろんこのような溝１６に限定されるもではない。溝１６は、ハウジング１０の外周壁面に形成されていれば、シール部材７１からの反発力が金属ステム固定用ネジ孔１２の底面に伝達されることを抑制することができる。 Moreover, in the said 1st Embodiment, the groove | channel 16 is a line which connects between the bottom face of the screw hole 12 for metal stem fixation, and the part which contacts the sealing member 71 used when attaching a pressure sensor among the housings 10. FIG. However, it is of course not limited to such a groove 16. If the groove 16 is formed on the outer peripheral wall surface of the housing 10, the repulsive force from the seal member 71 can be suppressed from being transmitted to the bottom surface of the metal stem fixing screw hole 12.
１０ ハウジング
１１ 圧力導入孔
１２ 金属ステム固定用ネジ孔
１５ 雄ネジ部
１６ 溝
２０ 金属ステム
２１ ダイヤフラム
２２ 開口部
５０ コネクタターミナル
６０ コネクタケース
７０ 被取り付け部材
７１ シール部材
７２ ネジ孔
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Housing 11 Pressure introduction hole 12 Metal stem fixing screw hole 15 Male screw part 16 Groove 20 Metal stem 21 Diaphragm 22 Opening part 50 Connector terminal 60 Connector case 70 Attached member 71 Seal member 72 Screw hole
Claims (6)
中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム（２１）を備えると共に他端部に前記測定媒体を前記ダイヤフラム（２１）に導入するための開口部（２２）を有し、外周壁面にネジ部（２３）が形成され、前記開口部（２２）が前記圧力導入孔（１１）と連通した状態で前記ハウジング（１０）における前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）にネジ結合により取り付けられ、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）との間を気密封止する金属ステム（２０）と、
前記ダイヤフラム（２１）に備えられ、前記測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ（３０）と、を有し
前記ハウジング（１０）には、前記ネジ部（１５）が形成される側の部分の先端面と前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面との間の部分に前記ハウジング（１０）の外周壁面から溝（１６）が形成されていることを特徴とする圧力センサ。 A hollow cylindrical shape having a hollow portion (13) having a pressure introducing hole (11) for introducing a measurement medium from the outside and a metal stem fixing screw hole (12), and for fixing the metal stem. A housing (10) in which a screw portion (15) is formed at one end opposite to the side provided with the screw hole (12);
It has a hollow cylindrical shape, has a diaphragm (21) at one end, an opening (22) for introducing the measurement medium into the diaphragm (21) at the other end, and a screw portion on the outer peripheral wall surface (23) is formed, and the opening (22) is attached to the metal stem fixing screw hole (12) in the housing (10) by screw connection in a state where the opening (22) communicates with the pressure introduction hole (11). A metal stem (20) hermetically sealed between the metal stem fixing screw hole (12);
A sensor chip (30) that is provided in the diaphragm (21) and that outputs an electrical signal in accordance with the pressure of the measurement medium, and the screw part (15) is formed in the housing (10). A groove (16) is formed from an outer peripheral wall surface of the housing (10) in a portion between a tip surface of the side portion and a bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12). .
中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム（２１）を備えると共に他端部に前記測定媒体を前記ダイヤフラム（２１）に導入するための開口部（２２）を有し、外周壁面にネジ部（２３）が形成され、前記開口部（２２）が前記圧力導入孔（１１）と連通した状態で前記ハウジング（１０）における前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）にネジ結合により取り付けられ、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）との間を気密封止する金属ステム（２０）と、
前記ダイヤフラム（２１）に備えられ、前記測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ（３０）と、を有し
前記ハウジング（１０）には、前記ネジ部（１５）が形成されている部分より前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）側の部分に前記圧力導入孔（１１）の壁面から溝（１６）が形成されていることを特徴とする圧力センサ。 A hollow cylindrical shape having a hollow portion (13) having a pressure introducing hole (11) for introducing a measurement medium from the outside and a metal stem fixing screw hole (12), and for fixing the metal stem. A housing (10) in which a screw portion (15) is formed at one end opposite to the side provided with the screw hole (12);
It has a hollow cylindrical shape, has a diaphragm (21) at one end, an opening (22) for introducing the measurement medium into the diaphragm (21) at the other end, and a screw portion on the outer peripheral wall surface (23) is formed, and the opening (22) is attached to the metal stem fixing screw hole (12) in the housing (10) by screw connection in a state where the opening (22) communicates with the pressure introduction hole (11). A metal stem (20) hermetically sealed between the metal stem fixing screw hole (12);
A sensor chip (30) that is provided in the diaphragm (21) and that outputs an electrical signal in accordance with the pressure of the measurement medium; and the housing (10) is formed with the screw portion (15). The pressure sensor is characterized in that a groove (16) is formed from the wall surface of the pressure introducing hole (11) in a portion closer to the metal stem fixing screw hole (12) than the portion where the pressure is present.
前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）と前記金属ステム（２０）との間は、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の前記底面と前記金属ステム（２０）の前記一面とを接触させることにより気密封止されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。 The bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12) has a tapered shape whose diameter increases from the pressure introducing hole (11) toward the side surface of the metal stem fixing screw hole (12), and the metal stem (20 ) In the outer peripheral wall surface of the opening (22) side, a surface corresponding to the bottom surface is formed,
Between the metal stem fixing screw hole (12) and the metal stem (20), the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12) and the one surface of the metal stem (20) are brought into contact with each other. The pressure sensor according to any one of claims 1 to 4, wherein the pressure sensor is hermetically sealed.
中空筒形状とされており、一端部にダイヤフラム（２１）を備えると共に他端部に前記測定媒体を前記ダイヤフラム（２１）に導入するための開口部（２２）を有し、外周壁面にネジ部（２３）が形成され、前記開口部（２２）が前記圧力導入孔（１１）と連通した状態で前記ハウジング（１０）における前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）にネジ結合により取り付けられ、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）との間を気密封止する金属ステム（２０）と、
前記ダイヤフラム（２１）に備えられ、前記測定媒体の圧力に応じて電気信号を出力するセンサチップ（３０）と、を有し
前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の底面は前記圧力導入孔（１１）から前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の側面に向かって径が拡大するテーパ形状とされ、前記金属ステム（２０）の外周壁面のうち前記開口部（２２）側の部分に前記底面と対応する一面が形成されており、
前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）と前記金属ステム（２０）との間は、前記金属ステム固定用ネジ孔（１２）の前記底面と前記金属ステム（２０）の前記一面とを接触させることにより気密封止されていることを特徴とする圧力センサ。
A hollow cylindrical shape having a hollow portion (13) having a pressure introducing hole (11) for introducing a measurement medium from the outside and a metal stem fixing screw hole (12), and for fixing the metal stem. A housing (10) in which a screw portion (15) is formed at one end opposite to the side provided with the screw hole (12);
It has a hollow cylindrical shape, has a diaphragm (21) at one end, an opening (22) for introducing the measurement medium into the diaphragm (21) at the other end, and a screw portion on the outer peripheral wall surface (23) is formed, and the opening (22) is attached to the metal stem fixing screw hole (12) in the housing (10) by screw connection in a state where the opening (22) communicates with the pressure introduction hole (11). A metal stem (20) hermetically sealed between the metal stem fixing screw hole (12);
A sensor chip (30) that is provided in the diaphragm (21) and that outputs an electrical signal in accordance with the pressure of the measurement medium, and the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12) is the pressure introduction hole ( 11) from the metal stem fixing screw hole (12) to the side surface of the metal stem (20), the diameter of the taper is increased, and the bottom surface of the outer peripheral wall surface of the metal stem (20) on the opening (22) side. And a corresponding surface is formed,
Between the metal stem fixing screw hole (12) and the metal stem (20), the bottom surface of the metal stem fixing screw hole (12) and the one surface of the metal stem (20) are brought into contact with each other. A pressure sensor that is hermetically sealed.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN103511411A (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-15 | 罗伯特·博世有限公司 | Method for generating press fit of seal disk on component |
| US9719873B2 (en) | 2013-02-26 | 2017-08-01 | Denso Corporation | Pressure sensor and method for manufacturing the same |
| CN107525623A (en) * | 2016-06-15 | 2017-12-29 | 罗伯特·博世有限公司 | Pressure sensor |
-
2008
- 2008-07-25 JP JP2008191848A patent/JP2010032239A/en not_active Withdrawn
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