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JP2010003892A - Wiring circuit board, and method of manufacturing the same - Google Patents

Wiring circuit board, and method of manufacturing the same Download PDF

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JP2010003892A JP2008161598A JP2008161598A JP2010003892A JP 2010003892 A JP2010003892 A JP 2010003892A JP 2008161598 A JP2008161598 A JP 2008161598A JP 2008161598 A JP2008161598 A JP 2008161598A JP 2010003892 A JP2010003892 A JP 2010003892A
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Japan
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insulating layer
wiring patterns
ground pattern
circuit board
write wiring
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Application number
JP2008161598A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsutoshi Kamei
勝利 亀井
Voon Yee Ho
ブーンイー ホー
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Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wiring circuit board that reduces transmission loss, and to provide a method of manufacturing the same. <P>SOLUTION: A first insulating layer 41 is formed on a suspension body portion 10. On the first insulating layer 41, wiring patterns W1 and W2 for writing are formed parallel at an interval. In a region on the first insulating layer 41 between the wiring patterns W1 and W2 for writing, a ground pattern G1 is formed. On the first insulating layer 41, a second insulating layer 42 is formed so as to cover the wiring patterns W1 and W2 for writing and the ground pattern G1. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、配線回路基板およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a printed circuit board and a method for manufacturing the same.

ハードディスクドライブ装置等のドライブ装置にはアクチュエータが用いられる。このようなアクチュエータは、回転軸に回転可能に設けられるアームと、アームに取り付けられる磁気ヘッド用のサスペンション基板とを備える。サスペンション基板は、磁気ディスクの所望のトラックに磁気ヘッドを位置決めするための配線回路基板である。   An actuator is used in a drive device such as a hard disk drive device. Such an actuator includes an arm rotatably provided on a rotating shaft, and a suspension board for a magnetic head attached to the arm. The suspension board is a printed circuit board for positioning the magnetic head on a desired track of the magnetic disk.

サスペンション基板として用いられる配線回路基板は、例えば2つの配線パターンからなる信号線路対を有する。特許文献1には、誘電体基板の上面に平行な2つの信号線路からなる差動信号線路が形成された高周波用配線回路基板が示される。
特開2006−42098号公報
A printed circuit board used as a suspension board has a signal line pair composed of two wiring patterns, for example. Patent Document 1 discloses a high-frequency wired circuit board in which a differential signal line composed of two signal lines parallel to the upper surface of a dielectric substrate is formed.
JP 2006-42098 A

ところで、近年、電子機器の低消費電力化のために、サスペンション基板の伝送損失を低くすることが望まれる。上記のように、同一平面上に信号線路対が形成されている場合には、伝送損失が高くなる。   Incidentally, in recent years, it has been desired to reduce the transmission loss of the suspension board in order to reduce the power consumption of electronic devices. As described above, when signal line pairs are formed on the same plane, transmission loss increases.

本発明の目的は、伝送損失を低減することが可能な配線回路基板およびその製造方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide a printed circuit board capable of reducing transmission loss and a manufacturing method thereof.

(1)第1の発明に係る配線回路基板は、絶縁層と、絶縁層上に間隔をおいて形成され、信号線路対を構成する第1および第2の配線パターンと、第1および第2の配線パターンの間に形成されるグランドパターンとを備えるものである。   (1) A printed circuit board according to a first aspect of the present invention includes an insulating layer, first and second wiring patterns formed on the insulating layer at intervals, and constituting a signal line pair, and first and second And a ground pattern formed between the wiring patterns.

この配線回路基板においては、信号線路対を構成する第1および第2の配線パターンの間にグランドパターンが配置される。それにより、第1および第2の配線パターンの伝送損失が低減される。   In this wired circuit board, a ground pattern is disposed between the first and second wiring patterns constituting the signal line pair. Thereby, transmission loss of the first and second wiring patterns is reduced.

(2)グランドパターンの上面は、絶縁層の上面に垂直な方向において第1および第2の配線パターンの上面よりも上側に位置しなくてもよい。この場合、第1および第2の配線パターンの伝送損失をより十分に低減することができる。   (2) The top surface of the ground pattern may not be positioned above the top surfaces of the first and second wiring patterns in the direction perpendicular to the top surface of the insulating layer. In this case, the transmission loss of the first and second wiring patterns can be more sufficiently reduced.

(3)グランドパターンの上面は、絶縁層の上面に垂直な方向において第1および第2の配線パターンの上面よりも下側に位置し、第1および第2の配線パターンの下面よりも上側に位置してもよい。この場合、第1および第2の配線パターンの伝送損失をより十分に低減することができる。   (3) The upper surface of the ground pattern is located below the upper surfaces of the first and second wiring patterns in the direction perpendicular to the upper surface of the insulating layer, and above the lower surfaces of the first and second wiring patterns. May be located. In this case, the transmission loss of the first and second wiring patterns can be more sufficiently reduced.

(4)グランドパターンの上面は、絶縁層の上面に垂直な方向において第1および第2の配線パターンの下面よりも下側に位置してもよい。この場合、第1および第2の配線パターンの伝送損失をより十分に低減することができる。   (4) The upper surface of the ground pattern may be positioned below the lower surfaces of the first and second wiring patterns in a direction perpendicular to the upper surface of the insulating layer. In this case, the transmission loss of the first and second wiring patterns can be more sufficiently reduced.

(5)配線回路基板は、長尺状の金属基板と、金属基板に設けられ、信号の読み書きを行うためのヘッド部とをさらに備え、絶縁層は、金属基板上に形成され、第1および第2の配線パターンは、ヘッド部に電気的に接続されてもよい。   (5) The printed circuit board further includes an elongated metal substrate and a head unit provided on the metal substrate for reading and writing signals, and the insulating layer is formed on the metal substrate, The second wiring pattern may be electrically connected to the head portion.

この場合、配線回路基板をハードディスクドライブ装置等のドライブ装置のサスペンション基板として用いることができる。そして、第1および第2の配線パターンにより、磁気ディスクに対する情報の書込みまたは読込みを行うことができる。また、第1および第2の配線パターンの伝送損失が低減されるので、ドライブ装置の消費電力が低減される。   In this case, the wired circuit board can be used as a suspension board for a drive device such as a hard disk drive device. Information can be written to or read from the magnetic disk by the first and second wiring patterns. In addition, since the transmission loss of the first and second wiring patterns is reduced, the power consumption of the drive device is reduced.

(6)第2の発明に係る配線回路基板の製造方法は、絶縁層上に間隔をおいて信号線路対を構成する第1および第2の配線パターンを形成する工程と、第1および第2の配線パターンの間にグランドパターンを形成する工程とを備えるものである。   (6) A method for manufacturing a printed circuit board according to a second invention includes a step of forming first and second wiring patterns constituting a signal line pair at intervals on an insulating layer; Forming a ground pattern between the wiring patterns.

この配線回路基板の製造方法においては、信号線路対を構成する第1および第2の配線パターンの間にグランドパターンが形成される。それにより、第1および第2の配線パターンの伝送損失が低減される。   In this method for manufacturing a wired circuit board, a ground pattern is formed between the first and second wiring patterns constituting the signal line pair. Thereby, transmission loss of the first and second wiring patterns is reduced.

本発明によれば、信号線路対を構成する第1および第2の配線パターンの間にグランドパターンが配置される。それにより、第1および第2の配線パターンの伝送損失が低減される。   According to the present invention, the ground pattern is arranged between the first and second wiring patterns constituting the signal line pair. Thereby, transmission loss of the first and second wiring patterns is reduced.

以下、本発明の実施の形態に係る配線回路基板およびその製造方法について図面を参照しながら説明する。以下、本発明の実施の形態に係る配線回路基板として、ハードディスクドライブ装置のアクチュエータに用いられるサスペンション基板の構造およびその作製方法について説明する。   Hereinafter, a printed circuit board and a manufacturing method thereof according to embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Hereinafter, a structure of a suspension board used for an actuator of a hard disk drive device as a wired circuit board according to an embodiment of the present invention and a manufacturing method thereof will be described.

(1)第1の実施の形態
(1−1)サスペンション基板の構造
図1は本発明の第1の実施の形態に係るサスペンション基板の上面図である。図1に示すように、サスペンション基板1は、金属製の長尺状基板により形成されるサスペンション本体部10を備える。サスペンション本体部10上には、太い点線で示すように、書込用配線パターンW1,W2および読取用配線パターンR1,R2が形成されている。
(1) First Embodiment (1-1) Structure of Suspension Board FIG. 1 is a top view of a suspension board according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the suspension board 1 includes a suspension main body 10 formed of a long metal substrate. On the suspension body 10, write wiring patterns W1, W2 and read wiring patterns R1, R2 are formed as indicated by thick dotted lines.

サスペンション本体部10の先端部には、U字状の開口部11を形成することにより磁気ヘッド搭載部(以下、タング部と呼ぶ)12が設けられている。タング部12は、サスペンション本体部10に対して所定の角度をなすように破線Rの箇所で折り曲げ加工される。タング部12の端部には4つの電極パッド21,22,23,24が形成されている。   A magnetic head mounting portion (hereinafter referred to as a tongue portion) 12 is provided by forming a U-shaped opening 11 at the distal end portion of the suspension main body portion 10. The tongue portion 12 is bent at a location indicated by a broken line R so as to form a predetermined angle with respect to the suspension main body portion 10. Four electrode pads 21, 22, 23 and 24 are formed at the end of the tongue 12.

サスペンション本体部10の他端部には4つの電極パッド31,32,33,34が形成されている。タング部12上の電極パッド21〜24とサスペンション本体部10の他端部の電極パッド31〜34とは、それぞれ配線パターンW1,W2,R1,R2により電気的に接続されている。また、サスペンション本体部10には複数の孔部Hが形成されている。   Four electrode pads 31, 32, 33, and 34 are formed at the other end of the suspension body 10. The electrode pads 21 to 24 on the tongue 12 and the electrode pads 31 to 34 on the other end of the suspension body 10 are electrically connected by wiring patterns W1, W2, R1, and R2, respectively. A plurality of holes H are formed in the suspension body 10.

サスペンション基板1を備える図示しないハードディスク装置においては、磁気ディスクに対する情報の書込み時に一対の書込用配線パターンW1,W2に電流が流れる。また、磁気ディスクに対する情報の読込み時に一対の読込用配線パターンR1,R2に電流が流れる。   In a hard disk device (not shown) provided with the suspension board 1, current flows through the pair of write wiring patterns W1, W2 when information is written to the magnetic disk. Further, a current flows through the pair of read wiring patterns R1, R2 when information is read from the magnetic disk.

次に、サスペンション基板1の書込用配線パターンW1,W2およびその周辺部分について詳細に説明する。図2は、図1のサスペンション基板1の書込用配線パターンW1,W2およびその周辺部分の模式的縦断面図である。   Next, the write wiring patterns W1, W2 and their peripheral portions of the suspension board 1 will be described in detail. FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view of the write wiring patterns W1, W2 and their peripheral portions of the suspension board 1 of FIG.

図2に示すように、サスペンション本体部10上には、第1の絶縁層41が形成されている。第1の絶縁層41上に書込用配線パターンW1,W2が間隔をおいて平行に形成されている。書込用配線パターンW1,W2の間における第1の絶縁層41上の領域には、グランドパターンG1が形成されている。   As shown in FIG. 2, a first insulating layer 41 is formed on the suspension body 10. On the first insulating layer 41, write wiring patterns W1, W2 are formed in parallel at a distance. A ground pattern G1 is formed in a region on the first insulating layer 41 between the write wiring patterns W1, W2.

書込用配線パターンW1,W2およびグランドパターンG1を覆うように第1の絶縁層41上に第2の絶縁層42が形成されている。   A second insulating layer 42 is formed on the first insulating layer 41 so as to cover the write wiring patterns W1, W2 and the ground pattern G1.

(1−2)サスペンション基板の製造方法
サスペンション基板1の製造方法を説明する。ここでは、図1のタング部12、電極パッド21〜24,31〜34、孔部Hおよび読込用配線パターンR1,R2の形成工程についての説明は省略する。
(1-2) Method for Manufacturing Suspension Board A method for manufacturing the suspension board 1 will be described. Here, the description about the formation process of the tongue part 12, the electrode pads 21-24, 31-34, the hole H, and the reading wiring patterns R1, R2 in FIG. 1 is omitted.

図3は、本発明の一実施の形態に係るサスペンション基板1の製造工程を示す縦断面図である。   FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing a manufacturing process of the suspension board 1 according to the embodiment of the present invention.

初めに、図3(a)に示すように、例えばステンレス鋼(SUS)からなる長尺状基板をサスペンション本体部10として用意する。そして、図3(b)に示すように、サスペンション本体部10上に例えばポリイミドからなる第1の絶縁層41を形成する。   First, as shown in FIG. 3A, a long substrate made of, for example, stainless steel (SUS) is prepared as the suspension body 10. Then, as shown in FIG. 3B, a first insulating layer 41 made of polyimide, for example, is formed on the suspension body 10.

サスペンション本体部10としては、ステンレス鋼に代えてアルミニウム(Al)等の他の材料を用いてもよい。サスペンション本体部10の厚みは例えば5μm以上50μm以下であり、10μm以上30μm以下であることが好ましい。   As the suspension body 10, other materials such as aluminum (Al) may be used instead of stainless steel. The thickness of the suspension body 10 is, for example, not less than 5 μm and not more than 50 μm, and preferably not less than 10 μm and not more than 30 μm.

第1の絶縁層41としては、ポリイミドに代えてエポキシ樹脂等の他の絶縁材料を用いてもよい。第1の絶縁層41の厚みは例えば3μm以上20μm以下であり、5μm以上15μm以下であることが好ましい。   As the first insulating layer 41, another insulating material such as an epoxy resin may be used instead of polyimide. The thickness of the first insulating layer 41 is, for example, 3 μm or more and 20 μm or less, and preferably 5 μm or more and 15 μm or less.

続いて、図3(c)に示すように、第1の絶縁層41上に例えば銅(Cu)からなる書込用配線パターンW1,W2およびグランドパターンG1を形成する。書込用配線パターンW1,W2およびグランドパターンG1は、例えばセミアディティブ法を用いて形成してもよく、サブトラクティブ法等の他の方法を用いて形成してもよい。   Subsequently, as shown in FIG. 3C, write wiring patterns W1, W2 and a ground pattern G1 made of, for example, copper (Cu) are formed on the first insulating layer 41. The write wiring patterns W1, W2 and the ground pattern G1 may be formed by using, for example, a semi-additive method or by using another method such as a subtractive method.

書込用配線パターンW1,W2およびグランドパターンG1は、銅に限らず、金(Au)、アルミニウム等の他の金属、または銅合金、アルミニウム合金等の合金を用いて形成することができる。   The write wiring patterns W1, W2 and the ground pattern G1 are not limited to copper, and can be formed using other metals such as gold (Au) and aluminum, or alloys such as a copper alloy and an aluminum alloy.

書込用配線パターンW1,W2の厚みは例えば3μm以上16μm以下であり、6μm以上13μm以下であることが好ましい。書込用配線パターンW1,W2の幅は例えば5μm以上100μm以下であり、10μm以上50μm以下であることが好ましい。   The thickness of the write wiring patterns W1, W2 is, for example, 3 μm or more and 16 μm or less, and preferably 6 μm or more and 13 μm or less. The widths of the write wiring patterns W1, W2 are, for example, 5 μm or more and 100 μm or less, and preferably 10 μm or more and 50 μm or less.

グランドパターンG1の厚みは例えば3μm以上16μm以下であり、6μm以上13μm以下であることが好ましい。グランドパターンG1の幅は例えば5μm以上100μm以下であり、10μm以上20μm以下であることが好ましい。   The thickness of the ground pattern G1 is, for example, 3 μm to 16 μm, and preferably 6 μm to 13 μm. The width of the ground pattern G1 is, for example, 5 μm or more and 100 μm or less, and preferably 10 μm or more and 20 μm or less.

書込用配線パターンW1とグランドパターンG1との間隔およびグランドパターンG1と書込用配線パターンW1との間隔は、例えば5μm以上50μm以下であり、10μm以上20μm以下であることが好ましい。   The distance between the write wiring pattern W1 and the ground pattern G1 and the distance between the ground pattern G1 and the write wiring pattern W1 are, for example, 5 μm or more and 50 μm or less, and preferably 10 μm or more and 20 μm or less.

上記構成において、第1の絶縁層41と書込用配線パターンW1,W2との間および第1の絶縁層41とグランドパターンG1との間にそれぞれ金属薄膜を形成してもよい。この場合、第1の絶縁層41と書込用配線パターンW1,W2との密着性および第1の絶縁層41とグランドパターンG1との密着性が向上される。   In the above configuration, a metal thin film may be formed between the first insulating layer 41 and the write wiring patterns W1, W2 and between the first insulating layer 41 and the ground pattern G1. In this case, the adhesion between the first insulating layer 41 and the write wiring patterns W1, W2 and the adhesion between the first insulating layer 41 and the ground pattern G1 are improved.

続いて、図3(d)に示すように、書込用配線パターンW1,W2およびグランドパターンG1を覆うように、第1の絶縁層41上に例えばポリイミドからなる第2の絶縁層42を形成する。   Subsequently, as shown in FIG. 3D, a second insulating layer 42 made of polyimide, for example, is formed on the first insulating layer 41 so as to cover the write wiring patterns W1, W2 and the ground pattern G1. To do.

第2の絶縁層42としては、ポリイミドに代えてエポキシ樹脂等の他の絶縁材料を用いてもよい。第2の絶縁層42の厚みt1は例えば1μm以上30μm以下であり、3μm以上10μm以下であることが好ましい。   As the second insulating layer 42, another insulating material such as an epoxy resin may be used instead of polyimide. The thickness t1 of the second insulating layer 42 is, for example, not less than 1 μm and not more than 30 μm, and preferably not less than 3 μm and not more than 10 μm.

このようにして、図1および図2に示したサスペンション基板1が完成する。   In this way, the suspension board 1 shown in FIGS. 1 and 2 is completed.

(1−3)効果
本実施の形態に係るサスペンション基板1においては、第1の絶縁層41上で書込用配線パターンW1,W2の間の領域にグランドパターンG1が形成されている。このような構成により、書込用配線パターンW1,W2の伝送損失が低減される。
(1-3) Effects In the suspension board 1 according to the present embodiment, the ground pattern G1 is formed on the first insulating layer 41 in the region between the write wiring patterns W1, W2. With such a configuration, transmission loss of the write wiring traces W1, W2 is reduced.

(2)第2の実施の形態
本発明の第2の実施の形態に係るサスペンション基板について、上記第1の実施の形態に係るサスペンション基板1と異なる点を説明する。図4は、第2の実施の形態に係るサスペンション基板の書込用配線パターンW1,W2およびその周辺部分の模式的縦断面図である。
(2) Second Embodiment A suspension board according to a second embodiment of the present invention will be described while referring to differences from the suspension board 1 according to the first embodiment. FIG. 4 is a schematic longitudinal sectional view of the write wiring patterns W1, W2 and their peripheral portions of the suspension board according to the second embodiment.

図4のサスペンション基板1aにおいては、サスペンション本体部10上に例えばポリイミドからなる第3の絶縁層43が形成されている。第3の絶縁層43上に例えばポリイミドからなる第4の絶縁層44が形成されている。第4の絶縁層44上に書込用配線パターンW1,W2が間隔をおいて平行に形成されている。書込用配線パターンW1,W2の間において第4の絶縁層44に一部埋め込まれるようにグランドパターンG1が形成されている。書込用配線パターンW1,W2およびグランドパターンG1を覆うように第4の絶縁層44上に第5の絶縁層45が形成されている。   In the suspension board 1a of FIG. 4, a third insulating layer 43 made of polyimide, for example, is formed on the suspension body 10. A fourth insulating layer 44 made of, for example, polyimide is formed on the third insulating layer 43. On the fourth insulating layer 44, write wiring patterns W1, W2 are formed in parallel at a distance. A ground pattern G1 is formed so as to be partially embedded in the fourth insulating layer 44 between the write wiring patterns W1, W2. A fifth insulating layer 45 is formed on the fourth insulating layer 44 so as to cover the write wiring patterns W1, W2 and the ground pattern G1.

グランドパターンG1の上面は、書込用配線パターンW1,W2の下面よりも高く書込用配線パターンW1,W2の上面よりも低い位置にある。グランドパターンG1の下面は、書込用配線パターンW1,W2の下面よりも低い位置にある。   The upper surface of the ground pattern G1 is higher than the lower surfaces of the write wiring patterns W1, W2, and is lower than the upper surfaces of the write wiring patterns W1, W2. The lower surface of the ground pattern G1 is at a position lower than the lower surfaces of the write wiring patterns W1, W2.

書込用配線パターンW1,W2の上面の高さとグランドパターンG1の上面の高さとの差は例えば1μm以上20μm以下であり、5μm以上15μm以下であることが好ましい。   The difference between the height of the upper surface of the write wiring patterns W1, W2 and the height of the upper surface of the ground pattern G1 is, for example, not less than 1 μm and not more than 20 μm, and preferably not less than 5 μm and not more than 15 μm.

第3の絶縁層43の上面に平行な方向における書込用配線パターンW1とグランドパターンG1との間隔H1およびグランドパターンG1と書込用配線パターンW2との間隔H2は、例えば5μm以上50μm以下であり、10μm以上20μm以下であることが好ましい。   The distance H1 between the write wiring pattern W1 and the ground pattern G1 and the distance H2 between the ground pattern G1 and the write wiring pattern W2 in the direction parallel to the upper surface of the third insulating layer 43 are, for example, 5 μm or more and 50 μm or less. Yes, it is preferably 10 μm or more and 20 μm or less.

第3〜第5の絶縁層43〜45としては、ポリイミドに代えてエポキシ樹脂等の他の絶縁材料を用いてもよい。第3の絶縁層43の厚みは例えば3μm以上20μm以下であり、5μm以上15μm以下であることが好ましい。第4の絶縁層44の厚みt2は例えば3μm以上20μm以下であり、5μm以上15μm以下であることが好ましい。第5の絶縁層44の厚みt3は例えば1μm以上30μm以下であり、3μm以上10μm以下であることが好ましい。   As the third to fifth insulating layers 43 to 45, other insulating materials such as an epoxy resin may be used instead of polyimide. The thickness of the third insulating layer 43 is, for example, not less than 3 μm and not more than 20 μm, and preferably not less than 5 μm and not more than 15 μm. The thickness t2 of the fourth insulating layer 44 is, for example, 3 μm to 20 μm, and preferably 5 μm to 15 μm. The thickness t3 of the fifth insulating layer 44 is, for example, not less than 1 μm and not more than 30 μm, and preferably not less than 3 μm and not more than 10 μm.

本実施の形態に係るサスペンション基板1aにおいても、書込用配線パターンW1,W2の伝送損失が低減される。   Also in the suspension board 1a according to the present embodiment, the transmission loss of the write wiring patterns W1, W2 is reduced.

(3)第3の実施の形態
本発明の第3の実施の形態に係るサスペンション基板について、第2の実施の形態に係るサスペンション基板1a(図4)と異なる点を説明する。図5は、第3の実施の形態に係るサスペンション基板の書込用配線パターンW1,W2およびその周辺部分の模式的縦断面図である。
(3) Third Embodiment A suspension board according to a third embodiment of the present invention will be described with respect to differences from the suspension board 1a (FIG. 4) according to the second embodiment. FIG. 5 is a schematic longitudinal sectional view of the write wiring patterns W1, W2 and their peripheral portions of the suspension board according to the third embodiment.

図5のサスペンション基板1bにおいては、第3の絶縁層43上にグランドパターンG1が形成されている。ランドパターンG1の両側における第3の絶縁層43上の領域に例えばポリイミドからなる第6の絶縁層46が形成されている。グランドパターンG1の一方側における第6の絶縁層46上の領域に書込用配線パターンW1が形成され、グランドパターンG1の他方側における第6の絶縁層46上の領域に書込用配線パターンW2が形成されている。書込用配線パターンW1,W2およびグランドパターンG1を覆うように第3および第6の絶縁層43,46上に例えばポリイミドからなる第7の絶縁層47が形成されている。   In the suspension board 1 b of FIG. 5, the ground pattern G <b> 1 is formed on the third insulating layer 43. A sixth insulating layer 46 made of polyimide, for example, is formed in regions on the third insulating layer 43 on both sides of the land pattern G1. A write wiring pattern W1 is formed in a region on the sixth insulating layer 46 on one side of the ground pattern G1, and a write wiring pattern W2 is formed on a region on the sixth insulating layer 46 on the other side of the ground pattern G1. Is formed. A seventh insulating layer 47 made of polyimide, for example, is formed on the third and sixth insulating layers 43 and 46 so as to cover the write wiring patterns W1 and W2 and the ground pattern G1.

グランドパターンG1の上面は、書込用配線パターンW1,W2の下面と同じ高さまたは書込用配線パターンW1,W2の下面よりも低い位置にある。   The upper surface of the ground pattern G1 is at the same height as the lower surfaces of the write wiring patterns W1, W2, or at a position lower than the lower surfaces of the write wiring patterns W1, W2.

書込用配線パターンW1,W2の下面の高さとグランドパターンG1の上面の高さとの差は例えば0μm以上17μm以下であり、0μm以上10μm以下であることが好ましい。   The difference between the height of the lower surface of the write wiring patterns W1, W2 and the height of the upper surface of the ground pattern G1 is, for example, not less than 0 μm and not more than 17 μm, and preferably not less than 0 μm and not more than 10 μm.

第3の絶縁層43の上面に平行な方向における書込用配線パターンW1とグランドパターンG1との間隔H3およびグランドパターンG1と書込用配線パターンW2との間隔H4は、例えば5μm以上50μm以下であり、10μm以上20μm以下であることが好ましい。   The distance H3 between the write wiring pattern W1 and the ground pattern G1 and the distance H4 between the ground pattern G1 and the write wiring pattern W2 in the direction parallel to the upper surface of the third insulating layer 43 are, for example, 5 μm or more and 50 μm or less. Yes, it is preferably 10 μm or more and 20 μm or less.

第6および第7の絶縁層46,47としては、ポリイミドに代えてエポキシ樹脂等の他の絶縁材料を用いてもよい。第6の絶縁層43の厚みは例えば3μm以上20μm以下であり、5μm以上15μm以下であることが好ましい。第7の絶縁層47の厚みt4は例えば1μm以上30μm以下であり、3μm以上10μm以下であることが好ましい。   As the sixth and seventh insulating layers 46 and 47, other insulating materials such as epoxy resin may be used instead of polyimide. The thickness of the sixth insulating layer 43 is, for example, 3 μm to 20 μm, and preferably 5 μm to 15 μm. The thickness t4 of the seventh insulating layer 47 is, for example, not less than 1 μm and not more than 30 μm, and preferably not less than 3 μm and not more than 10 μm.

本実施の形態に係るサスペンション基板1bにおいても、書込用配線パターンW1,W2の伝送損失が低減される。   Also in suspension board 1b according to the present embodiment, transmission loss of write wiring patterns W1, W2 is reduced.

(4)実施例および比較例
(4−1)実施例1
実施例1として、図2に示したサスペンション基板1を作製した。なお、第1の絶縁層41の絶縁層41の厚みを13μmとし、第2の絶縁層42の厚みt1(図3(d))を15μmとした。また、書込用配線パターンW1,W2の厚みをそれぞれ10μmとし、書込用配線パターンW1,W2の幅をそれぞれ50μmとした。また、グランドパターンG1の厚みを10μmとし、グランドパターンG1の幅を15μmとした。また、書込用配線パターンW1とグランドパターンG1との間隔およびグランドパターンG1と書込用配線パターンW2との間隔をそれぞれ20μmとした。
(4) Examples and Comparative Examples (4-1) Example 1
As Example 1, the suspension board 1 shown in FIG. In addition, the thickness of the insulating layer 41 of the first insulating layer 41 was 13 μm, and the thickness t1 (FIG. 3D) of the second insulating layer 42 was 15 μm. Further, the thicknesses of the write wiring patterns W1, W2 were 10 μm, respectively, and the widths of the write wiring patterns W1, W2 were 50 μm, respectively. The thickness of the ground pattern G1 was 10 μm, and the width of the ground pattern G1 was 15 μm. The distance between the write wiring pattern W1 and the ground pattern G1 and the distance between the ground pattern G1 and the write wiring pattern W2 were set to 20 μm.

(4−2)実施例2
実施例2として、図4に示したサスペンション基板1aを作製した。なお、第3の絶縁層43の厚みを5μmとし、第4の絶縁層44の厚みt2(図4)を5μmとし、第5の絶縁層の厚みt3(図4)を15μmとした。また、書込用配線パターンW1,W2の厚みをそれぞれ10μmとし、書込用配線パターンW1,W2の幅をそれぞれ50μmとした。また、グランドパターンG1の厚みを10μmとし、グランドパターンG1の幅を15μmとした。
(4-2) Example 2
As Example 2, the suspension board 1a shown in FIG. The thickness of the third insulating layer 43 was 5 μm, the thickness t2 (FIG. 4) of the fourth insulating layer 44 was 5 μm, and the thickness t3 (FIG. 4) of the fifth insulating layer was 15 μm. Further, the thicknesses of the write wiring patterns W1, W2 were 10 μm, respectively, and the widths of the write wiring patterns W1, W2 were 50 μm, respectively. The thickness of the ground pattern G1 was 10 μm, and the width of the ground pattern G1 was 15 μm.

また、第3の絶縁層43の上面に平行な方向における書込用配線パターンW1とグランドパターンG1との間隔H1(図4)およびグランドパターンG1と書込用配線パターンW2との間隔H2(図4)をそれぞれ20μmとした。また、書込用配線パターンW1,W2の上面の高さとグランドパターンG1の上面の高さとの差を5μmとした。   Further, the distance H1 (FIG. 4) between the write wiring pattern W1 and the ground pattern G1 and the distance H2 (FIG. 4) between the ground pattern G1 and the write wiring pattern W2 in the direction parallel to the upper surface of the third insulating layer 43. Each of 4) was 20 μm. Further, the difference between the height of the upper surface of the write wiring patterns W1, W2 and the height of the upper surface of the ground pattern G1 was set to 5 μm.

(4−3)実施例3
実施例3として、図5に示したサスペンション基板1bを作製した。なお、第3の絶縁層43の厚みを3μmとし、第6の絶縁層46の厚みを10μmとし、第7の絶縁層47の厚みt4(図5)を15μmとした。また、書込用配線パターンW1,W2の厚みをそれぞれ10μmとし、書込用配線パターンW1,W2の幅をそれぞれ50μmとした。また、グランドパターンG1の厚みを10μmとし、グランドパターンG1の幅を15μmとした。
(4-3) Example 3
As Example 3, the suspension board 1b shown in FIG. The thickness of the third insulating layer 43 was 3 μm, the thickness of the sixth insulating layer 46 was 10 μm, and the thickness t4 (FIG. 5) of the seventh insulating layer 47 was 15 μm. Further, the thicknesses of the write wiring patterns W1, W2 were 10 μm, respectively, and the widths of the write wiring patterns W1, W2 were 50 μm, respectively. The thickness of the ground pattern G1 was 10 μm, and the width of the ground pattern G1 was 15 μm.

また、第3の絶縁層43の上面に平行な方向における書込用配線パターンW1とグランドパターンG1との間隔H3(図5)およびグランドパターンG1と書込用配線パターンW2との間隔H4(図5)をそれぞれ20μmとした。また、書込用配線パターンW1,W2の下面とグランドパターンG1の上面とを同じ高さに設定した。   Further, the distance H3 (FIG. 5) between the write wiring pattern W1 and the ground pattern G1 and the distance H4 (FIG. 5) between the ground pattern G1 and the write wiring pattern W2 in the direction parallel to the upper surface of the third insulating layer 43. Each of 5) was 20 μm. Further, the lower surfaces of the write wiring patterns W1, W2 and the upper surface of the ground pattern G1 were set to the same height.

(4−4)比較例
比較例として、グランドパターンG1を形成しない点を除いて実施例1と同様のサスペンション基板を作製した。
(4-4) Comparative Example As a comparative example, a suspension board similar to that of Example 1 was manufactured except that the ground pattern G1 was not formed.

(4−5)評価
実施例1〜3および比較例のサスペンション基板1,1a,1bについて、差動モード入力および差動モード出力(Sdd21)における損失をシミュレーションにより算出した。
(4-5) Evaluation With respect to the suspension boards 1, 1a, and 1b of Examples 1 to 3 and the comparative example, losses in the differential mode input and the differential mode output (Sdd21) were calculated by simulation.

図6は、差動モード入力および差動モード出力における損失のシミュレーション結果を示す図である。図6において、縦軸が利得を示し、横軸が信号の周波数を示す。この場合、負の利得は損失を表す。   FIG. 6 is a diagram illustrating simulation results of losses in the differential mode input and the differential mode output. In FIG. 6, the vertical axis represents gain, and the horizontal axis represents signal frequency. In this case, negative gain represents loss.

図6に示すように、実施例1〜3のサスペンション基板1,1a,1bでの損失が、比較例のサスペンション基板での損失よりも小さかった。この結果から、書込用配線パターンW1,W2の間において、種々の高さでグランドシールドG1が形成されることにより、書込用配線パターンW1,W2の伝送損失が低減されることがわかった。   As shown in FIG. 6, the loss in the suspension boards 1, 1a, 1b of Examples 1 to 3 was smaller than the loss in the suspension board of the comparative example. From this result, it was found that the transmission loss of the write wiring traces W1, W2 is reduced by forming the ground shield G1 at various heights between the write wiring traces W1, W2. .

(5)他の実施の形態
上記実施の形態では、ハードディスクドライブ装置のアクチュエータに用いられるサスペンション基板に本発明を適用する例を示したが、これに限らず、他の配線回路基板に本発明を適用してもよい。なお、その場合には、サスペンション本体部10を設けなくてもよい。
(5) Other Embodiments In the above embodiment, an example in which the present invention is applied to a suspension board used for an actuator of a hard disk drive device has been described. However, the present invention is not limited to this, and the present invention is applied to other printed circuit boards. You may apply. In that case, the suspension body 10 need not be provided.

(6)請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
(6) Correspondence between each component of claim and each part of embodiment The following describes an example of a correspondence between each component of the claim and each part of the embodiment. It is not limited.

上記実施の形態においては、第1、第3、第4および第6の絶縁層41,43,44,46が絶縁層の例であり、書込用配線パターンW1が第1の配線パターンの例であり、書込用配線パターンW2が第2の配線パターンの例であり、サスペンション本体部10が金属基板の例であり、タング部12がヘッド部の例である。   In the above embodiment, the first, third, fourth, and sixth insulating layers 41, 43, 44, and 46 are examples of insulating layers, and the write wiring pattern W1 is an example of the first wiring pattern. The write wiring pattern W2 is an example of the second wiring pattern, the suspension main body portion 10 is an example of a metal substrate, and the tongue portion 12 is an example of a head portion.

請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。   As each constituent element in the claims, various other elements having configurations or functions described in the claims can be used.

本発明は、種々の電気機器または電子機器等に利用することができる。   The present invention can be used for various electric devices or electronic devices.

第1の実施の形態に係るサスペンション基板の平面図である。1 is a plan view of a suspension board according to a first embodiment. 第1の実施の形態に係るサスペンション基板の書込用配線パターンおよびその周辺部分の模式的縦断面図である。It is a typical longitudinal cross-sectional view of the wiring pattern for a write-in of the suspension board which concerns on 1st Embodiment, and its peripheral part. 第1の実施の形態に係るサスペンション基板の製造工程を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the suspension board based on 1st Embodiment. 第2の実施の形態に係るサスペンション基板の書込用配線パターンおよびその周辺部分の模式的縦断面図である。It is a typical longitudinal cross-sectional view of the wiring pattern for writing of the suspension board which concerns on 2nd Embodiment, and its peripheral part. 第3の実施の形態に係るサスペンション基板の書込用配線パターンおよびその周辺部分の模式的縦断面図である。It is a typical longitudinal cross-sectional view of the wiring pattern for writing of the suspension board which concerns on 3rd Embodiment, and its peripheral part. 差動モード入力および差動モード出力における損失のシミュレーション結果を示す図である。It is a figure which shows the simulation result of the loss in a differential mode input and a differential mode output.

符号の説明Explanation of symbols

1 サスペンション基板
10 サスペンション本体部
12 タング部
41 第1の絶縁層
42 第2の絶縁層
43 第3の絶縁層
44 第4の絶縁層
45 第5の絶縁層
46 第6の絶縁層
47 第7の絶縁層
G1 グランドパターン
R1,R2 読取用配線パターン
W1,W2 書込用配線パターン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Suspension board 10 Suspension main body part 12 Tongue part 41 1st insulating layer 42 2nd insulating layer 43 3rd insulating layer 44 4th insulating layer 45 5th insulating layer 46 6th insulating layer 47 7th Insulating layer G1 Ground pattern R1, R2 Read wiring pattern W1, W2 Write wiring pattern

Claims (6)

絶縁層と、
前記絶縁層上に間隔をおいて形成され、信号線路対を構成する第1および第2の配線パターンと、
前記第1および第2の配線パターンの間に形成されるグランドパターンとを備えることを特徴とする配線回路基板。
An insulating layer;
First and second wiring patterns that are formed on the insulating layer at an interval and constitute a signal line pair;
A printed circuit board comprising: a ground pattern formed between the first and second wiring patterns.
前記グランドパターンの上面は、前記絶縁層の上面に垂直な方向において前記第1および第2の配線パターンの上面よりも上側に位置しないことを特徴とする請求項1記載の配線回路基板。 2. The printed circuit board according to claim 1, wherein the upper surface of the ground pattern is not positioned above the upper surfaces of the first and second wiring patterns in a direction perpendicular to the upper surface of the insulating layer. 前記グランドパターンの上面は、前記絶縁層の上面に垂直な方向において前記第1および第2の配線パターンの上面よりも下側に位置し、前記第1および第2の配線パターンの下面よりも上側に位置することを特徴とする請求項2記載の配線回路基板。 An upper surface of the ground pattern is positioned below the upper surfaces of the first and second wiring patterns in a direction perpendicular to the upper surface of the insulating layer, and is higher than the lower surfaces of the first and second wiring patterns. The printed circuit board according to claim 2, wherein the printed circuit board is located at a position. 前記グランドパターンの上面は、前記絶縁層の上面に垂直な方向において前記第1および第2の配線パターンの下面よりも下側に位置することを特徴とする請求項2記載の配線回路基板。 3. The printed circuit board according to claim 2, wherein the upper surface of the ground pattern is located below the lower surfaces of the first and second wiring patterns in a direction perpendicular to the upper surface of the insulating layer. 長尺状の金属基板と、
前記金属基板に設けられ、信号の読み書きを行うためのヘッド部とをさらに備え、
前記絶縁層は、前記金属基板上に形成され、
前記第1および第2の配線パターンは、前記ヘッド部に電気的に接続されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の配線回路基板。
A long metal substrate;
A head portion provided on the metal substrate for reading and writing signals;
The insulating layer is formed on the metal substrate;
The printed circuit board according to claim 1, wherein the first and second wiring patterns are electrically connected to the head portion.
絶縁層上に間隔をおいて信号線路対を構成する第1および第2の配線パターンを形成する工程と、
前記第1および第2の配線パターンの間にグランドパターンを形成する工程とを備えることを特徴とする配線回路基板の製造方法。
Forming the first and second wiring patterns constituting the signal line pair at an interval on the insulating layer;
And a step of forming a ground pattern between the first and second wiring patterns.
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1168414A (en) * 1997-08-27 1999-03-09 Nec Corp Transmission line with shielded line
JPH11266105A (en) * 1998-03-16 1999-09-28 Oki Electric Ind Co Ltd Signal transmission substrate
JP2002184144A (en) * 2000-12-08 2002-06-28 Shinka Jitsugyo Kk Suspension and head gimbals assembly
JP2004006789A (en) * 2002-04-04 2004-01-08 Seiko Epson Corp Printed wiring board
JP2006179165A (en) * 2004-12-21 2006-07-06 Samsung Electronics Co Ltd Interconnect and head gimbal assembly including the same
JP2007518311A (en) * 2003-12-24 2007-07-05 モレックス インコーポレーテッド Triangular matching transmission structure
JP2008010646A (en) * 2006-06-29 2008-01-17 Nitto Denko Corp Wired circuit board

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1168414A (en) * 1997-08-27 1999-03-09 Nec Corp Transmission line with shielded line
JPH11266105A (en) * 1998-03-16 1999-09-28 Oki Electric Ind Co Ltd Signal transmission substrate
JP2002184144A (en) * 2000-12-08 2002-06-28 Shinka Jitsugyo Kk Suspension and head gimbals assembly
JP2004006789A (en) * 2002-04-04 2004-01-08 Seiko Epson Corp Printed wiring board
JP2007518311A (en) * 2003-12-24 2007-07-05 モレックス インコーポレーテッド Triangular matching transmission structure
JP2006179165A (en) * 2004-12-21 2006-07-06 Samsung Electronics Co Ltd Interconnect and head gimbal assembly including the same
JP2008010646A (en) * 2006-06-29 2008-01-17 Nitto Denko Corp Wired circuit board

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