JP2009204563A - リング状板部材の外観検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】リング状板部材の表面欠陥を画像処理により検査する外観検査装置であって、リング状板部材の表面を画像数を絞り込んで撮像することを可能にする。これにより、演算処理装置における画像処理時間の短縮化を実現して、表面欠陥部を高速・高解像で検出できると共に、カメラ及びコンピューターシステムの低価格化を可能にする。
【解決手段】リング状板部材３０の載置部と、その部材の表面を撮像する電子撮像装置３を有する画像検出機構部１と、撮像装置から入力する撮像画像データを画像処理してリング状板部材の表面欠陥の解析・検出を行うコンピューターシステム部２と、画像検出機構部をリング状板部材のリング中心を中心に回転させる駆動装置と、を有し、画像検出機構部は、リング状板部材のリング幅Ｗに対応した領域を撮像装置の画像フレーム内にほぼ一杯に納めた状態で、かつ一回転駆動されることでリング状板部材のリング一周分の表面の撮像を行う。
【選択図】図１

Description

本発明は、特にリング状板部材について、その表面の傷・圧痕・打痕・バリ・欠け・うねり・汚れ等の欠陥部（不良部）を検出するための装置として好適な、画像処理による外観検査装置に関する。

物品表面の欠陥部分を、目視によらず、画像処理により検査する外観検査装置は各種知られている。この外観検査装置は、物品の表面を電子撮像装置（ＣＣＤカメラ、デジタルカメラ）で撮像する。その撮像画像データ（画素データ）を演算処理装置（ＣＰＵ、コンピューター）へ導入し、画像処理部にて二値化処理し、その画像処理データに基づいて判定部にて物品表面の欠陥部分の解析・検出をするものである。

特許文献１には、半導体ウエハ等の面積の大きい板状部材の表面欠陥を検査する外観検査装置が開示されている。特許文献２には、ドーム状透明体のクラックを検査する外観検査装置が開示されている。特許文献３・４・５には、円筒状物体の表面欠陥を検査する外観検査装置が開示されている。特許文献６には、Ｏリング等の円環状物品の欠陥を検査する外観検査装置が開示されている。特許文献７にはキャップの外側面の検査する外観検査装置が開示されている。特許文献８には、円筒形状部品を移動または回転させずに表面を検査する外観検査装置が開示されている。
特開２００７−３３３４９１号公報 特開２００７−１９８７８１号公報 特開２００７−１７１９４号公報 特開２００６−１４５５０３号公報 特開２００６−２３０９０号公報 特開２００４−３６１２２３号公報 特開２００５−１９５３３２号公報 特開２００３−２３２７４８号公報

画像処理により物品表面の欠陥を検出する従来の外観検査装置は、検査対象である被検物を載せた台或いはベルトコンベアを含む２次元の画像を撮像している。即ち、不必要な背景画像（台やベルトコンベアの表面画像）も含めて撮像している。そのため、被検物表面の分解能を上げるためには、複数の電子撮像装置（以下、カメラと記す）を併用したり、或いは高分解能カメラを必要としたりしている。また、不必要な背景画像も取り込むため、画素データ数が多くなり、それだけ長い画像処理時間を要する。短時間処理を行うには高速処理が可能なコンピューターを必要としている。

本発明は上記の従来技術に鑑みて提案されたもので、被検物として特にリング状板部材を対象とし、その表面欠陥を画像処理により検出する外観検査装置である。

リング状板部材としては、具体的には、例えば、自動車のクラッチ装置における一部品としてのリング状板部材が挙げられる。この部材は所定の厚みの鋼板をリング状板部材として打ち抜き加工する。この打ち抜き加工品を全数検査して表面欠陥の有無を検査する。許容を超える欠陥部分があるものは不合格品として除く。合格品を研磨等の後加工工程に回して最終部品に仕上げる。

本発明はこのようなリング状板部材の表面を画像数を絞り込んで撮像することを可能にする。これにより演算処理装置における画像処理時間の短縮化を実現して、表面欠陥部を高速・高解像で検出できると共に、カメラ及びコンピューターシステムの低価格化を可能にした、目視検査に代わる低価格の外観検査装置を提供することにある。

上記の目的を達成するための本発明に係るリング状板部材の外観検査装置の代表的な構成は、
リング状板部材の表面欠陥を画像処理により検査する外観検査装置であって、
前記リング状板部材を載置する被検物載置部と、
前記被検物載置部に載置されたリング状板部材の表面を撮像する電子撮像装置及び検出光路を有する画像検出機構部と、
演算処理装置を有し前記電子撮像装置から入力する撮像画像データを画像処理してリング状板部材の表面欠陥の解析・検出を行うコンピューターシステム部と、
前記画像検出機構部を前記被検物載置部に載置されているリング状板部材のリング中心を中心に回転させる駆動装置と、
を有し、前記画像検出機構部は、前記リング状板部材のリング幅に対応した領域を前記電子撮像装置の画像フレーム内にほぼ一杯に納めた状態で、かつ前記駆動装置により一回転駆動されることで前記リング状板部材のリング一周分の表面の撮像を行うことを特徴とする。

また、上記の目的を達成するための本発明に係るリング状板部材の外観検査装置の他の代表的な構成は、
リング状板部材の表面欠陥を画像処理により検査する外観検査装置であって、
前記リング状板部材が載置され、載置されたリング状板部材のリング中心を中心に回転可能な被検物載置部と
前記被検物載置部を回転させる駆動装置と、
前記被検物載置部に載置されたリング状板部材の表面を撮像する電子撮像装置及び検出光路を有する画像検出機構部と、
演算処理装置を有し前記電子撮像装置から入力する撮像画像データを画像処理してリング状板部材の表面欠陥の解析・検出を行うコンピューターシステム部と、
を有し、前記画像検出機構部は、前記リング状板部材のリング幅に対応した領域を前記電子撮像装置の画像フレーム内にほぼ一杯に納めた状態で、かつ前記被検物載置部が前記駆動装置により一回転駆動されることで前記リング状板部材のリング一周分の表面の撮像を行うことを特徴とする。

本発明によれば、リング状板部材の表面を画像数を絞り込んで撮像することが可能である。これにより、演算処理装置における画像処理時間の短縮化を実現して、表面欠陥部を高速・高解像で検出できると共に、カメラ及びコンピューターシステムの低価格化を可能にした、目視検査に代わる低価格の外観検査装置を提供することができる。

［実施例１］
図１は本実施例における、リング状板部材の表面欠陥を画像処理により検査する外観検査装置の要部の縦断正面模式図である。図２は同装置の画像検出機構部（汎用カメラ機構部）の外観斜視図である。

この外観検査装置は、被検物であるリング状板部材３０を載置する被検物載置部４０と、被検物載置部４０に載置されたリング状板部材３０の表面を撮像する電子撮像装置３及び検出光路を有する画像検出機構部１を有する。また、演算処理装置２１を有し電子撮像装置３から入力する撮像画像データを画像処理してリング状板部材３０の表面欠陥の解析・検出を行うコンピューターシステム部２を有する。また、画像検出機構部１を被検物載置部４０に載置されているリング状板部材３０のリング中心を中心に回転させる駆動装置Ｍ１・１７・１６を有する。そして、画像検出機構部１は、リング状板部材３０のリング幅Ｗに対応した領域を電子撮像装置３の画像フレーム内にほぼ一杯に納めた状態で、かつ駆動装置Ｍ１・１７・１６により一回転駆動される。これにより、画像検出機構部１リング状板部材のリング一周分の表面の撮像を行う。以下、より具体的に説明する。

（１）画像検出機構部１
画像検出機構部１は、電子撮像装置（ＣＣＤカメラ、デジタルカメラ、以下、カメラと記す）３及び検出光路を有する。検出光路は、対向して配設されていて検出光路を折り曲げる第１反射鏡４と第２反射鏡５を有する。上記のカメラ３・第１反射鏡４・第２反射鏡５は鏡筒６に組付けられている。鏡筒６は、不動の支持部材７にベアリング部材８を介して、水平面に対して垂直な回転軸線（縦軸線）Ｏを中心に回転可能に支持されている。鏡筒６は、縦方向の円筒体形状の第１鏡筒部６ａと、この第１鏡筒部６ａから側方に突出している状態で連設されている直方体形状の第２鏡筒部６ｂを有する。第２鏡筒部６ｂの下面は開口部６ｃとして開放されている。

カメラ３は二次元カメラ（一次元カメラであってもよい）であり、第１鏡筒部６ａの上部にレンズ鏡筒部３ａを下向きにして、レンズ光軸を前記回転軸線Ｏに一致させた状態で固定して配設されている。

第１反射鏡４は、第２鏡筒部６ｂ内に反射面を第１鏡筒部６ａの方向に向けて且つ斜め４５°下向きにした角度姿勢で固定して配設されている。

第２反射鏡５は、第１鏡筒部６ａ内にカメラ３の下方において上下方向に位置移動可能なミラー台９に、反射面を第１反射鏡４に対向させて並行に且つ斜め４５°上向きにした角度姿勢で固定して配設されている。また、この第２反射鏡５は前記回転軸線Ｏ上に位置している。

ミラー台９は、台に設けたガイドピン１０と第１鏡筒部６ａの筒壁に上下方向に形成されたガイドスリット穴１１との係合により案内されて、第１鏡筒部６ａの筒壁内面に沿って第１鏡筒部６ａ内を上下方向にスライド移動可能である。本実施例においては、このミラー台９の移動を電動機構で行う構成である。即ち、第１鏡筒部６ａの外側において、ガイドスリット穴１１に並行させて上下方向に長いネジ棒１２が上下の軸受部材１４・１５間に回転自由に保持されている。このネジ棒１２はモータＭ２により正回転駆動又は逆回転駆動される。そして、ネジ棒１２にはガイドピン１０の外端部に設けられた雌ネジ部材１３が螺合している。ネジ棒１２がモータＭ２により正回転駆動されると、雌ネジ部材１３がネジ棒１２に沿って上昇移動する。これにより、ミラー台９即ち第２反射鏡５が第１鏡筒部６ａ内をカメラ３に近づく方向に上昇移動する。また、ネジ棒１２がモータＭ２により逆回転駆動されると、雌ネジ部材１３がネジ棒１２に沿って下降移動する。これにより、ミラー台９即ち第２反射鏡５が第１鏡筒部６ａ内をカメラ３から遠のく方向に下降移動する。

第１反射鏡４は、被検物載置部としてのベルトコンベア４０に載せられて画像検出機構部１の下に搬送された検査対象（被検物）であるリング状板部材３０に対向する対物鏡である。この第１反射鏡４は、小径から大径まで幅広いリング状板部材３０に対応できるように長さ寸法の長い長方形鏡にしてある。第２反射鏡５は第１反射鏡４の長さよりも短い長さの長方形鏡であり、リング状板部材３０のリング幅Ｗに対応した領域だけをカバーできる。この第２反射鏡５を上下に位置移動させることで大小異なる径の各種のリング状板部材３０の検査を可能にする。即ち第２反射鏡５は第１鏡筒部６ａ内を上下させて、検査対象のリング状板部材３０のリング情報を検出する鏡である。

第１鏡筒部６ａの上部には被駆動ギア１６が同心一体に外嵌されて配設されている。支持部材７にはモータＭ１が配設されている。このモータＭ１の回転軸に固着の駆動ギア１７が被駆動ギア１６に噛合している。そして、モータＭ１が正回転駆動されることでギア１７・１６を介して鏡筒６即ち画像検出機構部１が回転軸線Ｏを中心に所定の速度で正回転駆動される。また、モータＭ１が逆回転駆動されることでギア１７・１６を介して鏡筒６即ち画像検出機構部１が回転軸線Ｏを中心に所定の速度で逆回転駆動される。上記のモータＭ１・駆動ギア１７・被駆動ギア１６が画像検出機構部１を回転させる駆動装置である。

第１鏡筒部６ａの底面の外側には、検査対象であるリング状板部材３０のリングの幅領域を照明するための照明装置１８が配設されている。この照明装置１８は照明光を斜め方向（水平に対して例えば４５°以下の角度）で入射する暗視野法を採用することで、鏡面のケースも含むリング状板部材３０の表面の検査を可能にする。照明装置１８は画像検出機構部１とはセパレートな装置として配設してもよい。

画像検出機構部１の下側には、被検物載置部４０が配設されている。本実施例においては、この被検物載置部４０は、リング状板部材３０が載置されて間欠的に移動制御されるベルトコンベアである。ベルトコンベア４０は上面の水平が保持されていて一方向に移動駆動される。そして、画像検出機構部１よりもベルトコンベア移動方向上流側において、ベルトコンベア４０上に所定の間隔・位置でリング状板部材３０が載置される。このリング状板部材３０のベルトコンベア４０上への載置は自動載置装置（不図示）によりなされる。或いは手作業により載置される。そして、リング状板部材３０がベルトコンベア４０の移動で画像検出機構部１の下に運ばれて、リング状板部材３０のリング中心が画像検出機構部１の回転軸線Ｏに対応位置した状態においてベルトコンベア４０の移動が停止される。この状態において、リング状板部材３０のリングの幅領域が第２鏡筒部６ｂの下面開口部６ｃの下に位置する。

（２）コンピューターシステム部２
コンピューターシステム部２は、演算処理装置（ＣＰＵ、コンピューター）２１を有する。演算処理装置２１はカメラ３から入力する撮像画像データ（画素データ）を二値化処理する画像処理部と、その画像処理データに基づいて所定のソフトに従ってリング状板部材３０の表面欠陥の解析・検出を行う判定部を有する。また、演算処理装置２１には、外観検査装置の操作部（キーボード部）２２、モニター部（ディスプレイ装置）、アウトプット部（プリンタ装置）２３が接続されている。また、演算処理装置２１は、モータＭ１のモータドライバ２５、モータＭ２のモータドライバ２６、照明装置１８のドライバ２７、ベルトコンベア４０のドライバ２８等を制御する制御手段でもある。

（３）表面欠陥を検出動作
画像検出機構部１は所定のホームポジションにおいて停止している状態に保持されている。操作部２２の装置動作開始キーが押されると、演算処理装置２１は画像検出機構部１の照明装置１８を点灯状態にする。また、演算処理装置２１はドライバ２８を制御してベルトコンベア４０を移動駆動状態にする。そのベルトコンベア４０上に自動載置装置或いは手作業で所定の間隔・位置でリング状板部材３０が載置される。そして、リング状板部材３０がベルトコンベア４０の移動で画像検出機構部１の下に運ばれて、リング状板部材３０のリング中心が画像検出機構部１の回転軸線Ｏに対応位置した状態においてベルトコンベア４０の移動が停止される。この状態において、リング状板部材３０の幅領域が第２鏡筒部６ｂの下面開口部６ｃに位置する。

リング状板部材３０のリング中心が画像検出機構部１の回転軸線Ｏに対応位置した状態においてベルトコンベア４０の移動を停止させる手段としては適宜の方法を採用することができる。例えば、演算処理装置２１は、ホームポジションにある画像検出機構部１のカメラ３で撮像されるリング状板部材３０のリング部の位置情報を得る。そして、この位置情報に基づいて、ベルトコンベア４０で運ばれるリング状板部材３０のリング中心が画像検出機構部１の回転軸線Ｏに対応位置する時点を演算する。そして、その演算された時点でベルトコンベア４０の駆動を停止させるようにドライバ２８を制御する。或いはベルトコンベア４０に設けた位置合わせマークをマーク検出手段で検知させて、リング状板部材３０のリング中心が画像検出機構部１の回転軸線Ｏに対応位置した状態においてベルトコンベア４０の移動を停止させる。或いは画像検出機構部１の下方にリング状板部材３０を大まかに位置させた状態でベルトコンベア４０の移動を停止させ、別に配設した位置合わせ装置（不図示）を動作させる。これにより、リング状板部材３０のリング中心が画像検出機構部１の回転軸線Ｏに対応位置した状態になるようにベルトコンベア４０上でのリング状板部材３０の載置位置を修正する等の手段である。

このように、即ち所定のホームポジションに停止している状態の画像検出機構部１の下方にリング状板部材３０が所定に位置された状態において、第２鏡筒部６ｂの下面開口部６ｃの下方に、リング状板部材３０のリングの幅領域が位置する。そのリング部分は照明装置１８で照明されており、その照明されているリング部分が第１反射鏡４・第２反射鏡５を含む検出光路を介してカメラ３で撮像される。撮像画像データが演算処理装置２１に入力する。演算処理装置２１はその撮像画像データを処理してモニター部２３に映像として表示する。

そこで、操作者は、モニター部２３に表示される上記の映像を見ながら、操作部２２にて、カメラ３のフォーカッシング操作、第２反射鏡５の上下の位置調整操作、カメラ３のズーミング操作等をする。これにより、カメラ３の画像フレーム内（画角内）にほぼ一杯に上記のリング幅Ｗに対応した領域を納めた状態で撮像がおこなわれるように映像調整をする。すなわち、不必要な背景画像のトリミングをするのである。

その後、操作者は操作部２２の欠陥検査開始キーを押す。そうすると、演算処理装置２１はドライバ２５を制御してモータＭ１を正回転駆動する。これにより、画像検出機構部１が回転軸線Ｏを中心に所定の速度で正回転駆動される。そして、演算処理装置２１は、画像検出機構部１がホームポジションから３６０°正回転（一回転）して再びホームポジションに戻った時点でドライバ２５を制御してモータＭ１の駆動を停止させる。

画像検出機構部１が一回転駆動されることで、リング状板部材３０のリング一周分の表面の撮像がカメラ３により行われる。そして、カメラ３から演算処理装置２１に撮像画像データが入力して、画像処理部で画像処理され、判定部にてその画像処理データに基づいて所定のソフトに従ってリング状板部材３０の表面欠陥の解析・検出がなされる。その解析・検出結果がモニター部２３に表示される。また、操作部２２のプリントキーを押すことで、モニター部２３に表示された解析・検出結果がハードコピーとしてプリントアウトされる。

図３は、本実施例における、リング状板部材３０の表面欠陥の検査画像例である。この例においては、許容外の「バリや欠け」の不良部が検出された場合には、その位置がフリンジエッジ処理で白く表示される。また、許容外の「傷」の不良部が検出された場合には、その位置が明確な明暗の線として表示される。また、許容外の「うねり」の不良部が検出された場合には、その位置がブロードな明暗の幅として表示される。

上記のようにして１つのリング状板部材３０の検査を終了したら、操作者は操作部２２の欠陥検査開始キーを再度押す。そうすると、演算処理装置２１はドライバ２８を制御してベルトコンベア４０を再駆動して次のリング状板部材３０を画像検出機構部１の下に搬送して、上記と同様に、この次のリング状板部材３０についての欠陥部を検出動作を実行させる。この場合、本実施例においては、この次のリング状板部材３０における画像検出機構部１の回転駆動は、ドライバ２５を制御してモータＭ１を逆回転駆動する。これにより、画像検出機構部１が回転軸線Ｏを中心に所定の速度で逆回転駆動される。そして、演算処理装置２１は、画像検出機構部１がホームポジションから３６０°逆回転（一回転）して再びホームポジションに戻った時点でドライバ２５を制御してモータＭ１の駆動を停止させる。即ち、本実施例の外観検査装置においては、リング状板部材３０の順次の検査毎で、画像検出機構部１の回転を３６０°正回転する制御と３６０°逆回転する制御を交互に実行する。これにより、画像検出機構部１に連結されているリード線のねじり込みを防止するようにしている。

上記のように、本実施例のリング状板部材の外観検査装置は、リング状板部材の表面を画像数を絞り込んで撮像することを可能にしている。これにより演算処理装置２１における画像処理時間の短縮化を実現することで、表面欠陥部を高速・高解像で検出できる。これと共に、カメラ及びコンピューターシステムの低価格化を可能にしている。従って、目視検査に代わる低価格の外観検査装置を提供することができる。

［実施例２］
画像検出機構部１を非回転に固定して、被検対象であるリング状板部材３０を回転させる装置構成にすることもできる。本実施例２はその例である。

図４において、画像検出機構部１は不動の支持部材７に対して非回転に固定して支持されている。画像検出機構部１について実施例１における画像検出機構部１と共通の構成部材・部分については同じ符号を付して再度の説明を省略する。

４１は画像検出機構部１の下に配設した、被検物載置部としての水平なターンテーブルである。このターンテーブルは不動の支持部材４２上にベアリング部材４３を介して縦軸部４１ａを中心に回転可能に支持されている。４４は縦軸部４１ａに固着した被駆動ギアである。この被駆動ギア４４にモータＭ１の回転軸に固着の駆動ギア４５が被駆動ギア４４に噛合している。そして、モータＭ１が正回転駆動されることでギア４５・４４を介してターンテーブル４１が縦軸部４１ａを中心に所定の速度で正回転駆動される。上記において、モータＭ１・４５・４４が、被検物載置部としてのターンテーブル４１を回転させる駆動装置である。

ターンテーブル４１の縦軸部４１ａの中心軸線と画像検出機構部１のカメラ３のレンズ軸線は一致させている。このターンテーブル４１上に被検対象であるリング状板部材３０が載置される。本実施例においては、被検物載置部であるターンテーブル４１には、リング状板部材３０をそのリング中心をターンテーブル４１の回転中心に一致させて載置するためのリング状板部材位置決め用治具５０が設けられている。より具体的には、リング状板部材３０のリング中心とターンテーブル４１の回転中心軸線とを一致させるためにターンテーブル４１上に予めリング状板部材３０の位置決め用円盤５０をセットしてある。この位置決め用円盤５０は検査するリング状板部材３０の内径部が外嵌する外径を有する。この円盤５０を位置決め部（不図示）に位置決めさせてターンテーブル４１上にセットする。このセットにより円盤５０はその中心がターンテーブル４１の回転中心軸線とを一致した状態になる。そこで、円盤５０に内径部を外嵌させた状態にしてリング状板部材３０をターンテーブル４１上に載置することで、リング状板部材３０のリング中心とターンテーブル４１の回転中心軸線とが一致した状態になる。円盤５０は小径から大径の各種大きさのリング状板部材３０の内径に対応した外径のものが用意されていて、検査するリング状板部材３０の内径に対応した外径のものをターンテーブル４１上に交換して取り付けて使用される。即ち、ターンテーブル４１は、リング状板部材３０が載置され、リング状板部材３０のリング中心を中心に回転可能な被検物載置部である。

本実施例の装置の場合は、リング状板部材３０の検査は、固定の画像検出機構部１に対して、ターンテーブル４１即ちリング状板部材３０を３６０°回転駆動（一回転）することで実行される。

実施例１における外観検査装置の要部の縦断正面模式図である。 同装置の画像検出機構部（汎用カメラ機構部）の外観斜視図である。 実施例１における、リング状板部材の表面欠陥部分の検査画像例である。 実施例２における外観検査装置の要部の縦断正面模式図である。

符号の説明

１・・画像検出機構部（汎用カメラ機構部）、２・・コンピューターシステム部、３・・電子撮像装置（ＣＣＤカメラ、デジタルカメラ）、４・・第１反射鏡、５・・第２反射鏡、６・・鏡筒、２１・・演算処理装置、３０・・被検対象であるリング状板部材、４０・・ベルトコンベア、４１・・ターンテーブル

Claims (8)

1. リング状板部材の表面欠陥を画像処理により検査する外観検査装置であって、
   前記リング状板部材を載置する被検物載置部と、
   前記被検物載置部に載置されたリング状板部材の表面を撮像する電子撮像装置及び検出光路を有する画像検出機構部と、
   演算処理装置を有し前記電子撮像装置から入力する撮像画像データを画像処理してリング状板部材の表面欠陥の解析・検出を行うコンピューターシステム部と、
   前記画像検出機構部を前記被検物載置部に載置されているリング状板部材のリング中心を中心に回転させる駆動装置と、
   を有し、前記画像検出機構部は、前記リング状板部材のリング幅に対応した領域を前記電子撮像装置の画像フレーム内にほぼ一杯に納めた状態で、かつ前記駆動装置により一回転駆動されることで前記リング状板部材のリング一周分の表面の撮像を行うことを特徴とするリング状板部材の外観検査装置。
2. 前記検出光路は、対向して配設されていて検出光路を折り曲げる第１反射鏡と第２反射鏡を有し、前記第１反射鏡は前記リング状板部材に対する対物鏡であって小径から大径まで幅広いリング状板部材に対応できる長さを有し、前記第２反射鏡は前記第１反射鏡と前記電子撮像装置との間に位置していて前記電子撮像装置に近づく方向と遠のく方向に位置移動可能であり、かつ前記リング状板部材のリング幅に対応した領域だけをカバーできる、前記第１反射鏡の長さよりも短い長さを有していることを特徴とする請求項１に記載のリング状板部材の外観検査装置。
3. 前記被検物載置部に載置された前記リング状板部材を照明する照明装置を有し、前記照明装置は前記リング状板部材の表面に対して照明光を斜め方向から入射する暗視野法を採用していることを特徴とする請求項１又は２に記載のリング状板部材の外観検査装置。
4. 前記被検物載置部は、リング状板部材が載置されて間欠的に移動制御されるベルトコンベアであることを特徴とする請求項１から３に記載のいずれかに記載のリング状板部材の外観検査装置。
5. リング状板部材の表面欠陥を画像処理により検査する外観検査装置であって、
   前記リング状板部材が載置され、載置されたリング状板部材のリング中心を中心に回転可能な被検物載置部と
   前記被検物載置部を回転させる駆動装置と、
   前記被検物載置部に載置されたリング状板部材の表面を撮像する電子撮像装置及び検出光路を有する画像検出機構部と、
   演算処理装置を有し前記電子撮像装置から入力する撮像画像データを画像処理してリング状板部材の表面欠陥の解析・検出を行うコンピューターシステム部と、
   を有し、前記画像検出機構部は、前記リング状板部材のリング幅に対応した領域を前記電子撮像装置の画像フレーム内にほぼ一杯に納めた状態で、かつ前記被検物載置部が前記駆動装置により一回転駆動されることで前記リング状板部材のリング一周分の表面の撮像を行うことを特徴とするリング状板部材の外観検査装置。
6. 前記検出光路は、対向して配設されていて検出光路を折り曲げる第１反射鏡と第２反射鏡を有し、前記第１反射鏡は前記リング状板部材に対する対物鏡であって小径から大径まで幅広いリング状板部材に対応できる長さを有し、前記第２反射鏡は前記第１反射鏡と前記電子撮像装置との間に位置していて前記電子撮像装置に近づく方向と遠のく方向に位置移動可能であり、かつ前記リング状板部材のリング幅に対応した領域だけをカバーできる、前記第１反射鏡の長さよりも短い長さを有していることを特徴とする請求項５に記載のリング状板部材の外観検査装置。
7. 前記被検物載置部に載置された前記リング状板部材を照明する照明装置を有し、前記照明装置は前記リング状板部材の表面に対して照明光を斜め方向から入射する暗視野法を採用していることを特徴とする請求項５又は６に記載のリング状板部材の外観検査装置。
8. 前記被検物載置部には、前記リング状板部材をそのリング中心を被検物載置部の回転中心に一致させて載置するためのリング状板部材位置決め治具が設けられていることを特徴とする請求項５から７のいずれかに記載のリング状板部材の外観検査装置。