JP2009085593A - Photoelectric field sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、変電所や発電所などの電力機器および電力系統の電圧を測定する計器用変圧器に関し、特に電力機器や系統の高電圧部と接地との間の電界を光の偏光を用いて直接測定する光電界センサに関する。 The present invention relates to a power transformer such as a substation or a power plant and an instrument transformer for measuring a voltage of a power system, and in particular, an electric field between a high voltage portion of the power equipment or a system and a ground is used by polarization of light. The present invention relates to an optical electric field sensor for direct measurement.
強誘電体結晶に電界を加えるとその強度に比例して屈折率が変化するポッケルス効果が生じる。この効果が得られる結晶は、ポッケルス素子と呼ばれ、これを被測定部に配置して電界を計測することにより、その部位の電圧を測定する光電界センサが開発されている(特許文献1参照)。 When an electric field is applied to the ferroelectric crystal, a Pockels effect is generated in which the refractive index changes in proportion to the strength. A crystal capable of obtaining this effect is called a Pockels element, and an optical electric field sensor that measures the electric field by arranging this in a measurement target part and measuring the electric field has been developed (see Patent Document 1). ).
このような従来の光電界センサ20の一例を図16(a)、(b)及び図17〜図19に基づいて説明する。
An example of such a conventional optical
図16(a)は光電界センサ20の平面図で、図16(b)は側面図である。図16(a)及び(b)において、光電界センサ20は、光を偏光子2側に出射するコリメータ1と、偏光子2と、1/4波長板3と、ポッケルス素子4と、検光子5と、光を反射するプリズム6と、光を集光するコリメータ7と、これらの光学素子が配設される絶縁物からなるベース8から構成される。また、これらの光学素子を密封するため、光学素子を配設したベース8は、絶縁物からなるカバー13に収納され、ベース8とカバー13とは、接着剤18により気密に接着される。
16 (a) is a plan view of the optical
この光電界センサ20は送変電機器に取り付けられ、高電圧部と接地電位間の電界中におかれる。そして、光電界センサ20は送変電機器の一構成要素として用いられ、図19に示されるように光ファイバ11と12を介して、光源9と信号処理器10に接続される。
The optical
以上の構成を有する光電界センサ20は以下のように機能する。すなわち、光源9からの光は、光ファイバ11を通り光電界センサ20に入る。光電界センサ20では、各光学素子が必要とされる方位角で直接ベース8に貼り付けられている。コリメータ1を出た光は、偏光子2にて直線偏光となり、1/4波長板3にて円偏光となり、ポッケルス素子4で印加される電界に応じた変調を受けて楕円偏光となり、次に、検光子5である一方向の成分が直線偏光として取り出され、プリズム6での反射により光進行方向が曲げられ、コリメータ7で集光され、光電界センサ20を出る。光電界センサ20を出た光は、光ファイバ12を通り信号処理器10に入り、被測定電界を作る高電圧部の電圧が変調信号を用いて求められる。
しかしながら、以上の構成を有する従来の光電界センサには、次のような欠点があった。すなわち、偏光子2、1/4波長板3、ポッケルス素子4、検光子5は、ベース8に直接貼り付けられるため、これらの光学素子の貼り付け部8aがベース8に形成され、複雑な形状となっている。また、光電界センサ20を小型化するために、光学素子間の間隔が極めて狭いものとなっている。したがって、光電界センサ20を組立てる際、作業空間が狭いため、作業性が極めて悪いものとなっていた。
However, the conventional optical electric field sensor having the above configuration has the following drawbacks. That is, since the
しかも、従来の光電界センサの光学素子の貼り付け面には、光学素子の方位角を決める部位が設けられておらず、位置決めに多大な時間を要していた。図17及び図18は、偏光子2と1/4波長板3の相対角を45°に配置する例を示している。なお、図17中の4個の黒丸印2bは接着部を、また図18中の4個の黒丸印4bは接着部を示す。この場合、1/4波長板3を45°に傾けて接着する必要があるが、接着前に、円偏光が作られているかを確認する必要がある。したがって、最終状態となるまで、調整と確認を何回も繰り返すことになり、調整・確認作業に多くの時間を必要としていた。
In addition, a portion for determining the azimuth angle of the optical element is not provided on the attachment surface of the optical element of the conventional optical electric field sensor, and much time is required for positioning. 17 and 18 show an example in which the relative angle between the
また、調整・確認を行った後も、接着剤で貼り付けるとき位置ずれが生じやすいため、貼り付け作業には細心の注意が必要となり作業性が悪いという問題があった。検光子4についても貼り付けの際に同様な課題があった。
In addition, even after adjustment and confirmation, there is a problem that misalignment is likely to occur when pasting with an adhesive. The
また、ベース8は、例えば機械加工が可能なエポキシモールド材などの絶縁材で構成される。このような材料は、比誘電率が6程度であり、気体の比誘電率(約1)と等しくないため、ポッケルス素子4にかかる電界を歪ませる。すなわち、縦形変調の光電界センサでは、光軸に対し垂直にかかるべき電界が、光軸に対し平行な成分を含むことになり、必要な電界の強度が得られず、精度低下の原因となっていた。
The
同様な現象は横型変調の光電界センサでも生じ、光軸に対し平行にかかるべき電界が、光軸に対し垂直な成分を含むことになり、必要な電界の強度が得られず、精度低下の原因となっていた。 The same phenomenon also occurs in a lateral modulation optical electric field sensor, and the electric field that should be applied in parallel to the optical axis contains a component perpendicular to the optical axis, so that the required electric field strength cannot be obtained and the accuracy decreases. It was the cause.
さらに、シール部18には、エポキシ系の接着剤を用いるため、長期間の時間経過に伴い、接着力の低下等によりリークが発生し、大気中の水分が密封空間内に混入することがあった。また、ベース8、カバー13の材料であるエポキシモールド材内部に含まれている水分が少しずつ密封空間内に出てくるため、周囲温度が低下した際に、混入した水分により光学素子の表面で結露や氷結が発生し、光電界センサの精度低下や使用不可能な状況に陥る可能性があった。
Furthermore, since an epoxy-based adhesive is used for the
本発明は、以上のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は組立が容易で、廉価な光電界センサを提供することである。また、測定精度の高い光電界センサを提供し、さらに、長期間使用可能で、周囲温度が低下したときも、結露や、氷結のない高い信頼性を有する光電界センサを提供することにある。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide an inexpensive optical electric field sensor that can be easily assembled. It is another object of the present invention to provide an optical electric field sensor having high measurement accuracy, and further to provide an optical electric field sensor that can be used for a long period of time and has high reliability without condensation or freezing even when the ambient temperature is lowered.
上記目的を達成するために、本発明は、光を偏光子側へ出射するコリメータと、偏光子と、1/4波長板と、ポッケルス素子と、検光子と、光を集光するコリメータと、光の通過する部分が穴形状で偏光子を貼り付けるブロックと、光の通過する部分が穴形状で1/4波長板を貼り付けるブロックと、光の通過する部分が穴形状で検光子を貼り付けるブロックと、前記コリメータと前記偏光子と前記1/4波長板と前記ポッケルス素子と前記検光子を配設するベースとからなる光電界センサにおいて、前記ブロックは、前記偏光子と、前記1/4波長板と、前記検光子の必要とする光学的方位角を各々設定できるように予め段形部を有することを特徴とする。 To achieve the above object, the present invention provides a collimator that emits light toward a polarizer, a polarizer, a quarter-wave plate, a Pockels element, an analyzer, a collimator that collects light, A block where the light passes through the hole and the polarizer is attached, a block where the light passes through the hole and a quarter-wave plate is attached, and the light passes through the hole and the analyzer is attached. In the optical electric field sensor comprising a block to be attached, the collimator, the polarizer, the quarter-wave plate, the Pockels element, and a base on which the analyzer is disposed, the block includes the polarizer and the 1 / A stepped portion is previously provided so that the optical azimuth required by the four-wavelength plate and the analyzer can be set.
本発明によれば、組立が容易で、廉価な光電界センサを提供することができる。また、測定精度の高い光電界センサを提供し、さらに、長期間使用可能で、周囲温度が低下したときも、結露や、氷結のない高い信頼性を有する光電界センサを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an inexpensive optical electric field sensor that can be easily assembled. In addition, it is possible to provide an optical electric field sensor with high measurement accuracy, and further to provide an optical electric field sensor that can be used for a long time and has high reliability without dew condensation or freezing even when the ambient temperature is lowered.
(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態を図1〜4を用いて具体的に説明する。
図1(a)、(b)は、第1の実施形態に係る光電界センサ20の構成図で、それぞれ水平面図及び側面図である。図2は図1(b)におけるA部詳細図で、偏光子2の貼り付け状態を示し、図3は図1(b)におけるB部詳細図で、1/4波長板3の貼り付け状態を示し、また、図4は図1(b)におけるC部詳細図で検光子5の貼り付け状態を示している。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be specifically described with reference to FIGS.
FIGS. 1A and 1B are configuration diagrams of the optical
図1(a)、(b)に示すように、光電界センサ20は、光を偏光子2側に出射するコリメータ1と、偏光子2と、偏光子2を取り付けるブロック2aと、1/4波長板3と、1/4波長板3を取り付けるブロック3aと、ポッケルス素子4と、検光子5と、検光子5を取り付けるブロック5aと、光を集光するコリメータ7と、これらを配設するベース8から構成される。また、反射により光の進行方向を曲げるプリズム6が、検光子5の後に配設される。偏光子2等の光学素子を貼り付けるブロック2a、3a、5aは、光が通過する穴のあいた端面に、所定の光学的方位角を有する段形部を形成し、この段形部に当接した状態で光学素子の四隅を貼り付けるだけで各々が必要とする光学的方位角を設定できるようになっている。また、ブロック2a、3a、5aは、ベース8の所定位置2c、3c、5cにそれぞれ接着剤により貼り付けられる。
As shown in FIGS. 1A and 1B, the optical
偏光子2等の光学素子の方位角の設定の様子を図2、図3、図4を用いて説明する。図2は、図1(b)のA部詳細図で、偏光子2が貼り付けられる部分2bは、ブロック2aの端面に段形状に加工されており、この部分に偏光子2の縁の部分を当接した状態で沿わせて貼り付けることで、偏光子2が必要とする方位角が達成できる(ここでは、方位角0°の例を示している。)。
The state of setting the azimuth angle of the optical element such as the
図3は、図1(b)のB部詳細図で、1/4波長板3が貼り付けられる部分3bは、ブロック3aの端面に段形状に加工されており、この部分に1/4波長板3の縁の部分を当接した状態で沿わせて貼り付けることで、1/4波長板3が必要とする方位角が達成できる(ここでは、方位角45°の例を示している。)。
FIG. 3 is a detailed view of part B of FIG. 1 (b). A
図4は、図1(b)のC部詳細図で、検光子5が貼り付けられる部分5bは、ブロック5aの端面に段形状に加工されており、この部分に検光子5の縁を当接した状態で沿わせて貼り付けることで検光子5が必要とする方位角が達成できる(ここでは、方位角10°の例を示している。検光子の方位角は、ポッケルス素子の有する、ポッケルス効果の温度特性と旋光能の温度特性で決まる。)。
以上のような構成を有する第1の実施形態に係る光電界センサ20の作用・効果は以下のとおりである。
FIG. 4 is a detailed view of part C of FIG. 1 (b). A portion 5b to which the
The operations and effects of the optical
すなわち、偏光子2等の光学素子を貼り付けるブロック2a、3a、5aは、偏光子2と、1/4波長板3と、検光子5の必要とする光学的方位角を設定できるような段形部を予め形成しているので、偏光子2等の光学素子の縁をブロック2a、3a、5aに当接させた状態で貼り付けるだけで必要とする光学的方位角を達成できる。したがって、調整・確認作業は不要であり、作業時間は短くてすみ、位置ずれも発生しない。これにより、廉価で、精度のよい光電界センサを提供することができる。
That is, the
(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態に係る光電界センサ20を図5(a)、(b)及び図6(a)、(b)を用いて具体的に説明する。なお、上記の第1の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
(Second Embodiment)
An optical
図5(a)、(b)に示すように、光電界センサ20は、光を偏光子2側に出射するコリメータ1と、偏光子2と、1/4波長板3と、偏光子2と1/4波長板3とを貼り付ける単一のブロック23aと、ポッケルス素子4と、検光子5と、検光子5を貼り付けるブロック5aと、光を集光するコリメータ7と、これらを配設するベース8から構成される。また、光の進行方向を曲げるプリズム6が検光子5の後に配設される。偏光子2等の光学素子を貼り付けるブロック23a、5aは、光が通過する穴のあいた端面に所定の光学的方位角を有する段形部を形成し、この段形部に当接した状態で光学素子の四隅を貼り付けるだけで、各々が必要とする光学的方位角を設定できるようになっている。
As shown in FIGS. 5A and 5B, the optical
図6(a)、(b)は、図5(b)のブロック23aへの偏光子2と1/4波長板3の取り付け状態図で、図6(a)は1/4波長板3の取り付け状態を示す図5(b)のA矢視図、図6(b)は偏光子2の取り付け状態を示す図5(b)のB矢視図である。ブロック23aにおいて、偏光子2を貼り付けるブロック23aの偏光子2側の端面は、段形状に加工されており、この部分に偏光子2の縁を当接した状態で沿わせて貼り付けることで偏光子2が必要とする方位角(ここでは、方位角0°の例で示している。)を達成できる。また、1/4波長板3を貼り付けるブロック23aの1/4波長板3側の端面も、段形状に加工されており、この部分に1/4波長板の縁を当接した状態で沿わせて貼り付けることで、1/4波長板3が必要とする方位角(ここでは、方位角45°の例で示している。)が達成できる。
6 (a) and 6 (b) are diagrams showing the state in which the
以上のような構成を有する第2の実施形態の光電界センサによれば、偏光子2と1/4波長板3を、同一のブロックの両面に予め形成された所定の光学的方位角を有する段形部に貼り付けるので、使用するブロックを1個減らすことができ、さらに作業性を高め、コストを下げることができ、また、光電界センサを小さくすることが可能となる。
According to the optical electric field sensor of the second embodiment having the above-described configuration, the
(第3の実施形態)
本発明の第3の実施形態に係る光電界センサ20を図7(a)、(b)及び図8を用いて具体的に説明する。なお、上記の第1の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
図7(a)、(b)は、第3の実施形態に係る光電界センサ20の構成図、図8は図7(a)におけるA−A矢視図で、ポッケルス素子4の取り付け状態図である。
(Third embodiment)
An optical
FIGS. 7A and 7B are configuration diagrams of the optical
図7(a)に示すように、光電界センサ20は、光を偏光子2側に出射するコリメータ1と、偏光子2と、1/4波長板3と、偏光子2と1/4波長板3とを貼り付けるブロック23aと、ポッケルス素子4と、ポッケルス素子4を貼り付けるブロック4aと、検光子5と、検光子5を取り付けるブロック5aと、光を集光するコリメータ7と、これらを配設するベース8から構成される。
As shown in FIG. 7A, the optical
また、反射により光の進行方向を曲げるプリズム6が、検光子5の後に配設される。偏光子2等の光学素子を貼り付けるブロック23a、5aは、光が通過する穴のあいた端面に、前述した実施形態と同様にして光学素子を貼り付けるだけで各々が必要とする光学的方位角を設定できるようになっている。
Also, a
ポッケルス素子4の取り付け状態を図8に示す。図8は、図7(b)のA−A矢視図である。本実施形態の場合、ポッケルス素子4は、その光学軸が結晶軸に対して45°となるように直方体状に切り出されており、ブロック4a上の所定位置4bにポッケルス素子4を貼り付けることでポッケルス素子4の光学的方位角が達成されるようになっている。ポッケルス素子4を取り付けたブロック4aは、ベース8上の所定位置4cに接着剤で貼り付けられる。
The attachment state of the
以上のような構成を有する第3の実施形態の光電界センサによれば、ポッケルス素子4をブロック4a上に置くことで接着面から光軸までの距離を短くでき、高価なポッケルス素子4を光学的に必要な最小寸法まで小さくすることができる。したがって、さらに、低コストの光電界センサを供給することができる。
According to the optical electric field sensor of the third embodiment having the above-described configuration, the distance from the adhesive surface to the optical axis can be shortened by placing the
(第4の実施形態)
本発明の第4の実施形態に係る光電界センサ20を図9(a)、(b)及び図10を用いて具体的に説明する。なお、上記の第1の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
(Fourth embodiment)
An optical
図9(a)、(b)は、第4の実施形態に係る光電界センサ20の構成図、図10は図9(b)におけるA−A矢視図で、ポッケルス素子4の取り付け状態図である。
FIGS. 9A and 9B are configuration diagrams of the optical
図10に示すように、光電界センサ20は、光を偏光子2側に出射するコリメータ1と、偏光子2と、1/4波長板3と、偏光子2と1/4波長板3とを貼り付けるブロック23aと、ポッケルス素子4と、ポッケルス素子4を取り付けるブロック4aと、検光子5と、検光子5を取り付けるブロック5aと、光を集光するコリメータ7と、これらを配設するベース8から構成される。また、反射により光の進行方向を曲げプリズム6が検光子5の後に配設される。
As shown in FIG. 10, the optical
偏光子2等の光学素子を貼り付けるブロック23a、5aは、光が通過する穴のあいた端面に、前述した実施形態と同様にして光学素子を貼り付けるだけで、各々が必要とする光学的方位角を設定できるような段形部を有している。また、ポッケルス素子4を貼り付けるブロック4aは、その上にポッケルス素子4を置くことでポッケルス素子4の光学的方位角が達成されるようになっている。
The
さらに、ベース8の形状を段形部8bを有する形状にしてあり、この段形部8bに光学を貼り付けたブロック23a、5a、6aの側面をベース8の底面から直角に立ち上がるように形成された段形部8bの側面に合わせて前記ブロックを配設するだけでアライメントが達成できる精度で加工が施されている。
Furthermore, the shape of the
以上のような構成を有する第4の実施形態の光電界センサによれば、ブロックの側面をベース8の段形部8bの側面に合わせてアライメントがとれる構造としたことで、複雑な位置決め、調整作業が不要となり、作業時間をさらに短縮することができる。したがって、さらに、コストを下げることができ、廉価な光電界センサを提供することができる。
According to the optical electric field sensor of the fourth embodiment having the above-described configuration, a complicated positioning and adjustment is achieved by adopting a structure in which the side surface of the block can be aligned with the side surface of the stepped
(第5の実施形態)
本発明の第5の実施形態に係る光電界センサ20を図11(a)、(b)及び図12を用いて具体的に説明する。なお、上記の第1の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
図11(a)、(b)は、第5の実施形態に係る光電界センサ20の構成図、図12は図11(b)のA部詳細図である。
(Fifth embodiment)
An optical
FIGS. 11A and 11B are configuration diagrams of the optical
第5の実施形態は、第4に実施形態に係る横型変調の光電界センサ20のポッケルス素子4としてBi12GeO20又はBi12SiO20を使用し、その両端面には、酸化インジウムからなる透明電極14が蒸着したものを使用している。
In the fifth embodiment, Bi 12 GeO 20 or Bi 12 SiO 20 is used as the
以上のような構成を有する第5の実施形態の光電界センサ20によれば、ポッケルス素子4の両端面に導電性物質である透明電極14が蒸着されているので、等電位面14aが均一に分布する。この結果、ポッケルス素子4内にできる電界14bは、ほとんど歪むことなく光軸に対し垂直になる。したがって、必要な強度の電界が得られ、測定の精度が低下することなく高精度の測定が可能となる。
According to the optical
(第6の実施形態)
本発明の第6の実施形態に係る光電界センサ20を図13(a)、(b)及び図14を用いて具体的に説明する。なお、上記の第1の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
図13(a)、(b)は、第6の実施形態に係る光電界センサ20の構成図、図14は図13(a)のA部詳細図である。
(Sixth embodiment)
An optical
FIGS. 13A and 13B are configuration diagrams of the optical
第6の実施形態に係る光電界センサ20は、光を偏光子2側に出射するコリメータ1と、偏光子2と、1/4波長板3と、偏光子2と1/4波長板3とを貼り付けるブロック23aと、ポッケルス素子4と、ポッケルス素子4を取り付けるブロック4aと、検光子5と、検光子5を取り付けるブロック5aと、光を集光するコリメータ8と、これらを配設するベース8から構成される。また、光の進行方向を曲げプリズム6a,6bが、偏光子2の前と検光子5の後に各々配設される。
The optical
光学素子を貼り付けるブロック23a、5aは、前述の実施形態同様、光が通過する穴のあいた端面に、光学素子を貼り付けるだけで必要とする光学的方位角を各々設定できるようになっている。また、反射によりポッケルス素子を貼り付けるブロック4aは、その上にポッケルス素子を置くことでポッケルス素子の光学的方位角が達成されるようになっている。
The
さらに、ベース8の形状を段形状にしてあり、この部分に光学素子を貼り付けたブロック23a、4a、5aの側面をベース8の段形状の側面に合わせて前記ブロックを配設するだけでアライメントが達成できる精度で加工が施されている。
Furthermore, the shape of the
本実施形態の場合、横型変調の電界センサであるため、電界は、光軸に対し垂直となる。さらに、ポッケルス素子4としてBi4Ge3O12、Bi4Si3O12又はLiNbO3を使用し、光軸と平行な2面には、金からなる電極15の膜が蒸着してある。
In the case of this embodiment, since it is a lateral modulation electric field sensor, the electric field is perpendicular to the optical axis. Further, Bi 4 Ge 3 O 12 , Bi 4 Si 3 O 12 or LiNbO 3 is used as the
以上のような構成を有する第6の実施形態の光電界センサ20によれば、ポッケルス素子4内の光軸に対し平行な2つの面には金電極15が蒸着されているので、等電位面14aが均一に分布する。この結果、ポッケルス素子4内にできる電界14bは、ほとんど歪むことなく光軸に対し平行になる。したがって、必要な強度の電界が得られ、測定の精度が低下することなく高精度の測定が可能である。
According to the optical
(第7の実施の形態)
本発明の第7の実施形態に係る光電界センサ20を図15(a)、(b)を用いて具体的に説明する。なお、上記の実施形態と同一の部材については、同一の符号を付して説明する。
図15(a)、(b)は、第6の実施形態に係る光電界センサ20の構成図である。
(Seventh embodiment)
An optical
FIGS. 15A and 15B are configuration diagrams of the optical
第7の実施形態に係る光電界センサ20は、第5の実施形態に記載の光学部を取り付いたベース8が、カバー13に収納され、ベース8とカバー13は、半田16にて接合され、カバー13内に最低使用温度以下の露点の窒素ガスが封入されている。さらに、ブロック23a、4a、5a、ベース8、カバー13は、含水率0%の絶縁材料である機械加工が可能なセラミックスで構成される。
In the optical
以上のような構成を有する第7の実施形態の光電界センサ20によれば、ベース8とカバー13を半田16、すなわち金属によって接合するため透湿率が0にすることができる。また、密着性がよいので、経年的にシール性能が低下することがない。
According to the optical
したがって密封された内部の水分量は増えない。また、初期に封入した窒素ガスの露点が最低周囲温度より露天が低いので最低周囲温度で使用しても結露、氷結はない。したがって、長期間使用において最低周囲温度まで温度が低下しても結露、氷結し、測定不能に陥ることは決してなく、高い信頼性が得られる。 Therefore, the amount of moisture inside the sealed interior does not increase. Also, since the dew point of the nitrogen gas initially sealed is lower than the minimum ambient temperature, there is no condensation or freezing even when used at the minimum ambient temperature. Therefore, even if the temperature drops to the minimum ambient temperature during long-term use, condensation and icing will never occur, and measurement will not be impossible, and high reliability can be obtained.
1…コリメータ、2…偏光子、2a…ブロック(偏光子用)、23a…ブロック(偏光子と1/4波長板用)、3…1/4波長板、3a…ブロック(1/4波長板用)、4…ポッケルス素子、4a…ブロック(ポッケルス素子用)、5…検光子、5a…ブロック(検光子用)、6…プリズム、7…コリメータ、8…ベース、8a…貼り付け部、8b…ベース8の段形部、9…光源、10…信号処理器、11,12…光ファイバ、13…カバー、14…透明電極、15…金電極、16…半田、17…窒素ガス、18…接着剤(エポキシ系)、20…光電界センサ。
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記ブロックは、前記偏光子と、前記1/4波長板と、前記検光子の必要とする光学的方位角を各々設定できるように予め段形部を有することを特徴とする光電界センサ。 A collimator that emits light toward the polarizer, a polarizer, a quarter-wave plate, a Pockels element, an analyzer, a collimator that collects the light, and a portion through which the light passes has a hole shape. A block for pasting, a block for pasting a quarter-wave plate with a hole-transmitting portion, a block for pasting an analyzer with a hole-passing portion for light, the collimator, the polarizer, and the block In an optical electric field sensor comprising a quarter wavelength plate, the Pockels element, and a base on which the analyzer is disposed,
2. The optical electric field sensor according to claim 1, wherein the block has a stepped portion in advance so that the optical azimuth required by the polarizer, the quarter-wave plate, and the analyzer can be set.
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