JP2009065633A - 半導体装置及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の半導体装置は、第1クロックと、第2クロックと、前記第1、第2クロックのデューティを補正するための信号である補正信号とを受信し、前記補正信号に基づいて前記第1、第2クロックのデューティに対してデューティ比が補正された第1出力クロック及び第2出力クロックを出力するデューティ比補正回路と、前記第1出力クロックの所定の基準遷移時点と前記第2出力クロックの所定の基準遷移時点との間隔に相当する情報をもつ前記補正信号を形成して前記デューティ比補正回路に出力するクロックエッジ検出部とを備える。
【選択図】図2
Description
同図を参照して説明すると、デューティ補正回路は、デューティ比補正部10と、デューティ比検出部20とを備える。
同図に示すように、本実施形態に係る半導体装置のデューティ補正回路は、デューティ補正ブロック1000と、クロックエッジ検出部100とを備える。デューティ補正ブロック1000は、デューティ比検出部200と、デューティ比補正部300とを備える。クロックエッジ検出部100は、第1出力クロックCLK’の基準遷移時点と第2出力クロックCLKB’の基準遷移時点との間隔に対応する補正信号HP_UP(本発明で言う第1補正信号)、補正信号HP_DN(本発明で言う第2補正信号)を生成する。デューティ比検出部200は、第1補正信号HP_UPの論理レベル(例えば、ローレベル)に対応する第1補正値Aと、第2補正信号HP_DNの論理レベル(例えば、ローレベル)に対応する第2補正値Bとを生成する。デューティ比補正部300は、第1クロックCLK及び第2クロックCLKBを受信し、第1補正値A及び第2補正値Bに基づいてデューティ比を補正し、デューティ比が補正された第1出力クロックCLK’及び第2出力クロックCLKB’を出力する。ここで、第1クロックCLK及び第2クロックCLKBは、外部から半導体装置に入力されるクロック、外部から半導体装置に入力後にバッファリングされるクロック、半導体装置のDLL回路から出力される遅延固定クロックなど、デューティ補正が必要な全てのクロックであり得る。また、ここで、「デューティ比を補正する」とは、上述のように、2つのクロックの立ち上がりエッジ同士又は立ち下がりエッジ同士の位相差を180度に補正することを意味する。
同図に示すクロックエッジ検出部100は、第1パルス生成部110と、第2パルス生成部120と、第1補正信号生成部130と、第2補正信号生成部140とを備える。第1パルス生成部110は、第1出力クロックCLK’の第1遷移時点を基準として生成された第1基準パルスRP1を出力する。このため、第1パルス生成部110は、インバータI1〜I5と、NANDゲートND1とを備える。第2パルス生成部120は、第2出力クロックCLKB’の第1遷移時点を基準として生成された第2基準パルスRP2を出力する。このため、第2パルス生成部120は、インバータI6〜I10と、NANDゲートND2とを備える。第1補正信号生成部130は、第1基準パルスRP1に応答してハイレベルに立ち上がり、第2基準パルスRP2に応答してローレベルに立ち下がる第1補正信号HP_UPを生成する。このため、第1補正信号生成部130は、MOSトランジスタT1、T2と、インバータI11、I13、I14とを備える。第2補正信号生成部140は、第2基準パルスRP2に応答してハイレベルに立ち上がり、第1基準パルスRP1に応答してローレベルに立ち下がる第2補正信号HP_DNを生成する。このため、第2補正信号生成部140は、MOSトランジスタT3、T4と、インバータI15、I16、I17とを備える。
同図を参照して説明すると、デューティ比検出部200は、第1補正値Aに対応する電荷量を蓄積する第1キャパシタC1と、第2補正値Bに対応する電荷量を蓄積する第2キャパシタC2と、基準電流を出力する基準電流生成部210と、第1補正信号HP_UPに応答して第1キャパシタC1を充放電する第1充放電部220と、第2補正信号HP_DNに応答して第2キャパシタC2を充放電する第2充放電部230とを備える。
同図を参照して説明すると、デューティ比補正部300は、一側が電源電圧VDDに接続された第1抵抗Raと、一側が電源電圧VDDに接続された第2抵抗Rbと、第1クロックCLKに応答してターンオンされ、一側が第1抵抗Raの他側に接続されたMOSトランジスタT17と、第2補正値Bに基づいてターンオン時間(いわゆるターンオフ状態からターンオン状態に変化するのに要する時間)が決定され、MOSトランジスタT17の他側と接地電圧VSSとの間に接続されたMOSトランジスタT19と、第2クロックCLKBに応答してターンオンされ、一側が第2抵抗Rbの他側に接続されたMOSトランジスタT18と、第1補正値Aに基づいてターンオン時間が決定され、MOSトランジスタT18の他側と接地電圧VSSとの間に接続されたMOSトランジスタT20とを備える。また、MOSトランジスタT19、T20は、各々の補正値A、Bに応じて、ターンオン時に流れる電流の量(ドレイン・ソース)が調整される。
同図に示すように、DLL回路は、クロックバッファ11と、遅延部12と、遅延モデル14と、位相比較部15と、遅延制御部16と、DLLクロックドライバ17と、デューティ補正回路18とを備える。図7に示すDLL回路は、一般的に当業者にとって周知のDLL回路であるため、動作に関する詳細な説明は省略する。ただし、図2に示すデューティ補正回路が、図7のデューティ補正回路18に適用されている。すなわち、デューティ補正回路18は、DLLクロックドライバ17から出力される遅延固定された第1クロック及び第2クロックのデューティ比を補正し、データ出力ブロック19に伝達する。したがって、デューティ補正回路18から出力される2つのクロックは、各遷移毎に互いの位相差を180度に維持した状態でデータ出力ブロック19に入力されるため、データ出力ブロック19がデータDATAを外部に出力する際、より正確な所定のタイミングでデータを出力することができる。
200 デューティ比検出部
300 デューティ比補正部
Claims (31)
- 第1クロックと、第2クロックと、前記第1、第2クロックのデューティ比を補正するための信号である補正信号とを受信し、前記補正信号に基づいて前記第1、第2クロックのデューティ比に対してデューティ比が補正された第1出力クロック及び第2出力クロックを出力するデューティ比補正回路と、
前記第1出力クロックの所定の基準遷移時点と前記第2出力クロックの所定の基準遷移時点との間隔に相当する情報をもつ前記補正信号を形成して前記デューティ比補正回路に出力するクロックエッジ検出部と
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記デューティ比補正回路が、
前記補正信号の一つである第1補正信号の論理レベルに対応する第1補正値と、前記補正信号の他の一つである第2補正信号の論理レベルに対応する第2補正値とを形成するデューティ比検出部と、
前記第1補正値に対応して前記第1出力クロックのデューティ比を補正し、前記第2補正値に対応して前記第2出力クロックのデューティ比を補正するデューティ比補正部と
を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記クロックエッジ検出部が、
前記第1出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として生成された第1基準パルスを出力する第1パルス生成部と、
前記第2出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として生成された第2基準パルスを出力する第2パルス生成部と、
前記第1基準パルスに応答して第1電位状態に遷移し、前記第2基準パルスに応答して第2電位状態に遷移する第1補正信号を形成する第1補正信号生成部と、
前記第2基準パルスに応答して第1電位状態に遷移し、前記第1基準パルスに応答して第2電位状態に遷移する第2補正信号を形成する第2補正信号生成部と
を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記デューティ比検出部が、
前記第1補正信号が所定の第1論理レベルである期間に電荷を蓄積し、前記第1補正信号が所定の第2論理レベルである期間に電荷を放電して前記第1補正値を形成し、
前記第2補正信号が所定の第1論理レベルである期間に電荷を蓄積し、前記第2補正信号が所定の第2論理レベルである期間に電荷を放電して第2補正値を形成することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 - 前記デューティ比検出部が、
前記第1補正値に対応する電荷量を蓄積する第1電荷貯蔵手段と、
前記第2補正値に対応する電荷量を蓄積する第2電荷貯蔵手段と、
前記第1補正信号の第2論理レベルに対応して前記第1電荷貯蔵手段に蓄積された電荷を放電する第1スイッチ手段と、
前記第1補正信号の第1論理レベルに対応して前記第1電荷貯蔵手段に電荷を充電する第2スイッチ手段と、
前記第2補正信号の第2論理レベルに対応して前記第2電荷貯蔵手段に蓄積された電荷を放電する第3スイッチ手段と、
前記第2補正信号の第1論理レベルに対応して前記第2電荷貯蔵手段に電荷を充電する第4スイッチ手段と
を備えることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。 - 前記デューティ比検出部が、
バイアス信号に応答して所定の基準電流を出力する基準電流生成部と、
該基準電流に連動する所定の第1電流を前記第2スイッチ手段から前記第1スイッチ手段に流すため、前記バイアス信号に応答してイネーブルされる第1バイアス電流提供部と、
前記基準電流に連動する所定の第2電流を前記第4スイッチ手段から前記第3スイッチ手段に流すため、前記バイアス信号に応答してイネーブルされる第2バイアス電流提供部と
を備えることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。 - 前記デューティ比補正部が、
前記第1クロックのデューティ比を前記第2補正値に基づいて補正することにより、デューティ比が補正された第1出力クロックを生成する第1出力クロック生成部と、
前記第2クロックのデューティ比を前記第1補正値に基づいて補正することにより、デューティ比が補正された第2出力クロックを生成する第2出力クロック生成部と
を備えることを特徴とする請求項2に記載の半導体メモリ装置。 - 前記デューティ比補正部が、
一側が電源端に接続された第1抵抗手段と、
一側が前記電源端に接続された第2抵抗手段と、
前記第1クロックに応答してターンオンされ、一側が前記第1抵抗手段の他側に接続された第1スイッチ手段と、
前記第2補正値に基づいてターンオン時間が決定され、前記第1スイッチ手段の他側と接地端との間に接続された第2スイッチ手段と、
前記第1クロックの反転クロックに応答してターンオンされ、一側が前記第2抵抗手段の他側に接続された第3スイッチ手段と、
前記第1補正値に基づいてターンオン時間が決定され、前記第3スイッチ手段の他側と接地端との間に接続された第4スイッチ手段と
を備えることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。 - 第1クロックと、第2クロックと、前記第1、第2クロックのデューティ比を補正するための信号である補正信号とを受信し、前記補正信号に基づいて前記第1、第2クロックのデューティ比に対してデューティ比が補正された第1出力クロック及び第2出力クロックを出力するステップと、
前記第1出力クロックの所定の基準遷移時点と前記第2出力クロックの所定の基準遷移時点との間隔に相当する情報をもつ前記補正信号を形成して前記デューティ比補正回路に出力するステップと
を含むことを特徴とする半導体装置の駆動方法。 - 前記第1出力クロック及び第2出力クロックを出力するステップが、
前記補正信号の一つである第1補正信号の論理レベルに対応する第1補正値と、前記補正信号の他の一つである第2補正信号の論理レベルに対応する第2補正値とを形成するステップと、
前記第1補正値に対応して前記第1出力クロックのデューティ比を補正し、前記第2補正値に対応して前記第2出力クロックのデューティ比を補正するステップと
を含むことを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の駆動方法。 - 前記補正信号を形成するステップが、
前記第1出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として形成された第1基準パルスを出力するステップと、
前記第2出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として形成された第2基準パルスを出力するステップと、
前記第1基準パルスに応答して第1電位状態に遷移し、前記第2基準パルスに応答して第2電位状態に遷移する第1補正信号を形成するステップと、
前記第2基準パルスに応答して第1電位状態に遷移し、前記第1基準パルスに応答して第2電位状態に遷移する第2補正信号を形成するステップと
を含むことを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の駆動方法。 - 前記第1補正信号の所定の論理レベルに対応する前記第1補正値と、前記第2補正信号の所定の論理レベルに対応する前記第2補正値とを形成するステップが、
前記第1補正信号の第1論理レベルに対応して所定の第1電荷貯蔵手段に蓄積された電荷を放電するステップと、
前記第1補正信号の第2論理レベルに対応して前記第1電荷貯蔵手段に電荷を充電するステップと、
前記第2補正信号の第1論理レベルに対応して所定の第2電荷貯蔵手段に蓄積された電荷を放電するステップと、
前記第2補正信号の第2論理レベルに対応して前記第2電荷貯蔵手段に電荷を充電するステップと、
前記第1電荷貯蔵手段に蓄積された電荷量に対応する大きさの第1補正値を形成し、出力するステップと、
前記第2電荷貯蔵手段に蓄積された電荷量に対応する大きさの前記第2補正値を形成し、出力するステップと
を含むことを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の駆動方法。 - 前記第1補正値に対応して前記第1出力クロックのデューティ比を補正し、前記第2補正値に対応して前記第2出力クロックのデューティ比を補正するステップが、
前記第2補正値に対応して前記第1クロックの遷移時点を補正してデューティ比が補正された第1出力クロックを形成し、出力するステップと、
前記第1補正値に対応して前記第2クロックの遷移時点を補正してデューティ比が補正された第2出力クロックを形成し、出力するステップと
を含むことを特徴とする請求項12に記載の半導体装置の駆動方法。 - 第1クロック及び第2クロックを受信して前記第1、第2クロックの遷移時点の遅延量を固定する遅延固定動作を行うことにより、遅延固定クロック及びその反転クロックを出力する際、そのデューティ比を補正信号に基づいて補正してデューティ比が補正された第1出力クロック及び第2出力クロックを形成し、出力するDLL回路と、
該DLL回路から出力される前記第1出力クロックの所定の基準遷移時点と前記第2出力クロックの所定の基準遷移時点との間隔に相当する情報をもつ前記補正信号を形成するクロックエッジ検出部と、
前記第1出力クロック及び第2出力クロックを用いてデータを出力するデータ出力回路と
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記DLL回路が、
前記第1クロック及び第2クロックを受信して遅延固定動作を行い、遅延固定クロック及びその反転クロックを出力する遅延固定ブロックと、
該遅延固定ブロックから出力される遅延固定クロック及びその反転クロックを受信し、前記補正信号に基づいてデューティ比が補正された第1出力クロック及び第2出力クロックを出力するデューティ比補正回路と
を備えることを特徴とする請求項14に記載の半導体装置。 - 前記デューティ比補正回路が、
前記補正信号の一つである第1補正信号の論理レベルに対応する第1補正値と、前記補正信号の他の一つである第2補正信号の論理レベルに対応する第2補正値とを形成するデューティ比検出部と、
前記第1補正値に対応して前記第1出力クロックのデューティ比を補正し、前記第2補正値に対応して前記第2出力クロックのデューティ比を補正するデューティ比補正部と
を備えることを特徴とする請求項15に記載の半導体装置。 - 前記クロックエッジ検出部が、
前記第1出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として生成された第1基準パルスを出力する第1パルス生成部と、
前記第2出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として生成された第2基準パルスを出力する第2パルス生成部と、
前記第1基準パルスに応答して第1電位状態に遷移し、前記第2基準パルスに応答して第2電位状態に遷移する第1補正信号を形成する第1補正信号生成部と、
前記第2基準パルスに応答して第1電位状態に遷移し、前記第1基準パルスに応答して第2電位状態に遷移する第2補正信号を形成する第2補正信号生成部と
を備えることを特徴とする請求項16に記載の半導体装置。 - 前記デューティ比検出部が、
前記第1補正信号の第1論理レベルである期間に電荷を蓄積し、第2論理レベルである期間に電荷を放電して前記第1補正値を形成し、前記第2補正信号の第1論理レベルである期間に電荷を蓄積し、第2論理レベルである期間に電荷を放電して第2補正値を形成することを特徴とする請求項17に記載の半導体装置。 - 前記デューティ比検出部が、
前記第1補正値に対応する電荷量を蓄積する第1電荷貯蔵手段と、
前記第2補正値に対応する電荷量を蓄積する第2電荷貯蔵手段と、
前記第1補正信号の第1論理レベルに対応して前記第1電荷貯蔵手段に蓄積された電荷を放電する第1スイッチ手段と、
前記第1補正信号の第2論理レベルに対応して前記第1電荷貯蔵手段に電荷を充電する第2スイッチ手段と、
前記第2補正信号の第1論理レベルに対応して前記第2電荷貯蔵手段に蓄積された電荷を放電する第3スイッチ手段と、
前記第2補正信号の第2論理レベルに対応して前記第2電荷貯蔵手段に電荷を充電する第4スイッチ手段と
を備えることを特徴とする請求項17に記載の半導体装置。 - 前記デューティ比検出部が、
バイアス信号に応答して所定の基準電流を出力する基準電流生成部と、
該基準電流に連動する所定の第1電流を前記第2スイッチ手段から前記第1スイッチ手段に流すため、前記バイアス信号に応答してイネーブルされる第1バイアス電流提供部と、
前記基準電流に連動する所定の第2電流を前記第4スイッチ手段から前記第3スイッチ手段に流すため、前記バイアス信号に応答してイネーブルされる第2バイアス電流提供部と
を更に備えることを特徴とする請求項19に記載の半導体装置。 - 前記デューティ比補正部が、
一側が電源端に接続された第1抵抗手段と、
一側が前記電源端に接続された第2抵抗手段と、
前記遅延固定クロックに応答してターンオンされ、一側が前記第1抵抗手段の他側に接続された第1スイッチ手段と、
前記第2補正値に基づいてターンオン時間が決定され、前記第1スイッチ手段の他側と接地端との間に接続された第2スイッチ手段と、
前記遅延固定クロックの反転クロックに応答してターンオンされ、一側が前記第2抵抗手段の他側に接続された第3スイッチ手段と、
前記第1補正値に基づいてターンオン時間が決定され、前記第3スイッチ手段の他側と接地端との間に接続された第4スイッチ手段と
を備えることを特徴とする請求項20に記載の半導体装置。 - 第1クロック及び第2クロックを受信して遅延量を固定する遅延固定動作を行い、遅延固定された第1クロック及び第2クロックを出力するステップと、
前記遅延固定された第1クロック及び第2クロックを受信し、補正信号に基づいてデューティ比を補正してデューティ比が補正された第1出力クロック及び第2出力クロックを出力するステップと、
前記第1出力クロックの所定の基準遷移時点と前記第2出力クロックの所定の基準遷移時点との間隔に対応する補正信号を形成するステップと、
前記デューティ比が補正された第1出力クロック及び第2出力クロックを用いてデータを出力するステップと
を含むことを特徴とする半導体装置の駆動方法。 - 前記補正信号を形成するステップが、
前記第1出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として生成された第1基準パルスを出力するステップと、
前記第2出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として生成された第2基準パルスを出力するステップと、
前記第1基準パルスに応答して第1電位状態に遷移し、前記第2基準パルスに応答して第2電位状態に遷移する第1補正信号を形成するステップと、
前記第2基準パルスに応答して第1電位状態に遷移し、前記第1基準パルスに応答して第2電位状態に遷移する第2補正信号を形成するステップと
を含むことを特徴とする請求項22に記載の半導体装置の駆動方法。 - 前記補正信号に基づいてデューティ比が補正された第1出力クロック及び第2出力クロックを出力するステップが、
前記第1補正信号の第1論理レベルに対応して所定の第1電荷貯蔵手段に蓄積された電荷を放電するステップと、
前記第1補正信号の第2論理レベルに対応して前記第1電荷貯蔵手段に電荷を充電するステップと、
前記第2補正信号の第1論理レベルに対応して所定の第2電荷貯蔵手段に蓄積された電荷を放電するステップと、
前記第2補正信号の第2論理レベルに対応して前記第2電荷貯蔵手段に電荷を充電するステップと、
前記第1電荷貯蔵手段に蓄積された電荷量に対応する大きさの第1補正値を形成し、出力するステップと、
前記第2電荷貯蔵手段に蓄積された電荷量に対応する大きさの第2補正値を形成し、出力するステップと
を含むことを特徴とする請求項23に記載の半導体装置の駆動方法。 - 前記補正信号に基づいてデューティ比が補正された第1出力クロック及び第2出力クロックを出力するステップが、
前記第2補正値に対応して前記遅延固定された第1クロックの遷移時点を補正し、デューティ比が補正された第1出力クロックを出力するステップと、
前記第1補正値に対応して前記遅延固定された第2クロックの遷移時点を補正し、デューティ比が補正された第2出力クロックを出力するステップと
を更に含むことを特徴とする請求項24に記載の半導体装置の駆動方法。 - 第1出力クロックの所定の基準遷移時点と第2出力クロックの所定の基準遷移時点との間隔に対応する第1補正信号を生成する第1補正信号生成部と、
前記第2出力クロックの基準遷移時点と前記第1出力クロックの基準遷移時点との間隔に対応する第2補正信号を生成する第2補正信号生成部と、
前記第1補正信号に対応する電荷量を蓄積する第1電荷貯蔵手段と、
前記第2補正信号に対応する電荷量を蓄積する第2電荷貯蔵手段と、
第1クロックを受信し、前記第1電荷貯蔵手段に蓄積された電荷量に対応してデューティ比を補正して前記第1出力クロックを生成する第1クロック生成部と、
第2クロックを受信し、前記第2電荷貯蔵手段に蓄積された電荷量に対応してデューティ比を補正して前記第2出力クロックを生成する第2クロック生成部と
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1補正信号生成部が、
前記第1出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として生成された第1基準パルスを出力する第1パルス生成部と、
前記第2出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として生成された第2基準パルスを出力する第2パルス生成部と、
前記第1基準パルスに応答して第1電位状態に遷移し、前記第2基準パルスに応答して第2電位状態に遷移する前記第1補正信号を生成する第1補正信号出力部と
を備えることを特徴とする請求項26に記載の半導体装置。 - 前記第1補正信号の第1論理レベルに対応して前記第1電荷貯蔵手段に蓄積された電荷を放電する第1スイッチ手段と、
前記第1補正信号の第2論理レベルに対応して前記第1電荷貯蔵手段に電荷を充電する第2スイッチ手段と、
前記第2補正信号の第1論理レベルに対応して前記第2電荷貯蔵手段に蓄積された電荷を放電する第3スイッチ手段と、
前記第2補正信号の第2論理レベルに対応して前記第2電荷貯蔵手段に電荷を充電する第4スイッチ手段と
を更に備えることを特徴とする請求項27に記載の半導体装置。 - バイアス信号に応答して所定の基準電流を出力する基準電流生成部と、
該基準電流に連動する所定の第1電流を前記第2スイッチ手段から前記第1スイッチ手段に流すため、前記バイアス信号に応答してイネーブルされる第1バイアス電流提供部と、
前記基準電流に連動する所定の第2電流を前記第4スイッチ手段から前記第3スイッチ手段に流すため、前記バイアス信号に応答してイネーブルされる第2バイアス電流提供部と
を更に備えることを特徴とする請求項28に記載の半導体装置。 - 第1出力クロックの所定の基準遷移時点と第2出力クロックの所定の基準遷移時点との間隔に対応する第1補正信号を生成するステップと、
前記第2出力クロックの基準遷移時点と前記第1出力クロックの基準遷移時点との間隔に対応する第2補正信号を生成するステップと、
前記第1補正信号に対応する電荷量を第1電荷貯蔵手段に蓄積するステップと、
前記第2補正信号に対応する電荷量を第2電荷貯蔵手段に蓄積するステップと、
第1クロックを受信し、前記第1電荷貯蔵手段に蓄積された電荷量に対応してデューティ比を補正して前記第1出力クロックを生成するステップと、
第2クロックを受信し、前記第2電荷貯蔵手段に蓄積された電荷量に対応してデューティ比を補正して前記第2出力クロックを生成するステップと
を含むことを特徴とする半導体装置の駆動方法。 - 前記第1補正信号を生成するステップが、
前記第1出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として生成された第1基準パルスを出力するステップと、
前記第2出力クロックの前記基準遷移時点としての所定の第1遷移時点を基準として生成された第2基準パルスを出力するステップと、
前記第1基準パルスに応答して第1電位状態に遷移し、前記第2基準パルスに応答して第2電位状態に遷移する前記第1補正信号を生成するステップと
を含むことを特徴とする請求項30に記載の半導体装置の駆動方法。
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