JP2009008965A - 光導波路形成用材料、光導波路の製造方法、および光導波路 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の目的は、少ない活性エネルギー線の照射量によって硬化することで、低コストであり、また量産性に優れた製造に適している光導波路用材料を提供することである。さらに、この光導波路用材料を用いた光導波路の製造方法、および、その製造方法により得られた光導波路を提供することである。
【解決手段】感エネルギー線酸発生剤（Ａ）と、アミン化合物（Ｂ）と、カチオン重合性化合物（Ｃ）とを含んでなる封止用組成物。
【選択図】図１

Description

本発明は、光通信分野、光情報処理分野に用いられる光回路を形成するための光導波路形成用材料、光導波路の製造方法およびその方法により得られた光導波路に関する。

マルチメディア時代を迎え、光通信システムやコンピュータにおける情報処理の大容量化および高速化の要求から、光を伝送媒体とする伝送システムが、公衆通信網、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）、ＦＡ（ファクトリーオートメーション）、コンピュータ間のインターコネクト、家庭内配線等に使用されつつある。この伝送システムのうち、光導波路は、例えば映画や動画等の大容量の情報伝達や光コンピュータ等を実現するための光デバイス、光電集積回路（ＯＥＩＣ）、並びに光集積回路（光ＩＣ）等における基本構成要素である。そして、光導波路は、大量の需要があることから鋭意研究される一方、特に高性能で、低コストの製品が求められている。

従来、この種の光導波路としては、石英などの無機ガラスが用いられていた。石英系の光導波路は、耐熱性、低偏波面依存性、低損失、低温度依存性という優れた性質を有するが、高温プロセスやＲＩＥ（Ｒｅａｃｔｉｖｅ Ｉｏｎ Ｅｔｃｈｉｎｇ：反応性イオンエッチング）プロセスを含みコスト高になっていた。
一方、近年、高分子材料を用いた光導波路が提案され、実用化されつつある。高分子材料は、無機材料と比較して加工が容易であり、大面積化やフィルム化を容易に行うことができる。また、フレキシブルであるため用途が広いこと、屈折率の調整が容易であること等の種々の利点を有する。中でも、紫外線硬化型の樹脂は、大量生産を行うことが可能な材料であるために、光導波路用の材料として期待されている。

高分子材料を用いた光導波路の形成方法としては、ＲＩＥ法、スタンパ法（特許文献１）、直接露光法、フォトブリーチング法（特許文献２、３）等が検討されている。

まず、ＲＩＥ法では薄膜作製後、レジストをＵＶ（紫外線）露光し、現像して導波路パターンを形成し、反応性イオンエッチングによりレジストで覆われていない部分を除去する。その後、不要になったレジストを除去するというプロセスがある。このＲＩＥ法は、反応性イオンエッチングの際の真空プロセスやレジストプロセスを有することから、一般に高コストになってしまう。

また、反応性イオンエッチングにより、コア側面に微小な縦傷（厚さ方向の傷）が形成されることにより、光導波路作製後の散乱損失が大きくなってしまう。

スタンパ法ではクラッドに溝を形成した後、その溝に樹脂を流し込んでコアを形成するので、大幅な低コスト化が図れる。しかしながら、スタンパ法では、ボイドの発生や上部クラッド作製時におけるバリ等により十分な導波効率が得られていない。

これに対して、直接露光法は、レジストで覆うプロセスが無く、直接光等のエネルギー線を照射した後、現像により未露光部を除去することでパターンを作製することができるため、ＲＩＥ法よりもプロセスが簡単になり、低コスト化が図れる。

さらに、フォトブリーチング法は、光等の活性エネルギー線を照射して屈折率差を設けるだけで光導波路を作製することができるので、フォトレジスト塗布プロセス、反応性イオンエッチングプロセス、現像プロセスをなくすことができるので、低コストで量産性に優れた製造方法であり、ＲＩＥ法やスタンパ法で見られるような側面形状の揺らぎによる散乱損失も抑えることができる。

直接露光法やフォトブリーチング法で照射される光等の活性エネルギー線は、Ｘ線、α線、β線、γ線、紫外線、可視光線、赤外線、電子線など多岐にわたっている。これらの中でも、一定のエネルギーレベルを有し、照射装置が比較的安価で小型な観点から、紫外線を使用するのが最も好ましい。高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプなどは最も一般的な光源に属し、これらの光源を利用する場合３００ｎｍから４５０ｎｍの波長領域に主波長を有する光が照射されることとなる（非特許文献１）。近年、光導波路の分野では、これらの光源に対応し、速やかに所望の重合度まで硬化が進行し、良好な特性を発現する材料が普遍的に求められている。

特開平８−３２７８４４号公報 特開２０００−２７５４５６号公報 特開２００１−３５６２２７号公報 ラドテック研究会編「ＵＶ・ＥＢ硬化技術の現状と展望」シーエムシー出版 （２００２年）

本発明の目的は、少ない活性エネルギー線の照射量で硬化することで、低コストで量産性に優れた製造に適した、光導波路用材料を提供することである。

上記の課題を解決するため、本発明者は、鋭意研究の結果、上記課題をすべて解決する材料を開発するに至った。

すなわち、本発明は、下記一般式(１)または下記一般式(２)で表記される感エネルギー線酸発生剤(Ａ)と、下記一般式(３)で表記されるアミン化合物(Ｂ)と、カチオン重合性化合物(Ｃ)とを含んでなる光導波路形成用材料に関する。

一般式(１)

（ただし、Ｒ¹は、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、および、置換もしくは未置換の複素環オキシ基より選ばれる基を表す。
Ｒ²およびＲ³は、それぞれ独立に、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、置換もしくは未置換の複素環オキシ基、水素原子、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルケニル基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基、置換もしくは未置換のアシル基、置換もしくは未置換のカルボニルオキシ基、置換もしくは未置換のオキシカルボニル基、またはハロゲン原子より選ばれる基を表す。
Ｒ⁴ は、酸素原子もしくは孤立電子対を表す。
また、Ｒ¹ とＲ² 、Ｒ¹ とＲ³ 、もしくはＲ² とＲ³は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。
また、Ｘ^-は、任意のアニオンを表す。）

一般式(２)

(式中、Ｙはフッ素または塩素原子、
Ｚは、フッ素原子、シアノ基、ニトロ基、およびトリフルオロメチル基の中から選ばれる基で２つ以上置換されたフェニル基、
ｍは０から３の整数、ｎは１から４の整数を表し、ｍ＋ｎ＝４である。
また、Ｌ⁺は、任意のカチオンを表す。）

一般式(３)

(式中、Ａｒ¹、Ａｒ²、Ａｒ³は、それぞれ独立に、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基を表す。
また、Ａｒ¹とＡｒ²、Ａｒ¹とＡｒ³、もしくはＡｒ²とＡｒ³は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。)

また本発明は、感エネルギー線酸発生剤(Ａ)が、下記一般式(４)で表記されるスルホニウム塩である上記記載の光導波路形成用材料に関する。

一般式(４)

（ただし、Ｒ¹は、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、および、置換もしくは未置換の複素環オキシ基より選ばれる基を表す。
Ｒ²およびＲ³は、それぞれ独立に、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、置換もしくは未置換の複素環オキシ基、水素原子、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルケニル基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基、置換もしくは未置換のアシル基、置換もしくは未置換のカルボニルオキシ基、置換もしくは未置換のオキシカルボニル基、またはハロゲン原子より選ばれる基を表す。
また、Ｒ¹ とＲ² 、Ｒ¹ とＲ³ 、もしくはＲ² とＲ³は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。
また、Ｘ^-は、任意のアニオンを表す。）

また本発明は、感エネルギー線酸発生剤(Ａ)が、下記一般式(５)で表記されるオニウム塩である上記記載の光導波路形成用材料に関する。

一般式(５)

(式中、Ｌ⁺は、任意のカチオンを表す。)

また本発明は、感エネルギー線酸発生剤(Ａ)が、下記一般式(６)で表記されるスルホニウム塩である上記記載の光導波路形成用材料に関する。

一般式(６)

（ただし、Ｒ¹は、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、および、置換もしくは未置換の複素環オキシ基より選ばれる基を表す。
Ｒ²およびＲ³は、それぞれ独立に、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、置換もしくは未置換の複素環オキシ基、水素原子、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルケニル基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基、置換もしくは未置換のアシル基、置換もしくは未置換のカルボニルオキシ基、置換もしくは未置換のオキシカルボニル基、またはハロゲン原子より選ばれる基を表す。
また、Ｒ¹ とＲ² 、Ｒ¹ とＲ³ 、もしくはＲ² とＲ³は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。）

また本発明は、カチオン重合性化合物(Ｃ)が、分子内に少なくとも１個のエポキシ基または分子内に少なくとも１個のオキセタニル基を有する化合物または、加水分解性シラン化合物の加水分解物である上記記載の光導波路形成用材料に関する。

また本発明は、上記記載の光導波路用材料を硬化させてなる光導波路に関する。

また本発明は、コア部およびグラット層を有する光導波路の製造方法であって、コア部またはグラット層の少なくとも一方となるよう基板上に、上記記載の光導波路形成用材料を塗工した後、光照射して硬化させることを特徴とする光導波路の製造方法に関する。

また本発明は、上記記載の光導波路の製造方法により製造された光導波路に関する。

本発明の光導波路形成用材料は、特定の感エネルギー線酸発生剤(Ａ)とアミン化合物(Ｂ)とを含有しているため、少ない活性エネルギー線の照射量できわめて容易かつ単時間で、硬化することが出来る。また、本発明光導波路形成用材料は、パターン露光できる、または活性エネルギー線の照射で屈折率を変化させることが出来るため、容易に光導波路を形成することができる。本発明の光導波路形成用材料は、低コストで量産性に優れた光導波路の生産に用い得る。

以下、詳細にわたって本発明の実施形態を説明する。

まず、本発明の感エネルギー線酸発生剤(Ａ)について説明する。本発明の感エネルギー線酸発生剤(Ａ)としては一般式(１)または一般式(２)が挙げられる。ここで、一般式(２)を構成するオニウムカチオンＬ⁺としては、ヨードニウム、スルホニウム、スルホキソニウム、セレノニウム、ホスホニウム、アンモニウム、金属アレーンカチオンのほか、ピリジニウム、キノリニウム、イソキノリニウム、ベンゾオキサゾリウム、ベンゾチアゾリウム等の複素環カチオンを挙げることができる。

一般式(２)を構成するオニウムカチオンＬ⁺として好ましいオニウムカチオンの構造としては、一般式(７)〜一般式(１７)から選ばれるオニウムカチオンをあげることができる。

一般式(７)

一般式(８)

一般式(９)

一般式(１０)

一般式(１１)

一般式(１２)

一般式(１３)

一般式(１４)

一般式(１５)

一般式(１６)

一般式(１７)

（ただし、一般式(７)〜一般式(１７)において、Ｒ¹は、一般式(１)で説明したＲ¹と同義であり、
Ｒ²およびＲ³は、一般式(１)で説明したＲ²およびＲ³と同義である。
Ｒ⁵は、Ｒ²およびＲ³に記載した基と同様の基を表す。
Ｒ⁶は、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルキルチオ基を表す。
Ｒ⁷およびＲ⁸は、それぞれ独立に、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基を表す。
Ｒは、ハロゲン原子、水酸基、カルボキシル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、置換もしくは未置換のカルバモイル基、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルケニル基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基、置換もしくは未置換のアリールアルキル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、置換もしくは未置換の複素環オキシ基、置換もしくは未置換のアルキルチオ基、置換もしくは未置換のアリールチオ基、置換もしくは未置換の複素環チオ基、置換もしくは未置換のアシル基、置換もしくは未置換のカルボニルオキシ基、置換もしくは未置換のオキシカルボニル基のいずれかを表す。
Ａｒ⁴、Ａｒ⁵、Ａｒ⁶は、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基のいずれかを表す。
Ｘは、酸素もしくは硫黄原子を表す。
ｉは０〜５の整数を表す。ｊは０〜４の整数を表す。ｋは０〜３の整数を表す。
また、隣接したＲ同士、Ａｒ⁴とＡｒ⁵、Ａｒ⁴とＡｒ⁶、Ａｒ⁵とＡｒ⁶、Ｒ²とＲ³、Ｒ²とＲ⁵、Ｒ³とＲ⁵、Ｒ¹とＲ²、Ｒ¹とＲ³、Ｒ¹とＲ⁵、Ｒ¹とＲ、もしくはＲ¹とＲ⁶は、相互に結合した環状構造であってもよい。）

この内、より好ましいオニウムカチオンの構造としては、一般式(７)、一般式(８)、一般式(１０)、一般式(１２)および一般式(１４)〜一般式(１７)から選ばれるオニウムカチオンであり、特に好ましいオニウムカチオンの構造としては、一般式(７)、一般式(８)および一般式(１４)〜一般式(１７)から選ばれるオニウムカチオンであり、最も好ましいオニウムカチオンの構造は、一般式(７)のオニウムカチオンである。

この理由として、上に説明したオニウムカチオンは、概して、その還元電位が高いこと、即ち電子受容性が高いことが挙げられる。そのため、エネルギー線、ことに光の照射によって、分解し、容易に酸を発生する。それは特に光増感剤と組み合わせた場合に顕著な結果として認められる。

さらに、一般式(７)のオニウムカチオンは、合成の容易さも好ましい理由の一つとして挙げられる。

以下に、本発明の感エネルギー線酸発生剤(Ａ)を構成するオニウムカチオン中の置換基について説明する。

置換基Ｒ¹〜Ｒ³およびＲ⁵おける置換もしくは未置換のベンジル基は、さらに、ベンジル基中のベンゼン環が、不飽和炭化水素基によって、炭素原子数１０〜２２の縮合多環芳香族環を形成していても良い。

これらベンジル基の具体例としては、ｏ−フルオロベンジル基、ｍ−フルオロベンジル基、ｐ−フルオロベンジル基、ｏ−クロロベンジル基、ｍ−クロロベンジル基、ｐ−クロロベンジル基、ｏ−ブロモベンジル基、ｍ−ブロモベンジル基、ｐ−ブロモベンジル基、ｏ−シアノベンジル基、ｍ−シアノベンジル基、ｐ−シアノベンジル基、ｏ−ニトロベンジル基、ｍ−ニトロベンジル基、ｐ−ニトロベンジル基、２，４−ジフルオロフェニルメチル基、２、６−ジクロロフェニルメチル基、２、４、６−トリブロモフェニルメチル基、ペンタフルオロフェニルメチル基、ｐ−（トリフルオロメチル）ベンジル基、３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニルメチル基、ｏ−ヒドロキシベンジル基、ｍ−ヒドロキシベンジル基、ｐ−ヒドロキシベンジル基、ｏ−メルカプトベンジル基、ｍ−メルカプトベンジル基、ｐ−メルカプトベンジル基、ｏ−メチルスルフィニルベンジル基、ｍ−メチルスルフィニルベンジル基、ｐ−メチルスルフィニルベンジル基、ｏ−メチルスルホニルベンジル基、ｍ−メチルスルホニルベンジル基、ｐ−メチルスルホニルベンジル基、ｏ−アセチルベンジル基、ｍ−アセチルベンジル基、ｐ−アセチルベンジル基、ｏ−ベンゾイルベンジル基、ｍ−ベンゾイルベンジル基、ｐ−ベンゾイルベンジル基、ｏ−メチルベンジル基、ｍ−メチルベンジル基、ｐ−メチルベンジル基、ｐ−エチルベンジル基、ｐ−プロピルベンジル基、ｐ−イソプロピルベンジル基、ｐ−ｔ−ブチルベンジル基、ｐ−オクタデシルベンジル基、ｐ−シクロヘキシルベンジル基、ｏ−メトキシベンジル基、ｍ−メトキシベンジル基、ｐ−メトキシベンジル基、ｐ−エトキシベンジル基、ｐ−プロポキシベンジル基、ｐ−イソプロポキシベンジル基、ｐ−ｔ−ブトキシベンジル基、ｐ−オクタデシルオキシベンジル基、ｐ−シクロヘキサンオキシベンジル基、ｏ−メトキシカルボニルベンジル基、ｍ−メトキシカルボニルベンジル基、ｐ−メトキシカルボニルベンジル基、ｐ−エトキシカルボニルベンジル基、ｐ−プロポキシカルボニルベンジル基、ｐ−イソプロポキシカルボニルベンジル基、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニルベンジル基、ｐ−オクタデシルオキシカルボニルベンジル基、ｐ−シクロヘキサンオキシカルボニルベンジル基、１−ナフチルメチル基、２−ナフチルメチル基、９−アンスリルメチル基、１−ピレニルメチル基、５−ナフタセニルメチル基、６−ペンタセニルメチル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒ¹〜Ｒ³およびＲ⁵における置換もしくは未置換のフェナシル基は、さらに、フェナシル基中のベンゼン環が、不飽和炭化水素基によって、炭素原子数１０〜２２の縮合多環芳香族環を形成していても良い。

これらフェナシル基の具体例としては、ｏ−フルオロフェナシル基、ｍ−フルオロフェナシル基、ｐ−フルオロフェナシル基、ｏ−クロロフェナシル基、ｍ−クロロフェナシル基、ｐ−クロロフェナシル基、ｏ−ブロモフェナシル基、ｍ−ブロモフェナシル基、ｐ−ブロモフェナシル基、ｏ−シアノフェナシル基、ｍ−シアノフェナシル基、ｐ−シアノフェナシル基、ｏ−ニトロフェナシル基、ｍ−ニトロフェナシル基、ｐ−ニトロフェナシル基、２，４−ジフルオロフェニルカルボニルメチル基、２、６−ジクロロフェニルカルボニルメチル基、２、４、６−トリブロモフェニルカルボニルメチル基、ペンタフルオロフェニルカルボニルメチル基、ｐ−（トリフルオロメチル）フェナシル基、３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニルカルボニルメチル基、ｏ−ヒドロキシフェナシル基、ｍ−ヒドロキシフェナシル基、ｐ−ヒドロキシフェナシル基、ｏ−メルカプトフェナシル基、ｍ−メルカプトフェナシル基、ｐ−メルカプトフェナシル基、ｏ−メチルスルフィニルフェナシル基、ｍ−メチルスルフィニルフェナシル基、ｐ−メチルスルフィニルフェナシル基、ｏ−メチルスルホニルフェナシル基、ｍ−メチルスルホニルフェナシル基、ｐ−メチルスルホニルフェナシル基、ｏ−アセチルフェナシル基、ｍ−アセチルフェナシル基、ｐ−アセチルフェナシル基、ｏ−ベンゾイルフェナシル基、ｍ−ベンゾイルフェナシル基、ｐ−ベンゾイルフェナシル基、ｏ−メチルフェナシル基、ｍ−メチルフェナシル基、ｐ−メチルフェナシル基、ｐ−エチルフェナシル基、ｐ−プロピルフェナシル基、ｐ−イソプロピルフェナシル基、ｐ−ｔ−ブチルフェナシル基、ｐ−オクタデシルフェナシル基、ｐ−シクロヘキシルフェナシル基、ｏ−メトキシフェナシル基、ｍ−メトキシフェナシル基、ｐ−メトキシフェナシル基、ｐ−エトキシフェナシル基、ｐ−プロポキシフェナシル基、ｐ−イソプロポキシフェナシル基、ｐ−ｔ−ブトキシフェナシル基、ｐ−オクタデシルオキシフェナシル基、ｐ−シクロヘキサンオキシフェナシル基、ｏ−メトキシカルボニルフェナシル基、ｍ−メトキシカルボニルフェナシル基、ｐ−メトキシカルボニルフェナシル基、ｐ−エトキシカルボニルフェナシル基、ｐ−プロポキシカルボニルフェナシル基、ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナシル基、ｐ−ｔ−ブトキシカルボニルフェナシル基、ｐ−オクタデシルオキシカルボニルフェナシル基、ｐ−シクロヘキサンオキシカルボニルフェナシル基、１−ナフトイルメチル基、２−ナフトイルメチル基、９−アンスロイルメチル基、１−ピレニルカルボニルメチル基、５−ナフタセニルカルボニルメチル基、６−ペンタセニルカルボニルメチル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒ¹〜Ｒ³およびＲ⁵における置換もしくは未置換のアリル基としては、２，３，３−トリフルオロ−２−プロペニル基、３，３−ジニトロ−２−プロペニル基、３，３−ビス（トリフルオロメチル）−２−プロペニル基、３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−ヘキシル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−オクタデシル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−ｔ−ブチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−シクロヘキシル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−アセチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、２−フェニル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル基、３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−メチル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−ヘキシル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−オクタデシル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−イソプロピル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−ｔ−ブチル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−シクロヘキシル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−アセチル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−ベンゾイル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−フェニル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−フェニル−３，３−ビス（ヘキシルオキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−フェニル−３，３−ビス（オクタデシルオキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−フェニル−３，３−ビス（ｔ−ブトキシカルボニル）−２−プロペニル基、２−フェニル−３，３−ビス（シクロヘキシルオキシカルボニル）−２−プロペニル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒ¹〜Ｒ³およびＲ⁵における置換もしくは未置換のアルコキシル基としては、炭素原子数１ 〜１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルコキシル基があげられ、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、オクチルオキシ基、オクタデカンオキシ基、イソプロポキシ基、ｔ−ブトキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒ¹〜Ｒ³およびＲ⁵における置換もしくは未置換のアリールオキシ基としては、炭素原子数６ 〜１８の単環、縮合多環アリールオキシ基であり、フェノキシ基、１ーナフチルオキシ基、２−ナフチルオキシ基、９−アンスリルオキシ基、９−フェナントリルオキシ基、１−ピレニルオキシ基、５−ナフタセニルオキシ基、１−インデニルオキシ基、２−アズレニルオキシ基、１−アセナフチルオキシ基、９−フルオレニルオキシ基、ｏ−トリルオキシ基、ｍ−トリルオキシ基、ｐ−トリルオキシ基、２，３−キシリルオキシ基、２，５−キシリルオキシ基、メシチルオキシ基、ｐ−クメニルオキシ基、ｐ−デシルフェノキシ基、ｐ−シクロヘキシルフェノキシ基、４−フェニルフェノキシ基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒ¹〜Ｒ³およびＲ⁵における置換もしくは未置換の複素環オキシ基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜１８の単環または縮合多環状の複素環オキシ基が挙げられ、具体例としては、２−フラニルオキシ基、２−チエニルオキシ基、２−インドリルオキシ基、３−インドリルオキシ基、２−ベンゾフリルオキシ基、２−ベンゾチエニルオキシ基、２−カルバゾリルオキシ基、３−カルバゾリルオキシ基、４−カルバゾリルオキシ基、９−アクリジニルオキシ基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、複素環基と酸素原子が上記以外の位置で結合していてもよく、それらも本発明のＲ¹で表記される置換基の範疇に含まれる。

置換基Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁵およびＲにおけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。
置換基Ｒにおける置換もしくは未置換のカルバモイル基としては、炭素原子数１〜３０のカルバモイル基が挙げられ、具体例としては、Ｎ−メチルカルバモイル基、Ｎ−エチルカルバモイル基、Ｎ−プロピルカルバモイル基、Ｎ−ブチルカルバモイル基、Ｎ−ヘキシルカルバモイル基、Ｎ−シクロヘキシルカルバモイル基、Ｎ−オクチルカルバモイル基、Ｎ−デシルカルバモイル基、Ｎ−オクタデシルカルバモイル基、Ｎ−フェニルカルバモイル基、Ｎ−２−メチルフェニルカルバモイル基、Ｎ−２−クロロフェニルカルバモイル基、Ｎ−２−イソプロポキシフェニルカルバモイル基、Ｎ−２−(２−エチルヘキシル)フェニルカルバモイル基、Ｎ−３−クロロフェニルカルバモイル基、Ｎ−３−ニトロフェニルカルバモイル基、Ｎ−３−シアノフェニルカルバモイル基、Ｎ−４−メトキシフェニルカルバモイル基、Ｎ−４−シアノフェニルカルバモイル基、Ｎ−４−メチルスルファニルフェニルカルバモイル基、Ｎ−４−フェニルスルファニルフェニルカルバモイル基、Ｎ−メチル−Ｎ−フェニルカルバモイル基、Ｎ、Ｎ−ジメチルカルバモイル基、Ｎ、Ｎ−ジブチルカルバモイル基、Ｎ、Ｎ−ジフェニルカルバモイル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁵〜Ｒ⁸およびＲにおける置換もしくは未置換のアルキル基としては、炭素原子数１ 〜１８の置換もしくは未置換の直鎖状、分岐鎖状、環状アルキル基が挙げられ、具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、オクタデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、４−デシルシクロヘキシル基、フルオロメチル基、クロロメチル基、ブロモメチル基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリブロモメチル基、ヒドロキシメチル基、カルボキシメチル基、メルカプトメチル基、シアノメチル基、ニトロメチル基、アジドメチル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁵、Ｒ、Ａｒ⁴、Ａｒ⁵およびＡｒ⁶における置換もしくは未置換のアリール基としては、炭素原子数６ 〜１８の単環、縮合多環アリール基が挙げられ、具体例としては、フェニル基、ビフェニル基、ターフェニル基、１−ナフチル基、２−ナフチル基、９−アンスリル基、９−フェナントリル基、１−ピレニル基、５−ナフタセニル基、１−インデニル基、２−アズレニル基、１−アセナフチル基、９−フルオレニル基、ｏ−トリル基、ｍ−トリル基、ｐ−トリル基、２，３−キシリル基、２，５−キシリル基、メシチル基、ｐ−クメニル基、ｐ−ドデシルフェニル基、ｐ−シクロヘキシルフェニル基、４−ビフェニル基、ｏ−フルオロフェニル基、ｍ−クロロフェニル基、ｐ−ブロモフェニル基、ｐ−ヒドロキシフェニル基、ｍ−カルボキシフェニル基、ｏ−メルカプトフェニル基、ｐ−シアノフェニル基、ｍ−ニトロフェニル基、ｍ−アジドフェニル基等を挙げることができるがこれらに限定されるものではなく、また、一般式(７)〜一般式(８)、一般式(１６)〜一般式(１７)の硫黄原子、一般式(９)のリン原子、一般式(１０)〜一般式(１３)の炭素原子、一般式(１５)のヨウ素原子と共有結合を形成することのできる置換位置であればどの置換位置で結合していても良く、それらも本発明のＲ²、Ｒ³、Ｒ⁵、Ｒ、Ａｒ⁴、Ａｒ⁵およびＡｒ⁶で表記される置換基の範疇に含まれる。

置換基Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁵、Ｒ、Ａｒ⁴、Ａｒ⁵およびＡｒ⁶における置換もしくは未置換の複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜２４の芳香族あるいは脂肪族の複素環基が挙げられ、２−チエニル基、２−ベンゾチエニル基、ナフト［２，３−ｂ］チエニル基、３−チアントレニル基、２−チアンスレニル基、２−フリル基、２−ベンゾフリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、２Ｈ−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、３Ｈ−インドリル基、２−インドリル基、３−インドリル基、１Ｈ−インダゾリル基、プリニル基、４Ｈ−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサニリル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、４ａＨ−カルバゾリル基、２−カルバゾリル基、３−カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、２−アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、３−フェニキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、チオキサントリル基、４−キノリニル基、４−イソキノリル基、３−フェノチアジニル基、２−フェノキサチイニル基、３−クマリニル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、また、一般式(７)〜一般式(８)、一般式(１６)〜一般式(１７)の硫黄原子、一般式(９)のリン原子、一般式(１０)〜一般式(１３)の炭素原子、一般式(１５)のヨウ素原子と共有結合を形成することのできる置換位置であればどの置換位置で結合していても良く、それらも本発明のＲ²、Ｒ³、Ｒ⁵、Ｒ、Ａｒ⁴、Ａｒ⁵およびＡｒ⁶で表記される置換基の範疇に含まれる。

置換基ＲおよびＲ⁶における置換もしくは未置換のアルキルチオ基としては、炭素原子数１ 〜１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルキルチオ基が挙げられ、具体例としては、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、デシルチオ基、ドデシルチオ基、オクタデシルチオ基、イソプロピルチオ基、イソブチルチオ基、ｓｅｃ−ブチルチオ基、ｔ−ブチルチオ基、シクロペンチルチオ基、シクロヘキシルチオ基、４−デシルシクロヘキシルチオ基、フルオロメチルチオ基、クロロメチルチオ基、ブロモメチルチオ基、トリフルオロメチルチオ基、トリクロロメチルチオ基、トリブロモメチルチオ基、ヒドロキシメチルチオ基、カルボキシメチルチオ基、メルカプトメチルチオ基、シアノメチルチオ基、ニトロメチルチオ基、アジドメチルチオ基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒにおける置換もしくは未置換のアリールチオ基としては、炭素原子数４〜１８の単環または縮合多環アリールチオ基が挙げられ、具体例としては、フェニルチオ基、１−ナフチルチオ基、２−ナフチルチオ基、９−アンスリルチオ基、９−フェナントリルチオ基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、アリール基と硫黄原子は上記以外の位置で結合していても良く、それらも本発明のＲで表記される置換基の範疇に含まれる。

置換基Ｒにおける置換もしくは未置換の複素環チオ基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜１８の単環または縮合多環複素環チオ基が挙げられ、具体例としては、２−フリルチオ基、２−チエニルチオ基、２−ピロリルチオ基、６−インドリルチオ基、２−ベンゾフリルチオ基、２−ベンゾチエニルチオ基、２−カルバゾリルチオ基、３−カルバゾリルチオ基、４−カルバゾリルチオ基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、複素環基と硫黄原子は上記以外の位置で結合していても良く、それらも本発明のＲで表記される置換基の範疇に含まれる。

置換基Ｒ⁷、Ｒ⁸およびＲにおける置換もしくは未置換のアルコキシル基としては、炭素原子数１〜１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルコキシル基が挙げられ、具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、オクチルオキシ基、オクタデカンオキシ基、イソプロポキシ基、ｔ−ブトキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、フルオロメトキシ基、クロロメトキシ基、ブロモメトキシ基、トリフルオロメトキシ基、トリクロロメトキシ基、トリブロモメトキシ基、ヒドロキシメトキシ基、カルボキシメトキシ基、メルカプトメトキシ基、シアノメトキシ基、ニトロメトキシ基、アジドメトキシ基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒにおける置換もしくは未置換のアリールオキシ基としては、炭素原子数４〜１８の単環または縮合多環アリールオキシ基が挙げられ、具体例としては、フェノキシ基、１ーナフチルオキシ基、２−ナフチルオキシ基、９−アンスリルオキシ基、９−フェナントリルオキシ基、１−ピレニルオキシ基、５−ナフタセニルオキシ基、１−インデニルオキシ基、２−アズレニルオキシ基、１−アセナフチルオキシ基、９−フルオレニルオキシ基、ｏ−トリルオキシ基、ｍ−トリルオキシ基、ｐ−トリルオキシ基、２，３−キシリルオキシ基、２，５−キシリルオキシ基、メシチルオキシ基、ｐ−クメニルオキシ基、ｐ−デシルフェノキシ基、ｐ−シクロヘキシルフェノキシ基、４−ビフェノキシ基、ｏ−フルオロフェノキシ基、ｍ−クロロフェノキシ基、ｐ−ブロモフェノキシ基、ｐ−ヒドロキシフェノキシ基、ｍ−カルボキシフェノキシ基、ｏ−メルカプトフェノキシ基、ｐ−シアノフェノキシ基、ｍ−ニトロフェノキシ基、ｍ−アジドフェノキシ基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、アリール基と酸素原子が上記以外の位置で結合していても良く、それらも本発明のＲで表記される置換基の範疇に含まれる。

置換基Ｒにおける置換もしくは未置換の複素環オキシ基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜１８の単環または縮合多環状の複素環オキシ基が挙げられ、具体例としては、２−フラニルオキシ基、２−チエニルオキシ基、２−インドリルオキシ基、３−インドリルオキシ基、２−ベンゾフリルオキシ基、２−ベンゾチエニルオキシ基、２−カルバゾリルオキシ基、３−カルバゾリルオキシ基、４−カルバゾリルオキシ基、９−アクリジニルオキシ基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、複素環基と酸素原子が上記以外の位置で結合していても良く、それらも本発明のＲで表記される置換基の範疇に含まれる。

置換基Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁵およびＲにおける置換もしくは未置換のアルケニル基としては、炭素原子数２ 〜１８の直鎖状、分岐鎖状、環状アルケニル基が挙げられ、具体例としては、ビニル基、１−プロペニル基、２−プロペニル基、１−オクテニル基、１−オクタデセニル基、イソプロペニル基、１−シクロヘキセニル基、トリフルオロエテニル基、１−クロロエテニル基、２，２−ジブロモエテニル基、４−ヒドロキシ−１−ブテニル基、１−カルボキシエテニル基、５−メルカプト−１−ヘキセニル基、１−シアノエテニル基、３−ニトロ−１−プロペニル基、４−アジド−２−ブテニル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒにおける置換もしくは未置換のアリールアルキル基としては、炭素原子数７ 〜１８の単環、縮合多環アリールアルキル基が挙げられ、具体例としては、ベンジル基、ｐ−トリルメチル基、２−ナフチルメチル基、９−アンスリルメチル基、４−（９−アンスリル）ブチル基、ｏ−フルオロベンジル基、ｍ−クロロベンジル基、ｐ−ブロモベンジル基、ｐ−ヒドロキシベンジル基、ｍ−カルボキシベンジル基、ｏ−メルカプトベンジル基、ｐ−シアノベンジル基、ｍ−ニトロベンジル基、ｍ−アジドベンジル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

置換基Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁵およびＲにおける置換もしくは未置換のアシル基としては、水素原子または炭素原子数１〜１８の直鎖状、分岐鎖状、単環状または縮合多環状の脂肪族基が結合したカルボニル基、炭素原子数６〜１８の単環状あるいは縮合多環状アリール基が結合したカルボニル基、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜１８の単環または縮合多環状の複素環基が結合したカルボニル基が挙げられ、具体例としては、ホルミル基、アセチル基、プロピオニル基、ブチリル基、イソブチリル基、バレリル基、イソバレリル基、ピバロイル基、ラウロイル基、ミリストイル基、パルミトイル基、ステアロイル基、シクロペンチルカルボニル基、シクロヘキシルカルボニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、クロトノイル基、イソクロトノイル基、オレオイル基、シンナモイル基ベンゾイル基、１−ナフトイル基、２−ナフトイル基、９−アンスリルカルボニル基、３−フロイル基、２−テノイル基、ニコチノイル基、イソニコチノイル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、アリール基とカルボニル基、複素環基とカルボニル基は、それぞれ上記以外の位置で結合していても良く、それらも本発明のＲ²、Ｒ³、Ｒ⁵、およびＲで表記される置換基の範疇に含まれる。

置換基Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁵、およびＲにおける置換もしくは未置換のカルボニルオキシ基としては、水素原子または炭素原子数１〜１８の直鎖状、分岐鎖状、単環状または縮合多環状の脂肪族基が結合したカルボニルオキシ基、あるいは、炭素原子数６〜１８の単環状あるいは縮合アリール基が結合したカルボニルオキシ基、あるいは、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜１８の単環または縮合多環状の複素環基が結合したカルボニルオキシ基が挙げられ、具体例としては、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、イソブチリルオキシ基、バレリルオキシ基、イソバレリルオキシ基、ピバロイルオキシ基、ラウロイルオキシ基、ミリストイルオキシ基、パルミトイルオキシ基、ステアロイルオキシ基、シクロペンチルカルボニルオキシ基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、クロトノイルオキシ基、イソクロトノイルオキシ基、オレオイルオキシ基、ベンゾイルオキシ基、１−ナフトイルオキシ基、２−ナフトイルオキシ基、シンナモイルオキシ基、３−フロイルオキシ基、２−テノイルオキシ基、ニコチノイルオキシ基、イソニコチノイルオキシ基、９−アンスロイルオキシ基、５−ナフタセノイルオキシ基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、アリール基とカルボニルオキシ基、複素環基とカルボニルオキシ基は、それぞれ上記以外の位置で結合していても良く、それらも本発明のＲ²、Ｒ³、Ｒ⁵、およびＲで表記される置換基の範疇に含まれる。

置換基Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁵、およびＲにおける置換もしくは未置換のオキシカルボニル基としては、炭素原子数１〜１２の炭酸エステル基または、炭素原子数７ 〜１９の単環、縮合多環アリールオキシカルボニル基が挙げられ、具体例としてはｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ基、ｔｅｒｔ−ペンチルオキシカルボニルオキシ基、１，１−ジエチルプロピルオキシカルボニルオキシ基、１−エチル−２−シクロペンテニルオキシカルボニルオキシ基、２−テトラヒドロピラニルオキシカルボニルオキシ基、１−エチルシクロペンチルオキシカルボニルオキシ基、フェノキシカルボニル基、１ーナフチルオキシカルボニル基、２−ナフチルオキシカルボニル基、９−アンスリルオキシカルボニル基、９−フェナントリルオキシカルボニル基、１−ピレニルオキシカルボニル基、５−ナフタセニルオキシカルボニル基、１−インデニルオキシカルボニル基、２−アズレニルオキシカルボニル基、１−アセナフチルオキシカルボニル基、９−フルオレニルオキシカルボニル基、ｏ−トリルオキシカルボニル基、ｍ−トリルオキシカルボニル基、ｐ−トリルオキシカルボニル基、２，３−キシリルオキシカルボニル基、２，５−キシリルオキシカルボニル基、メシチルオキシカルボニル基、ｐ−クメニルオキシカルボニル基、ｐ−シクロヘキシルフェノキシカルボニル基、４−フェニルフェノキシカルボニル基、ｏ−フルオロフェノキシカルボニル基、ｍ−クロロフェノキシカルボニル基、ｐ−ブロモフェノキシカルボニル基、ｐ−ヒドロキシフェノキシカルボニル基、ｍ−カルボキシフェノキシカルボニル基、ｏ−メルカプトフェノキシカルボニル基、ｐ−シアノフェノキシカルボニル基、ｍ−ニトロフェノキシカルボニル基、ｍ−アジドフェノキシカルボニル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

さらに隣接したＲ同士、Ａｒ⁴とＡｒ⁵、Ａｒ⁴とＡｒ⁶、Ａｒ⁵とＡｒ⁶、Ｒ²とＲ³、Ｒ²とＲ⁵、Ｒ³とＲ⁵、もしくはＲ¹とＲ²、Ｒ¹とＲ³、Ｒ¹とＲ⁵、Ｒ¹とＲ、Ｒ¹とＲ⁶は、相互に結合した環状構造であっても良い。

上述した置換基Ｒ¹〜Ｒ⁸、Ｒ、Ａｒ⁴、Ａｒ⁵、およびＡｒ⁶は、さらに他の置換基で置換されていても良く、そのような他の置換基としては、ヒドロキシル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、複素環基、アシル基、アルコキシル基、アリールオキシ基、複素環オキシ基、アシルオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、複素環チオ基、アミノ基、アルキルアミノ基、ジアルキルアミノ基、アリールアミノ基、ジアリールアミノ基、アルキルアリールアミノ基、ベンジルアミノ基、ジベンジルアミノ基等が挙げられる。

ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。

アルキル基としては炭素原子数１〜１８の直鎖状、分岐鎖状、単環状または縮合多環状アルキル基が挙げられ、具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ドデシル基、オクタデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ネオペンチル基、シクロプロピル基、シクロブチル、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、アダマンチル基、ノルボルニル基、ボロニル基、４−デシルシクロヘキシル基等が挙げられる。

アリール基としては、炭素原子数６〜１８の単環または縮合多環アリール基が挙げられ、具体例としては、フェニル基、１ーナフチル基、２−ナフチル基、９−アンスリル基、９−フェナントリル基、１−ピレニル基、５−ナフタセニル基、１−インデニル基、２−アズレニル基、１−アセナフチル基、９−フルオレニル基等が挙げられる。

複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜１８の単環または縮合多環複素環基が挙げられ、具体例としては、２−フラニル基、２−チエニル基、２−インドリル基、３−インドリル基、２−ベンゾフリル基、２−ベンゾチエニル基、２−カルバゾリル基、３−カルバゾリル基、４−カルバゾリル基、９−アクリジニル基等が挙げられる。

アシル基としては、水素原子または炭素原子数１〜１８の直鎖状、分岐鎖状、単環状または縮合多環状の脂肪族が結合したカルボニル基、あるいは、炭素原子数６〜１８の単環状あるいは縮合多環状アリール基が結合したカルボニル基、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜１８の単環状あるいは縮合多環状複素環基が結合したカルボニル基が挙げられ、それらは構造中に不飽和結合を有していてもよく、具体例としては、ホルミル基、アセチル基、プロピオニル基、ブチリル基、イソブチリル基、バレリル基、イソバレリル基、ピバロイル基、ラウロイル基、ミリストイル基、パルミトイル基、ステアロイル基、シクロペンチルカルボニル基、シクロヘキシルカルボニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、クロトノイル基、イソクロトノイル基、オレオイル基、ベンゾイル基、２−メチルベンゾイル基、４−メトキシベンゾイル基、１−ナフトイル基、２−ナフトイル基、シンナモイル基、３−フロイル基、２−テノイル基、ニコチノイル基、イソニコチノイル基、９−アンスロイル基、５−ナフタセノイル基等が挙げられる。

アルコキシル基としては、炭素原子数１〜１８の直鎖状、分岐鎖状、単環状あるいは縮合多環状アルコキシル基があげられ、具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、ドデシルオキシ基、オクタデシルオキシ基、イソプロポキシ基、イソブトキシ基、イソペンチルオキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシ基、ｓｅｃ−ペンチルオキシ基、ｔ−ペンチルオキシ基、ｔ−オクチルオキシ基、ネオペンチルオキシ基、シクロプロピルオキシ基、シクロブチルオキシ基、シクロペンチルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、アダマンチルオキシ基、ノルボルニルオキシ基、ボロニルオキシ基、４−デシルシクロヘキシルオキシ基、２−テトラヒドロフラニルオキシ基、２−テトラヒドロフラニルオキシ基等が挙げられる。

アリールオキシ基としては、炭素原子数６〜１８の単環状または縮合多環状アリールオキシ基が挙げられ、具体例としては、フェノキシ基、１ーナフチルオキシ基、２−ナフチルオキシ基、９−アンスリルオキシ基、９−フェナントリルオキシ基、１−ピレニルオキシ基、５−ナフタセニルオキシ基、１−インデニルオキシ基、２−アズレニルオキシ基、１−アセナフチルオキシ基、９−フルオレニルオキシ基等が挙げられる。

複素環オキシ基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜１８の単環状または縮合多環状複素環オキシ基が挙げられ、具体例としては、２−フラニルオキシ基、２−チエニルオキシ基、２−インドリルオキシ基、３−インドリルオキシ基、２−ベンゾフリルオキシ基、２−ベンゾチエニルオキシ基、２−カルバゾリルオキシ基、３−カルバゾリルオキシ基、４−カルバゾリルオキシ基、９−アクリジニルオキシ基等が挙げられる。

アシルオキシ基としては、水素原子または炭素原子数１〜１８の直鎖状、分岐鎖状、単環状または縮合多環状の脂肪族が結合したカルボニルオキシ基、あるいは、炭素原子数６〜１８の単環状または縮合多環状アリール基が結合したカルボニルオキシ基、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜１８の単環状または縮合多環状複素環基が結合したカルボニルオキシ基が挙げられ、具体例としては、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ブチリルオキシ基、イソブチリルオキシ基、バレリルオキシ基、イソバレリルオキシ基、ピバロイルオキシ基、ラウロイルオキシ基、ミリストイルオキシ基、パルミトイルオキシ基、ステアロイルオキシ基、シクロペンチルカルボニルオキシ基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、クロトノイルオキシ基、イソクロトノイルオキシ基、オレオイルオキシ基、ベンゾイルオキシ基、１−ナフトイルオキシ基、２−ナフトイルオキシ基、シンナモイルオキシ基、３−フロイルオキシ基、２−テノイルオキシ基、ニコチノイルオキシ基、イソニコチノイルオキシ基、９−アンスロイルオキシ基、５−ナフタセノイルオキシ基等が挙げられる。

アルキルチオ基としては、炭素原子数１〜１８の直鎖状、分岐鎖状、単環状または縮合多環状アルキルチオ基が挙げられ、具体例としては、メチルチオ基、エチルチオ基、プロピルチオ基、ブチルチオ基、ペンチルチオ基、ヘキシルチオ基、オクチルチオ基、デシルチオ基、ドデシルチオ基、オクタデシルチオ基等が挙げられる。

アリールチオ基としては、炭素原子数６〜１８の単環状または縮合多環状アリールチオ基が挙げられ、具体例としては、フェニルチオ基、１−ナフチルチオ基、２−ナフチルチオ基、９−アンスリルチオ基、９−フェナントリルチオ基等が挙げられる。

複素環チオ基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜１８の単環状または縮合多環状複素環チオ基が挙げられ、具体例としては、２−フリルチオ基、２−チエニルチオ基、２−ピロリルチオ基、６−インドリルチオ基、２−ベンゾフリルチオ基、２−ベンゾチエニルチオ基、２−カルバゾリルチオ基、３−カルバゾリルチオ基、４−カルバゾリルチオ基等が挙げられる。

アルキルアミノ基としては、メチルアミノ基、エチルアミノ基、プロピルアミノ基、ブチルアミノ基、ペンチルアミノ基、ヘキシルアミノ基、ヘプチルアミノ基、オクチルアミノ基、ノニルアミノ基、デシルアミノ基、ドデシルアミノ基、オクタデシルアミノ基、イソプロピルアミノ基、イソブチルアミノ基、イソペンチルアミノ基、ｓｅｃ−ブチルアミノ基、ｔｅｒｔ−ブチルアミノ基、ｓｅｃ−ペンチルアミノ基、ｔｅｒｔ−ペンチルアミノ基、ｔｅｒｔ−オクチルアミノ基、ネオペンチルアミノ基、シクロプロピルアミノ基、シクロブチルアミノ基、シクロペンチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基、シクロヘプチルアミノ基、シクロオクチルアミノ基、シクロドデシルアミノ基、１−アダマンタミノ基、２−アダマンタミノ基等が挙げられる。

ジアルキルアミノ基としては、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、ジプロピルアミノ基、ジブチルアミノ基、ジペンチルアミノ基、ジヘキシルアミノ基、ジヘプチルアミノ基、ジオクチルアミノ基、ジノニルアミノ基、ジデシルアミノ基、ジドデシルアミノ基、ジオクタデシルアミノ基、ジイソプロピルアミノ基、ジイソブチルアミノ基、ジイソペンチルアミノ基、メチルエチルアミノ基、メチルプロピルアミノ基、メチルブチルアミノ基、メチルイソブチルアミノ基、シクロプロピルアミノ基、ピロリジノ基、ピペリジノ基、ピペラジノ基等が挙げられる。

アリールアミノ基としては、アニリノ基、１−ナフチルアミノ基、２−ナフチルアミノ基、ｏ−トルイジノ基、ｍ−トルイジノ基、ｐ−トルイジノ基、２−ビフェニルアミノ基、３−ビフェニルアミノ基、４−ビフェニルアミノ基、１−フルオレンアミノ基、２−フルオレンアミノ基、２−チアゾールアミノ基、ｐ−ターフェニルアミノ基等が挙げられる。

ジアリールアミノ基としては、ジフェニルアミノ基、ジトリルアミノ基、Ｎ−フェニル−１−ナフチルアミノ基、Ｎ−フェニル−２−ナフチルアミノ基等が挙げられる。

アルキルアリールアミノ基としては、Ｎ−メチルアニリノ基、Ｎ−メチル−２−ピリジノ基、Ｎ−エチルアニリノ基、Ｎ−プロピルアニリノ基、Ｎ−ブチルアニリノ基、Ｎ−イソプロピル、Ｎ−ペンチルアニリノ基、Ｎ−エチルアニリノ基、Ｎ−メチル−１−ナフチルアミノ基等が挙げられる。

さらに、上述した、置換基Ｒ¹〜Ｒ⁸、Ｒ、Ａｒ⁴、Ａｒ⁵、およびＡｒ⁶の水素原子は、さらに他の置換基で置換されていてもよく、そのような置換基としては、例えばフッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等のハロゲン基、メトキシ基、エトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基等のアルコキシ基、フェノキシ基、ｐ−トリルオキシ基等のアリールオキシ基、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基等のアルコキシカルボニル基、アセトキシ基、プロピオニルオキシ基、ベンゾイルオキシ基等のアシルオキシ基、アセチル基、ベンゾイル基、イソブチリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、メトキサリル基等のアシル基、メチルスルファニル基、ｔｅｒｔ−ブチルスルファニル基等のアルキルスルファニル基、フェニルスルファニル基、ｐ−トリルスルファニル基等のアリールスルファニル基、メチルアミノ基、シクロヘキシルアミノ基等のアルキルアミノ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、モルホリノ基、ピペリジノ基等のジアルキルアミノ基、フェニルアミノ基、ｐ−トリルアミノ基等のアリールアミノ基、メチル基、エチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ドデシル基等のアルキル基、フェニル基、ｐ−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基等のアリール基、フリル基、チエニル基等の複素環基等の他、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ホルミル基、メルカプト基、スルホ基、メシル基、ｐ−トルエンスルホニル基、アミノ基、ニトロ基、シアノ基、トリフルオロメチル基、トリクロロメチル基、トリメチルシリル基、ホスフィニコ基、ホスホノ基、トリメチルアンモニウミル基、ジメチルスルホニウミル基、トリフェニルフェナシルホスホニウミル基等が挙げられる。

以下に、本発明の感エネルギー線酸発生剤(Ａ)の一般式(７)〜一般式(１７)で表されるオニウムカチオンの構造の具体例を挙げる。

一般式(７)に該当するオニウムカチオン（スルホニウムカチオン）：
ベンジルスルホニウムカチオンの例：
ジメチル（ベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−フルオロベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｍ−クロロベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−シアノベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｍ−ニトロベンジル）スルホニウム、ジメチル（２，４，６−トリブロモフェニルメチル）スルホニウム、ジメチル（ペンタフルオロフェニルメチル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）ベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−ヒドロキシベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メルカプトベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メチルスルフィニルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−アセチルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−ベンゾイルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メチルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−イソプロピルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−オクタデシルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−シクロヘキシルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メトキシベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−メトキシカルボニルベンジル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−フェニルスルファニルベンジル）スルホニウム、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−４−イルメチル）ジメチルスルホニウム、（４−メトキシナフタレン−１−イル）ジメチルスルホニウム、ジメチル（ｐ−イソプロポキシカルボニルベンジル）スルホニウム、ジメチル（２−ナフチルメチル）スルホニウム、ジメチル（９−アンスリルメチル）スルホニウム、ジエチル（ベンジル）スルホニウム、メチルエチル（ベンジル）スルホニウム、メチルフェニル（ベンジル）スルホニウム、ジフェニル（ベンジル）スルホニウム、ジイソプロピル（ベンジル）スルホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルスルホニウムカチオンの例：
ジメチル（フェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−フルオロフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｍ−クロロフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−ブロモフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−シアノフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｍ−ニトロフェナシル）スルホニウム、ジメチル（２，４，６−トリブロモフェニルメチル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）フェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−ヒドロキシフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メルカプトフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メチルスルフィニルフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−アセチルフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−ベンゾイルフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メチルフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−イソプロピルフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−オクタデシルフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−シクロヘキシルフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−メトキシフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｏ−メトキシカルボニルフェナシル）スルホニウム、ジメチル（ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナシル）スルホニウム、〔２−（４−メトキシ−ナフタレン−１−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホニウム、ジメチル（１−ナフトイルメチル）スルホニウム、〔２−オキソ−２−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−エチル〕−ジメチルスルホニウム、〔２−（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホニウム、〔２−（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホニウム、ジメチル（２−ナフトイルメチル）スルホニウム、ジメチル（９−アンスロイルメチル）スルホニウム、ジエチル（フェナシル）スルホニウム、メチルエチル（フェナシル）スルホニウム、メチルフェニル（フェナシル）スルホニウム、ジフェニル（フェナシル）スルホニウム、ジイソプロピル（フェナシル）スルホニウム、テトラメチレン（フェナシル）スルホニウム、ペンタメチレン（フェナシル）スルホニウム、ヘキサメチレン（フェナシル）スルホニウム、エチレンジオキシ（フェナシル）スルホニウム、ジエチレンジオキシ（フェナシル）スルホニウム、エチレンジチオ（フェナシル）スルホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルスルホニウムカチオンの例：
ジメチル（アリル）スルホニウム、ジメチル（２，３，３−トリフルオロ−２−プロペニル）スルホニウム、ジメチル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウム、ジメチル（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウム、ジメチル（２−アセチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウム、ジメチル（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウム、ジメチル（２−フェニル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウム、ジメチル（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）スルホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アルコキシスルホニウムカチオンの例：
ジメチル（メトキシ）スルホニウム、ジメチル（エトキシ）スルホニウム、ジメチル（プロポキシ）スルホニウム、ジメチル（ブトキシ）スルホニウム、ジメチル（オクチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（オクタデカンオキシ）スルホニウム、ジメチル（イソプロポキシ）スルホニウム、ジメチル（ｔ−ブトキシ）スルホニウム、ジメチル（シクロペンチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（シクロヘキシルオキシ）スルホニウム、ジメチル（フルオロメトキシ）スルホニウム、ジメチル（２−クロロエトキシ）スルホニウム、ジメチル（３−ブロモプロポキシ）スルホニウム、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホニウム、ジメチル（８−ニトロオクチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（１８−トリフルオロメチルオクタデカンオキシ）スルホニウム、ジメチル（２−ヒドロキシイソプロポキシ）スルホニウム、ジメチル（トリス（トリクロロメチル）メチル）スルホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリールオキシスルホニウムカチオンの例：
ジメチル（フェノキシ）スルホニウム、ジメチル（１ーナフチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（２−ナフチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（９−アンスリルオキシ）スルホニウム、ジメチル（９−フェナントリルオキシ）スルホニウム、ジメチル（ｐ−トリルオキシ）スルホニウム、ジメチル（２，３−キシリルオキシ）スルホニウム、ジメチル（ｏ−フルオロフェノキシ）スルホニウム、ジメチル（ｍ−クロロフェノキシ）スルホニウム、ジメチル（ｐ−ブロモフェノキシ）スルホニウム、ジメチル（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）スルホニウム、ジメチル（ｍ−カルボキシフェノキシ）スルホニウム、ジメチル（ｏ−メルカプトフェノキシ）スルホニウム、ジメチル（ｐ−シアノフェノキシ）スルホニウム、ジメチル（ｍ−ニトロフェノキシ）スルホニウム、ジメチル（ｍ−アジドフェノキシ）スルホニウム、ジメチル（４−フェニルスルファニル−フェノキシ）スルホニウム、ジメチル（２−クロロ−１−ナフチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（４−メトキシ−１−ナフチルオキシ）スルホニウム、ジメチル（１１−ニトロ−５−ナフタセニル）スルホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(８)に該当するオニウムカチオン（スルホキソニウムカチオン）：
ベンジルスルホキソニウムカチオンの例：
ジメチル（ベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−シアノベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｍ−ニトロベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ペンタフルオロフェニルメチル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−ヒドロキシベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｏ−アセチルベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｏ−ベンゾイルベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−イソプロピルベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−メトキシベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｏ−メトキシカルボニルベンジル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−フェニルスルファニルベンジル）スルホキソニウム、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−４−イルメチル）ジメチルスルホキソニウム、（４−メトキシナフタレン−１−イル）ジメチルスルホキソニウム、ジメチル（２−ナフチルメチル）スルホキソニウム、ジメチル（９−アンスリルメチル）スルホキソニウム、ジエチル（ベンジル）スルホキソニウム、メチルエチル（ベンジル）スルホキソニウム、メチルフェニル（ベンジル）スルホキソニウム、ジフェニル（ベンジル）スルホキソニウム、ジイソプロピル（ベンジル）スルホキソニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルスルホキソニウムカチオンの例：
ジメチル（フェナシル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−ブロモフェナシル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−シアノフェナシル）スルホキソニウム、ジメチル（ｍ−ニトロフェナシル）スルホキソニウム、ジメチル（２、４、６−トリブロモフェニルメチル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−ヒドロキシフェナシル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−メルカプトフェナシル）スルホキソニウム、ジメチル（ｏ−ベンゾイルフェナシル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−メチルフェナシル）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−メトキシフェナシル）スルホキソニウム、ジメチル（ｏ−メトキシカルボニルフェナシル）スルホキソニウム、〔２−（４−メトキシ−ナフタレン−１−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホキソニウム、ジメチル（１−ナフトイルメチル）スルホキソニウム、〔２−オキソ−２−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−エチル〕−ジメチルスルホキソニウム、〔２−（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホキソニウム、〔２−（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホキソニウム、ジメチル（２−ナフチルメチル）スルホキソニウム、ジメチル（９−アンスリルメチル）スルホキソニウム、ジエチル（フェナシル）スルホキソニウム、メチルエチル（フェナシル）スルホキソニウム、メチルフェニル（フェナシル）スルホキソニウム、ジフェニル（フェナシル）スルホキソニウム、ジイソプロピル（フェナシル）スルホキソニウム、テトラメチレン（フェナシル）スルホキソニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルスルホキソニウムカチオンの例：
ジメチル（アリル）スルホキソニウム、ジメチル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウム、ジメチル（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウム、ジメチル（２−フェニル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウム、ジメチル（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）スルホキソニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アルコキシスルホキソニウムカチオンの例：
ジメチル（エトキシ）スルホキソニウム、ジメチル（プロポキシ）スルホキソニウム、ジメチル（オクチルオキシ）スルホキソニウム、ジメチル（イソプロポキシ）スルホキソニウム、ジメチル（シクロヘキシルオキシ）スルホキソニウム、ジメチル（２−クロロエトキシ）スルホキソニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリールオキシスルホキソニウムカチオンの例：
ジメチル（フェノキシ）スルホキソニウム、ジメチル（２−ナフチルオキシ）スルホキソニウム、ジメチル（９−アンスリルオキシ）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−トリルオキシ）スルホキソニウム、ジメチル（ｍ−クロロフェノキシ）スルホキソニウム、ジメチル（４−フェニルスルファニル−フェノキシ）スルホキソニウム、ジメチル（ｍ−カルボキシフェノキシ）スルホキソニウム、ジメチル（ｐ−シアノフェノキシ）スルホキソニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(９)に該当するオニウムカチオン（ホスホニウムカチオン）：
ベンジルホスホニウムカチオンの例：
トリメチルベンジルホスホニウム、トリエチルベンジルホスホニウム、トリフェニルベンジルホスホニウム、トリフェニル（ｐ−フルオロベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（ｏ−クロロベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（ｍ−ブロモベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−シアノベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（ｍ−ニトロベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−フェニルスルファニルベンジル）ホスホニウム、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−４−イルメチル）トリフェニルホスホニウム、トリフェニル（ｏ−ヒドロキシベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（ｏ−アセチルベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（ｍ−ベンゾイルベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−メチルベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−イソプロポキシベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（ｏ−メトキシカルボニルベンジル）ホスホニウム、トリフェニル（１−ナフチルメチル）ホスホニウム、トリフェニル（９−アンスリルメチル）ホスホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルホスホニウムカチオンの例：
トリメチルフェナシルホスホニウム、トリエチルフェナシルホスホニウム、トリフェニルフェナシルホスホニウム、トリフェニル（ｐ−フルオロフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（ｏ−クロロフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（ｍ−ブロモフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−シアノフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（ｍ−ニトロフェナシル）ホスホニウム、〔２−（４−メトキシ−ナフタレン−１−イル）−２−オキソ−エチル〕−トリメチルホスホニウム、トリフェニル（１−ナフトイルメチル）ホスホニウム、〔２−オキソ−２−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−エチル〕−トリメチルホスホニウム、〔２−（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）２−オキソ−エチル〕−トリエチルホスホニウム、〔２−（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−２−オキソ−エチル〕−トリフェニルホスホニウム、トリフェニル（ｏ−ヒドロキシフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（ｏ−アセチルフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（ｍ−ベンゾイルフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−メチルフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−イソプロポキシフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（ｏ−メトキシカルボニルフェナシル）ホスホニウム、トリフェニル（９−アンスロイルメチル）ホスホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルホスホニウムカチオンの例：
トリフェニルアリルホスホニウム、トリフェニル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウム、トリフェニル（２−ヘキシル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウム、トリフェニル（２−アセチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウム、トリフェニル（２−フェニル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アルコキシホスホニウムカチオンの例：
トリフェニルメトキシホスホニウム、トリフェニルブトキシホスホニウム、トリフェニルオクタデシルオキシホスホニウム、トリフェニルイソプロポキシホスホニウム、トリフェニル（２−クロロエトキシ）ホスホニウム、トリフェニル（４−シアノブトキシ）ホスホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリールオキシホスホニウムカチオンの例：
トリフェニルフェノキシホスホニウム、トリフェニル（１−ナフチルオキシ）ホスホニウム、トリフェニル（２−ナフチルオキシ）ホスホニウム、トリフェニル（９−アンスリルオキシ）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−トリルオキシ）ホスホニウム、トリフェニル（４−フェニルスルファニル−フェノキシ）ホスホニウム、トリフェニル（２，３−キシリルオキシ）ホスホニウム、トリフェニル（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）ホスホニウム、トリフェニル（ｍ−カルボキシフェノキシ）ホスホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(１０)に該当するオニウムカチオン（ピリジニウムカチオン）：
ベンジルピリジニウムカチオンの例：
Ｎ−ベンジルピリジニウム、Ｎ−（ｏ−クロロベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｍ−クロロベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−イソプロピルベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−オクタデシルオキシベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルベンジル）ピリジニウム、Ｎ−（９−アンスリルメチル）ピリジニウム、２−クロロ−１−ベンジルピリジニウム、２−シアノ−１−ベンジルピリジニウム、２−メチル−１−ベンジルピリジニウム、２−ビニル−１−ベンジルピリジニウム、２−フェニル−１−ベンジルピリジニウム、１，２−ジベンジルピリジニウム、２−メトキシ−１−ベンジルピリジニウム、２−フェノキシ−１−ベンジルピリジニウム、２−アセチル−１−ベンジルピリジニウム、２−メトキシカルボニル−１−ベンジルピリジニウム、３−フルオロ−１−ベンジルピリジニウム、４−メチル−１−ベンジルピリジニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルピリジニウムカチオンの例：
Ｎ−フェナシルピリジニウム、Ｎ−（ｏ−クロロフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（ｍ−クロロフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−イソプロピルフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−オクタデシルオキシフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルフェナシル）ピリジニウム、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）ピリジニウム、２−クロロ−１−フェナシルピリジニウム、２−シアノ−１−フェナシルピリジニウム、２−メチル−１−フェナシルピリジニウム、２−ビニル−１−フェナシルピリジニウム、２−フェニル−１−フェナシルピリジニウム、１，２−ジフェナシルピリジニウム、２−メトキシ−１−フェナシルピリジニウム、２−フェノキシ−１−フェナシルピリジニウム、２−アセチル−１−フェナシルピリジニウム、２−メトキシカルボニル−１−フェナシルピリジニウム、３−フルオロ−１−フェナシルピリジニウム、４−メチル−１−フェナシルピリジニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルピリジニウムカチオンの例：
Ｎ−アリルピリジニウム、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ピリジニウム、Ｎ−（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ピリジニウム、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ピリジニウム、Ｎ−（２−ヘキシル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）ピリジニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アルコキシピリジニウムカチオンの例：
Ｎ−メトキシピリジニウム、Ｎ−オクチルオキシピリジニウム、Ｎ−オクタデシルオキシピリジニウム、Ｎ−イソプロポキシピリジニウム、Ｎ−シクロヘキシルオキシピリジニウム、１−エトキシ−２−メチルピリジニウム、Ｎ−（２−クロロエトキシ）ピリジニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アリールオキシピリジニウムカチオンの例：
Ｎ−フェノキシピリジニウム、Ｎ−（２−ナフチルオキシ）ピリジニウム、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）ピリジニウム、Ｎ−（２，３−キシリルオキシ）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−ブロモフェノキシ）ピリジニウム、Ｎ−（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）ピリジニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(１１)に該当するオニウムカチオン（キノリニウムカチオン）：
ベンジルキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−ベンジルキノリニウム、Ｎ−（ｏ−クロロベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｍ−クロロベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−イソプロピルベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−オクタデシルオキシベンジル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルベンジル）キノリニウム、Ｎ−（９−アンスリルメチル）キノリニウム、２−クロロ−１−ベンジルキノリニウム、２−シアノ−１−ベンジルキノリニウム、２−メチル−１−ベンジルキノリニウム、２−ビニル−１−ベンジルキノリニウム、２−フェニル−１−ベンジルキノリニウム、１，２−ジベンジルキノリニウム、２−メトキシ−１−ベンジルキノリニウム、２−フェノキシ−１−ベンジルキノリニウム、２−アセチル−１−ベンジルキノリニウム、２−メトキシカルボニル−１−ベンジルキノリニウム、３−フルオロ−１−ベンジルキノリニウム、４−メチル−１−ベンジルキノリニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−フェナシルキノリニウム、Ｎ−（ｏ−クロロフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（ｍ−クロロフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−イソプロピルフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−オクタデシルオキシフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルフェナシル）キノリニウム、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）キノリニウム、２−クロロ−１−フェナシルキノリニウム、２−シアノ−１−フェナシルキノリニウム、２−メチル−１−フェナシルキノリニウム、２−ビニル−１−フェナシルキノリニウム、２−フェニル−１−フェナシルキノリニウム、１，２−ジフェナシルキノリニウム、２−メトキシ−１−フェナシルキノリニウム、２−フェノキシ−１−フェナシルキノリニウム、２−アセチル−１−フェナシルキノリニウム、２−メトキシカルボニル−１−フェナシルキノリニウム、３−フルオロ−１−フェナシルキノリニウム、４−メチル−１−フェナシルキノリニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−アリルキノリニウム、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）キノリニウム、Ｎ−（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）キノリニウム、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）キノリニウム、Ｎ−（２−ヘキシル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）キノリニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アルコキシキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−メトキシキノリニウム、Ｎ−オクチルオキシキノリニウム、Ｎ−オクタデシルオキシキノリニウム、Ｎ−イソプロポキシキノリニウム、Ｎ−シクロヘキシルオキシキノリニウム、１−エトキシ−２−メチルキノリニウム、Ｎ−（２−クロロエトキシ）キノリニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アリールオキシキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−フェノキシキノリニウム、Ｎ−（２−ナフチルオキシ）キノリニウム、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）キノリニウム、Ｎ−（２，３−キシリルオキシ）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−ブロモフェノキシ）キノリニウム、Ｎ−（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）キノリニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(１２)に該当するオニウムカチオン（イソキノリニウムカチオン）：
ベンジルイソキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−ベンジルイソキノリニウム、Ｎ−（ｏ−クロロベンジル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｍ−クロロベンジル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−イソプロピルベンジル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−オクタデシルオキシベンジル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルベンジル）イソキノリニウム、Ｎ−（９−アンスリルメチル）イソキノリニウム、１，２−ジベンジルイソキノリニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルイソキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−フェナシルイソキノリニウム、Ｎ−（ｏ−クロロフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｍ−クロロフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−イソプロピルフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−オクタデシルオキシフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルフェナシル）イソキノリニウム、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）イソキノリニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルイソキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−アリルイソキノリニウム、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノリニウム、Ｎ−（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノリニウム、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノリニウム、Ｎ−（２−ヘキシル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）イソキノリニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アルコキシイソキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−メトキシイソキノリニウム、Ｎ−オクチルオキシイソキノリニウム、Ｎ−オクタデシルオキシイソキノリニウム、Ｎ−イソプロポキシイソキノリニウム、Ｎ−シクロヘキシルオキシイソキノリニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アリールオキシイソキノリニウムカチオンの例：
Ｎ−フェノキシイソキノリニウム、Ｎ−（２−ナフチルオキシ）イソキノリニウム、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）イソキノリニウム、Ｎ−（２，３−キシリルオキシ）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−ブロモフェノキシ）イソキノリニウム、Ｎ−（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）イソキノリニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(１３)に該当するオニウムカチオン（ベンゾオキサゾリウムカチオン、ベンゾチアゾリウムカチオン）：
ベンゾオキサゾリウムカチオンの例：
Ｎ−ベンジルベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｐ−フルオロベンジル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｐ−クロロベンジル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｏ−メトキシカルボニルベンジル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−フェナシルベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｏ−フルオロフェナシル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｍ−ニトロフェナシル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナシル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−アリルベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−メトキシベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｔ−ブトキシ）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（３−ブロモプロポキシ）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−フェノキシベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（１−ナフチルオキシ）ベンゾオキサゾリウム、Ｎ−（ｍ−カルボキシフェノキシ）ベンゾオキサゾリウム、２−メルカプト−３−ベンジルベンゾオキサゾリウム、２−メチル−３−ベンジルベンゾオキサゾリウム、２−メチルチオ−３−ベンジルベンゾオキサゾリウム、６−ヒドロキシ−３−ベンジルベンゾオキサゾリウム、７−メルカプト−３−ベンジルベンゾオキサゾリウム、４，５−ジフルオロ−３−ベンジルベンゾオキサゾリウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンゾチアゾリウムカチオンの例：
Ｎ−ベンジルベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｐ−フルオロベンジル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｐ−クロロベンジル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｏ−メトキシカルボニルベンジル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−フェナシルベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｏ−フルオロフェナシル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｍ−ニトロフェナシル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナシル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−アリルベンゾチアゾリウム、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−メトキシベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｔ−ブトキシ）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（３−ブロモプロポキシ）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−フェノキシベンゾチアゾリウム、Ｎ−（１−ナフチルオキシ）ベンゾチアゾリウム、Ｎ−（ｍ−カルボキシフェノキシ）ベンゾチアゾリウム、２−メルカプト−３−ベンジルベンゾチアゾリウム、２−メチル−３−ベンジルベンゾチアゾリウム、２−メチルチオ−３−ベンジルベンゾチアゾリウム、６−ヒドロキシ−３−ベンジルベンゾチアゾリウム、７−メルカプト−３−ベンジルベンゾチアゾリウム、４，５−ジフルオロ−３−ベンジルベンゾチアゾリウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(１４)に該当するオニウムカチオン（フリルもしくはチエニルヨードニウムカチオン）：
ジフリルヨードニウム、ジチエニルヨードニウム、ビス（４，５−ジメチル−２−フリル）ヨードニウム、ビス（５−クロロ−２−チエニル）ヨードニウム、ビス（５−シアノ−２−フリル）ヨードニウム、ビス（５−ニトロ−２−チエニル）ヨードニウム、ビス（５−アセチル−２−フリル）ヨードニウム、ビス（５−カルボキシ−２−チエニル）ヨードニウム、ビス（５−メトキシカルボニル−２−フリル）ヨードニウム、ビス（５−フェニル−２−フリル）ヨードニウム、ビス（５−（ｐ−メトキシフェニル）−２−チエニル）ヨードニウム、ビス（５−ビニル−２−フリル）ヨードニウム、ビス（５−エチニル−２−チエニル）ヨードニウム、ビス（５−シクロヘキシル−２−フリル）ヨードニウム、ビス（５−ヒドロキシ−２−チエニル）ヨードニウム、ビス（５−フェノキシ−２−フリル）ヨードニウム、ビス（５−メルカプト−２−チエニル）ヨードニウム、ビス（５−ブチルチオ−２−チエニル）ヨードニウム、ビス（５−フェニルチオ−２−チエニル）ヨードニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(１５)に該当するオニウムカチオン（ジアリールヨードニウムカチオン）：
ジフェニルヨードニウム、ビス（ｐ−トリル）ヨードニウム、ビス（ｐ−オクチルフェニル）ヨードニウム、ビス（ｐ−オクタデシルフェニル）ヨードニウム、ビス（ｐ−オクチルオキシフェニル）ヨードニウム、ビス（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウム、フェニル（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウム、４−イソプロピル−４’−メチルジフェニルヨードニウム、ビス（１−ナフチル）ヨードニウム、ビス（４−フェニルスルファニルフェニル）ヨードニウム、フェニル（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）ヨードニウム、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−４’−イソプロピルフェニルヨードニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(１６)に該当するオニウムカチオン（トリアリールスルホニウムカチオン）：
トリフェニルスルホニウム、トリス（ｐ−トリル）スルホニウム、トリス（フェニル）スルホニウム、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホニウム、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホニウム、トリス（ｐ−クロロフェニル）スルホニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(１７)に該当するオニウムカチオン（トリアリールスルホキソニウムカチオン）：
トリフェニルスルホキソニウム、トリス（ｐ−トリル）スルホキソニウム、トリス（フェニル）スルホキソニウム、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホキソニウム、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホキソニウム、トリス（ｐ−クロロフェニル）スルホキソニウム等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

次に、一般式(１)中のカウンターアニオンＸ^-について説明する。

一般式(１)中のカウンターアニオンＸ^-は原理的に特に限定されるものではないが、非求核性アニオンが好ましい。カウンターアニオンＸ^-が非求核性アニオンの場合、分子内に共存するカチオンや併用される各種材料における求核反応が起こりにくいため、結果として一般式(１)で表記される感エネルギー線酸発生剤自身やそれを用いた組成物の経時安定性を向上させることが可能である。ここでいう非求核性アニオンとは、求核反応を起こす能力が低いアニオンを指す。このようなアニオンとしては、ＢＦ₄ ^-、ＰＦ₆ ^-、ＳｂＦ₆ ^-、ＡｓＦ₆ ^-、ＳｂＣｌ₆ ^-、ＢｉＣｌ₅ ^-、ＳｎＣｌ₆ ^-、ＣｌＯ₄ ^-、ジチオカルバメートアニオン、ＳＣＮ^-などが挙げられる。

また、一般式(１)中のカウンターアニオンＸ^-としては、以下の一般式(１８)で示されるボレートアニオンが、比較的容易に合成でき、かつ、発生する酸が非常に強く、他のカウンターアニオンと比較して、種々の有機溶媒やポリマー、オリゴマーに対する相溶性、溶解性が極めて高く、高い安全衛生性を有するため、特に好ましく使用できる。

一般式(１８)

(式中、Ｙはフッ素または塩素原子、
Ｚは、フッ素原子、シアノ基、ニトロ基、およびトリフルオロメチル基の中から選ばれる基で２つ以上置換されたフェニル基、
ｍは０から３の整数、ｎは１から４の整数を表し、ｍ＋ｎ＝４である。）

一般式(１８)で表されるボレートアニオンにおける置換基Ｚとしては、３，５−ジフルオロフェニル基、２，４，６−トリフルオロフェニル基、２，３，４，６−テトラフルオロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基、２，４−ビス（トリフルオロメチル）フェニル基、３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル基、２，４，６−トリフルオロ−３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル基、３，５−ジニトロフェニル基、２，４，６−トリフルオロ−３，５−ジニトロフェニル基、２，４−ジシアノフェニル基、４−シアノ−３，５−ジニトロフェニル基、４−シアノ−２，６−ビス（トリフルオロメチル）フェニル基等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。

したがって、一般式(１８)で表されるボレートアニオンの構造として、具体的には、ペンタフルオロフェニルトリフルオロボレート、３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニルトリフルオロボレート、ビス（ペンタフルオロフェニル）ジフルオロボレート、ビス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ジフルオロボレート、トリス（ペンタフルオロフェニル）フルオロボレート、トリス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］フルオロボレート、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等が挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

この内、本発明の一般式(１８)で表されるボレートアニオンの構造として、好ましいものは、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートおよびテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートである。

また、一般式(１８)で表されるボレートアニオンの中心元素であるホウ素をガリウムに置き換えたアニオン、すなわち、ガレートアニオンも一般式(１８)中のカウンターアニオンＸ^-として使用することが可能であり、そのようなアニオンの中では、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ガレートが好ましいアニオンとして挙げられる。

したがって、本発明の感エネルギー線酸発生剤を構成する好ましいオニウムボレート錯体の具体例としては、以下に掲げるものをあげることができるが、本発明は、なんらこれらに限定されるものではない。

まず、テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートについて例示する。

ベンジルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジメチル（ベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−シアノベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ペンタフルオロフェニルメチル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）ベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−アセチルベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピルベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−メトキシベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−フェニルスルファニルベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−４−イルメチル）ジメチルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、（４−メトキシナフタレン−１−イル）ジメチルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（１−ナフチルメチル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−ナフチルメチル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（９−アンスリルメチル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジエチル（ベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルエチル（ベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルフェニル（ベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジフェニル（ベンジル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジメチル（フェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−シアノフェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロフェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）フェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルフェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−アセチルフェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルフェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピルフェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−（４−メトキシ−ナフタレン−１−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（１−ナフトイルメチル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−オキソ−２−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−エチル〕−ジメチルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−ナフトイルメチル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（９−アンスロイルメチル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジエチル（フェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルエチル（フェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルフェニル（フェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジフェニル（フェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、テトラメチレン（フェナシル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジメチル（アリル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アルコキシスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジメチル（メトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（エトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ブトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（イソプロポキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリールオキシスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジメチル（フェノキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（１ーナフチルオキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−ナフチルオキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（４−フェニルスルファニル−フェノキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（９−アンスリルオキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−トリルオキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモフェノキシ）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンジルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジメチル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−シアノベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ペンタフルオロフェニルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）ベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−アセチルベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピルベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−メトキシベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−フェニルスルファニルベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−４−イルメチル）ジメチルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、（４−メトキシナフタレン−１−イル）ジメチルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（１−ナフチルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−ナフチルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（９−アンスリルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジエチル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルエチル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルフェニル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジフェニル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジメチル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−シアノフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）フェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−アセチルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−（４−メトキシ−ナフタレン−１−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（１−ナフトイルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−オキソ−２−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−エチル〕−ジメチルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（１−ナフトイルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−ナフトイルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（９−アンスロイルメチル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジエチル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルエチル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、メチルフェニル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジフェニル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、テトラメチレン（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジメチル（アリル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アルコキシスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジメチル（メトキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（エトキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ブトキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（イソプロポキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリールオキシスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジメチル（フェノキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（１ーナフチルオキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（２−ナフチルオキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（４−フェニルスルファニル−フェノキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（９−アンスリルオキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−トリルオキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモフェノキシ）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンジルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
トリメチルベンジルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリエチルベンジルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニルベンジルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（ｐ−シアノベンジル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（ｍ−ニトロベンジル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（ｐ−フェニルスルファニルベンジル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−４−イルメチル）トリフェニルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（１−ナフチルメチル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（９−アンスリルメチル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
トリエチルフェナシルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニルフェナシルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（ｐ−シアノフェナシル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（ｍ−ニトロフェナシル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−（４−メトキシ−ナフタレン−１−イル）−２−オキソ−エチル〕−トリメチルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（１−ナフトイルメチル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−オキソ−２−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−エチル〕−トリメチルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）２−オキソ−エチル〕−トリエチルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、〔２−（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−２−オキソ−エチル〕−トリフェニルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（９−アンスロイルメチル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
トリフェニルアリルホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（２−フェニル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アルコキシホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
トリフェニルメトキシホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニルイソプロポキシホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（２−クロロエトキシ）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリールオキシホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
トリフェニルフェノキシホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（９−アンスリルオキシ）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（４−フェニルスルファニル−フェノキシ）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（ｐ−トリルオキシ）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリフェニル（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）ホスホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンジルピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−ベンジルピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスリルメチル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、４−シアノ−１−ベンジルピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−フェナシルピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、２−シアノ−１−フェナシルピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−アリルピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アルコキシピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−メトキシピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、１−エトキシ−２−メチルピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−クロロエトキシ）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アリールオキシピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−フェノキシピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）ピリジニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンジルキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−ベンジルキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスリルメチル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、２−シアノ−１−ベンジルキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−フェナシルキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−イソプロピルフェナシル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルフェナシル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、２−シアノ−１−フェナシルキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−アリルキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−ヘキシル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アルコキシキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−メトキシキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−イソプロポキシキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、１−エトキシ−２−メチルキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−クロロエトキシ）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アリールオキシキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−フェノキシキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−ナフチルオキシ）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−ブロモフェノキシ）キノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンジルイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−ベンジルイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスリルメチル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、１，２−ジベンジルイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−フェナシルイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルフェナシル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−アリルイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アルコキシイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−メトキシイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−オクタデシルオキシイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−イソプロポキシイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アリールオキシイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−フェノキシイソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）イソキノリニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−ベンジルベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−フェナシルベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−アリルベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−メトキシベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（３−ブロモプロポキシ）ベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−フェノキシベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（１−ナフチルオキシ）ベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、２−メルカプト−３−ベンジルベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、２−メチルチオ−３−ベンジルベンゾオキサゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
Ｎ−ベンジルベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−フェナシルベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−アリルベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−メトキシベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（３−ブロモプロポキシ）ベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−フェノキシベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、Ｎ−（１−ナフチルオキシ）ベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、２−メルカプト−３−ベンジルベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、２−メチルチオ−３−ベンジルベンゾチアゾリウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フリルもしくはチエニルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジフリルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ジチエニルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（４，５−ジメチル−２−フリル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（５−クロロ−２−チエニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（５−アセチル−２−フリル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（５−（ｐ−メトキシフェニル）−２−チエニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ジアリールヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
ジフェニルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（ｐ−オクタデシルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、４−イソプロピル−４’−メチルジフェニルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（１−ナフチル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、ビス（４−フェニルスルファニルフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、フェニル（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−４’−イソプロピルフェニルヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、フェニル（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

トリアリールスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
トリフェニルスルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−トリル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

トリアリールスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートの例：
トリフェニルスルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−トリル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホキソニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

次に、テトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートについて例示する。

ベンジルスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（ベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−シアノベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ペンタフルオロフェニルメチル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）ベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ−アセチルベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピルベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−メトキシベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−フェニルスルファニルベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−４−イルメチル）ジメチルスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、（４−メトキシナフタレン−１−イル）ジメチルスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（１−ナフチルメチル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−ナフチルメチル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（９−アンスリルメチル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジエチル（ベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、メチルエチル（ベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、メチルフェニル（ベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジフェニル（ベンジル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（フェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−シアノフェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロフェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）フェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルフェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ−アセチルフェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルフェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピルフェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、〔２−（４−メトキシ−ナフタレン−１−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（１−ナフトイルメチル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、〔２−オキソ−２−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−エチル〕−ジメチルスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、〔２−（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、〔２−（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−ナフトイルメチル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（９−アンスロイルメチル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジエチル（フェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、メチルエチル（フェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、メチルフェニル（フェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジフェニル（フェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、テトラメチレン（フェナシル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（アリル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アルコキシスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（メトキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（エトキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ブトキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（イソプロポキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリールオキシスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（フェノキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（１ーナフチルオキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−ナフチルオキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（４−フェニルスルファニル−フェノキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（９−アンスリルオキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−トリルオキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモフェノキシ）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンジルスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−シアノベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ペンタフルオロフェニルメチル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）ベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ−アセチルベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピルベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−メトキシベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−フェニルスルファニルベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−４−イルメチル）ジメチルスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、（４−メトキシナフタレン−１−イル）ジメチルスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（１−ナフチルメチル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−ナフチルメチル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（９−アンスリルメチル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジエチル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、メチルエチル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、メチルフェニル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジフェニル（ベンジル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−シアノフェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｍ−ニトロフェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−（トリフルオロメチル）フェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−メチルスルホニルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ−アセチルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｏ−ベンゾイルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロピルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−イソプロポキシカルボニルフェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、〔２−（４−メトキシ−ナフタレン−１−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（１−ナフトイルメチル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、〔２−オキソ−２−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−エチル〕−ジメチルスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、〔２−（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、〔２−（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−２−オキソ−エチル〕−ジメチルスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（１−ナフトイルメチル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−ナフトイルメチル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（９−アンスロイルメチル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジエチル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、メチルエチル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、メチルフェニル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジフェニル（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、テトラメチレン（フェナシル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（アリル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アルコキシスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（メトキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（エトキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ブトキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（イソプロポキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（４−シアノブトキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリールオキシスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジメチル（フェノキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（１ーナフチルオキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（２−ナフチルオキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（４−フェニルスルファニル−フェノキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（９−アンスリルオキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−トリルオキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジメチル（ｐ−ブロモフェノキシ）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンジルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
トリメチルベンジルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリエチルベンジルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニルベンジルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（ｐ−シアノベンジル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（ｍ−ニトロベンジル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（ｐ−フェニルスルファニルベンジル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−４−イルメチル）トリフェニルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（１−ナフチルメチル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（９−アンスリルメチル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
トリエチルフェナシルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニルフェナシルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（ｐ−シアノフェナシル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（ｍ−ニトロフェナシル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（１−ナフトイルメチル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、〔２−オキソ−２−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−エチル〕−トリメチルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート〔２−（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）２−オキソ−エチル〕−トリエチルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、〔２−（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−２−オキソ−エチル〕−トリフェニルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（９−アンスロイルメチル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
トリフェニルアリルホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（２−フェニル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アルコキシホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
トリフェニルメトキシホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニルイソプロポキシホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（２−クロロエトキシ）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリールオキシホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
トリフェニルフェノキシホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（４−フェニルスルファニル−フェノキシ）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、、トリフェニル（９−アンスリルオキシ）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（ｐ−トリルオキシ）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリフェニル（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）ホスホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンジルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−ベンジルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスリルメチル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、４−シアノ−１−ベンジルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−フェナシルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、２−シアノ−１−フェナシルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−アリルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アルコキシピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−メトキシピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、１−エトキシ−２−メチルピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−クロロエトキシ）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アリールオキシピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−フェノキシピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）ピリジニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンジルキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−ベンジルキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルベンジル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスリルメチル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、２−シアノ−１−ベンジルキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−フェナシルキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロフェナシル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−イソプロピルフェナシル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルフェナシル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、２−シアノ−１−フェナシルキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−アリルキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−ヘキシル−３，３−ビス（メトキシカルボニル）−２−プロペニル）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アルコキシキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−メトキシキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−イソプロポキシキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、１−エトキシ−２−メチルキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−クロロエトキシ）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アリールオキシキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−フェノキシキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−ナフチルオキシ）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−ブロモフェノキシ）キノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンジルイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−ベンジルイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｏ−ニトロベンジル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスリルメチル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、１，２−ジベンジルイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フェナシルイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−フェナシルイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−アセチルフェナシル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−メトキシカルボニルフェナシル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスロイルメチル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

アリルイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−アリルイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−イソプロピル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−ベンゾイル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アルコキシイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−メトキシイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−オクタデシルオキシイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−イソプロポキシイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

Ｎ−アリールオキシイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−フェノキシイソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（９−アンスリルオキシ）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−トリルオキシ）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−ヒドロキシフェノキシ）イソキノリニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−ベンジルベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−フェナシルベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−アリルベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−メトキシベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（３−ブロモプロポキシ）ベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−フェノキシベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（１−ナフチルオキシ）ベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、２−メルカプト−３−ベンジルベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、２−メチルチオ−３−ベンジルベンゾオキサゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
Ｎ−ベンジルベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノベンジル）ベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−フェナシルベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（ｐ−シアノフェナシル）ベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−アリルベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（２−メチル−３，３−ジシアノ−２−プロペニル）ベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−メトキシベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（３−ブロモプロポキシ）ベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−フェノキシベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、Ｎ−（１−ナフチルオキシ）ベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、２−メルカプト−３−ベンジルベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、２−メチルチオ−３−ベンジルベンゾチアゾリウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

フリルもしくはチエニルヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジフリルヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ジチエニルヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビス（４，５−ジメチル−２−フリル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビス（５−クロロ−２−チエニル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビス（５−アセチル−２−フリル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビス（５−（ｐ−メトキシフェニル）−２−チエニル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

ジアリールヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
ジフェニルヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビス（ｐ−オクタデシルフェニル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビス（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、４−イソプロピル−４’−メチルジフェニルヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビス（１−ナフチル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、ビス（４−フェニルスルファニルフェニル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、フェニル（６−ベンゾイル−９−エチル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、（７−メトキシ−２−オキソ−２Ｈ−クロメン−３−イル）−４’−イソプロピルフェニルヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、フェニル（ｐ−オクタデシルオキシフェニル）ヨードニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

トリアリールスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
トリフェニルスルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリス（ｐ−トリル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

トリアリールスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレートの例：
トリフェニルスルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリス（ｐ−トリル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリス（２，６−ジメチルフェニル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート、トリス（ｐ−シアノフェニル）スルホキソニウムテトラキス［３，５−ビス（トリフルオロメチル）フェニル］ボレート等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

また、下記化学式で示される各オニウムボレート錯体も、好ましい例として挙げられる。

本発明で用いられる酸発生剤(Ａ)は、１種または２種以上を組み合わせて使用される。また、熱による酸発生剤を併用することも可能である。被着される基材の熱安定性が高い場合には、これらを併用して光照射後に加熱することにより、さらに速やかにカチオン重合性化合物(Ｃ)の架橋を進行させることが可能である。

本発明で用いられる酸発生剤(Ａ)の使用量は、１００重量部のカチオン重合性化合物(Ｃ)に対して、０．０１重量部〜２０重量部の範囲内が好ましく、特に好ましくは、０．５重量部〜１０重量部である。酸発生剤(Ａ)の添加量が０．０１重量部未満の場合、感度不良となり、充分に硬化するためには著しく大きな活性エネルギー線の照射が必要となるか、最終的に充分な硬化が得られない場合がある。また、酸発生剤(Ａ)の添加量が２０重量部を超えて添加しても、感度の向上はせず、逆に硬化物中に未硬化成分として残存する量が多くなり、硬化物の物性が低下する場合がある。

次に、本発明のアミン化合物(Ｂ)について説明する。本発明において、アミン化合物(Ｂ)は、光増感剤として用いることで、従来公知の剥離シート用感エネルギー線重合性組成物と比較して、高圧水銀ランプなどによる３００ｎｍ以上の近紫外線の照射においても、高い酸発生効率を表す。本発明のアミン化合物は、既知のアセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ナフタレン類、ビアセチル、エオシン、ローズベンガル、ピレン類、アントラセン類、フェノチアジン類等の光増感剤と比較して、増感効果が極めて高く、実用性に優れたものである。

一般式(３)中の置換基Ａｒ¹、Ａｒ²、およびＡｒ³における置換もしくは未置換のアリール基としては、炭素原子数６〜３０のアリール基が挙げられ、具体的には、フェニル基、ビフェニル基、１−ナフチル基、２−ナフチル基、９−アンスリル基、９−フェナントリル基、１−ピレニル基、５−ナフタセニル基、１−インデニル基、２−アズレニル基、９−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、ｏ−、ｍ−、およびｐ−トリル基、キシリル基、ｏ−、ｍ−、およびｐ−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、オバレニル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

一般式(３)中の置換基Ａｒ¹、Ａｒ²、およびＡｒ³における置換もしくは未置換の複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子、リン原子を含む、炭素原子数４〜２４の芳香族あるいは脂肪族の複素環基が挙げられ、具体的には、２−チエニル基、２−ベンゾチエニル基、ナフト［２，３−ｂ］チエニル基、３−チアントレニル基、２−チアンスレニル基、２−フリル基、２−ベンゾフリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、２Ｈ−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、３Ｈ−インドリル基、２−インドリル基、３−インドリル基、１Ｈ−インダゾリル基、プリニル基、４Ｈ−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサニリル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、４ａＨ−カルバゾリル基、２−カルバゾリル基、３−カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、２−アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、３−フェニキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、チオキサントリル基、４−キノリニル基、４−イソキノリル基、３−フェノチアジニル基、２−フェノキサチイニル基、３−クマリニル基等を挙げることができるが、これらに限定されるものではなく、また、一般式(３)の窒素原子と共有結合を形成することのできる置換位置であればどの置換位置で結合していても良く、それらも本発明のＡｒ¹、Ａｒ²、およびＡｒ³で表される置換基の範疇に含まれる。

上述した置換基Ａｒ¹、Ａｒ²、およびＡｒ³は、さらに他の置換基で置換されていてもよく、そのような他の置換基としては、ヒドロキシル基、メルカプト基、シアノ基、ニトロ基、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、複素環基、アシル基、アルコキシル基、アリールオキシ基、複素環オキシ基、アシルオキシ基、アルキルチオ基、アリールチオ基、複素環チオ基、アミノ基、アルキルアミノ基、ジアルキルアミノ基、アリールアミノ基、ジアリールアミノ基、アルキルアリールアミノ基、ベンジルアミノ基、ジベンジルアミノ基等を挙げることができ、これらは、Ａｒ¹、Ａｒ²、およびＡｒ³に対して直接結合していても、アルキレン基、アザアルキレン基、アルキニレン基、アザアルキニレン基あるいはアリーレン基等を介して結合していても良く、具体例としては、上述した一般式(１５)〜(１７)中の置換基Ａｒ⁴、Ａｒ⁵、およびＡｒ⁶で表される、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基に対して置換していても良い置換基として例示したものと同一の置換基が挙げられるが、これらに限定されるものではない。

以下に具体的な構造を表すが、本発明のアミン化合物(Ｂ)の構造は、それらに限定されるものではない。

本発明のアミン化合物(Ｂ)は、最大吸収波長λmaxが３２５ｎｍから４００ｎｍの波長領域にあり、かつ４２０ｎｍ以上のモル吸光係数εが０であることが好ましい。上記範囲以外のアミン化合物を使用すると、光増感剤として十分に機能しないか、または黄変が著しく、本発明における剥離シート用感エネルギー線重合性組成物の透明性が失われてしまうことがある。

本発明の感エネルギー線酸発生剤(Ａ)と、アミン化合物(Ｂ)との比率については、特に限定されるわけではないが、感エネルギー線酸発生剤(Ａ)１重量部に対して、０．０１から５重量部のアミン化合物(Ｂ)を用いることが好ましい。この範囲より少ない量のアミン化合物(Ｂ)を用いると効果が認められないことがあり、この範囲より多い量のアミン化合物(Ｂ)を用いると、黄変が著しく、本発明における光導波路形成用材料の透明性が失われてしまうことがある。

酸発生のメカニズムについては現在検討中であるが、おそらくアミン化合物(Ｂ)が光を吸収し励起され、それからの感エネルギー線酸発生剤(Ａ)へのエネルギー移動に起因するのではないかと考察している。この際のエネルギー移動の効率が他の組み合わせに比較して、非常に良好なため、本発明の感エネルギー線酸発生剤(Ａ)とアミン化合物(Ｂ)とを組み合わせることにより重合性物質の重合開始剤として著しく良好な効果を有する化合物の組み合わせを提供することができたものと思われる。

次にカチオン重合性化合物(Ｃ)について説明する。カチオン重合性化合物(Ｃ)は、活性エネルギー線の照射により酸発生剤(Ａ)から発生する酸により重合または架橋する。カチオン重合性化合物(Ｃ)は、分子内にカチオン重合性の官能基、例えば、ビニルエーテル基、エポキシ基、脂環式エポキシ基、オキセタニル基、エピスルフィド基、エチレンイミン基、水酸基を有する種々のモノマー、オリゴマーまたはポリマーや、また、これらの官能基を有するポリマーについても限定されず、アクリル系、ウレタン系、ポリエステル系、ポリオレフィン系、ポリエーテル系、天然ゴム、ブロック共重合体ゴム、シリコーン系などの各ポリマーを用いることができる。

また、カチオン重合性化合物(Ｃ)は、加水分解性シラン化合物の加水分解物を用いることができる。

上記カチオン重合性化合物(Ｃ)は、単独で用いられてもよく、２種以上併用されてもよい。上記カチオン重合性化合物(Ｃ)としては、好ましくは、エポキシ基、オキセタン基を有する化合物が用いられる。これらの官能基の重合は比較的反応性が高く、かつ硬化時間が短いため、硬化時間の短縮を図ることができる。

エポキシ基を有する化合物としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、グリシジルエーテル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、異節環状型エポキシ樹脂、多官能性エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂などのアルコール型エポキシ樹脂、フッ素化エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂などのハロゲン化エポキシ樹脂、ゴム変成エポキシ樹脂、ウレタン変成エポキシ樹脂、エポキシ化ポリブタジエン、エポキシ化スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、エポキシ基含有ポリエステル樹脂、エポキシ基含有ポリウレタン樹脂、エポキシ基含有アクリル樹脂、エポキシ基含有ポリシラン等を挙げることができる。これらのエポキシ樹脂は常温で液体であっても良いし、固体であっても良い。また、エポキシ基含有オリゴマーも好適に用いることができ、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシオリゴマー（例えば、油化シェルエポキシ社製、エピコート１００１、１００２等）を挙げることができる。さらに、上記エポキシ基含有モノマーやオリゴマーの付加重合体を用いてもよく、例えば、グリシジル化ポリエステル、グリシジル化ポリウレタン、グリシジル化アクリルなどを挙げることができる。

特にフッ素化エポキシ樹脂は、同様な構造を有する炭化水素型エポキシ化合物と比較して小さな屈折率を有していることから、本発明の光導波路の屈折率を所望の値に調整するのに、最適な樹脂である。

なかでも、光カチオン重合性がより高く、少ない光量でもより効率的に光硬化が進行することから、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、エポキシ基含有ポリシラン等が好適に用いられる。これらのエポキシ基を有する化合物は、単独で用いられても良いし、２種類以上が併用されても良い。

上記脂環式エポキシ樹脂の具体例としては、例えば、１，２：８，９−ジエポキシリモネン、４−ビニルシクロヘキセンモノエポキサイド、ビニルシクロヘキセンジオキサイド、メチル化ビニルシクロヘキセンジオキサイド、（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチル−３，４−エポキシシクロヘキシルカルボキシレート、ビス−（３，４−エポキシシクロヘキシル）アジペート、ノルボルネンモノエポキサイド、アダマンタンモノエポキサイド、リモネンモノエポキサイド、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル−５，５−スピロ−３，４−エポキシ）シクロヘキサノン−メタ−ジオキサン、ビス−（３，４−エポキシシクロヘキシルメチレン）アジペート、ビス−（２，３−エポキシシクロペンチル）エーテル、（２，３−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル）アジペート、ジシクロペンタジエンジオキサイド、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル−５，５−スピロ−３，４−エポキシ）シクロヘキサン−メタ−ジオキサン、２，２−ビス［４−（２，３−エポキシプロポキシ）シクロヘキシル］ヘキサフルオロプロパン、ＢＨＰＥ−３１５０（ダイセル化学工業（株）製脂環式エポキシ樹脂（軟化点７１℃）等があげられるが、これらに限定されるものではない。

脂肪族エポキシ樹脂の具体例としては、例えば１，４−ブタンジオールジクリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、エチレングリコールモノグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールモノグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグルコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグルコールモノグリシジルエーテル、グリセロールジグリシジルエーテル、グルセロールトリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンモノグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ジグリセロールトリグリシジルエーテル、ソルビトールテトラグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、２−エチルヘキシルグリシジルエーテル等があげられるが、これらに限定されるものではない。

オキセタニル基を有する化合物としては、例えば、フェノキシメチルオキセタン、３，３−ビス（メトキシメチル）オキセタン、３，３−ビス（フェノキシメチル）オキセタン、３−エチル−３−（フェノキシメチル）オキセタン、３−エチル−３−（２−エチルヘキシロキシメチル）オキセタン、３−エチル−３−｛［３−（トリエトキシシリル）プロポキシ］メチル｝オキセタン、ジ［１−エチル（３−オキセタニル）］メチルエーテル、オキセタニルシルセスキオキサン、フェノールノボラックオキセタン、１，４−ビス｛［（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ］メチル｝ベンゼン等があげられるが、これらに限定されるものではない。

加水分解性シラン化合物としては、通常、無触媒、過剰の水の共存下で２５℃〜１００℃の温度範囲で加熱することにより、加水分解されてシラノールを生成できる置換基、もしくはシロキサン縮合物を形成できる置換基を有する化合物が挙げられる。

本発明の加水分解性シラン化合物の加水分解物とは、一部未加水分解の加水分解性シラン化合物が残っていても良く、さらに加水分解性シラン化合物の加水分解物とは、加水分解反応によりシラノール基が生成したものばかりではなく、一部のシラノール基同士が縮合した部分縮合物をも含む。

加水分解性シラン化合物としては、例えば、メチルトリメトキシシラン等のメチルアルコキシシラン、テトラメトキシシラン等のテトラアルコキシシラン、メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、ジメチルジアセトキシシラン、ジメチルジアミノシラントリメチルクロロシラン等があげられるが、これらに限定されるものではない。

本発明の光導波路形成用材料には、耐熱性を向上させる目的でポリイミド系樹脂を用いることもできる。

また、本発明の光導波路形成用材料には、密着性付与剤として、シランカップリング剤またはチタネートカップリング剤を用いることもできる。

ここで、シランカップリング剤としては、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等のエポキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のアミノシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプトシラン、ｐ−スチリルトリメトキシシラン、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のビニルシラン、さらに、エポキシ系、アミノ系、ビニル系の高分子タイプのシラン等を用いることができるが、これらに限定されるものではない。

特に、エポキシシラン、アミノシラン、メルカプトシランが好ましい。

一方、チタネートカップリング剤としては、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリ（Ｎ−アミノエチル・アミノエチル）チタネート、ジイソプロピルビス（ジオクチルホスフェート）チタネート、テトライソプロピルビス（ジオクチルホスファイト）チタネート、テトラオクチルビス（ジトリデシルホスファイト）チタネート、テトラ（２，２−ジアリルオキシメチル−１−ブチル）ビス（ジトリデシル）ホスファイトチタネート、ビス（ジオクチルパイロホスフェート）オキシアセテートチタネート、ビス（ジオクチルパイロホスフェート）エチレンチタネート等を用いることができるが、これらに限定されるものではない。

これらのカップリング剤は、単独で使用しても良いし、２種類以上を混合して使用することもできる。このときカップリング剤の使用量は、カチオン重合性化合物(Ｃ)１００重量部に対して０．１〜１重量部の範囲が好ましい。

また、本発明の光導波路形成用材料は、感エネルギー線酸発生剤(Ａ)とアミン化合物(Ｂ)とを使用した効果により、その他増感剤を用いなくともエネルギー線、特に３５０ｎｍから４５０ｎｍの波長領域の光照射に対して非常に迅速かつ確実に硬化することが可能であるが、必要に応じてその他増感剤を併用して用いてもよい。

本発明と併用することができるその他増感剤の例としては、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、フェナントレン誘導体、ピレン誘導体、ナフタセン誘導体、ペリレン誘導体、ペンタセン誘導体等の縮合多環芳香族誘導体、アクリジン誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、カルコン誘導体やジベンザルアセトン等に代表される不飽和ケトン類、ベンジルやカンファーキノン等に代表される１，２−ジケトン誘導体、ベンゾイン誘導体、フルオレン誘導体、ナフトキノン誘導体、アントラキノン誘導体、キサンテン誘導体、チオキサンテン誘導体、キサントン誘導体、チオキサントン誘導体、クマリン誘導体、ケトクマリン誘導体、シアニン誘導体、メロシアニン誘導体、オキソノール誘導体等のポリメチン色素、アクリジン誘導体、アジン誘導体、チアジン誘導体、フェノチアジン誘導体、オキサジン誘導体、インドリン誘導体、アズレン誘導体、アズレニウム誘導体、スクアリリウム誘導体、ポルフィリン誘導体、テトラフェニルポルフィリン誘導体、トリアリールメタン誘導体、テトラベンゾポルフィリン誘導体、テトラピラジノポルフィラジン誘導体、フタロシアニン誘導体、テトラアザポルフィラジン誘導体、テトラキノキサリロポルフィラジン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、サブフタロシアニン誘導体、ピリリウム誘導体、チオピリリウム誘導体、テトラフィリン誘導体、アヌレン誘導体、スピロピラン誘導体、スピロオキサジン誘導体、チオスピロピラン誘導体、カルバゾール誘導体、金属アレーン錯体、有機ルテニウム錯体等があげられ、その他さらに具体的には大河原信ら編、「色素ハンドブック」（１９８６年、講談社）、大河原信ら編、「機能性色素の化学」（１９８１年、シーエムシー）、池森忠三朗ら編、「特殊機能材料」（１９８６年、シーエムシー）、フォトポリマー懇話会編、「感光材料リストブック」（１９９６年、ぶんしん出版）に記載の色素および増感剤があげられるがこれらに限定されるものではなく、これらは必要に応じて任意の比率で二種以上用いてもかまわない。

これらの増感剤のうち、好ましいものとしては、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体の縮合多環芳香族誘導体および、フェノチアジン誘導体、カルバゾール誘導体、ベンゾチアゾール誘導体があげられ、中でも特に好ましいものとして、アントラセン誘導体があげられる。

これらの具体例としては、アントラセン、１−アントラセンカルボン酸、２−アントラセンカルボン酸、９−アントラセンカルボン酸、９−アントラアルデヒド、９，１０−ビス（クロロメチル）アントラセン、９，１０−ビス（フェニルエチニル）アントラセン、９−ブロモアントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（フェニルエチニル）アントラセン、９−シアノアントラセン、９，１０−ジブロモアントラセン、９，１０−ジシアノアントラセン、９，１０−ジメチルアントラセン、９，１０−ジブチルアントラセン、９，１０−ジフェニルアントラセン、９，１０−ジ−ｐ−トリルアントラセン、９，１０−ビス（ｐ−メトキシフェニル）アントラセン、２−ヒドロキシメチルアントラセン、９−ヒドロキシメチルアントラセン、９−メチルアントラセン、９−フェニルアントラセン、９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、９，１０−ジフェノキシアントラセン、９，１０−ジメトキシアントラセン−２−スルホン酸ナトリウム、１，４，９，１０−テトラヒドロキシアントラセン、２，２，２−トリフルオロー１−（９−アンスリル）エタノール、１，８，９−トリヒドロキシアントラセン、１，８−ジメトキシ−９，１０−ビス（フェニルエチニル）アントラセン、９−ビニルアントラセン、９−アントラセンメタノール、９−アントラセンメタノールのトリメチルシロキシエーテル、フェノチアジン、Ｎ−エチルカルバゾール、Ｎ−フェニルカルバゾール、１−メトキシナフタレン、２−メトキシナフタレン。１，４−ジメトキシナフタレンなどが挙げられる。

上記増感剤を併用する場合の添加量は特に限定されないが、本発明の酸発生剤１００重量部に対し、０〜１００重量部が好ましい。

本発明で用いられる感エネルギー線酸発生剤(Ａ)は酸発生剤として十分高い感度を有しているが、他の酸発生剤と併用して用いることも可能である。感エネルギー線酸発生剤(Ａ)と併用することが可能な酸発生剤は特に限定されず、「ＰＡＧ」、「酸発生剤」、「光酸発生剤」、「光重合開始剤」、「カチオン重合開始剤」、「重合触媒」等の名称で業界公知の材料を適宜選択して使用することできる。また、他の酸発生剤を使用する場合は、単独または複数組み合わせて使用することも可能である。

本発明で用いられる感エネルギー線酸発生剤(Ａ)と併用することが可能な他の酸発生剤としては、まず、オニウム塩系化合物が挙げられる。このようなオニウム塩系化合物の例としては、スルホニウム塩系、ヨードニウム塩系、ホスホニウム塩系、ジアゾニウム塩系、ピリジニウム塩系、ベンゾチアゾリウム塩系、スルホキソニウム塩系、フェロセン系の化合物が挙げられ、これらの構造は特に限定されず、ジカチオンなどの多価カチオン構造を有していてもよく、カウンターアニオンも公知のものを適宜、選択して使用することができる。

また、本発明で用いられる感エネルギー線酸発生剤(Ａ)と併用することが可能なオニウム塩以外の酸発生剤としては、ニトロベンジルスルホナート類、アルキルまたはアリール−Ｎ−スルホニルオキシイミド類、ハロゲン化されていてもよいアルキルスルホン酸エステル類、１，２−ジスルホン類、オキシムスルホナート類、ベンゾイントシラート類、β−ケトスルホン類、β−スルホニルスルホン類、ビス（アルキルスルホニル）ジアゾメタン類、イミノスルホナート類、イミドスルホナート類、トリハロメチルトリアジン類などのトリハロアルキル基を有する化合物等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。

本発明で用いられる感エネルギー線酸発生剤(Ａ)と併用することが可能な酸発生剤の具体例としては、テトラブチルアンモニウムテトラフルオロボレート、テトラブチルアンモニウムヘキサフルオロホスフェート、テトラブチルアンモニウムハイドロゲンサルフェート、テトラエチルアンモニウムテトラフルオロボレート、テトラエチルアンモニウム、ｐ−トルエンスルホネート、Ｎ，Ｎ−ジメチル−Ｎ−ベンジルアニリニウム六フッ化アンチモン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−Ｎ−ベンジルアニリニウム四フッ化ホウ素、Ｎ，Ｎ−ジメチル−Ｎ−ベンジルピリジニウム六フッ化アンチモン、Ｎ，Ｎ−ジエチル−Ｎ−ベンジルトリフルオロメタンスルホン酸、Ｎ，Ｎ−ジメチル−Ｎ−（４−メトキシベンジル）ピリジニウム六フッ化アンチモン、Ｎ，Ｎ−ジエチル−Ｎ−（４−メトキシベンジル）トルイジニウム六フッ化アンチモン、エチルトリフェニルホスホニウム六フッ化アンチモン、テトラブチルホスホニウム六フッ化アンチモン、トリフェニルスルホニウム四フッ化ホウ素、トリフェニルスルホニウム六フッ化アンチモン、トリフェニルスルホニウム六フッ化砒素、トリ（４−メトキシフェニル）スルホニウム六フッ化砒素、ジフェニル（４−フェニルチオフェニル）スルホニウム六フッ化砒素、アデカオプトマーＳＰ−１５０（株式会社ＡＤＥＫＡ社製、対イオン：ＰＦ₆ ）、アデカオプトマーＳＰ−１７０（株式会社ＡＤＥＫＡ社製、対イオン：ＳｂＦ₆ ）、アデカオプトマーＣＰ−６６（株式会社ＡＤＥＫＡ社製、対イオン：ＳｂＦ₆ ）、アデカオプトマーＣＰ−７７（株式会社ＡＤＥＫＡ社製、対イオン：ＳｂＦ₆ ）、サンエイドＳＩ−６０Ｌ（三新化学工業株式会社製、対イオン：ＳｂＦ₆）、サンエイドＳＩ−８０Ｌ（三新化学工業株式会社製、対イオン：ＳｂＦ₆）、サンエイドＳＩ−１００Ｌ（三新化学工業株式会社製、対イオン：ＳｂＦ₆）、サンエイドＳＩ−１５０（三新化学工業株式会社製、対イオン：ＳｂＦ₆）、ＣＹＲＡＣＵＲＥ ＵＶＩ−６９７４（ユニオン・カーバイド社製、対イオン：ＳｂＦ₆）、ＣＹＲＡＣＵＲＥ ＵＶＩ−６９９０（ユニオン・カーバイド社製、対イオン：ＰＦ₆ ）、ＵＶＩ−５０８（ゼネラル・エレクトリック社製）、ＵＶＩ−５０９（ゼネラル・エレクトリック社製）、ＦＣ−５０８（ミネソタ・マイニング・アンド・マニファクチュアリング社製）、ＦＣ−５０９（ミネソタ・マイニング・アンド・マニファクチュアリング社製）、ＣＤ−１０１０（サートマー社製）、ＣＤ−１０１１（サートマー社製）およびＣＩシリーズ（日本曹達株式会社製、対イオン：ＰＦ₆ 、ＳｂＦ₆）、ジフェニルヨードニウム六フッ化砒素、ジ−４−クロロフェニルヨードニウム六フッ化砒素、ジ−４−ブロムフェニルヨードニウム六フッ化砒素、フェニル（４−メトキシフェニル）ヨードニウム六フッ化砒素、ゼネラル・エレクトリック社製のＵＶＥシリーズ、ミネソタ・マイニング・アンド・マニファクチュアリング社製のＦＣシリーズ、東芝シリコーン社製のＵＶ−９３１０Ｃ（対イオン：ＳｂＦ₆）およびローディア社製のＰｈｏｔｏｉｎｉｔｉａｔｏｒ２０７４（対イオン：（Ｃ₆Ｆ₅）₄Ｂ）等を挙げることができる。

本発明で用いられる感エネルギー線酸発生剤(Ａ)と併用する他の酸発生剤の比率は特に限定されないが、本発明の感エネルギー線酸発生剤(Ａ)１００重量部に対して０〜９９重量部の範囲で使用することが好ましい。

さらに必要に応じて、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤、レベリング剤、無機充填剤、界面活性剤、重合禁止剤、濡れ性改良剤、可塑剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、酸拡散制御剤、脱水剤、熱安定剤、難燃剤、帯電防止剤、光（活性エネルギー線）硬化性を向上させるための「ラジカル重合性不飽和基を有する化合物と光ラジカル開始剤」等を用いても良い。

本発明で用いられる感エネルギー線酸発生剤(Ａ)から酸を発生させ、カチオン重合性化合物(Ｃ)を重合または架橋させるために使用するエネルギー線は、感エネルギー線酸発生剤(Ａ)またはアミン化合物(Ｂ)が吸収して、感エネルギー線酸発生剤(Ａ)が分解し、酸を発生できるものであれば特に限定されない。このようなエネルギー線の例としては、超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、水銀キセノンランプ、メタルハライドランプ、ハイパワーメタルハライドランプ、キセノンランプ、パルス発光キセノンランプ等が挙げられるがこれらに限定されるものではない。また、Ｎｄ−ＹＡＧ３倍波レーザー、Ｈｅ−Ｃｄレーザー、窒素レーザー、Ｘｅ−Ｃｌエキシマレーザー、Ｘｅ−Ｆエキシマレーザー、半導体励起固体レーザー等の３００ｎｍから４５０ｎｍの波長領域に発光波長を有するレーザーも好適なエネルギー線源等が挙げられる。また、電子線も好適なエネルギー線源として使用することが可能である。また、これらの光源は適宜、フィルター、ミラー、レンズ等の光学機器を介して照射することも可能である。さらに、加熱硬化等の他の硬化手段を併用しても良い。上記加熱硬化を併用する場合の加熱温度は特に限定されるものではないが、５０〜２００℃であることが好ましい。

次に、本発明の光導波路形成用材料を用いた光導波路の形成方法について説明する。本発明の光導波路形成用材料を用いた光導波路の形成方法は、下部クラッド層形成工程と、コア部形成工程と、および上部クラッド層形成工程とから主として構成されている。本発明の光導波路形成用材料は、下部クラッド層、コア部、上部クラッド層のいずれの形成用材料にも用いることができる。

図１(Ａ)〜図１(Ｆ)は、本発明の光導波路の形成方法について、一実施の形態を示す工程図である。

まず、基板１を準備する（図１(Ａ)）。なお、基板１は平坦な表面を有するものであれば、特に制限されるものではないが、例えばシリコン基板やガラス基板等を用いることが出来る。

基板１の表面に、下部クラッド層形成用材料を塗布し、乾燥またはプリベークさせて、下層用薄膜を形成する。そして、この下層用薄膜に、感エネルギー線を照射することにより硬化させて、下部クラッド層２を形成する（図１(Ｂ)）。なお、下部クラッド層２の形成工程では、薄膜の全面に感エネルギー線を照射し、その全体を硬化させることが好ましい。

ここで、下部クラッド層形成用材料を塗布する手段としては、スピンコート法、ディッピング法、スプレー法、バーコート法、ロールコート法、カーテンコート法、グラビア印刷法、シルクスクリーン法、またはインクジェット法等の方法を用いることができる。このうち、均一な厚さを有する塗膜が得られることから、特にスピンコート法を用いることが好ましい。

この場合、下部クラッド層形成用材料は、有機溶剤で希釈して用いることが好ましい。

有機溶剤としては、下部クラッド層形成用材料を均一に溶解できるものであれば特に限定されない。具体例としては１，１，２，２−テトラクロロエタン、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、γ−ブチロラクトン、メチルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルメトキシプロピオナート、エチルエトキシプロピオナート、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トルエン、酢酸エチル、酢酸イソアミル、乳酸メチル、乳酸エチル、エトキシプロピオン酸エチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリドンなどが好ましく、これらの溶剤を単独あるいは混合して使用する。

また、下部クラッド層形成用材料から形成された塗布膜は、５０〜９０℃の温度で乾燥させ、あるいは必要に応じてさらに６０〜２００℃に加熱してプレベークすることにより、薄膜として形成することができる。このようなプレベーク条件は、下部クラッド層形成用材料の各成分の種類、配合割合などによっても異なるが、通常６０〜１２０℃で、１０〜６００秒のプレベーク条件とすることが好ましい。なお、下部クラッド層の形成工程における塗布方法は、後述するコア部の形成工程や、上部グラッド層の形成工程においてもあてはまる内容である。

また、下部クラッド層を形成する際のエネルギー線は、本発明で用いている酸発生剤(Ａ)が吸収して分解し、酸を発生できるものであり、被着体にダメージを与えないものであれば特に限定されない。このようなエネルギー線の例としては光酸発生剤(Ａ)の説明で述べたエネルギー線と同様である。

さらに、活性エネルギーを照射後に、塗膜全面が十分硬化するように、必要に応じて加熱処理を行っても良い。この加熱条件は下部クラッド層形成用材料の配合組成、添加剤の種類等により変わるが、通常、３０〜４００℃、好ましくは５０〜３００℃で、例えば５分間〜７２時間である。なお、下部クラッド層の形成工程におけるエネルギー線および加熱処理については、後述するコア部の形成工程や、上部グラッド層の形成工程においてもあてはまる内容である。

次に、この下部クラッド層２上に、コア形成用材料を塗布し、乾燥またはさらにプリベークさせてコア用薄膜３を形成する。その後、コア用薄膜３の上面に対して、所定のパターンに従って、例えば所定のラインパターンを有するフォトマスク４を介して活性エネルギー線５の照射を行う（図１(Ｃ)）。これにより、放射線が照射された箇所のみが硬化するので、それ以外の未硬化の部分を現像除去することにより、下部クラッド層２上に、パターニングされた硬化膜よりなるコア部６を形成することができる。（図１(Ｄ)）
このようにして所定のパターンに従ってパターン露光し、選択的に硬化させた薄膜に対しては、硬化部分と未硬化部分との溶解性の差異を利用して、現像処理することができる。したがって、パターン露光後、未硬化部分を除去するとともに、硬化部分を残存させることにより、結果として、コア部を形成することができる（図１(Ｅ)）。

ここで、現像液としては、有機溶剤、あるいは水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］−５−ノナンなどのアルカリ類からなるアルカリ水溶液等を用いることができる。また、アルカリ水溶性を使用する場合、その
濃度を、通常０．０５〜２５重量％、好ましくは０．１〜３．０重量％の範囲内の値とすることが好ましい。なお、このようなアルカリ水溶液に、メタノール、エタノールなどの水溶性有機溶剤や界面活性剤などを適当量添加して、現像液として使用することも好ましい。

また、現像方法は液盛り法、ディッピング法、シャワー現像法などの公知の方法を採用することができる。

次に、コア部６が形成された下部クラッド層２の表面に、上部クラッド層形成用材料を塗布し、乾燥またはプリベークさせて上部クラッド層用薄膜を形成する。この上部クラッド層用薄膜に対し、活性エネルギー線を照射して硬化させることにより、図１に示したように上部クラッド層７を形成することができる（図１(Ｆ)）。

また、活性エネルギー線の照射によって得られる上部クラッド層７は、必要に応じて、さらに上述したポストベークすることが好ましい。ポストベークすることにより、硬度および耐熱性に優れた上部クラッド層を得ることができる。

図１(Ｇ)〜図１(Ｋ)は、本発明の光導波路の形成方法について、他の実施の形態を示す工程図である。なお、図１(Ａ)〜図１(Ｆ)に示した部材と同様の部材には共通の符号を用いた。

まず、基板１を準備する（図１(Ｇ)）。

基板１上に上述した方法で下部クラッド層２を形成する（図１(Ｈ)）。

下部クラッド層２上に、コア部形成用材料を塗布し、乾燥またはさらにプリベークさせてコア部用薄膜３を形成する。その後、コア部用薄膜３の上面に対して、所定のパターンに従って、例えば所定のラインパターンを有するフォトマスク４を介して活性エネルギー線５の照射を行う（図１(Ｉ)）。

この際、コア部形成用材料に、活性エネルギー線の照射により屈折率が増加するような本発明の光導波路形成用材料を用いた場合、図１の(Ｉ)のように、コア部となる部分に活性エネルギー線を照射する。

逆に、コア部形成用材料に、活性エネルギー線の照射により屈折率が減少するような本発明の光導波路形成用材料を用いた場合、図１の(Ｉ)とは逆に、コア部ではない側面クラッド層のみに活性エネルギーが照射されるようなフォトマスクを使用する。

次に、コア部６が形成された下部クラッド層２の表面（図１(Ｊ)）に、上部クラッド層形成用材料を塗布し、乾燥またはプリベークさせて上部クラッド層用薄膜を形成する。この上部クラッド層用薄膜に対し、活性エネルギー線を照射して硬化させることにより、図１に示したように上部クラッド層７を形成することができる（図１(Ｋ)）。

以下、実施例にて本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例のみに、なんら限定されるものではない。

本発明の実施例および比較例に使用した酸発生剤、アミン化合物、および増感剤の構造を表１に示した。

表１

実施例１
(１)光導波路形成用材料Ａ（コア部形成用材料）
フェニルトリメトキシシランとメチルトリメトキシシランとからの加水分解から得られた加水分解物４０重量部と、メチルイソブチルケトン６０重量部とからなるカチオン重合性化合物１００重量部に対し、感エネルギー線酸発生剤として化合物(１)を２重量部、アミン化合物として化合物（１５）を０．４重量部添加し、均一に混合することにより、コア部形成用材料として、光導波路形成用材料Ａを得た。この光導波路形成用材料Ａをシリコン基板の表面上にスピンコータで塗布し、７０℃で１０分間乾燥させた後、波長３６５ｎｍの光のみを選択的に透過するバンドパスフィルターを介して１０００ｍＪ／ｃｍ²照射することにより、厚さ７μｍの膜を形成した。得られた膜の波長１５５０ｎｍの光の屈折率は、１．４５２であった。

実施例２〜２５および比較例１〜１１
実施例１の感エネルギー線酸発生剤２重量部を表２に示した感エネルギー線酸発生剤それぞれ２重量部に、アミン化合物０．４重量部を表２に示したアミン化合物または増感剤それぞれ０．４重量部に置き替えた他は、実施例１と全く同一の所作にて光導波路形成用材料Ａを調整し、膜を得た。得られた膜の、波長１５５０ｎｍの光の屈折率の測定結果を表２に示した。

表２

実施例１〜２５のように、本発明の感エネルギー線酸発生剤とアミン化合物とを用いた光導波路形成用材料は、少ない活性エネルギー線の照射量で膜を形成することが出来た。また、得られた膜の波長１５５０ｎｍの光の屈折率は、ほぼ同等の値であった。一方、本発明以外の感エネルギー線酸発生剤を用いた場合(比較例１〜４)や、本発明のアミン化合物を用いなかった場合(比較例５〜１１)は、所定の活性エネルギー線の照射量では十分な硬化が進行せず、目的の膜を得ることが出来ない結果となった。

実施例２６
(２)光導波路形成用材料Ｂ（下部クラッド層形成用材料または上部クラッド層形成用材料）
メチルトリメトキシシランからの加水分解から得られた加水分解物４０重量部とメチルイソブチルケトン６０重量部とからなるカチオン重合性化合物１００重量部に対し、感エネルギー線酸発生剤として化合物(１)を２重量部、アミン化合物として化合物（１５）を０．４重量部添加し、均一に混合することにより、下部クラッド層形成用材料または上部クラッド層形成用材料として、光導波路形成用材料Ｂを得た。この光導波路形成用材料Ｂをシリコン基板の表面上にスピンコータで塗布し、７０℃で１０分間乾燥させた後、波長３６５ｎｍの光のみを選択的に透過するバンドパスフィルターを介して１０００ｍＪ／ｃｍ²照射することにより、厚さ１０μｍの膜を形成した。得られた膜の波長１５５０ｎｍの光の屈折率は、１．４２３であった。

実施例２７〜５０および比較例１２〜２２
実施例２６の感エネルギー線酸発生剤２重量部を表３に示した感エネルギー線酸発生剤それぞれ２重量部に、アミン化合物０．４重量部を表３に示したアミン化合物または増感剤それぞれ０．４重量部に置き替えた他は、実施例２６と全く同一の所作にて光導波路形成用材料Ｂを調整し、膜を得た。得られた膜の、波長１５５０ｎｍの光の屈折率の測定結果を表３に示した。

表３

実施例２６〜５０のように、本発明の感エネルギー線酸発生剤とアミン化合物とを用いた光導波路形成用材料は、少ない活性エネルギー線の照射量で膜を形成することが出来た。また、得られた膜の波長１５５０ｎｍの光の屈折率は、ほぼ同等の値であった。一方、本発明以外の感エネルギー線酸発生剤を用いた場合(比較例１２〜１５)や、本発明のアミン化合物を用いなかった場合(比較例１６〜２２)は、所定の活性エネルギー線の照射量では十分な硬化が進行せず、目的の膜を得ることが出来ない結果となった。

実施例５１
(３)光導波路形成用材料Ｃ（コア部形成用材料）
メチルトリメトキシシランと、３−エチル−３−｛［３−（トリエトキシシリル）プロポキシ］メチル｝オキセタンとからの加水分解から得られた加水分解物５０重量部と、プロピレングリコールモノメチルエーテル５０重量部とからなるカチオン重合性化合物１００重量部に対し、感エネルギー線酸発生剤として化合物(１)を２重量部、アミン化合物として化合物（１５）を０．４重量部添加し、均一に混合することにより、コア部形成用材料として、光導波路形成用材料Ｃを得た。この光導波路形成用材料Ａをシリコン基板の表面上にスピンコータで塗布し、７０℃で１０分間乾燥させた後、波長３６５ｎｍの光のみを選択的に透過するバンドパスフィルターを介して１０００ｍＪ／ｃｍ²照射することにより、厚さ７μｍの膜を形成した。得られた膜の波長１５５０ｎｍの光の屈折率は、１．４３６であった。

実施例５２〜７５および比較例２３〜３３
実施例５１の感エネルギー線酸発生剤２重量部を表４に示した感エネルギー線酸発生剤それぞれ２重量部に、アミン化合物０．４重量部を表４に示したアミン化合物または増感剤それぞれ０．４重量部に置き替えた他は、実施例５１と全く同一の所作にて光導波路形成用材料Ｃを調整し、膜を得た。得られた膜の、波長１５５０ｎｍの光の屈折率の測定結果を表４に示した。

表４

実施例５１〜７５のように、本発明の感エネルギー線酸発生剤とアミン化合物とを用いた光導波路形成用材料は、少ない活性エネルギー線の照射量で膜を形成することが出来た。また、得られた膜の波長１５５０ｎｍの光の屈折率は、ほぼ同等の値であった。一方、本発明以外の感エネルギー線酸発生剤を用いた場合(比較例２３〜２６)や、本発明のアミン化合物を用いなかった場合(比較例２７〜３３)は、所定の活性エネルギー線の照射量では十分な硬化が進行せず、目的の膜を得ることが出来ない結果となった。

実施例７６
実施例３９で調整した光導波路形成用材料Ｂをシリコン基板の表面上にスピンコータで塗布し、７０℃で１０分間乾燥させた後、波長３６５ｎｍの光のみを選択的に透過するバンドパスフィルターを介して１０００ｍＪ／ｃｍ²照射することにより、厚み１０μｍの下部クラッド層を形成した。この下部クラッド層における波長１５５０ｎｍの光の屈折率は１．４２４であった。次いで、実施例１４で調整した光導波路形成用材料Ａを下部クラッド層の上にスピンコータで塗布し、７０℃で１０分間乾燥させた後、幅４〜２０μｍの光導波路パターンを刻んだフォトマスクを用いて、波長３６５ｎｍの光のみを選択的に透過するバンドパスフィルターを介して１０００ｍＪ／ｃｍ²照射することにより、露光を行った。その後、この基板をエタノールよりなる現像液中に浸漬して未露光部を溶解し、厚さ７μｍのコア部を形成した。得られたコア部における波長１５５０ｎｍの光の屈折率は、１．４５２であった。さらに、このコア部を有する下部クラッド層の上面に、実施例３９で調整した光導波路形成用材料Ｂをスピンコータで塗布し、７０℃で１０分間乾燥させた後、波長３６５ｎｍの光のみを選択的に透過するバンドパスフィルターを介して１０００ｍＪ／ｃｍ²照射することにより、厚み１５μｍの上部クラッド層を形成し、これにより、光導波路を形成した。形成された上部クラッド層における波長１５５０ｎｍの光の屈折率は１．４２４であった。

実施例７７
実施例７６における光導波路形成用材料Ａの代りに、実施例６４で調整した光導波路形成用材料Ｃを用いた他は、実施例７６と同様に光導波路を形成し、屈折率を測定した。その結果、形成された下部クラッド層における波長１５５０ｎｍの光の屈折率は１．４２４であり、コア部における屈折率は、１．４３７であり、上部クラッド層における屈折率は１．４２４であった。

本発明の光導波路形成用材料は、少ない活性エネルギー線の照射量できわめて容易かつ単時間で、硬化することが出来る。また、本発明光導波路形成用材料は、パターン露光できる、または活性エネルギー線の照射で屈折率を変化させることが出来るため、容易に光導波路を形成することができる。本発明の光導波路形成用材料は、低コストで量産性に優れた、光導波路の生産に用い得る。

光導波路の製造方法の一部工程図である。

(Ａ)〜(Ｆ)は、直接露光法による製造の一部工程図である。

(Ｇ)〜(Ｋ)は、フォトブリーチング法による製造の一部工程図である。

符号の説明

１ 基板
２ 下部クラッド層
３ コア部用薄膜
４ フォトマスク
５ 活性エネルギー線
６ コア部
７ 上部クラッド層

Claims (8)

1. 下記一般式(１)または下記一般式(２)で表記される感エネルギー線酸発生剤(Ａ)と、下記一般式(３)で表記されるアミン化合物(Ｂ)と、カチオン重合性化合物(Ｃ)とを含んでなる光導波路形成用材料。
   一般式(１)
   

   

   
   （ただし、Ｒ¹は、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、および、置換もしくは未置換の複素環オキシ基より選ばれる基を表す。
   Ｒ²およびＲ³は、それぞれ独立に、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、置換もしくは未置換の複素環オキシ基、水素原子、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルケニル基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基、置換もしくは未置換のアシル基、置換もしくは未置換のカルボニルオキシ基、置換もしくは未置換のオキシカルボニル基、またはハロゲン原子より選ばれる基を表す。
   Ｒ⁴ は、酸素原子もしくは孤立電子対を表す。
   また、Ｒ¹ とＲ² 、Ｒ¹ とＲ³ 、もしくはＲ² とＲ³は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。
   また、Ｘ^-は、任意のアニオンを表す。）
   一般式(２)
   

   

   
   (式中、Ｙはフッ素または塩素原子、
   Ｚは、フッ素原子、シアノ基、ニトロ基、およびトリフルオロメチル基の中から選ばれる基で２つ以上置換されたフェニル基、
   ｍは０から３の整数、ｎは１から４の整数を表し、ｍ＋ｎ＝４である。
   また、Ｌ⁺は、任意のカチオンを表す。）
   一般式(３)
   

   

   
   (式中、Ａｒ¹、Ａｒ²、Ａｒ³は、それぞれ独立に、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基を表す。
   また、Ａｒ¹とＡｒ²、Ａｒ¹とＡｒ³、もしくはＡｒ²とＡｒ³は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。)
2. 感エネルギー線酸発生剤(Ａ)が、下記一般式(４)で表記されるスルホニウム塩である請求項１記載の光導波路形成用材料。
   一般式(４)
   

   

   
   （ただし、Ｒ¹は、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、および、置換もしくは未置換の複素環オキシ基より選ばれる基を表す。
   Ｒ²およびＲ³は、それぞれ独立に、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、置換もしくは未置換の複素環オキシ基、水素原子、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルケニル基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基、置換もしくは未置換のアシル基、置換もしくは未置換のカルボニルオキシ基、置換もしくは未置換のオキシカルボニル基、またはハロゲン原子より選ばれる基を表す。
   また、Ｒ¹ とＲ² 、Ｒ¹ とＲ³ 、もしくはＲ² とＲ³は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。
   また、Ｘ^-は、任意のアニオンを表す。）
3. 感エネルギー線酸発生剤(Ａ)が、下記一般式(５)で表記されるオニウム塩である請求項１記載の光導波路形成用材料。
   一般式(５)
   

   

   
   (式中、Ｌ⁺は、任意のカチオンを表す。)
4. 感エネルギー線酸発生剤(Ａ)が、下記一般式(６)で表記されるスルホニウム塩である請求項１〜３いずれか記載の光導波路形成用材料。
   一般式(６)
   

   

   
   （ただし、Ｒ¹は、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、および、置換もしくは未置換の複素環オキシ基より選ばれる基を表す。
   Ｒ²およびＲ³は、それぞれ独立に、置換もしくは未置換のベンジル基、置換もしくは未置換のフェナシル基、置換もしくは未置換のアリル基、置換もしくは未置換のアルコキシル基、置換もしくは未置換のアリールオキシ基、置換もしくは未置換の複素環オキシ基、水素原子、置換もしくは未置換のアルキル基、置換もしくは未置換のアルケニル基、置換もしくは未置換のアリール基、置換もしくは未置換の複素環基、置換もしくは未置換のアシル基、置換もしくは未置換のカルボニルオキシ基、置換もしくは未置換のオキシカルボニル基、またはハロゲン原子より選ばれる基を表す。
   また、Ｒ¹ とＲ² 、Ｒ¹ とＲ³ 、もしくはＲ² とＲ³は、互いに結合して環構造を形成していてもよい。）
5. カチオン重合性化合物(Ｃ)が、分子内に少なくとも１個のエポキシ基または分子内に少なくとも１個のオキセタニル基を有する化合物または、加水分解性シラン化合物の加水分解物である請求項１〜４いずれか記載の光導波路形成用材料。
6. 請求項１〜５のいずれか一つに記載の光導波路用材料を硬化させてなる光導波路。
7. コア部およびグラット層を有する光導波路の製造方法であって、コア部またはグラット層の少なくとも一方となるよう基板上に、請求項１〜５のいずれか一つに記載の光導波路形成用材料を塗工した後、光照射して硬化させることを特徴とする光導波路の製造方法。
8. 請求項７記載の光導波路の製造方法により製造された光導波路。

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