JP2008508425A - 電子部品製造における銀めっき - Google Patents
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Abstract
【選択図】図14C
Description
印刷配線基板(PWB)の生産においては、第1の(複数過程)段階で「裸基板(ベアボード)」が調製され、第2の(複数過程)段階で多種の部品が基板上に搭載される。本発明は裸基板の製造の最終過程に関するものであり、該過程において裸基板は、第2の生産段階に移行する前に保護層で被覆される。
現在、上記で言及した第2段階における裸基板への装着のため2種類の部品、すなわち、例えばレジスタ、トランジスタ等の脚のある部品、および、より最近では表面実装デバイスが存在する。脚のある部品は、脚のそれぞれを基板の孔に通し、次に脚の周囲の孔をはんだで確実に満たすことにより基板に装着される。表面実装デバイスは、平坦な接触領域にはんだ付けすることにより、または粘着剤を使用する接着により基板の表面に装着される。
従って簡単には、本発明は、銀イオンの供給源および水を含む組成物に金属表面を接触させてそれにより金属表面上に銀を主材料とする被覆を形成することからなる金属表面を銀めっきする方法および組成物を指向するものであって、ここで前記組成物は約25mS/cm以下の室温伝導度を有するようなイオン含有量である。
図1および2は、被覆時間に対する被覆厚さの図である。
図3および4は、銀被覆の2000倍の顕微鏡写真である。
図5〜8は、銀被覆の変色試験写真である。
図9および10は、オージェ光電子のプロフィールである。
図11は、はんだぬれ性データの図である。
図12および13は、表面絶縁抵抗およびエレクトロマイグレーション抵抗の箱ひげ図である。
図24および25は、はんだぬれ性データの図である。
図26は、銀めっき溶液を描いており、図27は、経時的な該溶液の銀含有量の図である。
図28は、乾燥焼き試験後のPWBの写真である。
図29および30は、銀析出物のSEM顕微鏡写真である。
図31は、オージェ・データのグラフである。
図32は、XPSデータのグラフである。
図33および34は、接触抵抗データの図である。
図35は、銀析出物の顕微鏡写真を示す。
本発明は、より大きい電気陽性の金属の被覆を形成するよう、比較的小さい電気陽性の基材が、より大きい電気陽性の金属のイオンおよびここで説明するその他の添加剤を含む水性のめっき組成物との接触により、比較的大きい電気陽性の被覆金属でめっきされる置換金属めっきの方法を指向する。より大きい電気陽性の金属のイオンが、基板金属を酸化させる。置換めっきの方法は無電解の方法と異なるが、それは、それぞれ保護される表面の酸化金属および析出するイオンの相対的な電極電位のため単純な置換反応により被覆が金属の表面に生じるからである。
(a)好ましくは少なくとも6個の炭素原子、最も好ましくは少なくとも10個の炭素原子、一般的には30個以内の炭素原子を有する脂肪酸アミンであり、それらは、第1、第2、第3、ジアミン、アミン塩、アミド、エトキシ化アミン、エトキシ化ジアミン、第四級アンモニウム塩、第四級二アンモニウム塩、エトキシ化第四級アンモニウム塩、エトキシ化アミドおよびアミン・オキシドである場合がある。第1、第2および第3のアミン型腐食抑制剤の例は、商標 アーミン(ARMEEN)(商標)である。次のアミン型腐食抑制剤の例は、それぞれDUOMEENJ、ARMACJ/DUOMAC、ARMIDJ、ETHOMEENJ、ETHODUONEENJ、ARQUADJ、DUOQUADJ、ETHOQUADJ、ETHOMIDJ、AROMOXJであり、全てアクゾ・ケミー(Akzo Chemie)が供給している。
(c)チバ・ガイギー(Ciba−Geigy)が供給するサルコジ(SARKOSY)の範囲の製品などのサルコシンのN−アシル誘導体。
(d)チバ・ガイギー(Ciba−Geigy)が供給するReocor 190などの有機ポリカルボン酸。
(e)置換基が例えばヒドロキシC1−4のアルキル・アミノまたはカルボニルを含む基である置換されたイミダゾリン。例は、特に分類(c)のN−アシル化サルコシンと組み合わせた、チバ・ガイギー(Ciba−Geigy)が生産するアミン0を含む。
(g)ウイトコ(Witco)が供給するEKCOL PS−413などのリン酸エステル。
(h)チバ・ガイギー(Ciba−Geigy)が供給するレオメット(REOMET)42などの選択的に置換されたトリアゾール誘導体。例は、1から22、好ましくは1から10のアルキル基上の炭素番号を有するベンゾ・トリアゾール、トリル・トリアゾールおよびアルキル置換トリアゾール誘導体である。
(i)5(3(トリフルオロメチル・フェニル))テトラゾールなどの置換テトラゾールも、好ましい例示である。
本発明は、以下の実施例でさらに説明される。
図3A:3 μinの厚さ;3分;停滞
図3B:13 μinの厚さ;1.5分;撹拌
図3C:21 μinの厚さ;2分;撹拌
図4B:6 μinの厚さ;2分;緩やかな撹拌
図4C:8 μinの厚さ;2分;撹拌
これらの図は、厚さが増大し条件が両方の方法について他の点で変化しても、被覆構造が変化しないことを示している。本発明の方法(図4)からの銀は、より細かい粒状組織を有していると思われ、このことは、X線回析により確認された。
図5B:5 μinの厚さ;2分;緩やかな撹拌
図5C:12 μinの厚さ;3分;撹拌
図6B:6 μinの厚さ;3分;緩やかな撹拌
図6C:21 μinの厚さ;3分;撹拌
図7A:4 μinの厚さ;6分;停滞
図7B:5 μinの厚さ;3分;緩やかな撹拌
図7C:12 μinの厚さ;3分;撹拌
図8A:3 μinの厚さ;3分;停滞
図8B:6 μinの厚さ;1.5分;撹拌
図8C:21 μinの厚さ;3分;撹拌
Claims (111)
- 銀イオンの供給源および水を含む組成物に金属表面を接触させ金属表面上に銀を主材料とする被覆を形成することからなる金属表面を銀めっきするための方法であって、該組成物のイオン含有量が約25mS/cm以下の室温伝導度を有するものとなるようなイオン含有量である金属表面を銀めっきする方法。
- 前記組成物がさらにアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物を含む請求項1の方法。
- 前記組成物がさらにアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物のアルカリ土類/アルカリ金属を含まない供給源からのアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物を含む請求項1の方法。
- 前記組成物がさらにN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸を含む請求項1の方法。
- 前記組成物がさらにN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸のアルカリ土類/アルカリ金属を含まない供給源からのN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸を含む請求項1の方法。
- 前記組成物がさらにアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物を含み、前記組成物が1と約3の間のpHを有する請求項1の方法。
- 前記組成物がさらにN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸を含み、前記組成物が1と約3の間のpHを有する請求項1の方法。
- 前記組成物がさらにアミノ酸添加剤を含む請求項1の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択される請求項8の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がDL−アラニンである請求項8の方法。
- 前記組成物がさらにアミノ酸添加剤を含み、前記組成物が約4と5の間のpHを有する請求項1の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択される請求項11の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がDL−アラニンである請求項11の方法。
- 前記組成物がさらにヒダントイン誘導体を含む請求項1の方法。
- 前記組成物がさらに5,5−ジメチルヒダントインを含む請求項1の方法。
- 前記組成物がさらにエチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体添加剤を含む請求項1の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が約3:4のPO:EOの単位比を有する請求項16の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が3:4+/−10%のPO:EOの単位比を有する請求項16の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が約5:3のPO:EOの単位比を有する請求項16の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が5:3+/−10%のPO:EOの単位比を有する請求項16の方法。
- 金属表面を銀めっきするためのめっき組成物であって、前記組成物が、銀イオンの供給源および水を含み、組成物が約25mS/cm以下の室温伝導度を有することとなるようなイオン含有量を有する前記組成物。
- 前記組成物がさらにアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物のアルカリ土類/アルカリ金属を含まない供給源からのアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物を含む請求項21の組成物。
- 前記組成物がさらにN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸のアルカリ土類/アルカリ金属を含まない供給源からのN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸を含む請求項21の組成物。
- 前記組成物がさらにアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物を含み、前記組成物が1と約3の間のpH(ペーハー)を有する請求項21の組成物。
- 前記組成物がさらに銀析出のアミノ酸阻害剤を含む請求項21の組成物。
- 前記アミノ酸阻害剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択される請求項25の組成物。
- 前記アミノ酸阻害剤がDL−アラニンである請求項25の組成物。
- 前記組成物がさらにアミノ酸添加剤を含み、前記組成物が約4と5の間のペーハーを有する請求項25の組成物。
- 前記組成物がさらにヒダントイン誘導体を含む請求項21の組成物。
- 前記組成物がさらに5,5−ジメチルヒダントインを含む請求項21の組成物。
- 前記組成物がさらにエチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体添加剤を含む請求項21の組成物。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が約3:4のPO:EOの単位比を有する請求項31の組成物。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が3:4+/−10%のPO:EOの単位比を有する請求項31の組成物。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が約5:3のPO:EOの単位比を有する請求項31の組成物。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が5:3+/−10%のPO:EOの単位比を有する請求項31の組成物。
- 前記組成物のが室温伝導度イオン含有量が約10mS/cm以下の室温伝導度を有する程度であるようなイオン含有量を有する請求項1の方法。
- 前記組成物がさらにアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物を含む請求項36の方法。
- 前記組成物がさらにアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物のアルカリ土類/アルカリ金属を含まない供給源からのアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物を含む請求項36の方法。
- 前記組成物がさらにN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸を含む請求項36の方法。
- 前記組成物がさらにN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸のアルカリ土類/アルカリ金属を含まない供給源からのN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸を含む請求項36の方法。
- 前記組成物がさらにアルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物を含み、前記組成物が1と約3の間のpHを有する請求項36の方法。
- 前記組成物がさらにN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸を含み、前記組成物が1と約3の間のpHを有する請求項36の方法。
- 前記組成物がさらにアミノ酸添加剤を含む請求項36の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択される請求項43の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がDL−アラニンである請求項43の方法。
- 前記組成物がさらにアミノ酸添加剤を含み、前記組成物が約4と5の間のpHを有する請求項43の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択される請求項46の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がDL−アラニンである請求項46の方法。
- 前記組成物がさらにヒダントイン誘導体を含む請求項36の方法。
- 前記組成物がさらに5,5−ジメチルヒダントインを含む請求項36の方法。
- 前記組成物がさらにエチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体添加剤を含む請求項36の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が約3:4のPO:EOの単位比を有する請求項51の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が3:4+/−10%のPO:EOの単位比を有する請求項51の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が約5:3のPO:EOの単位比を有する請求項51の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が5:3+/−10%のPO:EOの単位比を有する請求項51の方法。
- 前記銀を主材料とする被覆が少なくとも約80原子%の銀(容量平均)を含む請求項1の方法。
- 前記銀を主材料とする被覆が少なくとも約90原子%の銀(容量平均)を含む請求項1の方法。
- 以下の成分からなる組成物に金属表面を接触させ金属表面上に銀を主材料とする被覆を形成することからなる、金属表面を銀めっきするための方法:a)銀イオンの供給源;b)アルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物;およびc)水;ここで前記組成物は1と約3の間のpHを有し、金属表面上に銀を主材料とする被覆を形成する。
- 前記アルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物がN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸である請求項58の方法。
- 前記アルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物がN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸のアルカリ土類/アルカリ金属を含まない供給源である請求項58の方法。
- 以下の成分からなる、金属表面を銀めっきするための組成物:
a)銀イオンの供給源;
b)アルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物;および
c)水、
ここで前記組成物は、1と約3の間のpH(ペーハー)を有する。 - 前記アルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物がN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸である請求項61の組成物。
- 前記アルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物がN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸のアルカリ土類/アルカリ金属を含まない供給源である請求項61の方法。
- 以下の成分からなる組成物に金属表面を接触させ金属表面の金属が銀イオンの還元剤として機能するめっき条件下で、置換めっきにより金属表面上に銀を主材料とする被覆を形成することからなる、金属表面を銀めっきするための方法:
a)銀イオンの供給源;
b)銀の析出速度を遅くするため約4と約5の間のpHで機能する銀析出のアミノ酸阻害剤;および
c)水;
金属表面の金属が銀イオンの還元剤として機能するめっき条件下で、置換めっきにより金属表面上に銀を主材料とする被覆を形成する。 - 前記組成物が約4と約5の間のpHを有する請求項64の方法。
- 前記アミノ酸阻害剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択される請求項64の方法。
- 前記アミノ酸阻害剤がDL−アラニンである請求項64の方法。
- 前記アミノ酸阻害剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択され、前記組成物が約4と約5の間のpHを有する請求項64の方法。
- 前記アミノ酸阻害剤がDL−アラニンであり、前記組成物が約4と約5の間のpH(ペーハー)を有する請求項64の方法。
- 以下の成分からなる、金属表面を銀めっきするための組成物:
a)銀イオンの供給源;
b)銀の析出速度を遅くするため約4と約5の間のpHで機能する銀析出のアミノ酸阻害剤;および
c)水。 - 前記組成物が約4と約5の間のpHを有する請求項70の組成物。
- 前記アミノ酸阻害剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択される請求項70の組成物。
- 前記アミノ酸阻害剤がDL−アラニンである請求項70の組成物。
- 前記アミノ酸阻害剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択され、前記組成物が約4と約5の間のpHを有する請求項70の組成物。
- 前記アミノ酸阻害剤がDL−アラニンであり、前記組成物が約4と約5の間のpHを有する請求項70の組成物。
- 以下の成分からなる組成物に金属表面を接触させることからなる、金属表面を銀めっきするための方法:
a)銀イオンの供給源;
b)アラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択されるアミノ酸;および
c)水;金属表面上に銀を主材料とする被覆を形成する。 - 前記組成物が約4と約5の間のpHを有する請求項76の方法。
- 前記アミノ酸がDL−アラニンである請求項76の方法。
- 前記アミノ酸がDL−アラニンであり、前記組成物が約4と約5の間のpH(ペーハー)を有する請求項76の方法。
- 以下の成分からなる組成物に金属表面を接触させることからなる、金属表面を銀めっきするための方法:
a)銀イオンの供給源;
b)ヒダントイン誘導体;および
c)水;金属表面上に銀を主材料とする被覆を形成する。 - 前記ヒダントイン誘導体が5,5−ジメチルヒダントインである請求項80の方法。
- 前記組成物がさらにアミノ酸添加剤を含む請求項80の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択される請求項82の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がDL−アラニンである請求項82の方法。
- 前記組成物がさらにアミノ酸添加剤を含み、前記組成物が約4と5の間のpHを有する請求項80の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がアラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択される請求項85の方法。
- 前記アミノ酸添加剤がDL−アラニンである請求項86の方法。
- 以下の成分からなる組成物に金属表面を接触させることからなる、金属表面を銀めっきするための組成物:
a)銀イオンの供給源;
b)ヒダントイン誘導体;および
c)水。 - 前記ヒダントイン誘導体が5,5−ジメチルヒダントインである請求項88の組成物。
- 以下の成分からなる組成物に金属表面を接触させることからなる、金属表面を銀めっきするための方法:
a)銀イオンの供給源;
b)エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体添加剤;および
c)水;
ここで、金属表面上に銀を主材料とする被覆を形成する。 - 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が約3:4のPO:EOの単位比を有する請求項90の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が3:4+/−10%のPO:EOの単位比を有する請求項90の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が約5:3のPO:EOの単位比を有する請求項90の方法。
- 前記エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体が5:3+/−10%のPO:EOの単位比を有する請求項90の方法。
- 以下の成分からなる組成物に金属表面を接触させることからなる、金属表面を銀めっきするための方法:
a)銀イオンの供給源;
b)アルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物のアルカリ土類/アルカリ金属を含まない供給源;および
c)水;
ここで、前記組成物は金属表面上に銀を主材料とする被覆を形成するためのものである。 - 前記アルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物がN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸である請求項95の方法。
- 前記銀を主材料とする被覆が少なくとも約80原子%の銀(容量平均)である請求項95の方法。
- 前記銀を主材料とする被覆が少なくとも約90原子%の銀(容量平均)である請求項95の方法。
- 前記銀を主材料とする被覆が少なくとも約90原子%の銀(容量平均)である請求項96の方法。
- 前記銀を主材料とする被覆が少なくとも約95原子%の銀(容量平均)である請求項96の方法。
- 以下の成分からなる組成物に金属表面を接触させることからなる、金属表面を銀めっきするための組成物:
a)銀イオンの供給源;
b)アルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物のアルカリ土類/アルカリ金属を含まない供給源;および
c)水。 - 前記アルキレン・ポリアミン・ポリ酢酸化合物がN−(2−ヒドロキシエチル)エチレンジアミン三酢酸である請求項101の組成物。
- a)銀イオンの供給源を含む銀めっき組成物を銅表面に塗布し、次いでb)銀めっき組成物を電気相互接続の窪みへ機械的に助長することからなる、電気相互接続の窪みを有する印刷配線基板の銅表面に銀めっきするための方法。
- 前記銀めっき組成物を電気相互接続の窪みへ機械的に助長することが、前記銀めっき組成物を電気相互接続の窪みへはけ塗りするため銅表面をはけに接触させることからなる、請求項103の方法。
- 以下の成分からなる組成物に銅表面を接触させることからなる、印刷配線基板の銅表面に銀めっきするための方法:
a)銀イオンの供給源;
b)HEDTA;
c)エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体添加剤;
d)変色抑制剤;および
e)水;
ここで前記組成物は、1と約3の間のpHおよび約25mS/cm未満の室温伝導度を有し、金属表面上に少なくとも約90原子%の銀(容量平均)を含む銀を主材料とする被覆を形成する。 - 印刷配線基板の銅表面に銀めっきするための組成物であって、組成物が以下の成分からなるもの:
a)銀イオンの供給源;
b)HEDTA;
c)エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体添加剤;
d)変色抑制剤;および
e)水;
ここで前記組成物は、1と約3の間のpHおよび約25mS/cm未満の室温伝導度を有する。 - 以下の成分からなる組成物に銅表面を接触させることからなる、印刷配線基板の銅表面に銀めっきするための方法:
a)銀イオンの供給源;
b)アラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択されるアミノ酸添加剤;
c)エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体添加剤;
d)ヒダントイン誘導体;および
e)水;
ここで前記組成物は、約4と約5の間のpHおよび約25mS/cm未満の室温伝導度を有し、金属表面上に少なくとも約90原子%の銀(容量平均)を含む銀を主材料とする被覆を形成する。 - 印刷配線基板の銅表面に銀めっきするための組成物であって、組成物が以下の成分からなるもの:
a)銀イオンの供給源;
b)アラニンのキラル異性体およびラセミ混合物からなる群から選択されるアミノ酸添加剤;
c)エチレン・オキサイド/プロピレン・オキサイド・ブロック共重合体;
d)ヒダントイン誘導体;および
e)水;
ここで前記組成物は、約4と約5の間のpHおよび約25mS/cm未満の室温伝導度を有する。 - 少なくとも約80原子%の銀(容量平均)を含む銅相互接続上の表面被覆を有する、銅相互接続をその中に有する印刷配線板。
- 前記表面被覆が少なくとも約90原子%の銀(容量平均)を含む請求項109の印刷配線板。
- 前記表面被覆が少なくとも約95原子%の銀(容量平均)を含む請求項109の印刷配線板。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015146296A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 富士フイルム株式会社 | 積層体及びその製造方法、並びに反射板、抗菌コート、導電膜、熱伝導体 |
KR101825254B1 (ko) | 2013-01-24 | 2018-03-14 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 열가교촉진제, 이것을 함유하는 폴리실록산 함유 레지스트 하층막 형성용 조성물 및 이것을 이용한 패턴 형성 방법 |
JP2020145338A (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | 住友電工プリントサーキット株式会社 | 配線基板 |
JP2022003165A (ja) * | 2020-06-23 | 2022-01-11 | Dowaメタルテック株式会社 | 複合材、複合材の製造方法および端子 |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8349393B2 (en) * | 2004-07-29 | 2013-01-08 | Enthone Inc. | Silver plating in electronics manufacture |
JP2006187190A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-07-13 | Denso Corp | ブラシ、整流子及び整流機構 |
TW200741037A (en) | 2006-01-30 | 2007-11-01 | Ibiden Co Ltd | Plating apparatus and plating method |
JP4878866B2 (ja) * | 2006-02-22 | 2012-02-15 | イビデン株式会社 | めっき装置及びめっき方法 |
US7892662B2 (en) * | 2006-04-27 | 2011-02-22 | Guardian Industries Corp. | Window with anti-bacterial and/or anti-fungal feature and method of making same |
JP4367457B2 (ja) * | 2006-07-06 | 2009-11-18 | パナソニック電工株式会社 | 銀膜、銀膜の製造方法、led実装用基板、及びled実装用基板の製造方法 |
US7883738B2 (en) * | 2007-04-18 | 2011-02-08 | Enthone Inc. | Metallic surface enhancement |
US10017863B2 (en) * | 2007-06-21 | 2018-07-10 | Joseph A. Abys | Corrosion protection of bronzes |
DE102007040065A1 (de) * | 2007-08-24 | 2009-02-26 | Ormecon Gmbh | Artikel mit einer nanoskopischen Beschichtung aus Edel-/Halbedelmetall sowie Verfahren zu deren Herstellung |
WO2009039401A2 (en) * | 2007-09-19 | 2009-03-26 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Preparation of silver spheres by the reduction of silver polyamine complexes |
US7905994B2 (en) * | 2007-10-03 | 2011-03-15 | Moses Lake Industries, Inc. | Substrate holder and electroplating system |
TWI453301B (zh) * | 2007-11-08 | 2014-09-21 | Enthone | 浸鍍銀塗層上的自組分子 |
US7972655B2 (en) * | 2007-11-21 | 2011-07-05 | Enthone Inc. | Anti-tarnish coatings |
EP2242873B1 (en) | 2007-12-11 | 2018-09-12 | MacDermid Enthone Inc. | Electrolytic deposition of metal-based composite coatings comprising nano-particles |
US20090188553A1 (en) * | 2008-01-25 | 2009-07-30 | Emat Technology, Llc | Methods of fabricating solar-cell structures and resulting solar-cell structures |
US20090198006A1 (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-06 | Bernards Roger F | Methods And Compositions For Depositing Silver Onto A Metal Surface |
US7631798B1 (en) * | 2008-10-02 | 2009-12-15 | Ernest Long | Method for enhancing the solderability of a surface |
US8262894B2 (en) | 2009-04-30 | 2012-09-11 | Moses Lake Industries, Inc. | High speed copper plating bath |
ES2714824T3 (es) * | 2009-07-03 | 2019-05-30 | Macdermid Enthone Inc | Electrolito que comprende beta-aminoácidos y método para la deposición de una capa de metal |
US9175400B2 (en) * | 2009-10-28 | 2015-11-03 | Enthone Inc. | Immersion tin silver plating in electronics manufacture |
US20120061710A1 (en) * | 2010-09-10 | 2012-03-15 | Toscano Lenora M | Method for Treating Metal Surfaces |
DE102011078546A1 (de) * | 2011-07-01 | 2013-01-03 | Tyco Electronics Amp Gmbh | Elektrische Kontaktbeschichtung |
WO2014102140A1 (en) * | 2012-12-28 | 2014-07-03 | Pk Plating Technology Ab | A method for plating a substrate with a metal |
HK1219987A1 (zh) * | 2013-03-15 | 2017-04-21 | 恩索恩公司 | 銀與含氟聚合物納米粒子的電沉積 |
CN104342726A (zh) * | 2013-07-23 | 2015-02-11 | 深圳中宇昭日科技有限公司 | 一种无氰镀银方法 |
US10889907B2 (en) | 2014-02-21 | 2021-01-12 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Cyanide-free acidic matte silver electroplating compositions and methods |
CN105420770A (zh) * | 2015-11-30 | 2016-03-23 | 苏州市金星工艺镀饰有限公司 | 一种防变色无氰镀银电镀液及其电镀方法 |
RU2715221C2 (ru) * | 2018-06-21 | 2020-02-26 | Федеральный научно-производственный центр акционерное общество "Научно-производственное объединение "Марс" | Способ стабилизации слоя паяльной маски, наносимой методом полива |
CN109137011A (zh) * | 2018-09-20 | 2019-01-04 | 吕莉 | 一种高压隔离开关电接触材料的制备方法 |
CN111663124A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-09-15 | 大连理工大学 | 一种在碳化硅表面镀银的方法 |
CN114438557B (zh) * | 2022-02-15 | 2023-04-11 | 嘉兴学院 | 一种用于蚀刻引线框架镀银用的电镀液及其制备方法 |
CN115726009A (zh) * | 2022-11-18 | 2023-03-03 | 深圳市恒享表面处理技术有限公司 | 一种耐磨镀银光亮添加剂及其制备方法 |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08104993A (ja) * | 1994-10-04 | 1996-04-23 | Electroplating Eng Of Japan Co | 銀めっき浴及びその銀めっき方法 |
JPH08232072A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-09-10 | Alpha Metals Ltd | 銀めっき |
JPH108262A (ja) * | 1996-03-22 | 1998-01-13 | Macdermid Inc | 表面のはんだ付け性増強方法 |
JPH10130855A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-05-19 | Daiwa Kasei Kenkyusho:Kk | 非シアン置換銀めっき浴 |
JPH10237665A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-08 | Asahi Glass Co Ltd | 導電膜形成用塗布液、導電膜とその製造方法 |
JPH11279787A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-12 | Dipsol Chem Co Ltd | 銀又は銀合金酸性電気めっき浴 |
JP2000034593A (ja) * | 1998-07-14 | 2000-02-02 | Daiwa Kasei Kenkyusho:Kk | 金属を還元析出させるための水溶液 |
JP2000160351A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-13 | Nippon Kojundo Kagaku Kk | 電子部品用無電解銀めっき液 |
JP2001342453A (ja) * | 2000-06-01 | 2001-12-14 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | キレート剤組成物 |
JP2002356783A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Ishihara Chem Co Ltd | 無電解銀メッキ浴 |
US20030038035A1 (en) * | 2001-05-30 | 2003-02-27 | Wilson Gregory J. | Methods and systems for controlling current in electrochemical processing of microelectronic workpieces |
JP2003268558A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Daiwa Fine Chemicals Co Ltd (Laboratory) | 無電解めっき浴及び該めっき浴を用いて得られた金属被覆物 |
JP2003293147A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-15 | Okuno Chem Ind Co Ltd | 金めっき皮膜の後処理方法 |
JP2004510885A (ja) * | 2000-10-06 | 2004-04-08 | アトーテヒ ドイッチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 金属表面上へ銀を無電解めっきするための浴と方法 |
JP2004143588A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-05-20 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | メッキ方法 |
JP2004143589A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-05-20 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | メッキ方法 |
JP2004190142A (ja) * | 2003-12-11 | 2004-07-08 | Asahi Glass Co Ltd | 導電膜形成用塗布液、導電膜とその製造方法 |
Family Cites Families (58)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3294578A (en) | 1963-10-22 | 1966-12-27 | Gen Aniline & Film Corp | Deposition of a metallic coat on metal surfaces |
US3839165A (en) | 1967-08-26 | 1974-10-01 | Henkel & Cie Gmbh | Nickel electroplating method |
US3993845A (en) | 1973-07-30 | 1976-11-23 | Ppg Industries, Inc. | Thin films containing metallic copper and silver by replacement without subsequent accelerated oxidation |
US4067784A (en) | 1976-06-09 | 1978-01-10 | Oxy Metal Industries Corporation | Non-cyanide acidic silver electroplating bath and additive therefore |
DE3148330A1 (de) | 1981-12-07 | 1983-06-09 | Max Planck Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen | Verfahren zur stromlosen abscheidung von edelmetallschichten auf oberflaechen von unedlen metallen |
US4533441A (en) * | 1984-03-30 | 1985-08-06 | Burlington Industries, Inc. | Practical amorphous iron electroform and method for achieving same |
US4673472A (en) * | 1986-02-28 | 1987-06-16 | Technic Inc. | Method and electroplating solution for deposition of palladium or alloys thereof |
JPH079069B2 (ja) | 1986-03-12 | 1995-02-01 | ブラザー工業株式会社 | 機械的性質の優れた銅被膜の形成方法 |
US4863766A (en) | 1986-09-02 | 1989-09-05 | General Electric Company | Electroless gold plating composition and method for plating |
GB8703664D0 (en) | 1987-02-17 | 1987-03-25 | Green A | Electroless silver plating composition |
US4978423A (en) | 1988-09-26 | 1990-12-18 | At&T Bell Laboratories | Selective solder formation on printed circuit boards |
US4940181A (en) | 1989-04-06 | 1990-07-10 | Motorola, Inc. | Pad grid array for receiving a solder bumped chip carrier |
EP0428383A1 (en) | 1989-11-13 | 1991-05-22 | Shikoku Chemicals Corporation | Process for surface treatment of copper and copper alloy |
JPH04110474A (ja) | 1990-08-30 | 1992-04-10 | Meidensha Corp | 銀めっきの後処理方法 |
US5235139A (en) | 1990-09-12 | 1993-08-10 | Macdermid, Incorprated | Method for fabricating printed circuits |
US5470820A (en) * | 1991-05-06 | 1995-11-28 | Hauser Chemical Research, Inc. | Electroplating of superconductor elements |
US5160579A (en) | 1991-06-05 | 1992-11-03 | Macdermid, Incorporated | Process for manufacturing printed circuit employing selective provision of solderable coating |
US5301253A (en) | 1992-11-09 | 1994-04-05 | Hughes Aircarft Company | Glass fiber with solderability enhancing heat activated coating |
US5322553A (en) | 1993-02-22 | 1994-06-21 | Applied Electroless Concepts | Electroless silver plating composition |
DE4415211A1 (de) | 1993-05-13 | 1994-12-08 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zur Abscheidung von Palladiumschichten |
US5882736A (en) | 1993-05-13 | 1999-03-16 | Atotech Deutschland Gmbh | palladium layers deposition process |
DE4316679C1 (de) | 1993-05-13 | 1994-07-28 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren und Bad zur Abscheidung von Palladiumschichten sowie dessen Verwendung |
US5348509A (en) | 1993-06-22 | 1994-09-20 | Victor Riccardi | Flying disk toy |
US5318621A (en) | 1993-08-11 | 1994-06-07 | Applied Electroless Concepts, Inc. | Plating rate improvement for electroless silver and gold plating |
JP3309231B2 (ja) | 1993-08-25 | 2002-07-29 | タツタ電線株式会社 | 金属酸化物成形体との密着性の良い導電塗料 |
US5480576A (en) | 1993-10-14 | 1996-01-02 | Lever Brothers Company, Division Of Conopco, Inc. | 1,3-N azole containing detergent compositions |
US5468515A (en) | 1994-10-14 | 1995-11-21 | Macdermid, Incorporated | Composition and method for selective plating |
US5559263A (en) | 1994-11-16 | 1996-09-24 | Tiorco, Inc. | Aluminum citrate preparations and methods |
US6319543B1 (en) | 1999-03-31 | 2001-11-20 | Alpha Metals, Inc. | Process for silver plating in printed circuit board manufacture |
GB9425031D0 (en) | 1994-12-09 | 1995-02-08 | Alpha Metals Ltd | Printed circuit board manufacture |
KR100402899B1 (ko) | 1994-12-23 | 2004-06-12 | 쿡손 그룹 피엘씨 | 구리또는구리합금의부식방지법 |
US7267259B2 (en) | 1999-02-17 | 2007-09-11 | Ronald Redline | Method for enhancing the solderability of a surface |
US6544397B2 (en) | 1996-03-22 | 2003-04-08 | Ronald Redline | Method for enhancing the solderability of a surface |
US6200451B1 (en) | 1996-03-22 | 2001-03-13 | Macdermid, Incorporated | Method for enhancing the solderability of a surface |
US6905587B2 (en) | 1996-03-22 | 2005-06-14 | Ronald Redline | Method for enhancing the solderability of a surface |
US6099713A (en) * | 1996-11-25 | 2000-08-08 | C. Uyemura & Co., Ltd. | Tin-silver alloy electroplating bath and tin-silver alloy electroplating process |
US6127102A (en) * | 1998-06-06 | 2000-10-03 | Agfa-Gevaert N.V. | Recording material with improved shelf-line producing prints upon thermal development with improved archivability |
US5843517A (en) | 1997-04-30 | 1998-12-01 | Macdermid, Incorporated | Composition and method for selective plating |
US6133018A (en) * | 1997-06-02 | 2000-10-17 | Celgro | Enzymatic synthesis of chiral amines using -2-amino propane as amine donor |
US6120639A (en) | 1997-11-17 | 2000-09-19 | Macdermid, Incorporated | Method for the manufacture of printed circuit boards |
US6020021A (en) * | 1998-08-28 | 2000-02-01 | Mallory, Jr.; Glenn O. | Method for depositing electroless nickel phosphorus alloys |
JP2000212763A (ja) * | 1999-01-19 | 2000-08-02 | Shipley Far East Ltd | 銀合金メッキ浴及びそれを用いる銀合金被膜の形成方法 |
US6344157B1 (en) | 1999-02-12 | 2002-02-05 | National Starch And Chemical Investment Holding Corporation | Conductive and resistive materials with electrical stability for use in electronics devices |
US6451443B1 (en) * | 1999-02-19 | 2002-09-17 | University Of New Orleans Research And Technology Foundation, Inc. | Chromium-free conversion coating |
US6121150A (en) * | 1999-04-22 | 2000-09-19 | Advanced Micro Devices, Inc. | Sputter-resistant hardmask for damascene trench/via formation |
US6706418B2 (en) * | 2000-07-01 | 2004-03-16 | Shipley Company L.L.C. | Metal alloy compositions and plating methods related thereto |
US6387542B1 (en) * | 2000-07-06 | 2002-05-14 | Honeywell International Inc. | Electroless silver plating |
CN1447866A (zh) * | 2000-08-21 | 2003-10-08 | 日本利罗纳尔株式会社 | 化学置换镀金溶液及用于制备该电镀液的添加剂 |
US6375822B1 (en) | 2000-10-03 | 2002-04-23 | Lev Taytsas | Method for enhancing the solderability of a surface |
US20020113695A1 (en) | 2001-01-29 | 2002-08-22 | Nick Ernst | Automated remote control system for hotel in-room safes |
US20030000846A1 (en) * | 2001-05-25 | 2003-01-02 | Shipley Company, L.L.C. | Plating method |
US6472023B1 (en) * | 2001-07-10 | 2002-10-29 | Chang Chun Petrochemical Co., Ltd. | Seed layer of copper interconnection via displacement |
WO2003062313A1 (en) | 2002-01-22 | 2003-07-31 | Northern Technologies International Corporation | Tarnish inhibiting formula and tarnish inhibiting articles using same |
EP1245697A3 (de) * | 2002-07-17 | 2003-02-19 | ATOTECH Deutschland GmbH | Verfahren zum aussenstromlosen Abscheiden von Silber |
EP1422320A1 (en) * | 2002-11-21 | 2004-05-26 | Shipley Company, L.L.C. | Copper electroplating bath |
US6773757B1 (en) | 2003-04-14 | 2004-08-10 | Ronald Redline | Coating for silver plated circuits |
JP4110474B2 (ja) | 2003-11-20 | 2008-07-02 | 岐阜プラスチック工業株式会社 | プールフロア |
US8349393B2 (en) * | 2004-07-29 | 2013-01-08 | Enthone Inc. | Silver plating in electronics manufacture |
-
2004
- 2004-07-29 US US10/902,398 patent/US8349393B2/en active Active
-
2005
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- 2005-02-23 JP JP2007523536A patent/JP5283903B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2005-02-25 TW TW094105917A patent/TWI376427B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-02-28 MY MYPI20050824 patent/MY151333A/en unknown
-
2013
- 2013-01-07 US US13/735,779 patent/US8986434B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2015
- 2015-03-24 US US14/666,990 patent/US9730321B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08104993A (ja) * | 1994-10-04 | 1996-04-23 | Electroplating Eng Of Japan Co | 銀めっき浴及びその銀めっき方法 |
JPH08232072A (ja) * | 1994-12-09 | 1996-09-10 | Alpha Metals Ltd | 銀めっき |
JPH108262A (ja) * | 1996-03-22 | 1998-01-13 | Macdermid Inc | 表面のはんだ付け性増強方法 |
JPH10130855A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-05-19 | Daiwa Kasei Kenkyusho:Kk | 非シアン置換銀めっき浴 |
JPH10237665A (ja) * | 1997-02-25 | 1998-09-08 | Asahi Glass Co Ltd | 導電膜形成用塗布液、導電膜とその製造方法 |
JPH11279787A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-12 | Dipsol Chem Co Ltd | 銀又は銀合金酸性電気めっき浴 |
JP2000034593A (ja) * | 1998-07-14 | 2000-02-02 | Daiwa Kasei Kenkyusho:Kk | 金属を還元析出させるための水溶液 |
JP2000160351A (ja) * | 1998-11-26 | 2000-06-13 | Nippon Kojundo Kagaku Kk | 電子部品用無電解銀めっき液 |
JP2001342453A (ja) * | 2000-06-01 | 2001-12-14 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | キレート剤組成物 |
JP2004510885A (ja) * | 2000-10-06 | 2004-04-08 | アトーテヒ ドイッチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 金属表面上へ銀を無電解めっきするための浴と方法 |
JP2002356783A (ja) * | 2001-05-30 | 2002-12-13 | Ishihara Chem Co Ltd | 無電解銀メッキ浴 |
US20030038035A1 (en) * | 2001-05-30 | 2003-02-27 | Wilson Gregory J. | Methods and systems for controlling current in electrochemical processing of microelectronic workpieces |
JP2003268558A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Daiwa Fine Chemicals Co Ltd (Laboratory) | 無電解めっき浴及び該めっき浴を用いて得られた金属被覆物 |
JP2003293147A (ja) * | 2002-04-04 | 2003-10-15 | Okuno Chem Ind Co Ltd | 金めっき皮膜の後処理方法 |
JP2004143588A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-05-20 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | メッキ方法 |
JP2004143589A (ja) * | 2002-08-30 | 2004-05-20 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | メッキ方法 |
JP2004190142A (ja) * | 2003-12-11 | 2004-07-08 | Asahi Glass Co Ltd | 導電膜形成用塗布液、導電膜とその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101825254B1 (ko) | 2013-01-24 | 2018-03-14 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 열가교촉진제, 이것을 함유하는 폴리실록산 함유 레지스트 하층막 형성용 조성물 및 이것을 이용한 패턴 형성 방법 |
WO2015146296A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 富士フイルム株式会社 | 積層体及びその製造方法、並びに反射板、抗菌コート、導電膜、熱伝導体 |
JP2020145338A (ja) * | 2019-03-07 | 2020-09-10 | 住友電工プリントサーキット株式会社 | 配線基板 |
JP7193132B2 (ja) | 2019-03-07 | 2022-12-20 | 住友電工プリントサーキット株式会社 | 配線基板 |
JP2022003165A (ja) * | 2020-06-23 | 2022-01-11 | Dowaメタルテック株式会社 | 複合材、複合材の製造方法および端子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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