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JP2008216712A - Packaging method for optical component - Google Patents

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JP2008216712A JP2007055081A JP2007055081A JP2008216712A JP 2008216712 A JP2008216712 A JP 2008216712A JP 2007055081 A JP2007055081 A JP 2007055081A JP 2007055081 A JP2007055081 A JP 2007055081A JP 2008216712 A JP2008216712 A JP 2008216712A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a packaging method for an optical component by which a semiconductor device mounted with an optical element can be fixed to a printed wiring board without increasing optical coupling loss. <P>SOLUTION: In a first step, solder 30 is supplied to the semiconductor device 10 or printed wiring board 20 and in a second step, a resin pool 40 is formed using light-transmissive resin which is not softened at reflow temperature of the solder 30 and has heat resistance. After the semiconductor device 10 is mounted on the printed wiring board 20 in a third step, the resin pool 40 is cured in a fourth step to fix an optical coupling, and the solder 30 is reflowed in a fifth step to fix an electric coupling. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、光素子を搭載した半導体装置を、光導波路を備えたプリント配線板に実装するための光部品の実装方法に関するものである。   The present invention relates to an optical component mounting method for mounting a semiconductor device mounted with an optical element on a printed wiring board provided with an optical waveguide.

近年、半導体からなる集積素子の分野では、高速・高密度化への進展が著しく、従来の電気的な配線による相互接続では、信号の遅延、減衰、干渉等により、十分な特性が期待できなくなることが問題となっている。この問題は、IOボトルネックといわれ、これを解決するために光インターコネクション技術が注目されている。光インターコネクション技術は、通信機器相互間や通信機器内のボード間にとどまらず、1つのボード内の集積回路素子間にも適用することが検討されている。   In recent years, in the field of integrated devices made of semiconductors, progress toward high speed and high density has been remarkable, and interconnections using conventional electrical wiring cannot expect sufficient characteristics due to signal delay, attenuation, interference, etc. Is a problem. This problem is said to be an IO bottleneck, and optical interconnection technology has attracted attention in order to solve this problem. The optical interconnection technology is considered to be applied not only between communication devices and between boards in a communication device, but also between integrated circuit elements in one board.

従来のボード内光インターコネクションを実現するための光回路基板としては、特許文献1に開示されている光導波路が形成された多層プリント基板が知られている。ここでは、基板表面に実装された面発光型素子(VCSEL)から基板に垂直な方向に出射された信号光を、光配線に形成された光路変換ミラーで反射させることで光導波路を導波させ、導波した信号光を別の光路変換ミラーで反射させて面受光型光素子(プレーナー型フォトダイオード)によって受光するものである。   As a conventional optical circuit board for realizing on-board optical interconnection, a multilayer printed board on which an optical waveguide disclosed in Patent Document 1 is formed is known. Here, the signal light emitted in the direction perpendicular to the substrate from the surface emitting element (VCSEL) mounted on the substrate surface is reflected by the optical path conversion mirror formed in the optical wiring to guide the optical waveguide. The guided signal light is reflected by another optical path conversion mirror and received by a surface-receiving optical element (planar photodiode).

このような光回路基板においては、発光素子及び受光素子における光結合損失が信号の減衰に大きな影響を与える。そこで、このような信号の減衰を抑えるために、光素子と光導波路との位置合わせを数μmという高い精度で行う光結合手段が必要となる。   In such an optical circuit board, the optical coupling loss in the light emitting element and the light receiving element greatly affects the attenuation of the signal. Therefore, in order to suppress such signal attenuation, an optical coupling means for performing alignment between the optical element and the optical waveguide with high accuracy of several μm is required.

光回路基板における上記のような高精度の位置合せを行うための従来の光部品の実装方法としては、例えば特許文献2に開示されたものが知られている。特許文献2では、半田が有するセルフアライメント作用により、部品が所定の実装位置に配置されるようにしている。   As a conventional method for mounting an optical component for performing high-precision alignment as described above on an optical circuit board, for example, the one disclosed in Patent Document 2 is known. In Patent Document 2, a component is arranged at a predetermined mounting position by a self-alignment action of solder.

ここで、セルフアライメント作用とは、ソルダーレジスト層が半田をはじくことから、リフロー処理時に、半田が有する流動性によってソルダーレジストの開口中央部付近により安定な形状で存在しようとする作用である。これにより、リフロー前に位置ズレが発生していたとしても、リフロー時に上記のセルフアライメント作用によって位置の修正が行われる。
特開2006−120956号 特開2002−296435号
Here, the self-alignment action is an action of trying to exist in a more stable shape near the center of the opening of the solder resist due to the fluidity of the solder during the reflow process because the solder resist layer repels the solder. As a result, even if a positional deviation occurs before reflow, the position is corrected by the above self-alignment action during reflow.
JP 2006-120956 A JP 2002-296435 A

しかしながら、上記従来の実装方法では、以下のような問題があった。特許文献2に開示されているようなセルフアライメントを用いて実装位置決めを行う方法では、電気回路上にソルダーレジスト層を形成する際、その電気回路とソルダーレジスト層の位置合せ精度が低いことから、リフロー時の半田の流動特性を調べてセルフアライメントによる位置変化を把握し、これを設計に反映させる必要があるが、このようなセルフアライメントによる位置変化を数μm程度の高い精度で制御するのは極めて難しいという問題があった。   However, the conventional mounting method has the following problems. In the method of performing mounting positioning using self-alignment as disclosed in Patent Document 2, when the solder resist layer is formed on the electric circuit, the alignment accuracy between the electric circuit and the solder resist layer is low. It is necessary to investigate the flow characteristics of the solder during reflow and grasp the position change due to self-alignment, and to reflect this in the design. However, it is important to control the position change due to self-alignment with a high accuracy of about several μm. There was a problem that it was extremely difficult.

そこで、本発明はこれらの問題を解決するためになされたものであり、光素子を搭載した半導体装置を、光結合損失を増加させることなくプリント配線板に固定することが可能な光部品の実装方法を提供することを目的としている。   Accordingly, the present invention has been made to solve these problems, and mounting of an optical component capable of fixing a semiconductor device mounted with an optical element to a printed wiring board without increasing optical coupling loss. It aims to provide a method.

この発明の光部品の実装方法の第1の態様は、光素子を搭載した半導体装置を、光導波路を備えたプリント配線板に固定する光部品の実装方法であって、前記半導体装置と前記プリント配線板の少なくともいずれか一方の電気的に結合させる部位に半田を供給する第1のステップと、前記半田のリフロー温度に対する耐熱性を有する光透過性樹脂を、未硬化の状態で前記光素子と前記光導波路とを光学的に結合させる部位に充填して樹脂だまりを形成する第2のステップと、前記半田が前記電気的に結合させる部位の間に位置し、前記樹脂だまりが前記光学的に結合させる部位の間に位置するよう、前記半導体装置を位置決めして前記プリント配線板上に載置する第3のステップと、前記樹脂だまりを硬化させることで前記光素子と前記光導波路とを光学的に結合して固定する第4のステップと、前記半田をリフローして前記半導体装置と前記プリント配線板とを電気的に結合する第5のステップと、を備え、少なくとも前記第4のステップを前記第5のステップより先に行うことを特徴とする。   According to a first aspect of the optical component mounting method of the present invention, there is provided an optical component mounting method for fixing a semiconductor device on which an optical element is mounted to a printed wiring board having an optical waveguide, the semiconductor device and the print A first step of supplying solder to a part to be electrically coupled to at least one of the wiring boards; and a light-transmitting resin having heat resistance against the reflow temperature of the solder in an uncured state with the optical element. The second step of filling a portion where the optical waveguide is optically coupled to form a resin reservoir and the portion where the solder is electrically coupled are located between the optical reservoir and the optical reservoir. A third step of positioning and placing the semiconductor device on the printed wiring board so as to be positioned between the parts to be coupled; and the optical element and the light guide by curing the resin pool. A fourth step of optically coupling and fixing the path, and a fifth step of reflowing the solder to electrically couple the semiconductor device and the printed wiring board. Step 4 is performed before the fifth step.

この発明の光部品の実装方法の他の態様は、前記第2のステップでは、前記プリント配線板上の前記光学的に結合させる部位に前記光透過性樹脂を充填して前記樹脂だまりを形成することを特徴とする。   According to another aspect of the optical component mounting method of the present invention, in the second step, the optically coupled portion on the printed wiring board is filled with the light transmissive resin to form the resin pool. It is characterized by that.

この発明の光部品の実装方法の他の態様は、前記第2のステップでは、前記光透過性樹脂を前記光素子を覆うように前記半導体装置上に充填して前記樹脂だまりを形成することを特徴とする。   According to another aspect of the optical component mounting method of the present invention, in the second step, the light transmissive resin is filled on the semiconductor device so as to cover the optical element, thereby forming the resin pool. Features.

この発明の光部品の実装方法の他の態様は、前記第2のステップでは、前記プリント配線板上の前記光学的に結合させる部位に前記光透過性樹脂を充填して前記樹脂だまりを形成するとともに、前記光透過性樹脂を前記光素子を覆うように前記半導体装置上に充填して別の樹脂だまりを形成することを特徴とする。   According to another aspect of the optical component mounting method of the present invention, in the second step, the optically coupled portion on the printed wiring board is filled with the light transmissive resin to form the resin pool. In addition, another resin pool is formed by filling the semiconductor device with the light-transmitting resin so as to cover the optical element.

この発明の光部品の実装方法の他の態様は、前記第1から第5までのすべてのステップを終了した後に、前記半導体装置と前記プリント配線板との隙間にアンダーフィル樹脂を充填する第6のステップをさらに実行することを特徴とする。   According to another aspect of the optical component mounting method of the present invention, after all the first to fifth steps are completed, an underfill resin is filled in a gap between the semiconductor device and the printed wiring board. These steps are further executed.

以上説明したように本発明によれば、光透過性樹脂を用いて光学的な結合位置を固定した後に電気的な結合を行わせるようにしていることから、光素子を搭載した半導体装置を、光結合効率を低下させることなくプリント配線板に固定することが可能な光部品の実装方法を提供することが可能となる。   As described above, according to the present invention, since the optical coupling position is fixed using the light-transmitting resin and the electrical coupling is performed, the semiconductor device on which the optical element is mounted is provided. It is possible to provide an optical component mounting method that can be fixed to a printed wiring board without reducing the optical coupling efficiency.

また、本発明の光部品の実装方法によれば、半田のリフロー温度に対する耐熱性を有する光透過性樹脂を用いて光学的な結合を行わせるようにしていることから、半田のリフローにより電気的な結合を行わせる場合にも、セルフアライメントによる位置ずれを防止して光結合効率の低下を防止することが可能となる。   Further, according to the optical component mounting method of the present invention, since the optical coupling is performed using the light transmissive resin having heat resistance against the reflow temperature of the solder, the electrical reflow is performed by the solder reflow. Even when performing simple coupling, it is possible to prevent a positional shift due to self-alignment and prevent a decrease in optical coupling efficiency.

図面を参照して本発明の好ましい実施の形態における光部品の実装方法の構成について詳細に説明する。なお、同一機能を有する各構成部については、図示及び説明簡略化のため、同一符号を付して示す。   A configuration of an optical component mounting method according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, about each structural part which has the same function, the same code | symbol is attached | subjected and shown for simplification of illustration and description.

光素子を搭載した半導体装置を、光導波路を備えたプリント配線板に実装する場合、半導体装置とプリント配線板とを電気的に結合する工程と光学的に結合する工程の2つの工程が必要となる。本発明の光部品の実装方法は、電気的な結合を行う工程において光学的な結合状態に位置ずれが生じるのを防止することで、光学的な結合効率を好適に維持できるようにするものである。   When mounting a semiconductor device on which an optical element is mounted on a printed wiring board having an optical waveguide, two steps are required: a step of electrically coupling the semiconductor device and the printed wiring board and a step of optically coupling the semiconductor device and the printed wiring board. Become. The optical component mounting method of the present invention is capable of suitably maintaining the optical coupling efficiency by preventing the occurrence of displacement in the optical coupling state in the process of electrical coupling. is there.

以下では、図2に示すような半導体装置とプリント配線板を例に、本発明の光部品の実装方法を説明する。図2(a)に示す半導体装置10は、光素子搭載用基板11の一方の面に光素子12を搭載しており、他方の面には光素子12の駆動用IC13等が搭載され、これをモジュール封止用樹脂14で封止している。また、光素子搭載用基板11の光素子12を搭載した面には、プリント配線板20と電気的に結合するための電気結合部(接続端子)15が設けられている。   Below, the mounting method of the optical component of this invention is demonstrated taking a semiconductor device and a printed wiring board as shown in FIG. 2 as an example. A semiconductor device 10 shown in FIG. 2A has an optical element 12 mounted on one surface of an optical element mounting substrate 11, and an IC 13 for driving the optical element 12 and the like mounted on the other surface. Is sealed with a module sealing resin 14. An electrical coupling portion (connection terminal) 15 for electrical coupling with the printed wiring board 20 is provided on the surface on which the optical element 12 of the optical element mounting substrate 11 is mounted.

図2(b)に示すプリント配線板20は、電気回路基板21と、これに平行な方向に光を導波させる光導波路22とを備えており、光導波路22の所定の位置に反射面23が設けられている。電気回路基板21は、絶縁層21aを挟んでその両面に導体パターン層21bを備える構造を有しており、光導波路22は、光を導波させるコア層22aとこれを囲むクラッド層22bを備える構造を有している。電気回路基板21には、半導体装置10と電気的に結合するための電気結合部25が設けられている。   A printed wiring board 20 shown in FIG. 2B includes an electric circuit board 21 and an optical waveguide 22 that guides light in a direction parallel to the electric circuit board 21, and a reflecting surface 23 at a predetermined position of the optical waveguide 22. Is provided. The electric circuit board 21 has a structure including conductor pattern layers 21b on both sides of an insulating layer 21a. The optical waveguide 22 includes a core layer 22a for guiding light and a cladding layer 22b surrounding the core layer 22a. It has a structure. The electrical circuit board 21 is provided with an electrical coupling portion 25 for electrical coupling with the semiconductor device 10.

光導波路22の途中に設けられた反射面23は、光導波路22の光軸を垂直方向に変更させるものであり、垂直方向に光素子12を配置することで、光素子12から出射された光を光導波路22のコア層22aに導波させる、あるいはコア層22aを導波して来た光を光素子12に出射させることができる。   The reflection surface 23 provided in the middle of the optical waveguide 22 changes the optical axis of the optical waveguide 22 in the vertical direction. By arranging the optical element 12 in the vertical direction, the light emitted from the optical element 12 Can be guided to the core layer 22a of the optical waveguide 22, or the light guided through the core layer 22a can be emitted to the optical element 12.

プリント配線板20には、電気回路基板21が除去されて光導波路22が露出した空孔26が形成されており、光導波路22の光軸が反射面23で垂直方向に変更されたその延長上に空孔26が位置するように形成されている。すなわち、空孔26の底部が光導波路22の光入出力部27となっている。   The printed wiring board 20 is formed with a hole 26 in which the electric circuit board 21 is removed and the optical waveguide 22 is exposed. On the extension, the optical axis of the optical waveguide 22 is changed in the vertical direction by the reflecting surface 23. Is formed so that the hole 26 is located in the hole. That is, the bottom of the hole 26 is the light input / output part 27 of the optical waveguide 22.

図2に示した半導体装置10をプリント配線板20に実装する本発明の第1の実施形態に係る光部品の実装方法を、図1を用いて以下に説明する。本実施形態の光部品の実装方法では、第1のステップとして、半導体装置10の電気結合部15とプリント配線板20の電気結合部25の少なくともいずれか一方に半田30を供給する。図1(a)では、半導体装置10の電気結合部15に半田30を供給している。   A method for mounting an optical component according to the first embodiment of the present invention for mounting the semiconductor device 10 shown in FIG. 2 on the printed wiring board 20 will be described below with reference to FIG. In the optical component mounting method of the present embodiment, as a first step, the solder 30 is supplied to at least one of the electrical coupling portion 15 of the semiconductor device 10 and the electrical coupling portion 25 of the printed wiring board 20. In FIG. 1A, solder 30 is supplied to the electrical coupling portion 15 of the semiconductor device 10.

次の第2のステップでは、所定の光透過性樹脂を用いて、これが未硬化の状態でプリント配線板20の空孔26に充填して樹脂だまり40を形成する。プリント配線板20の空孔26に樹脂だまり40を形成した状態を図1(b)に示す。なお、第2のステップを上記の第1のステップより先に行うようにしてもよい。   In the next second step, a predetermined light-transmitting resin is used to fill the holes 26 of the printed wiring board 20 in an uncured state to form the resin pool 40. FIG. 1B shows a state where the resin reservoir 40 is formed in the hole 26 of the printed wiring board 20. Note that the second step may be performed prior to the first step.

上記の樹脂だまり40の形成には、電気結合部15に供給された半田30のリフロー温度では軟化しない耐熱性を有する光透過性樹脂を用いており、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリフェニレン樹脂、フッ素樹脂等の熱硬化性樹脂を用いることができる。   The resin reservoir 40 is formed by using a light-transmitting resin having heat resistance that does not soften at the reflow temperature of the solder 30 supplied to the electrical coupling portion 15. For example, epoxy resin, phenol resin, polyimide resin, polyester Thermosetting resins such as resins, bismaleimide resins, polyolefin resins, polyphenylene ether resins, polyphenylene resins, and fluorine resins can be used.

次の第3のステップでは、半導体装置10をプリント配線板20の上に載置する(図1(c))。このとき、プリント配線板20の空孔26に形成された樹脂だまり40が半導体装置10に搭載された光素子12を覆い、かつ光素子12の光軸が反射面23を介して光導波路22の光軸と一致するよう位置決めされている。また、半導体装置10の電気結合部15に供給された半田30が、プリント配線板20上の電気結合部25と接触するように位置決めされている。   In the next third step, the semiconductor device 10 is placed on the printed wiring board 20 (FIG. 1C). At this time, the resin reservoir 40 formed in the hole 26 of the printed wiring board 20 covers the optical element 12 mounted on the semiconductor device 10, and the optical axis of the optical element 12 passes through the reflecting surface 23 and the optical waveguide 22. Positioned to coincide with the optical axis. Further, the solder 30 supplied to the electrical coupling portion 15 of the semiconductor device 10 is positioned so as to come into contact with the electrical coupling portion 25 on the printed wiring board 20.

次の第4のステップでは、半導体装置10とプリント配線板20とで挟まれた状態の樹脂だまり40を硬化させ、これにより光素子12と光導波路22とを光学的に結合して固定する。樹脂だまり40を形成する光透過性樹脂として熱硬化樹脂を用いた場合には、樹脂だまり40を所定の温度まで加熱することで硬化させる。また、樹脂だまり40を形成する光透過性樹脂として光硬化樹脂を用いた場合には、樹脂だまり40に光を照射することで硬化させる。   In the next fourth step, the resin reservoir 40 sandwiched between the semiconductor device 10 and the printed wiring board 20 is cured, and thereby the optical element 12 and the optical waveguide 22 are optically coupled and fixed. When a thermosetting resin is used as the light transmissive resin for forming the resin reservoir 40, the resin reservoir 40 is cured by heating to a predetermined temperature. When a light curable resin is used as the light transmissive resin for forming the resin reservoir 40, the resin reservoir 40 is cured by irradiating light.

さらに、第5のステップでは、半田30をリフローすることで半導体装置10の電気結合部15とプリント配線板20の電気結合部25とを電気的に結合する(図1(d))。本実施形態の光部品の実装方法では、上記の第4のステップを第5のステップより先に行わせることが重要である。第4のステップを先に行うことにより、光素子12と光導波路22との光学的な結合を予め固定しておき、その後に第5のステップの電気的な結合を行うようにすることで、光素子12と光導波路22との光学的な結合が位置ずれするのを防止している。   Further, in the fifth step, the electrical coupling portion 15 of the semiconductor device 10 and the electrical coupling portion 25 of the printed wiring board 20 are electrically coupled by reflowing the solder 30 (FIG. 1D). In the optical component mounting method of the present embodiment, it is important to perform the fourth step before the fifth step. By performing the fourth step first, the optical coupling between the optical element 12 and the optical waveguide 22 is fixed in advance, and then the electrical coupling of the fifth step is performed. The optical coupling between the optical element 12 and the optical waveguide 22 is prevented from being displaced.

光素子12と光導波路22との光学的な結合に用いる樹脂だまり40には、半田30のリフロー温度では軟化しない耐熱性を有する光透過性樹脂を用いていることから、第5のステップでの半田30のリフロー時にも樹脂だまり40が軟化する恐れはなく、光素子12と光導波路22との光学的な結合が半田30のセルフアライメントにより位置ずれするのを防止することができる。   Since the resin reservoir 40 used for optical coupling between the optical element 12 and the optical waveguide 22 is made of a light-transmitting resin having heat resistance that does not soften at the reflow temperature of the solder 30, Even when the solder 30 is reflowed, the resin reservoir 40 is not softened, and the optical coupling between the optical element 12 and the optical waveguide 22 can be prevented from being displaced due to the self-alignment of the solder 30.

本発明の第2の実施形態に係る光部品の実装方法を、図3を用いて以下に説明する。
上記の第1の実施形態においては、第1のステップで半導体装置10の電気結合部15とプリント配線板20の電気結合部25の少なくともいずれか一方に半田30を供給した後(図3(a))、第2のステップで樹脂だまり40をプリント配線板20の空孔26に形成していたが、本実施形態の光部品の実装方法では、樹脂だまり40を半導体装置10上に形成するようにしている。
An optical component mounting method according to the second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
In the first embodiment, the solder 30 is supplied to at least one of the electrical coupling portion 15 of the semiconductor device 10 and the electrical coupling portion 25 of the printed wiring board 20 in the first step (FIG. 3A )), The resin reservoir 40 is formed in the hole 26 of the printed wiring board 20 in the second step. However, in the optical component mounting method of this embodiment, the resin reservoir 40 is formed on the semiconductor device 10. I have to.

すなわち、本実施形態の第2のステップでは、所定の光透過性樹脂を用いて、これが未硬化の状態で光素子12を覆うように半導体装置10の上に充填して樹脂だまり40を形成する。半導体装置10の上に樹脂だまり40を形成した状態を図3(b)に示す。なお、本実施形態でも第2のステップを第1のステップより先に行うようにしてもよい。   That is, in the second step of this embodiment, a predetermined light transmitting resin is used to fill the semiconductor device 10 so as to cover the optical element 12 in an uncured state, thereby forming the resin pool 40. . A state in which the resin reservoir 40 is formed on the semiconductor device 10 is shown in FIG. In the present embodiment, the second step may be performed before the first step.

次の第3のステップで半導体装置10をプリント配線板20の上に載置し(図3(c))、第4のステップで樹脂だまり40を硬化させて光素子12と光導波路22との光学的な結合を固定し、さらに第5のステップで半田30をリフローして電気的な結合を固定する(図3(d))。   In the next third step, the semiconductor device 10 is placed on the printed wiring board 20 (FIG. 3C), and in the fourth step, the resin reservoir 40 is cured, so that the optical element 12 and the optical waveguide 22 are separated. The optical coupling is fixed, and the solder 30 is reflowed in the fifth step to fix the electrical coupling (FIG. 3D).

本実施形態の光部品の実装方法でも、第4のステップを第5のステップより先に行わせることが重要である。これにより、光素子12と光導波路22との光学的な結合を固定した後に電気的な結合を行うことから、光素子12と光導波路22との光学的な結合が位置ずれするのを防止することができる。また、樹脂だまり40には、半田30のリフロー温度では軟化しない耐熱性を有する光透過性樹脂を用いていることから、半田30のリフロー時のセルフアライメントによる位置ずれも防止することができる。   In the optical component mounting method of the present embodiment, it is important to perform the fourth step before the fifth step. Thus, since the electrical coupling is performed after the optical coupling between the optical element 12 and the optical waveguide 22 is fixed, the optical coupling between the optical element 12 and the optical waveguide 22 is prevented from being displaced. be able to. Further, since the resin reservoir 40 is made of a light-transmitting resin having heat resistance that does not soften at the reflow temperature of the solder 30, misalignment due to self-alignment during reflow of the solder 30 can be prevented.

本発明の第3の実施形態に係る光部品の実装方法を、図4を用いて以下に説明する。
本実施形態でも、第2のステップにおける樹脂だまり40の形成方法が、上記の第1の実施形態及び第2の実施形態と異なっている。本実施形態では、第1のステップで半導体装置10の電気結合部15とプリント配線板20の電気結合部25の少なくともいずれか一方に半田30を供給した後(図4(a))、第2のステップにおいて、樹脂だまり40を半導体装置10とプリント配線板20の両方に形成するようにしている。
An optical component mounting method according to the third embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
Also in this embodiment, the method for forming the resin pool 40 in the second step is different from the first embodiment and the second embodiment. In the present embodiment, the solder 30 is supplied to at least one of the electrical coupling portion 15 of the semiconductor device 10 and the electrical coupling portion 25 of the printed wiring board 20 in the first step (FIG. 4A), and then the second step. In this step, the resin reservoir 40 is formed on both the semiconductor device 10 and the printed wiring board 20.

本実施形態の第2のステップでは、所定の光透過性樹脂を用いて、これが未硬化の状態で光素子12を覆うように半導体装置10の上に充填して樹脂だまり40aを形成するとともに、プリント配線板20の空孔26に充填して樹脂だまり40bを形成する。半導体装置10の光素子12の上に樹脂だまり40aを形成し、かつプリント配線板20の空孔26にも樹脂だまり40bを形成した状態を図4(b)に示す。   In the second step of the present embodiment, a predetermined light-transmitting resin is used to fill the semiconductor device 10 so as to cover the optical element 12 in an uncured state, thereby forming the resin reservoir 40a. Filling the voids 26 of the printed wiring board 20 to form the resin reservoir 40b. FIG. 4B shows a state in which the resin reservoir 40a is formed on the optical element 12 of the semiconductor device 10 and the resin reservoir 40b is also formed in the hole 26 of the printed wiring board 20.

上記のように、半導体装置10とプリント配線板20の両方に樹脂だまり40a、40bを形成した本実施形態では、次の第3のステップで半導体装置10をプリント配線板20の上に載置したとき、樹脂だまり40aと40bとが接触して一体化する(図4(c))。その結果、光素子12と空孔26とを光透過性樹脂で確実に光結合させることが可能となる。以下、同様に第4のステップで樹脂だまり40を硬化させて光素子12と光導波路22との光学的な結合を固定し、第5のステップで半田30をリフローして電気的な結合を固定する(図4(d))。   As described above, in this embodiment in which the resin pools 40a and 40b are formed on both the semiconductor device 10 and the printed wiring board 20, the semiconductor device 10 is placed on the printed wiring board 20 in the next third step. At this time, the resin reservoirs 40a and 40b come into contact with each other to be integrated (FIG. 4C). As a result, the optical element 12 and the hole 26 can be reliably optically coupled with the light transmissive resin. Similarly, the resin pool 40 is cured in the fourth step to fix the optical coupling between the optical element 12 and the optical waveguide 22, and the solder 30 is reflowed in the fifth step to fix the electrical coupling. (FIG. 4D).

本実施形態の光部品の実装方法でも、第4のステップを第5のステップより先に行わせることが重要である。これにより、光素子12と光導波路22との光学的な結合を固定した後に電気的な結合を行うことから、光素子12と光導波路22との光学的な結合が位置ずれするのを防止することができる。また、樹脂だまり40には、半田30のリフロー温度では軟化しない耐熱性を有する光透過性樹脂を用いていることから、半田30のリフロー時のセルフアライメントによる位置ずれも防止することができる。   In the optical component mounting method of the present embodiment, it is important to perform the fourth step before the fifth step. Thus, since the electrical coupling is performed after the optical coupling between the optical element 12 and the optical waveguide 22 is fixed, the optical coupling between the optical element 12 and the optical waveguide 22 is prevented from being displaced. be able to. Further, since the resin reservoir 40 is made of a light-transmitting resin having heat resistance that does not soften at the reflow temperature of the solder 30, misalignment due to self-alignment during reflow of the solder 30 can be prevented.

本発明の第4の実施形態に係る光部品の実装方法を、図5を用いて以下に説明する。
本実施形態の光部品の実装方法は、上記の第1から第3の実施形態のいずれの実装方法にも適用できるものであり、第1のステップから第5のステップまでのすべての処理を終えた後に、さらに別の処理を追加したものである。
An optical component mounting method according to the fourth embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
The optical component mounting method of the present embodiment can be applied to any of the mounting methods of the first to third embodiments, and all the processes from the first step to the fifth step are finished. After that, another process is added.

図5(a)は、上記の第1の実施形態から第3の実施形態のいずれの実装方法を用いて、半導体装置10をプリント配線板20の上に載置した後、樹脂だまり40及び半田30で固定した状態を示している。本実施形態の光部品の実装方法では、図5(a)の状態からさらに以下の第6のステップの処理を行う。   FIG. 5A shows the resin pool 40 and the solder after the semiconductor device 10 is placed on the printed wiring board 20 using any of the mounting methods of the first to third embodiments. The state fixed at 30 is shown. In the optical component mounting method of the present embodiment, the following sixth step processing is further performed from the state of FIG.

第6のステップとして、半導体装置10とプリント配線板20との隙間にアンダーフィル樹脂50を充填する(図5(b))。半導体装置10とプリント配線板20との隙間が小さいことから、アンダーフィル樹脂50を毛管現象によって隙間に充填させることができる。   As a sixth step, the underfill resin 50 is filled in the gap between the semiconductor device 10 and the printed wiring board 20 (FIG. 5B). Since the gap between the semiconductor device 10 and the printed wiring board 20 is small, the underfill resin 50 can be filled into the gap by capillary action.

特に、アンダーフィル樹脂50として熱硬化型のエポキシ樹脂を用いるのがよく、これを毛管現象によって半導体装置10とプリント配線板20との隙間に充填させることができる。熱硬化型のエポキシ樹脂は、低線膨張であるとともに熱変形が小さく、寸法が安定した材料である。   In particular, it is preferable to use a thermosetting epoxy resin as the underfill resin 50, and this can be filled in the gap between the semiconductor device 10 and the printed wiring board 20 by capillary action. A thermosetting epoxy resin is a material that has low linear expansion, small thermal deformation, and stable dimensions.

上記のように、熱硬化型のエポキシ樹脂を用いることで、例えば半導体装置10からの繰り返し発生する熱等で半導体装置10とプリント配線板20との線膨張のミスマッチが生じ、樹脂だまり40にひずみが生じ光学的な結合効率が低下してしまう、あるいは半田30にひずみによるき裂が生じ最終的には破断してしまう、といった劣化を防止して信頼性を向上させることができる。   As described above, by using a thermosetting epoxy resin, for example, a mismatch of linear expansion between the semiconductor device 10 and the printed wiring board 20 occurs due to heat generated repeatedly from the semiconductor device 10, and the resin pool 40 is strained. As a result, the optical coupling efficiency is lowered, or the solder 30 is cracked due to strain and finally broken, so that the reliability can be improved.

上記の本実施形態の光部品の実装方法では、第1のステップで半田30を半導体装置10またはプリント配線板20に供給している。以下では、半田30の供給方法について、図6を用いてさらに詳細に説明する。   In the optical component mounting method of the present embodiment, the solder 30 is supplied to the semiconductor device 10 or the printed wiring board 20 in the first step. Below, the supply method of the solder 30 is demonstrated in detail using FIG.

半田30の供給方法の一例として、第1のステップで半田30を半導体装置10の電気結合部15に供給する場合について説明する。図6において、半導体装置10に複数設けられている電気結合部15に、ボール形状の半田30をそれぞれ供給する。このとき、半田30や電気結合部25には酸化被膜が形成されていることから、プリント配線板20の電気結合部25との接合を容易にするために、プリント配線板20の電気結合部25にもクリーム半田31を塗布しておくのが好ましい。   As an example of a method for supplying the solder 30, a case where the solder 30 is supplied to the electrical coupling portion 15 of the semiconductor device 10 in the first step will be described. In FIG. 6, ball-shaped solders 30 are supplied to a plurality of electrical coupling portions 15 provided in the semiconductor device 10. At this time, since an oxide film is formed on the solder 30 and the electrical coupling portion 25, the electrical coupling portion 25 of the printed wiring board 20 is facilitated in order to facilitate the joining with the electrical coupling portion 25 of the printed wiring board 20. In addition, it is preferable to apply the cream solder 31.

上記のように、半導体装置10の電気結合部15にボール形状の半田30を供給するとともに、ボール形状の半田30を予め供給しないプリント配線板20の電気結合部25には、クリーム半田31を予め塗布しておくことで、ステップ5におけるリフロー時にクリーム半田31に含まれているフラックス成分が活性化され、これにより半田30や電気結合部に形成されていた酸化被膜が除去されて半田30とクリーム半田31が溶融しプリント配線板20の電気結合部25と確実に接合されるようになる。   As described above, the ball-shaped solder 30 is supplied to the electric coupling portion 15 of the semiconductor device 10, and the cream solder 31 is previously applied to the electric coupling portion 25 of the printed wiring board 20 to which the ball-shaped solder 30 is not supplied in advance. By applying, the flux component contained in the cream solder 31 is activated at the time of reflowing in step 5, thereby removing the oxide film formed on the solder 30 and the electrical coupling portion, and the solder 30 and the cream. The solder 31 is melted and reliably joined to the electrical coupling portion 25 of the printed wiring board 20.

なお、本実施の形態における記述は、本発明に係る光部品の実装方法の一例を示すものであり、これに限定されるものではない。本実施の形態における光部品の実装方法の細部構成及び詳細な動作等に関しては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。   Note that the description in the present embodiment shows an example of an optical component mounting method according to the present invention, and the present invention is not limited to this. The detailed configuration and detailed operation of the optical component mounting method in the present embodiment can be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention.

本発明の第1の実施形態に係る光部品の実装方法を説明する図である。It is a figure explaining the mounting method of the optical component which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 光素子を搭載した半導体装置及び光導波路を備えたプリント配線板の構造図である。1 is a structural diagram of a semiconductor device on which an optical element is mounted and a printed wiring board including an optical waveguide. 本発明の第2の実施形態に係る光部品の実装方法を説明する図である。It is a figure explaining the mounting method of the optical component which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態に係る光部品の実装方法を説明する図である。It is a figure explaining the mounting method of the optical component which concerns on the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態に係る光部品の実装方法を説明する図である。It is a figure explaining the mounting method of the optical component which concerns on the 4th Embodiment of this invention. 半田の供給方法を説明する図である。It is a figure explaining the supply method of solder.

符号の説明Explanation of symbols

10 半導体装置
11 光素子搭載用基板
12 光素子
13 駆動用IC
14 モジュール封止用樹脂
15、25 電気結合部
20 プリント配線板
21 電気回路基板
22 光導波路
23 反射面
26 空孔
27 光入出力部
30 半田
31 クリーム半田
40 樹脂だまり
50 アンダーフィル樹脂
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Semiconductor device 11 Optical element mounting substrate 12 Optical element 13 Driving IC
14 Module sealing resin 15, 25 Electrical coupling part 20 Printed wiring board 21 Electrical circuit board 22 Optical waveguide 23 Reflecting surface 26 Hole 27 Optical input / output part 30 Solder 31 Cream solder 40 Resin pool 50 Underfill resin

Claims (5)

光素子を搭載した半導体装置を、光導波路を備えたプリント配線板に固定する光部品の実装方法であって、
前記半導体装置と前記プリント配線板の少なくともいずれか一方の電気的に結合させる部位に半田を供給する第1のステップと、
前記半田のリフロー温度に対する耐熱性を有する光透過性樹脂を、未硬化の状態で前記光素子と前記光導波路とを光学的に結合させる部位に充填して樹脂だまりを形成する第2のステップと、
前記半田が前記電気的に結合させる部位の間に位置し、前記樹脂だまりが前記光学的に結合させる部位の間に位置するよう、前記半導体装置を位置決めして前記プリント配線板上に載置する第3のステップと、
前記樹脂だまりを硬化させることで前記光素子と前記光導波路とを光学的に結合して固定する第4のステップと、
前記半田をリフローして前記半導体装置と前記プリント配線板とを電気的に結合する第5のステップと、を備え、
少なくとも前記第4のステップを前記第5のステップより先に行う
ことを特徴とする光部品の実装方法。
An optical component mounting method for fixing a semiconductor device mounted with an optical element to a printed wiring board including an optical waveguide,
A first step of supplying solder to a portion to be electrically coupled to at least one of the semiconductor device and the printed wiring board;
A second step of forming a resin pool by filling a portion where the optical element and the optical waveguide are optically coupled in an uncured state with a light transmissive resin having heat resistance against the reflow temperature of the solder; ,
The semiconductor device is positioned and placed on the printed wiring board so that the solder is located between the electrically coupled portions and the resin pool is located between the optically coupled portions. A third step;
A fourth step of optically coupling and fixing the optical element and the optical waveguide by curing the resin reservoir;
A fifth step of reflowing the solder to electrically couple the semiconductor device and the printed wiring board;
An optical component mounting method, wherein at least the fourth step is performed before the fifth step.
前記第2のステップでは、前記プリント配線板上の前記光学的に結合させる部位に前記光透過性樹脂を充填して前記樹脂だまりを形成する
ことを特徴とする請求項1に記載の光部品の実装方法。
2. The optical component according to claim 1, wherein, in the second step, the optically coupled portion on the printed wiring board is filled with the light transmissive resin to form the resin pool. 3. Implementation method.
前記第2のステップでは、前記光透過性樹脂を前記光素子を覆うように前記半導体装置上に充填して前記樹脂だまりを形成する
ことを特徴とする請求項1に記載の光部品の実装方法。
2. The optical component mounting method according to claim 1, wherein in the second step, the resin pool is formed by filling the semiconductor device with the light-transmitting resin so as to cover the optical element. .
前記第2のステップでは、前記プリント配線板上の前記光学的に結合させる部位に前記光透過性樹脂を充填して前記樹脂だまりを形成するとともに、前記光透過性樹脂を前記光素子を覆うように前記半導体装置上に充填して別の樹脂だまりを形成する
ことを特徴とする請求項1に記載の光部品の実装方法。
In the second step, the optically coupled portion on the printed wiring board is filled with the light transmissive resin to form the resin pool, and the light transmissive resin covers the optical element. The method for mounting an optical component according to claim 1, further comprising: filling the semiconductor device with another resin pool.
前記第1から第5までのすべてのステップを終了した後に、前記半導体装置と前記プリント配線板との隙間にアンダーフィル樹脂を充填する第6のステップをさらに実行する
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の光部品の実装方法。
The sixth step of filling an underfill resin in a gap between the semiconductor device and the printed wiring board after completing all the steps from the first to the fifth is further performed. The method for mounting an optical component according to claim 1.
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