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JP2008070143A - Optical measuring system - Google Patents

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JP2008070143A
JP2008070143A JP2006246636A JP2006246636A JP2008070143A JP 2008070143 A JP2008070143 A JP 2008070143A JP 2006246636 A JP2006246636 A JP 2006246636A JP 2006246636 A JP2006246636 A JP 2006246636A JP 2008070143 A JP2008070143 A JP 2008070143A
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JP
Japan
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measurement
position information
tool mounting
mounting portion
processing
Prior art date
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JP2006246636A
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Japanese (ja)
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Haruo Ura
治男 浦
Tomonobu Taniguchi
朝信 谷口
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Soatec Inc
Original Assignee
Soatec Inc
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Publication date
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To perform high-precision measurement, when measuring the shape, or the like, of an object being measured by installing a measuring means on a tool mounting section of a processing machine. <P>SOLUTION: An arithmetic control section 37 moves a processing table 2 and a spindle head 6 of the processing machine 1 at a predetermined distance and decides that the table 2 and the spindle head 6 have stopped moving, when the value obtained by integrating twice acceleration signals from acceleration detectors 41, 46 lies within a predetermined standard value; an optical measuring apparatus 18, installed on the tool mounting section 10, detects the measuring light reflected by the object under measurement 4; the arithmetic control section 37 scans the object under measurement 4 by moving the table 2 and the spindle head 6 by a predetermined amount to measure it, while maintaining synchronization, by receiving driving instruction values for the table 2 and the spindle head 6, from an NC control system 9 and calculates the shape, or the like, of the object under measurement 4, on the basis of the measuring light detected. The positions of the processing table 2 and the spindle head 6 and measured data are thereby set in synchronism with each other, and calculation of the shape or the like of the object under measurement 4 is carried out with high accuracy. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、測定対象についての長さに関する特性を光学的に測定する光学式測定システムに関する。   The present invention relates to an optical measurement system that optically measures a length-related characteristic of a measurement object.

従来から、NC加工機やマシニングセンタをはじめとして加工対象の加工を自動制御によって行うようにした各種の自動制御型加工機が利用されている。前記自動制御型加工機においては、加工対象を載置固定する加工用テーブルと、加工用工具を取り付ける軸である工具主軸位置(工具取付部)を有し前記工具取付部に装着された加工用工具を駆動する主軸ヘッドと、選択された加工用工具を前記工具取付部に対して自動で着脱する自動工具交換装置(ATC)とを備えている。   2. Description of the Related Art Conventionally, various automatic control processing machines such as an NC processing machine and a machining center that perform processing of a processing target by automatic control have been used. The automatic control processing machine has a processing table for mounting and fixing a processing target, and a tool spindle position (tool mounting portion) that is a shaft to which a processing tool is mounted and is mounted on the tool mounting portion. A spindle head for driving the tool, and an automatic tool changer (ATC) for automatically attaching / detaching the selected machining tool to / from the tool attachment portion are provided.

ATCは、複数の加工用工具を収納する工具マガジンと、前記工具マガジンに収納された複数の加工用工具の中から加工に必要な工具を選択して、前記主軸ヘッドの工具取付部に装着すると共に使用が終了した加工用工具を前記工具取付部から取り外して前記工具マガジンに収納するアームとを備えている。   The ATC selects a tool magazine for storing a plurality of machining tools and a tool necessary for machining from the plurality of machining tools stored in the tool magazine, and attaches the tool to the tool mounting portion of the spindle head. And an arm for removing the processing tool, which has been used, from the tool mounting portion and storing it in the tool magazine.

前記自動制御型加工機によって加工対象を加工する場合、制御手段による自動制御によって、前記加工対象を固定した加工用テーブルを水平方向(X軸方向及びY軸方向)に所定量ずつ移動させることによって加工対象をX軸方向及びY軸方向に所定量ずつ移動させると共に、前記加工用テーブルの水平方向への移動に同期して前記主軸ヘッドを垂直方向(Z軸方向)に所定量ずつ移動させることにより、前記加工用工具を垂直方向に所定量ずつ移動させ、前記加工用工具によって前記加工対象の加工を行う。   When processing the processing target by the automatic control type processing machine, by moving the processing table with the processing target fixed in the horizontal direction (X-axis direction and Y-axis direction) by a predetermined amount by automatic control by the control means. The workpiece is moved by a predetermined amount in the X-axis direction and the Y-axis direction, and the spindle head is moved by a predetermined amount in the vertical direction (Z-axis direction) in synchronization with the movement of the processing table in the horizontal direction. Thus, the machining tool is moved by a predetermined amount in the vertical direction, and the machining object is machined by the machining tool.

加工に用いる加工用工具を変更する場合は、ATCによって、主軸ベッドの工具取付部に取り付けられた加工用工具の取り外し、前記工具取付部から取り外した加工用工具の前記工具マガジンへの収納、前記工具マガジンに収納されている複数の加工用工具の中から加工に使用する加工用工具の選択、選択した加工用工具の前記工具マガジンからの取り出し、取り出した加工用工具の前記工具取付部への装着を行う。これにより、加工機に対する加工用工具の交換が行われる。   When changing the processing tool used for processing, the ATC removes the processing tool attached to the tool mounting portion of the spindle bed, stores the processing tool removed from the tool mounting portion in the tool magazine, Selection of a machining tool to be used for machining from among a plurality of machining tools stored in the tool magazine, removal of the selected machining tool from the tool magazine, and removal of the taken machining tool to the tool mounting portion Install. As a result, the processing tool is exchanged for the processing machine.

尚、前記加工用工具は、ATCによる装着及び脱着が可能なように、大きさや形状等が所定の規格によって定められたホルダ部に取り付けられており、前記ホルダ部を前記工具取付部に装着することにより、加工用工具は前記工具取付部に取り付けられるように構成されている(特許文献1参照)。
ところで、加工対象をより正確に加工するために、加工対象の加工途中や一応の加工処理が終了した時点で、加工対象の形状等が所定値に加工されたか否かを測定することが行われている。
The processing tool is attached to a holder portion whose size, shape, etc. are determined by a predetermined standard so that it can be attached and detached by ATC, and the holder portion is attached to the tool attachment portion. Thus, the machining tool is configured to be attached to the tool attachment portion (see Patent Document 1).
By the way, in order to process the processing target more accurately, it is measured whether or not the shape of the processing target is processed to a predetermined value during the processing of the processing target or at the time when the temporary processing is completed. ing.

従来、加工対象(測定する場合は測定対象となる。)の測定においては、前記加工対象を加工用テーブルに加工中の状態に固定しておくと共に、前記工具取付部に接触式のタッチセンサを装着し、前記タッチセンサを加工対象表面に当接させ、その時の前記加工用テーブルの位置座標値(X座標値、Y座標値)や主軸ヘッドの位置(Z座標値)を読み、測定点の三次元座標を得ることによって測定対象の形状測定を行うようにしている。   Conventionally, in measuring a processing target (when measuring, it is a measuring target), the processing target is fixed to a processing table on a processing table, and a contact-type touch sensor is provided on the tool mounting portion. The touch sensor is brought into contact with the surface to be processed, the position coordinate value (X coordinate value, Y coordinate value) of the processing table at that time and the position of the spindle head (Z coordinate value) are read, and the measurement point The shape of the measurement object is measured by obtaining three-dimensional coordinates.

しかしながら、接触式のタッチセンサを用いた測定では、テーブルや工具取付部が完全に停止した状態で接触式のタッチセンサによって、タッチスイッチのトリガで現在位置を読み取っているため、テーブル等を連続的に移動させながら高速度で測定することは不可能であった。   However, in the measurement using the contact type touch sensor, the current position is read by the touch switch trigger by the contact type touch sensor in a state where the table and the tool mounting part are completely stopped. It was impossible to measure at a high speed while moving to.

また接触式では、測定対象表面に対して断続的な走査となるため、測定点数も少なく又、凹凸形状を有する測定対象の詳細な測定が困難である。即ち、走査線上の形状測定は大まかで断続な点群測定となり、より連続的で微細な三次元形状測定を行うことは困難であり、高精度な測定は困難である。   In the contact type, since the surface to be measured is intermittently scanned, the number of measurement points is small, and detailed measurement of the measurement object having an uneven shape is difficult. That is, the shape measurement on the scanning line is a rough and intermittent point cloud measurement, and it is difficult to perform more continuous and fine three-dimensional shape measurement, and it is difficult to measure with high accuracy.

また、接触することによる測定対象の加工表面に損傷の恐れが大であった。
さらに、加工機から得られる加工用テーブルと工具取付部の位置情報と、測定データとが同期していない場合、測定対象上の測定位置と、測定データが得られた測定位置との間に位置ずれが生じるため、高精度な測定ができないという問題がある。
Further, there is a great risk of damage to the processing surface to be measured due to contact.
In addition, if the processing table obtained from the processing machine and the position information of the tool mounting part and the measurement data are not synchronized, the position between the measurement position on the measurement target and the measurement position where the measurement data was obtained Due to the deviation, there is a problem that high-precision measurement cannot be performed.

特開平10−80834号公報Japanese Patent Laid-Open No. 10-80834

本発明は、加工機の工具取付部に測定手段を装着して測定対象についての長さに関する特性を測定する際に、高精度な測定を行えるようにすることを課題としている。
また、本発明は、加工機の工具取付部に測定手段を装着して測定対象についての長さに関する特性を測定する際に、高精度で高速な測定を行えるようにすることを課題としている。
An object of the present invention is to make it possible to perform highly accurate measurement when a measuring means is attached to a tool mounting portion of a processing machine to measure a characteristic relating to a length of a measurement object.
Another object of the present invention is to enable high-accuracy and high-speed measurement when measuring the length-related characteristics of a measurement object by attaching a measuring means to a tool mounting portion of a processing machine.

本発明によれば、加工機の工具取付部に対して着脱が可能な形状を有するホルダ部と、前記ホルダ部と一体的に設けられ、測定用光を出力する光源及び前記加工機の加工用テーブルに取り付けられた測定対象で反射した前記測定用光の検出を行う光検出手段と、前記光検出手段によって検出した測定用光に基づいて前記測定対象についての長さに関する特性を算出する算出手段とを有する光学式測定手段と、前記加工用テーブル及び工具取付部の位置に関する位置情報を出力する位置情報出力手段と、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動の停止を判断する停止判断手段とを備え、前記算出手段は、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止したと前記停止判断手段が判断したとき、前記光検出手段が検出した測定用光と前記停止判断時に受信した前記位置情報とを同期させて、前記測定対象についての長さに関する特性を算出することを特徴とする光学式測定システムが提供される。
算出手段は、加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止したと停止判断手段が判断したとき、光検出手段が検出した測定用光と停止判断時に受信した位置情報とを同期させて、測定対象についての長さに関する特性を算出する。
According to the present invention, a holder part having a shape that can be attached to and detached from a tool attachment part of a processing machine, a light source that is provided integrally with the holder part and that outputs measurement light, and for processing the processing machine A light detection means for detecting the measurement light reflected by the measurement object attached to the table, and a calculation means for calculating a characteristic relating to the length of the measurement object based on the measurement light detected by the light detection means Optical measurement means, position information output means for outputting position information relating to the positions of the processing table and the tool mounting portion, and stop determination for determining stop of relative movement of the processing table and the tool mounting portion. The measuring means detects the measurement light detected by the light detection means when the stop determination means determines that the relative movement of the processing table and the tool mounting portion has stopped. Serial in synchronization with said position information received at the time of stop determination, optical measuring systems, characterized in that to calculate the characteristics relating to length for the measurement target is provided.
The calculation means synchronizes the measurement light detected by the light detection means and the position information received at the stop determination when the stop determination means determines that the relative movement between the processing table and the tool mounting portion has stopped, The characteristic about the length about a measuring object is calculated.

ここで、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動の停止を検出して停止信号を出力する停止検出手段を備え、前記停止判断手段は、前記停止信号を受信したとき前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止したと判断するように構成してもよい。
また、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動の変位を検出する変位検出手段を備え、前記停止判断手段は、前記変位検出手段が検出した所定時間あたりの変位が所定の基準値内のときに、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止していると判断するように構成してもよい。
Here, it is provided with stop detection means for detecting a stop of relative movement between the machining table and the tool mounting portion and outputting a stop signal, and the stop determination means is configured to receive the stop signal when receiving the stop signal. You may comprise so that it may judge that the relative movement of a tool attachment part stopped.
In addition, a displacement detection unit that detects a displacement of relative movement between the machining table and the tool mounting portion is provided, and the stop determination unit has a displacement per predetermined time detected by the displacement detection unit within a predetermined reference value. In some cases, it may be determined that the relative movement between the processing table and the tool mounting portion is stopped.

また、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的速度を検出して対応する速度情報を出力する速度検出手段を備え、前記停止判断手段は、前記速度検出手段からの速度情報を積分した値が所定の基準値内のときに、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止していると判断するように構成してもよい。
また、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的加速度を検出して対応する加速度情報を出力する加速度検出手段を備え、前記停止判断手段は、前記加速度検出手段からの加速度情報を2回積分した値が所定の基準値内のときに、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止していると判断するように構成してもよい。
In addition, a speed detection unit that detects a relative speed between the processing table and the tool mounting portion and outputs corresponding speed information, the stop determination unit has a value obtained by integrating the speed information from the speed detection unit. A configuration may be adopted in which it is determined that the relative movement of the machining table and the tool mounting portion is stopped when the value is within a predetermined reference value.
In addition, an acceleration detection unit that detects relative acceleration between the machining table and the tool mounting portion and outputs corresponding acceleration information is provided, and the stop determination unit integrates acceleration information from the acceleration detection unit twice. When the value is within a predetermined reference value, the relative movement between the processing table and the tool mounting portion may be determined to be stopped.

また、本発明によれば、加工機の工具取付部に対して着脱が可能な形状を有するホルダ部と、前記ホルダ部と一体的に設けられ、測定用光を出力する光源及び前記加工機の加工用テーブルに取り付けられた測定対象で反射した前記測定用光の検出を行う光検出手段と、前記光検出手段によって検出した測定用光に基づいて前記測定対象についての長さに関する特性を算出する算出手段とを有する光学式測定手段と、前記工具取付部と加工用テーブルの位置を表す位置情報を出力する位置情報出力手段とを備え、前記算出手段は、前記光検出手段が検出した測定用光と、前記位置情報出力手段からの位置情報を同期させて、前記測定対象についての長さに関する特性を算出することを特徴とする光学式測定システムが提供される。
算出手段は、光検出手段が検出した測定用光と、位置情報出力手段からの位置情報を同期させて、測定対象についての長さに関する特性を算出する。
Further, according to the present invention, a holder portion having a shape that can be attached to and detached from a tool attachment portion of a processing machine, a light source that is provided integrally with the holder portion and that outputs measurement light, and the processing machine A light detection means for detecting the measurement light reflected by the measurement object attached to the processing table, and a characteristic relating to the length of the measurement object is calculated based on the measurement light detected by the light detection means. An optical measurement means having a calculation means; and a position information output means for outputting position information representing the positions of the tool mounting portion and the processing table, wherein the calculation means is for measurement detected by the light detection means. There is provided an optical measurement system characterized in that light and position information from the position information output means are synchronized to calculate a characteristic relating to the length of the measurement object.
The calculation means synchronizes the measurement light detected by the light detection means and the position information from the position information output means, and calculates a characteristic relating to the length of the measurement object.

ここで、前記位置情報出力手段は前記加工機に内蔵されたエンコーダであり、前記位置情報は前記内蔵エンコーダからの位置情報であるように構成してもよい。
また、前記位置情報出力手段は前記加工機に外付けされたエンコーダであり、前記位置情報は前記外付けエンコーダからの位置情報であるように構成してもよい。
また、前記位置情報は、前記加工用テーブル及び工具取付部の位置を移動制御するための指令値であり、前記算出手段は、前記指令値に代えて、前記加工用テーブル及び前記工具取付部についての所定の伝達関数と前記指令値の積を新たな位置情報として使用するように構成してもよい。
Here, the position information output means may be an encoder built in the processing machine, and the position information may be position information from the built-in encoder.
Further, the position information output means may be an encoder externally attached to the processing machine, and the position information may be position information from the external encoder.
Further, the position information is a command value for controlling movement of the positions of the machining table and the tool mounting portion, and the calculating means replaces the command value with respect to the machining table and the tool mounting portion. The product of the predetermined transfer function and the command value may be used as new position information.

また、前記位置情報は、前記加工用テーブル及び工具取付部の位置を移動制御するための指令値であり、前記算出手段は、前記指令値に代えて、前記指令値に所定の補正を施した値を新たな位置情報として使用するように構成してもよい。   Further, the position information is a command value for controlling movement of the positions of the machining table and the tool mounting portion, and the calculation means performs a predetermined correction on the command value instead of the command value. The value may be used as new position information.

本発明に係る光学式測定システムによれば、加工機の工具取付部に測定手段を装着して測定対象についての長さに関する特性を測定する際に、高精度な測定を行うことが可能である。
特に、テーブルと工具取付部の相対的移動を停止させながら測定することにより、より高精度な測定が可能になる。
また、テーブルと工具取付部の相対的移動を停止することなく測定することにより、高速で高精度な測定が可能になる。
According to the optical measurement system of the present invention, it is possible to perform highly accurate measurement when measuring the length-related characteristics of the measurement target by attaching the measurement means to the tool mounting portion of the processing machine. .
In particular, by measuring while stopping the relative movement of the table and the tool mounting portion, it is possible to perform more accurate measurement.
Further, by measuring without stopping the relative movement of the table and the tool mounting portion, high-speed and high-precision measurement can be performed.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態に係る光学式測定システムについて説明する。
図1、図2は、各々、本発明の実施の形態に係る光学式測定システムの概要を示す正面図、側面図であり、自動制御型加工機の一種であるNC(数値)制御型加工機(NC加工機)とともに光学式測定装置を使用する例を挙げている。
Hereinafter, an optical measurement system according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 and 2 are a front view and a side view, respectively, showing an outline of an optical measurement system according to an embodiment of the present invention, and an NC (numerical value) control type processing machine which is a kind of automatic control type processing machine. The example which uses an optical measuring device with (NC processing machine) is given.

図1及び図2において、マシニングセンタで代表されるNC加工機1は、設置部としてのベッドフレーム14に設置されている。ベッドフレーム14は移動しない固定系であり又、所定の基準位置でもある。
測定対象(ワーク:加工時には加工対象となり、測定時には測定対象となる。)4は、加工用及び測定用を兼ねたNC加工機1の加工用テーブル2の上面に載置した状態で固定具3によって固定される。加工用テーブル2と隔てられた位置に、測定対象4の加工を行うための加工用工具(例えば切削工具)5を装着する主軸ヘッド6が配設されている。
1 and 2, an NC processing machine 1 represented by a machining center is installed on a bed frame 14 as an installation unit. The bed frame 14 is a fixed system that does not move, and is also a predetermined reference position.
A measuring object (work: a processing object at the time of machining and a measurement object at the time of measurement) 4 is mounted on the upper surface of the processing table 2 of the NC processing machine 1 which is used for both processing and measurement. Fixed by. A spindle head 6 for mounting a processing tool (for example, a cutting tool) 5 for processing the measuring object 4 is disposed at a position separated from the processing table 2.

主軸ヘッド6は、加工用工具5を取り付ける軸である工具主軸20を通る所定位置(工具主軸位置)に加工用工具5を装着する工具取付部10を有しており、工具主軸20方向(Z軸方向)及び水平面内の一方向であるX軸方向に沿って移動制御され、これにより、工具取付部10に装着された加工用工具5を工具主軸20方向及びX軸方向に直線的に移動させる。   The spindle head 6 has a tool mounting portion 10 for mounting the machining tool 5 at a predetermined position (tool spindle position) passing through the tool spindle 20 that is an axis to which the machining tool 5 is attached, and the tool spindle 20 direction (Z Axial movement) and the X-axis direction, which is one direction in the horizontal plane, thereby moving the machining tool 5 mounted on the tool mounting portion 10 linearly in the tool spindle 20 direction and the X-axis direction. Let

尚、詳細は図示していないが、主軸ヘッド6は、加工用工具5をZ軸方向(垂直方向)及びX軸方向(水平な一方向)に直線的に送る機構と、工具主軸20を中心として加工用工具5に水平面(X軸とY軸を通る面)内で回転動作を与える機構を備えている。工具主軸20は加工用工具5が回転する回転軸となる。測定用光の光軸は工具主軸20に沿って通るように構成されている。   Although not shown in detail, the spindle head 6 has a mechanism for feeding the machining tool 5 linearly in the Z-axis direction (vertical direction) and the X-axis direction (one horizontal direction), and the tool spindle 20 as the center. As a mechanism for rotating the machining tool 5 in a horizontal plane (a plane passing through the X axis and the Y axis). The tool spindle 20 serves as a rotation axis around which the machining tool 5 rotates. The optical axis of the measurement light is configured to pass along the tool spindle 20.

加工用工具5は手動によって、主軸ヘッド6への装着及び主軸ヘッド6からの脱着が可能である。また、自動工具交換装置(ATC)7は、NC制御装置9の制御の下で、アーム17を用いて、加工用工具5を収納する工具収納部である工具マガジン8からの加工用工具5の取り出し、主軸ヘッド6への加工用工具5の装着、主軸ヘッド6からの加工用工具5の脱着、工具マガジン8への加工用工具5の収納を行う機構を備えており、これにより、工具マガジン8に収納されている加工用工具5の主軸ヘッド6に対する着脱を自動で行う。   The machining tool 5 can be manually attached to and detached from the spindle head 6. Further, the automatic tool changer (ATC) 7 uses the arm 17 under the control of the NC controller 9 to move the machining tool 5 from the tool magazine 8 which is a tool storage unit for storing the processing tool 5. A mechanism for taking out, mounting the machining tool 5 on the spindle head 6, detaching the machining tool 5 from the spindle head 6, and storing the machining tool 5 in the tool magazine 8 is provided. The machining tool 5 accommodated in the spindle 8 is automatically attached to and detached from the spindle head 6.

加工用テーブル2のY軸方向への移動制御、主軸ヘッド6のX軸方向及びZ軸方向への移動制御、工具5の交換制御等や、切削等の加工に関わるこれら一連の制御は、NC制御装置9がその内部に記憶している加工用プログラムを実行することによって行われる。
また、NC制御装置9は、測定対象4の形状や所定位置からの測定対象の測定対象位置までの距離等の測定を行う際に、加工用テーブル2のY方向の移動制御、主軸ヘッド6のX軸方向及びZ軸方向への移動制御等の制御も、その内部に記憶したプログラムを実行することによって行う。NC制御装置9は制御手段を構成している。19は、NC制御装置9を制御するための表示付きコントローラである。
A series of controls related to machining such as cutting, etc., including movement control of the machining table 2 in the Y-axis direction, movement control of the spindle head 6 in the X-axis direction and Z-axis direction, tool 5 exchange control, etc. This is performed by the control device 9 executing a machining program stored therein.
Further, the NC control device 9 controls the movement of the machining table 2 in the Y direction and the spindle head 6 when measuring the shape of the measurement target 4 and the distance from the predetermined position to the measurement target position. Controls such as movement control in the X-axis direction and Z-axis direction are also performed by executing a program stored therein. The NC control device 9 constitutes a control means. Reference numeral 19 denotes a controller with a display for controlling the NC control device 9.

工具マガジン8に格納可能に構成された光学式測定器18は、加工用工具5と同様に、NC制御装置9がプログラムを実行することによって、ATC7により自動で主軸ヘッド6に対して着脱できるように構成されている。
図3は、本実施の形態に係る光学式測定システムの主要構成部を示す図であり、図1及び図2と同一部分には同一符号を付している。
光学式測定装置18は、光学式測定装置18を主軸ヘッド6の工具取付部10に装着する部分であるホルダ部11及びホルダ部11と一体的に構成された収容部45を有している。
The optical measuring instrument 18 configured to be storable in the tool magazine 8 can be automatically attached to and detached from the spindle head 6 by the ATC 7 when the NC control device 9 executes a program in the same manner as the processing tool 5. It is configured.
FIG. 3 is a diagram showing the main components of the optical measurement system according to the present embodiment, and the same components as those in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals.
The optical measuring device 18 includes a holder portion 11 that is a portion for mounting the optical measuring device 18 on the tool mounting portion 10 of the spindle head 6 and a housing portion 45 that is configured integrally with the holder portion 11.

ホルダ部11は、加工用工具5の規格に準じた形状や寸法を有しており又、円周状に設けられた溝部43を有し、溝部43はATC7のアーム17に係合可能な係合部を構成している。
また、ホルダ部11は、主軸ヘッド6に設けられ所定形状の有底穴によって構成された工具取付部10に係合するテーパ状の形状を有しており、工具取付部10との係合により、ホルダ部11は主軸ヘッド6に装着される。
The holder portion 11 has a shape and a size conforming to the standard of the machining tool 5, and has a groove portion 43 provided in a circumferential shape, and the groove portion 43 can be engaged with the arm 17 of the ATC 7. It constitutes a joint.
The holder portion 11 has a tapered shape that engages with the tool attachment portion 10 that is provided in the spindle head 6 and is configured by a bottomed hole having a predetermined shape. The holder part 11 is attached to the spindle head 6.

光学式測定装置18のホルダ部11の構成を加工用工具5の規格にあうように構成しているため、加工用工具5と同じ様に取り扱って、加工用工具5と同じ装着位置である主軸ヘッド6の工具取付部10に自動や手動で容易に取り付けることが可能になる。このように、ホルダ部11は、加工用工具5の規格に準じて用いられている公知の構成を採用することが可能である。   Since the configuration of the holder portion 11 of the optical measuring device 18 is configured to meet the specifications of the machining tool 5, the spindle is handled in the same manner as the machining tool 5 and is in the same mounting position as the machining tool 5. It can be easily attached to the tool attachment portion 10 of the head 6 automatically or manually. As described above, the holder unit 11 can adopt a known configuration used in accordance with the standard of the machining tool 5.

ATC7のアーム17はその両端に係合部としての1対のコ字形状部を有しており、溝部43とアーム17の前記コ字状部を係合させることによってATC7で光学式測定装置18を保持した状態でアーム17を動かす。これにより、光学式測定装置18は、加工用工具5を収納する工具マガジン8に対して格納、取出し及び搬送が可能に構成されると共に、主軸ヘッド6の工具取付部10に対して着脱されるように構成されている。
このように、光学式測定装置18の主軸ヘッド6への装着、脱着を自動で行う場合には、ATC7によって工具5の着脱を行うのと同じようにして行うことができる。
The arm 17 of the ATC 7 has a pair of U-shaped portions as engaging portions at both ends thereof. By engaging the groove portion 43 with the U-shaped portion of the arm 17, the optical measuring device 18 is operated by the ATC 7. The arm 17 is moved while holding. Thereby, the optical measuring device 18 is configured to be able to be stored, taken out and conveyed with respect to the tool magazine 8 storing the processing tool 5 and is attached to and detached from the tool mounting portion 10 of the spindle head 6. It is configured as follows.
As described above, when the optical measuring device 18 is automatically attached to and detached from the spindle head 6, it can be performed in the same manner as the attachment and detachment of the tool 5 by the ATC 7.

ホルダ部11と一体的に構成された収容部45には、測定に使用する光である測定用光を出力する光源38及び測定用光の検出を行う光検出素子39が配設されている。光源38は赤外線発光ダイオードや半導体レーザ等の所定波長の光を出力する発光素子が使用可能である。光検出素子39は、例えば、PSD(Position Sensitive Detector)によって構成することが可能であり又、CCD(Charge Coupled Device)センサ等も使用可能である。光検出素子39は、光検出手段を構成している。   A light source 38 that outputs measurement light, which is light used for measurement, and a light detection element 39 that detects measurement light are disposed in the housing portion 45 that is configured integrally with the holder portion 11. As the light source 38, a light emitting element that outputs light of a predetermined wavelength, such as an infrared light emitting diode or a semiconductor laser, can be used. The light detection element 39 can be constituted by, for example, a PSD (Position Sensitive Detector), and a CCD (Charge Coupled Device) sensor or the like can also be used. The light detection element 39 constitutes a light detection means.

また、収容部45には、光源38及び光検出素子39への電源供給、光源38及び光検出素子39の制御及び光検出素子で検出した信号の取り出し等を行うための電気ケーブル40が接続されており、ケーブル40を介して演算制御部37に接続されている。
光学式測定装置18は、三角測量方式によって測定対象4の形状や所定位置から測定対象4の測定対象位置までの距離等、測定対象4についての長さに関する特性を測定する。
In addition, an electric cable 40 for supplying power to the light source 38 and the light detection element 39, controlling the light source 38 and the light detection element 39, taking out a signal detected by the light detection element, and the like is connected to the housing portion 45. And is connected to the arithmetic control unit 37 via the cable 40.
The optical measurement device 18 measures characteristics related to the length of the measurement target 4 such as the shape of the measurement target 4 and the distance from the predetermined position to the measurement target position of the measurement target 4 by a triangulation method.

本実施の形態では、光源38及び光検出素子39は光学式測定装置18に搭載し、これらの制御や光検出素子39からの信号に基づく測定対象4の形状等の算出処理は電気ケーブル40を介して接続した演算制御装置37によって行うように構成しているが、演算制御装置37の一部を光学式測定装置18に配設するように構成するようにしてもよい、即ち、光学式測定装置18は、少なくとも光源38及び光検出素子39を有するように構成すればよい。   In the present embodiment, the light source 38 and the light detection element 39 are mounted on the optical measuring device 18, and the calculation process of the shape of the measurement object 4 based on the control and the signal from the light detection element 39 is performed using the electric cable 40. However, a part of the calculation control device 37 may be arranged in the optical measurement device 18, that is, optical measurement. The apparatus 18 may be configured to include at least the light source 38 and the light detection element 39.

演算制御装置37は、表示装置56、データ処理部57、計測コントローラ58、コントローラ59を備えている。データ処理部57は、測定モード切替、スキャン方向切替、スキャンピッチ切替、NCプログラム作成等の制御処理を行う。
計測コントローラ58は、監視モード切替、ノイズ除去用の低域フィルタ(LPF)の特性設定、判定基準値設定等の制御を行う。
The arithmetic control device 37 includes a display device 56, a data processing unit 57, a measurement controller 58, and a controller 59. The data processing unit 57 performs control processing such as measurement mode switching, scan direction switching, scan pitch switching, and NC program creation.
The measurement controller 58 performs control such as monitoring mode switching, noise removal low-pass filter (LPF) characteristic setting, determination reference value setting, and the like.

コントローラ59は、表示装置56、データ処理器57、計測コントローラ58の制御を行うと共に、インタフェース36を介してNC制御装置9の制御を行い、これによって、テーブル2や主軸ヘッド6の移動制御や測定装置18の測定制御を行う。
ここで、演算制御部37は、算出手段、停止判断手段を構成すると共に、光学式測定装置18とともに光学式測定手段を構成している。
The controller 59 controls the display device 56, the data processor 57, and the measurement controller 58, and also controls the NC control device 9 via the interface 36, whereby movement control and measurement of the table 2 and the spindle head 6 are performed. Measurement control of the apparatus 18 is performed.
Here, the arithmetic control unit 37 constitutes a calculation means and a stop determination means, and constitutes an optical measurement means together with the optical measurement device 18.

NC制御装置9は、各種指令、制御指令、演算処理、比較などを担うCNC制御部31、各種の機能別の制御を行う複数の制御ユニット51〜55、専用インタフェース36、コントローラ19を備えている。
NC制御装置9のCNC制御部31は、加工用テーブル2及び工具取付部10の位置に関する位置情報を出力する位置情報出力手段、加工用テーブル2及び工具取付部10の相対的移動の停止を検出して停止信号を出力する停止検出手段を構成している。
The NC control device 9 includes a CNC control unit 31 that handles various commands, control commands, arithmetic processing, comparison, and the like, a plurality of control units 51 to 55 that perform control according to various functions, a dedicated interface 36, and a controller 19. .
The CNC control unit 31 of the NC control device 9 detects position information output means for outputting position information related to the positions of the machining table 2 and the tool mounting unit 10, and stops the relative movement of the machining table 2 and the tool mounting unit 10. Thus, stop detection means for outputting a stop signal is configured.

制御ユニット55は、加工機1の加工用テーブル2及び主軸ヘッド6の移動制御を行うための制御ユニットである。制御ユニット55は、相互に直交する3軸(XYZ軸)についてのサーボアンプ、サーボモータ、エンコーダ(内蔵エンコーダ)からなる駆動機構33、34、35と接続されている。   The control unit 55 is a control unit for performing movement control of the processing table 2 and the spindle head 6 of the processing machine 1. The control unit 55 is connected to drive mechanisms 33, 34, and 35 including servo amplifiers, servo motors, and encoders (built-in encoders) for three axes (XYZ axes) orthogonal to each other.

主軸ヘッド6の先端である工具取付部10には、加工用工具5に代わってレーザ式三次元測定装置18が同軸上に装着される。演算制御部37から計測指令が専用インタフェース36を介して、NC制御装置9のCNC制御部31に送られる。三次元測定装置18の光源38から照射された測定用光15は測定対象4表面に照射される。測定対象4で反射した測定用光15は光検出素子39によって検出される。演算制御部37のデータ処理機能によって、光検出素子39によって検出した測定用光に基づいて、走査された測定対象4表面の三次元形状等の長さに関する特性が求められる。   A laser type three-dimensional measuring device 18 is coaxially mounted in place of the processing tool 5 on the tool mounting portion 10 which is the tip of the spindle head 6. A measurement command is sent from the arithmetic control unit 37 to the CNC control unit 31 of the NC control device 9 via the dedicated interface 36. The measurement light 15 emitted from the light source 38 of the three-dimensional measuring device 18 is applied to the surface of the measurement object 4. The measurement light 15 reflected by the measurement object 4 is detected by the light detection element 39. Based on the measurement light detected by the light detection element 39, the data processing function of the arithmetic control unit 37 obtains characteristics relating to the length of the scanned surface of the measurement object 4 such as the three-dimensional shape.

主軸ヘッド6(換言すれば工具取付部10)と測定対象4(換言すればテーブル2)の位置は駆動機構33、34、35の内蔵エンコーダによってその現在値が実時間で連続して読めるようになっている。
演算制御部37には、高速連続測定モードと高精度測定モードの切換、加速度データに載ったノイズ処理や停止判定機能が備わっている。
The positions of the spindle head 6 (in other words, the tool mounting portion 10) and the measurement object 4 (in other words, the table 2) can be read continuously in real time by the built-in encoders of the drive mechanisms 33, 34, and 35. It has become.
The arithmetic control unit 37 has a function of switching between a high-speed continuous measurement mode and a high-accuracy measurement mode, noise processing included in acceleration data, and a stop determination function.

ここで、高精度測定モードとは、主軸ヘッド6とテーブル2を所定量移動させた後に停止し、この停止状態において測定装置18によって測定を行い、その後再び主軸ヘッド6とテーブル2を所定量移動させた後に停止して測定装置18によって測定を行う動作を繰り返しながら、測定対象4の長さに関する特性を測定するモードである。
このように、高精度測定モードでは、主軸ヘッド6とテーブル2が相対的に停止している間に測定を行うため、マシニングセンタ側と測定点の同期を正確にとりながら測定対象4の測定が可能になり、高精度な測定が可能になる。
Here, the high-accuracy measurement mode is a state in which the spindle head 6 and the table 2 are moved after a predetermined amount and then stopped, and measurement is performed by the measuring device 18 in this stopped state, and then the spindle head 6 and the table 2 are moved again by a predetermined amount. This is a mode for measuring the characteristics relating to the length of the measuring object 4 while repeating the operation of stopping the measurement and performing the measurement by the measuring device 18.
As described above, in the high-accuracy measurement mode, the measurement is performed while the spindle head 6 and the table 2 are relatively stopped. Therefore, the measurement object 4 can be measured while accurately synchronizing the machining center and the measurement point. Thus, highly accurate measurement is possible.

高精度測定モードにおいて、NC加工機1の位置情報(具体的にはテーブル2と主軸ヘッド6の工具取付部10の位置情報)と、光学式測定装置18によって測定した測定対象4上の測定点の測定データとを同期させる方法として、NC加工機1のNC制御装置9から出力される停止信号を利用して測定を行う方法、テーブル2と主軸ヘッド6の工具取付部10の移動が停止(停止には、完全な停止状態のみならず、所定時間内の移動量が所定の基準値内のときも含む。)したことを検出たときに、光学式測定装置18によって測定対象4の測定を行う方法がある。   In the high-accuracy measurement mode, the position information of the NC processing machine 1 (specifically, the position information of the table 2 and the tool mounting portion 10 of the spindle head 6) and the measurement points on the measurement object 4 measured by the optical measuring device 18 As a method of synchronizing the measurement data, a method of performing measurement using a stop signal output from the NC control device 9 of the NC processing machine 1, and the movement of the table 2 and the tool mounting portion 10 of the spindle head 6 are stopped ( The stop includes not only a complete stop state but also a movement amount within a predetermined time within a predetermined reference value.) When it is detected that the measurement object 4 is measured by the optical measuring device 18. There is a way to do it.

測定対象4の測定状態では、測定対象4の加工時と同様に、CNC制御部31は制御ユニット55に対して、テーブル2及び主軸ヘッド6の工具取付部10の移動先の位置を指示するための指令値信号を供給する。制御ユニット55は、CNC制御部31からの前記指令値信号に対応する位置にテーブル2及び主軸ヘッド6の工具取付部10を移動させるように、駆動機構33〜35を制御する。   In the measurement state of the measurement object 4, the CNC control unit 31 instructs the control unit 55 of the movement destination positions of the tool mounting unit 10 of the spindle head 6 and the spindle unit 6 as in the processing of the measurement object 4. The command value signal is supplied. The control unit 55 controls the drive mechanisms 33 to 35 so as to move the table 2 and the tool mounting part 10 of the spindle head 6 to a position corresponding to the command value signal from the CNC control part 31.

同時に、演算制御部37のコントローラ59は、ケーブル40を介して光源38及び光検出素子39を制御して、光源38から測定用光を出力すると共に測定対象4で反射した測定用光を光検出素子39によって検出する。演算制御部37のコントローラ59は、光検出素子39によって検出した測定用光のデータ及びテーブル2と主軸ヘッド6の工具取付部10の位置情報を対応付けて、その内部の記憶部に記憶する。このとき記憶した測定用光の測定データと前記位置情報は同期がとれたものになる。演算制御部37のコントローラ59は、測定対象4の複数点において測定して得られ前記位置情報に同期する複数の測定データに基づいて、測定対象4の形状等の長さについての特性を算出する。   At the same time, the controller 59 of the arithmetic control unit 37 controls the light source 38 and the light detection element 39 via the cable 40 to output the measurement light from the light source 38 and detect the measurement light reflected by the measurement object 4. Detected by element 39. The controller 59 of the arithmetic control unit 37 associates the measurement light data detected by the light detection element 39 and the position information of the table 2 and the tool mounting part 10 of the spindle head 6 with each other and stores them in the internal storage unit. The measurement data of the measurement light stored at this time and the position information are synchronized. The controller 59 of the arithmetic control unit 37 calculates the characteristics of the measurement object 4 such as the shape and the like based on a plurality of measurement data obtained by measurement at a plurality of points of the measurement object 4 and synchronized with the position information. .

NC加工機1から出力される停止信号を利用して測定を行う場合、制御ユニット51は、CNC制御部31からの指令値信号(NC加工機の位置(具体的にはテーブル2と主軸ヘッド6の位置)を表す情報を、専用I/F36を介して演算制御部37に出力すると共に、テーブル2及び主軸ヘッド6の移動が停止したことを表す停止信号を専用I/F36を介して演算制御部37に出力する。   When performing measurement using the stop signal output from the NC machine 1, the control unit 51 sends a command value signal from the CNC control unit 31 (the position of the NC machine (specifically, the table 2 and the spindle head 6). Is output to the arithmetic control unit 37 via the dedicated I / F 36, and a stop signal indicating that the movement of the table 2 and the spindle head 6 has been stopped is arithmetically controlled via the dedicated I / F 36. To the unit 37.

演算制御部37のコントローラ59は、前記停止信号を受信したときのテーブル2及び主軸ヘッド6の位置、及び、測定装置18から受信した測定用光に基づいて、測定対象4の形状等に長さに関する特性を算出する。速度データのうち、速度ゼロを停止信号として出力するNC加工機の場合は、極めて短時間であっても停止状態では同期状態が成り立つ。したがって、NC加工機の位置と測定データが同期した高精度な測定が可能になる。   The controller 59 of the arithmetic control unit 37 has a length such as the shape of the measurement object 4 based on the positions of the table 2 and the spindle head 6 when the stop signal is received and the measurement light received from the measurement device 18. Calculate the characteristics for. In the case of an NC machine that outputs zero speed as a stop signal among the speed data, a synchronized state is established in the stop state even for a very short time. Therefore, highly accurate measurement in which the position of the NC processing machine and the measurement data are synchronized becomes possible.

検出器41、46は、テーブル2と主軸ヘッド6の工具取付部10の移動が停止したことを検出するための検出器である。
検出器41、46として、加速度検出器(加速度検出手段)、速度検出器(速度検出手段)、変位検出器(変位検出手段)を使用した場合は、各々、微分階層が相違するのみであり本質的に同じであるので、いずれの検出器を使用してもよい。検出器として加速度検出器を用いた場合にはその出力信号を2回積分することによって変位量を算出し該変位量に基づいて停止しているか否かを判断し、速度検出器を用いた場合にはその出力信号を1回積分することによって変位量を算出し該変位量に基づいて停止しているか否かを判断し、変位検出器を使用した場合にはその出力信号である変位量に基づいて停止しているか否かを判断する。
The detectors 41 and 46 are detectors for detecting that the movement of the tool mounting portion 10 of the table 2 and the spindle head 6 has stopped.
When an acceleration detector (acceleration detection means), a speed detector (speed detection means), or a displacement detector (displacement detection means) is used as the detectors 41 and 46, only the differential hierarchy is different. Any detector may be used because they are the same. When an acceleration detector is used as a detector, a displacement amount is calculated by integrating the output signal twice, and it is determined whether or not the vehicle is stopped based on the displacement amount. When a speed detector is used The output signal is integrated once to calculate the displacement amount, and based on the displacement amount, it is determined whether or not the vehicle is stopped. When a displacement detector is used, the displacement amount that is the output signal is calculated. Based on this, it is determined whether or not the vehicle is stopped.

加速度検出器を用いた場合には、2回積分して得られた変位量が所定の基準値内に入った場合を停止と判断する。前記基準値はレーザ測定装置18の測定精度、測定用光の状態を考慮して適宜定める。また1回積分で得られる速度挙動も判定用補助データとして利用することができる。加速度データには各種ノイズが相乗しているが、別途把握している振動特性から適切なフィルタ処理で除去することが好ましい。
極短時間の加工機1の停止時間(即ち、テーブル2や主軸ヘッド6が停止している時間)に測定用光による測定を行う場合、その停止状態が保証されていると、同期性の悪さに起因する測定精度の低下を受けず、極めて高精度な計測が行える。
When the acceleration detector is used, it is determined that the displacement is obtained when the displacement obtained by integrating twice falls within a predetermined reference value. The reference value is appropriately determined in consideration of the measurement accuracy of the laser measuring device 18 and the state of the measurement light. The speed behavior obtained by one-time integration can also be used as auxiliary data for determination. Although various noises are synergistic with the acceleration data, it is preferable to remove them from the vibration characteristics separately grasped by appropriate filtering.
When measurement is performed with measurement light during the extremely short stop time of the processing machine 1 (that is, when the table 2 or the spindle head 6 is stopped), if the stop state is guaranteed, the synchronization is poor. Therefore, it is possible to perform extremely high-precision measurement without being affected by the decrease in measurement accuracy caused by.

停止状態はエンコーダ値を処理して得られる停止信号を受ける方法でもよい。また他の方法として、主軸ヘッド6側に設置した1軸(Y軸)加速度検出器46の加速度およびテーブル2側に設置した2軸(X軸、Z軸)の加速度検出器41の加速度から相対加速度を得て、相対速度、相対変位を算出し、別途定める所定の基準値と比較して加工機1の停止、即ち測定タイミングを獲得する。加速度検出器41、46の出力信号を増幅する各増幅器20、22は、加速度検出器41、46に内蔵型でもよく又、外部に後から取り付けられた外付け型でもよい。   The stop state may be a method of receiving a stop signal obtained by processing the encoder value. As another method, relative to the acceleration of the uniaxial (Y axis) acceleration detector 46 installed on the spindle head 6 side and the acceleration of the biaxial (X axis, Z axis) acceleration detector 41 installed on the table 2 side. The acceleration is obtained, the relative speed and the relative displacement are calculated, and compared with a predetermined reference value determined separately, the processing machine 1 is stopped, that is, the measurement timing is obtained. The amplifiers 20 and 22 that amplify the output signals of the acceleration detectors 41 and 46 may be built in the acceleration detectors 41 and 46, or may be externally attached later.

停止信号を利用する方法の場合、制御ユニット55は、駆動機構33〜35に含まれる内蔵エンコーダからの信号に基づいて、テーブル2及び主軸ヘッド6(換言すれば工具取付部10)が相対的に停止したことを検出して、停止したことを表す停止信号をCNC制御部31に出力する。CNC制御部31は、前記停止信号を制御ユニット51及び専用I/Fを介して演算制御部37に送信し、演算制御部37は前記停止信号に基づいて、テーブル2及び工具取付部10が相対的に停止したと判断する。   In the case of the method using the stop signal, the control unit 55 makes the table 2 and the spindle head 6 (in other words, the tool mounting portion 10) relatively based on the signals from the built-in encoders included in the drive mechanisms 33 to 35. The stop is detected, and a stop signal indicating the stop is output to the CNC control unit 31. The CNC control unit 31 transmits the stop signal to the calculation control unit 37 via the control unit 51 and the dedicated I / F, and the calculation control unit 37 makes the table 2 and the tool mounting unit 10 relative to each other based on the stop signal. It is judged that it stopped.

また、演算制御部37は、前記のようにして加工用テーブル2と工具取付部10の相対的移動が停止したと判断したとき、光検出素子39が検出した測定用光と前記停止判断時に受信した位置情報(CNC制御部31からの指令値情報)とを同期させて、測定対象4についての長さに関する特性を算出する。
停止状態と判断する他の方法として、演算制御部37は、加速度検出器41、46からの加速度信号を2回積分した値が所定の基準値内のときに、加工用テーブル2と工具取付部10の相対的移動が停止していると判断するようにしてもよい。
Further, when the arithmetic control unit 37 determines that the relative movement between the machining table 2 and the tool mounting unit 10 is stopped as described above, the calculation control unit 37 receives the measurement light detected by the light detecting element 39 and the stop determination. The position-related information (command value information from the CNC control unit 31) is synchronized, and the characteristic regarding the length of the measurement object 4 is calculated.
As another method for determining the stop state, the calculation control unit 37 determines that the machining table 2 and the tool mounting unit are set when the value obtained by integrating the acceleration signals from the acceleration detectors 41 and 46 twice is within a predetermined reference value. You may make it judge that the relative movement of 10 has stopped.

また、加速度検出器41、46の代わりに、加工用テーブル2と工具取付部10の相対的速度を検出して対応する速度情報を出力する速度検出器(図示せず)を使用し、演算制御部37は、前記速度検出器からの速度情報を1回積分した値が所定の基準値内のときに、加工用テーブル2と工具取付部10の相対的移動が停止していると判断するようにしてもよい。   Also, instead of the acceleration detectors 41 and 46, a speed detector (not shown) that detects the relative speed between the processing table 2 and the tool mounting portion 10 and outputs corresponding speed information is used to control the calculation. The unit 37 determines that the relative movement of the machining table 2 and the tool mounting unit 10 is stopped when the value obtained by integrating the speed information from the speed detector once is within a predetermined reference value. It may be.

また、加速度検出器41、46の代わりに、加工用テーブル2と工具取付部10の相対的移動の変位を検出する変位検出器(図示せず)を使用し、演算制御部37は、前記変位検出器が検出した所定時間あたりの変位が所定の基準値内のときに、加工用テーブル2と工具取付部10の相対的移動が停止していると判断するようにしてもよい。   Further, instead of the acceleration detectors 41 and 46, a displacement detector (not shown) for detecting the displacement of the relative movement between the machining table 2 and the tool mounting unit 10 is used, and the arithmetic control unit 37 is configured to transmit the displacement. When the displacement per predetermined time detected by the detector is within a predetermined reference value, it may be determined that the relative movement between the processing table 2 and the tool mounting portion 10 is stopped.

一方、高速連続測定モードとは、主軸ヘッド6とテーブル2を連続して移動させると共に、光学式測定装置18によって測定を行うモードである。主軸ヘッド6及びテーブル2を相対的に連続して移動させながら測定対象4の長さに関する測定を行うため、高速な測定が可能である。また、光学的に測定を行うため、高精度な測定も可能である。
即ち、演算制御部37は、工具取付部10と加工用テーブル2の位置関係を表す位置情報と、光検出素子39が検出した測定用光とを同期させて、測定対象4の3次元形状等の長さに関する特性を算出する。
On the other hand, the high-speed continuous measurement mode is a mode in which the spindle head 6 and the table 2 are continuously moved and measurement is performed by the optical measuring device 18. Since the measurement related to the length of the measuring object 4 is performed while moving the spindle head 6 and the table 2 relatively continuously, high-speed measurement is possible. Further, since measurement is performed optically, high-precision measurement is possible.
In other words, the arithmetic control unit 37 synchronizes the position information indicating the positional relationship between the tool mounting unit 10 and the processing table 2 and the measurement light detected by the light detection element 39, and the three-dimensional shape of the measurement target 4 or the like. The characteristic regarding the length of is calculated.

この場合、演算制御部37は、加工機1の駆動機構33〜35に内蔵されたエンコーダを位置情報出力手段として使用し、前記位置情報出力手段からの位置情報を使用して測定データとの同期をとり、3次元形状等の特性の算出処理を行うようにしてもよい。
また、他の方法として、演算制御部37は、位置情報出力手段として加工機1に後から外付けされたエンコーダ(図示せず)を使用し、前記外付けエンコーダからの位置情報を使用して測定データと同期をとり、前記特性の算出処理を行うようにしてもよい。
In this case, the arithmetic control unit 37 uses an encoder built in the drive mechanisms 33 to 35 of the processing machine 1 as position information output means, and uses the position information from the position information output means to synchronize with measurement data. The calculation processing of characteristics such as a three-dimensional shape may be performed.
As another method, the arithmetic control unit 37 uses an encoder (not shown) externally attached to the processing machine 1 as position information output means, and uses position information from the external encoder. The characteristic calculation processing may be performed in synchronization with the measurement data.

また、演算制御部37は、加工用テーブル2及び工具取付部10の位置を移動制御するためにCNC制御部31から制御ユニット55に供給される指令値に代えて、加工用テーブル2及び工具取付部10についての所定の伝達関数と前記指令値の積を新たな位置情報として使用するようにしてもよい。このように、指令値を所定の伝達関数によって補正することにより、位置情報と測定データを高精度に同期させることが可能になる。   Further, the arithmetic control unit 37 replaces the command value supplied from the CNC control unit 31 to the control unit 55 in order to control the movement of the processing table 2 and the tool mounting unit 10, and the processing table 2 and the tool mounting unit. A product of a predetermined transfer function for the unit 10 and the command value may be used as new position information. Thus, by correcting the command value with a predetermined transfer function, it becomes possible to synchronize the position information and the measurement data with high accuracy.

また、演算制御部37は、加工用テーブル2及び工具取付部10の位置を移動制御するためにCNC制御部31から制御ユニット55に供給される指令値に代えて、前記指令値に所定の補正を施した値を新たな位置情報として使用するようにしてもよい。これによっても、位置情報と測定データを高精度に同期させることが可能になる。   Further, the arithmetic control unit 37 replaces the command value supplied from the CNC control unit 31 to the control unit 55 in order to control the movement of the machining table 2 and the tool mounting unit 10, and performs a predetermined correction on the command value. You may make it use the value which gave these as new positional information. This also makes it possible to synchronize position information and measurement data with high accuracy.

また、測定対象4の近傍等に、位置座標の基準となる基準指標を配設しておき、測定対象4の測定時にこれを同時に計測し、3次元形状等の特性を算出する際に、測定した前記基準指標を用いて、非同期による誤差を抑えるように補正するようにしてもよい。
図4は本発明の実施の形態に係る光学式測定システムにおける処理を示すフローチャートで、高精度測定モードにおける処理を示すフローチャートである。
In addition, a reference index serving as a reference for position coordinates is arranged in the vicinity of the measurement object 4 and the measurement is performed at the same time when measuring the measurement object 4 and calculating characteristics such as a three-dimensional shape. The reference index may be used for correction so as to suppress errors due to asynchrony.
FIG. 4 is a flowchart showing processing in the optical measurement system according to the embodiment of the present invention, and is a flowchart showing processing in the high-precision measurement mode.

以下、図1〜図4を用いて、本実施の形態における高精度測定モードの動作を説明する。
先ず、使用者が演算制御部37から、測定手順の設定や、測定範囲を指定するデータ、フィルタ特性の選定等の測定に必要な各種データの入力を行うと、前記設定内容や設定データは演算制御部37のコントローラ59内の記憶部に記憶される(ステップS401)。
演算制御部37は、NC制御装置9の制御ユニット55に対して、テーブル2及び主軸ヘッド6を所定の走査方向に所定量移動するように駆動機構33〜35を駆動させるための指令である駆動指令を行う(ステップS402)。制御ユニット55は、NC制御装置9からの前記駆動指令に応答して、駆動機構33〜35を駆動してテーブル2及び主軸ヘッド6を所定方向に所定距離駆動する。
Hereinafter, the operation in the high-precision measurement mode in the present embodiment will be described with reference to FIGS.
First, when the user inputs various data necessary for measurement such as setting of a measurement procedure, data for specifying a measurement range, selection of filter characteristics, and the like from the calculation control unit 37, the setting contents and setting data are calculated. The data is stored in the storage unit in the controller 59 of the control unit 37 (step S401).
The calculation control unit 37 is a command that is a command for driving the drive mechanisms 33 to 35 to move the table 2 and the spindle head 6 in a predetermined scanning direction by a predetermined amount to the control unit 55 of the NC control device 9. A command is issued (step S402). In response to the drive command from the NC control device 9, the control unit 55 drives the drive mechanisms 33 to 35 to drive the table 2 and the spindle head 6 in a predetermined direction for a predetermined distance.

次に演算制御部37は、制御ユニット55を介して、駆動機構33〜35に対して、走査方向への移動を停止させるための指令である制動指令を行う(ステップS403)。
次に演算制御部37は、加速度検出器41、46からの加速度信号を検出し(ステップS404)、前記加速度信号に含まれるノイズを除去し(ステップS405)、加速度データを1回積分して速度を算出すると共に加速度データを2回積分して変位量を算出する(ステップS406)。
Next, the arithmetic control unit 37 issues a braking command, which is a command for stopping the movement in the scanning direction, to the drive mechanisms 33 to 35 via the control unit 55 (step S403).
Next, the arithmetic control unit 37 detects acceleration signals from the acceleration detectors 41 and 46 (step S404), removes noise included in the acceleration signals (step S405), integrates the acceleration data once, and speeds up. And the acceleration data is integrated twice to calculate the displacement amount (step S406).

演算制御濡37は、処理ステップS406において算出した速度の直流(DC)成分が所定の基準値外の場合には、制動が未だ不十分(クリープ的移動)と判断して処理ステップS403に戻り、前記速度の直流成分が所定の基準値内の場合には、制動が十分と判断して、算出した変位量に基づいて停止しているか否かを判断する(ステップS408)。
演算制御部37は、前記変位量が所定の基準値外の場合には未だ停止していないと判断して処理ステップS404に戻って処理ステップS404〜S408を再度実行し、変位量が所定の基準値内の場合には停止していると判断して、光学式測定装置18に対して測定の指示を行う(ステップS409)。
If the direct current (DC) component of the speed calculated in the processing step S406 is outside the predetermined reference value, the calculation control wet 37 determines that braking is still insufficient (creep movement) and returns to the processing step S403. When the direct current component of the speed is within a predetermined reference value, it is determined that braking is sufficient, and it is determined whether or not the vehicle is stopped based on the calculated displacement amount (step S408).
If the displacement amount is outside the predetermined reference value, the arithmetic control unit 37 determines that the displacement has not been stopped yet, returns to processing step S404, and executes processing steps S404 to S408 again. If it is within the value, it is determined that the operation is stopped, and the optical measurement apparatus 18 is instructed to perform measurement (step S409).

測定装置18は、演算制御部37からの測定指令に応答して、測定対象4で反射した測定用光を光検出素子39によって検出して、ケーブル40を介して、測定データとして演算制御部37に出力する。
演算制御部37は、測定装置18からの測定データを、CNC制御装置31から専用I/F36を介して受信した指令値情報に対応付けて取り込んで記憶し(ステップS410)、目標とする計測エリアの測定が終了していなければ処理ステップS402へ戻って次の計測点に移動して前記計測処理を行い、目標とする計測エリアの測定が終了した場合には、前記計測処理を終了する(ステップS411)。
ここで得られた複数の測定データは、テーブル2及び主軸ヘッド4(換言すれば、部品取付部10)の位置情報と同期がとれていることになる。演算制御部37は、前記計測処理で計測した複数のデータを用いて、測定対象4の形状等の長さに関する特性を算出する。
In response to the measurement command from the calculation control unit 37, the measurement device 18 detects the measurement light reflected by the measurement object 4 by the light detection element 39 and passes the cable 40 as measurement data to the calculation control unit 37. Output to.
The arithmetic control unit 37 captures and stores the measurement data from the measurement device 18 in association with the command value information received from the CNC control device 31 via the dedicated I / F 36 (step S410), and sets the target measurement area. If the measurement is not completed, the process returns to process step S402 to move to the next measurement point and perform the measurement process. When the measurement of the target measurement area is completed, the measurement process is terminated (step S411).
The plurality of measurement data obtained here is synchronized with the position information of the table 2 and the spindle head 4 (in other words, the component mounting portion 10). The arithmetic control unit 37 calculates a characteristic related to the length of the shape or the like of the measurement target 4 using the plurality of data measured in the measurement process.

このように、演算制御部37は、加工機1の加工用テーブル2及び主軸ヘッド6を所定方向に移動させ、加速度検出器41、46からの加速度信号を2回積分した値が所定の基準値内のときに、テーブル2及び主軸ヘッド6が停止したと判断し、工具取付部10に装着した光学式測定装置18は測定対象4で反射した測定用光を検出する。演算制御部37は、NC制御装置9からテーブル2及び主軸ヘッド6の駆動用指令値を受けて同期をとりながら、テーブル2及び主軸ヘッド6を所定量ずつ移動させて測定対象4を走査して計測を行い、検出した複数の測定用光に基づいて測定対象4の形状等の長さに関する特性を算出する。即ち、演算制御部37は、加工機のテーブル2と工具取付部10の相対的移動が停止したと判断したとき、光検出素子39が検出した測定用光と前記停止判断時に受信した位置情報とを同期させて、測定対象4についての長さに関する特性を算出するようにしている。   As described above, the calculation control unit 37 moves the machining table 2 and the spindle head 6 of the machining machine 1 in a predetermined direction, and a value obtained by integrating the acceleration signals from the acceleration detectors 41 and 46 twice is a predetermined reference value. The optical measuring device 18 mounted on the tool mounting portion 10 detects the measurement light reflected by the measuring object 4 when it is determined that the table 2 and the spindle head 6 have stopped. The arithmetic control unit 37 scans the measuring object 4 by moving the table 2 and the spindle head 6 by a predetermined amount while receiving and synchronizing the command values for driving the table 2 and the spindle head 6 from the NC controller 9. Measurement is performed, and the characteristics relating to the length of the shape or the like of the measurement object 4 are calculated based on the detected plurality of measurement lights. That is, when the arithmetic control unit 37 determines that the relative movement of the table 2 of the processing machine and the tool mounting unit 10 has stopped, the measurement light detected by the light detection element 39 and the position information received at the time of the stop determination Are synchronized so that the characteristic regarding the length of the measuring object 4 is calculated.

したがって、本実施の形態に係る光学式測定システムによれば、加工機の工具取付部10に測定装置18を装着して測定対象4についての長さに関する特性を測定する際に、加工用テーブル2及び主軸ヘッド6の位置と測定データが同期し、測定対象4の長さに関する特性が高精度に行われる。
尚、高精度測定モードにおいて、加工用テーブル2及び工具取付部10の停止を判断する他の方法としては、前述したとおり、CNC制御部31からの停止信号に基づく判断方法等が適用可能である。
Therefore, according to the optical measurement system according to the present embodiment, when the measuring device 18 is attached to the tool mounting portion 10 of the processing machine and the characteristics relating to the length of the measuring object 4 are measured, the processing table 2 In addition, the position of the spindle head 6 and the measurement data are synchronized, and the characteristics relating to the length of the measurement object 4 are performed with high accuracy.
In addition, as described above, in the high-accuracy measurement mode, a determination method based on a stop signal from the CNC control unit 31 can be applied as another method for determining the stop of the machining table 2 and the tool mounting unit 10. .

また、前記各実施の形態では、光源38及び光検出素子39を各1個用いて、三角測距方式によって、測定対象の形状や所定位置から測定対象の測定対象位置までの距離を測定するように構成したが、相互の位置関係は所定関係にあると共に光源とは無関係な位置に配設された2個の光検出素子を用いて測定するように構成することも可能である。   In each of the above embodiments, the light source 38 and the light detection element 39 are used to measure the shape of the measurement target and the distance from the predetermined position to the measurement target position by the triangulation method. However, it is also possible to perform measurement using two light detection elements disposed at positions that are not related to the light source and have a predetermined mutual relationship.

NCフライス盤、マシニングセンタ、NC旋盤、NC放電加工機等の各種自動制御型加工機とともに使用する光学式測定装置に適用できる。また、前記自動制御型加工機と光学式測定装置を用いた光学式測定方法に好適である。   It can be applied to an optical measuring device used with various automatic control processing machines such as NC milling machines, machining centers, NC lathes, NC electric discharge machines. Further, it is suitable for an optical measurement method using the automatic control type processing machine and an optical measurement device.

本発明の実施の形態に係る光学式測定システムの概要を示す正面図である。It is a front view which shows the outline | summary of the optical measuring system which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る光学式測定システムの概要を示す側面図である。1 is a side view showing an outline of an optical measurement system according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態に係る光学式測定システムの部分詳細図である。1 is a partial detail view of an optical measurement system according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態に係る光学式測定システムの処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process of the optical measuring system which concerns on embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1・・・自動制御型加工機としてのNC加工機
2・・・測定用テーブル
3・・・固定具
4・・・測定対象
5・・・加工用具
6・・・主軸ヘッド
7・・・ATC
8・・・工具マガジン
9・・・NC制御装置
10・・・工具取付部
11・・・ホルダ部
14・・・ベッドフレーム
15・・・光軸
17・・・アーム
18・・・光学式測定手段を構成する光学式測定装置
20・・・工具主軸
31・・・位置情報出力手段、停止検出手段を構成するCNC制御部
33〜35・・・駆動機構
37・・・算出手段、停止判断手段、光学式測定手段を構成する演算制御部
38・・・光源
39・・・光検出手段を構成する光検出素子
40・・・電気ケーブル
43・・・系合部としての溝部
45・・・収容部
41、46・・・加速度検出手段を構成する加速度検出器
51〜55・・・制御ユニット
56・・・表示部
57・・・データ処理部
58・・・計測コントローラ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... NC processing machine as automatic control type processing machine 2 ... Measuring table 3 ... Fixing tool 4 ... Measuring object 5 ... Processing tool 6 ... Spindle head 7 ... ATC
8 ... Tool magazine 9 ... NC controller 10 ... Tool mounting part 11 ... Holder part 14 ... Bed frame 15 ... Optical axis 17 ... Arm 18 ... Optical measurement Optical measuring device 20 constituting means ... tool spindle 31 ... position information output means, CNC control units 33 to 35 constituting stop detecting means ... drive mechanism 37 ... calculating means, stop judging means , Arithmetic control unit 38 constituting the optical measuring means ... light source 39 ... light detecting element 40 constituting the light detecting means ... electric cable 43 ... groove 45 as the coupling part ... accommodating Units 41 and 46 Acceleration detectors 51 to 55 constituting acceleration detection means Control unit 56 Display unit 57 Data processing unit 58 Measurement controller

Claims (10)

加工機の工具取付部に対して着脱が可能な形状を有するホルダ部と、前記ホルダ部と一体的に設けられ、測定用光を出力する光源及び前記加工機の加工用テーブルに取り付けられた測定対象で反射した前記測定用光の検出を行う光検出手段と、前記光検出手段によって検出した測定用光に基づいて前記測定対象についての長さに関する特性を算出する算出手段とを有する光学式測定手段と、
前記加工用テーブル及び工具取付部の位置に関する位置情報を出力する位置情報出力手段と、
前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動の停止を判断する停止判断手段とを備え、
前記算出手段は、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止したと前記停止判断手段が判断したとき、前記光検出手段が検出した測定用光と前記停止判断時に受信した前記位置情報とを同期させて、前記測定対象についての長さに関する特性を算出することを特徴とする光学式測定システム。
A holder part having a shape that can be attached to and detached from the tool attachment part of the processing machine, a light source that is provided integrally with the holder part and that outputs measurement light, and a measurement attached to the processing table of the processing machine Optical measurement having light detection means for detecting the measurement light reflected by the object, and calculation means for calculating characteristics relating to the length of the measurement object based on the measurement light detected by the light detection means Means,
Position information output means for outputting position information regarding the positions of the processing table and the tool mounting portion;
Stop determination means for determining stop of relative movement of the processing table and the tool mounting portion,
When the stop determination unit determines that the relative movement between the processing table and the tool mounting portion has stopped, the calculation unit detects the measurement light detected by the light detection unit and the position information received at the time of the stop determination. And a characteristic relating to the length of the measurement object is calculated.
前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動の停止を検出して停止信号を出力する停止検出手段を備え、
前記停止判断手段は、前記停止信号を受信したとき前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止したと判断することを特徴とする請求項1記載の光学式測定システム。
A stop detecting means for detecting a stop of relative movement between the processing table and the tool mounting portion and outputting a stop signal;
The optical measurement system according to claim 1, wherein when the stop signal is received, the stop determination unit determines that the relative movement of the processing table and the tool mounting portion has stopped.
前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動の変位を検出する変位検出手段を備え、
前記停止判断手段は、前記変位検出手段が検出した所定時間あたりの変位が所定の基準値内のときに、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止していると判断することを特徴とする請求項1記載の光学式測定システム。
Displacement detecting means for detecting the displacement of the relative movement between the processing table and the tool mounting portion,
The stop determination means determines that the relative movement of the machining table and the tool mounting portion is stopped when the displacement per predetermined time detected by the displacement detection means is within a predetermined reference value. The optical measurement system according to claim 1.
前記加工用テーブルと工具取付部の相対的速度を検出して対応する速度情報を出力する速度検出手段を備え、
前記停止判断手段は、前記速度検出手段からの速度情報を積分した値が所定の基準値内のときに、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止していると判断することを特徴とする請求項1記載の光学式測定システム。
A speed detecting means for detecting a relative speed between the processing table and the tool mounting portion and outputting corresponding speed information;
The stop determination means determines that the relative movement of the machining table and the tool mounting portion is stopped when a value obtained by integrating the speed information from the speed detection means is within a predetermined reference value. The optical measurement system according to claim 1.
前記加工用テーブルと工具取付部の相対的加速度を検出して対応する加速度情報を出力する加速度検出手段を備え、
前記停止判断手段は、前記加速度検出手段からの加速度情報を2回積分した値が所定の基準値内のときに、前記加工用テーブルと工具取付部の相対的移動が停止していると判断することを特徴とする請求項1記載の光学式測定システム。
Acceleration detecting means for detecting relative acceleration between the processing table and the tool mounting portion and outputting corresponding acceleration information,
The stop determination means determines that the relative movement of the machining table and the tool mounting portion is stopped when a value obtained by integrating twice the acceleration information from the acceleration detection means is within a predetermined reference value. The optical measurement system according to claim 1.
加工機の工具取付部に対して着脱が可能な形状を有するホルダ部と、前記ホルダ部と一体的に設けられ、測定用光を出力する光源及び前記加工機の加工用テーブルに取り付けられた測定対象で反射した前記測定用光の検出を行う光検出手段と、前記光検出手段によって検出した測定用光に基づいて前記測定対象についての長さに関する特性を算出する算出手段とを有する光学式測定手段と、
前記工具取付部と加工用テーブルの位置を表す位置情報を出力する位置情報出力手段とを備え、
前記算出手段は、前記光検出手段が検出した測定用光と、前記位置情報出力手段からの位置情報を同期させて、前記測定対象についての長さに関する特性を算出することを特徴とする光学式測定システム。
A holder part having a shape that can be attached to and detached from the tool attachment part of the processing machine, a light source that is provided integrally with the holder part and that outputs measurement light, and a measurement attached to the processing table of the processing machine Optical measurement having light detection means for detecting the measurement light reflected by the object, and calculation means for calculating characteristics relating to the length of the measurement object based on the measurement light detected by the light detection means Means,
Position information output means for outputting position information representing the position of the tool mounting portion and the processing table,
The calculating means synchronizes the measurement light detected by the light detecting means and the position information from the position information output means, and calculates a characteristic relating to the length of the measurement object. Measuring system.
前記位置情報出力手段は前記加工機に内蔵されたエンコーダであり、前記位置情報は前記内蔵エンコーダからの位置情報であることを特徴とする請求項6記載の光学式測定システム。   The optical measurement system according to claim 6, wherein the position information output unit is an encoder built in the processing machine, and the position information is position information from the built-in encoder. 前記位置情報出力手段は前記加工機に外付けされたエンコーダであり、前記位置情報は前記外付けエンコーダからの位置情報であることを特徴とする請求項6記載の光学式測定システム。   The optical measurement system according to claim 6, wherein the position information output means is an encoder externally attached to the processing machine, and the position information is position information from the external encoder. 前記位置情報は、前記加工用テーブル及び工具取付部の位置を移動制御するための指令値であり、
前記算出手段は、前記指令値に代えて、前記加工用テーブル及び前記工具取付部についての所定の伝達関数と前記指令値の積を新たな位置情報として使用することを特徴とする請求項6記載の光学式測定システム。
The position information is a command value for controlling movement of the position of the processing table and the tool mounting portion,
The said calculating means uses the product of the predetermined transfer function about the said process table and the said tool attachment part, and the said command value as new position information instead of the said command value. Optical measurement system.
前記位置情報は、前記加工用テーブル及び工具取付部の位置を移動制御するための指令値であり、
前記算出手段は、前記指令値に代えて、前記指令値に所定の補正を施した値を新たな位置情報として使用することを特徴とする請求項6記載の光学式測定システム。
The position information is a command value for controlling movement of the position of the processing table and the tool mounting portion,
The optical measurement system according to claim 6, wherein the calculation unit uses a value obtained by performing a predetermined correction on the command value as new position information instead of the command value.
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