JP2007201936A - 圧電振動片と圧電デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】小型化しても極端にＣＩ値を増大させることなく、スプリアスを抑制して温度特性の悪化を防止することができる圧電振動片と、これを利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料で形成した基部５１と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕３４，３５とを備える音叉型圧電振動片であって、前記一対の振動腕の屈曲振動により、前記基部の前記各振動腕の基端付近の領域にて、該振動腕の幅中心を通る仮想の中心線上Ｃ１，Ｃ１に生じる変位渦に基づいて、ほぼ円形の該変位渦の外周に対する接線に沿って、溝またはスリット１１，１１を設けた。
【選択図】 図６

Description

本発明は、パッケージまたはケースに収容するための音叉型の圧電振動片と、この圧電振動片をパッケージやケースに収容した圧電デバイスの改良に関する。

ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）、モバイルコンピュータ、あるいはＩＣカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器やジャイロセンサなどの計測機器において、パッケージなどの内部に圧電振動片を収容した圧電振動子や圧電発振器等の圧電デバイスが広く使用されている。
このような圧電デバイスに使用される圧電振動片は、例えば、特許文献１などに記載されている（特許文献１参照）。

この文献の圧電振動片は、例えば水晶の単結晶から形成されており、幅広の基部と、この基部から同じ方向に平行に延びる２本の振動腕とを備える音叉型の振動片である。
また、この文献に記載された圧電振動片では、各振動腕には、それぞれ、表裏面に長さ方向に延びる長溝が形成されており、該長溝内には、駆動電極としての励振電極が形成されている。

これにより、外部から上記励振電極に駆動電圧が印加されることで、振動腕内に効率よく電界が発生し、各振動腕は、その先端部を互いに接近・離間されるように屈曲振動するようになっている。そして、このような振動に基づく振動周波数を取り出すことにより、制御用のクロック信号等の基準信号に利用されるようになっている。
特開２００２―７６８０６

ところが、最近、圧電デバイスは、該圧電デバイスが搭載される製品の小型化に適合するように、極力小型化することが求められており、このため、圧電デバイスに搭載する音叉型振動片も、その全長が２ｍｍ以下程度と、大幅な小型化が進んでいる。
そして、小型化された音叉型圧電振動片では、振動腕の屈曲振動における振動漏れが基部に伝えられ、ＣＩ値が増大したり、スプリアスの増大に伴う温度特性の悪化が生じていた。

この発明は、小型化しても極端にＣＩ値を増大させることなく、スプリアスを抑制して温度特性の悪化を防止することができる圧電振動片と、これを利用した圧電デバイスを提供することを目的とする。

上記目的は、第１の発明にあっては、圧電材料で形成した基部と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕とを備える音叉型圧電振動片であって、前記一対の振動腕の屈曲振動により、前記基部の前記各振動腕の基端付近の領域にて、該振動腕の幅中心を通る仮想の中心線上に生じる変位渦に基づいて、ほぼ円形の該変位渦の外周に対する接線に沿って、溝またはスリットを設けた圧電振動片により、達成される。

第１の発明の構成によれば、前記一対の振動腕は、その先端部を接近・離間するように屈曲振動する。したがって、この場合各振動腕の変位量が一番大きく、これら振動腕の基端部である基部に向かうに従って変位量は小さくなり、該基部の前記各振動腕の基端付近の領域であって、該振動腕の幅中心を通る仮想の中心線上には、前記屈曲振動の変位の中心ともいうべき、変位渦がＦＥＭ解析（各振動腕が屈曲振動している際の振動変位のシミュレーションによるベクトル図）により観察される。
そこで、ほぼ円形の該変位渦の外周に対する接線に沿って、溝またはスリットでなる言わば脆弱部を設けることにより、変位渦に基づく変形もしくは変位をし易くする。これにより、振動腕からの振動漏れが前記基部の溝またはスリット位置で解消され、パッケージなどへの接合箇所へ伝わるのを妨げて、ＣＩ値の上昇や、スプリアスが生じにくくし、温度特性の悪化を防止することができるものである。
なお、本発明において、上記作用を発揮するための構成としての「溝またはスリット」は、「脆弱部」を理解しやすくするための表現であって、本発明のねらいとする領域に剛性の低い構造を実現するためのものである限り、一般的には「溝またはスリット」とは呼べないような「脆弱部」を形成する場合も本発明に含まれる。

第２の発明は、第１の発明の構成において、前記変位渦の外周に対する接線に沿う前記溝またはスリットに替え、もしくは該溝またはスリットに加えて、前記変位渦の外周と同心の円に対する接線に沿って、溝またはスリットを設けたことを特徴とする。
上記構成によれば、前記変位渦と同心の円に沿った溝やスリットを設けることによっても、その変位に対応した応力に沿った脆弱部が形成でき、該脆弱部に沿って変位がし易くなるので、第１の発明の作用に準じた作用を発揮できる。

第３の発明は、第１の発明の構成において、前記変位渦の外周に対する接線に沿う前記溝またはスリットに替え、もしくは該溝またはスリットに加えて、前記変位渦の外周に対応した円を前記仮想の中心線の延びる方向に沿って移動させた円に対する接線、もしくは、該移動させた円と同心の円に対する接線に沿って、溝またはスリットを設けたことを特徴とする。
第３の発明の構成によれば、前記変位渦の外周に対応した円を前記仮想の中心線の延びる方向に沿って移動させた円を想定し、その接線に沿ったものや、その同心円に対する接線に沿った溝またはスリットを形成することでも、第１または２の発明の作用に準じた作用が発揮できる。

第４の発明は、第１ないし３のいずれかの発明の構成において、前記溝またはスリットが、前記各振動腕の延びる方向に対して斜めに交差する方向と平行に設けられることを特徴とする。
第４の発明の構成によれば、前記変位渦がほぼ円形であるから、前記脆弱部である溝またはスリットが、前記各振動腕の延びる方向に対して斜めに交差する方向と平行に設けられることによっても、この変位渦の形成方向と沿うことになるので、第１または２の発明の作用に準じた作用が発揮できる。

第５の発明は、第１ないし３のいずれかの発明の構成において、前記溝またはスリットが、前記各振動腕の延びる方向に対して直交する方向と平行に設けられることを特徴とする。
第５の発明の構成によれば、前記変位渦がほぼ円形であるから、前記脆弱部である溝またはスリットが、前記各振動腕の延びる方向に対して直交する方向と平行に設けられることによっても、この変位渦の形成方向と沿うことになるので、第１または２の発明の作用に準じた作用が発揮できる。

第６の発明は、第１ないし３のいずれかの発明の構成において、前記溝またはスリットが、前記各振動腕の延びる方向と平行に設けられることを特徴とする。
第６の発明の構成によれば、前記変位渦がほぼ円形であるから、前記脆弱部である溝またはスリットが、前記各振動腕の延びる方向と平行に設けられることによっても、この変位渦の形成方向と沿うことになるので、第１または２の発明の作用に準じた作用が発揮できる。

第７の発明は、第１ないし３のいずれかの発明の構成において、前記溝またはスリットが、前記接線方向に沿って、かつ前記変位渦の外周もしくは該変位渦と同心の円に沿って曲線的に設けられることを特徴とする。
第７の発明の構成によれば、前記変位渦がほぼ円形であるから、前記脆弱部である溝またはスリットが、前記接線方向に沿って、かつ前記変位渦の外周もしくは該変位渦と同心の円に沿って曲線的に設けられることによっても、この変位渦の形成方向と沿うことになるので、第１または２の発明の作用に準じた作用が発揮できる。

第８の発明は、第１ないし７のいずれかの発明の構成において、前記各振動腕には、長さ方向に延びる長溝と、該長溝に形成された駆動用電極とを備えることを特徴とする。
第８の発明の構成によれば、前記振動腕に駆動電圧を印加して駆動するに際し、電解効率を向上させることができる。

上記目的は、第９の発明にあっては、収容容器内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、前記圧電振動片が、圧電材料で形成した基部と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕とを備え、かつ前記一対の振動腕の屈曲振動により、前記基部の前記各振動腕の基端付近の領域に生じる変位渦に基づいて、ほぼ円形の該変位渦の外周に対する接線に沿って、溝またはスリットが設けられていることを特徴とする。

図１及び図２は、本発明の圧電デバイスの実施の形態を示しており、図１はその概略平面図、図２は図１のＡ−Ａ線概略断面図である。
図において、圧電デバイス３０は、水晶振動子を構成した例を示しており、この圧電デバイス３０は、収容容器としてのパッケージ３６内に圧電振動片３２を収容している。パッケージ３６は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板を積層した後、焼結して形成されている。複数の各基板は、その内側に所定の孔を形成することで、積層した場合に内側に所定の内部空間Ｓ２を形成するようにされている。この内部空間Ｓ２が圧電振動片３２を収容するための収容空間である。

このパッケージ３６の内部に圧電振動片３２をマウントし、蓋体３９で気密に封止するようにされている。ここで、蓋体３９は、セラミック、金属、ガラスなどの材質を選択して形成されている。
蓋体３９が、例えば、金属の場合には、一般に他の材料よりも強度が高いという利点がある。蓋体３９の材料としては、パッケージ３６と熱膨張率が近似したものが適しており、例えば、コバールなどを使用することができる。
また、蓋封止後の周波数調整を可能にするために、蓋体３９は、例えばガラスなどの光透過材料で形成される。例えば、硼珪酸ガラスなどの板体を使用することができる。

パッケージ３６の内部空間Ｓ２内の図において左端部付近において、内部空間Ｓ２に露出して内側底部を構成する積層基板には、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキで形成した電極部３１，３１が設けられている。この電極部３１，３１は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものである。この各電極部３１，３１の上に導電性接着剤４３，４３が塗布され、この導電性接着剤４３，４３の上に圧電振動片３２の基部５１が載置されて、導電性接着剤４３，４３が硬化されるようになっている。尚、導電性接着剤４３，４３としては、接合力を発揮する接着剤成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたものが使用でき、シリコーン系、エポキシ系またはポリイミド系導電性接着剤等を利用することができる。

圧電振動片３２は、圧電材料として、例えば水晶をエッチングして形成されており、本実施形態の場合、圧電振動片３２は、小型に形成して、必要な性能を得るために、特に図３の概略平面図および図４で示す図３のＢ−Ｂ線切断端面図で示す構造とされている。
すなわち、圧電振動片３２は、パッケージ３６側と固定される基部５１と、この基部５１を基端として、図において上方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕３４，３５を備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
この圧電振動片３２は、全体として、きわめて小型に形成されていて、図３において、例えば、全長が、１３００μｍ程度、振動腕の長さが１０４０μｍ程度、腕幅が４０μｍないし５５μｍ程度とされたきわめて小型の圧電振動片である。

圧電振動片３２の各振動腕３４，３５には、図３および図４を参照して理解されるように、それぞれ長さ方向に延びる長い有底の長溝５６，５７が形成されている。この各長溝５６，５７は、図３のＢ−Ｂ線切断端面図である図４に示されているように、各振動腕３４，３５の表裏両面に形成されている。
さらに、図３において、圧電振動片３２の基部５１の端部（図３では下端部）の幅方向両端付近には、引き出し電極５２，５３が形成されている。各引き出し電極５２，５３は、圧電振動片３２の基部５１の図示しない裏面にも同様に形成されている。

これらの各引き出し電極５２，５３は、上述したように図１に示されているパッケージ側の電極部３１，３１と導電性接着剤４３，４３により接続される部分である。そして、各引き出し電極５２，５３は、図３および図４に示されているように、各振動腕３４，３５の長溝５６，５７内に設けた励振電極５４，５５とそれぞれ一体に接続されている。また、各励振電極５４，５５は、図４に示されているように各振動腕３４，３５の両側面にも形成されており、例えば、振動腕３４に関しては、長溝５６内の励振電極５４と、その側面部の励振電極５５とは互いに異極となるようにされている。また、振動腕３５に関しては、長溝５７内の励振電極５５と、その側面部の励振電極５４とは互いに異極となるようにされている。

また、圧電振動片３２の基部５１には、図１および図３に示されているように、脆弱部としての一対のスリット１１，１１が形成されている。このスリット１１，１１は、基部５１の各振動腕３４，３５の基端付近の領域であって、これら振動腕の幅中心を通る仮想の中心線上に形成される後述する変位渦に基づく変形もしくは変位をし易くするものである。この構成については以下に詳しく説明する。

図５は一般的な音叉型振動片において、各振動腕がその先端部を互いに接近させたり、離間させたりして屈曲振動している状態において、その振動変位をＦＥＭ解析したシミュレーションによるベクトル図である。
図において、Ｃ１，Ｃ１は各振動腕の幅寸法の中点を通る仮想の中心線である。基部の前記各振動腕の基端付近の領域で、しかも、上記仮想の中心線Ｃ１，Ｃ１上には、屈曲振動の変位の中心ともいうべき、一対の変位渦ＳＥ，ＳＥが観察される。各変位渦ＳＥ，ＳＥは、基部の幅中心に対して対称の位置に存在している。

本発明は、この変位渦ＳＥ，ＳＥに基づいて、基部に脆弱部として、例えば溝（有底のもの）及び／またはスリット（基部の材料を貫通したもの）を形成することを内容とするものである。
これにより、基部において、変位渦に基づく変形もしくは変位をし易くし、これにより、振動腕からの振動漏れが前記基部の溝またはスリット位置で解消され、パッケージなどへの接合箇所へ伝わるのを妨げて、ＣＩ値の上昇や、スプリアスが生じにくくし、温度特性の悪化を防止することができるものである。

図６ないし図１０は、その具体的態様を示しているが、長溝や電極などの説明に不要な箇所は煩雑になるため、その図示を省略している。
図６は圧電振動片の第１の実施形態であり、図３と同じ構造であって、既に説明した箇所には同一の符号を付して重複する説明は省略し、特徴部分を中心に説明する。
図５で説明したように、振動腕３４，３５の幅寸法の仮想の中心線Ｃ１，Ｃ１上には、振動腕３４，３５の屈曲振動の変位の中心ともいうべき、一対の変位渦があり、図６では、その外周がほぼ円形であることから、これに対応した変位渦の円１０，１０が示されている。

変位渦の円１０，１０に対する接線Ｌ，Ｌを想定し、該接線Ｌ，Ｌに沿って、振動腕３４，３５の延びる方向と斜めに交差する方向に沿って、基部５１にスリット１１，１１が形成されている。すなわち、スリット１１，１１は材料を貫通した長い貫通溝であるが、有底の溝であってもよい。貫通したスリットは、基部のこれを形成した箇所の剛性を大きく低下させることができる。また、有底の溝である場合には、貫通しないスリットの場合よりもやや剛性が高い。
かくして、このような、スリット１１，１１を設けることで、基部５１の変位渦に基づく変形もしくは変位をし易くすることができる。これにより、振動腕３４，３５からの振動漏れが基部５１のスリット１１，１１の位置で解消され、パッケージ３６などへの接合箇所へ伝わるのを妨げて、ＣＩ値の上昇や、スプリアスが生じにくくし、温度特性の悪化を防止することができる。

図７は圧電振動片の第２の実施形態であり、他の実施形態とほぼ同じ構造であって、既に説明した箇所には同一の符号を付して重複する説明は省略し、特徴部分を中心に説明する。
図７に示すように、振動腕３４，３５の幅寸法の仮想の中心線Ｃ１，Ｃ１上であって、基部５１の振動腕３４，３５の付け根付近には、屈曲振動の変位の中心ともいうべき、一対の変位渦に対応した変位渦の円１０，１０が示されている。
図７では、さらに、変位渦の円１０，１０の外側に、これより径の大きな同心の円１０−１，１０−１を想定したものである。

さらに、第２の実施形態では、この円１０−１，１０−１に対する接線Ｌ１，Ｌ１を想定し、該接線Ｌ１，Ｌ１に沿って、基部５１に、振動腕３４，３５の延びる方向と斜めに交差する方向および直交する方向で囲まれるほぼ直角三角形のスリット１２，１２が設けられている。
第２の実施形態は以上のように構成されており、このような構成によっても第１の実施形態とほぼ同様な作用効果を発揮することができる。

図８は圧電振動片の第３の実施形態であり、基部５１は幅方向の外側に張り出し、かつ各振動腕３４，３５と同じ方向に沿って平行に延びる一対の枠部５３，５３を有する点を除き、他の実施形態とほぼ同じ構造であって、既に説明した箇所には同一の符号を付して重複する説明は省略し、特徴部分を中心に説明する。
図８に示すように、振動腕３４，３５の幅寸法の仮想の中心線Ｃ１，Ｃ１上であって、基部５１の振動腕３４，３５の付け根付近には、屈曲振動の変位の中心ともいうべき、一対の変位渦に対応した変位渦の円１０，１０が示されている。
図８では、さらに、変位渦の円１０，１０を振動腕とは反対の方向に平行に移動した位置に、該変位渦の円１０，１０より大きな径の円１０−２，１０−２を想定している。

さらに、第３の実施形態では、変位渦の円１０，１０に対する接線Ｌ，Ｌを想定し、該接線Ｌ，Ｌに沿って、振動腕３４，３５の延びる方向と直交する方向に沿って、基部５１にスリット１３，１３が形成されている。
また、円１０−２，１０−２に対する接線Ｌ２，Ｌ２を想定し、該接線Ｌ２，Ｌ２に沿って、振動腕３４，３５の延びる方向と直交する方向に沿って、基部５１にスリット１４，１４が形成されている。
第３の実施形態は以上のように構成されており、このような構成によっても第１の実施形態とほぼ同様な作用効果を発揮することができ、スリットの数が多いことから、その作用効果をさらに高めることができる。

図９は圧電振動片の第４の実施形態であり、第１の実施形態とほぼ同じ構造であって、既に説明した箇所には同一の符号を付して重複する説明は省略し、特徴部分を中心に説明する。
図６では、振動腕３４，３５の幅寸法の仮想の中心線Ｃ１，Ｃ１上であって、基部５１の振動腕３４，３５の付け根付近には、屈曲振動の変位の中心ともいうべき、一対の変位渦に対応した変位渦の円１０，１０が想定されることを説明した。
図９では、図６の変位渦の円１０，１０を、振動腕の先端方向とは反対の方向に平行に移動し、基部５１の端部の位置に、該変位渦の円１０，１０と同じ径の円１０−３，１０−３を想定している。

さらに、第４の実施形態では、円１０−３，１０−３の間の位置で各円１０−３，１０−３に対する接線Ｌ３，Ｌ３を想定し、該接線Ｌ３，Ｌ３に沿って、振動腕３４，３５の延びる方向と同じ方向に沿って、基部５１にひとつのスリット１５が形成されている。
第４の実施形態は以上のように構成されており、このような構成によっても第１の実施形態とほぼ同様な作用効果を発揮することができる。

図１０は圧電振動片の第５の実施形態であり、基部５１は幅方向の外側に大きく張り出すように構成されている。この点を除き、他の実施形態とほぼ同じ構造であって、既に説明した箇所には同一の符号を付して重複する説明は省略し、特徴部分を中心に説明する。
図１０に示すように、振動腕３４，３５の幅寸法の仮想の中心線Ｃ１，Ｃ１上であって、基部５１の振動腕３４，３５の付け根付近には、屈曲振動の変位の中心ともいうべき、一対の変位渦に対応した変位渦の円１０，１０が示されている。
この実施形態ではさらに、変位渦の円１０，１０の外側に、これより径の大きな同心の円１０−４，１０−４を想定したものである。

ここで、第５の実施形態では、変位渦の円１０，１０の外側の位置で該円１０，１０に対する接線Ｌ，Ｌを想定し、該接線Ｌ，Ｌに沿って、振動腕３４，３５の延びる方向と平行な方向に沿って、基部５１にスリット１６，１６が形成されている。
さらに、上記した円１０−４，１０−４の外側の位置で該円１０−４，１０−４に対する接線Ｌ４、Ｌ４を想定し、該接線Ｌ４，Ｌ４に沿って、振動腕３４，３５の延びる方向と平行な方向に沿って、基部５１にスリット１７，１７が形成されている。
第５の実施形態は以上のように構成されており、このような構成によっても第１の実施形態とほぼ同様な作用効果を発揮することができ、スリットの数が多いことから、その作用効果をさらに高めることができる。

本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
また、この発明は、パッケージ内に圧電振動片を収容するものであれば、水晶振動子、水晶発振器、ジャイロ、角度センサ、加速度センサ等の名称にかかわらず、全ての圧電振動片とこれを利用した圧電デバイスに適用することができる。
また、上述の実施形態では、パッケージにセラミックを使用した箱状のものを利用しているが、このような形態に限らず、金属製のシリンダー状のケース等のパッケージと同等の収容容器に圧電振動片を収容するものであれば、いかなるパッケージやケースを伴うものについても本発明を適用することができる。

本発明の実施形態に係る圧電デバイスの概略平面図。 図１の圧電デバイスのＡ−Ａ線における概略断面図。 図１の圧電デバイスに使用される第１の実施形態に係る圧電振動片の概略平面図。 図３の圧電振動片のＢ−Ｂ線切断端面図。 本発明に含まれない圧電振動片の参考例において、振動腕が屈曲振動している際の基部付近の振動変位のシミュレーションによるベクトル図。 第１の実施形態の圧電振動片の概略平面図。 第２の実施形態の圧電振動片の概略平面図。 第３の実施形態の圧電振動片の概略平面図。 第４の実施形態の圧電振動片の概略平面図。 第５の実施形態の圧電振動片の概略平面図。

符号の説明

３０・・・圧電デバイス、３６・・・パッケージ、３２・・・圧電振動片、３４，３５・・・振動腕、５１・・・基部、５４，５５・・・励振電極、５６，５７・・・長溝、１０・・・変位渦の円、１１・・・スリットもしくは溝

Claims (9)

1. 圧電材料で形成した基部と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕とを備える音叉型圧電振動片であって、
   前記一対の振動腕の屈曲振動により、前記基部の前記各振動腕の基端付近の領域にて、該振動腕の幅中心を通る仮想の中心線上に生じる変位渦に基づいて、ほぼ円形の該変位渦の外周に対する接線に沿って、溝またはスリットを設けた
   ことを特徴とする圧電振動片。
2. 前記変位渦の外周に対する接線に沿う前記溝またはスリットに替え、もしくは該溝またはスリットに加えて、前記変位渦の外周と同心の円に対する接線に沿って、溝またはスリットを設けたことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
3. 前記変位渦の外周に対する接線に沿う前記溝またはスリットに替え、もしくは該溝またはスリットに加えて、前記変位渦の外周に対応した円を前記仮想の中心線の延びる方向に沿って移動させた円に対する接線、もしくは、該移動させた円と同心の円に対する接線に沿って、溝またはスリットを設けたことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
4. 前記溝またはスリットが、前記各振動腕の延びる方向に対して斜めに交差する方向と平行に設けられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
5. 前記溝またはスリットが、前記各振動腕の延びる方向に対して直交する方向と平行に設けられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
6. 前記溝またはスリットが、前記各振動腕の延びる方向と平行に設けられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
7. 前記溝またはスリットが、前記接線方向に沿って、かつ前記変位渦の外周もしくは該変位渦と同心の円に沿って曲線的に設けられることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電振動片。
8. 前記各振動腕には、長さ方向に延びる長溝と、該長溝に形成された駆動用電極とを備えることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の圧電振動片。
9. 収容容器内に圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
   前記圧電振動片が、
   圧電材料で形成した基部と、
   この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕とを備え、
   かつ前記一対の振動腕の屈曲振動により、前記基部の前記各振動腕の基端付近の領域に生じる変位渦に基づいて、ほぼ円形の該変位渦の外周に対する接線に沿って、溝またはスリットが設けられている
   ことを特徴とする圧電デバイス。

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