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JP2007201209A - 光モジュール - Google Patents

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JP2007201209A
JP2007201209A JP2006018392A JP2006018392A JP2007201209A JP 2007201209 A JP2007201209 A JP 2007201209A JP 2006018392 A JP2006018392 A JP 2006018392A JP 2006018392 A JP2006018392 A JP 2006018392A JP 2007201209 A JP2007201209 A JP 2007201209A
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light
optical module
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light receiving
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JP2006018392A
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Daisuke Shimura
大輔 志村
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Oki Electric Industry Co Ltd
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Abstract

【課題】 光通信,特に双方向通信システムで好適に用いることができる光モジュールを提供する。
【解決手段】 本発明にかかる光モジュール100は,基板110と,基板110上に載置され,光を発光する発光素子120と,波長に応じて光を透過または反射する波長分波器140と,光を受光する受光素子130と,発光素子120と波長分波器140との間に配置され,発光素子120から発光された光を平行光に変換する第1のレンズ素子150aと,波長分波器140と受光素子130との間に配置され,波長分波器140を介して出光された光を集光する第2のレンズ素子150bとを備える。基板110には凹部160が形成され,凹部160内に受光素子130が配置される。
【選択図】 図1

Description

本発明は,光モジュールに関し,より詳細には,双方向通信システムで好適に用いられる光モジュールに関する。
ブロードバンドの発展に伴い,一般家庭まで光ファイバが導入され,高速通信を実現するファイバトゥザホーム(FTTH)などの一芯双方向通信方式が実現されつつある。一芯双方向通信方式では,低コスト化を実現するため,1本のファイバで波長の異なる2種の光信号を双方向に伝搬させて通信を行う方式を採用している。このとき,加入者側に設置する双方向通信システムは,設置場所を自由に選択できる程度に小型化されることが要求される。
光通信分野において,1本のファイバにより双方向通信可能なモジュールとして,例えば特許文献1に記載された光半導体素子モジュールがある。かかる光半導体素子モジュールは,送信部である半導体レーザモジュールと受信部であるフォトダイオードがそれぞれ別のパッケージに収容されている。そして,これらのパッケージと,受信光および送信光を分別するためのバンドパスフィルタ等の光学部品をひとつにまとめて双方向通信モジュールを形成している。
しかし,上記構成の双方向通信モジュールでは,送信部と受信部とが別パッケージになっていることから,双方向通信モジュールを小型化するのは困難であり,各光学部品を調整しながら作成するため,コストがかかるという問題があった。
特開平10−206678号公報
このような問題を解決するために,例えば,半導体レーザ,フォトダイオード,バンドパスフィルタおよび光学素子を,ひとつの基板上に搭載することにより,モジュールの小型化と製造コストの低減を図る双方向通信モジュールの製造方法が提案されている。
例えば,かかる双方向通信モジュール10は,図8に示す光モジュールが挙げられる。この双方向通信モジュール10は,溝を有する基板11上に,発光素子としてレーザダイオード(Laser Diode,以下,「LD」という。)12と,受光素子としてフォトダイオード(Photo Diode,以下,「PD」という。)13と,波長分波器14と,レンズ素子15a,15bと,をそれぞれ配置して一体に構成されている。
LD12から発光された光は,レンズ素子15aにより平行光とされた後,波長分波器14に入射する。波長分波器14に入射した光は該モジュール10の外側に取り付けた光ファイバ(図示せず。)へ入射される。一方,外部から上記光ファイバを経由して送られた光は,波長分波器14に入射後,レンズ素子15bにより集光されてPD13に入射する。
このようにひとつのパッケージ内部に発光部であるLD12と受光部であるPD13とを搭載する光通信モジュールは小型化,低コスト化に好適に対応するものである。しかし,より精度の高い送受信環境を構築するためには,発光部における漏れ光が様々な光路を経て受光部へ入射して光学的ノイズが発生してしまうといういわゆる「迷光」と呼ばれる不要な光が起こす問題を解消する必要性を残している。特に,通常の使用では問題ないが,高容量化・高速度化等によりデータが複雑化してくると,PD13が光学的ノイズとなる光を受光してデータが劣化してしまい,信号の判別が付き難くなったり,エラーが増大するなど,PD13の性能が劣化するという問題が生じる可能性がある。
そこで,本発明は,上記問題に鑑みてなされたものであり,本発明の目的とするところは,受光素子が受光する光学的ノイズを低減することの可能な,新規かつ改良された光モジュールを提供することにある。
上記課題を解決するために,本発明のある観点によれば,基板と,該基板上に載置される発光素子と,波長分波器と,受光素子と,レンズ素子とを備える光モジュールが提供される。ここで,基板は凹部を有すると共に,受光素子が凹部内に配置されていることを特徴とする。
かかる構成によれば,基板に受光素子が収容される凹部が形成され,受光素子が発光素子から出射された光を直接受光してしまうことを防止することができる。更に,基板に形成された凹部の高さを受光素子の高さ以上とすることにより,受光素子の側面側から入射する発光素子からの出射光の量を低減することができる。また,凹部の内側面に発光素子から発光された波長の光を透過しない非透過膜を設けることにより,受光素子の側面方向から入射する光の量をより低減させることができる。
ここで,受光素子は,発光素子よりも低い位置に配置することができ,かかる構成により,受光素子が不要な光を受光することを確実に防止することができる。
また,凹部の内側面には,絶縁膜をさらに設けることもでき,かかる絶縁膜により受光素子の性能が電気的ノイズにより劣化してしまうことを防止することができる。
さらに,基板に形成された凹部の開口部を覆う被覆板を備えることもできる。被覆板の表面には,発光素子から直接受光素子に向かったり,モジュールを覆うカバーなどの他の部品から反射してくるノイズとなる光を遮断するために,非透過膜が設けられる。かかる構成により,受光素子は,凹部および被覆板により覆われるので,受光素子のあらゆる角度から入射する光をより効果的に遮断することができる。なお,本発明で「受光素子が凹部内に配置される」とは,基板を基準とした場合,凹部内だけでなく,凹部が形成されるエリア内に配置される意味をも含み,例えば,受光素子を被覆板に取り付けることにより基板の凹部内に設ける場合も含む趣旨である。
また,上記課題を解決するために,第1の方向にエッチング形成された第1の溝構造と第1の方向と90度をなす第2の方向にエッチング形成された第2の溝構造とを有する基板と,基板上に配置され,波長に応じて光を透過または90度反射する,キューブ型の波長分波器と,第1の溝構造に配置された発光素子側レンズ素子と,第2の溝構造に配置された受光素子側レンズ素子と,第1の溝構造の端部近傍に配置され,光を発光し,発光素子側レンズ素子および波長分波器を介して外部への出射光とするための発光素子と,基板に形成された凹部内に配置され,外部からの入射光を,波長分波器および受光素子側レンズ素子を介して受光する受光素子と,を備える光モジュールを提供することもできる。基板に形成された凹部の高さは,受光素子の高さ以上であり,凹部の内側面には,発光素子から発光される波長の光を透過しない非透過膜が設けることができる。
かかる光モジュールにおいても,基板に受光素子が収容される凹部が形成される。この際,基板に形成された凹部の高さを受光素子の高さ以上とすることにより,受光素子の側面側から入射する発光素子からの出射光の量を低減することができる。また,凹部の少なくとも内側面に発光素子から発光する波長の光を透過しない非透過膜を設けることにより,さらに受光素子の側面側から入射する光の量を低減することができる。このように,受光素子の性能を劣化させる要因となる光が光学的ノイズとして受光素子に入射するのを低減させることができる。
以上説明したように本発明によれば,光学的ノイズを低減することの可能な光モジュールを提供することができる。かかる光モジュールは,特に双方向通信システムで好適に用いることができる。
以下に添付図面を参照しながら,本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお,本明細書及び図面において,実質的に同一の機能構成を有する構成要素については,同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
(第1の実施形態)
まず,図1および図2に基づいて,本発明の第1の実施形態にかかる光モジュール100について説明する。ここで,図1は,本実施形態にかかる光モジュールの概略構成を示す概略斜視図である。また,図2は,本実施形態にかかる光モジュールの平面図である。
本実施形態にかかる光モジュール100は,図1に示すように,V溝112a,112bを有する基板110と,発光素子の一例としてレーザダイオード(Laser Diode,以下,「LD」という。)120と,受光素子の一例としてフォトダイオード(Photo Diode,以下,「PD」という。)130と,波長分波器140と,レンズ素子150a,150bとを有して構成されている。以下,各構成要素について詳細に説明する。
基板110は,光モジュール100を構成する各構成要素が配置される基板であり,例えばシリコン基板からなる。基板110は,直交する2つの溝が形成されており,かかる溝によって3つの段差部110a,110b,110cと,平面部110dからなる4つの領域に分割される。図1において,基板110の平面部110dには,波長分波器140が載置され,図2に示すように,段差部110aおよび110bの上面には,横断面形状がV字形状であるV溝112a,112bが形成されている。また,段差部110aには,LD120およびレンズ素子150aが配置され,段差部110bには,PD130およびレンズ素子150bが配置される。
V溝112a,112bは,基板110をエッチングすることにより形成され,シリコンの(111)面群を斜面に持つような構成で精密に作製されている。V溝112aはLD120側に形成され,V溝112bはPD130側に形成されている。V溝112aの延在する方向とV溝112bの延在する方向とは,90度をなすように形成されている。
LD120は,光を出射する発光素子であり,例えば,厚み約150μmの略直方体形状からなる。LD120は,V溝112aの端部近傍に配置されており,光を発光し,発光素子側レンズ素子150aおよび波長分波器140を介して外部への出射光とする。
PD130は,光を端面から入射する受光素子であり,例えば,厚み約150μmの略直方体形状からなる,端面入射型の受光素子を用いることができる。PD130は,V溝112bの端部近傍に配置されており,外部からの入射光を,波長分波器140および受光素子側レンズ素子150bを介して受光する。PD130の上面には,金属膜(図示せず。)が設けられており,上方から入射するLD120から出射された光を遮断することができる。なお,上記金属膜は,赤外光を透過しない材質であればよく,例えば金,アルミニウム,白金,ニッケル,銅,銀等からなる。本実施形態にかかる光モジュール100において,PD130は,段差部110bに形成された凹部160に設けられることを特徴とする。かかる構成の詳細については,後述する。
波長分波器140は,波長に応じて,光を透過または90度反射する分波器であり,例えばキューブ型の誘電体フィルタを用いることができる。キューブ型の誘電体フィルタを採用することにより,位置合わせが容易であるという利点がある。また,位置合わせが容易であることから,光の反射面を必要以上に大きくする必要がなく,結果的にサイズを小型化することができる。波長分波器140は,基板110の平面部110d上に載置されており,波長分波器140は,LD120から発光する光(例えば,波長1.3μmの光)を透過し,外部から入射される光(例えば,波長1.49μmの光)を90度反射してPD130に入射する。
レンズ素子150a,150bは,光を集光するまたは光を平行光に変換するレンズであり,例えばシリコン製マイクロレンズを用いることができる。レンズ素子150a,150bは,一方の面に,回折光学素子が形成されたレンズ部が形成されている。レンズ部に回折光学素子を用いることにより,レンズ素子150a,150bはマスクパターンの変更で,光を任意の方向へ容易に曲げることができる。また,レンズ素子の縁部は,V溝112a,112bに適合する形状として例えば略円弧状に形成されている。
レンズ素子150aは,LD120側に設けられている。レンズ素子150aのレンズ部は,LD120からの出射光を平行光に変換し,波長分波器140に入射するコリメートレンズとしての機能を有する。一方,レンズ素子150bは,PD130側に設けられている。レンズ素子150bのレンズ部は,波長分波器140により分波された光を集光し,PD130へ入射する集光用レンズとしての機能を有する。
以上,本実施形態にかかる光モジュール100の構成の概略について説明した。本実施形態にかかる光モジュール100は,PD130が光学的ノイズとなる光の受光量を低減させるために,基板110の段差部110bに凹部160を設け,凹部160にPD130を配設させることを特徴とする。
図1〜3に示すように,本実施形態にかかる光モジュール100のPD130は,基板110に形成された凹部160の内部に配設される。これは,PD130の載置面の高さ方向(Z軸方向)の位置を,LD120の載置面よりも低くし,LD120から出射された不要な光をPD130が受光しにくい構成になっている。凹部160は,Z軸負方向に窪んでおり,Z軸正方向の開口部は,例えば,図2に示すように四角形形状に形成されている。
以下,図3に基づいて,PD130が配置される凹部160の構造について詳細に説明する。図3は,図2における本実施形態にかかる基板110の段差部110bを切断線A−Aにおいて切断した断面図である。
凹部160のレンズ素子150bと対向する側は,レンズ素子150bを介して入射される光をPD130により受光するために開口されている。凹部160の内側面は,傾斜(例えば54.7°)を有するように形成されている。このとき,凹部160の高さHは,PD130の高さh以上となるように(すなわち,H≧hとなるように)形成されている。このように,PD130を凹部160から突出しないように配置することにより,LD120から出射された不要な光が直接PD130へ入射する量を低減させることができる。
凹部160の内側面には,電気的ノイズを防止するために,電気を通さない絶縁膜164が設けられている。例えば,LD120へ電気信号が高速に伝搬される場合,LD120との接合部分から電気信号が漏れるおそれがあり,この漏れた電気信号が電気的ノイズとなってPD130側に望ましくない影響を与える可能性がある。このような電気的ノイズを防止するために絶縁膜164が設けられる。絶縁膜164としては,例えばSiO,SiN,SiON,TiO等を用いることができる。
さらに,絶縁膜164の表面には,光学的ノイズとなるLD120から出射された波長の光を透過しないように,非透過膜162が設けられる。非透過膜162は例えば樹脂や金属から形成することができ,具体的には金,NiCr等を蒸着することにより形成することができるが,精度よく形成することが可能であり,光の反射率も高いことから金を好適に使用することができる。
このように形成された凹部160の内部に,PD130が載置される。このとき,PD130は,例えば,はんだ等により基板110に固定される。PD130から出力された電流は,PD130の電極(図示せず。)から例えばワイヤ等により引き出すことができるが,適宜使用に応じて調整される。本実施形態にかかる光モジュール100では,PD130の電極の位置によらずPD130を載置面に載置することができる。例えば,PD130の電極のうち,正極がPD130の上面側,負極がPD130の底面側(基板110の載置面と接する面側)にあるとき,正極にはワイヤを接続し,負極は基板110の載置面上から引き出された電極にワイヤを接続することにより,電流を外部へ引き出すことが可能となる。したがって,PD130を載置する際にPD130の電極の位置を考慮しなくともよいため,光モジュール100の構成に関して設計の自由度が高い。
以上,第1の実施形態にかかる光モジュール100について説明した。かかる光モジュール100には,PD130の設置面をLD120の設置面より低くするために,PD130を配設するための凹部160が形成される。このとき,凹部160の高さは,好ましくはPD130の高さ以上となるように形成され,凹部160の内側面には,LD120から出射された波長の光を透過しない非透過膜162が設けられる。かかる構成により,PD130を,LD120から出射された光を受光し難い位置に配置することができ,さらに,凹部160の内側面に設けられた非透過膜162により,横方向等から入射してくる不要な光を遮断することができる。したがって,絶縁膜164を設けることにより,電気的ノイズも遮断することができる。
(第2の実施形態)
次に,図4および図5に基づいて,本発明の第2の実施形態にかかる光モジュール200について説明する。ここで,図4は,本実施形態にかかる光モジュール200の平面図である。また,図5は,本実施形態にかかる図4の基板110の段差部110bを切断線A−Aにおいて切断した断面図である。なお,本実施形態にかかる光モジュール200の構成は,第1の実施形態にかかる光モジュール100と比較して,基板110の段差部110bに形成された凹部160に蓋部220を設ける点以外は同じである。このため,以下では第1の実施形態にかかる光モジュール100と同一構成の部分については説明を省略する。
本実施形態にかかる光モジュール200では,PD130が受光してしまうLD120から出射された光の量を低減させるために,PD130の上方に,凹部160を覆う被覆板として蓋部220が設けられている。蓋部220は,例えばシリコンやガラス等から形成され,蓋部220の上面220aおよび下面220bの少なくともいずれか一方の表面には,不要な光を透過しない非透過膜(図示せず。)が設けられる。蓋部220は,例えば樹脂,はんだ等を用いることにより基板110に固定することができる。この非透過膜は,第1の実施形態にかかる光モジュール100に形成された凹部160の内側面に設けられた非透過膜162と同様に,例えば金,NiCr等から蒸着により形成することができる。
ここで,第1の実施形態にかかる光モジュール100と同様に,凹部160の内側面には,電気的ノイズを防止するために,電気を通さない絶縁膜164が設けられる。絶縁膜164としては,例えばSiO等を用いることができる。また,絶縁膜164の表面には,光学的ノイズとなるLD120から出射された波長の光を透過しないように,非透過膜162が設けられる。非透過膜162は,例えば樹脂や金属から形成することができ,具体的には金,NiCr等を蒸着することにより形成することができる。
以上説明した第2の実施形態にかかる光モジュール200のように,PD130が配設された凹部160に蓋部220を設けることにより,PD130は,レンズ素子150bを介した光が入射する側を除き,その周囲を非透過膜162が設けられた基板110および蓋部220に囲まれる。これにより,第1の実施形態にかかる光モジュール100と比較して,横方向のみでなく,PD130の上方から入射する不要な光をPD130が受光しないようにすることができるので,光学的ノイズが低減され,PD130の性能劣化を防止することができる。また,第1の実施形態にかかる光モジュール100と同様,絶縁膜164を設けることにより,電気的ノイズも遮断することができる。
(変形例)
第2の実施形態にかかる光モジュール200の変形例として,図6および図7に示すように,受光素子の配置位置を変更した光モジュールの構成が考えられる。ここで,図6は,図4に示す基板110の段差部110bを切断線A−Aにおいて切断した断面図である。また,図7は,図4に示す基板110の段差部110bを切断線B−Bにおいて切断した断面図である。なお,第2の実施形態にかかる光モジュール200と同一構成の部分については説明を省略する。
図6および図7に示すように,光モジュール200の変形例では,第2の実施形態にかかる光モジュール200と同様に,基板110の段差部110bに形成された凹部160に蓋部240が設けられている。このとき,蓋部240の凹部160側の面(すなわち下面240b)に,PD230を設けることもできる。
PD230の最大受光感度が発揮される角度によっては,例えば,図7に示すように,レンズ素子150bを介して入射した光を凹部160の一内側面160cに設けられた反射膜(図示せず。)により反射させ,この反射光をPD230により受光するように,PD230を配置することができる。このようにPD230により入射光を受光するため,例えば,蓋部240の下面240b側に突出部242を形成し,かかる突出部242にPD230を設けるように,光モジュールを構成することができる。PD230は反射光を受光するため,突起部242を,例えばYZ平面における断面形状が略三角形である略三角柱形状に形成してもよい。そして,凹部160の内側面160cと対向するように,突起部242の傾斜面にPD230を設けることにより,PD230は入射光を受光することができる。かかる構造をとることにより,蓋部240に電極を配置するだけで,PD230の電極を引き出すことができる。このため,製造工程の簡易化が期待できる。
なお,上記構成は一例であり,PD230の最大受光感度が発揮される角度において,レンズ素子150bの形状を変更することにより集光点を変更することもできるので,PD230が設けられる突起部242の傾斜面の角度は,限定されるものではない。また,突起部242の形状も略三角柱形状に限定されるものではなく,光モジュールの構成やPD230の形状等により適宜変更可能である。
また,PD230は,PD230の最大受光感度が得られる角度によっては,レンズ150bを介して入射した光を直接受光するように配置することもできる。例えば,PD230の受光部分をレンズ素子150b側へ向けて配置し,レンズ素子150bによりPD230の受光部分に光が集光されるように構成することにより実現できる。かかる構成の場合,凹部160の一内側面160cに設けられた反射膜(図示せず。)による反射がない分,反射損失が無いことによるPD230への入射効率の上昇が期待できる。
本変形例の場合にも,蓋部240の上面240aおよび下面240bの少なくともいずれか一方の表面には,LD120から出射される波長の光を透過しない非透過膜(図示せず。)を設けることができる。これにより,上方から入射する光学的ノイズを遮断することができる。
以上,第2の実施形態にかかる光モジュール200およびその変形例について説明した。かかる光モジュール200には,第1の実施形態にかかる光モジュール100と同様,PD130(または230)を配設するための凹部160が形成される。凹部160の内側面には,LD120から出射された波長の光を透過しない非透過膜162が設けられる。そして,凹部160の上方を蓋部220(または240)により覆うことにより,第1の実施形態にかかる光モジュール100と比較して,PD130(または230)が受光してしまう不要な光の量を,大幅に低減させることができる。また,第1の実施形態にかかる光モジュール100と同様,凹部160の内側面に絶縁膜164を設けることにより,電気的ノイズも遮断することができる。
なお,PD130(または230)から出力された電流は,第1の実施形態にかかる光モジュール100と同様,PD130(または230)の電極(図示せず。)から例えばワイヤ等により引き出す構成とすることができる。例えば,PD130が凹部160の底面に設けられている場合には,凹部160に内部から外部への引き出し電極を設けて,PD130の電極と引き出し電極とを例えばワイヤ等により接続することにより,容易に電極を引き出すことができる。また,PD230が蓋部240に設けられている場合には,蓋部240上に設けた電極と,基板110の段差部110b上に設けた電極とをはんだ固定することにより,容易に電極を引き出すことができる。ここで,蓋部240は,電極を引き出す部分においてはんだにより基板110に固定させることができる。このように,PD130(または230)を設ける際にPD130(または230)の電極の位置を考慮しなくともよいため,光モジュール200の構成に関して設計の自由度が高いという利点もある。
以上,添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが,本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば,特許請求の範囲に記載された範疇内において,各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり,それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
例えば,上記実施形態では,基板に形成された凹部は,その開口部が略四角形に形成されていたが,本発明はかかる例に限定されず,例えば,他の多角形や円形であってもよい。また,上記実施形態では,凹部の内側面は傾斜を有していたが,本発明はかかる例に限定されず,例えば受光素子の載置面に対して略垂直となるように形成してもよい。ただし,凹部の内側面に絶縁膜や非透過膜を設ける際,上記実施形態のように凹部の内側面に傾斜を設ける方が,内側面にこれらの膜を蒸着させやすい点から推奨される。
また,上記実施形態では,受光素子の形状は略直方体形状であったが,本発明はかかる例に限定されず,光モジュールの構成や凹部の形状などを考慮して,受光素子の形状を決定すればよい。例えばL字状に湾曲した形状の受光素子を用いることもできる。
本発明の第1の実施形態にかかる光モジュールの概略構成を示す概略斜視図である。 第1の実施形態にかかる光モジュールの平面図である。 第1の実施形態にかかる光モジュールを切断線A−Aにおいて切断した断面図である。 第2の実施形態にかかる光モジュールの平面図である。 第2の実施形態にかかる光モジュールを切断線A−Aにおいて切断した断面図である。 第2の実施形態にかかる光モジュールの変形例を示す断面図であり,図4の切断線A−Aにおいて切断した状態を示す。 第2の実施形態にかかる光モジュールの変形例を示す断面図であり,図4の切断線B−Bにおいて切断した状態を示す。 従来の光モジュールの概略構成を示す概略斜視図である。
符号の説明
100,200 光モジュール
110 基板
120 発光素子(LD)
130,230 受光素子(PD)
140 波長分波器
150a,150b レンズ素子
162 非透過膜
164 絶縁膜
220,240 蓋部
242 突起部

Claims (4)

  1. 基板と,該基板上に載置される発光素子と,波長分波器と,受光素子と,レンズ素子とを備え,
    前記基板は凹部を有し,前記受光素子は前記凹部内に配置されていることを特徴とする,光モジュール。
  2. 前記基板に形成された前記凹部の高さは,前記受光素子の高さ以上であり,
    前記凹部の内側面には,光の非透過膜が設けられる請求項1に記載の光モジュール。
  3. 前記凹部の内側面には,絶縁膜が設けられる請求項1または2のいずれかに記載の光モジュール。
  4. 前記凹部の開口部を覆う被覆板を備えることを特徴とする,請求項1〜3のいずれかに記載の光モジュール。

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