JP2007201177A - 天板、位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】リブを有する天板において、リブのローカルモードの固有値を高めること、又は、リブの軽量化によって天板を軽量化する。
【解決手段】天板は、対向して配置された第１板部材Ｐ１及び第２板部材Ｐ２と側壁部材ＳＷとによって空間ＩＳを取り囲んで構成される。天板は、空間ＩＳに配置されたリブＲ１を備える。リブＲ１は、複数の連結部ＣＰ１、ＣＰ２を含む。複数の連結部ＣＰ１、ＣＰ２は、側壁部材ＳＷ又は空間ＩＳ内の部材にそれぞれ連結されている。リブＲ１は、隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２の間における厚さが連結部ＣＰ１、ＣＰ２における厚さよりも大きい。
【選択図】図１

Description

本発明は、天板、位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法に係り、特に、中空構造を有する天板、該天板を含む位置決め装置、該位置決め装置を含む露光装置、及び、該露光装置を利用したデバイス製造方法に関する。

図１０は、ウエハステージ装置として構成された位置決め装置の概略斜視図である。ベース定盤７９の中央部にスライダ定盤７５が搭載され、スライダ定盤７５の周りにＸ定盤７８Ｘ及びＹ定盤７８Ｙが搭載されている。Ｘ定盤７８Ｘには、Ｘビーム７３ＸをＸ方向に駆動する粗動リニアモータの固定子７７Ｘが搭載され、Ｙ定盤７８Ｙには、Ｙビーム７３ＹをＹ方向に駆動する粗動リニアモータの固定子７７Ｙが搭載されている。

Ｘビーム７３Ｘ、Ｙビーム７３Ｙは、互いに交差するように配置されていて、それぞれがＸＹスライダ７２を貫通している。Ｘビーム７３Ｘ、Ｙビーム７３Ｙは、ＸＹスライダ７２と非接触状態を維持しながらＸＹスライダ７２をＸ、Ｙ方向に駆動する。ＸＹスライダ７２の上には、６軸微動ステージ７０が搭載され、６軸微動ステージ７０の上には、ウエハチャックが搭載されている。

Ｙビーム７３Ｙの両端には、静圧空気軸受（不図示）が取付けられたＹフット７４Ｙが設けられていて、Ｙビーム７３Ｙは、スライダ定盤７５によって静圧空気軸受を介して鉛直方向（Ｚ軸方向）に支持される。Ｘビーム７３Ｘの両端には、Ｘフット７４Ｘ、７４Ｘ'が設けられていて、Ｘビーム７３Ｘは、スライダ定盤７５によって静圧空気軸受（不図示）を介して鉛直方向（Ｚ軸方向）に支持される。Ｘフット７４Ｘ'は、スライダ定盤７５に取付けられたＹガイド７６によって静圧空気軸受（不図示）を介して水平方向（Ｙ軸方向）に案内される。ＸＹスライダ７２は、その底面に設けられた静圧空気軸受（不図示）を介してスライダ定盤７５によって鉛直方向（Ｚ軸方向）に支持される。

図１１Ａは、微動ステージ７０を上から見た平面図、図１１Ｂは、微動固定プレート７０２を上から見た平面図、図１１Ｃは、天板７０１を下から見た平面図である。微動ステージ７０は、微動固定プレート７０２と、天板７０１とで構成され、両者の間には不図示の自重支持ばねが設けられていて、この自重支持ばねによって天板７０１の自重が支持される。微動用リニアモータは、微動固定プレート７０２と天板７０１との間に配置されている。微動用リニアモータのコイルを有する固定子７０３Ｘａ、７０３Ｙａ、７０３Ｚａは、微動固定プレート７０２に固定されている。微動用リニアモータの磁石を有する可動子７０３Ｘｂ、７０３Ｙｂ、７０３Ｚｂは、天板７０１に固定されている。固定子７０３Ｘａと可動子７０３ＸｂでＸ方向の推力を発生し、固定子７０３Ｙａと可動子７０３ＹｂでＹ方向の推力を発生し、固定子７０３Ｚａと可動子７０３ＺｂでＺ方向の推力を発生する。

天板７０１の周囲４辺の側面には、取付板７０４を介して磁性体板７０５が配置されている。また、磁性体板７０５に対向するように、コイルを有するＥ字型電磁石７０７が取付板７０６を介して微動固定プレート７０２に配置されている。Ｅ字型電磁石７０７と磁性体板７０５は、コイルに電流を流すと両者の間に吸引力が発生してＸＹスライダ７２の加減速力を天板７０１に伝達するように構成されていて、電磁継手として機能する。Ｅ字型電磁石７０７と磁性体板７０５との対向する面は、天板７０１の回転中心を中心とした円弧形状になっている。このような円弧形状の採用によって、Ｅ字型電磁石７０７と磁性体板７０５がＺ軸回りに互いに接触することなく自由に回転することができる。また、回転に対して両者の隙間の変化がなく、同一電流に対して電磁石の発生する吸引力も変化しない。Ｅ字型電磁石７０７と磁性体板７０５の間に発生する吸引力の作用線は、天板７０１やそれに装着されたリニアモータ等を含む、微動ステージ７０の可動体全体の重心位置を通るのがよい。

天板７０１は、軽量・高剛性化のために中空リブ構造になっている。図１２は、代表的なリブ構造を示す断面図であり、菱形のリブＲ７０１が形成されている。これによって、特許文献１に開示されているように、天板７０１の１次モードであるねじれモードの固有値を高め、ステージの高速・高精度な追従性を得ることができる。
特開２００３−１６３２５７号公報 特開２００４−２５４４８９号公報

しかしながら、近年ますます高速な位置決めが要求されており、それに伴って微動ステージにおける可動体の一部である天板もさらなる軽量化が求められている。そのために、図１２に示すようなリブＲ７０１の厚さｔ７０１を可能な限り小さくする必要がある。ところが、リブを薄くし過ぎると、天板のねじれなどのグローバルモードの固有値を維持することができても、図中の破線に示すようなリブ自身のローカルモードの固有値が低下し、ステージの追従性に悪影響を及ぼすようになってしまう。

特許文献２には、固定子コイルと可動子磁石との間で６自由度方向の駆動力を発生させて大ストローク及び高精度な位置、姿勢制御を実現する平面ステージが開示されている。このような平面ステージの天板では、ウエハを搬送ハンドから天板に保持されたチャックに渡すための３ピン支持機構を備えることが好ましい。そのために、天板の厚さが大きくなり、ますますリブのローカルモードの固有値が低下するとともに、リブを形成する肉抜き加工が困難になってくる。

本発明は、上記の背景に鑑みてなされたものであり、例えば、リブを有する天板において、リブのローカルモードの固有値を高めること、又は、リブの軽量化によって天板を軽量化することを目的とする。

本発明の第１の側面は、対向して配置された第１、第２板部材と側壁部材とによって空間を取り囲んで構成される天板を対象とし、前記天板は、前記空間に配置されたリブを備え、前記リブは、複数の連結部を含み、前記複数の連結部は、前記側壁部材又は前記空間内の部材にそれぞれ連結されていて、前記リブは、隣接する連結部の間における厚さが前記隣接する連結部における厚さよりも大きく構成されている。

本発明の好適な実施形態によれば、前記空間内の部材は、例えば、第２リブである。

本発明の好適な実施形態によれば、前記リブは、例えば、その厚さが連続的に変化するように構成されうる。

本発明の好適な実施形態によれば、前記リブは、例えば、隣接する連結部の間に肉厚部を有しうる。前記肉厚部は、例えば、柱形状を有しうる。前記肉厚部は、例えば、その高さが前記第１板部材と前記第２板部材との間の距離よりも小さく構成されうる。前記肉厚部は、例えば、埋金用柱状部を含み、前記第１板部材又は第２板部材は、前記埋金用柱状部にネジ締結されうる。

本発明の第２の側面は、第１部材及び第２部材を含む天板を対象とし、前記第１部材及び第２部材は、それぞれリブを有し、前記第１部材のリブ及び前記第２部材のリブの少なくとも一方が、厚さが拡大されたフランジ部を有し、前記フランジ部で前記第１部材のリブと前記第２部材のリブとが結合されている。

本発明の好適な実施形態によれば、前記第２部材は、両側が開放された開放中空部材と、板部材とを結合して構成されうる。

本発明の好適な実施形態によれば、前記フランジは、前記第１部材のリブに形成されうる。

本発明の好適な実施形態によれば、前記天板は、ピン支持機構を内蔵しうる。

本発明の第３の側面は、第１部材及び第２部材を含む天板を対象とし、前記第１部材及び第２部材は、それぞれリブを有し、前記第１部材のリブと前記第２部材のリブとが結合されている。

本発明の好適な実施形態によれば、前記第２部材は、両側が開放された開放中空部材と、板部材とを結合して構成されうる。

本発明の第４の側面は、位置決め装置を対象とし、前記位置決め装置は、第1〜第３の側面のいずれかで特定される天板と、前記天板を駆動する駆動部とを備える。

本発明の第５の側面は、露光装置を対象とし、前記露光装置は、前記位置決め装置を備え、前記位置決め装置によって基板又は原板を位置決めする。

本発明の第６の側面は、デバイス製造方法を対象とし、前記製造方法は、前記露光装置によって基板上の感光剤に潜像パターンを形成する工程と、前記感光剤を現像する工程とを含む。

本発明によれば、例えば、リブを有する天板において、リブのローカルモードの固有値が高められ、又は、リブの軽量化によって天板が軽量化される。

以下、添付図面を参照しながら発明を実施するための好適な実施形態を説明する。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態の中空天板の構成を示す断面図である。図１（ａ）は、中空天板１の上面又は下面と平行な面で切断した断面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）をＡ−Ａ線で切断した断面図、図１（ｃ）は、図１（ａ）をＢ−Ｂ線で切断した断面図である。図２は、図１に示す中空天板１を含む微動ステージを有するウエハステージ装置（位置決め装置）の概略構成を示す斜視図である。

ウエハステージ装置は、プラテン１３、ＸＹスライダ１２及び６軸微動ステージ１０を備えている。プラテン１３には、所定ピッチで歯が形成されている。ＸＹスライダ１２は、プラテン１３の上面に沿って移動するように構成され、所定ピッチで突極が形成されている。プラテン１３を固定子、ＸＹスライダ１２を可動子として、ガイドレス平面パルスモータが構成される。ガイドレス平面パルスモータについては、例えば、特開２００５−２６９７６３号公報に開示されている。

ＸＹスライダ１２は、その下面からは圧縮空気が噴出されるように構成され、これによって、ＸＹスライダ１２は、プラテン１３に対して浮上する。ＸＹスライダ１２の上には、図１１Ａ〜Ｃに示すような６軸微動ステージ１０が搭載されている。粗動リニアモータとしてガイドレス平面パルスモータを用いることによって、粗動ステージ構成が単純になり、小型、軽量、高スループット化が実現される。

中空天板１は、６軸微動ステージ１０の天板（図１１Ａ〜図１１Ｃの天板７０１に相当）として使用される。中空天板１は、対向して配置された第１板部材Ｐ１及び第２板部材Ｐ２と側壁部材ＳＷとによって内部空間ＩＳを取り囲んで構成され、中空構造を有する。典型的には、第１板部材Ｐ１及び第２板部材Ｐ２は、矩形形状を有し、側壁部材ＳＷは、４辺で構成される枠形状を有する。

内部空間ＩＳには、リブＲ１が配置されて、リブ構造が構成されている。図１に示す実施形態では、中空天板１は、４つのリブＲ１を有する。４つのリブＲ１を含むリブ構造は、側壁部材ＳＷの腹部（辺の一端と他端との間の部分）に頂点を有する菱形形状を有する。このようなリブ構造によって、中空天板１の１次モードであるねじれモードの固有値が高められている。

各リブＲ１は、２つの連結部ＣＰ１、ＣＰ２を含み、２つの連結部ＣＰ１、ＣＰ２は、側壁部材ＳＷに連結されている。各リブＲ１は、３以上の連結部を含むこともでき、この場合において、３以上の連結部には、側壁部材ＳＷに連結される連結部ＣＰ１、ＣＰ２の他、他のリブ（第２リブ）が含まれうる。

少なくとも１つのリブＲ１、好ましくは全てのリブＲ１は、その長手方向Ｌにおいて厚さｔ１が一定ではなく、隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２の間（中央部）における厚さｔ１Ａが隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２における厚さｔ１Ｂよりも大きい。ここで、図１に示す実施形態においては、隣接する連結部とは、連結部ＣＰ１、ＣＰ２である。一方、例えば、連結部ＣＰ１と連結部ＣＰ２との間に連結部ＣＰ３が存在する場合には、隣接する連結部とは、連結部ＣＰ１と連結部ＣＰ３、又は、連結部ＣＰ２と連結部ＣＰ３である。リブＲ１は、例えば、その厚さｔ１が隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２から該隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２の中央部に向かって連続的に広くなる形状を有しうる。

なお、この明細書において、リブの長手方向Ｌは、連結部と連結部とを結ぶ方向を意味する。また、リブの厚さｔ１とは、中空天板１の上面及び下面に平行な面において長手方向Ｌに直交する方向におけるリブの長さを意味する。また、リブの高さＨは、第１板部材Ｐ１と第２板部材Ｐ２との間隔を規定する方向におけるリブの長さを意味する。

隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２の中央部における厚さｔ１Ａが隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２における厚さｔ１Ｂよりも大きい形状を有するリブＲ１を採用することにより、該中央部の剛性が増す。例えば、第１実施形態のリブと、図１２に示すように厚さが一定のリブとを比較する。両リブの質量が等しい場合には、第１実施形態の方が図１２の破線のようなリブのローカルモードの固有値が高くなり、ステージの追従性に与える影響が改善される。これは、観点を変えれば、第１実施形態によれば、リブのローカルモードの固有値を下げることなく、リブの質量を減じることができることを意味する。これによって、微動ステージを軽量化し、位置決め装置を高スループット化することができる。

（第２実施形態）
図３は、本発明の第２実施形態の中空天板の構成を示す断面図である。なお、ここで特に言及しない事項は、第１実施形態に従いうる。

中空天板２１は、６軸微動ステージ１０の天板（図１１Ａ〜図１１Ｃの天板７０１に相当）として使用される。中空天板２１は、対向して配置された第１、第２板部と側壁部材ＳＷとによって内部空間ＩＳを取り囲んで構成され、中空構造を有する。典型的には、第１、第２板部材は、矩形形状を有し、側壁部材ＳＷは、４辺で構成される枠形状を有する。

図３に示す実施形態では、中空天板２１は、４つのリブＲ２１を有する。４つのリブＲ２１を含むリブ構造は、側壁部材ＳＷの腹部（辺の一端と他端との間の部分）に頂点を有する菱形形状を有する。このようなリブ構造によって、中空天板２１の１次モードであるねじれモードの固有値が高められている。

少なくとも１つのリブＲ２１、好ましくは全てのリブＲ２１は、隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２の間（中央部）に肉厚部Ｒ２１ａを有する。したがって、リブＲ２１は、隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２の間（中央部）における厚さｔ２１Ａが該隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２における厚さｔ２１Ｂよりも大きい。肉厚部Ｒ２１ａは、その厚さが第１板部材と第２板部材との間の全体にわたって連結部ＣＰ１、ＣＰ２における厚さよりも大きいように構成されうる。肉厚部Ｒ２１ａは、柱形状、例えば、多角柱形状を有しうる。

このような構造によっても、リブのローカルモードの固有値を高くすること、又は、リブのローカルモードの固有値を下げることなくリブの質量を減じることができる。

（第３実施形態）
図４は、本発明の第３実施形態の中空天板の構成を示す断面図である。なお、ここで特に言及しない事項は、例えば、第１又は第２実施形態に従いうる。

中空天板３１は、６軸微動ステージ１０の天板（図１１Ａ〜図１１Ｃの天板７０１に相当）として使用される。中空天板３１は、対向して配置された第１、第２板部と側壁部材ＳＷとによって内部空間ＩＳを取り囲んで構成され、中空構造を有する。典型的には、第１、第２板部材は、矩形形状を有し、側壁部材ＳＷは、４辺で構成される枠形状を有する。

図４に示す実施形態では、中空天板３１は、４つのリブＲ３１を有する。４つのリブＲ３１を含むリブ構造は、側壁部材ＳＷの腹部（辺の一端と他端との間の部分）に頂点を有する菱形形状を有する。このようなリブ構造によって、中空天板３１の１次モードであるねじれモードの固有値が高められている。

少なくとも１つのリブＲ３１、好ましくは全てのリブＲ３１は、隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２の間（中央部）に円柱状の肉厚部Ｒ３１ａを有する。したがって、リブＲ３１は、隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２の間（中央部）における厚さが隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ２における厚さよりも大きい。ここで、円柱状とは、断面が円形、楕円形等のように閉じた曲線で構成される形状を意味するものとする。肉厚部Ｒ３１ａは、その厚さが第１板部材と第２板部材との間の全体にわたって連結部ＣＰ１、ＣＰ２における厚さよりも大きいように構成されうる。

このような構造によっても、リブのローカルモードの固有値を高くすること、又は、リブのローカルモードの固有値を下げることなくリブの質量を減じることができる。

（第４実施形態）
図５は、本発明の第４実施形態の中空天板の構成を示す断面図である。なお、ここで特に言及しない事項は、例えば、第１乃至第３実施形態のいずれかに従いうる。

中空天板４１は、６軸微動ステージ１０の天板（図１１Ａ〜図１１Ｃの天板７０１に相当）として使用される。中空天板４１は、対向して配置された第１、第２板部と側壁部材ＳＷとによって内部空間ＩＳを取り囲んで構成され、中空構造を有する。典型的には、第１、第２板部材は、矩形形状を有し、側壁部材ＳＷは、４辺で構成される枠形状を有する。

図５に示す実施形態では、中空天板４１は、側壁部材ＳＷの腹部（辺の一端と他端との間の部分）に頂点を有する第１菱形を形成する４つのリブＲ４１１を有する。中空天板４１は、更に、第１菱形の内側において、４つのリブ４１１の各腹部に頂点を有する第２菱形を形成する４つのリブＲ４１２を有する。このようなリブ構造によって、中空天板４１の１次モードであるねじれモードの固有値が高められている。

第４実施形態では、第１菱形を構成する各リブＲ４１１は、側壁部材ＳＷと連結される連結部ＣＰ１と連結部ＣＰ２との間（中央部）に、第２菱形を構成するリブＲ４１２と連結される連結部ＣＰ３を有する。少なくとも１つのリブＲ４１１、好ましくは全てのリブＲ４１１は、隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ３の間（中央部）、及び、隣接する連結部ＣＰ２、ＣＰ３の間（中央部）に、肉厚部Ｒ４１１ａを有する。したがって、リブＲ４１１は、隣接する連結部ＣＰ１、ＣＰ３の間（中央部）、及び、隣接する連結部ＣＰ２、ＣＰ３の間（中央部）における厚さが連結部ＣＰ１、ＣＰ２、ＣＰ３における厚さよりも大きい。

また、第２菱形を構成する少なくとも１つのリブＲ４１２、好ましくは全てのリブＲ４１２は、隣接する連結部ＣＰ１ａ、ＣＰ２ａの間（中央部）に肉厚部Ｒ４１２ａを有する。したがって、リブＲ４１２は、隣接する連結部ＣＰ１ａ、ＣＰ２ａの間（中央部）における厚さが隣接する連結部ＣＰ１ａ、ＣＰ２ａにおける厚さよりも大きい。

このような構造によっても、リブのローカルモードの固有値を高くすること、又は、リブのローカルモードの固有値を下げることなくリブの質量を減じることができる。

（第５実施形態）
図６は、本発明の第５実施形態の中空天板の構成を示す断面図である。図６は、中空天板５１をリブの長手方向に直交する線で切断した断面図である。図６に示す中空天板５１を含む微動ステージを有するウエハステージ装置の構成は、図２に示す実施形態に従いうる。図６のＣ−Ｃ線の断面は、図３又は図４に従いうる。

第５実施形態では、肉厚部Ｒ５１ａ、Ｒ５１ｂは、第１板部材Ｐ１側と第２板部材Ｐ２側とに分割され、それぞれ第１板部材Ｐ１、第２板部材Ｐ２に結合されている。すなわち、第５実施形態では、肉厚部Ｒ５１ａ、Ｒ５１ｂの高さは、
第１板部材Ｐ１と第２板部材Ｐ２との間隔よりも小さい。このような構造によっても、リブＲ５１のローカルモードの固有値を高くすること、又は、リブＲ５１のローカルモードの固有値を下げることなくリブの質量を減じることができる。なお、リブＲ５１の剛性に余裕がある場合は、肉厚部Ｒ５１ａ、Ｒ５１ｂのどちらか一方のみ設けてもよい。

（第６実施形態）
図７は、本発明の第６実施形態のウエハステージ装置（位置決め装置）の構成を示す断面図であり、図７（ａ）は平面図、図７（ｂ）は側面図である。

図７に示すウエハステージ装置は、天板を含む可動子を駆動する駆動部としてガイドレス６軸平面モータを有する。図７に示すウエハステージ装置は、固定子６４と、その上に配置された可動子６０とを備えている。固定子６４には、格子状に駆動コイル群６３が配置されている。可動子６０は、中空天板６１、中空天板６１の上に配置されたチャック６２、中空天板６１の下部に格子状に配置された永久磁石６５群を有する。駆動コイル群６３の少なくとも１つに電流を流すことによって、ローレンツ力により可動子６０を６自由度で駆動することができる。ガイドレス６軸平面モータを有するウエハステージ装置については、特開２００４−２５４４８９号公報に記載されている。

図８は、可動子６０の概略構成を示す横断面図である。可動子６０は、ウエハを搬送ハンドから受け取ってチャック６２に渡すための３ピン支持機構６６を中空天板６１に内蔵している。３ピン支持機構６６は、３つのピン６６ａ、ガイド部６６ｂ、駆動源６６ｃを有し、例えば、回転型の小型モータが発生する回転力をカム機構などでリニアの駆動力に変換することにより３つのピン６６ａを昇降させることができる。３つのピン６６ａの内部には、ウエハを保持するための吸引孔が設けられている。

本実施形態のような平面ステージ装置では、固定子６４に対する中空天板６１の相対移動距離が大きく、ピン６６ａの駆動源６６ｃを可動子６０の外部に設けることが困難である。そこで、中空天板６１の厚さを大きくして、３ピン支持機構６６を内蔵している。

図９Ａ〜図９Ｃは、中空天板６１の詳細を示す図である。図９Ａは、中空天板６１を天地逆にして分割した状態を示す分割斜視図である。本実施形態では、中空天板６１のリブＲ６１１、Ｒ６１１ａ及びＲ６１２の厚さは、中空天板６１の軽量化のために可能な限り小さくされている。

中空天板６１は、片側が開放されたリブ構造体である第１部材６１１と、第２部材６１２を２体に分けて焼成し、焼成後に開放された側同士、すなわちリブ同士を接合することによって形成されうる。第２部材６１２は、図９Ａに例示的に示すように、更に、第２板部材６１２ｂと、両側が開放されたリブ構造体６１２ａとに分割して構成されて、ネジ等によって結合されてもよい。これは、中空天板６１の内部に設けられた３ピン支持機構６６のメンテナンス時に、第２板部材６１２ｂの取り外しを可能にするためである。

円状リブに囲まれたスペースＨ６１１及びＨ６１２は、３ピン支持機構６６を内蔵するためのスペースであり、３ピン支持機構６６と干渉しないよう低いリブＲ６１１ａのみが設けられている。

図９Ｂに例示的に示すように、リブ構造体６１２ａには、それに対して第２板部材６１２ｂをネジ締結するための埋金用柱状部Ｐ６１２が設けられている。埋金用柱状部Ｐ６１２は、リブＲ６１２や側壁部材Ｓ６１２に設けられ、その高さは、リブＲ６１２や側壁部材Ｓ６１２の高さより小さい。これは、中空天板６１の第１板部材６１１ａと第２板部材６１２ｂとの間にわたって連続的に形成すると、天板６１の厚さが大きい本実施形態の場合は柱の高さが大きくなりその重量の影響が大きくなるからである。

埋金用柱状部Ｐ６１２は、側壁部材Ｓ６１２の隣接する連結部の間やリブＲ６１２の隣接する連結部の間に配置されることが好ましい。この場合、前述の実施形態にように、側壁部材Ｓ６１２やリブＲ６１２のローカルモードの固有値を高める効果が得られる。

第１部材６１１とリブ構造体６１２ａを一体で肉抜き加工を実施して開放中空構造体を形成し、その開放中空構造体と第２板部材６１２ｂとをそれぞれ焼成後に接合して中空天板を形成することもできる。しかしながら、上記のように、中空天板を第１部材６１１と第２部材６１２とに分割してそれぞれ肉抜き加工を施し、２つの開放中空構造体として焼成した後に両者を結合することが好ましい。これは、３ピン支持機構６６を内蔵するために中空天板６１の厚さが大きくなると肉抜き深さが大きくなり一体加工が困難になるためである。そして、第１部材６１１のリブＲ６１１と第２部材６１２のリブＲ６１２との結合部は、図９Ｃに例示的に示すように、リブの厚さＴが拡大されたフランジ部Ｆ６１１を有することが好ましい。なぜならば、フランジ部Ｆ６１１を設けることにより、第１部材６１１のリブＲ６１１と第２部材６１２のリブＲ６１２との間に位置ずれが生じても、両者を確実に接合することができるからである。特に、天板の軽量化のためにリブの厚さを小さくすると、フランジ部Ｆ６１１がない場合には、リブＲ６１１とリブＲ６１２との間の僅かな位置ずれによっても両者の接合ができない場合がある。なお、フランジ部Ｆ６１１は、リブＲ６１１とＲ６１２のどちらに設けてもよいが、リブＲ６１１に設けた方が、両側が開放されているリブ構造体６１２ａを透過して接合部の検査、更には接合の補強がしやすくなるので好ましい。

（他の実施形態）
以上、本発明の適用は上記の実施形態に限定されず、例えば、複数の１軸粗動リニアモータを用いた田の字型の粗動ステージ上に複数の１軸微動用リニアモータを用いた微動ステージを搭載した構成にも適用されうる。また、本発明は、例えば、平面パルスモータを用いた粗動ステージ上に６軸平面ローレンツモータを用いた微動ステージを載せた構成のウエハステージの中空天板にも適用されうる。

更に、本発明は、ウエハステージだけでなく、例えば、レチクルを位置決めするためのレチクルステージの中空天板に対しても適用されうる。

（適用例）
以下に、上記の実施形態で例示的に説明された本発明の位置決め装置の適用例としての実施形態を説明する。図１３は、本発明の好適な実施形態の露光装置の概略構成を示す図である。露光装置１００は、原板Ｒを位置決めする原板ステージＲＳと、基板Ｗを位置決めする基板ステージＷＳとを備える。露光装置１００は、更に、原板Ｒを照明して原板Ｒのパターン情報を含む露光ビームを形成する照明系ＩＬと、原板Ｒのパターン情報を含む露光ビームを感光剤が塗布された基板Ｗに投影する投影系ＰＬとを備える。基板Ｗへの露光ビームの投影により、基板Ｗ上の該感光剤に潜像パターンが形成される。基板ステージＷＳには、上記の実施形態で例示的に説明された位置決め装置が適用されうる。また、原板ステージＲＳにも上記の実施形態で例示的に説明された中空天板を備える位置決め装置が適用されうる。

次に、図１４及び図１５を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施形態を説明する。図１４は、デバイス（ＩＣやＬＳＩなどの半導体チップ、ＬＣＤ、ＣＣＤ等）の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。

ステップＳ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップＳ２（マスク製作）では設計した回路パターンに基づいてマスクを製作する。ステップＳ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップＳ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、マスクとウエハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。ステップＳ５（組み立て）は、後工程と呼ばれ、ステップＳ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の組み立て工程を含む。ステップＳ６（検査）では、ステップＳ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷（ステップＳ７）される。

図１５は、ステップ４のウエハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップＳ１１（酸化）では、ウエハの表面を酸化させる。ステップＳ１２（ＣＶＤ）では、ウエハの表面に絶縁膜を形成する。ステップＳ１４（イオン打ち込み）では、ウエハにイオンを打ち込む。ステップＳ１５（レジスト処理）では、ウエハに感光剤を塗布する。ステップＳ１６（露光）では、露光装置によってマスクの回路パターンをウエハ上の感光剤に投影して感光剤に潜像パターンを形成する。ステップＳ１７（現像）では、ウエハ上の感光剤に形成された潜像パターンを現像してパターン化されたレジストマスクを形成する。ステップＳ１８（エッチング）では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップＳ１９（レジスト剥離）では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによってウエハ上に多重に回路パターンが形成される。

本発明の第１実施形態の中空天板の構成を示す断面図である。 １に示す中空天板１を含む微動ステージを有するウエハステージ装置（位置決め装置）の概略構成を示す斜視図である。 本発明の第２実施形態の中空天板の構成を示す断面図である。 本発明の第３実施形態の中空天板の構成を示す断面図である。 本発明の第４実施形態の中空天板の構成を示す断面図である。 本発明の第５実施形態の中空天板の構成を示す断面図である。 本発明の第６実施形態のウエハステージ装置（位置決め装置）の構成を示す平面図および側面図である。 本発明の第６実施形態のウエハステージ装置の可動子の構成を示す横断面図である。 本発明の第６実施形態のウエハステージ装置の中空天板の分割斜視図である。 本発明の第６実施形態のウエハステージ装置の中空天板の部分的な拡大図である。 本発明の第６実施形態のウエハステージ装置の中空天板のリブの横断面図である。 ウエハステージの斜視図である。 微動ステージを上から見た平面図である。 微動固定プレートを上から見た平面図である。 天板を下から見た平面図である。 従来例におけるウエハステージの中空天板のリブ構造を示す断面図である。 本発明の好適な実施形態の露光装置の概略構成を示す図である。 デバイスの製造を説明するためのフローチャートである。 ステップ４のウエハプロセスの詳細なフローチャートである。

符号の説明

１,２１,３１,４１,５１,６１,７０１ 中空天板
６１１ 第１部材
６１１ａ 第１板部材
６１２ 第２部材
６１２ａ リブ構造体
６１２ｂ 第２板部材
Ｒ１，Ｒ２１，Ｒ３１，Ｒ４１１，Ｒ４１２，Ｒ５１，Ｒ６１１，Ｒ６１１ａ，Ｒ６１２，Ｒ７０１ リブ
Ｒ３１ａ，Ｒ４１１ａ，Ｒ４１２ａ，Ｒ５１ａ，Ｒ５１ｂ 肉厚部
Ｐ６１２ 埋金用柱状部
Ｆ６１１ フランジ部
Ｓ６１２ 側壁部材
Ｈ６１１，Ｈ６１２ ３ピン支持機構内蔵スペース
６０ 可動子
６２ チャック
６３ 駆動コイル群
６４ 固定子
６５ 永久磁石
６６ ３ピン支持機構
１３ プラテン
１０，７０ 微動ステージ
７０２ 微動固定プレート
７０３Ｘａ，７０３Ｙａ，７０３Ｚａ 微動リニアモータ固定子
７０３Ｘｂ，７０３Ｙｂ，７０３Ｚｂ 微動リニアモータ可動子
７０４ 磁性体板取付板
７０５ 磁性体板
７０６ 電磁石取付板
７０７ 電磁石
１２，７２ ＸＹスライダ
７３Ｘ Ｘビーム
７３Ｙ Ｙビーム
７４Ｘ，７４Ｘ' Ｘフット
７４Ｙ Ｙフット
７５ スライダ定盤
７６ Ｙガイド
７７Ｘ，７７Ｙ 粗動リニアモータ固定子
７８Ｘ Ｘ定盤
７８Ｙ Ｙ定盤
７９ ベース定盤
Ｌ リブ長手方向
ＣＰ１，ＣＰ２，ＣＰ３ 連結部
ＳＷ 側壁部材
Ｐ１ 第１板部材
Ｐ２ 第２板部材

Claims (18)

1. 対向して配置された第１、第２板部材と側壁部材とによって空間を取り囲んで構成される天板であって、
   前記空間に配置されたリブを備え、
   前記リブは、複数の連結部を含み、前記複数の連結部は、前記側壁部材又は前記空間内の部材にそれぞれ連結されていて、前記リブは、隣接する連結部の間における厚さが前記隣接する連結部における厚さよりも大きい、
   ことを特徴とする天板。
2. 前記空間内の部材は、第２リブである、ことを特徴とする請求項１に記載の天板。
3. 前記リブの厚さは、連続的に変化している、ことを特徴とする請求項１に記載の天板。
4. 前記リブは、隣接する連結部の間に肉厚部を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の天板。
5. 前記肉厚部は、柱形状を有する、ことを特徴とする請求項４に記載の天板。
6. 前記肉厚部の高さは、前記第１板部材と前記第２板部材との間の距離よりも小さい、ことを特徴とする請求項４に記載の天板。
7. 前記肉厚部は、埋金用柱状部を含み、前記第１板部材又は第２板部材は、前記埋金用柱状部にネジ締結されている、ことを特徴とする請求項４に記載の天板。
8. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の天板と、
   前記天板を駆動する駆動部と、
   を備えることを特徴とする位置決め装置。
9. 第１部材及び第２部材を含む天板であって、
   前記第１部材及び第２部材は、それぞれリブを有し、
   前記第１部材のリブ及び前記第２部材のリブの少なくとも一方が、厚さが拡大されたフランジ部を有し、前記フランジ部で前記第１部材のリブと前記第２部材のリブとが結合されている、
   ことを特徴とする天板。
10. 前記第２部材は、両側が開放された開放中空部材と、板部材とを結合して構成されている、ことを特徴とする請求項９に記載の天板。
11. 前記フランジは、前記第１部材のリブに形成されている、ことを特徴とする請求項１０に記載の天板。
12. ピン支持機構を内蔵していることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の天板。
13. 請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の天板と、
    前記天板を駆動する駆動部と、
    を備えることを特徴とする位置決め装置。
14. 第１部材及び第２部材を含む天板であって、
    前記第１部材及び第２部材は、それぞれリブを有し、
    前記第１部材のリブと前記第２部材のリブとが結合されている、
    ことを特徴とする天板。
15. 前記第２部材は、両側が開放された開放中空部材と、板部材とを結合して構成されている、ことを特徴とする請求項１４に記載の天板。
16. 請求項１４又は１５に記載の天板と、
    前記天板を駆動する駆動部と、
    を備えることを特徴とする位置決め装置。
17. 請求項８、１３及び１６のいずれか１項に記載の位置決め装置を備え、前記位置決め装置によって基板又は原板を位置決めすることを特徴とする露光装置。
18. 請求項１７に記載の露光装置によって基板上の感光剤に潜像パターンを形成する工程と、
    前記感光剤を現像する工程と、
    を含むことを特徴とするデバイス製造方法。

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