JP2007189777A - Driving device, electronic apparatus, and control method and program - Google Patents
Driving device, electronic apparatus, and control method and program Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007189777A JP2007189777A JP2006003807A JP2006003807A JP2007189777A JP 2007189777 A JP2007189777 A JP 2007189777A JP 2006003807 A JP2006003807 A JP 2006003807A JP 2006003807 A JP2006003807 A JP 2006003807A JP 2007189777 A JP2007189777 A JP 2007189777A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wave motor
- vibration
- drive
- vibration wave
- electro
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Accessories Of Cameras (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
Description
本発明は、電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧を印加することで振動体を励振させ、振動体に押圧された移動体に対し摩擦による駆動力を付与する駆動装置、電子機器、制御方法、及びプログラムに関する。 The present invention excites a vibrating body by applying an AC voltage to an electro-mechanical energy conversion element, and applies a driving force due to friction to a moving body pressed by the vibrating body, an electronic device, a control method, And programs.
従来、振動体に発生した振動により対象物を駆動する振動波モータ(超音波モータ)が開発され、実用化されている。振動波モータは、圧電素子などの電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧を印加することにより圧電素子に高周波振動を発生させ、その振動エネルギを連続的な機械運動として取り出すように構成されたモータである。 Conventionally, a vibration wave motor (ultrasonic motor) that drives an object by vibration generated in a vibrating body has been developed and put into practical use. A vibration wave motor is a motor configured to generate high-frequency vibrations in a piezoelectric element by applying an AC voltage to an electro-mechanical energy conversion element such as a piezoelectric element, and to extract the vibration energy as a continuous mechanical motion. is there.
図10は、従来例に係る振動波モータの構成例を示す断面図である。 FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a configuration example of a vibration wave motor according to a conventional example.
図10において、圧電素子群201は、2極に分極され、圧電素子が多重に積載され焼成されている。振動子202は、圧電素子群201に溶接され、圧電素子群201で発生した振動を増幅する。スライダ部材203は、ロータ204に固定され、バネケース205に保持された加圧バネ206により振動子202に加圧されている。回り止め213は、シャフト210に圧入されている。回り止め213とロータ204及びバネケース205は、係合され、ケース212に固定された軸受けA208と軸受けB209により回転可能に支持されている。フランジ211は、ケース212に固定され、振動波モータを固定する。
In FIG. 10, the
上記構成の振動波モータでは、振動子202の振動によりスライダ部材203が回転し、その回転力がスライダ部材203と一体に形成されたロータ204に連結された回り止め213に伝達され、更にシャフト210に伝達される。
In the vibration wave motor configured as described above, the
図11は、振動波モータに供給される駆動電圧の周波数と振動波モータの回転数との関係を示す図である。 FIG. 11 is a diagram illustrating the relationship between the frequency of the drive voltage supplied to the vibration wave motor and the rotation speed of the vibration wave motor.
図11において、振動波モータは図示のような特性を有するので、この特性を利用して振動波モータの回転数(回転速度)を制御する。即ち、振動波モータを起動する場合、通常、起動時の駆動電圧周波数を共振周波数frより十分高い周波数fsに設定する。周波数fsから徐々に周波数を下げていくと、周波数f1で振動波モータが動き出す。更に周波数を下げていくと、振動波モータの回転数は該当周波数に対応する回転数になるまで徐々に上がっていく。一方、振動波モータの回転数を検出し、検出された回転数が目標回転数Naに達したならば周波数の低下を停止する。振動波モータを停止する場合には、逆に周波数を徐々に上げていって回転数を下げ、滑らかに停止させる。 In FIG. 11, the vibration wave motor has characteristics as shown in the figure, and the number of rotations (rotation speed) of the vibration wave motor is controlled using this characteristic. That is, when starting the vibration wave motor, the drive voltage frequency at the time of starting is normally set to a frequency fs sufficiently higher than the resonance frequency fr. When the frequency is gradually lowered from the frequency fs, the vibration wave motor starts moving at the frequency f1. As the frequency is further lowered, the rotational speed of the vibration wave motor gradually increases until reaching the rotational speed corresponding to the corresponding frequency. On the other hand, the rotational speed of the vibration wave motor is detected, and if the detected rotational speed reaches the target rotational speed Na, the decrease in frequency is stopped. When stopping the vibration wave motor, on the contrary, the frequency is gradually increased to decrease the rotation speed and smoothly stop.
他方、振動波モータのモータ軸に連結された出力軸(駆動軸)の駆動力をギアを介して取り出し該駆動力を利用する装置において、使用者が手動で出力軸側から振動波モータを駆動する場合を考える。この場合は、振動波モータの起動トルク(保持トルク)が増大しているために、振動波モータのモータ軸に取り付けたギアが回転しづらくなる。その結果、モータ軸に取り付けたギアと該ギアに噛み合うギアとの間で、ギアの歯飛び(当該ギアの歯が相手側ギアの噛み合うべき歯の次の歯に飛ぶ現象)や歯面の欠けが発生するという問題がある。 On the other hand, in a device that takes out the drive force of the output shaft (drive shaft) connected to the motor shaft of the vibration wave motor via a gear and uses the drive force, the user manually drives the vibration wave motor from the output shaft side. Consider the case. In this case, since the starting torque (holding torque) of the vibration wave motor is increased, the gear attached to the motor shaft of the vibration wave motor is difficult to rotate. As a result, gear tooth skipping (a phenomenon in which the gear teeth fly to the tooth next to the tooth to be engaged with the other gear) or missing tooth surface between the gear attached to the motor shaft and the gear meshing with the gear. There is a problem that occurs.
上記問題を解決するため、振動波モータを外部から手動で駆動(マニュアル手動モードで駆動)する場合、振動子に定在波を発生させるように圧電素子に駆動電圧を印加し、振動波モータの保持トルクの低減を図る技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、上記図10に示した従来例に係る振動波モータが、湿度の低い環境下で放置された場合や連続的に使用された直後の場合、振動子202とスライダ部材203の間で摩擦面の結合力が強くなる。そのため、振動波モータを周波数fsで起動するときの起動トルクが大きくなってしまうという現象が生じる。
However, when the vibration wave motor according to the conventional example shown in FIG. 10 is left in a low humidity environment or immediately after being used continuously, a friction surface is formed between the
また、上記特許文献1に開示された技術では、振動波モータをマニュアル手動モードで駆動する場合、わざわざマニュアル手動モードに切替えてから振動波モータを動作させる必要がある。そのため、振動波モータの操作性及び利便性が悪いという問題がある。更に、定在波を常時発生することになるので、消費電力が大きくなってしまうという不具合がある。 In the technique disclosed in Patent Document 1, when the vibration wave motor is driven in the manual manual mode, the vibration wave motor needs to be operated after switching to the manual manual mode. Therefore, there exists a problem that the operativity and convenience of a vibration wave motor are bad. Furthermore, since a standing wave is always generated, there is a problem that power consumption increases.
本発明の目的は、振動波モータの保持トルクを低減させ、軽い操作で駆動対象部を回転させることで操作性を向上させることを可能とした駆動装置、電子機器、制御方法、及びプログラムを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a drive device, an electronic device, a control method, and a program capable of reducing the holding torque of the vibration wave motor and improving the operability by rotating the drive target portion with a light operation. There is to do.
上述の目的を達成するために、本発明の駆動装置は、電気−機械エネルギ変換素子と、前記電気−機械エネルギ変換素子に対する駆動信号の印加により振動が励起される振動体と、前記振動体に励起した振動により駆動される移動体とを有する振動波モータと、前記振動波モータの前記移動体と回転可能な駆動対象部との間に連結され、前記振動波モータの駆動力を前記駆動対象部に伝達する伝達機構と、前記駆動対象部の回転を検出する検出手段と、前記検出手段により前記駆動対象部の回転が検出された場合、前記振動体に対し定在波を発生させるように、前記電気−機械エネルギ変換素子に駆動信号を印加する制御手段と、を備えることを特徴とする。 In order to achieve the above-described object, a drive device according to the present invention includes an electro-mechanical energy conversion element, a vibration body that is excited by application of a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element, and the vibration body. A vibration wave motor having a moving body driven by excited vibration, and the movable body of the vibration wave motor is connected between the movable body and a rotatable drive target portion, and the driving force of the vibration wave motor is applied to the drive target. A transmission mechanism that transmits to the part, a detection unit that detects rotation of the drive target unit, and a rotation of the drive target unit detected by the detection unit so that a standing wave is generated for the vibrating body. And a control means for applying a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element.
上述の目的を達成するために、本発明の駆動装置は、電気−機械エネルギ変換素子と、前記電気−機械エネルギ変換素子に対する駆動信号の印加により振動が励起される振動体と、前記振動体に励起した振動により駆動される移動体とを有する振動波モータと、前記振動波モータの前記移動体と回転可能な駆動対象部との間に連結され、前記振動波モータの駆動力を前記駆動対象部に伝達する伝達機構と、前記駆動対象部の回転を検出する検出手段と、前記検出手段により前記駆動対象部の回転が検出された場合、前記振動体に対し進行波を発生させるように、前記電気−機械エネルギ変換素子に駆動信号を印加する制御手段と、を備えることを特徴とする。 In order to achieve the above-described object, a drive device according to the present invention includes an electro-mechanical energy conversion element, a vibration body that is excited by application of a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element, and the vibration body. A vibration wave motor having a moving body driven by excited vibration, and the movable body of the vibration wave motor is connected between the movable body and a rotatable drive target portion, and the driving force of the vibration wave motor is applied to the drive target. A transmission mechanism for transmitting to the part, a detection means for detecting the rotation of the drive target part, and when the rotation of the drive target part is detected by the detection means, so as to generate a traveling wave for the vibrating body, Control means for applying a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element.
本発明によれば、駆動対象部の回転を検出した場合、振動体に定在波を発生させる。また、駆動対象部の回転を検出した場合、振動体に進行波を発生させる。そのため、振動波モータが湿度の低い環境下に置かれた場合や連続的に使用された直後の場合でも、振動波モータの保持トルクを低減させることができる。これにより、使用者は軽い操作で駆動対象部を回転させることができ、操作性が向上すると共に、伝達機構の損傷等を防止することが可能となる。 According to the present invention, when the rotation of the drive target unit is detected, a standing wave is generated in the vibrating body. Further, when the rotation of the drive target unit is detected, a traveling wave is generated in the vibrating body. Therefore, even when the vibration wave motor is placed in a low humidity environment or immediately after being used continuously, the holding torque of the vibration wave motor can be reduced. As a result, the user can rotate the drive target unit with a light operation, and the operability can be improved and the transmission mechanism can be prevented from being damaged.
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[第1の実施の形態]
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る振動波モータを使用したパンチルトカメラのチルト駆動部の構成を示す斜視図である。図2は、パンチルト撮像装置のパン駆動部の構成を示す斜視図である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a tilt driving unit of a pan / tilt camera using the vibration wave motor according to the first embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view illustrating a configuration of a pan driving unit of the pan / tilt imaging apparatus.
図1及び図2において、パンチルトカメラ100は、ベース101、カメラ部102、チルト駆動用振動波モータ103、チルトモータピニオンギア104、チルトギア105、チルト部エンコーダセンサ106、チルト部エンコーダスケール107を備えている。更に、パンチルトカメラ100は、パン駆動用振動波モータ110、パンモータピニオンギア111、パンギア112、パン部エンコーダセンサ113、パン部エンコーダスケール114を備えている。
1 and 2, a pan /
パンチルトカメラ100は、ベース101上に配設されたカメラ部102がチルト方向(図中B1方向、B2方向)及びパン方向(図中D1方向、D2方向)に回動し、撮像動作を行う。パンユニット115は、カメラ部102と後述するチルト駆動部を有する。カメラ部102には、不図示のチルトモータ軸とパンモータ軸が装備されている。チルト駆動用振動波モータ(以下振動波モータ)103は、カメラ部102をチルト方向に回動させる駆動力を発生する。パン駆動用振動波モータ(以下振動波モータ)110は、カメラ部102をパン方向に回動させる駆動力を発生する。振動波モータ103、110の主要部の構成は図4に基づき後述する。
In the pan /
チルトモータピニオンギア(以下ピニオンギア)104は、振動波モータ103のモータ軸に固定されている。チルトギア105は、チルトモータ軸に取り付けられており、ピニオンギア104と噛み合っている。チルト部エンコーダスケール(以下エンコーダスケール)107は、スリット部(不図示)を備えると共にチルトモータ軸に取り付けられており、チルトギア105と共に、即ちカメラ部102の回転と共に矢印B1、B2方向に回転する。チルト部エンコーダセンサ(以下エンコーダセンサ)106は、エンコーダスケール107のスリット部を読み取ることで、エンコーダスケール107の回転位置を検出する。
A tilt motor pinion gear (hereinafter, pinion gear) 104 is fixed to the motor shaft of the
振動波モータ103が矢印A1方向(ベース面に平行な面内での回転方向)に回転すると、カメラ部102はピニオンギア104とチルトギア105のギア結合によって矢印B1方向(ベース面に垂直な面内での回転方向)に回転する。他方、振動波モータ103が矢印A2方向(ベース面に平行な面内での回転方向)に回転すると、カメラ部102はピニオンギア104とチルトギア105のギア結合によって矢印B2方向(ベース面に垂直な面内での回転方向)に回転する。
When the
ここで、使用者がカメラ部102を矢印B1方向もしくは矢印B2方向に手動で回動させようとすると、回転力がチルトギア105に伝達され、更にチルトギア105に噛み合っているピニオンギア104に伝達される。チルトギア105はピニオンギア104に対して減速されている構造を有するので、チルトギア105で発生する回転トルクは、ピニオンギア104軸上では減速比だけ分小さくなる。
Here, when the user tries to manually rotate the
使用者がカメラ部102を回転させるための最大力は、振動波モータ103の保持トルクに減速比を乗算したものになる。しかし、振動波モータ103が湿度の低い環境下で放置された場合や連続的に使用された直後の場合、振動波モータ103の保持トルクが大きくなるので、回転力も大きくなってしまう。また、チルトギア105とピニオンギア104との間で発生する駆動伝達力も大きくなるので、ギアの歯面の欠けや歯飛びが発生する可能性がある。前記問題を回避する方法については後述する。
The maximum force for the user to rotate the
パンモータピニオンギア(以下ピニオンギア)111は、振動波モータ110のモータ軸に固定されている。パンギア112は、パンモータ軸に取り付けられており、ピニオンギア111と噛み合っている。パン部エンコーダスケール(以下エンコーダスケール)114は、スリット部(不図示)を備えており、パンユニット115の回転と共に矢印D1、D2方向に回転する。パン部エンコーダセンサ(以下エンコーダセンサ)113は、エンコーダスケール114のスリット部を読み取ることで、エンコーダスケール114の回転位置を検出する。
A pan motor pinion gear (hereinafter, pinion gear) 111 is fixed to the motor shaft of the
振動波モータ110が矢印C1方向(ベース面に垂直な面内での回転方向)に回転すると、パンユニット115はピニオンギア111とパンギア112のギア結合によって矢印D1方向(ベース面に平行な面内での回転方向)に回転する。他方、振動波モータ110が矢印C2方向(ベース面に垂直な面内での回転方向)に回転すると、パンユニット115はピニオンギア111とパンギア112のギア結合によって矢印D2方向(ベース面に平行な面内での回転方向)に回転する。
When the
ここで、使用者がパンユニット115を矢印D1方向もしくは矢印D2方向に手動で回動させようとすると、回転力がパンギア112に伝達され、更にパンギア112に噛み合っているピニオンギア111に伝達される。パンギア112はピニオンギア111に対して減速されている構造を有するので、パンギア112で発生する回転トルクは、ピニオンギア111軸上では減速比分だけ小さくなる。
Here, when the user tries to manually rotate the
使用者がパンユニット115を回転させるための最大力は、振動波モータ110の保持トルクに減速比を乗算したものになる。しかし、振動波モータ110が湿度の低い環境下で放置された場合や連続的に使用された直後の場合、振動波モータ110の保持トルクが大きくなるので、回転力も大きくなってしまう。また、パンギア112とピニオンギア111との間で発生する駆動伝達力も大きくなるので、ギアの歯面の欠けや歯飛びが発生する可能性がある。前記問題を回避する方法については後述する。
The maximum force for the user to rotate the
図3は、振動波モータの駆動制御系の構成を示すブロック図である。 FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the drive control system of the vibration wave motor.
図3において、振動波モータの駆動制御系は、制御部20、比較器21、ゲイン制御回路22、電圧制御発振器23、駆動パルス発生器24、ドライバA25、ドライバB26、速度検出器28を備えている。尚、駆動制御系は振動波モータ103及び振動波モータ110のそれぞれに対応して2系統設けられているが、図3では便宜上1系統のみ図示している。
In FIG. 3, the drive control system of the vibration wave motor includes a
制御部20は、各部の制御を司ると共に振動波モータの目標回転数の設定を含む制御を行うコンピュータから構成されており、プログラムに基づき、図5(第1の実施の形態)、図8(第2の実施の形態)の各フローチャートに示す処理を実行する。比較器21は、制御部20により設定された目標回転数と、速度検出器28がエンコーダセンサ106(113)の読取値に基づき検出した振動波モータ103(110)の回転数(回転速度)とを比較し、その差分に応じた信号を出力する。ゲイン制御回路22は、比較器21の出力信号に基づきゲイン(積分ゲイン、比例ゲイン等)を制御する。
The
電圧制御発振器23は、ゲイン制御回路22の出力信号に基づきゲイン制御されたパルス信号(定在波)を発生する。駆動パルス発生器24は、振動波モータ103(110)の駆動相をA相、B相に振り分けるため駆動パルス信号を発生する。進行波の場合は、駆動パルス信号はA相とB相では90°位相がずれて生成される。ドライバA25は、A相の駆動パルス信号を正弦波信号に変換し、振動波モータの圧電素子に駆動電圧として出力する。ドライバB26は、B相の駆動パルス信号を正弦波信号に変換し、振動波モータの圧電素子に駆動電圧として出力する。電源27は、ドライバA25とドライバB26に電力を供給する。振動波モータのモータ軸からは回転出力が取り出される。
The voltage controlled
図4は、振動波モータの振動子とロータとの接触状態を示す断面図である。 FIG. 4 is a cross-sectional view showing a contact state between the vibrator and the rotor of the vibration wave motor.
図4において、振動波モータは、圧電素子(不図示)、振動子2(ステータ)、スライダ部材3、ロータ4(移動体)、バネケース5、加圧バネ6、軸受A8、軸受B9、シャフト10、回り止め部材13を備えている。振動波モータにおいては、電気−機械エネルギ変換素子である圧電素子に交流電圧を印加し、振動子2を励振させることでスライダ部材3及びロータ4を回転させることで、シャフト10を回転させる。
4, the vibration wave motor includes a piezoelectric element (not shown), a vibrator 2 (stator), a slider member 3, a rotor 4 (moving body), a
図4を基に、振動波モータが湿度の低い環境下で放置された場合や連続的に使用された直後の場合に振動波モータの保持トルクが大きくなってしまう理由について説明する。 Based on FIG. 4, the reason why the holding torque of the vibration wave motor becomes large when the vibration wave motor is left in a low humidity environment or immediately after being used continuously will be described.
スライダ部材3が、加圧バネ6により矢印f方向に振動子2に圧接されている状態で、水分が振動子2とスライダ部材3の接触個所Pに入り込むと、振動子2とスライダ部材3は滑りやすくなるので、振動波モータの保持トルクは小さくなる。逆に振動子2とスライダ部材3の接触箇所Pが乾燥した状態の場合、振動子2とスライダ部材3は滑りにくくなるので、振動波モータの保持トルクは大きくなってしまう。即ち、振動波モータが低湿の環境下に放置された場合や回転直後の場合、振動子2とスライダ部材3の接触箇所Pは乾燥した状態になり、振動波モータの保持トルクが大きくなってしまうのである。
When moisture enters the contact portion P between the
次に、本実施の形態のパンチルトカメラに搭載された振動波モータの上記問題を回避する方法について図5乃至図7を参照しながら説明する。 Next, a method for avoiding the above problem of the vibration wave motor mounted on the pan / tilt camera of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
図5は、本実施の形態の振動波モータの駆動制御手順を示すフローチャートである。 FIG. 5 is a flowchart showing a drive control procedure of the vibration wave motor of the present embodiment.
制御部20は、エンコーダセンサ106(113)によるエンコーダスケール107(114)のスリット部の読み取りに伴い、速度検出器28によりエンコーダパルスが検知されたかどうかをチェックする(ステップS1)。使用者が手動でカメラ部102或いはパンユニット115を回転させなければ、エンコーダパルスが検知されないため(ステップS1でNO)、そのまま待機状態となる。
As the encoder sensor 106 (113) reads the slit portion of the encoder scale 107 (114), the
使用者が手動でカメラ部102或いはパンユニット115を回転させた場合は、エンコーダパルスが検知されるため(ステップS1でYES)、制御部20は、電圧制御発振器23から定在波に対応したパルス信号を発生させる(ステップS2)。即ち、制御部20は、振動波モータの振動子2に定在波を発生させるように、ドライバA25、ドライバB26を介して圧電素子に駆動電圧を印加する。
Since the encoder pulse is detected when the user manually rotates the
次に、制御部20は、エンコーダセンサ106(113)からエンコーダパルスが続けて発生しているか否かを判断する(ステップS3)。エンコーダセンサ106(113)からエンコーダパルスが続けて発生している場合は(ステップS3でNO)、制御部20は、電圧制御発振器23から定在波に対応したパルス信号を発生し続ける。エンコーダセンサ106(113)からエンコーダパルスの入力がなくなれば(ステップS3でYES)、制御部20は、電圧制御発振器23からの定在波に対応したパルス信号の発生を停止させる(ステップS4)。
Next, the
図6は、振動波モータに供給される駆動電圧の周波数と振動波モータの回転数との関係を示す図である。 FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the frequency of the drive voltage supplied to the vibration wave motor and the rotation speed of the vibration wave motor.
図6において、横軸が振動波モータに供給される駆動電圧の周波数(f)を示し、縦軸が振動波モータの回転数(N)を示す。振動波モータを起動する際の起動周波数fsから左向きの矢印が、駆動電圧周波数を起動周波数fsから徐々に下げていく際の始動時周波数掃引を示す。共振周波数fr〜振動波モータが動作する最低限の周波数f1までの間が振動波モータの動作範囲となる。上記図5のステップS2で電圧制御発振器23から発生させる定在波は、起動周波数fsと同じ周波数で発生させる。即ち、起動周波数fsは定在波発生周波数となる。
In FIG. 6, the horizontal axis indicates the frequency (f) of the drive voltage supplied to the vibration wave motor, and the vertical axis indicates the rotation speed (N) of the vibration wave motor. An arrow pointing left from the starting frequency fs when starting the vibration wave motor indicates a frequency sweep at starting when the drive voltage frequency is gradually lowered from the starting frequency fs. The operating range of the vibration wave motor is from the resonance frequency fr to the minimum frequency f1 at which the vibration wave motor operates. The standing wave generated from the voltage controlled
図7は、電圧制御発振器23から出力される定在波を表すパルス信号を示す図である。
FIG. 7 is a diagram illustrating a pulse signal representing a standing wave output from the voltage controlled
図7において、エンコーダセンサ106(113)からエンコーダパルスが出力されると、エンコーダパルスの立ち上がりと同期して、電圧制御発振器23から定在波を表すパルス信号が駆動パルス発生器24を介しドライバA及びドライバBに同位相で入力される。
In FIG. 7, when an encoder pulse is output from the encoder sensor 106 (113), a pulse signal representing a standing wave is sent from the voltage controlled
通常、振動波モータを回転させるための駆動電圧の波形(進行波)は図9に示すようにドライバAとドライバBの波形が90°位相がずれている。これに対し、定在波の場合は、振動波モータを回転させないので、図7に示すようにドライバAとドライバBの位相は同位相となる。このように、振動子2に定在波を発生させるように圧電素子に駆動電圧を印加すると、図4において振動子2とスライダ部材3は微小に浮遊した状態になり、振動波モータの保持トルクが格段に低下する。
Normally, the waveform of the driving voltage (traveling wave) for rotating the vibration wave motor is 90 ° out of phase with the waveforms of the driver A and the driver B as shown in FIG. On the other hand, in the case of a standing wave, the vibration wave motor is not rotated, so that the phases of driver A and driver B are the same as shown in FIG. In this way, when a driving voltage is applied to the piezoelectric element so as to generate a standing wave in the
以上説明したように、本実施の形態によれば、振動波モータを図5のように駆動制御することにより、振動波モータが湿度の低い環境下で放置された場合や連続的に使用された直後の場合に振動波モータの保持トルクが大きくなった際にも対処することが可能となる。即ち、使用者が手動でカメラ部102或いはパンユニット115を回転させるのをエンコーダセンサ106(113)で検出し、振動子2に定在波を発生させるように圧電素子に駆動電圧を印加することで、振動波モータの保持トルクを格段に低減させることができる。
As described above, according to the present embodiment, the vibration wave motor is driven and controlled as shown in FIG. 5 so that the vibration wave motor is left in a low humidity environment or continuously used. It is possible to cope with the case where the holding torque of the vibration wave motor is increased immediately after. In other words, the encoder sensor 106 (113) detects that the user manually rotates the
これにより、使用者は軽い操作でカメラ部102或いはパンユニット115を回転させることができ、操作性が向上すると共に、ギアの歯飛びや歯面の欠けを防止することが可能となる。また、エンコーダセンサ106(113)からエンコーダパルスが出力されているときだけ定在波を発生させるので、常時定在波を発生させる場合と比較して省電力での振動波モータの駆動制御を実現することが可能となる。
As a result, the user can rotate the
[第2の実施の形態]
本発明の第2の実施の形態は、上述した第1の実施の形態に対して、振動波モータの駆動制御手順が図8に示す点において相違する。本実施の形態のその他の要素は、上述した第1の実施の形態(図1乃至図4)の対応するものと同一なので、説明を省略する。
[Second Embodiment]
The second embodiment of the present invention is different from the above-described first embodiment in that the drive control procedure of the vibration wave motor is shown in FIG. Since the other elements of the present embodiment are the same as the corresponding ones of the first embodiment (FIGS. 1 to 4) described above, description thereof is omitted.
次に、本実施の形態のパンチルトカメラに搭載された振動波モータの上記問題を回避する方法について図8及び図9を参照しながら説明する。 Next, a method for avoiding the above problem of the vibration wave motor mounted on the pan / tilt camera of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
図8は、本実施の形態の振動波モータの駆動制御手順を示すフローチャートである。 FIG. 8 is a flowchart showing the drive control procedure of the vibration wave motor of the present embodiment.
図8において、制御部20は、エンコーダセンサ106(113)によるエンコーダスケール107(114)のスリット部の読み取りに伴い、速度検出器28によりエンコーダパルスが検知されたかどうかをチェックする(ステップS10)。使用者が手動でカメラ部102或いはパンユニット115を回転させなければ、エンコーダパルスが検知されないため(ステップS10でNO)、そのまま待機状態となる。
In FIG. 8, the
使用者が手動でカメラ部102或いはパンユニット115を回転させた場合は、エンコーダパルスが検知されるため(ステップS10でYES)、制御部20は、エンコーダパルスに基づき回転方向を認識する(ステップS11)。次に、制御部20は、ステップS11で認識した回転方向にカメラ部102或いはパンユニット115が回転するように進行波に対応したパルス信号を発生する(ステップS12)。即ち、制御部20は、振動波モータの振動子2に進行波を発生させるように、ドライバA25、ドライバB26を介して圧電素子に駆動電圧を印加する。
When the user manually rotates the
次に、制御部20は、エンコーダセンサ106(113)からエンコーダパルスが続けて発生しているか否かを判断する(ステップS13)。エンコーダセンサ106(113)からエンコーダパルスが続けて発生している場合は(ステップS13でNO)、制御部20は、電圧制御発振器23から進行波に対応したパルス信号を発生し続ける。エンコーダセンサ106(113)からエンコーダパルスの入力がなくなれば(ステップS13でYES)、制御部20は、電圧制御発振器23からの進行波に対応したパルス信号の発生を停止させる(ステップS14)。
Next, the
ここで、進行波は、使用者が手動でカメラ部102或いはパンユニット115を回転させる際の操作の手助けをすることが目的であるため、振動波モータが動作する最低限の駆動周波数f1(図6参照)で進行波を発生させる。また、エンコーダセンサ106(113)から発生するエンコーダパルスに基づきエンコーダスケール107(114)の回転方向(チルト回転軸(パン回転軸)の回転方向)を検出し、振動子2に前記回転方向と同方向に進行波を発生させる。
Here, since the purpose of the traveling wave is to assist the user in manually operating the
図9は、電圧制御発振器23から出力される進行波を表すパルス信号を示す図である。
FIG. 9 is a diagram illustrating a pulse signal representing a traveling wave output from the voltage controlled
図9において、エンコーダセンサ106(113)からエンコーダパルスが出力されると、エンコーダパルスの立ち上がりと同期し、電圧制御発振器23から進行波が駆動パルス発生器24を介しドライバA及びドライバBに位相が90°ずれた状態で入力される。この場合、カメラ部102或いはパンユニット115の回転方向によりA相とB相の90°位相がずれる方向が異なる。
In FIG. 9, when an encoder pulse is output from the encoder sensor 106 (113), the phase of the traveling wave from the voltage controlled
以上説明したように、本実施の形態によれば、振動波モータを図8のように駆動制御することにより、振動波モータが湿度の低い環境下で放置された場合や連続的に使用された直後の場合に振動波モータの保持トルクが大きくなった際にも対処することが可能となる。即ち、使用者が手動でカメラ部102或いはパンユニット115を回転させるのをエンコーダセンサ106(113)で検出し、振動子2に進行波を発生させるように圧電素子に駆動電圧を印加する。
As described above, according to the present embodiment, the vibration wave motor is driven and controlled as shown in FIG. 8 so that the vibration wave motor is left in a low humidity environment or continuously used. It is possible to cope with the case where the holding torque of the vibration wave motor is increased immediately after. That is, the encoder sensor 106 (113) detects that the user manually rotates the
これにより、使用者は単にパンチルトカメラに触れるだけの操作で、カメラ部102或いはパンユニット115を回転させたい方向に回転させることができ、操作性が向上すると共に、ギアの歯飛びや歯面の欠けを防止することが可能となる。また、エンコーダセンサ106(113)からエンコーダパルスが出力されているときだけ進行波を発生させるので、常時進行波を発生させる場合と比較して省電力での振動波モータの駆動制御を実現することが可能となる。
Thus, the user can rotate the
[他の実施の形態]
上記第1及び第2の実施の形態では、振動波モータをパンチルトカメラに搭載し、振動波モータによりカメラ部を駆動する場合を例に挙げたが、本発明は、これに限定されるものではない。振動波モータを他の電子機器に搭載し、振動波モータにより当該電子機器の駆動対象部を駆動する場合にも適用することができる。
[Other embodiments]
In the first and second embodiments, the vibration wave motor is mounted on the pan / tilt camera and the camera unit is driven by the vibration wave motor. However, the present invention is not limited to this. Absent. The present invention can also be applied to a case where the vibration wave motor is mounted on another electronic device and the drive target portion of the electronic device is driven by the vibration wave motor.
また、本発明の目的は、前述した各実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記憶した記憶媒体を、システム或いは装置に供給し、そのシステム或いは装置のコンピュータ(またはCPUやMPU等)が記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出し実行することによっても達成される。 Another object of the present invention is to supply a storage medium storing software program codes for realizing the functions of the above-described embodiments to a system or apparatus, and the computer of the system or apparatus (or CPU, MPU, or the like). Is also achieved by reading and executing the program code stored in the storage medium.
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が前述した各実施の形態の機能を実現することになり、そのプログラムコード及び該プログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。 In this case, the program code itself read from the storage medium realizes the functions of the above-described embodiments, and the program code and the storage medium storing the program code constitute the present invention. .
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、フロッピー(登録商標)ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、CD−ROM、CD−R、CD−RW、DVD−ROM、DVD−RAM、DVD−RW、DVD+RW等の光ディスク、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、ROM等を用いることができる。または、プログラムコードをネットワークを介してダウンロードしてもよい。 Examples of the storage medium for supplying the program code include a floppy (registered trademark) disk, a hard disk, a magneto-optical disk, a CD-ROM, a CD-R, a CD-RW, a DVD-ROM, a DVD-RAM, and a DVD. An optical disc such as RW or DVD + RW, a magnetic tape, a nonvolatile memory card, a ROM, or the like can be used. Alternatively, the program code may be downloaded via a network.
また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、前述した各実施の形態の機能が実現されるだけではなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼動しているOS(オペレーティングシステム)等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。 Further, by executing the program code read by the computer, not only the functions of the above-described embodiments are realized, but also an OS (Operating System) running on the computer based on the instruction of the program code Includes a case where the functions of the above-described embodiments are realized by performing part or all of the actual processing.
さらに、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、次のプログラムコードの指示に基づき、その拡張機能を拡張ボードや拡張ユニットに備わるCPU等が実際の処理の一部または全部を行い、その処理によって前述した各実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。 Furthermore, after the program code read from the storage medium is written to the memory provided in the function expansion board inserted in the computer or the function expansion unit connected to the computer, the program code is expanded based on the instruction of the next program code. This includes the case where the CPU or the like provided in the expansion board or expansion unit performs some or all of the actual processing and the functions of the above-described embodiments are realized by the processing.
2 振動子(振動体)
4 ロータ(移動体)
10 シャフト
20 制御部(制御手段)
23 電圧制御発振器(制御手段)
25 ドライバA
26 ドライバB
100 パンチルトカメラ(撮像装置)
102 カメラ部(駆動対象部)
103 チルト駆動用振動波モータ(振動波モータ)
104 チルトモータピニオンギア(伝達機構)
105 チルトギア(伝達機構)
106 チルト部エンコーダセンサ(検出手段)
107 チルト部エンコーダスケール
110 パン駆動用振動波モータ(振動波モータ)
111 パンモータピニオンギア(伝達機構)
112 パンギア(伝達機構)
113 パン部エンコーダセンサ(検出手段)
114 パン部エンコーダスケール
115 パンユニット
2 vibrator (vibrating body)
4 Rotor (moving body)
10
23 Voltage controlled oscillator (control means)
25 Driver A
26 Driver B
100 Pan / tilt camera (imaging device)
102 Camera part (drive target part)
103 Tilt driving vibration wave motor (vibration wave motor)
104 Tilt motor pinion gear (transmission mechanism)
105 Tilt gear (transmission mechanism)
106 Tilt part encoder sensor (detection means)
107 Tilt
111 Pan motor pinion gear (transmission mechanism)
112 Pan gear (transmission mechanism)
113 Pan encoder sensor (detection means)
114
Claims (11)
前記振動波モータの前記移動体と回転可能な駆動対象部との間に連結され、前記振動波モータの駆動力を前記駆動対象部に伝達する伝達機構と、
前記駆動対象部の回転を検出する検出手段と、
前記検出手段により前記駆動対象部の回転が検出された場合、前記振動体に対し定在波を発生させるように、前記電気−機械エネルギ変換素子に駆動信号を印加する制御手段と、
を備えることを特徴とする駆動装置。 A vibration wave motor having an electro-mechanical energy conversion element, a vibrating body whose vibration is excited by application of a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element, and a moving body driven by the vibration excited by the vibrating body; ,
A transmission mechanism coupled between the movable body of the vibration wave motor and a rotatable drive target unit, and transmitting a driving force of the vibration wave motor to the drive target unit;
Detecting means for detecting rotation of the drive target part;
Control means for applying a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element so as to generate a standing wave for the vibrating body when rotation of the drive target is detected by the detection means;
A drive device comprising:
前記振動波モータの前記移動体と回転可能な駆動対象部との間に連結され、前記振動波モータの駆動力を前記駆動対象部に伝達する伝達機構と、
前記駆動対象部の回転を検出する検出手段と、
前記検出手段により前記駆動対象部の回転が検出された場合、前記振動体に対し進行波を発生させるように、前記電気−機械エネルギ変換素子に駆動信号を印加する制御手段と、
を備えることを特徴とする駆動装置。 A vibration wave motor comprising: an electro-mechanical energy conversion element; a vibration body whose vibration is excited by application of a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element; and a moving body driven by the vibration excited by the vibration body. ,
A transmission mechanism coupled between the movable body of the vibration wave motor and a rotatable drive target unit, and transmitting a driving force of the vibration wave motor to the drive target unit;
Detecting means for detecting rotation of the drive target part;
Control means for applying a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element so as to generate a traveling wave with respect to the vibrating body when rotation of the drive target portion is detected by the detection means;
A drive device comprising:
前記駆動対象部の回転を検出する検出ステップと、前記検出ステップにより前記駆動対象部の回転が検出された場合、前記振動体に対し定在波を発生させるように、前記電気−機械エネルギ変換素子に駆動信号を印加する制御ステップと、を備えることを特徴とする制御方法。 A vibration wave motor having an electro-mechanical energy conversion element, a vibrating body whose vibration is excited by application of a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element, and a moving body driven by the vibration excited by the vibrating body; A control method of a drive device comprising: a transmission mechanism connected between the movable body of the vibration wave motor and a rotatable drive target portion, and transmitting a driving force of the vibration wave motor to the drive target portion. There,
A detection step for detecting rotation of the drive target unit; and when the rotation of the drive target unit is detected by the detection step, the electro-mechanical energy conversion element is configured to generate a standing wave for the vibrating body. And a control step of applying a drive signal to the control method.
前記駆動対象部の回転を検出する検出ステップと、前記検出ステップにより前記駆動対象部の回転が検出された場合、前記振動体に対し進行波を発生させるように、前記電気−機械エネルギ変換素子に駆動信号を印加する制御ステップと、を備えることを特徴とする制御方法。 A vibration wave motor having an electro-mechanical energy conversion element, a vibrating body whose vibration is excited by application of a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element, and a moving body driven by the vibration excited by the vibrating body; A control method of a drive device comprising: a transmission mechanism connected between the movable body of the vibration wave motor and a rotatable drive target portion, and transmitting a driving force of the vibration wave motor to the drive target portion. There,
A detection step for detecting rotation of the drive target unit; and when the rotation of the drive target unit is detected by the detection step, the electro-mechanical energy conversion element is configured to generate a traveling wave for the vibrating body. And a control step of applying a drive signal.
前記駆動対象部の回転を検出する検出モジュールと、前記検出モジュールにより前記駆動対象部の回転が検出された場合、前記振動体に対し定在波を発生させるように、前記電気−機械エネルギ変換素子に駆動信号を印加する制御モジュールと、を備えることを特徴とするプログラム。 A vibration wave motor having an electro-mechanical energy conversion element, a vibrating body whose vibration is excited by application of a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element, and a moving body driven by the vibration excited by the vibrating body; A control method of a drive device comprising: a transmission mechanism connected between the movable body of the vibration wave motor and a rotatable drive target unit, and transmitting a driving force of the vibration wave motor to the drive target unit; A program to be executed by a computer,
A detection module for detecting the rotation of the drive target unit; and the electro-mechanical energy conversion element so as to generate a standing wave for the vibrator when the detection module detects the rotation of the drive target unit. And a control module for applying a drive signal to the program.
前記駆動対象部の回転を検出する検出モジュールと、前記検出モジュールにより前記駆動対象部の回転が検出された場合、前記振動体に対し進行波を発生させるように、前記電気−機械エネルギ変換素子に駆動信号を印加する制御モジュールと、を備えることを特徴とするプログラム。 A vibration wave motor having an electro-mechanical energy conversion element, a vibrating body whose vibration is excited by application of a drive signal to the electro-mechanical energy conversion element, and a moving body driven by the vibration excited by the vibrating body; A control method of a drive device comprising: a transmission mechanism connected between the movable body of the vibration wave motor and a rotatable drive target unit, and transmitting a driving force of the vibration wave motor to the drive target unit; A program to be executed by a computer,
A detection module that detects rotation of the drive target unit; and when the rotation of the drive target unit is detected by the detection module, the electro-mechanical energy conversion element is configured to generate a traveling wave to the vibrating body. And a control module for applying a drive signal.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006003807A JP4914068B2 (en) | 2006-01-11 | 2006-01-11 | DRIVE DEVICE, ELECTRONIC DEVICE, CONTROL METHOD, AND PROGRAM |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006003807A JP4914068B2 (en) | 2006-01-11 | 2006-01-11 | DRIVE DEVICE, ELECTRONIC DEVICE, CONTROL METHOD, AND PROGRAM |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007189777A true JP2007189777A (en) | 2007-07-26 |
JP4914068B2 JP4914068B2 (en) | 2012-04-11 |
Family
ID=38344567
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006003807A Expired - Fee Related JP4914068B2 (en) | 2006-01-11 | 2006-01-11 | DRIVE DEVICE, ELECTRONIC DEVICE, CONTROL METHOD, AND PROGRAM |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4914068B2 (en) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009145401A1 (en) * | 2008-05-26 | 2009-12-03 | Piezoelectric Technology Co., Ltd. | Pan/tilt apparatus |
JP2010075009A (en) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Canon Inc | Driver and method for controlling same, and electronic equipment |
WO2016048258A2 (en) | 2014-09-25 | 2016-03-31 | Kadir Koymen Film Yapimi Sinema Ekipmanlari Uretimi Ithalat Ve Ihracat Anonim Sirketi | A planar motion camera movement control system improvement |
JP2018205493A (en) * | 2017-06-02 | 2018-12-27 | キヤノン株式会社 | Rotation drive device |
JP2018205494A (en) * | 2017-06-02 | 2018-12-27 | キヤノン株式会社 | Rotation drive device |
CN109429000A (en) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 佳能株式会社 | Picture pick-up device |
JP2019045848A (en) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | キヤノン株式会社 | Imaging apparatus |
JP2020020699A (en) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 株式会社キーエンス | Three-dimensional coordinate measuring device |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0479775A (en) * | 1990-07-19 | 1992-03-13 | Nissan Motor Co Ltd | Ultrasonic motor device |
JP2002195487A (en) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Canon Inc | Pan head device |
-
2006
- 2006-01-11 JP JP2006003807A patent/JP4914068B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0479775A (en) * | 1990-07-19 | 1992-03-13 | Nissan Motor Co Ltd | Ultrasonic motor device |
JP2002195487A (en) * | 2000-12-27 | 2002-07-10 | Canon Inc | Pan head device |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009145401A1 (en) * | 2008-05-26 | 2009-12-03 | Piezoelectric Technology Co., Ltd. | Pan/tilt apparatus |
KR101023819B1 (en) | 2008-05-26 | 2011-03-22 | 주식회사 다림비젼 | Pan tilt device |
JP2010075009A (en) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Canon Inc | Driver and method for controlling same, and electronic equipment |
WO2016048258A2 (en) | 2014-09-25 | 2016-03-31 | Kadir Koymen Film Yapimi Sinema Ekipmanlari Uretimi Ithalat Ve Ihracat Anonim Sirketi | A planar motion camera movement control system improvement |
JP2018205493A (en) * | 2017-06-02 | 2018-12-27 | キヤノン株式会社 | Rotation drive device |
JP2018205494A (en) * | 2017-06-02 | 2018-12-27 | キヤノン株式会社 | Rotation drive device |
CN109429000A (en) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 佳能株式会社 | Picture pick-up device |
EP3451057A1 (en) * | 2017-08-31 | 2019-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup apparatus |
EP3451056A1 (en) * | 2017-08-31 | 2019-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Pant tilt image pickup apparatus |
JP2019045848A (en) * | 2017-08-31 | 2019-03-22 | キヤノン株式会社 | Imaging apparatus |
US10536616B2 (en) | 2017-08-31 | 2020-01-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup apparatus |
US10645265B2 (en) | 2017-08-31 | 2020-05-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup apparatus |
CN109429000B (en) * | 2017-08-31 | 2021-09-14 | 佳能株式会社 | Image pickup apparatus |
JP2020020699A (en) * | 2018-08-01 | 2020-02-06 | 株式会社キーエンス | Three-dimensional coordinate measuring device |
JP7257113B2 (en) | 2018-08-01 | 2023-04-13 | 株式会社キーエンス | Three-dimensional coordinate measuring device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4914068B2 (en) | 2012-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4914068B2 (en) | DRIVE DEVICE, ELECTRONIC DEVICE, CONTROL METHOD, AND PROGRAM | |
CN100438305C (en) | Control apparatus for vibration type actuator and control method thereof | |
JP3789017B2 (en) | Position control device | |
JP5384794B2 (en) | Driving method and driving apparatus of standing wave type ultrasonic actuator | |
JP2011055665A (en) | Vibration actuator driving device, lens barrel and optical device | |
JP5197267B2 (en) | Drive device, control method therefor, and electronic apparatus | |
JP2005027364A (en) | Controller and program | |
JP3382405B2 (en) | Vibration type motor device | |
JP2003021780A (en) | Camera apparatus | |
JPH11136967A (en) | Vibration type driving device and vibration type motor device | |
JP2008079396A (en) | Drive controller of vibration actuator, lens barrel and camera | |
JPH10225186A (en) | Motor driving method | |
US11496070B2 (en) | Driving apparatus that drives pan head apparatus, control method therefor, vibration-wave motor apparatus, and image pickup apparatus | |
JP2000245177A (en) | Equipment and method for driving oscillatory wave motor and storage medium | |
JP5874462B2 (en) | Drive unit for vibration actuator, lens barrel | |
JP5188055B2 (en) | DRIVE DEVICE, ITS CONTROL METHOD, AND PROGRAM | |
JP3382454B2 (en) | Drive control device for vibration wave drive device | |
JP2007074788A (en) | Driver and driving method of oscillatory actuator | |
JP5885380B2 (en) | Drive control device and drive control method for vibration wave drive device | |
JP2001359286A (en) | Vibration type actuator drive controller, fault detection/fixing method and recording medium | |
JP6593411B2 (en) | Vibration wave motor and optical equipment | |
JP2000188881A (en) | Device and method for driving oscillating actuator and storage medium | |
JP6221521B2 (en) | Vibration wave motor and optical equipment | |
JP2001320888A (en) | Apparatus and method for vibration wave motor drive control and memory medium | |
JPH10191661A (en) | Oscillating device and apparatus provided with it |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20070626 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110622 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110705 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110829 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120120 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |