JP2007172691A - 磁気記録媒体、スタンパー、記録再生装置およびパラメータ測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】表面平坦性の悪化や磁気的信号の読取り不良を招くことなく、全域においてヘッド浮上量を均一化し得る磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】データトラックパターンが凹凸パターン１１ｔによって形成されたデータトラックパターン領域Ａｔと、サーボパターンが凹凸パターン１１ｓによって形成されたサーボパターン領域Ａｓとが周方向において交互に並ぶように規定されると共に周方向において隣り合う２つのサーボパターン領域Ａｓ，Ａｓの間にデータトラックパターン領域Ａｔとは異なる別個の測定領域Ａｚ（所定領域）が規定され、測定領域Ａｚには、径方向に沿って連続的に形成された複数の凸部１１ａ（第１の凸部）を有する凹凸パターン１１ｚが形成されている。
【選択図】図５

Description

本発明は、データトラックパターンとサーボパターンとが凹凸パターンで形成された磁気記録媒体、および磁気記録媒体の凹凸パターンに対応するスタンパー側凹凸パターンが形成されたスタンパーに関するものである。また、磁気記録媒体、記録ヘッド、および再生ヘッドを有する記録再生装置、並びに、記録再生装置に搭載されている記録ヘッドおよび再生ヘッドについての所定のパラメータを測定するパラメータ測定方法に関するものである。

この種の磁気記録媒体を搭載し、記録ヘッドおよび再生ヘッドについての所定のパラメータを測定可能な記録再生装置として、オフセット量測定機能を有するハードディスクドライブ装置（磁気記録装置）が特開２００５−１６６１１５号公報に開示されている。このハードディスクドライブ装置は、ディスクリート領域における各トラック間に非磁性領域が形成されたディスクリートトラック型のハードディスク（磁気記録媒体）と、記録ヘッドおよび再生ヘッドを有する複合型の磁気ヘッドと、ハードディスク上における内周部および外周部の間において磁気ヘッドを移動させる駆動機構部と、ハードディスクドライブ装置を総括的に制御する制御部とを備えている。また、上記のハードディスクは、記録データを記録するためのディスクリート領域（データトラックパターン領域）と、サーボデータが記録されたサーボ領域（サーボパターン領域）との間に、オフセット量測定処理を実行するためのオフセット量測定領域が設けられている。この場合、オフセット量測定領域は、領域内に非磁性領域が形成されることなく、全域が磁性体で構成されている。

このハードディスクドライブ装置によるオフセット量の測定処理に際しては、記録データの記録が行われていないハードディスクにおけるオフセット量測定領域を初期化した状態において、オフセット量測定領域にオフセット量測定用の信号（測定パターン：以下、「測定用信号」ともいう）を書き込む。具体的には、例えば最内周のトラックに再生ヘッドをオントラックさせた状態において、記録ヘッドを介してオフセット量測定領域に測定用信号を書き込む。この際に、この種のハードディスクドライブ装置では、ハードディスクの内周または外周に磁気ヘッドを移動させたときに、記録ヘッドにおける幅方向の中心と再生ヘッドにおける幅方向の中心とを結んだ線分（一例として、アームの延在方向と平行な線分）に対してトラックの中心線が交差する状態（スキュー角が生じた状態）となる。したがって、再生ヘッドをオントラックさせたとき（再生ヘッドにおける幅方向の中心をトラックにおける幅方向の中心に一致させたとき）には、記録ヘッドにおける幅方向の中心がトラックの中心から外れて記録ヘッドがオフトラックした状態となる。このため、記録ヘッドのオフトラック量に応じた分だけトラックの中心線から外れた部位に測定用信号が記録される。

次いで、再生ヘッドを介して測定用信号を読み出すことにより、測定用信号が書き込まれた領域の径方向における中心、すなわち、測定用信号の書き込み時における記録ヘッドの幅方向における中心と一致していた位置を特定する。具体的には、再生ヘッドをハードディスクの径方向に所定量ずつ移動させつつ、オフセット量測定領域から測定用信号を読み出す。この際に、測定用信号の書込み領域に対して再生ヘッドが内周側または外周側に外れた状態では、読み出した測定用信号についての再生信号の振幅値が小さくなる。これに対して、測定用信号の書込み領域における径方向の中心と再生ヘッドにおける幅方向（径方向）の中心とが一致する状態では、読み出した測定用信号についての再生信号の振幅値が極大値なる。したがって、制御部は、測定用信号についての再生信号の振幅値が極大値となったときの再生ヘッドの中心位置を測定用信号が書き込まれた領域の径方向における中心として特定し、特定した中心と、測定用信号の書き込み時における再生ヘッドの中心（すなわち、トラックの中心）との間の距離を再生ヘッドに対する記録ヘッドのオフセット量として取り込み、この測定処理を終了する。
特開２００５−１６６１１５号公報（第７−１８頁、第１−２６図）

ところが、従来のハードディスクドライブ装置（記録再生装置）に搭載されたハードディスク（磁気記録媒体）には、以下の問題点がある。すなわち、従来の記録再生装置では、ディスクリート領域（データトラックパターン領域）およびサーボ領域（サーボパターン領域）の間にオフセット量測定領域を設けてオフセット量測定用の測定用信号を書き込む構成が採用されている。この場合、オフセット量測定領域は、測定用信号の書き込みを可能とするために、領域内に非磁性領域（凹部）が形成されることなく、全域が磁性体（凸部）で形成されている。このため、磁気ヘッドを磁気記録媒体上に配置した状態において、データトラックパターン領域およびサーボパターン領域上に磁気ヘッドが位置しているときと、オフセット量測定領域上に磁気ヘッドが位置しているときとでは、磁気ヘッドにおけるスライダの下方に存在する凸部の面積が大きく相違することとなる。この結果、従来の磁気記録媒体では、磁気ヘッドがデータトラックパターン領域やサーボパターン領域上に位置しているときとオフセット量測定領域上に位置しているときとにおいてスライダと磁気記録媒体との間に存在する空気の量が相違することに起因して、磁気記録媒体に対する磁気ヘッドのヘッド浮上量にばらつきが生じるという問題点がある。この結果、従来の記録再生装置では、安定した記録再生が困難となり、オフセット量等の測定確度が低下している。

一方、上記の問題を解決すべく、凹凸パターンの各凹部内に非磁性材料を埋め込んで磁気記録媒体の表面を平坦化する技術が提案されている（一例として、特開平９−９７４１９号公報）。この場合、この種の技術に従って磁気記録媒体を製造する際には、一例として、凹凸パターン形成面の全域を覆うようにして非磁性材料をスパッタリングした後に、サーボパターンを構成する凸部やデータ記録トラック等の突端面（上面）が露出するまで非磁性材料の層（以下、「非磁性層」ともいう）をドライエッチング処理して平坦化している。しかし、この方法に従って前述した磁気記録媒体の凹凸パターンにおける各凹部内に非磁性材料を埋め込んだ場合、非磁性層に対するドライエッチング処理に際して、その突端面が広い凸部（オフセット量測定領域に形成された凸部）の上に非磁性材料が大量に残留して（以下、凸部の上に残留した非磁性材料を「残渣」ともいう）、オフセット量測定領域が厚手の残渣によって覆われた状態となるおそれがある。

具体的には、出願人は、凹凸パターン形成面の全域を覆うようにして形成した非磁性層をドライエッチング処理して各凸部を露出させる際に、非磁性層の下方に存在する凸部の突端面が広いほど（周方向および径方向のいずれの長さも長い凸部ほど）、非磁性層に対するエッチングの進行が遅くなる現象を見出している。したがって、その突端面が比較的狭い凸部（径方向の長さが比較的短い凸部）が形成されているデータトラックパターン領域や、その突端面が比較的狭い凸部（周方向の長さが比較的短い凸部）が形成されているサーボパターン領域において各凸部の突端面が非磁性層から露出した時点においてドライエッチング処理を終了した場合には、突端面が広い凸部（径方向の長さが長く、しかも、周方向の長さも比較的長い凸部）が形成されているオフセット量測定領域に厚手の残渣が生じることとなる。この結果、磁気ディスクの表面平坦性が悪化する。一方、オフセット量測定領域において凸部上の残渣が完全に取り除かれるまでドライエッチング処理を継続した場合には、突端面が比較的狭い凸部が形成されているデータトラックパターン領域やサーボパターン領域において非磁性層のみならず磁性層（凸部）までもがエッチングされる。したがって、オフセット量測定領域において凸部上の残渣が完全に取り除かれるまでドライエッチング処理を継続した場合には、データトラックパターン領域やサーボパターン領域内の凹凸パターンにおける各凸部が過度にエッチングされて、磁気的信号の読み取りが困難となるおそれがある。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、表面平坦性の悪化や磁気的信号の読取り不良を招くことなく、全域においてヘッド浮上量を均一化し得る磁気記録媒体、その磁気記録媒体を製造するためのスタンパー、その磁気記録媒体を備えて記録ヘッドおよび再生ヘッドについての所定のパラメータを高精度に測定し得る記録再生装置およびパラメータ測定方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく本発明に係る磁気記録媒体は、データトラックパターンが凹凸パターンによって形成されたデータトラックパターン領域と、サーボパターンが凹凸パターンによって形成されたサーボパターン領域とが周方向において交互に並ぶように規定されると共に当該周方向において隣り合う２つの当該サーボパターン領域の間に当該データトラックパターン領域とは異なる別個の所定領域が規定され、前記所定領域には、径方向に沿って連続的に形成された複数の第１の凸部を有する凹凸パターンが形成されている。なお、本明細書における「径方向沿って連続的に形成されている」との状態には、周方向に対して直交する向きに沿って連続的に形成されている状態のみならず、径方向に対して鋭角に交差する向きに沿って連続的に形成されている状態が含まれる。

また、本発明に係る磁気記録媒体は、前記データトラックパターン領域と、当該データトラックパターン領域に対して前記周方向において隣り合う前記サーボパターン領域との間に前記所定領域が規定され、前記データトラックパターン領域、前記サーボパターン領域および前記所定領域が前記周方向において連続するように前記各凹凸パターンが形成されている。

さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、前記径方向において前記データトラックパターン領域よりも内周側および外周側の少なくとも一方に前記所定領域が規定されている。

また、本発明に係る磁気記録媒体は、その突端面における内接円（凸部の突端面における平面形状の内接円）のうちの最大径の内接円の直径が前記データトラックパターン領域内に形成された第２の凸部の突端面における内接円、および前記サーボパターン領域内に形成された第３の凸部の突端面における内接円のうちの最大径の内接円の直径以下となるように前記第１の凸部が形成されている。

また、本発明に係るスタンパーは、上記のいずれかの磁気記録媒体における前記各凹凸パターンに対応するスタンパー側凹凸パターンが形成されている。

また、本発明に係る記録再生装置は、データトラックパターンが凹凸パターンによって形成されたデータトラックパターン領域、サーボパターンが凹凸パターンによって形成されたサーボパターン領域、および当該両領域とは異なる別個の所定領域が規定された磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体に信号を書き込む記録ヘッドと、前記磁気記録媒体に書き込まれた信号を読み出す再生ヘッドと、前記記録ヘッドによる前記信号の書き込みおよび前記再生ヘッドによる前記信号の読み出しを制御すると共に前記磁気記録媒体に対する測定用信号の書き込みおよび読み出しを実行して当該両ヘッドについての所定のパラメータを測定する制御部とを備え、前記磁気記録媒体の前記所定領域には、径方向に沿って連続的に形成された複数の第１の凸部を有する凹凸パターンが形成され、前記制御部が、前記所定のパラメータを測定する際に、前記記録ヘッドを介して前記第１の凸部に前記測定用信号を書き込むと共に前記再生ヘッドを介して当該測定用信号を読み出し、その読出し結果に基づいて当該所定のパラメータを測定する。

さらに、本発明に係る記録再生装置は、前記所定のパラメータの測定として、前記記録ヘッドにおける前記磁気記録媒体の前記径方向に対応する長さの中心と前記再生ヘッドにおける当該径方向に対応する長さの中心との間の当該径方向に沿った離間距離を前記制御部が測定する。

また、本発明に係る記録再生装置は、前記所定のパラメータの測定として、前記記録ヘッドの磁気的書込み幅と前記再生ヘッドの磁気的読出し幅との少なくとも一方を前記制御部が測定する。

また、本発明に係るパラメータ測定方法は、データトラックパターンが凹凸パターンによって形成されたデータトラックパターン領域、サーボパターンが凹凸パターンによって形成されたサーボパターン領域、および当該両領域とは異なる別個の所定領域が規定され、かつ径方向に沿って連続的に形成された複数の第１の凸部を有する凹凸パターンが当該所定領域に形成されている磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体に信号を書き込む記録ヘッドと、前記磁気記録媒体に書き込まれた信号を読み出す再生ヘッドとを備えた記録再生装置における当該磁気記録媒体に対する測定用信号の書き込みおよび読み出しを実行して当該両ヘッドについての所定のパラメータを測定する際に、前記所定領域に形成された前記第１の凸部に前記記録ヘッドを介して前記測定用信号を書き込むと共に前記再生ヘッドを介して当該測定用信号を読み出し、その読出し結果に基づいて当該所定のパラメータを測定する。

本発明に係る磁気記録媒体によれば、周方向において隣り合う２つのサーボパターン領域の間にデータトラックパターン領域とは異なる別個の所定領域を規定し、径方向に沿って連続的に形成された複数の第１の凸部を有する凹凸パターンを所定領域内に形成したことにより、オフセット量測定領域の全域が凸部で構成された従来の磁気記録媒体とは異なり、所定領域内の各第１の凸部における周方向の長さが十分に短くなっているため、データトラックパターン領域、サーボパターン領域および所定領域の相互間においてヘッド浮上量に大きな差異が生じる事態を回避することができる。また、各凹凸パターンにおける各凹部内に非磁性材料を埋め込む構成においても、所定領域内に過剰に広い凸部が存在しないため、所定領域内の各第１の凸部の上に厚手の残渣が生じることなく、各第１の凸部の突端面（上面）を非磁性材料から露出させることができる。この結果、表面平坦性が良好な磁気記録媒体を提供することができる。また、この磁気記録媒体を記録再生装置に搭載することで、ヘッド浮上量のばらつきや表面平坦性の悪化を招くことなく記録ヘッドおよび再生ヘッドについての所定のパラメータを高精度で測定し得る記録再生装置を提供することができる。

また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、データトラックパターン領域と、データトラックパターン領域に対して周方向において隣り合うサーボパターン領域との間に所定領域を規定したことにより、所定領域によって分断されることなくデータトラックパターン領域やサーボパターン領域を周方向において連続するように形成することができる。

さらに、本発明に係る磁気記録媒体によれば、径方向においてデータトラックパターン領域よりも内周側および外周側の少なくとも一方に所定領域を規定したことにより、所定領域によって分断されることなくデータトラックパターン領域やサーボパターン領域を径方向において連続するように形成することができる。

また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、第１の凸部の突端面における内接円のうちの最大径の内接円の直径がデータトラックパターン領域内に形成された第２の凸部の突端面における内接円、およびサーボパターン領域内に形成された第３の凸部の突端面における内接円のうちの最大径の内接円の直径以下となるように第１の凸部を形成したことにより、データトラックパターン領域内の各第２の凸部、およびサーボパターン領域内の各第３の凸部の突端面における内接円のうちの最大径の内接円の直径を超える直径の内接円が存在し得る広い突端面を有する第１の凸部が所定領域内に存在しないため、所定領域内の凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、所定領域内に厚手の残渣が生じる事態を確実に回避することができる。これにより、表面平坦性が良好で、しかも、記録データやサーボデータ等の確実な読み取りが可能な磁気記録媒体を提供することができる。

また、本発明に係るスタンパーによれば、上記のいずれかの磁気記録媒体における各凹凸パターンに対応してスタンパー側凹凸パターンを形成したことにより、例えば、磁気記録媒体製造用の中間体の上に形成したレジスト層（樹脂層）に対するインプリント処理時に、突端面が広い凸部が所定領域内に存在しない凹凸パターンを中間体の上に形成することができる。したがって、インプリントによって形成した凹凸パターン、または、その凹凸パターンと凹凸位置関係が一致する凹凸パターンをマスクパターンとして用いて中間体に対するエッチング処理を実行することにより、突端面が広い凸部が所定領域等に存在しない凹凸パターンを形成することができる。したがって、データトラックパターン領域、サーボパターン領域および所定領域の相互間におけるヘッド浮上量がほぼ均一な磁気記録媒体を製造することができる。また、凹凸パターンにおける各凹部に非磁性材料を充填する構成であっても、スタンパーを用いて形成した凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、所定領域内の各第１の凸部上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、表面平坦性が良好で、しかも記録データやサーボデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体を製造することができる。

また、本発明に係る記録再生装置およびパラメータ測定方法によれば、径方向に沿って連続的に形成された複数の第１の凸部を有する凹凸パターンが形成された所定領域内の第１の凸部に記録ヘッドを介して測定用信号を書き込むと共に再生ヘッドを介して測定用信号を読み出し、その読出し結果に基づいて所定のパラメータを測定することにより、磁気記録媒体におけるヘッド浮上量を全域においてほぼ均一とすることができるため、測定用信号の記録不良や読み取り不良を招くことなく、所定のパラメータを高精度で測定することができる。

さらに、本発明に係る記録再生装置によれば、所定のパラメータの測定として、記録ヘッドの中心と再生ヘッドの中心との間の径方向に沿った離間距離を測定することにより、製造誤差や各部品の個体差などに起因して記録ヘッドおよび再生ヘッドの相互間の位置関係等が相違する各種の記録再生装置について、磁気記録媒体の内周部から外周部までの全域についての上記の離間距離（オフセット量）を正確に測定することができる結果、記録ヘッドおよび再生ヘッドの双方を磁気記録媒体上の各トラックに対して確実にオントラックさせることができる。

また、本発明に係る記録再生装置によれば、所定のパラメータの測定として、記録ヘッドの磁気的書込み幅と再生ヘッドの磁気的読出し幅との少なくとも一方を測定することにより、各記録再生装置に実際に搭載された磁気記録媒体と記録ヘッドおよび再生ヘッドとの組み合わせにおける磁気的書込み幅や磁気的読出し幅を正確に測定することができる。これにより、測定した磁気的書込み幅や磁気的読出し幅に基づいてトラッキングサーボ制御用の各種の制御パラメータを各記録再生装置毎に実機に合わせて微調整することができる。また、測定した磁気的書込み幅に基づく書き込み電流値の微調整や、測定した磁気的読出し幅に基づくゲイン調整などを実行することができる。したがって、磁気記録媒体の内周部から外周部までの全域について、記録データを確実に記録することができると共に、記録データやサーボデータを確実に読み出すことができる記録再生装置を提供することができる。

以下、添付図面を参照して、本発明に係る磁気記録媒体、スタンパー、記録再生装置およびパラメータ測定方法の最良の形態について説明する。

最初に、本発明に係る記録再生装置の構成について、図面を参照して説明する。

図１に示すハードディスクドライブ１は、本発明に係る記録再生装置の一例であって、磁気ヘッド２、アーム３、アクチュエータ４、コントローラ５、モータ６、制御部７、記憶部８および磁気ディスク１０を備えている。この場合、磁気ディスク１０は、垂直記録方式による記録データの記録が可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（パターンド媒体）であって、磁気ヘッド２などと共にハードディスクドライブ１の筐体内に配設されている。この磁気ディスク１０は、本発明に係る磁気記録媒体の一例であって、図３に示すように、軟磁性層２２、中間層２３および磁性層２４が基材２１の上にこの順で形成されている。この場合、磁性層２４は、少なくとも突端部側が磁性材料で形成された複数の凸部１１ａ（磁性領域）と、各凸部１１ａ間の複数の凹部１１ｂ（非磁性領域）とが形成されて凹凸パターン１１を構成する。また、各凹部１１ｂには、ＳｉＯ_２等の非磁性材料２５が埋め込まれて磁気ディスク１０の表面が平坦化されている。さらに、各凹部１１ｂに埋め込まれた非磁性材料２５、および磁性層２４（凸部１１ａ）の表面には、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等によって保護層（ＤＬＣ膜：図示せず）が形成されている。また、保護層の表面には、磁気ヘッド２および磁気ディスク１０の双方の傷付きを回避するための潤滑剤（一例として、フォンブリン系の潤滑剤：図示せず）が塗布されている。

基材２１は、一例として、ガラス板を表面研磨して円板状に形成されている。なお、ガラス基材に代えて、アルミニウムやセラミックなどの各種非磁性材料で形成した基材を使用することもできる。軟磁性層２２は、ＣｏＺｒＮｂ合金などの軟磁性材料をスパッタリングすることによって薄膜状に形成されている。中間層２３は、磁性層２４を形成するための下地層として機能する層であって、ＣｒやＣｏＣｒ非磁性合金などの中間層形成用材料をスパッタリングすることによって薄膜状に形成されている。磁性層２４は、前述したように、凹凸パターン１１（図５に示すデータトラックパターン用の凹凸パターン１１ｔ、サーボパターン用の凹凸パターン１１ｓ、およびパラメータ測定処理用の凹凸パターン１１ｚ）を構成する層であって、例えばＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングして形成した層（磁性層２４）の上に、図４に示すスタンパー３０を用いて所定のマスクパターンを形成し、そのマスクパターンを用いてエッチング処理することによって各凹部１１ｂが形成されている。

また、図２に示すように、磁気ディスク１０は、各データトラックパターン領域Ａｔの間にサーボパターン領域Ａｓが設けられてデータトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓが磁気ディスク１０の周方向（回転方向：矢印Ｔの向き）において交互に並ぶように規定されている。また、磁気ディスク１０には、周方向において隣り合う一対のサーボパターン領域Ａｓ，Ａｓの間に本発明における所定領域に相当する測定領域Ａｚが規定されている。具体的には、図５に示すように、この測定領域Ａｚは、一例として、データトラックパターン領域Ａｔ（この例では、同図における右側のデータトラックパターン領域Ａｔ）と、データトラックパターン領域Ａｔに対して周方向において隣り合うサーボパターン領域Ａｓ（この例では、同図における左側のサーボパターン領域Ａｓ）との間にデータトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓとは異なる別個の領域として規定されている。また、データトラックパターン領域Ａｔ、サーボパターン領域Ａｓおよび測定領域Ａｚは、周方向において連続するように規定されている。また、測定領域Ａｚには、磁気ディスク１０の径方向に沿って連続的に形成されて径方向に長い帯状の複数の凹部１１ｂと、径方向に沿って連続的に形成されて径方向に長い帯状の複数の凸部１１ａとを有する凹凸パターン１１ｚが形成されている。なお、同図、および後に参照する図８〜１４および図１６では、凸部１１ａの形成部位を斜線で塗り潰して図示している。また、同図および図１６では、本発明についての理解を容易とするために、磁気ディスク１０の内周部Ａｉや外周部Ａｏにおいて生じるスキュー角θが存在していない状態を概念的に図示している。この測定領域Ａｚ内に形成された各凸部１１ａは、本発明における第１の凸部に相当し、少なくともその突端部が磁性材料（磁性層２４）で形成されている。

この場合、測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａにおける径方向の長さは、磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの長さとほぼ等しくなるように規定されている。なお、測定領域Ａｚ内に形成する凸部１１ａの径方向の長さについては、上記の例に限定されるものではないが、本発明における第１の凸部として後述するように測定用信号を書き込む凸部１１ａは、オフセット量ＯＷの測定処理や、磁気的書込み幅ＭＷＷおよび磁気的読出し幅ＭＲＷの測定処理を確実に実行可能とするために、その径方向の長さが少なくとも２０トラックピッチ以上の長さであるのが好ましい。また、測定領域Ａｚ内に形成されている各凸部１１ａの周方向の長さは、内周部Ａｉから外周部Ａｏに向かって徐々に長くなるように規定されている。なお、この磁気ディスク１０では、１０〜３０本程度（一例として、３０本）の凸部１１ａが測定領域Ａｚ内に形成されている。さらに、測定領域Ａｚ内に形成されている各凹部１１ｂは、その径方向の長さが凸部１１ａの径方向の長さとほぼ等しく、かつ、その周方向の長さが同一半径位置における各凸部１１ａの周方向の長さとほぼ等しくなるように形成されている。

一方、図５に示すように、データトラックパターン領域Ａｔには、所定の配列ピッチで互いに分割された同心円状の数多くのデータ記録用トラックを構成する複数の凸部１１ａと、ガードバンド部を構成する複数の凹部１１ｂとを有する凹凸パターン１１（凹凸パターン１１ｔ）が形成されている。この場合、データトラックパターン領域Ａｔに形成されている各凸部１１ａは、本発明における第２の凸部に相当し、少なくともその突端部が磁性材料（磁性層２４）で形成され、磁気ディスク１０の周方向（回転方向）に沿って連続的に形成されて周方向に長い帯状に形成されている。また、データトラックパターン領域Ａｔ内の各凸部１１ａおよび各凹部１１ｂは、一例として、その径方向の長さが互いにほぼ等しくなるように規定されると共に、凸部１１ａの形成ピッチ（すなわち、データ記録トラックのトラックピッチ）や、径方向の長さ（すなわち、データ記録トラックやガードバンド部の径方向の長さ）が磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全域において互いにほぼ等しくなるように形成されている。

また、サーボパターン領域Ａｓには、トラッキングサーボ制御用の各種サーボパターンを構成する複数の凸部１１ａおよび複数の凹部１１ｂを有する凹凸パターン１１ｓが形成されている。このサーボパターン領域Ａｓ内には、凹凸パターン１１ｓによってプリアンブルパターンが形成されたプリアンブルパターン領域Ａｐと、凹凸パターン１１ｓによってアドレスパターンが形成されたアドレスパターン形成領域と（図示せず）、凹凸パターン１１ｓによってバーストパターンが形成されたバーストパターン領域Ａｂとが規定されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂ内には、バーストパターンにおける各信号領域に対応する領域Ａｂ１〜Ａｂ４の４つの領域（同図では領域Ａｂ１，Ａｂ４のみを図示する）が規定されている。この場合、このハードディスクドライブ１では、磁気ディスク１０を角速度一定で回転させた状態においてサーボパターン領域Ａｓからトラッキングサーボ制御用のサーボ信号が読み取られる。このため、図２に示すように、この磁気ディスク１０では、サーボパターン領域Ａｓの周方向の長さが内周部Ａｉから外周部Ａｏに向かって徐々に長くなるように規定され、これに伴い、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域およびバーストパターン領域Ａｂ等の各領域における周方向の長さも内周部Ａｉから外周部Ａｏに向かって徐々に長くなるように規定されている。

また、サーボパターン領域Ａｓにおけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成されている各凸部１１ａは、少なくともその突端部が磁性材料（磁性層２４）で形成され、磁気ディスク１０の径方向に沿って連続的に形成されて径方向に長い帯状に形成されている。さらに、サーボパターン領域Ａｓにおけるアドレスパターン形成領域には、上記のプリアンブルパターン領域Ａｐ内に形成された各凸部１１ａと同様にして、少なくともその突端部が磁性材料（磁性層２４）で形成されている（図示せず）。また、サーボパターン領域Ａｓにおけるバーストパターン領域Ａｂの各領域Ａｂ１〜Ａｂ４に形成されている各凸部１１ａは、バーストパターンにおける単位バースト領域を構成する凸部であって、少なくともその突端部が磁性材料（磁性層２４）で形成され、一例として、その径方向の長さが１トラックピッチに対応する長さで、その周方向の長さがプリアンブルパターン領域Ａｐ内の各凸部１１ａにおける同一半径位置の周方向の長さとほぼ等しくなるように形成されている。この磁気ディスク１０では、サーボパターン領域Ａｓ内に形成された各凸部１１ａは、それぞれ本発明における第３の凸部に相当する。

この場合、図５に示すように、上記の測定領域Ａｚ内に形成された各凸部１１ａは、その突端面における周方向の両端部に２点で接する内接円Ｑｚの直径が、データトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓ内に形成された各凸部１１ａの突端面における内接円のうちの最大径の内接円の直径以下となるように（一例として、最大径の内接円の直径と等しくなるように）形成されている。具体的には、データトラックパターン領域Ａｔでは、各凸部１１ａの径方向の長さが磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏまで互いに等しくなるように凹凸パターン１１ｔが形成されている。したがって、データトラックパターン領域Ａｔ内の内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの各凸部１１ａのうちの任意の１つの凸部１１ａにおける突端面の内接円Ｑｔがデータトラックパターン領域Ａｔ内の各凸部１１ａの突端面における内接円のうちの最大径の内接円となっている。

また、サーボパターン領域Ａｓにおけるプリアンブルパターン領域Ａｐやバーストパターン領域Ａｂでは、凸部１１ａの周方向の長さが磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏに向かうほど長くなるように凹凸パターン１１ｓが形成されている。したがって、この磁気ディスク１０では、プリアンブルパターン領域Ａｐ内の凸部１１ａにおける外周部Ａｏ側の突端面の内接円Ｑｐがプリアンブルパターン領域Ａｐ内における最大径の内接円であり、バーストパターン領域Ａｂ内の外周部Ａｏ側の凸部１１ａにおける突端面の内接円Ｑｂがバーストパターン領域Ａｂ内における最大径の内接円となっている。また、この磁気ディスク１０では、バーストパターン領域Ａｂ内の各凸部１１ａの周方向の長さが一例として同一半径位置のプリアンブルパターン領域Ａｐ内の凸部１１ａにおける周方向の長さと等しくなるように凹凸パターン１１ｓが形成されている。したがって、プリアンブルパターン領域Ａｐ内の凸部１１ａにおける最大径の内接円Ｑｐと、バーストパターン領域Ａｂ内の最大径の内接円Ｑｂとは、その直径が互いに等しくなっている。この場合、この磁気ディスク１０では、一例として、これらの内接円Ｑｐ，Ｑｂの直径がサーボパターン領域Ａｓ内の各凸部１１ａの突端面における内接円のうちの最大径となっている。なお、例えば、アドレスパターン領域におけるセクタアドレスパターン領域（図示せず）等に、その周方向の長さがプリアンブルパターン領域Ａｐ内の凸部１１ａよりも長い凸部１１ａが形成されている場合には、この周方向の長さが長い凸部１１ａにおける外周側の突端面の内接円が内接円Ｑｐ，Ｑｂよりも大径となり、この内接円（図示せず）がサーボパターン領域Ａｓ内における最大径の内接円となる。以下の説明では、本発明についての理解を容易とするために、上記のように、上記の内接円Ｑｐ，Ｑｂがサーボパターン領域Ａｓ内の最大径の内接円であるものとする。

これに対して、測定領域Ａｚ内の凸部１１ａは、一例として、その周方向の長さおよび径方向の長さがサーボパターン領域Ａｓにおけるプリアンブルパターン領域Ａｐ内の凸部１１ａの対応する長さと等しくなるように形成されている。また、上記の内接円Ｑｐ，Ｑｂの直径は、データトラックパターン領域Ａｔ内の最大径の内接円Ｑｔの直径よりも大径となっている。したがって、測定領域Ａｚ内の凸部１１ａの突端面における最大径の内接円Ｑｚ（この例では、測定領域Ａｚ内における凸部１１ａの外周部Ａｏ側の突端面における内接円）は、その直径が、プリアンブルパターン領域Ａｐ内の最大径の内接円Ｑｐ、すなわち、データトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓ内の各内接円のうちの最大径の内接円Ｑｐ，Ｑｂの直径と等しくなっている。

一方、図２に示すように、磁気ヘッド２は、記録ヘッド２ｗと再生ヘッド２ｒとがスライダー２ｓの底面に配設された複合型の磁気ヘッドであって、アーム３を介してアクチュエータ４に取り付けられている。この場合、この磁気ヘッド２では、一例として、スライダー２ｓにおける先端部側に記録ヘッド２ｗが設けられると共に、スライダー２ｓにおける基端部側（アーム３側）に再生ヘッド２ｒが設けられている。また、この磁気ヘッド２では、図６に示すように、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒ（径方向に対応する長さの中心：シーク動作方向に沿った長さの中心）に対して、記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗ（径方向に対応する長さの中心：シーク動作方向に沿った長さの中心）が距離Ｌ１だけ離間するように再生ヘッド２ｒおよび記録ヘッド２ｗが形成されている。なお、同図、および後に参照する図７，９〜１４では、本発明についての理解を容易とするために、再生ヘッド２ｒおよび記録ヘッド２ｗにおける各部の長さや、再生ヘッド２ｒおよび記録ヘッド２ｗ間の距離などを実際とは相違する長さや距離で図示している。また、同図に示す一点鎖線Ｘは、アーム３の延在方向、すなわち、アクチュエータ４における回動軸が存在する方向を示す仮想線であって、以下の説明においては、磁気ヘッド２における各部の長さのうちの一点鎖線Ｘと交差する向きの長さを幅ともいう。さらに、本明細書では、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒと記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗとの間のアーム３の延在方向（一点鎖線Ｘ）に沿った向きの距離Ｌ１については、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒを基点とし、かつアーム３の基端部から先端部に向かう向き（矢印Ａの向き）の距離を「＋の距離」とする。

この場合、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒと記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗとが磁気ヘッド２の幅方向において離間することなく、両中心Ｃｒ，Ｃｗが例えば一点鎖線Ｘ上に位置するように再生ヘッド２ｒおよび記録ヘッド２ｗが形成されているのが好ましい。しかしながら、この種の磁気ヘッドでは、その製造誤差に起因して、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒと記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗとが磁気ヘッド２の幅方向において距離Ｌ２だけ離間した状態となることがある。なお、本明細書では、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒと記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗとの間の幅方向の距離Ｌ２については、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒを基点とし、かつ磁気ヘッド２を磁気ディスク１０上に配置した状態において磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏに向かう向き（矢印Ｂの向き）の距離を「＋の距離」とする。一方、単一の回転軸（アクチュエータ４）を中心として磁気ヘッド２（アーム３）がシーク動作するハードディスクドライブ１では、例えば、磁気ディスク１０の内周部Ａｉや外周部Ａｏに磁気ヘッド２が位置させられたときに、同図に示すように、磁気ヘッド２の位置に応じた角度のスキュー角θが生じる。なお、同図、および後に参照する図９〜１１では、本発明についての理解を容易とするために、スキュー角θを実際の角度とは相違する角度で図示している。また、本明細書では、上記のスキュー角θについては、矢印Ｃで示す向きの角度、すなわち、トラック中心Ｃｔと平行な線分を基準として外周部Ａｏ側に生じた角度を「＋の角度」とし、内周部Ａｉ側に生じた角度を「−の角度」とする。

この場合、前述したように、記録ヘッド２ｗが再生ヘッド２ｒに対して距離Ｌ１だけ離間しているため、図６に示すように、スキュー角θが生じている状態では、例えば、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒをトラック中心Ｃｔに一致させたとき（再生ヘッド２ｒをオントラックさせたとき）に、記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗがトラック中心Ｃｔから離れた位置に位置する（記録ヘッド２ｗがオフトラックする）こととなる。この記録ヘッド２ｗのオフトラック量、すなわち、スキュー角θが生じた状態における再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒと記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗとの間の径方向に沿った離間距離（距離Ｌ３）は、スキュー角θの大きさに応じて相違する。具体的には、「距離Ｌ３＝距離Ｌ１×ｓｉｎθ＋距離Ｌ２×ｃｏｓθ」となる。したがって、再生ヘッド２ｒによるサーボデータおよび記録データの読み出し時と、記録ヘッド２ｗによる記録データの記録時との双方において、再生ヘッド２ｒおよび記録ヘッド２ｗを所望のトラックにオントラックさせるようにトラッキング制御するには、磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全域において、上記の距離Ｌ３、すなわち、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒと記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗとのオフセット量ＯＷ（本発明における所定のパラメータの一例）を測定し、その測定結果を各トラックに関連付けてオフセットデータＤｏとして記憶しておく必要がある。なお、本明細書では、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒと記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗとの間のオフセット量ＯＷについては、再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒを基点とし、かつ磁気ディスク１０の半径方向において内周部Ａｉから外周部Ａｏに向かう向き（矢印Ｄの向き）の距離を「＋の距離」とする。

また、図７に示すように、この磁気ヘッド２では、記録ヘッド２ｗが再生ヘッド２ｒよりも幅広となるように形成されている。したがって、この磁気ヘッド２では、再生ヘッド２ｒによる磁気的読出し幅ＭＲＷよりも記録ヘッド２ｗによる磁気的書込み幅ＭＷＷの方が幅広となっている。この場合、磁気ディスク１０の全域において、再生ヘッド２ｒによるサーボデータおよび記録データの確実な読み出しと、記録ヘッド２ｗによる記録データの確実な記録を行うためには、上記の磁気的書込み幅ＭＷＷおよび磁気的読出し幅ＭＲＷ（本発明における所定のパラメータの他の一例）を測定し、その測定結果を書込み幅データＤｗおよび読出し幅データＤｒとして記憶し、記憶した両データＤｗ，Ｄｒに基づいてトラッキングサーボ制御用の各種の制御パラメータを実機に合わせて微調整するのが好ましい。このため、このハードディスクドライブ１では、後述するように、その内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全域について上記のオフセット量ＯＷを測定する測定処理を実行して各トラック毎のオフセットデータＤｏを記憶部８に記憶させると共に、例えば中周部Ａｃ（図２参照）において磁気的書込み幅ＭＷＷおよび磁気的読出し幅ＭＲＷを測定する測定処理を実行して書込み幅データＤｗおよび読出し幅データＤｒを記憶部８に記憶させるように構成されている。

一方、アクチュエータ４は、コントローラ５の制御に従ってアーム３を図２に示す矢印Ｓの方向に回動（シーク）させる。コントローラ５は、制御部７の制御に従い、アクチュエータ４を制御してアーム３を回動させることにより、磁気ヘッド２を磁気ディスク１０上の所望のトラックにオントラックさせる。モータ６は、制御部７の制御に従い、一例として、磁気ディスク１０を５４００ｒｐｍの回転速度で定速回転させる。制御部７は、ハードディスクドライブ１を総括的に制御する。具体的には、制御部７は、コントローラ５を制御してアクチュエータ４を駆動させることで磁気ヘッド２を磁気ディスク１０上の所望のトラックにオントラックさせると共に、記録ヘッド２ｗによる記録データの書き込みや、再生ヘッド２ｒよるサーボデータおよび記録データの読み出しを制御する。また、制御部７は、本発明におけるパラメータ測定方法に従い、オフセット量ＯＷ、磁気的書込み幅ＭＷＷおよび磁気的読出し幅ＭＲＷを測定する測定処理を実行する。記憶部８は、制御部７が実行する上記の各測定処理についての測定処理プログラムＤｐを記憶すると共に、各測定処理によって生成したオフセットデータＤｏ、書込み幅データＤｗおよび読出し幅データＤｒ等を記憶する。

次に、磁気ディスク１０の製造方法について、図面を参照して説明する。

上記の磁気ディスク１０の製造に際しては、図８に示す中間体２０と図４に示すスタンパー３０とを使用する。この場合、同図に示すように、中間体２０は、軟磁性層２２、中間層２３、および磁性層２４が基材２１の上にこの順で形成されている。また、磁気ディスク１０の製造に際しては、前述したマスクパターンを形成すべく、中間体２０における磁性層２４の上にレジストを塗布することで所望の厚みのレジスト層（樹脂層）２６を形成する。一方、図４に示すように、スタンパー３０は、磁気ディスク１０における凹凸パターン１１（凹凸パターン１１ｔ，１１ｓ，１１ｚ）に対応する凹凸パターン３１が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０の製造が可能に構成されている。この場合、スタンパー３０の凹凸パターン３１は、本発明におけるスタンパー側凹凸パターンの一例であって、各凸部３１ａが磁気ディスク１０の凹凸パターン１１における各凹部１１ｂに対応し、各凹部３１ｂが凹凸パターン１１における各凸部１１ａに対応して形成されている。なお、中間体２０の製造方法やスタンパー３０の製造方法については、公知の各種の製造方法を採用することができる。

この中間体２０およびスタンパー３０を用いた磁気ディスク１０の製造に際しては、図８に示すように、まず、中間体２０のレジスト層２６にスタンパー３０の凹凸パターン３１をインプリント法によって転写する。具体的には、スタンパー３０における凹凸パターン３１の形成面を中間体２０のレジスト層２６に押し付けることにより、凹凸パターン３１の各凸部３１ａを中間体２０のレジスト層２６に押し込む。この際には、各凸部３１ａが押し込まれた部位のレジスト（レジスト層２６）が凹凸パターン３１における各凹部３１ｂ内に向けて移動する。この後、中間体２０からスタンパー３０を剥離し、さらに、底面に残存する樹脂（図示せず）を酸素プラズマ処理によって除去することにより、同図に示すように、中間体２０における磁性層２４の上にレジスト層２６からなる凹凸パターン４１が形成される。次いで、上記の凹凸パターン４１（レジスト層２６）をマスクとして用いてエッチング処理を実行する。この際には、凹凸パターン４１における各凹部４１ｂの底部においてマスク（各凸部４１ａ）から露出している磁性層２４をエッチングすることにより、同図に破線で示すように中間層２３に達する深さの複数の凹部１１ｂを形成する。これにより、凹凸パターン１１が中間層２３の上（磁性層２４）に形成される。

続いて、各凸部１１ａの上に残存しているレジスト層２６に対して選択的にエッチング処理を行うことにより、残存しているレジスト層２６を完全に除去して各凸部１１ａの突端面を露出させる。次いで、非磁性材料２５としてのＳｉＯ_２をスパッタリングする。この際には、非磁性材料２５によって各凹部１１ｂが完全に埋め尽くされ、かつ、各凸部１１ａの上に十分な厚みの非磁性材料２５の層が形成されるように非磁性材料２５をスパッタリングする。続いて、磁性層２４の上（各凸部１１ａの上および各凹部１１ｂの上）の非磁性材料２５の層に対してイオンビームエッチング処理を実行する。この際には、中間体２０における外周側（後に磁気ディスク１０の外周部Ａｏとなる部位）のプリアンブルパターン領域Ａｐや測定領域Ａｚにおいて各凸部１１ａの突端面が非磁性材料２５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続する。

この場合、この磁気ディスク１０（中間体２０）では、前述したように、データトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓ内の各内接円のうちの最大径の内接円Ｑｐ，Ｑｂの直径を超える内接円が測定領域Ａｚ内に存在しないように（突端面が過剰に広い凸部１１ａが存在しないように）各凹部１１ｂが測定領域Ａｚ内に形成されて凹凸パターン１１ｚが形成されている。したがって、オフセット量測定領域の全域が凸部で構成された従来の磁気記録媒体とは異なり、測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａの上に厚手の残渣が生じることなく、各凸部１１ａの突端面（上面）が非磁性材料２５から露出する。これにより、非磁性材料２５の層に対するイオンビームエッチング処理が完了して中間体２０の表面が平坦化される。続いて、中間体２０の表面を覆うようにしてＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を成膜することによって保護層形成した後に、保護層の表面にフォンブリン系の潤滑剤を塗布する。これにより、図３に示すように、磁気ディスク１０が完成する。

次いで、ハードディスクドライブ１によるオフセット量ＯＷの測定処理について、図面を参照して説明する。なお、ハードディスクドライブ１に搭載されている磁気ディスク１０は、ハードディスクドライブ１の筐体（図示せず）に組み込まれる以前に、各データトラックパターン領域Ａｔ、各サーボパターン領域Ａｓおよび各測定領域Ａｚの全域がＤＣ着磁されているものとする。

このハードディスクドライブ１では、例えば、電源が供給されている状態において外部装置から測定処理開始を指示する制御信号が出力されたときに、制御部７が、オフセット量ＯＷを測定する測定処理を開始する。この際に、制御部７は、まず、コントローラ５を制御して磁気ヘッド２を磁気ディスク１０の内周部Ａｉに移動させると共に、磁気ヘッド２を外周部Ａｏに向けて移動させつつ、各データトラックパターン領域Ａｔ内のすべての凸部１１ａ、および各測定領域Ａｚ内のすべての凸部１１ａに対するＡＣイレース処理を実行する。具体的には、データトラックパターン領域Ａｔ内の各データ記録トラックに対する記録データの記録時に用いる信号の周波数よりも高い周波数の信号をデータトラックパターン領域Ａｔ内のすべての凸部１１ａ、および各測定領域Ａｚ内のすべての凸部１１ａに対して記録ヘッド２ｗを介して書き込ませる。これにより、各データトラックパターン領域Ａｔについての初期化処理が完了すると共に、各測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａに対する測定用信号の書き込みが可能な状態となる。

次いで、図９に示すように、制御部７は、コントローラ５を制御して再生ヘッド２ｒを測定対象のトラック（一例として、外周部Ａｏ側の所定のトラック）にオントラックさせた状態において（再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒをトラック中心Ｃｔに一致させた状態において）、上記のイレース処理が完了した測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａに対してオフセット量測定用の測定用信号を書き込む。具体的には、測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａに対して記録ヘッド２ｗを介してＤＣ着磁処理を実行する。この場合、前述したように、磁気ディスク１０における内周部Ａｉや外周部Ａｏにおいてスキュー角θが生じている状態では、再生ヘッド２ｒをオントラックさせた状態において記録ヘッド２ｗが距離Ｌ３だけオフトラックした状態となる。したがって、同図に示すように、記録ヘッド２ｗを介してオフセット量測定用の測定用信号を書き込んだ際には（ＤＣ着磁処理した際には）、測定用信号が書き込まれた（ＤＣ着磁された）領域Ａｗにおける径方向の中心がトラック中心Ｃｔから外れた状態となる。

続いて、制御部７は、測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａに書き込んだ測定用信号を読み出し、その読み出し結果に基づいて上記のオフセット量ＯＷを測定する。具体的には、制御部７は、コントローラ５を制御して再生ヘッド２ｒを予め規定された測定位置（測定対象のトラック中心Ｃｔに対して所定量だけ径方向にオフセットした位置）に移動させた状態において、各測定領域Ａｚから上記の測定用信号を読み出させる。この際に、測定用信号の書き込みによって測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａにおける周方向全域がＤＣ着磁されているため、再生ヘッド２ｒを介して測定領域Ａｚから読み出された再生信号は、プリアンブルパターン領域Ａｐからプリアンブル用の信号を読み出したときと同様にして、測定領域Ａｚ内の凸部１１ａの形成ピッチに応じたパルス波形となる。次いで、制御部７は、再生ヘッド２ｒを予め規定された所定量（一例として、１トラックピッチの１／２０程度の長さ）だけ径方向に移動させた状態において、各測定領域Ａｚから上記の測定用信号を読み出させる。

この場合、図１０，１１に示すように、ＤＣ着磁されている領域Ａｗに対して再生ヘッド２ｒが幅方向において殆ど重なる状態では、測定領域Ａｚから読み出した再生信号の振幅値が比較的大きくなる（大きな出力値の再生信号が得られる）。これに対して、再生ヘッド２ｒの幅方向の一部のみが領域Ａｗと重なる状態（図示せず）では、測定領域Ａｚから読み出した再生信号の振幅値が小さくなる。このため、再生ヘッド２ｒを移動させる都度、再生信号の振幅値を取り込んで比較することにより、領域Ａｗに対して再生ヘッド２ｒが殆ど重なった状態の再生ヘッド２ｒの位置を特定でき、これにより、領域Ａｗの径方向の長さを特定することができる。したがって、特定した結果に基づいて領域Ａｗの径方向における中心、すなわち、測定用信号を書き込んだ際の記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗに対応する位置を特定することができる。具体的には、制御部７は、再生ヘッド２ｒを介して読み出した再生信号の振幅値が極大値となる再生ヘッド２ｒのヘッド位置、または、振幅値が極大値の再生信号が読み出される再生ヘッド２ｒの移動範囲の中心を領域Ａｗの径方向における中心として特定する。次いで、制御部７は、特定した中心と、その領域Ａｗに対して測定用信号を書き込んだ際に再生ヘッド２ｒをオントラックさせたトラックのトラック中心Ｃｔとの間の距離をオフセット量ＯＷとして演算し、演算結果をそのトラックについてのオフセットデータＤｏとして記憶部８に記憶させる。

この後、制御部７は、磁気ディスク１０の外周部Ａｏから内周部Ａｉまでの全域に対して数百トラックおきに、上記の測定用信号の書き込み処理、測定用信号の読み出し処理、およびオフセット量ＯＷの演算処理を順次実行する。また、磁気ディスク１０の全域に対する数百トラックおきの上記の各処理が完了したときには、制御部７は、演算結果（記憶部８に記憶させた各オフセットデータＤｏ）に基づき、測定用信号の書き込みおよび読み出し等の各処理を実行していないトラックについてのオフセット量ＯＷを補間処理によって求める。これにより、記憶部８には、磁気ディスク１０の全域についてのオフセットデータＤｏが各トラックに対応して記憶される。

次いで、ハードディスクドライブ１によるヘッド幅の測定処理について、図面を参照して説明する。

制御部７は、上記のオフセット量ＯＷについての測定処理が完了した際に、前述した磁気的書込み幅ＭＷＷおよび磁気的読出し幅ＭＲＷの測定処理を開始する。この測定処理では、制御部７は、まず、上記のオフセット量ＯＷの測定処理時に測定用信号を書き込んだ各測定領域Ａｚ内における各凸部１１ａに対して磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏの全域に亘ってＡＣイレース処理を実行する。次いで、図１２に示すように、例えば、磁気ディスク１０における中周部Ａｃの所定のトラックに記録ヘッド２ｗをオントラックさせた状態において（記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗをトラック中心Ｃｔに一致させた状態において）、各測定領域Ａｚ内における各凸部１１ａに対してヘッド幅測定用の測定用信号を書き込む（ＤＣ着磁処理する）。

次いで、制御部７は、測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａに書き込んだ測定用信号を読み出し、その読み出し結果に基づいて上記の磁気的書込み幅ＭＷＷを取り込む。具体的には、制御部７は、コントローラ５を制御して再生ヘッド２ｒを予め規定された測定位置（測定対象のトラック中心Ｃｔに対して所定量だけ径方向に移動させた位置）に移動させた状態において、各測定領域Ａｚから上記の測定用信号を読み出させる。次いで、制御部７は、再生ヘッド２ｒを予め規定された所定量（一例として、１トラックピッチの１／２０程度の長さ）だけ径方向に移動させた後に、各測定領域Ａｚから上記の測定用信号を読み出させる。この際に、前述したオフセット量ＯＷの測定処理時と同様にして、測定用信号の書き込みによってＤＣ着磁された領域Ａｗ１に対して再生ヘッド２ｒが幅方向において殆ど重なる状態では、測定領域Ａｚから読み出した再生信号の振幅値が比較的大きくなる（大きな出力値の再生信号が得られる）。これに対して、再生ヘッド２ｒの幅方向の一部のみが領域Ａｗ１と重なる状態では、測定領域Ａｚから読み出した再生信号の振幅値が小さくなる。

したがって、再生ヘッド２ｒを移動させる都度、再生信号の振幅値を取り込んで比較することにより、その振幅値と読み出される再生ヘッド２ｒのヘッド位置とに基づき、領域Ａｗ１の径方向における長さ、すなわち、磁気的書込み幅ＭＷＷを演算することができる。具体的には、一例として、再生ヘッド２ｒのヘッド位置と振幅値とのプロファイルにおける極大値の半値幅を磁気的書込み幅ＭＷＷとする。次いで、制御部７は、演算した磁気的書込み幅ＭＷＷを書込み幅データＤｗとして記憶部８に記憶させる。以上で、磁気的書込み幅ＭＷＷの測定処理が完了する。なお、磁気ディスク１０の中周部Ａｃにおいて磁気的書込み幅ＭＷＷの測定処理を実行する構成について説明したが、磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全域、または、中周部Ａｃ以外のいずれか一部の領域において上記の測定処理を実行する構成を採用することもできる。この際に、前述したオフセット量ＯＷについての測定処理と同様にして、数百トラックおきに磁気的書込み幅ＭＷＷの測定処理を実行すると共に、測定処理を実行していないトラックについての磁気的書込み幅ＭＷＷを補間処理によって求める構成を採用することもできる。

次いで、制御部７は、磁気的読出し幅ＭＲＷの測定処理を開始する。この磁気的読出し幅ＭＲＷの測定処理に際しては、図１３に示すように、制御部７は、まず、磁気的書込み幅ＭＷＷの測定処理時に測定用信号を書き込んだ（ＤＣ着磁処理した）各凸部１１ａの領域Ａｗ１に対して、その径方向における内周側の１／３の領域Ａｅと、径方向における外周側の１／３の領域ＡｅとをＡＣイレース処理することで、領域Ａｗ１の径方向に沿った長さ（この例では、磁気的書込み幅ＭＷＷ）に対して径方向の幅Ｗが１／３の長さの領域Ａｗ２のみがＤＣ着磁された状態にする（測定しようとしている磁気的読出し幅ＭＲＷよりも、領域Ａｗ２における径方向の幅Ｗの方が狭くなるようにする）。次いで、制御部７は、再生ヘッド２ｒを径方向に移動させつつ、各領域Ａｗ２から再生ヘッド２ｒを介して測定用信号を読み出し、その読み出し結果に基づいて上記の磁気的読出し幅ＭＲＷを取り込む。この場合、図１４に示すように、ＤＣ着磁されている領域Ａｗ２における径方向の全域が再生ヘッド２ｒにおける磁気的読出し幅ＭＲＷの範囲内に位置している状態では、測定領域Ａｚから読み出した再生信号の振幅値が比較的大きくなる（大きな出力値の再生信号が得られる）。これに対して、ＤＣ着磁されている領域Ａｗ２における径方向の一部のみが再生ヘッド２ｒにおける磁気的読出し幅ＭＲＷの範囲内に位置している状態では、測定領域Ａｚから読み出した再生信号の振幅値が小さくなる。

したがって、再生ヘッド２ｒを移動させる都度、再生信号の振幅値を取り込んで比較することにより、その振幅値と読み出される再生ヘッド２ｒのヘッド位置とに基づき、再生ヘッド２ｒの磁気的読出し幅ＭＲＷを演算することができる。具体的には、一例として、再生ヘッド２ｒのヘッド位置と振幅値とのプロファイルにおける極大値の半値幅を磁気的読出し幅ＭＲＷとする。次いで、制御部７は、演算した磁気的読出し幅ＭＲＷを読出し幅データＤｒとして記憶部８に記憶させる。なお、磁気ディスク１０の中周部Ａｃにおいて磁気的読出し幅ＭＲＷの測定処理を実行する構成のみならず、磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全域、または、中周部Ａｃ以外のいずれか一部の領域において上記の測定処理を実行する構成を採用することもできる。この際に、前述したオフセット量ＯＷについての測定処理と同様にして、数百トラックおきに磁気的読出し幅ＭＲＷの測定処理を実行すると共に、測定処理を実行していないトラックについての磁気的読出し幅ＭＲＷを補間処理によって求める構成を採用することもできる。以上で、磁気的読出し幅ＭＲＷの測定処理が完了する。

このように、この磁気ディスク１０によれば、周方向において隣り合う２つのサーボパターン領域Ａｓ，Ａｓの間にデータトラックパターン領域Ａｔとは異なる別個の測定領域Ａｚ（所定領域）を規定し、径方向に沿って連続的に形成された複数の凸部１１ａ（第１の凸部）を有する凹凸パターン１１ｚを測定領域Ａｚ内に形成したことにより、オフセット量測定領域の全域が凸部で構成された従来の磁気記録媒体とは異なり、測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａにおける周方向の長さが十分に短くなっているため、データトラックパターン領域Ａｔ、サーボパターン領域Ａｓおよび測定領域Ａｚの相互間においてヘッド浮上量に大きな差異が生じる事態を回避することができる。また、各凹部１１ｂ内に非磁性材料２５を埋め込む構成においても、測定領域Ａｚ内に過剰に広い凸部１１ａが存在しないため、測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａの上に厚手の残渣が生じることなく、各凸部１１ａの突端面（上面）を非磁性材料２５から露出させることができる。この結果、表面平坦性が良好な磁気ディスク１０を提供することができる。また、この磁気ディスク１０をハードディスクドライブ１に搭載することで、ヘッド浮上量のばらつきや表面平坦性の悪化を招くことなく記録ヘッド２ｗおよび再生ヘッド２ｒについての所定のパラメータを高精度で測定し得るハードディスクドライブ１を提供することができる。

また、この磁気ディスク１０によれば、データトラックパターン領域Ａｔと、データトラックパターン領域Ａｔに対して周方向において隣り合うサーボパターン領域Ａｓとの間に測定領域Ａｚ（所定領域）を規定したことにより、測定領域Ａｚによって分断されることなくデータトラックパターン領域Ａｔやサーボパターン領域Ａｓを周方向において連続するように形成することができる。

さらに、この磁気ディスク１０によれば、第１の凸部（凹凸パターン１１ｚにおける各凸部１１ａ）の突端面における内接円のうちの最大径の内接円Ｑｚの直径がデータトラックパターン領域Ａｔ内に形成された第２の凸部（凹凸パターン１１ｔにおける各凸部１１ａ）の突端面における内接円、およびサーボパターン領域Ａｓ内に形成された第３の凸部（凹凸パターン１１ｓにおける各凸部１１ａ）の突端面における内接円のうちの最大径の内接円Ｑｐ，Ｑｂの直径以下（この例では、等しく）となるように第１の凸部を測定領域Ａｚ内に形成したことにより、データトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓ内の各凸部１１ａの突端面における内接円のうちの最大径の内接円（この例では、内接円Ｑｐ，Ｑｂ）の直径を超える直径の内接円が存在し得る広い突端面を有する凸部１１ａが測定領域Ａｚ内に存在しないため、測定領域Ａｚ内の凹凸パターン１１ｚを覆うようにして形成した非磁性材料２５の層をエッチング処理する際に、測定領域Ａｚ内に厚手の残渣が生じる事態を確実に回避することができる。これにより、表面平坦性が良好で、しかも、記録データやサーボデータ等の確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０を提供することができる。

また、この磁気ディスク１０を製造するためのスタンパー３０によれば、上記の磁気ディスク１０における各凹凸パターン１１（凹凸パターン１１ｔ，１１ｓ，１１ｚ）に対応するスタンパー側凹凸パターン（凹凸パターン３１）を形成したことにより、中間体２０上に形成したレジスト層２６に対するインプリント処理時に、突端面が広い凸部４１ａが測定領域Ａｚ内に存在しない凹凸パターン４１を形成することができる。したがって、この凹凸パターン４１、または、凹凸パターン４１と凹凸位置関係が一致する凹凸パターンをマスクパターンとして用いて中間体２０に対するエッチング処理を実行することにより、突端面が広い凸部１１ａが測定領域Ａｚ等に存在しない凹凸パターン１１を形成することができる。したがって、データトラックパターン領域Ａｔ、サーボパターン領域Ａｓおよび測定領域Ａｚの相互間におけるヘッド浮上量がほぼ均一な磁気ディスク１０を製造することができる。また、凹凸パターン１１における各凹部１１ｂに非磁性材料２５を充填する構成であっても、スタンパー３０を用いて形成した凹凸パターン１１を覆うようにして形成した非磁性材料２５の層をエッチング処理する際に、測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａ上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、表面平坦性が良好で、しかも記録データやサーボデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０を製造することができる。

また、このハードディスクドライブ１、およびハードディスクドライブ１におけるパラメータ測定方法によれば、径方向に沿って連続的に形成された凹部１１ｂを挟んで周方向において並ぶ複数の第１の凸部（凹凸パターン１１ｚにおける各凸部１１ａ）を有する凹凸パターン１１ｚが形成された測定領域Ａｚ（所定領域）内の第１の凸部に記録ヘッド２ｗを介して測定用信号を書き込むと共に再生ヘッド２ｒを介して測定用信号を読み出し、その読出し結果に基づいて本発明における所定のパラメータを測定することにより、磁気ディスク１０におけるヘッド浮上量を全域においてほぼ均一とすることができるため、測定用信号の記録不良や読み取り不良を招くことなく、所定のパラメータを高精度で測定することができる。

さらに、このハードディスクドライブ１によれば、本発明における所定のパラメータの測定として、記録ヘッド２ｗの中心Ｃｗと再生ヘッド２ｒの中心Ｃｒとの間の径方向に沿った離間距離（オフセット量ＯＷ）を測定することにより、製造誤差や各部品の個体差などに起因して記録ヘッド２ｗおよび再生ヘッド２ｒの相互間の位置関係等が相違する各ハードディスクドライブ１について、磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全域についてのオフセット量ＯＷを正確に測定することができる結果、記録ヘッド２ｗおよび再生ヘッド２ｒの双方を各トラックに対して確実にオントラックさせることができる。

また、このハードディスクドライブ１によれば、本発明における所定のパラメータの測定として、記録ヘッド２ｗの磁気的書込み幅ＭＷＷと再生ヘッド２ｒの磁気的読出し幅ＭＲＷとを測定することにより、各ハードディスクドライブ１に実際に搭載された磁気ディスク１０と磁気ヘッド２（記録ヘッド２ｗおよび再生ヘッド２ｒ）とを組み合わせた状態における磁気的書込み幅ＭＷＷや磁気的読出し幅ＭＲＷを正確に測定することができる。これにより、測定した磁気的書込み幅ＭＷＷや磁気的読出し幅ＭＲＷに基づいてトラッキングサーボ制御用の各種の制御パラメータを各ハードディスクドライブ１毎に実機に合わせて微調整することができる。また、測定した磁気的書込み幅ＭＷＷに基づく書き込み電流値の微調整や、測定した磁気的読出し幅ＭＲＷに基づくゲイン調整などを実行することができる。したがって、磁気ディスク１０の内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全域について、記録データを確実に記録することができると共に、記録データやサーボデータを確実に読み出すことができるハードディスクドライブ１を提供することができる。

なお、本発明は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、その径方向の長さが測定領域Ａｚの径方向の長さと等しい複数の凸部を測定領域Ａｚ（所定領域）内において周方向に並べて形成した磁気ディスク１０について説明したが、一例として、その周方向の長さが測定領域Ａｚの周方向の長さと等しい長さであって、その径方向の長さが数十トラック程度の凸部１１ａ（径方向に連続して形成された凸部の他の一例）を測定領域Ａｚ（所定領域）内において径方向に並べて形成した構成を採用することもできる。また、周方向において隣り合うデータトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓの間に測定領域Ａｚを規定した磁気ディスク１０について説明したが、本発明における所定領域を規定する位置はこれに限定されない。例えば、データトラックパターン領域Ａｔを磁気ディスクの回転方向（周方向）において２分割して、上流側のデータトラックパターン領域と下流側のデータトラックパターン領域との間に測定領域Ａｚを規定する構成や、サーボパターン領域Ａｓを磁気ディスクの回転方向（周方向）において２分割して、上流側のサーボパターン領域と下流側のサーボパターン領域との間に測定領域Ａｚを規定する構成を採用することができる。また、周方向において交互に並ぶすべてのデータトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓの間に測定領域Ａｚをそれぞれ規定した磁気ディスク１０について説明したが、本発明における磁気記録媒体に規定する所定領域（上記の例における測定領域Ａｚ）の数はこれに限定されず、磁気記録媒体の１回転当たりに１つ以上の任意の数の所定領域（測定領域Ａｚ）を規定することができる。

さらに、磁気ディスク１０における内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全域について数百トラックおきにオフセット量ＯＷを測定してオフセットデータＤｏを求めると共に、残りのトラックについては、補間処理によってオフセットデータＤｏを求める構成について説明したが、本発明はこれに限定されず、磁気ディスク１０における内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全トラックに対して上記の測定処理を実行する構成を採用することができる。同様にして、磁気的書込み幅ＭＷＷおよび磁気的読出し幅ＭＲＷの測定処理についても、磁気ディスク１０における中周部Ａｃのみ、または、磁気ディスク１０における内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全域について数百トラックおきに測定する構成のみならず、磁気ディスク１０における内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの全トラックに対して上記の測定処理を実行する構成を採用することができる。

加えて、本発明における所定のパラメータを測定する処理を所定トラックおきに実行する構成を採用する場合には、１トラックおき以上の任意のトラック数おきに測定処理を実行することができる。この場合、磁気ディスク１０における内周部Ａｉから外周部Ａｏまでの間における任意の２トラックにおいて測定処理を実行し、得られた測定結果（演算結果）と、測定処理を実行した両トラックにおけるスキュー角θとに基づき、前述した「距離Ｌ３＝距離Ｌ１×ｓｉｎθ＋距離Ｌ２×ｃｏｓθ」との式における距離Ｌ１，Ｌ２を求めることで、測定処理を実行していない各トラックについての距離Ｌ３をそのトラックのスキュー角θに基づいて演算する構成を採用することもできる。この構成を採用することにより、例えばすべてのトラックに対して測定処理を実行する構成と比較して、オフセット量ＯＷ等を短時間で測定することができる。

また、データトラックパターン領域Ａｔと、データトラックパターン領域Ａｔに対して周方向において隣り合うサーボパターン領域Ａｓとの間に測定領域Ａｚ（所定領域）を規定した磁気ディスク１０について説明したが、例えば、図１５に示す磁気ディスク１０Ａのように、周方向において隣り合う２つのサーボパターン領域Ａｓ，Ａｓの間であって、かつ、データトラックパターン領域Ａｔよりも外周側および内周側の少なくとも一方（この例では、外周側および内周側の双方）に本発明における所定領域に相当する測定領域Ａｚを規定することもできる。なお、この磁気ディスク１０Ａにおいて前述した磁気ディスク１０と同一の構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。この磁気ディスク１０Ａでは、図１６に示すように、一例として、測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａがサーボパターン領域Ａｓにおけるプリアンブルパターン領域Ａｐ内の各凸部１１ａと同様にして形成されて測定領域Ａｚ内に凹凸パターン１１ｚが形成されている。具体的には、データトラックパターン領域Ａｔよりも外周側の測定領域Ａｚでは、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹凸パターン１１ｓの外周部Ａｏと同様の凸部１１ａおよび凹部１１ｂが形成され、データトラックパターン領域Ａｔよりも内周側の測定領域Ａｚでは、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹凸パターン１１ｓの内周部Ａｉと同様の凸部１１ａおよび凹部１１ｂが形成されている。

したがって、この磁気ディスク１０Ａでは、前述した磁気ディスク１０と同様にして、データトラックパターン領域Ａｔに対する外周部Ａｏ側の測定領域Ａｚ内における凸部１１ａの突端面における最大径の内接円Ｑｚｂ（この例では、測定領域Ａｚ内における凸部１１ａの外周部Ａｏ側の突端面における内接円）の直径が、データトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓ内の各内接円のうちの最大径の内接円Ｑｐｂ，Ｑｂｂの直径と等しくなっている。つまり、データトラックパターン領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓ内の各内接円のうちの最大径の内接円Ｑｐｂ，Ｑｂｂの直径を超える内接円が測定領域Ａｚ内に存在しないように（突端面が過剰に広い凸部１１ａが存在しないように）各凹部１１ｂが測定領域Ａｚ内に形成されて凹凸パターン１１ｚが形成されている。したがって、オフセット量測定領域の全域が凸部で構成された従来の磁気記録媒体とは異なり、この磁気ディスク１０Ａの製造に際して非磁性材料２５の層をエッチング処理する際に測定領域Ａｚ内の各凸部１１ａの上に厚手の残渣が生じることなく、各凸部１１ａの突端面（上面）を非磁性材料２５から露出させることができる。

また、この磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１において前述したオフセット量ＯＷ、磁気的書込み幅ＭＷＷおよび磁気的読出し幅ＭＲＷの測定処理を実行する際には、制御部７は、データトラックパターン領域Ａｔの外周部Ａｏ側および内周部Ａｉ側に規定された各測定領域Ａｚ内の凸部１１ａに対する測定用信号の書き込みおよび読み出しを実行する。この場合、磁気ディスク１０Ａにおける外周部Ａｏ側の測定領域Ａｚおよび内周部Ａｉ側の測定領域Ａｚにおいて測定処理を実行し、得られた測定結果（演算結果）と、両領域において測定処理を実行した半径位置におけるスキュー角θとに基づき、前述した「距離Ｌ３＝距離Ｌ１×ｓｉｎθ＋距離Ｌ２×ｃｏｓθ」との式における距離Ｌ１，Ｌ２を求めることで、データトラックパターン領域Ａｔが形成されている部位の各トラックについての距離Ｌ３をそのトラックにおけるスキュー角θに基づいて演算する構成を採用することができる。

このように、この磁気ディスク１０Ａによれば、径方向においてデータトラックパターン領域Ａｔよりも内周側および外周側の少なくとも一方（この例では双方）に測定領域Ａｚ（所定領域）を規定したことにより、測定領域Ａｚによって分断されることなくデータトラックパターン領域Ａｔやサーボパターン領域Ａｓを径方向において連続するように形成することができる。なお、前述した磁気ディスク１０における測定領域Ａｚの規定位置と、上記の磁気ディスク１０Ａにおける測定領域Ａｚの規定位置とを適宜組み合わせて磁気記録媒体上に測定領域Ａｚを任意に規定することもできる。

さらに、測定処理に際して、本発明における第１の凸部をＡＣイレース処理した後に測定用信号を書き込むことでＤＣ着磁し、ＤＣ着磁された領域Ａｗ（または、領域Ａｗ１，Ａｗ２）についての再生信号に基づいてオフセット量ＯＷ、磁気的書込み幅ＭＷＷおよび磁気的読出し幅ＭＲＷを測定する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、本発明における各第１の凸部のすべてについて、その全域をＤＣ着磁した状態において、前述した各測定処理時にＤＣ着磁した各領域Ａｗ，Ａｗ１，Ａｗ２に対応する領域に対して記録ヘッド２ｗを介してＡＣイレース処理を実行し（測定用信号の書き込みの他の一例）、この領域についての再生信号に基づいて、オフセット量ＯＷ、磁気的書込み幅ＭＷＷおよび磁気的読出し幅ＭＲＷを測定する構成を採用することができる。なお、この場合、磁気的読出し幅ＭＲＷの測定処理に際しては、ＡＣイレース処理を実行した領域Ａｗ１における半径方向の両側（前述した領域Ａｅに対応する領域）をＤＣ着磁することで、領域Ａｗ２に対応する領域のみをＡＣイレースした状態にして測定用信号を読み出す。このように、ＡＣイレース処理によって測定用信号を書き込む測定方法では、前述した測定処理時に振幅値が大きい再生信号が得られたヘッド位置において振幅値が小さい再生信号が得られ、かつ振幅値が小さい再生信号が得られたヘッド位置において振幅値が大きい再生信号が得られる。したがって、例えばオフセット量ＯＷの測定時には、再生信号の振幅値が極小値となる再生ヘッド２ｒのヘッド位置、または、振幅値が極小値の再生信号が読み出されるヘッド位置範囲の中心を領域Ａｗの径方向における中心として特定する。これにより、前述した測定処理時と同様にして、オフセット量ＯＷを測定することができる。

また、測定用信号の書き込みによって凸部１１ａにおける径方向の全域をＤＣ着磁した例について説明したが、本発明はこれに限定されず、凸部１１ａの形成ピッチよりも波長が短い測定用信号（例えば、プリアンブルパターンについての再生信号の周波数よりも高い周波数の測定用信号）を第１の凸部に書き込み、書き込んだ測定用信号を読み出すことでオフセット量ＯＷ、磁気的書込み幅ＭＷＷおよび磁気的読出し幅ＭＲＷを測定する構成を採用することもできる。この場合、大きい出力値の再生信号を得るために、１つの凸部１１ａに対して少なくとも１周期分の測定用信号を記録するのが好ましい。したがって、測定領域Ａｚ内の凸部１１ａをプリアンブルパターン領域Ａｐ内の凸部１１ａと同様に形成する場合には、プリアンブルパターンの形成ピッチの１／２倍以下の波長の測定用信号を記録するのが好ましい。なお、測定用信号の書き込み方法としては、書込み対象の第１の凸部における全域をＡＣイレースした状態において所定周波数の測定用信号を書き込み対象の第１の凸部に書き込む方法と、書込み対象の第１の凸部における全域をＤＣ着磁した状態において所定周波数の測定用信号を書き込み対象の第１の凸部に書き込む方法とのいずれかを採用することができる。さらに、ハードディスクドライブ１の制御部７が各測定処理を実行する構成について説明したが、本発明はこれに限定されず、例えば、ハードディスクドライブ１に検査装置（図示せず）を接続して、検査装置の制御部が上記の各測定処理を実行する構成を採用することができる。この構成では、ハードディスクドライブ１と検査装置とが相俟って本発明における記録再生装置を構成する。

ハードディスクドライブ１の構成を示すブロック図である。 磁気ディスク１０の平面図である。 磁気ディスク１０の断面図である。 スタンパー３０の断面図である。 磁気ディスク１０におけるデータトラックパターン領域Ａｔ、サーボパターン領域Ａｓおよび測定領域Ａｚの平面図である。 磁気ヘッド２における記録ヘッド２ｗおよび再生ヘッド２ｒの各サイズについて説明するための説明図である。 磁気ヘッド２における記録ヘッド２ｗの磁気的書込み幅ＭＷＷおよび再生ヘッド２ｒの磁気的読出し幅ＭＲＷについて説明するための説明図である。 磁気ディスク１０の製造方法について説明するための中間体２０およびスタンパー３０の断面図である。 再生ヘッド２ｒをオントラックさせた状態において測定領域Ａｚ内の凸部１１ａに測定用信号を書き込んでいる状態の磁気ディスク１０および磁気ヘッド２の平面図である。 測定領域Ａｚ内の凸部１１ａから測定用信号を読み込んでいる状態の磁気ディスク１０および磁気ヘッド２の平面図である。 測定領域Ａｚ内の凸部１１ａから測定用信号を読み込んでいる状態の磁気ディスク１０および磁気ヘッド２の他の平面図である。 記録ヘッド２ｗをオントラックさせた状態において測定領域Ａｚ内の凸部１１ａに測定用信号を書き込んでいる状態の磁気ディスク１０および磁気ヘッド２の平面図である。 測定用信号を書き込んだ領域Ａｗ１における外周側の領域Ａｅおよび内周側の領域Ａｅに対してＡＣイレース処理を実行した状態の磁気ディスク１０および磁気ヘッド２の平面図である。 ＡＣイレース処理を完了した状態の測定領域Ａｚ内における凸部１１ａから測定用信号を読み込んでいる状態の磁気ディスク１０および磁気ヘッド２の平面図である。 磁気ディスク１０Ａの平面図である。 磁気ディスク１０Ａにおけるデータトラックパターン領域Ａｔ、サーボパターン領域Ａｓおよび測定領域Ａｚの平面図である。

符号の説明

１ ハードディスクドライブ
２ 磁気ヘッド
２ｒ 再生ヘッド
２ｓ スライダー
２ｗ 記録ヘッド
７ 制御部
１０，１０Ａ 磁気ディスク
１１ｓ，１１ｔ，１１ｚ，３１，４１ 凹凸パターン
１１ａ，３１ａ，４１ａ 凸部
１１ｂ，３１ｂ，４１ｂ 凹部
２５ 非磁性材料
２０ 中間体
２６ レジスト層
３０ スタンパー
Ａｓ サーボパターン領域
Ａｔ データトラックパターン領域
Ａｚ 測定領域
ＭＲＷ 磁気的読出し幅
ＭＷＷ 磁気的書込み幅
ＯＷ オフセット量
Ｑｂ，Ｑｂｂ，Ｑｐ，Ｑｐｂ，Ｑｔ，Ｑｚ，Ｑｚｂ 内接円

Claims (9)

1. データトラックパターンが凹凸パターンによって形成されたデータトラックパターン領域と、サーボパターンが凹凸パターンによって形成されたサーボパターン領域とが周方向において交互に並ぶように規定されると共に当該周方向において隣り合う２つの当該サーボパターン領域の間に当該データトラックパターン領域とは異なる別個の所定領域が規定され、
   前記所定領域には、径方向に沿って連続的に形成された複数の第１の凸部を有する凹凸パターンが形成されている磁気記録媒体。
2. 前記データトラックパターン領域と、当該データトラックパターン領域に対して前記周方向において隣り合う前記サーボパターン領域との間に前記所定領域が規定され、前記データトラックパターン領域、前記サーボパターン領域および前記所定領域が前記周方向において連続するように前記各凹凸パターンが形成されている請求項１記載の磁気記録媒体。
3. 前記所定領域は、前記径方向において前記データトラックパターン領域よりも内周側および外周側の少なくとも一方に規定されている請求項１記載の磁気記録媒体。
4. 前記第１の凸部は、その突端面における内接円のうちの最大径の内接円の直径が前記データトラックパターン領域内に形成された第２の凸部の突端面における内接円、および前記サーボパターン領域内に形成された第３の凸部の突端面における内接円のうちの最大径の内接円の直径以下となるように形成されている請求項１〜３のいずれかに記載の磁気記録媒体。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の磁気記録媒体における前記各凹凸パターンに対応するスタンパー側凹凸パターンが形成されているスタンパー。
6. データトラックパターンが凹凸パターンによって形成されたデータトラックパターン領域、サーボパターンが凹凸パターンによって形成されたサーボパターン領域、および当該両領域とは異なる別個の所定領域が規定された磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体に信号を書き込む記録ヘッドと、前記磁気記録媒体に書き込まれた信号を読み出す再生ヘッドと、前記記録ヘッドによる前記信号の書き込みおよび前記再生ヘッドによる前記信号の読み出しを制御すると共に前記磁気記録媒体に対する測定用信号の書き込みおよび読み出しを実行して当該両ヘッドについての所定のパラメータを測定する制御部とを備え、
   前記磁気記録媒体の前記所定領域には、径方向に沿って連続的に形成された複数の第１の凸部を有する凹凸パターンが形成され、
   前記制御部は、前記所定のパラメータを測定する際に、前記記録ヘッドを介して前記第１の凸部に前記測定用信号を書き込むと共に前記再生ヘッドを介して当該測定用信号を読み出し、その読出し結果に基づいて当該所定のパラメータを測定する記録再生装置。
7. 前記制御部は、前記所定のパラメータの測定として、前記記録ヘッドにおける前記磁気記録媒体の前記径方向に対応する長さの中心と前記再生ヘッドにおける当該径方向に対応する長さの中心との間の当該径方向に沿った離間距離を測定する請求項６記載の記録再生装置。
8. 前記制御部は、前記所定のパラメータの測定として、前記記録ヘッドの磁気的書込み幅と前記再生ヘッドの磁気的読出し幅との少なくとも一方を測定する請求項６または７記載の記録再生装置。
9. データトラックパターンが凹凸パターンによって形成されたデータトラックパターン領域、サーボパターンが凹凸パターンによって形成されたサーボパターン領域、および当該両領域とは異なる別個の所定領域が規定され、かつ径方向に沿って連続的に形成された複数の第１の凸部を有する凹凸パターンが当該所定領域に形成されている磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体に信号を書き込む記録ヘッドと、前記磁気記録媒体に書き込まれた信号を読み出す再生ヘッドとを備えた記録再生装置における当該磁気記録媒体に対する測定用信号の書き込みおよび読み出しを実行して当該両ヘッドについての所定のパラメータを測定する際に、前記所定領域に形成された前記第１の凸部に前記記録ヘッドを介して前記測定用信号を書き込むと共に前記再生ヘッドを介して当該測定用信号を読み出し、その読出し結果に基づいて当該所定のパラメータを測定するパラメータ測定方法。

Images