JP2007069132A - 機能液滴吐出ヘッドの保守方法、機能液滴吐出ヘッドの保守装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 ノズルの周縁部に付着した機能液を良好に除去することを課題とする。
【解決手段】 ノズル面５３に機能液が付着した機能液滴吐出ヘッド１７に対して振動を付与し、ノズル面５３の一端部に機能液を集める振動手段１８と、ノズル面５３の一端部に集まった機能液を、ノズル面５３から除去する清掃手段６２と、を備えた。また、清掃手段６２は、機能液を吸収する吸収材８１と、ノズル面５３の一端部に、吸収材８１を当接させる当接手段と、を有することが好ましい。
【選択図】 図２

Description

本発明は、インクジェット方式で機能液を吐出する機能液滴吐出ヘッドの保守方法、機能液滴吐出ヘッドの保守装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。

従来、インクジェットヘッド（機能液滴吐出ヘッド）のインク吐出口（ノズル）の周縁部にインク（機能液）が付着した場合に、洗浄液を含浸した清掃用布（吸収材）でインク吐出口の周縁部に付着したインクを拭き取るクリーニング機構が知られている（特許文献１参照）。
特開２００１−１７１１３５号公報

しかしながら、実際には、このようなクリーニング機構によりインク吐出口を清掃用布で払拭したとしても、インク吐出口の周縁部に付着したインクを完全に拭き取ることは困難であった。インク吐出口の周縁部にインクが残ってしまうと、それが乾燥してインク残渣となり、吐出ヌケ（不吐出）、飛行曲がり等の吐出不良が生ずるため、問題であった。

本発明は、ノズルの周縁部に付着した機能液を良好に除去することができる機能液滴吐出ヘッドの保守方法、機能液滴吐出ヘッドの保守装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。

本発明の機能液滴吐出ヘッドの保守方法は、ノズル面に機能液が付着した機能液滴吐出ヘッドに対して振動を付与し、ノズル面の一端部に機能液を集める振動工程と、振動工程の後、機能液をノズル面から除去する清掃工程と、を備えたことを特徴とする。

また、本発明の機能液滴吐出ヘッドの保守装置は、ノズル面に機能液が付着した機能液滴吐出ヘッドに対して振動を付与し、ノズル面の一端部に機能液を集める振動手段と、ノズル面の一端部に集まった機能液を、ノズル面から除去する清掃手段と、を備えたことを特徴とする。

これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドを振動させることで、ノズルの周縁部に付着した機能液をノズルの周縁部から離れさせ、ノズル面の一端部に集めた上で、これをノズル面から除去することができ、ノズルの周縁部に機能液が残ることがない。したがって、機能液滴吐出ヘッドのノズル面（特にノズルの周縁部）に機能液が付着した場合にも、これを適切に除去することができ、機能液の吐出を良好に行うことができるように吐出機能を回復させることができる。

上記の機能液滴吐出ヘッドの保守方法において、振動工程における機能液滴吐出ヘッドに対する振動の付与は、ノズル面の一端部に向かって先下がりとなるようにノズル面を水平面に対して傾けた状態で、行われることが好ましい。

また、上記の機能液滴吐出ヘッドの保守装置において、ノズル面がノズル面の一端部に向かって先下がりとなるように、ノズル面を水平面に対して傾ける傾斜手段を、さらに備え、振動手段は、ノズル面が水平面に対して傾いた状態で、機能液滴吐出ヘッドに対して振動を付与することが好ましい。

これらの構成によれば、ノズル面の一端部に向かって先下がりとなるようにノズル面を水平面に対して傾けた状態で機能液滴吐出ヘッドを振動させることで、ノズルの周縁部に付着した機能液をノズルの周縁部から確実に離れさせ、ノズル面の一端部に効率良く集めることができる。

上記の機能液滴吐出ヘッドの保守方法において、清掃工程における機能液の除去は、ノズル面の一端部に、機能液を吸収する吸収材を当接させることにより行われることが好ましい。

また、上記の機能液滴吐出ヘッドの保守装置において、清掃手段は、機能液を吸収する吸収材と、ノズル面の一端部に、吸収材を当接させる当接手段と、を有することが好ましい。

これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドを振動させてノズル面の一端部に集めた機能液を、ノズル面の一端部に吸収材を当接して除去する。このため、ノズル面全体、特にノズルの周縁部を吸収材で払拭せずとも、ノズルの周縁部から機能液を除去することができ、ノズルに吸収材が接触することによる弊害を回避することができる。すなわち、吸収材がノズルに気泡を押し込んだり、吸収材がノズル内に入り込んでそのメニスカスを破壊したりすることがない。また、より小さい吸収材で機能液を吸収することが可能となり、吸収材の消費量を削減することができる。

上記の機能液滴吐出ヘッドの保守方法において、清掃工程における機能液の除去は、ノズル面の一端部に近接して対峙させた吸引ヘッドから、機能液をエアーと共に吸引することにより行われることが好ましい。

また、上記の機能液滴吐出ヘッドの保守装置において、清掃手段は、ノズル面の一端部に近接して対峙する吸引ヘッドと、吸引ヘッドに連なり、吸引ヘッドを介して機能液をエアーと共に吸引する吸引手段と、を有することが好ましい。

これらの構成によれば、機能液滴吐出ヘッドを振動させてノズル面の一端部に集めた機能液を、ノズル面の一端部に近接して対峙させた吸引ヘッドから吸引して除去する。このため、この場合も、ノズルを吸収材で払拭せずとも、ノズルの周縁部から機能液を除去することができ、ノズルに吸収材が接触することによる弊害を回避することができる。

上記の機能液滴吐出ヘッドの保守装置において、吸引ヘッドの吸引口には、フィルタ材が装着されていることが好ましい。
また、吸引ヘッドの吸引口は、長スリット部と、長スリット部を横断するようにして、長スリット部の長辺方向に並べた複数の短スリット部と、から構成されていることが好ましい。

これらの構成によれば、ノズル面の一端部に集まった機能液に対して吸引力を均一に及ぼすことができると共に、作用させる吸引力を緩和することができるため、機能液の吸引を適切に行うことができる。
なお、複数の短スリット部は、長スリット部の長辺方向に均等間隔で並べることが好ましい。

本発明の液滴吐出装置は、上記した機能液滴吐出ヘッドの保守装置と、機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、ワークに対し、機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画動作を行う描画装置と、を備え、描画装置は、機能液滴吐出ヘッドを、描画動作を行う描画エリアと、保守装置が設置されたメンテナンスエリアと、の間で移動させるヘッド移動手段を、有することを特徴とする。

この構成によれば、ノズルの周縁部に付着した機能液を良好に除去することができる機能液滴吐出ヘッドの保守装置を備えたことで、機能液滴吐出ヘッドのノズル面（特にノズルの周縁部）に機能液が付着した場合にも、機能液の吐出を良好に行うことができるように吐出機能を回復させることができるため、ワークに対する描画動作を適切に行うことができる。

この場合、ヘッド移動手段は、キャリッジを介して機能液滴吐出ヘッドを搭載しており、振動手段は、キャリッジに取り付けられていることが好ましい。

この構成によれば、振動手段を機能液滴吐出ヘッドと共にキャリッジに搭載したことで、機能液滴吐出ヘッドを適切に振動させることができると共に、装置全体をコンパクトに設計することができる。

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。

これらの構成によれば、ワークに対する描画動作を適切に行うことができる液滴吐出装置を用いることで、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。

以下、添付の図面を参照して、本発明に係る機能液滴吐出ヘッドの保守方法および液滴吐出装置について説明する。液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェットヘッドである機能液滴吐出ヘッドを用いた印刷技術（インクジェット法）により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。

図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置３と、機台２上で描画装置３に添設されたメンテナンス装置４とを備え、メンテナンス装置４により機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンス処理（機能維持・回復）を行うと共に、描画装置３により基板Ｗ（ワーク）上に機能液を吐出させる描画動作を行うようにしている。また、図示しないが、液滴吐出装置１には、各構成部品へ駆動・制御用の圧縮エアーを供給するエアー供給装置や、パソコン等で構成され、液滴吐出装置１の各部を制御する制御装置等が組み込まれている。

描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３（ヘッド移動手段）から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けられたキャリッジ１４と、キャリッジ１４に垂設したヘッドユニット１５とを有している。そして、ヘッドユニット１５には、機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されている。一方、基板Ｗは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対の基板認識カメラ（図示省略）により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。なお、本実施形態では、単一の機能液滴吐出ヘッド１７を搭載しているが、その個数は任意である。

Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ２１を有し、これに吸着テーブル２３および基板θテーブル２４等から成るセットテーブル２２を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ２６を有し、これに上記のキャリッジ１４を介してヘッドユニット１５を移動自在に搭載して、構成されている。Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱２７，２７に支持されており、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス装置４とを跨ぐように延在している。

そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５を、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア９１と、メンテナンス装置４の直上部に位置するメンテナンスエリア９２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入した基板Ｗに描画動作を行う場合には、ヘッドユニット１５を描画エリア９１に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンス処理を行う場合には、ヘッドユニット１５をメンテナンスエリア９２に臨ませる。

また、キャリッジ１４は、垂設したヘッドユニット１５をＺ軸方向（上下方向）にモータ駆動で微小移動させるヘッドＺ軸テーブル（図示省略）と、ヘッドユニット１５をＺ軸廻りにモータ駆動で微小量正逆回転させるヘッドθテーブル３１と、ヘッドユニット１５をＸ軸廻りにモータ駆動で微小量正逆回転させるヘッドαテーブル（図示省略）と、ヘッドユニット１５をＹ軸廻りにモータ駆動で微小量正逆回転させるヘッドβテーブル（図示省略）と、を有している。

ヘッドＺ軸テーブルにより、ヘッドユニット１５をＺ軸方向に微小移動させることで、これに搭載した機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３（後述する）と基板Ｗの表面との距離（ワークギャップ）を微調整することができる。また、ヘッドθテーブル３１、ヘッドαテーブルおよびヘッドβテーブルにより、ヘッドユニット１５を微小量回転させることで、基板Ｗに対する機能液滴吐出ヘッド１７の姿勢を微調整することができる。さらに、ヘッドαテーブルは、特許請求の範囲に記載された機能液滴吐出ヘッドの保守装置を構成する傾斜手段として機能するものであって、これにより、後述する機能液滴吐出ヘッド１７の保守処理を行う際に、ノズル面５３を水平面に対して傾けることができる。

図２（ａ）に示すように、ヘッドユニット１５は、機能液滴吐出ヘッド１７と、これを位置決めして装着するヘッドプレート１６とから構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７は、ヘッドプレート１６を介してキャリッジ１４に搭載されている。なお、本実施形態では、機能液滴吐出ヘッド１７は、ノズル面５３の短辺方向がＸ軸方向と平行となり、ノズル面５３の長辺方向（後述するノズル列５４の列方向）がＹ軸方向と平行になるように、ヘッドプレート１６に位置決めされている。

さらに、ヘッドプレート１６には、特許請求の範囲に記載された機能液滴吐出ヘッドの保守装置を構成する振動モータ１８（振動手段）が取り付けられており、これにより、後述する機能液滴吐出ヘッド１７の保守処理を行う際に、機能液滴吐出ヘッド１７に振動を付与するようになっている。なお、振動モータ１８に代えて、パルスモータ（ステッピングモータ）や、ピエゾ素子を駆動源とした振動手段を用いてもよい。

図３に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式で機能液を吐出するものであって、２連の接続針４２を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４とを備えている。接続針４２は、図示しない給液チューブを介して給液タンクに接続されており、機能液滴吐出ヘッド１７のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド基板４３には、フレキシブルフラットケーブルにより制御装置に接続されるコネクタ５６が設けられている。

ヘッド本体４４は、ピエゾ素子等で構成されたポンプ部５１と、２本のノズル列５４を相互に平行に形成したノズル面５３を有するノズルプレート５２とを備えている。各ノズル列５４は、複数のノズル５５が等ピッチで並べられて構成されている。そして、コネクタ５６を介してポンプ部５１に駆動波形を印加することにより、各ノズル５５から機能液が吐出される。

ノズルプレート５２は、ステンレス等で構成されており、そのノズル面５３および各ノズル５５の内面には共析メッキにより撥水膜が形成されており、機能液によって侵食されないようになっている。

図１に示すように、メンテナンス装置４は、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル５５から機能液を吸引するキャッピングユニット６１と、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に付着した機能液を吸収シート８１で吸い取って除去する清掃ユニット６２（詳細は後述する）とを備えている。キャッピングユニット６１と清掃ユニット６２とは、Ｙ軸テーブル１３によるヘッドユニット１５の移動軌跡上に設けられており、それぞれに機能液滴吐出ヘッド１７を臨ませることができるようになっている。

キャッピングユニット６１は、機能液滴吐出ヘッド１７内で増粘した機能液を除去するためのクリーニングを行う場合や、新たにヘッドユニット１５に機能液滴吐出ヘッド１７を投入した場合のように機能液の初期充填を行う場合に用いられ、機能液滴吐出ヘッド１７に密着させるヘッドキャップ７１と、ヘッドキャップ７１を機台２上に支持するキャップスタンド７２と、図示しないが、ヘッドキャップ７１を昇降させるキャップ昇降機構と、密着させたヘッドキャップ７１を介して機能液滴吐出ヘッド１７内の機能液を吸引するキャップ吸引ポンプと、ヘッドキャップ７１と吸引ポンプとを接続するキャップ吸引チューブとを有している。

機能液滴吐出ヘッド１７に対し、吸引処理を行う場合には、まず、Ｙ軸テーブル１３により、ヘッドユニット１５をキャッピングユニット６１に臨ませると共に、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３にヘッドキャップ７１を密着させる。この状態で、キャップ吸引ポンプを駆動し、吸引処理を行う。この吸引処理により、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に機能液が付着するため、吸引処理に引き続いて、清掃ユニット１０１等による保守処理が行われる（詳細は後述する）。

このように構成された液滴吐出装置１は、メンテナンス装置４により機能液滴吐出ヘッド１７に対し適宜メンテナンス処理を行うと共に、描画装置３により基板Ｗに描画動作を行うようにしている。すなわち、描画装置３は、制御装置による制御を受けながら、基板ＷをＸ軸テーブル１２によりＸ軸方向に往動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１７を選択的に駆動させて、基板Ｗに対する機能液の主走査が行われる。そして、Ｙ軸テーブル１３によりヘッドユニット１５をＹ軸方向に副走査させた後、基板ＷをＸ軸方向に復動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド１７を選択的に駆動させて、再度主走査が行われる。このような基板Ｗの往復動に伴う主走査およびヘッドユニット１５の副走査を複数回繰り返すことで、基板Ｗの端から端まで機能液の吐出（描画）が行われる。

続いて、図１および図２を参照して、清掃ユニット６２の装置構成について説明すると共に、清掃ユニット６２、上記の振動モータ１８およびヘッドαテーブルを用いた機能液滴吐出ヘッド１７の保守処理について説明する。清掃ユニット６２は、上記の吸引処理等によりノズル面５３に付着した機能液を、ノズル面５３に吸収シート８１を当接して除去するものである。清掃ユニット６２は、上述したように、Ｙ軸方向においてキャッピングユニット６１と描画エリア９１との間に配設されており、このような配置により、清掃ユニット６２は、キャッピングユニット６１による吸引処理を終えて、描画エリア９１に移動するヘッドユニット１５に臨むことができ、その機能液滴吐出ヘッド１７に清掃処理（吸収シート８１の当接）を行うことができるようになっている。

清掃ユニット６２は、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に吸収シート８１を当接させるための当接ローラ８２と、当接ローラ８２に吸収シート８１を供給するシート供給ユニット８３と、当接ローラ８２を昇降させるローラ昇降機構（図示省略）と、吸収シート８１に洗浄液を散布する洗浄液吐出ユニット８４と、これらを機台２上に支持する清掃フレーム（図示省略）とを有している。

吸収シート８１は、多孔質体で構成されており、具体的には、機能液に対する耐食性を有すると共に、吸液性および保液性に優れたポリウレタンやポリビニルアルコール等で構成することが好ましい。なお、吸収シート８１の材質は、状況に応じて適宜選択可能であり、例えば、機能液を吸着可能に表面加工した紙等を吸収シート８１として用いることも可能である。

シート供給ユニット８３は、清掃フレームにより回転自在に軸支された繰出しリール８６および巻取りリール８７と、巻取りリール８７を回転させると共に、巻取りリール８７の回転を介して繰出しリール８６を回転させる巻取りモータ（図示省略）とを有している。繰出しリール８６は、当接ローラ８２に対して描画エリア９１側に配設され、ロール状に巻回された吸収シート８１を装填すると共に当接ローラ８２に吸収シート８１を張設状態で繰り出す。巻取りリール８７は、当接ローラ８２に対してキャッピングユニット６１側（ヘッドキャップ７１の下方）に設けられ、当接ローラ８２を経由した吸収シート８１を張設状態で巻き取る。

当接ローラ８２は、Ｙ軸方向において繰出しリール８６と巻取りリール８７との間に位置しており、清掃フレームに昇降自在に支持された昇降スタンドより回転自在に軸支されている。また、当接ローラ８２は、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に吸収シート８１を適度な押圧力でもって当接させると共にノズル面５３への損傷を防止するため、柔軟性且つ弾力性を有する部材（例えば合成ゴム）で構成されている。

ローラ昇降機構は、エアーシリンダ等で構成されており、昇降スタンドを上昇端位置に上昇させた状態で、当接ローラ８２に回する吸収シート８１を、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に当接させるようになっている。

洗浄液吐出ユニット８４は、当接ローラ８２に対し、吸収シート８１の送り方向の手前側に位置しており、図示しないが、洗浄液を供給する洗浄液タンクと、洗浄液タンクからの洗浄液を、吸収シート８１の所定範囲に均一に散布（噴霧）する洗浄液ヘッドとを有している。洗浄液吐出ユニット８４は、繰出しリール８６から当接ローラ８２に送られる吸収シート８１に対し、その表側（ノズル面５３と当接する側）から洗浄液を吐出する。吸収シート８１に吐出される洗浄液は、機能液を溶解するもの（機能液の溶媒等）が用いられ、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に付着する機能液を効果的に除去することができる。

このように構成された清掃ユニット６２は、次のようにして、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に付着した機能液を吸収する。すなわち、まず、洗浄液吐出ユニット８４により、吸収シート８１に洗浄液が散布され、洗浄液が散布された部分が当接ローラ８２の位置に送られる。そして、ローラ昇降機構により、当接ローラ８２を上昇させて、吸収シート８１をノズル面５３に当接させ、所定時間後、当接ローラ８２を下降させる。このようにして、ノズル面５３に付着した機能液を吸収することができる。

ここで、機能液滴吐出ヘッド１７の保守処理における一連の動作について説明する。まず、Ｙ軸テーブル１３により、ヘッドユニット１５を清掃ユニット６２に臨ませる（図２（ａ）参照）。

続いて、上記のキャリッジ１４に設けられたヘッドαテーブルにより、ヘッドユニット１５をＸ軸周りに回転させ、ノズル面５３の一方の短辺部分に向かって先下がりとなるように、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３を水平面に対して傾くようにする。この状態で、ヘッドプレート１６に取り付けられた振動モータ１８により、機能液滴吐出ヘッド１７に振動を付与する（同図（ｂ）参照）。これにより、ノズル面５３に付着した機能液を、ノズル面５３の一端部（先下がりとなったノズル面５３の短辺部分）に集めることができ、特に、ノズル５５の周縁部に付着した機能液をノズル５５の周縁部から離れさせることができる（同図（ｃ）参照）。

最後に、ノズル面５３の短辺部分に集まった機能液を、清掃ユニット６２により、上記のようにして除去する。すなわち、吸収シート８１をノズル面５３の短辺部分に当接させて、機能液を吸収する（同図（ｄ）参照）。このようにして、ノズル５５の周縁部に付着した機能液を良好に除去することができる。

ここで、機能液を清掃ユニット６２により除去（吸収）する際には、吸収シート８１を送りつつ、清掃ユニット６２に対して機能液滴吐出ヘッド１７を相対移動させて、ノズル面５３全体を吸収シート８１で払拭するようにしてもよい。もっとも、この場合、吸収シート８１でノズル５５の周縁部を払拭することになるため、吸収シート８１によるノズル５５への気泡の押込みや、吸収シート８１がノズル５５内に入り込むことによるメニスカスの破壊等の弊害が生じてしまう。これに対し、本実施形態のように、ノズル面５３の短辺部分に集めた機能液を、ノズル面５３の短辺部分に吸収シート８１に当接させて吸収するようにすれば、ノズル５５の周縁部に付着した機能液を良好に除去することができると共に、ノズル５５に吸収シート８１が接触することによる弊害を回避することができる。

さらに、本実施形態では、吸収シート８１のより狭い範囲で機能液を吸収することが可能となり、吸収シート８１を送りつつ機能液を吸収する必要がなく、あるいは、微小量送るだけでよい。このため、吸収シート８１の消費量を削減することができる。

また、このとき、ノズル面５３を水平にした状態で、機能液滴吐出ヘッド１７を振動させてもよいが、本実施形態のように、ノズル面５３を水平面に対して傾けることで、ノズル５５の周縁部に付着した機能液をノズル５５の周縁部から確実に離れさせ、ノズル面５３の一端部（短辺部分）に効率良く集めることができる。

なお、本実施形態では、ヘッドαテーブルにより、ヘッドユニット１５をＸ軸廻りに回転させて、ノズル面５３の一方の短辺部分に向かって先下がりとなるようにしているが、ヘッドβテーブルにより、ヘッドユニット１５をＹ軸廻りに回転させて、ノズル面５３の一方の長辺部分に向かって先下がりとなるようにしてもよい。この場合は、機能液滴吐出ヘッド１７を振動させると、先下がりとなったノズル面５３の一方の長辺部分に機能液が集まることになる。さらに、ヘッドαテーブルおよびヘッドβテーブルにより、ノズル面５３の一隅部に向かって先下がりとなるようにしてもよい。

また、振動モータ１８の振動周波数は、機能液の物性等に依存するが、１Ｈｚ〜３００ｋＨｚが好ましく、さらに、３０Ｈｚ〜３０ｋＨｚがより好ましい。また、振動方向は、前後方向（Ｘ軸方向）、左右方向（Ｙ軸方向）、上下方向（Ｚ軸方向）等、状況に応じて適切な方向に振動させることが好ましく、振動角度についても、機能液の物性等に応じて適切な角度で振動させることが好ましい。

さらに、振動モータ１８を機能液滴吐出ヘッド１７と共にキャリッジ１４（ヘッドプレート１６）に搭載したことで、機能液滴吐出ヘッド１７を適切に振動させることができると共に、装置全体をコンパクトに設計することができる。なお、本実施形態では、振動モータ１８は、ノズル面５３に付着した機能液が集まるノズル面５３の短辺部分に近い側のヘッドプレート１６の端部に取り付けられているが、ヘッドプレート１６への取付位置は適宜変更可能であり、また、機能液滴吐出ヘッド１７に直接取り付けてもよい。

次に、図４および図５を参照して、他の実施形態に係る清掃ユニットについて説明する。第２実施形態の清掃ユニット１０１は、上記の吸引処理等によりノズル面５３に付着した機能液を、吸引ヘッド１１１からエアーと共に吸引して除去するものである。

清掃ユニット１０１は、上面にスリット状の吸引口１１６を形成した吸引ヘッド１１１と、吸引ヘッド１１１を機台２上に支持する吸引スタンド（図示省略）と、吸引ヘッド１１１を昇降させる吸引ヘッド昇降機構（図示省略）と、吸引ヘッド１１１を介して機能液をエアーと共に吸引する清掃吸引ポンプ（図示省略）と、吸引ヘッド１１１および清掃吸引ポンプを接続する清掃吸引チューブ１１２とを有している。なお、上記のキャップ吸引ポンプを、清掃吸引ポンプとして兼用させてもよい。

吸引口１１６は、その長辺が機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３の短辺の長さに対応するようにして、形成されている。このため、ノズル面５３の短辺部分に集まった機能液を一括して吸引することができる。もっとも、機能液滴吐出ヘッド１７に対し、吸引ヘッド１１１をノズル面５３の短辺方向（Ｘ軸方向）に相対的に移動させるようにしてもよい。これによれば、機能液の吸引をより効率的且つ適切に行うことができる。すなわち、吸引口１１６の長辺の長さが、ノズル面５３の短辺の長さよりも短いような場合にも、ノズル面５３の短辺部分に集まった機能液を全て吸引することができる。

さらには、機能液滴吐出ヘッド１７に対し、吸引ヘッド１１１をノズル面５３の長辺方向（Ｙ軸方向）に相対的に微小量移動させるようにしてもよい。これによれば、機能液の吸引をより効率的且つ適切に行うことができる。すなわち、ノズル面５３の短辺部分に集まった機能液の塊をよりすばやく全て吸引することができる。

また、吸引ヘッド１１１には、吸引口１１６に連なる開口凹部１１７と、開口凹部１１７の底面に開口し、清掃吸引チューブ１１２が接続する吸引孔１１８とが形成されている。開口凹部１１７には、多孔質体で構成されたフィルタ材１１９が装着されている。これにより、機能液に対して吸引力を均一に及ぼすことができると共に、作用させる吸引力を緩和することができるため、機能液の吸引を適切に行うことができる。

なお、吸引口１１６は、長スリット部１１６ａと、長スリット部１１６ａを横断するようにして、長スリット部１１６ａの長辺方向に均等間隔に並べた複数（３個）の短スリット部１１６ｂとから構成される形状としてもよい（図４（ｂ）参照）。これによっても、機能液に対して吸引力を均一に及ぼすことができると共に、作用させる吸引力を緩和することができるため、機能液の吸引を適切に行うことができる。なお、長スリット部１１６ａの短辺方向において、長スリット部１１６ａの中心位置と各短スリット部１１６ｂの中心位置とは、一致させることが好ましい。

このように構成された清掃ユニット１０１は、次のようにして、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に付着した機能液を吸引する。すなわち、まず、吸引ヘッド昇降機構により、吸引ヘッド１１１を上昇させ、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に近接して対峙させる。この状態で、清掃吸引ポンプを駆動し、ノズル面５３に付着した機能液をエアーと共に吸引口１１６から吸引する。

そして、第２実施形態の清掃ユニット１０１を用いた場合にも、第１実施形態の清掃ユニット６２を用いた場合と同様に、機能液滴吐出ヘッド１７の保守処理を行うことができる。すなわち、上記のようにして、機能液滴吐出ヘッド１７を振動させてノズル面５３の一端部（短辺部分）に機能液を集めた後、清掃ユニット１０１により、これをノズル面５３から吸引することで、ノズル５５の周縁部に付着した機能液を良好に除去することができる（図５参照）。さらに、この場合も、ノズル５５を吸収シート８１で払拭せずとも、ノズル５５の周縁部から機能液を除去することができ、ノズル５５に吸収シート８１が接触することによる弊害を回避することができる。

以上のように、本実施形態の機能液滴吐出ヘッド１７の保守方法によれば、機能液滴吐出ヘッド１７を振動させることで、ノズル５５の周縁部に付着した機能液をノズル５５の周縁部から離れさせ、ノズル面５３の一端部に集めた上で、これをノズル面５３から除去することができ、ノズル５５の周縁部に機能液が残ることがない。したがって、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３（特にノズル５５の周縁部）に機能液が付着した場合にも、これを適切に除去することができ、機能液の吐出を良好に行うことができるように吐出機能を回復させることができる。そして、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、このような機能液滴吐出ヘッド１７の保守方法を行うことで、基板Ｗに対する描画動作を適切に行うことができる。

次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。

まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。

続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図７（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。

以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。

次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。

図８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。

この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。

液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。

実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。

図９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。

カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。

液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。

図１０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。

この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。

対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。

また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。

なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。

次に、図１１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。

この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。

回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。

また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。

そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。

このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。

上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。

バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。

上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。

発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。

そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。

陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。

次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１２〜図２０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。

まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。

表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。

図１５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１６に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。

次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。

そして次に、図１７に示すように、各色のうちのいずれか（図１７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。

その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。

同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図１９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。

以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。

対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２０に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。

このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。

次に、図２１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。

第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。

放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。

第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。

本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。

補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。

ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。

次に、図２２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。

第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。

第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。

そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。

この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。

第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。

第１実施形態に係る液滴吐出装置の平面模式図である。 第１実施形態に係る液滴吐出装置に搭載した機能液滴吐出ヘッドの保守処理を説明する模式図である。 液滴吐出装置に搭載した機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。 （ａ）は、第２実施形態に係る液滴吐出装置の清掃ユニットの一部を示す平面模式図および正面模式図、（ｂ）はその変形例を示す正面模式図である。 第２実施形態に係る液滴吐出装置に搭載した機能液滴吐出ヘッドの保守処理を説明する模式図である。 カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 （ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。 有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 陰極の形成を説明する工程図である。 プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。 電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。 表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。

符号の説明

１…液滴吐出装置 ３…描画装置 １３…Ｙ軸テーブル １４…キャリッジ １７…機能液滴吐出ヘッド １８…振動モータ ５３…ノズル面 ６２，１０１…清掃ユニット ８１…吸収シート ８２…当接ローラ １１１…吸引ヘッド １１６…吸引口 １１６ａ…長スリット部 １１６ｂ…短スリット部 １１９…フィルタ材 Ｗ…基板

Claims (15)

1. ノズル面に機能液が付着した機能液滴吐出ヘッドに対して振動を付与し、前記ノズル面の一端部に前記機能液を集める振動工程と、
   前記振動工程の後、前記機能液を前記ノズル面から除去する清掃工程と、
   を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの保守方法。
2. 前記振動工程における前記機能液滴吐出ヘッドに対する振動の付与は、前記ノズル面の一端部に向かって先下がりとなるように前記ノズル面を水平面に対して傾けた状態で、行われることを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守方法。
3. 前記清掃工程における前記機能液の除去は、前記ノズル面の一端部に、前記機能液を吸収する吸収材を当接させることにより行われることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守方法。
4. 前記清掃工程における前記機能液の除去は、前記ノズル面の一端部に近接して対峙させた吸引ヘッドから、前記機能液をエアーと共に吸引することにより行われることを特徴とする請求項１または２に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守方法。
5. ノズル面に機能液が付着した機能液滴吐出ヘッドに対して振動を付与し、前記ノズル面の一端部に前記機能液を集める振動手段と、
   前記ノズル面の一端部に集まった前記機能液を、前記ノズル面から除去する清掃手段と、
   を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
6. 前記ノズル面が前記ノズル面の一端部に向かって先下がりとなるように、前記ノズル面を水平面に対して傾ける傾斜手段を、さらに備え、
   前記振動手段は、前記ノズル面が水平面に対して傾いた状態で、前記機能液滴吐出ヘッドに対して振動を付与することを特徴とする請求項５に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
7. 前記清掃手段は、
   前記機能液を吸収する吸収材と、
   前記ノズル面の一端部に、前記吸収材を当接させる当接手段と、
   を有することを特徴とする請求項５または６に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
8. 前記清掃手段は、
   前記ノズル面の一端部に近接して対峙する吸引ヘッドと、
   前記吸引ヘッドに連なり、前記吸引ヘッドを介して前記機能液をエアーと共に吸引する吸引手段と、
   を有することを特徴とする請求項５または６に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
9. 前記吸引ヘッドの吸引口には、フィルタ材が装着されていることを特徴とする請求項８に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
10. 前記吸引ヘッドの吸引口は、長スリット部と、前記長スリット部を横断するようにして、前記長スリット部の長辺方向に並べた複数の短スリット部と、から構成されていることを特徴とする請求項８または９に記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置。
11. 請求項５ないし１０のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの保守装置と、
    前記機能液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、ワークに対し、前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画動作を行う描画装置と、を備え、
    前記描画装置は、前記機能液滴吐出ヘッドを、前記描画動作を行う描画エリアと、前記保守装置が設置されたメンテナンスエリアと、の間で移動させるヘッド移動手段を、有することを特徴とする液滴吐出装置。
12. 前記ヘッド移動手段は、キャリッジを介して前記機能液滴吐出ヘッドを搭載しており、
    前記振動手段は、前記キャリッジに取り付けられていることを特徴とする請求項１１に記載の液滴吐出装置。
13. 請求項１１または１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
14. 請求項１１または１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
15. 請求項１３に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１４に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。

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