JP2007017478A - Electro-optical device and electronic apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置、及び該電気光学装置を備えた、例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。 The present invention relates to a technical field of an electro-optical device such as a liquid crystal device, and an electronic apparatus such as a liquid crystal projector including the electro-optical device.
この種の電気光学装置では、例えば画像表示領域等の画素領域に、画素電極等を夫々有する複数の画素部がマトリクス状に配列されている。各画素部には、アクティブマトリクス駆動を可能ならしめるべく、画素電極をスイッチング駆動するための画素スイッチング用の薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:以下適宜「TFT」と称する)の他、例えば画素電極と対向電極との間に構築される液晶容量と並列に所定値の容量を付与するように蓄積容量が、設けられるのが一般的である。 In this type of electro-optical device, for example, a plurality of pixel portions each having a pixel electrode or the like are arranged in a matrix in a pixel region such as an image display region. In each pixel portion, in order to enable active matrix driving, a pixel switching thin film transistor (Thin Film Transistor: hereinafter referred to as “TFT” as appropriate) for switching driving a pixel electrode, for example, a pixel electrode and a counter electrode In general, a storage capacitor is provided so as to provide a predetermined capacity in parallel with the liquid crystal capacitor constructed between the two.
この種の電気光学装置の場合、画素領域の縁付近では、画素領域の中央寄りに多数の画素部が存在しているのに対して、その反対側には画素部が存在していないという構造の不均衡から、例えば液晶の配向不良など、電気光学物質の動作不良が起きやすい。このため、従来から画素領域の周囲を囲む周囲領域或いは額縁領域における画素領域に近い側の領域には、画素部を模擬するダミー画素部或いはダミー画素が配列されているのが一般的である。伝統的には、このようなダミー画素は、画素(即ち、表示画素)と同一サイズで、同一構造のものが作り込まれる。更に、基板の有効利用を図るべく、表示画素に比べて幅寸法の小さいダミー画素を配置した構造についても提案されている(特許文献1参照)。 In the case of this type of electro-optical device, a structure in which a large number of pixel portions exist near the center of the pixel region near the edge of the pixel region, but no pixel portion exists on the opposite side. Due to this imbalance, electro-optical material malfunctions such as liquid crystal alignment defects are likely to occur. Therefore, conventionally, a dummy pixel portion or a dummy pixel that simulates a pixel portion is generally arranged in a peripheral region surrounding the periphery of the pixel region or a region close to the pixel region in the frame region. Traditionally, such dummy pixels have the same size and the same structure as the pixels (ie, display pixels). Furthermore, in order to use the substrate effectively, a structure in which dummy pixels having a width smaller than that of the display pixels are arranged has been proposed (see Patent Document 1).
しかしながら、特許文献1の如く、幅寸法の小さいダミー画素を表示画素に隣接して設けた場合、幅寸法を小さくすればする程、例えば配線や蓄積容量を形成するためのエッチング工程において、エッチング斑が生じやすくなり、ダミー画素と表示画素との電気的或いは光学的性質が不連続に変化してしまう。よって、ダミー画素の付近で、画質が不連続に変化しやすい状況を招くという技術的問題点もある。特に、シリアル−パラレル変換或いは相展開が施された画像信号を用いて、複数のデータ線を含んでなるデータ線群毎に同時にデータ線を駆動する場合には、ダミー画素領域に隣接するデータ線群により駆動される表示画素ブロックと、それに隣接する表示画素ブロックとの間に、ダミー画素と表示画素との間における電気的或いは光学的性質の不連続な変化に応じて、縞状或いはストライプ状の表示不良が起きやすくなるという実践上、非常に重大なる問題点が生じる。
However, as in
他方で、伝統的な手法に従って、ダミー画素を表示画素と同一サイズで構築するのでは、ダミー画素の存在によって周囲領域の相対的な増大を招く。特に、シリアル−パラレル変換された複数の画像信号を用いてデータ線群毎に駆動する場合には、ダミー画素をデータ線に並べてパラレルな画像信号線の数だけ配列することが望ましいとされており、これに応じて、ダミー画素数も多くならざるを得ない。例えば、シリアル−パラレル変換に係る変換数或いは相展開数が、12、24、48、96、…であったとすれば、ダミー画素の占める領域が無視し得ない程度に肥大化することになる。 On the other hand, if the dummy pixel is constructed in the same size as the display pixel according to the traditional method, the presence of the dummy pixel causes a relative increase in the surrounding area. In particular, when driving each data line group using a plurality of serial-parallel converted image signals, it is desirable to arrange dummy pixels on the data lines and arrange them in the number of parallel image signal lines. Accordingly, the number of dummy pixels is inevitably increased. For example, if the number of conversions or phase expansions related to serial-parallel conversion is 12, 24, 48, 96,..., The area occupied by the dummy pixels is enlarged to a degree that cannot be ignored.
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、例えばダミー画素と表示画素との境界付近における画質の不連続な変化を防止し且つダミー画素が占める領域の増大を抑制可能である電気光学装置、及びそのような電気光学装置を具備してなる電子機器を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above problems. For example, the electro-optical device can prevent discontinuous change in image quality near the boundary between a dummy pixel and a display pixel and can suppress an increase in the area occupied by the dummy pixel. It is an object of the present invention to provide an apparatus and an electronic apparatus including such an electro-optical device.
本発明の第1の電気光学装置は、上記課題を解決するために、基板上に、画素領域に配置された複数の画素部と、前記基板上で平面的に見て前記画素領域の周囲を囲む周囲領域を構成する複数のダミー画素領域に夫々配置されており、前記画素部の構造の少なくとも一部を夫々模擬する複数のダミー画素部とを備えており、前記周囲領域のうち少なくとも前記画素領域の一辺に隣接する領域内において、前記一辺に沿った方向及び前記一辺に交差する方向のうち少なくとも一方の方向についての前記ダミー画素領域の配列ピッチは、前記画素領域の配列ピッチより小さく、前記ダミー画素領域の配列ピッチは、前記一辺から離れるに従って徐々に小さくなり、前記ダミー画素領域のうち前記画素領域に隣接する第1ダミー画素領域の配列ピッチの前記画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率は、前記第1ダミー画素領域に対して前記画素領域とは反対側に隣接する第2ダミー画素領域の配列ピッチの前記第1ダミー画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率よりも大きい。 In order to solve the above problems, a first electro-optical device according to an aspect of the invention includes a plurality of pixel portions arranged in a pixel region on a substrate and a periphery of the pixel region as viewed in plan on the substrate. A plurality of dummy pixel portions, each of which is arranged in a plurality of dummy pixel regions constituting a surrounding peripheral region, and each simulates at least a part of the structure of the pixel portion, and at least the pixels in the peripheral region In the region adjacent to one side of the region, the arrangement pitch of the dummy pixel region in at least one of the direction along the one side and the direction intersecting the one side is smaller than the arrangement pitch of the pixel region, The arrangement pitch of the dummy pixel regions gradually decreases as the distance from the one side increases, and the arrangement pitch of the first dummy pixel region adjacent to the pixel region in the dummy pixel region is increased. The ratio of the size of the pixel region to the arrangement pitch of the first dummy pixel region is equal to the arrangement pitch of the second dummy pixel region adjacent to the first dummy pixel region on the opposite side of the pixel region. It is larger than the ratio of size to pitch.
本発明の第1の電気光学装置によれば、その動作時には、例えばデータ線、走査線等の配線を介して、画像信号、走査信号等が画素部に供給される。これら画像信号等が、画素部において、画素スイッチング用の薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor:以下適宜“TFT”と呼ぶ)等のスイッチング素子から選択的に画素電極等の表示用電極に供給されることでアクティブマトリクス駆動が行われる。即ち、複数の画素部がマトリクス状に平面配列された画素領域における画像表示が行われる。この際、ダミー画素領域内においても、画素領域内と同様に、画素部の構造を模擬するダミー画素部に画像信号等が供給されることで、ダミー画素領域におけるアクティブマトリクス駆動が行われる。従って、アクティブマトリクス駆動における画素領域の縁付近で発生する、例えば液晶が不完全に駆動される部分など、不完全に駆動される画素部については、実際に表示される画素領域から除外される。よって、該画素領域の隅々まで良好な画像表示が可能とされる。ここで、「画素部の構造を模擬する」は、ダミー画素部の電気的な或いは光学的な性質が多少なりとも画素部と近くなるように、基板上平面的に見て、ダミー画素部の構造が画素部の構造に類似することを意味する。即ち、狭義には、ダミー画素部の構造が、画素部の構造と同一であることを意味するが、広義には、ダミー画素部が画素部と近い状態になるように、ダミー画素部の構造を画素部の構造に近付けることを意味する。例えば、ダミー画素部の積層構造が画素部の積層構造の一部と同じ部分を含むこと、或いは、ダミー画素部が画素部の有する電子素子と同種の電子素子を有することを意味する。従って、ダミー画素部によって、画素部を容易に模擬することができる。 According to the first electro-optical device of the present invention, during the operation, an image signal, a scanning signal, and the like are supplied to the pixel portion via, for example, a wiring such as a data line and a scanning line. These image signals and the like are selectively supplied to a display electrode such as a pixel electrode from a switching element such as a thin film transistor for pixel switching (hereinafter referred to as “TFT”) in the pixel portion. Matrix driving is performed. That is, image display is performed in a pixel region in which a plurality of pixel portions are arranged in a matrix. At this time, in the dummy pixel region, as in the pixel region, an active matrix drive is performed in the dummy pixel region by supplying an image signal or the like to the dummy pixel portion that simulates the structure of the pixel portion. Accordingly, incompletely driven pixel portions such as a portion where the liquid crystal is driven incompletely, which occurs near the edge of the pixel region in the active matrix driving, are excluded from the actually displayed pixel region. Therefore, it is possible to display a good image to every corner of the pixel area. Here, “simulating the structure of the pixel portion” means that the dummy pixel portion is viewed in plan on the substrate so that the electrical or optical properties of the dummy pixel portion are somewhat closer to the pixel portion. It means that the structure is similar to the structure of the pixel portion. That is, in a narrow sense, it means that the structure of the dummy pixel portion is the same as the structure of the pixel portion, but in a broad sense, the structure of the dummy pixel portion so that the dummy pixel portion is close to the pixel portion. Is closer to the structure of the pixel portion. For example, it means that the laminated structure of the dummy pixel portion includes the same part as the part of the laminated structure of the pixel portion, or that the dummy pixel portion has the same kind of electronic element as the electronic element included in the pixel portion. Therefore, the pixel portion can be easily simulated by the dummy pixel portion.
ここで本発明の第1の電気光学装置では特に、ダミー画素領域の配列ピッチは、画素領域の配列ピッチより小さく、しかも、ダミー画素領域の配列ピッチは、画素領域の一辺から離れるに従って徐々に小さくなる。よって、複数のダミー画素領域を配置するために必要となる周囲領域の面積を小さく、しかも、ダミー画素部と画素部の電気的或いは光学的性質が不連続に変化することを防止することができる。具体的には、画素部及びダミー画素部における配線、蓄積容量等を形成するためのエッチングの際に、画素領域及びダミー画素領域の大きさの違いによる配線、蓄積容量等の密度の差に起因して生じ得るエッチング斑を低減或いは無くすことができる。即ち、ダミー画素部と画素部との境界付近で、画質が不連続に変化することを防止することができると共に、ダミー画素部が占める周囲領域の増大を抑制することができる。 Here, particularly in the first electro-optical device of the present invention, the arrangement pitch of the dummy pixel regions is smaller than the arrangement pitch of the pixel regions, and the arrangement pitch of the dummy pixel regions is gradually decreased as the distance from one side of the pixel region is increased. Become. Therefore, it is possible to reduce the area of the peripheral region necessary for arranging the plurality of dummy pixel regions, and to prevent the electrical or optical properties of the dummy pixel portion and the pixel portion from changing discontinuously. . Specifically, when etching is performed to form wirings and storage capacitors in the pixel portion and the dummy pixel portion, it is caused by a difference in density of the wiring and storage capacitors due to a difference in size between the pixel region and the dummy pixel region. Etching spots that may occur can be reduced or eliminated. That is, it is possible to prevent the image quality from changing discontinuously near the boundary between the dummy pixel portion and the pixel portion, and to suppress an increase in the surrounding area occupied by the dummy pixel portion.
特に、シリアル−パラレル変換或いは相展開された画像信号を取り扱う場合に、ダミー画素領域に隣接するデータ線群により駆動される画素部ブロックと、それに隣接する画素部ブロックとの間に、ダミー画素部と画素部との間における電気的或いは光学的性質の不連続な変化に応じて、縞状或いはストライプ状の表示不良が生じることを防止することができる。 In particular, when a serial-parallel converted or phase-expanded image signal is handled, a dummy pixel unit is interposed between a pixel unit block driven by a data line group adjacent to the dummy pixel region and a pixel unit block adjacent thereto. In accordance with the discontinuous change in electrical or optical properties between the pixel portion and the pixel portion, it is possible to prevent a stripe-like or stripe-like display defect from occurring.
ここに「徐々に小さくなる」とは、連続的又は断続的或いは段階的に小さくなることを意味する。言い換えれば、前記一辺から離れるに従って、ダミー画素領域の前記一辺に交差する方向の幅Wi(i=1、…、n(但し、nは3以上の自然数)が、W1≧W2≧…≧Wnなる関係(但し、W1>Wn)を満たすように変化することを意味する。従って、本発明に係るダミー画素領域は、典型的には、前記一辺に交差する方向に3つ以上配列されている。言い換えれば、ダミー画素領域は、前記一辺に沿って3行或いは3列以上配列されている。 Here, “gradually smaller” means smaller continuously or intermittently or stepwise. In other words, the width Wi (i = 1,..., N (where n is a natural number of 3 or more)) in the direction intersecting the one side of the dummy pixel region becomes W1 ≧ W2 ≧ ... ≧ Wn as the distance from the one side increases. It means that the relationship changes so as to satisfy the relationship (W1> Wn) Therefore, typically, three or more dummy pixel regions according to the present invention are arranged in a direction intersecting the one side. In other words, the dummy pixel region is arranged in three rows or three columns or more along the one side.
更に、本発明の第1の電気光学装置では特に、ダミー画素領域のうち画素領域に隣接する第1ダミー画素領域の配列ピッチの画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率は、第1ダミー画素領域に対して画素領域とは反対側に隣接する第2ダミー画素領域の配列ピッチの第1ダミー画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率よりも大きい。即ち、例えば、第1ダミー画素領域の配列ピッチは、画素領域の配列ピッチの例えば80%であり、第2ダミー画素領域の配列ピッチは、第1ダミー画素領域の配列ピッチの例えば50%即ち半分である。言い換えれば、第1ダミー画素領域の配列ピッチが、画素領域の配列ピッチから変化する度合い或いは程度は、第2ダミー画素領域の配列ピッチが、第1ダミー画素領域の配列ピッチから変化する度合い或いは程度と比べて、小さい。即ち、画素領域の直ぐ周囲では、配列ピッチは、相対的には、余り変化しない。 Further, in the first electro-optical device of the present invention, in particular, the ratio of the size of the arrangement pitch of the first dummy pixel area adjacent to the pixel area in the dummy pixel area to the arrangement pitch of the pixel area is the first dummy pixel area. On the other hand, the ratio of the arrangement pitch of the second dummy pixel areas adjacent to the opposite side of the pixel area to the arrangement pitch of the first dummy pixel areas is larger. That is, for example, the arrangement pitch of the first dummy pixel region is, for example, 80% of the arrangement pitch of the pixel region, and the arrangement pitch of the second dummy pixel region is, for example, 50%, that is, half of the arrangement pitch of the first dummy pixel region. It is. In other words, the degree or degree to which the arrangement pitch of the first dummy pixel area changes from the arrangement pitch of the pixel area is the degree or degree to which the arrangement pitch of the second dummy pixel area changes from the arrangement pitch of the first dummy pixel area. Small compared to That is, in the immediate vicinity of the pixel area, the arrangement pitch does not change much.
このため、第1ダミー画素領域の配列ピッチを画素領域の配列ピッチよりも小さく且つダミー画素部と画素部との境界付近で、例えば配線や蓄積容量を形成するためのエッチングを均一に行うことができるようにして、画質が不連続に変化することを確実に防止することができる。更に、第2ダミー画素領域の配列ピッチを第1ダミー画素領域の配列ピッチの例えば半分にすることによって、ダミー画素領域が占める周囲領域の増大を効率的に抑制することができる。 For this reason, the arrangement pitch of the first dummy pixel region is smaller than the arrangement pitch of the pixel region, and etching for forming, for example, a wiring or a storage capacitor is uniformly performed near the boundary between the dummy pixel portion and the pixel portion. Thus, it is possible to reliably prevent the image quality from changing discontinuously. Furthermore, by increasing the arrangement pitch of the second dummy pixel areas to, for example, half of the arrangement pitch of the first dummy pixel areas, an increase in the surrounding area occupied by the dummy pixel areas can be efficiently suppressed.
以上のように、本発明の第1の電気光学装置によれば、ダミー画素部と画素部との境界付近における画質の不連続な変化を防止することが可能となると共に、ダミー画素領域が占める周囲領域の増大を効率的に抑制し、基板上の領域の有効利用を図ることが可能となる。 As described above, according to the first electro-optical device of the present invention, it is possible to prevent a discontinuous change in image quality near the boundary between the dummy pixel portion and the pixel portion, and the dummy pixel region occupies. It is possible to efficiently suppress the increase in the surrounding area and to effectively use the area on the substrate.
本発明の第2の電気光学装置は、上記課題を解決するために、基板上に、画素領域に配置された複数の画素部と、前記基板上で平面的に見て前記画素領域の周囲を囲む周囲領域を構成する複数のダミー画素領域に夫々配置されており、前記画素部の構造の少なくとも一部を夫々模擬する複数のダミー画素部とを備えており、前記周囲領域のうち少なくとも前記画素領域の一辺に隣接する領域内において、前記一辺に沿った方向及び前記一辺に交差する方向のうち少なくとも一方の方向についての前記ダミー画素領域の配列ピッチは、前記一辺から離れるに従って徐々に小さくなり、前記ダミー画素領域のうち前記画素領域に隣接する第1ダミー画素領域に対して前記画素領域とは反対側に隣接する第2ダミー画素領域の配列ピッチの前記第1ダミー画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率は、前記第2ダミー画素領域に対して前記第1ダミー画素領域とは反対側に隣接する第3ダミー画素領域の配列ピッチの前記第2ダミー画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率よりも大きい。 In order to solve the above problems, a second electro-optical device of the present invention has a plurality of pixel portions arranged in a pixel region on a substrate and a periphery of the pixel region when viewed in plan on the substrate. A plurality of dummy pixel portions, each of which is arranged in a plurality of dummy pixel regions constituting a surrounding peripheral region, and each simulates at least a part of the structure of the pixel portion, and at least the pixels in the peripheral region In a region adjacent to one side of the region, the arrangement pitch of the dummy pixel regions in at least one of the direction along the one side and the direction intersecting the one side gradually decreases as the distance from the one side increases. The first of the arrangement pitches of the second dummy pixel regions adjacent to the opposite side of the pixel region with respect to the first dummy pixel region adjacent to the pixel region in the dummy pixel region. The ratio of the size of the me pixel area to the arrangement pitch is the second dummy pixel area of the arrangement pitch of the third dummy pixel area adjacent to the second dummy pixel area opposite to the first dummy pixel area. Larger than the ratio of the size to the arrangement pitch.
本発明の第2の電気光学装置によれば、その動作時には、上述した本発明に係る第1の電気光学装置の場合と概ね同様に画像領域における画像表示が行われる。 According to the second electro-optical device of the present invention, during the operation, image display in the image region is performed in substantially the same manner as in the case of the first electro-optical device according to the present invention described above.
ここで本発明の第2の電気光学装置では特に、ダミー画素領域の配列ピッチは、画素領域の一辺から離れるに従って徐々に小さくなる。よって、複数のダミー画素領域を配置するために必要となる周囲領域の面積を小さく、しかも、例えばダミー画素領域のうち画素領域に隣接する第1ダミー画素領域の配列ピッチを画素領域の配列ピッチと殆ど或いは好ましくは完全に一致させることで、ダミー画素部と画素部の電気的或いは光学的性質が不連続に変化することを防止することができる。具体的には、画素部及びダミー画素部における配線、蓄積容量等を形成するためのエッチングの際に、画素領域及びダミー画素領域の大きさの違いによる配線、蓄積容量等の密度の差に起因して生じ得るエッチング斑を低減或いは無くすことができる。即ち、ダミー画素部と画素部との境界付近で、画質が不連続に変化することを防止することができると共に、ダミー画素部が占める周囲領域の増大を抑制することができる。 Here, particularly in the second electro-optical device of the present invention, the arrangement pitch of the dummy pixel regions gradually decreases as the distance from one side of the pixel region increases. Therefore, the area of the surrounding area required for arranging the plurality of dummy pixel areas is reduced, and for example, the arrangement pitch of the first dummy pixel areas adjacent to the pixel area in the dummy pixel areas is defined as the arrangement pitch of the pixel areas. It is possible to prevent the electrical or optical properties of the dummy pixel portion and the pixel portion from changing discontinuously by almost or preferably matching completely. Specifically, when etching is performed to form wirings and storage capacitors in the pixel portion and the dummy pixel portion, it is caused by a difference in density of the wiring and storage capacitors due to a difference in size between the pixel region and the dummy pixel region. Etching spots that may occur can be reduced or eliminated. That is, it is possible to prevent the image quality from changing discontinuously near the boundary between the dummy pixel portion and the pixel portion, and to suppress an increase in the surrounding area occupied by the dummy pixel portion.
特に、シリアル−パラレル変換或いは相展開された画像信号を取り扱う場合に、ダミー画素領域に隣接するデータ線群により駆動される画素部ブロックと、それに隣接する画素部ブロックとの間に、ダミー画素部と画素部との間における電気的或いは光学的性質の不連続な変化に応じて、縞状或いはストライプ状の表示不良が生じることを防止することができる。 In particular, when a serial-parallel converted or phase-expanded image signal is handled, a dummy pixel unit is interposed between a pixel unit block driven by a data line group adjacent to the dummy pixel region and a pixel unit block adjacent thereto. In accordance with the discontinuous change in electrical or optical properties between the pixel portion and the pixel portion, it is possible to prevent a stripe-like or stripe-like display defect from occurring.
ここに「徐々に小さくなる」とは、連続的又は断続的或いは段階的に小さくなることを意味する。言い換えれば、前記一辺から離れるに従って、ダミー画素領域の前記一辺に交差する方向の幅Wi(i=1、…、n(但し、nは3以上の自然数)が、W1≧W2≧…≧Wnなる関係(但し、W1>Wn)を満たすように変化することを意味する。従って、本発明に係るダミー画素領域は、典型的には、前記一辺に交差する方向に3つ以上配列されている。言い換えれば、ダミー画素領域は、前記一辺に沿って3行或いは3列以上配列されている。 Here, “gradually smaller” means smaller continuously or intermittently or stepwise. In other words, the width Wi (i = 1,..., N (where n is a natural number of 3 or more)) in the direction intersecting the one side of the dummy pixel region becomes W1 ≧ W2 ≧ ... ≧ Wn as the distance from the one side increases. It means that the relationship changes so as to satisfy the relationship (W1> Wn) Therefore, typically, three or more dummy pixel regions according to the present invention are arranged in a direction intersecting the one side. In other words, the dummy pixel region is arranged in three rows or three columns or more along the one side.
更に、本発明の第2の電気光学装置では特に、ダミー画素領域のうち画素領域に隣接する第1ダミー画素領域に対して画素領域とは反対側に隣接する第2ダミー画素領域の配列ピッチの第1ダミー画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率は、第2ダミー画素領域に対して第1ダミー画素領域とは反対側に隣接する第3ダミー画素領域の配列ピッチの第2ダミー画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率よりも大きい。即ち、例えば、第2ダミー画素領域の配列ピッチは、第1ダミー画素領域の配列ピッチの例えば80%であり、第3ダミー画素領域の配列ピッチは、第2ダミー画素領域の配列ピッチの例えば50%即ち半分である。言い換えれば、第1ダミー画素領域の配列ピッチが、画素領域の配列ピッチから変化する度合い或いは程度は、第2ダミー画素領域の配列ピッチが、第1ダミー画素領域の配列ピッチから変化する度合い或いは程度と比べて、小さい。即ち、画素領域の直ぐ周囲では、配列ピッチは、相対的には余り変化しないか、又は全く変化しない。しかも、第2ダミー画素領域の配列ピッチが、第1ダミー画素領域の配列ピッチから変化する度合い或いは程度は、第3ダミー画素領域の配列ピッチが、第2ダミー画素領域の配列ピッチから変化する度合い或いは程度と比べて、小さい。即ち、画素領域から遠のく程、配列ピッチは、相対的には急激に変化する。 Further, in the second electro-optical device according to the present invention, in particular, the arrangement pitch of the second dummy pixel regions adjacent to the opposite side of the pixel region with respect to the first dummy pixel region adjacent to the pixel region in the dummy pixel region. The ratio of the size of the first dummy pixel area to the arrangement pitch of the second dummy pixel area is equal to the arrangement pitch of the third dummy pixel area adjacent to the second dummy pixel area opposite to the first dummy pixel area. It is larger than the ratio of the size to the arrangement pitch. That is, for example, the arrangement pitch of the second dummy pixel region is, for example, 80% of the arrangement pitch of the first dummy pixel region, and the arrangement pitch of the third dummy pixel region is, for example, 50 of the arrangement pitch of the second dummy pixel region. % Or half. In other words, the degree or degree to which the arrangement pitch of the first dummy pixel area changes from the arrangement pitch of the pixel area is the degree or degree to which the arrangement pitch of the second dummy pixel area changes from the arrangement pitch of the first dummy pixel area. Small compared to That is, in the immediate vicinity of the pixel region, the arrangement pitch does not change so much or does not change at all. In addition, the degree or degree to which the arrangement pitch of the second dummy pixel area changes from the arrangement pitch of the first dummy pixel area is the degree to which the arrangement pitch of the third dummy pixel area changes from the arrangement pitch of the second dummy pixel area. Or smaller than the degree. That is, the farther from the pixel region, the arrangement pitch changes relatively abruptly.
このため、第2ダミー画素領域の配列ピッチを第1ダミー画素領域の配列ピッチよりも小さく且つ第2ダミー画素部と第1ダミー画素部との境界付近で、例えば配線や蓄積容量を形成するためのエッチングを均一に行うことができる。更に、第3ダミー画素領域の配列ピッチを第2ダミー画素領域の配列ピッチの例えば半分にすることによって、ダミー画素領域が占める周囲領域の増大を効率的に抑制することができる。 For this reason, in order to form, for example, a wiring or a storage capacitor near the boundary between the second dummy pixel portion and the first dummy pixel portion, the arrangement pitch of the second dummy pixel region is smaller than the arrangement pitch of the first dummy pixel region. Etching can be performed uniformly. Furthermore, by increasing the arrangement pitch of the third dummy pixel area to, for example, half the arrangement pitch of the second dummy pixel area, it is possible to efficiently suppress an increase in the surrounding area occupied by the dummy pixel area.
以上のように、本発明の第2の電気光学装置によれば、ダミー画素部と画素部との境界付近における画質の不連続な変化を防止することが可能となると共に、ダミー画素領域が占める周囲領域の増大を効率的に抑制し、基板上の領域の有効利用を図ることが可能となる。 As described above, according to the second electro-optical device of the present invention, it is possible to prevent a discontinuous change in image quality near the boundary between the dummy pixel portion and the pixel portion, and the dummy pixel region occupies. It is possible to efficiently suppress the increase in the surrounding area and to effectively use the area on the substrate.
本発明の第1又は第2の電気光学装置の一態様では、前記第1ダミー画素領域の配列ピッチをD1とし、前記画素領域の配列ピッチをD0とするとき、前記第1ダミー画素領域は、前記第1ダミー画素領域の配列ピッチの前記画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率D1/D0の値が、前記配列ピッチD0に対して単調減少する所定関数F(D0)により与えられるように、配列されている。 In one aspect of the first or second electro-optical device of the present invention, when the arrangement pitch of the first dummy pixel regions is D1 and the arrangement pitch of the pixel regions is D0, the first dummy pixel region is The value of the ratio D1 / D0 of the size of the arrangement pitch of the first dummy pixel area to the arrangement pitch of the pixel area is given by a predetermined function F (D0) that monotonously decreases with respect to the arrangement pitch D0. It is arranged.
この態様によれば、画素領域の配列ピッチD0が大きいほど、配列ピッチD0に対して単調減少する所定関数F(D0)により与えられる、第1ダミー画素領域の配列ピッチの画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率D1/D0の値は小さい。ここに「単調減少」とは、代数的には広義の単調減少を意味し、任意のD01及びD02(但し、D01<D02)に対しては、F(D01)≧F(D02)となり、且つ或るD01及びD02(但し、D01<D02)に対しては、F(D01)>F(D02)となることを意味する。即ち、例えば、画素領域の配列ピッチD0が20umの場合には、第1ダミー画素領域の配列ピッチの画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率D1/D0は1/2(即ち50%)であり、画素領域の配列ピッチD0が40umの場合には、第1ダミー画素領域の配列ピッチの画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率D1/D0は1/4(即ち25%)である。言い換えれば、画素領域の配列ピッチが例えば20um及び40umのいずれの場合にも、第1ダミー画素領域の配列ピッチは例えば10umとなる。よって、ダミー画素部と画素部との境界付近における画質の不連続な変化を防止するための第1ダミー画素領域の配列ピッチを確保すると共に、ダミー画素領域が占める周囲領域の増大を画素領域の配列ピッチに応じて一層効率的に抑制し、基板上の領域の有効利用を図ることが可能となる。 According to this aspect, the larger the arrangement pitch D0 of the pixel area, the larger the arrangement pitch D0 of the first dummy pixel area given by the predetermined function F (D0) monotonically decreasing with respect to the arrangement pitch D0. The size ratio D1 / D0 is small. Here, “monotonically decreasing” means monotonically decreasing in a broad sense in terms of algebra, and for any D01 and D02 (where D01 <D02), F (D01) ≧ F (D02), and For some D01 and D02 (however, D01 <D02), this means that F (D01)> F (D02). That is, for example, when the pixel area arrangement pitch D0 is 20 μm, the ratio D1 / D0 of the size of the arrangement pitch of the first dummy pixel area to the arrangement pitch of the pixel area is ½ (ie, 50%). When the pixel area arrangement pitch D0 is 40 μm, the ratio D1 / D0 of the size of the arrangement pitch of the first dummy pixel area to the arrangement pitch of the pixel area is ¼ (that is, 25%). In other words, the arrangement pitch of the first dummy pixel areas is, for example, 10 um, regardless of whether the arrangement pitch of the pixel areas is, for example, 20 um or 40 um. Therefore, the arrangement pitch of the first dummy pixel area for preventing the discontinuous change in image quality near the boundary between the dummy pixel part and the pixel part is secured, and the increase of the surrounding area occupied by the dummy pixel area is increased. It becomes possible to suppress more efficiently according to the arrangement pitch and to effectively use the area on the substrate.
本発明の第1又は第2の電気光学装置の他の態様では、前記第1ダミー画素領域の配列ピッチをD1とし、前記画素領域の配列ピッチをD0とするとき、前記第1ダミー画素領域は、前記第1ダミー画素領域の配列ピッチの前記画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率D1/D0の値が、前記画素部を構成する複数の層間絶縁膜のうちいずれか1つの膜厚Tに対して単調減少する所定関数G(T)により与えられるように、配列されている。 In another aspect of the first or second electro-optical device of the present invention, when the arrangement pitch of the first dummy pixel regions is D1 and the arrangement pitch of the pixel regions is D0, the first dummy pixel region is The value of the ratio D1 / D0 of the size of the arrangement pitch of the first dummy pixel regions to the arrangement pitch of the pixel regions is the film thickness T of any one of the plurality of interlayer insulating films constituting the pixel portion. On the other hand, they are arranged so as to be given by a predetermined function G (T) that monotonously decreases.
この態様によれば、例えば、ダミー画素部を構成する層間絶縁膜の膜厚Tが薄いほど、膜厚Tに対して単調減少する所定関数G(T)により与えられる、第1ダミー画素領域の配列ピッチの画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率D1/D0の値は大きい。ここに「単調減少」とは、代数的には広義の単調減少を意味する。即ち、例えば、層間絶縁膜の膜厚Tが薄いほど、第1ダミー画素領域の配列ピッチは画素領域の配列ピッチに近づく、或いは完全に一致する。よって、画素部及びダミー画素部における配線、蓄積容量等を形成するためのエッチングの際のエッチング斑に起因して生じる、ダミー画素部と画素部との境界付近で、画質が不連続に変化することを防止することができる。一方、例えば、層間絶縁膜の膜厚Tが厚いほど、第1ダミー画素領域の配列ピッチは画素領域の配列ピッチよりも小さくなる。よって、層間絶縁膜の膜厚Tが厚いことによって、エッチング斑に起因する画質の不連続な変化が生じにくくなる分だけ、ダミー画素領域が占める周囲領域の増大を層間絶縁膜の膜厚Tに応じて一層効率的に抑制し、基板上の領域の有効利用を図ることが可能となる。 According to this aspect, for example, the first dummy pixel region is given by the predetermined function G (T) that monotonously decreases with respect to the film thickness T as the film thickness T of the interlayer insulating film constituting the dummy pixel portion decreases. The ratio of the size D1 / D0 of the pixel area to the array pitch of the pixel pitch is large. Here, “monotonically decreasing” means monotonically decreasing in a broad sense in terms of algebra. That is, for example, as the film thickness T of the interlayer insulating film is thinner, the arrangement pitch of the first dummy pixel regions approaches or completely matches the arrangement pitch of the pixel regions. Therefore, the image quality changes discontinuously in the vicinity of the boundary between the dummy pixel portion and the pixel portion, which is caused by etching spots at the time of etching to form wirings, storage capacitors, etc. in the pixel portion and the dummy pixel portion. This can be prevented. On the other hand, for example, the greater the thickness T of the interlayer insulating film, the smaller the arrangement pitch of the first dummy pixel regions than the arrangement pitch of the pixel regions. Therefore, the increase in the peripheral region occupied by the dummy pixel region is increased in the thickness T of the interlayer insulating film by the amount that the discontinuous change in image quality due to the etching spots is less likely to occur due to the thicker film thickness T of the interlayer insulating film. Accordingly, it is possible to more efficiently suppress and effectively use the region on the substrate.
本発明の第1又は第2の電気光学装置の他の態様では、前記第1ダミー画素領域の配列ピッチは、前記画素領域の配列ピッチの80%以上である。 In another aspect of the first or second electro-optical device of the present invention, the arrangement pitch of the first dummy pixel regions is 80% or more of the arrangement pitch of the pixel regions.
この態様によれば、第1ダミー画素領域の配列ピッチが、画素部及びダミー画素部における配線、蓄積容量等を形成するためのエッチングの際に、画素領域及びダミー画素領域の大きさの違いによる配線、蓄積容量等の密度の差に起因して生じ得るエッチング斑に対して十分に大きいので、ダミー画素部と画素部との境界付近で、画質が不連続に変化することを防止することができる。 According to this aspect, the arrangement pitch of the first dummy pixel regions depends on the difference in size between the pixel region and the dummy pixel region during the etching for forming the wiring, the storage capacitor, and the like in the pixel unit and the dummy pixel unit. It is sufficiently large against etching spots that may be caused by the difference in density of wiring, storage capacitance, etc., so that it is possible to prevent the image quality from changing discontinuously near the boundary between the dummy pixel portion and the pixel portion. it can.
本発明の第1又は第2の電気光学装置の他の態様では、前記第2ダミー画素領域の配列ピッチは、前記第1ダミー画素領域の配列ピッチの50%以下である。 In another aspect of the first or second electro-optical device of the present invention, the arrangement pitch of the second dummy pixel regions is 50% or less of the arrangement pitch of the first dummy pixel regions.
この態様によれば、ダミー画素領域が占める周囲領域の増大を一層効率的に抑制し、基板上の領域の有効利用を図ることが可能となる。 According to this aspect, it is possible to more efficiently suppress an increase in the surrounding area occupied by the dummy pixel area and to effectively use the area on the substrate.
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置(但し、その各種態様も含む)を具備する。 In order to solve the above problems, an electronic apparatus according to the present invention includes the above-described electro-optical device according to the present invention (including various aspects thereof).
本発明の電子機器は、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるので、高品質な画像表示を行うことが可能な、投射型表示装置、テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置、電子放出装置(Field Emission Display及びConduction Electron-Emitter Display)、これら電気泳動装置、電子放出装置を用いた装置としてDLP(Digital Light Processing)等を実現することも可能である。 Since the electronic apparatus of the present invention includes the above-described electro-optical device of the present invention, a projection display device, a television, a mobile phone, an electronic notebook, a word processor, a view capable of performing high-quality image display. Various electronic devices such as a finder type or a monitor direct-view type video tape recorder, a workstation, a videophone, a POS terminal, and a touch panel can be realized. In addition, as an electronic apparatus of the present invention, for example, an electrophoretic device such as electronic paper, an electron emission device (Field Emission Display and a Conduction Electron-Emitter Display), an electrophoretic device, and a device using the electron emission device, DLP (Digital Light Processing) and the like can also be realized.
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされよう。 The operation and other advantages of the present invention will become apparent from the best mode for carrying out the invention described below.
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態では、本発明の電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, a driving circuit built-in type TFT active matrix driving type liquid crystal device, which is an example of the electro-optical device of the present invention, is taken as an example.
(第1実施形態)
第1実施形態に係る液晶装置について、図1から図8を参照して説明する。
(First embodiment)
The liquid crystal device according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.
先ず、図1及び図2を参照して、本実施形態に係る液晶装置の全体構成について、説明する。ここに図1は、本実施形態に係る液晶装置の構成を示す平面図であり、図2は、図1のH−H’線での断面図である。 First, the overall configuration of the liquid crystal device according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a plan view showing the configuration of the liquid crystal device according to this embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line H-H ′ in FIG. 1.
図1及び図2において、本実施形態に係る液晶装置では、TFTアレイ基板10と対向基板20とが対向配置されている。TFTアレイ基板10と対向基板20との間に液晶層50が封入されており、TFTアレイ基板10と対向基板20とは、画像表示領域10aの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材52により相互に接着されている。ここで、画像表示領域10aは、本発明に係る「画素領域」の一例である。
1 and 2, in the liquid crystal device according to the present embodiment, a
図1において、シール材52が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域10aの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜53が、対向基板20側に設けられている。周辺領域のうち、シール材52が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路101及び外部回路接続端子102がTFTアレイ基板10の一辺に沿って設けられている。この一辺に沿ったシール領域よりも内側に、サンプリング回路7が額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。また、走査線駆動回路104は、この一辺に隣接する2辺に沿ったシール領域の内側に、額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。また、TFTアレイ基板10上には、対向基板20の4つのコーナー部に対向する領域に、両基板間を上下導通材107で接続するための上下導通端子106が配置されている。これらにより、TFTアレイ基板10と対向基板20との間で電気的な導通をとることができる。
In FIG. 1, a light-shielding frame light-shielding
TFTアレイ基板10上には、外部回接続端子102と、データ線駆動回路101、走査線駆動回路104、上下導通端子106等とを電気的に接続するための引回配線90が形成されている。
On the
図2において、TFTアレイ基板10上には、画素スイッチング素子のTFT(Thin Film Transistor)や走査線、データ線等の配線が作り込まれた積層構造が形成される。画像表示領域10aには、画素スイッチング用TFTや走査線、データ線等の配線の上層に画素電極9aが設けられている。他方、対向基板20におけるTFTアレイ基板10との対向面上に、遮光膜23が形成されている。そして、遮光膜23上に、ITO等の透明材料からなる対向電極21が複数の画素電極9aと対向して形成される。
In FIG. 2, on the
尚、ここでは図示しないが、TFTアレイ基板10上には、データ線駆動回路101、走査線駆動回路104の他に、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路、検査用パターン等が形成されていてもよい。
Although not shown here, in addition to the data line driving
次に、図3を参照して、本実施形態の電気的な構成について説明する。ここに図3は、画素部及びダミー画素部における各種素子、配線等の等価回路を、その周辺駆動回路と共に示した回路図である。 Next, the electrical configuration of the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a circuit diagram showing equivalent circuits such as various elements and wirings in the pixel portion and the dummy pixel portion together with their peripheral drive circuits.
図3において、本実施形態における電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素部93には夫々、画素電極9aと当該画素電極9aをスイッチング制御するためのTFT30とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線6aが当該TFT30のソースに電気的に接続されている。走査信号が供給される走査線113aが、TFT30のゲートに電気的に接続されている。画素電極9a及び蓄積容量70が、TFT30のドレインに電気的に接続されている。
In FIG. 3, each of a plurality of
電気光学装置は、画像表示領域10aの周辺に位置する周辺領域に、データ線駆動回路101、走査線駆動回路104及びサンプリング回路7を備えて構成されている。データ線駆動回路101は、サンプリング回路駆動信号線114を介して、サンプリング回路駆動信号をサンプリング回路7に順次供給するように構成されている。サンプリング回路7は、サンプリング用の、即ちサンプリングスイッチとしての片チャネル型TFT302を複数備える。各片チャネル型TFT302は、画像信号線115からの引き出し線116にそのソースが接続され、データ線6aにそのドレインが接続され、サンプリング回路駆動信号線114にそのゲートが接続されている。そして、データ線駆動回路101から供給されるサンプリング回路駆動信号のタイミングで、画像信号線115上の画像信号VID1〜VID6を同時にサンプリングし、6本のデータ線に対して同時に供給する。これにより、画像信号S1、S2、…、Snとして、6本のデータ線6aのグループ別に、順次に書き込むように構成されている。他方、走査線駆動回路104は、パルス的に走査信号G1、G2、…、Gmを、所定のタイミングでこの順に線順次で、走査線113aに供給するように構成されている。
The electro-optical device includes a data
画像表示領域10a内では、TFT30のゲートに、走査線駆動回路104から走査線113aを介して走査信号G1、G2、…、Gmが線順次で印加される。画素電極9aには、画素スイッチング素子であるTFT30を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snを所定のタイミングで書き込む。画素電極9aを介して液晶層50(図2参照)に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは、対向電極21(図2参照)との間で一定期間保持される。液晶層50は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能にする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストを持つ光が出射する。ここで、保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極9aと対向電極21との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量70を付加する。蓄積容量70は、後に詳述する如く、画素電極9aに接続された画素電位側容量電極と、これに誘電体膜を挟んで対向配置された固定電位側容量電極とを含んでなる。走査線113aと並んで配列された固定電位の容量線300の一部が、このような固定電位側容量電極とされている。
In the
容量線300は、画素電極9aが配列された画像表示領域10a外で容量線電位供給端子303に電気的に接続されている。これにより、全ての容量線300は、容量線電位供給端子303から供給される安定した固定電位又は反転する所定電位とされ、蓄積容量70において良好な電位保持特性が得られる。このような電位源としては、TFT30を駆動するための走査信号を走査線113aに供給するための走査線駆動回路やデータ線駆動回路に供給される正電源や負電源の定電位源でもよいし、対向基板20の対向電極21に供給される定電位でも構わない。
The
更に、図3中、画像表示領域10aには、白四角で夫々図示された画素電極9aが配列されており、その周辺に額縁状に広がるダミー画素領域には、黒四角で夫々図示されたダミー画素電極9dが配列されている。画素電極9aとダミー画素電極9dとは概ね同一構成を有している。更に、画素電極9a、画素スイッチング用TFT30及び蓄積容量70を含んでなる画素部93と、ダミー画素電極9d、画素スイッチング用TFT30及びダミー蓄積容量70dを含んでなるダミー画素部93dとは、概ね同一構成を有する。即ち、ダミー画素部93は画素部93の少なくとも一部を模擬した構成となっていればよい。ダミー画素部93dの構成については、後で詳述する。図3では、より具体的には、画像表示領域10aの周辺2列及び周辺2行が、ダミー画素部93dとされており、ダミー画素領域では、画像表示領域10aにおけると同様にアクティブマトリクス駆動が行われるので、アクティブマトリクス駆動における画像表示領域10aの縁付近で発生する、液晶が不完全に駆動される部分については、実際に表示される画像表示領域10aから除外される。これにより、画像表示領域10aの隅々まで良好な画像表示が可能とされる。
Further, in FIG. 3,
次に、図4及び図5を参照して、画素部及びダミー画素部の具体的な構成について説明する。図4は、相隣接する画素部及びダミー画素部の平面図である。図5は、図4のA−A’の断面図である。 Next, specific configurations of the pixel portion and the dummy pixel portion will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a plan view of adjacent pixel portions and dummy pixel portions. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ of FIG. 4.
図4において、電気光学装置のTFTアレイ基板上には、マトリクス状に複数の透明な画素電極9a(点線部9a’により輪郭が示されている)が設けられており、画素電極9aの縦横の境界に各々沿ってデータ線6a及び走査線113aが設けられている。
In FIG. 4, on the TFT array substrate of the electro-optical device, a plurality of
ダミー画素領域には、画像表示領域10aにおける画素電極9aと同様に、複数の透明なダミー画素電極9dが設けられており、ダミー画素電極9dの縦横の境界に各々沿ってデータ線6a及び走査線113aが設けられている。但し、ダミー電極9dは、透明でなくてもよい。
Similar to the
図4及び図5において、半導体層1aのうちチャネル領域1a’に対向するように走査線113aが配置されており、走査線113aはゲート電極として機能する。走査線113aとデータ線6aとの交差する個所には夫々、チャネル領域1a’に走査線113aがゲート電極として対向配置された画素スイッチング用のTFT30が設けられている。
4 and 5, the
図5において、画素スイッチング用TFT30は、LDD(Lightly Doped Drain)構造を有しており、走査線113a、当該走査線113aからの電界によりチャネルが形成される半導体層1aのチャネル領域1a’、走査線113aと半導体層1aとを絶縁するゲート絶縁膜を含む絶縁膜2、半導体層1aの低濃度ソース領域1b及び低濃度ドレイン領域1c、半導体層1aの高濃度ソース領域1d並びに高濃度ドレイン領域1eを備えている。
In FIG. 5, the
図4及び図5に示すように、容量線300は、走査線113a上に形成されている。容量線300は、平面的に見て走査線113aに沿ってストライプ状に伸びる本線部と、走査線113a及びデータ線6aの交点における該本線部からデータ線6aに沿って図4中上下に突出した突出部とを含んでなる。
As shown in FIGS. 4 and 5, the
容量線300は、例えば金属又は合金を含む導電性の遮光膜からなり上側遮光膜の一例を構成すると共に固定電位側容量電極としても機能する。容量線300は、例えばTi(チタン)、Cr(クロム)、W(タングステン)、Ta(タンタル)、Mo(モリブデン)等の高融点金属のうちの少なくとも一つを含む、金属単体、合金、金属シリサイド、ポリシリサイド、これらを積層したもの等からなる。容量線300は、Al(アルミニウム)、Ag(銀)、Au(金)、Cu(銅)等の他の金属を含んでもよい。或いは、容量線300は、例えば導電性のポリシリコン膜等からなる第1膜と高融点金属を含む金属シリサイド膜等からなる第2膜とが積層された多層構造を持ってもよい。
The
他方、容量線300に対して、誘電体膜75を介して対向配置される中継層71は、蓄積容量70の画素電位側容量電極としての機能を持ち、更に、画素電極9aとTFT30の高濃度ドレイン領域1eとを中継接続する中間導電層としての機能を持つ。
On the other hand, the
このように、蓄積容量70は、TFT30の高濃度ドレイン領域1e及び画素電極9aに接続された画素電位側容量電極としての中継層71と、固定電位側容量電極としての容量線300の一部とが、誘電体膜75を介して対向配置されることにより構築されている。
As described above, the
そして、図4中縦方向に夫々伸びるデータ線6aと図4中横方向に夫々伸びる容量線300とが相交差して形成されることにより、TFTアレイ基板10上におけるTFT30の上側に、平面的に見て格子状の上側遮光膜が構成されており、各画素の開口領域を規定している。
Then, the
図4及び図5に示すように、画素電極9aは、中継層71を中継することにより、コンタクトホール83及び85を介して半導体層1aのうち高濃度ドレイン領域1eに電気的に接続されている。
As shown in FIGS. 4 and 5, the
他方、データ線6aは、コンタクトホール81を介して、例えばポリシリコン膜からなる半導体層1aのうち高濃度ソース領域1dに電気的に接続されている。尚、データ線6aと高濃度ソース領域1aとを中継層により中継接続することも可能である。
On the other hand, the
図5において、TFTアレイ基板10は、例えば石英基板、ガラス基板、シリコン基板からなり、対向基板20は、例えばガラス基板や石英基板からなる。
In FIG. 5, the
図5に示すように、TFTアレイ基板10には、画素電極9aが設けられており、その上側には、ラビング処理等の所定の配向処理が施された配向膜16が設けられている。画素電極9aは例えば、ITO(Indium Tin Oxide)膜などの透明導電性膜からなる。また配向膜16は例えば、ポリイミド膜などの有機膜からなる。
As shown in FIG. 5, the
走査線113a上には、高濃度ソース領域1dへ通じるコンタクトホール81及び高濃度ドレイン領域1eへ通じるコンタクトホール83が各々開孔された第1層間絶縁膜41が形成されている。
On the
第1層間絶縁膜41上には中継層71及び容量線300が形成されており、これらの上には、コンタクトホール81及びコンタクトホール85が各々開孔された第2層間絶縁膜42が形成されている。
A
第2層間絶縁膜42上にはデータ線6aが形成されており、これらの上には、中継層71へ通じるコンタクトホール85が形成された第3層間絶縁膜43が形成されている。画素電極9aは、このように構成された第3層間絶縁膜43の上面に設けられている。
A
他方、対向基板20には、その対向面の全面に対向電極21が設けられており、更にその上(図5では対向電極21の下側)に配向膜22が設けられている。対向電極21は、画素電極9aと同様、例えばITO膜等の透明導電性膜からなる。尚、対向基板20と対向電極21の間には、TFT30における光リーク電流の発生等を防止するため、少なくともTFT30と正対する領域を覆うように遮光膜23が設けられている。
On the other hand, the
このように構成されたTFTアレイ基板10と対向基板20の間には、液晶層50が設けられている。液晶層50は、基板10及び20の周縁部をシール材により封止して形成した空間に液晶を封入して形成される。液晶層50は、画素電極9aと対向電極21との間に電界が印加されていない状態において、ラビング処理等の配向処理が施された配向膜16及び配向膜22によって、所定の配向状態をとるようになっている。
A
次に、図4及び図6を参照して、ダミー画素領域の配列について説明する。ここに図6は、本実施形態に係る画素領域及びダミー画素領域の配列ピッチの大きさの関係を示す模式図である。 Next, the arrangement of dummy pixel regions will be described with reference to FIGS. FIG. 6 is a schematic diagram showing the relationship between the arrangement pitches of the pixel area and the dummy pixel area according to this embodiment.
図4及び図6において、本実施形態では特に、ダミー画素領域94dの配列ピッチDdは、画素領域94aの配列ピッチD0より小さく、しかも、ダミー画素領域94dの配列ピッチDdは、画像表示領域10aの一辺から離れるに従って徐々に小さくなっている。即ち、図6に示すように、画素領域94a、第1ダミー画素領域94d1、第2ダミー画素領域94d2及び第3ダミー画素領域d3の各々の配列ピッチD0、D1、D2及びD3は、D0>D1≧D2≧D3なる関係(より正確には、図6では、D0>D1>D2=D3なる関係)を満たしている。よって、複数のダミー画素領域94dを配置するために必要となる周囲領域の面積は小さくなっている。よって基板上の領域の有効利用を図ることができる。或いは、基板の小型化が可能となる。
4 and 6, particularly in the present embodiment, the arrangement pitch Dd of the
更に、図6において、本実施形態では特に、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1は、画素領域94aの配列ピッチD0の80%となっており、データ線6a、蓄積容量70等を形成するためのエッチングの際に、画素領域94a及び第1ダミー画素領域94d1の大きさの違いによるデータ線6a、蓄積容量70等の画素領域94a又は第1ダミー画素領域94d1に占める割合の差に起因して生じ得るエッチング斑に対して十分に大きい。よって、第1ダミー画素領域94d1と画素領域94との境界付近、言い換えれば、周囲領域と画像表示領域10aとの境界付近で、画質が不連続に変化することを防止することができる。尚、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1は、画素領域94aの配列ピッチD0の80%より大きいほど、周囲領域と画像表示領域10aとの境界付近で、画質が不連続に変化することをより一層確実に防止することができる。また特に、画像信号がシリアル−パラレル変換或いは相展開されていることによる、ダミー画素領域94dに隣接するデータ線6a群により駆動される画素部93のブロックと、それに隣接する画素部93のブロックとの間に、ダミー画素部93dと画素部93との間における電気的或いは光学的性質の不連続な変化に応じて、縞状或いはストライプ状の表示不良が生じることを防止することができる。
Further, in FIG. 6, the arrangement pitch D1 of the first dummy pixel region 94d1 is 80% of the arrangement pitch D0 of the
加えて、図6において、本実施形態では特に、第2ダミー画素領域94d2の配列ピッチD2及び第3ダミー画素領域94d3の配列ピッチD3は、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1の50%となっている。よって、第2ダミー領域94d2及び第3ダミー領域94d3が占める領域は小さい。よって、基板上の領域の有効利用を図ることができる。
尚、第2ダミー画素領域94d2の配列ピッチD2及び第3ダミー画素領域94d3の配列ピッチD3は、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1の50%より小さくてもよい。その場合には、基板上の領域を一層有効に利用することができる。
In addition, in FIG. 6, in the present embodiment, the arrangement pitch D2 of the second dummy pixel region 94d2 and the arrangement pitch D3 of the third dummy pixel region 94d3 are 50% of the arrangement pitch D1 of the first dummy pixel region 94d1. It has become. Therefore, the area occupied by the second dummy area 94d2 and the third dummy area 94d3 is small. Therefore, effective use of the area on the substrate can be achieved.
Note that the arrangement pitch D2 of the second dummy pixel region 94d2 and the arrangement pitch D3 of the third dummy pixel region 94d3 may be smaller than 50% of the arrangement pitch D1 of the first dummy pixel region 94d1. In that case, the area on the substrate can be used more effectively.
次に、図6及び図7を参照して、第1ダミー画素領域の配列について説明する。ここに図7は、所定関数F(D0)を示すグラフである。 Next, the arrangement of the first dummy pixel regions will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a graph showing the predetermined function F (D0).
図6及び図7に示すように、本実施形態では特に、第1ダミー画素領域94d1は、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1の画素領域94aの配列ピッチD0に対する大きさの比率D1/D0の値が、D0に対して単調減少する所定関数F(D0)により与えられるように、配列されている。図7において、本実施形態では、画素領域94aの配列ピッチD0は、12umであり、上述したように、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1は、画素領域94aの配列ピッチD0の80%である。即ち第1ダミー画素領域94d1は、大きさの比率D1/D0が、F(D0)の値(即ち0.8)となるように配列されている。
As shown in FIGS. 6 and 7, in the present embodiment, in particular, the first dummy pixel region 94d1 has a size ratio D1 / D0 of the arrangement pitch D1 of the first dummy pixel region 94d1 to the arrangement pitch D0 of the
図7において、画素領域94aの配列ピッチD0が20umの場合には、大きさの比率D1/D0は1/2(即ち50%)であり、画素領域94aの配列ピッチD0が40umの場合には、大きさの比率D1/D0は1/4(即ち25%)である。言い換えれば、画素領域94aの配列ピッチが20um及び40umのいずれの場合にも、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1は10umとなる。ここで、データ線6a、蓄積容量70等を形成するためのエッチングの際に生じ得るエッチング斑は、画素領域94及び第1ダミー画素領域94d1の大きさの違いによるデータ線6a、蓄積容量70等の密度の差に起因している。しかるに、第1ダミー画素領域94d1がF(D0)で与えられる配列ピッチ以上で配列されていれば、エッチング斑による、ダミー画素部93dと画素部93との境界付近で、画質が不連続に変化することを防止することができる。更に、第1ダミー画素領域94dが占める領域の増大を画素領域94aの配列ピッチD0に応じて一層効率的に抑制し、基板上の領域の有効利用を図ることができる。
In FIG. 7, when the arrangement pitch D0 of the
加えて、所定関数F(D0)は、特定範囲内にある配列ピッチD0に対してのみ、図7の如き変化する曲線として定義されてもよい。この場合、係る特定範囲外の配列ピッチD0に対しては、比率D1/D0の値は、一定としてもよく、更に、配列ピッチD0と無関係に、配列ピッチD1を一定としてもよい。例えば、配列ピッチD0がある程度大きければ、前述したエッチング等における不都合は顕在化し難いので、配列ピッチD1については、配列ピッチD0とは無関係に一定としてもよいし、逆に、配列ピッチD0がある程度小さければ、製造時における微細加工の限界との関係から、配列ピッチD1についても配列ピッチD0と同程度に一定としてもよい。 In addition, the predetermined function F (D0) may be defined as a curve that changes as shown in FIG. 7 only for the arrangement pitch D0 within a specific range. In this case, for the arrangement pitch D0 outside the specific range, the value of the ratio D1 / D0 may be constant, and the arrangement pitch D1 may be constant regardless of the arrangement pitch D0. For example, if the arrangement pitch D0 is large to some extent, the inconvenience in the above-described etching or the like is difficult to be manifested. Therefore, the arrangement pitch D1 may be constant regardless of the arrangement pitch D0, and conversely, the arrangement pitch D0 may be small to some extent. For example, the arrangement pitch D1 may be constant as much as the arrangement pitch D0 because of the relationship with the limit of microfabrication at the time of manufacture.
次に、図8を参照して、本実施形態の変形例に係る第1ダミー画素領域の配列について説明する。ここに図8は、所定関数G(T)を示すグラフである。 Next, with reference to FIG. 8, the arrangement of the first dummy pixel regions according to a modification of the present embodiment will be described. FIG. 8 is a graph showing the predetermined function G (T).
図8に示すように、第1ダミー画素領域94d1は、その配列ピッチD1の画素領域94aの配列ピッチD0に対する大きさの比率D1/D0の値が、画素部93を構成する層間絶縁膜41、42及び43のうちいずれか1つの膜厚Tに対して単調減少する所定関数G(T)により与えられるように、配列されていてもよい。この場合、ダミー画素部93を構成する層間絶縁膜41、42及び43の膜厚Tが薄いほど、所定関数G(T)により与えられる、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1の画素領域94の配列ピッチd0に対する大きさの比率D1/D0の値は大きい。即ち、層間絶縁膜41、42及び43の膜厚Tが薄いほど、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1は画素領域94aの配列ピッチD0に近づく、或いは完全に一致する。よって、画素部93及びダミー画素部93dにおけるデータ線6a、蓄積容量70等を形成するためのエッチングの際のエッチング斑に起因して生じる、ダミー画素部93dと画素部93との境界付近で、画質が不連続に変化することを防止することができる。一方、層間絶縁膜41、42及び43の膜厚Tが厚いほど、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1は画素領域94aの配列ピッチD0よりも小さくなる。よって、層間絶縁膜41、42及び43の膜厚Tが厚いことによって、エッチング斑に起因する画質の不連続な変化が生じにくくなる分だけ、ダミー画素領域94dが占める周囲領域の増大を層間絶縁膜41、42及び43の膜厚Tに応じて一層効率的に抑制し、基板上の領域の有効利用を図ることが可能となる。
As shown in FIG. 8, in the first dummy pixel region 94d1, the value of the ratio D1 / D0 of the size of the arrangement pitch D1 to the arrangement pitch D0 of the
尚、図8に示した所定関数G(T)は、G(T)=k×T+C(但し、k及びCは定数)で与えられており、定数k及びCは、層間絶縁膜の種類或いはエッチングレートにより異なる。但し、所定関数G(T)は、Tの1次関数に限られるものではない。 Note that the predetermined function G (T) shown in FIG. 8 is given by G (T) = k × T + C (where k and C are constants), and the constants k and C are the types of interlayer insulating films or It depends on the etching rate. However, the predetermined function G (T) is not limited to a linear function of T.
加えて、所定関数G(T)は、特定範囲内にある膜厚Tに対してのみ、図8の如き変化する直線として定義されてもよい。この場合、係る特定範囲外の膜厚Tに対しては、比率D1/D0の値は、一定としてもよく、更に、膜厚Tと無関係に、配列ピッチD1を一定としてもよい。例えば、膜厚Tがある程度大きければ、前述したエッチング等における不都合は顕在化し難いので、配列ピッチD1については、膜厚Tや配列ピッチD0とは無関係に一定としてもよいし、逆に、膜厚Tがある程度小さければ、製造時における微細加工の限界との関係から、配列ピッチD1を配列ピッチD0と共に一定としてもよい。 In addition, the predetermined function G (T) may be defined as a straight line that changes as shown in FIG. 8 only for the film thickness T within a specific range. In this case, for the film thickness T outside the specific range, the value of the ratio D1 / D0 may be constant, and the arrangement pitch D1 may be constant regardless of the film thickness T. For example, if the film thickness T is large to some extent, the above-described inconvenience in etching or the like is difficult to be manifested. Therefore, the arrangement pitch D1 may be constant regardless of the film thickness T or the arrangement pitch D0. If T is somewhat small, the arrangement pitch D1 may be constant together with the arrangement pitch D0 from the relationship with the limit of microfabrication during manufacturing.
(第2実施形態)
第2実施形態に係る液晶装置について、図9を参照して説明する。ここに図9は、第2実施形態における図6と同趣旨の模式図である。尚、図9において、図1から図7に示した第1実施形態に係る構成要素と同様の構成要素に同一の参照符合を付し、それらの説明は適宜省略する。
(Second Embodiment)
A liquid crystal device according to a second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a schematic diagram having the same concept as FIG. 6 in the second embodiment. In FIG. 9, the same components as those in the first embodiment shown in FIGS. 1 to 7 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate.
図9において、本実施形態では特に、第1ダミー画素領域94d1は、その配列ピッチD1が、画素領域94aの配列ピッチD0と殆ど或いは好ましくは完全に一致するように配列されている。このため、画素部93及びダミー画素部93dにおけるデータ線6a、蓄積容量70等を形成するためのエッチングの際に、画素領域94a及びダミー画素領域94dの大きさの違いによるデータ線6a、蓄積容量70等の密度の差に起因して生じ得るエッチング斑を低減或いは無くすことができる。よって、ダミー画素部93dと画素部93の電気的或いは光学的性質が不連続に変化することを防止できる。従って、ダミー画素部93dと画素部93との境界付近で、画質が不連続に変化することを防止することができると共に、ダミー画素領域94dからなる周囲領域の増大を抑制することができる。
In FIG. 9, in the present embodiment, in particular, the first dummy pixel region 94d1 is arranged such that the arrangement pitch D1 almost or preferably completely coincides with the arrangement pitch D0 of the
更に、図9において、画素領域94a、第1ダミー画素領域94d1、第2ダミー画素領域94d2及び第3ダミー画素領域d3の各々の配列ピッチD0、D1、D2及びD3は、D0≧D1≧D2≧D3なる関係(より正確には、図9では、D0=D1>D2>D3なる関係)を満たしている。第2ダミー画素領域94d2の配列ピッチD2は、第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1の80%であり、第3ダミー画素領域94d3の配列ピッチD3は、第2ダミー画素領域94d2の配列ピッチD2の50%である。即ち、第2ダミー画素領域94d2の配列ピッチD2の第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1に対する大きさの比率D2/D1(=0.8)は、第3ダミー画素領域94d3の配列ピッチD3の第2ダミー画素領域94d2の配列ピッチD2に対する大きさの比率D3/D2(0.5)よりも大きい。このため、第2ダミー画素領域94d2の配列ピッチD2を第1ダミー画素領域94d1の配列ピッチD1よりも小さく且つ第2ダミー画素領域94d2と第1ダミー画素領域94d1との境界付近で、データ線6aや蓄積容量70等を形成するためのエッチングを均一に行うことができる。更に、第3ダミー画素領域94d3の配列ピッチD3は、第2ダミー画素領域94d2の配列ピッチD2の50%即ち半分であるので、ダミー画素領域94dが占める周囲領域の増大を効率的に抑制することができる。
Further, in FIG. 9, the arrangement pitches D0, D1, D2, and D3 of the
以上のように、第2実施形態に係る液晶装置によれば、ダミー画素部93dと画素部93との境界付近における画質の不連続な変化を防止することが可能となると共に、ダミー画素領域94dが占める周囲領域の増大を効率的に抑制し、基板上の領域の有効利用を図ることが可能となる。
As described above, according to the liquid crystal device according to the second embodiment, it is possible to prevent a discontinuous change in image quality in the vicinity of the boundary between the
(電子機器)
次に、上述した電気光学装置である液晶装置を各種の電子機器に適用する場合について説明する。
(Electronics)
Next, the case where the liquid crystal device which is the above-described electro-optical device is applied to various electronic devices will be described.
まず、この液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図10は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。この図10に示されるように、プロジェクタ1100内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット1102が設けられている。このランプユニット1102から射出された投射光は、ライトガイド1104内に配置された4枚のミラー1106および2枚のダイクロイックミラー1108によってRGBの3原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gに入射される。
First, a projector using this liquid crystal device as a light valve will be described. FIG. 10 is a plan view showing a configuration example of the projector. As shown in FIG. 10, a
液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gの構成は、上述した液晶装置と同等であり、画像信号処理回路から供給されるR、G、Bの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム1112に3方向から入射される。このダイクロイックプリズム1112においては、RおよびBの光が90度に屈折する一方、Gの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ1114を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。
The configurations of the
ここで、各液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gによる表示像について着目すると、液晶パネル1110Gによる表示像は、液晶パネル1110R、1110Bによる表示像に対して左右反転することが必要となる。
Here, paying attention to the display images by the
なお、液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gには、ダイクロイックミラー1108によって、R、G、Bの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。
Note that since light corresponding to the primary colors R, G, and B is incident on the
次に、液晶装置を、モバイル型のパーソナルコンピュータに適用した例について説明する。図11は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。図11において、コンピュータ1200は、キーボード1202を備えた本体部1204と、液晶表示ユニット1206とから構成されている。この液晶表示ユニット1206は、先に述べた液晶装置1005の背面にバックライトを付加することにより構成されている。
Next, an example in which the liquid crystal device is applied to a mobile personal computer will be described. FIG. 11 is a perspective view showing the configuration of the personal computer. In FIG. 11, the
さらに、液晶装置を、携帯電話に適用した例について説明する。図12は、この携帯電話の構成を示す斜視図である。図12において、携帯電話1300は、複数の操作ボタン1302とともに、反射型の液晶装置1005を備えるものである。この反射型の液晶装置1005にあっては、必要に応じてその前面にフロントライトが設けられる。
Further, an example in which the liquid crystal device is applied to a mobile phone will be described. FIG. 12 is a perspective view showing the configuration of this mobile phone. In FIG. 12, a
尚、図10から図12を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビや、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた装置等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。 In addition to the electronic devices described with reference to FIGS. 10 to 12, a liquid crystal television, a viewfinder type, a monitor direct view type video tape recorder, a car navigation device, a pager, an electronic notebook, a calculator, a word processor, a work Examples include a station, a videophone, a POS terminal, a device equipped with a touch panel, and the like. Needless to say, the present invention can be applied to these various electronic devices.
また本発明は、上述の実施形態で説明した液晶装置以外にも、シリコン基板上に素子を形成する反射型液晶装置(LCOS)、プラズマディスプレイ(PDP)、電界放出型ディスプレイ(FED、SED)、有機ELディスプレイ等にも適用可能である。 In addition to the liquid crystal device described in the above embodiment, the present invention also includes a reflective liquid crystal device (LCOS) in which elements are formed on a silicon substrate, a plasma display (PDP), a field emission display (FED, SED), It can also be applied to an organic EL display or the like.
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及び該電気光学装置を備えてなる電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。 The present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be appropriately changed without departing from the spirit or concept of the invention that can be read from the claims and the entire specification. An electronic apparatus including the electro-optical device is also included in the technical scope of the present invention.
9a…画素電極、113a…走査線、6a…データ線、7…サンプリング回路、10…TFTアレイ基板、10a…画像表示領域、20…対向基板、21…対向電極、23…遮光膜、50…液晶層、93…画素部、93d…ダミー画素部、94a…画素領域、94d、94d1、94d2、94d3…ダミー画素領域、101…データ線駆動回路、104…走査線駆動回路、D0、D1、D2、D3…配列ピッチ
DESCRIPTION OF
Claims (7)
画素領域に配置された複数の画素部と、
前記基板上で平面的に見て前記画素領域の周囲を囲む周囲領域を構成する複数のダミー画素領域に夫々配置されており、前記画素部の構造の少なくとも一部を夫々模擬する複数のダミー画素部と
を備えており、
前記周囲領域のうち少なくとも前記画素領域の一辺に隣接する領域内において、前記一辺に沿った方向及び前記一辺に交差する方向のうち少なくとも一方の方向についての前記ダミー画素領域の配列ピッチは、前記画素領域の配列ピッチより小さく、
前記ダミー画素領域の配列ピッチは、前記一辺から離れるに従って徐々に小さくなり、
前記ダミー画素領域のうち前記画素領域に隣接する第1ダミー画素領域の配列ピッチの前記画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率は、前記第1ダミー画素領域に対して前記画素領域とは反対側に隣接する第2ダミー画素領域の配列ピッチの前記第1ダミー画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率よりも大きい
ことを特徴とする電気光学装置。 On the board
A plurality of pixel portions arranged in the pixel region;
A plurality of dummy pixels which are respectively arranged in a plurality of dummy pixel regions constituting a surrounding region surrounding the pixel region when viewed in plan on the substrate and respectively simulate at least a part of the structure of the pixel portion. Department and
The arrangement pitch of the dummy pixel regions in at least one of the direction along the one side and the direction intersecting the one side in the region adjacent to at least one side of the pixel region in the surrounding region is the pixel. Smaller than the arrangement pitch of the areas,
The arrangement pitch of the dummy pixel regions gradually decreases with distance from the one side,
The ratio of the size of the arrangement pitch of the first dummy pixel region adjacent to the pixel region in the dummy pixel region to the arrangement pitch of the pixel region is opposite to the pixel region with respect to the first dummy pixel region. An electro-optical device, wherein an arrangement pitch of a second dummy pixel region adjacent to the first dummy pixel region is larger than a ratio of a size thereof to the arrangement pitch of the first dummy pixel region.
画素領域に配置された複数の画素部と、
前記基板上で平面的に見て前記画素領域の周囲を囲む周囲領域を構成する複数のダミー画素領域に夫々配置されており、前記画素部の構造の少なくとも一部を夫々模擬する複数のダミー画素部と
を備えており、
前記周囲領域のうち少なくとも前記画素領域の一辺に隣接する領域内において、前記一辺に沿った方向及び前記一辺に交差する方向のうち少なくとも一方の方向についての前記ダミー画素領域の配列ピッチは、前記一辺から離れるに従って徐々に小さくなり、
前記ダミー画素領域のうち前記画素領域に隣接する第1ダミー画素領域に対して前記画素領域とは反対側に隣接する第2ダミー画素領域の配列ピッチの前記第1ダミー画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率は、前記第2ダミー画素領域に対して前記第1ダミー画素領域とは反対側に隣接する第3ダミー画素領域の配列ピッチの前記第2ダミー画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率よりも大きい
ことを特徴とする電気光学装置。 On the board
A plurality of pixel portions arranged in the pixel region;
A plurality of dummy pixels which are respectively arranged in a plurality of dummy pixel regions constituting a surrounding region surrounding the pixel region when viewed in plan on the substrate and respectively simulate at least a part of the structure of the pixel portion. Department and
In the region adjacent to at least one side of the pixel region in the surrounding region, the arrangement pitch of the dummy pixel regions in at least one of the direction along the one side and the direction intersecting the one side is the one side Gradually gets smaller as you move away from
Of the dummy pixel regions, the arrangement pitch of the second dummy pixel region adjacent to the opposite side of the pixel region with respect to the first dummy pixel region adjacent to the pixel region is larger than the arrangement pitch of the first dummy pixel region. The ratio of the size is the ratio of the arrangement pitch of the third dummy pixel area adjacent to the second dummy pixel area on the opposite side of the first dummy pixel area to the arrangement pitch of the second dummy pixel area. An electro-optical device characterized by being larger than the above.
前記第1ダミー画素領域は、前記第1ダミー画素領域の配列ピッチの前記画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率D1/D0の値が、前記配列ピッチD0に対して単調減少する所定関数F(D0)により与えられるように、配列されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の電気光学装置。 When the arrangement pitch of the first dummy pixel areas is D1, and the arrangement pitch of the pixel areas is D0,
The first dummy pixel region has a predetermined function F () in which the value of the ratio D1 / D0 of the size of the arrangement pitch of the first dummy pixel region to the arrangement pitch of the pixel region monotonously decreases with respect to the arrangement pitch D0. The electro-optical device according to claim 1, wherein the electro-optical device is arranged as given by D 0).
前記第1ダミー画素領域は、前記第1ダミー画素領域の配列ピッチの前記画素領域の配列ピッチに対する大きさの比率D1/D0の値が、前記画素部を構成する複数の層間絶縁膜のうちいずれか1つの膜厚Tに対して単調減少する所定関数G(T)により与えられるように、配列されている
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学装置。 When the arrangement pitch of the first dummy pixel areas is D1, and the arrangement pitch of the pixel areas is D0,
In the first dummy pixel region, a value of a ratio D1 / D0 of the size of the arrangement pitch of the first dummy pixel region to the arrangement pitch of the pixel region is any of the plurality of interlayer insulating films constituting the pixel portion. The electro-optical device according to any one of claims 1 to 3, wherein the electro-optical device is arranged so as to be given by a predetermined function G (T) that monotonously decreases with respect to the single film thickness T.
An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 1.
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-
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