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JP2006287080A - メモリモジュール - Google Patents

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Abstract

【課題】メモリモジュールにおいて、半導体メモリパッケージと制御半導体パッケージとをそれぞれ適切な温度に維持してそれぞれの信頼性を確保することができるメモリモジュールを提供する。
【解決手段】メモリモジュール1は、複数の半導体メモリパッケージ50aを配列してモジュール基板10に実装すると共に、制御半導体パッケージ20を半導体メモリパッケージ50aの配列の中央部に配置してモジュール基板10に実装している。そして、制御半導体パッケージ20に熱的に接続した制御半導体用放熱器90Aと、複数の半導体メモリパッケージ50aに熱的に接続した半導体メモリ用放熱器90Bとを、半導体メモリパッケージ50aの配列方向に対して熱的に非接続に設けている。
【選択図】図1

Description

本発明は、メモリモジュールに係り、特に、パーソナルコンピュータ、サーバ、ワークステーションなどのメインメモリとして利用されるメモリモジュールの分野において、制御半導体パッケージ、例えばAMB(Advanced Memory Buffer)パッケージなどが搭載された高速・大容量対応のメモリモジュール、例えばFB−DIMM(Fully Buffered Dual-In-Line Memory)に好適なものである。
従来のメモリモジュールとしては、特開平11−354701号公報(特許文献1)に示されたものがある。この特許文献1のメモリモジュールは、DRAM等のメモリICから発生する熱を放散するために、メモリICが両側に配列されて実装されたモジュール基板に、基板への装着方向の断面がコの字型形状を成し、コの字型形状の内面は高熱伝導性ラバー等の高熱伝導性部材を介してメモリICに接触し、コの字型形状の外側表面に多数の凹凸が設けられた、着脱可能な可撓性のある材料よりなるカバー状ヒートシンク(放熱器)が装着されているものである。
最近では、高速・大容量が求められるサーバ系のメモリモジュールとして、複数の半導体メモリパッケージ(DRAMパッケージ)を配列してモジュール基板に実装すると共に、制御半導体パッケージ(AMBパッケージ)を半導体メモリパッケージの配列の中央部に配置してモジュール基板に実装したFB−DIMMが案出されている。
特開平11−354701号公報
かかるFB−DIMMでは、半導体メモリパッケージより発熱量の大きい制御半導体パッケージが複数個の半導体メモリパッケージの配列の中央に割って実装されるため、制御半導体パッケージ近傍に実装される半導体メモリパッケージの温度上昇が懸念される。そこで、一枚の放熱器を用いた従来例と同様に一枚の放熱器を用い、この一枚の放熱器を制御半導体パッケージと半導体メモリパッケージの両方にまたがって装着することが考えられる。しかし、この場合には、モジュール全体の温度は平準化されるが、半導体メモリパッケージは制御半導体パッケージの高い温度の影響を受けて温度低減効果が得られないということが懸念される。特に、半導体メモリパッケージの耐熱許容温度より高い耐熱許容温度の制御半導体パッケージを用いる場合に、半導体メモリパッケージの信頼性に問題が生ずるおそれがあった。
本発明の目的は、半導体メモリパッケージと制御半導体パッケージとをそれぞれ適切な温度に維持してそれぞれの信頼性を確保することができるメモリモジュールを提供することにある。
前述の目的を達成するために、本発明は、複数の半導体メモリパッケージを配列してモジュール基板に実装すると共に、制御半導体パッケージを前記半導体メモリパッケージの配列の中央部に配置して前記モジュール基板に実装したメモリモジュールにおいて、前記制御半導体パッケージに熱的に接続した制御半導体用放熱器と、前記複数の半導体メモリパッケージに熱的に接続した半導体メモリ用放熱器とを、前記半導体メモリパッケージの配列方向に対して熱的に非接続に設けたことにある。
係る本発明のより好ましい具体的な構成例は次の通りである。
(1)前記半導体メモリパッケージとして複数層に積み重ねた多段積層半導体メモリパッケージを用いたこと。
(2)前記制御半導体用放熱器と前記半導体メモリ用放熱器とを別部材で構成し、前記制御半導体用放熱器と前記半導体メモリ用放熱器との前記半導体メモリパッケージの配列方向の間にギャップを設けて熱的に非接続な部分としたこと。
(3)前記(2)において、前記モジュール基板の同一面側にある前記制御半導体パッケージと前記半導体メモリパッケージとに接続した前記制御半導体用放熱器と前記半導体メモリ用放熱器との投影面が重なり合わないように実装したこと。
(4)前記(3)において、前記半導体メモリ用放熱器の中央部に切欠凹部を設け、この切欠凹部の投影面内に前記制御半導体用放熱器を配置したこと。
(5)前記制御半導体用放熱器と前記半導体メモリ用放熱器とを同一部材で構成し、前記制御半導体用放熱器と前記半導体メモリ用放熱器との前記半導体メモリパッケージの配列方向の間に熱的に非接続な部分を設けたこと。
(6)前記(5)において、前記熱的に非接続な部分を前記半導体メモリパッケージの配列方向に対して交差する方向に延びるスリットで形成したこと。
(7)前記半導体メモリパッケージの耐熱許容温度より高い耐熱許容温度の前記制御半導体パッケージを用いると共に、前記制御半導体用放熱器に放熱フィンを設けたこと。
(8)前記(7)において、前記制御半導体用放熱器に設けた放熱フィンに対する通風を前後左右の何れの方向からも可能としたこと。
(9)前記制御半導体用放熱器及び前記半導体メモリ用放熱器のそれぞれに風向に沿った放熱フィンを設けたこと。
本発明のメモリモジュールによれば、半導体メモリパッケージと制御半導体パッケージとをそれぞれ適切な温度に維持して信頼性を確保することができる。
以下、本発明の複数の実施例について図を用いて説明する。各実施例の図における同一符号は同一物または相当物を示す。なお、本発明は、実施例に開示した形態に限られるものではなく、公知技術などに基づく変更を許容するものである。
本発明の第1実施例のメモリモジュールを図1から図9を用いて説明する。
まず、本実施例のメモリモジュール1の全体に関して図1から図7を参照しながら説明する。図1は本発明の第1実施例のメモリモジュール1を示す上面図、図2は図1のメモリモジュール1の中央部分の拡大図、図3は図1のメモリモジュール1の底面図、図4は図1のA−A’断面図、図5は図1のB−B’断面図、図6は図1のC−C’断面拡大図、図7は図1のD−D’断面拡大図である。
メモリモジュール1は、モジュール基板10、制御半導体パッケージ20、制御半導体用放熱器90A、半導体メモリパッケージ50、半導体メモリ用放熱器90Bを備えて構成されている。このメモリモジュール1は、複数の半導体メモリパッケージ50を配列してモジュール基板10に実装すると共に、制御半導体パッケージ20を半導体メモリパッケージ50の配列面の中央部に配置してモジュール基板10に実装した構成となっている。
具体的には、このメモリモジュール1は、高性能サーバ向けメインメモリとして用いられるFB−DIMMであり、DRAMパッケージで構成される半導体メモリパッケージ50の高速動作と大容量性(多スロット性)とを両立するために、制御用半導体としてAMB制御半導体パッケージ20を用いたものである。このメモリモジュール1には、a面に、複数個(図示例では8個)の半導体メモリパッケージ50aが1列に配列して実装され、その配列の中央部に半導体メモリパッケージ2個分のスペースが空けられ、そのスペースに制御半導体パッケージ20が1個実装されると共に、b面に、複数個(図示例では10個)の半導体メモリパッケージ50bが1列に実装されている。半導体メモリパッケージ50は、半導体メモリパッケージ50a、50bの総称である。
制御半導体チップ21は数mm角程度であるが、24.5mm×19.5mmのパッケージ基板23に搭載されており、パッケージ外形寸法は制御半導体チップ21よりも大きくなっている。また、制御半導体チップ21の発熱量は2.4W〜3.4Wであり、1個当り数十mWから数百mWの半導体メモリチップ51〜54よりも格段に大きくなっている。また、メモリモジュール1に風速1.5〜3.0m/sの通風が行なわれた場合に、各パッケージ20、50の上限許容温度は、順に105℃以下、85℃以下に設定され、メモリパッケージ50の耐熱温度が低い特徴がある。
制御半導体パッケージ20の上には、制御半導体用放熱器90Aが設けられている。この制御半導体用放熱器90Aは、制御半導体パッケージ20の上に装着されたヒートパス材30と、このヒートパス材30の上に装着された放熱部材40とが装着されて構成されている。放熱部材40はベース41とプレートフィン42とを備えて構成されている。ベース41は、ヒートパス材30に熱的に接続されるように、その底面がヒートパス材30の上面に密着して配置されている。プレートフィン42は、ベース41の上面から複数立ち上げて形成され、風向に沿って延びている。
半導体メモリパッケージ50の上には、半導体メモリ用放熱器90Bが設けられている。この半導体メモリ用放熱器90Bは、半導体メモリパッケージ50の上に装着されたヒートパス材60と、このヒートパス材60の上に装着された放熱部材70が装着されて構成されている。ヒートパス材60及び放熱部材70は複数の半導体メモリパッケージ50にまたがって装着されている。
放熱部材40と放熱部材70とは、別部材で構成されており、互いに非接触、非接着を保っている。従って、放熱部材40と放熱部材70とは、熱的に非接続となっている。放熱部材40、70の材料は、熱伝導率の高い金属、たとえばアルミや銅の合金などが望ましい。かかる放熱部材40、70を設けたことにより、各パッケージ20、50におけるチップ21、51〜55の高温部が放熱部材40、70によりそれぞれ適切に放熱されてそれぞれの耐熱許容温度以下に低下される。ヒートパス材30、60は、粘着性のある高熱伝導のシリコーン樹脂基材のシート、ゲル、ペーストなどを用いることが望ましい。これは、パッケージ20、50と放熱部材40、70との間の熱抵抗を小さくして、温度上昇を低減するために用いられるものである。
図2に示すように、放熱部材70は、切欠部73を有して放熱部材40を回り込むように構成されている。両者40、70間には、ギャップL0が設けられ、互いに非接触となっている。すなわち、放熱部材40は、切欠部73の投影面内に配置されている。また、放熱部材40と放熱部材70とは中間材を介して接着されたものではない。また、このギャップL0は、制御半導体パッケージ20に隣接する風下側の半導体メモリパッケージ50と制御半導体パッケージ20との隙間L1との間か、あるいは同半導体メモリパッケージ50と制御半導体パッケージチップ21との隙間L2の間になるように設置されている。これにより、制御半導体パッケージ20を中心とした高い温度場が放熱部材40と放熱部材70との間で分断されるため、半導体メモリパッケージ50の温度上昇を低減できる。
図3に示すように、制御半導体パッケージ非搭載面であるb面には、半導体メモリパッケージ50bが10個実装され、その上には放熱部材70がヒートパス材60を介して装着されている。
図4に示すように、放熱部材40のプレートフィン42の上端は放熱部材70の上面より高く突出しており、放熱部材40のプレートフィン42の実装高さh1は、放熱部材70の実装高さh2より高くなっている。
図5に示すように、放熱部材40のベース41の上面は放熱部材70の上面より低く沈んでおり、放熱部材40のベース41の実装高さh3は、放熱部材70の実装高さh2より低くなっている。
図6に示すように、モジュール基板10の両面(a面及びb面)には半導体メモリパッケージ50がそれぞれ実装されている。放熱部材70は、コの字型に形成されており、a、b両面の半導体メモリパッケージ50を挟むように、ヒートパス材60を介して装着されている。a面の半導体メモリパッケージ50でパッケージ内部構造を説明する。半導体メモリパッケージ50は、4枚の半導体メモリチップ51〜54とインターフェースチップ55とを内蔵した多段積層パッケージである。インターフェースチップ55は、パッケージ基板56にフリップチップ接続して電気的導通を取り、半導体メモリチップ51〜54は個別にパッケージングされ、図示しない外部端子でパッケージ基板56に電気的に接続されている。モジュール基板10とパッケージ基板56とは、バンプ状の外部端子57で電気的に接続されている。図6では多段積層パッケージを取り上げているが、これは、チップ積層すると、チップ数にほぼ比例して発熱量が増加し、熱的に厳しくなるためである。しかしながら、動作周波数の増加に伴い、半導体メモリの発熱量は増加傾向にあるため、チップ1個のパッケージでも本発明は有用である。
図7は、モジュール基板10のa面に制御半導体パッケージ20が実装され、b面に半導体メモリパッケージ50bが実装された部位の断面を示す。制御半導体パッケージ20は、制御半導体チップ21がパッケージ基板23にフリップチップ接続され、チップ側面から下面がアンダーフィルレジン22で封止されている。パッケージ基板23とモジュール基板10とは、バンプ状の外部端子24で電気的に接続されている。放熱部材40は、ヒートパス材30を介して、チップ上部に装着されている。また、放熱部材40の装着安定性を保つため、放熱部材40の下部には複数個の突起44が設けられ、パッケージ基板23にヒートパス材31を介して装着されている。モジュール基板10のb面の半導体メモリパッケージ50bに装着した放熱部材70は、上段側に周り込む途中で分断され、断面L字型に形成されている。
次に、本実施例のメモリモジュール1による冷却効果に関して図7から図9を参照しながら説明する。図8は図1のメモリモジュールのチップ温度を解析して示す図、図9は比較例のメモリモジュールの断面図である。
図8は、a面に実装された制御半導体パッケージ20及び半導体メモリパッケージ50aにおける各半導体メモリチップの最大温度を解析した例を示す。構造パラメータとして、図7に示すように制御半導体用放熱器90Aと半導体メモリ用放熱器90Bとを完全に別体とし場合(別体ケースの場合)と、図9に示すように、放熱部材70を半導体制御チップの上方までヒートパス材30を介して熱的に接続すると共に、この延長された放熱部材70に放熱部材40をヒートパス材32を介して熱的に接続した場合(一体ケースの場合)との二種類を比較した。空冷条件は、モジュール長辺方向に沿った1.5m/s〜3.0m/sとした。横軸は、0が制御半導体チップ、1〜4、7〜10は風上からの半導体メモリチップの順番を示す。縦軸は、解析したチップ最大温度の中での最小値(別体ケース、風速3m/s、風上から1番目の半導体メモリ)との温度差を示す。図8より明らかなように、制御半導体パッケージ20のチップ最大温度は、一体ケースの方がわずかに低下するが、半導体メモリパッケージ50のチップ最大温度は別体ケースの方が格段に低下することがわかる。半導体メモリチップ内の最大温度は、風上から7番目位置であって、別体ケースにすることで、温度を風速1.5m/sでは1.5℃、風速3m/sでは約2℃低減できることがわかる。
次に、本実施例のメモリモジュール1の製造方法に関して図10を参照しながら説明する。図10は、本実施例のメモリモジュール1のパッケージ実装完了後に、放熱部材40と放熱部材70を装着する工程を示す。図10では、制御半導体パッケージ20が実装されるモジュール中心部を拡大して示す。
図10(A)に示すように、あらかじめ切欠12と穴13が形成されているモジュール基板10に、制御半導体パッケージ20及び半導体メモリパッケージ50を実装する。次いで、図10(B)に示すように、制御半導体パッケージ20上にヒートパス材30を介して放熱部材40を装着する。次いで、図10(C)に示すように、放熱部材40の両側のプレートフィン部42にワイヤ状の金具80、81を取り付ける。次いで、図10(D)に示すように、金具80はモジュール基板10の切欠12に引っ掛けてモジュール基板のb面で固定し、金具81はモジュール基板10の穴13に通してモジュール基板10のb面で固定することにより、制御半導体用放熱器90Aを構成する。次いで、図10(E)に示すように、放熱部材70をモジュール基板10にヒートパス材60を介して装着することにより、半導体メモリ用放熱器90Bを構成する。かかる製造方法よれば、メモリモジュール1の制御半導体用放熱器90Aと半導体メモリ用放熱器90Bとを簡単に組立てることができる。
次に、本発明の第2実施例について図11を用いて説明する。図11は本発明の第2実施例のメモリモジュール1の制御半導体パッケージ部分の上面図である。この第2実施例は、次に述べる点で第1実施例と相違するものであり、その他の点については第1実施例と基本的には同一である。
第2実施例では、第1実施例によるメモリモジュール1の放熱部材40において、プレートフィン42の長辺をモジュール基板短辺方向に沿って配列したものである。放熱部材40の放熱フィン長をモジュール基板10の短辺方向に沿って形成すると、モジュール基板10の短辺方向の空気流によって放熱部材40が冷却される場合に十分な放熱効果が得られる。
次に、本発明の第3実施例について図12を用いて説明する。図12は本発明の第3実施例のメモリモジュール1の制御半導体パッケージ部分の上面図である。この第3実施例は、次に述べる点で第1実施例と相違するものであり、その他の点については第1実施例と基本的には同一である。
第3実施例では、第1実施例によるメモリモジュール1の放熱部材40において、プレートフィン42の代わりにピンフィン43にしたものである。ピンフィン43は、風向がモジュール基板の短辺方向か長辺方向のどちらに沿って流れても十分な放熱効果が得られる。
次に、本発明の第4実施例について図13から図18を用いて説明する。図13は本発明の第4実施例のメモリモジュール1を示す上面図、図14は図1のメモリモジュール1の底面図、図15は図13のA−A’断面図、図16は図13のB−B’断面図、図17は図1のC−C’断面拡大図、図18は図1のD−D’断面拡大図である。この第4実施例は、次に述べる点で第1実施例と相違するものであり、その他の点については第1実施例と基本的には同一である。
第4実施例では、制御半導体パッケージ20のa面側における風上側放熱部材70a1、制御半導体パッケージの風下側放熱部材70a2と、b面の放熱部材70bとの3つの放熱部材に、半導体メモリ放熱部材70を3分割している。そして、放熱部材40だけでなく、a面の放熱部材70a1、70a2にもモジュール基板10の長辺方向に沿ったプレートフィン72a1、72a2を形成している。放熱部材70の一部分だけにプレートフィン形成し、第1実施例のようにコの字型に曲げ加工することは困難であるため、フィンのある放熱部材70a1、70a2とフィンのない放熱部材70bに分割して装着することが製造上望ましい。放熱部材70a1、70a2、70bをモジュール基板10に接合する方法としては、モジュール基板10と放熱部材70a1、70a2、70bとに図示しない穴を設け、a面とb面の両放熱部材70a1、70a2、70bとを、モジュール基板10を挟んでかしめ接続する方法が考えられる。放熱部材40のプレートフィン42と放熱部材70a1、70a2のプレートフィン72a1、72a2とは近接しているため、通風抵抗低減の観点から、フィン山と谷を揃えて、同じフィン幅とピッチで配置することが望ましく、本実施例では、そのように構成されている。
図15に示すように、放熱部材40のプレートフィン42の実装高さh4と放熱部材70a1、70a2のプレートフィン72a1、72a2の実装高さh4とが同一となるように構成されている。これによって、全体の外形寸法を大きくすることなく、放熱部材70a1、70a2の放熱効果を向上できる。なお、b面側の放熱部材70bは、フィンを設置せず、全体の外形寸法の縮小を図っている。
図16に示すように、放熱部材40のベース41の上面は放熱部材70のベース71a1、71a2の上面より低く沈んでおり、放熱部材40のベース41の実装高さh3は、放熱部材70のベース71a1、71a2の実装高さh2より低くなっている。この点は、第1実施例と同様である。
モジュール基板10の両面に半導体メモリパッケージ50が実装された部位の断面である図17に示すように、モジュール基板10のa面に実装された半導体メモリパッケージ50aの放熱部材70aにはフィン72a1が形成され、b面に実装された半導体メモリパッケージ50bの放熱部材70bは平板で形成され、両者72a1、70bは別体である。
モジュール基板10のa面に制御半導体パッケージ20が実装され、b面に半導体メモリパッケージ50bが実装された部位の断面である図18に示すように、a面に実装された制御半導体パッケージ20の放熱部材40にはプレートフィン42が形成され、b面に実装された半導体メモリパッケージ50bの放熱部材70bにはプレートフィン42が形成されておらず、放熱部材70bは平板である。なお、第4実施例では、放熱部材40のフィン形状をモジュール基板10の長辺方向に沿ったプレートフィン42としたが、第2及び第3実施例のように、風向によってプレートフィンの配列を変えたり、ピンフィンにしたりしてもよい。
次に、本発明の第5実施例について図19を用いて説明する。図19は本発明の第5実施例のメモリモジュール1を示す要部断面図である。この第5実施例は、次に述べる点で第4実施例と相違するものであり、その他の点については第4実施例と基本的には同一である。
第5実施例では、制御半導体用放熱器90Aの放熱部材40と半導体メモリ用放熱器90Bの放熱部材70とを同一部材で構成し、制御半導体用放熱器90Aと半導体メモリ用放熱器90Bとの半導体メモリパッケージ50aの配列方向の間に熱的に非接続な部分を設けている。この熱的に非接続な部分は、半導体メモリパッケージ50aの配列方向に対して交差する方向に延びるスリット74で形成している。
この第5実施例によれば、制御半導体用放熱器90Aを容易に製作することができると共に、制御半導体パッケージ20への装着を容易に行なうことができる。
本発明の第1実施例のメモリモジュールを示す上面図である。 図1のメモリモジュール1の中央部分の拡大図である。 図1のメモリモジュール1の底面図である。 図1のA−A’断面図である。 図1のB−B’断面図である。 図1のC−C’断面拡大図である。 図1のD−D’断面拡大図である。 図1のメモリモジュールのチップ温度を解析して示す図である。 比較例のメモリモジュールの断面図である。 図1のメモリモジュールの製造方法を示す工程図である。 本発明の第2実施例のメモリモジュールの制御半導体パッケージ部分の上面図である。 本発明の第3実施例のメモリモジュールの制御半導体パッケージ部分の上面図である。 本発明の第4実施例のメモリモジュールを示す上面図である。 図13のメモリモジュールの底面図である。 図13のA−A’断面図である。 図13のB−B’断面図である。 図13のC−C’断面拡大図である。 図13のD−D’断面拡大図である。 本発明の第5実施例のメモリモジュールを示す要部断面図である。
符号の説明
1…メモリモジュール、10…モジュール基板、12…切欠、13…穴、20…制御半導体パッケージ、21…制御半導体チップ、22…アンダーフィルレジン、23…パッケージ基板、24…外部端子、30〜32…ヒートパス材、40…放熱部材、41…ベース、42…プレートフィン、43…放熱ピンフィン、44…放熱器の突起、50、50a、50b…半導体メモリパッケージ、51…半導体メモリチップ1、52…半導体メモリチップ2、53…半導体メモリチップ3、54…半導体メモリチップ4、55…インターフェースチップ、56…半導体メモリパッケージ用基板、57…半導体メモリパッケージ用外部端子、60…ヒートパス材、70…放熱部材、71…ベース、72…プレートフィン、73…切欠部、80…制御半導体パッケージ用放熱器固定用上端金具、81…制御半導体パッケージ用放熱器固定用下端金具、90A…制御半導体用放熱器、90B…半導体メモリ用放熱器。

Claims (10)

  1. 複数の半導体メモリパッケージを配列してモジュール基板に実装すると共に、制御半導体パッケージを前記半導体メモリパッケージの配列の中央部に配置して前記モジュール基板に実装したメモリモジュールにおいて、
    前記制御半導体パッケージに熱的に接続した制御半導体用放熱器と、前記複数の半導体メモリパッケージに熱的に接続した半導体メモリ用放熱器とを、前記半導体メモリパッケージの配列方向に対して熱的に非接続に設けたことを特徴とするメモリモジュール。
  2. 請求項1に記載のメモリモジュールにおいて、前記半導体メモリパッケージとして複数層に積み重ねた多段積層半導体メモリパッケージを用いたことを特徴とするメモリモジュール。
  3. 請求項1に記載のメモリモジュールにおいて、前記制御半導体用放熱器と前記半導体メモリ用放熱器とを別部材で構成し、前記制御半導体用放熱器と前記半導体メモリ用放熱器との前記半導体メモリパッケージの配列方向の間にギャップを設けて熱的に非接続な部分としたことを特徴とするメモリモジュール。
  4. 請求項3に記載のメモリモジュールにおいて、前記モジュール基板の同一面側にある前記制御半導体パッケージと前記半導体メモリパッケージとに接続した前記制御半導体用放熱器と前記半導体メモリ用放熱器との投影面が重なり合わないように実装したことを特徴とするメモリモジュール。
  5. 請求項4に記載のメモリモジュールにおいて、前記半導体メモリ用放熱器の中央部に切欠凹部を設け、この切欠凹部の投影面内に前記制御半導体用放熱器を配置したことを特徴とするメモリモジュール。
  6. 請求項1に記載のメモリモジュールにおいて、前記制御半導体用放熱器と前記半導体メモリ用放熱器とを同一部材で構成し、前記制御半導体用放熱器と前記半導体メモリ用放熱器との前記半導体メモリパッケージの配列方向の間に熱的に非接続な部分を設けたことを特徴とするメモリモジュール。
  7. 請求項6に記載のメモリモジュールにおいて、前記熱的に非接続な部分を前記半導体メモリパッケージの配列方向に対して交差する方向に延びるスリットで形成したことを特徴とするメモリモジュール。
  8. 請求項1に記載のメモリモジュールにおいて、前記半導体メモリパッケージの耐熱許容温度より高い耐熱許容温度の前記制御半導体パッケージを用いると共に、前記制御半導体用放熱器に放熱フィンを設けたことを特徴とするメモリモジュール。
  9. 請求項8に記載のメモリモジュールにおいて、前記制御半導体用放熱器に設けた放熱フィンに対する通風を前後左右の何れの方向からも可能としたことを特徴とするメモリモジュール。
  10. 請求項1に記載のメモリモジュールにおいて、前記制御半導体用放熱器及び前記半導体メモリ用放熱器のそれぞれに風向に沿った放熱フィンを設けたことを特徴とするメモリモジュール。
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