JP2006216108A - 磁気ヘッドスライダ - Google Patents

Abstract

【課題】 特に気圧変化による浮上量の変動を低減できる磁気ヘッドスライダを提供することを目的としている。
【解決手段】 本発明では、磁気素子面４及びリーディング側隆起面６，７と同じ高さ寸法を有するレール面８，９が、前記磁気素子面４とリーディング側隆起面６，７間を繋ぎ、さらに各リーディング側隆起面６，７の間から各レール面８，９の間にかけて、前記磁気素子面４よりも低く溝部３よりも高い高さ寸法を有する中央ステップ面１２ｂを設けている。これにより、気圧変化等によって流入空気量が減少しても、効率良く空気を前記磁気素子面４に集めることができ、この結果、磁気ヘッドスライダ１の浮上姿勢の安定化を図ることが出来る。
【選択図】 図１

Description

本発明は、磁気ディスクへの記録用及び／または再生用の磁気素子を備えた磁気ヘッドスライダに係わり、特に気圧変化による浮上量の変動を低減できる磁気ヘッドスライダに関する。

下記特許文献１には、磁気ヘッドスライダのディスク対向面の形態が種々開示されている。

磁気ヘッドスライダのディスク対向面は、通常、最も低い高さ位置にあり負圧を生じさせるための溝部と、隆起形成され正圧を発生させるための隆起面とを有して構成される。前記溝部及び隆起面の形状や前記磁気ディスクＤに占める溝部及び隆起面の面積比率等を適正化することにより、磁気ヘッドスライダの浮上姿勢の安定化を目指すことは従来から行なわれていた。

ところで、前記浮上姿勢は、気圧変化や、磁気ディスクの小型化による周速の低下等に起因した空気流入量の減少によって不安定化しやすい。そして、このような空気流入量の減少に対する浮上姿勢の安定化について下記の特許文献１は特別な対応策を提示していない。
特表２００３−５１５８６９号公報

一般的に、正圧を生じさせる前記隆起面は、磁気ヘッドスライダのリーディング側とトレーリング側のそれぞれに設けられる。前記トレーリング側に設けられる前記隆起面は、磁気素子の表面が露出する磁気素子面であり、リーディング側に設けられる隆起面は、例えば特許文献１のＦＩＧ．２に示すサイドレール２１０，２１２のように左右に分断されて設けられる。特許文献１のＦＩＧ．２に示す符号２３０は、前記サイドレール面２１０，２１２よりも低い高さのキャビティダムとなっている。

よく見かけるディス対向面は特許文献１のＦＩＧ．２に示すような、高さ寸法はともあれ、キャビティ（負圧発生面）２３６の周囲をレール面で囲むとともに、独立して、磁気素子を含むセンターパッド２４０を設ける形態であった。

しかし、特許文献１のＦＩＧ．２のような形態の場合、リーディング側から独立した前記センターパッド２４０にまで空気が流れるまでの間に、キャビティダム２３０、キャビティ２３６等と、センターパッド２４０とは異なる高さの凹凸面を通過するため、空気流に乱れが生じたり、空気が前記センターパッド２４０の側方から逃げる等の損失が生じ、気圧変化等によって空気流入量が減少すると、正圧を生じるセンターパッド２４０にまで辿り着く空気が極端に減ってしまい、前記磁気ヘッドスライダの浮上量の低下が大きくなりやすい形態となっていた。

また特許文献１には、ＦＩＧ．８に示すように、キャビティダム５０６と同じ高さで形成されたレール面がセンターレール５０８にまで連続して形成されている形態も開示されている。ＦＩＧ．８についてもう少し説明すると、符号５１６が凸状のセンターレール支持面となっており、この面５１６が最も高い位置にある正圧発生面となっている。同じ正圧発生面はリーディング側にもサイドレール５０２，５０４として設けられている。

しかしＦＩＧ．８の形態であっても、正圧発生面であるセンターレール支持面５１６にまで空気が辿り着くまでの間に上記した損失が大きく、気圧変化等による空気流入量が減少することによって大きく浮上量が低下することが後述する実験によって確認された（図７の比較例１）。

そこで本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特に気圧変化による浮上量の変動を低減できる磁気ヘッドスライダを提供することを目的としている。

本発明における磁気ヘッドスライダは、
スライダと、前記スライダのトレーリング側端面に設けられた記録用および／または再生用の磁気素子とを有し、
前記スライダのディスク対向面には、最も低い高さ位置にある溝部と、
トレーリング側に、磁気ディスク方向に向けて隆起し前記磁気素子の表面が露出する磁気素子面と、
前記トレーリング側と対向する側のリーディング側に、前記磁気素子面と同じ高さで隆起するとともに、前記トレーリング側からリーディング側に向う長さ方向に対し直交する方向の幅方向に分割して設けられたリーディング側隆起面と、
前記磁気素子面と同じ高さで隆起するとともに、各リーディング側隆起面のトレーリング側端部と、前記磁気素子面のリーディング側端部との間を繋ぐレール面と、
各リーディング側隆起面の間から各レール面の間にかけて、前記磁気素子面よりも低く溝部よりも高い高さ寸法で形成されたステップ面と、を有して構成されることを特徴とするものである。

本発明では、磁気素子面、リーディング側隆起面及びレール面が全て同じ高さ寸法で形成されている。前記レール面は前記磁気素子面とリーディング側隆起面間を繋いでいる。
さらに、前記リーディング側隆起面を幅方向に分割して設け、前記リーディング側隆起面間に空気の導入口を設けるとともに、各リーディング側隆起面の間から各レール面の間にかけて、前記磁気素子面よりも低く溝部よりも高い高さ寸法を有するステップ面を設けている。本発明の構成により、リーディング側からトレーリング側に向けて流入された空気が、気圧変化等によって減少しても少ない空気を効率良くスムーズに前記磁気素子面にまで導くことができ、浮上姿勢の安定化をより適切に図ることが出来る。

また本発明では、前記溝部は、前記リーディング側隆起面よりもトレーリング側であって、前記レール面を介してステップ面と幅方向にて対向する両側領域に設けられていることが好ましい。前記溝部は負圧を生じさせる面であるが、これによって負圧と正圧をバランス良く保つことができ、気圧変化等によって空気流入量が減少しても浮上姿勢の安定化をより適切に図ることが出来る。

本発明では、磁気素子面、リーディング側隆起面及びレール面が全て同じ高さ寸法で形成されている。前記レール面は前記磁気素子面とリーディング側隆起面間を繋いでいる。さらに、前記リーディング側隆起面を幅方向に分割して設け、前記リーディング側隆起面間に空気の導入口を設けるとともに、各リーディング側隆起面の間から各レール面の間にかけて、前記磁気素子面よりも低く溝部よりも高い高さ寸法を有するステップ面を設けている。本発明の構成により、リーディング側からトレーリング側に向けて流入された空気が、気圧変化等によって減少しても少ない空気を効率良くスムーズに前記磁気素子面にまで導くことができ、浮上姿勢の安定化をより適切に図ることが出来る。

図１は、本発明の実施の形態の磁気ヘッドスライダのディスク対向面を上向きにして示した斜視図、図２は、図１に示す磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、図３は前記磁気ヘッドスライダを支持部材に取り付けた磁気ヘッド装置の部分斜視図、図４は、本発明の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上で停止している状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、図５は、本発明の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上から浮上した後の状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、である。

図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１は、磁気ヘッド装置Ｈの一部を構成する。前記磁気ヘッドスライダ１は、例えば図３に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１をディスク対向面２の逆面側から弾性支持する支持部材２２に取り付けられる。前記支持部材２２は板ばねのロードビーム１８と、その先部に設けられた薄い板ばねのフレキシャ（弾性支持部材）１７とを有して構成される。

前記磁気ヘッド装置Ｈは、磁気ディスク装置内に搭載され、前記磁気ディスク装置内に設けられた磁気ディスクＤに磁気信号を記録したり、あるいは前記磁気ディスクＤに記録された磁気信号を再生する機能を有している。

図４は、前記磁気ディスク装置内に設けられた磁気ディスクＤ上に前記磁気ヘッド装置Ｈを構成する磁気ヘッドスライダ１が停止している状態を示している。図４に示す停止状態から磁気ディスクＤが回転することによって前記磁気ヘッドスライダ１が磁気ディスクＤ上に浮上し、上記した記録・再生が行われる（図５）。

図４に示すように、前記フレキシャ１７の下面には磁気ヘッドスライダ１がディスク対向面２の逆面側から接着固定されている。図４に示すように前記フレキシャ１７には、例えば図示上方向に突き出した球面状のピボットＰが形成されており、このピボットＰの先端がロードビーム１８に当接している。

図４の状態では前記磁気ヘッドスライダ１は、支持部材２２により磁気ディスクＤの記録面に対して弱い弾性力で付勢されている。図５に示すように、磁気ディスクＤが回転し始めると空気流を受けることで前記ピボットＰを揺動支点として、前記磁気ヘッドスライダ１のリーディング側端面Ｓｌが上方に持ち上がる。前記磁気ヘッドスライダ１は磁気ディスクＤ上に浮上すると、磁気ディスクＤのうねりに追従するように前記ピボットＰを揺動支点としてピッチ方向に揺動する。図５に示すように、磁気ヘッドスライダ１は磁気ディスクＤ上に浮上量σで浮上する。以下、「浮上量」というときは、図５に示すように、磁気素子５の表面から磁気ディスクＤ表面までの直線距離（最短距離）で表される。

図１，図２に示すように、磁気ヘッドスライダ１の空気流入端は、「リーディング側端面Ｓｌ」と呼ばれ、空気流出端側は、「トレーリング側端面Ｓｔ」と呼ばれている。また以下では、側端面自体を示すのではなく、単に「リーディング側端面に向く方向や、リーディング側端面寄り」を「リーディング側Ｓｌ」と、「トレーリング側端面に向く方向や、トレーリング側端面寄り」を「トレーリング側Ｓｔ」と称する。また、以下では、前記リーディング側端面Ｓｌからトレーリング側端面Ｓｔへ向う方向を長さ方向（図示Ｙ方向）とし、前記長さ方向と直交する方向（図示Ｘ方向）を幅方向とする。

図１及び図２に示す磁気ヘッドスライダ１は、例えばアルミナチタンカーバイトなどで形成されている。

図１，図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１のディスク対向面２には、トレーリング側Ｓｔに、最も低い位置にある溝部３から磁気ディスクＤ方向に向けて隆起形成された磁気素子面４が形成されている。図１，図２に示すように、磁気素子５は、前記磁気ヘッドスライダ１のトレーリング側端面Ｓｔに形成され、例えば磁気抵抗効果を利用したスピンバルブ型薄膜素子に代表される再生用のＭＲ素子と、記録用のインダクティブ素子との複合素子であるか、あるいはＭＲ素子及びインダクティブ素子の一方のみで構成されたものである。図１，図２に示すように、前記磁気素子５の周囲はＡｌ_２Ｏ_３等の保護膜１９によって覆われており、前記保護膜１９も前記磁気素子面４の一部を成している。

前記磁気素子５の表面は前記磁気素子面４から露出しており、上記したように、前記磁気素子５によって磁気ディスクＤに対し記録や再生を行なう。

図１，図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１のリーディング側Ｓｌには、前記磁気素子面４と同じ高さで隆起形成されるとともに、幅方向（図示Ｘ方向）に向けて２つに分割形成されたリーディング側隆起面６，７が設けられている。

さらに図１，図２に示すように、各リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａと前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａとの間には、前記磁気素子面４及びリーディング側隆起面６，７と同じ高さ寸法で形成されたレール面８，９が隆起形成され、前記レール面８，９によって、各リーディング側隆起面６，７と磁気素子面４とが繋がっている。

図１，図２に示すように、前記レール面８，９の幅方向（図示Ｘ方向）の両側には、それぞれ前記磁気素子面４と同じ高さのサイド隆起面１０，１１が隆起形成されている。前記サイド隆起面１０，１１は、前記磁気ヘッドスライダ１が磁気ディスクＤ上でロール方向（図示Ｙ方向を軸として回転する方向）に傾いたときに、前記磁気ディスクＤ表面に対して傾く角度を抑制し、前記磁気ヘッドスライダ１の幅方向（図示Ｘ方向）における両側端部が磁気ディスクＤ上に衝突等するのを抑制するための正圧発生面である。このように前記磁気素子面４，リーディング側隆起面６，７、レール面８，９及びサイド隆起面１０，１１は全て同じ高さで隆起形成されており、これらの面は正圧発生面となっている。一方、図１，図２に示すようにディスク対向面２にて最も低い高さの溝部３は負圧を生じさせる面となっている。

図１，図２に示すように、前記リーディング側隆起面６，７の間から前記レール面８，９の間にかけて、前記磁気素子面４，リーディング側隆起面６，７及びレール面８，９よりも高さが低く、前記溝部３よりも高さが高いステップ面１２が設けられている。以下、このステップ面のことを中央ステップ面１２ｂと称する。前記ステップ面１２は図１，図２に示すように前記リーディング側隆起面６，７のリーディング側端部６ｂ，７ｂにも設けられるとともに、前記リーディング側隆起面６，７の幅方向（図示Ｘ方向）における両側にも設けられたサイドステップ面１２ａを有し、さらに前記サイドステップ面１２ａは前記リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａよりもさらにトレーリング側Ｓｔ方向に向けて延出して設けられている。このように前記ステップ面１２は、前記リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ、７ａを除いて前記リーディング側隆起面６，７を囲むようにして形成されている。

前記ステップ面１２は特に正圧や負圧を生じさせる面として設けられたものではなく、リーディング側Ｓｌの空気流入端からトレーリング側Ｓｔの空気流出端に向けて空気を導きやすくするために設けられた面であり、このようなステップ面は、前記サイド隆起面１０，１１のリーディング側端部１０ａ，１１ａにもステップ面１３，１４として設けられている。特に前記ステップ面１２を設けたことで図４に示す停止状態から図５に示す浮上姿勢に即座に移行させることが出来る。また前記ステップ面１２は、前記ステップ面１２よりも高さの高い正圧発生面であるリーディング側隆起面６，７のリーディング側端部６ｂ，７ｂにも設けられているから、前記ステップ面１２から適切に前記リーディング側隆起面６，７に空気を送ることができ、前記リーディング側隆起面６，７にて適切に正圧を生じさせることができる。

図１，図２に示すように、前記磁気素子面４の幅方向（図示Ｘ方向）における一方の側端部４ｂから、前記リーディング側Ｓｌに向けて幅方向（図示Ｘ方向）に傾く浮上量調整面１５が設けられている。前記浮上量調整面１５は前記磁気素子面４と同じ高さで隆起形成されたものであり、特に空気の流入角度や空気の流入速度に対する浮上量変化を調整するために設けられたものである。図１，図２に示すように前記浮上量調整面１５と前記レール面９との間には前記ステップ面１６が設けられている。

本発明の特徴的部分は、各リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａと、前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａとの間を、前記磁気素子面４及び前記リーディング側隆起面６，７と同じ高さで隆起形成されたレール面８，９によって繋ぐとともに、前記リーディング側隆起面６，７間及びレール面８，９間に、前記磁気素子面４よりも低く溝部３よりも高い高さ寸法を有する中央ステップ面１２ｂを設けている点にある。

このように、前記磁気素子面４及び前記リーディング側隆起面６，７と同じ高さのレール面８，９によって前記磁気素子面４と前記リーディング側隆起面６，７の間を繋ぐことで、空気流入端側にある各リーディング側隆起面６，７で圧縮された空気が、段差等の障害がなく同一平面のレール面８，９を通って前記磁気素子面４にまで導かれやすく、気圧変化等によって流入空気量が減少しても、効率良く空気を前記磁気素子面４に集めることができる。

また前記リーディング側隆起面６，７間及びレール面８，９間に設けられた中央ステップ面１２ｂに流入した空気は、幅方向（図示Ｘ方向）の両側にある、高さの高いリーディング側隆起面６，７及びレール面８，９で流入方向が適切に規制され、スムーズに磁気素子面４にまで流れる。例えば前記リーディング側隆起面６，７の間、及び／またはレール面８，９の間に、前記中央ステップ面１２ｂが形成されず前記溝部３が形成される形態は、後述する実験結果によると、前記前記リーディング側隆起面６，７の間、及びレール面８，９の間に中央ステップ面１２ｂを設けた図１，図２の形態に比べて、気圧変化による空気流入量の変動によって磁気ヘッドスライダ１の浮上量が変動しやすいことがわかっている。前記リーディング側隆起面６，７の間、及び／またはレール面８，９の間に前記溝部３が形成されていると、負圧領域が増える結果、空気流入量が多いときでも磁気ヘッドスライダ１の浮上量がかなり小さくなり、表面が凹凸面となっている磁気ディスクＤに衝突する確率が上昇する。また、レール面８，９の間が溝部３と同じ高さであると、前記レール面８，９の間を通った空気が高さの高い前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａに衝突して乱れやすくなり適切に前記磁気素子面４に流入できず、また、レール面８，９の間からリーディング側隆起面６，７の間に、溝部３と、中央ステップ面１２ｂとが混在した形態であると、レール面８，９の間からリーディング側隆起面６，７の間にかけて段差があるため、そこで空気の乱れが生じやすく、気圧変化等による空気流入量の変化によって磁気ヘッドスライダ１の浮上量が不安定化しやすい。よって、レール面８，９の間からリーディング側隆起面６，７の間にかけては中央ステップ面１２ｂが設けられている。

図２に示すように、前記レール面８，９の幅方向（図示Ｘ方向）にて相対向する内側端部８ａ，９ａはそれぞれ、前記リーディング側隆起面６，７の幅方向（図示Ｘ方向）にて相対向する内側端部６ｃ，７ｃに連続して形成され、前記リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａから、前記リーディング側隆起面６，７の幅寸法Ｔ１，Ｔ２よりも細い幅寸法Ｔ３，Ｔ４にて前記磁気素子面４のリーディング側端部４ａにまで延出形成されている。上記のように、前記レール面８，９の内側端部８ａ，９ａは、前記リーディング側隆起面６，７の内側端部６ｃ，７ｃと連続して形成されていたほうが好ましい。前記レール面８，９の内側端部８ａ，９ａと、前記リーディング側隆起面６，７の内側端部６ｃ，７ｃとが幅方向（図示Ｘ方向）にてずれていると、前記レール面８，９間の間隔Ｔ５が、前記リーディング側隆起面６，７間の間隔Ｔ６と、特に前記リーディング側隆起面６，７とレール面８，９との付け根部分で異なることで、空気流が乱れ、空気がスムーズに磁気素子面５にまで流れ難くなり、気圧変化に伴う空気流の減少によって磁気ヘッドスライダ１の浮上姿勢が不安定化しやすい。また、特に、前記レール面８，９間の間隔Ｔ５が、前記リーディング側隆起面６，７間の間隔Ｔ６よりも狭くなるような場合は、圧縮された空気が前記リーディング側隆起面６，７からレール面に効率良く導かれず、前記磁気素子面４にまで導かれる空気が少なくなり、浮上姿勢の不安定化を招きやすい。

なお図１，図２では前記レール面８，９どうしは平行に形成されているが、そのような形態に限るものではない。

また、各リーディング側隆起面６，７の面積を足した面積は、前記磁気素子面４の面積よりも大きくなっている。図５で説明したように磁気ヘッドスライダ１は浮上時、リーディング側端面Ｓｌがトレーリング側端面Ｓｔよりも高く浮上する傾斜姿勢をとるようにするため、磁気ヘッドスライダ１のリーディング側Ｓｌがトレーリング側Ｓｔよりも強い正圧を受ける必要がある。このため、正圧発生面である各リーディング側隆起面６，７の面積を足した面積は前記磁気素子面４の面積よりも大きく形成されている。

図１，図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ１のディスク対向面２において、磁気素子面４，リーディング側隆起面６，７、サイド隆起面１０，１１，ステップ面１２，１３，１４，１６以外の箇所が溝部３となっている。溝部３は上記したように最も高さの低い箇所で磁気ヘッドスライダ１の浮上時、負圧を発生させる。

前記溝部３は、少なくとも前記リーディング側隆起面６，７よりもトレーリング側Ｓｔであって前記レール面８，９を介してステップ面１２と幅方向（図示Ｘ方向）にて対向する両側領域２ａ，２ａに設けられていることが、磁気ヘッドスライダ１の浮上時、トレーリング側端面Ｓｔがリーディング側端面Ｓｌよりも磁気ディスクＤに近づく傾斜姿勢を取りやすくなるととともに、負圧の発生領域が左右両側に分離して設けられ、その間に、レール面８，９及び中央ステップ面１２ｂが置かれることで、リーディング側隆起面６，７から磁気素子面４に至るまでの間に、正圧と負圧の発生領域が明確に分けて設けられる。これによって負圧と正圧がそれぞれ空気流入量の減少によっても、適切にバランス良く確保され、磁気ヘッドスライダ１の浮上姿勢の安定化を図ることが出来る。

以下の６つの磁気ヘッドスライダを作製した。
（実施例１）
図１，図２に示す磁気ヘッドスライダ。

（比較例１）
図７（平面図）に示す磁気ヘッドスライダ。図２に示す磁気ヘッドスライダ（実施例１）と異なる部分は、レール面８，９は、磁気素子面４のリーディング側端部４ａからわずかにリーディング側Ｓｌへ突出しているだけで、前記レール面８，９によって前記磁気素子面４とリーディング側隆起面６，７との間が繋がっておらず、前記磁気素子面４とリーディング側隆起面６，７との間は、前記レール面８，９よりも高さの低い中央ステップ面１２ｂのみで繋がっている点である。

（比較例２）
図８（平面図）に示す磁気ヘッドスライダ。図２に示す磁気ヘッドスライダ（実施例１）と異なる部分は、磁気素子面４のリーディング側端部４ａからリーディング側Ｓｌへ延出形成されたレール面８，９が、前記リーディング側隆起面６，７のトレーリング側端部６ａ，７ａまで延びておらず途中で切れており、また、中央ステップ面１２ｂも、前記各リーディング側隆起面６，７の間、及びレール面８，９間に設けられているものの、リーディング側隆起面６，７とレール面８，９の間を繋ぐように形成されておらず途中で切れている点である。

（比較例３）
図９（平面図）に示す磁気ヘッドスライダ。図２に示す磁気ヘッドスライダ（実施例１）と異なる部分は、レール面８，９の間が、負圧を生じさせる溝部２０となっている点である。

（比較例４）
図１０（平面図）に示す磁気ヘッドスライダ。図８に示す磁気ヘッドスライダ（比較例２）と比較すると、図１０の磁気ヘッドスライダは、図８に示す磁気ヘッドスライダに比べてレール面８，９間に形成される中央ステップ面１２ｂの長さ方向（図示Ｙ方向）への長さが短く、前記レール面８，９間のリーディング側Ｓｌ寄りに負圧を生じる溝部３が形成されている。

（比較例５）
図１１（平面図）に示す磁気ヘッドスライダ。図２に示す磁気ヘッドスライダ（実施例１）と異なる部分は、リーディング側隆起面２１が幅方向（図示Ｘ方向）にて分割して形成されておらず、一体で形成されている点である。

実験では、上記した実施例１及び比較例１ないし５の磁気ヘッドスライダを、図３に示す支持部材２２に取り付け、図６に示すように磁気ディスクＤ上に浮上させた。このとき、図６に示すように、磁気ヘッドスライダを、磁気ディスクＤの中心から、ちょうどディスク半径のほぼ中間にあたるの位置ＭＤ（ディスク中心から７ｍｍ）、前記一ＭＤよりも内側の位置ＩＤ（ディスク中心から５ｍｍ）、前記一ＭＤよりも外側の位置ＯＤ（ディスク中心から８．７ｍｍ）のそれぞれで、平地（０ｍ、sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量と、高地（３０４８ｍ）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量を測定した。そして、前記平地での浮上量から高地での浮上量を引いた浮上量差を、それぞれの磁気ヘッドスライダについて求めた。その実験結果を図１２に示す。また図１３は、高地（３０４８ｍ）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量を、平地（０ｍ、sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量で割った浮上量率｛（高地での磁気ヘッドスライダの浮上量／平地での磁気ヘッドスライダの浮上量）×１００｝を示すグラフである。なお浮上量は、図５に示す浮上量σである。

図１２，図１３に示すように、比較例１ないし５に比べて実施例１の浮上量差は小さくなり（浮上量率は大きくなり）、この結果、実施例１の形態の場合、気圧変化によって空気流入量が減少しても浮上姿勢の安定化を適切に図ることが出来ることがわかった。

また特に、実施例１と比較例３とを比較してみると、実施例１のほうが比較例３よりも気圧変化による磁気ヘッドスライダの浮上量差が小さくなることがわかった。比較例３では、レール面８，９間に中央ステップ面１２ｂが形成されておらず負圧を生じる溝部２０となっている。そのため、リーディング側隆起面６，７間に設けられた中央ステップ面１２ｂに流入した空気は、レール面８，９間の溝部２０を通って磁気素子面４に到達するが、前記空気は中央ステップ面１２ｂから段差のある溝部２０を通るため、そこで空気が乱れやすく、また溝部２０から見て非常に高さの高い磁気素子面４へスムーズに空気が流入しにくく、その結果、実施例２の磁気ヘッドスライダは実施例１の磁気ヘッドスライダに比べて気圧変化による浮上量差が大きくなるものと考えられる。

実験の結果により、図１，図２のように、磁気素子面４と同じ高さのリーディング側隆起面６，７を幅方向（図示Ｘ方向）にて分割して設けるとともに、各リーディング側隆起面６，７と、前記磁気素子面４間を、前記磁気素子面４とリーディング側隆起面６，７と同じ高さのレール面８，９によって繋ぐことが好ましいことがわかった。また、前記リーディング側隆起面６，７間及びレール面８，９間に前記磁気素子面４，リーディング側隆起面６，７よりも高さが低く、溝部３よりも高さの低い中央ステップ面１２ｂを設けることが好ましいことがわかった。

本発明の実施の形態の磁気ヘッドスライダ（実施例１）のディスク対向面を上向きにして示した斜視図、 図１に示す磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、 前記磁気ヘッドスライダを支持部材に取り付けた磁気ヘッド装置の部分斜視図、 本発明の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上で停止している状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、 本発明の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上から浮上した後の状態を示す磁気ディスク装置の部分側面図、 磁気ヘッド装置Ｈと磁気ディスクＤとの平面図、 比較例１の磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、 比較例２の磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、 比較例３の磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、 比較例４の磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、 比較例５の磁気ヘッドスライダをディスク対向面側から見た平面図、 実施例１及び比較例１ないし５の各磁気ヘッドスライダを用いて、高地（３０４８ｍ）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量から平地（sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量を引いた浮上量差を、図６に示す磁気ディスクＤ上の各位置ＩＤ，ＭＤ，ＯＤにて求めたグラフ、 実施例１及び比較例１ないし５の各磁気ヘッドスライダを用いて、平地（sea level）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量に対する、高地（３０４８ｍ）の気圧下での磁気ヘッドスライダの浮上量の浮上量率（％）を、図６に示す磁気ディスクＤ上の各位置ＩＤ，ＭＤ，ＯＤにて求めたグラフ、

符号の説明

１ 磁気ヘッドスライダ
２ ディスク対向面
３ 溝部
４ 磁気素子面
５ 磁気素子
６、７ リーディング側隆起面
８、９ レール面
１２ ステップ面
Ｄ 磁気ディスク面
Ｓｌ リーディング側端面
Ｓｔ トレーリング側端面

Claims (2)

1. スライダと、前記スライダのトレーリング側端面に設けられた記録用および／または再生用の磁気素子とを有し、
   前記スライダのディスク対向面には、最も低い高さ位置にある溝部と、
   トレーリング側に、磁気ディスク方向に向けて隆起し前記磁気素子の表面が露出する磁気素子面と、
   前記トレーリング側と対向する側のリーディング側に、前記磁気素子面と同じ高さで隆起するとともに、前記トレーリング側からリーディング側に向う長さ方向に対し直交する方向の幅方向に分割して設けられたリーディング側隆起面と、
   前記磁気素子面と同じ高さで隆起するとともに、
   各リーディング側隆起面のトレーリング側端部と、前記磁気素子面のリーディング側端部との間を繋ぐレール面と、
   各リーディング側隆起面の間から各レール面の間にかけて、前記磁気素子面よりも低く溝部よりも高い高さ寸法で形成されたステップ面と、を有して構成されることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
2. 前記溝部は、前記リーディング側隆起面よりもトレーリング側であって、前記レール面を介して前記ステップ面と幅方向にて対向する両側領域に設けられている請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。

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