JP2006210592A - テープ貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ACF切断部13にACFテープ2を供給し、ACFシート3にハーフカット切目5を形成し、所定貼付長だけACFテープ2を送ってハーフカット切目5を形成してACF貼付シート8を作製し、ACF貼付シート8の下側に基板11が位置するようにステージ12を水平移動させ、台紙テープ4を基板11に向けて押圧し、台紙テープ4を基板11から浮き上がらせて張力を与え、所定貼付長だけACFテープ2を送ってハーフカット切目7を形成してACF貼付シート9を作製し、ハーフカット切目5及び6で挟まれる台紙テープ領域の下側にカメラ1が位置するようにステージ12を水平移動させて、この台紙テープ領域をカメラ1で撮像し、この撮像画像に基づいてACF貼付シート8の残存の有無を判断する。
【選択図】 図4
Description
2 ACFテープ
3 ACFシート
4 台紙テープ
5、6、7ハーフカット切目
8、9 ACF貼付シート
10 台紙テープ領域
11 基板
12 基板ステージ
13 ACF切断部
100 ACFテープ貼付装置
Claims (4)
- ACFテープの台紙テープに貼着したACFシートを所定貼付長でハーフカットして基板に貼り付けるテープ貼付方法であって、基板を載置してカメラを上向きに設けた水平移動自在なステージの上側に配置した切断機構にACFテープをACFシートを下向きにして供給し、ACFシートに第1ハーフカット切目を切断機構で形成し、所定貼付長だけACFテープを送って第2ハーフカット切目を切断機構で形成することにより第1及び第2ハーフカット切目で挟まれる第1ACF貼付シートを作製し、切断機構をACFテープ送り方向に交差する水平方向に退避させ、第1ACF貼付シートの下側に基板が位置するようにステージを水平移動させ、第1ACF貼付シートを基板に貼付けるために台紙テープを基板に向けて押圧し、台紙テープを基板から浮き上がらせて張力を与え、切断機構を進出させ、所定貼付長だけACFテープを送って第3ハーフカット切目を切断機構で形成することにより第2及び第3ハーフカット切目で挟まれる第2ACF貼付シートを作製し、切断機構を前記水平方向に退避させ、第1及び第2ハーフカット切目で挟まれる台紙テープ領域の下側にカメラが位置するようにステージを水平移動させて、この台紙テープ領域をカメラで撮像し、この撮像画像に基づいて第1ACF貼付シートの残存の有無を判断し、
第1ACF貼付シートが残存しないと判断したときは、第2ACF貼付シートの下側に基板が位置するようにステージを水平移動させて、第2ACF貼付シートを基板に貼付けるために台紙テープを基板に向けて押圧し、
第1ACF貼付シートが残存すると判断したときは、第2ACF貼付シートを基板に貼付ける工程をエラー停止することを特徴とするテープ貼付方法。 - 第1ACF貼付シートが残存しないと判断したときに、第2ACF貼付シートをカメラで撮像し、この撮像画像に基づいて第2ACF貼付シート寸法が所定範囲内であるか否かを判断し、
第2ACF貼付シート寸法が所定範囲内と判断したときに、第2ACF貼付シートの下側に基板が位置するようにステージを水平移動させて、第2ACF貼付シートを基板に貼付けるために台紙テープを基板に向けて押圧し、
第2ACF貼付シート寸法が所定範囲外と判断したときは、第2ACF貼付シートを基板に貼付ける工程をエラー停止する請求項1記載のテープ貼付方法。 - 第2ACF貼付シート寸法が所定範囲内と判断したときに、第2ACF貼付シートの撮像画像に基づいて第2ACF貼付シートの位置及び回転角度を算出し、算出した第2ACF貼付シートの位置及び回転角度に基づいて基板に対する第2ACF貼付シートの貼付位置を補正する請求項2記載のテープ貼付方法。
- ACFテープの台紙テープに貼着したACFシートを所定貼付長でハーフカットして基板に貼り付けるテープ貼付方法であって、ACFシートに第1及び第2ハーフカット切目を形成して、その間に第1ACF貼付シートを作製し、この第1ACF貼付シートを基板に貼付け、第3ハーフカット切目をACFシートに形成して第2ACF貼付シートを作製し、第1ACF貼付シートを保持していた台紙テープ上に残存テープがないかをチェックし、残存テープがあった場合は第2ACF貼付シートを貼り付けず、残存テープがなかった場合に第2ACF貼付シートを基板に貼り付けることを特徴とするテープ貼付方法。
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