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JP2006044090A - Line head, manufacturing method thereof, and image forming apparatus - Google Patents

Line head, manufacturing method thereof, and image forming apparatus Download PDF

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JP2006044090A
JP2006044090A JP2004229026A JP2004229026A JP2006044090A JP 2006044090 A JP2006044090 A JP 2006044090A JP 2004229026 A JP2004229026 A JP 2004229026A JP 2004229026 A JP2004229026 A JP 2004229026A JP 2006044090 A JP2006044090 A JP 2006044090A
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JP
Japan
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functional layer
light
array
line head
light emitting
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2004229026A
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Japanese (ja)
Inventor
Hidekazu Kobayashi
英和 小林
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

【課題】 SLアレイの周期的な光量ムラをうち消す技術を提供するとともに、このラインヘッドを備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】 レンズ素子を配列してなるレンズアレイを介して被露光部に光を照射し、露光するようにしたラインヘッドである。発光をなす機能層(発光層60)を有し、機能層からレンズアレイに向けて光を出射するようにしたEL素子3を、基板2上に複数配列して発光素子列を形成してなる。発光素子列は、レンズアレイの光量むらを補正するよう、レンズアレイの導く光量が少ない部位に対応するEL素子3についてはその発光層60の膜厚が薄くなり、レンズアレイの導く光量が多い部位に対応するEL素子3についてはその発光層60の膜厚が厚くなるように、各EL素子3の機能層の膜厚を変えている。
【選択図】 図3
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique for eliminating periodic light amount unevenness of an SL array and to provide an image forming apparatus provided with this line head.
A line head is configured to irradiate a portion to be exposed with light through a lens array in which lens elements are arranged to expose the portion. A plurality of EL elements 3 each having a functional layer (light emitting layer 60) that emits light and emitting light from the functional layer toward the lens array are arranged on the substrate 2 to form a light emitting element array. . In the light emitting element row, the EL element 3 corresponding to the portion where the light amount guided by the lens array is small so as to correct the unevenness of the light amount of the lens array, the thickness of the light emitting layer 60 is thin, and the portion where the light amount guided by the lens array is large. For the EL element 3 corresponding to the above, the thickness of the functional layer of each EL element 3 is changed so that the thickness of the light emitting layer 60 is increased.
[Selection] Figure 3

Description

本発明は、画像形成装置において露光手段として用いられるラインヘッドとその製造方法、及びこのラインヘッドを備えた画像形成装置に関する。   The present invention relates to a line head used as exposure means in an image forming apparatus, a method for manufacturing the same, and an image forming apparatus including the line head.

電子写真方式を利用したプリンタとして、ラインプリンタ(画像形成装置)が知られている。このラインプリンタは、被露光部となる感光体ドラムの周面上に、帯電器、ライン状のプリンタヘッド(ラインヘッド)、現像器、転写器などの装置を近接配置したものである。すなわち、帯電器によって帯電された感光体ドラムの周面上に、プリンタヘッドに設けられた発光素子の選択的な発光動作で露光を行なうことにより、静電潜像を形成し、この潜像を現像器から供給されるトナーで現像して、そのトナー像を転写器で用紙に転写するようにしたものである。   A line printer (image forming apparatus) is known as an electrophotographic printer. In this line printer, devices such as a charger, a line-shaped printer head (line head), a developing device, and a transfer device are arranged close to each other on the peripheral surface of a photosensitive drum serving as an exposed portion. That is, an electrostatic latent image is formed on the peripheral surface of the photosensitive drum charged by the charger by selective light emission operation of a light emitting element provided in the printer head, and this latent image is formed. It is developed with toner supplied from a developing device, and the toner image is transferred onto a sheet by a transfer device.

ところで、前記のようなプリンタヘッドの発光素子としては、一般に発光ダイオードなどが用いられている。しかし、これは数千個の発光点を精度良く配列することが極めて困難であるという課題がある。そこで、近年では、発光点が精度良く作り込める有機エレクトロルミネセンス素子(有機EL素子)を発光素子とする発光素子アレイを、露光手段として備えた画像形成装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   Incidentally, a light emitting diode or the like is generally used as the light emitting element of the printer head as described above. However, this has a problem that it is extremely difficult to arrange thousands of light emitting points with high accuracy. Therefore, in recent years, there has been proposed an image forming apparatus that includes, as an exposure unit, a light-emitting element array that uses an organic electroluminescent element (organic EL element) that can be accurately formed as a light-emitting element as a light-emitting element (for example, Patent Documents). 1).

また、前述したような電子写真方式のラインプリンタでは、通常、プリンタヘッド(ラインヘッド)からの放射光を、セルフォック(登録商標)レンズアレイ(日本板硝子社の商品名;以下、セルフォック(登録商標)レンズをSL、セルフォック(登録商標)レンズアレイをSLアレイと記す)を通過させることで感光体ドラム上に結像し、露光する方式が採られている。SLアレイは、円柱状のレンズ素子であり、正立等倍像させるSL素子を多数配列したことにより、広範囲の画像の結像を可能にしたものである。   Further, in the electrophotographic line printer as described above, the radiated light from the printer head (line head) is usually applied to the SELFOC (registered trademark) lens array (trade name of Nippon Sheet Glass; hereinafter referred to as SELFOC (registered trademark)). A system in which an image is formed on a photosensitive drum by passing through a lens (SL) and a SELFOC (registered trademark) lens array is referred to as an SL array) is exposed. The SL array is a cylindrical lens element, and allows a wide range of images to be formed by arranging a large number of SL elements for erecting an equal magnification.

ところで、SLアレイの作る像は、1本1本のSL素子の作る像が重なりあってできており、SL素子は、フットボールを半分にしたような光量分布を有している。したがって、SLアレイでは、各SL素子の配列ピッチに伴ない、周期的な光量むらが生じてしまっている。
しかし、このような周期的な光量むらがあると、前記のプリンタヘッド(ラインヘッド)とSLアレイとを組合わせた場合に、SLアレイの光量むらに起因して主走査方向の光強度の均一性が悪化し、露光精度が低下して得られるプリントの品質が損なわれてしまう。
By the way, an image formed by the SL array is formed by overlapping images formed by one SL element, and the SL element has a light quantity distribution as if football is halved. Therefore, in the SL array, periodic unevenness in the amount of light occurs with the arrangement pitch of each SL element.
However, if there is such a periodic unevenness of the light amount, when the printer head (line head) and the SL array are combined, the light intensity in the main scanning direction becomes uniform due to the uneven light amount of the SL array. The print quality obtained by the deterioration of the exposure and the exposure accuracy is deteriorated.

このような背景のもとに、従来、特に端面発光素子とSLアレイとを組み合わせた場合に、SLアレイの光量周期ムラをうち消すように、端面発光素子の発光層の厚みを変える技術が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
特開平11−198433号公報 特開平5−330135号公報
Against this background, a technique has been proposed in which the thickness of the light emitting layer of the edge light emitting element is changed so as to eliminate unevenness in the light intensity period of the SL array, particularly when the edge light emitting element and the SL array are combined. (For example, refer to Patent Document 2).
JP 11-198433 A JP-A-5-330135

しかしながら、端面発光ではなく、ボトムエミッションタイプやトップエミッションタイプなどの、基板面から発光する一般的なEL素子を備えたプリンタヘッド(ラインヘッド)については、SLアレイの周期的な光量ムラをうち消すような技術が確立されておらず、したがってその提供が望まれている。   However, in the case of a printer head (line head) having a general EL element that emits light from the substrate surface, such as bottom emission type or top emission type, instead of edge emission, the periodic light intensity unevenness of the SL array is eliminated. Such a technology has not been established, and therefore it is desired to provide such a technology.

本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、一般的なEL素子を備えたラインヘッドにおいて、SLアレイの周期的な光量ムラをうち消す技術を提供するとともに、このラインヘッドを備えた画像形成装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a technique for eliminating the periodic light amount unevenness of the SL array in a line head including a general EL element. An object of the present invention is to provide an image forming apparatus provided with a line head.

本発明のラインヘッドは、レンズ素子を配列してなるレンズアレイを介して被露光部に光を照射し、露光するようにしたラインヘッドであって、
発光をなす機能層を有し、該機能層から前記レンズアレイに向けて光を出射するようにしたEL素子を、基板上に複数配列して発光素子列を形成してなり、
前記発光素子列は、前記レンズアレイの光量むらを補正するよう、前記レンズアレイの導く光量が少ない部位に対応するEL素子についてはその機能層の膜厚が薄くなり、前記レンズアレイの導く光量が多い部位に対応するEL素子についてはその機能層の膜厚が厚くなるように、各EL素子の機能層の膜厚を変えたことを特徴としている。
A line head according to the present invention is a line head configured to irradiate light to an exposed portion through a lens array in which lens elements are arranged, and to expose the portion.
A plurality of EL elements having a functional layer that emits light and emitting light from the functional layer toward the lens array to form a light emitting element array;
In the light emitting element array, the thickness of the functional layer is reduced for the EL element corresponding to the portion where the light amount guided by the lens array is small so that the light amount unevenness of the lens array is corrected. The EL element corresponding to many parts is characterized in that the thickness of the functional layer of each EL element is changed so that the thickness of the functional layer is increased.

EL素子における機能層、特に発光層は、通常、その電気抵抗が比較的高いものとなっている。したがって、EL素子では、その機能層(発光層)の膜厚が薄くなるとこの機能層を流れる電流値が高くなり、その分発光強度(発光量)が強く(多く)なる。逆に、機能層(発光層)の膜厚が厚くなるとこの機能層を流れる電流値が低くなり、その分発光強度(発光量)が弱く(少なく)なる。
そこで、このラインヘッドによれば、発光素子列を形成するEL素子について、その機能層の膜厚をレンズアレイ(SLアレイ)の部位に対応して変えるようにしたので、各EL素子の発光強度(発光量)が変化し、これによってレンズアレイの周期的な光量むらをうち消してこれを補正することが可能になり、したがって光量むらに起因する露光むら、さらに印刷むらを防止することが可能になる。
A functional layer in an EL element, particularly a light emitting layer, usually has a relatively high electric resistance. Therefore, in the EL element, when the thickness of the functional layer (light emitting layer) is reduced, the value of current flowing through the functional layer is increased, and the light emission intensity (light emission amount) is increased (increased) accordingly. On the contrary, when the film thickness of the functional layer (light emitting layer) is increased, the value of current flowing through the functional layer is decreased, and the light emission intensity (light emission amount) is decreased (reduced) accordingly.
Therefore, according to this line head, since the film thickness of the functional layer of the EL elements forming the light emitting element array is changed corresponding to the part of the lens array (SL array), the light emission intensity of each EL element. (Light emission amount) changes, and it is possible to correct this by eliminating the periodic light amount unevenness of the lens array, and therefore it is possible to prevent exposure unevenness due to light amount unevenness, and further printing unevenness. become.

また、前記ラインヘッドにおいては、前記機能層は、少なくとも有機発光層と正孔輸送層とを有してなり、各EL素子間で前記有機発光層の膜厚を変えることにより、各EL素子の機能層の膜厚を変えるようにするのが好ましい。
このように、比較的電気抵抗が高い発光層の膜厚を変えることによって各EL素子間で前記有機発光層の膜厚を変えるようにすれば、この膜厚の変化によって各EL素子の発光強度(発光量)がより容易にかつ確実に変化する。したがって、前述したようにレンズアレイの周期的な光量むらをうち消してこれを補正することが可能になり、したがって光量むらに起因する露光むら、さらに印刷むらを防止することが可能になる。
Further, in the line head, the functional layer includes at least an organic light emitting layer and a hole transport layer, and by changing the film thickness of the organic light emitting layer between the EL elements, It is preferable to change the thickness of the functional layer.
Thus, if the film thickness of the organic light emitting layer is changed between the EL elements by changing the film thickness of the light emitting layer having a relatively high electrical resistance, the light emission intensity of each EL element is changed by the change in the film thickness. The (light emission amount) changes more easily and reliably. Therefore, as described above, it is possible to eliminate the periodic light amount unevenness of the lens array and correct it, and therefore it is possible to prevent the exposure unevenness due to the light amount unevenness and the printing unevenness.

本発明のラインヘッドの製造方法は、 発光をなす機能層を有し、該機能層からレンズ素子を配列してなるレンズアレイに向けて光を出射するようにしたEL素子を、基板上に複数配列して発光素子列を形成し、ラインヘッドを製造する方法であって、
基板上の各EL素子形成領域に、隔壁に囲まれてなる機能層形成部を形成する工程と、
前記機能層形成部に機能層材料を液滴吐出法で配し、機能層を形成する工程と、を備え、
前記機能層を形成する工程では、前記レンズアレイの光量むらを補正するよう、前記レンズアレイの導く光量が少ない部位には前記機能層の膜厚を薄くし、前記レンズアレイの導く光量が多い部位には前記機能層の膜厚を厚くすることを特徴としている。
The method of manufacturing a line head according to the present invention includes a plurality of EL elements on a substrate, each having a functional layer that emits light, and emitting light toward a lens array in which lens elements are arranged from the functional layer. A method of manufacturing a line head by arranging a light emitting element array, comprising:
Forming a functional layer forming portion surrounded by a partition wall in each EL element forming region on the substrate;
Providing a functional layer material in the functional layer forming portion by a droplet discharge method and forming a functional layer,
In the step of forming the functional layer, in order to correct unevenness of the light amount of the lens array, the thickness of the functional layer is reduced at a portion where the light amount guided by the lens array is small, and the portion where the light amount guided by the lens array is large Is characterized in that the thickness of the functional layer is increased.

このラインヘッドの製造方法によれば、機能層材料を液滴吐出法で配すことによって機能層を形成するようにしているので、各機能層形成部毎に所望する量の機能層材料を精度よく配すことができ、したがって、各機能層についてその膜厚を予め設定された膜厚に精度よくしかも容易に調整することができる。よって、レンズアレイの周期的な光量むらを確実にうち消してこれを補正することが可能になる。   According to this line head manufacturing method, the functional layer material is formed by the droplet discharge method so that the functional layer material is formed. Therefore, a desired amount of the functional layer material is accurately obtained for each functional layer forming portion. Therefore, the thickness of each functional layer can be adjusted accurately and easily to a preset thickness. Therefore, it is possible to reliably eliminate the periodic light amount unevenness of the lens array and correct it.

本発明の画像形成装置は、露光手段として、前記のラインヘッドか、あるいは前記の製造方法によって得られたラインヘッドを備えたことを特徴としている。
この画像形成装置によれば、前述したようにラインヘッドが、レンズアレイ(SLアレイ)の部位に対応して、発光素子列を形成するEL素子における機能層の膜厚を変えているので、レンズアレイの周期的な光量むらをうち消してこれを補正することが可能になり、したがって光量むらに起因する露光むら、さらに印刷むらを防止することが可能になる。
The image forming apparatus of the present invention is characterized in that the above-mentioned line head or the line head obtained by the above-described manufacturing method is provided as an exposure unit.
According to this image forming apparatus, as described above, the line head changes the film thickness of the functional layer in the EL element forming the light emitting element array corresponding to the part of the lens array (SL array). It is possible to eliminate the periodic light amount unevenness of the array and correct it, and therefore it is possible to prevent the exposure unevenness due to the light amount unevenness and the printing unevenness.

以下、本発明を詳しく説明する。
まず、本発明のラインヘッドについて説明する。図1は、本発明のラインヘッドの一実施形態を模式的に示す図であり、図1中符号1はラインヘッドである。このラインヘッド1は、後述する画像形成装置の露光手段として用いられるもので、図1に示すように長細い矩形の素子基板2上に、複数の有機EL(エレクトロルミネセンス)素子3を配列してなる発光素子列3Aと、前記有機EL素子3を駆動させる駆動素子4からなる駆動素子群と、これら駆動素子4(駆動素子群)の駆動を制御する制御回路群5とを一体形成したものである。また、前記素子基板2上には、前記有機EL素子3を封止した状態で、接着剤によって封止基板(図示せず)が貼着されている。
The present invention will be described in detail below.
First, the line head of the present invention will be described. FIG. 1 is a diagram schematically showing an embodiment of a line head according to the present invention, and reference numeral 1 in FIG. 1 denotes a line head. This line head 1 is used as an exposure unit of an image forming apparatus described later. As shown in FIG. 1, a plurality of organic EL (electroluminescence) elements 3 are arranged on a long and thin rectangular element substrate 2. A light emitting element array 3A, a driving element group including driving elements 4 for driving the organic EL elements 3, and a control circuit group 5 for controlling the driving of these driving elements 4 (driving element groups). It is. Further, a sealing substrate (not shown) is stuck on the element substrate 2 with an adhesive in a state where the organic EL element 3 is sealed.

ここで、発光素子列3Aを形成する各EL素子3は、後述するように、無機隔壁25及び有機隔壁221に囲まれてなる機能層形成部(開口25a、開口221a)に形成される機能層の膜厚が、後述するSLアレイ(レンズアレイ)の光量むらに対応して異なって形成されており、これによって各EL素子3が出射する光の強度(発光量)も異なっている。例えば、SLアレイの光量むらが平均値に対して±5%となっている場合には、各有機EL素子3の機能層の膜厚を変えることで、出射する光の強度(発光量)を平均値に対して±5%となるようにしている。   Here, as will be described later, each EL element 3 forming the light emitting element array 3A is a functional layer formed in a functional layer forming portion (opening 25a, opening 221a) surrounded by the inorganic partition wall 25 and the organic partition wall 221. The film thicknesses of the EL elements 3 are different from each other in accordance with the unevenness of the amount of light of an SL array (lens array), which will be described later. For example, when the light intensity unevenness of the SL array is ± 5% with respect to the average value, the intensity (light emission amount) of the emitted light is changed by changing the film thickness of the functional layer of each organic EL element 3. The average value is ± 5%.

なお、図1に示したように、駆動素子4には電源線7、8が接続されており、これら電源線7、8を介して電源(図示せず)から駆動素子4に電圧が印加されるようになっている。そして、これら駆動素子4(駆動素子群)、制御回路群5、電源線7、8により、駆動制御手段が構成されている。このような構成のもとに有機EL素子3は、駆動制御手段によってその発光動作が制御されるようになっている。   As shown in FIG. 1, power lines 7 and 8 are connected to the drive element 4, and a voltage is applied to the drive element 4 from a power source (not shown) via these power lines 7 and 8. It has become so. The drive element 4 (drive element group), the control circuit group 5, and the power supply lines 7 and 8 constitute drive control means. Based on such a configuration, the light emitting operation of the organic EL element 3 is controlled by the drive control means.

ラインヘッド1における有機EL素子3や駆動素子4等の構成について、図2(a)、(b)を参照して詳述する。
素子基板2としては、図2(a)に示すように、発光層60で発光した光を画素電極23側から出射する、いわゆるボトムエミッション型である場合、素子基板2側から発光光を取り出す構成であるので、透明あるいは半透明のものが採用される。例えば、ガラス、石英、樹脂(プラスチック、プラスチックフィルム)等が挙げられ、特にガラス基板が好適に用いられる。
The configurations of the organic EL element 3 and the driving element 4 in the line head 1 will be described in detail with reference to FIGS. 2 (a) and 2 (b).
As the element substrate 2, as shown in FIG. 2A, in the case of a so-called bottom emission type in which the light emitted from the light emitting layer 60 is emitted from the pixel electrode 23 side, the emitted light is extracted from the element substrate 2 side. Therefore, a transparent or translucent material is used. For example, glass, quartz, resin (plastic, plastic film) and the like can be mentioned, and a glass substrate is particularly preferably used.

また、発光層60で発光した光を陰極(対向電極)50側から出射する、いわゆるトップエミッション型である場合には、この素子基板2の対向側である封止基板側から発光光を取り出す構成となるので、透明基板及び不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板としては、例えば、アルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したものの他に、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられる。
本実施形態では、ボトムエミッション型が採用され、したがって素子基板2には透明なガラスが用いられるものとする。
In the case of a so-called top emission type in which the light emitted from the light emitting layer 60 is emitted from the cathode (counter electrode) 50 side, the emitted light is extracted from the sealing substrate side that is the opposite side of the element substrate 2. Therefore, either a transparent substrate or an opaque substrate can be used. Examples of the opaque substrate include a thermosetting resin and a thermoplastic resin in addition to a ceramic sheet such as alumina and a metal sheet such as stainless steel that has been subjected to an insulation treatment such as surface oxidation.
In the present embodiment, a bottom emission type is adopted, and therefore transparent glass is used for the element substrate 2.

素子基板2上には、画素電極23に接続する駆動用TFT123(駆動素子4)などを含む回路部11が形成されており、その上に有機EL素子3が設けられている。有機EL素子3は、陽極として機能する画素電極23と、この画素電極23からの正孔を注入/輸送する正孔輸送層70と、有機EL物質からなる発光層60と、陰極50とが順に形成されたことによって構成されている。なお、本実施形態では、正孔輸送層70と発光層60とにより、本発明の機能層が形成されている。   On the element substrate 2, a circuit unit 11 including a driving TFT 123 (driving element 4) connected to the pixel electrode 23 is formed, and an organic EL element 3 is provided thereon. The organic EL element 3 includes a pixel electrode 23 functioning as an anode, a hole transport layer 70 for injecting / transporting holes from the pixel electrode 23, a light emitting layer 60 made of an organic EL material, and a cathode 50 in this order. It is configured by being formed. In the present embodiment, the hole transport layer 70 and the light emitting layer 60 form the functional layer of the present invention.

ここで、有機EL素子3および駆動用TFT123(駆動素子4)を図1に対応した模式図で示すと、図2(b)に示すようになる。図2(b)において、電源線7は駆動素子4のソース/ドレイン電極に接続し、電源線8は有機EL素子3の陰極50に接続している。
そして、このような構成のもとに有機EL素子3は、図2(a)に示すように、正孔輸送層70から注入された正孔と陰極50からの電子とが発光層60で結合することにより、発光をなすようになっている。したがって、有機EL素子3は、正孔輸送層70及び発光層60からなる機能層の電気抵抗が低く、機能層中を流れる電流が多くなることにより、発光量が多くなって発光強度が強くなり、逆に、機能層の電気抵抗が高く、機能層中を流れる電流が少なくなることにより、発光量が少なくなって発光強度が弱くなる。
Here, when the organic EL element 3 and the driving TFT 123 (driving element 4) are shown in a schematic view corresponding to FIG. 1, it is as shown in FIG. In FIG. 2B, the power line 7 is connected to the source / drain electrode of the drive element 4, and the power line 8 is connected to the cathode 50 of the organic EL element 3.
In the organic EL element 3 having such a configuration, the holes injected from the hole transport layer 70 and the electrons from the cathode 50 are combined in the light emitting layer 60 as shown in FIG. By doing so, it emits light. Therefore, the organic EL element 3 has a low electric resistance of the functional layer composed of the hole transport layer 70 and the light emitting layer 60, and an increase in the amount of light emission and an increase in the light emission intensity due to an increase in current flowing in the functional layer. On the contrary, the electrical resistance of the functional layer is high and the current flowing in the functional layer is reduced, so that the light emission amount is reduced and the light emission intensity is weakened.

また、本発明において各有機EL素子3は、前述したように、それぞれの機能層の膜厚が、後述するSLアレイ(レンズアレイ)の光量むらに対応して異なって形成されている。すなわち、本実施形態においては、画素電極23上にSiO等の親液性の絶縁材料からなる無機隔壁25(本発明における隔壁)が形成され、さらにこの無機隔壁25上には絶縁材料からなる有機隔壁221が形成されている。そして、これら無機隔壁25、有機隔壁221によって囲まれた領域となる無機隔壁25の開口25a、及び有機隔壁221の開口221aにより、本発明における機能層形成部が形成されている。
この機能層形成部に形成された機能層は、前述したように正孔輸送層70と発光層60とからなっている。そして、本実施形態では特に発光層60の膜厚が、配列した有機EL素子3間で周期的に変えられ、正孔輸送層70の膜厚については一定とされることにより、機能層の膜厚が、配列した有機EL素子3間で周期的に変えられている。
Further, in the present invention, as described above, each organic EL element 3 is formed such that the thickness of each functional layer is different corresponding to the unevenness of the light amount of the SL array (lens array) described later. That is, in the present embodiment, an inorganic partition wall 25 (partition wall in the present invention) made of a lyophilic insulating material such as SiO 2 is formed on the pixel electrode 23, and the inorganic partition wall 25 is made of an insulating material. An organic partition 221 is formed. The functional layer forming portion in the present invention is formed by the inorganic partition wall 25, the opening 25 a of the inorganic partition wall 25 that is a region surrounded by the organic partition wall 221, and the opening 221 a of the organic partition wall 221.
The functional layer formed in the functional layer forming portion is composed of the hole transport layer 70 and the light emitting layer 60 as described above. In this embodiment, in particular, the film thickness of the light emitting layer 60 is periodically changed between the arranged organic EL elements 3, and the film thickness of the hole transport layer 70 is made constant, so that the film of the functional layer is formed. The thickness is periodically changed between the arranged organic EL elements 3.

陽極として機能する画素電極23は、特にボトムエミッション型である場合、透明導電材料によって形成され、具体的にはITOが好適に用いられる。
正孔輸送層70の形成材料としては、特に3,4−ポリエチレンジオシチオフェン/ポリスチレンスルフォン酸(PEDOT/PSS)の分散液、すなわち、分散媒としてのポリスチレンスルフォン酸に3,4−ポリエチレンジオキシチオフェンを分散させ、さらにこれを水に分散させた分散液が好適に用いられる。
なお、正孔輸送層70の形成材料としては、前記のものに限定されることなく種々のものが使用可能である。例えば、ポリスチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレンやその誘導体などを、適宜な分散媒、例えば前記のポリスチレンスルフォン酸に分散させたものなどが使用可能である。
The pixel electrode 23 that functions as an anode is formed of a transparent conductive material, particularly in the case of a bottom emission type, and specifically, ITO is preferably used.
As a material for forming the hole transport layer 70, in particular, a dispersion of 3,4-polyethylenediosithiophene / polystyrene sulfonic acid (PEDOT / PSS), that is, 3,4-polyethylenedioxy in polystyrene sulfonic acid as a dispersion medium. A dispersion in which thiophene is dispersed and further dispersed in water is preferably used.
In addition, as a forming material of the positive hole transport layer 70, various things can be used, without being limited to the said thing. For example, a material obtained by dispersing polystyrene, polypyrrole, polyaniline, polyacetylene or a derivative thereof in an appropriate dispersion medium such as the aforementioned polystyrene sulfonic acid can be used.

発光層60を形成するための材料としては、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の発光材料が用いられる。なお、本実施形態では、例えば発光波長帯域が赤色に対応した発光層が採用されるが、もちろん、発光波長帯域が緑色や青色に対応した発光層を採用するようにしてもよい。   As a material for forming the light emitting layer 60, a known light emitting material capable of emitting fluorescence or phosphorescence is used. In this embodiment, for example, a light emitting layer whose emission wavelength band corresponds to red is adopted, but of course, a light emission layer whose emission wavelength band corresponds to green or blue may be adopted.

発光層60の形成材料として具体的には、(ポリ)フルオレン誘導体(PF)、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘導体(PPV)、ポリフェニレン誘導体(PP)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP)、ポリビニルカルバゾール(PVK)、ポリチオフェン誘導体、ポリメチルフェニルシラン(PMPS)などのポリシラン系などが好適に用いられる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素などの高分子系材料や、ルブレン、ペリレン、9,10−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等の低分子材料をドープして用いることもできる。   Specific examples of the material for forming the light emitting layer 60 include (poly) fluorene derivative (PF), (poly) paraphenylene vinylene derivative (PPV), polyphenylene derivative (PP), polyparaphenylene derivative (PPP), and polyvinylcarbazole (PVK). ), Polythiophene derivatives, and polysilanes such as polymethylphenylsilane (PMPS) are preferably used. In addition, these polymer materials include polymer materials such as perylene dyes, coumarin dyes, rhodamine dyes, rubrene, perylene, 9,10-diphenylanthracene, tetraphenylbutadiene, Nile red, coumarin 6, and quinacridone. It can also be used by doping a low molecular weight material such as.

ここで、前記のPEDOT/PSSから得られる正孔輸送層70は、例えば前記(ポリ)フルオレン誘導体等からなる発光層60に比べ、電気抵抗が十分に低く、導電性が高いものとなっている。したがって、機能層全体での電気抵抗を考えた場合に、この正孔輸送層70の膜厚の変化が機能層全体の電気抵抗に及ぼす影響は、ほとんど無視できる程度に小さいものとなっている。よって、本実施形態においては、前述したように正孔輸送層70の膜厚については一定にしておき、発光層60の膜厚を周期的に変えることで、機能層の膜厚を、配列した有機EL素子3間で周期的に変えるようにしている。具体的には、発光層60の膜厚を、80nm±10nm程度の範囲で周期的に変えることにより、出射する光の強度(発光量)を、平均値に対して±5%となるようにしている。   Here, the hole transport layer 70 obtained from the PEDOT / PSS has a sufficiently low electric resistance and high conductivity as compared with the light emitting layer 60 made of, for example, the (poly) fluorene derivative. . Therefore, when the electrical resistance of the entire functional layer is considered, the influence of the change in the thickness of the hole transport layer 70 on the electrical resistance of the entire functional layer is small enough to be ignored. Therefore, in the present embodiment, as described above, the film thickness of the hole transport layer 70 is kept constant, and the film thickness of the functional layer is arranged by periodically changing the film thickness of the light emitting layer 60. The period is changed periodically between the organic EL elements 3. Specifically, by periodically changing the film thickness of the light emitting layer 60 in a range of about 80 nm ± 10 nm, the intensity of emitted light (light emission amount) is set to ± 5% with respect to the average value. ing.

ただし、本発明において機能層の膜厚を変化させるのは、後述するようにレンズアレイの光量むらを補正するべく、有機EL素子3間でその発光量を変化させるためである。したがって、有機EL素子3間で発光量を変化させるべく、機能層の電気抵抗を変化させるためには、必ずしも機能層全体の膜厚を変化させる必要がなく、機能層を構成する層のうち抵抗の高い層の膜厚、すなわち前記例では発光層60の膜厚のみを変化させれば、機能層全体の膜厚が一定であってもかまわない。そして、このような場合であっても、本発明において規定するところの、「レンズアレイ(SLアレイ)の光量むらを補正するよう、各EL素子の機能層の膜厚を変えた」ことの範囲内となるのである。つまり、本発明においては、例えば前記の各有機EL素子3の機能層間において、発光層60の膜厚を所定の範囲で周期的に変え、同様に正孔輸送層70の膜厚も周期的に変え、これら発光層60と正孔輸送層70との合計の膜厚、すなわち機能層の膜厚が、一定となるようにしてもよいのである。   However, the thickness of the functional layer is changed in the present invention in order to change the light emission amount between the organic EL elements 3 in order to correct the unevenness of the light amount of the lens array as will be described later. Therefore, in order to change the electrical resistance of the functional layer in order to change the amount of light emission between the organic EL elements 3, it is not always necessary to change the film thickness of the entire functional layer. The thickness of the entire functional layer may be constant as long as only the thickness of the light-emitting layer 60 is changed. Even in such a case, the range of “the film thickness of the functional layer of each EL element was changed so as to correct the unevenness of the light amount of the lens array (SL array)” as defined in the present invention. It will be inside. That is, in the present invention, for example, between the functional layers of each organic EL element 3, the film thickness of the light emitting layer 60 is periodically changed within a predetermined range, and the film thickness of the hole transport layer 70 is also periodically changed. Alternatively, the total thickness of the light emitting layer 60 and the hole transport layer 70, that is, the thickness of the functional layer may be constant.

なお、正孔輸送層70についても、その材料によっては絶縁性に近く、膜の電気抵抗が高くなるものもある。このような場合には、発光層60の膜厚を一定にし、この電気抵抗が高い正孔輸送層の膜厚を周期的に変化させることにより、各有機EL素子3間において機能層の抵抗を周期的に変化させ、その発光強度(発光量)を変化させるこようにしてもよい。   Note that the hole transport layer 70 may be close to insulating depending on the material, and the electrical resistance of the film may be increased. In such a case, the thickness of the light emitting layer 60 is made constant, and the thickness of the hole transport layer having a high electrical resistance is periodically changed, whereby the resistance of the functional layer is reduced between the organic EL elements 3. The light emission intensity (light emission amount) may be changed periodically.

陰極50は、前記発光層60を覆って形成されたもので、例えばCaを厚さ20nm程度に形成し、その上にAlを厚さ200nm程度に形成して積層構造の電極とし、Alを反射層としても機能させたものである。
また、この陰極50上には接着層を介して封止基板(図示せず)が貼着されている。
The cathode 50 is formed so as to cover the light emitting layer 60. For example, Ca is formed to a thickness of about 20 nm, and Al is formed thereon to a thickness of about 200 nm to form an electrode having a laminated structure, and the Al is reflected. It also functions as a layer.
Further, a sealing substrate (not shown) is stuck on the cathode 50 via an adhesive layer.

また、このような有機EL素子3の下方には、前述したように回路部11が設けられている。この回路部11は素子基板2上に形成されたものである。すなわち、素子基板2の表面にはSiOを主体とする下地保護層281が下地として形成され、その上にはシリコン層241が形成されている。このシリコン層241の表面には、SiO及び/又はSiNを主体とするゲート絶縁層282が形成されている。 In addition, the circuit unit 11 is provided below the organic EL element 3 as described above. The circuit unit 11 is formed on the element substrate 2. That is, a base protective layer 281 mainly composed of SiO 2 is formed on the surface of the element substrate 2 as a base, and a silicon layer 241 is formed thereon. A gate insulating layer 282 mainly composed of SiO 2 and / or SiN is formed on the surface of the silicon layer 241.

また、前記シリコン層241のうち、ゲート絶縁層282を挟んでゲート電極242と重なる領域がチャネル領域241aとされている。なお、このゲート電極242は、図示しない走査線の一部である。一方、シリコン層241を覆い、ゲート電極242を形成したゲート絶縁層282の表面には、SiOを主体とする第1層間絶縁層283が形成されている。 In the silicon layer 241, a region overlapping with the gate electrode 242 with the gate insulating layer 282 interposed therebetween is a channel region 241a. The gate electrode 242 is a part of a scanning line (not shown). On the other hand, a first interlayer insulating layer 283 mainly composed of SiO 2 is formed on the surface of the gate insulating layer 282 that covers the silicon layer 241 and on which the gate electrode 242 is formed.

また、シリコン層241のうち、チャネル領域241aのソース側には、低濃度ソース領域241bおよび高濃度ソース領域241Sが設けられる一方、チャネル領域241aのドレイン側には低濃度ドレイン領域241cおよび高濃度ドレイン領域241Dが設けられて、いわゆるLDD(Light Doped Drain )構造となっている。これらのうち、高濃度ソース領域241Sは、ゲート絶縁層282と第1層間絶縁層283とにわたって開孔するコンタクトホール243aを介して、ソース電極243に接続されている。このソース電極243は、電源線(図示せず)の一部として構成されている。一方、高濃度ドレイン領域241Dは、ゲート絶縁層282と第1層間絶縁層283とにわたって開孔するコンタクトホール244aを介して、ソース電極243と同一層からなるドレイン電極244に接続されている。   Further, in the silicon layer 241, a low concentration source region 241b and a high concentration source region 241S are provided on the source side of the channel region 241a, while a low concentration drain region 241c and a high concentration drain are provided on the drain side of the channel region 241a. The region 241D is provided to form a so-called LDD (Light Doped Drain) structure. Among these, the high-concentration source region 241S is connected to the source electrode 243 through a contact hole 243a that opens over the gate insulating layer 282 and the first interlayer insulating layer 283. The source electrode 243 is configured as a part of a power supply line (not shown). On the other hand, the high-concentration drain region 241D is connected to the drain electrode 244 made of the same layer as the source electrode 243 through a contact hole 244a that opens through the gate insulating layer 282 and the first interlayer insulating layer 283.

ソース電極243およびドレイン電極244が形成された第1層間絶縁層283の上層には、例えばアクリル系の樹脂成分を主体とする平坦化膜284が形成されている。この平坦化膜284は、アクリル系やポリイミド系等の、耐熱性絶縁性樹脂などによって形成されたもので、駆動用TFT123(駆動素子4)やソース電極243、ドレイン電極244などによる表面の凹凸をなくすために形成された公知のものである。   On the first interlayer insulating layer 283 on which the source electrode 243 and the drain electrode 244 are formed, for example, a planarizing film 284 mainly composed of an acrylic resin component is formed. The planarizing film 284 is formed of a heat-resistant insulating resin such as acrylic or polyimide, and has surface irregularities caused by the driving TFT 123 (driving element 4), the source electrode 243, the drain electrode 244, and the like. It is a well-known thing formed in order to eliminate.

そして、ITO等からなる画素電極23が、この平坦化膜284の表面上に形成されるとともに、該平坦化膜284に設けられたコンタクトホール23aを介してドレイン電極244に接続されている。すなわち、画素電極23は、ドレイン電極244を介して、シリコン層241の高濃度ドレイン領域241Dに接続されている。   A pixel electrode 23 made of ITO or the like is formed on the surface of the planarizing film 284 and connected to the drain electrode 244 through a contact hole 23a provided in the planarizing film 284. That is, the pixel electrode 23 is connected to the high concentration drain region 241D of the silicon layer 241 through the drain electrode 244.

画素電極23が形成された平坦化膜284の表面には、画素電極23と、前述した無機隔壁25とが形成されており、さらに無機隔壁25上には、有機隔壁221が形成されている。そして、画素電極23上には、無機隔壁25に形成された前記開口25aと、有機隔壁221に形成された開口221aとの内部、すなわち画素領域に、前記の正孔輸送層70と発光層60とが画素電極23側からこの順で積層され、これによって機能層が形成されている。   On the surface of the planarization film 284 on which the pixel electrode 23 is formed, the pixel electrode 23 and the above-described inorganic partition wall 25 are formed, and on the inorganic partition wall 25, an organic partition wall 221 is formed. On the pixel electrode 23, the hole transport layer 70 and the light emitting layer 60 are formed inside the opening 25 a formed in the inorganic partition wall 25 and the opening 221 a formed in the organic partition wall 221, that is, in the pixel region. Are stacked in this order from the pixel electrode 23 side, thereby forming a functional layer.

次に、このような構成のラインヘッド1の製造方法の一例を説明する。
まず、図3(a)に示すように、素子基板2の表面に、下地保護層281を形成し、さらにこの下地保護層281上にポリシリコン層等を形成して、このポリシリコン層等から回路部11を形成する。
次いで、素子基板2の全面を覆うように画素電極23となる透明導電膜を、ITO等によって形成する。そして、この導電膜をパターニングすることにより、平坦化膜284のコンタクトホール23aを介してドレイン電極244と導通する画素電極23を形成する。
Next, an example of a method for manufacturing the line head 1 having such a configuration will be described.
First, as shown in FIG. 3A, a base protective layer 281 is formed on the surface of the element substrate 2, and a polysilicon layer or the like is further formed on the base protective layer 281. The circuit unit 11 is formed.
Next, a transparent conductive film to be the pixel electrode 23 is formed of ITO or the like so as to cover the entire surface of the element substrate 2. Then, by patterning this conductive film, the pixel electrode 23 that is electrically connected to the drain electrode 244 through the contact hole 23a of the planarizing film 284 is formed.

次いで、画素電極23上および平坦化膜284上に、SiO等の絶縁材料をCVD法等で成膜して本発明の隔壁層(図示せず)を形成し、続いて、公知のホトリソグラフィー技術、エッチング技術を用いて隔壁層をパターニングする。これにより、図3(b)に示すように、形成する各有機EL素子3の画素領域毎に開口25aを形成すると同時に、無機隔壁25を形成する。
次いで、図3(c)に示すように、無機隔壁25の所定位置、詳しくは画素領域を囲む位置に、樹脂等によって開口221aを有する有機隔壁221を形成する。これにより、前記無機隔壁25の開口25aと有機隔壁221の開口221aとからなる、機能層形成部を形成することができる。
Next, an insulating material such as SiO 2 is formed on the pixel electrode 23 and the planarizing film 284 by a CVD method or the like to form a partition layer (not shown) of the present invention, followed by known photolithography. The barrier rib layer is patterned using a technique and an etching technique. As a result, as shown in FIG. 3B, an opening 25a is formed for each pixel region of each organic EL element 3 to be formed, and at the same time, an inorganic partition wall 25 is formed.
Next, as shown in FIG. 3C, an organic partition 221 having an opening 221a is formed with a resin or the like at a predetermined position of the inorganic partition 25, specifically, a position surrounding the pixel region. As a result, a functional layer forming portion including the opening 25 a of the inorganic partition wall 25 and the opening 221 a of the organic partition wall 221 can be formed.

次いで、素子基板2の表面に、親液性を示す領域と、撥液性を示す領域とを形成する。本実施形態においては、プラズマ処理によって各領域を形成するものとする。具体的には、該プラズマ処理は、予備加熱工程と、有機隔壁221の表面および開口221aの壁面ならびに画素電極23の電極面23c、無機隔壁25の表面をそれぞれ親液性にする親液化工程と、有機隔壁221の上面および開口221aの壁面を撥液性にする撥液化工程と、冷却工程とで構成する。   Next, a region showing lyophilicity and a region showing liquid repellency are formed on the surface of the element substrate 2. In the present embodiment, each region is formed by plasma processing. Specifically, the plasma treatment includes a preheating step, a lyophilic step for making the surface of the organic partition wall 221 and the wall surface of the opening 221a, the electrode surface 23c of the pixel electrode 23, and the surface of the inorganic partition wall 25 lyophilic. The liquid barrier layer 221 includes a liquid repellent process for making the upper surface of the organic partition wall 221 and the wall surface of the opening 221a liquid repellent, and a cooling process.

すなわち、基材(バンクなどを含む素子基板2)を所定温度、例えば70〜80℃程度に加熱し、次いで親液化工程として大気圧下で酸素を反応ガスとするプラズマ処理(Oプラズマ処理)を行う。次いで、撥液化工程として大気圧下で4フッ化メタンを反応ガスとするプラズマ処理(CFプラズマ処理)を行い、その後、プラズマ処理のために加熱された基材を室温まで冷却することで、親液性および撥液性が所定箇所に付与されることとなる。 That is, the base material (element substrate 2 including a bank or the like) is heated to a predetermined temperature, for example, about 70 to 80 ° C., and then plasma treatment using oxygen as a reaction gas under atmospheric pressure as a lyophilic process (O 2 plasma treatment). I do. Next, a plasma treatment (CF 4 plasma treatment) using methane tetrafluoride as a reaction gas under atmospheric pressure as a lyophobic process is performed, and then the substrate heated for the plasma treatment is cooled to room temperature. The lyophilic property and the liquid repellency are imparted to a predetermined location.

なお、このCFプラズマ処理においては、画素電極23の電極面23cおよび無機隔壁25についても多少の影響を受けるが、画素電極23の材料であるITOおよび無機隔壁25の構成材料であるSiO、TiOなどはフッ素に対する親和性に乏しいため、親液化工程で付与された水酸基がフッ素基で置換されることがなく、親液性が保たれる。 In this CF 4 plasma treatment, the electrode surface 23c of the pixel electrode 23 and the inorganic partition wall 25 are also somewhat affected, but ITO that is the material of the pixel electrode 23 and SiO 2 that is the constituent material of the inorganic partition wall 25, Since TiO 2 and the like have a poor affinity for fluorine, the hydroxyl group imparted in the lyophilic step is not substituted with the fluorine group, and the lyophilic property is maintained.

次いで、正孔輸送層形成工程によって正孔輸送層70を形成する。この正孔輸送層形成工程では、液滴吐出法として、特にインクジェット法が好適に採用される。すなわち、このインクジェット法により、正孔輸送層形成材料を電極面23c上に選択的に配し、これを塗布する。正孔輸送層70の形成材料としては、例えば前記のPEDOT:PSSをイソプロピルアルコールなどの極性溶媒に溶解させたものが用いられる。
その後、乾燥処理および熱処理を行い、電極23上に正孔輸送層70を形成する。
Next, the hole transport layer 70 is formed by a hole transport layer forming step. In this hole transport layer forming step, an inkjet method is particularly preferably employed as the droplet discharge method. That is, by this ink jet method, the hole transport layer forming material is selectively disposed on the electrode surface 23c and applied. As a material for forming the hole transport layer 70, for example, a material obtained by dissolving the PEDOT: PSS in a polar solvent such as isopropyl alcohol is used.
Thereafter, drying treatment and heat treatment are performed to form the hole transport layer 70 on the electrode 23.

ここで、このインクジェット法による正孔輸送層70の形成にあたっては、まず、インクジェットヘッド(図示略)に正孔輸送層形成材料を充填し、インクジェットヘッドの吐出ノズルを無機隔壁25に形成された前記開口25a内に位置する電極面23cに対向させ、インクジェットヘッドと基材(素子基板2)とを相対移動させながら、吐出ノズルから1滴当たりの液量が制御された液滴を電極面23cに吐出する。次に、吐出後の液滴を乾燥処理し、正孔輸送層材料に含まれる分散媒や溶媒を蒸発させることにより、前述したように正孔輸送層70を形成する。   Here, in forming the hole transport layer 70 by the ink jet method, first, the ink jet head (not shown) is filled with a hole transport layer forming material, and the discharge nozzle of the ink jet head is formed in the inorganic partition wall 25. Opposite the electrode surface 23c located in the opening 25a, and moving the ink jet head and the base material (element substrate 2) relative to each other, droplets with a controlled liquid amount per droplet from the discharge nozzle are applied to the electrode surface 23c. Discharge. Next, the discharged liquid droplets are dried, and the hole transport layer 70 is formed as described above by evaporating the dispersion medium and the solvent contained in the hole transport layer material.

このとき、吐出ノズルから吐出された液滴は、親液性処理がなされた電極面23c上にて広がり、無機隔壁25の開口25a内に満たされて該開口25a内に臨むようになる。その一方で、撥液処理された有機隔壁221の上面では、液滴がはじかれて付着しない。したがって、液滴が所定の吐出位置からずれて、液滴の一部が有機隔壁221の表面にかかったとしても、該表面が液滴で濡れることがなく、弾かれた液滴が無機隔壁25の開口25a内に引き込まれる。   At this time, the droplet discharged from the discharge nozzle spreads on the electrode surface 23c that has been subjected to the lyophilic treatment, fills the opening 25a of the inorganic partition wall 25, and faces the opening 25a. On the other hand, droplets are repelled and do not adhere to the upper surface of the organic barrier 221 that has been subjected to the liquid repellent treatment. Therefore, even if the liquid droplet is displaced from a predetermined discharge position and a part of the liquid droplet is applied to the surface of the organic partition wall 221, the surface is not wetted by the liquid droplet, and the repelled liquid droplet is the inorganic partition wall 25. Into the opening 25a.

なお、本実施形態では、有機EL素子3を形成するための全ての画素領域、すなわち前記の機能層形成部に対し、正孔輸送層形成材料を同量配することにより、形成する正孔輸送層70の膜厚を全て同じにする。ただし、前述したようにこの正孔輸送層70は電気抵抗が低く、したがって有機EL素子3間での正孔輸送層70の膜厚のばらつきは、有機EL素子3間での機能層全体の抵抗のばらつきにほとんど影響を与えない。よって、各有機EL素子3間においては、正孔輸送層70の膜厚を必ずしも一定にする必要はない。
また、この正孔輸送層形成工程以降では、各種の形成材料や形成した要素の酸化・吸湿を防止すべく、窒素雰囲気、アルゴン雰囲気などの不活性ガス雰囲気で行うことが好ましい。
In the present embodiment, the hole transport layer to be formed is formed by arranging the same amount of the hole transport layer forming material in all the pixel regions for forming the organic EL element 3, that is, the functional layer forming part. All the layers 70 have the same film thickness. However, as described above, the hole transport layer 70 has a low electrical resistance. Therefore, the variation in the film thickness of the hole transport layer 70 between the organic EL elements 3 is the resistance of the entire functional layer between the organic EL elements 3. Has little effect on the variation of Therefore, the thickness of the hole transport layer 70 is not necessarily constant between the organic EL elements 3.
Further, after this hole transport layer forming step, it is preferable to carry out in an inert gas atmosphere such as a nitrogen atmosphere or an argon atmosphere in order to prevent oxidation and moisture absorption of various forming materials and formed elements.

次いで、図4(a)に示すように、発光層形成工程による発光層60の形成を行う。発光層形成工程では、前記の正孔輸送層70の形成と同様に、液滴吐出法であるインクジェット法が好適に採用される。すなわち、インクジェット法により、発光層形成材料を正孔輸送層70上に吐出し、その後、乾燥処理および熱処理を行うことにより、有機隔壁221に形成された開口221a内、すなわち画素領域上に発光層60を形成する。   Next, as shown in FIG. 4A, the light emitting layer 60 is formed by the light emitting layer forming step. In the light emitting layer forming step, as in the formation of the hole transport layer 70, an ink jet method which is a droplet discharge method is suitably employed. That is, the light emitting layer forming material is ejected onto the hole transport layer 70 by an ink jet method, and then subjected to a drying process and a heat treatment, whereby the light emitting layer is formed in the opening 221a formed in the organic partition 221, that is, on the pixel region. 60 is formed.

ここで、形成する発光層60については、前述したようにSLアレイ(レンズアレイ)の光量むらに対応して、各有機EL素子3毎、すなわち各画素領域毎に膜厚を異なって形成する。その際、前述したように発光層形成材料をインクジェット法(液滴吐出法)で配すことで発光層60を形成するようにしているので、各有機EL素子3の機能層形成部毎に所望する量の発光層形成材料を精度よく配すことができる。したがって、各発光層60についてその膜厚を予め設定された膜厚に精度よくしかも容易に調整することができる。なお、各有機EL素子3毎の膜厚の違いについては、後述するSLアレイについての説明の際に詳述する。
以上の正孔輸送層70の形成工程と発光層60の形成工程とにより、本発明における機能層を形成することができる。
Here, as described above, the light emitting layer 60 to be formed is formed with a different film thickness for each organic EL element 3, that is, for each pixel region, corresponding to unevenness of the light amount of the SL array (lens array). At that time, since the light emitting layer 60 is formed by arranging the light emitting layer forming material by the ink jet method (droplet discharge method) as described above, it is desired for each functional layer forming portion of each organic EL element 3. The amount of the light emitting layer forming material can be accurately arranged. Therefore, the film thickness of each light emitting layer 60 can be adjusted accurately and easily to a preset film thickness. The difference in film thickness for each organic EL element 3 will be described in detail in the description of the SL array described later.
The functional layer in the present invention can be formed by the formation process of the hole transport layer 70 and the formation process of the light emitting layer 60 described above.

次いで、図4(b)に示すように、陰極層形成工程によって陰極50を形成する。この陰極50については、EL素子を効率よく発光させるため、電子注入層と導電層のような積層構造を採用するのが一般的であり、例えばアルミニウムなどの金属材料が使用可能である。なお、この陰極50の形成では、前記正孔輸送層70や発光層6の形成とは異なり、蒸着法やスパッタ法等で行うため、画素領域にのみ選択的に形成材料を配するのでなく、素子基板2のほぼ全面に形成材料が設けられることになる。そこで、本実施形態では、素子基板2と図示しないメタルマスクを位置合わせして蒸着法やスパッタ法で陰極50を成膜することにより、図4(b)に示したように基板周辺部に陰極50が形成されないようにする。   Next, as shown in FIG. 4B, a cathode 50 is formed by a cathode layer forming step. The cathode 50 generally employs a laminated structure such as an electron injection layer and a conductive layer in order to cause the EL element to emit light efficiently. For example, a metal material such as aluminum can be used. Unlike the formation of the hole transport layer 70 and the light emitting layer 6, the formation of the cathode 50 is performed by vapor deposition or sputtering, so that the formation material is not selectively disposed only in the pixel region. The forming material is provided on almost the entire surface of the element substrate 2. Therefore, in the present embodiment, the element substrate 2 and a metal mask (not shown) are aligned, and the cathode 50 is formed by vapor deposition or sputtering, so that the cathode is formed around the substrate as shown in FIG. 50 is not formed.

その後、図4(c)に示すように、封止工程によって封止基板30を接着する。この封止工程では、透明な封止基板30と素子基板2との間に、透明な接着剤40を塗布し、気泡が入らないようにして封止基板30と素子基板2とを貼り合わせる。   Thereafter, as shown in FIG. 4C, the sealing substrate 30 is bonded by a sealing process. In this sealing step, a transparent adhesive 40 is applied between the transparent sealing substrate 30 and the element substrate 2, and the sealing substrate 30 and the element substrate 2 are bonded to each other so that bubbles do not enter.

次に、このようにして得られたラインヘッド1の使用形態について説明する。
図5は、後述する画像形成装置における、ラインヘッド1の使用形態を示す図である。図5に示すようにラインヘッド1は、本発明におけるレンズアレイとしてのSLアレイ31を介して、本発明における被露光部となる感光体ドラム32に光を照射し結像して、露光するようにしたものである。ここで、ラインヘッド1とSLアレイ31とについては、これらをヘッドケース(図示せず)に組み付けて一体にしておく。その際、これらの間をアライメントしておき、後述するようにラインヘッド1によってSLアレイ31の周期的な光量むらをうち消してこれを補正するようにしておく。
Next, the usage pattern of the line head 1 obtained in this way will be described.
FIG. 5 is a diagram showing a usage pattern of the line head 1 in the image forming apparatus described later. As shown in FIG. 5, the line head 1 irradiates light to the photosensitive drum 32 that is an exposed portion in the present invention through the SL array 31 as the lens array in the present invention, forms an image, and exposes it. It is a thing. Here, the line head 1 and the SL array 31 are assembled together in a head case (not shown). At that time, alignment between these is performed, and the periodic unevenness of the light amount of the SL array 31 is eliminated by the line head 1 and corrected as described later.

SLアレイ31は、図6(a)に示すような円柱状のレンズ素子(SL素子)31aを、図6(b)に示すように多数配列したもので、前述したように周期的な光量むらを生じるようになっている。すなわち、1本1本のSL素子(結像素子)31aは、図6(a)に示したようにフットボールを半分にしたような光量分布を有していることから、これを多数配列したSLアレイ31は、図6(b)に示したように、SL素子(結像素子)31aの配列ピッチに伴う周期的な光量むらを生じているのである。ここで、SLアレイ31の光量むらΔEは、以下の式で表される。
ΔE={(imax−imin)/imin}×100(%)
(imax、iminは図6(b)参照)
The SL array 31 is formed by arranging a large number of cylindrical lens elements (SL elements) 31a as shown in FIG. 6A as shown in FIG. 6B. It has come to produce. That is, each SL element (imaging element) 31a has a light quantity distribution that halves football as shown in FIG. 6 (a). In the array 31, as shown in FIG. 6B, periodic unevenness in the amount of light accompanying the arrangement pitch of the SL elements (imaging elements) 31a occurs. Here, the light amount unevenness ΔE of the SL array 31 is expressed by the following equation.
ΔE = {(imax−imin) / imin} × 100 (%)
(Refer to FIG. 6B for imax and imin)

この光量むらΔEは、隣り合うSL31a、31a間での像の重なり度、およびSLアレイ31が何列構成になっているかで異なるが、図6(a)中に示した数式により、その構成から光量むらのピッチを表わすことができる。また、図的には、SLアレイ31の列方向の位置に対してその透過光量は、図7(a)に示すような分布(むら)を有することになる。
なお、例えばSLアレイ31として、日本板硝子製のSLアレイ20を用いるとすれば、このSLアレイ31のレンズ周期、すなわち光量むらの周期は0.56mmとなる。また、SLアレイ31が、千鳥状に2列構成として配置されている場合には、レンズ周期(光量むらの周期)は半分、すなわち0.28mmとなる。
This light amount unevenness ΔE differs depending on the degree of image overlap between the adjacent SLs 31a and 31a and the number of rows of the SL array 31. However, the amount of light unevenness ΔE depends on the configuration shown in FIG. The pitch of unevenness in the amount of light can be expressed. Also, in the figure, the transmitted light amount has a distribution (unevenness) as shown in FIG. 7A with respect to the position of the SL array 31 in the column direction.
For example, if the SL array 20 made of Nippon Sheet Glass is used as the SL array 31, the lens period of the SL array 31, that is, the period of unevenness in the amount of light is 0.56 mm. In addition, when the SL array 31 is arranged in a zigzag pattern in two rows, the lens period (period of unevenness in the amount of light) is half, that is, 0.28 mm.

したがって、このようなSLアレイ31に光を照射するラインヘッド1としては、前記のレンズ周期(光量むらの周期)をうち消してこれを補正するように、発光素子列3Aにおける各有機EL素子3の機能層の膜厚、本実施形態では発光層60の膜厚を、周期的に変えるようにする。すなわち、図7(b)に示すように、SLアレイ31が透過する(導く)光量が少ない部位に対応する有機EL素子3については、その発光層60(機能層)の膜厚を薄くし、機能層全体の電気抵抗を低くする。また、SLアレイ31が透過する(導く)光量が多い部位に対応する有機EL素子3については、その発光層60(機能層)の膜厚を厚くし、機能層全体の電気抵抗を高くする。これにより、ラインヘッド1からSLアレイ31に向けて照射される光の強度(発光量)については、前記電気抵抗と発光量とが相関していることから、図7(c)に示すように図7(b)と同じ曲線にすることができる。すなわち、予め実験やシミュレーション等によって膜厚(電気抵抗)と発光量との関係を求めておき、得られた結果に基づいて膜厚を調整することにより、図7(b)と同じ曲線を得ることができる。   Therefore, in such a line head 1 that irradiates light to the SL array 31, each organic EL element 3 in the light emitting element array 3 </ b> A is corrected so as to cancel out the lens period (period of unevenness in the amount of light). The thickness of the functional layer, that is, the thickness of the light emitting layer 60 in this embodiment is periodically changed. That is, as shown in FIG. 7B, for the organic EL element 3 corresponding to a portion where the amount of light transmitted (guided) by the SL array 31 is small, the thickness of the light emitting layer 60 (functional layer) is reduced, Reduce the electrical resistance of the entire functional layer. In addition, for the organic EL element 3 corresponding to a portion with a large amount of light transmitted (guided) by the SL array 31, the thickness of the light emitting layer 60 (functional layer) is increased, and the electrical resistance of the entire functional layer is increased. As a result, with respect to the intensity (light emission amount) of light emitted from the line head 1 toward the SL array 31, the electrical resistance and the light emission amount are correlated with each other, as shown in FIG. The curve can be the same as that in FIG. That is, the relationship between the film thickness (electrical resistance) and the amount of light emission is obtained in advance by experiments, simulations, and the like, and the film thickness is adjusted based on the obtained results, thereby obtaining the same curve as in FIG. be able to.

そして、このようにラインヘッド1から照射される光の強度(発光量)が、SLアレイ31が透過する(導く)光量のむら(光量むら)をうち消すように周期的に変化させられているので、このラインヘッド1から照射され、さらに前記SLアレイ31を透過した光は、図7(d)に示すように全ての結像位置において均一な光量(結像光量)となる。したがって、前記感光体ドラム32上にてむらなく良好に結像するようになる。   In this way, the intensity (light emission amount) of the light emitted from the line head 1 is periodically changed so as to eliminate unevenness (unevenness in light amount) transmitted (guided) by the SL array 31. The light irradiated from the line head 1 and further transmitted through the SL array 31 becomes a uniform light amount (image forming light amount) at all image forming positions as shown in FIG. Therefore, the image is uniformly and uniformly formed on the photosensitive drum 32.

なお、SLアレイ31として前記の日本板硝子製のSLアレイ20を用い、ラインヘッド1についてはこのSLアレイ31のレンズ周期(光量むらの周期)である0.56mmを補正するようにその補正周期を0.56mmとし、さらに出射する光の強度(発光量)が平均値に対し±5%となるように各有機EL素子3の発光層60の膜厚を周期的に変えたものを用いて、感光体ドラム32上に露光を行い、印刷を行ったところ、その濃度ばらつきは±1%以下であった。また、比較のため、有機EL素子3の発光層60(機能層)の膜厚が一定であるラインヘッドを用いて同様に印刷を行ったところ、濃度ばらつきが±5%程度であった。したがって、本実施形態のラインヘッド1は、SLアレイ31の光量むらに起因する露光むら、さらに印刷むらを良好に防止し、得られるプリントの品質を向上できることが分かった。   The SL array 20 made of Nippon Sheet Glass is used as the SL array 31, and the correction period of the line head 1 is adjusted so as to correct 0.56 mm, which is the lens period of the SL array 31 (period of unevenness in the amount of light). 0.56 mm was used, and the thickness of the light emitting layer 60 of each organic EL element 3 was periodically changed so that the intensity (light emission amount) of the emitted light was ± 5% of the average value. When the photosensitive drum 32 was exposed and printed, the density variation was ± 1% or less. For comparison, when the same printing was performed using a line head in which the thickness of the light emitting layer 60 (functional layer) of the organic EL element 3 was constant, the density variation was about ± 5%. Therefore, it was found that the line head 1 of the present embodiment can satisfactorily prevent exposure unevenness due to light amount unevenness of the SL array 31 and print unevenness, and improve the quality of the obtained print.

このように、本実施形態のラインヘッド1にあっては、発光素子列3Aを形成する有機EL素子3について、その機能層の膜厚をSLアレイ31の部位に対応して変えたので、SLアレイ31の周期的な光量むらをうち消してこれを補正することができ、これにより光量むらに起因する露光むら、さらに印刷むらを防止し、得られるプリントの品質向上を図ることができる。
なお、前記実施形態のラインヘッド1では、発光素子列3Aを1列の有機EL素子3で形成したが、本発明はこれに限定されることなく、例えば有機EL素子3を2列にしてこれらを千鳥状に配し、発光素子列3Aを形成するようにしてもよい。
また、前記実施形態では、本発明のラインヘッド1に形成されるEL素子として、有機EL素子を用いた例を示したが、これに代えて無機EL素子を用いてもよいのはもちろんである。
As described above, in the line head 1 of the present embodiment, the thickness of the functional layer of the organic EL element 3 forming the light emitting element array 3A is changed corresponding to the portion of the SL array 31. It is possible to eliminate the periodic light amount unevenness of the array 31 and correct this, thereby preventing exposure unevenness due to the light amount unevenness and further printing unevenness and improving the quality of the obtained print.
In the line head 1 of the above embodiment, the light emitting element row 3A is formed by one row of organic EL elements 3. However, the present invention is not limited to this. For example, the organic EL elements 3 are arranged in two rows. May be arranged in a zigzag pattern to form the light emitting element array 3A.
Moreover, in the said embodiment, although the example using an organic EL element was shown as an EL element formed in the line head 1 of this invention, it is needless to say that an inorganic EL element may be used instead. .

次に、本発明のラインヘッド1が設けられる画像形成装置について説明する。図8は、本発明の画像形成装置の第1の実施形態を示す図であり、図8中符号80は画像形成装置である。この画像形成装置80は、本発明のラインヘッドの一例となる有機ELアレイラインヘッド101K、101C、101M、101Yを、対応する同様な構成である4個の感光体ドラム(像担持体)41K、41C、41M、41Yの露光装置にそれぞれ配置したもので、タンデム方式のものとして構成されたものである。   Next, an image forming apparatus provided with the line head 1 of the present invention will be described. FIG. 8 is a view showing a first embodiment of the image forming apparatus of the present invention, and reference numeral 80 in FIG. 8 denotes the image forming apparatus. This image forming apparatus 80 includes organic EL array line heads 101K, 101C, 101M, and 101Y, which are examples of the line head of the present invention, and four corresponding photosensitive drums (image carriers) 41K, These are arranged in 41C, 41M, and 41Y exposure apparatuses, respectively, and are configured as a tandem system.

この画像形成装置80は、駆動ローラ91と従動ローラ92とテンションローラ93とを備え、これら各ローラに中間転写ベルト90を、図8中矢印方向(反時計方向)に循環駆動するよう張架したものである。この中間転写ベルト90に対して、感光体ドラム41K、41C、41M、41Yが所定間隔で配置されている。これら感光体ドラム41K、41C、41M、41Yは、その外周面が像担持体としての感光層となっている。   The image forming apparatus 80 includes a driving roller 91, a driven roller 92, and a tension roller 93, and an intermediate transfer belt 90 is stretched around each of the rollers so as to be circulated in the direction of the arrow (counterclockwise) in FIG. Is. Photosensitive drums 41K, 41C, 41M, and 41Y are arranged at predetermined intervals with respect to the intermediate transfer belt 90. These photosensitive drums 41K, 41C, 41M, and 41Y have a photosensitive layer as an image carrier on the outer peripheral surface thereof.

ここで、前記符号中のK、C、M、Yは、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエローを意味し、それぞれ黒、シアン、マゼンタ、イエロー用の感光体であることを示している。なお、これら符号(K、C、M、Y)の意味は、他の部材についても同様である。感光体ドラム41K、41C、41M、41Yは、中間転写ベルト90の駆動と同期して、図8中矢印方向(時計方向)に回転駆動するようになっている。   Here, K, C, M, and Y in the symbols mean black, cyan, magenta, and yellow, respectively, and indicate that the photoconductors are for black, cyan, magenta, and yellow, respectively. The meanings of these symbols (K, C, M, Y) are the same for the other members. The photosensitive drums 41K, 41C, 41M, and 41Y are driven to rotate in the arrow direction (clockwise) in FIG. 8 in synchronization with the driving of the intermediate transfer belt 90.

各感光体ドラム41(K、C、M、Y)の周囲には、それぞれ感光体ドラム41(K、C、M、Y)の外周面を一様に帯電させる帯電手段(コロナ帯電器)42(K、C、M、Y)と、この帯電手段42(K、C、M、Y)によって一様に帯電させられた外周面を感光体ドラム41(K、C、M、Y)の回転に同期して順次ライン走査する本発明の有機ELアレイラインヘッド101(K、C、M、Y)とが設けられている。
ここで、有機ELアレイラインヘッド101(K、C、M、Y)と感光体ドラム41(K、C、M、Y)との間にはSLアレイ(図示せず)が配設されており、有機ELアレイラインヘッド101(K、C、M、Y)は、前述したようにこのSLアレイの光量むらをうち消してこれを補正するよう、その発光素子列3Aを形成する各有機EL素子3について、その機能層の膜厚をSLアレイの部位に対応して変えたものである。
Around each photosensitive drum 41 (K, C, M, Y), charging means (corona charger) 42 for uniformly charging the outer peripheral surface of the photosensitive drum 41 (K, C, M, Y), respectively. (K, C, M, Y) and rotation of the photosensitive drum 41 (K, C, M, Y) on the outer peripheral surface uniformly charged by the charging means 42 (K, C, M, Y) The organic EL array line head 101 (K, C, M, Y) of the present invention that sequentially scans the line in synchronization with each other is provided.
Here, an SL array (not shown) is disposed between the organic EL array line head 101 (K, C, M, Y) and the photosensitive drum 41 (K, C, M, Y). The organic EL array line head 101 (K, C, M, Y), as described above, each organic EL element forming the light emitting element array 3A so as to eliminate the unevenness of the light amount of the SL array and correct it. For No. 3, the thickness of the functional layer was changed corresponding to the portion of the SL array.

また、この有機ELアレイラインヘッド101(K、C、M、Y)で形成された静電潜像に現像剤であるトナーを付与して可視像(トナー像)とする現像装置44(K、C、M、Y)と、この現像装置44(K、C、M、Y)で現像されたトナー像を一次転写対象である中間転写ベルト90に順次転写する転写手段としての一次転写ローラ45(K、C、M、Y)と、転写された後に感光体ドラム41(K、C、M、Y)の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニング装置46(K、C、M、Y)とが設けられている。   Further, a developing device 44 (K) that applies toner as a developer to the electrostatic latent image formed by the organic EL array line head 101 (K, C, M, Y) to form a visible image (toner image). , C, M, Y) and a primary transfer roller 45 as transfer means for sequentially transferring the toner image developed by the developing device 44 (K, C, M, Y) to the intermediate transfer belt 90 as a primary transfer target. (K, C, M, Y) and a cleaning device 46 (K, C) as a cleaning means for removing toner remaining on the surface of the photosensitive drum 41 (K, C, M, Y) after being transferred. , M, Y).

ここで、各有機ELアレイラインヘッド101(K、C、M、Y)は、それぞれのアレイ方向が感光体ドラム41(K、C、M、Y)の母線に沿うように設置されている。そして、各有機ELアレイラインヘッド101(K、C、M、Y)の発光エネルギーピーク波長と、感光体ドラム41(K、C、M、Y)の感度ピーク波長とが略一致するように設定されている。   Here, each organic EL array line head 101 (K, C, M, Y) is installed such that each array direction is along the bus line of the photosensitive drum 41 (K, C, M, Y). Then, the emission energy peak wavelength of each organic EL array line head 101 (K, C, M, Y) and the sensitivity peak wavelength of the photosensitive drum 41 (K, C, M, Y) are set to substantially coincide with each other. Has been.

現像装置44(K、C、M、Y)は、例えば、現像剤として非磁性一成分トナーを用いるもので、その一成分現像剤を例えば供給ローラで現像ローラへ搬送し、現像ローラ表面に付着した現像剤の膜厚を規制ブレードで規制し、その現像ローラを感光体ドラム41(K、C、M、Y)に接触させあるいは押圧せしめることにより、感光体ドラム41(K、C、M、Y)の電位レベルに応じて現像剤を付着させ、トナー像として現像するものである。   The developing device 44 (K, C, M, Y) uses, for example, a non-magnetic one-component toner as a developer. The film thickness of the developed developer is regulated by a regulating blade, and the developing roller is brought into contact with or pressed against the photosensitive drum 41 (K, C, M, Y), whereby the photosensitive drum 41 (K, C, M, A developer is attached in accordance with the potential level of Y) and developed as a toner image.

このような4色の単色トナー像形成ステーションにより形成された黒、シアン、マゼンタ、イエローの各トナー像は、一次転写ローラ45(K、C、M、Y)に印加される一次転写バイアスによって中間転写ベルト90上に順次一次転写される。そして、中間転写ベルト90上で順次重ね合わされてフルカラーとなったトナー像は、二次転写ローラ66において用紙等の記録媒体Pに二次転写され、さらに定着部である定着ローラ対61を通ることで記録媒体P上に定着され、その後、排紙ローラ対62によって装置上部に形成された排紙トレイ68上に排出される。   The black, cyan, magenta, and yellow toner images formed by the four-color single-color toner image forming station are intermediated by the primary transfer bias applied to the primary transfer roller 45 (K, C, M, Y). Primary transfer is sequentially performed on the transfer belt 90. The toner images that are sequentially superimposed on the intermediate transfer belt 90 to become a full color are secondarily transferred to the recording medium P such as paper by the secondary transfer roller 66 and further pass through the fixing roller pair 61 that is a fixing unit. Then, the toner image is fixed on the recording medium P and then discharged onto a paper discharge tray 68 formed on the upper part of the apparatus by a pair of paper discharge rollers 62.

なお、図8中の符号63は多数枚の記録媒体Pが積層保持されている給紙カセット、64は給紙カセット63から記録媒体Pを一枚ずつ給送するピックアップローラ、65は二次転写ローラ66の二次転写部への記録媒体Pの供給タイミングを規定するゲートローラ対、66は中間転写ベルト90との間で二次転写部を形成する二次転写手段としての二次転写ローラ、67は二次転写後に中間転写ベルト90の表面に残留しているトナーを除去するクリーニング手段としてのクリーニングブレードである。   In FIG. 8, reference numeral 63 is a paper feed cassette in which a large number of recording media P are stacked and held, 64 is a pickup roller for feeding the recording media P from the paper feed cassette 63 one by one, and 65 is a secondary transfer. A pair of gate rollers for defining the supply timing of the recording medium P to the secondary transfer portion of the roller 66; a secondary transfer roller 66 as a secondary transfer means for forming a secondary transfer portion with the intermediate transfer belt 90; A cleaning blade 67 serves as a cleaning unit that removes toner remaining on the surface of the intermediate transfer belt 90 after the secondary transfer.

次に、本発明に係る画像形成装置の第2の実施の形態について説明する。図9は4サイクル方式の画像形成装置の縦断側面図である。図9において、画像形成装置160には主要構成部材として、ロータリ構成の現像装置161、像担持体として機能する感光体ドラム165、前記SLアレイ及びラインヘッド(有機ELアレイラインヘッド)が設けられてなる像書込手段(露光手段)167、中間転写ベルト169、用紙搬送路174、定着器の加熱ローラ172、給紙トレイ178が設けられている。   Next, a second embodiment of the image forming apparatus according to the present invention will be described. FIG. 9 is a vertical side view of a four-cycle image forming apparatus. In FIG. 9, an image forming apparatus 160 is provided with a developing device 161 having a rotary configuration, a photosensitive drum 165 that functions as an image carrier, the SL array, and a line head (organic EL array line head) as main components. An image writing unit (exposure unit) 167, an intermediate transfer belt 169, a sheet conveyance path 174, a fixing unit heating roller 172, and a sheet feeding tray 178 are provided.

現像装置161は、現像ロータリ161aが軸161bを中心として矢印A方向に回転するよう構成されたものである。現像ロータリ161aの内部は4分割されており、それぞれイエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の4色の像形成ユニットが設けられている。162a〜162dは、前記4色の各像形成ユニットに配置されており、矢印B方向に回転する現像ローラ、163a〜163dは、矢印C方向に回転するトナ−供給ローラである。また、164a〜164dはトナーを所定の厚さに規制する規制ブレードである。   The developing device 161 is configured such that the developing rotary 161a rotates in the direction of arrow A about the shaft 161b. The inside of the development rotary 161a is divided into four, and image forming units for four colors of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (K) are provided. Reference numerals 162a to 162d are arranged in the image forming units for the four colors. The developing rollers rotate in the direction of the arrow B, and the toner supply rollers 163a to 163d rotate in the direction of the arrow C. Reference numerals 164a to 164d are regulating blades that regulate the toner to a predetermined thickness.

図9中符号165は、前記のように像担持体として機能する感光体ドラム、166は一次転写部材、168は帯電器である。また、167は本発明における露光手段となる像書込手段であり、本発明のラインヘッドとSLアレイとを備えてなるものである。感光体ドラム165は、図示を省略した駆動モータ、例えばステップモータにより、現像ローラ162aとは逆の方向となる矢印D方向に回転駆動されるようになっている。なお、像書込手段167を構成するラインヘッドは、これとレンズ素子(図示せず)や感光ドラム165との間で位置合わせ(光軸合わせ)がなされた状態に配設されている。   In FIG. 9, reference numeral 165 denotes a photosensitive drum that functions as an image carrier as described above, 166 a primary transfer member, and 168 a charger. Reference numeral 167 denotes image writing means serving as exposure means in the present invention, which comprises the line head of the present invention and an SL array. The photosensitive drum 165 is rotationally driven in the direction of arrow D, which is the direction opposite to the developing roller 162a, by a drive motor (not shown), for example, a step motor. The line head constituting the image writing unit 167 is disposed in a state where the alignment (optical axis alignment) is performed between the line head and a lens element (not shown) or the photosensitive drum 165.

中間転写ベルト169は、駆動ローラ170aと従動ローラ170bとの間に張架されたものである。駆動ローラ170aは、前記感光体ドラム165の駆動モータに連結されたもので、中間転写ベルト169に動力を伝達するようになっている。すなわち、該駆動モータの駆動により、中間転写ベルト169の駆動ローラ170aは感光体ドラム165とは逆の方向となる矢印E方向に回動するようになっている。   The intermediate transfer belt 169 is stretched between the driving roller 170a and the driven roller 170b. The driving roller 170 a is connected to the driving motor of the photosensitive drum 165 and transmits power to the intermediate transfer belt 169. That is, the drive roller 170a of the intermediate transfer belt 169 is rotated in the direction of arrow E which is the opposite direction to the photosensitive drum 165 by the drive motor.

用紙搬送路174には、複数の搬送ローラと排紙ローラ対176などが設けられており、用紙が搬送されるようになっている。中間転写ベルト169に担持されている片面の画像(トナー像)が、二次転写ローラ171の位置で用紙の片面に転写されるようになっている。二次転写ローラ171は、クラッチによって中間転写ベルト169に離当接されるようになっており、クラッチオンで中間転写ベルト169に当接され、用紙に画像が転写されるようになっている。   The paper transport path 174 is provided with a plurality of transport rollers, a pair of paper discharge rollers 176, and the like, so that the paper is transported. An image (toner image) on one side carried on the intermediate transfer belt 169 is transferred to one side of the paper at the position of the secondary transfer roller 171. The secondary transfer roller 171 is brought into contact with and separated from the intermediate transfer belt 169 by a clutch. When the clutch is turned on, the secondary transfer roller 171 is brought into contact with the intermediate transfer belt 169 so that an image is transferred onto a sheet.

上記のようにして画像が転写された用紙は、次に、定着ヒータHを有する定着器で定着処理がなされる。定着器には、加熱ローラ172、加圧ローラ173が設けられている。定着処理後の用紙は、排紙ローラ対176に引き込まれて矢印F方向に進行する。この状態から排紙ローラ対176が逆方向に回転すると、用紙は方向を反転して両面プリント用搬送路175を矢印G方向に進行する。177は電装品ボックス、178は用紙を収納する給紙トレイ、179は給紙トレイ178の出口に設けられているピックアップローラである。   The sheet on which the image has been transferred as described above is then subjected to a fixing process by a fixing device having a fixing heater H. The fixing device is provided with a heating roller 172 and a pressure roller 173. The sheet after the fixing process is drawn into the discharge roller pair 176 and proceeds in the direction of arrow F. When the paper discharge roller pair 176 rotates in the reverse direction from this state, the paper reverses its direction and advances in the double-sided printing conveyance path 175 in the direction of arrow G. 177 is an electrical component box, 178 is a paper feed tray for storing paper, and 179 is a pickup roller provided at the outlet of the paper feed tray 178.

用紙搬送路において、搬送ローラを駆動する駆動モータとしては、例えば低速のブラシレスモータが用いられている。また、中間転写ベルト169については、色ずれ補正などが必要となるためステップモータが用いられている。これらの各モータは、図示を省略した制御手段からの信号によって制御されるようになっている。   For example, a low-speed brushless motor is used as a drive motor for driving the transport roller in the paper transport path. For the intermediate transfer belt 169, a step motor is used because color misregistration correction is required. Each of these motors is controlled by a signal from a control means (not shown).

図9に示した状態で、イエロー(Y)の静電潜像が感光体ドラム165に形成され、現像ローラ162aに高電圧が印加されることにより、感光体ドラム165にはイエローの画像が形成される。イエローの裏側および表側の画像がすべて中間転写ベルト169に担持されると、現像ロータリ161aが矢印A方向に90度回転する。   In the state shown in FIG. 9, a yellow (Y) electrostatic latent image is formed on the photosensitive drum 165, and a high voltage is applied to the developing roller 162a, whereby a yellow image is formed on the photosensitive drum 165. Is done. When the yellow back side and front side images are all carried on the intermediate transfer belt 169, the development rotary 161a rotates 90 degrees in the direction of arrow A.

中間転写ベルト169は1回転して感光体ドラム165の位置に戻る。次に、シアン(C)の2面の画像が感光体ドラム165に形成され、この画像が中間転写ベルト169に担持されているイエローの画像に重ねて担持される。以下、同様にして現像ロータリ161の90度回転、中間転写ベルト169への画像担持後の1回転処理が繰り返される。   The intermediate transfer belt 169 rotates once and returns to the position of the photosensitive drum 165. Next, two images of cyan (C) are formed on the photosensitive drum 165, and this image is carried on the yellow image carried on the intermediate transfer belt 169. Thereafter, the 90-degree rotation of the development rotary 161 and the one-rotation process after the image is carried on the intermediate transfer belt 169 are repeated in the same manner.

4色のカラー画像担持には中間転写ベルト169は4回転して、その後さらに回転位置が制御されて二次転写ローラ171の位置で用紙に画像を転写する。給紙トレー178から給紙された用紙を搬送路174で搬送し、二次転写ローラ171の位置で用紙の片面に前記カラー画像を転写する。片面に画像が転写された用紙は前記のように排紙ローラ対176で反転されて、搬送径路で待機している。その後、用紙は適宜のタイミングで二次転写ローラ171の位置に搬送されて、他面に前記カラー画像が転写される。ハウジング180には、排気ファン181が設けられている。   For carrying four color images, the intermediate transfer belt 169 rotates four times, and then the rotation position is further controlled to transfer the image onto the sheet at the position of the secondary transfer roller 171. The paper fed from the paper feed tray 178 is transported by the transport path 174, and the color image is transferred to one side of the paper at the position of the secondary transfer roller 171. The sheet on which the image is transferred on one side is reversed by the discharge roller pair 176 as described above, and stands by on the conveyance path. Thereafter, the sheet is conveyed to the position of the secondary transfer roller 171 at an appropriate timing, and the color image is transferred to the other side. The housing 180 is provided with an exhaust fan 181.

このような図8、図9に示した画像形成装置80、160においては、図1に示したような本発明のラインヘッド(有機ELアレイラインヘッド)が露光手段として備えられている。
したがって、これら画像形成装置80、160にあっては、前述したようにSLアレイの光量むらに起因する露光むら、さらに印刷むらを防止し、得られるプリントの品質を向上することができる。
なお、本発明のラインヘッドを備えた画像形成装置は前記実施形態に限定されることなく、種々の変形が可能である。
In the image forming apparatuses 80 and 160 shown in FIGS. 8 and 9, the line head (organic EL array line head) of the present invention as shown in FIG. 1 is provided as an exposure unit.
Therefore, in these image forming apparatuses 80 and 160, as described above, it is possible to prevent exposure unevenness due to light amount unevenness of the SL array and print unevenness, and improve the quality of the obtained print.
The image forming apparatus including the line head of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made.

本発明のラインヘッドの一実施形態を示す模式図。The schematic diagram which shows one Embodiment of the line head of this invention. (a)はラインヘッドの要部側断面図、(b)は模式図。(A) is a principal part sectional side view of a line head, (b) is a schematic diagram. 有機EL装置の製造方法を工程順に説明する断面図。Sectional drawing explaining the manufacturing method of an organic electroluminescent apparatus in order of a process. 図3に続く工程を説明するための断面図。Sectional drawing for demonstrating the process following FIG. ラインヘッドの使用形態を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the usage pattern of a line head. (a)、(b)はSLアレイとその光量むらの説明図。(A), (b) is explanatory drawing of SL array and its light quantity nonuniformity. (a)〜(d)は本発明のラインヘッドの作用を説明するためのグラフ。(A)-(d) is a graph for demonstrating the effect | action of the line head of this invention. 本発明の画像形成装置の第1の実施形態を示す概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram showing a first embodiment of an image forming apparatus of the present invention. 本発明の画像形成装置の第2の実施形態を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows 2nd Embodiment of the image forming apparatus of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…ラインヘッド、2…素子基板、3…有機EL素子(EL素子)、
3A…発光素子列、25…無機隔壁、31…SLアレイ(レンズアレイ)、
31a…レンズ素子(SL)、32…感光体ドラム(被露光部)、
60…発光層(機能層)、70…正孔輸送層(機能層)、
80、160…画像形成装置、221…有機隔壁
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Line head, 2 ... Element substrate, 3 ... Organic EL element (EL element),
3A ... Light emitting element array, 25 ... Inorganic partition, 31 ... SL array (lens array),
31a ... Lens element (SL), 32 ... Photosensitive drum (exposed part),
60 ... light emitting layer (functional layer), 70 ... hole transport layer (functional layer),
80, 160 ... image forming apparatus, 221 ... organic partition

Claims (4)

レンズ素子を配列してなるレンズアレイを介して被露光部に光を照射し、露光するようにしたラインヘッドであって、
発光をなす機能層を有し、該機能層から前記レンズアレイに向けて光を出射するようにしたEL素子を、基板上に複数配列して発光素子列を形成してなり、
前記発光素子列は、前記レンズアレイの光量むらを補正するよう、前記レンズアレイの導く光量が少ない部位に対応するEL素子についてはその機能層の膜厚が薄くなり、前記レンズアレイの導く光量が多い部位に対応するEL素子についてはその機能層の膜厚が厚くなるように、各EL素子の機能層の膜厚を変えたことを特徴とするラインヘッド。
A line head configured to irradiate and expose light to an exposed portion through a lens array in which lens elements are arranged;
A plurality of EL elements having a functional layer that emits light and emitting light from the functional layer toward the lens array to form a light emitting element array;
In the light emitting element array, the thickness of the functional layer is reduced for the EL element corresponding to the portion where the light amount guided by the lens array is small so that the light amount unevenness of the lens array is corrected. A line head characterized in that the thickness of the functional layer of each EL element is changed so that the thickness of the functional layer of the EL element corresponding to many parts is increased.
前記機能層は、少なくとも有機発光層と正孔輸送層とを有してなり、各EL素子間で前記有機発光層の膜厚を変えることにより、各EL素子の機能層の膜厚を変えるようにしたことを特徴とする請求項1記載のラインヘッド。   The functional layer includes at least an organic light emitting layer and a hole transport layer, and the film thickness of the functional layer of each EL element is changed by changing the film thickness of the organic light emitting layer between the EL elements. The line head according to claim 1, wherein the line head is formed. 発光をなす機能層を有し、該機能層からレンズ素子を配列してなるレンズアレイに向けて光を出射するようにしたEL素子を、基板上に複数配列して発光素子列を形成し、ラインヘッドを製造する方法であって、
基板上の各EL素子形成領域に、隔壁に囲まれてなる機能層形成部を形成する工程と、
前記機能層形成部に機能層材料を液滴吐出法で配し、機能層を形成する工程と、を備え、
前記機能層を形成する工程では、前記レンズアレイの光量むらを補正するよう、前記レンズアレイの導く光量が少ない部位には前記機能層の膜厚を薄くし、前記レンズアレイの導く光量が多い部位には前記機能層の膜厚を厚くすることを特徴とするラインヘッドの製造方法。
A plurality of EL elements having a functional layer that emits light and emitting light toward a lens array in which lens elements are arranged from the functional layer are formed on a substrate to form a light emitting element array, A method of manufacturing a line head comprising:
Forming a functional layer forming portion surrounded by a partition wall in each EL element forming region on the substrate;
Providing a functional layer material in the functional layer forming portion by a droplet discharge method and forming a functional layer,
In the step of forming the functional layer, in order to correct unevenness of the light amount of the lens array, the thickness of the functional layer is reduced at a portion where the light amount guided by the lens array is small, and the portion where the light amount guided by the lens array is large A method for manufacturing a line head, comprising increasing the thickness of the functional layer.
露光手段として、請求項1〜3のいずれか一項に記載のラインヘッドか、あるいは請求項4に記載の製造方法によって得られたラインヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。

An image forming apparatus comprising the line head according to claim 1 or a line head obtained by the manufacturing method according to claim 4 as exposure means.

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