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JP2005508560A - 光走査デバイス - Google Patents

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JP2005508560A
JP2005508560A JP2003507817A JP2003507817A JP2005508560A JP 2005508560 A JP2005508560 A JP 2005508560A JP 2003507817 A JP2003507817 A JP 2003507817A JP 2003507817 A JP2003507817 A JP 2003507817A JP 2005508560 A JP2005508560 A JP 2005508560A
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ヘンドリクス,ベルナルデュス ハー ウェー
イェー ハー ベー シュレイペン,ヨハネス
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Koninklijke Philips Electronics NV
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Abstract

光走査デバイスは、第一の放射ビーム(27)で第一の光記録担体(21)の第一の情報層(23)を、及び第二の放射ビーム(49)で第二の光記録担体(45)の第二の情報層(47)を、走査することに適する。そのデバイスは、放射源(26)及びレンズ系(24)を含む。放射源(26)は、第一及び第二の放射ビームを供給する。レンズ系は、一つの光軸(33)を有し、第一の放射ビームに関する反射屈折光学系として、このビームを第一の開口数(NA1)を有する第一の集束した放射ビーム(35)に変換して第一の情報層の位置に第一の走査点(36)を形成するために、及び第二の放射ビームに関する屈折系として、このビームを第一の開口数と異なる第二の開口数(NA2)を有する第二の集束した放射ビーム(52)に変換して第二の情報層の位置に第二の走査点(53)を形成するために、動作する。

Description

【0001】
本発明は、第一の放射ビームで第一の光記録担体の第一の情報層を、及び第二の放射ビームで第二の光記録担体の第二の情報層を、走査するための光走査デバイスに関し、そのデバイスは、第一及び第二の放射ビームを供給するための放射源、及び前記第一の情報層の位置に第一の走査点を形成するために、第一の放射ビームを第一の開口数を有する第一の集束した放射ビームに、及び前記第二の情報層の位置に第二の走査点を形成するために、第二の放射ビームを第一の開口数と異なる第二の開口数を有する第二の集束した放射ビームに、変換するためのレンズ系を含み、レンズ系は、一つの光軸を有する。
【0002】
また、本発明は、第一の放射ビームを第一の開口数を有する第一の収束する放射ビームに、第二の放射ビームを第一の開口数と異なる第二の開口数を有する第二の放射ビームに、変換するためのレンズ系に関し、その系は、一つも光軸を有する。
【0003】
“このような情報層を走査すること”は、情報層から情報を読み取る(“読み取りモード”)、情報層中に情報を書き込む(“書き込みモード”)、及び/又は、情報層から情報を消去するために、放射ビームで走査することに当てはまる。
【0004】
“情報密度”は、情報層の単位面積当たりの蓄積された情報の量に当てはめる。とりわけ、それは、走査される情報層上に走査デバイスによって形成された走査点の大きさに依存する。情報密度を、走査点の大きさを減少させることによって増加させてもよい。とりわけ、その点の大きさが、その点を形成する放射ビームの波長λ及び開口数NAに依存するので、走査点の大きさを、NAを増加させると共にλを減少させることによって、増加させることができる。
【0005】
開始の段落に記載したような光走査デバイスは、欧州特許出願第0,294,902号から知られている。より詳しくは、本記載の図1を参照して、光走査デバイス1は、放射ビーム5の開口数を増加させて光記録担体3の情報層2中に減少した大きさを有する走査点7を形成するために配置される。このように、走査デバイス1の光学系は、光軸OO’を有すると共に、走査ビーム5を供給するための放射源4及び走査ビーム5を情報層11上の走査点7に変換するための対物レンズ6を含む。対物レンズ6は、放射源4に対向する入射表面6a及び情報層2に対向する射出表面6bを有する。第一の放射窓8及び凹面反射体9は、それぞれ、入射表面6aの中央部分及び周縁部分に配置される。凹面反射体10及び第二の放射窓11は、それぞれ、射出表面6bの中央部分及び周縁部分に配置される。典型的には、走査する間に、放射ビーム5は、第一の放射窓8を介して対物レンズ6に入射し、対物レンズ6を横切る。そして、それは、凹面反射体10上に反射され、対物レンズ6を横切る。そして、それは、凹面反射体9上に反射され、再度、対物レンズ6を横切る。それは、第二の放射窓11を介して対物レンズ6から現われて情報層2上に点7を形成する。
【0006】
このような既知の光走査デバイスにおいて現今遭遇する問題は、CD形式のディスク、DVD形式のディスク、及びDVR形式のディスクのような、異なる形式を有する光記録担体との互換性である。
【0007】
以下において、“第一のモード”は、第一の開口数NA1を有する第一の集束した放射ビームで第一の情報層を走査するための光走査デバイスの動作モードに当てはまる。開口数NA1は、第一の情報密度に対応する第一のタイプの光記録担体(例えば、DVR形式のディスク)を走査することに適する。及び“第二のモード”は、開口数NA1よりも小さい第二の開口数NA2を有する第二の集束した放射ビームで第二の情報層を走査するための光走査デバイスの動作モードに当てはまる。開口数NA2は、第一の情報密度よりも小さい第二の情報密度に対応する第二のタイプの光記録担体(例えばDVD形式のディスク)を走査することに適する。換言すれば、“第一のモード”は、高い情報密度に対応し、“第二のモード”は、低い情報密度に対応する。単に実例として、DVR形式の場合には、開口数NA1は、おおよそ、“読み取りモード”及び“書き込みモード”の両方に関して0.85に等しく、DVD形式の場合には、開口数NA2は、おおよそ、“読み取りモード”に関して0.60及び“書き込みモード”に関して0.65に等しい。
【0008】
“第二のモード”及び“第一のモード”で走査するとき現今遭遇する問題は、“作動距離”(即ち走査される情報層とレンズ系との間の距離)を、透明層の厚さが一つの形式から別のもので変動するので、走査点が情報層と合焦するように、調節する必要があることである。実例として、透明層の厚さの厚さは、DVR形式の担体に関しては0・1mm、DVD形式の担体に関しては0.6mmに等しい。よって、異なる形式の担体を走査するとき、作動距離は、よって、以下の
【0009】
【数1】
Figure 2005508560
のように変動し、ここで“fwd”は、作動距離であり、“d”は、透明層の厚さであり、“n”は、透明層の屈折率であり、“K”は、(波長及び走査点の開口数の値に無関係である)定数のパラメータである。式(1)に従って、対物レンズが同一のままであると共に同じ共役距離(即ち物体とレンズとの間の距離)で動作するのに対して、作動距離fwdは、厚さdが増加する場合には、減少する。
【0010】
欧州特許出願第0,294,902号を参照して記載したデバイスを異なる形式を有するディスクを走査することに適切にするために、第一の既知の解決手段は、レンズ系にアクチュエータを提供することにある。
【0011】
このようなアクチュエータの不都合は、それが、作動距離を適切に調節するために、レンズ系の変位の大きい振幅を提供することを必要とすることである。このようなアクチュエータを作ることは、相対的に高価であるので、従って、デバイスを製造する費用を増加させる。
【0012】
第一の既知の解決手段は、また、それが、作動距離を低い値に調節すること、すなわち、作動距離が典型的に数百マイクロメートルより少ないことに適さないという不都合も有する。実際に、一つの形式を有する光記録担体、例えばDVD形式のディスクを操作する際の、異なる形式を有する別の光記録担体、例えばDVR形式のディスクを走査することに対する変化は、透明層の厚さにおける変化に帰着する。光記録担体の厚さにおけるこのような変化は、両方の場合において情報層中に走査点を形成するために、作動距離における変化を要求する。既知の解決手段は、それがDVR形式のディスクを走査する場合であるような、この変化が作動距離の現実の値におおよそ等しい場合には、作動距離における変化を許容することができない。このように、既知の解決手段は、二つの異なる形式の光記録担体を走査することに(すなわち、特に作動距離を“第一のモード”で動作するために低い値に調節する必要がある場合に、“第二のモード”及び“第一のモード”で動作することに)適する光走査デバイスを作る問題を必ずしも満足に解決することができない。
【0013】
第二の既知の解決手段は、PCT出願WO00/38182に開示されており、ここで開始の段落に記載されたタイプの光走査デバイスは、二重レンズ系を形成する第一の対物レンズ及び第二の対物レンズを含むレンズ系を含む。
【0014】
このような解決手段の不都合は、走査点を第一の情報層から第二の情報層へ変化させるとき、レンズ系の位置を、情報層により近いように適合させて走査点を第一の情報層上に位置決めする必要があることである。そして、走査点を第一の情報層上か又は第二の情報層上かいずれかに集束させてもよいように、対物レンズと平凸レンズとの間の距離を調節する。
【0015】
本発明の目的は、“第二のモード”及び“第一のモード”の両方で動作することに適すると共に上記の不都合を有さない、開始の段落に記載したタイプの光走査デバイスを提供することである。また、第一の放射ビームを第一の開口数を有する第一の集束した放射ビームに、及び第二の放射ビームを第一の開口数と異なる第二の開口数を有する第二の集束した放射ビームに、変換することに適する、開始の段落に記載したタイプのレンズ系を提供することも本発明の目的である。
【0016】
この目的を達成するために、本発明に従う光走査デバイスのレンズ系は、第一の放射ビームに関して、このビームを第一の開口数を有する第一の集束した放射ビームに変換して第一の情報層の位置に第一の点を形成するために、反射屈折光学系として、第二の放射ビームに関して、及びこのビームを第一の開口数と異なる第二の開口数を有する第二の集束した放射ビームに変換して第二の情報層の位置に第二の点を形成するために、屈折系として、動作する。
【0017】
反射屈折光学系及び屈折系の両方として動作することができるレンズ系の利点は、例えばデバイスがそれぞれ“第一のモード”及び“第二のモード”で動作している場合に、第一及び第二の走査点を、それぞれ、第一及び第二の情報層の位置に形成することである。換言すれば、一つのモード、例えば第一のモードにおける、別のモード、例えば第二のモードに対する、走査に関する変化は、デバイスを第一のモード及び第二のモードにおける動作に適切にするために、機械的手段での作動距離のさらなる調節を必要としない。
【0018】
このようなレンズ系の別の利点は、それが、第一の既知の解決手段とは対照的に、対物レンズの大きい変位を提供することが可能なアクチュエータを必要としないことである。
【0019】
本発明に従う光走査デバイスの好適な実施形態において、レンズ系は、二重レンズ系を形成する第一の対物レンズ及び第二の対物レンズを含む。
【0020】
このようなレンズ系の利点は、第二の既知の解決手段とは対照的に、第一及び第二の対物レンズ間の距離を、デバイスを第一のモード及び第二のモードで動作することに適切にするために、調節する必要がないことである。
【0021】
前述の目的を達成するために、本発明に従うレンズ系は、さらに、
第一及び第二の放射ビームを受けるための入射表面並びに第一及び第二の収束する放射ビームを出力するための射出表面を有する第一の対物レンズを含み、
そのレンズは、第一及び第二の放射ビームに関して透過性であり、
レンズ系は、第一の対物レンズの入射表面に対向する第一の光学的構造を含み、
この構造は、第一の放射ビームに関して透過性である第一の部分、第一の放射ビームに関して反射性である重なり合わない第二の部分、及び第二の放射ビームに関して透過性である第三の部分を含み、並びに
レンズ系は、第一の対物レンズの射出表面に対向して配置された第二の光学的構造を含み、
この構造は、第一の放射ビームに関して反射性である第四の部分、第一の放射ビームに関して透過性である重なり合わない第五の部分、及び第二の放射ビームに関して透過性である第六の部分を含む。
【0022】
本発明の目的、利点、及び特徴は、添付する図面に図説するような、以下の本発明のより詳細な説明から明らかであると思われる。
【0023】
本発明に従う光走査デバイスは、少なくとも二つの異なるタイプ又は形式の光記録担体を走査することに適する。図2Aは、第一のタイプの光記録担体21の情報層23を走査するための“第一のモード”における光走査デバイスを示す。図2Bは、第二のタイプの光記録担体45の情報層47を走査するための“第二のモード”における同じ光走査デバイスを示す。
【0024】
光記録担体21は、透明層22を含み、その一方の側には情報層23が提供される。透明層から離れて対向する情報層の側を、保護層によって環境の影響から保護してもよい。透明層22は、情報層23に関して機械的支持を提供することによって、担体21に関する基板として作用する。代わりに、機械的支持が、情報層23の他の側における層によって、例えば保護層によってか又は最上の情報層に接続された追加の情報層及び透明層によって提供されると同時に、透明層22は、情報層23を保護する唯一の機能を有してもよい。情報層23は、トラックを含む担体21の表面である。“トラック”は、集束した放射ビームによって追跡される経路であり、その経路上に情報を表す光学的に読み取り可能なマークが配置される。マークは、例えば、周囲と異なる反射係数又は磁化の方向を伴ったピット又はエリアの形態であってもよい。単に実例として、光記録担体21がDVR形式のものである場合には、透明層22の厚さは、おおよそ0.1mmに等しい。
【0025】
光記録担体45は、透明層46を含み、その一方の側には情報層47が提供される。透明層46は、第一のタイプの光記録担体41の透明層22よりも大きい厚さを有する。情報層47は、光記録担体21の情報層23よりも低い情報密度を有してもよい。単に実例として、担体45がDVD形式のものである場合には、透明層46の厚さは、おおよそ0.6mmに等しい。
【0026】
図2A及び2Bに示すように、光走査デバイスは、放射源26及び一つの光軸33を有するレンズ系24を含む。光走査デバイスは、ビームスプリッター28、検出系39、サーボ系42A、焦点アクチュエータ42B、及び半径方向アクチュエータ42C、並びに誤り訂正用の情報処理装置42Dをさらに含んでもよい。
【0027】
放射源26は、情報層23を走査するための第一の放射ビーム27及び情報層47を走査するための第二の放射ビーム49を供給するために配置される。好ましくは、放射源26は、少なくとも、第一の選択された波長λ1で放射ビーム27を放出する第一の半導体レーザー及び第二の選択された波長λ2で放射ビーム49を放出する第二の半導体レーザーを含む。単に実例として、光記録担体21がDVR形式のものである場合には、波長λ1は、好ましくは、405nmに等しく、光記録担体45がDVD形式のものである場合には、波長λ2は、好ましくは、660nmに等しい。
【0028】
ビームスプリッター28は、レンズ系24に向かって放射ビーム27及び49を反射させるために配置される。好ましくは、ビームスプリッター28は、光軸33に関して傾けられる平行平面板によって形成される。
【0029】
より重要なことには、レンズ系24は、(1)反射された放射ビーム27を第一の開口数NA1を有する第一の集束した放射ビーム35に変換して情報層23の位置に第一の点36を形成するための反射屈折光学系として“第一のモード”において、及び(2)反射された放射ビーム49を第二の開口数NA2を有する第二の集束した放射ビーム56に変換して情報層47の位置に第二の点53を形成するための屈折系として“第二のモード”において、動作するために配置され、ここで開口数NA2は、開口数NA1よりも小さい。レンズ系24の配置を以下にさらに詳細に記載する。
【0030】
このように、光走査デバイスが、“第一のモード”で動作するとき、集束した放射ビーム35は、情報層23で反射し、それによって、前進の収束するビーム34の光路上に戻る、反射されたビーム37を形成する。レンズ系24は、反射され放射ビーム37を第一の収束する反射された放射ビーム38に変換する。最後に、ビームスプリッター28は、反射された放射ビーム38の少なくとも一部分を検出系39に向かって透過させることによって、前進の放射ビーム27を反射された放射ビーム38から分離する。光走査デバイスが、“第二のモード”で動作するとき、集束した放射ビーム56は、情報層47で反射し、それによって、前進の収束するビーム51の光路上に戻る、反射されたビーム54を形成する。レンズ系24は、反射された放射ビーム54を第二の収束する反射された放射ビーム55に変換する。最後に、ビームスプリッター28は、反射された放射ビーム55の少なくとも一部分を検出系39に向かって透過させることによって、前進の放射ビーム49を反射された放射ビーム55から分離する。
【0031】
検出系39は、反射されたビーム38及び55を捕捉すると共にそれらを一つ以上の電気信号に収束させるために配置される。信号の一つは、情報信号Iデータであり、その値は、それぞれ情報層23及び47から走査された情報の代表である。情報信号Iデータを、情報層23及び47から抜き出された情報の誤り訂正用の情報処理装置42Dによって処理してもよい。検出系39からの他の信号は、焦点誤差信号I焦点及び半径方向トラッキング誤差信号I半径方向である。信号I焦点は、走査点36(走査点53、それぞれ)と情報層23(情報層47、それぞれ)との間の光軸33に沿った高さにおける軸方向の差を表す。それは、(以下に記載するように)走査点を情報層中の焦点に維持するためにさらに使用される。信号I焦点は、とりわけG.Bouwhuis,J.Braat,A.Huijser等の“Principles of Optical Disc System,”75−80(Adam Hilger 1985)(ISBN0−85274−785−3)による本から知られている、一般に使用される“非点収差の方法”から形成される。信号I半径方向は、走査点36(走査点53、それぞれ)とこの走査点によって追跡されるこの情報層におけるトラックの中心との間の情報層23(情報層47、それぞれ)の平面における距離を表す。それは、走査点36及び53を、それぞれ、情報層23及び47におけるトラック上に維持するためにさらに使用される。信号I半径方向は、とりわけG.Bouwhuis,J.Braat,A.Huijser等の“Principles of Optical Disc System,”70−73(Adam Hilger 1985)(ISBN0−85274−785−3)による本から知られている、一般に使用される“半径方向のプッシュプル方法”から形成される。
【0032】
サーボ系42Aは、信号I焦点及びI半径方向に応じて、それぞれ、焦点アクチュエータ42B及び半径方向アクチュエータ42Cを制御するためのサーボ制御信号I制御を提供するために配置される。焦点アクチュエータ42Bは、光軸33に沿ってレンズ系24の位置を制御し、それによって走査点36及び53の現実の位置を、それらが、それぞれ情報層23及び47の平面と実質的に一致するように、制御する。半径方向アクチュエータ42Cは、光軸33に垂直な方向でレンズ系24の位置を制御し、それによって走査点36及び53の半径方向の位置を、それらが、それぞれ情報層23及び47中で追跡されるトラックの中心線と実質的に一致するように、制御する。
【0033】
今、レンズ系24をさらに詳細に記載する。図3は、第一の対物レンズ30、第一の光学的構造51、及び第二の光学的構造52を含むレンズ系24の第一の実施形態を示す。レンズ系24は、コリメータレンズ29及び第二の対物レンズ31をさらに含む。
【0034】
コリメータレンズ29は、放射ビーム27及び49を、それぞれ、第一のコリメートされた放射ビーム32及び第二のコリメートされた放射ビーム50に変換するために配置される。
【0035】
第一の対物レンズ30は、コリメートされた放射ビーム32及び50を、それぞれ、第一の収束する放射ビーム34及び第二の収束する放射ビーム51に変換するために配置される。このように、対物レンズ30は、放射ビーム32及び50を受けるための入射表面並びに収束するビーム34及び51を出力するための射出表面を有する。さらに、対物レンズ30は、放射ビーム32及び50の両方に関して透過性である。
【0036】
光学的構造51は、放射源26と対物レンズ30の入射表面との間に配置される。図4Aは、第一の部分51a、重なり合わない第二の部分51b、及び第三の部分51cを含む、示された第一の構造51の断面を示す。
【0037】
部分51aは、放射ビーム32に関して透過性である。図4Aに示すように、この部分は、中央部分(すなわち、光軸33に中心を置いたエリアにおける)であり、外側の境界51a1を有する。
【0038】
部分51bは、放射ビーム32に関して反射性である。図4Aに示すように、この部分は、周縁部分(すなわち、中央部分51aのまわりの環状エリアにおける)であり、部分51bが、それ、部分51aに重なり合わないように、外側の境界51b1及び内側の境界51b2を有する。特に、境界51b2及び51a1の間に間隔があってもよく、又はこれらの境界は、一致してもよい。以下において、図3に示すように、境界51b2及び51a1は、一致する。
【0039】
部分51cは、放射ビーム50に関して透過性である。図4Aに示すように、この部分は、境界51b1及び51b2の間に延びる外側の境界51c1を有する。換言すれば、部分51cは、部分51a及び/又は部分51bを含んでもよい。図4Aに示す構成に対する代替物として、部分51cは、環状であってもよく、従って内側の境界を有する。以下において、部分51cは、図3に示すように、部分51a及び51bを含む。光学的構造51は、好ましくは、経路51aを伝わる放射ビーム50の部分と経路51bを伝わる放射ビーム50の部分との間の(光路における差による)位相における差を補償するための第一の位相を補償する素子をさらに含む。単に実例として、図3に示すように、このような補償する素子を、コリメータレンズ29と対物レンズ30の入射表面との間に配置された第一の層80によって、形成してもよい。好ましくは、第一の対物レンズ30の入射表面を、第一の層が、部分51aに重なり合う断面を有するように、設計してもよい。さらに、第一の層は、第一の層を伝わる放射ビームと部分51bを伝わる放射ビームとの間の位相における差が、部分51bを伝わる放射ビームと部分51aを伝わる放射ビームとの間の位相における差に等しいように、所定の厚さ“t1”を有する。第一の層が均一な屈折率を有する場合には、厚さt1を、以下の
【0040】
【数2】
Figure 2005508560
のように定義してもよく、ここで“φ”は、部分51bを伝わる放射ビームと部分51aを伝わる放射ビームとの間の位相における差であり、“λ”は、第一の層を伝わる放射ビームの波長であり、“n”は、第一の層の屈折率である。
【0041】
光学的構造52は、対物レンズ30の射出表面と情報層23及び47の位置との間に配置される。図4Bは、第四の部分52b、重なり合わない第五の部分52a、及び第六の部分52cを含む第二の構造52の断面を示す。
【0042】
部分52bは、放射ビーム32に関して反射性である。図4Bに示すように、この部分は、中央部分(すなわち、光軸33に中心を置いたエリアにおける)であり、外側の境界52b1を有する。
【0043】
部分52aは、放射ビーム32に関して透過性である。図4Bに示すように、この部分は、周縁部分(すなわち、中央部分52bのまわりの環状エリアにおける)であり、部分52aが、部分52bに重なり合わないように、外側の境界52a1及び内側の境界52a2を有する。特に、境界52b1及び52a2の間に間隔があってもよく、又はこれらの境界は、一致してもよい。以下において、図3に示すように、境界52b1及び52a2は、一致する。
【0044】
部分52cは、放射ビーム50に関して透過性である。図4Bに示すように、この部分は、境界52b1及び52b2の間に延びる外側の境界52c1を有する。換言すれば、部分52cは、部分52a及び/又は部分52bを含んでもよい。図4Bに示す構成に対する代替物として、部分52cは、環状であってもよく、従って内側の境界を有する。以下において、部分52cは、図3に示すように、部分52a及び52bを含む。光学的構造52は、好ましくは、経路52aを伝わる放射ビーム50の部分と経路52bを伝わる放射ビーム50の部分との間の(光路における差による)位相における差を補償するための第二の位相を補償する素子をさらに含む。単に実例として、図3に示すように、このような補償する素子を、対物レンズ30の射出表面と第二の対物レンズ31との間に配置された第二の層81によって、形成してもよい。第二の層81を、特に厚さの点から第一の層80に類似して形成してもよい。
【0045】
特に、部分52a及び52bのみならず、部分51a及び51bは、重なり合っていないと言われる。換言すれば、例えば、図4Aを参照して、光学的構造51に入射する放射ビーム50の断面は、部分51aの光学的性質(すなわち、透過)によって影響される第一のエリア、及び第一のエリアに重なり合わないと共に部分51bの光学的性質(すなわち、反射)によって影響される第二のエリアを有する。
【0046】
第二の対物レンズ31は、収束する放射ビーム34及び51を、それぞれ、集束したビーム35及び52に変換するために配置される。それを、対物レンズ30の射出表面に対向する凸面の入射表面31a、及び情報層23及び47の位置に対向する平坦な射出表面31bを有する平凸レンズ31によって形成してもよい。特に、第二の対物レンズ31は、第一の対物レンズ30と協同して、都合よく機械的な許容範囲の点から単レンズ系よりも製造することが容易である二重レンズ系を形成する。二重レンズ系の別の利点は、それが、第一及び第二の対物レンズの相互の調節にあまり敏感でないことである。上記の結果として、二重レンズ系によって発生した、球面収差及びコマ収差のような光学収差の量を、良好に制御してもよい。
【0047】
今、図3に示す光学的構造51及び52の好適な実施形態をより詳細に記載する。これらの構造は、放射ビーム32及び50に敏感であり放射ビーム32及び50に関して透過性及び/又は反射性である被覆剤で作られる。単に実例として、これらの被覆剤は、部分51bが波長λ1に関して反射性及び波長λ2に関して透過性であると共に部分51aが波長λ1及びλ2に関して透過性であるように波長に敏感であるように、選ばれる。例えば、図3及び4に示すように、部分51aを、対物レンズ30の入射表面の中央部分30a上に堆積させた第一の被覆剤で作ってもよく、部分51bを、対物レンズ30の入射表面の周縁部分30b上に堆積させた第二の被覆剤で作ってもよい。第一の被覆剤の単数又は複数の薄膜の材料、厚さ、及び屈折率は、この被覆剤が、波長λ2及びλ1に関して透過性であるように、選ばれる。単に実例として、表1は、このような薄膜の例を示す(ここで、二つの薄膜が第一の被覆剤を形成する)。
【0048】
【表1】
Figure 2005508560
図5は、表1に示すように作られた第一の被覆剤に関する反射係数Rの展開を、この被覆剤を横切る放射ビームの波長λと共に、図説する曲線60を示す。曲線60は、波長λが405及び660nmに等しい二つの極小(R〜0)を有する。表1に示すように作られた第一の被覆剤は、それぞれ405及び660nmに等しい波長λ1及びλ2に関して透過性である。
【0049】
第二の被覆剤の単数又は複数の薄膜の材料、厚さ、及び屈折率は、この被覆剤が、波長λ1に関して反射性であると共にλ2に関して透過性であるように、選ばれる。単に実例として、表2は、このような薄膜の例を示す(ここで、十一個の薄膜が第二の被覆剤を形成する)。
【0050】
【表2】
Figure 2005508560
図6は、表2に示すように作られた第二の被覆剤に関する反射係数Rの展開を、この被覆剤を横切る放射ビームの波長λと共に、図説する曲線70を示す。曲線70は、波長λが660nmに等しい極小(R〜0)及び波長が405nmに等しい極大(R〜1)を有する。第二の被覆剤は、660nmに等しい波長λ2に関して透過性及び405nmに等しい波長λ1に関して反射性である。
【0051】
表1及び2を参照して上述したような光学的構造51に類似して、光学的構造52を、例えば以下のように作ってもよい。図3に示すように、部分52aを、表1に記載した第一の被覆剤に類似すると共に対物レンズ30の射出表面の周縁部分30d上に堆積させる第三の被覆剤によって作ってもよく、部分52bを、表2に記載した第二の被覆剤に類似すると共に対物レンズ30の射出表面の中央部分30c上に堆積させる第四の被覆剤によって作ってもよい。換言すれば、光学的構造51は、中央の穴を伴った鏡として、光学的構造52は、中央の鏡として、動作する。
【0052】
特に、図3並びに表1及び2を参照して上述した実施形態は、担体21がDVR形式のものであると共に担体45がDVD形式のものである場合に適する。
【0053】
今、図2A、2B、及び3に示すような光走査デバイスの動作を、デバイスが、それぞれ“第一のモード”及び“第二のモード”で動作しているとき、レンズ系24を伝わる放射ビームの光線を示す図7A及び7Bを参照して、詳細に記載する。
【0054】
光走査デバイスが、“第一のモード”で動作しているとき、放射源26は、情報層23を走査するために波長λ1で放射ビーム27を供給する。レンズ系24は、放射ビーム27を、開口数NA1を有する集束した放射ビーム35に変換して、情報層23の位置に点36を形成するための反射屈折光学系として動作する。
【0055】
より精密には、コリメータレンズ29は、放射ビーム27をコリメートされた放射ビーム32に変換する。そして、放射ビーム32は、光学的構造51に到達する。部分51aは、コリメートされた放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、透過させる。放射ビーム32は、対物レンズ30に、その入射表面を介して、入射する。対物レンズ30は、放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、透過させる。このように、放射ビーム32は、対物レンズ30を、その入射表面からその射出表面まで横切り、そして、光学的構造52に到達する。部分52bは、放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、反射させる。そして、放射ビーム32は、対物レンズ30を、その射出表面からその入射表面まで横切り、そして、光学的構造51に到達する。部分51bは、放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、反射させる。そして、放射ビーム32は、再度、対物レンズ30を、その入射表面からその射出表面まで横切り、そして、光学的構造52に到達する。部分52aは、放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、透過させる。及び、放射ビーム32は、収束する放射ビーム34の形態で、その射出表面を介して対物レンズ30及び光学的構造52から、現われる。最後に、第二の対物レンズ31は、収束する放射ビーム34を集束したビーム35に変換して、情報層23上に点36を形成する。
【0056】
光走査デバイスが、“第二のモード”で動作しているとき、放射源26は、情報層47を走査するために波長λ2で放射ビーム49を供給する。レンズ系24は、放射ビーム49を、開口数NA2を有する集束した放射ビーム56に変換して、情報層47の位置に点53を形成するための屈折系として動作し、ここで開口数NA2は、開口数NA1よりも小さい。
【0057】
より精密には、コリメータレンズ29は、放射ビーム49をコリメートされた放射ビーム50に変換する。そして、放射ビーム50は、光学的構造51に到達する。部分51a及び51bは、コリメートされた放射ビーム50を、このビームの波長がλ2に等しいので、透過させる。放射ビーム50は、対物レンズ30に、その入射表面を介して、入射する。対物レンズ30は、放射ビーム50を、このビームの波長がλ2に等しいので、透過させる。このように、放射ビーム50は、対物レンズ30を、その入射表面からその射出表面まで横切り、そして、光学的構造52に到達する。部分52a及び52bは、放射ビーム32を、このビームの波長がλ2に等しいので、透過させる。及び、放射ビーム50は、収束する放射ビーム51の形態で、その射出表面を介して対物レンズ30及び光学的構造52から、現われる。最後に、平凸レンズ31は、収束する放射ビーム51を集束したビーム56に変換して、情報層47上に点53を形成する。換言すれば、レンズ系24が、“屈折系”として動作するとき、対物レンズを伝わる放射ビームは、放射源26から情報層47まで、反射されることなく、透過させられる。
【0058】
放射ビーム32は、レンズ系24内で(中央部分52b及び周縁部分51b上で)少なくとも二回反射し、そして、周縁部分52aから現われることに注意しなければならない。これは、“第二のモード”に関して焦点距離における変化に至る。結果として、光走査デバイスが、“第二のモード”で動作するとき、作動距離“fwd”を、“第一のモード”に関して増加させることさえできる。
【0059】
上述した実施形態に関して、添付した請求項において定義される本発明の範囲を逸脱することなく、多数の変形及び変更を用いてもよいことを認識することになる。
【0060】
図3を参照して記載した実施形態の代替物として、第一の対物レンズの設計は、図3に示すような対物レンズ30の設計と異なってもよい。
【0061】
単に実例として、図8は、それぞれ符号30’、51’、及び52’によって表示される、第一の対物レンズ並びに第一及び第二の光学的構造の第二の実施形態を示す。図3に示す対物レンズ30に類似して、第一の光学的構造51’は、第一の部分51a’、第二の部分51b’、及び第三の部分51c’を含み、第二の光学的構造52’は、第四の部分52b’、第五の部分52a’、及び第六の部分52c’を含み、部分51a’から52c’までは、それぞれ、部分51aから52cまでのものに類似する光学的性質を有する。しかしながら、図3に示すように、部分52aが、周縁部分であり、部分52bが、中央部分であるのに対して、図8に示すように、部分52a’は、中央部分(すなわち、光軸33に中心を置いたエリア)であり、部分52b’は、周縁部分(すなわち、中央部分52a’のまわりの環状エリア)である。さらに、部分52a’を、例えば、表1に記載した第一の被覆剤に類似すると共に対物レンズ30’の射出表面の中央部分30c’上に堆積させる第五の被覆剤によって作ってもよく、部分52b’を、例えば、表2に記載した第二の被覆剤に類似すると共に対物レンズ30’の射出表面の周縁部分30d’上に堆積させる第六の被覆剤によって作ってもよい。
【0062】
好適な第二の実施形態において、対物レンズ30’の入射表面は、実質的に湾曲していること、及びその対物レンズ30’の射出表面は、実質的に平坦であることに注意する。
【0063】
第二の実施形態が、“第一のモード”で動作しているとき、放射ビーム32は、光学的構造51’に到達する。部分51a’は、コリメートされた放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、透過させる。放射ビーム32は、対物レンズ30’に、その入射表面を介して、入射する。対物レンズ30’は、放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、透過させる。このように、放射ビーム32は、対物レンズ30’を、その入射表面からその射出表面まで横切り、そして、光学的構造52’に到達する。部分52b’は、放射ビーム32’を、このビームの波長がλ1に等しいので、反射させる。そして、放射ビーム32は、対物レンズ30’を、その射出表面からその入射表面まで横切り、そして、光学的構造51’に到達する。部分51b’は、放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、反射させる。そして、放射ビーム32は、再度、対物レンズ30’を、その入射表面からその射出表面まで横切り、そして、光学的構造52’に到達する。部分52a’は、放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、透過させる。放射ビーム32は、収束する放射ビーム34の形態で、その射出表面を介して対物レンズ30’及び光学的構造52’から、現われる。
【0064】
第二の実施形態が、“第二のモード”で動作しているとき、放射ビーム50は、光学的構造51’に到達する。部分51a’及び51b’は、コリメートされた放射ビーム50を、このビームの波長がλ2に等しいので、透過させる。放射ビーム50は、対物レンズ30’に、その入射表面を介して、入射する。対物レンズ30’は、放射ビーム50を、このビームの波長がλ2に等しいので、透過させる。このように、放射ビーム50は、対物レンズ30’を、その入射表面からその射出表面まで横切り、そして、光学的構造52’に到達する。部分52a’及び52b’は、放射ビーム32を、このビームの波長がλ2に等しいので、透過させる。及び、放射ビーム50は、収束する放射ビームの形態で、その射出表面を介して対物レンズ30’及び光学的構造52’から、現われる。
【0065】
放射ビーム32は、周縁部分52b’と周縁部分51b’上との間で少なくとも二回反射し、そして、中央部分52a’から現われることに注意しなければならない。
【0066】
図9は、それぞれ符号30’’、51’’、及び52’’によって表示される、第一の対物レンズ並びに第一及び第二の光学的構造の第三の実施形態を示す。図3に示す対物レンズ30に類似して、第一の光学的構造51’’は、第一の部分51a’’、第二の部分51b’’、及び第三の部分51c’’を含み、第二の光学的構造52’’は、第四の部分52b’’、第五の部分52a’’、及び第六の部分52c’’を含み、部分51a’’から52c’’までは、それぞれ、部分51aから52cまでのものに類似する光学的性質を有する。しかしながら、図3及び9に示す二つの実施形態の間には二つの違いがある。第一に、部分51aが、中央部分であり、部分51bが、周縁部分であるのに対して、部分51b’’は、中央部分(すなわち、光軸33に中心を置いたエリア)であり、部分51a’’は、周縁部分(すなわち、中央部分51b’’のまわりの環状エリア)である。第二に、部分52aが、周縁部分であり、部分52bが、中央部分であるのに対して、部分52a’’は、中央部分(すなわち、光軸33に中心を置いたエリア)であり、部分52b’’は、周縁部分(すなわち、中央部分52a’’のまわりの環状エリア)である。さらに、部分52a’’を、例えば、表1に記載した第一の被覆剤に類似すると共に対物レンズ30’’の射出表面の中央部分30c’’上に堆積させる第七の被覆剤によって作ってもよく、部分52b’を、例えば、表2に記載した第二の被覆剤に類似すると共に対物レンズ30’’の射出表面の周縁部分30d’’上に堆積させる第八の被覆剤によって作ってもよい。
【0067】
さらに、高いモードで(第一の放射ビーム27で)動作する第三の実施形態30’’の構成は、International Symposium on Optical Memory 2001の“A Plano−Convex Solid Immersion Mirror with a Small Aperture for Near−field Optical Data Storage”と題されたHiroshi Hatano等による論説(ISBN 4−89114−0180−6)から知られていることに注意する。前記論説は、入射表面及び射出表面、前記入射表面に配置された第一の構造、並びに前記射出表面に配置された第二の構造を有するレンズによって形成された平凸のソリッドイマージョンミラーを教示し、これらの第一及び第二の表面は、一つの波長に関して反射性である部分を含む。しかしながら、これらの部分が別の波長に関して透過性であるように形成されることは、この論説からは知られていない。
【0068】
好適な第三の実施形態において、対物レンズ30’’の入射表面は、実質的に平坦であること、及びその対物レンズ30’’の射出表面は、実質的に湾曲していることに注意する。
【0069】
第三の実施形態が、“第一のモード”で動作しているとき、放射ビーム32は、光学的構造51’’に到達する。部分51a’’は、コリメートされた放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、透過させる。放射ビーム32は、対物レンズ30’’に、その入射表面を介して、入射する。対物レンズ30’’は、放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、透過させる。このように、放射ビーム32は、対物レンズ30’’を、その入射表面からその射出表面まで横切り、そして、光学的構造52’’に到達する。部分52b’’は、放射ビーム32’’を、このビームの波長がλ1に等しいので、反射させる。そして、放射ビーム32は、対物レンズ30’’を、その射出表面からその入射表面まで横切り、そして、光学的構造51’’に到達する。部分51b’’は、放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、反射させる。そして、放射ビーム32は、再度、対物レンズ30’’を、その入射表面からその射出表面まで横切り、そして、光学的構造52’’に到達する。部分52a’’は、放射ビーム32を、このビームの波長がλ1に等しいので、透過させる。放射ビーム32は、収束する放射ビーム34の形態で、その射出表面を介して対物レンズ30’’及び光学的構造52’’から、現われる。
【0070】
第三の実施形態が、“第二のモード”で動作しているとき、放射ビーム50は、光学的構造51’’に到達する。部分51a’’及び51b’’は、コリメートされた放射ビーム50を、このビームの波長がλ2に等しいので、透過させる。放射ビーム50は、対物レンズ30’’に、その入射表面を介して、入射する。対物レンズ30’’は、放射ビーム50を、このビームの波長がλ2に等しいので、透過させる。このように、放射ビーム50は、対物レンズ30’’を、その入射表面からその射出表面まで横切り、そして、光学的構造52’’に到達する。部分52a’’及び52b’’は、放射ビーム32を、このビームの波長がλ2に等しいので、透過させる。及び、放射ビーム50は、収束する放射ビームの形態で、その射出表面を介して対物レンズ30’’及び光学的構造52’’から、現われる。
【0071】
放射ビーム32は、周縁部分52b’’と中央部分51b’’上との間で少なくとも二回反射し、そして、中央部分52a’’から現われることに注意しなければならない。
【0072】
図8及び9に示すように対物レンズ30’、30’’並びに光学的構造51’、51’’及び52’、52’’は、それらが、作動距離が走査点の波長よりも少ないと同時に、走査デバイスが1より高い開口数を有する放射ビームで動作することを可能にするので、“近接場の用途”に特に適することに注意する。
【0073】
別の代替物として、レンズ系は、例えば、その光学的性質が、従って、第一及び第二の放射ビームを透過させるか又は反射させる、被覆剤を伴った第一及び第二の光学的構造を形成することによって、“第二のモード”に対応するモードで反射屈折光学系として、及び、“第一のモード”に対応するモードで屈折系として動作してもよい。
【0074】
別の代替物として、上述のものとは異なる波長及び開口数を有する放射ビームを使用してもよい。このような場合には、図3から5までに関して上述した構造が、上述した放射ビームに関して透過性及び/又は反射性であるように、第一及び第二の光学的構造の中央及び周縁の部分は、これらの放射ビームに関して透過性及び/又は反射性であるように、形成される。例えば、本発明に従う光走査デバイスを、例えば、DVD形式の担体及びCD形式の担体の両方、又はDVR形式の担体及びCD形式の担体の両方を走査することに適するように、形成してもよい。
【0075】
別の代替物として、図3から5までに示すような第一及び第二の光学的構造を、図3から5までに関して上述した被覆剤ような第一及び第二の放射ビームの波長に敏感である代わりに又は敏感であることに加えて、第一及び第二の放射ビームの偏光に敏感である被覆剤で作ってもよい。このような偏光に敏感な被覆剤は、とりわけ、MacLeodによる本の“Thin−film optical filters”(ISBN 0−85274−784−5)から知られている。
【0076】
別の代替物として、図2Aから5までに示す第一及び第二の情報層は、図2A及び2Bに示すような二つの別々の光記録担体の部分である代わりに、同じ光記録担体の部分であってもよい。
【0077】
別の代替物として、光走査デバイスは、同時マルチトラック走査を行うことが可能なタイプのものであってもよい。これは、例えば、米国特許第4,449,212号に記載されるような“読み取りモード”におけるデータの読み出しを改善することに帰着する。また、それは、マルチトラック走査に適用されてもよい。米国特許第4,449,212号に従うマルチトラッキングの配置の記載は、ここでは参照によって組み込まれる。
【0078】
図2Aから3までを参照して記載した実施形態の改善として、第一及び第二の光記録担体の透明層の間の厚さにおける差による球面収差の発生を、例えば、非球面に湾曲した、第一の対物レンズの射出表面又は第二の対物レンズの入射表面を作ることによって補正してもよい。例えば、このような非球面の表面を、例えばB.H.W.Hendriks and P.G.J.M.Nuyensの“Designs and manufacturing of far−field high NA objective lenses for optical recording,”413−414,SPIE3749(1999)から知られている工程を使用することによって、平坦な表面上に形成してもよい。
【0079】
最後に、図3から5までに示すような、対物レンズ並びに第一及び第二の光学的構造もまた、第一の放射ビームを、第一の開口数を有する第一の収束する放射ビームに、及び
第二の放射ビームを、第一の開口数と異なる第二の開口数を有する第二の収束する放射ビームに、変換するためのレンズ系に使用してもよく、その系は、一つの光軸を有し、
前記第一及び第二の放射ビームを受けるための入射表面並びに前記第一及び第二の収束する放射ビームを出力するための射出表面を有する対物レンズを含み、そのレンズは、前記第一及び第二の放射ビームに関して透過性であり、
その系は、前記対物レンズの入射表面に対向して配置された第一の光学的構造を含み、この構造は、前記第一の放射ビームに関して透過性である第一の部分、前記第一の放射ビームに関して反射性である重なり合わない第二の部分、及び前記第二の放射ビームに関して透過性である第三の部分を含み、並びに
その系は、前記対物レンズの射出表面に対向して配置された第二の光学的構造を含み、この構造は、前記第一の放射ビームに関して反射性である第四の部分、前記第一の放射ビームに関して透過性である重なり合わない第五の部分、及び前記第二の放射ビームに関して透過性である第六の部分を含むことに注意しなければならない。
【図面の簡単な説明】
【0080】
【図1】既知の光走査デバイスを示す。
【図2A】第一の形式(“第一のモード”)の光記録担体を走査するときの本発明に従う光走査デバイスを示す。
【図2B】第二の形式(“第二のモード”)の光記録担体を走査するときの図2Aの光走査デバイスを示す。
【図3】図2A及び図2Bのレンズ系の第一の実施形態を詳細に示す。
【図4A】図3に示された第一の構造の断面を示す。
【図4B】図3に示された第二の構造の断面を示す。
【図5】図3及び4の第一及び第二の実施形態に関して、第一の被覆剤の反射係数を表す曲線を示す。
【図6】図3及び4の第一及び第二の実施形態に関して、第二の被覆剤の反射係数を表す曲線を示す。
【図7A】図2Aの光走査デバイスが“第一のモード”で動作しているときの放射ビームの光線を示す。
【図7B】図2Bの光走査デバイスが“第二のモード”で動作しているときの放射ビームの光線を示す。
【図8】図3に示された対物レンズ並びに第一及び第二の光学的構造の第二の実施形態を詳細に示す。
【図9】図3に示された対物レンズ並びに第一及び第二の光学的構造の第三の実施形態を詳細に示す。

Claims (11)

  1. 第一の光記録担体の第一の情報層を第一の放射ビームで、第二の光記録担体の第二の情報層を第二の放射ビームで、走査する光走査デバイスであって、
    前記第一及び第二の放射ビームを供給する放射源、並びに
    一つの光軸を有すると共に、前記第一の放射ビームに関してこのビームを第一の開口数を有する第一の集束した放射ビームに変換して前記第一の情報層の位置に第一の走査点を形成するために反射屈折光学系として、及び、前記第二の放射ビームに関してこのビームを前記第一の開口数と異なる第二の開口数を有する第二の集束した放射ビームに変換して前記第二の情報層の位置に第二の走査点を形成するために屈折系として、動作するレンズ系を有するデバイス。
  2. 前記レンズ系は、前記放射源に対向する入射表面及び前記第一及び第二の情報層に位置に対向する射出表面を有する第一の対物レンズを有し、このレンズは、前記第一及び第二の放射ビームに関して透過性であり、
    前記レンズ系は、前記放射源と前記第一の対物レンズの前記入射表面との間に配置された第一の光学的構造を有し、この構造は、前記第一の放射ビームに関して透過性である第一の部分、前記第一の放射ビームに関して反射性である重なり合わない第二の部分、及び前記第二の放射ビームに関して透過性である第三の部分を有し、
    前記レンズ系は、前記第一の対物レンズの前記射出表面と前記第一及び第二の情報層の位置との間に配置された第二の光学的構造を有し、この構造は、前記第一の放射ビームに関して反射性である第四の部分、前記第一の放射ビームに関して透過性である重なり合わない第五の部分、及び前記第二の放射ビームに関して透過性である第六の部分を有することを特徴とする請求項1記載の光走査デバイス。
  3. 前記第一の部分及び前記第二の部分は、それぞれ、前記光軸に関する中央部分及び周縁部分であり、
    前記第五の部分及び前記第四の部分は、それぞれ、前記光軸に関する配置された周縁部分及び中央部分であることを特徴とする請求項2記載の光走査デバイス。
  4. 前記第一の部分及び第二の部分は、それぞれ、前記光軸に関する中央部分及び周縁部分であり、
    前記第五の部分及び前記第四の部分は、それぞれ、前記光軸に関する配置された中央部分及び周縁部分であることを特徴とする請求項2記載の光走査デバイス。
  5. 前記第一の部分及び第二の部分は、それぞれ、前記光軸に関する周縁部分及び中央部分であり、
    前記第五の部分及び前記第四の部分は、それぞれ、前記光軸に関する配置された中央部分及び周縁部分であることを特徴とする請求項2記載の光走査デバイス。
  6. 前記第一の部分は、前記第一の放射ビームに関して透過性である第一の被覆剤で作られ、
    前記第二の部分は、前記第一の放射ビームに関して反射性である第二の被覆剤で作られ、
    前記第三の部分は、前記第一及び第二の放射ビームに関してさらに透過性である前記第一及び第二の被覆剤で作られ、
    前記第四の部分は、前記第一の放射ビームに関して反射性である第三の被覆剤で作られ、
    前記第五の部分は、前記第一の放射ビームに関して透過性である第四の被覆剤で作られ、
    前記第六の部分は、前記第一及び第二の放射ビームに関してさらに透過性である前記第一及び第二の被覆剤で作られることを特徴とする請求項3、4又は5記載の光走査デバイス。
  7. 前記第二の開口数は、前記第一の開口数よりも小さいことを特徴とする請求項1記載の光走査デバイス。
  8. 前記レンズ系は、前記第一の対物レンズと協同して、二重レンズ系を形成する第二の対物レンズをさらに有することを特徴とする請求項2記載の光走査デバイス。
  9. 前記検出系は、焦点誤差信号及び/又は半径方向トラッキング誤差信号を提供するために、さらに配置されると共に、
    それは、前記第一及び第二の情報層及び/又は走査され得る前記第一及び第二の情報層のトラックのそれぞれの位置に関する前記第一及び第二の走査点の位置を制御する、前記焦点誤差信号及び/又は前記半径方向トラッキング誤差信号に応答性のサーボ系及びアクチュエータをさらに有することを特徴とする請求項1記載の光走査デバイス。
  10. それは、前記第一及び第二の情報層から抜き出された情報の誤り訂正用の情報処理装置を有することを特徴とする請求項1記載の光走査デバイス。
  11. 第一の放射ビームを第一の開口数を有する第一の収束する放射ビームに、第二の放射ビームを前記第一の開口数と異なる第二の開口数を有する第二の収束する放射ビームに、変換するレンズ系であって、
    当該レンズ系は、
    一つの光軸を有し、
    前記第一及び第二の放射ビームを受ける入射表面並びに前記第一及び第二の収束する放射ビームを出力する射出表面を有する第一の対物レンズを有し、前記レンズは、前記第一及び第二の放射ビームに関して透過性であり、
    当該レンズ系は、前記第一の対物レンズの前記入射表面に対向して配置された第一の光学的構造を有し、この構造は、前記第一の放射ビームに関して透過性である第一の部分、前記第一の放射ビームに関して反射性である重なり合わない第二の部分、及び前記第二の放射ビームに関して透過性である第三の部分を有し、
    当該レンズ系は、前記第一の対物レンズの前記射出表面に対向して配置された第二の光学的構造を有し、この構造は、前記第一の放射ビームに関して反射性である第四の部分、前記第一の放射ビームに関して透過性である重なり合わない第五の部分、及び前記第二の放射ビームに関して透過性である第六の部分を有する系。
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