JP2004177155A

JP2004177155A - Substrate inspection apparatus and inspection method

Info

Publication number: JP2004177155A
Application number: JP2002340630A
Authority: JP
Inventors: Junichi Saito; 純一斉藤; Keiichi Tanizawa; 恵一谷澤
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2002-11-25
Filing date: 2002-11-25
Publication date: 2004-06-24
Anticipated expiration: 2022-11-25
Also published as: JP4415540B2

Abstract

【課題】基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変動を非常に感度良く捕らえ、その程度に応じて良否判定を行う検査装置および検査方法を提供すること。さらに、２方向のムラを検査する装置および方法を提供すること。
【解決手段】基板上の着色膜を撮像し、この画像の同じＸ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＸ方向のプロファイルデータを作成し、さらに、この画像の同じＹ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＹ方向のプロファイルデータを作成し、これらのプロファイルデータを基準プロファイルデータと比較することを行う基板検査装置を提供する。
【選択図】図１To provide an inspection apparatus and an inspection method for capturing a band-like density fluctuation generated in a colored film on a substrate with very high sensitivity and performing quality determination according to the degree. Furthermore, an apparatus and a method for inspecting unevenness in two directions are provided.
One-dimensional profile data in the X direction is created by imaging a colored film on a substrate and adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image. There is provided a substrate inspection apparatus that creates one-dimensional profile data in the Y direction by adding density values of all pixels belonging to a Y coordinate, and compares the profile data with reference profile data.
[Selection] Figure 1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は平面状基板の全面またはタイル状に多面付けで塗布された着色膜の濃度変動、特にＸ，Ｙ方向に帯状に発生する濃度変動を感度良く検査する検査装置および検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の撮像装置は２次元ＣＣＤカメラを用いて基板を一括撮像して画像を得た後、画像の中の着色膜の存在しない部分にマスクをかけて２次元画像のまま判定処理を行うというものである。
【０００３】
ところで、基板上の着色膜にはその製法に起因して、ＸおよびＹ方向に帯状に濃度の変化した領域が発生することがある。この濃度変動はきわめて小さいため、レンズのシェーディング、光源の照度不均一やＣＣＤ素子のバックグラウンドノイズとの区別が不可能で、従来の技術では良否判定することが難しかった。
【０００４】
そこで、例えば、着色膜がカラーフィルタの場合において、カラーフィルタの線状の濃度変動（以下、ムラ）を検出するために、特許文献１では、一方向に濃度の値を積算する方法を開示している。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−１８５７６３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、基板は２次元の面であり、１方向のみのムラの検出の場合、該１方向とは異なる方向のムラの検出はできない。この異なる方向の検出を行おうとすると、２回の検出が必要になる。
本発明はこのような従来の課題に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変動を非常に感度良く捕らえることができ、その変動程度に応じて良否判定を行う検査装置および検査方法を提供することにある。そして、２方向のムラを１回で検査する装置および方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、
基板上に設けられた着色膜を検査する装置であって、
前記基板を支持する支持手段と、
前記基板を照射する照明手段と、
前記着色膜を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が得た画像を記録する記録手段と、
前記記録手段によって記録された前記画像の同じＸ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＸ方向のプロファイルデータを作成し、
さらに、前記記録手段によって記録された前記画像の同じＹ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＹ方向のプロファイルデータを作成する画像処理手段と、
前記Ｘ方向のプロファイルデータと、Ｘ方向の基準プロファイルデータを対比し、
さらに、前記Ｙ方向のプロファイルデータと、Ｙ方向の基準プロファイルデータを対比して、良品か不良品かを判定するプロファイルデータ判定手段と、
を有することを特徴とする基板検査装置である。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、
前記支持手段に支持された前記基板と、前記撮像手段との水平方向の相対位置を変化させる駆動手段１を有することを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置である。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、
前記支持手段に支持された前記基板と、前記撮像手段との垂直方向の相対位置を変化させる駆動手段２を有することを特徴とする請求項１あるいは２のいずれかに記載の基板検査装置である。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、
前記撮像手段、前記駆動手段１、前記駆動手段２の少なくとも一つを制御する制御手段を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板検査装置である。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、
前記撮像手段が、ズーム機構を有していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板検査装置である。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、
基板上に設けられた着色膜を検査する方法であって、
前記基板を支持する支持工程と、
前記基板を照射する照明工程と、
前記着色膜を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で得た画像を記録する記録工程と、
前記記録工程によって記録された前記画像の同じＸ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＸ方向のプロファイルデータを作成し、
さらに、前記記録工程によって記録された前記画像の同じＹ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＹ方向のプロファイルデータを作成する画像処理工程と、
前記Ｘ方向のプロファイルデータと、Ｘ方向の基準プロファイルデータを対比し、
さらに、前記Ｙ方向のプロファイルデータと、Ｙ方向の基準プロファイルデータを対比して、良品か不良品かを判定するプロファイルデータ判定工程と、
を有することを特徴とする基板検査方法である。
【００１３】
＜作用＞
本発明の検査装置および検査方法により、レンズのシェーディング、光源の照度不均一やＣＣＤ素子のバックグラウンドノイズによる影響を排して、基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変化を感度良く捕らえ、その程度に応じた良否判定を行うことが可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
まず、本発明の装置の全体について説明する。
図１は本発明の検査装置の模式図であり、基板（１３）の面上の任意の位置にカメラ（１２）を移動可能なように基板上方に配置された駆動手段１（１０）はＸＹ２方向に移動可能な２軸直交ロボットアームである。
駆動手段１のスライダ上には駆動手段２（１１）がそのスライダが基板の面に直交する方向（Ｚ方向）に移動可能に固定されており、スライダ上にはカメラ、レンズが基板に向けて固定されている。
一方、基板は（図示しない）ステージ上に固定され、更にその下方にある光源（１４）によって照明されている。従って、この例で対象とする基板は半透明なものとなるが、照明をカメラと同方向から当てることによって不透明な基板の撮像を行なうことももちろん可能である。
【００１５】
（図示しない）制御手段に着色膜の位置とサイズを入力することにより制御手段は駆動手段１，２の移動量を演算し、駆動手段１，２に移動指令を出力する。
その後、制御手段はカメラのシャッターを切り、画像データ（図４）が記録手段内に保存される。
【００１６】
次に、本発明の個々の構成について説明する。
【００１７】
基板上に設けられた着色膜としては、例えば、カラーフィルタを作成する際にガラス基板上に塗布されたカラーレジストがある。もちろん、本発明では、カラーフィルタに限らず、基板上に設けられた着色膜であれば、検査可能である。
なお、検査する着色膜は基板全面に設けた構成でも良いし、基板の分割された領域毎に多面付けされたそれぞれ着色膜を設けた構成でも良い。（図３参照）
【００１８】
基板を支持する支持手段としては、例えば、基板の位置を固定する把持部分があるものが使え、どのように把持するかは問わない。例えば、台の上に基板を載せ、両端から、ばねで押さえるように把持する形態がある。
【００１９】
照射手段としては、基板が透明の場合、基板の裏（撮像手段のある側とは逆の側）から照射する形態がある。照射する光の色は、何でもよく、白、赤、緑、青などでよい。なお、基板上に設けられた着色膜が、光硬化性の場合であって、本発明の検査装置により検査する際に、硬化すると不都合の場合は、照射する光の波長を選択し、着色膜が硬化しないように考慮する必要がある。
【００２０】
撮像手段としては、例えば、ＣＣＤ撮像素子をもつカメラが使用できる。この場合、通常、被撮像体の大きさを撮像レンズにより縮小して、カメラで撮像できる大きさにする。また、このカメラは通常、シャッターを有する。
例えば、画像サイズは６４０ｘ４８０ドット、１ドットあたり２５６階調の単色データである。
【００２１】
記録手段としては、例えば、通常のパソコンに使用されているメモリでよい。この場合、メモリ容量は、被撮像体の画像を充分記録できるだけの容量を有している必要がある。
【００２２】
画像処理手段とは、記録手段によって記録された画像の同じＸ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＸ方向のプロファイルデータを作成し、さらに、記録手段によって記録された画像の同じＹ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＹ方向のプロファイルデータを作成する手段のことである。
画像処理手段は画像が保存されたことを通知されると画像を読み出し、ＸおよびＹ方向のプロファイルデータを作成する。
ここで、Ｘ方向、Ｙ方向とは、基板が長方形の平面である場合、基板１辺をＸ軸、この１辺とは垂直な基板のもう１辺をＹ軸とした場合の、Ｘ方向、Ｙ方向である。しかしながら、Ｘ方向、Ｙ方向は必ずしもこのように垂直な関係にある必要はなく、場合によっては、９０°以外の角度をなす関係であっても良い。
【００２３】
例えば、６４０データ、２５６ｘ４８０階調のＸ方向プロファイルと４８０データ、２５６ｘ６４０階調のＹ方向プロファイルが作成されることになる。
【００２４】
なお、プロファイルを作成する場合の計算式は、下記の式（数１）によって計算する。
【００２５】
【数１】

【００２６】
プロファイルデータを作成することによって、Ｘ，Ｙ方向に平行な濃度変化は強調され、ＣＣＤ素子のバックグラウンドノイズに対して充分なＳ／Ｎ比を持つようになる。
【００２７】
次に、プロファイルデータ判定手段について実施の形態を説明する。
得られたプロファイルデータは予め良品であることがわかっている基板から得られた良品データとの差分をとることによってレンズのシェーディング、光源の照度不均一の影響を排除した差分データ（図５参照）とした後、判定手段によって良否判定がなされる。
判定のアルゴリズムは、例えば差分データ中に設定した濃度閾値を超えるものが、一定の長さ以上連続した場合に、その部分を不良と判定するというようなものであるが、必ずしもこれに限るものではない。
【００２８】
例えば、判定手段ではＸ方向閾値±４０００、Ｙ方向閾値±３０００を超えた部分を不良であるとしたところ、Ｘ方向プロファイルの中央付近に幅１０ｍｍほどの不良部分が検出された。（図６）
【００２９】
次に、駆動手段１について実施の形態を説明する。
駆動手段１は、基板と撮像手段との水平方向の相対的位置関係を変える手段である。この場合、基板を動かさずに撮像手段を動かしてもいいし、撮像手段を動かさずに基板を動かしてもいい。また、両方動かしてもいい。
【００３０】
次に、駆動手段２について実施の形態を説明する。
駆動手段２は、基板と撮像手段との垂直方向の相対的位置関係を変える手段である。この場合、基板を動かさずに撮像手段を動かしてもいいし、撮像手段を動かさずに基板を動かしてもいい。また、両方動かしてもいい。
駆動手段１，２により、基板のどの領域を撮像するかを調製する。
【００３１】
次に、撮像手段が有するズーム機構について説明する。
ズーム機構は、撮像可能な着色膜の領域の大小を変更するために設けられているものである。
【００３２】
次に、撮像手段、駆動手段１、駆動手段２の少なくとも一つを制御する制御手段について実施の形態を説明する。（図２を参照）
撮像手段の制御においては、ズーム機構のズーム比やシャッターのタイミングを制御する。
駆動手段１、駆動手段２の制御においては、それぞれ、基板と撮像手段との水平方向、あるいは、垂直方向の相対的位置を変える制御を行う。
【００３３】
次に、本基板の検査装置が基板を検査する際の工程の流れの１例を示す。
検査の際は、撮像手段が着色膜の中心の真上になるように駆動手段１を移動した後、着色膜の領域がカメラの視野いっぱいになるように駆動手段２もしくはレンズのズーム比を制御する。その後、カメラのシャッターを切り画像を記録手段に保存する。画像データは、プロファイル作成手段によってプロファイルデータを作成する。
基板上に着色膜が多面付けされている場合は、上記手順を繰り返し、各面を順次検査する。
【００３４】
【発明の効果】
以上詳細に説明した通り、本発明の検査装置および検査方法によれば、レンズのシェーディング、光源の照度不均一やＣＣＤ素子のバックグラウンドノイズによる影響を排して基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変化を非常に感度良く捕らえ、その程度に応じた良否判定を行うことが可能となるという効果を奏する。また、基板の面の２方向についてムラを検査できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の検査装置外観図である。
【図２】本発明の検査装置制御のフローを示す図である。
【図３】基板の模式図である。
【図４】撮像された画像の模式図である。
【図５】差分データおよび閾値を示す模式図である。
【図６】不良と判定された領域を示す模式図である。
【符号の説明】
１０…駆動手段１
１１…駆動手段２
１２…カメラ、レンズ
１３…基板
１４…照明[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method for inspecting, with high sensitivity, density fluctuations of a colored film applied in a multifaceted manner on the entire surface of a flat substrate or tiles, particularly density fluctuations generated in a strip shape in the X and Y directions. .
[0002]
[Prior art]
A conventional imaging device uses a two-dimensional CCD camera to collect images of a substrate to obtain an image, and then masks a portion where no colored film exists in the image and performs a determination process as it is in a two-dimensional image. It is.
[0003]
By the way, in the colored film on the substrate, there may be a region in which the concentration is changed in a strip shape in the X and Y directions due to the manufacturing method. Since this density fluctuation is extremely small, it is impossible to distinguish between lens shading, non-uniform illuminance of the light source, and background noise of the CCD element.
[0004]
Thus, for example, in the case where the colored film is a color filter, Patent Document 1 discloses a method of integrating density values in one direction in order to detect linear density fluctuations (hereinafter referred to as unevenness) of the color filter. ing.
[0005]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 10-185663
[Problems to be solved by the invention]
However, the substrate is a two-dimensional surface, and in the case of detecting unevenness in only one direction, unevenness in a direction different from the one direction cannot be detected. In order to detect in different directions, two detections are required.
The present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to capture a band-like density fluctuation generated in a colored film on a substrate with very high sensitivity, and according to the degree of the fluctuation. It is another object of the present invention to provide an inspection apparatus and an inspection method for performing pass / fail determination. Another object of the present invention is to provide an apparatus and method for inspecting unevenness in two directions at a time.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The invention described in claim 1
An apparatus for inspecting a colored film provided on a substrate,
Support means for supporting the substrate;
Illumination means for irradiating the substrate;
An imaging means for imaging the colored film;
Recording means for recording the image obtained by the imaging means;
Creating one-dimensional X-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image recorded by the recording means;
And image processing means for creating one-dimensional Y-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same Y coordinate of the image recorded by the recording means;
Compare the profile data in the X direction with the reference profile data in the X direction,
Further, profile data determination means for comparing the profile data in the Y direction with reference profile data in the Y direction to determine whether the product is a non-defective product or a defective product,
It is a board | substrate inspection apparatus characterized by having.
[0008]
The invention described in claim 2
The substrate inspection apparatus according to claim 1, further comprising a driving unit 1 configured to change a horizontal relative position between the substrate supported by the support unit and the imaging unit.
[0009]
The invention according to claim 3
3. The substrate inspection apparatus according to claim 1, further comprising a driving unit 2 that changes a relative position in a vertical direction between the substrate supported by the supporting unit and the imaging unit. .
[0010]
The invention according to claim 4
The substrate inspection apparatus according to claim 1, further comprising a control unit that controls at least one of the imaging unit, the driving unit 1, and the driving unit 2.
[0011]
The invention described in claim 5
The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein the image pickup unit includes a zoom mechanism.
[0012]
The invention described in claim 6
A method for inspecting a colored film provided on a substrate,
A supporting step for supporting the substrate;
An illumination process for irradiating the substrate;
An imaging step of imaging the colored film;
A recording process for recording the image obtained in the imaging process;
Creating one-dimensional X-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image recorded by the recording step;
Further, an image processing step of creating one-dimensional Y-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same Y coordinate of the image recorded by the recording step;
Compare the profile data in the X direction with the reference profile data in the X direction,
Further, a profile data determination step for comparing the Y-direction profile data with the Y-direction reference profile data to determine whether the product is a non-defective product or a defective product,
It is a board | substrate inspection method characterized by having.
[0013]
<Action>
By using the inspection apparatus and inspection method of the present invention, the influence of lens shading, non-uniform illuminance of the light source and background noise of the CCD element is eliminated, and the band-like density change that occurs in the colored film on the substrate is captured with high sensitivity. It is possible to perform pass / fail determination according to the degree.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
First, the entire apparatus of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic diagram of an inspection apparatus according to the present invention. A driving means 1 (10) disposed above a substrate so that the camera (12) can be moved to an arbitrary position on the surface of the substrate (13) is XY2. A biaxial orthogonal robot arm that can move in the direction.
On the slider of the driving means 1, a driving means 2 (11) is fixed so that the slider can move in a direction perpendicular to the surface of the substrate (Z direction). On the slider, a camera and a lens face the substrate. It is fixed.
On the other hand, the substrate is fixed on a stage (not shown) and further illuminated by a light source (14) below it. Therefore, although the target substrate in this example is translucent, it is of course possible to image an opaque substrate by applying illumination from the same direction as the camera.
[0015]
By inputting the position and size of the colored film to the control means (not shown), the control means calculates the movement amount of the driving means 1 and 2 and outputs a movement command to the driving means 1 and 2.
Thereafter, the control means releases the shutter of the camera, and the image data (FIG. 4) is stored in the recording means.
[0016]
Next, individual configurations of the present invention will be described.
[0017]
As the colored film provided on the substrate, for example, there is a color resist applied on a glass substrate when a color filter is formed. Of course, in the present invention, not only a color filter but also a colored film provided on a substrate can be inspected.
Note that the colored film to be inspected may be provided on the entire surface of the substrate, or may be provided with multiple colored films provided for each divided region of the substrate. (See Figure 3)
[0018]
As the support means for supporting the substrate, for example, one having a grip portion for fixing the position of the substrate can be used, and it does not matter how the substrate is gripped. For example, there is a form in which a substrate is placed on a table and held from both ends so as to be pressed by a spring.
[0019]
As an irradiation means, when the substrate is transparent, there is a form in which irradiation is performed from the back of the substrate (the side opposite to the side where the imaging means is provided). The color of the light to be irradiated may be anything, such as white, red, green, and blue. If the colored film provided on the substrate is photo-curable and is inconvenient to be cured when inspected by the inspection apparatus of the present invention, the wavelength of the irradiated light is selected and the colored film is selected. It is necessary to consider not to cure.
[0020]
As the imaging means, for example, a camera having a CCD imaging device can be used. In this case, normally, the size of the imaging target is reduced by the imaging lens so that it can be captured by the camera. The camera usually has a shutter.
For example, the image size is single color data of 640 × 480 dots and 256 gradations per dot.
[0021]
As the recording means, for example, a memory used in a normal personal computer may be used. In this case, the memory capacity needs to be large enough to record the image of the imaged object.
[0022]
The image processing means creates one-dimensional X-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image recorded by the recording means, and further recorded by the recording means A means for creating one-dimensional Y-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same Y coordinate of an image.
When notified that the image has been saved, the image processing means reads the image and creates profile data in the X and Y directions.
Here, when the substrate is a rectangular plane, the X direction and the Y direction are the X direction when one side of the substrate is the X axis, and the other side of the substrate perpendicular to the one side is the Y axis. Y direction. However, the X direction and the Y direction do not necessarily need to be in such a vertical relationship, and in some cases, may have a relationship other than 90 °.
[0023]
For example, an X direction profile of 640 data, 256 × 480 gradations and a Y direction profile of 480 data, 256 × 640 gradations are created.
[0024]
In addition, the calculation formula in the case of creating a profile is calculated by the following formula (Formula 1).
[0025]
[Expression 1]

[0026]
By creating the profile data, density changes parallel to the X and Y directions are emphasized, and a sufficient S / N ratio is obtained for the background noise of the CCD element.
[0027]
Next, an embodiment of profile data determination means will be described.
The obtained profile data is a difference data that eliminates the effects of lens shading and light source illuminance unevenness by taking the difference from good product data obtained from a substrate that is known to be good in advance (see FIG. 5). Then, pass / fail judgment is made by the judging means.
The determination algorithm is such that, for example, when the data exceeding the density threshold set in the difference data is continuous for a certain length or more, the portion is determined to be defective, but this is not necessarily limited to this. Absent.
[0028]
For example, when the determination unit determines that a portion exceeding the X direction threshold value ± 4000 and the Y direction threshold value ± 3000 is defective, a defective portion having a width of about 10 mm is detected near the center of the X direction profile. (Fig. 6)
[0029]
Next, an embodiment of the driving unit 1 will be described.
The driving unit 1 is a unit that changes the relative positional relationship between the substrate and the imaging unit in the horizontal direction. In this case, the imaging unit may be moved without moving the substrate, or the substrate may be moved without moving the imaging unit. You can also move both.
[0030]
Next, an embodiment of the driving unit 2 will be described.
The driving unit 2 is a unit that changes the relative positional relationship between the substrate and the imaging unit in the vertical direction. In this case, the imaging unit may be moved without moving the substrate, or the substrate may be moved without moving the imaging unit. You can also move both.
The drive means 1 and 2 adjust which region of the substrate is imaged.
[0031]
Next, a zoom mechanism included in the imaging unit will be described.
The zoom mechanism is provided to change the size of the colored film area that can be imaged.
[0032]
Next, an embodiment of a control unit that controls at least one of the imaging unit, the driving unit 1 and the driving unit 2 will be described. (See Figure 2)
In controlling the imaging means, the zoom ratio of the zoom mechanism and the timing of the shutter are controlled.
In the control of the driving unit 1 and the driving unit 2, control for changing the relative position in the horizontal direction or the vertical direction between the substrate and the imaging unit is performed.
[0033]
Next, an example of a process flow when the substrate inspection apparatus inspects the substrate will be described.
At the time of inspection, after moving the driving means 1 so that the imaging means is directly above the center of the colored film, the zoom ratio of the driving means 2 or the lens is controlled so that the colored film region fills the field of view of the camera. To do. Thereafter, the shutter of the camera is released and the image is stored in the recording means. The image data is created by profile creation means.
When the colored film is multifaceted on the substrate, the above procedure is repeated and each surface is inspected sequentially.
[0034]
【The invention's effect】
As described above in detail, according to the inspection apparatus and the inspection method of the present invention, the band-like shape generated in the colored film on the substrate is eliminated by eliminating the effects of lens shading, non-uniform illumination of the light source and background noise of the CCD element. There is an effect that it is possible to catch the density change with high sensitivity and to perform pass / fail judgment according to the degree. In addition, unevenness can be inspected in two directions on the surface of the substrate.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an external view of an inspection apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a flow of inspection apparatus control according to the present invention.
FIG. 3 is a schematic view of a substrate.
FIG. 4 is a schematic diagram of a captured image.
FIG. 5 is a schematic diagram showing difference data and threshold values.
FIG. 6 is a schematic diagram showing a region determined to be defective.
[Explanation of symbols]
10: Driving means 1
11: Driving means 2
12 ... Camera, lens 13 ... Board 14 ... Illumination

Claims

An apparatus for inspecting a colored film provided on a substrate,
Support means for supporting the substrate;
Illumination means for irradiating the substrate;
An imaging means for imaging the colored film;
Recording means for recording the image obtained by the imaging means;
Creating one-dimensional X-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image recorded by the recording means;
And image processing means for creating one-dimensional Y-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same Y coordinate of the image recorded by the recording means;
Compare the profile data in the X direction with the reference profile data in the X direction,
Further, profile data determination means for comparing the profile data in the Y direction with reference profile data in the Y direction to determine whether the product is a non-defective product or a defective product,
A board inspection apparatus comprising:

The substrate inspection apparatus according to claim 1, further comprising a driving unit 1 configured to change a horizontal relative position between the substrate supported by the support unit and the imaging unit.

The substrate inspection apparatus according to claim 1, further comprising a driving unit 2 that changes a relative position in a vertical direction between the substrate supported by the supporting unit and the imaging unit.

The substrate inspection apparatus according to claim 1, further comprising a control unit that controls at least one of the imaging unit, the driving unit 1, and the driving unit 2.

The substrate inspection apparatus according to claim 1, wherein the imaging unit includes a zoom mechanism.

A method for inspecting a colored film provided on a substrate,
A supporting step for supporting the substrate;
An illumination process for irradiating the substrate;
An imaging step of imaging the colored film;
A recording process for recording the image obtained in the imaging process;
Creating one-dimensional X-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image recorded by the recording step;
Further, an image processing step of creating one-dimensional Y-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same Y coordinate of the image recorded by the recording step;
Compare the profile data in the X direction with the reference profile data in the X direction,
Further, a profile data determination step for comparing the Y-direction profile data with the Y-direction reference profile data to determine whether the product is a non-defective product or a defective product,
A substrate inspection method characterized by comprising: