JP5353553B2 - Substrate inspection apparatus and inspection method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は平面状基板の全面またはタイル状に多面付けで塗布された着色膜の濃度変動、特にＸ，Ｙ方向に帯状に発生する濃度変動を感度良く検査する検査装置および検査方法に関するものである。 The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method for inspecting, with high sensitivity, density fluctuations of a colored film applied in a multifaceted manner on the entire surface of a flat substrate or tiles, particularly density fluctuations generated in a strip shape in the X and Y directions. .
従来の撮像装置は２次元ＣＣＤカメラを用いて基板を一括撮像して画像を得た後、画像の中の着色膜の存在しない部分にマスクをかけて2次元画像のまま判定処理を行うというものである。 A conventional imaging device uses a two-dimensional CCD camera to collect images of a substrate to obtain an image, and then masks a portion where no colored film exists in the image and performs a determination process with the two-dimensional image as it is. It is.
ところで、基板上の着色膜にはその製法に起因して、ＸおよびＹ方向に帯状に濃度の変化した領域が発生することがある。この濃度変動はきわめて小さいため、レンズのシェーディング、光源の照度不均一やＣＣＤ素子のバックグラウンドノイズとの区別が不可能で、従来の技術では良否判定することが難しかった。 By the way, in the colored film on the substrate, there may be a region in which the concentration is changed in a strip shape in the X and Y directions due to the manufacturing method. Since this density fluctuation is extremely small, it is impossible to distinguish between lens shading, non-uniform illuminance of the light source, and background noise of the CCD element.
そこで、例えば、着色膜がカラーフィルタの場合において、カラーフィルタの線状の濃度変動（以下、ムラ）を検出するために、特許文献１では、一方向に濃度の値を積算する方法を開示している。
Thus, for example, in the case where the colored film is a color filter,
しかしながら、基板は２次元の面であり、１方向のみのムラの検出の場合、該１方向とは異なる方向のムラの検出はできない。この異なる方向の検出を行おうとすると、２回の検出が必要になる。
本発明はこのような従来の課題に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変動を非常に感度良く捕らえることができ、その変動程度に応じて良否判定を行う検査装置および検査方法を提供することにある。そして、２方向のムラを１回で検査する装置および方法を提供することにある。
However, the substrate is a two-dimensional surface, and in the case of detecting unevenness in only one direction, unevenness in a direction different from the one direction cannot be detected. In order to detect in different directions, two detections are required.
The present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to capture a band-like density fluctuation generated in a colored film on a substrate with very high sensitivity, and according to the degree of the fluctuation. It is another object of the present invention to provide an inspection apparatus and an inspection method for performing pass / fail determination. Another object of the present invention is to provide an apparatus and method for inspecting unevenness in two directions at a time.
請求項１に記載の発明は、
基板上に設けられた着色膜を検査する装置であって、
前記基板を支持する支持手段と、
前記基板を照射する照明手段と、
前記着色膜を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が得た画像を記録する記録手段と、
前記記録手段によって記録された前記画像の同じＸ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＸ方向のプロファイルデータを作成し、
さらに、前記記録手段によって記録された前記画像の同じＹ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＹ方向のプロファイルデータを作成する画像処理手段と、
前記Ｘ方向のプロファイルデータと、Ｘ方向の基準プロファイルデータを対比し、
さらに、前記Ｙ方向のプロファイルデータと、Ｙ方向の基準プロファイルデータを対比して、これらプロファイルデータのうち所定の閾値を超える箇所が一定の長さ以上連続したかどうかにより、前記着色膜が良品か一定以上の幅の帯状の濃度変化部分を有する不良品かを判定するプロファイルデータ判定手段と、を有し、
前記Ｘ方向及びＹ方向の基準プロファイルデータは、予め良品であることがわかっている基板から得られたものであることを特徴とする基板検査装置である。
The invention described in
An apparatus for inspecting a colored film provided on a substrate,
Support means for supporting the substrate;
Illumination means for irradiating the substrate;
An imaging means for imaging the colored film;
Recording means for recording the image obtained by the imaging means;
Creating one-dimensional X-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image recorded by the recording means;
And image processing means for creating one-dimensional Y-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same Y coordinate of the image recorded by the recording means;
Compare the profile data in the X direction with the reference profile data in the X direction ,
Further, the Y-direction profile data is compared with the Y-direction reference profile data, and whether or not the colored film is a non- defective product depends on whether or not a portion exceeding a predetermined threshold in the profile data continues for a certain length or more . Profile data determination means for determining whether it is a defective product having a band-shaped density change portion of a certain width or more ,
The reference profile data in the X direction and the Y direction is obtained from a substrate that is known to be a good product in advance .
請求項２に記載の発明は、
前記支持手段に支持された前記基板と、前記撮像手段との水平方向の相対位置を変化させる駆動手段１を有することを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置である。
The invention described in
The substrate inspection apparatus according to
請求項３に記載の発明は、
前記支持手段に支持された前記基板と、前記撮像手段との垂直方向の相対位置を変化させる駆動手段２を有することを特徴とする請求項１あるいは２のいずれかに記載の基板検査装置である。
The invention according to
3. The substrate inspection apparatus according to
請求項４に記載の発明は、
前記撮像手段、前記駆動手段１、前記駆動手段２の少なくとも一つを制御する制御手段を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の基板検査装置である。
The invention according to claim 4
The substrate inspection apparatus according to
請求項５に記載の発明は、
前記撮像手段が、ズーム機構を有していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板検査装置である。
The invention described in claim 5
The substrate inspection apparatus according to
請求項６に記載の発明は、
基板上に設けられた着色膜を検査する方法であって、
前記基板を支持する支持工程と、
前記基板を照射する照明工程と、
前記着色膜を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で得た画像を記録する記録工程と、
前記記録工程によって記録された前記画像の同じＸ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＸ方向のプロファイルデータを作成し、
さらに、前記記録工程によって記録された前記画像の同じＹ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＹ方向のプロファイルデータを作成する画像処理工程と、
前記Ｘ方向のプロファイルデータと、Ｘ方向の基準プロファイルデータを対比し、
さらに、前記Ｙ方向のプロファイルデータと、Ｙ方向の基準プロファイルデータを対比して、これらプロファイルデータのうち所定の閾値を超える箇所が一定の長さ以上連続したかどうかにより、前記着色膜が良品か一定以上の幅の帯状の濃度変化部分を有する不良品かを判定するプロファイルデータ判定工程と、を有し、
前記Ｘ方向及びＹ方向の基準プロファイルデータは、予め良品であることがわかっている基板から得られたものであることを特徴とする基板検査方法である。
The invention described in claim 6
A method for inspecting a colored film provided on a substrate,
A supporting step for supporting the substrate;
An illumination process for irradiating the substrate;
An imaging step of imaging the colored film;
A recording process for recording the image obtained in the imaging process;
Creating one-dimensional X-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image recorded by the recording step;
Further, an image processing step of creating one-dimensional Y-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same Y coordinate of the image recorded by the recording step;
Compare the profile data in the X direction with the reference profile data in the X direction ,
Further, the Y-direction profile data is compared with the Y-direction reference profile data, and whether or not the colored film is a non- defective product depends on whether or not a portion exceeding a predetermined threshold in the profile data continues for a certain length or more . A profile data determination step for determining whether or not the defective product has a strip-shaped density change portion having a width greater than a certain width ,
The reference profile data in the X direction and the Y direction is obtained from a substrate that is known to be a good product in advance .
＜作用＞
本発明の検査装置および検査方法により、レンズのシェーディング、光源の照度不均一やＣＣＤ素子のバックグラウンドノイズによる影響を排して、基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変化を感度良く捕らえ、その程度に応じた良否判定を行うことが可能となる。
<Action>
By using the inspection apparatus and inspection method of the present invention, the influence of lens shading, non-uniform illuminance of the light source and background noise of the CCD element is eliminated, and the band-like density change that occurs in the colored film on the substrate is captured with high sensitivity. It is possible to perform pass / fail determination according to the degree.
まず、本発明の装置の全体について説明する。
図１は本発明の検査装置の模式図であり、基板（１３）の面上の任意の位置にカメラ（１２）を移動可能なように基板上方に配置された駆動手段１（１０）はＸＹ２方向に移動可能な２軸直交ロボットアームである。
駆動手段１のスライダ上には駆動手段２（１１）がそのスライダが基板の面に直交する方向（Ｚ方向）に移動可能に固定されており、スライダ上にはカメラ、レンズが基板に向けて固定されている。
一方、基板は（図示しない）ステージ上に固定され、更にその下方にある光源（１４）によって照明されている。従って、この例で対象とする基板は半透明なものとなるが、照明をカメラと同方向から当てることによって不透明な基板の撮像を行なうことももちろん可能である。
First, the entire apparatus of the present invention will be described.
FIG. 1 is a schematic diagram of an inspection apparatus according to the present invention. A driving means 1 (10) disposed above a substrate so that the camera (12) can be moved to an arbitrary position on the surface of the substrate (13) is XY2. A biaxial orthogonal robot arm that can move in the direction.
On the slider of the driving means 1, a driving means 2 (11) is fixed so that the slider can move in a direction perpendicular to the surface of the substrate (Z direction). On the slider, a camera and a lens face the substrate. It is fixed.
On the other hand, the substrate is fixed on a stage (not shown) and further illuminated by a light source (14) below it. Therefore, although the target substrate in this example is translucent, it is of course possible to image an opaque substrate by applying illumination from the same direction as the camera.
（図示しない）制御手段に着色膜の位置とサイズを入力することにより制御手段は駆動手段１，２の移動量を演算し、駆動手段１，２に移動指令を出力する。
その後、制御手段はカメラのシャッターを切り、画像データ（図４）が記録手段内に保存される。
By inputting the position and size of the colored film to the control means (not shown), the control means calculates the movement amount of the driving means 1 and 2 and outputs a movement command to the driving means 1 and 2.
Thereafter, the control means releases the shutter of the camera, and the image data (FIG. 4) is stored in the recording means.
次に、本発明の個々の構成について説明する。 Next, individual configurations of the present invention will be described.
基板上に設けられた着色膜としては、例えば、カラーフィルタを作成する際にガラス基板上に塗布されたカラーレジストがある。もちろん、本発明では、カラーフィルタに限らず、基板上に設けられた着色膜であれば、検査可能である。
なお、検査する着色膜は基板全面に設けた構成でも良いし、基板の分割された領域毎に多面付けされたそれぞれ着色膜を設けた構成でも良い。（図３参照）
As the colored film provided on the substrate, for example, there is a color resist applied on a glass substrate when a color filter is formed. Of course, in the present invention, not only a color filter but also a colored film provided on a substrate can be inspected.
Note that the colored film to be inspected may be provided on the entire surface of the substrate, or may be provided with multiple colored films provided for each divided region of the substrate. (See Figure 3)
基板を支持する支持手段としては、例えば、基板の位置を固定する把持部分があるものが使え、どのように把持するかは問わない。例えば、台の上に基板を載せ、両端から、ばねで押さえるように把持する形態がある。 As the support means for supporting the substrate, for example, one having a grip portion for fixing the position of the substrate can be used, and it does not matter how the substrate is gripped. For example, there is a form in which a substrate is placed on a table and held from both ends so as to be pressed by a spring.
照射手段としては、基板が透明の場合、基板の裏（撮像手段のある側とは逆の側）から照射する形態がある。照射する光の色は、何でもよく、白、赤、緑、青などでよい。なお、基板上に設けられた着色膜が、光硬化性の場合であって、本発明の検査装置により検査する際に、硬化すると不都合の場合は、照射する光の波長を選択し、着色膜が硬化しないように考慮する必要がある。 As an irradiation means, when the substrate is transparent, there is a form in which irradiation is performed from the back of the substrate (the side opposite to the side where the imaging means is provided). The color of the light to be irradiated may be anything, such as white, red, green, and blue. If the colored film provided on the substrate is photo-curable and is inconvenient to be cured when inspected by the inspection apparatus of the present invention, the wavelength of the irradiated light is selected and the colored film is selected. It is necessary to consider not to cure.
撮像手段としては、例えば、ＣＣＤ撮像素子をもつカメラが使用できる。この場合、通常、被撮像体の大きさを撮像レンズにより縮小して、カメラで撮像できる大きさにする。また、このカメラは通常、シャッターを有する。
例えば、画像サイズは６４０ｘ４８０ドット、1ドットあたり２５６階調の単色データである。
As the imaging means, for example, a camera having a CCD imaging device can be used. In this case, normally, the size of the imaging target is reduced by the imaging lens so that it can be captured by the camera. The camera usually has a shutter.
For example, the image size is single-color data of 640 × 480 dots and 256 gradations per dot.
記録手段としては、例えば、通常のパソコンに使用されているメモリでよい。この場合、メモリ容量は、被撮像体の画像を充分記録できるだけの容量を有している必要がある。 As the recording means, for example, a memory used in a normal personal computer may be used. In this case, the memory capacity needs to be large enough to record the image of the imaged object.
画像処理手段とは、記録手段によって記録された画像の同じＸ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＸ方向のプロファイルデータを作成し、さらに、記録手段によって記録された画像の同じＹ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＹ方向のプロファイルデータを作成する手段のことである。
画像処理手段は画像が保存されたことを通知されると画像を読み出し、ＸおよびＹ方向のプロファイルデータを作成する。
ここで、Ｘ方向、Ｙ方向とは、基板が長方形の平面である場合、基板１辺をＸ軸、この１辺とは垂直な基板のもう１辺をＹ軸とした場合の、Ｘ方向、Ｙ方向である。しかしながら、Ｘ方向、Ｙ方向は必ずしもこのように垂直な関係にある必要はなく、場合によっては、９０°以外の角度をなす関係であっても良い。
The image processing means creates one-dimensional X-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image recorded by the recording means, and further recorded by the recording means It is means for creating one-dimensional Y-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same Y coordinate of the image.
When notified that the image has been saved, the image processing means reads the image and creates profile data in the X and Y directions.
Here, when the substrate is a rectangular plane, the X direction and the Y direction are the X direction when one side of the substrate is the X axis, and the other side of the substrate perpendicular to the one side is the Y axis. Y direction. However, the X direction and the Y direction are not necessarily in such a vertical relationship, and may have a relationship other than 90 ° depending on the case.
例えば、６４０データ、２５６ｘ４８０階調のＸ方向プロファイルと４８０データ、２５６x６４０階調のY方向プロファイルが作成されることになる。 For example, an X direction profile of 640 data, 256 × 480 gradations and a Y direction profile of 480 data, 256 × 640 gradations are created.
なお、プロファイルを作成する場合の計算式は、下記の式（数１）によって計算する。 In addition, the calculation formula in the case of creating a profile is calculated by the following formula (Formula 1).
プロファイルデータを作成することによって、Ｘ，Ｙ方向に平行な濃度変化は強調され、ＣＣＤ素子のバックグラウンドノイズに対して充分なＳ／Ｎ比を持つようになる。 By creating the profile data, density changes parallel to the X and Y directions are emphasized, and a sufficient S / N ratio with respect to the background noise of the CCD element is obtained.
次に、プロファイルデータ判定手段について実施の形態を説明する。
得られたプロファイルデータは予め良品であることがわかっている基板から得られた良品データとの差分をとることによってレンズのシェーディング、光源の照度不均一の影響を排除した差分データ（図５参照）とした後、判定手段によって良否判定がなされる。
判定のアルゴリズムは、例えば差分データ中に設定した濃度閾値を超えるものが、一定の長さ以上連続した場合に、その部分を不良と判定するというようなものであるが、必ずしもこれに限るものではない。
Next, an embodiment of profile data determination means will be described.
The obtained profile data is a difference data that eliminates the effects of lens shading and light source illuminance unevenness by taking the difference from good product data obtained from a substrate that is known to be good in advance (see FIG. 5). Then, pass / fail judgment is made by the judging means.
The determination algorithm is such that, for example, when the data exceeding the density threshold set in the difference data is continuous for a certain length or more, the portion is determined to be defective, but this is not necessarily limited to this. Absent.
例えば、判定手段ではＹ方向閾値±４０００、Ｘ方向閾値±３０００を超えた部分を不良であるとしたところ、Ｙ方向プロファイルの中央付近に幅１０ｍｍほどの不良部分が検出された。（図６） For example, when the determination unit determines that a portion exceeding the Y direction threshold value ± 4000 and the X direction threshold value ± 3000 is defective, a defective portion having a width of about 10 mm is detected near the center of the Y direction profile. (Fig. 6 )
次に、駆動手段１について実施の形態を説明する。
駆動手段１は、基板と撮像手段との水平方向の相対的位置関係を変える手段である。この場合、基板を動かさずに撮像手段を動かしてもいいし、撮像手段を動かさずに基板を動かしてもいい。また、両方動かしてもいい。
Next, an embodiment of the
The driving
次に、駆動手段２について実施の形態を説明する。
駆動手段２は、基板と撮像手段との垂直方向の相対的位置関係を変える手段である。この場合、基板を動かさずに撮像手段を動かしてもいいし、撮像手段を動かさずに基板を動かしてもいい。また、両方動かしてもいい。
駆動手段１、２により、基板のどの領域を撮像するかを調製する。
Next, an embodiment of the
The driving
Which region of the substrate is to be imaged is prepared by the driving means 1 and 2.
次に、撮像手段が有するズーム機構について説明する。
ズーム機構は、撮像可能な着色膜の領域の大小を変更するために設けられているものである。
Next, a zoom mechanism included in the imaging unit will be described.
The zoom mechanism is provided to change the size of the colored film area that can be imaged.
次に、撮像手段、駆動手段１、駆動手段２の少なくとも一つを制御する制御手段について実施の形態を説明する。（図２を参照）
撮像手段の制御においては、ズーム機構のズーム比やシャッターのタイミングを制御する。
駆動手段１、駆動手段２の制御においては、それぞれ、基板と撮像手段との水平方向、あるいは、垂直方向の相対的位置を変える制御を行う。
Next, an embodiment of a control unit that controls at least one of the imaging unit, the driving
In controlling the imaging means, the zoom ratio of the zoom mechanism and the timing of the shutter are controlled.
In the control of the driving means 1 and the driving means 2, control is performed to change the relative positions of the substrate and the imaging means in the horizontal direction or the vertical direction, respectively.
次に、本基板の検査装置が基板を検査する際の工程の流れの１例を示す。
検査の際は、撮像手段が着色膜の中心の真上になるように駆動手段１を移動した後、着色膜の領域がカメラの視野いっぱいになるように駆動手段２もしくはレンズのズーム比を制御する。その後、カメラのシャッターを切り画像を記録手段に保存する。画像データは、プロファイル作成手段によってプロファイルデータを作成する。
基板上に着色膜が多面付けされている場合は、上記手順を繰り返し、各面を順次検査する。
Next, an example of a process flow when the substrate inspection apparatus inspects the substrate will be described.
At the time of inspection, after moving the driving means 1 so that the imaging means is directly above the center of the colored film, the zoom ratio of the driving means 2 or the lens is controlled so that the colored film region fills the field of view of the camera. To do. Thereafter, the shutter of the camera is released and the image is stored in the recording means. The image data is created by profile creation means.
When the colored film is multifaceted on the substrate, the above procedure is repeated and each surface is inspected sequentially.
以上詳細に説明した通り、本発明の検査装置および検査方法によれば、レンズのシェーディング、光源の照度不均一やCCD素子のバックグラウンドノイズによる影響を排して基板上の着色膜に生じる帯状の濃度変化を非常に感度良く捕らえ、その程度に応じた良否判定を行うことが可能となるという効果を奏する。また、基板の面の２方向についてムラを検査できる。
As described in detail above, according to the inspection apparatus and inspection method of the present invention, the strip-like shape generated in the colored film on the substrate by eliminating the effects of lens shading, non-uniform illumination of the light source and background noise of the CCD element. There is an effect that it is possible to catch the density change with high sensitivity and to perform pass / fail judgment according to the degree. In addition, unevenness can be inspected in two directions on the surface of the substrate.
１０…駆動手段１
１１…駆動手段２
１２…カメラ、レンズ
１３…基板
１４…照明
10: Driving means 1
11: Driving means 2
12 ... Camera, lens 13 ...
Claims (6)
前記基板を支持する支持手段と、
前記基板を照射する照明手段と、
前記着色膜を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段が得た画像を記録する記録手段と、
前記記録手段によって記録された前記画像の同じＸ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＸ方向のプロファイルデータを作成し、
さらに、前記記録手段によって記録された前記画像の同じＹ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＹ方向のプロファイルデータを作成する画像処理手段と、
前記Ｘ方向のプロファイルデータと、Ｘ方向の基準プロファイルデータを対比し、
さらに、前記Ｙ方向のプロファイルデータと、Ｙ方向の基準プロファイルデータを対比して、これらプロファイルデータのうち所定の閾値を超える箇所が一定の長さ以上連続したかどうかにより、前記着色膜が良品か一定以上の幅の帯状の濃度変化部分を有する不良品かを判定するプロファイルデータ判定手段と、を有し、
前記Ｘ方向及びＹ方向の基準プロファイルデータは、予め良品であることがわかっている基板から得られたものであることを特徴とする基板検査装置。 An apparatus for inspecting a colored film provided on a substrate,
Support means for supporting the substrate;
Illumination means for irradiating the substrate;
An imaging means for imaging the colored film;
Recording means for recording the image obtained by the imaging means;
Creating one-dimensional X-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image recorded by the recording means;
And image processing means for creating one-dimensional Y-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same Y coordinate of the image recorded by the recording means;
Compare the profile data in the X direction with the reference profile data in the X direction ,
Further, the Y-direction profile data is compared with the Y-direction reference profile data, and whether or not the colored film is a non- defective product depends on whether or not a portion exceeding a predetermined threshold in the profile data continues for a certain length or more . Profile data determination means for determining whether it is a defective product having a band-shaped density change portion of a certain width or more ,
The substrate inspection apparatus, wherein the reference profile data in the X direction and the Y direction is obtained from a substrate that is known to be a good product in advance .
前記基板を支持する支持工程と、
前記基板を照射する照明工程と、
前記着色膜を撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で得た画像を記録する記録工程と、
前記記録工程によって記録された前記画像の同じＸ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＸ方向のプロファイルデータを作成し、
さらに、前記記録工程によって記録された前記画像の同じＹ座標に属する全画素の濃度値を加算することによって、１次元のＹ方向のプロファイルデータを作成する画像処理工程と、
前記Ｘ方向のプロファイルデータと、Ｘ方向の基準プロファイルデータを対比し、
さらに、前記Ｙ方向のプロファイルデータと、Ｙ方向の基準プロファイルデータを対比して、これらプロファイルデータのうち所定の閾値を超える箇所が一定の長さ以上連続したかどうかにより、前記着色膜が良品か一定以上の幅の帯状の濃度変化部分を有する不良品かを判定するプロファイルデータ判定工程と、を有し、
前記Ｘ方向及びＹ方向の基準プロファイルデータは、予め良品であることがわかっている基板から得られたものであることを特徴とする基板検査方法。 A method for inspecting a colored film provided on a substrate,
A supporting step for supporting the substrate;
An illumination process for irradiating the substrate;
An imaging step of imaging the colored film;
A recording process for recording the image obtained in the imaging process;
Creating one-dimensional X-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same X coordinate of the image recorded by the recording step;
Further, an image processing step of creating one-dimensional Y-direction profile data by adding density values of all pixels belonging to the same Y coordinate of the image recorded by the recording step;
Compare the profile data in the X direction with the reference profile data in the X direction ,
Further, the Y-direction profile data is compared with the Y-direction reference profile data, and whether or not the colored film is a non- defective product depends on whether or not a portion exceeding a predetermined threshold in the profile data continues for a certain length or more . A profile data determination step for determining whether or not the defective product has a strip-shaped density change portion having a width greater than a certain width ,
The substrate inspection method, wherein the reference profile data in the X direction and the Y direction is obtained from a substrate that is known to be a good product in advance .
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