JP2003341069A - ノズルプレート及びその製造方法並びにインクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 印刷品質を向上すると共にコストを低減した
ノズルプレート及びその製造方法並びにインクジェット
ヘッドを提供する。 【解決手段】 所定のノズル開口群２５毎の加工を複数
回繰り返して形成された液滴を吐出する複数のノズル開
口２４を有するノズルプレート２３において、隣り合う
前記液滴の着弾位置が並設方向に理想のピッチとなる隣
接する前記ノズル開口２４同士の設計上の間隔である基
準ピッチに対して、前記ノズル開口群２５内の隣接する
ノズル開口２４同士の間隔であるノズルピッチｄを広
げ、且つ前記ノズル開口群２５の端部のノズル開口２４
ａと、これに隣接するノズル開口群２５の端部のノズル
開口２４ｂとの間隔である加工ピッチＬｉを狭める。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに設けられてインク滴を吐出するノズルプレート及
びその製造方法並びにインクジェットヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、インク滴を吐出する複数のノ
ズル開口を有するノズルプレートの設けられたインクジ
ェットヘッドを用いて被記録媒体に文字や画像を記録す
るインクジェット式記録装置が知られている。

【０００３】このようなインクジェットヘッドでは、ノ
ズルプレートのノズル開口の位置によって、インク滴の
着弾位置に誤差が生じ、記録品質を低下させてしまう。

【０００４】また、ノズル開口の形成精度によっては、
インク滴の吐出方向も変化してしまうため、インク滴の
着弾位置に誤差が生じてしまう。

【０００５】このため、インクジェットヘッドに用いら
れるノズルプレートには、ノズル開口をμｍオーダの精
密な加工により形成する必要があり、従来では、例え
ば、エキシマレーザ等のレーザ光を照射することにより
ノズル開口の形成を高精度に行っていた。

【０００６】しかしながら、このようなレーザ光を用い
たノズル開口の形成では、レーザ加工装置によってノズ
ル開口を一つずつ形成すると製造時間がかかり、高コス
トになってしまうという問題がある。

【０００７】このため、複数のノズル開口を同時に加工
してノズル開口群を形成し、このノズル開口群を複数繰
り返し形成することで、製造コストを低減していた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ノズル
開口群の加工単位毎に形成されるノズル開口の特性に僅
かな差があり、吐出される液滴の吐出特性に変化が生じ
てしまう。このような変化を加工時にコントロールする
には時間がかかり高コストになってしまうため、コント
ロールするのは現実的には困難であるという問題があ
る。

【０００９】このため、隣接するノズル開口群同士の間
隔である加工ピッチの精度をいくら良くしても、ノズル
開口群の加工単位毎に粗密の誤差が生じてしまう。この
とき、インク滴の着弾位置は、加工ピッチが狭まる方向
の誤差が生じても見た目上では特に問題ないが、広がる
方向に誤差が生じた場合、ノズルプレートを用いたイン
クジェットヘッドによって被記録媒体に印字すると、隣
り合うノズル開口群同士の間にスジ状の印字されない領
域が発生して印刷品質が低下してしまうという問題があ
る。

【００１０】本発明はこのような事情に鑑み、印刷品質
を向上すると共にコストを低減したノズルプレート及び
その製造方法並びにインクジェットヘッドを提供するこ
とを課題とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の第１の態様は、所定のノズル開口群毎の加工を複数
回繰り返して形成された液滴を吐出する複数のノズル開
口を有するノズルプレートにおいて、隣り合う前記液滴
の着弾位置が並設方向に理想のピッチとなる隣接する前
記ノズル開口同士の設計上の間隔である基準ピッチに対
して、前記ノズル開口群内の隣接するノズル開口同士の
間隔であるノズルピッチを広げ、且つ前記ノズル開口群
の端部のノズル開口と、これに隣接するノズル開口群の
端部のノズル開口との間隔である加工ピッチを狭めたこ
とを特徴とするノズルプレートにある。

【００１２】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記ノズルピッチｄ、前記基準ピッチｐ、前記ノズ
ル開口群のノズル開口数ｎ、前記ノズル開口群の端部の
ノズル開口と、これに隣接するノズル開口群の端部のノ
ズル開口とのインク滴の着弾位置の誤差ｅとすると、前
記加工ピッチＬｉが下記式（１）を満たし、且つ前記ノ
ズルピッチｄが下記式（２）を満たすことを特徴とする
ノズルプレートにある。

【００１３】

【数４】

【００１４】

【数５】

【００１５】本発明の第３の態様は、第２の態様におい
て、前記加工ピッチが下記式（３）を満たすことを特徴
とするノズルプレートにある。

【００１６】

【数６】

【００１７】本発明の第４の態様は、第１〜３の何れか
の態様において、前記ノズル開口が並設されたノズル列
が２列並列されていることを特徴とするノズルプレート
にある。

【００１８】本発明の第５の態様は、第４の態様におい
て、前記ノズル列の全てのノズル開口が並列方向の位置
が異なることを特徴とするノズルプレートにある。

【００１９】本発明の第６の態様は、第４又は５の態様
において、前記ノズルピッチが一方のノズル列のノズル
開口と、これに並設方向に隣接する他方のノズル列のノ
ズル開口との間隔であり、且つ前記加工ピッチが一方の
ノズル列の前記ノズル開口群と、他方のノズル列の前記
ノズル開口群との間隔であることを特徴とするノズルプ
レートにある。

【００２０】本発明の第７の態様は、第１〜６の何れか
の態様において、前記ノズル開口がレーザ加工により形
成されていることを特徴とするノズルプレートにある。

【００２１】本発明の第８の態様は、第１〜７の何れか
の態様のノズルプレートを具備するインクジェットヘッ
ドにある。

【００２２】本発明の第９の態様は、所定のノズル開口
群毎の加工を複数回繰り返して形成された液滴を吐出す
る複数のノズル開口を有するノズルプレートの製造方法
において、前記隣り合う液滴の着弾位置が並設方向に理
想のピッチとなる隣接する前記ノズル開口同士の設計上
の間隔である基準ピッチに対して、前記ノズル開口群内
の隣接するノズル開口同士の間隔であるノズルピッチを
広げて形成すると共に、前記ノズル開口群の端部のノズ
ル開口と、これに隣接するノズル開口群の端部のノズル
開口との間隔である加工ピッチを狭めて形成することを
特徴とするノズルプレートの製造方法にある。

【００２３】本発明の第１０の態様は、第９の態様にお
いて、前記ノズル開口が並設されたノズル列を２列並列
して形成することを特徴とするノズルプレートの製造方
法にある。

【００２４】本発明の第１１の態様は、第１０の態様に
おいて、前記ノズル列の全てのノズル開口が並列方向の
位置が異なるように形成することを特徴とするノズルプ
レートの製造方法にある。

【００２５】本発明の第１２の態様は、第９〜１１の何
れかの態様において、前記ノズル開口をレーザ加工によ
り形成することを特徴とするノズルプレートの製造方法
にある。

【００２６】かかる本発明では、ノズル開口群内の隣接
するノズル開口同士のノズルピッチを広げると共に、隣
接するノズル開口群同士の加工ピッチを狭めることで、
インク滴の着弾位置の誤差が広がる方向に生じても、被
記録媒体に印刷した際のノズル開口群同士の間にスジ状
の印字されない領域が生じるのを防止して印刷品質を向
上すると共に製造コストを低減することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下に本発明を実施形態に基づい
て詳細に説明する。

【００２８】（実施形態１）図１は、実施形態１に係る
インクジェットヘッドの分解斜視図であり、図２は、実
施形態１に係るヘッドチップの分解斜視図及び要部拡大
断面斜視図である。

【００２９】図示するように、本実施形態のインクジェ
ットヘッド１０は、ヘッドチップ１１と、このヘッドチ
ップ１１の一方面側に設けられるベースプレート１２
と、ヘッドチップ１１の他方面側に設けられるヘッドカ
バー１３と、ヘッドチップ１１を駆動するための駆動回
路１４が設けられた配線基板１５とを具備する。

【００３０】まず、ヘッドチップ１１について詳しく説
明する。

【００３１】図２に示すように、ヘッドチップ１１を構
成する圧電セラミックプレート１６には、ノズル開口２
４に連通してインク滴を吐出する複数の溝１７が並設さ
れ、各溝１７は側壁１８で隔離されている。各溝１７の
側壁１８には、溝１７の開口側に長手方向に亘って駆動
電界印加用の電極１９が設けられている。

【００３２】圧電セラミックプレート１６に形成された
溝１７は、例えば、円盤状のダイスカッターにより形成
され、深さが徐々に浅くなった部分は、ダイスカッター
の形状により形成されてしまう。また、各溝１７内に形
成される電極１９は、例えば、公知の斜め方向からの蒸
着により形成される。

【００３３】圧電セラミックプレート１６の溝１７の開
口側には、インク室プレート２０が接合されている。イ
ンク室プレート２０には、各溝１７の浅くなった他端部
のみと連通する凹部となるインク室２１と、このインク
室２１の底部から溝１７とは反対方向に貫通するインク
供給口２２とを有する。

【００３４】ここで、本実施形態では、各溝１７は、ブ
ラック（Ｂ）、イエロー（Ｙ）、マゼンダ（Ｍ）、シア
ン（Ｃ）の各色のインクに対応したグループに分かれて
おり、インク室２１及びインク供給口２２は、それぞれ
４つずつ設けられている。

【００３５】なお、インク室プレート２０は、セラミッ
クプレート以外の材質で形成することができるが、圧電
セラミックプレート１６との接合後の変形等を考える
と、熱膨張率の近似したセラミックプレートを用いるの
が好ましい。

【００３６】また、圧電セラミックプレート１６とイン
ク室プレート２０との接合体の溝１７が開口している端
面には、ノズルプレート２３が接合されており、ノズル
プレート２３の各溝１７に対向する位置にはノズル開口
２４が形成されている。

【００３７】本実施形態では、ノズルプレート２３は、
圧電セラミックプレート１６とインク室プレート２０と
の接合体の溝１７が開口している端面の面積よりも大き
くなっている。このノズルプレート２３は、ポリイミド
フィルムなどに、例えば、エキシマレーザ装置を用いて
所定のノズル開口群毎の加工を複数回繰り返して形成す
ることで、ノズル開口２４を形成したものである。

【００３８】ここで、ノズルプレート２３について詳細
に説明する。なお、図３は、ノズルプレートの平面図で
ある。

【００３９】図示するように、ノズル開口２４は、ノズ
ル開口２４から吐出された液滴の被記録媒体への着弾位
置が並設方向に理想のピッチとなる隣接するノズル開口
２４同士の設計上の間隔である基準ピッチに対して、ノ
ズル開口群２５内の隣接するノズル開口２４同士の間隔
であるノズルピッチを広げ、且つノズル開口群２５の端
部のノズル開口２４ａと、これに隣接するノズル開口群
２５の端部のノズル開口２４ｂとの間隔である加工ピッ
チを狭めるように形成されている。

【００４０】詳しくは、ノズル開口２４は、基準ピッチ
ｐ、ノズル開口群のノズル開口数ｎ、ノズル開口群２５
の端部のノズル開口２４ａと、これに隣接するノズル開
口群２５の端部のノズル開口２４ｂとのインク滴の着弾
位置の誤差ｅとすると、加工ピッチＬｉは下記式（１）
を満たし、且つノズルピッチｄは下記式（２）を満たす
ように形成される。

【００４１】

【数７】

【００４２】

【数８】

【００４３】例えば、ノズルプレート２３が１８０ｄｐ
ｉの印刷ができるとすると基準ピッチｐは１４１．１μ
ｍとなり、ノズル開口群のノズル開口数ｎが３０、イン
ク滴の着弾位置の誤差ｅが１０μｍとすると、上記式
（１）及び式（２）から、Ｌｉ＝ｐ−ｅとした場合、加
工ピッチＬｉは、１３１．１μｍとなり、ノズルピッチ
ｄは、１４１．４μｍとなる。

【００４４】なお、上記ノズルピッチｄは、正確には式
（２）より１４１．４４４８・・μｍとなるが、これは
現実的には制御困難な値であるので１４１．４μｍとし
た。この場合、丸めた誤差の影響が出るが、加工ピッチ
Ｌｉを１３２．４μｍとするとこにより影響を無くすこ
とができる。これについては詳しくは後述する。

【００４５】このように、ノズル開口群２５内の隣接す
るノズル開口２４のノズルピッチｄを均等に微少に広
げ、このノズルピッチｄを広げた分、加工ピッチＬｉを
狭めるようにしたため、被記録媒体に印刷した際に、隣
接するノズル開口群２５同士の間にスジ状の印字されな
い領域が生じることなく、印刷品質を向上することがで
きる。

【００４６】また、ノズル開口群２５毎にノズル開口２
４を形成するため、製造コストを低減することができ
る。

【００４７】なお、本実施形態では、誤差ｅが１０μｍ
の場合、加工ピッチＬｉを基準ピッチｐより１０μｍ狭
めるようにしたが、加工ピッチＬｉは、上記式（１）よ
り、基準ピッチｐより５〜２０μｍ狭めるようにすれ
ば、同様の効果を得ることができ、さらに好ましくは、
加工ピッチＬｉを下記式（３）を満たすように、すなわ
ち、基準ピッチｐより１０〜１５μｍ狭めるようにすれ
ば、より顕著な効果を得ることができる。

【００４８】

【数９】

【００４９】また、図示しないが、ノズルプレート２３
の被印刷物に対向する面には、インクの付着等を防止す
るために撥水性を有する撥水膜が設けられている。

【００５０】また、本実施形態では、図２に示すよう
に、圧電セラミックプレート１６とインク室プレート２
０との接合体の溝１７が開口している端部の周囲には、
ノズル支持プレート２６が配置されている。このノズル
支持プレート２６は、ノズルプレート２４の接合体端面
の外側と接合されて、ノズルプレート２４を安定して保
持するためのものである。

【００５１】このような構成のヘッドチップ１１は、ま
ず、圧電セラミックプレート１６とインク室プレート２
０とを接合し、その接合体の端面にノズルプレート２３
を接合する。次いで、ノズルプレート２３の外側面、及
び圧電セラミックプレート１６とインク室プレート２０
との接合体にノズル支持プレート２６を嵌合接着するこ
とにより形成される。

【００５２】ここで、ノズルプレート２３の製造方法に
ついて詳細に説明する。なお、図４は、ノズルプレート
の製造方法を示す平面図である。

【００５３】図４（ａ）に示すように、ポリイミドフィ
ルムからなるノズルプレート２３に１つ目の第１ノズル
開口群２５ａを形成する。

【００５４】この第１ノズル開口群２５ａは、隣接する
ノズル開口２４同士のノズルピッチｄ_１が、基準ピッチ
ｐ、インク滴の着弾位置の誤差ｅ、ノズル開口群２５ａ
のノズル開口数ｎとすると上記式（１）及び（２）を満
たすように形成する。

【００５５】例えば、本実施形態では、ノズルプレート
２３が１８０ｄｐｉの印刷を行うとすると基準ピッチｐ
が１４１．１μｍとなり、また、ノズル開口群２５ａの
ノズル開口数ｎが３０、インク滴の着弾位置の誤差ｅが
１０μｍの場合、式（１）を満たすように加工ピッチＬ
ｉを上記誤差分（１０μｍ）縮めた１３１．１μｍとす
ると、式（２）よりノズルピッチｄ_１は、１４１．４４
５μｍとなる。

【００５６】次いで、図４（ｂ）に示すように、ノズル
プレート２３に第１ノズル開口群２５ａに隣接する２つ
目の第２ノズル開口群２５ｂを形成する。

【００５７】この第２ノズル開口群２５ｂも、第１ノズ
ル開口群２５ａのノズルピッチｄ_１と同様のノズルピッ
チｄ_２で形成し、且つ第１ノズル開口群２５ａの端部の
ノズル開口２４ａと、第２ノズル開口群２５ｂの端部の
ノズル開口２４ｂとの隙間である加工ピッチＬｉ_１を上
記式（１）を満たすように形成する。本実施形態では、
加工ピッチＬｉ_１をｐ−ｅとしたため、１３１．１μｍ
で形成した。

【００５８】このように、第１ノズル開口群２５ａのノ
ズルピッチｄ_１を広げた分、第１ノズル開口群２５ａと
第２ノズル開口群２５ｂとの加工ピッチＬｉ_１を狭め
た。

【００５９】次いで、図４（ｃ）に示すように、ノズル
プレート２３に第２のノズル開口群２５ｂに隣接する３
つ目の第３ノズル開口群２５ｃを形成する。

【００６０】この第３ノズル開口群２５ｃも、第１及び
第２ノズル開口群２５ａ及び２５ｂのノズルピッチｄ_１
及びｄ_２と同様のノズルピッチｄ_３で形成し、且つ第２
ノズル開口群２５ｂの端部のノズル開口２４ｃと、第３
ノズル開口群２５ｃの端部のノズル開口２４ｄとの隙間
である加工ピッチＬｉ_２を上記式（１）を満たすように
形成する。本実施形態では、加工ピッチＬｉ_２もｐ−ｅ
としたため、加工ピッチＬｉ_１と同様に１３１．１μｍ
で形成した。

【００６１】このように、第２ノズル開口群２５ｂのノ
ズルピッチｄ_２を広げた分、第２ノズル開口群２５ｂと
第３ノズル開口群２５ｃとの加工ピッチＬｉ_２を狭め
た。

【００６２】このようなノズル開口群２５ａ〜２５ｃを
複数回繰り返し形成することで、ノズルプレート２３に
ノズル開口２４を形成することができる。 このとき、
ノズル開口群２５ａ〜２５ｃのノズルピッチｄ_１〜ｄ_３
は、ノズル開口群２５ａ〜２５ｃ内のノズル開口２４同
士の間隔の数で均等に微少に広げたため、印字品質に悪
影響を及ぼすことなく、ノズル開口群２５ａ〜２５ｃ同
士の間隔である加工ピッチＬｉ_１及びＬｉ_２を狭めて、
印字品質を向上することができる。

【００６３】また、ノズル開口群２５ａ〜２５ｃと、同
時に複数個のノズル開口２４を形成することで製造コス
トを低減することができる。

【００６４】なお、本実施形態では、ノズルピッチｄ_１
〜ｄ_３を１４１．４４５μｍとして説明したが、この値
を指定するのが困難な場合は、ノズルピッチｄ_１〜ｄ_３
を１４１．４μｍとし、加工ピッチＬｉ_１及びＬｉ_２を
１３２．４μｍとしても良い。以下にその理由を説明す
る。

【００６５】図４（ｂ）において、第１ノズル開口群２
５ａの左端のノズル開口２４ｅと、第２ノズル開口群２
５ｂの左端のノズル開口２４ｂとの距離の理想値は、基
準ピッチｐのｎ倍であることは言うまでもない。前述の
式（１）及び（２）は、この関係を満たすように設定さ
れている。すなわち、ノズル開口２４ｅとノズル開口４
ｂとの距離は、ｄｘ（ｎ−１）＋Ｌｉで表され、式
（２）を代入すると、ｐ×ｎとなる。したがって、ノズ
ルピッチｄの丸めた値分（本実施形態では少なくした分
＝約１．３μｍ）、加工ピッチを増加させれば全体のノ
ズルピッチは精度を保つことが出来、加工ピッチは１３
１．１＋１．３＝１３２．４μｍとなる。

【００６６】また、加工ピッチが式（３）を満たすよう
にするためには、加工ピッチを１２９．５μｍとし、ノ
ズルピッチを１４１．５μｍすれば良い。

【００６７】以下に、このようなノズルプレート２３を
具備するヘッドチップ１１を用いた本実施形態のインク
ジェットヘッド１０について説明する。なお、図５は、
インクジェットヘッドの製造工程の一例を示す斜視図で
ある。

【００６８】図１及び図５に示すように、本実施形態の
インクジェットヘッド１０は、ヘッドチップ１１を構成
する圧電セラミックプレート１６のノズル開口２４側と
は反対側の端部には電極１９に接続される図示しない配
線パターンが形成されており、この配線パターンには異
方性導電膜２７を介してフレキシブルケーブル２８が接
合される。

【００６９】また、圧電セラミックプレート１６とイン
ク室プレート２０との接合体のノズル支持プレート２６
の後端側には、圧電セラミックプレート１６側のアルミ
ニウム製のベースプレート１２と、インク室プレート２
０側のヘッドカバー１３とが組み付けられる。ベースプ
レート１２とヘッドカバー１３とは、ベースプレート１
２の係止孔１２ａにヘッドカバー１３の係止シャフト１
３ａを係合することにより固定され、両者で圧電セラミ
ックプレート１６とインク室プレート２０との接合体を
挟持する。ヘッドカバー１３には、インク室プレート２
０のインク供給口２２のそれぞれに連通するインク導入
路２９が設けられている。

【００７０】また、図５（ａ）に示すように、圧電セラ
ミックプレート１６の後端部側に突出したベースプレー
ト１２上には、配線基板１５が固着される。ここで、配
線基板１５上にはヘッドチップ１１を駆動するための駆
動ＩＣを有する駆動回路１４が搭載され、駆動回路１４
とフレキシブルケーブル２８とが異方性導電接着膜３０
を介して接続される。すなわち、圧電セラミックプレー
ト１６の電極１９から引き出された配線パターンと駆動
回路１４とが、フレキシブルケーブル２８を介して接続
される。これにより、図５（ｂ）のインクジェットヘッ
ド１０が完成する。

【００７１】このようなインクジェットヘッド１０は、
インクカートリッジを保持するタンクホルダ３１に組み
付けられてヘッドユニット４０が形成される。

【００７２】このタンクホルダの一例を図６に示す。図
６に示すタンクホルダ３１は、一方面が開口した略箱形
形状をなし、インクカートリッジが着脱自在に保持可能
なものである。また、底壁上面には、インクカートリッ
ジの底部に形成された開口部であるインク供給口と連結
する連結部３２が設けられている。連結部３２は、例え
ば、ブラック（Ｂ）、イエロー（Ｙ）、マゼンダ
（Ｍ）、シアン（Ｃ）の各色のインク毎に設けられてい
る。連結部３２内には図示しないインク流路が形成さ
れ、その開口となる連結部３２の先端には、フィルタ３
３が設けられている。また、連結部３２内に形成された
インク流路は底壁の裏面側まで連通して形成され、各イ
ンク流路は、タンクホルダ３１の裏面側に設けられた流
路基板３４内の図示しないインク流路を介して流路基板
３４の側壁に開口するヘッド連結口３５に連通する。こ
のヘッド連結口３５はタンクホルダ３１の側面側に開口
し、当該側壁の底部には、上述したインクジェットヘッ
ド１０を保持するインクジェットヘッド保持部３６が設
けられている。インクジェットヘッド保持部３６は、配
線基板１５上に設けられた駆動回路１４を包囲する略コ
字状に立設された包囲壁３７と、包囲壁３７内にあって
インクジェットヘッド１０のベースプレート１２及び配
線基板１５に設けられた係止孔１２ｂと係合する係合シ
ャフト３８が立設されている。

【００７３】従って、このインクジェットヘッド保持部
３６にインクジェットヘッド１０を搭載してヘッドユニ
ット４０が完成する。このとき、ヘッドカバー１３に形
成されたインク導入路２９が流路基板３４のヘッド連結
口３５に連結される。これにより、タンクホルダ３１の
連結部３２を介してインクカートリッジから導入された
インクは、流路基板３４内のインク流路を通ってインク
ジェットヘッド１０のインク導入路２９に導入され、イ
ンク室２１を介して溝１７内に充填される。

【００７４】そして、このようなヘッドユニット４０
は、インクジェット式記録装置に搭載されて被記録媒体
に文字及び画像を記録することができる。

【００７５】（実施形態２）図７は、実施形態２に係る
ノズルプレートの平面図である。

【００７６】図示するように、本実施形態のノズルプレ
ート２３Ａには、ノズル開口２４Ａが並設されたノズル
列５０、５１が２列設けられている。

【００７７】このようなノズル列５０、５１は、全ての
ノズル開口２４Ａが並列方向の位置が異なるように配置
されており、本実施形態では、一方のノズル列５０の隣
接するノズル開口２４Ａのノズルピッチの略中央に他方
のノズル列５１のノズル開口２４Ａが配置されている。

【００７８】すなわち、ノズルプレート２３Ａのノズル
開口２４Ａは、ノズルピッチが上述した実施形態１の略
半分で、且つノズル開口数が２倍の３６０ｄｐｉの印刷
を行うことができる。

【００７９】このような２列のノズル列５０、５１も、
所定のノズル開口群２５Ａを複数回繰り返し形成するこ
とで形成されている。

【００８０】このような構成のノズルプレート２３Ａで
は、ノズル列５０、５１のそれぞれのノズルピッチｄ及
び加工ピッチＬｉは、上記式（１）及び式（２）、好ま
しくは式（３）を満たすように形成される。

【００８１】すなわち、ノズル列５０のノズル開口２４
Ａと、ノズル列５１のノズル開口２４Ａとの間隔はｄ／
２となり、ノズル列５０のノズル開口群２５Ａの端部の
ノズル開口２４Ａと、ノズル列５１のノズル開口群２５
Ａの端部のノズル開口２４Ａとの間隔はＬｉ／２とな
る。

【００８２】このように、本実施形態でも、ノズル列５
０、５１のそれぞれで、基準ピッチｐに対して、ノズル
ピッチｄを広げることで、加工ピッチＬｉを狭め、ノズ
ルピッチｄを微少量だけ広げて印刷品質に悪影響を及ぼ
すのを防止して、隣接するノズル開口群同士の間にスジ
状の印刷されない領域が生じるのを防止して印刷品質を
向上すると共に製造コストを低減することができる。

【００８３】なお、本実施形態では、ノズルプレート２
３Ａにノズル列５０、５１を形成したが、これに限定さ
れず、上述した実施形態１のインクジェットヘッドをノ
ズル列５０、５１と同様の配置となるように２個並設す
るようにしてもよい。

【００８４】（他の実施形態）以上、本発明の実施形態
１及び２を説明したが、ノズルプレート及びその製造方
法並びにインクジェットヘッドの基本的構成は上述した
ものに限定されるものではない。

【００８５】例えば、上述した実施形態１及び２のノズ
ルプレート２３、２３Ａを具備するインクジェットヘッ
ドを走査方向に移動する１パス印刷を複数パス行ったと
しても、同様の効果を得ることができる。

【００８６】また、上述した実施形態１及び２では、イ
ンクカートリッジ型のインクジェットヘッドを例示した
が、特にこれに限定されず、例えば、インクを貯留する
インクタンクが別途設けられたインクジェットヘッドで
もよく、また、インクジェットヘッドが移動するシリア
ル型インクジェット式記録装置に搭載されるインクジェ
ットヘッドや、インクジェットヘッドが固定されるライ
ン型のインクジェットヘッド等、特に限定されない。

【００８７】さらに、上述した実施形態１及び２のイン
クジェットヘッドでは、圧電セラミックプレート１６に
溝１７を形成したインクジェットヘッド１０を例示した
が、これに限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材
料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の
インクジェットヘッドや発熱素子等の発熱で発生するバ
ブルによってインク滴を吐出させるインクジェットヘッ
ド等、種々の構造のインクジェットヘッドにノズルプレ
ートを適用することができることは言うまでもない。

【００８８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、ノズ
ル開口群内の隣接するノズル開口同士のノズルピッチを
広げると共に、隣接するノズル開口群同士の加工ピッチ
を狭めることで、インク滴の着弾位置の誤差が広がる方
向に生じても、被記録媒体に印刷した際のノズル開口群
同士の間にスジ状の印字されない領域が生じるのを防止
して印刷品質を向上すると共に製造コストを低減するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態１に係るインクジェットヘッ
ドの分解斜視図である。

【図２】本発明の実施形態１に係るヘッドチップの分解
斜視図及び要部拡大断面斜視図である。

【図３】本発明の実施形態１に係るノズルプレートの平
面図である。

【図４】本発明の実施形態１に係るノズルプレートの製
造方法を示す平面図である。

【図５】本発明の実施形態１に係るインクジェットヘッ
ドの製造工程の一例を示す斜視図である。

【図６】本発明の実施形態１に係るタンクホルダの斜視
図及びヘッドユニットの斜視図である。

【図７】本発明の実施形態２に係るノズルプレートの平
面図である。

【符号の説明】

１０ インクジェットヘッド １１ ヘッドチップ １２ ベースプレート １３ ヘッドカバー １６ 圧電セラミックプレート １７ 溝 １８ 側壁 １９ 電極 ２０ インク室プレート ２３、２３Ａ ノズルプレート ２４、２４Ａ、２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ、２４
ｅ ノズル開口 ２５、２５Ａ、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ ノズル開口群 ３１ タンクホルダ ５０、５１ ノズル列

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定のノズル開口群毎の加工を複数回繰
   り返して形成された液滴を吐出する複数のノズル開口を
   有するノズルプレートにおいて、 隣り合う前記液滴の着弾位置が並設方向に理想のピッチ
   となる隣接する前記ノズル開口同士の設計上の間隔であ
   る基準ピッチに対して、前記ノズル開口群内の隣接する
   ノズル開口同士の間隔であるノズルピッチを広げ、且つ
   前記ノズル開口群の端部のノズル開口と、これに隣接す
   るノズル開口群の端部のノズル開口との間隔である加工
   ピッチを狭めたことを特徴とするノズルプレート。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記ノズルピッチ
   ｄ、前記基準ピッチｐ、前記ノズル開口群のノズル開口
   数ｎ、前記ノズル開口群の端部のノズル開口と、これに
   隣接するノズル開口群の端部のノズル開口とのインク滴
   の着弾位置の誤差ｅとすると、前記加工ピッチＬｉが下
   記式（１）を満たし、且つ前記ノズルピッチｄが下記式
   （２）を満たすことを特徴とするノズルプレート。 【数１】 【数２】
3. 【請求項３】 請求項２において、前記加工ピッチが下
   記式（３）を満たすことを特徴とするノズルプレート。 【数３】
4. 【請求項４】 請求項１〜３の何れかにおいて、前記ノ
   ズル開口が並設されたノズル列が２列並列されているこ
   とを特徴とするノズルプレート。
5. 【請求項５】 請求項４において、前記ノズル列の全て
   のノズル開口が並列方向の位置が異なることを特徴とす
   るノズルプレート。
6. 【請求項６】 請求項４又は５において、前記ノズルピ
   ッチが一方のノズル列のノズル開口と、これに並設方向
   に隣接する他方のノズル列のノズル開口との間隔であ
   り、且つ前記加工ピッチが一方のノズル列の前記ノズル
   開口群と、他方のノズル列の前記ノズル開口群との間隔
   であることを特徴とするノズルプレート。
7. 【請求項７】 請求項１〜６の何れかにおいて、前記ノ
   ズル開口がレーザ加工により形成されていることを特徴
   とするノズルプレート。
8. 【請求項８】 請求項１〜７の何れかのノズルプレート
   を具備するインクジェットヘッド。
9. 【請求項９】 所定のノズル開口群毎の加工を複数回繰
   り返して形成された液滴を吐出する複数のノズル開口を
   有するノズルプレートの製造方法において、 前記隣り合う液滴の着弾位置が並設方向に理想のピッチ
   となる隣接する前記ノズル開口同士の設計上の間隔であ
   る基準ピッチに対して、前記ノズル開口群内の隣接する
   ノズル開口同士の間隔であるノズルピッチを広げて形成
   すると共に、前記ノズル開口群の端部のノズル開口と、
   これに隣接するノズル開口群の端部のノズル開口との間
   隔である加工ピッチを狭めて形成することを特徴とする
   ノズルプレートの製造方法。
10. 【請求項１０】 請求項９において、前記ノズル開口が
    並設されたノズル列を２列並列して形成することを特徴
    とするノズルプレートの製造方法。
11. 【請求項１１】 請求項１０において、前記ノズル列の
    全てのノズル開口が並列方向の位置が異なるように形成
    することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
12. 【請求項１２】 請求項９〜１１の何れかにおいて、前
    記ノズル開口をレーザ加工により形成することを特徴と
    するノズルプレートの製造方法。