JPH09254413A

JPH09254413A - 階調記録に用いるインクジェットヘッド、インクジェットヘッドカートリッジ、インクジェット装置およびインクジェット記録方法

Info

Publication number: JPH09254413A
Application number: JP9005435A
Authority: JP
Inventors: Masayoshi Tachihara; 昌義立原; Yasuyuki Tamura; 泰之田村
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-01-16
Filing date: 1997-01-16
Publication date: 1997-09-30

Abstract

(57)【要約】【課題】異なる吐出量のインクを適切な速度で吐出で
き、然も高速にリフィルを行うことが可能なインクジェ
ットヘッドを提供する。【解決手段】吐出口にインクを導くための複数のイン
ク流路と、吐出口と吐出口に対して設けられインク路内
のインクに対して熱エネルギーを作用させることによっ
てインクを吐出するための気泡を発せさせる発熱素子と
で構成される吐出部とを有すと共に、インク流路のそれ
ぞれにインク吐出量の異なる前記インク吐出部が複数設
けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は気泡の発生に伴う圧
力によりインク液滴を吐出し、被記録材に記録を行うイ
ンクジェットヘッド、インクジェットヘッドカートリッ
ジおよびインクジェット装置およびインクジェット記録
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットヘッドはヒーターに電気
エネルギーを与えて気泡を発生させ、その気泡の圧力に
よりインク滴を吐出し、被記録材に記録を行うもので、
その動作の静粛性、高密度化への対応可能性、カラー化
への容易性等により多く用いられている。

【０００３】インクジェットヘッドをエネルギー効率良
く、高速に安定して駆動させるために、更には高密度の
記録を行うために従来から種々の工夫がなされてきた。

【０００４】インクジェットヘッドを用いて階調記録を
行う方法として特開昭５５−１３２２５８号公報や特開
昭６３−１６０８５３号公報に、１つのインク流路内に
ヒーターを幅や厚みに勾配を持たせているヒーターを配
置したり、複数個配置のヒーターを配置したりした記録
液噴射ヘッドが開示されている。

【０００５】又、一般的にインク液滴の吐出を効率良く
行う一手法として特開平５−１６３６５号公報等に示さ
れているように、気泡が成長していく過程で大気に連通
する方法がある。この方法は発熱抵抗体と吐出口との距
離が短いのでヒーターに与える電気エネルギーに対する
気泡のする仕事の割合は、それ以前の記録液噴射ヘッド
に比較すると良好である。また、ヒーターと吐出口の間
のインクをほとんど全部吐出するので吐出インクの体積
を安定化させる利点があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では以下のような解決すべき課題があった。

【０００７】まず、気泡を大気に連通させてインクの吐
出を行うヘッドにおいては小さな液滴（１５×１０^-15
ｍ³以下）のインクを吐出させる場合は比較的良好であ
るが、比較的大きな液滴のインクを吐出させようとする
と、吐出口を大きくする必要が生じ、その結果、吐出口
の大きさがヒーターと吐出口との距離を大きく越えて吐
出液滴が扁平になり、吐出方向が不安定になる。またリ
フィル時の毛管力が低下してリフィル時間が長くなり、
高速記録ができなくなる。

【０００８】逆に非常に小さな液滴を吐出させる吐出口
を高密度に配列させたヘッドの場合、従来はインク流路
と吐出口が１対１で対応しているため各インク流路が細
くなり、流路抵抗が高くなり、リフィル時間が長くな
る。

【０００９】次に、階調記録を行うため、１つの吐出口
に連通した１つのインク流路内に、幅や厚みに勾配を持
たせているヒーターを配置したり、複数個のヒーターを
配置したりしたヘッドの場合、吐出インク滴の体積と飛
翔速度には相関があるため、この影響により記録画像品
位が低下してしまう。

【００１０】すなわち、大きな液滴を適正な吐出速度で
飛翔させることを規準とすると、小さな液滴の飛翔速度
は低くなり吐出方向が不安定になり、画像が安定しにく
くなる。逆に、小さな液滴を適正な吐出速度で飛翔させ
ることを規準にすると、大きな液滴の飛翔速度が著しく
上がり、被記録材上への着弾時にいわゆる飛び跳ねが起
きて画像が汚くなり易くなる。

【００１１】本発明の目的は、小さな体積から大きな体
積のインクを適正な速度で吐出でき、かつ、高速でリフ
ィル可能なインクジェットヘッド、インクジェットヘッ
ドカートリッジ、インクジェット装置およびインクジェ
ット記録方法を提供することにある。また、本発明の目
的は、特に階調記録を良好に行うことができる記録液噴
射ヘッド等を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のインクジェットヘッドは以下のようなもので
ある。

【００１３】吐出口にインクを導くための複数のインク
流路と、前記吐出口と該吐出口に対して設けられ前記イ
ンク路内のインクに対して熱エネルギーを作用させるこ
とによってインクを吐出するための気泡を発せさせる発
熱素子とで構成される吐出部とを有すと共に、インク流
路のそれぞれにインク吐出量の異なる前記インク吐出部
が複数設けられているヘッドである。

【００１４】また、本発明のインクジェットヘッドカー
トリッジは、上述のインクジェットヘッドと、インクジ
ェットヘッドに供給されるインクを保持するインク容器
とを有するヘッドカートリッジであり、また本発明のイ
ンクジェット装置は上述のインクジェットヘッドと、吐
出されたインクを受ける被記録媒体を搬送する被記録媒
体搬送手段とを有する装置である。

【００１５】さらに、本発明のインクジェット記録方法
は、インクを吐出するための熱を発生する発熱素子とイ
ンクが吐出される吐出口とで構成される吐出部が、１つ
のインク流路に対して複数設けられたヘッドを用い、前
記複数の吐出部を選択的に駆動することで異なる量のイ
ンクを前記吐出口から吐出して記録を行う記録方法であ
る。

【００１６】（作用）このような構成および方法によっ
て、大きさが異なるインク液滴を良好に吐出することが
できることで、高画質な階調記録を達成することができ
る。また、吐出口自体も高密度に配列することができる
ため、さらに高精細記録を達成することができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施例を図面を
参照して詳述する。

【００１８】（第１の実施例）図１は本発明に係るイン
クジェットヘッドの第１の実施例を説明するための図
で、図（ａ）は平面図、図（ｂ）は図（ａ）のＡ−Ａ’
線断面図である。

【００１９】本ヘッドはシリコン基板１に異方性エッチ
ングによってインク供給口２を形成している。幅５７．
１μｍのインク供給口２からインク流路３を通り吐出部
を構成する吐出口ｔ，ｔ’から液滴を吐出する。１つの
インク流路に対して設けられた吐出口ｔ，ｔ’に対向す
る略真下には吐出口ｔ，ｔ’の各々に対応して吐出口と
共に吐出部を構成する発熱素子（ヒーター）Ｈ，ｈが位
置する。符号４はインク流路を構成する隔壁４’や前述
の吐出口を有する流路構成部材（ノズル材）であり、露
光技術やエッチング等の周知の製法によって形成された
ものである。符号５は保護膜を示す。

【００２０】ヒーターＨ，ｈの各列は８４．７μｍピッ
チでｙ方向に並んで配置されており、供給口２を挟んで
８４．７／２μｍだけずれて千鳥に配置されている。ヘ
ッドはｘ方向に走査しながら記録をする。本ヘッドは画
素ピッチ（ｘ、ｙ方向共に）８４．７μｍで記録を行
う。ｔとｔ’（又はＨとｈ）がペアで１秒間に最大８０
００回画素の記録を行う。したがって、ヘッドの主走査
速度は（８４．７／２μｍ）×８０００／秒＝３３８．
８ｍｍ／ｓｅｃである。

【００２１】符号４’は隣接するペアを流体的に隔離す
る（各インク流路を剥離するための）隔壁で幅１２．７
μｍ、終端は供給口端から１０μｍの位置である。ヒー
ターのシート抵抗は８０Ω、配線抵抗は約０．２Ω、駆
動信号（パルス）の波形は矩形波で、駆動電圧は１４．
５Ｖ、パルス幅は、ヒーターＨでは４．０μｓｅｃ、ヒ
ーターｈでは２．５μｓｅｃである。使用インクはＤＥ
Ｇ８０％、水２０％の水溶液にＣ．Ｉ．フードブラック
２を４％溶解させたものである。

【００２２】吐出口ｔのサイズは２５μｍ×２５μｍ、
吐出口ｔ’のサイズは１８μｍ×１８μｍ、ヒーターＨ
のサイズは３２μｍ×３２μｍ、ヒーターｈのサイズは
２４μｍ×２４μｍである。ノズル材４の厚みは２０μ
ｍ、このうち吐出口部分の厚みは９μｍである。

【００２３】ヒーターＨとｈをそれぞれ単独に駆動した
場合に吐出口ｔ、ｔ’から吐出されるインクの体積はそ
れぞれ１１×１０^-15ｍ³、５×１０^-15ｍ³である。また
これらを同時に駆動したときもやはりｔから１１×１０
^-15ｍ³、ｔ’から５×１０^-15ｍ³のインクが吐出され、
同画素に吐出を行うことができる。したがって、各画素
で０ｍ³、５×１０^-15ｍ³、１１×１０^-15ｍ³、１６×
１０^-15ｍ³の４段階のインク量の記録が画像データによ
り選択できる。同時に駆動したときに、吐出速度はｔか
らは１９ｍ／ｓ、ｔ’からは１８ｍ／ｓであった。また
リフィル時間はｔ側が９５μｓｅｃ、ｔ’側が７０μｓ
ｅｃであった。

【００２４】図２は図１のヒーターＨおよびｈの配線パ
ターン図である。符号１１は共通電極のＡｌ配線層、符
号１１’はｈの個別電極のＡｌ配線層、符号１１”はＨ
の個別電極のＡｌ配線層である。符号１２はヒーター層
（ＨｆＢ₂層）である。なお、隔壁とヒーターとの相対
位置は同図においてＬ₁＝３μｍ、Ｌ₂＝９２μｍであ
る。ヒーターＨのサイズは前述のように３２μｍ×３２
μｍなのでＨとｈとの最短距離は９２μｍ−３μｍ−３
２μｍ＝５７μｍである。この値はヒーターと吐出口先
端までの距離２０μｍより十分大きくしており、Ｈ又は
ｈの何れか一方の駆動により他方の吐出口からインクが
吐出するには至らないようになっている。

【００２５】図３はヒーターＨとｈとの中心間距離を変
えたときに、Ｈを駆動したときの吐出口ｔ’（ｈの真上
吐出口）のメニスカス振幅を示したグラフである。これ
によるとｈとＨがほとんど接する程近付いても吐出口
ｔ’からはインク滴の吐出には至らないことが判る。本
例の場合、液路高さ（９μｍ）が非常に低いこと、ヒー
ターと吐出口間距離（２０μｍ）も短いためこのような
性質を示す。

【００２６】また、Ｈとｈの中心間距離は９２μｍ＋
（２４μｍ／２）−３μｍ−（３２μｍ／２）＝８５μ
ｍでほぼ２画素分の距離であるが、実際には整数画素±
２０μｍ程度に設定していれば支障はない。また供給口
２を挟んだ対応するヒーター間距離、例えば図１で見る
と右列のＨと左列のｈとのｘ方向距離は２５４．１μｍ
でちょうど６画素分離れている。したがって、右列の場
合Ｈはｈの２画素先の記録を行っており、右列は左列の
６画素先の記録を行う。

【００２７】なお、上述のように各吐出口から個別にイ
ンクを吐出させた場合に、他方の吐出口からのインクが
吐出しないようにするには、ヒーターから吐出口までの
距離ＯＨが３０μｍ以下で、ＨＣ／ＯＨ＞１（ＨＣ；ヒ
ーター中心間距離）であることが、さらに望ましい。

【００２８】図４は本例のヒーター１ペア当りの駆動回
路である。図中の記号ＶHはヘッド駆動電源、ａはヒー
ターｈの駆動信号入力部、ｂはヒーターｈの駆動信号入
力部を示す。

【００２９】本ヘッドは供給口の片側に１２８ペアのヒ
ーター、計２５６ペアのヒーターを有しており、駆動順
序は上（＋ｙ方向）から順に１６ペアずつ、計１６ブロ
ックに分けて順次駆動している。隣接するブロックの時
間差は７μｓｅｃであるので、例えば縦線の記録を行う
際、ブロック毎に直線がずれて一走査毎に全体として斜
めになる。これを避けるためにヘッドをｙ軸に対しｔａ
ｎ^-1（２．３７１６／６７７．６）だけ傾けてスキャン
した。

【００３０】本例では以上のヘッドを４個（ブラック、
イエロー、マゼンダ、シアン）使用することで、４２．
３５μｍピッチ（６００ｄｐｉ）、４値のカラー記録を
行うことができた。

【００３１】本例の変形例として、上記のようにヘッド
を傾ける代わりに、ヒーターと供給口端までの距離を駆
動ブロック毎に２．３７μｍずつずらして縦線記録の直
線性を保つ方法も有ることは言うまでもない。

【００３２】さらに本実施例においてはヒーターＨと
ｈ、オリフィスｔとｔ’をいずれも異ならせたが、これ
に限る必要はなく、１方のサイズを異なられる場合であ
っても本発明を実施する上で何ら問題ない。

【００３３】なお、本例のヘッドではヒーター上に発生
した気泡が成長する過程で吐出口から突き出し大気に連
通するタイプの吐出になった。

【００３４】（第２の実施例）図５は本発明に係るイン
クジェットヘッドの第２の実施例を説明するための図で
ある。図６は図５の吐出口ｔおよびｔ’に各々対応する
ヒーターＨおよびｈの配線パターン図である。

【００３５】本例では、第１の実施例と異なり、１画素
当り大小２つのヒーターをｘ方向ではなく、ｙ方向に配
置している。本例はｘ方向１２００画素／２５．４ミ
リ、ｙ方向６００画素／２５．４ミリのヘッドである。
ヒーター数は左右両側で６４ペアである。吐出口ｔ、
ｔ’はそれぞれ１６μｍ×１６μｍ、１３μｍ×１３μ
ｍであり、各々の吐出口に対応するヒーターサイズはヒ
ーターＨが２０μｍ（幅）×２４μ（長さ）、ヒーター
ｈが１５μｍ（幅）×２０μｍ（長さ）である。また、
ヒーター中心間距離は２２μｍである。ノズル材２４の
厚みは１７μｍ、そのうちオリフィス部は８μｍであ
る。ヒーターＨとｈを個別に駆動したときの吐出体積は
それぞれ５×１０^-15ｍ³、３×１０^-15ｍ³で、両方同時
に駆動した時の体積は約８×１０^-15ｍ³である。この時
の吐出速度はそれぞれ吐出口ｔからは１８ｍ／ｓ，吐出
口ｔ’からは１６ｍ／ｓ、リフィル時間は吐出口ｔ側が
６０μｓｅｃ、吐出口ｔ’側が４５μｓｅｃであった。
ヒーターＨ、ｈの何れか一方を駆動したとき他方のオリ
フィス口からメニスカスは振動するが、液滴吐出はしな
かった。図５はヒーターの配線図で、駆動回路は第１の
実施形態と同様である。

【００３６】図５において、吐出口ペア（ｔ₁，
ｔ’₁），（ｔ₂，ｔ’₂），・・・は８ペアを周期にし
て配置されており、隣接するペア間のｘ座標差は５．３
０μｍ、駆動は（ｔ_8n+1，ｔ’_8n+1），（ｔ_8n+2，ｔ’
_8n+2）・・・，（ｔ_8n+7，ｔ’_8n+7）（ｎ＝０，１，
２，３，４，５，６，７）の順に行われ、隣接ブロック
の駆動時間差は１２．５μｓｅｃである。

【００３７】本ヘッドを用い、６００×１２００画素／
２５．４²ｍｍ²で４値の記録を良好に行うことができ
た。

【００３８】（第３の実施例）第１乃至第２の実施例で
は、１画素分の流路と隣接する画素に対応する流路とを
隔壁で仕切っていたが、本例は、複数画素分のヒーター
でも同時に駆動するヒーターを含む場合は隔壁で仕切ら
ず１つの流路内に配設したことを特徴とする。

【００３９】図７は本発明に係るインクジェットヘッド
の第３の実施例における吐出口配置図である。この図に
おいて、吐出口４１１〜４１４は同時に駆動するヒータ
ー群（４ヒーター）（不図示）の真上に位置しており、
１つのインク流路４３内に４つの吐出口が配されてい
る。吐出口４１１と４１２のサイズは２２μｍ×２２μ
ｍ、ヒーターサイズは２６×３２μｍ²で吐出量は、８
×１０^-15ｍ³（８ｐｌ）である。一方、吐出口４１３と
４１４のサイズは１７×１７μｍ²、対応するヒーター
サイズは２４×２６μｍ²であり、吐出量は４×１０^-15
ｍ³（４ｐｌ）となる。又左列の吐出口が大吐出口の場
合Ｘ軸方向に位置する吐出口は小吐出口（４１３、４１
４）であり、Ｘ方向に大小もしくは小大の順で吐出口が
配列されている。このためヘッドをＸ軸方向にスキャン
させて記録を行う場合１回のスキャンでインク吐出量の
大と小のインク滴を１画素中で重ねることができる。従
ってこのヘッドを用いた記録によって、０ｐｌ，４ｐ
ｌ，８ｐｌ，１２ｐｌの４階調の記録達成することがで
きる。

【００４０】なお吐出口４１１と４１２の配列ピッチは
３５．４μｍでインク供給口４２を挟んで対面側の吐出
口とは千鳥に配列されているので画素密度は３５．４μ
ｍ／２となる。隔壁を隔てた隣りのヒーター群は本ヒー
タ群とは８μｓｅｃずれたタイミングでインクを吐出す
る。

【００４１】ノズル材の厚みは２０μｍ、そのうち吐出
口部分の厚みは８μｍであるので流路高さは１２μｍで
ある。１ヒーターの駆動によって３５．４μｍ離れた同
一ブロック内の隣接吐出口からはインクは吐出されずメ
ニスカスがわずかに振動するのみである。したがって隔
壁で囲まれた４ヒーターを同時に駆動する限り吐出に影
響を与えるような相互作用は及ばさない。但し、異なる
タイミングで駆動を行う複数のヒーターを同一ブロック
内に置くこと、例えばある吐出口でメニスカスがリフィ
ルしている最中に別のヒーターから高圧の気泡が発生す
ることにより極小滴が吐出してしまうなどの悪影響を与
えるので好ましくない。

【００４２】本例の場合も吐出速度は１５ｍ／ｓ、リフ
ィル時間１２０μｓｅｃであった。

【００４３】（実施例４）本実施例においても先の実施
例と同様に、一つの流路に同時に駆動することが異なる
量のインクを吐出することが可能な複数の吐出口が設け
られている。

【００４４】図８は本実施例のインクジェットヘッドの
吐出口配置を示した模式的な平面図である。先の実施例
と同様に吐出口５１１から吐出口５１４はそれぞれヒー
タに対向した位置に配されていている。

【００４５】本実施例ではヘッドへインクを供給するイ
ンク供給口５２から分岐したインク流路５３に異なった
量のインクを吐出するための４つの吐出口が設けられて
いる。吐出口５１１、５１２、５１３、５１４はそれぞ
れ２８×２８μｍ²、２２×２２μｍ²、１７×１７μｍ
²、１３×１３μｍ²のサイズで、これらに対応したヒー
ターのサイズは、それぞれ３４×３４μｍ²、２６×３
４μｍ²、２６×２６μｍ²、２４×２４μｍ²であり４
２．２μｍのピッチで配されている。このような吐出部
の吐出量はそれぞれ１７．６×１０^-15ｍ³（１７．６ｐ
ｌ）、８．８×１０^-15ｍ³（８．８ｐｌ）、４．４×１
０^-15ｍ³（４．４ｐｌ）、２．２×１０^-15ｍ³（２．２
ｐｌ）である。ヘッドのその他の構造は先の実施例と同
様である。

【００４６】このようなヘッドをスキャンさせて記録を
おこなう場合、一画素を複数回のスキャンで記録するよ
うにすると、２．２ｐｌの整数倍で最高３３ｐｌの１６
階調を達成することができる。２スキャンで記録を行う
場合には第１スキャンで５１１および５１２で記録を行
った領域では、第２スキャンで５１３および５１４で記
録を行うようにすればよい。

【００４７】（その他の実施例）図９は本発明の吐出口
１１を持つインクジェットヘッドと、このインクジェッ
トヘッドに供給するためのインクを保持したインク容器
１５とを境界線Ｋの位置で分離可能に接続したインクジ
ェットヘッドカートリッジ１７である。このインクジェ
ットヘッドカートリッジにはこのカートリッジが装置側
のキャリッジに搭載された時にキャリッジ側からの電気
信号を受け取るための電気的コンタクト（不図示）が設
けられており、この電気信号によって前述のヘッドが駆
動される。

【００４８】ヘッドカートリッジを構成するインク容器
内にはインクを保持するために繊維質状もしくは多孔質
状のインク吸収体が設けられており、これらのインク吸
収体によってインクが保持されている。

【００４９】図１０は、以上のように構成されるインク
ジェット記録ヘッドが搭載されるインクジェット記録装
置の一例の外観図を示す。このインクジェット記録装置
ＩＪＲＡは、駆動モータの２０１０の正逆回転に連動し
て駆動力伝達ギア２０２０、２０３０を介して回転する
リードスクリュウ２０４０を有する。インクジェット記
録ヘッドとインクタンクとが一体化されたインクジェッ
トカートリッジＩＪＣが載置されるキャリッジＨＣは、
キャリッジ軸２０５０およびリードスクリュウ２０４０
に支持され、リードスクリュウ２０４０の羅線溝２０４
１に対して係合するピン（不図示）を有しており、リー
ドスクリュウ２０４０の回転にともなって、矢印ａ、ｂ
方向に往復移動される。２０６０は紙押え板であり、キ
ャリッジ移動方向にわたって紙Ｐを被記録媒体を搬送す
る搬送手段を構成するプラテンローラ２０７０に対し押
圧する。２０８０および２０９０はフォトカプラで、こ
れらは、キャリッジＨＣに設けられたレバー２１００の
この域での存在を確認してモータ２０１０の回転方向切
り換え等を行うためのホームポジション検知手段として
動作する。２１１０は記録ヘッドの全面をキャップする
部材であり、支持部材２１２０により支持されている。
２１３０はこのキャップ内を吸収する吸収手段であり、
キャップ内開口を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。
記録ヘッドの端面をクリーニングするクリーニングブレ
ード２１４０は、前後方向に移動可能に部材２１５０に
設けられており、これらは本体支持板２１６０に支持さ
れている。ブレード２１４０はこの形態に限定されず、
周知のクリーニングブレードが本例に適用できることは
いうまでもない。また、２１７０は吸引回復の吸引を回
復するためのレバーであり、キャリッジＨＣと係合する
カム２１８０の移動にともなって移動するようになって
おり、これにより駆動モータ２０１０からの駆動力がク
ラッチ切り換え等の周知の伝達手段で移動制御される。

【００５０】これらのキャッピング、クリーニング、吸
引回復はキャリッジＨＣがホームポジション側領域にき
たときにリードスクリュウ２０４０の作用によってそれ
らの対応位置で所望の処理が行えるように構成されてい
るが、周知のタイミングで所望の動作を行うようにすれ
ば、本例にはいずれも適応できる。

【００５１】又、本発明のインクジェット装置は、本発
明のインクジェットヘッドの発熱体を駆動するための信
号を、ヘッドに与える駆動信号供給手段を有している。

【００５２】

【発明の効果】以上のような本発明によれば、小さな体
積のインク滴でも大きな体積のインク滴でもインクを適
正な速度で吐出できる。これにより高精細、階調記録を
達成することができる。また、一つの流路内に異なる量
を吐出する吐出部が複数配されているため、吐出口配置
密度を非常に高くすることができる。また、各実施例の
構造によるとインクの吐出速度の適正化とリフィル時間
の向上をも図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る記録液噴射ヘッドの第１の実施例
を説明するための図で、図（ａ）は平面図、図（ｂ）は
図（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。

【図２】図１のヒーターＨおよびｈの配線パターン図で
ある。

【図３】ヒーターＨとｈとの中心間距離を変えたとき
に、Ｈを駆動したときの吐出口ｔ’のメニスカス振幅を
示したグラフである。

【図４】図１のヒーター１ペア当りの駆動回路である。

【図５】本発明に係るインクジェットヘッドの第２の実
施例を説明するための図である。

【図６】図５の吐出口ｔおよびｔ’に各々対応するヒー
ターＨおよびｈの配線パターン図である。

【図７】本発明に係るインクジェットヘッドの第３の実
施例を説明するための図である。

【図８】本発明に係るインクジェットヘッドの第４の実
施例における吐出口配置図である。

【図９】本発明のインクジェットヘッドカートリッジの
構成を説明するための模式図である。

【図１０】本発明のインクジェット装置の構成を説明す
るための模式図である。

【符号の説明】

１シリコン基板２、２２、３２、４２インク供給口３、２３、３３インク流路４、２４、３４、４４ノズル材４’、２４’、３４’、４４’ 隔壁５保護膜１１共通電極（Ａｌ層）１１’ ヒーターｈの個別電極（Ａｌ層）１１” ヒーターＨの個別電極（Ａｌ層）１２ヒーター層ｈ、Ｈヒーターｔ、ｔ’、４１１〜４１４吐出口

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吐出口にインクを導くための複数のイン
ク流路と、前記吐出口と、該吐出口に対して設けられ前記インク路
内のインクに対して熱エネルギーを作用させることによ
ってインクを吐出するための気泡を発せさせる発熱素子
と、で構成される吐出部とを有するインクジェットヘッ
ドであって、前記インク流路のそれぞれにインク吐出量の異なる複数
の前記インク吐出部が設けられていることを特徴とする
インクジェットヘッド。
【請求項２】前記吐出部を構成する吐出口と発熱素子
とは対向している請求項１に記載のインクジェットヘッ
ド。
【請求項３】前記複数のインク吐出部は吐出口のサイ
ズもしくは発熱体のサイズのいずれかが異なる請求項１
に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】前記複数のインク吐出部は吐出口のサイ
ズもしくは発熱体のサイズが共に異なっている請求項１
に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】吐出口にインクを導くための複数のイン
ク流路と、前記吐出口と該吐出口に対して設けられ前記
インク路内のインクに対して熱エネルギーを作用させる
ことによってインクを吐出するための気泡を発せさせる
発熱素子とで構成される吐出部を有すると共に、前記イ
ンク流路のそれぞれにインク吐出量の異なる前記インク
吐出部が複数設けられているインクジェットヘッドと、該インクジェットヘッドに供給されるインクを保持する
インク容器とを有するインクジェットヘッドカートリッ
ジ。
【請求項６】前記吐出部を構成する吐出口と発熱素子
とは対向している請求項5に記載のインクジェットヘッ
ドカートリッジ。
【請求項７】前記複数のインク吐出部は吐出口のサイ
ズもしくは発熱体のサイズのいずれかが異なる請求項５
に記載のインクジェットヘッドカートリッジ。
【請求項８】前記複数のインク吐出部は吐出口のサイ
ズもしくは発熱体のサイズが共に異なっている請求項５
に記載のインクジェットヘッドカートリッジ。
【請求項９】吐出口にインクを導くための複数のイン
ク流路と、前記吐出口と該吐出口に対して設けられ前記
インク流路内のインクに対して熱エネルギーを作用させ
ることによってインクを吐出するための気泡を発せさせ
る発熱素子とで構成される吐出部とを有すると共に、前
記インク流路のそれぞれにインク吐出量の異なる前記イ
ンク吐出部が複数設けられているインクジェットヘッド
と、前記吐出されたインクを受ける被記録媒体を搬送する被
記録媒体搬送手段と、を有することを特徴とするインク
ジェット装置。
【請求項１０】前記吐出部を構成する吐出口と発熱素
子とは対向している請求項9に記載のインクジェット装
置。
【請求項１１】前記複数のインク吐出部は吐出口のサ
イズもしくは発熱体のサイズのいずれかが異なる請求項
９に記載のインクジェット装置。
【請求項１２】前記複数のインク吐出部は吐出口のサ
イズもしくは発熱体のサイズが共に異なっている請求項
9に記載のインクジェット装置。
【請求項１３】インクを吐出するための熱を発生する
発熱素子とインクが吐出される吐出口とで構成される吐
出部が、１つのインク流路に対して複数設けられたヘッ
ドを用い、前記複数の吐出部を選択的に駆動することで異なる量の
インクを前記吐出口から吐出して記録を行うことを特徴
とするインクジェット記録方法。
【請求項１４】異なる量のインクを重ねて一画素を形
成する請求項１３に記載のインクジェット記録方法。
【請求項１５】前記熱の発生によってインク中に気泡
を発生させ、前記気泡を大気に連通させてインクを吐出
する請求項１３に記載のインクジェット記録方法。