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JP2003288710A - 記録媒体駆動装置およびヘッドスライダ - Google Patents

記録媒体駆動装置およびヘッドスライダ

Info

Publication number
JP2003288710A
JP2003288710A JP2002092520A JP2002092520A JP2003288710A JP 2003288710 A JP2003288710 A JP 2003288710A JP 2002092520 A JP2002092520 A JP 2002092520A JP 2002092520 A JP2002092520 A JP 2002092520A JP 2003288710 A JP2003288710 A JP 2003288710A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
air
recording medium
air bearing
slider
bearing surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002092520A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaki Kameyama
正毅 亀山
Norio Yamamoto
憲郎 山本
Masaharu Sugimoto
雅治 杉本
Yoshiharu Kasamatsu
祥治 笠松
Toru Yokohata
徹 横畑
Kazuhiro Watanabe
一弘 渡邉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP2002092520A priority Critical patent/JP2003288710A/ja
Priority to US10/266,851 priority patent/US6891699B2/en
Priority to EP07103227A priority patent/EP1811499A3/en
Priority to EP02257055A priority patent/EP1349153B1/en
Priority to DE60221223T priority patent/DE60221223T2/de
Priority to KR1020020063082A priority patent/KR100820089B1/ko
Priority to CNB021479437A priority patent/CN1248229C/zh
Priority to CNB2005100966910A priority patent/CN1322493C/zh
Publication of JP2003288710A publication Critical patent/JP2003288710A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
    • G11B5/6082—Design of the air bearing surface
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
    • G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
    • G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
    • G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
    • G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion

Landscapes

  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一層確実に記録媒体上の突起物とヘッド素子
との衝突を防止することができる記録媒体駆動装置およ
びヘッドスライダを提供する。 【解決手段】 スライダ本体２３の空気流出側端面には
保護膜２５が積層される。保護膜２５にはヘッド素子２
４が埋め込まれる。電流の供給に応じてヘッド素子２４
が発熱すると、保護膜２５の熱膨張は引き起こされる。
ヘッド素子２４の先端は媒体対向面３６ａよりも過度に
記録媒体１３に接近する。保護用突起４９の浮上高さＨ
ｐはヘッド素子２４の熱膨張時浮上高さＨｗよりも小さ
く設定される。保護用突起４９は、保護膜２５の熱膨張
時であってもヘッド素子２４の軌道６５よりも記録媒体
１３に近い軌道６６を辿る。記録媒体１３の表面に突起
やコンタミネーションといった障害物が存在しても、保
護用突起４９はヘッド素子２４の前方で障害物に衝突す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば磁気ディス
クといった記録媒体に対して情報の書き込みや読み出し
を実現する記録媒体駆動装置に関し、特に、こういった
記録媒体駆動装置に組み込まれてヘッド素子を支持する
ヘッドスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の分
野では、磁気情報の読み出しにあたって磁気抵抗効果膜
が広く用いられる。磁気抵抗効果膜には磁気ディスクか
ら信号磁界が作用する。磁界の向きに応じて磁気抵抗効
果膜の電気抵抗値は変化する。この抵抗値の変化に基づ
き２値の磁気情報は判別される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】磁気ディスクの表面に
は、ときおり、突起やコンタミネーションといった障害
物が散在する。磁気ディスクの回転中に磁気抵抗効果膜
に例えばコンタミネーションが衝突すると、いわゆるサ
ーマルアスペリティが引き起こされる。周知の通り、こ
ういったサーマルアスペリティは正確な磁気情報の読み
出しを阻害する。
【０００４】一般に、ＨＤＤでは、磁気情報の書き込み
にあたって薄膜コイルパターンが利用される。薄膜コイ
ルパターンに電流が供給されると、薄膜コイルパターン
で磁界は生成される。こういった磁界が磁気ディスクの
表面まで誘導される。誘導される磁界の働きで磁気ディ
スクに磁気情報は書き込まれる。書き込み信号の周波数
が高められるに従って、薄膜コイルパターンの発熱量は
増加する。
【０００５】前述の磁気抵抗効果膜や薄膜コイルパター
ンは、スライダ本体の空気流出側端面に積層される例え
ばＡｌ2 Ｏ3 （アルミナ）製の保護膜に埋め込まれる。
保護膜はスライダ本体（例えばＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ製）
に比べて大きな熱膨張率を有する。薄膜コイルパターン
の発熱は保護膜の熱膨張を引き起こす。保護膜は磁気デ
ィスクに向かって大きく隆起してしまう。こうして磁気
抵抗効果膜は磁気ディスクに過度に接近する。その結
果、例えば磁気抵抗効果膜が磁気ディスク上の障害物に
対して衝突する確率は著しく高まる。
【０００６】本発明は、上記実状に鑑みてなされたもの
で、一層確実に記録媒体上の突起物とヘッド素子との衝
突を防止することができる記録媒体駆動装置およびヘッ
ドスライダを提供することを目的とする。特に、本発明
は、書き込み信号の周波数が高められても、記録媒体上
の突起物とヘッド素子との衝突を確実に防止することが
できる記録媒体駆動装置およびヘッドスライダを提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、第１発明によれば、記録媒体と、媒体対向面で記録
媒体に向き合わせられ、規定の浮上姿勢で記録媒体から
浮上するヘッドスライダと、ヘッドスライダ内でスライ
ダ本体の空気流出側端面に積層される保護膜と、保護膜
に埋め込まれて、媒体対向面で先端を露出させるヘッド
素子と、ヘッド素子の空気流入端側で媒体対向面から立
ち上がる保護用突起とを備え、保護用突起は、保護膜の
熱膨張時にヘッド素子で確立される浮上高さよりも小さ
い浮上高さで記録媒体から浮上することを特徴とする記
録媒体駆動装置が提供される。
【０００８】かかる記録媒体駆動装置では、記録媒体と
ヘッドスライダとの間に所定の相対変位が生成される
と、ヘッドスライダは記録媒体の表面から浮上する。相
対変位の速度が定常状態に進入すると、スライダ本体の
空気流出端は記録媒体の表面から規定の浮上高さで維持
されることができる。こうした浮上中にヘッド素子は読
み出し動作や書き込み動作を実施する。
【０００９】読み出し動作や書き込み動作の実施にあた
ってヘッド素子には電流が供給される。電流の供給に応
じて発熱が引き起こされる。こうした発熱は保護膜の熱
膨張を引き起こす。その結果、保護膜は記録媒体の表面
に向かって隆起する。ヘッド素子の先端は媒体対向面よ
りも過度に記録媒体に接近する。こうして記録媒体の表
面とヘッド素子の先端との間には膨張時浮上高さが確立
される。ヘッド素子の先端は、スライダ本体の空気流出
端の軌道よりも記録媒体に近い軌道を辿る。
【００１０】この記録媒体駆動装置では、保護用突起の
浮上高さはヘッド素子の熱膨張時浮上高さよりも小さく
設定される。したがって、保護用突起は、保護膜の熱膨
張時であってもヘッド素子の軌道よりも記録媒体に近い
軌道を辿ることができる。記録媒体の表面に突起やコン
タミネーションといった障害物が存在しても、保護用突
起はヘッド素子の前方で障害物に衝突することができ
る。こうしてヘッド素子は保護用突起の背後で障害物と
の衝突から保護されることができる。
【００１１】なお、前述の保護用突起は、ヘッドスライ
ダの媒体対向面で規定される空気軸受け面に形成されれ
ばよい。ヘッド素子の先端は空気軸受け面で露出する。
空気軸受け面は、媒体対向面に形成されるレール上に規
定されればよい。しかも、レールの頂上面と空気軸受け
面の空気流入側端との間には段差が区画されてもよい。
ヘッドスライダの媒体対向面には、保護用突起よりも高
い頂上を規定する支持突起が形成されてもよい。
【００１２】保護用突起は空気流入側に向かうにつれて
狭まってもよい。すなわち、保護用突起には、媒体対向
面に直交する前側基準線から、前側基準線よりも空気流
出側で媒体対向面に直交する後側基準線に向かって広が
る前側壁面が形成されてもよい。その他、保護用突起に
は、媒体対向面に直交する第１および第２基準線から、
第１および第２基準線の間に確立されて第１および第２
基準線よりも空気流入側で媒体対向面に直交する第３基
準線に向かって各々広がる第１および第２前側壁面が形
成されてもよい。こういった保護用突起によれば、保護
用突起の壁面に正面から（垂直方向から）コンタミネー
ションが衝突することはない。コンタミネーションは、
保護用突起の壁面の働きで、ヘッド素子の軌道からはじ
き出されやすい。したがって、コンタミネーションとヘ
ッド素子との衝突は一層確実に回避されることができ
る。仮に、コンタミネーションが垂直方向から保護用突
起の壁面に衝突すると、コンタミネーションは浮上ヘッ
ドスライダと記録媒体の表面との間に巻き込まれること
がある。こうして巻き込まれたコンタミネーションはヘ
ッド素子に衝突してしまう。
【００１３】保護用突起は、ヘッドスライダの媒体対向
面で空気軸受け面に刻まれる窪み内に配置されてもよ
い。例えば、ヘッドスライダの空気流出端でヘッドスラ
イダが記録媒体の表面で受け止められる際に、保護用突
起は空気軸受け面に先立って記録媒体に接触することが
できる。保護用突起の働きで空気軸受け面と記録媒体と
の接触は回避される。こうしてヘッドスライダと記録媒
体との接触面積の増大は回避される。しかも、保護用突
起は空気軸受け面よりも低い位置から立ち上がる。浮上
高さの変更を伴わずに保護用突起の高さは実質的に増大
する。こうして記録媒体の表面に広がる潤滑剤や水分の
はい上がりは確実に防止されることができる。ヘッドス
ライダと記録媒体との間では吸着力（いわゆるメニスカ
ス効果）や摩擦力の増大は回避される。
【００１４】さらに、保護用突起は、ヘッドスライダの
浮上姿勢の変化に応じて変化する気流の全入射方向にわ
たって、ヘッド素子に向かって直進する空気の流れを遮
る大きさに形成されることが望まれる。こうした保護用
突起によれば、いずれの入射角でコンタミネーションそ
の他の障害物がヘッドスライダの媒体対向面に進入して
きても、保護用突起は確実にヘッド素子の前方で障害物
に衝突することができる。ヘッド素子は確実に保護され
る。
【００１５】第２発明によれば、スライダ本体と、スラ
イダ本体の空気流出側端面に積層される保護膜と、保護
膜に埋め込まれて、空気軸受け面で先端を露出させるヘ
ッド素子と、ヘッド素子の空気流入側で空気軸受け面か
ら立ち上がる保護用突起とを備え、保護用突起は空気流
入側に向かうにつれて狭まることを特徴とするヘッドス
ライダが提供される。
【００１６】また、第３発明によれば、スライダ本体
と、スライダ本体の空気流出側端面に積層される保護膜
と、保護膜に埋め込まれて、空気軸受け面で先端を露出
させるヘッド素子と、ヘッド素子の空気流入側で空気軸
受け面から立ち上がる保護用突起とを備え、保護用突起
には、空気軸受け面に直交する前側基準線から、前側基
準線よりも空気流出側で空気軸受け面に直交する後側基
準線に向かって広がる前側壁面が形成されることを特徴
とするヘッドスライダが提供される。
【００１７】さらにまた、第４発明によれば、スライダ
本体と、スライダ本体の空気流出側端面に積層される保
護膜と、保護膜に埋め込まれて、空気軸受け面で先端を
露出させるヘッド素子と、ヘッド素子の空気流入側で空
気軸受け面から立ち上がる保護用突起とを備え、保護用
突起には、空気軸受け面に直交する第１および第２基準
線から、第１および第２基準線の間に確立されて第１お
よび第２基準線よりも空気流入側で空気軸受け面に直交
する第３基準線に向かって各々広がる第１および第２前
側壁面が形成されることを特徴とするヘッドスライダが
提供される。
【００１８】以上のようなヘッドスライダによれば、保
護用突起の壁面に正面から（垂直方向から）コンタミネ
ーションが衝突することはない。コンタミネーション
は、保護用突起の壁面の働きで、ヘッド素子の軌道から
はじき出されやすい。したがって、コンタミネーション
とヘッド素子との衝突は一層確実に回避されることがで
きる。仮に、コンタミネーションが垂直方向から保護用
突起の壁面に衝突すると、コンタミネーションは浮上ヘ
ッドスライダと記録媒体の表面との間に巻き込まれるこ
とがある。こうして巻き込まれたコンタミネーションは
ヘッド素子に衝突してしまう。
【００１９】第５発明によれば、スライダ本体と、スラ
イダ本体の空気流出側端面に積層される保護膜と、保護
膜に埋め込まれて、空気軸受け面で先端を露出させるヘ
ッド素子と、ヘッド素子の空気流入側で空気軸受け面に
刻まれる窪みと、窪み内でスライダ本体から立ち上が
り、空気軸受け面よりも高い頂上を規定する保護用突起
とを備えることを特徴とするヘッドスライダが提供され
る。
【００２０】例えば、ヘッドスライダの空気流出端でヘ
ッドスライダが記録媒体の表面で受け止められる際に、
保護用突起は空気軸受け面に先立って記録媒体に接触す
ることができる。保護用突起の働きで空気軸受け面と記
録媒体との接触は回避される。こうしてヘッドスライダ
と記録媒体との接触面積の増大は回避される。しかも、
保護用突起は空気軸受け面よりも低い位置から立ち上が
る。浮上高さの変更を伴わずに保護用突起の高さは実質
的に増大する。こうして記録媒体の表面に広がる潤滑剤
や水分のはい上がりは確実に防止されることができる。
ヘッドスライダと記録媒体との間では吸着力（いわゆる
メニスカス効果）や摩擦力の増大は回避される。
【００２１】なお、いずれのヘッドスライダでも、前述
と同様に、保護用突起は、ヘッドスライダの浮上姿勢の
変化に応じて変化する気流の全入射方向にわたって、ヘ
ッド素子に向かって直進する空気の流れを遮る大きさに
形成されることが望まれる。こうしたヘッドスライダに
よれば、いずれの入射角でコンタミネーションその他の
障害物が媒体対向面に進入してきても、保護用突起は確
実にヘッド素子の前方で障害物に衝突することができ
る。ヘッド素子は確実に保護される。
【００２２】第６発明によれば、製品に組み込まれる際
に確立される規定の高さよりも高い高さでヘッドスライ
ダの媒体対向面に突起を形成する工程と、回転する研磨
用ディスクの表面にヘッドスライダの媒体対向面を向き
合わせる工程と、製品に組み込まれる際に確立される浮
上高さよりも低い浮上高さまで研磨用ディスクの表面に
向かってヘッドスライダを接近させ、研磨用ディスクお
よび突起の接触に基づき突起を研磨する工程とを備える
ことを特徴とするヘッドスライダの製造方法が提供され
る。
【００２３】一般に、ヘッドスライダは、記録媒体に対
する相対移動速度に基づき正確な浮上高さで記録媒体か
ら浮上することができる。こうした浮上高さに基づき突
起の研磨量が設定されれば、突起は正確な高さまで削り
出されることができる。こうして製造されたヘッドスラ
イダが製品に組み込まれると、製品に組み込まれる際に
確立される浮上高さと研磨時の浮上高さとの差に基づき
突起の先端の浮上高さは決定されることができる。製品
では、突起の先端は規定の浮上高さで記録媒体から浮上
し続けることができる。
【００２４】特に、こういった製造方法では、研磨用デ
ィスクの回転速度は、製品で実現される回転速度よりも
低い回転速度に設定されればよい。こうした回転速度に
よれば、ヘッドスライダに生成される浮力は、製品に組
み込まれる際に確立される浮力よりも減少する。ヘッド
スライダは、製品に組み込まれる際に確立される浮上高
さよりも低い浮上高さで研磨用ディスクに向き合わせら
れる。こうして突起の研磨量は正確に設定されることが
できる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しつつ本発
明の一実施形態を説明する。
【００２６】図１は記録媒体駆動装置の一具体例に係る
ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を概略的
に示す。このＨＤＤ１１は、例えば平たい直方体の内部
空間を区画する箱形の筐体本体１２を備える。収容空間
には、記録媒体としての１枚以上の磁気ディスク１３が
収容される。磁気ディスク１３はスピンドルモータ１４
の回転軸に装着される。スピンドルモータ１４は、例え
ば７２００ｒｐｍや１００００ｒｐｍといった規定の回
転速度で磁気ディスク１３を回転させることができる。
筐体本体１２には、筐体本体１２との間で収容空間を密
閉する蓋体すなわちカバー（図示されず）が結合され
る。
【００２７】収容空間には、先端で磁気ディスク１３の
表面に向き合うキャリッジ１５がさらに収容される。こ
のキャリッジ１５は、支軸１６回りで揺動する揺動アー
ム１７と、この揺動アーム１７の先端に固定されて、先
端で個別に浮上ヘッドスライダ１８を支持するヘッドサ
スペンション１９とを備える。揺動アーム１７の揺動は
例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）といった電磁アク
チュエータ２１の働きを通じて達成される。こうした揺
動アーム１７の揺動によれば、浮上ヘッドスライダ１８
は半径方向に磁気ディスク１３を横切ることができる。
この移動に基づき浮上ヘッドスライダ１８は磁気ディス
ク１３上の所望の記録トラックに位置決めされる。周知
の通り、複数枚の磁気ディスク１３が筐体本体１２内に
組み込まれる場合には、隣接する磁気ディスク１３同士
の間に２本のヘッドサスペンション１９すなわち２個の
浮上ヘッドスライダ１８が配置される。
【００２８】図２は本発明の一具体例に係る浮上ヘッド
スライダ１８の構造を示す。この浮上ヘッドスライダ１
８は、平たい直方体に形成されるＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ
（アルチック）製のスライダ本体２３と、このスライダ
本体２３の空気流出側端面に積層されて、読み出し書き
込みヘッド２４を内蔵するＡｌ2 Ｏ3 （アルミナ）製の
ヘッド素子内蔵膜２５とを備える。スライダ本体２３お
よびヘッド素子内蔵膜２５には、磁気ディスク１３に向
き合う媒体対向面すなわち浮上面２６が規定される。磁
気ディスク１３の回転に基づき生成される気流２７は浮
上面２６に受け止められる。
【００２９】浮上面２６には、気流２７の上流側すなわ
ち空気流入側でベース面２８から立ち上がる１筋のフロ
ントレール２９が形成される。フロントレール２９は、
ベース面２８上に所定の厚み（１．５〜２．０μｍ程
度）で広がりつつ、スライダ本体２３の空気流入端に沿
ってスライダ幅方向に延びる。同様に、浮上面２６に
は、気流２７の下流側すなわち空気流出側でベース面２
８から立ち上がる１対のリアレール３１ａ、３１ｂが形
成される。リアレール３１ａ、３１ｂはスライダ幅方向
に配列される。リアレール３１ａ、３１ｂの間には気流
２７の流通路３２が区画される。各リアレール３１ａ、
３１ｂは、ベース面２８上にフロントレール２９と同一
の厚みで広がりつつ、スライダ本体２３の空気流出端に
向かって延びる。
【００３０】フロントレール２９の頂上面には、スライ
ダ幅方向に延びる１筋の前方空気軸受け面３３が規定さ
れる。前方空気軸受け面３３の空気流入端ではフロント
レール２９の頂上面に段差３４が形成される。この段差
３４は、空気流出端を除く前方空気軸受け面３３の周囲
に満遍なく形成されてもよい。こうして段差３４が形成
されると、フロントレール２９の頂上面には、前方空気
軸受け面３３よりも低いレベルで広がる低レベル面３５
が規定される。前方空気軸受け面３３と低レベル面３５
との高低差は例えば２００ｎｍ程度に設定される。磁気
ディスク１３の回転時、磁気ディスク１３の表面に沿っ
て生成される気流２７は低レベル面３５から段差３４を
伝って前方空気軸受け面３３に導かれる。段差３４の働
きで前方空気軸受け面３３では大きな正圧すなわち浮力
が生成される。
【００３１】２つのリアレール３１ａ、３１ｂの頂上面
には、スライダ幅方向に配列される第１および第２後方
空気軸受け面３６ａ、３６ｂがそれぞれ規定される。第
１後方空気軸受け面３６ａの空気流入端ではリアレール
３１ａの頂上面に段差３７が形成される。同様に、第２
後方空気軸受け面３６ｂの空気流入端ではリアレール３
１ｂの頂上面に段差３８が形成される。段差３８は第２
後方空気軸受け面３６ｂの周囲に沿って空気流出端に向
かって延びてもよい。こうして段差３７、３８が形成さ
れると、２つのリアレール３１ａ、３１ｂの頂上面に
は、第１および第２後方空気軸受け面３６ａ、３６ｂよ
りも低いレベルでそれぞれ広がる低レベル面３９、４１
が規定される。第１および第２後方空気軸受け面３６
ａ、３６ｂと低レベル面３９、４１との高低差は例えば
２００ｎｍ程度に設定される。磁気ディスク１３の回転
時、磁気ディスク１３の表面に沿って生成される気流２
７は低レベル面３９、４１から段差３７、３８を伝って
第１および第２後方空気軸受け面３６ａ、３６ｂに導か
れる。段差３７、３８の働きで第１および第２後方空気
軸受け面３６ａ、３６ｂでは大きな正圧すなわち浮力が
生成される。
【００３２】この浮上ヘッドスライダ１８では、２つの
後方空気軸受け面３６ａ、３６ｂに比べて前方空気軸受
け面３３で大きな正圧すなわち浮力が生成される。した
がって、磁気ディスク１３の回転に伴いスライダ本体２
３が磁気ディスク１３の表面から浮上すると、スライダ
本体２３はピッチ角αの傾斜姿勢で維持されることがで
きる。ここで、ピッチ角αとは、気流２７の流れ方向に
沿ったスライダ本体前後方向の傾斜角をいう。しかも、
第１後方空気軸受け面３６ａは第２後方空気軸受け面３
６ｂに比べて小さく形成される。したがって、スライダ
本体２３に気流２７が作用すると、第１後方空気軸受け
面３６ａに比べて第２後方空気軸受け面３６ｂに大きな
浮力が生成される。磁気ディスク１３の回転に伴いスラ
イダ本体２３が磁気ディスク１３の表面から浮上する
と、スライダ本体２３はロール角βの傾斜姿勢で維持さ
れることができる。ここで、ロール角βとは、気流２７
の流れ方向に直交するスライダ幅方向の傾斜角をいう。
【００３３】こうして小さく形成された第１後方気軸受
け面３６ａで読み出し書き込みヘッド２４は先端すなわ
ち読み出しギャップや書き込みギャップを露出させる。
このとき、媒体対向面すなわち第１後方空気軸受け面３
６ａには、読み出し書き込みヘッド２４の先端に覆い被
さるＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）保護層が形
成されてもよい。前述のピッチ角αおよびロール角βの
働きによって、第１後方空気軸受け面３６ａの空気流出
端と磁気ディスク１３の表面との距離は最も縮小する。
したがって、読み出し書き込みヘッド２４は、第１後方
空気軸受け面３６ａの空気流出端に近接して配置される
ことから、磁気ディスク１３に効率的に磁気情報を書き
込んだり、磁気ディスク１３から効率的に磁気情報を読
み出したりすることができる。読み出し書き込みヘッド
２４には、例えば、薄膜コイルパターンを利用した薄膜
磁気ヘッドといった書き込み素子や、巨大磁気抵抗効果
（ＧＭＲ）素子やトンネル接合磁気抵抗効果素子（ＴＭ
Ｒ）といった読み取り素子が採用されればよい。読み取
り素子は、例えば、第１後方空気軸受け面３６ａに沿っ
てスライダ幅方向に延びるスピンバルブ膜やトンネル接
合膜といった磁気抵抗効果膜を備えればよい。
【００３４】フロントレール２９のスライダ幅方向両端
には、スライダ本体２３のベース面２８から立ち上がっ
て、空気流出端に向かって延びる１対のサイドレール４
３が接続される。こうしたサイドレール４３によれば、
磁気ディスク１３の回転時にフロントレール２９に正面
から衝突する気流はフロントレール２９のスライダ幅方
向両端を回り込んでフロントレール２９の背後に入り込
むことはできない。したがって、前方空気軸受け面３３
に沿ってフロントレール２９を通過する気流２７は容易
にディスク面垂直方向に広がることができる。こうした
気流２７の急激な広がりに基づき負圧は生成される。こ
の負圧が前述の浮力に釣り合うと、スライダ本体２３の
浮上量は規定される。１対のサイドレール４３と１対の
リアレール３１ａ、３１ｂとの間には、スライダ幅方向
両側からフロントレール２９を迂回する気流を流通路３
２に導く間隙４４が形成される。サイドレール４３は、
フロントレール２９の低レベル面３５と同一なレベルで
広がる頂上面を規定する。
【００３５】フロントレール２９には、低レベル面３５
から立ち上がる１対の前方支持突起（パッド）４５が形
成される。これらの前方支持突起４５は、ベース面２８
の空気流入端にできる限り近接した位置に配置される。
前方支持突起４５は、前方空気軸受け面３３や第１およ
び第２後方空気軸受け面３６ａ、３６ｂよりも高い頂上
面を規定する。
【００３６】同様に、第１後方空気軸受け面３６ａ側の
サイドレール４３には、サイドレール４３の頂上面から
立ち上がる第１後方支持突起（パッド）４６ａが形成さ
れる一方で、リアレール３１ｂには、低レベル面４１か
ら立ち上がる第２後方支持突起（パッド）４６ｂが形成
される。第１および第２後方支持突起４６ａ、４６ｂ
は、前方支持突起４５よりも空気流出側で、ベース面２
８の空気流出端から空気流入側に偏倚した位置に配置さ
れる。第１および第２後方支持突起４６ａ、４６ｂは、
前方支持突起４５と同様に、前方空気軸受け面３３や第
１および第２後方空気軸受け面３６ａ、３６ｂよりも高
い頂上面を規定する。第１および第２後方支持突起４６
ａ、４６ｂの高さは前方支持突起４５のそれと等しく設
定されればよい。
【００３７】第１後方支持突起４６ａの空気流出側でリ
アレール３１ａには窪みすなわち１筋の溝４７が刻まれ
る。この溝４７はスライダ本体２３の空気流出端に沿っ
てスライダ幅方向に延びる。溝４７はスライダ本体２３
上で完全に第１後方空気軸受け面３６ａを横切る。こう
いった溝４７は読み出し書き込みヘッド２４よりも空気
流入側に配置される。同様に、第２後方支持突起４６ｂ
の空気流出側でリアレール３１ｂには１筋の溝４８が刻
まれる。溝４８は、同様に、スライダ本体２３の空気流
出端に沿ってスライダ幅方向に延びる。こうして溝４８
はスライダ本体２３上で完全に第２後方空気軸受け面３
６ｂを横切る。溝４７、４８の溝幅は１０〜１００μｍ
の範囲で適宜に設定されればよく、溝４７、４８の深さ
は例えば５〜１０ｎｍ程度に設定されればよい。
【００３８】第１後方空気軸受け面３６ａには、読み出
し書き込みヘッド２４の前方すなわち空気流入側で第１
後方空気軸受け面３６ａから立ち上がる保護用突起４９
が形成される。この保護用突起４９は溝４７内に配置さ
れる。図３から明らかなように、保護用突起４９は第１
後方空気軸受け面３６ａよりも高い頂上を規定する。こ
の頂上は、第１後方空気軸受け面３６ａを含む仮想平面
５１からＨａ＝１０ｎｍ程度で突き出ればよい。このと
き、各支持突起４５、４６ａ、４６ｂは、各空気軸受け
面３３、３６ａ、３６ｂを含む仮想平面５１よりもＨｂ
＝４０ｎｍ程度で突き出る。
【００３９】図４から明らかなように、保護用突起４９
は空気流入側に向かうにつれてスライダ幅方向に狭ま
る。すなわち、保護用突起４９には、第１後方空気軸受
け面３６ａから垂直に立ち上がる第１および第２前側壁
面５２、５３が規定される。第１前側壁面５２は、第１
後方空気軸受け面３６ａに直交する前側基準線５４に沿
って規定される稜線と、前側基準線５４よりもスライダ
本体２３の外周側で第１後方空気軸受け面３６ａに直交
する第１後側基準線５５に沿って規定される稜線との間
に広がる。同様に、第２前側壁面５３は、第１後方空気
軸受け面３６ａに直交する前側基準線５４に沿って規定
される稜線と、前側基準線５４よりもスライダ本体２３
の内周側で第１後方空気軸受け面３６ａに直交する第２
後側基準線５６に沿って規定される稜線との間に広が
る。このとき、第１および第２後側基準線５５、５６は
それぞれ前側基準線５４よりも空気流出側に配置され
る。ここで、「外周側」や「内周側」は、浮上ヘッドス
ライダ１８が磁気ディスク１３に向き合わせられる際に
磁気ディスク１３の内周や外周に基づき決定されればよ
い。ただし、第１前側壁面５２は、少なくとも前側基準
線５４および第１後側基準線５５を含む仮想平面に沿っ
て広がる平坦面を備えればよい。同様に、第２前側壁面
５３は、少なくとも前側基準線５４および第２後側基準
線５６を含む仮想平面に沿って広がる平坦面を備えれば
よい。第１および第２前側壁面５２、５３は必ずしも稜
線を共有する必要はない。
【００４０】図５に示されるように、回転する磁気ディ
スク１３上の最外周トラックに対して浮上ヘッドスライ
ダ１８が位置決めされると、例えば入射角θ＝１０°〜
２０°程度の範囲で第１後方空気軸受け面３６ａに向か
って気流５８は流入する。このとき、保護用突起４９の
大きさは、読み出し書き込みヘッド２４に含まれる磁気
抵抗効果膜５９に向かって直進する気流５８を完全に遮
る大きさに設定される。しかも、保護用突起４９は、磁
気抵抗効果膜５９に隣接して磁気抵抗効果膜の幅Ｗで仕
切られる領域６１に向かって直進する気流５８を遮るこ
とが望まれる。ここで、入射角θは、スライダ本体前後
方向を決定する前後方向基準線６２から浮上面２６の平
面視で時計回りに測定されればよい。
【００４１】図５から明らかなように、第１前側壁面５
２は、前後方向基準線６２に直交する垂直仮想平面６３
に前側基準線５４で交差する平面に沿って広がる。この
平面と垂直仮想平面６３との間には、入射角θの絶対量
よりも大きな交差角度γが確立される。したがって、第
１前側壁面５２は、浮上面２６に受け止められる気流５
８の全ての入射角θ（例えば０°〜２０°）にわたっ
て、垂直方向から気流５８を受け止めることはない。
【００４２】図６に示されるように、回転する磁気ディ
スク１３上の最内周トラックに対して浮上ヘッドスライ
ダ１８が位置決めされると、例えば入射角θ＝−１０°
〜−２０°程度の範囲で第１後方空気軸受け面３６ａに
向かって気流５８は流入する。このとき、保護用突起４
９の大きさは、読み出し書き込みヘッド２４に含まれる
磁気抵抗効果膜５９に向かって直進する気流５８を完全
に遮る大きさに設定される。しかも、保護用突起４９
は、磁気抵抗効果膜５９に隣接して磁気抵抗効果膜の幅
Ｗで仕切られる領域６１に向かって直進する気流５８を
遮ることが望まれる。こうして、保護用突起４９は、浮
上面２６に受け止められる気流５８の全ての入射角θ
（例えば−２０°〜２０°）にわたって、磁気抵抗効果
膜５９および隣接する領域６１に向かって直進する気流
５８を遮ることができる。
【００４３】図６から明らかなように、第２前側壁面５
３は、前後方向基準線６２に直交する垂直仮想平面６３
に前側基準線５４で交差する平面に沿って広がる。この
平面と垂直仮想平面６３との間には、入射角θの絶対量
よりも大きな交差角度ηが確立される。したがって、第
１前側壁面５２は、浮上面２６に受け止められる気流５
８の全ての入射角θ（例えば−２０°〜０°）にわたっ
て、垂直方向から気流５８を受け止めることはない。
【００４４】いま、磁気ディスク１３の回転に応じて磁
気ディスク１３の表面に沿って気流が生成される場面を
想定する。磁気ディスク１３の表面に浮上ヘッドスライ
ダ１８が向き合わせられると、気流の働きで浮上ヘッド
スライダ１８には浮力が生成される。磁気ディスク１３
の回転が定常状態に進入すると、図７に示されるよう
に、スライダ本体２３の空気流出端は磁気ディスク１３
の表面に平行な軌道面６４に沿って移動する。磁気ディ
スク１３の回転が規定の回転速度に維持される限り、ス
ライダ本体２３の浮上高さは変動しない。
【００４５】磁気情報の書き込みにあたって読み出し書
き込みヘッド２４には書き込み信号すなわち電流が供給
される。電流の供給に応じて、例えば読み出し書き込み
ヘッド２４に含まれる薄膜コイルパターンでは磁界が生
成される。生成された磁界は磁性コアの働きで第１後方
空気軸受け面３６ａから漏れ出る。こうして漏れ出る磁
界の働きで磁気ディスク１３に磁気情報は書き込まれ
る。
【００４６】このとき、薄膜コイルパターンでは電流の
供給に応じて発熱が引き起こされる。書き込み信号の周
波数が高まれば高まるほど、薄膜コイルパターンの発熱
量は増大する。薄膜コイルパターンの発熱はヘッド素子
内蔵膜２５の熱膨張を引き起こす。その結果、図７から
明らかなように、ヘッド素子内蔵膜２５は磁気ディスク
１３の表面に向かって大きく隆起する。読み出し書き込
みヘッド２４の先端は第１後方空気軸受け面３６ａより
も過度に磁気ディスク１３に接近する。こうして磁気デ
ィスク１３の表面と読み出し書き込みヘッド２４（特に
磁気抵抗効果膜）との間には書き込み時浮上高さＨｗが
確立される。読み出し書き込みヘッド２４の先端は、空
気流出端の軌道面６４よりも磁気ディスク１３に近い軌
道６５を辿る。
【００４７】図７から明らかなように、このＨＤＤ１１
では、保護用突起４９の浮上高さＨｐは書き込み時浮上
高さＨｗよりも小さく設定される。したがって、保護用
突起４９の頂上は、ヘッド素子内蔵膜２５の熱膨張時で
あっても読み出し書き込みヘッド２４の軌道６５よりも
磁気ディスク１３に近い軌道面６６を辿る。磁気ディス
ク１３の表面に突起やコンタミネーションといった障害
物が存在しても、保護用突起４９は読み出し書き込みヘ
ッド２４の前方で障害物に衝突することができる。こう
して読み出し書き込みヘッド２４は保護用突起４９の背
後で障害物との衝突から保護されることができる。磁気
抵抗効果膜５９ではサーマルアスペリティの発生は阻止
されることができる。
【００４８】特に、保護用突起４９は、前述のように、
浮上面２６に受け止められる気流の全ての入射角θにわ
たって、磁気抵抗効果膜５９および隣接する領域６１に
向かって直進する気流５８を遮る。すなわち、いずれの
入射角θでコンタミネーションその他の障害物が浮上面
２６に進入してきても、保護用突起４９は確実に読み出
し書き込みヘッド２４の前方で障害物に衝突することが
できる。読み出し書き込みヘッド２４は確実に保護され
る。本発明者の検証によれば、コンタミネーションその
他の障害物が直接に磁気抵抗効果膜５９に衝突しなくと
も、隣接する領域６１にコンタミネーションその他の障
害物が衝突すると磁気抵抗効果膜５９には悪影響が及ぶ
ことが確認された。保護用突起４９は、磁気抵抗効果膜
５９だけでなく、隣接する領域６１でもコンタミネーシ
ョンその他の衝突を阻止することから、磁気抵抗効果膜
５９の保護は一層確実に実現されることができる。
【００４９】しかも、前述のように、いずれの入射角θ
でコンタミネーションが浮上面２６に進入してきても、
コンタミネーションは垂直方向から第１および第２前側
壁面５２、５３に衝突することはない。第１および第２
前側壁面５２、５３は必ず傾斜方向からコンタミネーシ
ョンを受け止める。コンタミネーションは第１および第
２前側壁面５２、５３から外周側や内周側にはじき出さ
れやすい。したがって、コンタミネーションと読み出し
書き込みヘッド２４との衝突は一層確実に回避されるこ
とができる。仮に、コンタミネーションが垂直方向から
第１および第２前側壁面５２、５３に衝突すると、コン
タミネーションはスライダ本体２３と磁気ディスク１３
の表面との間に巻き込まれることがある。こうして巻き
込まれたコンタミネーションは読み出し書き込みヘッド
２４に衝突してしまう。
【００５０】次に、浮上ヘッドスライダ１８が磁気ディ
スク１３の表面に接触する場面を想定する。通常、スラ
イダ本体２３は４つの支持突起４５、４６ａ、４６ｂで
磁気ディスク１３の表面に支持される。前方空気軸受け
面３３並びに第１および第２後方空気軸受け面３６ａ、
３６ｂと磁気ディスク１３との接触は回避される。した
がって、空気軸受け面３３、３６ａ、３６ｂで磁気ディ
スク１３の表面に接触する場合に比べて、スライダ本体
２３と磁気ディスク１３との接触面積は著しく減少す
る。その結果、磁気ディスク１３の表面に広がる潤滑剤
すなわち潤滑油膜からスライダ本体２３に作用する吸着
力（いわゆるメニスカス効果）は著しく弱められる。
【００５１】例えば図８に示されるように、スライダ本
体２３に２つの後方支持突起４６ａ、４６ｂを支点にモ
ーメントＭが働く場面を想定する。こうしたモーメント
Ｍが作用すると、スライダ本体２３では空気流入端が磁
気ディスク１３から遠ざかる。こういった状態で浮上ヘ
ッドスライダ１８が磁気ディスク１３の表面に接触する
と、スライダ本体２３は前方支持突起４５を浮かせたま
ま後方支持突起４６ａ、４６ｂで磁気ディスク１３の表
面に受け止められる。同時に、第１後方支持突起４６ａ
の後方で保護用突起４９の頂上端は磁気ディスク１３の
表面に受け止められる。こうしてスライダ本体２３と磁
気ディスク１３との間で接触面積の増大は回避される。
しかも、第２後方支持突起４６ｂの後方では第２後方空
気軸受け面３６ｂの空気流出端が磁気ディスク１３の表
面に受け止められるものの、溝４８の働きで潤滑剤のは
い上がりは阻止される。したがって、吸着力（いわゆる
メニスカス効果）や摩擦力の増大は確実に回避されるこ
とができる。
【００５２】次に、以上のような浮上ヘッドスライダ１
８の製造方法を簡単に説明する。まず、例えばアルチッ
ク（Ａｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ）製のウェハーが用意される。
ウェハーの表面には予めアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）膜が積
層される。このアルミナ膜の表面で、周知の通りに、多
数の読み出し書き込みヘッド２４は構築されていく。読
み出し書き込みヘッド２４は１浮上ヘッドスライダ１８
に切り出される１ブロックごとに構築される。構築され
た読み出し書き込みヘッド２４はアルミナ膜に覆われ
る。こうしてウェハー上では、厚み５０μｍ程度のアル
ミナ膜に埋め込まれた読み出し書き込みヘッド２４が得
られる。
【００５３】こうして読み出し書き込みヘッド２４が構
築されると、ウェハーからいわゆるウェハーバーは切り
出される。個々のウェハーバーには１列のブロックが含
まれる。切り出されたウェハーバーの切断面には個々の
ブロックごとに浮上ヘッドスライダ１８の浮上面２６が
形作られていく。その後、ウェハーバーから個々のブロ
ックごとに浮上ヘッドスライダ１８は切り出される。
【００５４】例えば図９に示されるように、浮上面２６
の形成にあたって、まず、ウェハーバー７１の切断面に
は各ブロック７２ごとに支持突起４５、４６ａ、４６ｂ
の先端部分が削り出される。削り出しに先立って、ウェ
ハーバー７１の切断面にはＤＬＣ（ダイヤモンドライク
カーボン）層が被膜されてもよい。ＤＬＣ層の被覆にあ
たってＳｉ密着層またはＳｉＣ密着層は下敷きされる。
ＤＬＣ層は支持突起４５、４６ａ、４６ｂの先端で硬質
な保護膜を形成する。
【００５５】支持突起４５、４６ａ、４６ｂの削り出し
にあたって、ウェハーバー７１の切断面には、各支持突
起４５、４６ａ、４６ｂの外形形状を象ったフォトレジ
スト膜（図示されず）が形成される。例えば反応性イオ
ンエッチング（ＲＩＥ）が実施されると、フォトレジス
ト膜の周囲でウェハーバー７１は削り取られていく。そ
の結果、フォトレジスト膜の下方で支持突起４５、４６
ａ、４６ｂの先端部分は削り出される。形成後、フォト
レジスト膜は除去される。
【００５６】次に、図１０に示されるように、ウェハー
バー７１の切断面には保護用突起４９が形成される。こ
の形成にあたっていわゆるリフトオフが用いられる。リ
フトオフの詳細は後述される。
【００５７】その後、図１１に示されるように、ブロッ
ク７２を横切る溝７３が形成される。この溝７３は浮上
ヘッドスライダ１８の溝４７、４８に対応する。ウェハ
ーバー７１の切断面には再びフォトレジスト膜（図示さ
れず）が形成される。このフォトレジスト膜では、溝７
３の形状を象った空間が規定される。しかも、フォトレ
ジスト膜は、その空間内で、保護用突起４９の頂上面を
覆う。例えば反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）が実施
されると、フォトレジスト膜の周囲でウェハーバー７１
は削り取られていく。その結果、フォトレジスト膜の間
で溝７３は刻まれる。溝７３内には保護用突起４９が残
存する。溝７３の形成後、フォトレジスト膜は除去され
る。
【００５８】続いて、図１２に示されるように、各空気
軸受け面３３、３６ａ、３６ｂは削り出される。削り出
しにあたって、ウェハーバー７１の切断面には、支持突
起４５、４６ａ、４６ｂの外形形状を象ったフォトレジ
スト膜（図示されず）や、空気軸受け面３３、３６ａ、
３６ｂの外形形状を象ったフォトレジスト膜（図示され
ず）が形成される。例えば反応性イオンエッチング（Ｒ
ＩＥ）が実施されると、フォトレジスト膜の周囲でウェ
ハーバー７１は削り取られていく。その結果、フォトレ
ジスト膜の下方で支持突起４５、４６ａ、４６ｂおよび
空気軸受け面３３、３６ａ、３６ｂは削り出される。形
成後、フォトレジスト膜は除去される。
【００５９】最後に、各フロントレール２９およびリア
レール３１ａ、３１ｂは削り出される。削り出しにあた
って、ウェハーバー７１の切断面には、各レール２９、
３１ａ、３１ｂの外形形状を象ったフォトレジスト膜
（図示されず）が形成される。例えば反応性イオンエッ
チング（ＲＩＥ）が実施されると、フォトレジスト膜の
周囲でウェハーバー７１は削り取られていく。その結
果、フォトレジスト膜の下方でフロントレール２９およ
びリアレール３１ａ、３１ｂは削り出される。レール２
９、３１ａ、３１ｂの頂上面には、空気軸受け面３３、
３６ａ、３６ｂや支持突起４５、４６ａ、４６ｂ、保護
用突起４９が残存する。形成後、フォトレジスト膜は除
去される。
【００６０】リフトオフにあたって、例えば図１３に示
されるように、ウェハーバー７１の切断面に形成される
フォトレジスト膜７４では、保護用突起４９の形状を象
った空間７５が規定される。このとき、空間７５は保護
用突起４９の外形よりも一回り大きく形成される。その
後、ウェハーバー７１の切断面では一様に所定の材料が
積層される。積層には例えばスパッタリングが用いられ
ればよい。その結果、空間７５内には保護用突起４９の
素材７６が形成される。空間７５では、フォトレジスト
膜７５の壁面に沿って素材７６の頂上面から立ち上がる
バリ７７が形成される。その後、フォトレジスト膜７４
は除去される。フォトレジスト膜７４上に積層された材
料は同時に除去される。
【００６１】図１４に示されるように、溝７３の形成に
あたって素材７６の頂上面にはフォトレジスト膜７８が
形成される。フォトレジスト膜７８は正確に保護用突起
４９の外形形状を象る。前述のようにＲＩＥが実施され
ると、素材７６の外周は削り取られていく。こうしてバ
リ７７は除去される。ウェハーバー７１の切断面から立
ち上がる保護用突起４９は得られる。
【００６２】こうして製造された浮上ヘッドスライダ１
８はヘッドサスペンション１９の先端に取り付けられ
る。このとき、製造された浮上ヘッドスライダ１８で
は、保護用突起４９の高さは、ＨＤＤ１１に組み込まれ
る際に確立される規定の高さＴｐよりも高い高さＴｒで
形成される。その後、ＨＤＤ１１に組み込まれる際と同
等な条件で、浮上ヘッドスライダ１８は研磨用ディスク
に向き合わせられる。
【００６３】図１５に示されるように、ＨＤＤ１１で設
定される規定の回転速度で研磨用ディスク７９が回転す
ると、浮上ヘッドスライダ１８は、ＨＤＤ１１に組み込
まれる際に確立される規定の浮上高さＨｒで研磨用ディ
スク７９の表面から浮上する。前述と同様に、スライダ
本体２３の空気流出端は研磨用ディスク７９に平行な規
定の軌道面６４に沿って移動する。その一方で、規定の
回転速度よりも低い研磨用回転速度で研磨用ディスク７
９が回転すると、浮上ヘッドスライダ１８は、ＨＤＤ１
１に組み込まれる際に確立される浮上高さＨｒよりも低
い浮上高さＨＬまで研磨用ディスク７９の表面に向かっ
て接近する。この接近に伴い、保護用突起４９の先端は
研磨用ディスク７９の表面に接触する。こうした保護用
突起４９と研磨用ディスク７９との接触に基づき保護用
突起４９の先端は削り取られる。こうした研磨の結果、
保護用突起４９の高さは規定の高さＴｐまで削り込まれ
ることができる。こうして保護用突起４９の高さは調整
される。
【００６４】研磨用ディスク７９が研磨用回転速度で回
転すると、浮上ヘッドスライダ１８は正確に浮上高さＨ
Ｌで研磨用ディスク７９の表面から浮上することができ
る。こうした浮上高さＨＬに基づき保護用突起４９の高
さＴｐは正確に設定されることができる。こうして製造
された浮上ヘッドスライダ１８がＨＤＤ１１に組み込ま
れると、規定の浮上高さＨｒと研磨時の浮上高さＨＬと
の差に基づき保護用突起４９の先端の浮上高さは決定さ
れることができる。ＨＤＤ１１では、保護用突起４９の
先端は規定の浮上高さで磁気ディスク１３の表面から浮
上し続けることができる。
【００６５】こういった研磨は、浮上ヘッドスライダ１
８がＨＤＤ１１に組み込まれる以前に実施されればよ
い。ただし、こういった研磨はＨＤＤ１１内で実現され
てもよい。この場合には、ＨＤＤ１１に組み込まれる磁
気ディスク１３は研磨用ディスクとして機能する。
【００６６】なお、前述の保護用突起４９は、前述のよ
うな形態の浮上ヘッドスライダ１８だけでなく、その他
の形態に係るヘッドスライダに適用されてもよい。しか
も、前述のような浮上ヘッドスライダ１８は、ＨＤＤ１
１といった磁気ディスク駆動装置だけでなく、その他の
種類の記録媒体駆動装置に組み込まれてもよい。
【００６７】（付記１） 記録媒体と、媒体対向面で記
録媒体に向き合わせられ、規定の浮上姿勢で記録媒体か
ら浮上するヘッドスライダと、ヘッドスライダ内でスラ
イダ本体の空気流出側端面に積層される保護膜と、保護
膜に埋め込まれて、媒体対向面で先端を露出させるヘッ
ド素子と、ヘッド素子の空気流入端側で媒体対向面から
立ち上がる保護用突起とを備え、保護用突起は、保護膜
の熱膨張時にヘッド素子で確立される浮上高さよりも小
さい浮上高さで記録媒体から浮上することを特徴とする
記録媒体駆動装置。
【００６８】（付記２） 付記１に記載の記録媒体駆動
装置において、前記保護用突起は空気流入側に向かうに
つれて狭まることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【００６９】（付記３） 付記１または２に記載の記録
媒体駆動装置において、前記保護用突起には、媒体対向
面に直交する前側基準線から、前側基準線よりも空気流
出側で媒体対向面に直交する後側基準線に向かって広が
る前側壁面が形成されることを特徴とする記録媒体駆動
装置。
【００７０】（付記４） 付記１または２に記載の記録
媒体駆動装置において、前記保護用突起には、媒体対向
面に直交する第１および第２基準線から、第１および第
２基準線の間に確立されて第１および第２基準線よりも
空気流入側で媒体対向面に直交する第３基準線に向かっ
て各々広がる第１および第２前側壁面が形成されること
を特徴とする記録媒体駆動装置。
【００７１】（付記５） 付記１〜４のいずれかに記載
の記録媒体駆動装置において、前記保護用突起は、前記
媒体対向面で空気軸受け面に刻まれる窪み内に配置され
ることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【００７２】（付記６） 付記１〜５のいずれかに記載
の記録媒体駆動装置において、前記保護用突起は、前記
浮上姿勢の変化に応じて変化する気流の全入射方向にわ
たって、前記ヘッド素子に向かって直進する空気の流れ
を遮る大きさに形成されることを特徴とする記録媒体駆
動装置。
【００７３】（付記７） スライダ本体と、スライダ本
体の空気流出側端面に積層される保護膜と、保護膜に埋
め込まれて、空気軸受け面で先端を露出させるヘッド素
子と、ヘッド素子の空気流入側で空気軸受け面から立ち
上がる保護用突起とを備え、保護用突起は空気流入側に
向かうにつれて狭まることを特徴とするヘッドスライ
ダ。
【００７４】（付記８） スライダ本体と、スライダ本
体の空気流出側端面に積層される保護膜と、保護膜に埋
め込まれて、空気軸受け面で先端を露出させるヘッド素
子と、ヘッド素子の空気流入側で空気軸受け面から立ち
上がる保護用突起とを備え、保護用突起には、空気軸受
け面に直交する前側基準線から、前側基準線よりも空気
流出側で空気軸受け面に直交する後側基準線に向かって
広がる前側壁面が形成されることを特徴とするヘッドス
ライダ。
【００７５】（付記９） スライダ本体と、スライダ本
体の空気流出側端面に積層される保護膜と、保護膜に埋
め込まれて、空気軸受け面で先端を露出させるヘッド素
子と、ヘッド素子の空気流入側で空気軸受け面から立ち
上がる保護用突起とを備え、保護用突起には、空気軸受
け面に直交する第１および第２基準線から、第１および
第２基準線の間に確立されて第１および第２基準線より
も空気流入側で空気軸受け面に直交する第３基準線に向
かって各々広がる第１および第２前側壁面が形成される
ことを特徴とするヘッドスライダ。
【００７６】（付記１０） スライダ本体と、スライダ
本体の空気流出側端面に積層される保護膜と、保護膜に
埋め込まれて、空気軸受け面で先端を露出させるヘッド
素子と、ヘッド素子の空気流入側で空気軸受け面に刻ま
れる窪みと、窪み内でスライダ本体から立ち上がり、空
気軸受け面よりも高い頂上を規定する保護用突起とを備
えることを特徴とするヘッドスライダ。
【００７７】（付記１１） 付記７〜１０のいずれかに
記載のヘッドスライダにおいて、前記保護用突起は、前
記浮上姿勢の変化に応じて変化する気流の全入射方向に
わたって、前記ヘッド素子に向かって直進する空気の流
れを遮る大きさに形成されることを特徴とするヘッドス
ライダ。
【００７８】（付記１２） 製品に組み込まれる際に確
立される規定の高さよりも高い高さでヘッドスライダの
媒体対向面に突起を形成する工程と、回転する研磨用デ
ィスクの表面にヘッドスライダの媒体対向面を向き合わ
せる工程と、製品に組み込まれる際に確立される浮上高
さよりも低い浮上高さまで研磨用ディスクの表面に向か
ってヘッドスライダを接近させ、研磨用ディスクおよび
突起の接触に基づき突起を研磨する工程とを備えること
を特徴とするヘッドスライダの製造方法。
【００７９】（付記１３） 付記１２に記載のヘッドス
ライダの製造方法において、前記突起の研磨にあたっ
て、前記研磨用ディスクは、前記製品で実現される回転
速度よりも低い回転速度で回転することを特徴とするヘ
ッドスライダの製造方法。
【００８０】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、一層確実
に記録媒体上の突起物とヘッド素子との衝突は防止され
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の構造を
概略的に示す平面図である。
【図２】 本発明の一具体例に係る浮上ヘッドスライダ
の構造を概略的に示す拡大斜視図である。
【図３】 図２の３−３線に沿った部分断面図である。
【図４】 リアレールの拡大平面図である。
【図５】 最外周トラックに対して浮上ヘッドスライダ
が位置決めされる際に気流と保護用突起との関係を概略
的に示すリアレールの拡大平面図である。
【図６】 最内周トラックに対して浮上ヘッドスライダ
が位置決めされる際に気流と保護用突起との関係を概略
的に示すリアレールの拡大平面図である。
【図７】 ヘッド素子内蔵膜の熱膨張時の様子を概略的
に示す浮上ヘッドスライダの部分拡大側面図である。
【図８】 所定のモーメントを受けつつ浮上ヘッドスラ
イダが磁気ディスクに接触する様子を示す浮上ヘッドス
ライダの側面図である。
【図９】 浮上ヘッドスライダの製造にあたって各支持
突起の先端を加工する工程を概略的に示すウェハーバー
の拡大部分平面図である。
【図１０】 浮上ヘッドスライダの製造にあたって保護
用突起を形成する工程を概略的に示すウェハーバーの拡
大部分平面図である。
【図１１】 浮上ヘッドスライダの製造にあたって溝を
形成する工程を概略的に示すウェハーバーの拡大部分平
面図である。
【図１２】 浮上ヘッドスライダの製造にあたって各空
気軸受け面を加工する工程を概略的に示すウェハーバー
の拡大部分平面図である。
【図１３】 リフトオフで形成される保護用突起を概略
的に示すウェハーバーの拡大部分断面図である。
【図１４】 溝の形成にあたって同時に削り出される保
護用突起を概略的に示すウェハーバーの拡大部分断面図
である。
【図１５】 浮上ヘッドスライダの製造にあたって保護
用突起の高さを調整する工程を概略的に示す浮上ヘッド
スライダの拡大部分側面図である。
【符号の説明】
１１ 記録媒体駆動装置としてのハードディスク駆動装
置（ＨＤＤ）、１３記録媒体としての磁気ディスク、１
８ ヘッドスライダ、２３ スライダ本体、２４ 読み
出し書き込みヘッド（ヘッド素子）２５ 保護膜として
のヘッド素子内蔵膜、２６ 媒体対向面すなわち浮上
面、３６ａ 空気軸受け面、４７ 窪みとしての溝、４
９ 保護用突起、５２ 第１前側壁面、５３ 第２前側
壁面、５４ 前側基準線、５５ 後側基準線、５６ 後
側基準線、５８ 気流、７９ 研磨用ディスク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉本 雅治 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 笠松 祥治 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 横畑 徹 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 渡邉 一弘 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 NA02 PA01 PA05 PA09 QA02 QA03

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 記録媒体と、媒体対向面で記録媒体に向
    き合わせられ、規定の浮上姿勢で記録媒体から浮上する
    ヘッドスライダと、ヘッドスライダ内でスライダ本体の
    空気流出側端面に積層される保護膜と、保護膜に埋め込
    まれて、媒体対向面で先端を露出させるヘッド素子と、
    ヘッド素子の空気流入側で媒体対向面から立ち上がる保
    護用突起とを備え、保護用突起は、保護膜の熱膨張時に
    ヘッド素子で確立される浮上高さよりも小さい浮上高さ
    で記録媒体から浮上することを特徴とする記録媒体駆動
    装置。
  2. 【請求項２】 請求項１に記載の記録媒体駆動装置にお
    いて、前記保護用突起は空気流入側に向かうにつれて狭
    まることを特徴とする記録媒体駆動装置。
  3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の記録媒体駆動
    装置において、前記保護用突起には、媒体対向面に直交
    する前側基準線から、前側基準線よりも空気流出側で媒
    体対向面に直交する後側基準線に向かって広がる前側壁
    面が形成されることを特徴とする記録媒体駆動装置。
  4. 【請求項４】 請求項１または２に記載の記録媒体駆動
    装置において、前記保護用突起には、媒体対向面に直交
    する第１および第２基準線から、第１および第２基準線
    の間に確立されて第１および第２基準線よりも空気流入
    側で媒体対向面に直交する第３基準線に向かって各々広
    がる第１および第２前側壁面が形成されることを特徴と
    する記録媒体駆動装置。
  5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載の記録媒
    体駆動装置において、前記保護用突起は、前記媒体対向
    面で空気軸受け面に刻まれる窪み内に配置されることを
    特徴とする記録媒体駆動装置。
  6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかに記載の記録媒
    体駆動装置において、前記保護用突起は、前記浮上姿勢
    の変化に応じて変化する気流の全入射方向にわたって、
    前記ヘッド素子に向かって直進する空気の流れを遮る大
    きさに形成されることを特徴とする記録媒体駆動装置。
  7. 【請求項７】 スライダ本体と、スライダ本体の空気流
    出側端面に積層される保護膜と、保護膜に埋め込まれ
    て、空気軸受け面で先端を露出させるヘッド素子と、ヘ
    ッド素子の空気流入側で空気軸受け面から立ち上がる保
    護用突起とを備え、保護用突起は空気流入側に向かうに
    つれて狭まることを特徴とするヘッドスライダ。
  8. 【請求項８】 スライダ本体と、スライダ本体の空気流
    出側端面に積層される保護膜と、保護膜に埋め込まれ
    て、空気軸受け面で先端を露出させるヘッド素子と、ヘ
    ッド素子の空気流入側で空気軸受け面から立ち上がる保
    護用突起とを備え、保護用突起には、空気軸受け面に直
    交する前側基準線から、前側基準線よりも空気流出側で
    空気軸受け面に直交する後側基準線に向かって広がる前
    側壁面が形成されることを特徴とするヘッドスライダ。
  9. 【請求項９】 スライダ本体と、スライダ本体の空気流
    出側端面に積層される保護膜と、保護膜に埋め込まれ
    て、空気軸受け面で先端を露出させるヘッド素子と、ヘ
    ッド素子の空気流入側で空気軸受け面から立ち上がる保
    護用突起とを備え、保護用突起には、空気軸受け面に直
    交する第１および第２基準線から、第１および第２基準
    線の間に確立されて第１および第２基準線よりも空気流
    入側で空気軸受け面に直交する第３基準線に向かって各
    々広がる第１および第２前側壁面が形成されることを特
    徴とするヘッドスライダ。
  10. 【請求項１０】 スライダ本体と、スライダ本体の空気
    流出側端面に積層される保護膜と、保護膜に埋め込まれ
    て、空気軸受け面で先端を露出させるヘッド素子と、ヘ
    ッド素子の空気流入側で空気軸受け面に刻まれる窪み
    と、窪み内でスライダ本体から立ち上がり、空気軸受け
    面よりも高い頂上を規定する保護用突起とを備えること
    を特徴とするヘッドスライダ。
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