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JP2003273291A - 電子部品及びその製造方法 - Google Patents

電子部品及びその製造方法

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Publication number
JP2003273291A
JP2003273291A JP2002069929A JP2002069929A JP2003273291A JP 2003273291 A JP2003273291 A JP 2003273291A JP 2002069929 A JP2002069929 A JP 2002069929A JP 2002069929 A JP2002069929 A JP 2002069929A JP 2003273291 A JP2003273291 A JP 2003273291A
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JP
Japan
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electronic component
conductive film
resin
exterior resin
film
Prior art date
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Application number
JP2002069929A
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English (en)
Inventor
Goro Ikegami
五郎 池上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd, Kansai Nippon Electric Co Ltd filed Critical Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型の電子部品をクリーム半田を介して印刷
配線基板にマウントする際に位置ずれし易かった。 【解決手段】 第1の導電膜7上に固定した電子部品本
体9と、第1導電膜7と略面一に配置された第2の導電
膜8とを電気的に接続し、第1、第2の導電膜7、8の
対向する周面を含む電子部品本体9固定面側を樹脂11
被覆した電子部品において、少なくとも一方の導電膜
7、8の外端を外装樹脂11の側壁から露呈させ、かつ
外装樹脂11側壁に露呈させた導電膜7、8の上面と樹
脂11底面の間の長さを40μm以上に設定した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電子部品及びその製
造方法に関し、特に1mm以下の外径を容易に実現でき
る電子部品及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】樹脂モールド型電子部品は一般的にリー
ドフレームを用いて製造される。即ち、アイランドとリ
ードとを一体化したリードフレームを用意し、アイラン
ド上に電子部品をマウントし、電子部品本体上の電極と
リードとをワイヤを介して電気的に接続した後、リード
フレーム上の電子部品本体を含む主要部分を外装樹脂で
被覆し、外装樹脂から露呈したリードフレームの不要部
分を切断除去して製造される。この一例を図15に示
す。図において、1はアイランド、2はアイランド1と
面一に配置されたリード、3はアイランド1上にマウン
トされた電子部品本体、4は電子部品本体3上の電極
(図示せす)とリード2とを電気的に接続するワイヤ、
5は電子部品本体3を含む主要部分を被覆した外装樹脂
を示す。この種電子部品6は例えば特開昭62−122
349号公報(先行技術1)に開示されており、アイラ
ンド1とリード2とが外装樹脂5の1つの面と面一に露
呈しているため表面実装が可能で、電子回路装置の小型
化に貢献している。この電子部品6は樹脂モールド時
に、外装樹脂5がアイランド1やリード2の実装面に回
り込んで薄いばりを形成すると表面実装の障害となるた
め、リードフレームを可撓性を有する樹脂フィルム(図
示せず)に貼り付けて密着させた状態で樹脂モールドし
た後、リードフレームから樹脂フィルムを剥離すること
によりアイランドやリードの実装面に樹脂ばりが形成さ
れないようにしている。一方、小型の電子回路装置、例
えば携帯電話などでは一層の小型、軽量化が要求され、
これを実現すべく電子部品も一層の小型軽量化が要求さ
れている。このような要求に応えるには電子部品本体3
を小型化すると同時にリードフレームを小型化し、アイ
ランド1の外径、リード2の巾、間隔を狭小化する必要
があるが、薄いリードフレームは強度が低下し移動にと
もなう振動や衝撃により変形し易くリードフレームを用
いた電子部品では小型化に限界があった。
【0003】そのため例えば特開平10−98133号
公報(先行技術2)には電子部品本体を被覆する外装樹
脂の外面に電子部品本体の電極を露呈させた構造の電子
部品が提案されている。この電子部品は、支持基板上に
電子部品本体と電極チップを配列し、電子部品本体上の
電極と電極チップとを電気的に接続した後、支持基板上
を外装樹脂で被覆し、硬化した外装樹脂から支持基板を
剥離することにより製造される。また、特開2002−
16181号公報(先行技術3)には可撓性を有する金
属基板上に第1、第2の金属層を形成し、第1の金属層
上に電子部品本体をマウントし、電子部品本体上の電極
と第2の金属層とを電気的に接続した後、金属基板上を
外装樹脂で被覆し、この外装樹脂から金属基板を剥離す
ることにより、外装樹脂表面に第1、第2の金属層を露
呈させ、外装樹脂を所定の寸法、形状に切断することに
より個々の電子部品を得ることが開示されている。先行
技術2、3に開示された電子部品はリードフレームが不
要であるため、先行技術1に開示された電子部品より一
層の小型化が可能である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、表面実装型
電子部品は一般的に印刷配線基板上の導電ランドにクリ
ーム半田を塗布し、この上に電子部品を仮止め配置し
て、印刷配線基板を高温雰囲気中に供給し、クリーム半
田を溶融させて電子部品を導電ランドに半田付けしてい
る。一方、外径寸法が数mmで電極間隔が狭い小型の電
子部品では、電子部品と配線基板の間で仮止めできない
ため電子部品の側壁部分で配線基板に仮止めして位置ず
れを防止しているが、特に外径寸法が1mm以下の小型
の電子部品では溶融半田の表面張力を利用して位置決め
している。
【0005】このとき導電ランドに供給された半田の量
が多いと半田が硬化するまでの間に移動して位置ずれす
る虞があり、半田量が少ないと熱膨張、熱収縮の繰返し
により熱膨張係数の差異によって生じたストレスが繰返
しかかり接着界面に亀裂を生じ、さらに亀裂が成長する
と電気的接続が損なわれるという問題があった。そのた
め、クリーム半田は適正量を供給し、この半田上に半田
の形状を変化させないように電子部品を供給する必要が
あった。
【0006】また先行技術2、3に開示された電子部品
は外装樹脂と面一に、電子部品本体の裏面電極や電極チ
ップあるいは第1、第2の金属層などの平面電極が外装
樹脂と面一に近接して露呈しているため、溶融半田によ
って平面電極間が短絡したり互いに近接し電気的接続を
不安定にすることがあった。また半田付け部の面積が小
さく直接見ることができないため、半田付け状態を外観
検査できず、半田付けの良否を確認できなかった。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、第1の導電膜上に固定
した電子部品本体と、第1導電膜と略面一に配置された
第2の導電膜とを電気的に接続し、第1、第2の導電膜
の対向する周面を含む電子部品本体固定面側を樹脂被覆
した電子部品において、少なくとも一方の導電膜の外端
を外装樹脂の側壁から露呈させ、かつ外装樹脂側壁に露
呈させた導電膜の上面と樹脂底面の間の長さを40μm
以上に設定したことを特徴とする電子部品を提供する。
【0008】また本発明は、第1、第2の導電膜を形成
した樹脂フィルムの第1の導電膜上に電子部品本体を固
定する工程と、電子部品本体上の電極と第2の導電膜と
を電気的に接続する工程と、樹脂フィルム上の電子部品
本体を含む領域を外装樹脂にて被覆する工程と、外装樹
脂から樹脂フィルムを剥離して第1、第2の導電膜を外
装樹脂表面に露呈させる工程とを有する電子部品の製造
方法において、外装樹脂の少なくとも一方の導電膜と重
合する領域をこの導電膜に達しない深さで切り込む工程
と、前記切り込み溝に沿って残留した外装樹脂側壁と導
電膜とを前記溝巾より狭い巾で切断する工程とを具え、
導電膜の外端を外装樹脂の側壁に露呈させたことを特徴
とする電子部品の製造方法と、傾斜した凸部を有し第
1、第2の導電膜のうち少なくとも一方の導電膜を前記
凸部の傾斜方向に形成した樹脂フィルムの一方の導電膜
上に電子部品本体を固定する工程と、電子部品本体上の
電極と他の導電膜とを電気的に接続する工程と、樹脂フ
ィルム上の電子部品本体を含む領域を外装樹脂にて被覆
する工程と、外装樹脂から樹脂フィルムを剥離して第
1、第2の導電膜を外装樹脂表面に露呈させる工程と、
前記凸部上で導電膜を横切って外装樹脂を切断する工程
とを含むことを特徴とする電子部品の製造方法とを提供
する。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明による電子部品は、外装樹
脂の底面に接着した状態で導電膜を露呈させた構造の電
子部品に関するもので、少なくとも一方の導電膜の外端
を外装樹脂の側壁から露呈させ、かつ外装樹脂側壁に露
呈させた導電膜の上面と樹脂底面の間の長さを40μm
以上に設定したことを特徴とするが、この電子部品は導
電膜の外端を外装樹脂の側壁から突出させて露呈させる
ことができる。また本発明による電子部品は外端を外装
樹脂の側壁から露呈させた導電膜は、外端部の厚みを内
部の厚みに比して厚く設定することができる。さらに本
発明による電子部品は、外装樹脂の側壁から露呈させる
導電膜は巾狭の舌片を有し、この舌片を外装樹脂の側壁
に露呈させることができる。
【0010】また本発明による電子部品は外装樹脂の底
面と側壁との隣接部にテーパ面を形成し、このテーパ面
に沿って導電膜を形成することができる。本発明による
電子部品の製造方法は、第1、第2の導電膜を形成した
樹脂フィルムの第1の導電膜上に電子部品本体を固定す
る工程と、電子部品本体上の電極と第2の導電膜とを電
気的に接続する工程と、樹脂フィルム上の電子部品本体
を含む領域を外装樹脂にて被覆する工程と、外装樹脂か
ら樹脂フィルムを剥離して第1、第2の導電膜を外装樹
脂表面に露呈させる工程と、外装樹脂の少なくとも一方
の導電膜と重合する領域をこの導電膜に達しない深さで
切り込む工程と、前記切り込み溝に沿って残留した外装
樹脂側壁と導電膜とを前記溝巾より狭い巾で切断する工
程とを具え、導電膜の外端を外装樹脂の側壁に露呈させ
たことを特徴とする。
【0011】また本発明の異なる製造方法では、傾斜し
た凸部を有し第1、第2の導電膜のうち少なくとも一方
の導電膜を前記凸部の傾斜方向に形成した樹脂フィルム
の一方の導電膜上に電子部品本体を固定する工程と、電
子部品本体上の電極と他の導電膜とを電気的に接続する
工程と、樹脂フィルム上の電子部品本体を含む領域を外
装樹脂にて被覆する工程と、外装樹脂から樹脂フィルム
を剥離して第1、第2の導電膜を外装樹脂表面に露呈さ
せる工程と、前記凸部上で導電膜を横切って外装樹脂を
切断する工程とを含むことを特徴とする。この場合、凸
部は樹脂フィルムを導電膜形成面側に向かってプレスす
ることにより形成することができる。また凸部は樹脂ペ
ーストを塗布することにより形成することかできる。こ
の場合、凸部を形成する樹脂ペーストとして導電性樹脂
ペーストを用いることができる。
【0012】
【実施例】以下に本発明の実施例を図1〜図5から説明
する。図1及び図2において、7は第1の導電膜、8
a、8bは第1の導電膜7と面一に配置された第2の導
電膜で、図示例では第1の導電膜7の一端側に同一寸
法、同一形状の第2の導電膜が2個並列形成されてい
る。第1、第2の導電膜7、8は金や銅、ニッケルなど
の金属またはこれらを主成分とする合金を単層めっきあ
るいは多層めっきして厚さ0.5〜50μmに形成した
ものである。9は第1の導電膜7上にマウントされた電
子部品本体、例えば半導体ペレット、10a、10bは
電子部品本体9上の電極(図示せず)と第2の導電膜8
a、8bとを電気的に接続するワイヤ、11は第1、第
2の導電膜7、8の周面を含む電子部品本体9が固定さ
れた面を被覆した外装樹脂を示す。この外装樹脂11の
外径寸法は例えば0.8mm×0.6mmで、この外径
寸法に対して、第1の導電膜7の外径寸法は例えば0.
4mm×0.4mmに、第2の導電膜8a、8bの各外
形寸法は例えば0.2mm×0.2mmに設定される。
【0013】本発明による電子部品12は第1、第2の
導電膜7、8の外端7A、8aA、8bAを外装樹脂1
1の側壁11Aから露呈させ、かつ外装樹脂側壁11A
に露呈させた導電膜7、8の上面7B、8aB(8b
B)と樹脂底面11Bの間の長さ(高さ)Tを、40μ
m以上に設定したことを特徴とする。この長さTは導電
膜7、8全体の厚みを厚く形成することにより容易に実
現できる。また図1実施例では導電膜7、8の外端7
A、8aA、8bAは面一に設定されているが、図3に
示すように外装樹脂11の側壁11Aから突出させるこ
ともできる。この突出長さLは50μmを超えると外力
により剥落する虞があるため、0〜50μmとすること
が望ましい。また図1実施例では導電膜7、8の厚みは
一定であるが、図4に示すように外端7A、8aA、8
bAの厚みを樹脂11で覆われた内部の厚みに比して厚
く設定することができる。 これにより、導電膜7、8
と外装樹脂11の接着面積が増大し接着強度が向上する
他、外部に露呈する部分のみ導電膜の厚みを厚くすれば
良いから膜材料として金を用いる場合、コストの上昇を
抑えることができる。また図2に示すように導電膜7、
8に巾狭の舌片を電気接続し、この舌片の外端を導電膜
7、8の外端とする場合には、舌片部分のみを肉厚にす
ることができ、この部分を高価な金で構成することによ
りコスト上昇を抑えることができる。また図1実施例に
おいて、導電膜7、8の外端部と隣接する部分を図5に
示すようにテーパ面とすることができる。これにより導
電膜7、8の厚みを薄く設定しても導電膜7、8の上面
7B、8aB(8bB)と樹脂底面11Bの間の長さT
を長くできる。
【0014】上記図3〜図5に示す実施例でも、導電膜
7、8の外端上面と外装樹脂11底面11Bの間の長さ
Tを長くでき、容易に40μm以上に設定することがで
きる。このようにして、外部電極となる導電膜7、8の
外端を外装樹脂11の側壁から露呈させ、さらに長さT
を40μm以上に設定することにより、図6に示すよう
に導電ランド13a、13b上にクリーム半田14a、
14bが供給された印刷配線基板13上に電子部品12
を供給すると電子部品12によって押さえられたクリー
ム半田は導電膜7、8の下面から外方に押出され導電膜
7、8の外端面にも付着する。この状態でクリーム半田
を加熱すると溶融したクリーム半田14は導電膜7、8
の下面で濡れると同時に導電膜7、8の外端7A、8a
A、8bAに這い上がり、電子部品12から食み出した
溶融半田を球面状に維持し、その表面張力により、電子
部品12を両側に引っ張り、導電ランド13上で電子部
品12の位置ずれを防止する。また導電ランド13と導
電膜7、8の間の余剰の半田は両端側に移動するため、
導電膜7、8間の半田による短絡が防止できる。
【0015】以下に本発明による電子部品の製造方法を
図7〜図14から説明する。先ず、図7及び図8に示す
配線基板15を用意する。この配線基板15は可撓性を
有する絶縁基板16上の全面を導電薄膜(図示せず)で
被覆し、この導電薄膜を所定形状にエッチングして必要
部分のみを残留させ、この残留部に第1、第2の導電膜
7、8を形成している。絶縁基板15表面は材質に応じ
表面粗度が0.1〜5μmとされ導電膜7、8の接着強
度を制御している。導電薄膜は無電解めっきのみの単層
膜あるいは無電解めっき層上に無電解めっき層あるいは
電解めっき層を積層した多層膜、導電箔を融着したもの
などを用いることができる。第1、第2の導電膜7、8
を電気めっきにより形成するため各導電膜7、8を互い
に電気的に接続している。即ち、図7に示すように絶縁
基板16の周縁を導電性矩形枠Aで囲み、第1の導電膜
7、7、・・を導電舌片Bを介して互いに電気的に接続
すると共に図示上下両端を矩形枠Aに接続し、一端側に
ある第1の導電膜7と矩形枠Aを接続舌片Bを介して電
気的に接続し、第2の導電膜8を隣の組の第1の導電膜
7に接続舌片Cを介して接続している。導電膜7、8の
絶縁基板16に対する接着強度(ピール強度)は前記粗
面により通常の電子回路装置用印刷配線基板としては不
適当な値である500g/cmより小さい値、例えば2
00g/cmに設定される。次に図9に示すように第1
の導電膜7上に電子部品本体9をマウントする。このマ
ウントは一般的には銀ペーストなどの導電性接着材を用
いて接着されるが、絶縁基板16として耐熱性を有する
ものを用いる場合には、熱圧着法や超音波ボンディング
法を採用することができる。次に図10に示すように電
子部品本体9上の電極(図示せず)と第2の導電膜8を
図示例ではワイヤ10を介して電気的に接続する。ワイ
ヤボンディング作業が完了した配線基板15は樹脂モー
ルド工程に送られて、図11に示すように絶縁基板16
上を外装樹脂11で被覆する。これにより、導電膜7、
8はその周面が外装樹脂11と接触した状態で樹脂被覆
される。このようにして樹脂外装を完了した配線基板1
5は図12に示す絶縁基板16の剥離工程に送られる。
この剥離作業の際、必要に応じて外装樹脂11側を固定
盤(図示せす)に貼り付けることにより、外装樹脂11
の変形を防止し剥離作業を容易にできる。導電膜7、8
と絶縁基板16の間の接着強度は予め小さく設定されて
いるから導電膜7、8は外装樹脂11に残留し外部に露
呈する。このようにして絶縁基板16を剥離した後、外
装樹脂11を回転ブレードやウォータジェットを用いた
ダイサ(図示せず)により切断し、絶縁基板16上に形
成された導電膜の内、矩形枠Aなどの不要部分を除去
し、接続舌片B、Cの中間位置を切断して第1、第2の
導電膜7、8を分離し、図1、図2に示す電子部品12
を得る。
【0016】この電子部品12は導電膜7、8の厚みを
40μm以上に形成することにより、外装樹脂11の側
壁に露呈した端面の高さを40μm以上設定でき、実装
性の良好な電子部品を実現できる。また導電膜7、8を
電気めっきにより形成する場合、電流密度を調整するこ
とにより、導電膜7、8の周縁部厚みを中央部厚みより
厚く形成することができる。このような配線基板15を
用いることにより図4に示す電子部品を実現できる。
【0017】また、図13に示すように絶縁基板16上
で各導電膜7、8の外端部となる領域に傾斜した凸部1
6aを形成し、この凸部16a上に導電膜7、8を形成
すると、導電膜7、8は傾斜するが、外装樹脂11て被
覆した後、この凸部16a部分を図示点線部分から切断
すると図5に示す電子部品を容易に製造することができ
る。この場合、絶縁基板16の凸部16aは絶縁基板1
6の裏面側からプレスすることにより形成することがで
きる。また、図14に示すように絶縁基板16上に樹脂
ペースト17を塗布して凸部16aを形成してもよい。
この樹脂ペーストとして電気的に絶縁性のペーストを用
いると図5に示す構造の電子部品が得られ、導電性ペー
ストを用いると図4に示す構造の電子部品を製造するこ
とができる。導電性ペーストを用いる場合には、導電膜
7、8の形成前後いずれでも凸部を形成することができ
る。このように絶縁基板16に凸部16aを形成する製
造方法では、導電膜7、8の厚みは薄くても外端部の高
さTを十分高く設定することができる。
【0018】尚、本発明は上記実施例にのみ限定される
ことなく、例えば電子部品本体は半導体ペレットなどの
能動素子だけでなく、抵抗、コンデンサ、インダクタな
どの受動素子にも適用できる。また1mm以下の外径寸
法の電子部品だけでなく、より大型の電子部品にも適用
できる。また電子部品本体9と導電膜8の接続はワイヤ
10を用いるだけでなく、導電テープ等を用いることが
でき、電子部品本体9に突起電極を形成することによ
り、各導電膜7、8上に跨って電子部品本体9を配置
し、各導電膜7、8と電子部品本体9とを突起電極を介
して直接的に電気接続することもできる。また導電膜
7、8の所要数は電子部品本体9の電極数により決定さ
れることはいうまでもない。
【0019】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、外径寸法
が小型で印刷配線基板上での仮止めが困難である場合で
も小型の位置ずれがなく、導電膜間の短絡を防止でき、
半田付けの良否を容易に確認できる電子部品を実現する
ことかでできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例を示す電子部品の側断面図
【図2】 図1電子部品の平断面図
【図3】 本発明による電子部品の他の実施例を示す側
断面図
【図4】 本発明による電子部品の他の実施例を示す側
断面図
【図5】 本発明による電子部品の他の実施例を示す側
断面図
【図6】 図5に示す電子部品の印刷配線基板への実装
状態を示す側断面図
【図7】 本発明による電子部品の製造に用いられる配
線基板の平面図
【図8】 図7に示す配線基板の側断面図
【図9】 本発明による電子部品の製造方法を示す側断
面図
【図10】 図9に示す製造工程に続く電子部品の製造
方法を示す側断面図
【図11】 図10に示す製造工程に続く電子部品の製
造方法を示す側断面図
【図12】 図11に示す製造工程に続く電子部品の製
造方法を示す側断面図
【図13】 本発明による電子部品の他の製造方法を説
明する要部側断面図
【図14】 図13に示す製造方法の変形例を説明する
要部側断面図
【図15】 小型の電子部品の従来例を示す側断面図
【符号の説明】 7、8a、8b 導電膜 7A、8aA、8bA 外端 9 電子部品本体 11 外装樹脂 12 電子部品

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第1の導電膜上に固定した電子部品本体
    と、第1導電膜と略面一に配置された第2の導電膜とを
    電気的に接続し、第1、第2の導電膜の対向する周面を
    含む電子部品本体固定面側を樹脂被覆した電子部品にお
    いて、少なくとも一方の導電膜の外端を外装樹脂の側壁
    から露呈させ、かつ外装樹脂側壁に露呈させた導電膜の
    上面と樹脂底面の間の長さを40μm以上に設定したこ
    とを特徴とする電子部品。
  2. 【請求項2】導電膜の外端を外装樹脂の側壁から突出さ
    せて露呈させたことを特徴とする請求項1に記載の電子
    部品。
  3. 【請求項3】外端を外装樹脂の側壁から露呈させた導電
    膜は、外端部の厚みを内部の厚みに比して厚く設定した
    ことを特徴とする請求項1に記載の電子部品。
  4. 【請求項4】外装樹脂の側壁から露呈させる導電膜は巾
    狭の舌片を有し、この舌片を外装樹脂の側壁に露呈させ
    たことを特徴とする請求項1に記載の電子部品。
  5. 【請求項5】外装樹脂の底面と側壁との隣接部にテーパ
    面が形成され、このテーパ面に沿って導電膜が形成され
    たことを特徴とする請求項1に記載の電子部品。
  6. 【請求項6】第1、第2の導電膜を形成した樹脂フィル
    ムの第1の導電膜上に電子部品本体を固定する工程と、
    電子部品本体上の電極と第2の導電膜とを電気的に接続
    する工程と、樹脂フィルム上の電子部品本体を含む領域
    を外装樹脂にて被覆する工程と、外装樹脂から樹脂フィ
    ルムを剥離して第1、第2の導電膜を外装樹脂表面に露
    呈させる工程とを有する電子部品の製造方法において、
    外装樹脂の少なくとも一方の導電膜と重合する領域をこ
    の導電膜に達しない深さで切り込む工程と、前記切り込
    み溝に沿って残留した外装樹脂側壁と導電膜とを前記溝
    巾より狭い巾で切断する工程とを具え、導電膜の外端を
    外装樹脂の側壁に露呈させたことを特徴とする電子部品
    の製造方法。
  7. 【請求項7】傾斜した凸部を有し第1、第2の導電膜の
    うち少なくとも一方の導電膜を前記凸部の傾斜方向に形
    成した樹脂フィルムの一方の導電膜上に電子部品本体を
    固定する工程と、電子部品本体上の電極と他の導電膜と
    を電気的に接続する工程と、樹脂フィルム上の電子部品
    本体を含む領域を外装樹脂にて被覆する工程と、外装樹
    脂から樹脂フィルムを剥離して第1、第2の導電膜を外
    装樹脂表面に露呈させる工程と、前記凸部上で導電膜を
    横切って外装樹脂を切断する工程とを含むことを特徴と
    する電子部品の製造方法。
  8. 【請求項8】凸部が樹脂フィルムを導電膜形成面側に向
    かってプレスすることにより形成されたことを特徴する
    請求項7に記載の電子部品の製造方法。
  9. 【請求項9】凸部が樹脂ペーストを塗布することにより
    形成されたことを特徴とする請求項7に記載の電子部品
    の製造方法。
  10. 【請求項10】凸部を形成する樹脂ペーストが導電性樹
    脂ペーストであることを特徴する請求項9に記載の電子
    部品の製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2022050174A (ja) * 2020-09-17 2022-03-30 アオイ電子株式会社 半導体装置の製造方法、及び、半導体装置

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