JP2003138039A - Polyimide film - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、様々な電子機器の
軽量、小型化に伴い、絶縁材料として多用されるように
なってきたポリイミドフィルムに関する。ポリイミドフ
ィルムの様々な用途の中で、フレキシブルプリント基
板、特にTAB(Tape Automated Bonding)方式に用い
られるベースフィルムとなるポリイミドフィルムに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polyimide film which has been widely used as an insulating material with the weight and size reduction of various electronic devices. Among various uses of a polyimide film, the present invention relates to a flexible printed circuit board, in particular, a polyimide film as a base film used in a TAB (Tape Automated Bonding) system.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、フレキシブルプリント配線板(以
下、FPCという。)は、そのフレキシビリティを活か
し、主にカメラ内部の狭いスペースに折り畳まれて用い
られてきた。しかし近年、FDドライブ、ハードディス
クドライブ、コピー機、プリンタなどの駆動部に使われ
るようになり、摺動屈曲特性の更なる向上が要求される
ようになってきた。ベースフィルムのフレキシビリティ
ーを高くするには、化学構造的に屈曲性の高いポリイミ
ドからなるフィルムを用いればよいが、一般に屈曲性の
高いポリイミドは線膨張係数が大きいため、該ポリイミ
ドフィルムを絶縁材として用いたフレキシブルプリント
基板は反りやカールを生じやすいという欠点を有してい
る。また、逆に線膨張係数が小さいポリイミドを選択し
た場合はフィルム自体の可とう性が失われ非常に脆弱と
なり、得られるFPCの屈曲性までも低下してしまうと
いう問題があったまた近年、半導体デバイスの多ピン
化、小型化、高密度実装に対応できる技術として、長尺
の絶縁フィルムにLSI等の半導体チップを載置するた
めの孔(デバイスホール)を設け、その上に非常に薄い
銅箔リードを形成し、このリードを介してLSI等とプ
リント配線板などを接続するTAB技術が注目されてい
る。このようなTAB技術において、一般に保護層、接
着剤層、及び有機絶縁フィルム層(ベースフィルム層)
の3層構造からなるFCテープが用いられており、FC
テープを加工したTABテープ上にLSIを実装するま
での加工工程は以下のようにして行われる。すなわち、
TABテープの加工工程は、パンチングによりスプロ
ケットホール、デバイスホールを形成する工程、保護
層を除去し銅箔をラミネートした後、接着剤を硬化する
工程、配置パターン形成工程(レジスト塗布、銅のエ
ッチング、レジスト剥離)、メッキ処理工程、イン
ナーリードボンディング工程、樹脂封止工程、パン
チング工程、アウターリードボンディング工程の8工
程で行われ、以上の加工工程を経て、LSIが実装され
るのである。TABテープ上にLSIを実装する際に、
パンチングの工程からメッキ処理工程までは、張力
を加えて行われる。このため、ベースフィルムの弾性率
が低い場合は、伸びが生じやすく精密パターンの回路を
描くことが困難であった。また、銅箔ラミネーティン
グ、接着剤硬化、インナーリードボンディング、樹
脂封止、アウターリードボンディングの加工工程にお
いては、熱がかけられるため、TABテープのベースフ
ィルムの線膨張係数が大きいと不都合が生じる。例え
ば、インナーリードボンディングの加工工程では、ベ
ースフィルムの熱膨張により、LSIとの接合位置のず
れを生じる。同様に、アウターリードボンディングの
加工工程では、アウターリードと基板との接合位置のず
れを生じる。これらの接合位置のずれは、信頼性を低下
する原因となる。また、銅箔ラミネーティングの加工
工程では、銅箔と共に加熱されるので、銅箔と異なった
熱挙動を示すと、つまり銅箔と異なった線膨張係数を有
するとカールの原因となる。カール、すなわち、TAB
テープのそりが生じると、ボンディングの電気的な接続
部に歪が生じ、回路の電気的信頼性が低下するという問
題があった。また、ベースフィルムの吸水率が大きい場
合、の銅箔ラミネーティングの加工工程においては、
接着剤の硬化反応が終了して硬化用加熱炉から取り出さ
れた直後はベースフィルムが乾燥しているため、歪なく
銅箔と固定されているが、この銅箔をラミネートした状
態で放置すると、ベースフィルムの性質から、時間と共
に吸湿膨張する。しかし銅箔は吸湿膨張せず、また、フ
ィルムと比較して、剛性が高くフィルムの膨張が原因で
寸法変化を起こすこともないため、銅箔とフィルムには
さまれた接着剤層に内部応力が蓄積されることになる。
したがって、この状態で配置パターン形成加工を行う
と、乾燥と吸湿が繰り返されることになり、エッチング
により銅箔上に配線パターンを形成すると、銅箔が除去
された部分の応力が開放されて寸法変化が生じ、配線パ
ターン形成のためのフォトマスク寸法よりも大きなパタ
ーンが形成されたり、そりやカールが生じたりする。そ
の結果、半導体デバイスとの接続不良が発生し、このよ
うな寸法変化はTAB加工工程における歩留まり低下の
原因となっていた。2. Description of the Related Art Conventionally, a flexible printed wiring board (hereinafter referred to as an FPC) has been used mainly by being folded into a narrow space inside a camera, taking advantage of its flexibility. However, in recent years, it has come to be used in drive units of FD drives, hard disk drives, copiers, printers, etc., and there is a demand for further improvement in sliding and bending characteristics. In order to increase the flexibility of the base film, a film made of a polyimide having a high flexibility in terms of chemical structure may be used. Generally, a polyimide having a high flexibility has a large linear expansion coefficient. The flexible printed circuit board used as above has a drawback that it is apt to warp or curl. On the contrary, when a polyimide having a small coefficient of linear expansion is selected, the flexibility of the film itself is lost and it becomes very fragile, and the flexibility of the obtained FPC is also reduced. As a technology that can support device multi-pinning, downsizing, and high-density mounting, a hole (device hole) for mounting a semiconductor chip such as LSI is provided on a long insulating film, and a very thin copper film is formed on the hole. The TAB technique of forming a foil lead and connecting the LSI or the like to a printed wiring board or the like via the lead is drawing attention. In such a TAB technique, a protective layer, an adhesive layer, and an organic insulating film layer (base film layer) are generally used.
FC tape with a three-layer structure of
The processing steps until the LSI is mounted on the TAB tape obtained by processing the tape are performed as follows. That is,
The processing steps of the TAB tape include a step of forming sprocket holes and device holes by punching, a step of curing the adhesive after removing the protective layer and laminating a copper foil, an arrangement pattern forming step (resist coating, copper etching, The resist is peeled off), the plating process, the inner lead bonding process, the resin sealing process, the punching process, and the outer lead bonding process, and the LSI is mounted through the above processing steps. When mounting the LSI on the TAB tape,
From the punching process to the plating process, tension is applied. For this reason, when the elastic modulus of the base film is low, it is difficult to draw a circuit having a precise pattern because the base film easily stretches. Further, heat is applied in the processing steps of copper foil laminating, adhesive curing, inner lead bonding, resin encapsulation, and outer lead bonding, so that a large coefficient of linear expansion of the base film of the TAB tape causes inconvenience. For example, in the processing step of inner lead bonding, the thermal expansion of the base film causes a shift in the bonding position with the LSI. Similarly, in the outer lead bonding processing step, a displacement occurs in the bonding position between the outer lead and the substrate. The deviation of these joining positions causes a decrease in reliability. Further, in the process of copper foil laminating, since it is heated together with the copper foil, it exhibits curling behavior different from that of the copper foil, that is, a coefficient of linear expansion different from that of the copper foil causes curling. Curl or TAB
When the warp of the tape occurs, there is a problem in that the electrical connection part of the bonding is distorted and the electrical reliability of the circuit deteriorates. Also, when the water absorption of the base film is large, in the processing step of copper foil laminating,
Immediately after the curing reaction of the adhesive is completed and the base film is dried immediately after being taken out from the heating furnace for curing, it is fixed to the copper foil without distortion, but if this copper foil is left in a laminated state, Due to the nature of the base film, it absorbs and expands over time. However, copper foil does not swell due to moisture absorption, and because it has higher rigidity than the film and does not cause dimensional changes due to the expansion of the film, the internal stress in the adhesive layer sandwiched between the copper foil and the film Will be accumulated.
Therefore, if the placement pattern forming process is performed in this state, drying and moisture absorption will be repeated, and when the wiring pattern is formed on the copper foil by etching, the stress in the portion where the copper foil is removed is released and the dimensional change occurs. Occurs, a pattern larger than the photomask size for forming the wiring pattern is formed, and warpage or curling occurs. As a result, a defective connection with a semiconductor device occurs, and such a dimensional change causes a reduction in yield in the TAB processing step.
【0003】上記のような不都合を生じさせないために
は、具体的にはTABテープの加工工程において、イ
ンナーリードボンディングの加工工程においては、LS
I(シリコンウェハー)とベースフィルムの線膨張係数
が近いことが必要であり、また、アウターリードボン
ディングの加工工程では、接合する基板と、ベースフィ
ルムの線膨張係数が近いこと、さらに、銅箔ラミネー
ティングの加工工程では、銅箔とベースフィルムの線膨
張係数が近いことが要求される。また、フレキシブルプ
リント基板の製造工程においてもTABテープの加工工
程と同様に、銅箔のラミネート、配線パターンの形成な
どの工程が含まれており、フィルムの線膨張係数、吸水
率などの諸特性がカールなどの原因となる。また、弾性
率が小さい、すなわち腰が弱いと製造工程において取り
扱いが困難となってくる。ポリイミドフィルムにおいて
は、その線膨張係数および弾性率はポリイミドの一次化
学構造に大きく依存することが知られている。 しかし
一般に弾性率が大きくなるようなポリイミドの一次化学
構造を選択した場合、線膨張係数が小さくなってしま
い、弾性率と線膨張係数を調和させることが困難であっ
た。In order to prevent the above inconvenience from occurring, specifically, in the TAB tape processing step, in the inner lead bonding processing step, LS is used.
I (silicon wafer) and the base film must have a linear expansion coefficient close to each other, and in the process of outer lead bonding, the substrate to be joined and the base film have a similar linear expansion coefficient. In the processing step of coating, it is required that the copper foil and the base film have similar linear expansion coefficients. Also, in the process of manufacturing a flexible printed circuit board, similar to the process of processing a TAB tape, a process of laminating a copper foil, a process of forming a wiring pattern, etc. are included, and various characteristics such as a linear expansion coefficient and a water absorption rate of the film are obtained. It may cause curling. Further, if the elastic modulus is small, that is, if the elasticity is low, it becomes difficult to handle in the manufacturing process. It is known that the coefficient of linear expansion and the elastic modulus of a polyimide film largely depend on the primary chemical structure of the polyimide. However, in general, when a polyimide primary chemical structure having a large elastic modulus is selected, the linear expansion coefficient becomes small, and it is difficult to match the elastic modulus and the linear expansion coefficient.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記状況に鑑み、本発
明者らは鋭意検討を行った結果、TABテープやフレキ
シブルプリント基板への加工工程において、伸びが生じ
ることがなく、そりやカールすることのないポリイミド
フィルムに関し本発明に至ったのである。In view of the above situation, the inventors of the present invention have made earnest studies, and as a result, in the process of processing a TAB tape or a flexible printed circuit board, warpage or curling does not occur without elongation. The present invention relates to a polyimide film that does not have the above.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、少なくともポ
リイミド樹脂成分と雲母系無機フィラーを含有する組成
物からなり、引張り弾性率が4GPa以上、100℃か
ら200℃までの平均線膨張係数が18〜28ppm、
吸湿膨張係数が15ppm以下であるポリイミドフィル
ムに関する。The present invention comprises a composition containing at least a polyimide resin component and a mica type inorganic filler, and has a tensile elastic modulus of 4 GPa or more and an average linear expansion coefficient from 100 ° C to 200 ° C of 18 ~ 28 ppm,
It relates to a polyimide film having a hygroscopic expansion coefficient of 15 ppm or less.
【0006】また本発明は、少なくともポリイミド樹脂
成分と雲母系無機フィラーを含有する組成物からなり、
引張り弾性率が5GPa以上、100℃から200℃ま
での平均線膨張係数が20〜25ppm、吸湿膨張係数
が12ppm以下であるポリイミドフィルムに関する。Further, the present invention comprises a composition containing at least a polyimide resin component and a mica type inorganic filler,
The present invention relates to a polyimide film having a tensile elastic modulus of 5 GPa or more, an average linear expansion coefficient from 100 ° C. to 200 ° C. of 20 to 25 ppm, and a hygroscopic expansion coefficient of 12 ppm or less.
【0007】また本発明は、雲母系無機フィラーが合成
雲母であることを特徴とする前記ポリイミドフィルムに
関する。The present invention also relates to the above polyimide film, wherein the mica type inorganic filler is synthetic mica.
【0008】また本発明は、雲母系無機フィラーが非膨
潤性雲母であることを特徴とする前記ポリイミドフィル
ムに関する。The present invention also relates to the above polyimide film, wherein the mica-based inorganic filler is a non-swelling mica.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】以下、本発明のポリイミドフィル
ムについてその実施の形態の一例に基づき説明する。本
発明のポリイミドフィルムは、ポリイミド前駆体である
ポリアミド酸の有機溶剤溶液を、エンドレスベルト、ス
テンレスドラムなどの支持体上に流延し、乾燥・イミド
化させることにより製造される。 本発明に用いられる
ポリアミド酸の製造方法としては公知の方法を用いるこ
とができ、通常、芳香族酸二無水物の少なくとも1種と
ジアミンの少なくとも1種を、実質的等モル量を有機溶
媒中に溶解させて、得られたポリアミド酸有機溶媒溶液
を、制御された温度条件下で、上記酸二無水物とジアミ
ンの重合が完了するまで攪拌することによって製造され
る。これらのポリアミド酸溶液は通常5〜35wt%、
好ましくは10〜30wt%の濃度で得られる。この範囲
の濃度である場合に適当な分子量と溶液粘度を得る。重
合方法としてはあらゆる公知の方法を用いることができ
るが、特に好ましい重合方法として次のような方法が挙
げられる。すなわち、
1)芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと
実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物を反
応させて重合する方法。
2)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過小
モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反
応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得
る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二
無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなる
ように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法。
3)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過剰
モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反
応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得
る。続いてここに芳香族ジアミン化合物を追加添加後、
全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香
族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族
テトラカルボン酸二無水物を用いて重合する方法。
4)芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中
に溶解及び/または分散させた後、実質的に等モルとな
るように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方
法。
5)実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物
と芳香族ジアミンの混合物を有機極性溶媒中で反応させ
て重合する方法。
などのような方法である。ここで、本発明にかかるポリ
イミド前駆体ポリアミド酸組成物に用いられる材料につ
いて説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The polyimide film of the present invention will be described below based on an example of its embodiment. The polyimide film of the present invention is produced by casting an organic solvent solution of a polyamic acid, which is a polyimide precursor, on a support such as an endless belt or a stainless drum, followed by drying and imidization. As a method for producing the polyamic acid used in the present invention, a known method can be used. Usually, at least one kind of aromatic acid dianhydride and at least one kind of diamine are used in a substantially equimolar amount in an organic solvent. And the resulting polyamic acid organic solvent solution is stirred under controlled temperature conditions until the polymerization of the acid dianhydride and diamine is completed. These polyamic acid solutions are usually 5 to 35 wt%,
It is preferably obtained at a concentration of 10 to 30 wt%. When the concentration is within this range, an appropriate molecular weight and solution viscosity are obtained. As the polymerization method, any known method can be used, and particularly preferable polymerization methods include the following methods. That is, 1) a method in which an aromatic diamine is dissolved in an organic polar solvent, and a substantially equimolar amount of an aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted therewith to perform polymerization. 2) Aromatic tetracarboxylic acid dianhydride is reacted with an aromatic diamine compound in an excessively small molar amount in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Then, a method of polymerizing using an aromatic diamine compound so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps. 3) Aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted with an excess molar amount of an aromatic diamine compound in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Then after adding additional aromatic diamine compound here,
A method of polymerizing using an aromatic tetracarboxylic dianhydride such that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps. 4) A method in which an aromatic tetracarboxylic dianhydride is dissolved and / or dispersed in an organic polar solvent, and then polymerization is performed using an aromatic diamine compound so as to be substantially equimolar. 5) A method of reacting a mixture of substantially equimolar amounts of aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine in an organic polar solvent to perform polymerization. And so on. Here, the materials used for the polyimide precursor polyamic acid composition according to the present invention will be described.
【0010】本ポリイミドにおける使用のための適当な
酸無水物は、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7
−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,
4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,
2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシ
フェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリ
レンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカル
ボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス
(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、
1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン
二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタ
ン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エ
タン二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビス(3,
4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、p−フ
ェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水
物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無
水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエ
ステル酸無水物)及びそれらの類似物を含み、これらを
単独または、任意の割合の混合物が好ましく用い得る。Suitable acid anhydrides for use in the present polyimides are pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7.
-Naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ',
4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,
2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride,
2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) Propane dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) Ethane dianhydride,
1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, oxydiphthalate Acid dianhydride, bis (3,
4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, p-phenylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride) Products) and their analogs, and these can be preferably used alone or in a mixture in any ratio.
【0011】これらのうち、本発明において用いられる
ポリイミド前駆体ポリアミド酸組成物において最も適当
な酸二無水物としてp−フェニレンビス(トリメリット
酸モノエステル無水物)、ピロメリット酸二無水物およ
びこれらの混合物が上げられる。またさらにp-フェニ
レンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)とピロ
メリット酸二無水物のモル比で95/5〜5/95、好
ましくは80/20〜5/95、更には70/30〜1
0/90、更に好ましくは60/40〜15/85の割
合の混合物を用いた場合に諸特性のバランスに優れたポ
リイミドフィルムを得ることができる。Of these, p-phenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), pyromellitic dianhydride and these are most suitable acid dianhydrides in the polyimide precursor polyamic acid composition used in the present invention. The mixture of is raised. Furthermore, the molar ratio of p-phenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride) and pyromellitic dianhydride is 95/5 to 5/95, preferably 80/20 to 5/95, and further 70/30 to 1
When a mixture of 0/90, more preferably 60/40 to 15/85, is used, a polyimide film having an excellent balance of various properties can be obtained.
【0012】本発明にかかるポリイミド前駆体ポリアミ
ド酸組成物において使用し得る適当なジアミンとして
は、4,4‘−オキシジアニリン、p−フェニレンジア
ミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,
4’−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン、3,
3’−ジクロロベンジジン、4,4’−ジアミノジフェ
ニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホ
ン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’
−オキシジアニリン、3,3’−オキシジアニリン、
3,4’−オキシジアニリン、1,5−ジアミノナフタ
レン、4,4’−ジアミノジフェニルジエチルシラン、
4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4’−ジア
ミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、4,4’−
ジアミノジフェニルN−メチルアミン、4,4’−ジア
ミノジフェニル N−フェニルアミン、1,4−ジアミ
ノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジア
ミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン及びそれらの
類似物などが挙げられる。これらジアミン化合物の中
で、4,4‘−オキシジアニリン及びp−フェニレンジ
アミンをモル比で1/9〜9/1、好ましくは1/7〜
7/1、更に好ましくは1/4〜4/1の範囲で用いる
のが諸特性のバランスに優れたポリイミドフィルムが得
られるので好ましい。ポリアミド酸を合成するための好
ましい溶媒は、アミド系溶媒すなわちN,N−ジメチル
フォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−
メチル−2−ピロリドンなどであり、N,N−ジメチル
フォルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドが特に
好ましく用い得る。また、本発明において用いる雲母系
無機フィラーとしては、天然雲母、合成雲母のいかなる
ものを用いてもよいが、合成雲母、中でも合成フッ素雲
母を用いるのがフィルム製造工程の安定化という観点か
ら特に好ましい。また更に、雲母には膨潤性、非膨潤性
という分類をすることもできるが、この分類によれば非
膨潤性のものを用いるのが低吸水率すなわち低吸湿膨張
係数を達成する上で好ましい。雲母系無機フィラーは、
平均粒径が1〜100μm、好ましくは1〜75μm、
更に好ましくは1〜50μm、特に好ましくは1〜25
μmであり、アスペクト比は10〜50、好ましくは1
5〜45、更に好ましくは20〜45のものを用いるの
が望ましい。雲母系無機フィラーの大きさが上記範囲を
外れると機械的強度が低下したり、TAB用ベースフィ
ルムとして用いる場合、重要な特性である透明性が大き
く損なわれることがある。また、雲母系無機フィラーの
添加量はポリイミド100重量部に対して30重量部以
下、好ましくは20重量部以下、より好ましくは15重
量部以下、特に好ましくは10重量部以下である。添加
量が上記範囲を上回ると吸水特性、機械的強度、透明性
などの諸特性に悪影響を及ぼすことがある。雲母系無機
フィラーの添加は、0重合前または途中に重合反応液に
添加する方法
1重合完了後、3本ロールなどを用いてフィラーを混錬
する方法
2フィラーを含む分散液を用意し、これをポリアミド酸
有機溶媒溶液に混合する方法
などいかなる方法を用いてもよいが、フィラーを含む分
散液をポリアミド酸溶液に混合する方法、特に製膜直前
に混合する方法が製造ラインのフィラーによる汚染が最
も少なくすむため、好ましい。フィラーを含む分散液を
用意する場合、ポリアミド酸の重合溶媒と同じ溶媒を用
いるのが好ましい。また、フィラーを良好に分散させ、
また分散状態を安定化させるために分散剤、増粘剤等を
フィルム物性に影響を及ぼさない範囲内で用いることも
できる。これらポリアミド酸溶液からポリイミドフィル
ムを製造する方法については従来公知の方法を用いるこ
とができる。この方法には熱イミド化法と化学イミド化
法が挙げられるが、熱的寸法安定性、機械的強度の面か
ら化学イミド化法によるイミド化が好ましい。化学キュ
ア法は、ポリアミド酸有機溶媒溶液に、無水酢酸等の酸
無水物に代表される脱水剤と、イソキノリン、β−ピコ
リン、ピリジン等の第三級アミン類等に代表されるイミ
ド化触媒とを作用させる方法である。化学イミド化法に
熱イミド化法を併用してもよい。加熱条件は、ポリアミ
ド酸の種類、フィルムの厚さ等により、変動し得る。以
上のようにして
0弾性率が4GPa以上、好ましくは4.5GPa以
上、更に好ましくは5GPa以上
1100〜200℃の平均線膨張係数が18〜28pp
m、好ましくは18〜25ppm、更に好ましくは20
〜25ppm
2吸湿膨張係数が15ppm以下、好ましくは12pp
m以下、特に好ましくは10ppm以下
3厚みが10〜125μm、好ましくは20〜100μ
m、更に好ましくは25〜75μm、特に好ましくは4
0〜60μm
のポリイミドフィルムを得ることができる。これら諸特
性が上記範囲を満たすことにより、特にTABテープや
フレキシブルプリント基板への加工工程における前記不
具合点を解消することができる。Suitable diamines which can be used in the polyimide precursor polyamic acid composition according to the present invention include 4,4'-oxydianiline, p-phenylenediamine, 4,4'-diaminodiphenylpropane, 4,
4'-diaminodiphenylmethane, benzidine, 3,
3'-dichlorobenzidine, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4 '
-Oxydianiline, 3,3'-oxydianiline,
3,4'-oxydianiline, 1,5-diaminonaphthalene, 4,4'-diaminodiphenyldiethylsilane,
4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4'-diaminodiphenylethylphosphine oxide, 4,4'-
Diaminodiphenyl N-methylamine, 4,4'-diaminodiphenyl N-phenylamine, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene, 1,2-diaminobenzene and their analogues And so on. Among these diamine compounds, 4,4′-oxydianiline and p-phenylenediamine are in a molar ratio of 1/9 to 9/1, preferably 1/7 to
It is preferable to use 7/1, and more preferably 1/4 to 4/1 because a polyimide film excellent in balance of various properties can be obtained. Preferred solvents for synthesizing polyamic acid are amide solvents, that is, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-.
Methyl-2-pyrrolidone and the like, and N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide can be particularly preferably used. Further, as the mica-based inorganic filler used in the present invention, any of natural mica and synthetic mica may be used, but it is particularly preferable to use synthetic mica, especially synthetic fluoromica from the viewpoint of stabilizing the film production process. . Further, the mica can be classified into swelling property and non-swelling property, but according to this classification, it is preferable to use a non-swelling mica in order to achieve a low water absorption coefficient, that is, a low hygroscopic expansion coefficient. Mica-based inorganic filler is
An average particle size of 1 to 100 μm, preferably 1 to 75 μm,
More preferably 1 to 50 μm, particularly preferably 1 to 25
μm, aspect ratio is 10 to 50, preferably 1
It is desirable to use one having a diameter of 5 to 45, more preferably 20 to 45. If the size of the mica-based inorganic filler is out of the above range, the mechanical strength may be reduced, or when used as a base film for TAB, transparency, which is an important characteristic, may be greatly impaired. Further, the addition amount of the mica-based inorganic filler is 30 parts by weight or less, preferably 20 parts by weight or less, more preferably 15 parts by weight or less, and particularly preferably 10 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the polyimide. If the amount added exceeds the above range, various properties such as water absorption properties, mechanical strength and transparency may be adversely affected. Addition of mica-based inorganic filler, 0 method of adding to the polymerization reaction solution before or during the polymerization 1 after completion of the polymerization method of kneading the filler using a three-roll etc. 2 prepare a dispersion liquid containing the filler, May be used any method such as a method of mixing with a polyamic acid organic solvent solution, but a method of mixing a dispersion containing a filler with a polyamic acid solution, particularly a method of mixing immediately before film formation causes contamination by the filler in the production line. It is preferable because it requires the least amount. When preparing a dispersion liquid containing a filler, it is preferable to use the same solvent as the polyamic acid polymerization solvent. Also, disperse the filler well,
Further, in order to stabilize the dispersed state, a dispersant, a thickener, etc. may be used within a range that does not affect the physical properties of the film. A conventionally known method can be used as a method for producing a polyimide film from these polyamic acid solutions. Examples of this method include a thermal imidization method and a chemical imidization method, and from the viewpoint of thermal dimensional stability and mechanical strength, imidization by the chemical imidization method is preferable. The chemical curing method includes a polyamic acid organic solvent solution, a dehydrating agent typified by an acid anhydride such as acetic anhydride, and an imidization catalyst typified by tertiary amines such as isoquinoline, β-picoline, and pyridine. Is a method of acting. The thermal imidization method may be used in combination with the chemical imidization method. The heating conditions may vary depending on the type of polyamic acid, the thickness of the film, and the like. As described above, the 0 elastic modulus is 4 GPa or more, preferably 4.5 GPa or more, more preferably 5 GPa or more, and the average linear expansion coefficient at 1100 to 200 ° C. is 18 to 28 pp.
m, preferably 18 to 25 ppm, more preferably 20
-25 ppm 2 Hygroscopic expansion coefficient 15 ppm or less, preferably 12 pp
m or less, particularly preferably 10 ppm or less 3 thickness is 10 to 125 μm, preferably 20 to 100 μm
m, more preferably 25 to 75 μm, particularly preferably 4
A polyimide film having a thickness of 0 to 60 μm can be obtained. By satisfying these characteristics in the above ranges, it is possible to eliminate the above-mentioned inconveniences particularly in the process of processing a TAB tape or a flexible printed circuit board.
【0013】またさらに、このようにして得られたポリ
イミドフィルムを用いてフレキシブルプリント基板やT
ABテープを作成した場合、接着剤を完全硬化させた後
(銅箔のエッチング無し)の反り量は、好ましくは1.
5mm以下、さらに好ましくは1.3mm以下、特に好
ましくは1.0mm以下であり、かつ、銅箔をエッチン
グにより完全に除去した後の反り量は好ましくは4mm
以下、更に好ましくは3.5mm以下、特に好ましくは
3mm以下である。銅箔付きおよび銅箔フルエッチング
後の反り量がこれら範囲を同時に満たすときに、加工お
よび実装工程における反り由来の不具合点を解消するこ
とができる。Furthermore, by using the polyimide film thus obtained, flexible printed circuit boards and T
When the AB tape is produced, the amount of warp after the adhesive is completely cured (without etching the copper foil) is preferably 1.
5 mm or less, more preferably 1.3 mm or less, particularly preferably 1.0 mm or less, and the amount of warp after the copper foil is completely removed by etching is preferably 4 mm.
The following is more preferably 3.5 mm or less, and particularly preferably 3 mm or less. When the amount of warpage with copper foil and the amount of warp after copper foil full etching satisfy these ranges at the same time, it is possible to eliminate defects caused by warpage in the processing and mounting steps.
【0014】[0014]
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明は実施例のみに限定されるものではない。
(参考例)TABテープ作成及び反り測定
反りの値は、以下の手順で作成したTAB用テープ35
mm角に切り出し、湿度60%RH、温度23℃の部屋
に72時間放置したのち、平面上に静置し4隅のうき上
がり高さを測定し、4点のデータの平均値で示した。0
ポリアミド樹脂(日本リルサン社製プラタボンドM12
76)50重量部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂
(油化シェルエポキシ社製エピコート828)30重量
部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂10重量部、
トルエン/イソプロピルアルコール1/1混合溶液15
0重量部を混合した溶液に、ジアミノジフェニルスルホ
ン/ジシアンジアミド4/1 20%メチルセロソルブ
溶液45重量部を混合した接着剤溶液を調製し、125
μm厚みのPETフィルム上に接着剤を、乾燥後11μm
になるように塗布し、120℃で2分乾燥した。このB
ステージ接着剤付きPETフィルムを27mm幅にスリ
ットした。235mm幅のポリイミドフィルムの中央部
に のBステージ接着剤付きPETフィルムを張り合わ
せ、90℃で1kg/cm2の圧力で圧着した。 PE
Tフィルムを剥がし、銅箔(三井金属製、VLP18μ
m厚み)と、ロールラミネート法で張り合わせた。張り
合わせの温度は120℃、圧力は2kg/cm2であ
る。(エッチング無しTABテープ)3上記銅張あわせ品
を、60℃で3時間、80℃で3時間、120℃で3時
間、140℃で3時間、160℃で4時間のステップで
加熱後徐冷して接着剤の硬化を行った。 (エッチング
無しテープ)4接着剤の硬化後、銅箔をエッチングによ
り完全に除去した。(銅フルエッチングテープ)
(実施例1)ピロメリット酸二無水物、p-フェニレン
ビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、4,4‘-オ
キシジアニリン、p−フェニレンジアミンをモル比で7
0/30/75/25の割合で合成したポリアミド酸の
18wt%のDMF溶液100gに、別途10gのDM
Fに合成フッ素雲母(コープケミカル製MK−200;
平均粒径5〜8μm、アスペクト比20〜30)0.9
gを分散させた分散液を全量撹拌混合した。このフィラ
ー入りポリアミド酸溶液に無水酢酸20gとイソキノリ
ン10gからなる硬化剤を混合、攪拌し、遠心分離によ
る脱泡の後、アルミ箔上に流延塗布した。攪拌から脱泡
までは0℃に冷却しながら行った。このアルミ箔とポリ
アミド酸溶液の積層体を120℃で150秒間加熱し、
自己支持性を有するゲルフィルムを得た。このゲルフィ
ルムをアルミ箔から剥がし、フレームに固定した。この
ゲルフィルムを300℃、400℃、500℃で各30
秒間加熱してポリイミドフィルムを得、参考例に従って
TABテープを作成した。ポリイミドフィルム及びTA
Bテープの特性を表1に示す。EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to the examples. (Reference example) TAB tape preparation and warp measurement The warp value is the TAB tape 35 prepared by the following procedure.
It was cut out into a square of mm, left for 72 hours in a room with a humidity of 60% RH and a temperature of 23 ° C., and then allowed to stand on a flat surface, and the rising heights of the four corners were measured. 0
Polyamide resin (platabond M12 manufactured by Nippon Rilsan Co., Ltd.)
76) 50 parts by weight, 30 parts by weight of bisphenol A type epoxy resin (Epicoat 828 manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.), 10 parts by weight of cresol novolac type epoxy resin,
Toluene / isopropyl alcohol 1/1 mixed solution 15
An adhesive solution was prepared by mixing 0 part by weight of the solution with 45 parts by weight of diaminodiphenyl sulfone / dicyandiamide 4/1 20% methyl cellosolve solution.
Adhesive on PET film with a thickness of μm, 11 μm after drying
And was dried at 120 ° C. for 2 minutes. This B
The PET film with the stage adhesive was slit into a width of 27 mm. A PET film with a B-stage adhesive was stuck to the center of a polyimide film having a width of 235 mm, and pressure-bonded at 90 ° C. under a pressure of 1 kg / cm 2 . PE
Peel off the T film and remove the copper foil (Mitsui Kinzoku, VLP 18μ
m thickness) and the roll lamination method. The laminating temperature is 120 ° C. and the pressure is 2 kg / cm 2 . (TAB tape without etching) 3 Heat the above copper-clad product in steps of 60 ° C for 3 hours, 80 ° C for 3 hours, 120 ° C for 3 hours, 140 ° C for 3 hours, and 160 ° C for 4 hours, and then gradually cool. Then, the adhesive was cured. (Tape without etching) 4 After the adhesive was cured, the copper foil was completely removed by etching. (Copper full etching tape) (Example 1) Pyromellitic dianhydride, p-phenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), 4,4'-oxydianiline, p-phenylenediamine in a molar ratio of 7
To 100 g of a 18 wt% DMF solution of polyamic acid synthesized at a ratio of 0/30/75/25, another 10 g of DM was added.
Synthetic fluoromica on F (MK-200 manufactured by Corp Chemical);
Average particle size 5-8 μm, aspect ratio 20-30) 0.9
The total amount of the dispersion liquid in which g was dispersed was mixed with stirring. A curing agent composed of 20 g of acetic anhydride and 10 g of isoquinoline was mixed with this filler-containing polyamic acid solution, stirred, defoamed by centrifugation, and cast-coated on an aluminum foil. The process from stirring to defoaming was performed while cooling to 0 ° C. The laminate of this aluminum foil and the polyamic acid solution is heated at 120 ° C. for 150 seconds,
A gel film having self-supporting property was obtained. This gel film was peeled off from the aluminum foil and fixed to the frame. This gel film at 300 ℃, 400 ℃, 500 ℃ each 30
A polyimide film was obtained by heating for 2 seconds, and a TAB tape was prepared according to the reference example. Polyimide film and TA
The characteristics of the B tape are shown in Table 1.
【0015】(実施例2)1.8gの合成フッ素雲母
(コープケミカル製MK−200;平均粒径5〜8μ
m、アスペクト比20〜30)を用いた以外は実施例1
と同様にしてポリイミドフィルム及びTABテープを得
た。ポリイミドフィルム及びTABテープの特性を表1
に示す。(Example 2) 1.8 g of synthetic fluoromica (MK-200 manufactured by Corp Chemical); average particle size 5 to 8 μm
m, aspect ratio 20 to 30), except that Example 1 was used.
A polyimide film and a TAB tape were obtained in the same manner as in. Table 1 shows the characteristics of polyimide film and TAB tape.
Shown in.
【0016】(実施例3)0.9gの合成フッ素雲母
(コープケミカル製MK−100;平均粒径3〜5μ
m、アスペクト比20〜30)を用いた以外は実施例1
と同様にしてポリイミドフィルム及びTABテープを得
た。ポリイミドフィルム及びTABテープの特性を表1
に示す。
(実施例4)ピロメリット酸二無水物、p-フェニレン
ビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、4,4‘-オ
キシジアニリン、p−フェニレンジアミンをモル比で7
0/30/80/20の割合で合成したポリアミド酸の
18wt%のDMF溶液を用いた以外は実施例1と同様
にしてポリイミドフィルム及びTABテープを得た。ポ
リイミドフィルム及びTABテープの特性を表1に示
す。(Example 3) 0.9 g of synthetic fluoromica (MK-100 manufactured by Corp Chemical); average particle size 3 to 5 μm
m, aspect ratio 20 to 30), except that Example 1 was used.
A polyimide film and a TAB tape were obtained in the same manner as in. Table 1 shows the characteristics of polyimide film and TAB tape.
Shown in. (Example 4) Pyromellitic dianhydride, p-phenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), 4,4'-oxydianiline, p-phenylenediamine in a molar ratio of 7
A polyimide film and a TAB tape were obtained in the same manner as in Example 1 except that an 18 wt% DMF solution of a polyamic acid synthesized at a ratio of 0/30/80/20 was used. Table 1 shows the characteristics of the polyimide film and the TAB tape.
【0017】(比較例1)ピロメリット酸二無水物、4,
4‘-オキシジアニリン、p−フェニレンジアミンをモル
比で100/75/25の割合で合成したポリアミド酸
の18wt%のDMF溶液を用いた以外は実施例1と同
様にしてポリイミドフィルム及びTABテープを得た。
ポリイミドフィルム及びTABテープの特性を表1に示
す。
(比較例2)ピロメリット酸二無水物、p-フェニレン
ビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、4,4‘-オ
キシジアニリン、p−フェニレンジアミンをモル比で7
2/28/70/30の割合で合成したポリアミド酸の
18wt%のDMF溶液を用い、かつ合成雲母を用いな
かった以外は実施例1と同様にしてポリイミドフィルム
及びTABテープを得た。ポリイミドフィルム及びTA
Bテープの特性を表1に示す。(Comparative Example 1) Pyromellitic dianhydride, 4,
A polyimide film and a TAB tape were prepared in the same manner as in Example 1 except that an 18 wt% DMF solution of a polyamic acid prepared by synthesizing 4'-oxydianiline and p-phenylenediamine in a molar ratio of 100/75/25 was used. Got
Table 1 shows the characteristics of the polyimide film and the TAB tape. (Comparative Example 2) Pyromellitic dianhydride, p-phenylene bis (trimellitic acid monoester anhydride), 4,4'-oxydianiline, and p-phenylenediamine in a molar ratio of 7
A polyimide film and a TAB tape were obtained in the same manner as in Example 1 except that an 18 wt% DMF solution of a polyamic acid synthesized at a ratio of 2/28/70/30 was used and no synthetic mica was used. Polyimide film and TA
The characteristics of the B tape are shown in Table 1.
【0018】[0018]
【表1】 [Table 1]
【0019】[0019]
【発明の効果】本発明により、フレキシブルプリント基
板やTABテープへの加工工程において、伸びが生じる
ことがなく、かつ、そりやカールすることのないポリイ
ミドフィルムを提供することができる。According to the present invention, it is possible to provide a polyimide film which does not warp or curl in the process of processing a flexible printed circuit board or a TAB tape.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 赤堀 廉一 滋賀県大津市雄琴北2丁目23−6 Fターム(参考) 4F071 AA60 AB26 AE17 AF10Y AF20Y AF62Y BC01 4J002 CM041 DJ056 FD016 GQ00 GQ01 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page (72) Inventor, Renichi Akahori 23-6 Ogokita, Otsu City, Shiga Prefecture F term (reference) 4F071 AA60 AB26 AE17 AF10Y AF20Y AF62Y BC01 4J002 CM041 DJ056 FD016 GQ00 GQ01
Claims (4)
無機フィラーを含有する組成物からなり、引張り弾性率
が4GPa以上、100℃から200℃までの平均線膨
張係数が18〜28ppm、吸湿膨張係数が15ppm
以下であるポリイミドフィルム。1. A composition comprising at least a polyimide resin component and a mica-based inorganic filler, having a tensile modulus of 4 GPa or more, an average linear expansion coefficient from 100 ° C. to 200 ° C. of 18 to 28 ppm, and a hygroscopic expansion coefficient of 15 ppm.
The following polyimide film.
無機フィラーを含有する組成物からなり、引張り弾性率
が5GPa以上、100℃から200℃までの平均線膨
張係数が20〜25ppm、吸湿膨張係数が12ppm
以下であるポリイミドフィルム。2. A composition comprising at least a polyimide resin component and a mica-based inorganic filler, having a tensile modulus of 5 GPa or more, an average linear expansion coefficient from 100 ° C. to 200 ° C. of 20 to 25 ppm, and a hygroscopic expansion coefficient of 12 ppm.
The following polyimide film.
とを特徴とする請求項1ないし2記載のポリイミドフィ
ルム。3. The polyimide film according to claim 1, wherein the mica-based inorganic filler is synthetic mica.
ることを特徴とする請求項1〜3記載のポリイミドフィ
ルム。4. The polyimide film according to claim 1, wherein the mica-based inorganic filler is a non-swelling mica.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001338429A JP2003138039A (en) | 2001-11-02 | 2001-11-02 | Polyimide film |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1650262A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-26 | General Electric Company | Polyetherimide composition, film, process, and article |
-
2001
- 2001-11-02 JP JP2001338429A patent/JP2003138039A/en active Pending
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EP1650262A1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-04-26 | General Electric Company | Polyetherimide composition, film, process, and article |
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