[go: up one dir, main page]

JP2003115216A - Conductive paste - Google Patents

Conductive paste

Info

Publication number
JP2003115216A
JP2003115216A JP2002209269A JP2002209269A JP2003115216A JP 2003115216 A JP2003115216 A JP 2003115216A JP 2002209269 A JP2002209269 A JP 2002209269A JP 2002209269 A JP2002209269 A JP 2002209269A JP 2003115216 A JP2003115216 A JP 2003115216A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conductive paste
powder
electrode
acrylate
photosensitive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2002209269A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2003115216A5 (en
Inventor
Junji Sanada
淳二 真多
Hitoshi Nobumasa
均 信正
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP2002209269A priority Critical patent/JP2003115216A/en
Publication of JP2003115216A publication Critical patent/JP2003115216A/en
Publication of JP2003115216A5 publication Critical patent/JP2003115216A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Conductive Materials (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide conductive paste having specific resistance and adhesion strength showing values equal to or almost comparable to those of an electrode formed of elemental Ag and improved in migration-resistance at a low cost. SOLUTION: The purpose is accomplished by conductive paste characterized by containing a binder resin, Ag powder and at least one kind of metal or compound of metal selected from a group comprising Ti, Ni, In, Sn and Sb.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電極、導電性部
材、多層基板などに応用できる導電ペーストに関し、特
に耐マイグレーション性に優れ、該電極を用いた部材の
信頼性を向上させる導電ペーストに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conductive paste applicable to electrodes, conductive members, multilayer substrates, etc., and more particularly to a conductive paste having excellent migration resistance and improving the reliability of members using the electrodes.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、電子回路やディスプレイに用いる
電極材料としては、AgやCuやAlなどの低抵抗材料
が用いられていたが、低抵抗で安定して使用できるとい
う点からはAgまたはCuに限られていた。Cuの場合
はフレキシブル回路やTABテープに多用されている
が、その殆どはCu表面が酸化されたり腐食したりしな
いように保護材で覆われており、加工時の表面保護や雰
囲気管理には注意を要する。ところがAgの場合はAg
自体が大気中で安定であり、大気雰囲気の焼成によって
様々な回路パターンを形成することができるので、非常
に加工の自由度が高い。しかし、Ag、Cu、Alのい
ずれの材料においても、環境中の水分によるマイグレー
ションが発生しやすく、特にAgの場合には、電圧印加
中に陽極から溶出したAg+イオンが、電極間または陰
極付近で析出し、やがては短絡に至るということのみが
欠点として残っていた。この問題を回避する方法とし
て、通常は電極を硬化樹脂などで被覆して外気と触れな
いようにする工夫が施されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, low resistance materials such as Ag, Cu and Al have been used as electrode materials used in electronic circuits and displays. However, Ag or Cu have a low resistance and can be used stably. Was limited to. Cu is often used in flexible circuits and TAB tape, but most of it is covered with a protective material to prevent the Cu surface from being oxidized or corroded, so be careful in surface protection and atmosphere control during processing. Requires. However, if Ag, Ag
Since it is stable in the air itself and various circuit patterns can be formed by firing in the air atmosphere, the degree of freedom of processing is very high. However, in any of Ag, Cu, and Al materials, migration due to moisture in the environment is likely to occur, and particularly in the case of Ag, Ag + ions eluted from the anode during voltage application may occur between electrodes or near the cathode. The only drawback remained was that it was deposited and eventually short-circuited. As a method for avoiding this problem, a device is usually provided to cover the electrode with a cured resin or the like so as not to come into contact with the outside air.

【0003】しかし、この方法では樹脂と電極の間に気
泡やひびなどの僅かな隙間が存在した場合に、マイグレ
ーションを起こす可能性が高く、信頼性を確保できない
場合があった。特に電極間の距離が500μm以下の精
密回路では電極間の絶縁抵抗が小さくなるので、マイグ
レーションが発生しやすくなり信頼性の確保は困難であ
った。
However, according to this method, there is a high possibility that migration will occur when a small gap such as a bubble or a crack exists between the resin and the electrode, and reliability cannot be ensured. In particular, in a precision circuit in which the distance between the electrodes is 500 μm or less, the insulation resistance between the electrodes becomes small, so that migration easily occurs and it is difficult to secure reliability.

【0004】また、最近では、回路の大型化や、立体的
な複雑化が進み、スパッタ法や蒸着法ではなく、導電ペ
ーストを塗布・焼成をして電極形成するケースが増えて
いる。
In recent years, the size of circuits and the three-dimensional complication have progressed, and the number of cases in which conductive paste is applied and fired to form electrodes is increasing instead of sputtering or vapor deposition.

【0005】そこで、特開平10−27519号公報で
は電極材料の改良方法として、Ag/Pd合金粉末を用
いて耐マイグレーション性を向上させる方法が提案され
ている。また、特開平10−162646号公報では、
耐マイグレーション性を向上させる方法としてAg/C
u合金粉末が提案されている。
Therefore, Japanese Patent Laid-Open No. 10-27519 proposes a method for improving the migration resistance by using Ag / Pd alloy powder as a method for improving the electrode material. Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 10-162646,
Ag / C as a method for improving migration resistance
A u alloy powder has been proposed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかし、Ag/Pd合
金粉末やAg/Cu合金粉末では、それら粉末の製造工
程が煩雑でコストが高く、汎用品の材料として用いるに
は高価であった。また、合金であるが故に粒子形状の制
御や、粒度分布の制御など、Ag単体の粉末製造に比べ
て困難な点が多く、供給安定性に欠けていた。これらの
合金を用いた電極の耐マイグレーション性試験では、短
絡に至るまでの時間が、Ag単独の電極に比べて数倍長
くなるものの、Agイオンの溶出・還元はあまり抑制さ
れておらず、根本的な対策といえるものでは無かった。
However, with Ag / Pd alloy powder and Ag / Cu alloy powder, the manufacturing process of these powders is complicated and the cost is high, and it is expensive to use as a material for general-purpose products. Further, since it is an alloy, there are many difficulties in controlling the particle shape, controlling the particle size distribution, and the like as compared with the production of powder of Ag alone, and the supply stability was lacking. In the migration resistance test of electrodes using these alloys, although the time to reach a short circuit is several times longer than that of electrodes using Ag alone, elution and reduction of Ag ions are not significantly suppressed, and It was not an effective measure.

【0007】そこで、本発明は、上記問題点に着目し、
Agイオンの溶出・溶解をさらに抑制して、電極の信頼
性をより高くする方法を提供することにある。
Therefore, the present invention focuses on the above problems,
Another object of the present invention is to provide a method of further suppressing the elution and dissolution of Ag ions to further enhance the reliability of the electrode.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下の構成からなる。すなわち本発明は、
バインダー樹脂、Ag粉末、およびTi、Ni、In、
Sn、Sbの群から選ばれる少なくとも1種の金属また
は金属の化合物を含有することを特徴とする導電ペース
トである。
In order to solve the above problems, the present invention has the following constitution. That is, the present invention is
Binder resin, Ag powder, and Ti, Ni, In,
It is a conductive paste containing at least one kind of metal or metal compound selected from the group consisting of Sn and Sb.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下に本発明の導電ペーストの好
ましい実施の形態について、プラズマディスプレイ(以
下、PDPと略す)を例に挙げて説明するが、なんらこ
れに限定されるものではなく、他の電極部材、導電性部
材、多層基板などに用いることができる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiments of the conductive paste of the present invention will be described by taking a plasma display (hereinafter abbreviated as PDP) as an example, but the present invention is not limited thereto and other It can be used as an electrode member, a conductive member, a multilayer substrate, or the like.

【0010】本発明は、セラミックの回路基板やPDP
の電極付きガラス基板などの焼成して電極を形成するも
のと、プリント基板の回路やTABテープ/電子部品の
接続部材などの、樹脂を硬化させて導電性部材を形成す
るものとして特に好適に用いることができる。
The present invention is directed to a ceramic circuit board or PDP.
It is particularly preferably used as a material for forming an electrode by firing such as a glass substrate with an electrode and a material for curing a resin to form a conductive member such as a circuit of a printed circuit board or a connecting member of a TAB tape / electronic component. be able to.

【0011】本発明の導電ペーストにおいてはAg粉末
を必須とするが、一般にAg粉末は低抵抗と低コストを
目的に使用される場合が多く、その使用量が多い部材ほ
ど、また、電極の間隔の狭いものほどAgのマイグレー
ションによる短絡欠陥が発生しやすいため、その対策が
求められる。中でも近年大型のフラットディスプレイパ
ネルの本命といわれているPDPは、対角30〜60イ
ンチの画面の全面または一部にAgを使用しており、ま
た高精細化が進められいることから、本発明の導電ペー
ストを使用することが大変有用である。
Ag powder is essential in the conductive paste of the present invention. Generally, Ag powder is often used for the purpose of low resistance and low cost. The larger the amount of the Ag powder used, the more the spacing between the electrodes. The narrower the number, the more likely the short circuit defect due to migration of Ag is to occur, and therefore a countermeasure is required. Among them, the PDP, which is said to be a favorite of large-sized flat display panels in recent years, uses Ag for the entire surface or a part of a screen having a diagonal size of 30 to 60 inches, and the high definition is being promoted. It is very useful to use this conductive paste.

【0012】従来から、Agを基体に合金化する方法が
いろいろと提案されているが、この場合Ag粉末の製造
工程と合金の製造工程を変えざるを得ないため、元々使
用していたAg粉末と同じ形状や粒径に制御するには、
多くの試行錯誤が必要であり、ひいてはコストアップに
つながるので好ましくない。本発明の導電ペーストにお
いては、Ag粉末に、Ti、Ni、In、Sn、Sbの
群から選ばれる少なくとも1種の金属または金属の化合
物の少なくとも1種類以上を添加することにより、マイ
グレーションを防止することができる。より好ましく
は、Ni、In、Snの群から選ばれる少なくとも1種
の金属または金属の化合物を添加することである。金属
化合物の種類としては、酸化物、硫化物、ハロゲン化
物、水酸化物、酸塩化物、リン酸塩、硝酸塩、硫酸塩、
炭酸塩、有機酸塩、有機金属化合物、錯塩など特に限定
されないが、焼成時に副生成物が殆ど発生しない酸化物
がより好ましい。
Conventionally, various methods of alloying Ag with a substrate have been proposed. In this case, however, the manufacturing process of Ag powder and the manufacturing process of alloy have to be changed, so that the Ag powder originally used is used. To control the same shape and particle size as
Many trials and errors are required, which leads to cost increase, which is not preferable. In the conductive paste of the present invention, migration is prevented by adding at least one kind of metal or a compound of at least one metal selected from the group of Ti, Ni, In, Sn, and Sb to Ag powder. be able to. More preferably, at least one metal or metal compound selected from the group consisting of Ni, In, and Sn is added. The types of metal compounds include oxides, sulfides, halides, hydroxides, acid chlorides, phosphates, nitrates, sulfates,
The carbonate, organic acid salt, organic metal compound, complex salt and the like are not particularly limited, but oxides that hardly generate by-products during firing are more preferable.

【0013】これらの金属または金属化合物の形態とし
て好ましいのは、固体である。固体であることで導電ペ
ーストや電極層の経時安定性が優れ、焼成した場合にも
化学変化が少ないので好ましく用いることができる。さ
らに、固体の場合は粒径が30μm以下の粉末であるこ
とが好ましい。形成される電極の厚みは1〜20μmで
あることが多く、電極に凸凹の欠陥が発生しないのでた
めには粒径が30μm以下であることが好ましく、より
好ましくは20μm以下である。
The preferred form of these metals or metal compounds is solid. Since it is solid, the conductive paste and the electrode layer have excellent stability over time, and the chemical change thereof is small even when fired, so that it can be preferably used. Further, in the case of a solid, a powder having a particle size of 30 μm or less is preferable. The thickness of the formed electrode is often 1 to 20 μm, and the particle size is preferably 30 μm or less, and more preferably 20 μm or less, in order to prevent uneven defects on the electrode.

【0014】ここで、金属化合物として好ましいのは、
有機金属化合物や錯塩を焼成して得られる酸化物である
が、その場合は大気中で焼成して有機成分を十分に除去
し、酸化させることができれば液体や溶液でも構わな
い。
Here, the preferred metal compound is
The oxide is obtained by baking an organometallic compound or a complex salt, but in that case, a liquid or a solution may be used as long as it can be baked in the air to sufficiently remove the organic component and be oxidized.

【0015】本導電ペーストに用いられる金属の価数に
ついて酸化物の場合を例に挙げて説明する。金属単体で
は価数が0価であるが、Ti、Ni、In、Sn、Sb
は化合物になると+1価、+2価など様々な価数を取り
得る。本発明においては、還元作用を示し得る価数のも
のが好ましい。Snを例に挙げると、SnにはSn単体
の0価、SnOの2価と、SnO2の4価のものがある
が、還元作用を持つ0価のSnと2価のSnOがより好
ましく用いられる。これはおそらくSn自身が酸化さ
れ、Ag+イオンを還元することで、電極中からAg+
溶出を抑制しているものと思われる。従って、酸化物を
例として挙げれば、Tiの場合は、TiとTiOとTi
23、Niの場合は、NiとNiOとNi34、Inの
場合はIn 2OとInO、Sbの場合はSbとSb23
とSbO2をより好ましく用いることができる。
The valence of the metal used in this conductive paste
The case of an oxide will be described as an example. Metal alone
Has zero valence, but Ti, Ni, In, Sn, Sb
Is a compound, it takes various valences such as +1 valence and +2 valence.
obtain. In the present invention, the number of valences that can show a reducing action
Is preferred. Taking Sn as an example, Sn is a simple substance of Sn.
0 valence, SnO 2 valence, and SnO2There are four-valued ones
However, 0-valent Sn and 2-valent SnO, which have a reducing effect, are more preferable.
It is used well. This is probably because Sn itself is oxidized
And Ag+Ag is reduced from the electrode by reducing ions.+of
It seems that the dissolution is suppressed. Therefore, the oxide
As an example, in the case of Ti, Ti, TiO, and Ti
2O3, Ni, Ni, NiO and Ni3OFour, In
In case 2O and InO, Sb and Sb for Sb2O3
And SbO2Can be more preferably used.

【0016】このほか、インジウムチンオキサイド(以
下、ITOと略す)などのような導電性の複合酸化物
や、ネサと呼ばれるSnO2にSbやPを少量ドープし
た導電性酸化物なども同様の効果を有する。良導電性を
示すこれらの酸化物は電子輸送を可能にする空の軌道が
存在し、これがAg+イオンへの還元性を示して、Ag+
イオンの溶出を抑制しているものと思われる。
In addition, a conductive complex oxide such as indium tin oxide (hereinafter abbreviated as ITO) or a conductive oxide such as SnO 2 in which a small amount of Sb or P is doped into Nesa has the same effect. Have. These oxides having good conductivity exists an empty orbital which allow electron transport, which indicates the reduction of the Ag + ions, Ag +
It seems that the elution of ions is suppressed.

【0017】一方、上述した金属以外の元素について
は、上述した金属類に比べて、耐マイグレーション性が
不充分であるので、本発明の導電ペーストには用いるこ
とができない。特にアルカリ金属やアルカリ土類金属で
は、逆にイオンの溶出量が多く、かえってマイグレーシ
ョンを促進するという問題が生じる。また、金属の状態
が安定すぎて還元作用を示さないので用いることができ
ない。
On the other hand, elements other than the above-mentioned metals cannot be used in the conductive paste of the present invention because they have insufficient migration resistance as compared with the above-mentioned metals. In particular, in the case of alkali metals and alkaline earth metals, on the contrary, the amount of ions eluted is large, which rather causes a problem of promoting migration. In addition, it cannot be used because the state of the metal is too stable to show a reducing action.

【0018】本発明の導電ペーストに含まれるTi、N
i、In、Sn、Sbの群から選ばれる少なくとも1種
の金属または金属の化合物は、電極部材の金属・無機成
分のうち0.1〜20重量%であることが好ましい。よ
り好ましくは0.5〜3重量%である。この範囲内にあ
ることでAg電極の導電性を損なうことなく耐マイグレ
ーション性を向上させることができる。
Ti, N contained in the conductive paste of the present invention
At least one metal or metal compound selected from the group consisting of i, In, Sn, and Sb is preferably 0.1 to 20 wt% of the metal / inorganic component of the electrode member. It is more preferably 0.5 to 3% by weight. Within this range, the migration resistance can be improved without impairing the conductivity of the Ag electrode.

【0019】本発明の導電ペーストに含まれるTi、N
i、In、Sn、Sbの群から選ばれる少なくとも1種
の金属または金属の化合物を含む材料の粉末は、平均粒
径が0.01〜30μmであることが好ましい。この範
囲にあることで、導電ペーストの加工特性を損なうこと
なく電極パターンを形成することができるためである。
0.01μmよりも粒径の小さい粉末では焼成時に酸化
が進み耐マイグレーション性が向上しなくなるので好ま
しくない。また30μmよりも大きい場合には、Ag電
極中に存在する金属または金属の化合物を含む材料の粉
末の数の絶対量が減少して、耐マイグレーション性が向
上しなくなる傾向にあり、添加量を増やして対処しても
電極上に突起が増えるため好ましくない。これらの特性
に鑑みると、0.2〜10μmの粉末を用いることがよ
り好ましい。この範囲にあることでより分散性が良く、
かつ、より耐マイグレーション性に優れた電極を得るこ
とができる。なお、ここで言う平均粒径とは、粒子を水
などの分散媒中に分散させ、レーザー回折・散乱法や沈
降法などによって算出される粒径のことである。本発明
ではレーザー回折・散乱式の装置(MICROTRAC
・HRA・Model;9320−X100)を用いて
平均粒径を求めた。他にもBET比表面積を測定し粒子
の比重で割り付けて平均粒径を求める方法もあり、レー
ザー回折・散乱式との差は±0.5μm程度であること
から、1μm以上の粒径では測定方法による差は小さい
と考えられる。
Ti, N contained in the conductive paste of the present invention
The powder of the material containing at least one metal selected from the group of i, In, Sn, and Sb or the compound of the metal preferably has an average particle diameter of 0.01 to 30 μm. This is because the electrode pattern can be formed within this range without impairing the processing characteristics of the conductive paste.
A powder having a particle size smaller than 0.01 μm is not preferable because oxidation proceeds during firing and the migration resistance does not improve. On the other hand, when it is larger than 30 μm, the absolute amount of the number of powders of the material containing the metal or the compound of the metal present in the Ag electrode tends to decrease, and the migration resistance tends not to improve, and the addition amount increases. Even if it is dealt with, it is not preferable because protrusions increase on the electrode. In view of these characteristics, it is more preferable to use powder of 0.2 to 10 μm. Within this range, better dispersibility,
In addition, an electrode having more excellent migration resistance can be obtained. The average particle size referred to here is a particle size calculated by a laser diffraction / scattering method, a sedimentation method or the like by dispersing the particles in a dispersion medium such as water. In the present invention, a laser diffraction / scattering type device (MICROTRAC
-HRA Model; 9320-X100) was used to determine the average particle size. There is also a method of measuring the BET specific surface area and assigning it by the specific gravity of the particles to obtain the average particle size. Since the difference from the laser diffraction / scattering formula is about ± 0.5 μm, it is measured at particle sizes of 1 μm or more. The difference between the methods is considered to be small.

【0020】樹脂を硬化させて導電層を形成する場合に
おいては、導電粉末の形状は扁平状の粉末のものを用い
ることが好ましい。また、粒径は5〜30μmの範囲の
ものを用いることができる。扁平状の粉末を用いること
によって導電粉末同士の接触確率が高くなり比抵抗値が
小さくなる。特に違法導電性のシートを形成する場合に
は、粒径は、導電層の厚みに応じた粒径の粉末を用いる
必要がある。例えば導電層の厚みが10μmの場合は平
均粒径が10〜12μmの範囲内にあることが好まし
い。かようにして耐マイグレーション性に優れた所望の
比抵抗値を持つ電極を得ることができる。
When the resin is cured to form the conductive layer, it is preferable to use flat conductive powder. Further, those having a particle size in the range of 5 to 30 μm can be used. The use of the flat powder increases the probability of contact between the conductive powders and reduces the specific resistance value. Particularly when forming an illegally conductive sheet, it is necessary to use a powder having a particle size corresponding to the thickness of the conductive layer. For example, when the thickness of the conductive layer is 10 μm, the average particle diameter is preferably within the range of 10 to 12 μm. In this way, an electrode having a desired specific resistance value with excellent migration resistance can be obtained.

【0021】また、Ag粉末の形状は、粒状(粒子
状)、多面体状、球状のものが使用できる。塗膜中のA
g粉末は緻密にパッキングされた方が低抵抗になるの
で、中でも粒度分布がシャープで、凝集体が少なく、球
状であることがより好ましい。この場合、球状とは球形
率が90個数%以上を意味する。球形率は、粉末を光学
顕微鏡で300倍の倍率にて撮影し、このうち計数可能
な粒子を計数し、球形のものの比率を表すものとする。
球形率が高いほど比表面積がより小さく、タップ密度が
より大きくなるので好ましい。
The shape of the Ag powder may be granular (particulate), polyhedral or spherical. A in the coating
Since the g powder has a lower resistance when it is densely packed, it is more preferable that the g powder has a sharp particle size distribution, few agglomerates, and a spherical shape. In this case, the spherical shape means that the sphericity is 90 number% or more. The sphericity indicates the ratio of spherical particles obtained by photographing the powder with an optical microscope at a magnification of 300 times and counting the countable particles.
The higher the sphericity, the smaller the specific surface area and the larger the tap density, which is preferable.

【0022】本発明の導電ペーストを用いて、ガラス基
板やアルミナ基板などの絶縁基板上に形成した電極は、
その比抵抗の値が1.6〜20μΩ・cmであることが
好ましい。比抵抗の測定は、所定の線幅と長さを持つ電
極パターンの抵抗値を測定し、該抵抗値を長さと線幅で
割り付け、厚みをかけることによって算出される。比抵
抗は低いほど好ましく、Ag単体の比抵抗値の1.6μ
Ω・cmに近づくほど好ましい。実質的にはAg単体の
電極の比抵抗2〜5μΩ・cmであり、その10〜4倍
以下、すなわち20μΩ・cm以下に抑えることが実用
上好ましいためである。比抵抗が20μΩ・cmよりも
大きくなると、通電時の発熱が大きくなったり、駆動電
圧が上昇したりすることがあるので好ましくない。より
好ましくは、2.5〜15μΩ・cmである。さらに好
ましくは、2.6〜10μΩ・cmである。この範囲に
あることで従来の駆動特性を変更する必要がなく、好ま
しく用いることができる。また、この範囲にあること
で、電極は厚み(好ましくは0.1〜30μm、より好
ましくは1〜10μm)、幅(好ましくは5〜1000
μm、より好ましくは15〜150μm)とも大きく取
らずに済むため、後の加工工程に与える影響を少なくす
ることができる。
An electrode formed on an insulating substrate such as a glass substrate or an alumina substrate using the conductive paste of the present invention is
The specific resistance value is preferably 1.6 to 20 μΩ · cm. The measurement of the specific resistance is calculated by measuring the resistance value of an electrode pattern having a predetermined line width and length, dividing the resistance value by the length and line width, and multiplying by the thickness. The lower the specific resistance, the better, and the specific resistance of Ag alone is 1.6μ.
The closer to Ω · cm the better. This is because the specific resistance of the electrode made of Ag alone is 2 to 5 μΩ · cm, and 10 to 4 times or less, that is, 20 μΩ · cm or less is practically preferable. If the specific resistance is larger than 20 μΩ · cm, heat generation during energization may increase or the driving voltage may increase, which is not preferable. More preferably, it is 2.5 to 15 μΩ · cm. More preferably, it is 2.6 to 10 μΩ · cm. Within this range, there is no need to change the conventional drive characteristics, and it can be preferably used. Further, by being in this range, the electrode has a thickness (preferably 0.1 to 30 μm, more preferably 1 to 10 μm) and a width (preferably 5 to 1000 μm).
.mu.m, more preferably 15 to 150 .mu.m) does not need to be large, so that the influence on the subsequent processing steps can be reduced.

【0023】電極を形成する方法は種々あるが、焼成に
よって電極を形成する場合において、上述の比抵抗を持
つ電極を実現する為には、Ag粉末の粒径とタップ密度
と比表面積が少なからず関与している。すなわち、粒度
分布が単分散により近くて、パッキング性の良いAg粉
末では、粉末同士の接触確率が高く焼成後に緻密な電極
が得られるので比抵抗が低くなる。この時、Ag粉末の
平均粒子径は0.4〜5μmが好ましく、より好ましく
は、平均粒子径が0.7〜3μmである。粒子径が0.
4μm未満であるとペーストの流動性が悪くなり、印刷
性や塗膜形成性やシート形成性が悪くなるので好ましく
ない。また、粒子径が5μmを越えると電極パターンの
表面が粗くなり、10μm以下の薄膜電極のパターン精
度や厚み・寸法精度が低下するので好ましくない。さら
に、導電性粉末の比表面積は、0.3〜2.5m2/g
の範囲であることが、電極パターンの精度の点で好まし
い。より好ましくは、比表面積0.35〜2m2/gで
ある。さらに、Ag粉末のタップ密度は、3〜6g/c
2の範囲内であるのが好ましい。より好ましくは、
3.5〜5g/cm2の範囲内である。タップ密度がこ
の範囲にあるとバインダー樹脂成分を極力少なくするこ
とができ、塗膜のレベリング性が良く、塗膜パターンの
形状保持性も良く、パターン制度が向上し、通電性も向
上しやすい。また、脱バインダー性も向上するので、焼
成して得られる電極の抵抗値も小さくなるので好まし
い。
There are various methods for forming electrodes, but in the case of forming electrodes by firing, in order to realize an electrode having the above-mentioned specific resistance, the particle size, tap density and specific surface area of Ag powder are not small. Are involved. That is, in the case of an Ag powder having a particle size distribution closer to that of monodispersion and having a good packing property, the probability of contact between the powders is high and a dense electrode can be obtained after firing, so that the specific resistance is low. At this time, the average particle diameter of the Ag powder is preferably 0.4 to 5 μm, more preferably 0.7 to 3 μm. Particle size is 0.
When it is less than 4 μm, the fluidity of the paste is deteriorated, and the printability, coating film forming property, and sheet forming property are deteriorated, which is not preferable. On the other hand, if the particle diameter exceeds 5 μm, the surface of the electrode pattern becomes rough and the pattern accuracy and thickness / dimensional accuracy of the thin film electrode having a thickness of 10 μm or less are reduced, which is not preferable. Furthermore, the specific surface area of the conductive powder is 0.3 to 2.5 m 2 / g.
It is preferable that the range is from the viewpoint of the accuracy of the electrode pattern. More preferably, the specific surface area is 0.35 to 2 m 2 / g. Furthermore, the tap density of Ag powder is 3 to 6 g / c.
It is preferably within the range of m 2 . More preferably,
It is within the range of 3.5 to 5 g / cm 2 . When the tap density is within this range, the binder resin component can be reduced as much as possible, the leveling property of the coating film is good, the shape retention of the coating film pattern is good, the pattern accuracy is improved, and the electrical conductivity is easily improved. Further, since the binder removal property is improved, the resistance value of the electrode obtained by firing is also reduced, which is preferable.

【0024】本発明の導電ペーストを用いて形成した電
極は、基板との接着強度が500gf/mm2以上であ
ることが好ましい。より好ましくは700gf/mm2
以上である。接着強度がこれより小さい場合には電極と
外部デバイスとの接点や他材料からなる電極との接続部
分で電極が剥がれやすくなり信頼性が劣るので好ましく
ない。接着強度の測定は、ガラス基板上に1mm角また
は2mm角の正方形の電極パターンを形成し、焼成し、
該パターンに銅線のはんだ付けを施し、該銅線を基板と
垂直方向に引っ張ったときの最大接着力を測定し、得ら
れた力を電極の面積で割り付けて行う。測定はフォース
ゲージなどを用いることができる。本発明の導電ペース
トを用いて形成した電極は、接着強度が500gf/m
2以上であるため、外部デバイスと接続した場合に剥
離する心配が無く、種々の回路基板やディスプレイに好
ましく用いることができる。
The electrode formed using the conductive paste of the present invention preferably has an adhesive strength with the substrate of 500 gf / mm 2 or more. More preferably 700 gf / mm 2
That is all. If the adhesive strength is less than this, the electrode is likely to be peeled off at the contact point between the electrode and the external device or at the connecting portion with the electrode made of another material, resulting in poor reliability, which is not preferable. The adhesive strength is measured by forming a square electrode pattern of 1 mm square or 2 mm square on a glass substrate and baking it.
A copper wire is soldered to the pattern, the maximum adhesive force when the copper wire is pulled in the direction perpendicular to the substrate is measured, and the obtained force is assigned by the area of the electrode. A force gauge or the like can be used for the measurement. The electrode formed using the conductive paste of the present invention has an adhesive strength of 500 gf / m.
Since it is m 2 or more, there is no fear of peeling when it is connected to an external device, and it can be preferably used for various circuit boards and displays.

【0025】上述の接着強度確保のためには、Ag粉末
が焼結して粒子同士が融着していることと、融着したA
g粉末が基板と接着されていることが必要である。従っ
て後者の接着力を向上させるために、ガラスフリットを
導電ペースト中に少量添加する方法を好ましく用いるこ
とができる。
In order to secure the above-mentioned adhesive strength, the Ag powder is sintered and the particles are fused together, and the fused A
It is necessary that the g powder be adhered to the substrate. Therefore, in order to improve the latter adhesive force, a method of adding a small amount of glass frit to the conductive paste can be preferably used.

【0026】ガラスフリットを用いる場合、ガラス転移
温度(Tg)および軟化点(Ts)は、それぞれ400
〜500℃、450〜550℃であることが好ましい。
好ましくはTgおよびTsがそれぞれ440〜500
℃、460〜530℃である。Tg、Tsがそれぞれ4
00℃、450℃未満では、ポリマーやモノマーなどの
感光性有機成分が蒸発する前にガラスの焼結が始まり、
脱バインダーがうまくいかず、焼成後に残留炭素とな
り、電極剥がれの原因となることがあり、緻密かつ低抵
抗の電極膜を得るためには好ましくないためである。T
g、Tsがそれぞれ500℃、550℃を越えるガラス
フリットでは、600℃以下の温度で焼き付けたとき
に、電極膜と基板との充分な接着強度や緻密な電極膜が
得られにくい場合がある。
When a glass frit is used, the glass transition temperature (Tg) and softening point (Ts) are 400 and 400, respectively.
It is preferable that the temperature is from 500 ° C to 450 ° C to 550 ° C.
Preferably Tg and Ts are 440 to 500, respectively.
C., 460 to 530.degree. Tg and Ts are 4 each
At temperatures below 00 ° C and 450 ° C, sintering of the glass begins before the photosensitive organic components such as polymers and monomers are evaporated,
This is because debinding is not successful and carbon residue may remain after firing to cause electrode peeling, which is not preferable for obtaining a dense and low-resistance electrode film. T
In the case of glass frit having g and Ts exceeding 500 ° C. and 550 ° C., respectively, when baked at a temperature of 600 ° C. or less, it may be difficult to obtain sufficient adhesive strength between the electrode film and the substrate and a dense electrode film.

【0027】本発明においては、ガラスフリットの組成
としては、Bi23は30〜70重量%の範囲で配合す
ることが好ましい。30重量%未満の場合は、ガラス転
移点や軟化点を制御する点や、基板に対する導体膜の接
着強度を高める点での効果が少ない。また70重量%を
越えるとガラスフリットの軟化点が低くなりペースト中
のバインダーが蒸発する前にガラスフリットが溶融す
る。このためペーストの脱バインダ性が悪くなり、電極
膜の焼結性が低下し、また基板との接着強度が低下する
傾向がある。
In the present invention, as the composition of the glass frit, Bi 2 O 3 is preferably blended in the range of 30 to 70% by weight. If the amount is less than 30% by weight, the effect of controlling the glass transition point and the softening point and enhancing the adhesive strength of the conductor film to the substrate are small. If it exceeds 70% by weight, the softening point of the glass frit becomes low, and the glass frit melts before the binder in the paste evaporates. For this reason, the binder removal property of the paste is deteriorated, the sinterability of the electrode film is deteriorated, and the adhesive strength with the substrate tends to be decreased.

【0028】特に、ガラスフリットが、酸化物換算表記
で Bi23 30〜70重量% SiO2 5〜30重量% B23 6〜20重量% ZrO2 3〜10重量% Al23 1〜 5重量% の組成範囲からなるものを80重量%以上含有し、かつ
Na2O,K2O,Li2Oを実質的に含有しないアルカ
リフリーのガラスフリットであることが好ましい。この
範囲であると、ガラス基板を用いる場合の好ましい焼き
付け温度である550〜600℃で電極膜を基板上に強
固に焼き付けできるガラスフリットが得られる。前記ガ
ラスフリットが電極中に含有される割合は、好ましくは
0〜10重量%以下であり、より好ましくは0.5〜3
重量%である。
In particular, the glass frit is expressed in terms of oxide of Bi 2 O 3 30 to 70% by weight SiO 2 5 to 30% by weight B 2 O 3 6 to 20% by weight ZrO 2 3 to 10% by weight Al 2 O 3 It is preferable that the glass frit is an alkali-free glass frit containing 80% by weight or more of one having a composition range of 1 to 5% by weight and substantially not containing Na 2 O, K 2 O or Li 2 O. Within this range, a glass frit capable of firmly baking the electrode film on the substrate at 550 to 600 ° C. which is a preferable baking temperature when using a glass substrate is obtained. The ratio of the glass frit contained in the electrode is preferably 0 to 10% by weight or less, more preferably 0.5 to 3%.
% By weight.

【0029】ここで、電極付き基板に付帯する電極のパ
ターンを形成する方法としては、本発明の導電ペースト
などの導電層形成用材料を用いることが好ましい。この
ような方法としては、パターン印刷法、感光性ペースト
法などが挙げられるが、中でも感光性ペースト法を用い
て電極パターン形成する方法が好ましい。
Here, as a method for forming a pattern of electrodes attached to the substrate with electrodes, it is preferable to use a conductive layer forming material such as the conductive paste of the present invention. Examples of such a method include a pattern printing method and a photosensitive paste method. Among them, a method of forming an electrode pattern using the photosensitive paste method is preferable.

【0030】感光性ペースト法は、スクリーン印刷、ダ
イコート塗布、グリーンシート転写法等により、感光性
導電ペーストを基板上に塗布した後、紫外光を照射し現
像することで所望のパターンを得る方法である。本方法
は、少ない工程数で微細なパターンの形成が可能である
ことから電子回路などの用途に好ましく用いられる。
The photosensitive paste method is a method in which a desired pattern is obtained by applying a photosensitive conductive paste on a substrate by screen printing, die coating application, green sheet transfer method, etc., and then irradiating with ultraviolet light and developing. is there. The present method can form a fine pattern with a small number of steps, and is therefore preferably used for applications such as electronic circuits.

【0031】感光性を有する導電ペーストは、バインダ
ー樹脂として感光性有機成分を含むが、さらにガラスフ
リットと希釈溶剤を含んでも良い。感光性有機成分に
は、所望のパターンを光硬化させ、不要部分を現像除去
するネガ型と、光照射によりバインダー樹脂を現像液に
可溶化させて現像除去し、残部を所望のパターンとする
ポジ型とがある。本発明においては、感光性有機成分と
して、感光性ポリマーもしくはオリゴマー、感光性モノ
マーおよび光重合開始剤を含有する感光性導電ペースト
とすることができる。
The conductive paste having photosensitivity contains a photosensitive organic component as a binder resin, but may further contain glass frit and a diluting solvent. The photosensitive organic component is a negative type that photocures a desired pattern and develops and removes unnecessary portions, and a positive resin that solubilizes the binder resin in a developer by light irradiation and develops and removes the remainder to form a desired pattern. There are types. In the present invention, the photosensitive organic component may be a photosensitive conductive paste containing a photosensitive polymer or oligomer, a photosensitive monomer and a photopolymerization initiator.

【0032】本発明において感光性導電ペーストが、感
光性有機成分を5〜30重量%以上含有することが光に
対する感度の点で好ましい。
In the present invention, it is preferable that the photosensitive conductive paste contains the photosensitive organic component in an amount of 5 to 30% by weight or more from the viewpoint of sensitivity to light.

【0033】また、感光性有機成分としては、光不溶化
型のものと光可溶化型のものがあり、光不溶化型のもの
として、 (1)分子内に不飽和基などを1つ以上有する官能性の
モノマー、オリゴマー、ポリマー含有するもの (2)芳香族ジアゾ化合物、芳香族アジド化合物、有機
ハロゲン化合物などの感光性化合物含有するもの (3)ジアゾ系アミンとホルムアルデヒドとの縮合物な
どいわゆるジアゾ樹脂といわれるもの等がある。
The photosensitive organic component includes a photoinsolubilizing type and a photosolubilizing type. As the photoinsolubilizing type, (1) a functional group having at least one unsaturated group in the molecule. Containing a hydrophilic monomer, oligomer or polymer (2) containing a photosensitive compound such as an aromatic diazo compound, an aromatic azide compound or an organic halogen compound (3) a so-called diazo resin such as a condensation product of a diazo amine and formaldehyde There is something called.

【0034】また、光可溶化型のものとしては、 (4)ジアゾ化合物の無機塩や有機酸とのコンプレック
ス、キノンジアゾ類を含有するもの (5)キノンジアゾ類を適当なポリマーバインダーと結
合させた、例えばフェノール、ノボラック樹脂のナフト
キノン1、2−ジアジド−5−スルフォン酸エステル等
がある。
As the photosolubilizing type, (4) a complex of a diazo compound with an inorganic salt or an organic acid, or a quinonediazo compound (5) a quinonediazo compound bound to a suitable polymer binder, For example, phenol, naphthoquinone 1, novolac resin 1, 2-diazide-5-sulfonic acid ester and the like can be used.

【0035】本発明においては、上記のすべてを用いる
ことができるが、取り扱いの容易性や品質設計の容易性
の点からは、上記(1)が好ましく、ネガ型の感光性導
電ペーストを得ることができる。
In the present invention, all of the above can be used, but from the viewpoint of easy handling and quality design, the above (1) is preferable, and a negative photosensitive conductive paste is obtained. You can

【0036】なお感光性導電ペーストの光透過度を高め
る点で、ペースト中の各成分の屈折率が近似しているこ
とが好ましく、感光性有機成分の屈折率を他の成分の屈
折率と近似させるために、感光性有機成分の屈折率を高
くすることが好ましい。感光性有機成分の屈折率を高く
する方法としては、屈折率が高い感光性モノマー、感光
性オリゴマー、感光性ポリマーを用いることが有効であ
る。
From the viewpoint of increasing the light transmittance of the photosensitive conductive paste, it is preferable that the refractive index of each component in the paste is close to each other, and the refractive index of the photosensitive organic component is close to that of the other components. Therefore, it is preferable to increase the refractive index of the photosensitive organic component. As a method for increasing the refractive index of the photosensitive organic component, it is effective to use a photosensitive monomer, a photosensitive oligomer or a photosensitive polymer having a high refractive index.

【0037】(1)の分子内に官能基を有する感光性モ
ノマーの具体的な例として、メチルアクリレート、エチ
ルアクリレート、n−プロピルアクリレート、イソプロ
ピルアクリレート、n−ブチルアクリレート、sec−
ブチルアクリレート、イソ−ブチルアクリレート、te
rt−ブチルアクリレート、n−ペンチルアクリレー
ト、アリルアクリレート、ベンジルアクリレート、ブト
キシエチルアクリレート、ブトキシトリエチレングリコ
ールアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシ
クロペンタニルアクリレート、ジシクロペンテニルアク
リレート、2−エチルヘキシルアクリレート、グリセロ
ールアクリレート、グリシジルアクリレート、ヘプタデ
カフロロデシルアクリレート、2−ヒドロキシエチルア
クリレート、イソボニルアクリレート、2−ヒドロキシ
プロピルアクリレート、イソデシルアクリレート、イソ
オクチルアクリレート、ラウリルアクリレート、2−メ
トキシエチルアクリレート、メトキシエチレングリコー
ルアクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリ
レート、オクタフロロペンチルアクリレート、フェノキ
シエチルアクリレート、ステアリルアクリレート、トリ
フロロエチルアクリレート、アリル化シクロヘキシルジ
アクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレー
ト、1,3−ブチレングリコールジアクリレート、エチ
レングリコールジアクリレート、ジエチレングリコール
ジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレー
ト、ポリエチレングリコールジアクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリ
トールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジトリメチ
ロールプロパンテトラアクリレート、グリセロールジア
クリレート、メトキシ化シクロヘキシルジアクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリレート、プロピレ
ングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジアクリレート、トリグリセロールジアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、アクリルア
ミド、アミノエチルアクリレートおよび上記化合物の分
子内のアクリレートを一部もしくはすべてをメタクリレ
ートに変えたもの、γ−メタクリロキシプロピルトリメ
トキシシラン、1−ビニル−2−ピロリドンなどが挙げ
られる。
Specific examples of the photosensitive monomer having a functional group in the molecule (1) include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-
Butyl acrylate, iso-butyl acrylate, te
rt-butyl acrylate, n-pentyl acrylate, allyl acrylate, benzyl acrylate, butoxyethyl acrylate, butoxytriethylene glycol acrylate, cyclohexyl acrylate, dicyclopentanyl acrylate, dicyclopentenyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycerol acrylate, glycidyl acrylate. , Heptadecafluorodecyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, isobonyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, isodecyl acrylate, isooctyl acrylate, lauryl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, methoxydiethylene glycol acrylate, octafuro Pentyl acrylate, phenoxyethyl acrylate, stearyl acrylate, trifluoroethyl acrylate, allylated cyclohexyl diacrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene Glycol diacrylate, polyethylene glycol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol monohydroxypentaacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, glycerol diacrylate, methoxylated cyclohexyl diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, propylene glycol diacrylate, Polypropy Glycol diacrylate, triglycerol diacrylate,
Examples include trimethylolpropane triacrylate, acrylamide, aminoethyl acrylate, and those in which the acrylate in the molecule of the above compound is partially or entirely changed to methacrylate, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 1-vinyl-2-pyrrolidone. To be

【0038】また、フェニル(メタ)アクリレート、フ
ェノキシエチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メ
タ)アクリレート、1−ナフチル(メタ)アクリレー
ト、2−ナフチル(メタ)アクリレート、ビスフェノー
ルAジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA−エチ
レンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ビス
フェノールA−プロピレンオキサイド付加物のジ(メ
タ)アクリレート、1−ナフチル(メタ)アクリレー
ト、2−ナフチル(メタ)アクリレート、チオフェノー
ル(メタ)アクリレート、ベンジルメルカプタン(メ
タ)アクリレート等のアクリレート類、スチレン、p−
メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチ
レン、α−メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ヒ
ドロキシメチルスチレンなどのスチレン類、またこれら
の芳香環中の水素原子の一部もしくはすべてを塩素、臭
素原子、ヨウ素あるいはフッ素に置換したしたもの、お
よび上記化合物の分子内のアクリレートの一部もしくは
すべてをメタクリレートに変えたもの、1−ビニル−2
−ピロリドンなどが挙げられる。
Further, phenyl (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, 1-naphthyl (meth) acrylate, 2-naphthyl (meth) acrylate, bisphenol A di (meth) acrylate, bisphenol A. -Di (meth) acrylate of ethylene oxide adduct, di (meth) acrylate of bisphenol A-propylene oxide adduct, 1-naphthyl (meth) acrylate, 2-naphthyl (meth) acrylate, thiophenol (meth) acrylate, benzyl Acrylates such as mercaptan (meth) acrylate, styrene, p-
Styrenes such as methylstyrene, o-methylstyrene, m-methylstyrene, α-methylstyrene, chloromethylstyrene, and hydroxymethylstyrene, and chlorine or bromine atoms for some or all of the hydrogen atoms in these aromatic rings. Those substituted with iodine or fluorine, and those in which a part or all of the acrylate in the molecule of the above compound is changed to methacrylate, 1-vinyl-2
-Pyrrolidone and the like.

【0039】本発明ではこれらを1種または2種以上使
用することができる。これら以外に、不飽和カルボン酸
等の不飽和酸を加えることによって、感光後の現像性を
向上することができる。不飽和カルボン酸の具体的な例
としては、アクリル酸、メタアクリル酸、イタコン酸、
クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、また
はこれらの酸無水物などがあげられる。
In the present invention, these may be used alone or in combination of two or more. In addition to these, the developability after exposure can be improved by adding an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid. Specific examples of unsaturated carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid,
Examples thereof include crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0040】一方、(1)の分子内に官能基を有する感
光性オリゴマー、ポリマーの例としては、上記モノマー
の内、少なくとも1種類を重合して得られたオリゴマー
やポリマーの側鎖または分子末端に官能基を付加させた
ものなどを用いることができる。少なくともアクリル酸
アルキルあるいはメタクリル酸アルキルを含むこと、よ
り好ましくは、少なくともメタクリル酸メチルを含むこ
とによって、熱分解性の良好な重合体を得ることができ
る点で好ましい。
On the other hand, examples of (1) a photosensitive oligomer or polymer having a functional group in the molecule include side chains or molecular ends of an oligomer or polymer obtained by polymerizing at least one of the above monomers. It is possible to use a product having a functional group added thereto. It is preferable to contain at least alkyl acrylate or alkyl methacrylate, and more preferably to contain at least methyl methacrylate, because a polymer having good thermal decomposability can be obtained.

【0041】好ましい官能基としては、エチレン性不飽
和基を有するものが挙げられる。エチレン性不飽和基と
しては、ビニル基、アリル基、アクリル基、メタクリル
基などが挙げられる。
Preferred functional groups include those having an ethylenically unsaturated group. Examples of the ethylenically unsaturated group include vinyl group, allyl group, acryl group and methacryl group.

【0042】このような官能基をオリゴマー、ポリマー
に付加させる方法は、ポリマー中のメルカプト基、アミ
ノ基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基
やイソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物や
アクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたは
アリルクロライドを付加反応させる方法がある。
The method of adding such a functional group to the oligomer or polymer is carried out by a method such as an ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group or acrylic acid with respect to the mercapto group, amino group, hydroxyl group or carboxyl group in the polymer. There is a method of addition reaction with chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride.

【0043】グリシジル基を有するエチレン性不飽和化
合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グ
リシジル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル
酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロト
ン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエ
ーテルなどが挙げられる。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, crotonic acid glycidyl ether, and isocrotonic acid glycidyl ether. .

【0044】イソシアネート基を有するエチレン性不飽
和化合物としては、(メタ)アクリロイルイソシアネー
ト、(メタ)アクリロイルエチルイソシアネート等があ
る。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having an isocyanate group include (meth) acryloyl isocyanate and (meth) acryloyl ethyl isocyanate.

【0045】また、グリシジル基やイソシアネート基を
有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライ
ド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライド
は、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカ
ルボキシル基に対して0.05〜1モル当量付加させる
ことが好ましい。また、不飽和カルボン酸等の不飽和酸
を共重合することによって、感光後の現像性を向上する
ことができる。不飽和カルボン酸の具体的な例として
は、アクリル酸、メタアクリル酸、イタコン酸、クロト
ン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸、またはこれ
らの酸無水物などがあげられる。
The ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride is used in an amount of 0.05 to 0.05 with respect to the mercapto group, amino group, hydroxyl group or carboxyl group in the polymer. It is preferable to add 1 molar equivalent. In addition, the developability after exposure can be improved by copolymerizing an unsaturated acid such as an unsaturated carboxylic acid. Specific examples of unsaturated carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinylacetic acid, and acid anhydrides thereof.

【0046】こうして得られた側鎖にカルボキシル基等
の酸性基を有するポリマーもしくはオリゴマーの酸価
(AV)は50〜180、さらには70〜140の範囲
が好ましい。酸価が50未満であると、現像許容幅が狭
くなる。また、酸価が180を越えると未露光部の現像
液に対する溶解性が低下するようになるため、現像液濃
度を濃くすると露光部まで剥がれが発生し、高精細なパ
ターンが得られにくい。
The acid value (AV) of the polymer or oligomer having an acidic group such as a carboxyl group on the side chain thus obtained is preferably 50 to 180, more preferably 70 to 140. If the acid value is less than 50, the development allowance becomes narrow. Further, if the acid value exceeds 180, the solubility of the unexposed area in the developing solution will decrease. Therefore, if the developing solution concentration is increased, peeling occurs even in the exposed area, and it is difficult to obtain a high-definition pattern.

【0047】さらにバインダーとして、ポリビニルアル
コール、ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル
重合体、アクリル酸エステル重合体、アクリル酸エステ
ル−メタクリル酸エステル共重合体、α−メチルスチレ
ン重合体、ブチルメタクリレート樹脂などの非感光性ポ
リマーを含んでもよい。
Further, as a binder, non-photosensitive materials such as polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, methacrylic acid ester polymer, acrylic acid ester polymer, acrylic acid ester-methacrylic acid ester copolymer, α-methylstyrene polymer, and butyl methacrylate resin. It may also include a hydrophilic polymer.

【0048】感光性モノマーを感光性オリゴマーおよび
ポリマーの合計量に対して0.05〜10倍量用いるこ
とが好ましい。より好ましくは0.1〜3倍量である。
10倍量を越えるとペーストの粘度が小さくなり、ペー
スト中での分散性が低下する恐れがある。0.05倍量
未満では、未露光部の現像液への溶解性が不良となりや
すい。
It is preferable to use the photosensitive monomer in an amount of 0.05 to 10 times the total amount of the photosensitive oligomer and the polymer. The amount is more preferably 0.1 to 3 times.
If the amount exceeds 10 times, the viscosity of the paste will be reduced, and the dispersibility in the paste may be reduced. If the amount is less than 0.05 times, the solubility of the unexposed area in the developing solution tends to be poor.

【0049】感光性導電ペースト中には、必要に応じて
光重合開始剤、増感剤、増感助剤、重合禁止剤、可塑
剤、増粘剤、有機溶媒、酸化防止剤、分散剤、有機或い
は無機の沈殿防止剤などの添加剤成分を加えられる。
In the photosensitive conductive paste, if necessary, a photopolymerization initiator, a sensitizer, a sensitization aid, a polymerization inhibitor, a plasticizer, a thickener, an organic solvent, an antioxidant, a dispersant, Additive components such as organic or inorganic suspending agents can be added.

【0050】光重合開始剤としての具体的な例として、
ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4,
4−ビス(ジメチルアミン)ベンゾフェノン、4,4−
ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、α−アミノ・
アセトフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、4
−ベンゾイル−4−メチルジフェニルケトン、ジベンジ
ルケトン、フルオレノン、2,2−ジエトキシアセトフ
ェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニル−2−フェ
ニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロ
ピオフェノン、p−t−ブチルジクロロアセトフェノ
ン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−
クロロチオキサントン、2−イソプロピルチオキサント
ン、ジエチルチオキサントン、ベンジル、ベンジルジメ
チルケタノール、ベンジルメトキシエチルアセタール、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブ
チルエーテル、アントラキノン、2−t−ブチルアント
ラキノン、2−アミルアントラキノン、β−クロルアン
トラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンゾ
スベロン、メチレンアントロン、4−アジドベンザルア
セトフェノン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデ
ン)シクロヘキサノン、2,6−ビス(p−アジドベン
ジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、2−フェニ
ル−1,2−ブタジオン−2−(o−メトキシカルボニ
ル)オキシム、1−フェニル−プロパンジオン−2−
(o−エトキシカルボニル)オキシム、1、3−ジフェ
ニル−プロパントリオン−2−(o−エトキシカルボニ
ル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシ−プロパン
トリオン−2−(o−ベンゾイル)オキシム、ミヒラー
ケトン、2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニル]
−2−モルフォリノ−1−プロパノン、ナフタレンスル
ホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、N
−フェニルチオアクリドン、4,4−アゾビスイソブチ
ロニトリル、ジフェニルジスルフィド、ベンズチアゾー
ルジスルフィド、トリフェニルホスフィン、カンファー
キノン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルスルホン、
過酸化ベンゾイン及びエオシン、メチレンブルーなどの
光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタノールアミ
ンなどの還元剤の組み合わせなどが挙げられる。本発明
ではこれらを1種または2種以上使用することができ
る。
As a specific example of the photopolymerization initiator,
Benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,
4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4-
Bis (diethylamino) benzophenone, α-amino
Acetophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4
-Benzoyl-4-methyldiphenylketone, dibenzylketone, fluorenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, p -T-butyldichloroacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-
Chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, benzyl, benzyldimethylketanol, benzylmethoxyethyl acetal,
Benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzanthrone, dibenzosuberone, methyleneanthrone, 4-azidobenzalacetophenone, 2,6 -Bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butadione-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl -Propanedion-2-
(O-Ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl-propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-3-ethoxy-propanetrione-2- (o-benzoyl) oxime, Michler's ketone, 2 -Methyl- [4- (methylthio) phenyl]
-2-morpholino-1-propanone, naphthalenesulfonyl chloride, quinolinesulfonyl chloride, N
-Phenylthioacridone, 4,4-azobisisobutyronitrile, diphenyldisulfide, benzthiazole disulfide, triphenylphosphine, camphorquinone, carbon tetrabromide, tribromophenyl sulfone,
Examples include a combination of a photo-reducing dye such as benzoin peroxide, eosin, and methylene blue with a reducing agent such as ascorbic acid and triethanolamine. In the present invention, these may be used alone or in combination of two or more.

【0051】さらに、光重合開始剤の量は、感光性有機
成分に対して0.1〜30重量%が好ましく、より好ま
しくは、2〜20重量%である。光重合開始剤の量が少
なすぎると、光感度が不良となり、光重合開始剤の量が
多すぎれば、露光部の残存率が小さくなりすぎるおそれ
がある。
Further, the amount of the photopolymerization initiator is preferably 0.1 to 30% by weight, more preferably 2 to 20% by weight, based on the photosensitive organic component. If the amount of the photopolymerization initiator is too small, the photosensitivity becomes poor, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual rate of the exposed area may be too small.

【0052】感度を向上させるために、増感剤を添加す
ることも好ましい。増感剤の具体例としては、2,3−
ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノ
ン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シク
ロヘキサノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベン
ザル)−4−メチルシクロヘキサノン、ジエチルチオキ
サントン、ミヒラーケトン、4,4−ビス(ジエチルア
ミノ)−ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジメチルアミ
ノ)カルコン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)カルコ
ン、p−ジメチルアミノシンナミリデンインダノン、p
−ジメチルアミノベンジリデンインダノン、2−(p−
ジメチルアミノフェニルビニレン)−イソナフトチアゾ
ール、1,3−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)ア
セトン、1,3−カルボニル−ビス(4−ジエチルアミ
ノベンザル)アセトン、3,3−カルボニル−ビス(7
−ジエチルアミノクマリン)、N−フェニル−N−エチ
ルエタノールアミン、N−フェニルエタノールアミン、
N−トリルジエタノールアミン、N−フェニルエタノー
ルアミン、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチ
ルアミノ安息香酸イソアミル、3−フェニル−5−ベン
ゾイルチオテトラゾール、1−フェニル−5−エトキシ
カルボニルチオテトラゾールなどが挙げられる。本発明
ではこれらを1種または2種以上使用することができ
る。なお、増感剤の中には光重合開始剤としても使用で
きるものがある。
It is also preferable to add a sensitizer in order to improve the sensitivity. Specific examples of the sensitizer include 2,3-
Bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, diethylthioxanthone, Michler's ketone , 4,4-bis (diethylamino) -benzophenone, 4,4-bis (dimethylamino) chalcone, 4,4-bis (diethylamino) chalcone, p-dimethylaminocinnamylideneindanone, p
-Dimethylaminobenzylidene indanone, 2- (p-
Dimethylaminophenylvinylene) -isonaphthothiazole, 1,3-bis (4-dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonyl-bis (4-diethylaminobenzal) acetone, 3,3-carbonyl-bis (7
-Diethylaminocoumarin), N-phenyl-N-ethylethanolamine, N-phenylethanolamine,
Examples thereof include N-tolyldiethanolamine, N-phenylethanolamine, dimethylaminobenzoic acid isoamyl, diethylaminobenzoic acid isoamyl, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazole, 1-phenyl-5-ethoxycarbonylthiotetrazole, and the like. In the present invention, these may be used alone or in combination of two or more. Some sensitizers can also be used as photopolymerization initiators.

【0053】増感剤を感光性導電性ペーストに添加する
場合、その添加量は感光性有機成分に対して0.1〜1
0重量%、より好ましくは0.2〜5重量%である。増
感剤の量が少なすぎれば光感度を向上させる効果が発揮
されず、増感剤の量が多すぎれば露光部の残存率が小さ
くなりすぎるおそれがある。
When the sensitizer is added to the photosensitive conductive paste, the amount added is 0.1 to 1 with respect to the photosensitive organic component.
It is 0% by weight, more preferably 0.2 to 5% by weight. If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity is not exhibited, and if the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the exposed area may be too small.

【0054】感光性導電性ペーストは保存時の熱安定性
を向上させるため、熱重合禁止剤を添加するとよい。熱
重合禁止剤の具体的な例としては、ヒドロキノン、N−
ニトロソジフェニルアミン、フェノチアジン、p−t−
ブチルカテコール、N−フェニルナフチルアミン、2,
6−ジ−t−ブチル−p−メチルフェノール、クロラニ
ール、ピロガロールなどが挙げられる。熱重合禁止剤を
添加する場合、その添加量は、感光性導電ペースト中
に、0.1〜5重量%が好ましく、より好ましくは、
0.2〜3重量%である。熱重合禁止剤の量が少なすぎ
れば、保存時の熱的な安定性を向上させる効果が発揮さ
れず、熱重合禁止剤の量が多すぎれば、露光部の残存率
が小さくなりすぎるおそれがある。
A thermal polymerization inhibitor may be added to the photosensitive conductive paste in order to improve the thermal stability during storage. Specific examples of the thermal polymerization inhibitor include hydroquinone and N-
Nitrosodiphenylamine, phenothiazine, pt-
Butylcatechol, N-phenylnaphthylamine, 2,
6-di-t-butyl-p-methylphenol, chloranil, pyrogallol and the like can be mentioned. When the thermal polymerization inhibitor is added, its addition amount is preferably 0.1 to 5% by weight in the photosensitive conductive paste, and more preferably,
It is 0.2 to 3% by weight. If the amount of the thermal polymerization inhibitor is too small, the effect of improving the thermal stability during storage will not be exhibited, and if the amount of the thermal polymerization inhibitor is too large, the residual rate of the exposed portion may be too small. is there.

【0055】また可塑剤として、例えばジブチルフタレ
ート(DBP)、ジオクチルフタレート(DOP)、ポ
リエチレングリコール、グリセリンなどを添加すること
ができる。
As the plasticizer, for example, dibutyl phthalate (DBP), dioctyl phthalate (DOP), polyethylene glycol, glycerin, etc. can be added.

【0056】上述の感光性ペースト法では、ライン幅/
スペース幅=100μm/100μm未満のファインパ
ターンを形成した場合でも、ラインエッジが真っ直ぐで
あるため、バンプなどの突起箇所がなく、隣接電極間に
かかる電位差がいずれの場所に於いても均等になる。そ
のため、マイグレーションのきっかけが少なくなり、よ
り信頼性の高い電極を得ることができる。
In the above-mentioned photosensitive paste method, line width /
Even when a fine pattern with a space width of less than 100 μm / 100 μm is formed, since the line edges are straight, there are no bumps or other protrusions, and the potential difference applied between adjacent electrodes is uniform at any location. Therefore, the chance of migration is reduced, and a more reliable electrode can be obtained.

【0057】本発明においては、感光性タイプの導電ペ
ーストの組成は、次の範囲で選択することが特に好まし
い。
In the present invention, the composition of the photosensitive type conductive paste is particularly preferably selected within the following range.

【0058】 (a)導電性粉末 ;(a)、(b)の和に対して70〜99.9重量% (b)Ti、Ni、In、Sn、Sbの群から選ばれる少なくとも1種の金属 または金属化合物の粉末;(a)、(b)の和に対して0.1〜20重量% (c)ガラスフリット;(a)、(b)の和に対して0〜10重量% (d)感光性ポリマーと感光性モノマー; (a)、(b)の和に対して5〜40重量% (e)光重合開始剤 ;(d)に対して2〜30重量% (f)溶媒 ;(a)、(b)の和に対して5〜40重量% (g)添加剤 ;(a)、(b)の和に対して0〜20重量% この範囲にあると露光時において紫外線がよく透過し、
光硬化の機能が十分発揮され、現像時における露光部の
膜強度が高くなり、微細な解像度を有する電極パターン
が形成できる。また焼成後の電極膜が低抵抗で、接着強
度が高くなるので好ましい。
(A) Conductive powder: 70 to 99.9% by weight based on the sum of (a) and (b) (b) At least one selected from the group consisting of Ti, Ni, In, Sn, and Sb. Powder of metal or metal compound; 0.1 to 20% by weight with respect to the sum of (a) and (b) (c) Glass frit; 0 to 10% by weight with respect to the sum of (a) and (b) d) Photosensitive polymer and photosensitive monomer; 5 to 40% by weight based on the sum of (a) and (b) (e) Photopolymerization initiator; 2 to 30% by weight based on (d) (f) Solvent 5-40% by weight based on the sum of (a) and (b) (g) Additive; 0-20% by weight based on the sum of (a) and (b) Penetrates well,
The photo-curing function is sufficiently exhibited, the film strength of the exposed portion during development is increased, and an electrode pattern having a fine resolution can be formed. Further, the electrode film after firing has a low resistance and an increased adhesive strength, which is preferable.

【0059】本発明で好ましく用いることのできる感光
性導電ペーストは、上記組成に加え増感剤、光重合促進
剤、可塑剤、分散剤、安定化剤、チキソトロピー剤、有
機あるいは無機の沈殿防止剤などの添加剤を添加し、所
定の組成となるように調整されたスラリーをホモジナイ
ザなどの攪拌機で均質に混合した後、3本ローラーなど
の混練機で均質に分散して、作製することができる。
The photosensitive conductive paste which can be preferably used in the present invention is, in addition to the above composition, a sensitizer, a photopolymerization accelerator, a plasticizer, a dispersant, a stabilizer, a thixotropic agent, an organic or inorganic precipitation inhibitor. It can be prepared by adding additives such as and mixing the slurry adjusted to have a predetermined composition uniformly with a stirrer such as a homogenizer and then uniformly dispersing it with a kneader such as a three-roller. .

【0060】一方、パターン印刷法では、バインダー樹
脂として、エチルセルロース、メチルセルロース等に代
表されるセルロース系化合物、メチルメタクリレート、
エチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、メ
チルアクリレート、エチルアクリレート、イソブチルア
クリレート等のアクリル系化合物等を用いることができ
る。
On the other hand, in the pattern printing method, as a binder resin, a cellulosic compound represented by ethyl cellulose, methyl cellulose, etc., methyl methacrylate,
Acrylic compounds such as ethyl methacrylate, isobutyl methacrylate, methyl acrylate, ethyl acrylate and isobutyl acrylate can be used.

【0061】また、ペースト中に、溶媒、可塑剤等の添
加剤を加えても良い。溶媒としては、テルピネオール、
ブチロラクトン、トルエン、メチルセルソルブ、ブチル
カルビトールアセテート等の汎用溶媒を用いることがで
きる。また、可塑剤としてはジブチルフタレート、ジエ
チルフタレート等を用いることができる。本方法は、予
めスクリーン版にペースト通過部分を所望のパターン形
状に加工しておき、スキージでペーストをスクリーン版
に押し込み、基板にペーストを転写することでパターン
を作製する。次いで、このパターンを焼成して電極を得
るが、本方法を用いるのはライン幅/スペース幅=10
0μm/100μm以上のパターンに限られる。これよ
りもファインなパターンの場合、スクリーンのメッシュ
の精細度の限界から、ラインエッジがメッシュ痕によっ
て凹凸ができ、たとえ耐マイグレーション性に優れた材
料を用いてもこのバンプ(突起部分)によってマイグレ
ーションを発生しやすくなるので好ましくない。すなわ
ち、ライン幅/スペース幅=100μm/100μm以
上の電極パターンでは印刷法でも本発明の導電ペースト
の耐マイグレーション性の効果を発揮し得るが、それよ
りもファインパターンであるときは感光性ペースト法を
用いることが好ましい。
Further, additives such as a solvent and a plasticizer may be added to the paste. As the solvent, terpineol,
A general-purpose solvent such as butyrolactone, toluene, methyl cellosolve, and butyl carbitol acetate can be used. Further, as the plasticizer, dibutyl phthalate, diethyl phthalate or the like can be used. In this method, a paste passing portion is processed into a desired pattern shape on a screen plate in advance, the paste is pressed into the screen plate by a squeegee, and the paste is transferred to a substrate to form a pattern. Then, this pattern is fired to obtain an electrode, and this method is used for line width / space width = 10.
Limited to patterns of 0 μm / 100 μm or more. In the case of finer patterns than this, due to the limit of the fineness of the screen mesh, the line edges may have irregularities due to mesh marks, and even if a material with excellent migration resistance is used, migration will occur due to the bumps (protrusions). It is not preferable because it tends to occur. That is, with the electrode pattern having a line width / space width = 100 μm / 100 μm or more, the effect of the migration resistance of the conductive paste of the present invention can be exhibited even by the printing method, but when the pattern is finer than that, the photosensitive paste method is used. It is preferable to use.

【0062】本発明の導電ペーストには、粘度を調整す
るために有機溶媒を加えてよい。このとき使用される有
機溶媒としては、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、ブチルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジオキサ
ン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、
イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テト
ラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチロ
ラクトン、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールア
セテート、酢酸ブチル、n−ブタノールなどがあげられ
る。これらの有機溶媒は、単独あるいは2種以上併用し
て用いられる。
An organic solvent may be added to the conductive paste of the present invention to adjust the viscosity. As the organic solvent used at this time, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone,
Examples thereof include isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, butyl carbitol, butyl carbitol acetate, butyl acetate and n-butanol. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

【0063】導電ペーストの粘度は導電性粉末、有機溶
媒、ガラスフリットの組成・種類、可塑剤、チキソ剤、
沈殿防止剤および有機のレベリング剤などの添加割合に
よって適宜調整されるが、その範囲は20〜1000ポ
イズが好ましい。
The viscosity of the conductive paste includes conductive powder, organic solvent, composition / type of glass frit, plasticizer, thixotropic agent,
The amount is appropriately adjusted depending on the addition ratio of the suspending agent and the organic leveling agent, but the range is preferably 20 to 1000 poise.

【0064】本発明において、パターン印刷タイプの導
電ペーストの組成は、次の範囲で選択することが特に好
ましい。
In the present invention, the composition of the pattern printing type conductive paste is particularly preferably selected within the following range.

【0065】 (a)導電性粉末 ;(a)、(b)の和に対して70〜99.9重量% (b)Ti、Ni、In、Sn、Sbの群から選ばれる少なくとも1種の金属 または金属化合物を含有する粉末; (a)、(b)の和に対して0.1〜20重量% (c)ガラスフリット;(a)、(b)の和に対して1〜4重量% (h)バインダー樹脂;(a)、(b)の和に対して2〜26重量% (i)溶媒 ;(a)、(b)の和に対して0〜60重量% (j)添加剤 ;(a)、(b)の和に対して0〜20重量% この範囲にあると印刷直後のレベリング性が良く、か
つ、適度なチキソ性を有するため、パターンのダレがな
く、スクリーン版の寸法通りの電極パターンを得ること
ができる。また焼成後の電極膜が低抵抗で、接着強度が
高くなるので好ましい。
(A) Conductive powder: 70 to 99.9% by weight based on the sum of (a) and (b) (b) At least one selected from the group consisting of Ti, Ni, In, Sn and Sb Powder containing metal or metal compound; 0.1 to 20% by weight based on the sum of (a) and (b) (c) Glass frit; 1 to 4% by weight based on the sum of (a) and (b) % (H) Binder resin; 2 to 26% by weight based on the sum of (a) and (b) (i) Solvent; 0 to 60% by weight (j) based on the sum of (a) and (b) Agent: 0 to 20% by weight relative to the sum of (a) and (b) Within this range, the leveling property immediately after printing is good and it has suitable thixotropy, so that there is no pattern sag and the screen plate It is possible to obtain an electrode pattern according to the dimension. Further, the electrode film after firing has a low resistance and an increased adhesive strength, which is preferable.

【0066】本発明に用いるパターン印刷用導電ペース
トは、上記組成に加え、可塑剤、分散剤、安定化剤、チ
キソ剤、有機あるいは無機の沈殿防止剤を添加し、所定
の組成となるように調整されたスラリーをホモジナイザ
などの攪拌機で均質に混合した後、3本ローラーや混練
機で均質に分散することにより、作製することができ
る。
The conductive paste for pattern printing used in the present invention has a predetermined composition by adding a plasticizer, a dispersant, a stabilizer, a thixotropic agent, and an organic or inorganic precipitation inhibitor in addition to the above composition. It can be produced by uniformly mixing the adjusted slurry with a stirrer such as a homogenizer and then uniformly dispersing it with a three-roller or a kneader.

【0067】次に本発明の導電ペーストを用いて形成し
た電極について、PDP部材の製造方法を具体例として
説明する。基板は通常のソーダガラスを用いても良い
が、PDP用の耐熱ガラスである旭硝子社製の“PD2
00”や日本電気硝子社製の“PP8”を用いることが
できる。
Next, a method of manufacturing a PDP member for an electrode formed by using the conductive paste of the present invention will be described as a specific example. Although normal soda glass may be used for the substrate, "PD2" manufactured by Asahi Glass Co., Ltd., which is a heat-resistant glass for PDP, is used.
00 "or" PP8 "manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. can be used.

【0068】本発明においては、導電ペーストを基板上
に塗布する前に、基板と塗布膜との密着性を高めるため
に基板の表面処理を行うことができる。表面処理液とし
てはシランカップリング剤、例えばビニルトリクロロシ
ラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシ
シラン、トリス−(2−メトキシエトキシ)ビニルシラ
ン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ
−(メタクリロキシプロピル)トリメトキシシラン、γ
(2−アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラ
ン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−メル
カプトプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピ
ルトリエトキシシランなどあるいは有機金属例えば有機
チタン、有機アルミニウム、有機ジルコニウムなどであ
る。シランカップリング剤或いは有機金属を、有機溶
媒、例えばエチレングリコールモノメチルエーテル、エ
チレングリコールモノエチルエーテル、メチルアルコー
ル、エチルアルコール、プロピルアルコール、ブチルア
ルコールなどで0.1〜5%の濃度に希釈したものを用
い、これをスピナーやスリットダイコートなどで基板上
に均一に塗布した後に80〜140℃で10〜60分間
乾燥することによって表面処理ができる。
In the present invention, the surface treatment of the substrate can be carried out before applying the conductive paste onto the substrate in order to enhance the adhesion between the substrate and the coating film. As the surface treatment liquid, a silane coupling agent such as vinyltrichlorosilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, tris- (2-methoxyethoxy) vinylsilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ
-(Methacryloxypropyl) trimethoxysilane, γ
(2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane or the like or an organic metal such as organic titanium, organic aluminum or organic zirconium. is there. A silane coupling agent or an organic metal diluted with an organic solvent such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol or butyl alcohol to a concentration of 0.1 to 5%. The surface treatment can be carried out by uniformly applying this on a substrate with a spinner or slit die coat and then drying at 80 to 140 ° C. for 10 to 60 minutes.

【0069】バインダー樹脂に感光性樹脂を用いた場
合、このガラス基板上に導電ペーストをスクリーン印刷
機を用いて全面印刷し、通常は70〜100℃で10〜
60分加熱して乾燥して溶媒類を蒸発させて厚み5〜2
0μmの塗膜を得る。次いでフォトリソグラフィー法に
より、電極パターンを有するフィルムまたはクロムマス
クなどのマスクを用いて紫外線を照射して露光し、光硬
化部分を電極パターンとして形成するか、光可溶化部分
を除去部分として加工することができる。また、フォト
マスクを用いずに、赤色や青色のレーザー光などで直接
描画する方法を用いて良い。
When a photosensitive resin is used as the binder resin, the conductive paste is printed on the entire surface of the glass substrate using a screen printing machine, and usually 10 to 70 ° C. at 10 to 100 ° C.
Heat and dry for 60 minutes to evaporate the solvents to a thickness of 5-2
A coating of 0 μm is obtained. Then, by a photolithography method, a film having an electrode pattern or a mask such as a chrome mask is used to irradiate and expose to ultraviolet rays to form a photo-cured portion as an electrode pattern, or a photo-solubilized portion is processed as a removed portion. You can Alternatively, a method of directly drawing with red or blue laser light or the like may be used without using a photomask.

【0070】露光装置としては、ステッパー露光機、プ
ロキシミティ露光機などを用いることができる。また、
大面積の露光を行う場合は、ガラス基板などの基板上に
感光性導電ペーストを塗布した後に、搬送しながら露光
を行うことによって、小さな露光面積の露光機で、大き
な面積の露光をすることができる。
As the exposure device, a stepper exposure device, a proximity exposure device or the like can be used. Also,
When exposing a large area, a photosensitive conductive paste is applied on a substrate such as a glass substrate and then exposed while being conveyed, so that an exposure device with a small exposure area can expose a large area. it can.

【0071】この際使用される活性光源は、たとえば、
可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、X線などが挙げ
られるが、これらの中で紫外線が好ましく、その光源と
してはたとえば低圧水銀灯、高圧水銀灯、ハロゲンラン
プ、殺菌灯などが使用できる。これらのなかでも超高圧
水銀灯が好適である。露光条件は電極膜の厚みによって
異なるが、5〜100mW/cm2の出力の超高圧水銀
灯を用いて10秒〜10分間露光を行うのが好ましい。
The active light source used at this time is, for example,
Visible rays, near-ultraviolet rays, ultraviolet rays, electron beams, X-rays and the like can be mentioned, and among these, ultraviolet rays are preferable, and as the light source thereof, for example, a low pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a halogen lamp, a germicidal lamp, etc. can be used. Among these, the ultra-high pressure mercury lamp is preferable. The exposure conditions vary depending on the thickness of the electrode film, but it is preferable to perform the exposure for 10 seconds to 10 minutes using an ultrahigh pressure mercury lamp with an output of 5 to 100 mW / cm 2 .

【0072】次に現像液を用いて前記露光によって硬化
していない部分を除去し、いわゆるネガ型の電極パター
ンを形成する。現像は、浸漬法、シャワー法、スプレー
法で行う。用いる現像液は、上記感光性有機成分が溶解
可能である有機溶媒を使用できる。また該有機溶媒にそ
の溶解力が失われない範囲で水を添加してもよい。例え
ばカルボキシル基もつ感光性有機成分が存在する場合、
アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水溶液として水
酸化ナトリウム、炭酸ナトリウムや炭酸水素ナトリウム
水溶液や水酸化バリウムなどのアルカリ金属の水溶液を
使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時
にアルカリ成分を除去しやすいので好ましい。
Next, a portion which is not cured by the exposure is removed by using a developing solution to form a so-called negative type electrode pattern. Development is performed by a dipping method, a shower method, or a spray method. As a developing solution to be used, an organic solvent in which the photosensitive organic component can be dissolved can be used. Further, water may be added to the organic solvent within the range in which the dissolving power is not lost. For example, when a photosensitive organic component having a carboxyl group is present,
It can be developed with an aqueous alkaline solution. Although an aqueous solution of an alkali metal such as sodium hydroxide, an aqueous solution of sodium carbonate or sodium hydrogen carbonate, or barium hydroxide can be used as the alkaline aqueous solution, an organic alkaline aqueous solution is preferably used because the alkaline component can be easily removed during firing.

【0073】有機アルカリの具体例としては、テトラメ
チルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジル
アンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、
ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液
の濃度は0.05〜2重量%が好ましく、より好ましく
は0.1〜0.5重量%である。アルカリ濃度が低すぎ
れば未露光部が除去されずに、アルカリ濃度が高すぎれ
ば、露光部を腐食させるおそれがあり良くない。
Specific examples of the organic alkali include tetramethylammonium hydroxide, trimethylbenzylammonium hydroxide, monoethanolamine,
Examples include diethanolamine. The concentration of the alkaline aqueous solution is preferably 0.05 to 2% by weight, more preferably 0.1 to 0.5% by weight. If the alkali concentration is too low, the unexposed area is not removed. If the alkali concentration is too high, the exposed area may be corroded, which is not good.

【0074】バインダー樹脂にパターン印刷用の樹脂を
用いた場合、ガラス基板上に導電ペーストをスクリーン
印刷機を用いてパターン印刷し、70〜100℃で10
〜60分加熱して乾燥して溶媒類を蒸発させて厚み5〜
20μmの塗膜を得ることができる。
When a resin for pattern printing is used as the binder resin, the conductive paste is pattern-printed on a glass substrate by using a screen printing machine, and the pattern is printed at 70 to 100 ° C. for 10 minutes.
~ 60 minutes heating and drying to evaporate the solvent to a thickness of 5
A coating film of 20 μm can be obtained.

【0075】次に、塗膜を空気中で焼成する。有機成分
である感光性ポリマー、感光性モノマーなどの感光性有
機成分およびバインダー、光重合開始剤、増感剤、増感
助剤、可塑剤、増粘剤、有機溶媒、分散剤などの添加成
分の有機物を完全に酸化、蒸発させる。焼成条件として
は、550〜600℃で5分〜1時間焼成し、基板上に
焼き付けることが好ましい。特に500℃以下では、焼
成が不充分なために電極膜の緻密性が低下し、比抵抗が
高くなり、また基板との接着強度が低下するため好まし
くない。600℃を越えるとガラス基板が熱変形して平
坦性の低下や、寸法変化が伴うので好ましくない。
Next, the coating film is baked in air. Photosensitive organic components such as photosensitive polymers, photosensitive organic components such as photosensitive monomers and binders, photopolymerization initiators, sensitizers, sensitization aids, plasticizers, thickeners, organic solvents, dispersants and other added components Completely oxidize and evaporate the organic substances. The firing conditions are preferably firing at 550 to 600 ° C. for 5 minutes to 1 hour and baking on the substrate. Particularly at 500 ° C. or lower, the firing is insufficient, the denseness of the electrode film is lowered, the specific resistance is increased, and the adhesive strength with the substrate is lowered, which is not preferable. If the temperature exceeds 600 ° C., the glass substrate is thermally deformed, the flatness is deteriorated and the dimensions are changed, which is not preferable.

【0076】なお感光性導電ペーストの調合、印刷、露
光、現像工程では紫外線を遮断できるところで行う必要
がある。そうでないとペーストあるいは塗布膜が紫外線
によって光硬化してしまい、所望の電極膜が得られな
い。
In the preparation, printing, exposure, and development steps of the photosensitive conductive paste, it is necessary to perform it at a place where ultraviolet rays can be blocked. Otherwise, the paste or coating film is photo-cured by ultraviolet rays, and the desired electrode film cannot be obtained.

【0077】本発明の導電ペーストを用いれば、焼成後
の電極膜の厚みが1〜10μmであって最小線幅が15
μm、ピッチ80μm、接着強度500g/1mm2
上の電極を容易に製造することができ、プラズマディス
プレイ用電極として好ましく用いることができる。
When the conductive paste of the present invention is used, the thickness of the electrode film after firing is 1 to 10 μm and the minimum line width is 15
An electrode having a thickness of 80 μm, a pitch of 80 μm and an adhesive strength of 500 g / 1 mm 2 or more can be easily produced, and can be preferably used as an electrode for a plasma display.

【0078】次に上記電極のラインエンド両端10mm
を残して他の部分を全て誘電体ペーストで覆い、焼成後
厚み5〜30μmの誘電体層を形成し、該誘電体の上に
ストライプ状もしくは格子状の隔壁を焼成後高さが60
〜200μmになるように形成し、該隔壁の間に厚み1
0〜30μmになるよう蛍光体層を形成する。該基板
を、PDP用前面板と封着し、フレキによって駆動回路
と接続した。そして、室温40℃、湿度80%の部屋で
1000h連続点灯させ、電極のマイグレーションの程
度を観察すれば、接続部分の電極に電極材料の溶出・還
元によってAgの析出がわずかに見られるパネルと、い
ずれの箇所に置いても全く析出箇所の見られないパネル
とがえられる。本発明の導電ペーストを用いたパネル
は、いずれもマイグレーション性に優れるものである。
Next, both ends of the line end of the electrode are 10 mm.
All other parts are covered with a dielectric paste except for the above, a dielectric layer having a thickness of 5 to 30 μm is formed after firing, and stripe-shaped or lattice-shaped partition walls are fired to a height of 60 μm.
To 200 μm, and a thickness of 1 between the partition walls.
The phosphor layer is formed to have a thickness of 0 to 30 μm. The substrate was sealed with a PDP front plate and connected to a drive circuit by a flexible cable. Then, if the panel is lit for 1000 hours continuously in a room at room temperature of 40 ° C. and a humidity of 80% and the degree of migration of the electrodes is observed, a panel in which Ag precipitation is slightly seen in the electrodes at the connection portion due to elution / reduction of the electrode material, No matter where it is placed, it is possible to obtain a panel with no visible deposits. All the panels using the conductive paste of the present invention are excellent in migration property.

【0079】本発明の導電ペーストに付帯する電極の効
果である耐マイグレーション性は、モデルパターンを作
製して加速試験を行って予め評価することができる。モ
デルパターンはライン/スペースが600/600μ
m、または300/300μmの櫛形電極をガラス基板
に形成する。櫛形電極は正極・負極が交互になるように
設けられ、正極・負極をそれぞれポテンショメーターに
接続できるようになっている。このモデルパターン付き
基板にガラス繊維のろ紙を載せ、所定温湿度に設定した
恒温恒湿オーブンに入れ、1〜100VのDC電圧をか
け、隣接する電極間での絶縁抵抗の変化を測定して評価
をすればよい。この時、マイグレーションを起こす材料
ではライン間のスペースに、Agが溶出・還元を繰り返
して薄膜枝状に析出し、成長が続くとやがては短絡する
ので、短絡に要する時間を計測しサンプルの評価を行え
ばよい。なお、600/600μmの櫛形電極の場合、
絶縁抵抗が1×106Ω以下になったところで短絡とす
る。
The migration resistance, which is the effect of the electrodes attached to the conductive paste of the present invention, can be evaluated in advance by preparing a model pattern and performing an acceleration test. Model pattern has line / space 600 / 600μ
m or 300/300 μm comb-shaped electrodes are formed on a glass substrate. The comb-shaped electrodes are provided so that the positive and negative electrodes alternate, and the positive and negative electrodes can be connected to a potentiometer, respectively. A glass fiber filter paper is placed on the substrate with this model pattern, placed in a constant temperature and humidity oven set to a predetermined temperature and humidity, a DC voltage of 1 to 100 V is applied, and a change in insulation resistance between adjacent electrodes is measured and evaluated. You can do it. At this time, in the material that causes migration, Ag repeatedly elutes / reduces in the space between the lines and deposits in a thin film branch shape, and eventually short-circuits when the growth continues. Therefore, the time required for the short-circuiting is measured and the sample is evaluated. Just go. In the case of 600/600 μm comb electrodes,
When the insulation resistance becomes 1 × 10 6 Ω or less, it is short-circuited.

【0080】[0080]

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳しく説明
する。 実施例1 Ag粉末は、湿式還元法により製造された球状のもの
で、平均粒径2μm、比表面積が0.7m2/g、タッ
プ密度が4.8g/cm3のものを用いた。
EXAMPLES The present invention will now be described in more detail by way of examples. Example 1 The Ag powder used was a spherical one produced by a wet reduction method, having an average particle diameter of 2 μm, a specific surface area of 0.7 m 2 / g and a tap density of 4.8 g / cm 3 .

【0081】還元作用を示す金属または酸化物は、市販
の試薬グレードのもので粒径が30μm以下のものを用
いた。なお、粒径の細かい金属粉末は、空気酸化を受け
て発火するおそれのあるものがあるので、それらの粉末
を用いるときは窒素雰囲気下で調合し、混合してから大
気中で作業した。
As the metal or oxide exhibiting a reducing action, a commercially available reagent grade one having a particle size of 30 μm or less was used. Note that some metal powders having a small particle size may be ignited by being oxidized by air, so when these powders are used, they were prepared in a nitrogen atmosphere, mixed, and then worked in the atmosphere.

【0082】ガラスフリットは、酸化ビスマス(48.
1重量%)二酸化ケイ素(27.5重量%)、酸化ホウ
素(14.2重量%),酸化亜鉛(2.6重量%)、酸
化アルミニウム(2.8重量%)、酸化ジルコニウム
(4.8重量%)の成分比を持ち、平均粒子径が0.9
μm、ガラス転移点(Tg)が465℃、熱軟化点(T
s)が510℃のものを用いた。
The glass frit is made of bismuth oxide (48.
1% by weight) silicon dioxide (27.5% by weight), boron oxide (14.2% by weight), zinc oxide (2.6% by weight), aluminum oxide (2.8% by weight), zirconium oxide (4.8%). Wt%) and the average particle size is 0.9
μm, glass transition point (Tg) 465 ° C., thermal softening point (T
s) having a temperature of 510 ° C. was used.

【0083】感光性樹脂には、側鎖にカルボキシル基と
エチレン不飽和基を有するアクリル系共重合体、詳細に
は、40%のメタクリル酸(MAA)、30%のメチル
メタクリレート(MMA)および30%のスチレン(S
t)からなる共重合体カルボキシル基(MAA)に対し
て0.4当量(40%に相当する)のグリシジルメタク
リレート(GMA)を付加反応させた感光性ポリマー
と、感光性モノマーとしてトリメチロールプロパントリ
アクリレートを用いた。
As the photosensitive resin, an acrylic copolymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group in its side chain, specifically, 40% methacrylic acid (MAA), 30% methyl methacrylate (MMA) and 30%. % Styrene (S
t) a copolymer having a carboxyl group (MAA), 0.4 equivalent (40%) of glycidyl methacrylate (GMA) was added and reacted, and trimethylolpropane tri was used as a photosensitive monomer. Acrylate was used.

【0084】開始剤には光重合開始剤として、2−メチ
ル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリ
ノ−1−プロパノンを用い、溶剤はγ−ブチロラクトン
とブチルカルビトールアセテートの2成分を用いた。
As a photopolymerization initiator, 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone was used as an initiator, and the solvent was two components of γ-butyrolactone and butyl carbitol acetate. Was used.

【0085】その他、添加剤として、アモルファスシリ
カのアエロジルを用い、ペーストの安定化と印刷ダレの
防止を図った。
In addition, amorphous silica Aerosil was used as an additive to stabilize the paste and prevent printing sag.

【0086】以上の各成分について、Ag粉末71重量
%、添加材料としてTiOを1重量%、ガラスフリット
1重量%、感光性ポリマー10重量%、感光性モノマー
4重量%、γ−ブチロラクトン10重量%、ブチルカル
ビトールアセテート2重量%、添加剤1重量%の配合比
で混合し、三本ローラーを用いて混練し導電ペーストを
得た。
For each of the above components, 71% by weight of Ag powder, 1% by weight of TiO as an additive material, 1% by weight of glass frit, 10% by weight of photosensitive polymer, 4% by weight of photosensitive monomer, 10% by weight of γ-butyrolactone. , Butyl carbitol acetate 2% by weight and an additive 1% by weight were mixed and kneaded using a three-roller to obtain a conductive paste.

【0087】次にスクリーン印刷機で導電ペーストを基
板に塗布した。ガラス基板には市販のソーダライムガラ
ス(基板厚み1.3mm)とプラズマディスプレイ用の
高歪点ガラス“PD200”(基板厚み2.8mm)を
用い、アルミナ基板は100mm角(厚み1.1mm)
のものを用いた。小ピーステストでは100mm角のも
のを、パネルテスト用には600×1000mmのもの
を用いた。感光性樹脂を含む導電ペーストは、ポリエス
テル製スクリーンメッシュを用いて基板全面にペースト
を印刷したのち、100℃10分の条件で溶剤を乾か
し、超高圧水銀灯によるパターン露光を行い、30℃の
0.2%炭酸ナトリウム水溶液で現像してパターンを得
た。パターン印刷用の導電ペーストでは、予め抜けのパ
ターン加工が施されたスクリーン版を用いて基板にパタ
ーン印刷を行い、10分間レベリングさせた後、80℃
30分の条件で溶剤を乾かしてパターンを得た。小ピー
ス基板には、マイグレーションテスト用のライン/スペ
ース=300/300μm、600/600μmの櫛形
電極と、抵抗測定用のパターンと、接着強度テスト用の
1mm角パターンを作製した。パネルテストには600
×1000mm基板に、ライン/スペースが200/2
00μmのストライプ状のパターンを作製した。
Next, a conductive paste was applied to the substrate with a screen printer. Commercially available soda lime glass (substrate thickness 1.3 mm) and high strain point glass "PD200" for plasma display (substrate thickness 2.8 mm) are used as glass substrates, and the alumina substrate is 100 mm square (thickness 1.1 mm).
I used the one. The small piece test was 100 mm square, and the panel test was 600 × 1000 mm. The conductive paste containing the photosensitive resin was printed on the entire surface of the substrate by using a polyester screen mesh, the solvent was dried under the condition of 100 ° C. for 10 minutes, and the pattern exposure was performed by an ultra-high pressure mercury lamp. A pattern was obtained by developing with a 2% aqueous sodium carbonate solution. In the case of the conductive paste for pattern printing, pattern printing is performed on the substrate by using a screen plate that has been subjected to a pattern processing for pre-removal, and after leveling for 10 minutes, 80 ° C.
The solvent was dried under the condition of 30 minutes to obtain a pattern. On the small piece substrate, a comb-shaped electrode for line / space = 300/300 μm and 600/600 μm for migration test, a pattern for resistance measurement, and a 1 mm square pattern for adhesive strength test were prepared. 600 for panel test
200/2 line / space on 1000mm substrate
A 00 μm stripe pattern was produced.

【0088】また、パターン印刷用導電ペーストについ
ては、Ag粉末72重量%、還元作用を示す金属または
その酸化物1重量%を添加材料として、ガラスフリット
1重量%、エチルセルロース3重量%、ブチルカルビト
ール24重量%の配合比で混合し、三本ローラーを用い
て混練することで導電ペーストを得た。次いで、所望の
パターンを印刷できるようにパターニングしたステンレ
ス製#325メッシュを用いてスクリーン印刷をし、マ
イグレーションテスト用のライン/スペース=600μ
m/600μmの櫛形電極と、抵抗測定用のパターン
と、接着強度テスト用の1mm角パターンを作製した。
Regarding the conductive paste for pattern printing, 1% by weight of glass frit, 3% by weight of ethyl cellulose, butyl carbitol were added with 72% by weight of Ag powder and 1% by weight of a metal or its oxide exhibiting a reducing action as additive materials. A conductive paste was obtained by mixing at a compounding ratio of 24% by weight and kneading using a three-roller. Next, screen printing is performed using a stainless steel # 325 mesh that is patterned so that a desired pattern can be printed. Line / space for migration test = 600μ
An m / 600 μm comb-shaped electrode, a resistance measurement pattern, and a 1 mm square pattern for an adhesive strength test were prepared.

【0089】次いで、基板を大気雰囲気中で590℃で
10分保持して焼成した。小ピースについては、焼成後
すぐに櫛形電極によるマイグレーションテストと比抵抗
測定と接着強度測定を行った。マイグレーションテスト
は40℃80%RTの条件でDC10Vまたは50Vま
たは100Vを印加し、短絡に至るまでの時間を計測
し、ブランクであるAg単体の電極が短絡に至る時間の
20倍以上持続することを目標とした。
Next, the substrate was baked by holding it at 590 ° C. for 10 minutes in the atmosphere. Immediately after firing, a small piece was subjected to a migration test using a comb-shaped electrode, a specific resistance measurement, and an adhesive strength measurement. In the migration test, DC10V, 50V, or 100V was applied under the condition of 40 ° C. and 80% RT, and the time until a short circuit was measured, and it was confirmed that the electrode of Ag alone, which is a blank, lasts more than 20 times the time before the short circuit. I made it a goal.

【0090】パネルテスト用の基板には該電極の上に誘
電体層、隔壁、蛍光体を形成し、前面板と張り合わせて
封着し、回路と接続してパネルを、40℃、80%RT
雰囲気下にして、電圧がかかった状態でライフテストを
行った。
On the substrate for panel test, a dielectric layer, a partition wall and a phosphor are formed on the electrodes, and the panel is bonded and sealed with the front plate and connected to a circuit to make the panel at 40 ° C. and 80% RT.
A life test was conducted under an atmosphere and with a voltage applied.

【0091】実施例2〜24および実施例26〜31
は、表1に示す項目について、実施例1の条件を変更し
て行ったほかは実施例1と同様にして行った。
Examples 2-24 and Examples 26-31
Was performed in the same manner as in Example 1 except that the conditions of Example 1 were changed for the items shown in Table 1.

【0092】[0092]

【表1】 [Table 1]

【0093】実施例の条件と結果を表1に示したが、実
施例1〜24および実施例26〜31は、Ag粉末単体
で形成した電極よりも短絡時間が20倍以上に延びてお
り、耐マイグレーション性の効果を得ることができた。
また、この時、接着強度、比抵抗とも許容範囲内であっ
た。特に実施例26〜31では、様々な粒径のNi粉末
またはITO粉末でマイグレーション防止に効果があ
り、Ni粉末では0.5〜9μm、ITO粉末では0.
2〜3μmと、非常に広範囲で効果を得ることができ
た。さらに実施例25では、ITOを1重量%含有する
Ag電極を前面板と背面板に形成し、前面板の電極の上
には誘電体層、およびMgO層を形成し、背面板の電極
の上には誘電体層、隔壁、および蛍光体層を形成し、前
面板と背面板とを張り合わせ、封着フリットを用いて真
空に密閉した後、希ガスを封入してパネルを作製した。
該パネルにマイグレーション評価用のDC駆動回路を取
り付けて評価をしたところ1000時間以上の耐マイグ
レーション性を確認することができた。
The conditions and results of the examples are shown in Table 1. In Examples 1 to 24 and Examples 26 to 31, the short circuit time was extended 20 times or more compared with the electrode formed of Ag powder alone. The effect of migration resistance could be obtained.
At this time, both the adhesive strength and the specific resistance were within the allowable range. Particularly, in Examples 26 to 31, Ni powder or ITO powder having various particle sizes is effective in preventing migration, 0.5 to 9 μm for Ni powder and 0.
The effect could be obtained in a very wide range of 2 to 3 μm. Furthermore, in Example 25, Ag electrodes containing 1% by weight of ITO were formed on the front plate and the back plate, and a dielectric layer and a MgO layer were formed on the electrodes of the front plate. A dielectric layer, a partition wall, and a phosphor layer were formed on the substrate, the front plate and the back plate were attached to each other, sealed in vacuum using a sealing frit, and then sealed with a rare gas to fabricate a panel.
When a DC drive circuit for migration evaluation was attached to the panel and evaluated, migration resistance of 1000 hours or more could be confirmed.

【0094】比較例1〜4 比較例では、導電粉末にAg粉末を用いて電極を形成し
た基板と、Ag/Pd合金粉末を用いて電極を形成した
基板と、Ag/Cu合金粉末を用いて電極を形成した基
板と、Ag被覆Cu粉末を用いて電極を形成した基板と
を評価をした。それ以外のテスト条件は実施例と同様に
評価を行った。条件と結果を表2に示した。Ag粉末で
は、比抵抗、接着強度は確保できているが、耐マイグレ
ーション性に劣っており1時間で短絡した。さらに比較
例2と3では比抵抗値が下がった上に短絡時間が数倍長
くなるにとどまり、不充分な結果となった。比較例4で
はあまり効果がなかった。
Comparative Examples 1 to 4 In Comparative Examples, a substrate on which electrodes were formed by using Ag powder as a conductive powder, a substrate on which electrodes were formed by using Ag / Pd alloy powder, and Ag / Cu alloy powder were used. The substrate on which the electrode was formed and the substrate on which the electrode was formed using Ag-coated Cu powder were evaluated. Other test conditions were evaluated in the same manner as in the example. The conditions and results are shown in Table 2. With the Ag powder, the specific resistance and the adhesive strength were secured, but the migration resistance was poor and a short circuit occurred in 1 hour. Furthermore, in Comparative Examples 2 and 3, the specific resistance value decreased and the short circuit time was only several times longer, resulting in an insufficient result. Comparative Example 4 was not very effective.

【0095】[0095]

【表2】 [Table 2]

【0096】[0096]

【発明の効果】本発明の導電ペーストは、バインダー樹
脂、Ag粉末、および、Ti、Ni、In、Sn、Sb
の群から選ばれる少なくとも1種の金属または金属の化
合物を含むこととしたので、そのペーストを用いて電極
を形成することで、従来のAg電極と同等の比抵抗、接
着強度を保持したまま、耐マイグレーション性に優れた
電極を提供することができる。
The conductive paste of the present invention comprises a binder resin, Ag powder, and Ti, Ni, In, Sn, Sb.
Since it is decided to include at least one kind of metal or metal compound selected from the group, by forming an electrode using the paste, while maintaining the same specific resistance and adhesive strength as the conventional Ag electrode, It is possible to provide an electrode having excellent migration resistance.

【0097】本発明の導電ペーストを用いて形成された
電極、導電性部材、多層基板は、Ag単体からなる電極
の比抵抗と比べて同じか、または殆ど遜色のない値を示
し、耐マイグレーション性に優れ、低コストで信頼性を
向上させることができる。
The electrodes, conductive members, and multilayer substrates formed using the conductive paste of the present invention have the same or almost the same value as the specific resistance of electrodes made of Ag alone, and have migration resistance. The reliability can be improved at a low cost.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E343 AA12 AA22 BB25 BB34 BB35 BB44 BB59 BB72 DD03 ER33 ER35 FF02 FF11 GG02 GG14 GG20 5G301 DA02 DA03 DA10 DA13 DA22 DA23 DD01    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F term (reference) 5E343 AA12 AA22 BB25 BB34 BB35                       BB44 BB59 BB72 DD03 ER33                       ER35 FF02 FF11 GG02 GG14                       GG20                 5G301 DA02 DA03 DA10 DA13 DA22                       DA23 DD01

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】バインダー樹脂、Ag粉末、およびTi、
Ni、In、Sn、Sbの群から選ばれる少なくとも1
種の金属または金属の化合物を含有することを特徴とす
る導電ペースト。
1. A binder resin, Ag powder, and Ti,
At least one selected from the group consisting of Ni, In, Sn, and Sb
A conductive paste containing a kind of metal or a compound of metal.
【請求項2】バインダー樹脂、Ag粉末、およびNi、
In、Snの群から選ばれる少なくとも1種の金属また
は金属の化合物を含有することを特徴とする導電ペース
ト。
2. A binder resin, Ag powder, and Ni,
A conductive paste containing at least one metal or a compound of a metal selected from the group consisting of In and Sn.
【請求項3】前記金属または金属の化合物が、粉末であ
ることを特徴とする請求項1または2に記載の導電ペー
スト。
3. The conductive paste according to claim 1, wherein the metal or metal compound is powder.
【請求項4】金属化合物が金属酸化物であることを特徴
とする請求項1または2に記載の導電ペースト。
4. The conductive paste according to claim 1, wherein the metal compound is a metal oxide.
【請求項5】バインダー樹脂、Ag粉末、およびNi粉
末またはITO粉末を含有することを特徴とする導電ペ
ースト。
5. A conductive paste containing a binder resin, Ag powder, and Ni powder or ITO powder.
【請求項6】Ni粉末またはITO粉末の平均粒径が
0.01〜30μmであることを特徴とするを請求項2
に記載の導電ペースト。
6. The Ni powder or the ITO powder has an average particle diameter of 0.01 to 30 μm.
The conductive paste according to.
【請求項7】導電ペーストを用いて形成した電極の比抵
抗が1.6〜20μΩ・cmであることを特徴とする請
求項1〜6のいずれかに記載の導電ペースト。
7. The conductive paste according to claim 1, wherein the specific resistance of the electrode formed using the conductive paste is 1.6 to 20 μΩ · cm.
【請求項8】導電ペーストを用いて形成した電極と、基
板との接着強度が500gf/mm2以上であることを
特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の導電ペース
ト。
8. The conductive paste according to claim 1, wherein the adhesive strength between the electrode formed using the conductive paste and the substrate is 500 gf / mm 2 or more.
JP2002209269A 2001-07-19 2002-07-18 Conductive paste Pending JP2003115216A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002209269A JP2003115216A (en) 2001-07-19 2002-07-18 Conductive paste

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001-219296 2001-07-19
JP2001219296 2001-07-19
JP2002209269A JP2003115216A (en) 2001-07-19 2002-07-18 Conductive paste

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003115216A true JP2003115216A (en) 2003-04-18
JP2003115216A5 JP2003115216A5 (en) 2005-10-27

Family

ID=26618991

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002209269A Pending JP2003115216A (en) 2001-07-19 2002-07-18 Conductive paste

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003115216A (en)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005223323A (en) * 2004-02-09 2005-08-18 E I Du Pont De Nemours & Co Ink jet printable thick film ink composition and ink jet printing method
WO2005086191A1 (en) * 2004-03-09 2005-09-15 Showa Denko K.K. Solid electrolytic capacitor and the use thereof
JP2005294817A (en) * 2004-03-09 2005-10-20 Showa Denko Kk Solid electrolytic capacitor and its use
JP2007186798A (en) * 2007-03-07 2007-07-26 Dowa Holdings Co Ltd Silver powder and its production method
JP2008204880A (en) * 2007-02-22 2008-09-04 Kyocera Corp Photoelectric conversion module and manufacturing method thereof
JP2011181680A (en) * 2010-03-01 2011-09-15 Noritake Co Ltd Conductive paste composition for solar cell
WO2014061765A1 (en) 2012-10-19 2014-04-24 ナミックス株式会社 Electroconductive paste
KR20150027721A (en) * 2013-09-04 2015-03-12 아사히 가라스 가부시키가이샤 Conductive paste and substrate with conductive film
KR20160135123A (en) 2014-03-20 2016-11-24 나믹스 가부시끼가이샤 Conductive paste, laminated ceramic component, printed circuit board, and electronic device
WO2017141984A1 (en) 2016-02-17 2017-08-24 ナミックス株式会社 Conductive paste
WO2021145269A1 (en) * 2020-01-16 2021-07-22 ナミックス株式会社 Electroconductive paste, electrode and chip resistor
JP2022186757A (en) * 2021-03-10 2022-12-15 Dowaエレクトロニクス株式会社 silver powder

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005223323A (en) * 2004-02-09 2005-08-18 E I Du Pont De Nemours & Co Ink jet printable thick film ink composition and ink jet printing method
WO2005086191A1 (en) * 2004-03-09 2005-09-15 Showa Denko K.K. Solid electrolytic capacitor and the use thereof
JP2005294817A (en) * 2004-03-09 2005-10-20 Showa Denko Kk Solid electrolytic capacitor and its use
US7522404B2 (en) 2004-03-09 2009-04-21 Showa Denko K.K. Solid electrolytic capacitor and the use thereof
KR101093502B1 (en) * 2004-03-09 2011-12-13 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 Solid electrolytic capacitors and their uses
JP2008204880A (en) * 2007-02-22 2008-09-04 Kyocera Corp Photoelectric conversion module and manufacturing method thereof
JP2007186798A (en) * 2007-03-07 2007-07-26 Dowa Holdings Co Ltd Silver powder and its production method
JP2011181680A (en) * 2010-03-01 2011-09-15 Noritake Co Ltd Conductive paste composition for solar cell
KR20150076189A (en) 2012-10-19 2015-07-06 나믹스 가부시끼가이샤 Electroconductive paste
WO2014061765A1 (en) 2012-10-19 2014-04-24 ナミックス株式会社 Electroconductive paste
US9574091B2 (en) 2012-10-19 2017-02-21 Namics Corporation Conductive paste
JP2015050133A (en) * 2013-09-04 2015-03-16 旭硝子株式会社 Conductive paste and substrate with conductive film
KR20150027721A (en) * 2013-09-04 2015-03-12 아사히 가라스 가부시키가이샤 Conductive paste and substrate with conductive film
KR102195144B1 (en) * 2013-09-04 2020-12-24 가부시키가이샤 노리타께 캄파니 리미티드 Conductive paste and substrate with conductive film
KR20160135123A (en) 2014-03-20 2016-11-24 나믹스 가부시끼가이샤 Conductive paste, laminated ceramic component, printed circuit board, and electronic device
US10702954B2 (en) 2014-03-20 2020-07-07 Namics Corporation Conductive paste
WO2017141984A1 (en) 2016-02-17 2017-08-24 ナミックス株式会社 Conductive paste
KR20180112001A (en) 2016-02-17 2018-10-11 나믹스 가부시끼가이샤 Conductive paste
WO2021145269A1 (en) * 2020-01-16 2021-07-22 ナミックス株式会社 Electroconductive paste, electrode and chip resistor
JPWO2021145269A1 (en) * 2020-01-16 2021-07-22
JP7687687B2 (en) 2020-01-16 2025-06-03 ナミックス株式会社 Conductive paste, electrodes and chip resistors
JP2022186757A (en) * 2021-03-10 2022-12-15 Dowaエレクトロニクス株式会社 silver powder
JP7438305B2 (en) 2021-03-10 2024-02-26 Dowaエレクトロニクス株式会社 silver powder

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4238384B2 (en) Photosensitive conductive paste and method for producing electrode for plasma display
JP3520720B2 (en) Method for producing photosensitive conductive paste and electrode for plasma display
KR101681126B1 (en) Photo sensitive paste composition and pattern forming method
JP3758220B2 (en) Photosensitive conductive paste and electrode manufacturing method
JP4273549B2 (en) Low melting glass fine powder and photosensitive paste
JP2003115216A (en) Conductive paste
JPH08227153A (en) Photosensitive electrically conductive paste and production of electrode
JP2009245704A (en) Photosensitive conductive paste composition, electrode circuit, and plasma display panel
JP3716787B2 (en) Photosensitive paste for plasma display
JP3371745B2 (en) Method for producing photosensitive conductive paste and electrode
JP3520721B2 (en) Method for producing photosensitive conductive paste and electrode
KR101980559B1 (en) Photosensitive conductive paste and method for manufacturing conductive substrate with wiring
JP4843861B2 (en) Conductive paste, multilayer substrate and flat display
KR101204812B1 (en) Photosensitive conductive paste, method for manufacturing display using photosensitive conductive paste, and display
JP3767096B2 (en) Plasma display and manufacturing method thereof
JP3716469B2 (en) Photosensitive paste for pattern processing
JPH10188825A (en) Plasma display panel
JP3951327B2 (en) Photosensitive paste and method for producing plasma display
JP3567606B2 (en) Manufacturing method of plasma display
JPH11242930A (en) Manufacture of electrode and manufacture of member for plasma display panel
JP3956889B2 (en) Plasma display
JPH11120906A (en) Plasma display electrode, its manufacture, and plasma display
JP3690001B2 (en) Manufacturing method of plasma display
JP4193878B2 (en) Method for manufacturing plasma display panel
JP3870463B2 (en) Photosensitive green sheet and plasma display manufacturing method

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050719

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050719

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080619

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080701

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20081118