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JP2003112942A - Glass substrate for field emission type display - Google Patents

Glass substrate for field emission type display

Info

Publication number
JP2003112942A
JP2003112942A JP2001307003A JP2001307003A JP2003112942A JP 2003112942 A JP2003112942 A JP 2003112942A JP 2001307003 A JP2001307003 A JP 2001307003A JP 2001307003 A JP2001307003 A JP 2001307003A JP 2003112942 A JP2003112942 A JP 2003112942A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
glass substrate
field emission
sro
emission display
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001307003A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ken Choju
研 長壽
Shinkichi Miwa
晋吉 三和
Hiroki Yamazaki
博樹 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Electric Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Glass Co Ltd filed Critical Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority to JP2001307003A priority Critical patent/JP2003112942A/en
Publication of JP2003112942A publication Critical patent/JP2003112942A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glass substrate which satisfies the characteristics required for a field emission type display. SOLUTION: The glass substrate for a field emission type display substantially contains neither an alkali component nor PbO and has >=550 deg.C strain point, >=68 GPa Young's modulus and >=125 cm<-1> X-ray absorption coefficient at 1.5 Å wavelength.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、電界放射型ディスプレ
イ用ガラス基板に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass substrate for field emission display.

【0002】[0002]

【従来の技術】電界放射型ディスプレイは、薄型軽量
で、低電力で表示が鮮明であり、フルカラー化が可能で
あるなど、多くの利点を有するため、今後表示装置とし
て益々普及する傾向にある。
2. Description of the Related Art Field emission displays have many advantages such as thinness and light weight, low power consumption, clear display, and full-color display. Therefore, they are becoming more and more popular as display devices in the future.

【0003】電界放射型ディスプレイは、透明電極や蛍
光体が形成された前面ガラス基板と、カソード電極、ゲ
ート電極、冷陰極(エミッタ)、絶縁膜等が形成された
背面ガラス基板とを対向させ、ガラス基板の周囲をフリ
ットシールし、パネル内部を真空にすることで作製され
る。そして、エミッタから放出される電子線を蛍光体に
あてることで発光させて映像を映し出す。
In a field emission display, a front glass substrate on which transparent electrodes and phosphors are formed and a back glass substrate on which cathode electrodes, gate electrodes, cold cathodes (emitters), insulating films, etc. are formed are opposed to each other. It is produced by frit-sealing the periphery of the glass substrate and applying a vacuum inside the panel. Then, an electron beam emitted from the emitter is applied to the phosphor to cause it to emit light, thereby displaying an image.

【0004】ところで、電界放射型ディスプレイは、エ
ミッタから放出される電子線を蛍光体にあてることで発
光させて映像を映し出すが、ガラス基板中にアルカリ成
分が含有されていると、電子を放出するエミッタにアル
カリイオンが拡散し、電子源の劣化を招く。従って、ガ
ラス基板には、アルカリ成分の含有量を少なくすること
が求められている。
By the way, in the field emission display, an electron beam emitted from an emitter is applied to a phosphor to emit light to display an image, but when an alkaline component is contained in a glass substrate, an electron is emitted. Alkali ions diffuse into the emitter, causing deterioration of the electron source. Therefore, it is required for the glass substrate to reduce the content of the alkaline component.

【0005】また、電界放射型ディスプレイは、長期間
に亘って電子線放射特性を維持するために、パネル内部
を真空に保持しているが、パネル内部を真空に保持する
とガラス基板がたわみ、セルギャップが均一にならず画
像にムラが発生したり、パネルが破損したりする可能性
があるため、前面と背面のガラス基板の間に一定間隔で
支持用のスペーサーを介在させてセルギャップを保持す
る対策が採られている。これらスペーサーは画素の間に
設置される。しかし、スペーサーの数が多いと、高精細
化が困難となるため、スペーサーの数は少ない方が良
い。従って、ガラス基板には、たわみにくいことが求め
られている。
In addition, in the field emission type display, the inside of the panel is kept in a vacuum in order to maintain the electron beam emission characteristics for a long period of time. However, if the inside of the panel is kept in the vacuum, the glass substrate bends and the cell Since the gap may not be uniform and the image may be uneven or the panel may be damaged, the cell gap is maintained by interposing a support spacer at regular intervals between the front and rear glass substrates. Measures to take are taken. These spacers are installed between pixels. However, if the number of spacers is large, it is difficult to achieve high definition. Therefore, it is preferable that the number of spacers is small. Therefore, the glass substrate is required to be less likely to bend.

【0006】また、電界放射型ディスプレイは、電子線
が蛍光体にあたり映像を映し出す際、パネル内部でX線
が発生する。X線によって、ガラスが着色して映し出さ
れた映像が見にくくることがある。また、パネル外部に
X線が漏洩して人体に悪影響を与えるという問題が発生
する可能性もある。従って、電界放射型ディスプレイ用
ガラス基板は、X線によって着色を起こさないこと、高
いX線遮蔽能力を有することが求められている。
Further, in the field emission display, when the electron beam hits the phosphor to display an image, X-rays are generated inside the panel. Due to X-rays, the glass may be colored and the image projected may be difficult to see. In addition, there is a possibility that X-rays may leak outside the panel and adversely affect the human body. Therefore, the glass substrate for a field emission display is required not to be colored by X-rays and to have a high X-ray shielding ability.

【0007】更に、この種のガラス基板の表面には、透
明電極、絶縁膜等の様々な膜やエミッタ等が成膜され、
しかもフォトリソグラフィーエッチング(フォトエッチ
ング)によって種々の回路やパターンが形成される。こ
れらの成膜、フォトエッチング工程において、種々の熱
処理や薬品処理を受けることになるため、ガラス基板に
は、耐熱性や耐薬品性を有することも求められている。
Further, various kinds of films such as transparent electrodes and insulating films and emitters are formed on the surface of this type of glass substrate.
Moreover, various circuits and patterns are formed by photolithography etching (photoetching). Since various heat treatments and chemical treatments are performed in these film forming and photoetching steps, the glass substrate is also required to have heat resistance and chemical resistance.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来か
らディスプレイ用ガラス基板として知られているプラズ
マディスプレイ用ガラス基板や液晶ディスプレイ用ガラ
ス基板は、X線吸収係数が低く、パネル外部にX線が漏
洩して人体に悪影響を与えるという問題が発生する可能
性があった。また、プラズマディスプレイ用ガラス基板
に関しては、ガラス中にアルカリ成分を多量に含有して
いるため、エミッタにアルカリ成分が拡散し電子源の劣
化を招いていた。
However, the glass substrate for plasma display and the glass substrate for liquid crystal display, which are conventionally known as glass substrates for displays, have a low X-ray absorption coefficient, and X-rays leak to the outside of the panel. Therefore, there is a possibility that a problem may occur that adversely affects the human body. Further, with respect to the glass substrate for plasma display, since the glass contains a large amount of the alkaline component, the alkaline component diffuses into the emitter, causing deterioration of the electron source.

【0009】このように既存のガラス基板は電界放射型
ディスプレイ用途に開発されたものではないため、電界
放射型ディスプレイに要求される特性を全て満足するよ
うなものは無かった。
As described above, since the existing glass substrate has not been developed for field emission display applications, none of the glass substrates satisfy all the characteristics required for the field emission display.

【0010】本発明の目的は、電界放射型ディスプレイ
に求められる特性を全て満足するガラス基板を提供する
ことである。
An object of the present invention is to provide a glass substrate which satisfies all the properties required for a field emission display.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明の電界放射型ディ
スプレイ用ガラス基板は、実質的にアルカリ成分及びP
bOを含有せず、歪点が550℃以上であり、ヤング率
が68GPa以上であり、且つ、1.5Åの波長におけ
るX線吸収係数が125cm-1以上であることを特徴と
する。
The glass substrate for a field emission display according to the present invention is substantially composed of an alkaline component and P.
It is characterized by not containing bO, having a strain point of 550 ° C. or higher, a Young's modulus of 68 GPa or higher, and an X-ray absorption coefficient of 125 cm −1 or higher at a wavelength of 1.5Å.

【0012】また、本発明の電界放射型ディスプレイ用
ガラス基板は、SiO2−Al23−RO系ガラス(R
OはMgO、CaO、SrO、BaOとする)であっ
て、実質的にアルカリ成分及びPbOを含有せず、Ca
O、SrO、BaOを必須成分として含有し、質量百分
率で、Al23 2.1〜30%、CaO+SrO+B
aO 20〜45%であることを特徴とする。
The glass substrate for field emission display of the present invention is a SiO 2 —Al 2 O 3 —RO type glass (R
O is MgO, CaO, SrO, or BaO), and does not substantially contain an alkaline component and PbO,
O, SrO, and BaO are contained as essential components, and by mass percentage, Al 2 O 3 2.1 to 30%, CaO + SrO + B.
aO is 20 to 45%.

【0013】[0013]

【作用】本発明の電界放射型ディスプレイ用ガラス基板
は、実質的にアルカリ成分を含有していないため、電子
源の劣化を防止することができる。
The glass substrate for a field emission display of the present invention contains substantially no alkali component, so that the electron source can be prevented from deteriorating.

【0014】また、本発明のガラス基板は、68GPa
(好ましくは74GPa)以上のヤング率を有するた
め、パネル内部を真空に保持しても、ガラス基板の変形
が起こりにくく、スペーサーの数を減少させることがで
きる。尚、ガラス基板のヤング率を68GPa以上にす
るためには、SiO2−Al23−RO系ガラスの場
合、例えば、CaO、SrO、BaOを必須成分とし、
これら成分を合量で20〜45%含有させればよい。こ
れら成分の合量が20%以上であれば、68GPa以上
のヤング率を得やすくなる。但し、これら成分の合量が
45%より多くなると、ガラスが失透したり、熱膨張係
数が大きくなって熱処理工程でガラス基板が割れやすく
なる。好ましい範囲は21〜44%である。
The glass substrate of the present invention is 68 GPa.
Since it has a Young's modulus of (preferably 74 GPa) or more, even if the inside of the panel is held in vacuum, the glass substrate is unlikely to be deformed, and the number of spacers can be reduced. In order to set the Young's modulus of the glass substrate to 68 GPa or more, in the case of SiO 2 —Al 2 O 3 —RO glass, for example, CaO, SrO, and BaO are essential components,
The total amount of these components should be 20 to 45%. When the total amount of these components is 20% or more, it is easy to obtain a Young's modulus of 68 GPa or more. However, if the total content of these components is more than 45%, the glass is devitrified or the coefficient of thermal expansion is increased, so that the glass substrate is easily broken in the heat treatment step. A preferred range is 21 to 44%.

【0015】また、PbOを含有せず、CaO、Sr
O、BaOを合量で20%以上含有させることで、X線
によって、ガラスが着色することなく、1.5Åの波長
におけるX線吸収係数を125cm-1以上にすることが
でき、X線をパネル内に遮蔽することができる。
Further, it does not contain PbO and contains CaO and Sr.
By including O and BaO in a total amount of 20% or more, the X-ray absorption coefficient at a wavelength of 1.5 Å can be 125 cm -1 or more without coloring the glass by X-rays. It can be shielded within the panel.

【0016】また、本発明のガラス基板は、550℃以
上の歪点を有するため、電界放射型ディスプレイを製造
する熱処理工程で収縮は起こらない。尚、ガラスの歪点
を550℃以上にするためには、SiO2−Al23
RO系ガラスの場合、例えば、Al23を2.1%以上
含有させればよい。Al23の含有量が2.1%以上で
あれば、550℃以上の歪点を得やすくなる。但し、含
有量が30%を超えると、熔融し難くなる。
Further, since the glass substrate of the present invention has a strain point of 550 ° C. or higher, shrinkage does not occur in the heat treatment process for manufacturing a field emission display. In order to set the strain point of glass to 550 ° C. or higher, SiO 2 —Al 2 O 3
In the case of RO type glass, for example, Al 2 O 3 may be contained at 2.1% or more. When the content of Al 2 O 3 is 2.1% or more, it becomes easy to obtain a strain point of 550 ° C. or more. However, if the content exceeds 30%, it becomes difficult to melt.

【0017】尚、本発明ではガラスの熱膨張係数を40
〜70×10-7/℃にすることが望ましい。熱膨張係数
が40×10-7/℃(好ましくは45×10-7/℃)以
上であれば、2枚のガラス基板を良好にフリットシール
が行え、長期に亘ってパネル内部を真空に保つことがで
き、電子線放出特性を維持することができる。また、7
0×10-7/℃(好ましくは59×10-7/℃)以下で
あれば、熱処理工程におけるガラス基板の割れを抑える
ことができる。尚、ガラスの熱膨張係数を40〜70×
10-7/℃にするためには、SiO2−Al23−RO
系ガラスの場合、例えば、CaO、SrO、BaOを合
量で20〜45%含有させればよい。
In the present invention, the coefficient of thermal expansion of glass is 40.
It is desirable to set it to 70 × 10 −7 / ° C. If the coefficient of thermal expansion is 40 × 10 -7 / ° C (preferably 45 × 10 -7 / ° C) or more, two glass substrates can be frit-sealed well, and the inside of the panel is kept in vacuum for a long period of time. Therefore, the electron beam emission characteristics can be maintained. Also, 7
If it is 0 × 10 −7 / ° C. or less (preferably 59 × 10 −7 / ° C.) or less, cracking of the glass substrate in the heat treatment step can be suppressed. The coefficient of thermal expansion of glass is 40 to 70 ×
To obtain 10 −7 / ° C., SiO 2 —Al 2 O 3 —RO
In the case of a system glass, for example, CaO, SrO, and BaO may be contained in a total amount of 20 to 45%.

【0018】また、本発明ではガラスの液相粘度を10
4.0dPa・s以上にすることが望ましい。その理由
は、板ガラスの成型方法として知られているフロート
法、オーバーフロー法、ロールアウト法等の方法で、安
く大量に製造することができるためである。
In the present invention, the liquidus viscosity of glass is 10
It is desirable to set it to 4.0 dPa · s or more. The reason is that it is possible to mass-produce inexpensively by a method such as a float method, an overflow method, or a roll-out method, which is known as a method for forming sheet glass.

【0019】先記した要求特性を満たすガラス組成の具
体的範囲を以下に示す。
Specific ranges of the glass composition satisfying the above-mentioned required characteristics are shown below.

【0020】その組成範囲は、実質的にアルカリ成分及
びPbOを含有せず、質量百分率で、SiO2 40〜
80%、Al23 2.1〜30%、B23 0〜20
%、MgO 0〜10%、CaO 0.1〜30%、S
rO 1〜30%、BaO1〜30%、ZnO 0〜1
0%、ZrO2 0〜10%、CeO2 0〜5%、Ca
O+SrO+BaO 20〜45%である。
The composition range is substantially free of an alkali component and PbO, and in terms of mass percentage, SiO 2 is 40 to 40.
80%, Al 2 O 3 2.1-30%, B 2 O 3 0-20
%, MgO 0-10%, CaO 0.1-30%, S
rO 1-30%, BaO 1-30%, ZnO 0-1
0%, ZrO 2 0-10%, CeO 2 0-5%, Ca
O + SrO + BaO 20 to 45%.

【0021】本発明においてガラスの組成を上記のよう
に限定した理由は、次のとおりである。
The reason why the glass composition is limited as described above in the present invention is as follows.

【0022】SiO2は、ガラスのネットワークフォー
マーとなる成分である。その含有量が40%以上であれ
ば、ガラスの耐熱性や化学的耐久性が向上する。SiO
2が多いとガラスの溶融温度が高くなる傾向にあるが、
含有量が80%以下であれば、ガラスの溶融温度が高く
なりすぎず、溶融しやすい。好ましい範囲は40〜75
%であり、より好ましくは40〜70%である。
SiO 2 is a component which serves as a glass network former. When the content is 40% or more, the heat resistance and chemical durability of the glass are improved. SiO
If the number of 2 is large, the melting temperature of glass tends to increase, but
When the content is 80% or less, the melting temperature of the glass does not become too high and the glass is easily melted. The preferred range is 40-75
%, And more preferably 40 to 70%.

【0023】Al23は、ガラスの歪点を上げ、耐熱性
を高める成分である。その含有量が2.1%以上であれ
ば、ガラスの歪点が上昇し、耐熱性が向上する。Al2
3が多くなると溶融温度が高くなる傾向にあるが、そ
の含有量が30%以下であれば、ガラスの溶融が容易で
ある。好ましい範囲は2.5〜20%であり、より好ま
しくは4〜18%である。
Al 2 O 3 is a component that raises the strain point of glass and heat resistance. If the content is 2.1% or more, the strain point of the glass increases and the heat resistance improves. Al 2
When the content of O 3 is large, the melting temperature tends to be high, but when the content is 30% or less, the melting of the glass is easy. The preferred range is 2.5 to 20%, more preferably 4 to 18%.

【0024】B23は、融剤として作用し、溶融性を改
善する成分である。B23が多くなると歪点が低下して
耐熱性が低下する傾向にあるが、20%以下であれば、
ガラスの歪点を高く保ったまま、溶融温度を低下させる
ことができる。好ましい範囲は0〜18%であり、より
好ましくは0〜15%である。
B 2 O 3 is a component which acts as a flux and improves the meltability. When the content of B 2 O 3 increases, the strain point tends to decrease and the heat resistance tends to decrease, but if it is 20% or less,
The melting temperature can be lowered while keeping the strain point of the glass high. The preferred range is 0 to 18%, more preferably 0 to 15%.

【0025】MgOは、ガラスのヤング率を上昇させる
と共に高温粘性を下げ、ガラスの溶融性を改善する成分
である。MgOが多くなると著しくガラスが失透した
り、化学的耐久性が低下するが、その含有量が10%以
下の時、ガラスの失透や化学的耐久性の低下を起こすこ
となく、ガラスの溶融性を改善することができる。好ま
しい範囲は0〜5%であり、より好ましくは0〜3%で
ある。
MgO is a component that raises the Young's modulus of the glass and lowers the high temperature viscosity to improve the meltability of the glass. When the content of MgO is large, the glass is significantly devitrified or the chemical durability is lowered. However, when the content is 10% or less, the glass is melted without devitrification or the chemical durability is lowered. The sex can be improved. The preferable range is 0 to 5%, and more preferably 0 to 3%.

【0026】CaOは、ガラスのヤング率を上昇させる
と共に高温粘性を下げ、ガラスの溶融性を改善する効果
がある。その含有量が0.1%以上であれば、ガラスの
ヤング率を上昇させることができる。CaOが多くなる
とMgO程ではないがガラスが失透したり、化学的耐久
性が低下する傾向にあるが、その含有量が30%以下の
時、ガラスの失透や化学的耐久性の低下を起こすことな
く、ガラスの溶融性を改善することができる。好ましい
範囲は1〜25%であり、より好ましくは2〜20%で
ある。
CaO has the effects of increasing the Young's modulus of the glass and lowering the high temperature viscosity, and improving the meltability of the glass. When the content is 0.1% or more, the Young's modulus of glass can be increased. When the content of CaO is large, the glass tends to devitrify and the chemical durability tends to decrease, though not to the extent of MgO. However, when the content of CaO is 30% or less, the glass devitrification and the chemical durability decrease. The meltability of the glass can be improved without causing it. The preferred range is 1 to 25%, more preferably 2 to 20%.

【0027】SrOとBaOは、ガラスのヤング率を上
昇させると共にX線吸収係数を高めたり、ガラスの化学
的耐久性や耐失透性を向上させる成分である。その含有
量がそれぞれ1%以上であれば、ガラスのヤング率を上
昇させると共にガラスのX線吸収係数を高めることがで
きる。含有量が多くなると溶融性が悪化しやすくなる傾
向にあるが、その含有量がそれぞれ30%以下であれ
ば、溶融性を悪化させることなく上記効果が得られる。
好ましい範囲はそれぞれ1〜25%であり、より好まし
くはそれぞれ2〜25%である。
SrO and BaO are components that increase the Young's modulus of the glass, increase the X-ray absorption coefficient, and improve the chemical durability and devitrification resistance of the glass. When the content is 1% or more, the Young's modulus of the glass can be increased and the X-ray absorption coefficient of the glass can be increased. When the content is high, the meltability tends to deteriorate, but when the content is 30% or less, the above effect can be obtained without deteriorating the meltability.
A preferable range is 1 to 25%, and a more preferable range is 2 to 25%.

【0028】ZnOは、歪点を低下させることなく、高
温粘性を下げ、ガラスの溶融性を改善する成分である。
ZnOが多くなるとガラスが失透しやすくなる傾向にあ
るが、その含有量が10%以下であれば、ガラスが失透
せず、溶融性を改善することができる。好ましい範囲は
0〜8%であり、より好ましくは0〜5%である。
ZnO is a component that lowers the high temperature viscosity and improves the meltability of glass without lowering the strain point.
When ZnO increases, the glass tends to devitrify, but if the content is 10% or less, the glass does not devitrify and the meltability can be improved. The preferable range is 0 to 8%, and more preferably 0 to 5%.

【0029】ZrO2は、ガラスの化学的耐久性を向上
させる成分である。ZrO2が多くなるとガラス中にジ
ルコン等のブツが析出する傾向にあるが、その含有量が
10%以下であれば、ブツを析出させずにガラスの化学
的耐久性を向上させることができる。好ましい範囲は0
〜8%であり、より好ましくは0〜6%である。
ZrO 2 is a component that improves the chemical durability of glass. When the content of ZrO 2 is large, particles such as zircon tend to be deposited in the glass, but if the content is 10% or less, the chemical durability of the glass can be improved without depositing the particles. The preferred range is 0
-8%, more preferably 0-6%.

【0030】CeO2は、X線によるガラスの着色を抑
制する成分である。CeO2が多くなると、透過率が低
下しやすくなるが、5%までの添加であれば問題はな
い。好ましい範囲は0.01〜5%であり、より好まし
くは0.1〜5%である。
CeO 2 is a component that suppresses coloring of glass by X-rays. If the CeO 2 content is large, the transmittance tends to decrease, but there is no problem if it is added up to 5%. The preferable range is 0.01 to 5%, and more preferably 0.1 to 5%.

【0031】Li2O、Na2O、K2O等のアルカリ成
分は、電子源の寿命を短くするため、導入すべきではな
い。
Alkali components such as Li 2 O, Na 2 O and K 2 O should not be introduced because they shorten the life of the electron source.

【0032】PbOがガラス中に含まれていると、パネ
ル内部で発生するX線によってガラスが著しく着色する
ため、導入すべきではない。
When PbO is contained in the glass, the glass is markedly colored by X-rays generated inside the panel, and therefore should not be incorporated.

【0033】また、本発明においては、上記の成分以外
にも、特性を損なわない範囲で他の成分を添加させるこ
とも可能であり、例えば清澄剤として、As23、Sb
23、SnO2、F2、Cl2、SO3等を各々3%まで、
ガラスの化学的耐久性を向上させるために、Nb23
23、La23を各々5%まで、ガラスの耐失透性を
高めるために、P25を5%まで添加することが可能で
ある。
In the present invention, in addition to the above-mentioned components, other components may be added within a range that does not impair the characteristics. For example, As 2 O 3 or Sb may be used as a fining agent.
2 O 3 , SnO 2 , F 2 , Cl 2 , SO 3 etc. up to 3% each,
In order to improve the chemical durability of glass, Nb 2 O 3 ,
It is possible to add Y 2 O 3 and La 2 O 3 up to 5% and P 2 O 5 up to 5% in order to enhance the devitrification resistance of the glass.

【0034】[0034]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。EXAMPLES The present invention will be described below based on examples.

【0035】表1〜3は、本発明の実施例(試料No.
1〜10)と比較例(試料No.11、12)を示すも
のである。尚、試料No.12はソーダガラスを示す。
Tables 1 to 3 show examples of the present invention (Sample No.
1 to 10) and comparative examples (Sample Nos. 11 and 12). Sample No. 12 shows soda glass.

【0036】[0036]

【表1】 [Table 1]

【0037】[0037]

【表2】 [Table 2]

【0038】[0038]

【表3】 [Table 3]

【0039】表中の各試料は、次のようにして作製し
た。
Each sample in the table was prepared as follows.

【0040】まず、表の組成となるようにガラス原料を
調合し、白金ポットを用いて1550℃で24時間溶融
した。その後、溶融ガラスをカーボン板の上に流し出し
て板状に成形し、徐冷後、板厚が2mmになるように両
面研磨して、得られた板ガラスを200mm角の大きさ
に切断加工することでガラス試料を作製した。
First, glass raw materials were prepared so as to have the composition shown in the table, and melted at 1550 ° C. for 24 hours using a platinum pot. After that, the molten glass is poured onto a carbon plate to form a plate shape, gradually cooled, and then double-sided polished to a plate thickness of 2 mm, and the obtained plate glass is cut into a size of 200 mm square. This produced a glass sample.

【0041】このようにして作製した各試料について、
密度、歪点、熱膨張係数、ヤング率、X線吸収係数、X
線着色量、耐HCl性、耐バッファードフッ酸性及び液
相粘度について評価した。結果を表に示す。
For each of the samples thus prepared,
Density, strain point, thermal expansion coefficient, Young's modulus, X-ray absorption coefficient, X
The amount of line coloring, HCl resistance, buffered hydrofluoric acid resistance, and liquidus viscosity were evaluated. The results are shown in the table.

【0042】密度については、周知のアルキメデス法に
よって測定した。
The density was measured by the well-known Archimedes method.

【0043】歪点は、ASTM C336−71の方法
に基づいて測定し、この値が高いほど、耐熱性が良いこ
とを示す。好ましくは600℃以上である。
The strain point is measured according to the method of ASTM C336-71. The higher the value, the better the heat resistance. It is preferably 600 ° C. or higher.

【0044】熱膨張係数は、ディラトメーターを用い
て、30〜380℃における平均熱膨張係数を測定した
ものである。
The coefficient of thermal expansion is the average coefficient of thermal expansion measured at 30 to 380 ° C. using a dilatometer.

【0045】ヤング率は、20×40×2mmに切り出
したものを曲げ共振法により測定し、この値が大きい
程、パネル内部を真空にしても変形が起こりにくいこと
を示す。好ましくは72GPa以上である。
The Young's modulus is measured by a bending resonance method by cutting a piece cut out to 20 × 40 × 2 mm. The larger this value is, the more the deformation is less likely to occur even if the inside of the panel is evacuated. It is preferably at least 72 GPa.

【0046】X線吸収係数は、ガラス組成と密度に基づ
いて、1.5Åの波長に対する吸収係数を計算して求め
たものである。
The X-ray absorption coefficient is obtained by calculating the absorption coefficient for a wavelength of 1.5Å based on the glass composition and the density.

【0047】X線着色量については、各試料を肉厚が2
mmとなるように両面を光学研磨した後、波長400n
mにおける可視光透過率を測定した。次いで、この試料
に30kv、15mAのRh管から発生させたX線を1
5分間照射した。その後、再度400nmにおける可視
光透過率を測定し、X線照射前後の透過率差(ΔT%)
を求め、これをX線着色量とした。このX線着色量が大
きい程、電界放射型ディスプレイの輝度が劣化しやすく
なる。
Regarding the amount of X-ray coloring, the thickness of each sample was 2
After optically polishing both sides to a wavelength of 400 mm
The visible light transmittance at m was measured. Then, 1 X-ray generated from a Rh tube of 30 kv and 15 mA was applied to this sample.
Irradiate for 5 minutes. After that, the visible light transmittance at 400 nm was measured again, and the transmittance difference (ΔT%) before and after the X-ray irradiation was measured.
Was determined as the X-ray coloring amount. The larger the X-ray coloring amount, the more easily the brightness of the field emission display deteriorates.

【0048】耐HCl性は、各試料を80℃に保持され
た10質量%塩酸水溶液に3時間浸漬した後、それらの
表面状態を目視で観察することによって評価した。ま
た、耐バッファードフッ酸性は、各試料を20℃に保持
された38.7質量%弗化アンモニウム、1.6質量%
フッ酸からなるバッファードフッ酸に10分間浸漬した
後、それらの表面状態を目視で観察することによって評
価した。ガラス基板の表面に全く変化のないものは○、
変色したものは×で示した。
The HCl resistance was evaluated by immersing each sample in a 10 mass% hydrochloric acid aqueous solution kept at 80 ° C. for 3 hours and then visually observing the surface state of each sample. The buffered hydrofluoric acid resistance was 38.7% by mass of ammonium fluoride, 1.6% by mass of which each sample was kept at 20 ° C.
After immersing in buffered hydrofluoric acid consisting of hydrofluoric acid for 10 minutes, the surface condition of these was visually observed and evaluated. ○ If the surface of the glass substrate does not change at all
The discolored one is indicated by x.

【0049】液相粘度については、各試料をそれぞれ3
00〜500μmの大きさに粉砕し、これを白金製のボ
ートに入れて1000〜1250℃の温度勾配炉に移し
て24時間保持した。その後、白金製のボートからガラ
スを取り出し、偏光顕微鏡で観察し、結晶の析出し始め
た温度を求め、その温度に相当するガラスの粘度を液相
粘度とした。尚、液相粘度の値は大きい方が成型しやす
く、具体的には104. 0dPa・s以上であることが好
ましい。
Regarding the liquidus viscosity, each sample had 3
It was crushed to a size of 00 to 500 μm, put in a platinum boat, transferred to a temperature gradient furnace of 1000 to 1250 ° C., and kept for 24 hours. Then, the glass was taken out from the platinum boat and observed with a polarization microscope to determine the temperature at which crystals began to precipitate, and the viscosity of the glass corresponding to that temperature was taken as the liquidus viscosity. The value of liquidus viscosity greater is easily molded, it is preferable in particular is 10 4. 0 dPa · s or more.

【0050】表から明らかなように、実施例である試料
No.1〜No.10の各試料は、歪点が645℃以上
であり、熱膨張係数も46.5〜59.0×10-7/℃
であるため、耐熱性に優れ、フリットシールも良好に行
うことができる。また、ヤング率が72GPa以上と大
きいため、パネル内部を真空にしても、ガラス基板が変
形することはない。更に、PbOを含有していないた
め、X線着色量は35%以下と低く、しかも、X線吸収
係数も127cm-1以上と高いため、パネル内部で発生
するX線を遮蔽することができる。耐HCl性及び耐バ
ッファードフッ酸性も良く、耐薬品性にも優れていた。
また、液相粘度も104.0dPa・s以上であり、フロ
ート法、オーバーフロー法、ダウンドロー法、ロールア
ウト法等の方法を用いることで、安く大量に製造するこ
とができる。
As is apparent from the table, the sample No. 1-No. Each sample of 10 has a strain point of 645 ° C. or higher and a thermal expansion coefficient of 46.5 to 59.0 × 10 −7 / ° C.
Therefore, the heat resistance is excellent and frit sealing can be performed well. Further, since the Young's modulus is as large as 72 GPa or more, even if the inside of the panel is evacuated, the glass substrate is not deformed. Further, since it does not contain PbO, the X-ray coloring amount is as low as 35% or less, and the X-ray absorption coefficient is as high as 127 cm -1 or more, so that X-rays generated inside the panel can be shielded. It had good HCl resistance, buffered hydrofluoric acid resistance, and chemical resistance.
Further, the liquidus viscosity is 10 4.0 dPa · s or more, and it can be mass-produced inexpensively by using a method such as a float method, an overflow method, a downdraw method, and a rollout method.

【0051】これに対し、比較例である試料No.11
は、X線吸収係数が68cm-1と低かった。また、試料
No.12は、アルカリ成分を含有しており、電子源を
劣化させる可能性がある。また、X線吸収係数が56c
-1と低かった。
On the other hand, the sample No. 11
Had a low X-ray absorption coefficient of 68 cm −1 . In addition, the sample No. No. 12 contains an alkaline component and may deteriorate the electron source. Also, the X-ray absorption coefficient is 56c.
It was as low as m -1 .

【0052】[0052]

【発明の効果】以上のように、本発明の電界放射型ディ
スプレイ用ガラス基板は、電界放射型ディスプレイの製
造工程おいて熱収縮や割れを起こしにくい。しかも、電
界放射型ディスプレイの電子源の劣化やX線による着色
や漏洩が起こることがない。また、スペーサーを少なく
してもたわみにくいため高精細が可能となる。
As described above, the glass substrate for a field emission display of the present invention is unlikely to cause heat shrinkage or crack in the process of manufacturing the field emission display. In addition, deterioration of the electron source of the field emission display and coloring and leakage due to X-rays do not occur. Further, even if the number of spacers is reduced, it is difficult to bend, so that high definition is possible.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 29/86 H01J 29/86 Z Fターム(参考) 4G062 AA01 BB01 BB06 DA05 DA06 DA07 DB03 DB04 DC01 DC02 DC03 DC04 DD01 DE01 DE02 DE03 DF01 EA01 EB01 EC01 ED01 ED02 ED03 EE02 EE03 EE04 EF03 EF04 EG03 EG04 FA01 FA10 FB01 FC01 FC02 FC03 FD01 FE01 FE02 FE03 FF01 FG01 FH01 FJ01 FK01 FL01 FL02 FL03 GA01 GA10 GB01 GB02 GB03 GC01 GD01 GE01 GE02 GE03 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ04 JJ05 JJ06 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM27 NN14 5C032 AA07 BB03 BB15 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H01J 29/86 H01J 29/86 ZF term (reference) 4G062 AA01 BB01 BB06 DA05 DA06 DA07 DB03 DB04 DC01 DC02 DC03 DC04 DD01 DE01 DE02 DE03 DF01 EA01 EB01 EC01 ED01 ED02 ED03 EE02 EE03 EE04 EF03 EF04 EG03 EG04 FA01 FA10 FB01 FC01 FC02 FC03 FD01 FE01 FE02 FE03 GH01 HG01 H01 GB01 H01 GB01 H01 GB01 H01 GB01 H01 GB01 H01 GB01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 FL01 H01 01 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ04 JJ05 JJ06 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM27 NN14 5C032 AA07 BB03 BB15

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 実質的にアルカリ成分及びPbOを含有
せず、歪点が550℃以上であり、ヤング率が68GP
a以上であり、且つ、1.5Åの波長におけるX線吸収
係数が125cm-1以上であることを特徴とする電界放
射型ディスプレイ用ガラス基板。
1. A substantially free of alkali component and PbO, a strain point of 550 ° C. or higher, and a Young's modulus of 68 GP.
A glass substrate for a field emission display, which is a or more and has an X-ray absorption coefficient of 125 cm -1 or more at a wavelength of 1.5Å.
【請求項2】 30〜380℃までの平均熱膨張係数が
40〜70×10-7/℃であることを特徴とする請求項
1記載の電界放射型ディスプレイ用ガラス基板。
2. The glass substrate for a field emission display according to claim 1, which has an average coefficient of thermal expansion of 40 to 70 × 10 −7 / ° C. up to 30 to 380 ° C.
【請求項3】 SiO2−Al23−RO系ガラス(R
OはMgO、CaO、SrO、BaOとする)であっ
て、実質的にアルカリ成分及びPbOを含有せず、Ca
O、SrO、BaOを必須成分として含有し、質量百分
率で、Al232.1〜30%、CaO+SrO+Ba
O 20〜45%であることを特徴とする電界放射型デ
ィスプレイ用ガラス基板。
3. A SiO 2 —Al 2 O 3 —RO glass (R
O is MgO, CaO, SrO, or BaO), and does not substantially contain an alkaline component and PbO,
O, SrO, and BaO are contained as essential components, and by mass percentage, Al 2 O 3 2.1 to 30%, CaO + SrO + Ba.
O: 20 to 45% A glass substrate for a field emission display, which is characterized in that:
【請求項4】 質量百分率で、SiO2 40〜80
%、Al23 2.1〜30%、B23 0〜20%、
MgO 0〜10%、CaO 0.1〜30%、SrO
1〜30%、BaO 1〜30%、ZnO 0〜10
%、ZrO20〜10%、CeO2 0〜5%、CaO+
SrO+BaO 20〜45%であることを特徴とする
請求項1〜3のいずれかに記載の電界放射型ディスプレ
イ用ガラス基板。
4. SiO 2 40 to 80 in terms of mass percentage.
%, Al 2 O 3 2.1 to 30%, B 2 O 3 0 to 20%,
MgO 0-10%, CaO 0.1-30%, SrO
1-30%, BaO 1-30%, ZnO 0-10
%, ZrO 2 0-10%, CeO 2 0-5%, CaO +
20-45% of SrO + BaO, The glass substrate for field emission displays in any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned.
【請求項5】 液相粘度が104.0dPa・s以上であ
ることを特徴とする請求項1〜4記載の電界放射型ディ
スプレイ用ガラス基板。
5. The glass substrate for a field emission display according to claim 1, which has a liquidus viscosity of 10 4.0 dPa · s or more.
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