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JP2003004922A - 反射光学素子およびその製造方法、光学系、光学機器 - Google Patents

反射光学素子およびその製造方法、光学系、光学機器

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Publication number
JP2003004922A
JP2003004922A JP2001193598A JP2001193598A JP2003004922A JP 2003004922 A JP2003004922 A JP 2003004922A JP 2001193598 A JP2001193598 A JP 2001193598A JP 2001193598 A JP2001193598 A JP 2001193598A JP 2003004922 A JP2003004922 A JP 2003004922A
Authority
JP
Japan
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optical element
reflective optical
resin layer
reflective
base member
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001193598A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshihiro Sunaga
須永  敏弘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Priority to US10/176,446 priority patent/US6848794B2/en
Priority to DE60208633T priority patent/DE60208633T2/de
Priority to EP02254442A priority patent/EP1271188B1/en
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 ガラス製の光学部材において、必ずしも複数
の曲面反射面を滑らかに繋いて境界部の割れ等を防げる
わけではない。また、成形上の制約が多く、所望の光学
性能を得にくい。 【解決手段】 連続的な曲面部を有するベース部材B1
と、このベース部材の曲面部上に樹脂(熱硬化型樹脂や
紫外線硬化型樹脂)により一体形成され、表面にそれぞ
れ反射面R1〜R3となる互いに不連続な複数の曲面を
有する樹脂層A1とを備えた反射光学素子において、ベ
ース部材を上記樹脂層を形成する樹脂よりも線膨張係数
が小さな材料(ガラス、金属、セラミック等)により形
成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、デジタルカメラ、
プロジェクターおよび複写機等に用いられる光学系を構
成する反射光学素子に関し、特に曲率を有した複数の反
射面を持つ反射光学素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】反射面に曲率を持たせた光学素子(反射
光学素子)が種々提案されているが、例えば米国特許
(USP) 4,775,217号や特開平2−297516号公
報には、反射面に曲率を持たせた光学プリズムが開示な
いし提案されている。
【0003】米国特許 4,775,217号に係る発明は、観察
光学系における接眼鏡の構成に関するものであり、同発
明の光学プリズムは、本願図8に示すように構成されて
いる。 この図において、情報表示体211から発散光
として光学プリズムに入射した表示光215は、光学プ
リズムの平面212にて全反射した後、さらに凹面状の
曲率を有する凹面213にて反射し、この凹面213が
有するパワーによってほぼ平行な光として観察者の瞳2
14に入射する。
【0004】また、同光学プリズムは、表示像を観察さ
せると共に、物体像の認識も合わせて行える構成となっ
ている。すなわち、物体光216は上記平面212とほ
ぼ平行な屈折面217に入射し、凹面213に至る。凹
面213には半透過膜等が蒸着されており、凹面213
を透過した物体光216は、平面212を通過して観察
者の瞳214に入射する。これにより、観察者は物体光
216と表示光215とが重畳した画像を観察すること
ができる。
【0005】一方、非共軸光学系において、基準軸とい
う概念を導入し、光学面を非対称非球面にすることで、
十分に収差が補正された光学系を構築可能であることが
知られている。例えば、特開平9−5650号公報にそ
の設計法が、特開平8−292371号および特開平8
−292372号公報にその設計例が示されている。
【0006】こうした非共軸光学系は、オフアキシャル
光学系と称される。オフアキシャル光学系とは、像中心
と瞳中心を通る光線に沿った基準軸を考えた時、光学面
の基準軸との交点における面法線が基準軸上にないオフ
アキシャル曲面を含む光学系として定義される光学系で
あり、基準軸は折れ曲がった形状となるものである。
【0007】このようなオフアキシャル光学系は、光学
面が一般には非共軸となり、反射面でもケラレが生じる
ことがないため、反射面を使った光学系の構築がし易
い。また、光路の引き回しが比較的自由に行なえたり、
光学面を一体成形する手法で一体型の光学系が作り易か
ったりするという特徴をも持っている。このため、スペ
ース効率が良くコンパクトで自由な形状の反射光学素子
を構成することができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】前述した反射光学素子
の製作には、近年、ローコスト化の要求により、金型に
よるモールド成形が広く行われてきている。主に、ポリ
スチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネー
ト等の樹脂材料で成形が行われている。
【0009】しかしながら、樹脂材料は熱膨張率が無機
材料よりかなり大きいため、温度による光学性能の劣化
が問題になる。
【0010】ガラスや金属等の熱膨張率が小さい材料を
用いた場合には、温度による性能の劣化はそれほど問題
にならないが、製造上の制約が多い。例えば、ガラスを
用いる場合、段差のある形状やエッジが存在すると、そ
こから割れが生じてしまうので、全体的に段差やエッジ
のない滑らかな形状にしなければならない。
【0011】この問題に鑑み、特開平8−122505
号公報には、複数の光学部材(反射面)を1つの光学部
材(反射面)として一体に成形する際に、接合部分の繋
ぎ面形状を適切に構成することにより、その境界におい
て隣り合う2つの面を滑らかに繋ぎ、これによって成形
加工時の割れ等をなくする試みがなされている。
【0012】しかしながら、全ての光学部材がこの様に
滑らかに繋げると言うわけではなく、滑らかに光学部材
が繋がるように設計をすると、設計上の制約が多くなる
ため、所望の光学性能を得にくいという問題がある。
【0013】そこで、本発明は、隣接配置された複数の
反射曲面を有する反射光学素子において、温度による光
学性能の劣化を防ぎ、成形上の制約を緩和することがで
きるようにすることを目的としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明では、連続的な曲面部を有するベース部材
と、このベース部材の曲面部上に樹脂(熱硬化型樹脂や
紫外線硬化型樹脂)により一体形成され、表面にそれぞ
れ反射面となる互いに不連続な複数の曲面を有する樹脂
層とを備えた反射光学素子において、上記樹脂層を形成
する樹脂よりも線膨張係数が小さな材料(ガラス、金
属、セラミック等)によりベース部材を形成している。
【0015】これにより、温度の影響による光学性能の
劣化が少なく、しかも成形上の制約も少ない、複数の不
連続な曲面反射面を有する反射光学素子を実現すること
が可能である。そして、複数の反射面を有する樹脂層を
一体化することにより、各反射面の位置精度を高め、部
品点数や製造工数を削減することが可能である。
【0016】なお、樹脂層における複数の曲面は、その
うちの少なくとも1つの曲率が他の曲面の曲率と異なっ
てもよいし、全ての曲面の曲率が互いに異なっていても
よい。このように各反射面の曲率を自由に設定可能であ
り、所望の光学性能を容易に得ることが可能である。
【0017】また、樹脂層における複数の曲面に反射膜
を、イオンビームアシスト、蒸着、スパッタリング又は
ディッピング法等によって形成し、所望の反射率を得る
ようにしてもよい。
【0018】さらに、ベース部材における上記曲面部以
外の部分に、屈折作用を有する光学部材を保持させた
り、複数の反射光学素子を互いに反射面が対向する向き
で結合させて光学系を構成したりすることも可能であ
る。
【0019】そして、このような反射光学素子を製造す
る場合、樹脂層の曲面ごとに分割された金型を用いて樹
脂層を形成する(いわゆるレプリカ法)を用いることが
可能である。
【0020】
【発明の実施の形態】(第1実施形態)図1には、本発
明の第1実施形態である反射光学素子を用いた光学系の
光路図を、図2には、上記反射光学素子O1をそれぞれ
示している。
【0021】この光学系は、絞りSと、2枚の平面ミラ
ーMと、CCDやCMOS等の撮像素子Iと、上記反射
光学素子O1とから構成されている。
【0022】反射光学素子O1は、ガラスや金属又はセ
ラミック等、一般的な樹脂よりも線膨張係数の小さい材
料からなるベース部材B1と、このベース部材B1に形
成された滑らかに連続する曲面部上に形成された樹脂層
A1とから構成されている。
【0023】樹脂層A1の表面には、互いに不連続であ
り、それぞれ曲率が異なる曲面形状の反射面R1,R
2,R3が形成されている。このように各反射面の曲率
を自由に設定可能であるため、所望の光学性能を容易に
得ることができる。
【0024】この光学系では、図1に示すように、不図
示の物体からの光束は、絞りSを通り、反射光学素子O
1の反射面R1で反射して上側の平面ミラーMに入射
し、この上側の平面ミラーMで反射した後、さらに反射
面R2、下側の平面ミラーMおよび反射面R3で順次反
射して、撮像素子I上に結像する。これにより、コンパ
クトであるにもかかわらず光路長を長く確保できる撮像
装置(光学機器)を構成することができる。
【0025】ここで図2に示すように、反射光学素子O
1の反射面R1と反射面R2との境界にはエッジができ
ており、反射面R2と反射面R3との境界では段差がで
きている。
【0026】この形状をガラスで成形したとすると、そ
れぞれの境界において亀裂等が発生し割れるおそれがあ
る。
【0027】また、反射光学素子全体を樹脂材料で形成
すればこのような問題は起きないが、樹脂材料の線膨張
係数がガラス等に比べて大きいため、熱(温度)による
光学性能の劣化が大きくなるという問題がある。
【0028】これらに対し、本実施形態の反射光学素子
O1では、ベースとなるベース部材B1に樹脂層A1を
形成する樹脂よりも線膨張係数の小さい材料を使うの
で、反射光学素子全体を樹脂材料で形成した場合に比べ
て熱による影響が少ない。しかも、反射面を形成する部
分(樹脂層A1)は樹脂材料を用いているので、エッジ
や段差が生じても割れる等の問題も起きない。
【0029】また、ベース部材B1は、全体として滑ら
かな形状に形成されており、エッジや段差がないので、
ガラスなど、樹脂に比べて成形の難しい材料を用いても
割れる等の問題が起きない。
【0030】ところで、3つの反射面R1〜R3を別々
に成形すればガラスであっても割れの心配は無いが、精
度の良い保持方法が必要になる。
【0031】これに対し、本実施形態の反射光学素子O
1では、1つのベース部材の表面に、複数の反射面を一
体的に形成することにより、複数の反射面の位置精度が
高く、部品点数や製造工数を削減することができる。
【0032】また、本実施形態の反射光学素子O1で
は、ベース部材B1と樹脂層A1の内部は一切光学作用
を担っていないため、必ずしもベース部材B1と樹脂層
A1に透明体を使う必要は無い。但し、樹脂層A1とし
て紫外線硬化型樹脂を使用する場合には、ベース部材B
1の背面から紫外線を当てるのが一般的であるので、ベ
ース部材B1に透明体を用いるのがよい。
【0033】さらに、ベース部材B1と樹脂層A1の内
部は一切光学作用を担っていないため、両方の屈折率を
合わせるなどの制限が無く、材料の選択自由度が高い。
【0034】次に、反射光学素子O1の製造方法を図3
および図4を用いて簡単に説明する。図中のC1〜C3
は反射面R1〜R3を成型するために反射面ごとに分割
された金型であり、これら金型C1〜C3で金型ユニッ
トCUを構成する。
【0035】図3に示すように、ベース部材B1の滑ら
かな表面曲面部と金型ユニットCUの間に樹脂層A1と
なる紫外線硬化型樹脂モノマーを積層したあと、この紫
外線硬化型樹脂にベース部材B1の背面側から紫外線U
Vを照射して、紫外線硬化型樹脂を硬化させる。
【0036】そして、金型ユニットCUを樹脂層から分
離してベース部材B1上に反射面R1〜R3の形状を持
った樹脂層A1を有する反射光学素子を得る。
【0037】さらに、図4に示すように、樹脂層A1の
反射面R1〜R3となる表面に、低温で成膜することの
できるイオンビームアシスト法(以下、IADという)
などを用いて反射膜Dを成膜し、所望の光学性能を有す
る反射光学素子を得る。
【0038】なお、反射膜Dの成膜法は、IADに限ら
ず、蒸着、スパッタリング、ディッピング法等、他の方
法を使用してもよい。
【0039】また、本実施形態では、3面の反射面を有
する反射光学素子について説明したが、反射面の数はこ
れに限定されない。また、各反射面の曲率は全て異なっ
ていなくてもよく、一部の反射面の曲率が同じであって
もよい。
【0040】また、本実施形態では、反射光学素子に2
枚の平面ミラーを組み合わせて光学系を構成した場合に
ついて説明したが、本実施形態の反射光学素子を複数組
み合わせて光学系を構成してもよい。
【0041】また、本実施形態では、樹脂層を紫外線硬
化型樹脂を用いて形成する場合について説明したが、熱
硬化型樹脂を用いてもよい。
【0042】(第2実施形態)図5には、本発明の第2
実施形態である反射光学素子を用いた光学系の構成を示
している。
【0043】本実施形態では、第1実施形態と同様にし
て作られた反射光学素子O2,O3が、それぞれの反射
面が対向する向きで配置されて結合した光学系である。
【0044】反射光学素子O2は、ベース部材B2と、
このベース部材B2の滑らかで連続的な曲面部上に形成
された樹脂層A2と、ベース部材B2における上記曲面
部(樹脂層)以外の部分に保持されたレンズL1とから
構成されており、樹脂層A2の表面には所定の曲面形状
を有する反射面R2,R4が形成されている。
【0045】同様に、反射光学素子O3は、ベース部材
B3と、このベース部材B3の滑らかな曲面部上に形成
された樹脂層A3と、ベース部材B3における上記曲面
部(樹脂層)以外の部分に保持されたレンズL2とから
構成されており、樹脂層A3の表面には所定の曲面形状
を有する反射面R1,R3が形成されている。
【0046】なお、反射光学素子O2,O3はともに、
レンズL1,L2を保持するための穴部が形成されてい
る。また、両反射光学素子O2,O3は接合部Z1,Z
2において接合されている。
【0047】本実施形態の光学系において、不図示の物
体からの光束は、不図示の絞りを通り、レンズL1を通
り、反射面R1〜R4で順次反射し、レンズL2を通過
して結像する。これにより、コンパクトでありながら、
光路長を長く確保できる観察光学系等を実現することが
できる。
【0048】図中、反射面R2と反射面R4との境界で
あるXの部分では段差が生じており、また、反射面R1
と反射面R3との境界であるYの部分ではエッジ部を有
する。
【0049】ガラス等の堅い材料を用いれば、X,Yの
領域で亀裂等を生じ問題となるが、本実施形態でも第1
実施形態と同様に、反射面側は樹脂材料(樹脂層A2,
A3)により形成されているので、エッジや段差が生じ
ても割れる等の問題は起きない。
【0050】また、ベースとなるベース部材B2,B3
に樹脂層A2,A3を形成する樹脂よりも線膨張係数の
低い材料を使うことにより、熱(温度)の影響による光
学性能の劣化も少ない。
【0051】さらに、両反射光学素子O2,O3ではそ
れぞれ、1つのベース部材の表面に複数の反射面を一体
的に形成しているので、複数の反射面の位置精度が高
く、部品点数や製造工数を削減することができる。
【0052】また、両反射光学素子O2,O3は表面で
の反射作用しか有さないので、ベース部材と樹脂層に必
ずしも透明体を使う必要は無く、また、ベース部材と樹
脂層の屈折率を合わせるなどの制限も無いので材料の選
択自由度が高い。
【0053】また、本実施形態では、ベース部材B2,
B3における樹脂層以外の部分に穴部を設け、そこでレ
ンズL1、L2を保持するので、反射面に対して屈折作
用を有する部材(レンズ)を精度良く保持することがで
き、部品点数の削減にもなる。
【0054】なお、本実施形態では、反射光学素子の表
面に2面の反射面を形成した場合について説明したが、
反射面の数はこれに限定はされない。
【0055】また、本実施形態では、反射光学素子を2
つ組み合わせた場合について説明したが、3つ以上組み
合わせてもよい。また、ベース部材に保持させるレンズ
の枚数も任意である。
【0056】(第3実施形態)図6および図7には、本
発明の反射光学素子を背面投射型プロジェクタ(光学機
器)の投射光学系に適用した実施形態を示している。
【0057】図6は背面投射型プロジェクタの光学系の
概略構成図である。図6において、Kはプロジェクタ本
体(筐体)、Pは原画が表示されるLCD等の表示素
子、Sは絞り、O4,O5はこれまで説明してきた実施
形態と同様の反射光学素子、M1,M2,M3は平面ミ
ラー、SCはスクリーンである。
【0058】表示素子Pから射出した画像光は、絞りS
で制限された後、投射光学系としての反射光学素子O
4,O5に入射し、反射光学素子O4,O5の各々が有
する反射面で順次反射し、さらに平面ミラーM1,M
2,M3で順次反射してスクリーンSCに拡大投影され
る。
【0059】反射光学素子O4,O5について、図7を
用いてより詳細に説明する。反射光学素子O4は、ベー
ス部材B4上に、表面に複数の曲面形状の反射面R1,
R3を有する樹脂層A4を設けたものである。また、反
射光学素子O5は、ベース部材B5上に、表面に複数の
曲面形状の反射面R2,R4を有する樹脂層A5を設け
たものである。
【0060】図7から分かるように、表示素子Pから射
出して絞りSを通過した画像光は、反射面R1、反射面
R2、反射面R3、反射面R4の順に反射する。反射面
R1に入射した画像光は、凹面又は凸面であるこれら反
射面R1〜R4にて光学作用を受けて平面ミラーM1に
射出される。
【0061】ここで、凹面である反射面R1と凸面であ
る反射面R3の境界には段差D1が、凹面である反射面
R2とこの反射面R2とは曲率が異なる凹面である反射
面R4との境界にはエッジD2が形成されている。しか
し、これら反射光学素子O4,O5では、樹脂材料によ
りこれらの面形状を形成しているので、成型不良の心配
は少ない。
【0062】また、ベース部材B4には樹脂層A4に比
べて線膨張係数の小さい金属や硝子等の材料を用いてい
るので、温度等の環境の変化による光学性能の変化も抑
制される。
【0063】本実施形態のように、反射光学素子をプロ
ジェクタの投射光学系として用いることによって、製造
が比較的容易で、しかも環境の変化による光学性能の劣
化が少ない薄型の背面投射型プロジェクターを実現する
ことができる。
【0064】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ベース部材の連続的な曲面部上に、表面反射面となる不
連続な複数の曲面を樹脂により一体成形した樹脂層を備
え、ベース部材を上記樹脂層を形成する樹脂よりも線膨
張係数が小さな材料により形成したので、温度の影響に
よる光学性能の劣化が少なく、しかも成形上の制約も少
ない、反射光学素子を実現することができる。しかも、
複数の反射面を有する樹脂層を一体化することにより、
各反射面の位置精度を高め、部品点数や製造工数を削減
することができる。
【0065】また、樹脂層における複数の曲面の曲率を
自由に設定することが可能であるため、所望の光学性能
を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態である反射光学素子を用
いた光学系の光路図である。
【図2】上記反射光学素子の構成を示す図である。
【図3】上記反射光学素子の製造方法を示す図である。
【図4】上記反射光学素子の製造方法を示す図である。
【図5】本発明の第2実施形態である反射光学素子を用
いた光学系の光路図である。
【図6】本発明の第3実施形態である反射光学素子を用
いた背面投射型プロジェクターの投射光学系の概略構成
図である。
【図7】上記第3実施形態の反射光学素子の構成図であ
る。
【図8】反射面に曲率を持った従来の観察光学系を示す
図である。
【符号の説明】
A1〜A5 樹脂層 B1〜B5 ベース部材 C1〜C3 金型 CU 金型ユニット L1,L2 レンズ O1〜O5 反射光学素子 R1〜R4 反射面 Z1,Z2 反射光学素子の接合部 D 反射膜 I 撮像素子 M 平面ミラー S 絞り UV 紫外線
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成14年6月20日(2002.6.2
0)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0024
【補正方法】変更
【補正内容】
【0024】この光学系では、図1に示すように、不図
示の物体からの光束は、絞りSを通り、反射光学素子O
1の反射面R1で反射して上側の平面ミラーMに入射
し、この上側の平面ミラーMで反射した後、さらに反
射面R2、下側の平面ミラーMおよび反射面R3で順
次反射して、撮像素子I上に結像する。これにより、コ
ンパクトであるにもかかわらず光路長を長く確保できる
撮像装置(光学機器)を構成することができる。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0025
【補正方法】変更
【補正内容】
【0025】ここで図2に示すように、反射光学素子O
1の反射面R1と反射面R2との境界にはエッジEがで
きており、反射面R2と反射面R3との境界では段差D
ができている。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0037
【補正方法】変更
【補正内容】
【0037】さらに、図4に示すように、樹脂層A1の
反射面R1〜R3となる表面に、低温で成膜することの
できるイオンビームアシスト法(以下、IADという)
などを用いて反射膜Fを成膜し、所望の光学性能を有す
る反射光学素子を得る。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0038
【補正方法】変更
【補正内容】
【0038】なお、反射膜Fの成膜法は、IADに限ら
ず、蒸着、スパッタリング、ディッピング法等、他の方
法を使用してもよい。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0057
【補正方法】変更
【補正内容】
【0057】図6は背面投射型プロジェクタの光学系の
概略構成図である。図6において、Kはプロジェクタ本
体(筐体)、Pは原画が表示されるLCD等の表示素
子、Sは絞り、O4,O5はこれまで説明してきた実施
形態と同様の反射光学素子、M,M,Mは平面ミ
ラー、SCはスクリーンである。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0058
【補正方法】変更
【補正内容】
【0058】表示素子Pから射出した画像光は、絞りS
で制限された後、投射光学系としての反射光学素子O
4,O5に入射し、反射光学素子O4,O5の各々が有
する反射面で順次反射し、さらに平面ミラーM,M
,Mで順次反射してスクリーンSCに拡大投影され
る。
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0060
【補正方法】変更
【補正内容】
【0060】図7から分かるように、表示素子Pから射
出して絞りSを通過した画像光は、反射面R1、反射面
R2、反射面R3、反射面R4の順に反射する。反射面
R1に入射した画像光は、凹面又は凸面であるこれら反
射面R1〜R4にて光学作用を受けて平面ミラーM
射出される。
【手続補正8】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【手続補正9】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図2
【補正方法】変更
【補正内容】
【図2】
【手続補正10】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図3
【補正方法】変更
【補正内容】
【図3】
【手続補正11】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図4
【補正方法】変更
【補正内容】
【図4】
【手続補正12】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図5
【補正方法】変更
【補正内容】
【図5】
【手続補正13】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図6
【補正方法】変更
【補正内容】
【図6】

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 連続的な曲面部を有するベース部材と、 このベース部材の曲面部上に樹脂により一体形成され、
    表面にそれぞれ反射面となる互いに不連続な複数の曲面
    を有する樹脂層とを備えた反射光学素子であって、 前記樹脂層を形成する樹脂よりも線膨張係数の小さな材
    料により前記ベース部材を形成したことを特徴とする反
    射光学素子。
  2. 【請求項2】 前記樹脂層における前記複数の曲面のう
    ち少なくとも1つの曲面の曲率が他の曲面の曲率と異な
    ることを特徴とする請求項1に記載の反射光学素子。
  3. 【請求項3】 前記樹脂層における前記複数の曲面の曲
    率が互いに異なることを特徴とする請求項1に記載の反
    射光学素子。
  4. 【請求項4】 前記ベース部材が、ガラス、金属又はセ
    ラミックにより形成されていることを特徴とする請求項
    1から3のいずれかに記載の反射光学素子。
  5. 【請求項5】 前記樹脂層が熱硬化型樹脂により形成さ
    れていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに
    記載の反射光学素子。
  6. 【請求項6】 前記樹脂層が紫外線硬化型樹脂により形
    成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれ
    かに記載の反射光学素子。
  7. 【請求項7】 前記樹脂層における前記複数の曲面に反
    射膜を形成したことを特徴とする請求項1から6のいず
    れかに記載の反射光学素子。
  8. 【請求項8】 前記反射膜が、イオンビームアシスト、
    蒸着、スパッタリング又はディッピング法により形成さ
    れたことを特徴とする請求項7に記載の反射光学素子。
  9. 【請求項9】 前記ベース部材における前記曲面部以外
    の部分に、屈折作用を有する光学部材を保持させたこと
    を特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の反射光
    学素子。
  10. 【請求項10】 請求項1から9のいずれかに記載の反
    射光学素子を用いたことを特徴とする光学系。
  11. 【請求項11】 請求項1から9のいずれかに記載の複
    数の反射光学素子を互いに反射面が対向する向きで相互
    に結合させたことを特徴とする光学系。
  12. 【請求項12】 請求項1から9のいずれかに記載の反
    射光学素子又は請求項9若しくは10に記載の光学系を
    備えたことを特徴とする光学機器。
  13. 【請求項13】 請求項1から9のいずれかに記載の反
    射光学素子の製造方法であって、 前記樹脂層の曲面ごとに分割された金型を用いて前記樹
    脂層を形成することを特徴とする反射光学素子の製造方
    法。
  14. 【請求項14】 前記ベース部材の連続的な曲面部上
    に、表面が互いに不連続な複数の曲面である樹脂層を一
    体形成する工程と、前記複数の曲面に反射膜を形成する
    工程とを有することを特徴とする反射光学素子の製造方
    法。
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