JP2003001151A - 気体−液体吹きスリットノズル - Google Patents
気体−液体吹きスリットノズルInfo
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 55
- 239000007921 spray Substances 0.000 title claims abstract description 18
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 19
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 13
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工が容易で製作コストが安価であり、至近
距離から全幅にわたり均一な噴霧を行うことができる気
体−液体吹きスリットノズルを提供する。 【解決手段】３枚の板状体１１，１２，１３の隙間に長
手方向に延びる複数のスリットを形成し、これらのスリ
ットの一つを気体の噴出口１７、他のスリットを液体の
噴出口１８とする。中央部の板状体１２の先端部を噴出
口１７よりも前方に延ばし、他方の噴出口１８側に向け
た傾斜面１８とする。気体はその粘性によりこの傾斜面
１８に沿うように偏向し、液体と衝突する。傾斜面１８
の背面にも同様の傾斜面を形成してもよく、両外側の板
状体１１，１３を前方に延ばし、噴霧液のガイド面とし
てもよい。
距離から全幅にわたり均一な噴霧を行うことができる気
体−液体吹きスリットノズルを提供する。 【解決手段】３枚の板状体１１，１２，１３の隙間に長
手方向に延びる複数のスリットを形成し、これらのスリ
ットの一つを気体の噴出口１７、他のスリットを液体の
噴出口１８とする。中央部の板状体１２の先端部を噴出
口１７よりも前方に延ばし、他方の噴出口１８側に向け
た傾斜面１８とする。気体はその粘性によりこの傾斜面
１８に沿うように偏向し、液体と衝突する。傾斜面１８
の背面にも同様の傾斜面を形成してもよく、両外側の板
状体１１，１３を前方に延ばし、噴霧液のガイド面とし
てもよい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄液や各種の薬
液を所定幅にわたり均一に噴霧するに適した気体−液体
吹きスリットノズルに関するものである。
液を所定幅にわたり均一に噴霧するに適した気体−液体
吹きスリットノズルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶基板やプリント基板などの製造工程
においては、製品の洗浄、薬剤塗布、乾燥などが行われ
るが、これらの工程においては、幅広のコンベヤ上を進
行する製品に対して洗浄液や薬液を均一に噴霧すること
が必要となる。そこで従来はこのような場所には、図８
に示すように製品の移動方向に対して直角あるいは斜め
方向にヘッダー１を配置し、多数の噴霧ノズル２をこの
ヘッダー１に一定ピッチで取り付けたヘッダー付きマル
チノズル３が用いられてきた。
においては、製品の洗浄、薬剤塗布、乾燥などが行われ
るが、これらの工程においては、幅広のコンベヤ上を進
行する製品に対して洗浄液や薬液を均一に噴霧すること
が必要となる。そこで従来はこのような場所には、図８
に示すように製品の移動方向に対して直角あるいは斜め
方向にヘッダー１を配置し、多数の噴霧ノズル２をこの
ヘッダー１に一定ピッチで取り付けたヘッダー付きマル
チノズル３が用いられてきた。
【０００３】ところがこのヘッダー付きマルチノズル３
は、各噴霧ノズル２からそれぞれ円錐状やフラット状等
に液体が噴霧されるので、ノズルと製品との間に所定の
距離を設けなければ均一な噴霧を行わせることができな
いという問題がある。このため製品に近接させた位置か
ら、均一な噴霧を行わせることは不可能であった。
は、各噴霧ノズル２からそれぞれ円錐状やフラット状等
に液体が噴霧されるので、ノズルと製品との間に所定の
距離を設けなければ均一な噴霧を行わせることができな
いという問題がある。このため製品に近接させた位置か
ら、均一な噴霧を行わせることは不可能であった。
【０００４】そこで本発明者は、図９に示すように積層
された３枚の板状体４，５，６の隙間に長手方向に延び
る複数のスリット７，８を形成した気体−液体吹きスリ
ットノズルを開発した。この図９のスリットノズルは、
スリット７が液体噴出用、スリット８が気体噴出用であ
る。そして気体噴出用ノズルを構成する外側の板状体６
の先端を斜め内側に突出させてガイド面９とし、気体の
向きをこのガイド面９により変えて液体噴出用のスリッ
ト７から噴出される液体に向けて衝突させて噴霧を行わ
せるものである。
された３枚の板状体４，５，６の隙間に長手方向に延び
る複数のスリット７，８を形成した気体−液体吹きスリ
ットノズルを開発した。この図９のスリットノズルは、
スリット７が液体噴出用、スリット８が気体噴出用であ
る。そして気体噴出用ノズルを構成する外側の板状体６
の先端を斜め内側に突出させてガイド面９とし、気体の
向きをこのガイド面９により変えて液体噴出用のスリッ
ト７から噴出される液体に向けて衝突させて噴霧を行わ
せるものである。
【０００５】この図９の構造の気体−液体吹きスリット
ノズルは、マルチノズルとは異なり長手方向に均一な断
面を持つので、近接位置から製品に対して所定幅にわた
り均一に噴霧することができるはずである。しかし実際
には、スリットの長手方向の寸法が５００mm程度以上と
なると、先端を斜め内側に突出させてガイド面９とした
板状体６を全長にわたり正確に加工することが困難とな
り、中央の板状体５と組み合わせる際にスリット８の幅
を一定に保つことが困難となる。このため場所による噴
霧の不均一が発生し、全幅にわたり均一な噴霧を行わせ
ることはできない。しかも高精度の加工が求められるた
め、コスト高になるという問題もあることが判明した。
ノズルは、マルチノズルとは異なり長手方向に均一な断
面を持つので、近接位置から製品に対して所定幅にわた
り均一に噴霧することができるはずである。しかし実際
には、スリットの長手方向の寸法が５００mm程度以上と
なると、先端を斜め内側に突出させてガイド面９とした
板状体６を全長にわたり正確に加工することが困難とな
り、中央の板状体５と組み合わせる際にスリット８の幅
を一定に保つことが困難となる。このため場所による噴
霧の不均一が発生し、全幅にわたり均一な噴霧を行わせ
ることはできない。しかも高精度の加工が求められるた
め、コスト高になるという問題もあることが判明した。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記した従来
の問題点を解決し、加工が容易で製作コストが安価であ
り、しかも製品の至近距離から全幅にわたり均一な噴霧
を行うことができる気体−液体吹きスリットノズルを提
供するためになされたものである。
の問題点を解決し、加工が容易で製作コストが安価であ
り、しかも製品の至近距離から全幅にわたり均一な噴霧
を行うことができる気体−液体吹きスリットノズルを提
供するためになされたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになされた本発明の気体−液体吹きスリットノズル
は、積層された少なくとも３枚の板状体の隙間に長手方
向に延びる複数のスリットを形成し、これらのスリット
の一つを気体の噴出口、他のスリットを液体の噴出口と
した気体−液体吹きスリットノズルにおいて、中央部の
板状体の先端部を噴出口よりも前方に延ばし、他方の噴
出口側に向けて傾斜させた傾斜面としたことを特徴とす
るものである。なお、中央部の板状体に形成された傾斜
面の背面にも、同様の傾斜面を形成した構造とすること
ができ、また両外側の板状体を噴出口よりも前方に延ば
し、噴霧液のガイド面とした構造とすることもできる。
めになされた本発明の気体−液体吹きスリットノズル
は、積層された少なくとも３枚の板状体の隙間に長手方
向に延びる複数のスリットを形成し、これらのスリット
の一つを気体の噴出口、他のスリットを液体の噴出口と
した気体−液体吹きスリットノズルにおいて、中央部の
板状体の先端部を噴出口よりも前方に延ばし、他方の噴
出口側に向けて傾斜させた傾斜面としたことを特徴とす
るものである。なお、中央部の板状体に形成された傾斜
面の背面にも、同様の傾斜面を形成した構造とすること
ができ、また両外側の板状体を噴出口よりも前方に延ば
し、噴霧液のガイド面とした構造とすることもできる。
【０００８】本発明の気体−液体吹きスリットノズルに
よれば、流体の持つ粘性を利用して傾斜面に沿って流体
を偏向させ、他方の噴出口から噴出される流体と衝突さ
せて噴霧することができる。このため各板状体の構造が
単純で加工が容易となり、しかも、製品の至近距離から
全幅にわたり均一な噴霧を行うことができることとな
る。
よれば、流体の持つ粘性を利用して傾斜面に沿って流体
を偏向させ、他方の噴出口から噴出される流体と衝突さ
せて噴霧することができる。このため各板状体の構造が
単純で加工が容易となり、しかも、製品の至近距離から
全幅にわたり均一な噴霧を行うことができることとな
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の好ましい実施形態
を示す。図１は第１の実施形態の気体−液体吹きスリッ
トノズルの全体図、図２はその切断面の斜視図、図３は
ノズル先端部の断面図である。図１に示すように、この
気体−液体吹きスリットノズルは３枚の板状体１１，１
２，１３を積層した構造を持つ。これらの板状体の材質
は、ステンレス鋼、チタン、アルミニウムなどの金属の
ほか、セラミックや樹脂などを用途に応じて適宜選択す
ればよい。
を示す。図１は第１の実施形態の気体−液体吹きスリッ
トノズルの全体図、図２はその切断面の斜視図、図３は
ノズル先端部の断面図である。図１に示すように、この
気体−液体吹きスリットノズルは３枚の板状体１１，１
２，１３を積層した構造を持つ。これらの板状体の材質
は、ステンレス鋼、チタン、アルミニウムなどの金属の
ほか、セラミックや樹脂などを用途に応じて適宜選択す
ればよい。
【００１０】図２、図３に示すように、板状体１１，１
２の内部には液体室１４が形成されており、また板状体
１２，１３の内部には気体室１５が形成されている。板
状体１１，１２の先端部の隙間には長手方向に延びるス
リットが形成されており、このスリットは液体室１４と
連通する液体の噴出口１６となっている。また板状体１
２，１３の先端部の隙間にも長手方向に延びるスリット
が形成されており、このスリットは気体室１５と連通す
る気体の噴出口１７となっている。
２の内部には液体室１４が形成されており、また板状体
１２，１３の内部には気体室１５が形成されている。板
状体１１，１２の先端部の隙間には長手方向に延びるス
リットが形成されており、このスリットは液体室１４と
連通する液体の噴出口１６となっている。また板状体１
２，１３の先端部の隙間にも長手方向に延びるスリット
が形成されており、このスリットは気体室１５と連通す
る気体の噴出口１７となっている。
【００１１】本発明の特徴は、中央部の板状体１２の先
端部を噴出口１７よりも前方に延ばし、他方の噴出口１
６側に向けて傾斜させたことである。このため、噴出口
１７から噴出された気体はその粘性によりこの傾斜面１
８に沿うように偏向し、他方の噴出口１６から噴出され
る液体に衝突して液体を噴霧する。気体が空気である場
合には傾斜角θは好ましくは１５〜４５°程度とする
が、傾斜角θは流体の種類や圧力に応じて設定されるべ
きものであり、これに限定されるものではない。
端部を噴出口１７よりも前方に延ばし、他方の噴出口１
６側に向けて傾斜させたことである。このため、噴出口
１７から噴出された気体はその粘性によりこの傾斜面１
８に沿うように偏向し、他方の噴出口１６から噴出され
る液体に衝突して液体を噴霧する。気体が空気である場
合には傾斜角θは好ましくは１５〜４５°程度とする
が、傾斜角θは流体の種類や圧力に応じて設定されるべ
きものであり、これに限定されるものではない。
【００１２】この実施形態では気体の噴出口１７の先端
に傾斜面１８を形成したが、逆に液体の噴出口１６の先
端に傾斜面を形成することもできる。しかし一般に液体
は気体よりも比重が大きく慣性も大きいため、気体より
も偏向しにくい傾向がある。このためこの実施形態のよ
うに傾斜面１８を一方側にのみ形成する場合には、傾斜
面１８は気体の噴出口１７の先端側に形成し、気体を液
体側に偏向させることが好ましい。
に傾斜面１８を形成したが、逆に液体の噴出口１６の先
端に傾斜面を形成することもできる。しかし一般に液体
は気体よりも比重が大きく慣性も大きいため、気体より
も偏向しにくい傾向がある。このためこの実施形態のよ
うに傾斜面１８を一方側にのみ形成する場合には、傾斜
面１８は気体の噴出口１７の先端側に形成し、気体を液
体側に偏向させることが好ましい。
【００１３】上記した第１の実施形態の気体−液体吹き
スリットノズルは、図１に示すように傾斜面１８に沿っ
て斜め方向に液体を噴霧する。しかし図４に示す第２の
実施形態のように、中央部の板状体１２に形成された傾
斜面１８の背面にも同様の傾斜面１９を形成すれば、噴
出口１６から噴出される液体の方向もその粘性によって
傾斜面１９に沿うように変化する。この結果、図４に示
す第２の実施形態では気体と液体とが両側から衝突し、
図示のとおりほぼまっすぐに噴射される。
スリットノズルは、図１に示すように傾斜面１８に沿っ
て斜め方向に液体を噴霧する。しかし図４に示す第２の
実施形態のように、中央部の板状体１２に形成された傾
斜面１８の背面にも同様の傾斜面１９を形成すれば、噴
出口１６から噴出される液体の方向もその粘性によって
傾斜面１９に沿うように変化する。この結果、図４に示
す第２の実施形態では気体と液体とが両側から衝突し、
図示のとおりほぼまっすぐに噴射される。
【００１４】また図５に示す第３の実施形態は、中央部
の板状体１２の両側に傾斜面１８，１９を形成した点で
は第２の実施形態と同様であるが、両外側の板状体１
１，１３を噴出口１６，１７よりも前方に延ばし、噴霧
液のガイド面２０，２１とした点で相違している。この
構造の場合には、ノズルの内部で気体と液体との混合が
行われ、また噴霧液の噴射方向も安定する。
の板状体１２の両側に傾斜面１８，１９を形成した点で
は第２の実施形態と同様であるが、両外側の板状体１
１，１３を噴出口１６，１７よりも前方に延ばし、噴霧
液のガイド面２０，２１とした点で相違している。この
構造の場合には、ノズルの内部で気体と液体との混合が
行われ、また噴霧液の噴射方向も安定する。
【００１５】何れの実施形態においても、両外側の板状
体１１，１３の断面形状は特に限定されることはなく、
たとえば図６に示すように先端を尖らせない形状として
もよい。また、中央部の板状体１２に形成された傾斜面
１８，１９は必ずしも平面である必要はなく、湾曲面と
したり、２段傾斜面としても差し支えない。また、図７
に示すように、全部の板状体１１，１２、１３の先端部
を同一方向に傾斜させることもできる。この図７の構造
とすれば、図３の構造よりも噴霧液の噴射方向を安定さ
せることができる。さらに、上記の各実施形態では１種
類の気体と１種類の液体とを混合したが、板状体の枚数
を４枚以上として気体または液体を２種類とすることも
可能である。
体１１，１３の断面形状は特に限定されることはなく、
たとえば図６に示すように先端を尖らせない形状として
もよい。また、中央部の板状体１２に形成された傾斜面
１８，１９は必ずしも平面である必要はなく、湾曲面と
したり、２段傾斜面としても差し支えない。また、図７
に示すように、全部の板状体１１，１２、１３の先端部
を同一方向に傾斜させることもできる。この図７の構造
とすれば、図３の構造よりも噴霧液の噴射方向を安定さ
せることができる。さらに、上記の各実施形態では１種
類の気体と１種類の液体とを混合したが、板状体の枚数
を４枚以上として気体または液体を２種類とすることも
可能である。
【００１６】何れの実施形態の気体−液体吹きスリット
ノズルも、流体の粘性を利用して噴出方向を変え、他の
流体と衝突させて混合する方式を採用したので、板状体
の先端面の形状を単純化することができる。このため、
加工が容易で製作コストが安価であり、しかもノズルの
長手方向の寸法が最大２０００mm程度まで大きくなって
も、スリットの幅を一定に保つことが容易である。この
ため場所による噴霧の不均一が発生することがなく、製
品の至近距離から全幅にわたり均一な噴霧を行うことが
できる利点がある。
ノズルも、流体の粘性を利用して噴出方向を変え、他の
流体と衝突させて混合する方式を採用したので、板状体
の先端面の形状を単純化することができる。このため、
加工が容易で製作コストが安価であり、しかもノズルの
長手方向の寸法が最大２０００mm程度まで大きくなって
も、スリットの幅を一定に保つことが容易である。この
ため場所による噴霧の不均一が発生することがなく、製
品の至近距離から全幅にわたり均一な噴霧を行うことが
できる利点がある。
【００１７】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の気体−
液体吹きスリットノズルは加工が容易で製作コストが安
価であり、しかも製品の至近距離から全幅にわたり均一
な噴霧を行うことができるので、液晶基板やプリント基
板などの製造工程において、洗浄液や各種の薬液を所定
幅にわたり均一に噴霧するに適したものである。
液体吹きスリットノズルは加工が容易で製作コストが安
価であり、しかも製品の至近距離から全幅にわたり均一
な噴霧を行うことができるので、液晶基板やプリント基
板などの製造工程において、洗浄液や各種の薬液を所定
幅にわたり均一に噴霧するに適したものである。
【図１】第１の実施形態の気体−液体吹きスリットノズ
ルの全体図を示す斜視図である。
ルの全体図を示す斜視図である。
【図２】第１の実施形態の気体−液体吹きスリットノズ
ルの切断面を示す斜視図である。
ルの切断面を示す斜視図である。
【図３】第１の実施形態のノズル先端部を示す断面図で
ある。
ある。
【図４】第２の実施形態のノズル先端部を示す断面図で
ある。
ある。
【図５】第３の実施形態のノズル先端部を示す断面図で
ある。
ある。
【図６】ノズル先端部の変形例を示す断面図である。
【図７】ノズル先端部の他の変形例を示す断面図であ
る。
る。
【図８】従来のマルチノズルを示す正面図である。
【図９】先に開発した気体−液体吹きスリットノズルの
ノズル先端部を示す断面図である。
ノズル先端部を示す断面図である。
１ ヘッダー
２ 噴霧ノズル
３ ヘッダー付きマルチノズル
４ 板状体
５ 板状体
６ 板状体
７ スリット
８ スリット
９ ガイド面
１１ 板状体
１２ 板状体
１３ 板状体
１４ 液体室
１５ 気体室
１６ 液体の噴出口
１７ 気体の噴出口
１８ 傾斜面
１９ 傾斜面
２０ 噴霧液のガイド面
２１ 噴霧液のガイド面
フロントページの続き
(72)発明者 樹生 能幸
兵庫県氷上郡柏原町北山字野中130−３
株式会社共立合金製作所内
(72)発明者 下世 昭一
兵庫県氷上郡柏原町北山字野中130−３
株式会社共立合金製作所内
Ｆターム(参考） 3B201 AA02 BB38 BB92 BB99
4F033 AA01 AA04 BA02 BA03 CA05
DA01 EA02 NA01 QA01 QA05
QA09 QB02Y QB03X QB12Y
QB15X QB16X QB17 QC02
QD15 QD18 QD24 QE05 QE09
QE14 QE25
Claims (3)
- 【請求項１】 積層された少なくとも３枚の板状体の隙
間に長手方向に延びる複数のスリットを形成し、これら
のスリットの一つを気体の噴出口、他のスリットを液体
の噴出口とした気体−液体吹きスリットノズルにおい
て、中央部の板状体の先端部を噴出口よりも前方に延ば
し、他方の噴出口側に向けて傾斜させた傾斜面としたこ
とを特徴とする気体−液体吹きスリットノズル。 - 【請求項２】 中央部の板状体に形成された傾斜面の背
面にも、同様の傾斜面を形成した請求項１に記載の気体
−液体吹きスリットノズル。 - 【請求項３】 両外側の板状体を噴出口よりも前方に延
ばし、噴霧液のガイド面とした請求項１または２に記載
の気体−液体吹きスリットノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001184886A JP3544650B2 (ja) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | 気体−液体吹きスリットノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001184886A JP3544650B2 (ja) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | 気体−液体吹きスリットノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003001151A true JP2003001151A (ja) | 2003-01-07 |
| JP3544650B2 JP3544650B2 (ja) | 2004-07-21 |
Family
ID=19024569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001184886A Expired - Fee Related JP3544650B2 (ja) | 2001-06-19 | 2001-06-19 | 気体−液体吹きスリットノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3544650B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| KR101963806B1 (ko) * | 2017-08-08 | 2019-03-29 | (주)플루익스 | 다양한 형상의 도포가 가능한 노즐 및 이를 포함하는 도포장치 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3544650B2 (ja) | 2004-07-21 |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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|
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