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JP2002510109A - スプリット型上側磁極を備えた薄膜テープヘッド - Google Patents

スプリット型上側磁極を備えた薄膜テープヘッド

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Publication number
JP2002510109A
JP2002510109A JP2000541671A JP2000541671A JP2002510109A JP 2002510109 A JP2002510109 A JP 2002510109A JP 2000541671 A JP2000541671 A JP 2000541671A JP 2000541671 A JP2000541671 A JP 2000541671A JP 2002510109 A JP2002510109 A JP 2002510109A
Authority
JP
Japan
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tape
write
writing
module
head
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000541671A
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English (en)
Inventor
ケイツ，ジェイムス，シー
マンティ，ジョン，ポール
ギリンハム，ロナルド，ディーン
トラバート，スティーブン，グレゴリー
Original Assignee
ストーリッジ テクノロジー コーポレーション
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ストーリッジ テクノロジー コーポレーション filed Critical ストーリッジ テクノロジー コーポレーション
Publication of JP2002510109A publication Critical patent/JP2002510109A/ja
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    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
    • G11B5/584—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on tapes
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
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    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
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    • G—PHYSICS
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    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing

Landscapes

  • Magnetic Heads (AREA)
  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スプリット型の上側磁極の構成を用い、一つのサーボパターンに多重の周波数帯が同時に書込まれるようにした薄膜テープヘッド。 【解決手段】 薄膜磁気テープヘッド（２３）はスプリット型上側磁極（３７）を備えている。このスプリット型上側磁極（３７）の構成により、サーボ帯（１３）上に多重パターン（１６）を同時に書込むことを可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の技術分野】
本発明は、動的な磁気情報の記憶または検索の技術分野に関する。より具体的
には、本発明は、磁気テープヘッドの技術分野に関する。更に具体的には、本発
明は、磁気テープヘッドの構成に関する。更に特徴づけるならば、それに限定さ
れるものではないが、本発明は、特異なサーボパターンを書込むためのスプリッ
ト型上側磁極を含んでいる。
【０００２】
【関連技術の説明】
磁気テープ記録は、音声またはデータ情報を記録するのに古くから使われてい
る。情報の記憶および検索について、磁気テープは特に信頼性があり、費用効果
性も高く、また使い易いことが実証されている。磁気テープの有用性と費用効果
性を更に高めようという努力の中で、与えられたテープの幅と長さの中に、より
多くの情報を記憶する試みがなされている。このことは、一般には与えられたテ
ープの幅の中に、より多くのデータトラックを設けることにより達成してきた。
記憶しようとするデータを多くできる一方で、このデータトラック数の増加によ
り、それらのトラックが、テープの中により密に詰めこまれることになった。デ
ータトラックがより近接して配置されるにつれて、データの読取りおよび書込み
に誤差がより容易に入り込むことになり、テープヘッドに対するテープの正確な
位置決めがより重要になってくる。テープヘッドに対するテープの位置決めは、
テープまたはテープヘッド内の変動、空気流によるテープの移動、温度、湿度、
テープの収縮、その他の要因によって影響され易いが、特にテープの外縁におい
て影響を受けやすい。
【０００３】 データトラックの精度を上げるために、参照点を与えて、テープヘッドに対す
るテープの正しい位置決めを維持するのに、サーボトラックが使われている。テ
ープ上の多重のデータトラック上でのデータの記録検索に用いるヘッドの数に応
じて、１本又はそれ以上の本数のサーボトラックを使うことができる。図１を参
照すると、１／２インチ幅の磁気テープ１１は、多重のデータ帯１２上に２８８
本まで、或いはそれ以上のデータトラックを設けることができる。このように多
くのデータトラックを用いるには、５本又はそれ以上の本数のサーボ帯１３を設
けて、データ読取り／書込み機能の性能向上を図ることが望ましい。サーボ帯１
３は様々なパターンまたは周波数領域を利用して、テープヘッド間の正確な位置
決めを行う。サーボ帯１３は、１本またはそれ以上の本数のサーボトラックを備
えることができる。
【０００４】 図２に、サーボパターンの一例が示されている。このサーボパターンは、１９
９７．２．２１に出願され、本件の譲受人に譲渡された、「同期特性を増強した
テープのサーボパターン」と題する米国特許出願第８０４，４４５号の本出願人
の米国特許出願に、より具体的に記載されている。図２を参照すると、多重に記
録されたパターンが、消去された領域と共に設けられている。このパターンにお
いては、幅広い同期信号が同期周波数領域１４として示されている。第二の異な
る周波数領域１５が、領域１４の次に書込まれている。複数の消去パターン１６
は、明瞭な形状例えば平行四辺形で、領域１５のいくつかの部分にわたって書込
まれている。
【０００５】 テープ駆動操作の間、テープに対するテープヘッドの位置は、サーボ・リーダ
によって制御されるが、このサーボ・リーダは、サーボ・リーダが消去パターン
１６の縁にある時の出力信号を監視するものである。消去パターン１６同士の間
の位置関係は、テープに対するヘッドの位置決めにその縁が使われるため、極め
て重要である。即ち、読み書き操作の間、ヘッドをテープに対して動かしてデー
タトラックを正確に読み書きできるようにすることができる。消去パターン１６
の位置決めの他に、異なる周波数領域１５および消去パターン１６の中の信号の
均一性も重要である。消去パターン１６の位置が不適切であったり、サーボパタ
ーンの読出し振幅に変動があったりすると、記録されるデータのトラックテープ
上の位置が不適切になったり、記録されたデータトラックの読取りに誤差を生じ
たりするおそれがある。
【０００６】 上記のように、また図２に示したようにサーボパターンを書込むためには、サ
ーボパターン用書込みヘッドは、許容性能を達成するために、精密に整合させ、
また仕様設定を厳しくしなければならない。サーボパターンは製造環境で書込ま
れ、従って費用効果性を出すために、サーボパターンをテープ１回通しで書込ま
なくてはならない。また、書込み駆動回路にフィードバックして、書込まれたサ
ーボパターンの良否の確認ができるようにしておくことも重要である。勿論、サ
ーボの読み書きヘッド自身の製造容易性も、性能パラメータの維持と並んで基本
的に重要なことである。
【０００７】 サーボパターンを書込むのに、現在は薄膜書込みヘッドが使われている。薄膜
書込みヘッドは、基本的にはクリーンルームで薄膜蒸着とフォトリソグラフィー
の技術を使って処理され、最小限の機械的処理を加えて作られる。この種のヘッ
ドは、機械的処理の比率がはるかに多かった以前の書込みヘッド製造技術を超え
た一つの技術進歩の産物である。その差は、書込みを特徴づけるのに非常に重要
である。薄膜書込みヘッドは、書込みトラック幅が低精度で機械的に規定されて
いた従来の書込みヘッド設計と異なり、書込み磁極形状が、微妙な書込み磁極幅
を厳しく制御できるフォトリソグラフィー処理を使って規定される。薄膜書込み
ヘッドはまた、サーボパターンを、高い記録密度、速いテープ速度で高保磁力の
媒体に記録できるように、より良く最適化することができる。
【０００８】 多重の消去ヘッドを、サーボパターン内の１個の消去帯１６について一つずつ
、相互に隣接して配置できるようにするのに、現存の薄膜テープヘッド製造技術
を利用することは可能であろう。しかしながら、このような多重テープヘッドの
構成には、テープヘッドの性能及び／又はヘッド自身の製造適性からくる厳しい
設計上の妥協を必要とするだろう。図３を参照すると、テープヘッドの先行技術
による薄膜書込みトラックの断面の一部が示されている。テープヘッドは、アル
ミニウム炭化チタン（ＡｌＴｉＣ）またはその他の適当な材質からなる囲い板１
７および基板１８を備えている。囲い板１７と基板１８の間には、クリーンルー
ム内で基板１８上に複数の層が蒸着されている。これら複数の層には、基板１８
上に蒸着されたアルミナ下引き層１９と、アルミナ下引き層１９の上に蒸着され
た平坦な下側磁極２０とがある。アルミナのような絶縁性物質からなるギャップ
層２１が、平坦な下側磁極２０の上に蒸着されている。コイル構成物２２が、通
例に従ってギャップ層２１の上に蒸着されている。コイル構成物２２は、この分
野で知られているように、ベークしたフォトレジストその他の適当な材質の一連
の蒸着層と、それらの間に配置したコイルとを含んでいる。上側磁極４０は、結
果として膨れ上がった形状を持っている。これらの蒸着層の構造的特徴が平坦に
ならないことから、既に蒸着された層の上に平坦化するためのアルミナの上塗り
層３０を蒸着する必要がある。厚い上塗り層３０は平らにラッピングして、囲い
板１７を受けるための平坦な面とする。磁気テープは、テープヘッドによって読
取りおよび書込みが行われるように、テープ搬送面１０上を通過する。
【０００９】 図４を参照すると、コイル２２、上側磁極４０、上側磁極トラック幅４１、並
びに、上側磁極４０が下側磁極２０（図３参照）と接するバックギャップ領域４
２を示している。上述したように、図２のサーボの消去パターンを書込む一つの
方法は、多重の書込みヘッドを用いることであろう。けれども、書込みヘッドは
実際には上側磁極４０の書込みトラック幅４１よりは実質的に広いため、多重ヘ
ッドを使う場合にヘッド同士を互いに密着させて配置すると、隣接するヘッドの
電磁コイル２２との間で物理的な干渉がおきるおそれがある。ヘッド同士をより
遠く離した場合には、各書込みパターンもより遠くに離れ、サーボ帯１３はより
広くなり、従ってデータトラック１２として使用できるテープ領域が減少してし
まう。更に、多重ヘッドを用いる場合には、正しいサーボパターンを確保するた
めに、正確に同期がとれる多重書込みドライバが必要になるであろう。ヘッドの
製造上の費用効果性を維持しつつ、且つ、サーボパターンが与えられた幅のテー
プに１回の書込み操作で効率的に書込まれるようにしながら、図２に示すような
多重の消去パターン１６を含む精巧なサーボパターンを正確に書込むことが可能
なテープヘッドを備えることが望ましい。
【００１０】
【発明の概要】
本発明は、スプリット型の上側磁極の構成を用い、一つのサーボパターンに多
重の周波数帯が同時に書込まれるようにした薄膜テープヘッドである。テープヘ
ッドは、サーボパターンを書込み読取る多重モジュールを利用する。そのモジュ
ールのうち少なくとも一つを、新規なスプリット型上側磁極の構成とする。好ま
しい態様においては、３モジュール型ヘッド設計がサーボパターンの書込みに使
われる。即ち：第一および第２の周波数帯を書き込むモジュールと；多重の消去
パターンを書込むモジュール；そして、それら周波数帯とパターンとを読取って
フィードバックするモジュールである。
【００１１】
【好ましい態様の説明】
図面において、全図面を通じて同様の参照番号は同様の構成物を示している。
図面を参照すると、図１は、テープヘッド（図示せず）に対するデータ帯１２の
正確な位置決めができるように、与えられたテープ部分１１に書込まれた多重の
サーボ帯１３を説明している。図２は、テープ１１上にサーボ帯１３として書込
まれた１本のサーボトラック・パターンを説明している。図２を参照すると、第
一の同期周波数が、サーボ帯１３の幅を横切って第一の領域１４に書込まれてい
る。第二の周波数１５が、サーボ帯１３の幅を横切る第二の領域に書込まれてい
る。そして、第一の同期周波数１４と第二の周波数１５とは、テープ１１の与え
られた長さに沿ったサーボ帯１３上に交互に書込まれる。第三の周波数は、第二
の領域１５の上に所定の明瞭なパターンで書込まれている。好ましい態様におい
ては、第三の周波数は、パターン１６として書込まれる高周波のＡＣ消去周波数
またはＤＣ消去周波数であるが、このパターン１６は正方形又は矩形のような平
行四辺形の形をとることができる。
【００１２】 図５を参照すると、サーボ帯を備えた図１に示すパターンを書込むのに用いる
薄膜テープヘッド２３を示している。ヘッド２３は、三つのモジュール２４、２
５、２６を含んでいる。３モジュール２４、２５、２６の各々は、以下に説明す
るように書込みまたは読取りヘッドを有する。これらのモジュールは、例えばフ
ェライト又はＡｌＴｉＣ製の基板からなっており、その上に読取り及び／又は書
込み用のヘッドが、従来の薄膜ヘッド・プロセスを用いて形成されるが、そのプ
ロセスには次に述べるような際立った例外がある。この場合、これらの基板は、
この技術分野で知られているように、構造上の補強をするため囲い板と接着する
か、その他の方法で物理的に結合することができる。これらのモジュールの各々
は、この技術分野で知られているように、テープに合った輪郭を与えるように加
工された上側面２９を備えている。三つのモジュールは、図５に示すようなヘッ
ド２３を形成するように組立てられる。ヘッド２３は、図１に示す５個のサーボ
帯フォーマットを作ることができるように、５個のゾーン２８を有する。各ゾー
ン２８は、以下に説明するように、書込み要素または読取り要素を含んでいる。
【００１３】 再び図５を参照すると、第一のモジュール２４の中には、５個のゾーン２８が
ある。各ゾーン２８は、この技術分野で知られているような従来の書込み要素を
備えている。例えば、図３に示す書込み要素を使うことができる。サーボトラッ
ク１３の幅は、図４における上側磁極４０の幅４１によって決まるであろう。図
２および図５を参照すると、第一層２４の書込み要素は、第一の同期周波数１４
と第二の周波数１５とを、サーボ帯１３上に書込むのに使われる。モジュール２
５にある５ゾーン２８の各々のゾーンは、本発明によるスプリット型上側磁極の
書込み要素を備えている。このスプリット型上側磁極の書込み要素は、図２に示
すような多重の消去パターン１６を同時に書込めるものである。第三のモジュー
ル２６は、読取り要素３４を含むゾーン２８を備えており、サーボ帯１３に書込
まれた周波数領域を読取ることができる。ヘッド２３の面２９上を円く囲んだ領
域３１は、ヘッド２３の三つのモジュール全てのゾーン２８を含んでいる。これ
ら三つのモジュールの上を、テープ１１を通過させると、各ゾーン３１について
一つのサーボ帯１３が書込まれることになる。５組の３モジュールにより、テー
プ１１がヘッド２３上を通過する毎に、図１に示す５本のサーボ帯１３を書込む
ことができる。
【００１４】 図６を参照すると、図５の円く囲んだ領域３１について、機能上の説明をして
いる。前側書込み要素３２（モジュール２４の一つのゾーン２８に相当）と、後
側書込み要素３３（モジュール２５の一つのゾーン２８に相当）、並びに、読取
り要素３４（モジュール２６の一つのゾーン２８に相当）について、その機能細
部を示している。前側書込み要素３２は、この技術分野で知られているような、
従来の上側磁極３５および下側磁極３６を備えている。上側磁極３５の幅３８が
、サーボ帯１３の幅を規定している。例えば、上に述べたように、図４に示すよ
うな書込みヘッドが使われたとすると、上側磁極のトラック幅４１が、サーボ帯
１３の幅を規定するであろう。前側書込み要素３２は、図２に示したようなサー
ボ周波数１４と第二の周波数１５とを交互に書込むのに使われる。
【００１５】 再び図６を参照すると、後側書込み器３３は、前側書込み器３２と同様の従来
の下側磁極３６を備えている。但し、後側書込み器３３には、新規なスプリット
型上側磁極３７が使われている。当業者であれば、下側磁極３６もまた、スプリ
ット型上側磁極３７と並ぶようなスプリット型下側磁極を形成するように、パタ
ーンを決めることもできることに気づくであろう。スプリット型上側磁極３７に
より、多重の消去パターン１６を第二の周波数領域１５上に同時に書込むことが
可能になる。同時に書込むことによって精度も上がり、また後側書込み器３３用
の書込みドライバも、２台（後側書込み器を２台使う場合は各ヘッドに１台ずつ
）使う必要がなく１台だけで済むことになる。更に、前側書込み器３２に対する
後側書込み器３３の整列も、この設計により重要性が減少する。前側および後側
の書込みについての書込みヘッドの設計上のパラメータ（ギャップ長さ、コイル
巻数等）は、その特定の機能に応じて別々に最適化することができる。
【００１６】 図７を参照すると、サーボ帯１３を書込む時の書込みヘッド２３の作用につい
て示している。図７において、上側磁極は、全幅書込み器３５の後側磁極および
消去書込み器３７として使われる。当業者であれば、各書込み器は、上下逆にし
て下側磁極３６を後側書込み磁極として使ってもよいことに気づくであろう。磁
気テープ１１が前側書込み器３２の上側磁極３５上を通過する際に、サーボ周波
数領域１４と第二周波数領域１５の両方が、交互にサーボ帯１３内のテープ１１
上に書込まれる。テープ１１が後側書込み器３３の上を通過する際に、スプリッ
ト型上側磁極３７によって、消去パターン１６がサーボ帯１３内のテープ１１上
に同時に書込まれる。読取り要素３４は、書込みヘッドへのフィードバック・ル
ープの一部として、前側書込みヘッド３２と後側書込みヘッド３３についての書
込み操作を監視する。読取り要素３４の配置および数は、そのサーボ書込みシス
テムに必要な所定のなフィードバックに依存する。フィードバックにより、前側
および後側書込み器の書込み電流と、パターンの相対的なタイミングが調整でき
る。タイミング調整は、ヘッド面の平行度合が不完全な場合に、テープを横断し
てサーボ帯を同時に書込む際に、前側および後側の書込み器の間のタイミングが
問題となるので、特に有効である。読取りヘッド３４を用いてテープ上に記録さ
れている信号を監視することにより、前側書込み器３２および後側書込み器３３
の各々の波形パターンのタイミングを別々に調整し、サーボパターンのタイミン
グがテープ幅方向に正しく横断することを確実にできる。同様にして、モジュー
ル２４、２５、２６が正確に平行に整列していない場合には、フィードバックに
よりシステムがこれらの不備を調整することができる。
【００１７】 図８を参照すると、後側書込み器の新規なスプリット型上側磁極の構成を、よ
り詳細に示している。スプリット型上側磁極３７は、図８においては下側磁極３
６に隣接して示されている。スプリット型上側磁極３７は、好ましくは、従来の
薄膜製造プロセス技術によって製造される。コイル２２は、上側磁極３７と下側
磁極３６の間に蒸着される。スプリット型上側磁極３７は、上側磁極の領域３９
の材料を取り除くことによって、上側磁極の形状を規定するのに使われる従来の
プロセスのステップの間に形成することもできる。上側磁極がメッキされる場合
であれば、スプリット型磁極３７も上側磁極の他の部分と同様にメッキすること
ができる。しかしながら、この技術分野で知られているその他の製造方法を用い
て、スプリット型上側磁極の書込み要素を作ることもできる。スプリット型上側
磁極を形成した後に、図３における層３０のような平坦化層を適用して、切り欠
いた領域３９とスプリット型土側磁極を囲む領域が埋められる。この様に構成す
ることによって、図５における面２９のような均一な保持面を得ることができる
。
【００１８】 本発明をその特定の態様に関して説明してきたが、それに限定しようとするも
のではなく、添付のクレームに規定する通りの本発明の請求範囲が及ぶ限りにお
いて変更修正が可能である。例えば、サーボトラック、データトラックおよびモ
ジュールの具体的数値を開示したが、本発明は、一つ又はそれ以上のサーボトラ
ック又はデータトラックを用いることができ、また、モジュールの数をこれより
増減してサーボ書込みヘッドに用いることもできる。スプリット型磁極の書込み
ヘッドは、２個の上側磁極部分で説明したが、２個を超える上側磁極部分を用い
ることもできる。同様に、特定の好ましいテープヘッド材質およびテープヘッド
製造方法について開示したが、いかなる適切な材質および製造方法も、本発明の
範囲を逸脱することなく利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 磁気テープ上の多重のサーボ帯およびデータ帯の説明図である。
【図２】 多重の消去トラックを備えたサーボパターンの説明図である。
【図３】 先行技術の薄膜テープヘッドの説明図である。
【図４】 図３の先行技術の薄膜書込みヘッドの上面図である。
【図５】 ３モジュール型テープヘッドの斜視図である。
【図６】 図５に示す３モジュール型テープヘッドの部分説明図である。
【図７】 サーボパターン上に重ねて見た時の、図６のヘッド部分の説明図である。
【図８】 スプリット型上側磁極の構成を説明している。
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１２年４月１７日（２０００．４．１７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正内容】
【図８】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ１１Ｂ 5/31 Ｇ１１Ｂ 5/31 Ｋ 5/39 5/39 5/584 5/584 (72)発明者 マンティ，ジョン，ポール アメリカ合衆国、コロラド 80303−3504、 ボールダー、キャッドー パークウエイ、 3980 (72)発明者 ギリンハム，ロナルド，ディーン アメリカ合衆国、コロラド 80503、ロン グモント、ウエストレイク ドライブ、 2166 (72)発明者 トラバート，スティーブン，グレゴリー アメリカ合衆国、コロラド 80303、ボー ルダー、ハートホード ドライブ、815 Ｆターム(参考） 5D033 BA07 BA22 BA31 BB31 BB41 BB43 CA09 5D034 BA02 BB11 BB12 CA09 5D042 AA01 FA05 GA01 HA18 HB03 5D054 AA01 AB05 AB13 AB15 BA34 BA42 BA61 BB33 BB34 5D111 AA16 AA19 AA22 CC41 DD06 DD23

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 薄膜磁気テープヘッドにおいて： 基板上に蒸着された下側磁極部分および複数の上側磁極部分を備えた書込みヘ
    ッドと； 該上側磁極部分を囲む平坦化層と； 該基板上に蒸着され、該書込みヘッドに電磁的に接続された導電性のコイル巻
    線；並びに、 該導電性のコイル巻線に電磁的に接続されたドライバ回路 を含むことを特徴とする薄膜磁気テープヘッド。
  2. 【請求項２】 薄膜磁気サーボ記録ヘッドにおいて： 第一の書込みモジュールであって： 下側磁極と上側磁極とを備えた磁気書込みヘッドと； 該書込みヘッドに電磁的に結合された導電性のコイル巻線；および、 該導電性のコイル巻線に電磁的に接続された書込みドライバ を含むように構成した第一の書込みモジュールと； 該第一の書込みモジュールに隣接させた第二の書込みモジュールであって： 下側電極と、複数の上側磁極部分を含む上側電極とを備えた第二の磁気書込
    みヘッド と； 該第二の書込みモジュールに電磁的に結合された導電性のコイル巻線；およ
    び、 該導電性のコイル巻線に電磁的に接続された書込みドライバ を含むように構成した第二の書込みモジュール；並びに、 該第二の書込みモジュールに隣接させた読取りモジュール を含むことを特徴とする薄膜磁気サーボ記録ヘッド。
  3. 【請求項３】 前記読取りモジュールは、誘導性読取りモジュールを備える
    ように構成することを特徴とする、請求項２に記載の薄膜磁気サーボ記録ヘッド
    。
  4. 【請求項４】 前記読取りモジュールは、磁気抵抗性読取りモジュールを備
    えるように構成することを特徴とする、請求項２に記載の薄膜磁気サーボ記録ヘ
    ッド。
  5. 【請求項５】 １本の磁気テープにサーボパターンを書込む方法において： 該１本のテープを、第一の書込みモジュール上を通過させるステップと； 第一の周波数信号を、該１本のテープの第一の部分に書込むステップと； 該１本のテープを、スプリット型上側磁極を備えた第二の書込みモジュール上
    を通過させるステップと； 該第二の書込みモジュールを用いて、第二の周波数信号を、該隣接する部分に
    書込むステップとを含み； 該第二の周波数信号を書込むステップが、該第二の周波数信号を、複数の互い
    に離れた所定の形状で同時に書込むステップを含むように構成し；且つ、 該１本のテープを、読取りモジュール上を通過させるステップを含む ことを特徴とする磁気テープのサーボパターンの書込み方法。
  6. 【請求項６】 前記該１本のテープを、読取りモジュール上を通過させるス
    テップは： 該書込みステップの良否を確認するために、該第一および第二の周波数を読み
    取るステップ；並びに、 書込みドライバにフィードバックして、該第一の周波数信号と該所定の形状と
    の間の相対的タイミングを調整するステップ を含むように構成することを特徴とする、請求項５に記載の磁気テープのサー
    ボパターンの書込み方法。
  7. 【請求項７】 前記第一の周波数信号を該１本のテープの第一の部分に書込
    むステップは、該第一の周波数および該第二の周波数とは異なる周波数を含む信
    号を、該第一の部分に隣接する該１本のテープ上の残りの部分に書込むステップ
    を更に含むことを特徴とする、請求項５に記載の磁気テープのサーボパターンの
    書込み方法。
  8. 【請求項８】 前記第二の周波数信号は、消去周波数を含むように構成する
    ことを特徴とする、請求項５に記載の磁気テープのサーボパターンの書込み方法
    。
  9. 【請求項９】 前記複数の互いに離れた平行な所定の形状は、複数の平行四
    辺形を含むように構成することを特徴とする、請求項５に記載の磁気テープのサ
    ーボパターンの書込み方法。
  10. 【請求項１０】 前記複数の互いに離れた平行な所定の形状は、複数の矩形
    を含むように構成することを特徴とする、請求項５に記載の磁気テープのサーボ
    パターンの書込み方法。
  11. 【請求項１１】 前記複数の互いに離れた平行な所定の形状は、複数の正方
    形を含むように構成することを特徴とする、請求項５に記載の磁気テープのサー
    ボパターンの書込み方法。
  12. 【請求項１２】 前記読取りモジュールは、誘導性読取りモジュールを含む
    ように構成することを特徴とする、請求項５に記載の磁気テープのサーボパター
    ンの書込み方法。
  13. 【請求項１３】 前記読取りモジュールは、磁気抵抗性読取りモジュールを
    含むように構成することを特徴とする、請求項５に記載の磁気テープのサーボパ
    ターンの書込み方法。
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