JP2002340559A - 水晶角速度センサ - Google Patents
水晶角速度センサInfo
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Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型で、角速度の高い検出感度を有する水晶
角速度センサを提供する事にある。 【解決手段】 屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水
晶振動子で音叉腕の中立線を挟んだ中央部に溝を設け、
当該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用電極を
配置している。
角速度センサを提供する事にある。 【解決手段】 屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水
晶振動子で音叉腕の中立線を挟んだ中央部に溝を設け、
当該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用電極を
配置している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は角速度センサとして
用いる音叉型屈曲水晶振動子の形状及び電極構成に関す
る。特に、小型で角速度の高い検出感度を有する新形状
と新電極構成の水晶角速度センサに関する。
用いる音叉型屈曲水晶振動子の形状及び電極構成に関す
る。特に、小型で角速度の高い検出感度を有する新形状
と新電極構成の水晶角速度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、水晶などの圧電材
料を用いた音叉型振動子がよく知られている。図２１に
この従来例の正面図を示す。図２１において圧電振動子
３００は２本の音叉腕３０１，３０２と音叉基部３０３
を具えて構成されている。励振電極は音叉腕の表裏面と
側面に配置されている。図２２には図２１の音叉腕のｈ
−ｈ´断面図を示す。一方の音叉腕３０１の断面の上面
には電極３０４が下面には電極３０５が配置されてい
る。側面には電極３０６と３０７が配置されていて、電
極３０４と３０５、電極３０６と３０７が各々同極とな
るように構成され、２電極端子ＡＡ−ＢＢを構成する。
料を用いた音叉型振動子がよく知られている。図２１に
この従来例の正面図を示す。図２１において圧電振動子
３００は２本の音叉腕３０１，３０２と音叉基部３０３
を具えて構成されている。励振電極は音叉腕の表裏面と
側面に配置されている。図２２には図２１の音叉腕のｈ
−ｈ´断面図を示す。一方の音叉腕３０１の断面の上面
には電極３０４が下面には電極３０５が配置されてい
る。側面には電極３０６と３０７が配置されていて、電
極３０４と３０５、電極３０６と３０７が各々同極とな
るように構成され、２電極端子ＡＡ−ＢＢを構成する。
【０００３】他方の音叉腕３０２の上面には互いに異極
となる電極３０８と３０９が配置され下面にも互いに異
極となる電極３１０と３１１が配置され電極３０８と３
１１が同極に、電極３０９と３１０が同極となるように
構成されていて、２電極端子ＣＣ−ＤＤを構成する。
又、ｘ軸は圧電材料の電気軸で、ｙ´軸とｚ´軸はｘ軸
を回転軸として回転後の機械軸ｙ及び光軸ｚの新軸であ
る。一般的には、２電極端子ＡＡ−ＢＢは振動子駆動端
子を示し、２電極端子ＣＣ−ＤＤは角速度検出端子を示
す。
となる電極３０８と３０９が配置され下面にも互いに異
極となる電極３１０と３１１が配置され電極３０８と３
１１が同極に、電極３０９と３１０が同極となるように
構成されていて、２電極端子ＣＣ−ＤＤを構成する。
又、ｘ軸は圧電材料の電気軸で、ｙ´軸とｚ´軸はｘ軸
を回転軸として回転後の機械軸ｙ及び光軸ｚの新軸であ
る。一般的には、２電極端子ＡＡ−ＢＢは振動子駆動端
子を示し、２電極端子ＣＣ−ＤＤは角速度検出端子を示
す。
【０００４】今、振動子駆動端子間に直流電圧（ＡＡ端
子に正、ＢＢ端子に負）を印加すると、電界は矢印のよ
うに働き、音叉腕の中立線を境にしてｘ軸方向の電界成
分Ｅxの向きが反対となる。その結果、音叉腕は曲げを
生じる。従って、振動子駆動端子ＡＡ−ＢＢ間に交流電
圧を印加すると、両音叉腕はｘ−ｙ´平面で屈曲振動を
する。更に、ｙ´軸廻りに角速度ωを印加すると、ｘ−
ｙ´平面に垂直となる方向に角速度ωに比例したコリオ
リ力が発生し、屈曲振動を引き起こす。この場合、音叉
腕３０２には実線と直線の矢印で示したような平行電界
が働く。しかし、そのｘ軸方向の電界成分は非常に小さ
いため、角速度検出端子ＣＣ−ＤＤ間に発生する電圧が
非常に小さくなる。
子に正、ＢＢ端子に負）を印加すると、電界は矢印のよ
うに働き、音叉腕の中立線を境にしてｘ軸方向の電界成
分Ｅxの向きが反対となる。その結果、音叉腕は曲げを
生じる。従って、振動子駆動端子ＡＡ−ＢＢ間に交流電
圧を印加すると、両音叉腕はｘ−ｙ´平面で屈曲振動を
する。更に、ｙ´軸廻りに角速度ωを印加すると、ｘ−
ｙ´平面に垂直となる方向に角速度ωに比例したコリオ
リ力が発生し、屈曲振動を引き起こす。この場合、音叉
腕３０２には実線と直線の矢印で示したような平行電界
が働く。しかし、そのｘ軸方向の電界成分は非常に小さ
いため、角速度検出端子ＣＣ−ＤＤ間に発生する電圧が
非常に小さくなる。
【０００５】図２３は他の従来例の正面図を示す。２つ
の音叉型水晶振動子３１２と３１３が各音叉基部３１４
と３１５で接続されている。いわゆる、Ｈ型の音叉形状
を成している。一方の音叉型水晶振動子３１２は音叉腕
３１６と３１７と音叉基部３１４を具えて構成されてい
る。又、他方の音叉型水晶振動子３１３は音叉腕３１８
と３１９と音叉基部３１５を具えて構成されている。図
２４は図２３の音叉腕３１６と３１７のｉ−ｉ´断面図
を示す。音叉腕３１６の上下面には電極３２２と３２３
が側面には３２０と３２１が配置されている。又、音叉
腕３１７の上下面には電極３２６と３２７が側面には３
２４と３２５が配置されている。そして、電極３２０，
３２１，３２６，と３２７が同極に、電極３２２，３２
３，３２４，と３２５が同極になるように構成されてい
る。即ち、２電極端子ＥＥ−ＦＦを構成する。この端子
は振動子駆動端子を示す。
の音叉型水晶振動子３１２と３１３が各音叉基部３１４
と３１５で接続されている。いわゆる、Ｈ型の音叉形状
を成している。一方の音叉型水晶振動子３１２は音叉腕
３１６と３１７と音叉基部３１４を具えて構成されてい
る。又、他方の音叉型水晶振動子３１３は音叉腕３１８
と３１９と音叉基部３１５を具えて構成されている。図
２４は図２３の音叉腕３１６と３１７のｉ−ｉ´断面図
を示す。音叉腕３１６の上下面には電極３２２と３２３
が側面には３２０と３２１が配置されている。又、音叉
腕３１７の上下面には電極３２６と３２７が側面には３
２４と３２５が配置されている。そして、電極３２０，
３２１，３２６，と３２７が同極に、電極３２２，３２
３，３２４，と３２５が同極になるように構成されてい
る。即ち、２電極端子ＥＥ−ＦＦを構成する。この端子
は振動子駆動端子を示す。
【０００６】図２５は図２３の音叉腕３１８と３１９の
ｊ−ｊ´断面図を示す。音叉腕３１８には電極３２８，
３２９，３３２と３３３が配置され、電極３２８と３２
９が同極に、電極３３２と３３３が同極になるように構
成されている。即ち、側面に配置されている対抗電極は
互いに異極になるように構成されている。更に、音叉腕
３１９には電極３３０，３３１，３３４と３３５が配置
されている。電極３３０と３３１が同極に、電極３３４
と３３５が同極になるように構成されている。そして、
側面に配置されている対抗電極は互いに異極となるよう
に構成されている。更に電極３２８，３２９，３３０と
３３１が同極に、電極３３２，３３３，３３４，と３３
５が同極になるように構成され、２電極端子ＧＧ−ＨＨ
を構成する。２電極端子ＥＥ−ＦＦは振動子駆動端子を
示し、２電極端子ＧＧ−ＨＨは角速度検出端子を示す。
ｊ−ｊ´断面図を示す。音叉腕３１８には電極３２８，
３２９，３３２と３３３が配置され、電極３２８と３２
９が同極に、電極３３２と３３３が同極になるように構
成されている。即ち、側面に配置されている対抗電極は
互いに異極になるように構成されている。更に、音叉腕
３１９には電極３３０，３３１，３３４と３３５が配置
されている。電極３３０と３３１が同極に、電極３３４
と３３５が同極になるように構成されている。そして、
側面に配置されている対抗電極は互いに異極となるよう
に構成されている。更に電極３２８，３２９，３３０と
３３１が同極に、電極３３２，３３３，３３４，と３３
５が同極になるように構成され、２電極端子ＧＧ−ＨＨ
を構成する。２電極端子ＥＥ−ＦＦは振動子駆動端子を
示し、２電極端子ＧＧ−ＨＨは角速度検出端子を示す。
【０００７】今、振動子駆動端子ＥＥ−ＦＦ間に交流電
圧を印加すると、図２４で示すように、電界は実線の矢
印と点線の矢印のように交互に働き、音叉型水晶振動子
３１２はｘ−ｙ´平面内で屈曲振動をする。更に、ｙ´
軸廻りに角速度ωを印加するとｘ−ｙ´平面に垂直とな
る方向にコリオリ力が発生する。図２５には角速度検出
端子ＧＧ−ＨＨが設けられていて、コリオリ力により発
生する電圧を検出することができる。この場合、ｘ軸方
向の電界成分は矢印方向に働くので図２１の場合より大
きくなり角速度検出感度も高くなる。
圧を印加すると、図２４で示すように、電界は実線の矢
印と点線の矢印のように交互に働き、音叉型水晶振動子
３１２はｘ−ｙ´平面内で屈曲振動をする。更に、ｙ´
軸廻りに角速度ωを印加するとｘ−ｙ´平面に垂直とな
る方向にコリオリ力が発生する。図２５には角速度検出
端子ＧＧ−ＨＨが設けられていて、コリオリ力により発
生する電圧を検出することができる。この場合、ｘ軸方
向の電界成分は矢印方向に働くので図２１の場合より大
きくなり角速度検出感度も高くなる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】音叉型屈曲水晶振動子
の等価直列抵抗Ｒ１はｘ軸方向の電界成分Ｅxが大きい
ほど小さくなりＱ値が大きくなる。しかしながら、音叉
形状の場合、音叉腕の４面に電極を設け片方の音叉碗で
振動を駆動し、平行に電界が働く他方の音叉腕で角速度
を検出するために電界成分Ｅxが小さく、又、小型化す
るとＥxがより小さくなり角速度の検出感度が著しく小
さくなるという課題が残されていた。又、Ｈ型の音叉形
状の場合も振動子駆動電極が音叉碗の４面に設けている
ために小型化すると等価直列抵抗Ｒ１が大きく、且つ、
Ｑ値が著しく小さくなり高い感度が得られない等の課題
が残されていた。このようなことから、超小型で等価直
列抵抗Ｒ１が小さく、Ｑ値が高く、角速度の高い検出感
度を有する新形状と新電極構成の水晶角速度センサが所
望されていた。
の等価直列抵抗Ｒ１はｘ軸方向の電界成分Ｅxが大きい
ほど小さくなりＱ値が大きくなる。しかしながら、音叉
形状の場合、音叉腕の４面に電極を設け片方の音叉碗で
振動を駆動し、平行に電界が働く他方の音叉腕で角速度
を検出するために電界成分Ｅxが小さく、又、小型化す
るとＥxがより小さくなり角速度の検出感度が著しく小
さくなるという課題が残されていた。又、Ｈ型の音叉形
状の場合も振動子駆動電極が音叉碗の４面に設けている
ために小型化すると等価直列抵抗Ｒ１が大きく、且つ、
Ｑ値が著しく小さくなり高い感度が得られない等の課題
が残されていた。このようなことから、超小型で等価直
列抵抗Ｒ１が小さく、Ｑ値が高く、角速度の高い検出感
度を有する新形状と新電極構成の水晶角速度センサが所
望されていた。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題で解決する本発
明の第１の態様は、屈曲振動モードで振動する音叉型屈
曲水晶振動子で音叉碗の中立線を挟んだ中央部に溝を設
け、当該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用電
極を配置して課題を解決している。更に、詳述するなら
ば、音叉碗の中央部の上下面に溝を設け、一方の音叉腕
の溝の内部には同極となる電極が音叉腕の側面には前記
電極と異極となる電極が振動子駆動用電極として配置さ
れ、他方の音叉腕の溝の内部の側面には互いに異極とな
る電極が配置され、溝の内部の側面に配置された電極と
音叉腕の側面に対抗して配置された電極は互いに異極と
なるように角速度検出用電極を配置している。このよう
に構成することにより課題を解決している。
明の第１の態様は、屈曲振動モードで振動する音叉型屈
曲水晶振動子で音叉碗の中立線を挟んだ中央部に溝を設
け、当該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用電
極を配置して課題を解決している。更に、詳述するなら
ば、音叉碗の中央部の上下面に溝を設け、一方の音叉腕
の溝の内部には同極となる電極が音叉腕の側面には前記
電極と異極となる電極が振動子駆動用電極として配置さ
れ、他方の音叉腕の溝の内部の側面には互いに異極とな
る電極が配置され、溝の内部の側面に配置された電極と
音叉腕の側面に対抗して配置された電極は互いに異極と
なるように角速度検出用電極を配置している。このよう
に構成することにより課題を解決している。
【００１０】本発明の第２の態様は、屈曲振動モードで
振動する音叉型屈曲水晶振動子で音叉基部に複数個の溝
を設け当該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用
電極を配置して課題を解決している。更に、詳述するな
らば、音叉腕の中立線を挟んだ中央部から延在する音叉
基部の上下面に溝を設け、更に、当該溝の間に溝を設
け、音叉腕の中央部から延在する一方の音叉基部の溝の
内部には同極となる電極が配置され、当該溝の側面の電
極と対抗する側面の電極は互いに異極となる電極が振動
子駆動用電極として配置され、音叉腕の中央部から延在
する他方の音叉基部の溝の内部の側面には互いに異極と
なる電極が配置され、当該溝の側面の電極と対抗する側
面の電極には互いに異極となるように角速度検出用電極
を配置して課題を解決している。
振動する音叉型屈曲水晶振動子で音叉基部に複数個の溝
を設け当該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用
電極を配置して課題を解決している。更に、詳述するな
らば、音叉腕の中立線を挟んだ中央部から延在する音叉
基部の上下面に溝を設け、更に、当該溝の間に溝を設
け、音叉腕の中央部から延在する一方の音叉基部の溝の
内部には同極となる電極が配置され、当該溝の側面の電
極と対抗する側面の電極は互いに異極となる電極が振動
子駆動用電極として配置され、音叉腕の中央部から延在
する他方の音叉基部の溝の内部の側面には互いに異極と
なる電極が配置され、当該溝の側面の電極と対抗する側
面の電極には互いに異極となるように角速度検出用電極
を配置して課題を解決している。
【００１１】本発明の第３の態様は、音叉型屈曲水晶振
動子が音叉基部で接続されたH型屈曲水晶振動子におい
て、音叉腕の中立線を挟んだ中央部に溝を設け当該溝に
振動子駆動用電極と角速度検出用電極を配置している。
更に詳述するならば、１つの音叉型屈曲水晶振動子の音
叉腕の中立線を挟んだ中央部の上下面の溝の内部には同
極となる電極が音叉腕の側面に異極となる電極が配置さ
れ、一方の音叉腕の溝の内部に配置された電極と他方の
音叉腕の側面に配置された電極は同極に、更に、前記し
た一方の音叉腕の側面に配置された電極と前記した他方
の音叉腕の溝の内部に配置された電極は同極となるよう
に振動子駆動用電極として配置され、他方の音叉型屈曲
水晶振動子の音叉腕の溝の内部の側面には互いに異極と
なる電極が配置され、溝の内部に配置された側面の電極
と対抗する音叉腕の側面電極は互いに異極となるように
角速度検出用電極を配置している。このように構成する
ことにより課題を解決している。
動子が音叉基部で接続されたH型屈曲水晶振動子におい
て、音叉腕の中立線を挟んだ中央部に溝を設け当該溝に
振動子駆動用電極と角速度検出用電極を配置している。
更に詳述するならば、１つの音叉型屈曲水晶振動子の音
叉腕の中立線を挟んだ中央部の上下面の溝の内部には同
極となる電極が音叉腕の側面に異極となる電極が配置さ
れ、一方の音叉腕の溝の内部に配置された電極と他方の
音叉腕の側面に配置された電極は同極に、更に、前記し
た一方の音叉腕の側面に配置された電極と前記した他方
の音叉腕の溝の内部に配置された電極は同極となるよう
に振動子駆動用電極として配置され、他方の音叉型屈曲
水晶振動子の音叉腕の溝の内部の側面には互いに異極と
なる電極が配置され、溝の内部に配置された側面の電極
と対抗する音叉腕の側面電極は互いに異極となるように
角速度検出用電極を配置している。このように構成する
ことにより課題を解決している。
【００１２】
【作用】このように、本発明は屈曲振動モードで振動す
る音叉型屈曲水晶振動子で、しかも、音叉腕の中立線を
挟んだ中央部に溝を設け、且つ、この溝の内部に振動子
駆動用電極と角速度検出用電極を配置することにより、
小型で、しかも角速度の高い検出感度を有する水晶角速
度センサが得られる。
る音叉型屈曲水晶振動子で、しかも、音叉腕の中立線を
挟んだ中央部に溝を設け、且つ、この溝の内部に振動子
駆動用電極と角速度検出用電極を配置することにより、
小型で、しかも角速度の高い検出感度を有する水晶角速
度センサが得られる。
【００１３】
【本発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に
基づき具体例を述べる。 （実施例１）図１は本発明の屈曲振動モードで振動する
音叉型屈曲水晶振動子１の外観図とその水晶座標系を示
す。水晶座標系は原点０、電気軸ｘ、機械軸ｙ、光軸ｚ
からなり０−ｘｙｚを構成している。図1では、音叉型
屈曲水晶振動子１はｘ軸を回転軸としてθ度回転してい
る。このとき、ｙ，ｚの新軸をｙ´，ｚ´軸とする。角
度θは通常は０°〜１５°の範囲に選ばれる。本発明の
音叉型屈曲振動子１は音叉腕２と音叉腕３と音叉基部４
を具えて構成され、音叉腕２と音叉腕３は音叉基部４に
接続されている。更に、音叉腕２の上面には中立線を挟
んで溝５が音叉腕３の上面には同様に溝６が設けられて
いる。
基づき具体例を述べる。 （実施例１）図１は本発明の屈曲振動モードで振動する
音叉型屈曲水晶振動子１の外観図とその水晶座標系を示
す。水晶座標系は原点０、電気軸ｘ、機械軸ｙ、光軸ｚ
からなり０−ｘｙｚを構成している。図1では、音叉型
屈曲水晶振動子１はｘ軸を回転軸としてθ度回転してい
る。このとき、ｙ，ｚの新軸をｙ´，ｚ´軸とする。角
度θは通常は０°〜１５°の範囲に選ばれる。本発明の
音叉型屈曲振動子１は音叉腕２と音叉腕３と音叉基部４
を具えて構成され、音叉腕２と音叉腕３は音叉基部４に
接続されている。更に、音叉腕２の上面には中立線を挟
んで溝５が音叉腕３の上面には同様に溝６が設けられて
いる。
【００１４】図２は図１の音叉型屈曲水晶振動子１の正
面図を示す。図２では音叉腕２，３に設けられた溝５，
６の配置及び寸法等を詳述する。音叉腕２の中立線７を
挟むようにして溝５が設けられている。他方の音叉腕３
の中立線８を挟んで溝６が設けられている。溝５と６の
溝幅ｗ2は中立線７，８を挟んだ寸法が好ましい。この
理由は屈曲振動モードを引き起こすとき、音叉腕２，３
の振動を容易にすることができる。換言するならば、等
価直列抵抗R1の小さい、Q値の高い水晶振動子が実現で
きる。音叉腕２，３の全幅ｗはｗ＝ｗ１＋ｗ２＋ｗ３で
与えられ、幅部分ｗ１とｗ３はｗ１＝ｗ３となるように
設計される。又、溝幅ｗ２はｗ２≧ｗ１，ｗ３を満足す
るように通常は設計する。一方、音叉碗の長さｌには長
さｌ1の溝５，６が設けられていて、長さｌ1は振動モー
ドの次数によって決定される。例えば、基本波振動モー
ドでは溝の長さｌ1は音叉碗の長さｌの半分前後になる
ように設計される。図２の実施例では音叉腕２，３に溝
５，６を設け、音叉基部４の長さｌ2上にまで延在して
いない。又、音叉型屈曲水晶振動子１の音叉腕の全幅ｗ
や長さｌは要求される周波数や角速度の検出感度や振動
子を収納する容器の大きさから決定される。図示されて
いないが図２の音叉型屈曲水晶振動子１は厚みｔを有す
る振動子である。
面図を示す。図２では音叉腕２，３に設けられた溝５，
６の配置及び寸法等を詳述する。音叉腕２の中立線７を
挟むようにして溝５が設けられている。他方の音叉腕３
の中立線８を挟んで溝６が設けられている。溝５と６の
溝幅ｗ2は中立線７，８を挟んだ寸法が好ましい。この
理由は屈曲振動モードを引き起こすとき、音叉腕２，３
の振動を容易にすることができる。換言するならば、等
価直列抵抗R1の小さい、Q値の高い水晶振動子が実現で
きる。音叉腕２，３の全幅ｗはｗ＝ｗ１＋ｗ２＋ｗ３で
与えられ、幅部分ｗ１とｗ３はｗ１＝ｗ３となるように
設計される。又、溝幅ｗ２はｗ２≧ｗ１，ｗ３を満足す
るように通常は設計する。一方、音叉碗の長さｌには長
さｌ1の溝５，６が設けられていて、長さｌ1は振動モー
ドの次数によって決定される。例えば、基本波振動モー
ドでは溝の長さｌ1は音叉碗の長さｌの半分前後になる
ように設計される。図２の実施例では音叉腕２，３に溝
５，６を設け、音叉基部４の長さｌ2上にまで延在して
いない。又、音叉型屈曲水晶振動子１の音叉腕の全幅ｗ
や長さｌは要求される周波数や角速度の検出感度や振動
子を収納する容器の大きさから決定される。図示されて
いないが図２の音叉型屈曲水晶振動子１は厚みｔを有す
る振動子である。
【００１５】図３は図２の音叉型屈曲水晶振動子１のａ
−ａ´断面図を示す。音叉腕３には中立線を挟んで溝６
と１３が設けられている。更に、溝６内部には電極１１
が溝１３内部には電極１２が配置され、これらは同極と
なるように配置されている。又、音叉腕３の側面には同
極となる電極９と１０が配置されている。ここで電極１
１，１２と対抗する電極９，１０は互いに異極となるよ
うに構成されている。即ち、振動子駆動用電極として配
置され２電極端子Ａ−Ｂを構成する。
−ａ´断面図を示す。音叉腕３には中立線を挟んで溝６
と１３が設けられている。更に、溝６内部には電極１１
が溝１３内部には電極１２が配置され、これらは同極と
なるように配置されている。又、音叉腕３の側面には同
極となる電極９と１０が配置されている。ここで電極１
１，１２と対抗する電極９，１０は互いに異極となるよ
うに構成されている。即ち、振動子駆動用電極として配
置され２電極端子Ａ−Ｂを構成する。
【００１６】今、電極端子Ａ−Ｂ間に交流電圧を印加す
ると実線と点線の矢印で示したｘ軸方向に電界Ｅxが交
互に働き、屈曲振動がｘ−ｙ´平面内で生じる。音叉腕
２にも音叉腕３と同様に溝５と２２が設けられている。
溝５の内部の側面には電極１６と１９が配置され、これ
らの電極１６と１９は互いに異極となるように構成され
る。更に、溝２２の内部の側面には電極１５と２０が配
置され、これらの電極１５と２０も異極となるように構
成される。又、音叉腕２の側面には電極１４，１８，２
１と１７が配置されていて、溝の内部の側面に配置され
た電極１５，１６，１９，２０と対抗する音叉腕の側面
溝の内部の側面に配置された電極１８，２１，１４，１
７は互いに異極となるように構成されている。即ち、角
速度検出用電極として配置され２電極端子Ｃ−Ｄを構成
する。
ると実線と点線の矢印で示したｘ軸方向に電界Ｅxが交
互に働き、屈曲振動がｘ−ｙ´平面内で生じる。音叉腕
２にも音叉腕３と同様に溝５と２２が設けられている。
溝５の内部の側面には電極１６と１９が配置され、これ
らの電極１６と１９は互いに異極となるように構成され
る。更に、溝２２の内部の側面には電極１５と２０が配
置され、これらの電極１５と２０も異極となるように構
成される。又、音叉腕２の側面には電極１４，１８，２
１と１７が配置されていて、溝の内部の側面に配置され
た電極１５，１６，１９，２０と対抗する音叉腕の側面
溝の内部の側面に配置された電極１８，２１，１４，１
７は互いに異極となるように構成されている。即ち、角
速度検出用電極として配置され２電極端子Ｃ−Ｄを構成
する。
【００１７】今、振動子駆動端子Ａ−Ｂ間に交流電圧を
印加すると両音叉腕２，３はｘ−ｙ´平面で屈曲運動を
する。更に、ｙ´軸廻りに角速度ωを加えると、ｘ−ｙ
´平面に垂直となる方向に角速度ωに応じたコリオリ力
が発生し屈曲振動を引き起こす。この時、音叉腕２には
実線と点線の矢印で示したようなｘ軸方向の電界Ｅx1が
生じる。この場合、ｘ軸方向の電界方向Ｅx1とその和が
非常に大きくなるので、角速度検出端子Ｃ−Ｄ間に発生
する電圧が非常に大きくなり、振動子を小型化した場合
でも角速度の高い検出感度が得られる。
印加すると両音叉腕２，３はｘ−ｙ´平面で屈曲運動を
する。更に、ｙ´軸廻りに角速度ωを加えると、ｘ−ｙ
´平面に垂直となる方向に角速度ωに応じたコリオリ力
が発生し屈曲振動を引き起こす。この時、音叉腕２には
実線と点線の矢印で示したようなｘ軸方向の電界Ｅx1が
生じる。この場合、ｘ軸方向の電界方向Ｅx1とその和が
非常に大きくなるので、角速度検出端子Ｃ−Ｄ間に発生
する電圧が非常に大きくなり、振動子を小型化した場合
でも角速度の高い検出感度が得られる。
【００１８】（実施例２）図４は本発明の音叉型屈曲水
晶振動子２３の正面図で他の実施例を示す。音叉腕２４
と２５は音叉基部２８に接続されている。音叉腕２４と
２５に設けられた溝２６と２７は音叉基部２８まで延在
して設けられている。又、音叉腕２４，２５の側面と溝
２６と２７の内部には図３で説明した電極が同じように
配置されている。このように、音叉腕２４，２５に設け
られた溝を音叉基部２８にまで延在することにより音叉
型屈曲水晶振動子２３の振動による電気機械変換効率が
より大きくなるので、角速度の検出感度をより高くでき
る。
晶振動子２３の正面図で他の実施例を示す。音叉腕２４
と２５は音叉基部２８に接続されている。音叉腕２４と
２５に設けられた溝２６と２７は音叉基部２８まで延在
して設けられている。又、音叉腕２４，２５の側面と溝
２６と２７の内部には図３で説明した電極が同じように
配置されている。このように、音叉腕２４，２５に設け
られた溝を音叉基部２８にまで延在することにより音叉
型屈曲水晶振動子２３の振動による電気機械変換効率が
より大きくなるので、角速度の検出感度をより高くでき
る。
【００１９】（実施例３）図５は本発明の音叉型屈曲水
晶振動子２９の正面図で他の実施例を示す。音叉腕３０
と３１には前記音叉腕と音叉基部３２にまで延在して設
けられた溝３３と３４が設けられている。更に、音叉基
部３２に設けられた溝３３と３４の間には２つの溝３５
と３６が設けられている。又、溝３５と３６の間には突
出部３７が設けられている。更に、音叉腕３０と３１の
中立線３８と３９で示される。
晶振動子２９の正面図で他の実施例を示す。音叉腕３０
と３１には前記音叉腕と音叉基部３２にまで延在して設
けられた溝３３と３４が設けられている。更に、音叉基
部３２に設けられた溝３３と３４の間には２つの溝３５
と３６が設けられている。又、溝３５と３６の間には突
出部３７が設けられている。更に、音叉腕３０と３１の
中立線３８と３９で示される。
【００２０】図６は図５の音叉型屈曲振動子２９のｂ−
ｂ´断面図を示す。音叉腕３１には中立線を挟んで溝３
４と４４が設けられている。更に、溝３４と４４の内部
には電極４２と４３が配置され、これらは同極になるよ
うに構成されている。音叉基部３２に設けられた溝３６
と５５には同極となる電極４１と４５が配置されてい
る。この電極４１と４５は音叉基部３２の側面に配置さ
れた電極４０と同極となるように構成されている。更
に、音叉腕３１の両側面にも電極４０と同極となる電極
が配置されている。ここで、溝３４に設けられた電極４
２，４３と対抗する電極４０，４１と４５は互いに異極
となるように構成されている。即ち、振動子駆動用電極
として配置されて２電極端子Ｅ−Ｆを構成する。
ｂ´断面図を示す。音叉腕３１には中立線を挟んで溝３
４と４４が設けられている。更に、溝３４と４４の内部
には電極４２と４３が配置され、これらは同極になるよ
うに構成されている。音叉基部３２に設けられた溝３６
と５５には同極となる電極４１と４５が配置されてい
る。この電極４１と４５は音叉基部３２の側面に配置さ
れた電極４０と同極となるように構成されている。更
に、音叉腕３１の両側面にも電極４０と同極となる電極
が配置されている。ここで、溝３４に設けられた電極４
２，４３と対抗する電極４０，４１と４５は互いに異極
となるように構成されている。即ち、振動子駆動用電極
として配置されて２電極端子Ｅ−Ｆを構成する。
【００２１】又、音叉腕３０と接続される音叉基部３２
には溝３３と５７が設けられ、その内部には互いに異極
となる電極５２と４９及び電極４８と５３が配置されて
いる。更に、溝３５には電極４７が溝５６には電極５１
が配置され、音叉基部３２の側面には電極５０，５４が
配置されている。換言するならば、溝３３と５７の側面
に配置された電極４８，４９，５２，５３と対抗して側
面に配置された電極５１，５４，４７，５０は互いに異
極となるように構成されている。即ち、角速度検出用と
して配置され２電極端子Ｇ−Ｈを構成する。
には溝３３と５７が設けられ、その内部には互いに異極
となる電極５２と４９及び電極４８と５３が配置されて
いる。更に、溝３５には電極４７が溝５６には電極５１
が配置され、音叉基部３２の側面には電極５０，５４が
配置されている。換言するならば、溝３３と５７の側面
に配置された電極４８，４９，５２，５３と対抗して側
面に配置された電極５１，５４，４７，５０は互いに異
極となるように構成されている。即ち、角速度検出用と
して配置され２電極端子Ｇ−Ｈを構成する。
【００２２】今、振動子駆動端子Ｅ−Ｆ間に交流電圧を
印加すると実線と点線の矢印で示したｘ軸方向に電界Ｅ
x2が交互に働き、両音叉腕３０と３１はｘ−ｙ´平面で
屈曲振動を行う。更に、ｙ´軸廻りに角速度ωを加える
とｘ−ｙ´平面に垂直となる方向に角速度ωに応じたコ
リオリ力が生じ屈曲振動を引き起こす。この時、音叉腕
３０と音叉基部３２には実線と点線の矢印で示したよう
なｘ軸方向の電界Ｅx3が生じる。この場合、ｘ軸方向の
電界Ｅx3とその和が非常に大きくなるので、角速度検出
端子Ｇ−Ｈ間に発生する電圧が非常に大きくなる。それ
故、角速度センサを小型化した場合でも角速度の高い検
出感度が得られる。
印加すると実線と点線の矢印で示したｘ軸方向に電界Ｅ
x2が交互に働き、両音叉腕３０と３１はｘ−ｙ´平面で
屈曲振動を行う。更に、ｙ´軸廻りに角速度ωを加える
とｘ−ｙ´平面に垂直となる方向に角速度ωに応じたコ
リオリ力が生じ屈曲振動を引き起こす。この時、音叉腕
３０と音叉基部３２には実線と点線の矢印で示したよう
なｘ軸方向の電界Ｅx3が生じる。この場合、ｘ軸方向の
電界Ｅx3とその和が非常に大きくなるので、角速度検出
端子Ｇ−Ｈ間に発生する電圧が非常に大きくなる。それ
故、角速度センサを小型化した場合でも角速度の高い検
出感度が得られる。
【００２３】（実施例４）図７は本発明の音叉型屈曲水
晶振動子５８の正面図で他の実施例を示す。音叉型屈曲
水晶振動子５８は音叉腕５９、６０と音叉基部６１を具
えて構成されている。本実施例では、音叉基部６１にの
み溝６２，６３，６４と６５が設けられている。溝６２
と６３は音叉腕５９と６０から音叉基部６１に延在する
位置に設けられている。そして、溝６４と６５は溝６２
と６３の間に設けられている。電極配置及びその構成法
は図示されていないが、図６で説明した電極配置とその
構成法と同じである。
晶振動子５８の正面図で他の実施例を示す。音叉型屈曲
水晶振動子５８は音叉腕５９、６０と音叉基部６１を具
えて構成されている。本実施例では、音叉基部６１にの
み溝６２，６３，６４と６５が設けられている。溝６２
と６３は音叉腕５９と６０から音叉基部６１に延在する
位置に設けられている。そして、溝６４と６５は溝６２
と６３の間に設けられている。電極配置及びその構成法
は図示されていないが、図６で説明した電極配置とその
構成法と同じである。
【００２４】（実施例５）図８は本発明の音叉型屈曲水
晶振動子６６の正面図で他の実施例を示す。音叉型屈曲
水晶振動子６６は音叉腕６７と６８と音叉基部６９を具
えて構成されている。音叉腕６７と６８には音叉基部６
９にまで延在して設けられた溝７０と７１が存在する。
又、音叉基部６９に設けられた溝７０と７１の間には溝
７２が設けられている。本実施例では図５で設けられて
いた突出物３７と４６は設けられていない。溝７２の深
さは溝７０と７１の深さと同等であれば十分である。
又、電極構成は図６と全く同じで、形状では図６の突出
部３７と４６が無い形状である。効果は図５と図６の振
動子と全く同じ効果を示す。
晶振動子６６の正面図で他の実施例を示す。音叉型屈曲
水晶振動子６６は音叉腕６７と６８と音叉基部６９を具
えて構成されている。音叉腕６７と６８には音叉基部６
９にまで延在して設けられた溝７０と７１が存在する。
又、音叉基部６９に設けられた溝７０と７１の間には溝
７２が設けられている。本実施例では図５で設けられて
いた突出物３７と４６は設けられていない。溝７２の深
さは溝７０と７１の深さと同等であれば十分である。
又、電極構成は図６と全く同じで、形状では図６の突出
部３７と４６が無い形状である。効果は図５と図６の振
動子と全く同じ効果を示す。
【００２５】（実施例６）図９は本発明の音叉型屈曲水
晶振動子７３の正面図で他の実施例を示す。音叉腕７４
には中立線８１に対称に溝７７と７８が設けられ、音叉
基部７６まで延在している。他方の音叉腕７５にも同様
に中立線８２に対称に溝７９と８０が音叉基部７６まで
延在して設けられている。
晶振動子７３の正面図で他の実施例を示す。音叉腕７４
には中立線８１に対称に溝７７と７８が設けられ、音叉
基部７６まで延在している。他方の音叉腕７５にも同様
に中立線８２に対称に溝７９と８０が音叉基部７６まで
延在して設けられている。
【００２６】図１０は図９の音叉型屈曲水晶振動子７６
のｃ−ｃ´断面図を示す。音叉腕７５には溝７９，８
０，９９と１００が設けられている。又、これらの溝の
内部には電極８９，９０，９１が配置され、同極となる
ように構成されている。音叉腕７５の側面には同極とな
る電極８３と８４が配置されている。即ち、音叉腕７５
の側面に配置された電極８３と８４に対抗する溝の側面
に配置された電極８９，９０と９１と９２は互いに異極
となるように構成される。即ち、振動子駆動用電極とし
て配置され２電極端子Ｉ−Ｊを構成する。
のｃ−ｃ´断面図を示す。音叉腕７５には溝７９，８
０，９９と１００が設けられている。又、これらの溝の
内部には電極８９，９０，９１が配置され、同極となる
ように構成されている。音叉腕７５の側面には同極とな
る電極８３と８４が配置されている。即ち、音叉腕７５
の側面に配置された電極８３と８４に対抗する溝の側面
に配置された電極８９，９０と９１と９２は互いに異極
となるように構成される。即ち、振動子駆動用電極とし
て配置され２電極端子Ｉ−Ｊを構成する。
【００２７】更に、音叉腕７４にも溝７７，７８，１０
３，１０４が設けられていて、各溝に電極８６，９５，
９４，８７が配置されている。又、音叉腕７４の側面に
は電極８５，９３，８８と９６が配置されている。そし
て電極８５，８６，８７，８８は同極に、電極９３，９
４，９５，９６は同極になるように構成されている。換
言するならば、音叉腕７４の側面に配置された電極８
５，９３，８８，９６に対抗する溝１０３，７８，７
７，１０４の側面に配置された電極９４，８６，９５，
８７は互いに異極となるように構成されている。即ち、
角速度検出用電極として配置され２電極端子Ｋ−Ｌを構
成する。
３，１０４が設けられていて、各溝に電極８６，９５，
９４，８７が配置されている。又、音叉腕７４の側面に
は電極８５，９３，８８と９６が配置されている。そし
て電極８５，８６，８７，８８は同極に、電極９３，９
４，９５，９６は同極になるように構成されている。換
言するならば、音叉腕７４の側面に配置された電極８
５，９３，８８，９６に対抗する溝１０３，７８，７
７，１０４の側面に配置された電極９４，８６，９５，
８７は互いに異極となるように構成されている。即ち、
角速度検出用電極として配置され２電極端子Ｋ−Ｌを構
成する。
【００２８】（実施例７）図１１は本発明の音叉型屈曲
水晶振動子１０５と１０６が両方の音叉基部１１０と１
１５で接続されたＨ型屈曲水晶振動子１０７の正面図で
ある。音叉型屈曲水晶振動子１０５は音叉腕１０８と１
０９と音叉基部１１０を具えて構成されている。又、音
叉腕１０８と１０９には中立線を挟んで溝１１１と１１
２が設けられている。図示されていないが溝１１１と１
１２の内部の側面には電極が配置されている。更に、音
叉型屈曲水晶振動子１０６は音叉腕１１３と１１４と音
叉基部１１５を具えて構成されている。音叉腕１１３と
１１４には中立線を挟んで溝１１６と１１７が設けら
れ、図示されていないが溝１１６と１１７の内部の側面
には電極が配置されている。
水晶振動子１０５と１０６が両方の音叉基部１１０と１
１５で接続されたＨ型屈曲水晶振動子１０７の正面図で
ある。音叉型屈曲水晶振動子１０５は音叉腕１０８と１
０９と音叉基部１１０を具えて構成されている。又、音
叉腕１０８と１０９には中立線を挟んで溝１１１と１１
２が設けられている。図示されていないが溝１１１と１
１２の内部の側面には電極が配置されている。更に、音
叉型屈曲水晶振動子１０６は音叉腕１１３と１１４と音
叉基部１１５を具えて構成されている。音叉腕１１３と
１１４には中立線を挟んで溝１１６と１１７が設けら
れ、図示されていないが溝１１６と１１７の内部の側面
には電極が配置されている。
【００２９】図１２は図１１のＨ型水晶振動子１０７の
ｄ−ｄ´断面図である。音叉型１０９には中立線を挟ん
で溝１１２と１２７が設けられている。溝１１２と１２
７の内部には同極となる電極１２２と１２３が配置され
ている。更に、音叉腕１０９の両側面には同極となる電
極１１８と１１９が配置されている。また、音叉腕１０
８には中立線を挟んで溝１１１と１２９が設けられてい
る。溝１１１と１２９の内部には同極となる電極１２０
と１２１が配置されている。更に、音叉腕１０８の両側
面には同極となる電極１２４と１２５が配置されてい
る。換言するならば、電極１１８，１１９，１２０，１
２１は同極に、又、電極１２２，１２３，１２４，１２
５は同極になるように配置され、前記電極とは異極とな
る。更に、詳述するならば、音叉腕１０８と１０９の側
面に配置された電極１１８，１１９，１２４，１２５は
溝１１２，１２７，１１１，１２９の内部の側面に対抗
して配置された電極１２２，１２３，１２０，１２１と
は互いに異極となるように構成されている。即ち、振動
子駆動用電極として配置され２電極端子Ｍ−Ｎを構成す
る。
ｄ−ｄ´断面図である。音叉型１０９には中立線を挟ん
で溝１１２と１２７が設けられている。溝１１２と１２
７の内部には同極となる電極１２２と１２３が配置され
ている。更に、音叉腕１０９の両側面には同極となる電
極１１８と１１９が配置されている。また、音叉腕１０
８には中立線を挟んで溝１１１と１２９が設けられてい
る。溝１１１と１２９の内部には同極となる電極１２０
と１２１が配置されている。更に、音叉腕１０８の両側
面には同極となる電極１２４と１２５が配置されてい
る。換言するならば、電極１１８，１１９，１２０，１
２１は同極に、又、電極１２２，１２３，１２４，１２
５は同極になるように配置され、前記電極とは異極とな
る。更に、詳述するならば、音叉腕１０８と１０９の側
面に配置された電極１１８，１１９，１２４，１２５は
溝１１２，１２７，１１１，１２９の内部の側面に対抗
して配置された電極１２２，１２３，１２０，１２１と
は互いに異極となるように構成されている。即ち、振動
子駆動用電極として配置され２電極端子Ｍ−Ｎを構成す
る。
【００３０】図１３は図１１のＨ型屈曲水晶振動子１０
７の音叉腕１１３と１１４のｅ−ｅ´断面図を示す。音
叉腕１１４には中立線を挟んで溝１１７と１４７が設け
られている。溝１１７の内部の側面には互いに異極とな
る電極１３９と１３２が配置されている。又、溝１４７
の内部の側面には互いに異極となる電極１３１と１４０
が配置され、右側の側面にも異極となる電極１４１と１
３３が配置されている。即ち、溝の内部の側面に配置さ
れた電極１３９，１３２，１３１，１４０と対抗する音
叉腕１１４の側面に配置された電極１３０，１４１，１
３８，１３３は互いに異極となるように構成されてい
る。又、音叉腕１１３には中立線を挟んで溝１１６と１
４９が設けられている。溝１１６の内部の側面には互い
に異極となる電極１３５と１４４が配置されている。更
に、溝１４９の内部の側面には互いに異極となる電極１
４３と１３６が配置されている。
７の音叉腕１１３と１１４のｅ−ｅ´断面図を示す。音
叉腕１１４には中立線を挟んで溝１１７と１４７が設け
られている。溝１１７の内部の側面には互いに異極とな
る電極１３９と１３２が配置されている。又、溝１４７
の内部の側面には互いに異極となる電極１３１と１４０
が配置され、右側の側面にも異極となる電極１４１と１
３３が配置されている。即ち、溝の内部の側面に配置さ
れた電極１３９，１３２，１３１，１４０と対抗する音
叉腕１１４の側面に配置された電極１３０，１４１，１
３８，１３３は互いに異極となるように構成されてい
る。又、音叉腕１１３には中立線を挟んで溝１１６と１
４９が設けられている。溝１１６の内部の側面には互い
に異極となる電極１３５と１４４が配置されている。更
に、溝１４９の内部の側面には互いに異極となる電極１
４３と１３６が配置されている。
【００３１】又、音叉腕１１３の左側の側面には異極と
なる電極１４２と１３４が右側の側面にも異極となる電
極１３７と１４５が配置されている。即ち、溝の内部の
側面に配置された電極１３５，１４４，１４３，１３６
と対抗する音叉腕１１３の側面に配置された電極１４
２，１３７，１３４，１４５は互いに異極となるように
構成される。換言するならば、電極１３０，１３１，１
３２，１３３，１３４，１３５，１３６，１３７は同極
に、又、電極１３８，１３９，１４０，１４１，１４
２，１４３，１４４，１４５は同極になるように配置さ
れ、前記電極とは異極となるように構成される。即ち、
角速度検出用電極として配置され２電極端子Ｏ−Ｐを構
成する。
なる電極１４２と１３４が右側の側面にも異極となる電
極１３７と１４５が配置されている。即ち、溝の内部の
側面に配置された電極１３５，１４４，１４３，１３６
と対抗する音叉腕１１３の側面に配置された電極１４
２，１３７，１３４，１４５は互いに異極となるように
構成される。換言するならば、電極１３０，１３１，１
３２，１３３，１３４，１３５，１３６，１３７は同極
に、又、電極１３８，１３９，１４０，１４１，１４
２，１４３，１４４，１４５は同極になるように配置さ
れ、前記電極とは異極となるように構成される。即ち、
角速度検出用電極として配置され２電極端子Ｏ−Ｐを構
成する。
【００３２】今、振動子駆動端子Ｍ−Ｎ間に交流電圧を
印加すると、実線と点線の矢印で示したｘ軸方向に電界
Ｅx4が交互に働き、両音叉腕１０８と１０９はｘ−ｙ´
平面で屈曲振動する。更に、ｙ´軸廻りに角速度ωを加
えると、ｘ−ｙ´平面に垂直となる方向に角速度ωに応
じたコリオリ力が生じ屈曲振動を引き起こす。この場
合、ｘ軸方向の電界Ｅx5とその和が非常に大きくなるの
で、角速度検出端子Ｏ−Ｐ間に発生する電圧が非常に大
きくなる。それ故、角速度センサを小型化しても角速度
の高い検出感度が得られる。
印加すると、実線と点線の矢印で示したｘ軸方向に電界
Ｅx4が交互に働き、両音叉腕１０８と１０９はｘ−ｙ´
平面で屈曲振動する。更に、ｙ´軸廻りに角速度ωを加
えると、ｘ−ｙ´平面に垂直となる方向に角速度ωに応
じたコリオリ力が生じ屈曲振動を引き起こす。この場
合、ｘ軸方向の電界Ｅx5とその和が非常に大きくなるの
で、角速度検出端子Ｏ−Ｐ間に発生する電圧が非常に大
きくなる。それ故、角速度センサを小型化しても角速度
の高い検出感度が得られる。
【００３３】（実施例８）図１４は本発明の音叉型屈曲
水晶振動子１５０と１５１が両方の音叉基部１５５と１
６２で接続されたＨ型屈曲水晶振動子１５２の正面図で
他の実施例である。音叉型屈曲水晶振動子１５０は音叉
腕１５３と１５４と音叉基部１５５を具えて構成されて
いる。又、音叉腕１５３と１５４には中立線１６７と１
６８の両側に溝１５６と１５７及び溝１５８と１５９が
設けられている。更に、音叉型屈曲水晶振動子１５１は
音叉腕１６０と１６１と音叉基部１６２を具えて構成さ
れている。音叉腕１６０と１６１には中立線１６７と１
６８の両側に溝１６３と１６４及び溝１６５と１６６が
設けられている。
水晶振動子１５０と１５１が両方の音叉基部１５５と１
６２で接続されたＨ型屈曲水晶振動子１５２の正面図で
他の実施例である。音叉型屈曲水晶振動子１５０は音叉
腕１５３と１５４と音叉基部１５５を具えて構成されて
いる。又、音叉腕１５３と１５４には中立線１６７と１
６８の両側に溝１５６と１５７及び溝１５８と１５９が
設けられている。更に、音叉型屈曲水晶振動子１５１は
音叉腕１６０と１６１と音叉基部１６２を具えて構成さ
れている。音叉腕１６０と１６１には中立線１６７と１
６８の両側に溝１６３と１６４及び溝１６５と１６６が
設けられている。
【００３４】図１５は図１４のＨ型屈曲水晶振動子１５
２のｆ−ｆ´断面図である。音叉腕１５４には溝１５
８，１５９，１８１，１８２が設けられている。前記溝
の内部には同極となる１７５，１７６，１７７，１７８
が配置されている。又、音叉腕１５４の左側の側面には
電極１６９が右側の側面には電極１７０が同極となるよ
うに配置されている。音叉腕１５３には溝１５７，１５
６，１８３，１８４が設けられている。前記溝の内部に
は電極１７１，１７２，１７３，１７４が同極となるよ
うに配置されている。換言するならば、電極１６９，１
７０，１７１，１７２，１７３，１７４は同極に、又、
電極１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８０
は同極になるように配置され、前記電極とは異極となる
ように構成される。即ち、振動子駆動用電極として配置
され２電極端子Ｑ−Ｒを構成する。
２のｆ−ｆ´断面図である。音叉腕１５４には溝１５
８，１５９，１８１，１８２が設けられている。前記溝
の内部には同極となる１７５，１７６，１７７，１７８
が配置されている。又、音叉腕１５４の左側の側面には
電極１６９が右側の側面には電極１７０が同極となるよ
うに配置されている。音叉腕１５３には溝１５７，１５
６，１８３，１８４が設けられている。前記溝の内部に
は電極１７１，１７２，１７３，１７４が同極となるよ
うに配置されている。換言するならば、電極１６９，１
７０，１７１，１７２，１７３，１７４は同極に、又、
電極１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８０
は同極になるように配置され、前記電極とは異極となる
ように構成される。即ち、振動子駆動用電極として配置
され２電極端子Ｑ−Ｒを構成する。
【００３５】図１６は図１４のＨ型屈曲水晶振動子１５
２のｇ−ｇ´断面図である。音叉腕１６１には中立線１
６８の外側に溝１６５，１６６，２０１と２０２が設け
られている。溝１６５，１６６，２０１と２０２の内部
には電極１９４，１８７，１８６と１９５が配置されて
いる。又、音叉腕１６１の側面にも電極１８５，１９
３，１９６，１８８が配置されている。又、音叉腕１６
０には電極１９７，１８９，１９２と２００が配置され
ている。換言するならば、電極１８５，１８６，１８
７，１８８，１８９，１９０，１９１と１９２は同極に
なるように配置され、電極１９３，１９４，１９５，１
９６，１９７，１９８，１９９と２００は同極になるよ
うに配置され、前期電極とは異極となるように構成され
ている。
２のｇ−ｇ´断面図である。音叉腕１６１には中立線１
６８の外側に溝１６５，１６６，２０１と２０２が設け
られている。溝１６５，１６６，２０１と２０２の内部
には電極１９４，１８７，１８６と１９５が配置されて
いる。又、音叉腕１６１の側面にも電極１８５，１９
３，１９６，１８８が配置されている。又、音叉腕１６
０には電極１９７，１８９，１９２と２００が配置され
ている。換言するならば、電極１８５，１８６，１８
７，１８８，１８９，１９０，１９１と１９２は同極に
なるように配置され、電極１９３，１９４，１９５，１
９６，１９７，１９８，１９９と２００は同極になるよ
うに配置され、前期電極とは異極となるように構成され
ている。
【００３６】更に詳述するならば、音叉型屈曲水晶振動
子の音叉腕１６０，１６１の溝１６３，１６４，１６
５，１６６，２０１，２０２，２０３と２０４の内部の
側面には互いに異極となる電極が配置され溝の内部の側
面に配置された電極と音叉腕の側面に対抗して配置され
た電極は互いに異極となるように構成される。即ち、角
速度検出用電極として配置され２電極端子Ｓ−Ｔを構成
する。
子の音叉腕１６０，１６１の溝１６３，１６４，１６
５，１６６，２０１，２０２，２０３と２０４の内部の
側面には互いに異極となる電極が配置され溝の内部の側
面に配置された電極と音叉腕の側面に対抗して配置され
た電極は互いに異極となるように構成される。即ち、角
速度検出用電極として配置され２電極端子Ｓ−Ｔを構成
する。
【００３７】（実施例９）図１７〜図２０は本発明のＨ
型屈曲水晶振動子２０５，２１０，２１６，２２３の振
動子形状の実施例を示す。図１７の音叉腕には溝が設け
られている。Ｈ型屈曲水晶振動子２０５は接続部２０６
と２０７を介してマウント部２０８と２０９に接続され
ている。図１８は他の実施例で、Ｈ型屈曲水晶振動子２
１０は接続部２１１と２１２及び支持フレーム２１３と
２１４を介してマウント部２１５に接続されている。図
１９は他の実施例で、Ｈ型屈曲振動子２１６は接続部２
１７と２１８及び減衰部２１９と２２０を介してマウン
ト部２２１と２２２に接続されている。
型屈曲水晶振動子２０５，２１０，２１６，２２３の振
動子形状の実施例を示す。図１７の音叉腕には溝が設け
られている。Ｈ型屈曲水晶振動子２０５は接続部２０６
と２０７を介してマウント部２０８と２０９に接続され
ている。図１８は他の実施例で、Ｈ型屈曲水晶振動子２
１０は接続部２１１と２１２及び支持フレーム２１３と
２１４を介してマウント部２１５に接続されている。図
１９は他の実施例で、Ｈ型屈曲振動子２１６は接続部２
１７と２１８及び減衰部２１９と２２０を介してマウン
ト部２２１と２２２に接続されている。
【００３８】図１７〜図１９で説明した接続部は２つの
音叉型屈曲水晶振動子が接続される音叉基部の両端付近
で接続される。図２０は他の実施例で、Ｈ型屈曲水晶振
動子２２３は音叉のＵ字部に設けられた接続部２２４と
２２５を介してマウント部２２６と２２７に接続され
る。本実施例では、水晶について詳述したが、他の圧電
材料、例えばランガサイト、ＬｉＴａＯ3、ＬｉＮｂＯ3
に適用できることは言うまでも無い。
音叉型屈曲水晶振動子が接続される音叉基部の両端付近
で接続される。図２０は他の実施例で、Ｈ型屈曲水晶振
動子２２３は音叉のＵ字部に設けられた接続部２２４と
２２５を介してマウント部２２６と２２７に接続され
る。本実施例では、水晶について詳述したが、他の圧電
材料、例えばランガサイト、ＬｉＴａＯ3、ＬｉＮｂＯ3
に適用できることは言うまでも無い。
【００３９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の振動子形状
と電極構成を有する音叉型あるいはH型屈曲水晶振動子
の水晶角速度センサを提供することにより、次の著しい
効果を有する。 （１）音叉碗の中立線を挟んで溝を設けるので電界が垂
直に働く。その結果、水晶振動子の電気機械変換効率が
良くなるので、角速度の高い検出感度が得られる。 （２）音叉腕の中立線の両側に溝を設けるので電界が垂
直に働く。即ち、水晶振動の電気機械変換効率が良くな
るので、角速度の高い検出感度が得られる。 （３）H型の屈曲水晶振動子は振動子駆動用部分と角速
度検出用部分とが独立しているので、角速度の高い検出
感度が得られる。 （４）小型化した場合でも角速度の高い検出感度が得ら
れる。 （５）エッチング法によって形成できるので、１枚のウ
エハ上に多数個の振動子を一度にバッチ処理できる。そ
れ故、量産性に優れ、安価な水晶角速度センサが実現で
きる。 （６）H型屈曲振動子は接続部を介してマウント部に接
続され、マウント部で支持・固定されるので、耐衝撃性
に優れた角速度センサが実現できる。
と電極構成を有する音叉型あるいはH型屈曲水晶振動子
の水晶角速度センサを提供することにより、次の著しい
効果を有する。 （１）音叉碗の中立線を挟んで溝を設けるので電界が垂
直に働く。その結果、水晶振動子の電気機械変換効率が
良くなるので、角速度の高い検出感度が得られる。 （２）音叉腕の中立線の両側に溝を設けるので電界が垂
直に働く。即ち、水晶振動の電気機械変換効率が良くな
るので、角速度の高い検出感度が得られる。 （３）H型の屈曲水晶振動子は振動子駆動用部分と角速
度検出用部分とが独立しているので、角速度の高い検出
感度が得られる。 （４）小型化した場合でも角速度の高い検出感度が得ら
れる。 （５）エッチング法によって形成できるので、１枚のウ
エハ上に多数個の振動子を一度にバッチ処理できる。そ
れ故、量産性に優れ、安価な水晶角速度センサが実現で
きる。 （６）H型屈曲振動子は接続部を介してマウント部に接
続され、マウント部で支持・固定されるので、耐衝撃性
に優れた角速度センサが実現できる。
【図１】 本発明の音叉型屈曲振動子の外観図とその水
晶座標系を示す。
晶座標系を示す。
【図２】 図１の音叉型屈曲振動子の正面図を示す。
【図３】 図２の音叉型屈曲振動子のａ−ａ´断面図を
示す。
示す。
【図４】 本発明の音叉型屈曲振動子の正面図で他の実
施例を示す。
施例を示す。
【図５】 本発明の音叉型屈曲振動子の正面図で他の実
施例を示す。
施例を示す。
【図６】 図５の音叉型屈曲振動子のｂ−ｂ´断面図を
示す。
示す。
【図７】 本発明の音叉型屈曲振動子の正面図で他の実
施例を示す。
施例を示す。
【図８】 本発明の音叉型屈曲振動子の正面図で他の実
施例を示す。
施例を示す。
【図９】 本発明の音叉型屈曲振動子の正面図で他の実
施例を示す。
施例を示す。
【図１０】 図９の音叉型屈曲振動子のｃ−ｃ´断面図
を示す。
を示す。
【図１１】 本発明のＨ型屈曲水晶振動子の正面図であ
る。
る。
【図１２】 図１１のＨ型屈曲振動子のｄ−ｄ´断面図
を示す。
を示す。
【図１３】 図１１のＨ型屈曲振動子のｅ−ｅ´断面図
を示す。
を示す。
【図１４】 本発明のＨ型屈曲水晶振動子の正面図で他
の実施例である。
の実施例である。
【図１５】 図１４のＨ型屈曲振動子のｆ−ｆ´断面図
を示す。
を示す。
【図１６】 図１４のＨ型屈曲振動子のｇ−ｇ´断面図
を示す。
を示す。
【図１７】 本発明のＨ型屈曲水晶振動子の振動子形状
の実施例を示す。
の実施例を示す。
【図１８】 本発明のＨ型屈曲水晶振動子の振動子形状
の実施例を示す。
の実施例を示す。
【図１９】 本発明のＨ型屈曲水晶振動子の振動子形状
の実施例を示す。
の実施例を示す。
【図２０】 本発明のＨ型屈曲水晶振動子の振動子形状
の実施例を示す。
の実施例を示す。
【図２１】 従来の音叉型屈曲水晶振動子の正面図を示
す。
す。
【図２２】 図２１の音叉型屈曲水晶振動子のｈ−ｈ´
断面図を示す。
断面図を示す。
【図２３】 従来のＨ型屈曲水晶振動子の正面図を示
す。
す。
【図２４】 図２３のＨ型屈曲水晶振動子のｉ−ｉ´断
面図を示す。
面図を示す。
【図２５】 図２３のＨ型屈曲水晶振動子のｊ−ｊ´断
面図を示す。
面図を示す。
ｘ 水晶の電気軸 ｙ 水晶の機械軸 ｚ 水晶の光軸 ｙ´ ｘ軸回転後のｙ軸の新軸 ｚ´ ｘ軸回転後のｚ軸の新軸 １，２３，２９，５８，６６，７３，１０５，１０６，
１５０，１５１，３１２，３１３ 音叉型屈曲水晶振動
子 １０７，１５２ Ｈ型屈曲水晶振動子 ３００ 圧電振動子 ２，３，２４，２５，３０，３１，５９，６０，６７，
６８，７４，７５，１０８，１０９，１１３，１１４，
１５３，１５４、１６０，１６１，３０１，３０２，３
１６，３１７，３１８，３１９ 音叉腕 ４，２８，３２，６１，６９，７６，１１０，１１５，
１５５，１６２，３０３，３１４，３１５ 音叉基部 ｗ 全幅 ｗ１，ｗ３ 幅部分 ｗ２ 溝幅 ｌ 音叉腕の長さ ｌ１ 音叉碗の溝の長さ ｌ２ 音叉基部の長さ θ 角度 ω 角速度 ｔ 音叉型屈曲水晶振動子の厚み ５，６，１３，２２，２６，２７，３３，３４，３５，
３６，４４，５５，５６，５７，６２，６３，６４，６
５，７０，７１，７２，７７，７８，７９，８０，９
９，１００，１０３，１０４，１１１，１１２，１１
６，１１７，１２７，１２９，１４７，１４９，１５
６，１５７，１５８，１５９，１６３，１６４，１６
５，１６６，１８１，１８２，１８３，１８４，２０
１，２０２，２０３，２０４ 溝 ９，１０，１１，１２，１４，１５，１６，１７，１
８，１９，２０，２１，４０，４１，４２，４３，４
５，４７，４８，４９，５０，５１，５２，５３，５
４，８３，８４，８５，８６，８７，８８，８９，９
０，９１，９２，９３，９４，９５，９６，１１８，１
１９，１２０，１２１，１２２，１２３，１２４，１２
５，１３０，１３１，１３２，１３３，１３４，１３
５，１３６，１３７，１３８，１３９，１４０，１４
１，１４２，１４３，１４４，１４５，１６９，１７
０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７
６，１７７，１７８，１７９，１８０，１８５，１８
６，１８７，１８８，１８９，１９０，１９１，１９
２，１９３，１９４，１９５，１９６，１９７，１９
８，１９９，２００，３０４，３０５，３０６，３０
７，３０８，３０９，３１０，３１１，３２０，３２
１，３２２，３２３，３２４，３２５，３２６，３２
７，３２８，３２９，３３０，３３１，３３２，３３
３，３３４，３３５ 電極 ７，８，３８，３９，８１，８２，１６７，１６８ 中
立線 Ａ−Ｂ，Ｃ−Ｄ，Ｅ−Ｆ，Ｇ−Ｈ，Ｉ−Ｊ，Ｋ−Ｌ，Ｍ
−Ｎ，Ｏ−Ｐ，Ｑ−Ｒ，Ｓ−Ｔ，ＡＡ−ＢＢ，ＣＣ−Ｄ
Ｄ，ＥＥ−ＦＦ，ＧＧ−ＨＨ ２電極端子 ３７，４６ 突出物 ａ−ａ´，ｂ−ｂ´，ｃ−ｃ´，ｄ−ｄ´，ｅ−ｅ´，
ｆ−ｆ´，ｇ−ｇ´，ｈ−ｈ´，ｉ−ｉ´，ｊ−ｊ´
断面記号 Ｅx，Ｅx1，Ｅx2，Ｅx3，Ｅx4，Ｅx5 ｘ軸方向の電界
１５０，１５１，３１２，３１３ 音叉型屈曲水晶振動
子 １０７，１５２ Ｈ型屈曲水晶振動子 ３００ 圧電振動子 ２，３，２４，２５，３０，３１，５９，６０，６７，
６８，７４，７５，１０８，１０９，１１３，１１４，
１５３，１５４、１６０，１６１，３０１，３０２，３
１６，３１７，３１８，３１９ 音叉腕 ４，２８，３２，６１，６９，７６，１１０，１１５，
１５５，１６２，３０３，３１４，３１５ 音叉基部 ｗ 全幅 ｗ１，ｗ３ 幅部分 ｗ２ 溝幅 ｌ 音叉腕の長さ ｌ１ 音叉碗の溝の長さ ｌ２ 音叉基部の長さ θ 角度 ω 角速度 ｔ 音叉型屈曲水晶振動子の厚み ５，６，１３，２２，２６，２７，３３，３４，３５，
３６，４４，５５，５６，５７，６２，６３，６４，６
５，７０，７１，７２，７７，７８，７９，８０，９
９，１００，１０３，１０４，１１１，１１２，１１
６，１１７，１２７，１２９，１４７，１４９，１５
６，１５７，１５８，１５９，１６３，１６４，１６
５，１６６，１８１，１８２，１８３，１８４，２０
１，２０２，２０３，２０４ 溝 ９，１０，１１，１２，１４，１５，１６，１７，１
８，１９，２０，２１，４０，４１，４２，４３，４
５，４７，４８，４９，５０，５１，５２，５３，５
４，８３，８４，８５，８６，８７，８８，８９，９
０，９１，９２，９３，９４，９５，９６，１１８，１
１９，１２０，１２１，１２２，１２３，１２４，１２
５，１３０，１３１，１３２，１３３，１３４，１３
５，１３６，１３７，１３８，１３９，１４０，１４
１，１４２，１４３，１４４，１４５，１６９，１７
０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７
６，１７７，１７８，１７９，１８０，１８５，１８
６，１８７，１８８，１８９，１９０，１９１，１９
２，１９３，１９４，１９５，１９６，１９７，１９
８，１９９，２００，３０４，３０５，３０６，３０
７，３０８，３０９，３１０，３１１，３２０，３２
１，３２２，３２３，３２４，３２５，３２６，３２
７，３２８，３２９，３３０，３３１，３３２，３３
３，３３４，３３５ 電極 ７，８，３８，３９，８１，８２，１６７，１６８ 中
立線 Ａ−Ｂ，Ｃ−Ｄ，Ｅ−Ｆ，Ｇ−Ｈ，Ｉ−Ｊ，Ｋ−Ｌ，Ｍ
−Ｎ，Ｏ−Ｐ，Ｑ−Ｒ，Ｓ−Ｔ，ＡＡ−ＢＢ，ＣＣ−Ｄ
Ｄ，ＥＥ−ＦＦ，ＧＧ−ＨＨ ２電極端子 ３７，４６ 突出物 ａ−ａ´，ｂ−ｂ´，ｃ−ｃ´，ｄ−ｄ´，ｅ−ｅ´，
ｆ−ｆ´，ｇ−ｇ´，ｈ−ｈ´，ｉ−ｉ´，ｊ−ｊ´
断面記号 Ｅx，Ｅx1，Ｅx2，Ｅx3，Ｅx4，Ｅx5 ｘ軸方向の電界
Claims (10)
- 【請求項１】 屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水
晶振動子で音叉腕の中立線を挟んだ中央部に溝を設け当
該溝の内部に振動子駆動用電極と角速度検出用電極を配
置した事を特徴とする水晶角速度センサ。 - 【請求項２】 音叉腕の中央部の上下面に溝を設け、一
方の音叉腕の溝の内部には同極となる電極が音叉腕の側
面には前記電極と異極となる電極が振動子駆動用電極と
して配置され、他方の音叉腕の溝の内部の側面には互い
に異極となる電極が配置され、溝の内部の側面に配置さ
れた電極と音叉腕の側面に対抗して配置された電極は互
いに異極となるように角速度検出用電極を配置した事を
特徴とする請求項１に記載の水晶角速度センサ。 - 【請求項３】 屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水
晶振動子で音叉基部に複数個の溝を設け当該溝の内部に
振動子駆動用電極と角速度検出用電極を配置した事を特
徴とする水晶角速度センサ。 - 【請求項４】 音叉腕の中立線を挟んだ中央部から延在
する音叉基部の上下面に溝を設け、更に、当該溝の間に
溝を設け、音叉腕の中央部から延在する一方の音叉基部
の溝の内部には同極となる電極が配置され、当該溝の側
面の電極と対抗する側面の電極は互いに異極となる電極
が振動子駆動用電極として配置され、音叉腕の中央部か
ら延在する他方の音叉基部の溝の内部の側面には互いに
異極となる電極が配置され、当該溝の側面の電極と対抗
する側面の電極には互いに異極となるように角速度検出
用電極を配置した事を特徴とする請求項３に記載の水晶
角速度センサ。 - 【請求項５】 屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲振
動子で音叉腕の上下面に複数個の溝を設け、一方の音叉
腕の溝の内部には同極となる電極が音叉腕の側面には異
極となる電極が振動子駆動用電極として配置され、他方
の音叉腕の溝の内部に配置された側面電極と対抗する音
叉腕の側面電極は互いに異極となるように角速度検出用
電極を設けた事を特徴とする水晶角速度センサ。 - 【請求項６】 音叉型屈曲水晶振動子が音叉基部で接続
されたH型屈曲水晶振動子において、音叉腕の中立線を
挟んだ中央部に溝を設け当該溝に振動子駆動用電極と角
速度検出用電極を配置した事を特徴とする水晶角速度セ
ンサ。 - 【請求項７】 １つの音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕の
中立線を挟んだ中央部の上下面の溝の内部には同極とな
る電極が音叉腕の側面に異極となる電極が配置され、一
方の音叉腕の溝の内部に配置された電極と他方の音叉腕
の側面に配置された電極は同極に、更に、前記した一方
の音叉腕の側面に配置された電極と前記した他方の音叉
腕の溝の内部に配置された電極は同極となるように振動
子駆動用電極として配置され、他方の音叉型屈曲水晶振
動子の音叉腕の溝の内部の側面には互いに異極となる電
極が配置され、溝の内部に配置された側面の電極と対抗
する音叉腕の側面電極は互いに異極となるように角速度
検出用電極を配置した事を特徴とする請求項６に記載の
水晶角速度センサ。 - 【請求項８】 音叉型屈曲水晶振動子が音叉基部で接続
されたH型屈曲水晶振動子において、各々の音叉腕の上
下面に複数個の溝を設け当該溝に振動子駆動用電極と角
速度検出用電極を配置した事を特徴とする水晶角速度セ
ンサ。 - 【請求項９】 １つの音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕の
上下面の溝の内部には同極となる電極が音叉腕の側面に
異極となる電極が配置され、各音叉腕に４個の溝を設け
一方の音叉腕の溝の内部に配置された電極と他方の音叉
腕の側面に配置された電極は同極に、更に、前記した一
方の音叉腕の側面に配置された電極と前記した他方の音
叉腕の溝の内部に配置された電極は同極となるように振
動子駆動用電極として配置され、他方の音叉型屈曲水晶
振動子の音叉腕の溝の内部の側面には互いに異極となる
電極が配置され、溝の内部の側面に配置された電極と音
叉腕の側面に対抗して配置された電極は互いに異極とな
るように角速度検出用電極を配置した事を特徴とする請
求項８に記載の水晶角速度センサ。 - 【請求項１０】 音叉型屈曲水晶振動子が音叉基部で接
続されたH型屈曲水晶振動子は接続部を介してマウント
部に接続されている事を特徴とする請求項６、又は請求
項８に記載の水晶角速度センサ。
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|---|---|
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Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7043986B2 (en) | 2003-02-05 | 2006-05-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Vibrators and vibratory gyroscopes |
| JP2006133004A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
| JP2006177944A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 角速度測定用トランデューサ |
| JP2006177945A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 角速度測定用トランデューサ |
| JP2006184176A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
| JP2006308359A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子及び慣性センサ素子の製造方法 |
| JP2006345519A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 小型のピエゾ電子共振器 |
| JP2007064826A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
| US9024508B2 (en) | 2011-06-27 | 2015-05-05 | Seiko Epson Corporation | Bending vibration piece, method for manufacturing the same and electronic device |
| US9083307B2 (en) | 2011-06-24 | 2015-07-14 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibrator element, electronic device, and method of manufacturing flexural vibrator element |
| JP2015141184A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 角速度センサ、センサ素子及びセンサ素子の製造方法 |
| JP2016085184A (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体 |
| CN106969760A (zh) * | 2015-10-28 | 2017-07-21 | 精工爱普生株式会社 | 物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体 |
| US9874484B2 (en) | 2014-03-24 | 2018-01-23 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity detecting device, electronic apparatus, and moving object |
| TWI718368B (zh) * | 2015-10-08 | 2021-02-11 | 日商村田製作所股份有限公司 | 水晶振動元件及具備該水晶振動元件之水晶振動子 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08184442A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法 |
| JPH09196680A (ja) * | 1996-01-16 | 1997-07-31 | Tokimec Inc | ジャイロ装置及びその製造方法 |
| JPH116735A (ja) * | 1997-06-18 | 1999-01-12 | Kinseki Ltd | 角速度センサ |
| JPH1172333A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-03-16 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープおよび直線加速度計 |
| WO2000044092A1 (fr) * | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Seiko Epson Corporation | Vibreur et dispositif electronique comportant un vibreur |
| JP2001235331A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | Seiko Epson Corp | 角速度検出装置 |
| JP3477618B2 (ja) * | 2000-10-31 | 2003-12-10 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 屈曲水晶振動子 |
-
2001
- 2001-05-11 JP JP2001141078A patent/JP2002340559A/ja active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08184442A (ja) * | 1994-12-28 | 1996-07-16 | Tokin Corp | 圧電振動ジャイロ用振動子及びその製造方法 |
| JPH09196680A (ja) * | 1996-01-16 | 1997-07-31 | Tokimec Inc | ジャイロ装置及びその製造方法 |
| JPH116735A (ja) * | 1997-06-18 | 1999-01-12 | Kinseki Ltd | 角速度センサ |
| JPH1172333A (ja) * | 1997-07-04 | 1999-03-16 | Ngk Insulators Ltd | 振動子、振動型ジャイロスコープおよび直線加速度計 |
| WO2000044092A1 (fr) * | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Seiko Epson Corporation | Vibreur et dispositif electronique comportant un vibreur |
| JP2001235331A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | Seiko Epson Corp | 角速度検出装置 |
| JP3477618B2 (ja) * | 2000-10-31 | 2003-12-10 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 屈曲水晶振動子 |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1898180A2 (en) | 2003-02-05 | 2008-03-12 | Ngk Insulators, Ltd. | Vibrators and vibratory gyroscopes |
| US7043986B2 (en) | 2003-02-05 | 2006-05-16 | Ngk Insulators, Ltd. | Vibrators and vibratory gyroscopes |
| EP1898180A3 (en) * | 2003-02-05 | 2010-01-20 | Seiko Epson Corporation | Vibrators and vibratory gyroscopes |
| EP1445579A3 (en) * | 2003-02-05 | 2007-02-21 | Ngk Insulators, Ltd. | Vibrators and vibratory gyroscopes |
| JP2006133004A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
| JP2006177944A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 角速度測定用トランデューサ |
| JP2006177945A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 角速度測定用トランデューサ |
| JP2006184176A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
| JP2006308359A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子及び慣性センサ素子の製造方法 |
| JP2006345519A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 小型のピエゾ電子共振器 |
| JP2007064826A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
| US9083307B2 (en) | 2011-06-24 | 2015-07-14 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibrator element, electronic device, and method of manufacturing flexural vibrator element |
| US9024508B2 (en) | 2011-06-27 | 2015-05-05 | Seiko Epson Corporation | Bending vibration piece, method for manufacturing the same and electronic device |
| JP2015141184A (ja) * | 2014-01-30 | 2015-08-03 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 角速度センサ、センサ素子及びセンサ素子の製造方法 |
| US9874484B2 (en) | 2014-03-24 | 2018-01-23 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity detecting device, electronic apparatus, and moving object |
| US10794778B2 (en) | 2014-03-24 | 2020-10-06 | Seiko Epson Corporation | Physical quantity detecting device, electronic apparatus, and moving object |
| JP2016085184A (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | センサー素子、物理量センサー、電子機器および移動体 |
| TWI718368B (zh) * | 2015-10-08 | 2021-02-11 | 日商村田製作所股份有限公司 | 水晶振動元件及具備該水晶振動元件之水晶振動子 |
| CN106969760A (zh) * | 2015-10-28 | 2017-07-21 | 精工爱普生株式会社 | 物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体 |
| CN106969760B (zh) * | 2015-10-28 | 2022-02-18 | 精工爱普生株式会社 | 物理量检测振动片、物理量检测装置、电子设备及移动体 |
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