JP2002228533A - 計測装置、および計測システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の圧力計測機器においては、被測定パイ
プの途中で分岐する測定用導管の径方向内面の筒内に流
体の澱みができて、被測定流体が滞留してしまうことが
あった。 【解決手段】 内側に流体が流れる、薄肉部３の肉厚が
他の部分の肉厚に比べて薄くなっている感圧ブロック２
と、薄肉部３の流体が流れる側とは異なる側に設けられ
た、薄肉部３の変形量を検出するための歪みゲージ５と
を備えた圧力計測機器。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば配管経路
内を流れる流体の圧力を計測するための計測装置、およ
び計測システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】管状配管内を流れる流体の圧力を検出す
るための従来の圧力計測機器としては、図１５、１６に
示すように、前後の配管ａに接続される被測定パイプｂ
の途中に分岐して設けられた測定用導管ｃに、被測定流
体ｄの圧力を検出するダイヤフラム等の受圧部ｅを備え
たブルドン管圧力計、および半導体ゲージ利用圧力計等
の圧力検出器ｆを取り付けるものが一般的であった。な
お、図１５は従来のサニタリー配管接続式の圧力計測機
器を説明するための模式図であり、図１６は従来の一般
的なねじ込み式の圧力計測機器を説明するための模式図
である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ようにして被測定流体ｄの圧力を検出する構成では、被
測定パイプｂの途中で分岐する測定用導管ｃの径方向内
面の筒内ｇに流体の澱みができて、被測定流体ｄが滞留
してしまう。

【０００４】たとえば、被測定流体ｄが牛乳やケチャッ
プ、マヨネーズ等の食品である場合には、筒内ｇに滞留
し、このまま長期に放置された被測定流体ｄは、外気温
の影響により劣化・腐敗し、細菌等が発生する要因とな
る。このため、頻繁に被測定パイプｂを前後の配管ａか
ら取り外し、被測定パイプｂ及び測定用導管ｃの筒内ｇ
を洗浄しなければならなかった。

【０００５】また、被測定流体ｄが装飾等に用いられる
塗料の場合にも、前述したように、筒内ｇに流体の澱み
ができて、被測定流体ｄが滞留してしまう。このため、
塗料の色を替えて送液すると、今回送液する塗料の色
が、前回送液した塗料の色と混ざってしまうことがあっ
た。

【０００６】また、被測定流体ｄが、電子機器・電池製
造分野などで用いられるセラミック粒子とバインダー及
び有機溶剤とを混合・分散した塗料、あるいは電池の構
成に必要不可欠となる正極及び負極活物質をバインダー
とともに水あるいは有機溶剤により混合・分散した塗料
である場合にも、前述したように、筒内ｇに塗料の澱み
ができて、被測定流体ｄは滞留してしまう。送液時間が
長くなるにしたがい、筒内ｇにおいて、次第に、塗料中
に含まれる粒子（いわゆる固形分）が残存し、溶媒とな
る水あるいは有機溶剤及びバインダー類が流れていく。
このため、滞留している部分では、塗料中に含まれてい
る溶媒となる水あるいは有機溶剤の濃度が、塗料化した
時の濃度に比べて低下し、ゲル状に固形分が上昇してし
まう。その結果、送液時の圧力測定を適正に行うことが
できなくなることがあった。なお、被測定パイプｂの途
中に分岐する測定用導管ｃ付近では、被測定流体ｄの送
液時の乱流が生じるために配管抵抗が大きくなる傾向が
あり、これも、送液時の圧力測定を適正に行うことがで
きなくなる原因と考えられる。

【０００７】本発明は、上記従来のこのような課題を考
慮し、たとえば、配管内に送液された流体の滞留をほと
んど誘起せずに、流体の圧力を測定できる計測装置、お
よび計測システムを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】第一の本発明（請求項１
に対応）は、内側に流体が流れる、所定の部分の肉厚が
他の部分の肉厚に比べて薄くなっている管状部材と、前
記所定の部分の前記流体が流れる側とは異なる側に設け
られた、前記所定の部分の変形量を検出するための検出
手段とを備えた計測装置である。

【０００９】第二の本発明（請求項２に対応）は、前記
検出手段の前記検出の結果は、前記流体の圧力および／
または粘度を算出するために利用される第一の本発明の
計測装置である。

【００１０】第三の本発明（請求項３に対応）は、前記
管状部材の内側の全部または一部は、所定の薄膜によっ
て薄膜コーティングされている第一または第二の本発明
の計測装置である。

【００１１】第四の本発明（請求項４に対応）は、前記
所定の部分の前記流体が流れる側とは異なる側に設けら
れた、前記所定の流体の温度を検出するための温度検出
手段を備えた第一または第二の本発明の計測装置であ
る。

【００１２】第五の本発明（請求項５に対応）は、前記
管状部材の外側には、前記流体の流れにともなう前記管
状部材の捩れによる変形を抑制するための捩れ防止溝が
設けられている第一または第二の本発明の計測装置であ
る。

【００１３】第六の本発明（請求項６に対応）は、内側
に流体が流れる、所定の部分の肉厚が他の部分の肉厚に
比べて薄くなっている管状部材と、前記所定の部分の前
記流体が流れる側とは異なる側に設けられた、前記所定
の部分の変形量を検出するための検出手段とを有する計
測装置と、前記流体を前記管状部材に供給するための流
体供給装置とを備えた計測システムである。

【００１４】第七の本発明（請求項７に対応）は、前記
検出の結果に基づいて、前記供給を制御するための制御
手段を備えた第六の本発明の計測システムである。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下では、本発明にかかる実施の
形態について、図面を参照しつつ説明を行う。

【００１６】（実施の形態１）はじめに、図１（ａ）〜
（ｃ）を参照しながら、本実施の形態における圧力計測
機器の構成について説明する。なお、図１（ａ）は本実
施の形態における圧力計測機器の平面図であり、図１
（ｂ）は同圧力計測機器のＡ−Ａ’断面図であり、図１
（ｃ）は同圧力計測機器のＢ−Ｂ’断面図と薄肉部３付
近の拡大図とからなる模式図である。

【００１７】本実施の形態における圧力計測機器は、前
後に接続される流体通液用の配管と同等に外径及び内径
を有した被測定パイプ１の所定位置に、角形状の感圧ブ
ロック２を設けた構成としている。

【００１８】被測定用パイプ１の、外観径は１７．３ｍ
ｍφ、内径は１４．０ｍｍφ、感圧ブロック２の外形寸
法は３０ｍｍ角の正立方体としている。もちろん、外観
形状の寸法は特に限定するもので無く、要求される実施
仕様に基づき最適な値に変更することが最良である。

【００１９】感圧ブロック２は、図１（ｂ）および
（ｃ）に示すように、通液方向へ薄肉部３を形成してい
る。なお、薄肉部は、径方向に関する厚みが０．５ｍｍ
となるように加工されているが、薄肉部の厚みに関して
は、後述の実施例１で詳述する。

【００２０】感圧ブロック２の前後に設けている被測定
パイプ１には、曲げ応力緩和溝４がそれぞれ２箇所掘り
込む形で設けられている。この曲げ応力緩和溝４は、被
測定パイプ１の前後に接続する配管から加わる捩れ方向
の応力、曲げ方向の応力を吸収あるいは緩和させる為に
設けられている。

【００２１】もちろん、図１に示した外観形状を製作す
る方法においては、一つの材料から切削加工する方法に
限定するものでなく、各部品に分けて製作し、組み立て
る方式あるいは、金型等による射出成形方式で製作して
も良い。また、使用する材質には、耐腐食性合金である
ステンレス、あるいはそれに準じる合金を使用すること
が望ましく、本実施の形態１では、ＳＵＳ３０４を使用
したが、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３１６Ｌ等を用いても良
い。

【００２２】なお、配管中の流体圧力を測定する圧力計
測機器を提供するものであるから、測定すべき配管と接
続する手段を備える必要があることは、もちろんであ
る。本実施の形態では、圧力を測定する部分のみに着目
して実施したため、その手段を図示していないが、具体
的には、サニタリー配管用へルールを両端に設けること
で配管接続を実施する方法や、一般的なフランジを両端
に設けて取りつけネジによる被測定配管への取り付け方
法が挙げられる。

【００２３】図１（ｃ）に示されているように、感圧ブ
ロック２の上部から、被測定パイプ１の径方向内面に向
かって切削加工を施し、通液するパイプ内面へ貫通させ
るのでなく、パイプ内面を薄肉部３として残すように加
工している。

【００２４】なお、本発明の管状部材は感圧ブロック２
を含む手段に対応し、本発明の検出手段は歪みゲージ５
を含む手段に対応する。また、本発明の計測装置は、本
実施の形態の圧力計測機器に対応する。

【００２５】つぎに、図４（ａ）、（ｂ）を参照しなが
ら、本実施の形態における圧力計測機器の動作について
説明する。なお、図４（ａ）は本実施の形態における歪
みゲージ５の設けられた圧力計測機器の平面図と薄肉部
３付近の拡大図とからなる模式図であり、図４（ｂ）は
同圧力計測機器のＢ−Ｂ’断面図である。

【００２６】パイプ内を流れる液体には、常にパイプ中
心部側から外周面側に一様な膨張力が加わる。この膨張
力は、薄肉部３にも一様に加わり、薄肉部３は、薄肉で
あるがために外側に膨らむように歪む（変形する）こと
になる。

【００２７】感圧ブロック２の薄肉部３に設けられた歪
みゲージ５は、その外側への膨張量もしくは歪み量（変
化量）を示す圧力信号を、電気信号として出力する。

【００２８】ここに、使用する歪みゲージ５は、ゲージ
パターンが単軸ゲージのものを使用することが望まし
く、且つ歪む領域が、本実施の形態１の場合、小さいた
め、ゲージ長が小さいものが最適である。また、温度に
より歪みゲージ５の抵抗値は変化するため、自己温度補
償型を使用することが望ましく、同時に、感圧ブロック
２の材質の線膨張係数に合わせた特性を持つ歪みゲージ
を使用することが望ましい。

【００２９】つぎに、歪みゲージ５による電気信号の出
力について、歪みゲージ５の取りつけ構成を説明するた
めの径方向断面図である図５を参照しながら、より詳し
く説明する図５に示されているように、歪みゲージ５に
設けられたリード線と電気信号を外部に出力するための
ケーブル８とを、薄肉部３周辺で半田付けなどの手段に
より接続する。ケーブル接続部分６は、充填材７（エポ
キシ系固定剤など）で充填あるいは封止する。このよう
な充填あるいは封止によって、使用環境中の湿気や有機
溶剤雰囲気中に曝されないようにしたことで、対環境耐
久性を備えることができた。

【００３０】さて、歪みゲージ５を取り付けて、前述の
歪み量を電気信号に変換する場合、抵抗体とみなされる
歪みゲージ５にてブリッジ回路を形成し、その変化量を
効率良く取り出す。

【００３１】本実施の形態１においては、ブリッジ回路
（ホイートストンブリッジ回路）を形成することで、歪
み量を効率良く電気信号として取り出す。より具体的に
は、取りつけた歪みゲージ５でホイートストンブリッジ
回路を形成し、ブリッジ片端より基準電圧発生器（図示
省略）にて電圧５．０００Ｖを印加し、もう一方の片端
に電圧計（図示省略）を接続し、その電圧を測定する。

【００３２】このような電圧の測定の結果、図６
（ａ）、（ｂ）に示されているように、直線性、ヒステ
リシスともに良好な結果が得られた。なお、図６（ａ）
は歪みゲージ５によって取り出された電気信号の電圧測
定結果を説明するための説明図であり、図６（ｂ）は同
電圧測定結果を説明するためのグラフ図である。

【００３３】以上の説明から明らかなように、本実施の
形態の圧力計測機器は、従来の圧力検出器（図１５、１
６参照）を利用する場合とは異なり、通液直後から圧力
値を検出でき、さらに通液パイプの中を分岐した構成と
していないため、乱流による配管抵抗、及び液の滞留・
澱みを発生させることが無い。

【００３４】（実施の形態２）つぎに、図７を参照しな
がら、本実施の形態における圧力計測機器の構成および
動作について説明する。なお、図７は、本実施の形態２
における圧力計測機器の通液方向断面図である。

【００３５】本実施の形態の圧力計測機器は、前述され
た本実施の形態１の圧力計測機器と類似の外観形状およ
び構成内容を有しているが、通液するパイプ内全面に、
フッ素系樹脂９を薄膜にコーティングした。

【００３６】ここに、コーティング方法は、一般的な高
温下での塗布・焼結方法でも構わないが、低温下で行え
るＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓ
ｉｔｉｏｎ、真空下のプラズマ放電中における気相化学
反応薄膜生成）法等による被覆化処理が、望ましい。

【００３７】また、被測定パイプ１内全面に、フッ素系
樹脂９を約５０μｍ厚みでコーティングしたが、薄肉部
３を形成した後にフッ素系樹脂９をコーティングする方
法では、高温下での処理による熱膨張と急激な応力変化
のために、薄肉部３が割けることがある。そこで、本実
施の形態２では、被測定パイプ１内面を形成した後、フ
ッ素系樹脂９を形成、その後に、薄肉部３を形成する構
成とした。

【００３８】なお、薄肉部３に貼り付けられる歪みゲー
ジ５の検出感度は、前述した本実施の形態１の構成に比
べ、数％落ちることになるものの、感度校正を行うこと
によって、遜色のない圧力検出を行えるようにできる。

【００３９】以上の説明から明らかなように、本実施の
形態の圧力計測機器は、従来の圧力検出器（図１５、１
６参照）を利用する場合とは異なり、通液直後から圧力
値を検出でき、さらに通液パイプの中を分岐した構成と
していないため、乱流による配管抵抗、及び液の滞留・
澱みを発生させることが無い。

【００４０】また、従来は、品種の違う液体を通液した
時、前回通液した残査液が内面に付着しやすく、耐腐食
性も悪いばかりか、内面金属面から僅かながら金属イオ
ン（Ｆｅ等）が析出し、管内の流体を汚染する恐れもあ
った。本実施の形態２では、被測定パイプ１内面をフッ
素系樹脂９によってコーティング処理することによっ
て、前回通液した残査液の付着を防止できるばかりか、
さらに耐腐食性が向上し、金属イオンによる流体の汚染
が生じることも解消できる。

【００４１】（実施の形態３）つぎに、図８を参照しな
がら、本実施の形態における圧力計測機器の構成および
動作について説明する。なお、図８は、本実施の形態３
における圧力計測機器の通液方向断面図である。

【００４２】本実施の形態の圧力計測機器は、前述され
た本実施の形態１の圧力計測機器と類似の外観形状およ
び構成内容を有しているが、薄肉部３に貼り付け固定す
る歪みゲージ５と同一位置に隣接あるいは併設して、温
度検出素子１０を貼り付けた。薄肉部３に温度検出素子
１０を貼り付けることによって、通液される流体の温度
を、的確に検出表示する事ができる。

【００４３】管内に温度検出部を突出させるなどの構成
が一般的であるが、この場合、通液時の流体に乱れ及び
抵抗が生じやすい。また、乱流及び抵抗によるストレス
が温度検出部に蓄積され、やがては、温度検出部が破損
してしまい、配管内の汚染あるいは内面の欠損などの問
題が発生する。これらの問題を解消するために、薄肉部
３に、歪みゲージ５と同一位置に隣接あるいは併設し
て、温度検出素子１０を貼り付け、通液する流体の圧力
値及び流体温度を、同時に検出表示させて管理できるよ
うにしたのである。

【００４４】以上の説明から明らかなように、本実施の
形態の圧力計測機器は、従来の圧力検出器（図１５、１
６参照）を利用する場合とは異なり、通液直後から圧力
値を検出でき、さらに通液パイプの中を分岐した構成と
していないため、乱流による配管抵抗、及び液の滞留・
澱みを発生させることが無い。

【００４５】また、従来のように、通液する流体の温度
を別系統のセンサーなどで検出する構成にしなくても、
本実施の形態３の構成とすれば、圧力と同時に温度を検
出できることによって、通液配管を短くでき、効率の良
い送液管理ができるものである。

【００４６】（実施の形態４）つぎに、図９を参照しな
がら、本実施の形態における塗布システムの構成および
動作について説明する。なお、図９は、本実施の形態４
における塗布システムの構成図である。

【００４７】本実施の形態の塗布システムは、前述され
た本実施の形態の圧力計測機器と同様の構成を有する圧
力計測機器１４を、塗布ノズル１５の直前に有してい
る。

【００４８】以下では、電池極板あるいはカラーフィル
ター形成、電子部品関連に使用するセラミックシート等
を製造する塗布プロセスを例にとって、本実施の形態に
おける塗布システムの動作について説明する。

【００４９】ポンプ１２を用い、供給タンク１１内の塗
料を配管１３内に供給送液し、配管先端に備えた塗布ノ
ズル１５の吐出スリット１６から、塗料を、幅方向へ均
一なカーテン状に吐出する。

【００５０】ところが、電池極板の製造に用いられる塗
料は、極板の極性によって、材料及び粘度が相違してい
る。塗料化する溶媒としては、水あるいは有機溶剤が一
般的であるが、特に、有機溶剤を溶媒とした塗料の場
合、溶剤組成によっては、揮発性が高くなることがあ
る。そして、そのような揮発作用によって、塗料の粘度
変化が起きやすくなる。

【００５１】このような場合、吐出量下限値を説明する
ための経時的吐出量変化のグラフ図である図１０に示す
ように、ポンプ１２の吐出量は、所定時間経過後には、
Ａ点（いわゆる吐出量下限値を与える点）に達し、所望
する吐出量を得ることができなくなることがある。

【００５２】そこで、図９に示すように、ポンプ１２の
吐出量回転数を設定値入力１７から設定し、制御器（Ｃ
ＰＵ）１８を経由して、出力信号変換器１９を通じて、
ポンプ制御装置２０で、設定値に見合ったポンプ１２の
吐出量回転数を、ポンプ１２に対して指令する。

【００５３】より具体的に説明すると、吐出された塗料
は、配管１３内を通過し、前述されたように、塗布ノズ
ル１５の吐出スリット１６から、カーテン状に幅方向均
一に吐出される。

【００５４】塗布ノズル１５直前に備えた圧力計測機器
１４では、安定的に送液されている間の塗料の圧力を圧
力表示器２１に表示し、この圧力値は、入力信号Ａ／Ｄ
変換器２２から、制御器（ＣＰＵ）１８にフィードバッ
クされる。そして、設定値入力１７から入力した吐出回
転数設定値と圧力表示器２１からの実測圧力値とを、制
御器（ＣＰＵ）１８内において整合したのち記憶する。
このようにして整合された実測圧力値と吐出回転数設定
値とは、塗布プロセスにおける基準値となる。

【００５５】さて、供給タンク１１内の塗料粘度が溶媒
揮発等の要因によって変化した場合、ポンプ１２から送
液される塗料の吐出量は、次第に低下する傾向を示す。
このような吐出量低下が発生した場合、（１）圧力計測
機器１４は、検出した圧力値から吐出量低下を認識する
と、その圧力値を、圧力表示器２１、入力信号Ａ／Ｄ変
換器２２を介して制御器（ＣＰＵ）１８にフィードバッ
クし、（２）制御器（ＣＰＵ）１８は、フィードバック
された圧力値を記憶していた基準値と整合したのち、圧
力値が基準値になるように、出力信号変換器１９を介し
てポンプ制御装置２０へ制御指令を送出し、（３）ポン
プ制御装置２０は、この制御指令に基づいてポンプ１２
の吐出量回転数を変更し、（４）図１１に示されている
ように、Ｂ範囲の圧力変化が誘導されて、基準値となる
吐出量設定値への圧力値の復帰が行われる。なお、図１
１は、本実施の形態の塗布システムのフィードバック制
御を説明するための経時的吐出量変化のグラフ図であ
る。

【００５６】以上の説明から明らかなように、本実施の
形態の塗布システムは、電池の極板製造などに用いられ
る揮発性の高い有機溶剤を溶媒とした塗料が、たとえ高
い粘度へ変化し、吐出量の低下を招いても、定量的な塗
布を実施することができる。また、前述したように、圧
力計測機器の被測定パイプ１内面に凹凸が無い構成のた
め、配管抵抗による圧力損失も無いばかりか、滞留等に
よる塗料の凝固化は、ほとんど発生しない。

【００５７】（実施の形態５）本実施の形態５では、上
述した本実施の形態における圧力計測機器が、通液する
流体の粘度を検出するための粘度計としても利用できる
ことを説明する。

【００５８】具体的に説明すると、上述した本実施の形
態の圧力計測機器における歪みゲージ５は、図６
（ａ）、（ｂ）に示すように、定格に対して一定の出力
を与える。したがって、定格電圧から表示値への校正方
法を説明するためのグラフ図である図１２に示すよう
に、出力に対する表示値Ｂを、例えば圧力値１．０ＭＰ
ａとした場合、歪みゲージ５の出力は、１Ｖに対して
１．５ｍＶを出力するような比例的な関係にある。この
関係を利用して、歪みゲージ５からの出力電圧が０ｍＶ
／Ｖの時、圧力計の表示器の表示を０ＭＰａとし、出力
電圧が半分の０．７５ｍＶ／Ｖの時、表示器の表示を
０．５ＭＰａとし、１．５ｍＶ／Ｖの時、表示器の表示
を１．０ＭＰａとするように、表示器を校正する。

【００５９】次に、計量線を決めるために、粘度変化が
送液時の圧力変化と比例的な関係にあり、送液が一定流
量で行われていることを前提として、前述した定格電圧
から表示値への校正と同様な校正を行う。つまり、送液
圧力から粘度値への校正方法を説明するためのグラフ図
である図１３に示すように、送液圧力から粘度値への校
正を行う。図１３において、横軸は流体の圧力値、縦軸
を流体の粘度値であるが、例えば、圧力が０．５ＭＰａ
の時、表示する粘度値を５００ｍＰａ・ｓｅｃとし、
１．０ＭＰａの時、表示する粘度値を１０００ｍＰａ・
ｓｅｃとする。

【００６０】このようにして、圧力計測機器をインライ
ン型粘度計として活用することができる。

【００６１】（実施の形態６）つぎに、図１４を参照し
ながら、本実施の形態における圧力計測機器の構成およ
び動作について説明する。なお、図１４は、本実施の形
態６における圧力計測機器の斜視図である。

【００６２】本実施の形態の圧力計測機器は、前述され
た本実施の形態１の圧力計測機器と類似の外観形状およ
び構成内容を有しているが、感圧ブロック２の外側面に
は、図１４に示されているように、捩れ防止溝２３が設
けられている。このような捩れ防止溝が設けられている
ことにより、前後に連結される配管から伝わる振動ある
いは折り曲げ・捩れ応力を緩和防止でき、通液する流体
の圧力値を適正に検出することができる。

【００６３】なお、図１４において、感圧ブロック２の
外側面には、捩れ防止溝２３として、幅５ｍｍ、深さ３
ｍｍの寸法を有する、７つの溝が設けられている。しか
し、これに限らず、捩れ防止溝は、（１）任意の寸法を
有していてよく、（２）その形状も、いわゆる溝形状と
は限らない、網目状の溝形状、リブ形状、突出したリブ
形状などであってよい。また、図１４において、被測定
パイプ１の外表面には曲げ応力緩和溝４を前後２本ずつ
設けているが、本発明の捩れ防止溝と曲げ応力緩和溝と
を併用することにより、配管経路から伝わる捩れ・曲げ
応力及び振動による影響を低減し、流体圧力の計測をよ
り精度よく行うことができることは、いうまでもない。

【００６４】

【実施例】（実施例１）本実施例１では、前述された本
実施の形態１における圧力計測機器（図１（ａ）〜
（ｃ）参照）を利用することとし、通液する流体には、
電池の極板形成に用いられる正極あるいは負極活物質を
混合・分散した有機溶媒系塗料を用いた。

【００６５】前述したように、被測定パイプ１内に電池
活物質塗料を通液する際、被測定用パイプ１の内径は前
後に連結する配管（図示省略）内径及び形状は同一とし
ているため、通液時の流体抵抗は解消される。また、圧
力測定部分に凹凸形状が無いため、電池活物質塗料のよ
うに粘性が高い場合でも、通液抵抗を発生させることが
無い。

【００６６】本実施例１では、薄肉部３の厚み（図１
（ｃ）参照）を０．５ｍｍとしている。これ以上薄くす
ることも可能であるが、繰り返し使用する上で破損しな
い程度として、０．５ｍｍとした。この部分が、いわゆ
る圧力検出器の検出先端面に備えられたダイヤフラム等
の役目を果たす。

【００６７】このように配管経路の一部に薄肉部３を構
成しているため、通液時の流体膨張作用により、薄肉部
３は歪みを発生し、歪みゲージ５はこの歪みを検出す
る。前記薄肉部３に設けた歪みゲージ５が、検出する歪
み値を圧力数値に換算、圧力計として用いることができ
た。

【００６８】以上の圧力計測機器の構成としたことによ
って、前後に連結する配管内径と同一のため、流体の抵
抗及び乱流をほとんど皆無にすることができた。

【００６９】電池極板の塗布製造過程において、配管内
へポンプ等で送液する電池活物質塗料は、配管内面に非
常に付着しやすかった。また、その内面に付着した塗料
濃度は、幾分か固形分が高い状態にあり、時間経過に伴
ってパイプ内面に皮膜を形成することがあった。このた
め、従来の構成（図１５、１６参照）では、測定用導管
内に澱みが顕著に発生しやすく、電池活物質などは滞留
し、やがては圧力検出を行うこともできないぐらいに詰
まっていた。本実施例１の構成にしたことで、粘性が高
い電池活物質塗料の流体は、パイプ内面に皮膜として形
成されるものの、滞留、澱みを発生させる個所が無い上
に、例え皮膜を形成したとしても、流体の膨張作用は発
生しているため、時間が経過しても、問題なく圧力検出
を行えた。

【００７０】また、配管内のメンテナンスでは、内面に
突起物が無い上に、前後の配管径と同一にしているた
め、配管接続のまま、あるいは分解状態でも、容易にブ
ラシ等で洗浄することができ、メンテナンス時の作業性
を飛躍的に向上させることができた。

【００７１】（実施例２）本実施例２では、前述された
本実施の形態２における圧力計測機器（図７参照）を利
用することとし、通液するパイプ内全面に、フッ素系樹
脂９を約５０μｍ厚でコーティングしている。

【００７２】前述したように、歪みゲージ５を取り付け
る薄肉部３の形成は、パイプ内面にフッ素系樹脂９の皮
膜形成を数１００℃の高温化で行うと、熱膨張などの急
激な応力変化により、薄肉部３が変形あるいは割けるな
どの問題があるため、後段工程で行うようにした。つま
り、通液パイプを貫通加工を行った後、パイプ内面にフ
ッ素系樹脂９を形成、その後薄肉部３を形成する構成と
した。なお、薄肉部３に設けた歪みゲージ５の検出感度
は、実施例１の構成に比べ数％落ちることになるもの
の、感度校正を行うことによって、遜色のない圧力検出
を行えるようにできた。

【００７３】以上の圧力計測機器の構成としたことによ
って、従来の圧力検出器に比べ、通液直後から圧力値を
検出でき、さらに通液パイプの中を分岐した構成として
いないため、乱流による配管抵抗、及び液の滞留・澱み
を発生させることが無い。

【００７４】また、種類の違う液体あるいは塗料を通液
した時、前回通液した塗料の成分である残査液が内面に
付着することを防止できた。もちろん、若干の残査液が
雫状にパイプ内面に残る場合はあるが、新たに通液する
塗料の数％を廃棄する考えで押し出しを行えば、短時間
の内に新たな塗料成分に入れ替えを完了できる。なお、
フッ素系樹脂９皮膜が無い場合には、前述したように新
たな塗料を通液し、押し出しによって短時間で塗料成分
を入れ替えることはできず、多量の新たな塗料と作業時
間を要していた。よって、本実施例では、作業時間と塗
料いわゆる材料のロスを大幅に低減できる。

【００７５】また、従来のようにフッ素系樹脂９皮膜が
無い状態では、耐腐食性も悪いばかりか、内面金属面か
ら僅かながら金属イオン（Ｆｅ等）が析出し、管内の流
体を汚染する恐れもあった。本実施例２のように、被測
定パイプ１内面にフッ素系樹脂９によるコーティング処
理をすることで、耐腐食性の向上と金属イオンによる流
体の汚染とをともに防止することができた。

【００７６】（実施例３）本実施例３では、前述された
本実施の形態３における圧力計測機器（図８参照）を利
用することとし、薄肉部３に設けた歪みゲージ５と同一
位置あるいは隣接位置に、温度検出素子１０を固定する
構成とした。

【００７７】前述したように、薄肉部３に温度検出素子
１０を設置することによって、通液されてくる流体の温
度を的確かつ常時変化を検出表示する事ができた。な
お、配管内に棒状の温度検出部を突出させるなどの構成
は従来よりあるが、この場合、通液時の流体に、カルマ
ン渦などの乱れ及び流れの抵抗が生じやすい。この乱流
及び流れ抵抗によるストレスが温度検出部に蓄積され、
温度検出部はやがて破損し、配管内の汚染あるいは内面
の欠損など問題が発生する場合があった。このような問
題を解消するために、本実施例３では、薄肉部３に、歪
みゲージ５と同一位置に隣接あるいは併設して、温度検
出素子１０を設け、通液する流体の圧力値及び流体温度
を同時に検出表示させて管理できるようにした。

【００７８】以上の圧力計測機器の構成としたことによ
って、従来の圧力検出器に比べ、通液直後に圧力値を検
出できるばかりか、通液パイプの中を分岐した構成とし
ていないため、乱流による配管抵抗、及び液の滞留・澱
みを解消することができる。

【００７９】また、圧力検出を行う歪みゲージ５と同一
位置に温度を検出する素子１０を併設しているため、圧
力と温度を同じに検出表示でき、通液する塗料の急激な
温度変化を検出したり、温度を時系列変化で管理したり
できるようになった。よって、塗料あるいは流体を加温
する場合などのように、一定の温度管理が必要な場合に
は、非常に有効な計測器として利用できる。そして、現
場での温度及びそのときの流体圧力を一括管理できる構
成にしたことで、配管経路の短縮化が図れ、配管抵抗を
より小さくすることができた。

【００８０】（実施例４）本実施例４では、前述された
本実施の形態４における塗布システム（図９参照）を利
用することとし、電池極板あるいはカラーフィルター形
成、電子部品関連に使用するセラミックシート等を製造
する塗布プロセスについて説明する。

【００８１】なお、ポンプ１２には、モーノポンプを使
用した。また、供給タンク１１は、大気開放型の形状と
しているが、密封型のタンクとしてもよいし、外部から
連続的あるいは間欠的に塗料の供給を行う構成としても
良い。本実施例４では、大気開放型の逐次供給型タンク
を使用した。

【００８２】前述したように、供給タンク１１内の塗料
を、ポンプ１２によって、配管１３内を経由し、配管先
端に備えた塗布ノズル１５の吐出スリット１６から、幅
方向均一なカーテン状に吐出する構成とし、塗布ノズル
１５の直前には、前述した圧力計測機器を備えた。

【００８３】以下では、より具体的に、塗料が電池に用
いられる活物質塗料である場合について説明する。

【００８４】電池活物質塗料は、極板の極性によって、
材料及び粘度は相違している。つまり、塗料化する溶媒
には水あるいは有機溶剤を用いることが普通であるが、
特に有機溶剤を溶媒とした塗料の場合、溶剤組成によっ
ては、揮発作用によって塗料中の固形分濃度が高まるこ
とがある。このため、狙って塗料化された時点の粘度値
に対して、実際の粘度値が高くなる場合がある。

【００８５】前述したように、このような塗料高粘度化
によって、ポンプ１２の吐出量は、図１０に示すよう
に、時系列的に、吐出量設定値に対して低下していく。
やがては、吐出量下限領域となるＡ点に達し、所望する
吐出量が得られないため、吐出量及び塗布膜厚は、所望
する数値から低下傾向となり、長尺方向で、膜厚分布は
傾斜してしまう。このため、生産歩留まりが著しく低下
させてしまう恐れがあるといえる。

【００８６】そこで、図９に示すように、ポンプ１２の
吐出量回転数を設定値入力１７から作業者が設定し、制
御器（ＣＰＵ）１８を経由して、出力信号変換器１９か
ら、ポンプ制御装置２０により、設定値に見合った吐出
量回転数でポンプ１２を作動させる。吐出された塗料
は、配管１３内を通過し、塗布ノズル１５の吐出スリッ
ト１６から、カーテン状に幅方向均一に吐出される。

【００８７】塗布ノズル１５直前に備えた圧力計測機器
１４によって、送液されている塗料の圧力を圧力表示器
２１に表示し、この圧力値は、入力信号Ａ／Ｄ変換器２
２から制御器（ＣＰＵ）１８にフィードバックされる。

【００８８】設定値入力１７から入力された吐出回転数
設定値と、圧力表示器２１からの実測圧力値とを、制御
器（ＣＰＵ）１８内において整合したのち記憶する。か
くして、整合させた実測圧力値と吐出回転数設定値と
が、基準値となる。

【００８９】供給タンク１１内の塗料粘度が、溶媒揮発
等の要因によって上昇すると、ポンプ１２から送液され
る塗料の吐出量は、図１０に示すように、次第に低下傾
向になる。

【００９０】吐出量低下が発生した場合、圧力計測機器
１４（図９参照）は、圧力値の検出によって吐出量低下
を認識し、制御器（ＣＰＵ）１８に検出した圧力値をフ
ィードバックする。制御器（ＣＰＵ）１８は、フィード
バックされた圧力値を、記憶していた基準値と整合した
のち、基準値になるようにポンプ制御装置２０へ制御指
令を送出する。そして、ポンプ制御装置２０は、ポンプ
１２の吐出量回転数を制御し、Ｂ範囲のような制御（図
１１参照）により、基準値となる吐出量への復帰が行わ
れる。

【００９１】以上の圧力計測機器及びフィードバック制
御構成を備えた塗布システムにより、特定の電池極板の
製造過程あるいは誘電体層、セラミックシート形成など
に用いる揮発性の高い有機溶剤を溶媒とした塗料であっ
ても、塗布安定性を維持することができる。なぜなら
ば、塗料粘度が、周辺環境あるいは溶媒と固形物の分離
影響などにより著しく発生し、吐出量の低下を招いて
も、ポンプ１２の最適制御が適時行なわれるからであ
る。

【００９２】また、本実施例４に用いた圧力計測機器１
４は、実施例１に示す構成と同様のため、被測定用パイ
プ１内面には凹凸が無い。よって、配管抵抗による圧力
損失が発生しないばかりか、塗料の滞留・澱み等は発生
しない。このため、圧力を感度良く検出でき、ポンプ１
２を適切に制御することができた。

【００９３】（実施例５）本実施例５では、前述した本
実施の形態５におけるように、圧力計測機器を粘度計と
して利用する。なお、歪みゲージ５は、図６（ａ）、
（ｂ）に示すように、定格に対して一定の出力を与え
る。

【００９４】図１２に示すように、出力に対する表示値
Ｂを、例えば圧力値１．０ＭＰａとした場合、歪みゲー
ジ５の出力は、１Ｖに対して１．５ｍＶを出力する比例
的な関係にある。この関係を利用して、歪みゲージ５か
らの出力電圧が０ｍＶ／Ｖの時、圧力計の表示器の表示
を０ＭＰａとし、出力電圧が半分の０．７５ｍＶ／Ｖの
時、表示器の表示を０．５ＭＰａとし、１．５ｍＶ／Ｖ
の時、表示器の表示を１．０ＭＰａとするように、表示
器を校正する。

【００９５】次に、この校正方法を応用して、粘度値を
表示させるように再校正を行う。

【００９６】より具体的に説明すると、たとえば、流量
を１０ｌ／ｍｉｎに固定して、（１）粘度１０００ｍＰ
ａ・ｓｅｃの校正液を送液し、このときの圧力表示値を
１０００ｍＰａに調整し、（２）粘度５００ｍＰａ・ｓ
ｅｃの校正液を送液し、このときの圧力表示値を５００
ｍＰａに調整する。なお、流量を変更した場合には、こ
のような校正液の送液による圧力表示値調整をその都度
行い、データを蓄積していく必要がある（要するに、粘
度は液中の固形分および樹脂の比率で決定されるゆえ、
粘度の相違は体積密度の相違を意味するから、校正を流
量一定の条件下で行うことは大前提である）。

【００９７】その後、図１２に示した歪みゲージ５の校
正を行う場合と同様、図１３に示すように、横軸は流体
の圧力値、縦軸を流体の粘度とするとき、圧力が０．５
ＭＰａの時、表示する粘度数値は５００ｍＰａ・ｓｅｃ
であり、１．０ＭＰａの時、表示する粘度数値は１００
０ｍＰａ・ｓｅｃであるように校正を取る。このような
校正により、配管内に通液する流体の粘度と圧力を計測
するようにした。

【００９８】なお、粘度変化が送液時の圧力変化と比例
的な関係にあり、流体が一定流量で送液されている場合
には、このようにして流体粘度を測定できるが、それ以
外の場合には、送液する流体の粘度と圧力との関係をよ
り詳しく調べて蓄積し、データベース化することによっ
て、広い範囲の流体粘度を管理できるようになる。

【００９９】（実施例６）本実施例６では、前述された
本実施の形態６における圧力計測機器（図１４参照）を
利用することとし、感圧ブロック２の外側面に、通液進
行方向と平行な計７つの捩れ防止用溝２３を形成した。
このため、前後に接続する配管（図示省略）からの配管
外円周方向に働く捩れを、歪みゲージ５が検出しにくく
なる。

【０１００】なお、本実施例６の圧力計測機器を形成す
る材質には、一般的なＳＵＳ３０４を使用しているが、
他に３０３あるいは３１６Ｌなどを用いても良い。

【０１０１】また、被測定用パイプ１外観には、曲げ応
力緩和溝４を設けている。この曲げ応力緩和溝４は、前
後に接続する配管（図示省略）から伝わる振動あるいは
連結による配管自重から付加される曲げ応力を吸収する
ために設けた。もちろん、溝深さ、幅、溝形成本数など
は、特に限定するものではない。

【０１０２】小規模のプラント、あるいは研究・開発レ
ベルの小規模生産現場などでは、各々の配管バランスを
取るアジャスタ機能のついた支柱の設置を、作業者がほ
とんど行っていないという実情がある。つまり、配管接
続の距離・引き回し量が少ないと判断してしまうため
に、往々にしてアジャスタ機能の支柱は設けられていな
い。このような場合にも、以上の圧力計測機器の外観構
成としたことによって、前後へ接続する配管から伝わる
ポンプあるいは送液手段による振動、あるいは配管接続
による累積自重から発生する曲げ応力、配管接続のムラ
による捩れ応力の集中を防ぐことができる。

【０１０３】このように、本実施例の外観形状としたこ
とによって、圧力検出用の歪みゲージ５は、通液する流
体の圧力値を、精度よく適正に検出することができるも
のである。

【０１０４】このように、本発明は、たとえば、横断面
円形の管状配管外表面側から、少なくとも１カ所の肉厚
を径方向内側に向かい、通液内側の面を薄肉状に残し、
前記薄肉部分へ歪みゲージを取り付け、受圧部とした構
成であって、管状配管内に液状流体を通液した時におき
る流体膨張量を、前記薄肉部に取り付けた歪みゲージに
よって、前記薄肉部に加わる応力歪みを検出し、その歪
み変化量を圧力数値に換算処理させて流体の圧力を計測
することを特徴とする圧力計測装置である。

【０１０５】また、本発明は、たとえば、上述の圧力計
測装置において、液状流体が通液する径方向内面の所定
部分に備えた受圧部が段差のない構成であって、受圧部
を含む通液する径方向内面を、四フッ化エチレン樹脂、
及び四フッ化エチレン−エチレン共重合樹脂などの少な
くとも１種以上のフッ素系樹脂で薄膜コーティングさ
れ、液及び空気の溜まりが無く計測できることを特徴と
する圧力計測機器である。

【０１０６】また、本発明は、たとえば、上述の圧力計
測装置において、少なくとも１カ所の肉厚を配管外表面
から径方向内側に向かって薄肉にした部分に取り付けた
歪みゲージと隣接あるいは併設して温度検出素子を取り
付け、液状流体通液時の流体膨張量と同時に液温を、計
測できる構成としたことを特徴とする圧力計測機器であ
る。

【０１０７】また、本発明は、たとえば、上述の圧力計
測装置において、送液手段装置による配管経路内に一定
量の流体を通液させる構成であって、通液時の流体圧力
変化量を送液量の変化として検出し、その変化量を送液
供給手段装置にフィードバックして、所定の通液圧力に
なるように修正制御する機能を備えたことを特徴とする
圧力計測機器である。

【０１０８】また、本発明は、たとえば、上述の圧力計
測装置において、配管経路内を液状流体が一定量で通液
する構成であって、液状流体の粘性変化による通液時の
膨張量を検出して、膨張量の計測値を流体の粘性値に換
算させて、流体圧力と粘度を同時計測することを特徴と
する圧力計測機器である。

【０１０９】また、本発明は、たとえば、上述の圧力計
測装置において、横断面円形の管状配管外表面側から、
少なくとも１カ所の肉厚を径方向内側に向かい、窪み状
に通液内側の面を薄肉状に残し、前記薄肉部分へ歪みゲ
ージを取り付けた構成であって、前記管状配管の外表面
を通液進行方向と同一方向に少なくとも１つ以上の窪み
溝あるいは突出したリブを設け、配管経路から伝わる捩
れ・曲げ応力及び振動を受けにくい構造とし、流体圧力
の計測精度を上げていることを特徴とする圧力計測機器
である。

【０１１０】なお、上述した本実施の形態では、曲げ応
力緩和溝４を２本づつ設けたが、その本数は設置される
条件で増減させて最適な本数を選択することが望まし
い。

【０１１１】また、薄肉部３に貼りつけられる後述の歪
みゲージ５の検出感度をさらに向上させるために、たと
えば、図２（ａ）、（ｂ）に示されているように、通液
内面の検出相当面側にキー溝（図２（ｂ）における、通
液内面側からみた凸部によって形成される溝である）を
設けて検出面積を広げたり、図３（ａ）、（ｂ）に示さ
れているように、歪みゲージ５を貼りつける面と同等に
通液内面の検出相当面を平面にするなど、特殊な加工を
行っても良い。なお、図２（ａ）は通液内面の検出相当
面側にキー溝が設けられたられた圧力計測機器の通液方
向断面図であり、図２（ｂ）は同圧力計測機器の径方向
断面図である。また、図３（ａ）は歪みゲージ５を貼り
つける面と同等に通液内面の検出相当面を平面に加工し
た圧力計測機器の通液方向断面図であり、図２（ｂ）は
同圧力計測機器の径方向断面図である。

【０１１２】また、上述した本実施の形態では、薄肉部
３に歪みゲージ５を２枚設けたが、４枚又はそれ以上の
枚数を使用することで、感度を向上させることも可能で
ある。

【０１１３】また、上述した本実施の形態では、感圧ブ
ロック２の薄肉部３を形成する面形状は円形としている
が、正方形あるいは通液進行方向に向かう楕円形状にし
ても、感度性能に影響するものではない。

【０１１４】また、パイプ内面のコーティング加工は、
フッ素系樹脂９に限定するものでなく、パイプ内面から
析出する金属イオンを抑止あるいは防止でき、通液する
流体との接触による磨耗あるいは腐食に対応できる被覆
材であれば良い。たとえば、磨耗あるいは腐食に対応で
きる被覆材となりうるＤＬＣ（ダイヤライクカーボン）
であっても、問題は無い。また、近年、常温の２０〜６
０℃ほどでコーティングが行える技術も確立しているた
め、ＤＬＣ皮膜をパイプ内面にコーティングする方法も
良い。

【０１１５】また、本発明の圧力の算出は、上述された
本実施の形態においては、常に行われた。しかし、これ
に限らず、本発明の圧力の算出は、行われなくてもよ
い。要するに、本発明の所定の部分の変形量の検出の結
果に基づいて、本発明の流体の圧力および／または粘度
が算出されればよい。

【０１１６】また、本発明の圧力の流体は、上述された
本実施の形態においては、液体であった。しかし、これ
に限らず、本発明の流体は、気体であってもよい。

【０１１７】以上述べたところから明らかなように、本
発明は、流体を配管内に送液したとき、内面全域に凹凸
が無い上に被測定パイプの内径は前後の送液配管内径と
同一にしているため、圧力損出を発生させることなく流
体の圧力を常時測定することができる。また、配管経路
の一部に流体の圧力を測定するために分岐した導管を設
ける必要性が無いため、結果的に流体の滞留・澱み部分
を解消できると共に、送液配管内径と同一にすることか
ら流体への抵抗を皆無にすることができる。滞留・澱み
が無いため、塗料あるいは流体に異物・固形物等の混入
が防げ、さらに送液を止めた状態でも腐敗及び細菌など
が発生する要因部分を解消することができる。また、配
管内の洗浄では、圧力検出相当部分も送液配管の内径と
同一の直管としているため、配管を接続したまま、容易
に流水洗浄を行うことができ、大幅な作業性を向上させ
ることができる。

【０１１８】

【発明の効果】以上述べたところから明らかなように、
本発明は、たとえば、配管内に送液された流体の滞留を
ほとんど誘起せずに、流体の圧力を測定できるという長
所を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１における圧力計測機器
の、平面図（図１（ａ））、Ａ−Ａ’断面図（図１
（ｂ））、およびＢ−Ｂ’断面図と薄肉部３付近の拡大
図とからなる模式図（図１（ｃ））

【図２】本発明の、通液内面の検出相当面側にキー溝が
設けられたられた圧力計測機器の、通液方向断面図（図
２（ａ））、および径方向断面図（図２（ｂ））

【図３】本発明の、歪みゲージ５を貼りつける面と同等
に通液内面の検出相当面を平面に加工した圧力計測機器
の、通液方向断面図（図３（ａ））、および径方向断面
図（図３（ｂ））

【図４】本発明の実施の形態１における、歪みゲージ５
の設けられた圧力計測機器の、平面図と薄肉部３付近の
拡大図とからなる模式図（図４（ａ））、およびＢ−
Ｂ’断面図（図４（ｂ））

【図５】本発明の実施の形態１における、歪みゲージ５
の取りつけ構成を説明するための径方向断面図

【図６】本発明の実施の形態１における、歪みゲージ５
によって取り出された電気信号の電圧測定結果を説明す
るための、説明図（図６（ａ））、およびグラフ図（図
６（ｂ））

【図７】本発明の実施の形態２における圧力計測機器の
通液方向断面図

【図８】本発明の実施の形態３における圧力計測機器の
通液方向断面図

【図９】本発明の実施の形態４における塗布システムの
構成図

【図１０】吐出量下限値を説明するための経時的吐出量
変化のグラフ図

【図１１】本発明の実施の形態４における塗布システム
のフィードバック制御を説明するための、経時的吐出量
変化のグラフ図

【図１２】本発明の実施の形態５における、圧力計測機
器を粘度計として利用する場合の、定格電圧から表示値
への校正方法を説明するためのグラフ図

【図１３】本発明の実施の形態５における、圧力計測機
器を粘度計として利用する場合の、送液圧力から粘度値
への校正方法を説明するためのグラフ図

【図１４】本発明の実施の形態６における圧力計測機器
の斜視図

【図１５】従来のサニタリー配管接続式の圧力計測機器
を説明するための模式図

【図１６】従来の一般的なねじ込み式の圧力計測機器を
説明するための模式図

【符号の説明】

１ 被測定用パイプ ２ 感圧ブロック ３ 薄肉部 ４ 曲げ応力緩和溝 ５ 歪みゲージ ６ ケーブル接続部分 ７ 充填材 ８ ケーブル ９ フッ素系樹脂 １０ 温度検出素子 １１ 供給タンク １２ ポンプ １３ 配管 １４ 圧力計測機器 １５ 塗布ノズル １６ 吐出スリット ２３ 捩れ防止溝 ａ 配管 ｂ 被測定パイプ ｃ 測定用導管 ｄ 被測定流体 ｅ 受厚部 ｆ 圧力検出器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 勝治 神奈川県相模原市すすきの町３−９ 株式 会社ティアンドティ内 (72)発明者 大貫 覚 神奈川県相模原市すすきの町３−９ 株式 会社ティアンドティ内 Ｆターム(参考） 2F055 AA39 BB20 CC14 DD20 EE11 FF38 FF49 HH05 HH11 2F056 CA08

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内側に流体が流れる、所定の部分の肉
   厚が他の部分の肉厚に比べて薄くなっている管状部材
   と、 前記所定の部分の前記流体が流れる側とは異なる側に設
   けられた、前記所定の部分の変形量を検出するための検
   出手段とを備えた計測装置。
2. 【請求項２】 前記検出手段の前記検出の結果は、前記
   流体の圧力および／または粘度を算出するために利用さ
   れる請求項１記載の計測装置。
3. 【請求項３】 前記管状部材の内側の全部または一部
   は、所定の薄膜によって薄膜コーティングされている請
   求項１または２記載の計測装置。
4. 【請求項４】 前記所定の部分の前記流体が流れる側と
   は異なる側に設けられた、前記所定の流体の温度を検出
   するための温度検出手段を備えた請求項１または２記載
   の計測装置。
5. 【請求項５】 前記管状部材の外側には、前記流体の流
   れにともなう前記管状部材の捩れによる変形を抑制する
   ための捩れ防止溝が設けられている請求項１または２記
   載の計測装置。
6. 【請求項６】 内側に流体が流れる、所定の部分の肉厚
   が他の部分の肉厚に比べて薄くなっている管状部材と、
   前記所定の部分の前記流体が流れる側とは異なる側に設
   けられた、前記所定の部分の変形量を検出するための検
   出手段とを有する計測装置と、 前記流体を前記管状部材に供給するための流体供給装置
   とを備えた計測システム。
7. 【請求項７】 前記検出の結果に基づいて、前記供給を
   制御するための制御手段を備えた請求項６記載の計測シ
   ステム。