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JP2002181882A - プローブカードとｔａｂの位置決め装置 - Google Patents

プローブカードとｔａｂの位置決め装置

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Publication number
JP2002181882A
JP2002181882A JP2000379387A JP2000379387A JP2002181882A JP 2002181882 A JP2002181882 A JP 2002181882A JP 2000379387 A JP2000379387 A JP 2000379387A JP 2000379387 A JP2000379387 A JP 2000379387A JP 2002181882 A JP2002181882 A JP 2002181882A
Authority
JP
Japan
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stage
probe card
probe
tab
processing unit
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000379387A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukiyasu Takano
行康 高野
Mitsuhiro Furuta
光弘 古田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ando Electric Co Ltd filed Critical Ando Electric Co Ltd
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Priority to US10/010,218 priority patent/US20020071127A1/en
Priority to TW090130174A priority patent/TW520547B/zh
Priority to KR1020010078559A priority patent/KR20020046981A/ko
Publication of JP2002181882A publication Critical patent/JP2002181882A/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H01L21/681—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment using optical controlling means

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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プローブとＴＡＢ間のＸＹ方向の距離補正を
容易かつ迅速に行うプローブカードとＴＡＢの位置決め
装置を提供する。 【解決手段】 プローブカード２とＴＡＢ１と演算処理
装置７と自動ＸＹ移動機構１０を備え、任意の１つのプ
ローブ２Ａ１の位置座標５Ａと、プローブ２Ａ１が接触
すべきテストパッド１Ｃ１の位置座標５Ｂを演算処理装
置７に登録して（図１の信号Ｓ１）補正距離Ｘ、Ｙを演
算することにより、補正距離Ｘ、Ｙに対応した信号Ｓ２
３を自動ＸＹ移動機構１０に入力してプローブカード２
をＴＡＢ１に対して補正距離Ｘ、Ｙだけ移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はプローブカードと
ＴＡＢの位置決め装置、特にプローブカードとＴＡＢ間
のＸ軸方向とＹ軸方向の距離のズレを補正するプローブ
カードとＴＡＢの位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、よく知られているように、プ
ローブカードとＴＡＢの間にＸＹ方向の距離のズレがあ
る場合には、プローブカード２のプローブ２Ａと（図
６）、ＴＡＢ１のテストパッド１Ｃ（図５）が接触せ
ず、ＴＡＢ１の電気的特性が測定できない。
【０００３】このため、従来は、図６に示す位置決め装
置により、プローブカードとＴＡＢ間の距離のズレを補
正していた。
【０００４】図６において、プローブカード２は、プロ
ーブ２Ａを備え、ＸＹステージ４に固定された接続リン
グ３上に搭載されており、このプローブカード２の上方
には、図５に示すテストパッド１Ｃを備えたＴＡＢ１が
配置されている。
【０００５】また、ＸＹステージ４の直下には、ＸＹス
テージ５上にモニタカメラ６が戴置され、モニタカメラ
６はモニタテレビ８に接続されている。
【０００６】この構成により、従来の位置決め装置にお
いては、モニタカメラ６を介して入力したプローブカー
ド２とＴＡＢ１の画像を、モニタテレビ８で目視するこ
とにより、先ず、プローブカード２とＴＡＢ１間のＸＹ
方向の距離のズレが分かる。
【０００７】次に、つまみ４Ｄを回すことによりＸＹス
テージ４をＸ軸方向に移動させ、更に、つまみ４Ｅを回
すことによりＸＹステージ４をＹ軸方向に移動させるこ
とにより、前記プローブカード２とＴＡＢ１の画像をモ
ニタテレビ８で目視しながら、両者間の前記ＸＹ方向の
距離のズレを補正する。
【０００８】補正後は、プッシャ９を降下させることに
より、スプロケット１１、１２に案内されたＴＡＢ１を
下方に押し下げ、ＴＡＢ１のテストパッド１Ｃとプロー
ブカード２のプローブ２Ａを接触させてＴＡＢ１の電気
的特性をテストヘッド（図示省略）で測定する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
はつまみ４Ｄと４Ｅを回すことにより、プローブカード
２とＴＡＢ１間のＸＹ方向の距離のズレを手動で補正し
ていたが、その補正の精度は、テストパッド１Ｃ（図
５）の大きさ及び配列長さより、５０μｍ以下の精度が
要求される。
【００１０】しかし、従来の目視によるＸＹ方向の距離
補正を行おうとしても、プローブカード２とＴＡＢ１間
の微妙な位置合わせができない。
【００１１】また、従来は手動による補正であり、その
ために調整誤差が生じてテストパッド１Ｃとプローブ２
Ａとが接触できずに再度調整をする場合が多く、調整に
時間を要した。
【００１２】この発明の目的は、プローブとＴＡＢ間の
ＸＹ方向の距離補正を容易かつ迅速に行うプローブカー
ドとＴＡＢの位置決め装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、この発明は、図１に示すように、プローブカード２
とＴＡＢ１と演算処理装置７と自動ＸＹ移動機構１０を
備え、任意の１つのプローブ２Ａ１の位置座標５Ａと、
プローブ２Ａ１が接触すべきテストパッド１Ｃ１の位置
座標５Ｂを演算処理装置７に登録して（図１の信号Ｓ
１）補正距離Ｘ、Ｙを演算することにより、補正距離
Ｘ、Ｙに対応した信号Ｓ２３を自動ＸＹ移動機構１０に
入力してプローブカード２をＴＡＢ１に対して補正距離
Ｘ、Ｙだけ移動させることができるので、プローブとＴ
ＡＢ間のＸＹ方向の距離補正を容易かつ迅速に行うよう
に作用する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明を実施の形態によ
り添付図面を参照して説明する。図１は、この発明の実
施形態を示す全体図である。
【００１５】図１（Ａ）は、この発明をＴＡＢ用オート
ハンドラ、即ち、リールに巻かれたＴＡＢを自動的に測
定位置まで逐次搬送し、ＩＣテスタのテスト結果に基づ
いてＴＡＢを分類する装置に適用した場合の図である。
【００１６】図１（Ａ）において、参照符号１はＴＡ
Ｂ、２はプローブカード、３は接続リング、４はプロー
ブカード用ＸＹステージ、５はモニタカメラ用ＸＹステ
ージ、６はモニタカメラ、７は演算処理装置、８はモニ
タテレビ、９はプッシャ、１０は自動ＸＹ移動機構、１
１と１２はスプロケットである。
【００１７】ＴＡＢ１は、図５に示すように、テープ状
のフィルムのＸ軸方向にＩＣチップ１Ｂを多数配置する
と共に、各ＩＣチップ１Ｂの両側Ｙ軸方向にテストパッ
ド１Ｃを配置し、ＩＣチップ１Ｂとテストパッド１Ｃを
リード１Ａにより接合し、更に、ＩＣチップ１Ｂとリー
ド１Ａがレジスト１Ｄにより保護されているデバイスで
ある。
【００１８】このＴＡＢ１は、供給リール（図示省略）
と収容リール（図示省略）に巻回され、図１（Ａ）の同
期回転するスプロケット１１、１２に案内されてＸ軸方
向に走行可能であり、プッシャ９が降下することによ
り、後述するプローブカード２と接触状態になり、プッ
シャ９が上昇することにより、プローブカード２と非接
触状態になる。
【００１９】プローブカード２は、円盤状のプリント基
板を備え（図３）、プリント基板にはプローブ２Ａが複
数配列されていてＴＡＢ１（図５）の該当するテストパ
ッド１Ｃに接触するようになっている。
【００２０】プローブカード用ＸＹステージ４は、Ｘ軸
方向とＹ軸方向に移動可能に取り付けられ、後述する自
動ＸＹ移動機構１０により移動する。プローブカード用
ＸＹステージ４は、図３に示すように、Ｘステージ４Ｇ
とＹステージ４Ｆにより構成されている。Ｘステージ４
Ｇの上にはＹステージ４Ｆが、Ｙステージ４Ｆの上には
接続リング３が、それぞれ固定され、接続リング３上に
は既述したプローブカード２が搭載されている。プロー
ブカード用ＸＹステージ４の直下には（図１（Ａ））、
モニタカメラ用ＸＹステージ５上に戴置されたモニタカ
メラ６が配置され、モニタカメラ６はモニタテレビ８に
接続されている。
【００２１】この構成により、モニタカメラ用ＸＹステ
ージ５をＸ軸方向とＹ軸方向に移動させ、後述するよう
に、モニタテレビ８の画面に映し出されたターゲットマ
ーク８Ａ（図４）にプローブ２Ａ１とテストパッド１Ｃ
１を合わせて、プローブ２Ａ１とテストパッド１Ｃ１の
位置座標５Ａ（ＸＡ、ＹＡ）と５Ｂ（ＸＢ、ＹＢ）を演
算処理装置７に登録する（図１、図３の信号Ｓ１）。
【００２２】演算処理装置７は、前記モニタカメラ６か
らプローブ２Ａ１とテストパッド１Ｃ１の位置座標に対
応した信号Ｓ１を入力して登録し、後述する補正距離
Ｘ、Ｙ（式）を演算し、更に、図１（Ａ）に示す装置
全体の動作を制御する。
【００２３】演算処理装置７は、図１（Ｂ）に示すよう
に、演算部７Ａと登録部７Ｂを備え、演算部７Ａは例え
ばＣＰＵにより、登録部７Ｂは例えばＲＡＭにより、そ
れぞれ構成されている。
【００２４】演算部７Ａは、補正距離算出プログラム７
Ｃを格納し、この補正距離算出プログラム７Ｃに従って
演算を行い、自動ＸＹ移動機構１０に対して補正距離
Ｘ、Ｙに対応した信号Ｓ２３を送信する。
【００２５】補正距離算出プログラム７Ｃは、後述する
式に基づいて演算部７Ａが補正距離Ｘ、Ｙを演算する
ためのプログラムである。
【００２６】登録部７Ｂは、モニタカメラ６から入力さ
れた位置座標５Ａ（ＸＡ、ＹＡ）と５Ｂ（ＸＢ、ＹＢ）
を登録し、この位置座標５Ａと５Ｂは、演算部７Ａが補
正距離算出プログラム７Ｃに従って補正距離Ｘ、Ｙを演
算する場合に使用される（図１（Ｂ）の信号Ｓ４）。
【００２７】自動ＸＹ移動機構１０は、演算処理装置７
からの補正距離対応信号Ｓ２３を入力し、プローブカー
ド用ＸＹステージ４に搭載されたプローブカード２をＴ
ＡＢ１に対して補正距離Ｘ、Ｙ（式）だけ移動させる
機構であって、図３に示すように、既述したＸステージ
４Ｇを移動させるＸ移動機構１０Ｘと、Ｙステージ４Ｆ
を移動させるＹ移動機構１０Ｙから構成されている。
【００２８】Ｘ移動機構１０Ｘは、演算処理装置７に接
続されているパルスモータ４ＣＸと、パルスモータ４Ｃ
Ｘに結合されたボールねじ４ＢＸと、ボールねじ４ＢＸ
に螺合しＸステージ４Ｇとを連結する連結部材４ＡＸか
ら構成されている。
【００２９】また、Ｙ移動機構１０Ｙは、演算処理装置
７に接続されているパルスモータ４ＣＹと、パルスモー
タ４ＣＹに結合されたボールねじ４ＢＹと、ボールねじ
４ＢＹに螺合しＹステージ４Ｆとを連結する連結部材４
ＡＹから構成されている。
【００３０】パルスモータ４ＣＸ、４ＣＹは、パルス電
圧が印加されるごとに一定角度だけ回転し、その後静止
するモータであり、その回転軸４ＣＸ−１、４ＣＹ−１
がボールねじ４ＢＸ、４ＢＹにそれぞれ結合している。
【００３１】連結部材４ＡＸ、４ＡＹは、ボールねじ４
ＢＸ、４ＢＹとＸステージ４Ｇ、Ｙステージ４Ｆ間をそ
れぞれ連結している。
【００３２】この構成により、図３に示すように、演算
処理装置７からの補正距離対応信号Ｓ２３の内のＸ軸方
向の補正距離Ｘに対応する信号Ｓ２をパルスモータ４Ｃ
Ｘに、Ｙ軸方向の補正距離Ｙに対応する信号Ｓ３をパル
スモータ４ＣＹにそれぞれ入力して所定のパルス電圧を
印加すれば、パルスモータ４ＣＸ、４ＣＹは一定の角度
だけ回転することにより（図３の矢印Ａ、Ｃ）、ボール
ねじ４ＢＸ、４ＢＹに螺合している連結部材４ＡＸ、４
ＡＹを補正距離Ｘ、Ｙだけそれぞれ移動させる（図３の
矢印Ｂ、Ｄ）。
【００３３】連結部材４ＡＸ、４ＡＹが移動すると、そ
れらに連結しているＸステージ４Ｇ、Ｙステージ４Ｆが
従ってプローブカード用ＸＹステージ４が補正距離Ｘ、
Ｙだけ移動し、プローブ２Ａとテストパッド１Ｃ間のＸ
Ｙ方向の距離のズレが補正される（図４（Ｂ））。
【００３４】以下、前記構成を備えたこの発明の動作を
図２のフローチャートに基づいて説明する。この場合の
動作制御は、既述したように、演算処理装置７が全て行
う。
【００３５】先ず、図２のステップ１０１において、プ
ッシャ９を降下させることによりＴＡＢ１とプローブカ
ード２を接触状態にしておいて、図４（Ａ）に示すよう
に、モニタテレビ８の画面にプローブ２Ａとテストパッ
ド１Ｃを大きく表示させる。
【００３６】次に、ステップ１０２において、表示され
たプローブ２Ａのうちの任意の１つのプローブ２Ａ１の
位置座標５Ａ（ＸＡ、ＹＡ）を登録する。
【００３７】具体的には、ＸＹステージ５を移動させる
ことにより、モニタカメラ６を介してモニタテレビ８の
画面に表示されたプローブ２Ａ１の先端と、ターゲット
マーク８Ａとを合わせ（図４（Ｂ））、スイッチ（図示
省略）を押す。
【００３８】これにより、図４（Ｂ）に示すプローブ２
Ａ１の位置座標５Ａ（ＸＡ、ＹＡ）が、位置座標対応信
号Ｓ１として演算処理装置７に入力し、演算処理装置７
を構成する登録部７Ｂに登録される（図１（Ａ）、図１
（Ｂ））。
【００３９】次に、ＸＹステージ５を移動し、ステップ
１０３において、座標登録した前記プローブ２Ａ１が接
触すべきテストパッド１Ｃ１の中央と、ターゲットマー
ク８Ａを合わせ、前記と同様の動作により、テストパッ
ド１Ｃ１の位置座標５Ｂ（ＸＢ、ＹＢ）（図４（Ｂ））
を演算処理装置７に登録する。
【００４０】即ち、ＸＹステージ５を移動させることに
より、モニタカメラ６を介してモニタテレビ８に表示さ
れた任意の１つのプローブ２Ａ１の位置座標５Ａと、そ
のプローブ２Ａ１が接触すべきテストパッド１Ｃ１の位
置座標５Ｂが（図５（Ｂ））、演算処理装置７にそれぞ
れ登録された。
【００４１】位置座標が登録されると、ステップ１０４
において、演算処理装置７の演算部７Ａは登録部７Ｂか
ら位置座標を入力し（図１（Ｂ）の信号Ｓ４）、格納し
た補正距離算出プログラム７Ｃに従って、補正距離Ｘ、
Ｙの演算を行う。
【００４２】この場合、次の式により補正距離Ｘ、Ｙ
の演算を行う。 Ｘ＝ＸＡ−ＸＢ Ｙ＝ＹＡ−ＹＢ・・・
【００４３】前記補正距離Ｘ、Ｙの演算が終了すると、
ステップ１０５において、演算処理装置７は、プッシャ
９（図１（Ａ））を上昇させてプローブカード２とＴＡ
Ｂ１を非接触状態にしておく。
【００４４】これは、プローブカード２とＴＡＢ１を接
触したまま距離Ｘ、Ｙの補正をすると、プローブ２Ａが
破損し、後のテストヘッド（図示省略）によるＴＡＢ１
の電気的特性の測定が不能になるので、それを避けるた
めである。
【００４５】次いで、ステップ１０６において、演算部
７Ａは（図１）、補正距離Ｘ、Ｙを含む補正距離対応信
号Ｓ２３のうちのＸ軸方向の補正距離Ｘに対応する信号
Ｓ２をパルスモータ４ＣＸに（図３）、Ｙ軸方向の補正
距離Ｙに対応する信号Ｓ３をパルスモータ４ＣＹにそれ
ぞれ入力して所定のパルス電圧を印加し、パルスモータ
４ＣＸ、４ＣＹを一定角度だけ回転させると（図３の矢
印Ａ、Ｃ）、ボールねじ４ＢＸ、４ＢＹに螺合している
連結部材４ＡＸ、４ＡＹは補正距離Ｘ、Ｙだけそれぞれ
移動する（図３の矢印Ｂ、Ｄ）。
【００４６】連結部材４ＡＸ、４ＡＹが移動すると、ス
テップ１０７において、それらに連結しているＸステー
ジ４Ｇ、Ｙステージ４Ｆが従ってプローブカード用ＸＹ
ステージ４が自動的に移動し、プローブ２Ａとテストパ
ッド１Ｃ間のＸＹ方向の距離のズレが補正される（図４
（Ｂ））。
【００４７】
【発明の効果】上述したように、この発明によれば、プ
ローブカードとＴＡＢの位置決め装置を、プローブカー
ドとＴＡＢと演算処理装置と自動ＸＹ移動機構で構成し
たことにより、任意の１つのプローブとテストパッドの
位置座標を登録して補正距離を自動演算すると共に、補
正距離に基づいてプローブカードをＴＡＢに対して自動
的に移動できるので、プローブとＴＡＢ間の距離補正を
容易かつ迅速に行うという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施形態を示す全体図である。
【図２】 この発明の動作を説明するフローチャートで
ある。
【図３】 この発明を構成する自動ＸＹ移動機構とプロ
ーブカード用ＸＹステージの関係を示す図である。
【図４】 この発明による位置座標の登録動作説明図で
ある。
【図５】 ＴＡＢの一般的説明図である。
【図６】 従来技術の説明図である。
【符号の説明】
１ ＴＡＢ １Ｃ テストパッド ２ プローブカード ２Ａ プローブ ３ 接続リング ４ プローブカード用ＸＹステージ ４Ａ 連結部材 ４Ｂ ボールねじ ４Ｃ パルスモータ ５ モニタカメラ用ＸＹステージ ６ モニタカメラ ７ 演算処理装置 ８ モニタテレビ ８Ａ ターゲットマーク ９ プッシャ １０ 自動ＸＹ移動機構 １０Ｘ Ｘ移動機構 １０Ｙ Ｙ移動機構
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AA10 AF03 AG04 AG11 AG13 AG20 AH01 2G011 AA02 AA17 AC06 AC09 AE03 2G132 AB01 AE04 AE16 AE23 AE29 AF06 AL04 AL09 4M106 AA02 AD27 BA01 CA01 DD05 DD10 DD12 DD13 DJ02 DJ04 DJ05 DJ06 DJ07 DJ20 DJ21

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 Ｘ軸方向とＹ軸方向に移動可能に取り付
    けられたプローブカード用ＸＹステージ（４）に搭載さ
    れ、プローブ（２Ａ）を備えたプローブカード（２）
    と、 プローブ（２Ａ）が接触すべきテストパッド（１Ｃ）を
    備えたＴＡＢ（１）と、 任意の１つのプローブ（２Ａ１）の位置座標（５Ａ）、
    及び任意の１つのプローブ（２Ａ１）が接触すべきテス
    トパッド（１Ｃ１）の位置座標（５Ｂ）を登録し、Ｘ軸
    方向の補正距離（Ｘ）とＹ軸方向の補正距離（Ｙ）を演
    算する演算処理装置（７）と、 演算処理装置７に接続されていると共にプローブカード
    用ＸＹステージ（４）に連結し、前記補正距離（Ｘ、
    Ｙ）に対応した信号（Ｓ２３）を演算処理装置（７）か
    ら入力してプローブカード用ＸＹステージ（４）に搭載
    されたプローブカード（２）をＴＡＢ（１）に対して補
    正距離（Ｘ、Ｙ）だけ移動させる自動ＸＹ移動機構（１
    ０）を備えたことを特徴とするプローブカードとＴＡＢ
    の位置決め装置。
  2. 【請求項２】 演算処理装置（７）が登録部（７Ｂ）と
    演算部（７Ａ）から構成され、登録部７Ｂは前記位置座
    標（５Ａ、５Ｂ）を登録し、演算部（７Ａ）は補正距離
    算出プログラム（７Ｃ）を格納する請求項１記載のプロ
    ーブカードとＴＡＢの位置決め装置。
  3. 【請求項３】 プローブカード用ＸＹステージ（４）が
    Ｘステージ（４Ｇ）とＹステージ（４Ｆ）により構成さ
    れていると共に、自動ＸＹ移動機構（１０）がＸステー
    ジ（４Ｇ）を移動させるＸ移動機構（１０Ｘ）と、Ｙス
    テージ（４Ｆ）を移動させるＹ移動機構（１０Ｙ）によ
    り構成されている請求項１記載のプローブカードとＴＡ
    Ｂの位置決め装置。
  4. 【請求項４】 Ｘ移動機構（１０Ｘ）は、演算処理装置
    （７）に接続されているパルスモータ（４ＣＸ）と、パ
    ルスモータ（４ＣＸ）に結合されたボールねじ（４Ｂ
    Ｘ）と、ボールねじ（４ＢＸ）に螺合しＸステージ（４
    Ｇ）とを連結する連結部材（４ＡＸ）から構成され、Ｙ
    移動機構（１０Ｙ）は、演算処理装置（７）に接続され
    ているパルスモータ（４ＣＹ）と、パルスモータ（４Ｃ
    Ｙ）に結合されたボールねじ（４ＢＹ）と、ボールねじ
    （４ＢＹ）に螺合しＹステージ（４Ｆ）とを連結する連
    結部材（４ＡＹ）から構成されている請求項３記載のプ
    ローブカードとＴＡＢの位置決め装置。
JP2000379387A 2000-12-13 2000-12-13 プローブカードとｔａｂの位置決め装置 Pending JP2002181882A (ja)

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TW090130174A TW520547B (en) 2000-12-13 2001-12-06 Positioning apparatus for probe card and TAB
KR1020010078559A KR20020046981A (ko) 2000-12-13 2001-12-12 프로브 카드와 태브(ｔａｂ)를 위한 위치 결정 장치

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TW (1) TW520547B (ja)

Cited By (4)

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