JP2002133893A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
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- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Read Only Memory (AREA)
- Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
Abstract
に書換えプログラム等を格納する第2の正規メモリ領域
を備え、かつチップ面積の小さな半導体記憶装置を提供
する。 【解決手段】 予備メモリブロックを選択可能にする予
備ブロックデコーダ8と予備ブロックデコーダを有効に
する信号を保持するレジスタ部6を設け、レジスタが保
持する信号により、予備メモリブロックを第2の正規メ
モリ領域として使用するか、冗長用の予備メモリブロッ
クとして使用するかを制御する。これにより面積を増加
させることなく第2の正規メモリ領域を設けることがで
きる。
Description
し、特に不揮発性メモリセルを備えた冗長救済が可能な
半導体記憶装置に関するものである。
フラッシュメモリにおいては、記憶容量の増大及び製造
プロセスの微細化により歩留りの低下を招いている。こ
の歩留り低下を抑えるために予備のメモリセルにより不
良メモリセルを置き換えて冗長救済を行なう半導体記憶
装置が不可欠となっている。
開平5−159597号公報などに開示されたものなど
がある。図5はこのような従来の半導体記憶装置の一構
成例を模式的に示した図である。
1はn個(nは正の整数)の正規ワード線WL1〜WL
nとm個(mは正の整数)のビット線BL1〜BLmに
接続され行列状に配置されたメモリセル(MCで図示)
を有しており、予備メモリセルアレイ102はワード線
WLn+1とm個のビット線BL1〜BLmに接続した
メモリセルを有している。冗長制御回路104内の選択
回路Sa1〜Sanはロウデコーダ103の信号線R1
〜Rnを各々対応するワード線WL1〜WLn+1にス
イッチングする。制御セルCa1〜Canは、図示して
いないが、それぞれ欠陥情報を記録するためヒューズ素
子或いは不揮発性のメモリセルを有している。この制御
セルCa1〜Canの出力線は選択回路と隣接する制御
セルとに接続されている。
ついて、以下その動作を説明する。ロウデコーダ103
は、入力された行アドレスをデコードし、その結果を信
号線R1〜Rnに対して出力する。選択回路Sa1〜S
anは制御セルCa1〜Canの出力を受けてスイッチ
ングを行なう。ここではi番目(1≦i≦n)の選択回
路Saiは制御セルCaiの出力が例えば“L”(Lo
wレベル)のときワード線WLiを選択し、“H”(H
ighレベル)のときワード線WLi+1を選択する。
制御セルCaiは、制御セル内にWLiの欠陥情報を記
録しており、この欠陥情報がWLiに欠陥を持つことを
示すか、またはCai−1の出力が“H”であれば
“H”を出力し、それ以外では“L”を出力する。例と
して、i番目のワード線WLiに欠陥をもつメモリセル
MCが存在する場合、制御セルCaiに欠陥情報が記録
され、1≦k≦iを満たすkについて選択回路SkはR
kに対してWLkを選択し、i≦j≦nを満たすjにつ
いて選択回路SjはRjに対してWLj+1を選択する
ように設定される。すなわち、冗長制御回路104は図
5に示すように欠陥ワード線WLiをスキップするよう
にi番目以降の選択回路のワード線への接続をシフトさ
せることで冗長救済を行なっている。
の半導体記憶装置では、予備メモリセルアレイは、正規
メモリセルアレイ内の欠陥の冗長救済にしか用いること
ができないため、冗長救済に使用しなかった予備メモリ
セルは使用しないまま、チップ面積を増加させるという
問題があった。また、不揮発性の半導体記憶装置の場合
の書換えプログラムを格納する様な第2の正規メモリ領
域が必要な場合、正規メモリセルアレイおよび予備メモ
リセルアレイ以外に第2の正規メモリ領域用のメモリセ
ルアレイを設ける必要があり面積の増加を引き起こすと
いう問題があった。
ので、面積の増加なく第2の正規メモリ領域を設ける半
導体記憶装置を提供することを目的とする。
半導体記憶装置は、複数の正規メモリセル群と、前記複
数の正規メモリセル群と連続して順序付けられた少なく
とも1つの予備メモリセル群と、前記複数の正規メモリ
セル群と各々対応するよう設けられた複数の正規メモリ
セル群選択線と、前記予備メモリセル群に対応して設け
られた少なくとも1つの予備メモリセル群選択線と、ア
ドレスに従って複数のアドレス選択線のいずれかを選択
する正規選択手段と、予備選択信号に従って予備選択線
を選択する予備選択手段と、前記複数のアドレス選択線
の各々に対して、前記複数の正規メモリセル群選択線の
うち対応する正規メモリセル群選択線、あるいは前記対
応する正規メモリセル群選択線と連続して順序付けられ
た少なくとも1つの正規メモリセル群選択線又は予備メ
モリセル群選択線を結合する選択結合手段と、前記選択
結合手段に結合され、前記複数の正規メモリセル群のう
ち、欠陥メモリセル群を除いた正規メモリセル群又は予
備メモリセル群に対応する複数の正規メモリセル群選択
線又は予備メモリセル群選択線が、前記複数のアドレス
選択線に各々結合されるよう前記選択結合手段を制御す
る選択制御手段と、前記予備選択手段によって前記予備
メモリセルを選択するかどうかを示す予備選択手段選択
フラグを保持するレジスタ部とを備えている。
陥メモリセル群の置き換えのためにも、また、予備選択
信号に従って選択し、第2の正規メモリセルとして使用
するためにも用いることができる。
導体記憶装置であって、前記レジスタ部は、保持された
前記予備選択手段選択フラグに従って予備選択フラグ信
号を出力し、前記予備選択手段は、前記予備選択フラグ
信号が活性状態のとき、前記予備選択信号に従って前記
予備選択線を選択し、前記予備選択フラグ信号が非活性
状態のとき、前記予備選択信号にかかわらず、前記予備
選択線を常に非選択状態とすることを特徴とする。
たフラグに従って、予備メモリセル群が予備選択信号に
よっては選択されないよう制御することができる。
導体記憶装置であって、複数の予備メモリセル群と、前
記複数の予備メモリセル群に各々対応する複数の予備メ
モリセル群選択線とを備え、前記予備選択線に対して、
対応する予備メモリセル群選択線、あるいは前記対応す
る予備メモリセル群選択線と連続して順序付けられた予
備メモリセル群選択線を結合する予備選択結合手段と、
前記対応する予備メモリセル群選択線を欠陥メモリセル
群の置き換えのために使用するとき、前記対応する予備
メモリセル群選択線と連続して順序付けられた予備メモ
リセル群選択線が前記予備選択線に結合されるよう前記
予備選択結合手段を制御する予備選択制御手段とをさら
に備えたことを特徴とする。
群の一部を欠陥メモリセル群の置き換えのために、ま
た、他の一部を予備選択信号によって第2の正規メモリ
セルとして選択するために使用することができる。
導体記憶装置において、前記レジスタ部は、ヒューズ素
子あるいは不揮発性メモリセルからなる予備選択手段選
択フラグ記録手段を備え、前記予備選択手段選択フラグ
記録手段に予備選択手段選択フラグを保持することを特
徴とする。
不揮発性メモリ素子のプログラミングによって容易に予
備選択手段選択フラグを設定できる。
導体記憶装置であって、予備選択手段選択フラグを記憶
する不揮発性メモリセルを有する構成情報メモリセル群
を、前記正規メモリセル群、前記冗長メモリセル群と共
通のメモリセルアレイ内に設置し、前記メモリセルアレ
イに記憶されているデータを読み出すデータ読み出し手
段と、前記データ読み出し手段によって前記構成情報メ
モリセル群から前記予備選択手段選択フラグが読み出さ
れ、読み出された予備選択手段選択フラグが前記レジス
タ部に保持されるよう制御する読み出し制御手段とをさ
らに備えたことを特徴とする。
グ情報を正規メモリセルと同じアレイ内のメモリセルに
書き込むことができ、読み出し、書込みのための回路を
共通に利用することができ、回路規模を縮小することが
できる。
導体記憶装置であって、電源立ち上げを検知するパワー
オン検知手段をさらに備え、前記読み出し制御手段は、
前記パワーオン検知手段の出力に応答して電源立ち上げ
時に動作することを特徴とする。
で、予備選択手段選択フラグを適切に設定することがで
きる。
いて、図面を参照しながら説明する。
置の主要部の構成を示す図である。図1において、1は
行列状に配列された複数の書き換え可能な不揮発性メモ
リセルからなる正規メモリブロックBLK1〜BLKn
を順次配列することにより構成された正規メモリセルア
レイ、2は行列状に配列された複数の同様なメモリセル
からなる予備メモリブロックBLKn+1〜BLKn+
2を順次配列することにより構成された予備メモリセル
アレイ、3は入力される行アドレス内のブロックアドレ
ス(図示せず)をデコードしてその結果を順次配列され
た出力信号線R1〜Rn(アドレス選択線)に対して出
力するブロックデコーダ、6は予備メモリブロックを第
2の正規メモリ領域として使用するか否かの予備使用フ
ラグを保持し予備使用信号線7に出力するレジスタ部、
8は予備使用信号線7から入力される予備使用信号と予
備選択信号(図示せず)をデコードし、出力信号線Rn
+1(予備選択線)に対して出力する予備ブロックデコ
ーダ、4は出力信号線R1〜Rn+1とブロック選択信
号線BKS1〜BKSn+2の接続を制御する冗長制御
回路、5は冗長制御回路4を通して出力されるブロック
選択信号BKS1〜BKSn+2とアドレス(図示せ
ず)により正規メモリブロックBLK1〜BLKnおよ
び予備メモリブロックBLKn+1〜BLKn+2内の
ワード線を選択するブロック内ロウデコーダである。
はブロックデコーダ3および予備ブロックデコーダ8の
順次接続された出力信号線R1〜Rn+1にそれぞれ接
続された選択回路S1〜Sn+1を備えており、出力信
号線R1〜Rn+1をそれぞれ対応するブロック選択信
号線BKS1〜BKSn+2にスイッチングする。具体
的には、各選択回路S1〜Sn+1は、それぞれが接続
される各出力信号線R1〜Rn+1と、この出力信号線
R1〜Rn+1に対応した配列順番のブロック選択信号
線またはこのブロック選択信号線に連続して配列される
2つのブロック選択信号線(選択回路Sn+1の場合、
1つのブロック選択信号線)のいずれか1つとの接続を
スイッチングする。例えば、Riをi番目の出力信号
線、Siをi番目の選択回路、ブロック選択信号線BK
Si、BKSi+1、BKSi+2をそれぞれi番目、
i+1番目、i+2番目のブロック選択信号線とする
と、選択回路Siと接続される出力信号線Riは、ブロ
ック選択信号線BKSi、BKSi+1、BKSi+2
のいずれかと接続される。制御セル群34は、ブロック
BLK1〜BLKn+1の欠陥情報を保持する制御セル
C1〜Cn+2を備える。制御セルC1〜Cn+2は選
択回路S1〜Sn+2にそれぞれ接続されているととも
に、ブロック選択信号線の配列順に沿って互いに順次接
続されており、3つの状態“0”、“1”、“2”のい
ずれかを出力して選択回路S1〜Sn+2を制御する。
を示す回路図であり、データを書込む手段としてヒュー
ズ素子131aを備えたものを示している。P型MOS
トランジスタ130はソースが電源電圧VDDと接続さ
れ、ドレインがインバータ132の入力と接続されると
ともに、ヒューズ素子131aを介して接地されてい
る。インバータ132の出力はP型MOSトランジスタ
130のゲートに入力されるとともに、レジスタ部6の
出力となる。インバータ132は、ヒューズ素子131
aが接続されている状態では、常に“1”を出力し、P
型MOSトランジスタ130は常にオフされた状態とな
っている。ヒューズ素子が切断された場合には、インバ
ータ132の出力は“0”となり、P型MOSトランジ
スタ130はオンとなる。
を示す回路図であり、前記図2に示した回路において、
データを書込むための手段としてヒューズ素子131a
の代わりに不揮発性メモリ素子131bを備えたもので
ある。図において図2と同一符号は同一または相当する
部分を示している。この回路においては、ヒューズ素子
を切断する代わりに不揮発性メモリ素子131bに保持
される電荷を変化させることで、このメモリ素子をオン
またはオフさせることを除けば、前記図2に示した回路
と同等の構成となっている。
データを保持し、出力できるものであれば、どのような
構成のものを用いるようにしても良い。
る半導体記憶装置の動作を以下に説明する。
ブロックデコーダ3は、入力された行アドレスをデコー
ドし、その結果を信号線R1〜Rnに出力する。選択回
路S1〜Snは制御セルC1〜Cnの出力を受けてブロ
ックデコーダ3の出力R1〜Rnとブロック選択信号線
BKS1〜BKSn+2の接続のスイッチングを行な
う。ここで、i番目の選択回路Siは制御セルCiの出
力が状態“0”の場合ブロック選択信号線BKSiを選
択し、状態“1”の場合ブロック選択信号線BKSi+
1を選択し、状態“2”の場合ブロック選択信号線BK
Si+2を選択する。制御セルCiに保持されているブ
ロックBLKiの欠陥情報Di(図示せず)は欠陥有り
のときDi=“1”、欠陥無しのときDi=“0”とな
る。制御セルCiは、欠陥情報DiとDi+1から(D
i、Di+1)=(“0”、“0”)の場合、制御セル
Ci−1から受けた状態をそのまま出力する。次に、
(Di、Di+1)=(“1”、“0”)の場合、制御
セルCiの出力は、制御セルCi−1の出力が状態
“0”のとき状態“1”となる。次に(Di、Di+
1)=(“0”、“1”)の場合、制御セルCiの出力
は、制御セルCi−1の出力が状態“0”のとき状態
“0”であり、制御セルCi−1の出力が状態“1”の
とき状態“2”となる。次に(Di、Di+1)=
(“1”、“1”)の場合、制御セルCiの出力は、制
御セルCi−1の出力が状態“0”のとき“2”とな
る。これにより、欠陥を有するブロック選択線を飛ばす
ように選択回路の接続がシフトして、欠陥を有するブロ
ック選択線を除いたブロック選択線がその配列順に、順
次ブロックデコーダの出力R1〜Rnと接続され、予備
のブロック選択線により冗長救済が行なわれる。
リ領域として選択する動作について説明する。
用フラグが“0”の場合、予備使用信号線7には“0”
が出力され予備ブロックデコーダ8の出力Rn+1は常
に“0”となり、予備選択信号を予備ブロックデコーダ
8に入力しても予備メモリブロックBLKn+1、BL
Kn+2を選択することはできない。予備メモリブロッ
クは、冗長救済が行なわれた場合のみ選択可能となる。
たとえば、1つのブロックの冗長救済が行なわれた場
合、ロウデコーダの出力信号線Rnとブロック選択信号
線BKSn+1が選択回路Snで接続され、予備ブロッ
クBLKn+1が選択可能となる。また、2つのブロッ
クの冗長救済が行なわれた場合、ロウデコーダの出力信
号線Rn−1とブロック選択信号BKSn+1が選択回
路Sn−1で接続され、ロウデコーダの出力信号線Rn
とブロック選択信号BKSn+2が選択回路Snで接続
され、予備ブロックBLKn+1、BLKn+2が選択
可能となる。
用フラグが“1”の場合、予備使用信号線7には“1”
が出力され予備ブロックデコーダ8の出力Rn+1は予
備選択信号が“0”のとき“0”、予備選択信号が
“1”のとき“1”となり、予備選択信号により予備ブ
ロックBLKn+1が選択可能となり、予備ブロックB
LKn+1を第2の正規メモリ領域として書換え、読み
出しが可能となる。このとき、BLKn+2は冗長救済
が行なわれた場合のみ選択可能で、1つのブロックの冗
長救済が行なわれた場合、予備ブロックデコーダの出力
信号線Rn+1とブロック選択信号線BKSn+2が選
択回路Sn+1で接続され、予備ブロックBLKn+2
が選択可能となる。この場合、予備ブロックBLKn+
2が第2の正規メモリ領域として選択されることにな
る。
つの予備メモリブロックを用いて2つまでの欠陥ブロッ
クの冗長救済が可能であり、第2の正規メモリ領域が必
要な場合、予備メモリブロックの1つを第2の正規メモ
リ領域に割り当て、1つまでの欠陥ブロックの冗長救済
が可能な構成にレジスタのみで変更が可能になり、第2
の正規メモリセル領域用のメモリセルアレイを設ける必
要がないため面積を削減することが可能になる。レジス
タの設定のみで変更が可能なため、第2の正規メモリ領
域の必要な構成、不要な構成に応じた設計変更を行なう
手間も必要なくなる。
セルアレイ内に記憶させておくこともできる。図4はそ
のように構成した場合の本発明の半導体記憶装置の全体
構成を示すブロック図である。
一または相当する部分を示している。図4において、メ
モリセルアレイ51は構成情報ブロック52と正規メモ
リセルアレイ1と予備メモリセルアレイ2とを備えてい
る。構成情報ブロック52は行列状に配列された不揮発
性メモリセルを備えており、予備使用フラグを含む情報
を記憶している。ブロックデコーダ3a及びブロック内
ロウデコーダ5aはそれぞれ図1のブロックデコーダ
3、ブロック内ロウデコーダ5において、ロウアドレス
をデコードすることにより構成情報ブロック52を選択
できるようにしたものである。冗長制御回路4は正規メ
モリセルアレイ1内の正規メモリブロックおよび予備メ
モリセルアレイ2内の予備メモリブロックについて冗長
救済を行なう。レジスタ部16は、図1のレジスタ部6
と対応するものであるが、構成情報ブロック52から読
み出した予備使用フラグを取り込み、その後保持する構
成となっている点が異なる。
路およびカラム選択回路を備えており、メモリセルアレ
イ51に記録されたデータを読み出す回路である。デー
タ読み出し制御回路11は、構成情報ブロック52のデ
ータを読み出す際の記憶装置全体の制御を行なうもの
で、電源立ち上げ時にパワーオン検知回路12の出力に
応答して、ブロックデコーダ3aおよびブロック内ロウ
デコーダ5aに構成情報ブロック52内のメモリセルを
選択させ、データ読み出し手段10よりデータを取り込
み、レジスタ部16へ予備使用フラグをセットする。
る半導体記憶装置の動作について説明する。予備使用フ
ラグのレジスタ部16への設定の過程は、データ読み出
し制御回路11により制御される。まず、ブロックデコ
ーダ3a、ブロック内ロウデコーダ5a及びデータ読み
出し手段10によって構成情報ブロック52より予備使
用フラグが読み出される。次にデータ読み出し手段10
より出力された予備使用フラグはレジスタ部16へ渡さ
れる。以降は、このレジスタ部16に保持される予備使
用フラグを用いて、図1に関して説明したのと同様に、
予備ブロックデコーダ8および冗長制御回路4により予
備メモリブロックを第2の正規メモリ領域として使用す
るか冗長救済用ブロックとして使用するかの制御が行な
われる。
使用フラグを記録する構成情報ブロック52は、メモリ
セルアレイ51上にあり、メモリセルアレイ51の正規
メモリ領域である正規メモリセルアレイ1と同じ回路系
で制御されるため、予備使用フラグを記録するためのメ
モリセルに対する書込み、読み出しを行なうための回路
を、メモリセルアレイ51の書込み、読み出し回路とは
別に設ける必要がなく、回路規模を縮小でき、面積の縮
小が可能となる。さらにメモリセルの検査の際において
も、構成情報ブロック52は正規メモリセルアレイ1の
検査と同一の工程で出来るため検査の簡素化が図れる。
予備メモリセルアレイを第2の正規メモリ領域として使
用するか、冗長救済用のメモリ領域として使用するかを
レジスタの設定によって変更することが可能になり、第
2の正規メモリ領域が必要な場合も面積の増加がない。
また、第2の正規メモリ領域が不要な場合、全てを冗長
救済用もメモリ領域に割り当てられ、高歩留りを得るこ
とができる。
主要部の構成を示す図
レジスタ部の例を示す図
レジスタ部の他の例を示す図
全体構成を示すブロック図
16)
導体記憶装置であって、予備選択手段選択フラグを記憶
する不揮発性メモリセルを有する構成情報メモリセル群
を、前記正規メモリセル群、前記予備メモリセル群と共
通のメモリセルアレイ内に設置し、前記メモリセルアレ
イに記憶されているデータを読み出すデータ読み出し手
段と、前記データ読み出し手段によって前記構成情報メ
モリセル群から前記予備選択手段選択フラグが読み出さ
れ、読み出された予備選択手段選択フラグが前記レジス
タ部に保持されるよう制御する読み出し制御手段とをさ
らに備えたことを特徴とする。
に記憶させておくこともできる。図4はそのように構成
した場合の本発明の半導体記憶装置の全体構成を示すブ
ロック図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 複数の正規メモリセル群と、前記複数の
正規メモリセル群と連続して順序付けられた少なくとも
1つの予備メモリセル群と、前記複数の正規メモリセル
群と各々対応するよう設けられた複数の正規メモリセル
群選択線と、前記予備メモリセル群に対応して設けられ
た少なくとも1つの予備メモリセル群選択線と、アドレ
スに従って複数のアドレス選択線のいずれかを選択する
正規選択手段と、予備選択信号に従って予備選択線を選
択する予備選択手段と、前記複数のアドレス選択線の各
々に対して、前記複数の正規メモリセル群選択線のうち
対応する正規メモリセル群選択線、あるいは前記対応す
る正規メモリセル群選択線と連続して順序付けられた少
なくとも1つの正規メモリセル群選択線又は予備メモリ
セル群選択線を結合する選択結合手段と、前記選択結合
手段に結合され、前記複数の正規メモリセル群のうち、
欠陥メモリセル群を除いた正規メモリセル群又は予備メ
モリセル群に対応する複数の正規メモリセル群選択線又
は予備メモリセル群選択線が、前記複数のアドレス選択
線に各々結合されるよう前記選択結合手段を制御する選
択制御手段と、前記予備選択手段によって前記予備メモ
リセルを選択するかどうかを示す予備選択手段選択フラ
グを保持するレジスタ部とを備えたことを特徴とする半
導体記憶装置。 - 【請求項2】 前記レジスタ部は、保持された前記予備
選択手段選択フラグに従って予備選択フラグ信号を出力
し、前記予備選択手段は、前記予備選択フラグ信号が活
性状態のとき、前記予備選択信号に従って前記予備選択
線を選択し、前記予備選択フラグ信号が非活性状態のと
き、前記予備選択信号にかかわらず、前記予備選択線を
常に非選択状態とすることを特徴とする請求項1記載の
半導体記憶装置。 - 【請求項3】 複数の予備メモリセル群と、前記複数の
予備メモリセル群に各々対応する複数の予備メモリセル
群選択線とを備え、前記予備選択線に対して、対応する
予備メモリセル群選択線、あるいは前記対応する予備メ
モリセル群選択線と連続して順序付けられた予備メモリ
セル群選択線を結合する予備選択結合手段と、前記対応
する予備メモリセル群選択線を欠陥メモリセル群の置き
換えのために使用するとき、前記対応する予備メモリセ
ル群選択線と連続して順序付けられた予備メモリセル群
選択線が前記予備選択線に結合されるよう前記予備選択
結合手段を制御する予備選択制御手段とをさらに備えた
ことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 【請求項4】 前記レジスタ部は、ヒューズ素子あるい
は不揮発性メモリセルからなる予備選択手段選択フラグ
記録手段を備え、前記予備選択手段選択フラグ記録手段
に予備選択手段選択フラグを保持することを特徴とする
請求項1記載の半導体記憶装置。 - 【請求項5】 予備選択手段選択フラグを記憶する不揮
発性メモリセルを有する構成情報メモリセル群を、前記
正規メモリセル群、前記冗長メモリセル群と共通のメモ
リセルアレイ内に設置し、前記メモリセルアレイに記憶
されているデータを読み出すデータ読み出し手段と、前
記データ読み出し手段によって前記構成情報メモリセル
群から前記予備選択手段選択フラグが読み出され、読み
出された予備選択手段選択フラグが前記レジスタ部に保
持されるよう制御する読み出し制御手段とをさらに備え
たことを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 【請求項6】 電源立ち上げを検知するパワーオン検知
手段をさらに備え、前記読み出し制御手段は、前記パワ
ーオン検知手段の出力に応答して電源立ち上げ時に動作
することを特徴とする請求項5記載の半導体記憶装置。
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---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
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Country Status (2)
Country | Link |
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