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JP2002076459A - Flexible piezoelectric element - Google Patents

Flexible piezoelectric element

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Publication number
JP2002076459A
JP2002076459A JP2000263409A JP2000263409A JP2002076459A JP 2002076459 A JP2002076459 A JP 2002076459A JP 2000263409 A JP2000263409 A JP 2000263409A JP 2000263409 A JP2000263409 A JP 2000263409A JP 2002076459 A JP2002076459 A JP 2002076459A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flexible
sheet
piezoelectric element
lead wire
connection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000263409A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Nagai
彪 長井
Shigetoshi Kanazawa
成寿 金澤
Masahiko Ito
雅彦 伊藤
Yuko Fujii
優子 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2000263409A priority Critical patent/JP2002076459A/en
Publication of JP2002076459A publication Critical patent/JP2002076459A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To raise the physical strength of connections of leads and flexible electrodes and reduce the electric resistance. SOLUTION: Flexible electrodes 2a, 2b are formed on both sides of a composite piezoelectric sheet 1 and rigid sheets 4a, 4b are laminated on connections of leads 3a, 3b and the flexible electrodes 2a, 2b. Thus it is possible to raise the physical strength of the connections.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は可撓性圧電素子に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flexible piezoelectric element.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種の複合圧電素子は以下のよ
うなものであった。
2. Description of the Related Art Heretofore, this type of composite piezoelectric element has been as follows.

【0003】特開昭53−66753号公報では、チタ
ン酸ジルコン酸鉛系圧電磁器材料微粉末とポリ弗化ビニ
リデン樹脂から成る可撓性ピエゾフィルム(厚さ0.0
1mm〜1.0mm)が提案されている。この可撓性フィル
ムの両面にアルミニウム真空蒸着薄膜電極を形成し、こ
れら両電極にそれぞれリード線を接続することが開示さ
れている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-66753 discloses a flexible piezo film (having a thickness of 0.00) comprising a fine powder of a piezoelectric ceramic of lead zirconate titanate and a polyvinylidene fluoride resin.
(1 mm to 1.0 mm) has been proposed. It is disclosed that aluminum vacuum-deposited thin-film electrodes are formed on both surfaces of the flexible film, and lead wires are connected to these electrodes.

【0004】また、特開平9−294730号公報で
も、図3に示すように、高分子圧電体シート1の両面に
可撓性電極2a、2bを付着させ、これら両電極にそれ
ぞれリード線3a、3bを接続することが開示されてい
る。
In Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-294730, as shown in FIG. 3, flexible electrodes 2a and 2b are attached to both sides of a piezoelectric polymer sheet 1, and lead wires 3a and 3b is disclosed.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記各従来例
でも、リード線3a、3bを可撓性電極2a、2bに接
続するときの具体的な接続構成、接続部の物理的強度が
高くまた電気抵抗の小さな接続構成は開示されていな
い。
However, even in each of the above-mentioned conventional examples, the specific connection structure when connecting the lead wires 3a, 3b to the flexible electrodes 2a, 2b, the physical strength of the connection portion is high, and No connection configuration with low electrical resistance is disclosed.

【0006】一般的な接続構成として、リード線と可撓
性電極の両者を導電性接着剤で固着する構成が考えられ
るが、この場合、リード線3a、3bの可撓性電極2
a、2bに対する接着面積が小さいので、接続部の物理
的な強度が低いという課題がある。
As a general connection configuration, a configuration in which both the lead wire and the flexible electrode are fixed with a conductive adhesive is considered. In this case, the flexible electrode 2 of the lead wires 3a and 3b is used.
There is a problem that the physical strength of the connection part is low because the bonding area to the parts a and b is small.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、複合圧電体シートの両面に形成された可
撓性電極にそれぞれリード線を接続し、可撓性電極とリ
ード線の接続部に剛性シートを積層した可撓性圧電素子
を提供する。
According to the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, lead wires are respectively connected to flexible electrodes formed on both surfaces of a composite piezoelectric sheet, and the flexible electrodes and the lead wires are connected. The present invention provides a flexible piezoelectric element in which a rigid sheet is laminated on the connection part of (1).

【0008】上記発明によれば、剛性シートは可撓性電
極とリード線の接続部に被覆されるので、接続部やリー
ド線に加わる外力から接続部を物理的に保護する。
According to the above invention, the rigid sheet is covered with the connecting portion between the flexible electrode and the lead wire, so that the connecting portion is physically protected from external force applied to the connecting portion and the lead wire.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明の請求項1にかかる可撓性
圧電素子は、複合圧電体シートの両面に形成された可撓
性電極にそれぞれリード線を接続し、可撓性電極とリー
ド線の接続部に剛性シートを積層した構成であるので、
接続部やリード線に印加される外力から接続部を物理的
に保護する。従って、リード線の接続強度を高くでき
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A flexible piezoelectric element according to a first aspect of the present invention comprises connecting lead wires to flexible electrodes formed on both surfaces of a composite piezoelectric sheet, respectively. Since the rigid sheet is laminated at the wire connection,
The connection is physically protected from external force applied to the connection and the lead wire. Therefore, the connection strength of the lead wire can be increased.

【0010】本発明の請求項2にかかる可撓性圧電素子
では、請求項1に記載のリード線は、金属線の一端に金
属箔の溶接されたものである。この金属箔を可撓性電極
に接続することにより、接続面積が大きくなるので、接
続強度を高くできると共に接続部の抵抗も低減できる。
In the flexible piezoelectric element according to the second aspect of the present invention, the lead wire according to the first aspect is formed by welding a metal foil to one end of a metal wire. By connecting the metal foil to the flexible electrode, the connection area is increased, so that the connection strength can be increased and the resistance of the connection portion can be reduced.

【0011】本発明の請求項3にかかる可撓性圧電素子
では、請求項1に記載のリード線は、金属線の一端に金
属箔の半田付けされたものである。この金属箔を可撓性
電極に接続することにより、接続面積を大きくできるの
で、接続強度を高くできると共に接続部の抵抗も低減で
きる。
In a flexible piezoelectric element according to a third aspect of the present invention, the lead wire according to the first aspect is formed by soldering a metal foil to one end of a metal wire. The connection area can be increased by connecting the metal foil to the flexible electrode, so that the connection strength can be increased and the resistance of the connection portion can be reduced.

【0012】本発明の請求項4にかかる可撓性圧電素子
では、請求項2または3に記載の金属箔は、リード線が
接続されていない面に導電性接着層を形成したものであ
る。この導電性接着層は、可撓性電極に対する物理的な
接着層として作用すると共に金属箔と可撓性電極間の導
電性を確保する作用も有するので、この導電性接着層に
より金属箔を可撓性電極に容易に接続できる。
In a flexible piezoelectric element according to a fourth aspect of the present invention, the metal foil according to the second or third aspect has a conductive adhesive layer formed on a surface to which no lead wire is connected. The conductive adhesive layer acts as a physical adhesive layer to the flexible electrode and also has an action to secure conductivity between the metal foil and the flexible electrode. It can be easily connected to flexible electrodes.

【0013】本発明の請求項5にかかる可撓性圧電素子
では、請求項1から4に記載の剛性シートは、導電性シ
ートとしたものである。この剛性シートが、リード線と
可撓性電極の接続部に積層されたとき、剛性シートはリ
ード線と電気的に接続される。この結果、剛性シートは
接続面積を大きくするように作用するので、接続部の電
気抵抗を低減できる。
In the flexible piezoelectric element according to the fifth aspect of the present invention, the rigid sheet according to the first to fourth aspects is a conductive sheet. When the rigid sheet is laminated on the connection between the lead wire and the flexible electrode, the rigid sheet is electrically connected to the lead wire. As a result, since the rigid sheet acts to increase the connection area, the electric resistance of the connection portion can be reduced.

【0014】本発明の請求項6にかかる可撓性圧電素子
では、請求項5に記載の剛性シートは、金属シートであ
る。金属の比抵抗は小さいので、接続部の電気抵抗を実
用上最小にできる。
In the flexible piezoelectric element according to the sixth aspect of the present invention, the rigid sheet according to the fifth aspect is a metal sheet. Since the specific resistance of the metal is small, the electric resistance of the connection portion can be minimized in practical use.

【0015】本発明の請求項7にかかる可撓性圧電素子
では、請求項6に記載の金属シートは、一方の表面に導
電性接着剤の形成されたものである。導電性接着剤は、
金属シートとリード線を含めた可撓性電極部を電気的に
導通させるので、全体の電気抵抗を小さくできる。ま
た、導電性接着剤は、両者を物理的に固着できる。
In a flexible piezoelectric element according to a seventh aspect of the present invention, the metal sheet according to the sixth aspect has a conductive adhesive formed on one surface. The conductive adhesive is
Since the metal sheet and the flexible electrode portion including the lead wire are electrically connected, the overall electric resistance can be reduced. In addition, the conductive adhesive can physically fix both.

【0016】[0016]

【実施例】以下、本本発明の実施例について図面を用い
て説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0017】(実施例1)図1は本発明の実施例1の可
撓性圧電素子の構成図である。この可撓性圧電素子は、
複合圧電体シート1の両面に形成された可撓性電極2
a、2bにそれぞれリード線3a、3bを接続し、この
接続部に剛性性シート4a、4bを積層して構成され
る。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a configuration diagram of a flexible piezoelectric element according to Embodiment 1 of the present invention. This flexible piezoelectric element
Flexible electrodes 2 formed on both surfaces of composite piezoelectric sheet 1
a and 2b are connected to lead wires 3a and 3b, respectively, and rigid portions 4a and 4b are laminated on these connection portions.

【0018】複合圧電体シート1は、エポキシ樹脂、ウ
レタン樹脂、クロロプレン樹脂、塩素化ポリエチレン樹
脂などの高分子母材に、チタン酸ジルコン酸鉛などのセ
ラミック圧電体粉末を添加した複合材料をロール法など
によりシート状に加工して形成される。可撓性電極2
a、2として、アルミニウムや銀などの蒸着膜・スパッ
タ膜・焼成膜あるいは後述する複合導電体が用いられ
る。剛性シート4a、4bとして、厚さ数百μm以上の
銅、アルミニウム、ニッケルなどから成る金属シートや
ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレートなどから成
る高分子シートあるいはセラミックが用いられる。
The composite piezoelectric sheet 1 is made of a composite material obtained by adding a ceramic piezoelectric powder such as lead zirconate titanate to a polymer base material such as an epoxy resin, urethane resin, chloroprene resin, or chlorinated polyethylene resin by a roll method. It is formed by processing into a sheet shape by, for example, the above. Flexible electrode 2
As a and 2, a deposited film, a sputtered film, a fired film of aluminum or silver, or a composite conductor described later is used. As the rigid sheets 4a and 4b, a metal sheet having a thickness of several hundred μm or more made of copper, aluminum, nickel, or the like, a polymer sheet made of polyethylene, polyethylene terephthalate, or the like is used.

【0019】図1に示したように、剛性シート4a、4
bは、可撓性電極2a、2bとリード線3a、3bの接
続部に積層されるので、剛性シート4a、4bは、可撓
性電極2a、2bやリード線3a、3bと物理的に接触
する。このとき剛性シート4a、4bを接着剤などで同
接続部に固定することにより、個々のリード線3a、3
bを単独で可撓性電極2a、2bに接続する場合に比
べ、接続部面積を大きくできる。従って、同接続部やリ
ード線3a、3bに外力が印加されたとき、外力は固定
された剛性シート4a、4b全体に作用するので、リー
ド線3a、3bと可撓性電極2a、2bの接続強度を高
くできる。また、外力印加に対して剛性シート4a、4
bは変形し難く、従って、接続部もまた変形し難いの
で、接続部の形状安定性にも優れる。
As shown in FIG. 1, the rigid sheets 4a, 4a
b is laminated on the connection between the flexible electrodes 2a, 2b and the leads 3a, 3b, so that the rigid sheets 4a, 4b physically contact the flexible electrodes 2a, 2b and the leads 3a, 3b. I do. At this time, the rigid sheets 4a and 4b are fixed to the same connection portion with an adhesive or the like, so that the individual lead wires 3a and 3b are fixed.
The connection area can be increased as compared with the case where b is connected to the flexible electrodes 2a and 2b alone. Therefore, when an external force is applied to the connection portion or the lead wires 3a, 3b, the external force acts on the entire rigid sheets 4a, 4b, and the connection between the lead wires 3a, 3b and the flexible electrodes 2a, 2b. Strength can be increased. In addition, the rigid sheets 4a, 4a
Since b is not easily deformed, and therefore, the connecting portion is also hardly deformed, the shape stability of the connecting portion is also excellent.

【0020】また、剛性シート4a、4bとして、導電
性シートを用いることが望ましい。この導電性の剛性シ
ート4a、4bはリード線3a、3bを含み積層されて
いるので、リード線3a、3b直上以外の部分の導電性
の剛性シート4a、4bは可撓性電極2a、2b上に積
層されている。従って、リード線3a、3bと可撓性電
極2a、2bを結ぶ電気的通路は、リード線3a、3b
が可撓性電極2a、2bに直接接続された接続部の通路
に加え、導電性の剛性シート4a、4bを介して可撓性
電極2a、2bに至る通路もまた加わるので、リード線
3a、3bと可撓性電極2a、2bの電気抵抗を低減で
きる。
It is desirable to use conductive sheets as the rigid sheets 4a and 4b. Since the conductive rigid sheets 4a and 4b are laminated including the lead wires 3a and 3b, the conductive rigid sheets 4a and 4b other than those directly above the lead wires 3a and 3b are placed on the flexible electrodes 2a and 2b. Are laminated. Therefore, the electrical path connecting the leads 3a, 3b and the flexible electrodes 2a, 2b is
Are connected to the flexible electrodes 2a and 2b, and also to the flexible electrodes 2a and 2b via the conductive rigid sheets 4a and 4b. 3b and the electrical resistance of the flexible electrodes 2a and 2b can be reduced.

【0021】このとき、更に、接着剤として導電性接着
剤を用いることが望ましい。絶縁性接着剤を用いたと
き、剛性シート4a、4bとリード線3a、3bや可撓
性電極2a、2bの物理的接触を介した電気的な接続は
不安定になりがちであるが、導電性接着剤を用いること
により電気的な接続を安定化でき、また、これらの間の
電気抵抗も一層低減できるからである。
At this time, it is desirable to use a conductive adhesive as the adhesive. When an insulating adhesive is used, the electrical connection of the rigid sheets 4a and 4b through physical contact between the lead wires 3a and 3b and the flexible electrodes 2a and 2b tends to be unstable, This is because the electrical connection can be stabilized by using the conductive adhesive, and the electrical resistance therebetween can be further reduced.

【0022】導電性の可撓性シート4a、4bとして、
ステンレスなどの金属シートを用いることが好ましい。
金属の比抵抗は小さいので、金属から成る可撓性シート
4a、4bとリード線3a、3bや可撓性電極2a、2
bの間の電気抵抗を実用上最も小さくできる。可撓性電
極2a、2bとして、アルミニウムや銀などの蒸着膜・
スパッタ膜・焼成膜などの金属主体の膜を用いた場合、
特に有効であることは明らかである。
As the conductive flexible sheets 4a and 4b,
It is preferable to use a metal sheet such as stainless steel.
Since the specific resistance of the metal is small, the flexible sheets 4a and 4b made of metal and the leads 3a and 3b and the flexible electrodes 2a and 2a
The electric resistance during b can be minimized practically. For the flexible electrodes 2a and 2b, a deposited film of aluminum, silver, etc.
When a metal-based film such as a sputtered film or a fired film is used,
It is clear that it is particularly effective.

【0023】(実施例2)図1では、平板状のリード線
3a、3bを用いて詳述してきたが、リード線3a、3
bは、平板状でも、線状でもあるいは複数の細線束を用
いてもよいことは明らかである。これらのリード線3
a、3bを可撓性電極2a、2bに接続する場合、両者
を溶接や半田付け直接できないので、充分に大きな強度
と小さな接続部電気抵抗を兼ね備えた接続は困難であ
る。このような場合、図2に示すように、リード線3a
の一端に金属箔5の溶接または半田付けされた集合リー
ド線3を用いることが好ましい。リード線3bについて
も同様のことが言える。金属箔5として、数10μm以
上の厚さの銅やニッケル箔などが用いられる。
(Embodiment 2) In FIG. 1, the details have been described using the flat lead wires 3a and 3b.
It is clear that b may be a flat plate, a line, or a plurality of thin wire bundles. These leads 3
When a and 3b are connected to the flexible electrodes 2a and 2b, they cannot be directly welded or soldered, so that it is difficult to make a connection having both sufficiently large strength and small electric resistance at the connecting portion. In such a case, as shown in FIG.
It is preferable to use a collective lead wire 3 to which a metal foil 5 is welded or soldered to one end. The same can be said for the lead wire 3b. As the metal foil 5, a copper or nickel foil having a thickness of several tens μm or more is used.

【0024】リード線3aと金属箔5は、溶接部6や半
田付け部6を介して接続されるので、両者は物理的に強
固に、また、電気的にも小さな接続部電気抵抗で接続さ
れる。また、溶接や半田付けで接続されていない面(以
下、単に「金属箔5の接着面」という)と可撓性電極2
aが導電性接着剤で固着される。金属箔5の接着面は、
リード線3a単体と可撓性電極2aの接着部に比べ、大
きな面積にできる。従って、金属箔5の接着面と可撓性
電極2aは、物理的に強固に、また、電気的にも小さな
接続部電気抵抗で接続される。このようにして、集合リ
ード線3と可撓性電極2aは、物理的に強固に、また、
電気的にも小さな接続部電気抵抗で接続される。なお、
金属箔5の接着面に導電性接着層を予め形成することが
望ましい。接着作業が容易になるからである。
The lead wire 3a and the metal foil 5 are connected via the welded portion 6 and the soldered portion 6, so that they are physically connected firmly and electrically with a small electrical resistance at the connection portion. You. In addition, a surface that is not connected by welding or soldering (hereinafter, simply referred to as a “bonding surface of the metal foil 5”) and the flexible electrode 2
a is fixed with a conductive adhesive. The bonding surface of the metal foil 5
The area can be made larger than the bonding portion between the lead wire 3a and the flexible electrode 2a. Therefore, the bonding surface of the metal foil 5 and the flexible electrode 2a are connected physically firmly and electrically with a small connection resistance. In this way, the collective lead wire 3 and the flexible electrode 2a are physically strong,
It is electrically connected with a small connection resistance. In addition,
It is desirable to form a conductive adhesive layer on the adhesive surface of the metal foil 5 in advance. This is because the bonding operation becomes easy.

【0025】なお、外部環境からの雑音混入を防止する
ために、可撓性電極2a、2bのどちらか一方の電極は
は外部環境からシールドされるが、このような構成にあ
っても本発明の可撓性圧電素子は有効である。
Although one of the flexible electrodes 2a and 2b is shielded from the external environment in order to prevent noise from entering from the external environment, the present invention is applicable to such a configuration. Is effective.

【0026】また、これまで複合圧電体を用いて詳述し
てきたが、PVDFなど高分子圧電体を用いてもよいこ
とは明らかである。
Although the above has been described in detail using the composite piezoelectric material, it is obvious that a polymer piezoelectric material such as PVDF may be used.

【0027】[0027]

【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項1〜
7に記載の発明によれば、リード線と可撓性電極は、物
理的に強固に接続できる。
According to the present invention, as described above,
According to the invention described in Item 7, the lead wire and the flexible electrode can be physically and strongly connected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例1における可撓性圧電素子の見
取図
FIG. 1 is a sketch of a flexible piezoelectric element according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例2におけるリード線の見取図FIG. 2 is a sketch of a lead wire according to a second embodiment of the present invention.

【図3】従来の可撓性圧電素子のリード線接続構成を示
す図
FIG. 3 is a diagram showing a lead wire connection configuration of a conventional flexible piezoelectric element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 複合圧電体シート 2a、2b 可撓性電極 3 集合リード線 3a、3b リード線 4a、4b 可撓性シート 5 金属箔 6 溶接部または半田付け部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Composite piezoelectric sheet 2a, 2b Flexible electrode 3 Collective lead wire 3a, 3b Lead wire 4a, 4b Flexible sheet 5 Metal foil 6 Welded or soldered part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 雅彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 藤井 優子 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Masahiko Ito 1006 Kadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複合圧電体シートと、前記複合圧電体シ
ートの両面に形成された可撓性電極と、前記可撓性電極
にそれぞれ接続されたリード線を備え、前記可撓性電極
と前記リード線の接続部に剛性シートを積層した可撓性
圧電素子。
1. A composite piezoelectric sheet comprising: a composite piezoelectric sheet; flexible electrodes formed on both surfaces of the composite piezoelectric sheet; and lead wires respectively connected to the flexible electrodes. A flexible piezoelectric element in which a rigid sheet is laminated at the connection part of a lead wire.
【請求項2】 リード線は、金属線の一端に金属箔を溶
接した請求項1記載の可撓性圧電素子。
2. The flexible piezoelectric element according to claim 1, wherein the lead wire has a metal foil welded to one end of the metal wire.
【請求項3】 リード線は、金属線の一端に金属箔を半
田付けした請求項1記載の可撓性圧電素子。
3. The flexible piezoelectric element according to claim 1, wherein the lead wire has a metal foil soldered to one end of the metal wire.
【請求項4】 金属箔は、リード線が接続されていない
面に導電性接着層を形成した請求項2または3記載の可
撓性圧電素子。
4. The flexible piezoelectric element according to claim 2, wherein the metal foil has a conductive adhesive layer formed on a surface to which no lead wire is connected.
【請求項5】 剛性シートは、導電性シートである請求
項1から4のいずれか1項記載の可撓性圧電素子。
5. The flexible piezoelectric element according to claim 1, wherein the rigid sheet is a conductive sheet.
【請求項6】 剛性シートは、金属シートである請求項
5記載の可撓性圧電素子。
6. The flexible piezoelectric element according to claim 5, wherein the rigid sheet is a metal sheet.
【請求項7】 金属シートは、一方の表面に導電性接着
剤を形成した請求項6記載の可撓性圧電素子。
7. The flexible piezoelectric element according to claim 6, wherein a conductive adhesive is formed on one surface of the metal sheet.
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