[go: up one dir, main page]

JP2002076207A - Bgaチップとそのbgaチップを使用したソケットコネクタのクリーニングシステム - Google Patents

Bgaチップとそのbgaチップを使用したソケットコネクタのクリーニングシステム

Info

Publication number
JP2002076207A
JP2002076207A JP2000254758A JP2000254758A JP2002076207A JP 2002076207 A JP2002076207 A JP 2002076207A JP 2000254758 A JP2000254758 A JP 2000254758A JP 2000254758 A JP2000254758 A JP 2000254758A JP 2002076207 A JP2002076207 A JP 2002076207A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
socket connector
contact
bga chip
bga
chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000254758A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomoya Otsuki
智也 大槻
Yasue Yamazaki
靖恵 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
DDK Ltd
Original Assignee
DDK Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DDK Ltd filed Critical DDK Ltd
Priority to JP2000254758A priority Critical patent/JP2002076207A/ja
Publication of JP2002076207A publication Critical patent/JP2002076207A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector

Landscapes

  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、BGAチップ10の金属接点12と
ソケットコネクタ20とが多数回の接触(挿抜)を繰り
返して、ソケットコネクタ20の表面処理層に付着又は
転移した半田及びその酸化物を容易に除去出来るBGA
チップ10を提供し、且つ接触不良を容易に回復出来る
ソケットコネクタ20のクリーニングシステムを提供せ
んとするものである。 【解決手段】上記目的は、金属接点12をプラスチック
で製作したBGA(Ball Grid Array)
チップ10を使用し、BGAチップ10の性能の検査を
行うコネクタの検査システムにあって、BGAチップ1
0とソケットコネクタ20(BGA素子等に接触するコ
ネクタをいう)とを着脱自在に突き合わせて、BGAチ
ップ10の片面側の複数の金属接点12とソケットコネ
クタ20とを電気的に接続するようにしたソケットコネ
クタ20のクリーニングシステムにおいて、BGAチッ
プ10の検査に際して、数十回若しくは数百回に1度の
割合で、プラスチックで製作したBGAチップ10の接
点12を用いることで達成できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、BGAチップの複
数の金属接点(電気接点)とソケットコネクタとを一度
に電気的に接続するようにしたコネクタに関するもの
で、特にBGAチップの半田がソケットコネクタの接触
部に付着又は転移した場合のクリーニングに関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来のコネクタの一つには、BGA(B
all Grid Array)チップとソケットコネ
クタ(BGA素子等に接触するコネクタをいう)とを着
脱自在に突き合わせて、BGAチップの片面側に設けた
半田などの球状突起からなる複数の金属接点とソケット
コネクタとを電気的に接続するようにしたものがある。
なお、図示しないが、BGAチップとソケットコネクタ
とはソケット構造などのような機構を持っていて、着脱
自在に装着できるようになっている。
【0003】BGAチップ10は、剛性のあるセラミッ
クスやシリコンベースと再配線層である軟質樹脂基板等
からなり、この軟質樹脂基板の片側面には半田(PbS
n)などの球状突起からなる複数の金属接点が設けられ
ている。この金属接点は、半田ボールを軟質樹脂基板の
ランドにのせて、リフローによって形成している。ま
た、ソケットコネクタの一例としては、BGAチップの
複数の金属接点と電気的に接続できるように片面側に複
数の電気接触子が設けられている。この電気接触子は、
ソケットコネクタの基板(FPC等)の導体上に設けら
れ、当該導体の周囲の基板にはスリット状の切り込み部
を設けて当該導体部分に可撓性を持たせる構造にし、こ
の構造によってBGAチップの金属接点の高さのバラツ
キを吸収できるようにし、かつ、前記ソケットコネクタ
の電気接触子上に少なくとも1個以上の山状突起を設け
前記BGAチップの金属接点の酸化膜を突き破り確実に
接触できるようになっている。なお、電気接触子52は
接触部分なので、一般的に、ニッケル(Ni)や金(A
u)メッキなどの表面処理が施されている。この為、B
GAチップの金属接点(α)の硬度とソケットコネクタ
の電気接触子の山状突起(β)の硬度の関係は、α<β
になっている。なお、ソケットコネクタとしては、図7
のようなプロービングピンなどを用いたものも考えら
れ、例えば、剛性のある硬質樹脂プレートからなり、電
気接触子にあっては鍔部を有するピンで形成され、か
つ、硬質樹脂プレートに植設された金属製の筒体内にコ
イルスプリングなどの弾性体を介して進退自在に収納さ
れている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ソケットコネクタは、
BGAチップを検査するコネクタであるので、ソケット
コネクタに対しては数百個又は数十万個のBGAチップ
との接触が行われる。その為、次のような問題点が発生
した。図8に基づいて問題点について説明する。(A)
はBGAチップとソケットコネクタとが接触した状態の
部分断面図であり、(B)はBGAチップがソケットコ
ネクタから離れた状態の部分的な断面図である。BGA
チップの金属接点とソケットコネクタの電気接触子が数
百回接触すると、従来施されているような金メッキなど
の表面処理層に、図8(B)のように金属接点を形成し
ている半田(PbSn)が付着し易く、又は付着したも
のが酸化(SnO2)し、接触不良の原因になるといっ
た解決すべき課題があった。電気接触子の表面処理層に
半田が付着すると、数十回もしくは数百回に一度ブラシ
等で落とすことになる。しかしながら、付着物除去のた
めにはソケットコネクタを測定装置から取り外し、更に
はコネクタの接点部分がブラシ等で擦れる状態まで分解
し付着物を除去した後、元の装置に取付戻す作業が必要
になり、付着物を除去するには非常に手間が掛かり、ま
た、ブラシングを行う回数があまり頻繁だと工数アップ
になり、ひいてはコストアップに繋がるといった問題に
もなる。上述のような状態でのBGAチップの検査時に
おける、BGAチップの金属接点の表面硬度(α)とソ
ケットコネクタの電気接触子の山状突起の表面硬度
(β)と前記山状突起に付着又は転移した堆積物の硬度
(γ)との関係は、α≦γ<βになっている。付着とは
金属接点の半田(PbSn)若しくは半田の酸化物(S
nO2)が付いた状態をいい、転移とは付着した金属接
点の半田がソケットコネクタと金属間結合をした状態を
いう。このような状態では、一度付着又は転移した堆積
物はなかなか除去出来なかった。
【0005】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされたもので、BGAチップの金属接点とソケット
コネクタとが多数回の接触(挿抜)を繰り返して、ソケ
ットコネクタの表面処理層に付着又は転移した半田及び
その酸化物を容易に除去出来るBGAチップを提供し、
且つ接触不良を容易に回復出来るソケットコネクタのク
リーニングシステムを提供せんとするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的は、金属接点1
2(電気接点)をプラスチックで製作したBGA(Ba
ll Grid Array)チップ10を使用するこ
とにより達成できる。前記金属接点12(電気接点)を
含むBGAチップ10自体をプラスチックで製作しても
よい。このようにBGAチップ10自体をプラスチック
で製作することで、BGAチップ10製作工数が削減で
きる。また、ソケットコネクタ20のクリーニングシス
テムとしての上記目的は、前記BGAチップ10の性能
の検査を行うコネクタの検査システムにあって、BGA
チップ10とソケットコネクタ20(BGA素子等に接
触するコネクタをいう)とを着脱自在に突き合わせて、
前記BGAチップ10の片面側の複数の金属接点12と
前記ソケットコネクタ20とを電気的に接続するように
したソケットコネクタ20のクリーニングシステムにお
いて、前記BGAチップ10の検査に際して、数十回若
しくは数百回に1度の割合で、プラスチックで製作した
前記BGAチップ10の接点12を用いることで達成で
きる。プラスチック材料で製作した前記BGAチップ1
0の接点12は、前記BGAチップ10の接点12
(α)と前記ソケットコネクタ20(β)との硬度をα
<βの関係になるような材料にした方がよい。このよう
な硬度関係にすることで、ソケットコネクタ20の接触
部がプラスチック材料で製作したBGAチップ10の接
点12によって削られることがない。なお、前記ソケッ
トコネクタ20の電気接触子30を基板22の導体26
上に設けると共に、当該導体26の周囲の基板22には
スリット状の切り込み部24を設けて当該導体26部分
に可撓性を持たせ、かつ、前記ソケットコネクタ20の
電気接触子30上に少なくとも1個以上の山状突起31
を設け、BGAチップ10とソケットコネクタ20とを
嵌合させた際にプラスチックで製作したBGAチップ1
0の接点12がソケットコネクタ20の山状突起31上
を摺動させるようにする。このようにソケットコネクタ
20にスリット状の切り込み部24を設け、プラスチッ
クで製作したBGAチップ10の接点12がソケットコ
ネクタ20の山状突起31上を摺動することで、より確
実に堆積物50をかき落とすことができる。
【0007】
【作用】ソケットコネクタ20の電気接触子30上に少
なくとも1個以上の山状突起31を設け、かつ、クリー
ニング時のBGAチップ10の金属接点12を、前記B
GAチップ10の金属接点12(α)と前記ソケットコ
ネクタ20の電気接触子30の山状突起31の先端
(β)との硬度をα<βにし、BGAチップ10とソケ
ットコネクタ20との接触時に、BGAチップ10の金
属接点12はソケットコネクタ20の電気接触子30上
を摺動させることで、接触時に付着した堆積物50(半
田等)は前方に排除される(かき落とされるように排除
される)。BGAチップ10とソケットコネクタ20と
が嵌合した際に、BGAチップ10の接点12がソケッ
トコネクタ20の電気接触子30上を摺動する理由につ
いて説明する。上述のように摺動するのは、金属導体部
38の背面側にシリコンゴム等の弾性材料39が配置さ
れると共にソケットコネクタ20の導体26の周囲の基
板22にはスリット状の切り込み部24を設け、BGA
チップ10の金属接点12にソケットコネクタ20の電
気接触子30を押しつける接触力によって、ソケットコ
ネクタ20の電気接触子30は下方に変位し、接触位置
が変位し摺動する。この摺動について、図5に基づいて
動きを説明する。BGAチップ10の接点12は一定の
力でソケットコネクタ20の電気接触子30に押し付け
られ、BGAチップ10とソケットコネクタ20とが接
触する位置がX点(図2の状態)である。その後、一定
の力で押しつけられ続けると、上述のようにソケットコ
ネクタ20には、弾性材料層39やスリット状の切り込
み部24が設けられているために、O点を支点にしてソ
ケットコネクタ20の電気接触子30は図5の下方向へ
変位すると、ソケットコネクタ20の電気接触子30は
X点からX’点に押し下げられる。しかし、BGAチッ
プ10はソケット構造でガイドされている為、前後左右
には大きく動けず、BGAチップ10の接点12は下方
向に垂直に押し付けられるだけの動きになる。従って、
ソケットコネクタ20の電気接触子30が変位した状態
ではY点(図4の状態)で接触することになる。即ち、
BGAチップ10の接点12は、ソケットコネクタ20
の電気接触子30上をX’点からY点に一定の力で押し
つけられながら移動したことになる。この移動が摺動で
あり、移動方向が摺動方向ということになる。
【0008】
【発明の実施の形態】図に基づいて、本発明のBGAチ
ップとそのBGAチップを使用したソケットコネクタの
クリーニングシステムについて説明する。図1は一実施
例のソケットコネクタの部分拡大平面図であり、図2は
本発明に係るコネクタの部分拡大縦断側面図である。図
3は本発明に係る電気コネクタの部分拡大横断面図であ
る。図4はBGAチップがソケットコネクタの電気接触
子上を摺動した状態の本発明に係るコネクタの部分拡大
縦断側面図であり、図5はBGAチップがソケットコネ
クタの電気接触子上を摺動した状態の説明図である。図
6(A)はBGAチップにプラスチックで製作した接点
を取付けた断面側面図であり、(B)はBGAチップ全
体をプラスチックで製作した状態の断面側面図である。
【0009】まず、本発明のポイントであるBGAチッ
プ10について説明する。図2から図4は、本発明に係
るBGAチップ10の一つの実施の形態を示したもの
で、図中、10は金属やプラスチック材料からなるBG
Aチップ、12はBGAチップ10の片面側に設けられ
たプラスチック材料で製作した球状突起からなる複数の
接点である。プラスチックで製作された接点12は、図
6(A)のように圧入や接着等によって固定されてい
る。本実施例では、接点部分のみを図示したが、図6
(B)のようにBGAチップ10自体を全てプラスチッ
ク材料で製作した方がよい。このようにBGAチップ1
0を一体でプラスチック材料で製作することによって、
金属接点12部分を固定するなどの工数の削減や金属接
点12部分の位置精度を得やすくなる。上述したプラス
チック材料としては、相手コネクタであるソケットコネ
クタ20の接触部分の硬度や寸法安定性や加工性やコス
ト等を考慮して適宜選択するが、一般的にはポリブチレ
ンテレフタレート(PBT)やポリアミド(66PA、
46PA)や液晶ポリマー(LCP)やポリカーボネー
ト(PC)やこれらの合成材料を挙げることができる。
このように接点12をプラスチック材料で製作したBG
Aチップ10は、ソケットコネクタ20の電気接触子3
0部分をクリーニングするためのものである。
【0010】次に、上述したBGAチップ10と、この
BGAチップ10と嵌合するソケットコネクタ20とを
使用したコネクタ1について説明する。このコネクタ1
は、BGAチップ10とソケットコネクタ20とから構
成される。このコネクタ1において、図示しないが、B
GAチップ10とソケットコネクタ20とは、従来と同
様ソケット構造などのような機構を持っていて、着脱自
在に装着できるようになっている。ソケットコネクタに
ついて説明すると、20は適度の剛性を有する軟質樹脂
などの基板22からなるソケットコネクタ、26は基板
22の片面側に設けられた円盤状の金属層からなる導
体、28は基板22の導体形成側に施した絶縁材料など
からなる保護被覆層、30は導体26上に施された電気
接触子、31は電気接触子30に設けられた山状突起で
ある。前記電気接触子30は、BGAチップ10の複数
の金属接点12と電気的に接続できるように設けられた
ものであり、ソケットコネクタ20の基板22(FPC
等)の導体26上に設けられ、当該導体26の周囲の基
板22には図1のようにスリット状の切り込み部24を
設けて当該導体26部分に可撓性を持たせる構造にし、
この構造によってBGAチップ10の金属接点12の高
さのバラツキを吸収できるようにしている。
【0011】ソケットコネクタ20では、基板22の片
面側に例えば予め施してある銅箔などの金属層部分を、
例えば基板製造技術の一つであるプリント配線パターン
成形法によって処理して、図2に示すように、所望の導
体26を設けてある。前記導体26のBGAチップ10
との接触部分には、導電性の良い材料で電気接触子30
が設けられている。この電気接触子30は、前記導体2
6にめっきなどによって設けられている。導体26の材
料としては、導電性の良い材料であれば如何なるもので
もよく、黄銅やベリリウム銅やリン青銅などが挙げられ
る。電気接触子30はBGAチップの電気接点12と接
触する部分であり、前記導体26上に施されるめっきと
してはまず銅めっきをし、次にニッケルめっき層35を
し、最後に金めっき層33をしている。
【0012】BGAチップとテスト時に、前記BGAチ
ップ10の金属接点12との接触の際に、前記金属接点
12の酸化膜を突き破れるように、ソケットコネクタ2
0の前記電気接触子30上に少なくとも1個以上の山状
突起31を設け、その先端部はある程度鋭くとがった方
がよい。即ち、この山状突起31は、金属接点12の酸
化膜を突き破るためのものである。上述した作用と役割
を考えると、前記BGAチップ10の金属接点12の摺
動方向とソケットコネクタ20の山状突起31を平行に
配列したほうがよい。このように配列させることで、確
実に接触時に金属接点12の酸化膜を突き破ることがで
きる。また、電気接触子30上に山状突起31を設ける
ことで、BGAチップ10とソケットコネクタ20との
嵌合の際に、金属接点12の酸化膜を突き破るだけでな
く、確実に堆積物50をクリーニングしたところに次の
BGAチップ10の金属接点12が接触できるようにな
る。ソケットコネクタ20の電気接触子30の山状突起
31のクリーニング時には、上述した金属接点12をプ
ラスチック材料で製作したBGAチップ10を用いて、
上述のソケットコネクタ20に接触させ、摺動させるこ
とで、ソケットコネクタ20の電気接触子30に付着又
は転移した堆積物50を除去することができる。
【0013】最後に、上述したプラスチックで製作した
接点12を使用したBGAチップ10を用いたソケット
コネクタ20のクリーニングシステムについて説明す
る。プラスチックで製作した接点12を使用したBGA
チップ10と製品としてのBGAチップ10を検査する
ソケットコネクタ20とは、上述のような構造である。
製品としてのBGAチップ10は、従来の技術で記述し
たように剛性のあるセラミックスやシリコンベースと再
配線層である軟質樹脂基板などからなり、この軟質樹脂
基板の片側面には半田(PbSn)などの球状突起から
なる複数の金属接点12が設けられ、この金属接点12
は半田ボールを軟質樹脂基板のランドにのせて、リフロ
ーによって形成している。前記BGAチップ10の性能
の検査を行うコネクタ1の検査システムにあって、前記
コネクタ1のクリーニングシステムでは、製品としての
前記BGAチップ10の検査に際して、数百回若しくは
数千回に1度の割合で、金属接点をプラスチック材料で
製作した前記BGAチップ10を用いることによって、
ソケットコネクタ20の電気接触子30の表面に付着又
は転移した堆積物50を取り除くことができる。つま
り、検査工程にクリーニング可能なBGAチップ10を
使用し、ソケットコネクタ20のクリーニングを検査工
程に組込んだシステムにできる。クリーニング時の本発
明のプラスチックで製作した前記BGAチップ10の接
点(α)と前記ソケットコネクタ20の電気接触子30
の山状突起31の先端(β)との硬度関係は、α<βに
する。このような硬度関係にすることで、間違ってもソ
ケットコネクタ20の電気接触子30の山状突起31の
先端を削ることがない。
【0014】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のBGAチップやソケットコネクタのクリーニングシス
テムによると、次のような優れた効果が得られる。 (1)クリーニング時に、金属接点12をプラスチック
材料で製作したBGAチップ10を使用することで、容
易にソケットコネクタ20の接触部分に付着又は転移し
た堆積物50を除去することができる。 (2)クリーニング時のプラスチックで製作した前記B
GAチップ10の接点12(α)とソケットコネクタ2
0の接触部分(β)との硬度をα<βにすることによ
り、間違ってもソケットコネクタ20の接触部分を傷つ
けたり、削ったりすることがない。 (3)クリーニング時に、プラスチックで製作したBG
Aチップ10の接点12を摺動させると、より確実にソ
ケットコネクタ20の接触部分に付着又は転移した堆積
物50を除去することができる。 (4)電気接触子30上に山状突起31を設けること
で、BGAチップ10とソケットコネクタ20との嵌合
の際に、金属接点12の酸化膜を突き破るだけでなく、
確実に堆積物50をクリーニングしたところに次のBG
Aチップ10の金属接点12が接触できるようになる。 (5)クリーニング時のBGAチップ10の金属接点1
2をプラスチック材料にしているので、容易に、前記B
GAチップ10の金属接点12(α)とソケットコネク
タ20の接触部分(β)との硬度をα<βにすることが
できる。 (6)製品の前記BGAチップ10の検査に際して、数
十回若しくは数百回に1度の割合で、金属接点12をプ
ラスチック材料で製作した前記BGAチップ10を用い
ることによって、ソケットコネクタ20の電気接触子3
0の表面に付着又は転移した堆積物50を取り除くこと
ができ、取り外してクリーニングすることがなく、検査
工程の中で容易にクリーニングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一実施例のソケットコネクタの部分拡大平面図
である。
【図2】本発明に係るコネクタの部分拡大縦断側面図で
ある。
【図3】本発明に係るコネクタの部分拡大横断面図であ
る。
【図4】BGAチップがソケットコネクタの電気接触子
上を摺動した状態の本発明に係るコネクタの部分拡大縦
断側面図である。
【図5】BGAチップがソケットコネクタの電気接触子
上を摺動した状態の説明図である。
【図6】(A)BGAチップにプラスチックで製作した
接点を取付けた断面側面図である。 (B)BGAチップ全体をプラスチックで製作した状態
の断面側面図である。
【図7】プロービングピンなどを用いたソケットコネク
タとBGAチップの部分拡大縦断側面図である。
【図8】(A)BGAチップとソケットコネクタとが接
触した状態の部分断面図である。 (B)BGAチップがソケットコネクタから離れた状態
の部分的な断面図である。
【符号の説明】
1 コネクタ 10 BGAチップ 12 金属接点 20、201 ソケットコネクタ 22 基板 24 スリット状の切り込み部 26 導体 28 保護被覆層 30、42 電気接触子 31 山状突起 32 開口 33 金めっき層 34 リード線 35 ニッケルめっき層 36 舌状の可動小片部分 38 金属導体部 39 弾性材料層 40 スルホール 44 鍔部 46 接触子用筒体 48 弾性体 50 堆積物

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 金属接点(電気接点)をプラスチックで
    製作したことを特徴とするBGA(Ball Grid
    Array)チップ。
  2. 【請求項2】 金属接点(電気接点)を含むBGAチッ
    プ自体をプラスチックで製作したことを特徴とする請求
    項1記載のBGAチップ。
  3. 【請求項3】前記BGAチップの性能の検査を行うコネ
    クタの検査システムにあって、BGAチップとソケット
    コネクタ(BGA素子等に接触するコネクタをいう)と
    を着脱自在に突き合わせて、前記BGAチップの片面側
    の複数の金属接点と前記ソケットコネクタとを電気的に
    接続するようにしたソケットコネクタのクリーニングシ
    ステムにおいて、 前記BGAチップの検査に際して、数十回若しくは数百
    回に1度の割合で、プラスチックで製作した前記BGA
    チップの接点を用いたことを特徴とするソケットコネク
    タのクリーニングシステム。
  4. 【請求項4】 プラスチック材料で製作した前記BGA
    チップの接点を、前記BGAチップの接点(α)と前記
    ソケットコネクタ(β)との硬度をα<βの関係になる
    ような材料にしたことを特徴とする請求項3記載のソケ
    ットコネクタのクリーニングシステム。
  5. 【請求項5】 前記ソケットコネクタの電気接触子を基
    板の導体上に設けると共に、当該導体の周囲の基板には
    スリット状の切り込み部を設けて当該導体部分に可撓性
    を持たせ、かつ、前記ソケットコネクタの電気接触子上
    に少なくとも1個以上の山状突起を設け、BGAチップ
    とソケットコネクタとを嵌合させた際にプラスチックで
    製作したBGAチップの接点がソケットコネクタの山状
    突起上を摺動することを特徴とする請求項3記載のソケ
    ットコネクタのクリーニングシステム。
JP2000254758A 2000-08-25 2000-08-25 Bgaチップとそのbgaチップを使用したソケットコネクタのクリーニングシステム Pending JP2002076207A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000254758A JP2002076207A (ja) 2000-08-25 2000-08-25 Bgaチップとそのbgaチップを使用したソケットコネクタのクリーニングシステム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000254758A JP2002076207A (ja) 2000-08-25 2000-08-25 Bgaチップとそのbgaチップを使用したソケットコネクタのクリーニングシステム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002076207A true JP2002076207A (ja) 2002-03-15

Family

ID=18743645

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000254758A Pending JP2002076207A (ja) 2000-08-25 2000-08-25 Bgaチップとそのbgaチップを使用したソケットコネクタのクリーニングシステム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002076207A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103811900A (zh) * 2014-02-26 2014-05-21 陆腾蛟 一种消除电火花的插座及阳极化生产工艺
KR20210106749A (ko) * 2020-02-21 2021-08-31 신종천 신호 전송 커넥터용 소켓 조립체와 신호 전송 커넥터 및 소켓 조립체의 제조방법
KR20210106860A (ko) * 2020-02-21 2021-08-31 신종천 신호 전송 커넥터 및 신호 전송 커넥터용 소켓 조립체의 제조방법

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103811900A (zh) * 2014-02-26 2014-05-21 陆腾蛟 一种消除电火花的插座及阳极化生产工艺
CN103811900B (zh) * 2014-02-26 2016-03-23 陆腾蛟 一种消除电火花的插座及阳极化生产工艺
KR20210106749A (ko) * 2020-02-21 2021-08-31 신종천 신호 전송 커넥터용 소켓 조립체와 신호 전송 커넥터 및 소켓 조립체의 제조방법
KR20210106860A (ko) * 2020-02-21 2021-08-31 신종천 신호 전송 커넥터 및 신호 전송 커넥터용 소켓 조립체의 제조방법
KR102341975B1 (ko) * 2020-02-21 2021-12-21 신종천 신호 전송 커넥터용 소켓 조립체
KR102349967B1 (ko) * 2020-02-21 2022-01-12 신종천 신호 전송 커넥터 및 신호 전송 커넥터용 소켓 조립체의 제조방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100416675B1 (ko) 접속 장치 및 검사 시스템
US6576485B2 (en) Contact structure and production method thereof and probe contact assembly using same
JP4421481B2 (ja) 通電試験用プローブ
US5828226A (en) Probe card assembly for high density integrated circuits
JP4863585B2 (ja) コンタクトストラクチャ並びにその製造方法及びそれを用いたプローブコンタクトアセンブリ
US7423439B2 (en) Probe sheet adhesion holder, probe card, semiconductor test device, and manufacturing method of semiconductor device
TW439166B (en) Connecting apparatus, method of fabricating wiring film with holder, inspection system and method of fabricating semiconductor element
JP5162338B2 (ja) カードエッジコネクタ
KR100888128B1 (ko) 접속 구조물 및 그의 제조 방법과 그를 사용하는 탐침접속 조립체
CA2759189A1 (en) Electrically conductive kelvin contacts for microcircuit tester
WO2007017955A1 (ja) 通電試験用プローブ
US4870356A (en) Multi-component test fixture
US6450821B2 (en) Electrical connectors adapted to reduce or prevent adherence of conductive material to contact portions as the connector
JP4209696B2 (ja) 電気的接続装置
JP5243947B2 (ja) コネクタ
JP2002076207A (ja) Bgaチップとそのbgaチップを使用したソケットコネクタのクリーニングシステム
US20020175695A1 (en) Micro probing techniques for testing electronic assemblies
US20030176066A1 (en) Contact structure and production method thereof and probe contact assemly using same
JP2001266990A (ja) 電気コネクタ
JP3781480B2 (ja) プローブカード
JPH077787B2 (ja) 半導体素子検査装置及びその製法
JP4061383B2 (ja) 電気コネクタ
KR100259060B1 (ko) 반도체 칩 테스트 소켓 및 콘텍터 제조방법
JP2001124799A (ja) プローブシート及びその製造方法並びにプローブカード
US20020045366A1 (en) Electrical connector