JP2002074751A - 光学記録媒体および光学記録媒体の再生方法 - Google Patents
光学記録媒体および光学記録媒体の再生方法Info
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Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板上に記録再生層と非線形材料層とが設け
られた光学記録媒体において、光学的に実効的な光スポ
ット径の小径化を図り、記録密度の高密度化を可能にす
るとともに、情報信号のクロストークを防止する。 【解決手段】 光磁気ディスク1を、ディスク基板2上
に、AlTiからなる反射層4、Sbからなる非線形材
料層6、TbFeCoからなる記録再生層7、およびS
iNからなる第2の誘電体層8を少なくとも積層させて
構成する。これらの各層を、非線形材料層6における結
晶状態を維持する所定のしきい値温度未満の領域(室温
近傍領域11)において、レーザ光L1の反射を抑制す
る条件が成立し、所定のしきい値温度以上の領域(高温
領域12)において、レーザ光L 1の反射光が得られる
ようにする。この条件を有効フレネル係数法による計算
シュミレーションにより設定する。
られた光学記録媒体において、光学的に実効的な光スポ
ット径の小径化を図り、記録密度の高密度化を可能にす
るとともに、情報信号のクロストークを防止する。 【解決手段】 光磁気ディスク1を、ディスク基板2上
に、AlTiからなる反射層4、Sbからなる非線形材
料層6、TbFeCoからなる記録再生層7、およびS
iNからなる第2の誘電体層8を少なくとも積層させて
構成する。これらの各層を、非線形材料層6における結
晶状態を維持する所定のしきい値温度未満の領域(室温
近傍領域11)において、レーザ光L1の反射を抑制す
る条件が成立し、所定のしきい値温度以上の領域(高温
領域12)において、レーザ光L 1の反射光が得られる
ようにする。この条件を有効フレネル係数法による計算
シュミレーションにより設定する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、光学記録媒体お
よび光学記録媒体の再生方法に関し、特に、透過率が温
度により非線形的に変化する非線形材料からなる層を有
する光学記録媒体に適用して好適なものである。
よび光学記録媒体の再生方法に関し、特に、透過率が温
度により非線形的に変化する非線形材料からなる層を有
する光学記録媒体に適用して好適なものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、基板上に信号記録層や誘電体
層などが積層された積層膜が設けられ、信号記録層に光
を照射することにより情報信号の書き込みや読み出し
(記録/再生)が行われる光学記録媒体が普及してい
る。
層などが積層された積層膜が設けられ、信号記録層に光
を照射することにより情報信号の書き込みや読み出し
(記録/再生)が行われる光学記録媒体が普及してい
る。
【0003】これらの光学記録媒体のうちの光磁気ディ
スクは、信号記録層として非晶質の希土類遷移金属合金
などからなる光磁気記録膜が用いられ、この信号記録層
にレーザ光を照射しながら外部磁化を印加することによ
り、情報の記録が行われる。また、記録された情報の再
生は、信号記録層にレーザ光を照射し、その反射光の偏
光面の回転を検出することにより行われる。
スクは、信号記録層として非晶質の希土類遷移金属合金
などからなる光磁気記録膜が用いられ、この信号記録層
にレーザ光を照射しながら外部磁化を印加することによ
り、情報の記録が行われる。また、記録された情報の再
生は、信号記録層にレーザ光を照射し、その反射光の偏
光面の回転を検出することにより行われる。
【0004】これらの光学記録媒体において、できるだ
け多くの情報を記録可能にするために、記録密度の高密
度化が盛んに進められている。これまでの光学記録媒体
の高密度化は、媒体に集光される光スポット径を小さく
することにより行われてきた。光スポット径は、使用さ
れる光源の波長(λ)と対物レンズの開口数(Numerica
l Aperture、NA)とにより制限され、ほぼλ/(2N
A)に比例する。したがって、高記録密度化を達成する
ためには、レーザ光の短波長化、そして対物レンズの高
NA化が要求される。
け多くの情報を記録可能にするために、記録密度の高密
度化が盛んに進められている。これまでの光学記録媒体
の高密度化は、媒体に集光される光スポット径を小さく
することにより行われてきた。光スポット径は、使用さ
れる光源の波長(λ)と対物レンズの開口数(Numerica
l Aperture、NA)とにより制限され、ほぼλ/(2N
A)に比例する。したがって、高記録密度化を達成する
ためには、レーザ光の短波長化、そして対物レンズの高
NA化が要求される。
【0005】まず、レーザ光の短波長化に関しては、第
1世代光ディスクにおいて、レーザ光の波長λが830
nmであったものが、現在、普及し始めているDVD
(Digital Versatile Disc)においては、650nmま
で短波長化されている。また、NAに関しても、第1世
代光ディスクにおいて、対物レンズのNAが0.45程
度であったものが、DVDにおいては0.60程度にま
で高くなり、高NA化が進んでいる。
1世代光ディスクにおいて、レーザ光の波長λが830
nmであったものが、現在、普及し始めているDVD
(Digital Versatile Disc)においては、650nmま
で短波長化されている。また、NAに関しても、第1世
代光ディスクにおいて、対物レンズのNAが0.45程
度であったものが、DVDにおいては0.60程度にま
で高くなり、高NA化が進んでいる。
【0006】さらに、光源となる半導体レーザの開発も
進められており、最近では、波長400nmの青色帯の
レーザ光を照射可能な半導体レーザも開発されてきてい
る。また、NAを0.85とした光ディスクシステムの
実用化に向けての開発も盛んに行われている。
進められており、最近では、波長400nmの青色帯の
レーザ光を照射可能な半導体レーザも開発されてきてい
る。また、NAを0.85とした光ディスクシステムの
実用化に向けての開発も盛んに行われている。
【0007】一方、光磁気記録膜間の相互作用や非線形
材料を利用することによって、実効的なスポット径を小
さくする技術も提案されている。
材料を利用することによって、実効的なスポット径を小
さくする技術も提案されている。
【0008】この実効的なスポット径の小径化技術のう
ち、磁気的超解像は、多層化された光磁気記録層間の交
換結合または静磁結合の温度依存性を利用し、光スポッ
ト内の高温部分または低温部分、もしくはそれらの両方
の部分を磁気的にマスクすることによって、実効的な光
スポット径を小さくし、再生を行う技術であり、現在、
製品化に至っている。
ち、磁気的超解像は、多層化された光磁気記録層間の交
換結合または静磁結合の温度依存性を利用し、光スポッ
ト内の高温部分または低温部分、もしくはそれらの両方
の部分を磁気的にマスクすることによって、実効的な光
スポット径を小さくし、再生を行う技術であり、現在、
製品化に至っている。
【0009】非線形材料を利用した例としては、高温に
おいて急激に透過率が増加するアンチモン(Sb)膜を
利用した例が挙げられる。Sb膜はレーザ光が照射され
ることによって高温になると、結晶−アモルファス(非
晶質)相転位を起こす。そして、Sb膜のアモルファス
状態における消衰係数は、結晶状態における消衰係数と
大きく異なる。すなわち、Sb膜においては、結晶状態
における消衰係数に比して、アモルファス状態での消衰
係数は非常に小さくなる。そのため、高温のアモルファ
ス状態において、透過率は増加する。また、レーザ光の
照射を止めると、Sb膜は結晶状態に戻るため、透過率
は減少する。
おいて急激に透過率が増加するアンチモン(Sb)膜を
利用した例が挙げられる。Sb膜はレーザ光が照射され
ることによって高温になると、結晶−アモルファス(非
晶質)相転位を起こす。そして、Sb膜のアモルファス
状態における消衰係数は、結晶状態における消衰係数と
大きく異なる。すなわち、Sb膜においては、結晶状態
における消衰係数に比して、アモルファス状態での消衰
係数は非常に小さくなる。そのため、高温のアモルファ
ス状態において、透過率は増加する。また、レーザ光の
照射を止めると、Sb膜は結晶状態に戻るため、透過率
は減少する。
【0010】このSb膜の光学特性の非線形性を利用し
て、光スポット内の高温部分にSb膜の開口を設定し、
その開口からの情報を再生するという試みが行われてい
る。さらに、Sb膜の微小開口からしみだした光と情報
が記録されている信号記録層とをカップリングさせるこ
とによって、新しい近接場光記録再生方式の提案もなさ
れている。
て、光スポット内の高温部分にSb膜の開口を設定し、
その開口からの情報を再生するという試みが行われてい
る。さらに、Sb膜の微小開口からしみだした光と情報
が記録されている信号記録層とをカップリングさせるこ
とによって、新しい近接場光記録再生方式の提案もなさ
れている。
【0011】このように、高密度化のために実効的な光
スポット径を小さくすることにより、線密度方向のみな
らず、トラック方向の密度の高密度化をも図ることも可
能である。
スポット径を小さくすることにより、線密度方向のみな
らず、トラック方向の密度の高密度化をも図ることも可
能である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、トラッ
ク方向の密度は、クロストーク防止の観点から、おのず
と制限されてしまうという問題があり、トラック方向の
密度の増加を図ることは、非常に困難であった。
ク方向の密度は、クロストーク防止の観点から、おのず
と制限されてしまうという問題があり、トラック方向の
密度の増加を図ることは、非常に困難であった。
【0013】したがって、この発明の目的は、基板上
に、少なくとも記録再生層と透過率が非線形的に変化す
る非線形材料からなる層とからなる積層膜が設けられ、
レーザ光を照射することにより、情報信号を再生可能に
構成された光学記録媒体において、光学的に実効的な光
スポット径の小径化を図ることができ、高密度化を可能
とし、さらに情報信号のクロストークを防止することが
できる光学記録媒体および光学記録媒体の再生方法を提
供することにある。
に、少なくとも記録再生層と透過率が非線形的に変化す
る非線形材料からなる層とからなる積層膜が設けられ、
レーザ光を照射することにより、情報信号を再生可能に
構成された光学記録媒体において、光学的に実効的な光
スポット径の小径化を図ることができ、高密度化を可能
とし、さらに情報信号のクロストークを防止することが
できる光学記録媒体および光学記録媒体の再生方法を提
供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明者は、従来技術が
有する上述の課題を解決すべく、鋭意検討を行った。以
下にその概要を説明する。
有する上述の課題を解決すべく、鋭意検討を行った。以
下にその概要を説明する。
【0015】すなわち、本発明者の知見によれば、非線
形材料からなる層を有する光学記録媒体においてクロス
トークを低減するには、所望の反射光を得る領域以外の
領域における反射光を可能な限り低減することが必要で
ある。そこで、本発明者は、レーザ光の反射を所望の領
域からのみ得て、必要のない領域からのレーザ光の反射
を防止する方法について鋭意検討を重ねた。この鋭意検
討の結果、本発明者は、光学記録媒体を構成する多層薄
膜に着目し、多層薄膜における光波解析について検討を
行うのが好ましいことを想起し、さらに検討を重ねた。
そして、この検討の結果、本発明者は、有効フレネル(F
resnel)係数法により、多層薄膜における反射率、透過
率の計算が可能となり、光学記録媒体を構成する各層の
複素屈折率(屈折率、消衰係数)および膜厚が分かれ
ば、多層膜における反射率および透過率を求めることが
できることを知見し、これにより、レーザ光の所望しな
い領域からの反射を抑制する条件を設定することができ
ることを想起した。
形材料からなる層を有する光学記録媒体においてクロス
トークを低減するには、所望の反射光を得る領域以外の
領域における反射光を可能な限り低減することが必要で
ある。そこで、本発明者は、レーザ光の反射を所望の領
域からのみ得て、必要のない領域からのレーザ光の反射
を防止する方法について鋭意検討を重ねた。この鋭意検
討の結果、本発明者は、光学記録媒体を構成する多層薄
膜に着目し、多層薄膜における光波解析について検討を
行うのが好ましいことを想起し、さらに検討を重ねた。
そして、この検討の結果、本発明者は、有効フレネル(F
resnel)係数法により、多層薄膜における反射率、透過
率の計算が可能となり、光学記録媒体を構成する各層の
複素屈折率(屈折率、消衰係数)および膜厚が分かれ
ば、多層膜における反射率および透過率を求めることが
できることを知見し、これにより、レーザ光の所望しな
い領域からの反射を抑制する条件を設定することができ
ることを想起した。
【0016】ここで、有効フレネル係数法による多層薄
膜の反射率および透過率の計算方法について説明する。
なお、多層薄膜としては、3層薄膜を例として説明す
る。
膜の反射率および透過率の計算方法について説明する。
なお、多層薄膜としては、3層薄膜を例として説明す
る。
【0017】すなわち、図14Aに示すように、例えば
大気を媒質0とし、媒質1、媒質2、媒質3とからなる
3層薄膜において、入射光が垂直に入射する場合、媒質
3の2つの境界における多重干渉の結果求められる振幅
反射率および振幅透過率は、次式により求めることがで
きる。
大気を媒質0とし、媒質1、媒質2、媒質3とからなる
3層薄膜において、入射光が垂直に入射する場合、媒質
3の2つの境界における多重干渉の結果求められる振幅
反射率および振幅透過率は、次式により求めることがで
きる。
【0018】
【数1】 なお、媒質3と媒質0とのフレネル係数をr3,t3、媒
質2と媒質3とのフレネル係数をr2,t2とし、nj(j
=0,1,2,3)をそれぞれの媒質の屈折率、kj(j
=0,1,2,3)をそれぞれの媒質の消衰係数、dj
をそれぞれの媒質の膜厚、iを虚数単位とする。また、
質2と媒質3とのフレネル係数をr2,t2とし、nj(j
=0,1,2,3)をそれぞれの媒質の屈折率、kj(j
=0,1,2,3)をそれぞれの媒質の消衰係数、dj
をそれぞれの媒質の膜厚、iを虚数単位とする。また、
【数2】 をそれぞれ媒質3と媒質0との複素屈折率とし、例え
ば、図14Bに示すような媒質3と媒質0とのフレネル
係数r3,t3は、上述の媒質3および媒質0の複素屈折
率を用いて、次式のようにして求めることができる。
ば、図14Bに示すような媒質3と媒質0とのフレネル
係数r3,t3は、上述の媒質3および媒質0の複素屈折
率を用いて、次式のようにして求めることができる。
【0019】
【数3】
【0020】次に、媒質2の媒質3との境界における有
効フレネル係数を、上式の(1a),(1b)とする。そして、
図14Cに示すように、これらの有効フレネル係数およ
び、媒質1と媒質2とのフレネル係数r1,t1により、
媒質2の2つの境界における多重干渉の結果求められる
振幅反射率および振幅透過率が、次式により求められ
る。
効フレネル係数を、上式の(1a),(1b)とする。そして、
図14Cに示すように、これらの有効フレネル係数およ
び、媒質1と媒質2とのフレネル係数r1,t1により、
媒質2の2つの境界における多重干渉の結果求められる
振幅反射率および振幅透過率が、次式により求められ
る。
【0021】
【数4】
【0022】以上の計算を媒質1まで繰り返し行うこと
により、多層膜の反射率および透過率を求めることがで
きる。したがって、多層膜において、それぞれの層に固
有の複素屈折率(屈折率、消衰係数)、およびそれぞれ
の層の膜厚を用いて、多層膜の反射率および透過率を求
めることができる。
により、多層膜の反射率および透過率を求めることがで
きる。したがって、多層膜において、それぞれの層に固
有の複素屈折率(屈折率、消衰係数)、およびそれぞれ
の層の膜厚を用いて、多層膜の反射率および透過率を求
めることができる。
【0023】以上のことから、本発明者は、所望の領域
以外の領域からの反射を抑制するためには、レーザ光の
照射によって加熱され透過率が急激に増加した領域のみ
からレーザ光の反射光を得ることができ、透過率が変化
しない領域からの反射を抑制するように、光学記録媒体
を構成する各層の条件を設定することが好ましいことを
想起した。さらに、そのような無反射条件は、有効フレ
ネル係数法により計算可能であることを想起した。
以外の領域からの反射を抑制するためには、レーザ光の
照射によって加熱され透過率が急激に増加した領域のみ
からレーザ光の反射光を得ることができ、透過率が変化
しない領域からの反射を抑制するように、光学記録媒体
を構成する各層の条件を設定することが好ましいことを
想起した。さらに、そのような無反射条件は、有効フレ
ネル係数法により計算可能であることを想起した。
【0024】上記目的を達成するために、この発明の第
1の発明は、基板上に、少なくとも記録再生層と透過率
が非線形的に変化する非線形材料層とが積層されて設け
られ、レーザ光を照射することにより加熱された領域に
おいて情報信号を再生可能に構成された光学記録媒体に
おいて、非線形材料層における所定のしきい値温度未満
の領域に、レーザ光の無反射条件が成立し、非線形材料
層における所定のしきい値温度以上の領域に、レーザ光
を反射可能に構成されていることを特徴とするものであ
る。
1の発明は、基板上に、少なくとも記録再生層と透過率
が非線形的に変化する非線形材料層とが積層されて設け
られ、レーザ光を照射することにより加熱された領域に
おいて情報信号を再生可能に構成された光学記録媒体に
おいて、非線形材料層における所定のしきい値温度未満
の領域に、レーザ光の無反射条件が成立し、非線形材料
層における所定のしきい値温度以上の領域に、レーザ光
を反射可能に構成されていることを特徴とするものであ
る。
【0025】この第1の発明において、典型的には、レ
ーザ光に対してしきい値温度以上の領域から得られる反
射光により、光学記録媒体のトラッキングまたはフォー
カシングを行うことができるように構成されている。
ーザ光に対してしきい値温度以上の領域から得られる反
射光により、光学記録媒体のトラッキングまたはフォー
カシングを行うことができるように構成されている。
【0026】この発明の第2の発明は、基板上に、少な
くとも記録再生層と透過率が非線形的に変化する非線形
材料層とが積層され、レーザ光の照射により情報信号を
再生するようにした光学記録媒体の再生方法において、
非線形材料層が透過率の変化するしきい値温度未満のと
きに、光学記録媒体に照射されたレーザ光を反射しない
条件が成立し、レーザ光の照射領域における非線形材料
層がしきい値温度以上のときに、光学記録媒体にレーザ
光を照射して、レーザ光の反射が得られるように構成さ
れ、光学記録媒体におけるしきい値温度以上の領域から
得られるレーザ光の反射光により、情報信号の再生を行
うようにしたことを特徴とするものである。
くとも記録再生層と透過率が非線形的に変化する非線形
材料層とが積層され、レーザ光の照射により情報信号を
再生するようにした光学記録媒体の再生方法において、
非線形材料層が透過率の変化するしきい値温度未満のと
きに、光学記録媒体に照射されたレーザ光を反射しない
条件が成立し、レーザ光の照射領域における非線形材料
層がしきい値温度以上のときに、光学記録媒体にレーザ
光を照射して、レーザ光の反射が得られるように構成さ
れ、光学記録媒体におけるしきい値温度以上の領域から
得られるレーザ光の反射光により、情報信号の再生を行
うようにしたことを特徴とするものである。
【0027】この第2の発明において、典型的には、レ
ーザ光に対してしきい値温度以上の領域から得られる反
射光を用いて、光学記録媒体のトラッキングまたはフォ
ーカシングを行うようにしている。
ーザ光に対してしきい値温度以上の領域から得られる反
射光を用いて、光学記録媒体のトラッキングまたはフォ
ーカシングを行うようにしている。
【0028】この発明において、典型的には、非線形材
料からなる層のしきい値温度は、100℃以上250℃
以下の温度であり、好適には、しきい値温度は、150
℃以上220℃以下の温度である。
料からなる層のしきい値温度は、100℃以上250℃
以下の温度であり、好適には、しきい値温度は、150
℃以上220℃以下の温度である。
【0029】この発明において、典型的には、記録再生
層は、光磁気記録可能な材料から構成されており、具体
的には、TbFeCo合金からなる単層、TbFeCo
合金層とGdFeCo合金層とからなる積層膜、複数の
TbFeCo合金層と、GdFeCo合金層とを積層さ
せた積層膜などを用いることが可能である。
層は、光磁気記録可能な材料から構成されており、具体
的には、TbFeCo合金からなる単層、TbFeCo
合金層とGdFeCo合金層とからなる積層膜、複数の
TbFeCo合金層と、GdFeCo合金層とを積層さ
せた積層膜などを用いることが可能である。
【0030】この発明において、典型的には、光学記録
媒体は、レーザ光の反射光(反射信号)が、光学的エン
ハンスメント条件を満たすように構成されている。
媒体は、レーザ光の反射光(反射信号)が、光学的エン
ハンスメント条件を満たすように構成されている。
【0031】この発明において、典型的には、光学記録
媒体は、レーザ光に対する反射率を調整可能に構成され
た反射率調整層が設けられている。換言すると、この発
明による光学記録媒体においては、レーザ光に対する透
過率を調整するための透過率調整層が設けられている。
媒体は、レーザ光に対する反射率を調整可能に構成され
た反射率調整層が設けられている。換言すると、この発
明による光学記録媒体においては、レーザ光に対する透
過率を調整するための透過率調整層が設けられている。
【0032】上述のように構成されたこの発明による光
学記録媒体および光学記録媒体の再生方法によれば、光
学記録媒体を構成する各層を、非線形材料層が結晶状態
と非晶質状態との相変化を生じるしきい値温度未満の領
域からレーザ光の反射が得られない条件を満たすように
構成していることにより、非線形材料層のうちしきい値
温度以上の領域からの反射光のみを得ることができる。
学記録媒体および光学記録媒体の再生方法によれば、光
学記録媒体を構成する各層を、非線形材料層が結晶状態
と非晶質状態との相変化を生じるしきい値温度未満の領
域からレーザ光の反射が得られない条件を満たすように
構成していることにより、非線形材料層のうちしきい値
温度以上の領域からの反射光のみを得ることができる。
【0033】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態につい
て図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態
の全図においては、同一または対応する部分には同一の
符号を付す。
て図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態
の全図においては、同一または対応する部分には同一の
符号を付す。
【0034】まず、この発明の第1の実施形態による光
磁気ディスクについて説明する。図1に、この第1の実
施形態による光磁気ディスク1を示し、図2に、その再
生方法を示す。なお、この第1の実施形態による光磁気
ディスク1は、例えば浮上型光学ヘッドのような記録層
に近い位置にある光学ヘッドにより、基板上の積層膜が
設けられている側から光が入射されて、情報信号の記録
/再生が行われる形式の光磁気ディスクである。
磁気ディスクについて説明する。図1に、この第1の実
施形態による光磁気ディスク1を示し、図2に、その再
生方法を示す。なお、この第1の実施形態による光磁気
ディスク1は、例えば浮上型光学ヘッドのような記録層
に近い位置にある光学ヘッドにより、基板上の積層膜が
設けられている側から光が入射されて、情報信号の記録
/再生が行われる形式の光磁気ディスクである。
【0035】図1に示すように、この第1の実施形態に
よる光磁気ディスク1は、ディスク基板2上に、下地層
3、反射層4、第1の誘電体層5、例えばアンチモン
(Sb)からなる非線形材料層6、記録再生層7、保護
層としての第2の誘電体層8が順次積層されて構成され
ている。
よる光磁気ディスク1は、ディスク基板2上に、下地層
3、反射層4、第1の誘電体層5、例えばアンチモン
(Sb)からなる非線形材料層6、記録再生層7、保護
層としての第2の誘電体層8が順次積層されて構成され
ている。
【0036】ディスク基板2は、例えば射出成形法によ
り樹脂材料をディスク状に成形したものからなる。この
樹脂材料としては、例えばシクロオレフィンポリマー
(例えば、日本ゼオン株式会社製のゼオネックス(登録
商標))やポリカーボネートなどの合成樹脂材料が用い
られ、この第1の実施形態においては、例えばシクロオ
レフィンポリマーからなるものが用いられる。なお、デ
ィスク基板2として、例えばアルミニウム(Al)など
の金属からなる基板や、ガラス基板を用いることも可能
である。
り樹脂材料をディスク状に成形したものからなる。この
樹脂材料としては、例えばシクロオレフィンポリマー
(例えば、日本ゼオン株式会社製のゼオネックス(登録
商標))やポリカーボネートなどの合成樹脂材料が用い
られ、この第1の実施形態においては、例えばシクロオ
レフィンポリマーからなるものが用いられる。なお、デ
ィスク基板2として、例えばアルミニウム(Al)など
の金属からなる基板や、ガラス基板を用いることも可能
である。
【0037】また、ディスク基板2上に設けられた下地
層3は、例えば膜厚が10nm程度の窒化シリコン(S
iN)からなる。この下地層3は、この下地層3を設け
ない場合に比して、反射層4とディスク基板2との間の
密着性を向上させるためのものである。また、下地層3
は、ディスク基板2に含有された水分(H2O)が記録
再生層7などに拡散するのを防止するためのものであ
る。このように水分の拡散を防止することにより、記録
再生層7における腐蝕の発生を低減することができる。
層3は、例えば膜厚が10nm程度の窒化シリコン(S
iN)からなる。この下地層3は、この下地層3を設け
ない場合に比して、反射層4とディスク基板2との間の
密着性を向上させるためのものである。また、下地層3
は、ディスク基板2に含有された水分(H2O)が記録
再生層7などに拡散するのを防止するためのものであ
る。このように水分の拡散を防止することにより、記録
再生層7における腐蝕の発生を低減することができる。
【0038】また、下地層3上に設けられた反射層4
は、例えばアルミニウム(Al)、チタン化アルミニウ
ム(AlTi)、マグネシウム化アルミニウム(AlM
g)、珪化アルミニウム(AlSi)、銀パラジウム銅
(AgPdCu)合金、銀パラジウムチタン(AgPd
Ti)合金などからなり、この第1の実施形態において
は、例えばAlTiからなる。また、この反射層4の膜
厚は、20〜50nmから選ばれ、この第1の実施形態
においては例えば40nmに選ばれる。反射層4は、光
磁気ディスク1の光学的な効率の向上を図るために照射
された光を反射するためのものであるとともに、記録再
生層7に照射された光による熱を拡散することにより、
記録再生層7における記録マークの大きさをコントロー
ルするためのものである。これによって、記録再生特性
が良好な状態に維持される。
は、例えばアルミニウム(Al)、チタン化アルミニウ
ム(AlTi)、マグネシウム化アルミニウム(AlM
g)、珪化アルミニウム(AlSi)、銀パラジウム銅
(AgPdCu)合金、銀パラジウムチタン(AgPd
Ti)合金などからなり、この第1の実施形態において
は、例えばAlTiからなる。また、この反射層4の膜
厚は、20〜50nmから選ばれ、この第1の実施形態
においては例えば40nmに選ばれる。反射層4は、光
磁気ディスク1の光学的な効率の向上を図るために照射
された光を反射するためのものであるとともに、記録再
生層7に照射された光による熱を拡散することにより、
記録再生層7における記録マークの大きさをコントロー
ルするためのものである。これによって、記録再生特性
が良好な状態に維持される。
【0039】また、反射層4上に設けられた第1の誘電
体層5は、例えば膜厚が10nmのSiNからなる。こ
の第1の誘電体層5は、記録再生層7における光磁気効
果を光学的にエンハンスするためのものである。
体層5は、例えば膜厚が10nmのSiNからなる。こ
の第1の誘電体層5は、記録再生層7における光磁気効
果を光学的にエンハンスするためのものである。
【0040】また、第1の誘電体層5上に設けられた非
線形材料層6は、例えばSb、テルル化アンチモン(S
bTe)や酸化銀(Ag2O)などからなり、この第1
の実施形態においては、例えばSbからなる。また、こ
の非線形材料層6の膜厚は、10〜50nmから選ば
れ、この第1の実施形態においては、例えば10nmに
選ばれる。
線形材料層6は、例えばSb、テルル化アンチモン(S
bTe)や酸化銀(Ag2O)などからなり、この第1
の実施形態においては、例えばSbからなる。また、こ
の非線形材料層6の膜厚は、10〜50nmから選ば
れ、この第1の実施形態においては、例えば10nmに
選ばれる。
【0041】また、非線形材料層6上に設けられた記録
再生層7は、希土類金属のテルビウム(Tb)と、遷移
金属の鉄(Fe)およびコバルト(Co)とからなる希
土類合金から構成される。この記録再生層7は光磁気効
果を生じ、情報信号を記録するためのものである。ま
た、この記録再生層7の膜厚は、例えば10〜120n
mから選ばれ、この第1の実施形態においては例えば1
0nmに選ばれる。なお、記録再生層7は、TbFeC
o合金からなる単層膜以外にも、TbFeCo合金層と
GdFeCo合金層とからなる積層膜、複数のTbFe
Co合金層と、GdFeCo合金層とを積層させた積層
膜などを用いることが可能である。
再生層7は、希土類金属のテルビウム(Tb)と、遷移
金属の鉄(Fe)およびコバルト(Co)とからなる希
土類合金から構成される。この記録再生層7は光磁気効
果を生じ、情報信号を記録するためのものである。ま
た、この記録再生層7の膜厚は、例えば10〜120n
mから選ばれ、この第1の実施形態においては例えば1
0nmに選ばれる。なお、記録再生層7は、TbFeC
o合金からなる単層膜以外にも、TbFeCo合金層と
GdFeCo合金層とからなる積層膜、複数のTbFe
Co合金層と、GdFeCo合金層とを積層させた積層
膜などを用いることが可能である。
【0042】また、記録再生層7上に設けられた第2の
誘電体層8は、例えばSiNなどの誘電体から構成され
る。この第2の誘電体層8は、光磁気ディスク1の光学
的な効率を向上させるためのものである。また、第2の
誘電体層8の膜厚は、光磁気ディスク1の非線形材料層
6が結晶状態のときに、少なくともレーザ光に対して無
反射条件が成立するように設定される。なお、第2の誘
電体層8の膜厚の設定に関する詳細は後述する。
誘電体層8は、例えばSiNなどの誘電体から構成され
る。この第2の誘電体層8は、光磁気ディスク1の光学
的な効率を向上させるためのものである。また、第2の
誘電体層8の膜厚は、光磁気ディスク1の非線形材料層
6が結晶状態のときに、少なくともレーザ光に対して無
反射条件が成立するように設定される。なお、第2の誘
電体層8の膜厚の設定に関する詳細は後述する。
【0043】次に、以上のようにして構成された光磁気
ディスク1の製造方法について説明する。
ディスク1の製造方法について説明する。
【0044】この第1の実施形態による光磁気ディスク
1の製造方法においては、まず、成膜用の例えばゼオネ
ックス(登録商標)からなるディスク基板2を、Siタ
ーゲットが設置された真空チャンバー内に搬入し、その
所定位置に載置する。次に、例えばアルゴン(Ar)ガ
スとN2ガスとの混合ガスを用いた反応性スパッタリン
グ法により、ディスク基板2上にSiNを成膜する。こ
れにより、ディスク基板2上に、SiNからなる下地層
3が形成される。ここで、この反応性スパッタリング法
におけるガス圧は、例えば0.2〜0.8Paである。
1の製造方法においては、まず、成膜用の例えばゼオネ
ックス(登録商標)からなるディスク基板2を、Siタ
ーゲットが設置された真空チャンバー内に搬入し、その
所定位置に載置する。次に、例えばアルゴン(Ar)ガ
スとN2ガスとの混合ガスを用いた反応性スパッタリン
グ法により、ディスク基板2上にSiNを成膜する。こ
れにより、ディスク基板2上に、SiNからなる下地層
3が形成される。ここで、この反応性スパッタリング法
におけるガス圧は、例えば0.2〜0.8Paである。
【0045】次に、下地層3が形成されたディスク基板
2を、例えばAlTiターゲットが設置された真空チャ
ンバー内に搬入し、その所定位置に載置する。次に、例
えばArガスを用いたスパッタリング法により、下地層
3上にAlTiを成膜する。これにより、下地層3上に
AlTiからなる反射層4が形成される。ここで、この
スパッタリング法におけるガス圧は、例えば0.2〜
0.8Paである。
2を、例えばAlTiターゲットが設置された真空チャ
ンバー内に搬入し、その所定位置に載置する。次に、例
えばArガスを用いたスパッタリング法により、下地層
3上にAlTiを成膜する。これにより、下地層3上に
AlTiからなる反射層4が形成される。ここで、この
スパッタリング法におけるガス圧は、例えば0.2〜
0.8Paである。
【0046】次に、下地層3および反射層4が順次形成
されたディスク基板2を、Siターゲットが設置されて
いる真空チャンバー内に搬送し、その所定位置に載置す
る。その後、例えばArガスとN2ガスとの混合ガスを
用いた反応性スパッタリング法により、反射層4上にS
iNを成膜する。これによって、SiNからなる第1の
誘電体層5が形成される。ここで、この反応性スパッタ
リング法において用いられる混合ガスのガス圧は、例え
ば0.1〜0.7Paの範囲から選ばれ、この第1の実
施形態においては、例えば0.5Paに選ばれる。
されたディスク基板2を、Siターゲットが設置されて
いる真空チャンバー内に搬送し、その所定位置に載置す
る。その後、例えばArガスとN2ガスとの混合ガスを
用いた反応性スパッタリング法により、反射層4上にS
iNを成膜する。これによって、SiNからなる第1の
誘電体層5が形成される。ここで、この反応性スパッタ
リング法において用いられる混合ガスのガス圧は、例え
ば0.1〜0.7Paの範囲から選ばれ、この第1の実
施形態においては、例えば0.5Paに選ばれる。
【0047】次に、下地層3、反射層4および第1の誘
電体層5が形成されたディスク基板2を、Sbターゲッ
トが設置されている真空チャンバー内に搬送し、その所
定位置に載置する。その後、真空チャンバー内に例えば
Arガスなどの不活性ガスを導入しつつ、例えばスパッ
タリング法により、第1の誘電体層5上にSbを成膜す
る。これにより、第1の誘電体層5上にSbからなる非
線形材料層6が形成される。ここで、このスパッタリン
グ法において用いられるArガスのガス圧は、例えば
0.1〜0.7Paから選ばれる。
電体層5が形成されたディスク基板2を、Sbターゲッ
トが設置されている真空チャンバー内に搬送し、その所
定位置に載置する。その後、真空チャンバー内に例えば
Arガスなどの不活性ガスを導入しつつ、例えばスパッ
タリング法により、第1の誘電体層5上にSbを成膜す
る。これにより、第1の誘電体層5上にSbからなる非
線形材料層6が形成される。ここで、このスパッタリン
グ法において用いられるArガスのガス圧は、例えば
0.1〜0.7Paから選ばれる。
【0048】次に、下地層3、反射層4、第1の誘電体
層5および非線形材料層6が形成されたディスク基板2
を、TbFeCoターゲットが設置された真空チャンバ
ー内に搬送する。次に、この真空チャンバーの内部の圧
力を例えば5×10-5Pa程度にまで真空引きする。そ
の後、真空チャンバー内に例えばArガスなどの不活性
ガスを導入しつつ、例えばスパッタリング法により、非
線形材料層6上にTbFeCoを成膜する。これによ
り、非線形材料層6上にTbFeCo合金からなる記録
再生層7が形成される。ここで、このスパッタリング法
において用いられるArガスのガス圧は、例えば0.1
〜0.8Paから選ばれる。
層5および非線形材料層6が形成されたディスク基板2
を、TbFeCoターゲットが設置された真空チャンバ
ー内に搬送する。次に、この真空チャンバーの内部の圧
力を例えば5×10-5Pa程度にまで真空引きする。そ
の後、真空チャンバー内に例えばArガスなどの不活性
ガスを導入しつつ、例えばスパッタリング法により、非
線形材料層6上にTbFeCoを成膜する。これによ
り、非線形材料層6上にTbFeCo合金からなる記録
再生層7が形成される。ここで、このスパッタリング法
において用いられるArガスのガス圧は、例えば0.1
〜0.8Paから選ばれる。
【0049】次に、下地層3、反射層4、第1の誘電体
層5、非線形材料層6および記録再生層7が形成された
ディスク基板2を、Siターゲットが設置された真空チ
ャンバー内に搬送する。その後、例えばArガスとN2
ガスとの混合ガスを用いた反応性スパッタリング法によ
り、記録再生層7上にSiNを成膜する。これにより、
SiNからなる第2の誘電体層8が形成される。ここ
で、この反応性スパッタリング法において用いられる混
合ガスのガス圧は、例えば0.1〜0.7Paの範囲か
ら選ばれる。
層5、非線形材料層6および記録再生層7が形成された
ディスク基板2を、Siターゲットが設置された真空チ
ャンバー内に搬送する。その後、例えばArガスとN2
ガスとの混合ガスを用いた反応性スパッタリング法によ
り、記録再生層7上にSiNを成膜する。これにより、
SiNからなる第2の誘電体層8が形成される。ここ
で、この反応性スパッタリング法において用いられる混
合ガスのガス圧は、例えば0.1〜0.7Paの範囲か
ら選ばれる。
【0050】その後、スパッタリングチャンバーから、
全ての膜が形成されたディスク基板2を搬出する。以上
により、目的とするこの第1の実施形態による光磁気デ
ィスク1が製造される。
全ての膜が形成されたディスク基板2を搬出する。以上
により、目的とするこの第1の実施形態による光磁気デ
ィスク1が製造される。
【0051】次に、この光磁気ディスク1における各層
の膜厚の設定方法について説明する。
の膜厚の設定方法について説明する。
【0052】すなわち、本発明者は、以上のように構成
された光磁気ディスク1の構成において、反射率の計算
シュミレーションを行った。この計算シュミレーション
においては、第2の誘電体層8の膜厚をパラメータと
し、Sbからなる非線形材料層6が結晶状態の場合につ
いての反射率の計算を行った。図2に、この第1の実施
形態による光磁気ディスク1における反射率の、第2の
誘電体層膜厚依存性の計算結果を示す。また、図3に、
この第1の実施形態による光磁気ディスク1の非線形材
料層6が結晶状態の場合の反射率と、非晶質状態の場合
の反射率との差の、第2の誘電体層膜厚依存性の計算結
果を示す。ここで、非線形材料層6が結晶状態とは、非
線形材料層6が室温近傍の部分にあることに対応し、非
線形材料層6が非晶質状態とは、非線形材料層6がレー
ザ光の照射により加熱されている状態に対応する。
された光磁気ディスク1の構成において、反射率の計算
シュミレーションを行った。この計算シュミレーション
においては、第2の誘電体層8の膜厚をパラメータと
し、Sbからなる非線形材料層6が結晶状態の場合につ
いての反射率の計算を行った。図2に、この第1の実施
形態による光磁気ディスク1における反射率の、第2の
誘電体層膜厚依存性の計算結果を示す。また、図3に、
この第1の実施形態による光磁気ディスク1の非線形材
料層6が結晶状態の場合の反射率と、非晶質状態の場合
の反射率との差の、第2の誘電体層膜厚依存性の計算結
果を示す。ここで、非線形材料層6が結晶状態とは、非
線形材料層6が室温近傍の部分にあることに対応し、非
線形材料層6が非晶質状態とは、非線形材料層6がレー
ザ光の照射により加熱されている状態に対応する。
【0053】図2から、第2の誘電体層8が70nm程
度のときに、反射率が極小になり、無反射条件を満たす
ことが分かる。すなわち、反射層4、第1の誘電体層
5、結晶状態の非線形材料層6および記録再生層7を上
述の膜厚に設定し、さらに、第2の誘電体層8の膜厚を
70nm程度に設定することにより、室温近傍におい
て、再生に用いられるレーザ光の波長の光を反射しない
ようにすることができる。これにより、非線形材料層6
が非晶質状態になった部分からのみ反射光を得ることが
できるようになることが分かる。また、図3から、第2
の誘電体層8の膜厚が70nm程度の場合において、反
射率差が−6%程度になることが分かり、十分に大きな
反射率差を確保することが可能になることが分かる。
度のときに、反射率が極小になり、無反射条件を満たす
ことが分かる。すなわち、反射層4、第1の誘電体層
5、結晶状態の非線形材料層6および記録再生層7を上
述の膜厚に設定し、さらに、第2の誘電体層8の膜厚を
70nm程度に設定することにより、室温近傍におい
て、再生に用いられるレーザ光の波長の光を反射しない
ようにすることができる。これにより、非線形材料層6
が非晶質状態になった部分からのみ反射光を得ることが
できるようになることが分かる。また、図3から、第2
の誘電体層8の膜厚が70nm程度の場合において、反
射率差が−6%程度になることが分かり、十分に大きな
反射率差を確保することが可能になることが分かる。
【0054】すなわち、図2および図3から、第2の誘
電体層8の膜厚が70nm程度のとき、室温近傍の温度
において、非線形材料層6は結晶状態にあり、さらに光
磁気ディスク1の室温近傍にある領域からのレーザ光L
1(例えば波長650nm程度の赤色レーザ光)の反射
が抑制されて無反射条件が成立することが分かる。ま
た、レーザ光L1の照射により加熱されて、非晶質状態
となった高温領域においては、レーザ光L1の反射を十
分に得ることができることが分かる。
電体層8の膜厚が70nm程度のとき、室温近傍の温度
において、非線形材料層6は結晶状態にあり、さらに光
磁気ディスク1の室温近傍にある領域からのレーザ光L
1(例えば波長650nm程度の赤色レーザ光)の反射
が抑制されて無反射条件が成立することが分かる。ま
た、レーザ光L1の照射により加熱されて、非晶質状態
となった高温領域においては、レーザ光L1の反射を十
分に得ることができることが分かる。
【0055】上述したような無反射条件の計算シュミレ
ーションは、第2の誘電体層8以外にも、反射層4、第
1の誘電体層5、非線形材料層6、または記録再生層7
の膜厚をパラメータとして計算することも可能である。
そして、この計算シュミレーションは、具体的には、フ
レネル係数法により計算することが望ましい。
ーションは、第2の誘電体層8以外にも、反射層4、第
1の誘電体層5、非線形材料層6、または記録再生層7
の膜厚をパラメータとして計算することも可能である。
そして、この計算シュミレーションは、具体的には、フ
レネル係数法により計算することが望ましい。
【0056】次に、上述のようにして製造された光磁気
ディスクの再生方法について説明する。図4に、この第
1の実施形態による光磁気ディスクの再生方法を示す。
なお、図4においては、光磁気ディスク1の主要部のみ
を示す。
ディスクの再生方法について説明する。図4に、この第
1の実施形態による光磁気ディスクの再生方法を示す。
なお、図4においては、光磁気ディスク1の主要部のみ
を示す。
【0057】図4に示すように、この第1の実施形態に
よる光磁気ディスク1の再生方法においては、まず、第
2の誘電体層8側に対向するように設けられた光学ヘッ
ドから、図4中矢印方向に回転している光磁気ディスク
1に、ディスク基板2の第2の誘電体層8側から記録再
生層7および非線形材料層6に向けて、レーザ光L1が
照射される。このレーザ光L1の照射により非線形材料
層6が加熱され、その部分の温度が上昇する。そして、
レーザ光L1が回転している光磁気ディスク1に光学ヘ
ッドを通して集光され、温度分布領域が生じる。この温
度分布領域においては、非線形材料層6が結晶状態を維
持している室温近傍領域11と、非線形材料層6が非晶
質状態(アモルファス状態)に変化している高温領域1
2とが存在する。また、レーザ光L1によって照射され
た領域において、非線形材料層6は、この層が有するし
きい値温度以上の温度に加熱され、その照射された領域
における透過率が、非線形的に変化し、具体的には、急
激に増加する。このとき、非線形材料層6においては、
温度の上昇により透過率が急激に増加した透過率変化領
域6aと、通常の室温近傍の温度領域で、透過率が変化
しない透過率非変化領域6bとが生じる。なお、非線形
材料層6が結晶状態と非結晶状態との相変化を生じる、
いわゆる非線形効果の生じるしきい値温度は、記録/再
生の際に使用する半導体レーザのパワーにより制約さ
れ、典型的には100〜250℃、好適には150〜2
20℃の範囲内のものが用いられる。このしきい値温度
が高すぎると、記録再生層7に保持されている記録情報
が劣化してしまい、低すぎると、透過率の変化する領域
の拡大が発生するため、隣接トラックからの反射、いわ
ゆるクロストークが生じてしまう。
よる光磁気ディスク1の再生方法においては、まず、第
2の誘電体層8側に対向するように設けられた光学ヘッ
ドから、図4中矢印方向に回転している光磁気ディスク
1に、ディスク基板2の第2の誘電体層8側から記録再
生層7および非線形材料層6に向けて、レーザ光L1が
照射される。このレーザ光L1の照射により非線形材料
層6が加熱され、その部分の温度が上昇する。そして、
レーザ光L1が回転している光磁気ディスク1に光学ヘ
ッドを通して集光され、温度分布領域が生じる。この温
度分布領域においては、非線形材料層6が結晶状態を維
持している室温近傍領域11と、非線形材料層6が非晶
質状態(アモルファス状態)に変化している高温領域1
2とが存在する。また、レーザ光L1によって照射され
た領域において、非線形材料層6は、この層が有するし
きい値温度以上の温度に加熱され、その照射された領域
における透過率が、非線形的に変化し、具体的には、急
激に増加する。このとき、非線形材料層6においては、
温度の上昇により透過率が急激に増加した透過率変化領
域6aと、通常の室温近傍の温度領域で、透過率が変化
しない透過率非変化領域6bとが生じる。なお、非線形
材料層6が結晶状態と非結晶状態との相変化を生じる、
いわゆる非線形効果の生じるしきい値温度は、記録/再
生の際に使用する半導体レーザのパワーにより制約さ
れ、典型的には100〜250℃、好適には150〜2
20℃の範囲内のものが用いられる。このしきい値温度
が高すぎると、記録再生層7に保持されている記録情報
が劣化してしまい、低すぎると、透過率の変化する領域
の拡大が発生するため、隣接トラックからの反射、いわ
ゆるクロストークが生じてしまう。
【0058】室温近傍領域11は、レーザ光L1が照射
されているが、レーザ光L1の照射分布の裾であるか、
レーザ光L1が照射されて間もない領域であり、その温
度がほとんど上昇していない領域を示す。そして、非線
形材料層6については、結晶状態を維持した透過率非変
化領域6bとなる。他方、高温領域12は、レーザ光L
1が十分に照射された領域であり、その温度が非線形材
料層6のしきい値温度以上に加熱された領域を示す。そ
して、非線形材料層6については、結晶状態から非晶質
状態に変化することにより透過率が急激に増加した、透
過率変化領域6aとなる。
されているが、レーザ光L1の照射分布の裾であるか、
レーザ光L1が照射されて間もない領域であり、その温
度がほとんど上昇していない領域を示す。そして、非線
形材料層6については、結晶状態を維持した透過率非変
化領域6bとなる。他方、高温領域12は、レーザ光L
1が十分に照射された領域であり、その温度が非線形材
料層6のしきい値温度以上に加熱された領域を示す。そ
して、非線形材料層6については、結晶状態から非晶質
状態に変化することにより透過率が急激に増加した、透
過率変化領域6aとなる。
【0059】このように、レーザ光L1を照射すること
により、記録再生層7および非線形材料層6が加熱され
る。このとき、室温近傍領域11においては無反射条件
が成立している。
により、記録再生層7および非線形材料層6が加熱され
る。このとき、室温近傍領域11においては無反射条件
が成立している。
【0060】他方、レーザ光L1により加熱された領域
(高温領域12)においては、上述したように、非線形
材料層6の透過率が急激に増加するとともに、高温領域
12における反射信号からの情報を再生可能になるよう
に各層の光学特性を設定しているため、レーザ光L1の
反射を得ることができ、そこからの再生信号を得ること
ができる。また、光磁気ディスク1を構成する各層が、
高温領域12におけるレーザ光L1の反射光、すなわち
反射信号が光学的エンハンスメント条件を満たすように
構成されているため、光学的エンハンスメントをも向上
される。
(高温領域12)においては、上述したように、非線形
材料層6の透過率が急激に増加するとともに、高温領域
12における反射信号からの情報を再生可能になるよう
に各層の光学特性を設定しているため、レーザ光L1の
反射を得ることができ、そこからの再生信号を得ること
ができる。また、光磁気ディスク1を構成する各層が、
高温領域12におけるレーザ光L1の反射光、すなわち
反射信号が光学的エンハンスメント条件を満たすように
構成されているため、光学的エンハンスメントをも向上
される。
【0061】ここで、上述したように、室温近傍領域1
1においては、第2の誘電体層8、記録再生層7、第1
の誘電体層5、および反射層4の光学特性を調整するこ
とによって無反射条件になるとともに、高温領域12に
おいて反射が得られるように、望ましくは、光学的エン
ハンスメント条件が得られるように設定されている。し
たがって、室温近傍領域11からのレーザ光L1による
反射信号はなく、高温領域12におけるレーザ光L1の
反射信号のみが得られ、再生が行われる。
1においては、第2の誘電体層8、記録再生層7、第1
の誘電体層5、および反射層4の光学特性を調整するこ
とによって無反射条件になるとともに、高温領域12に
おいて反射が得られるように、望ましくは、光学的エン
ハンスメント条件が得られるように設定されている。し
たがって、室温近傍領域11からのレーザ光L1による
反射信号はなく、高温領域12におけるレーザ光L1の
反射信号のみが得られ、再生が行われる。
【0062】また、この第1の実施形態による光磁気デ
ィスク1のフォーカシングおよびトラッキングにおいて
は、高温領域12において得られる反射光に基づいた反
射信号を用いて行われる。
ィスク1のフォーカシングおよびトラッキングにおいて
は、高温領域12において得られる反射光に基づいた反
射信号を用いて行われる。
【0063】また、この第1の実施形態における光磁気
ディスク1への情報信号の書き込み(記録)は、従来に
おけると同様に、まず、ディスク基板2に対して第2の
誘電体層8側に設置された光学ヘッドからレーザ光L1
を照射する。これにより、記録再生層7の温度が上昇す
る。この温度は、記録再生層7のキュリー温度より高い
ために、この段階で磁場を印加することにより、情報信
号が記録される。
ディスク1への情報信号の書き込み(記録)は、従来に
おけると同様に、まず、ディスク基板2に対して第2の
誘電体層8側に設置された光学ヘッドからレーザ光L1
を照射する。これにより、記録再生層7の温度が上昇す
る。この温度は、記録再生層7のキュリー温度より高い
ために、この段階で磁場を印加することにより、情報信
号が記録される。
【0064】以上説明したように、この第1の実施形態
によれば、ディスク基板2上に設けられた、反射層4、
第1の誘電体層5、非線形材料層6、記録再生層7およ
び第2の誘電体層8からなる積層膜を、非線形材料層6
が結晶状態を維持可能な温度において、照射されたレー
ザ光が無反射となるような条件にしていることにより、
非線形材料層6におけるレーザ光L1の照射部分が非晶
質状態に変化するしきい値温度以上になる高温領域12
からのみ反射信号を得るとともに、この高温領域12以
外の室温近傍領域11からの反射を抑制することができ
るので、高温領域12によって規定される実効的なスポ
ット径の小径化を図ることができ、再生分解能を向上さ
せることができる。また、室温近傍領域11からの反射
光が得られないため、隣接トラックからのクロストーク
をキャンセルすることができるので、そのクロストーク
の抑制を図ることができる。
によれば、ディスク基板2上に設けられた、反射層4、
第1の誘電体層5、非線形材料層6、記録再生層7およ
び第2の誘電体層8からなる積層膜を、非線形材料層6
が結晶状態を維持可能な温度において、照射されたレー
ザ光が無反射となるような条件にしていることにより、
非線形材料層6におけるレーザ光L1の照射部分が非晶
質状態に変化するしきい値温度以上になる高温領域12
からのみ反射信号を得るとともに、この高温領域12以
外の室温近傍領域11からの反射を抑制することができ
るので、高温領域12によって規定される実効的なスポ
ット径の小径化を図ることができ、再生分解能を向上さ
せることができる。また、室温近傍領域11からの反射
光が得られないため、隣接トラックからのクロストーク
をキャンセルすることができるので、そのクロストーク
の抑制を図ることができる。
【0065】次に、この発明の第2の実施形態による光
磁気ディスクについて説明する。図5に、この第2の実
施形態による光磁気ディスク21を示す。
磁気ディスクについて説明する。図5に、この第2の実
施形態による光磁気ディスク21を示す。
【0066】この第2の実施形態による光磁気ディスク
21においては、ディスク基板2上に下地層3、反射層
4、第1の誘電体層5、非線形材料層6、記録再生層
7、第2の誘電体層8、AgPdCu合金からなる反射
率調整層22、および水素化カーボンからなる保護層2
3が順次積層されて設けられいる。ここで、これらの層
の膜厚は、室温近傍の温度において、この光磁気ディス
ク21の再生時に用いられるレーザ光L1の波長域の光
が反射しない条件が選ばれる。一例を挙げると、反射層
4の膜厚は40nm、第1の誘電体層5の膜厚は10n
m、非線形材料層6の膜厚は30nm、記録再生層7の
膜厚は20nm、第2の誘電体層8の膜厚は100n
m、反射率調整層22の膜厚は10nm、および保護層
23の膜厚は10nmである。なお、これらの膜厚はあ
くまでも一例であり、その他の膜厚の組み合わせも可能
である。
21においては、ディスク基板2上に下地層3、反射層
4、第1の誘電体層5、非線形材料層6、記録再生層
7、第2の誘電体層8、AgPdCu合金からなる反射
率調整層22、および水素化カーボンからなる保護層2
3が順次積層されて設けられいる。ここで、これらの層
の膜厚は、室温近傍の温度において、この光磁気ディス
ク21の再生時に用いられるレーザ光L1の波長域の光
が反射しない条件が選ばれる。一例を挙げると、反射層
4の膜厚は40nm、第1の誘電体層5の膜厚は10n
m、非線形材料層6の膜厚は30nm、記録再生層7の
膜厚は20nm、第2の誘電体層8の膜厚は100n
m、反射率調整層22の膜厚は10nm、および保護層
23の膜厚は10nmである。なお、これらの膜厚はあ
くまでも一例であり、その他の膜厚の組み合わせも可能
である。
【0067】次に、この第2の実施形態による光磁気デ
ィスクの製造方法においては、まず、第1の実施形態に
おけると同様にして、ディスク基板2上に下地層3から
第2の誘電体層8まで順次形成する。
ィスクの製造方法においては、まず、第1の実施形態に
おけると同様にして、ディスク基板2上に下地層3から
第2の誘電体層8まで順次形成する。
【0068】次に、第1の実施形態におけると異なり、
第2の誘電体層8まで形成されたディスク基板2を、例
えばAgPdCu合金ターゲットが設置された真空チャ
ンバー内に搬送し、その所定位置に載置する。その後、
例えばArガスを用いたスパッタリング法により、第2
の誘電体層8上にAgPdCu合金を成膜する。これに
より、AgPdCu合金からなる反射率調整層22が形
成される。ここで、このスパッタリング法において用い
られるArガスのガス圧は、例えば0.2〜0.8Pa
の範囲から選ばれる。
第2の誘電体層8まで形成されたディスク基板2を、例
えばAgPdCu合金ターゲットが設置された真空チャ
ンバー内に搬送し、その所定位置に載置する。その後、
例えばArガスを用いたスパッタリング法により、第2
の誘電体層8上にAgPdCu合金を成膜する。これに
より、AgPdCu合金からなる反射率調整層22が形
成される。ここで、このスパッタリング法において用い
られるArガスのガス圧は、例えば0.2〜0.8Pa
の範囲から選ばれる。
【0069】次に、下地層3から反射率調整層22まで
が形成されたディスク基板2を、例えばカーボンターゲ
ットが設置された真空チャンバー内に搬送し、その所定
位置に載置する。その後、例えばArガスにH2ガスを
添加した混合ガスを用いて、例えばスパッタリング法に
より、反射率調整層22上に水素化カーボンを成膜す
る。これにより水素化カーボンからなる保護層23が形
成される。ここで、このスパッタリング法において用い
られる混合ガスのガス圧は、例えば0.2〜0.8Pa
から選ばれる。
が形成されたディスク基板2を、例えばカーボンターゲ
ットが設置された真空チャンバー内に搬送し、その所定
位置に載置する。その後、例えばArガスにH2ガスを
添加した混合ガスを用いて、例えばスパッタリング法に
より、反射率調整層22上に水素化カーボンを成膜す
る。これにより水素化カーボンからなる保護層23が形
成される。ここで、このスパッタリング法において用い
られる混合ガスのガス圧は、例えば0.2〜0.8Pa
から選ばれる。
【0070】その後、スパッタリングチャンバーから、
全ての膜が形成されたディスク基板2を搬出する。以上
により、目的とするこの第2の実施形態による光磁気デ
ィスク21が製造される。
全ての膜が形成されたディスク基板2を搬出する。以上
により、目的とするこの第2の実施形態による光磁気デ
ィスク21が製造される。
【0071】次に、この光磁気ディスク21における各
層の膜厚の設定方法について説明する。
層の膜厚の設定方法について説明する。
【0072】すなわち、本発明者は、以上のように構成
された光磁気ディスク21の構成において、反射率の計
算シュミレーションを行う。この計算シュミレーション
においては、第2の誘電体層8の膜厚をパラメータと
し、Sbからなる非線形材料層6が結晶状態の場合につ
いての反射率の計算を行った。図6に、この第2の実施
形態による光磁気ディスク21における反射率の、第2
の誘電体層膜厚依存性の計算結果を示す。また、図7
に、この第2の実施形態による光磁気ディスク21の非
線形材料層6が結晶状態の場合の反射率と、非晶質状態
(アモルファス状態)の場合の反射率との差の、第2の
誘電体層膜厚依存性の計算結果を示す。
された光磁気ディスク21の構成において、反射率の計
算シュミレーションを行う。この計算シュミレーション
においては、第2の誘電体層8の膜厚をパラメータと
し、Sbからなる非線形材料層6が結晶状態の場合につ
いての反射率の計算を行った。図6に、この第2の実施
形態による光磁気ディスク21における反射率の、第2
の誘電体層膜厚依存性の計算結果を示す。また、図7
に、この第2の実施形態による光磁気ディスク21の非
線形材料層6が結晶状態の場合の反射率と、非晶質状態
(アモルファス状態)の場合の反射率との差の、第2の
誘電体層膜厚依存性の計算結果を示す。
【0073】図6から、第2の誘電体層8が100nm
程度のときに、反射率が極小になり、無反射条件を満た
すことが分かる。すなわち、反射層4、第1の誘電体層
5、結晶状態の非線形材料層6、記録再生層7、反射率
調整層22および保護層23を上述の膜厚に設定し、さ
らに、第2の誘電体層8の膜厚を100nmに設定する
ことにより、室温近傍において、再生に用いられるレー
ザ光の波長の光を反射しないようにすることができ、非
線形材料層6が非晶質状態になった部分からのみ反射光
を得ることができるようになることが分かる。また、図
7から、第2の誘電体層8の膜厚が100nm程度の場
合において、反射率差が極小値に近くなり、十分な反射
率差を得ることができることが分かる。
程度のときに、反射率が極小になり、無反射条件を満た
すことが分かる。すなわち、反射層4、第1の誘電体層
5、結晶状態の非線形材料層6、記録再生層7、反射率
調整層22および保護層23を上述の膜厚に設定し、さ
らに、第2の誘電体層8の膜厚を100nmに設定する
ことにより、室温近傍において、再生に用いられるレー
ザ光の波長の光を反射しないようにすることができ、非
線形材料層6が非晶質状態になった部分からのみ反射光
を得ることができるようになることが分かる。また、図
7から、第2の誘電体層8の膜厚が100nm程度の場
合において、反射率差が極小値に近くなり、十分な反射
率差を得ることができることが分かる。
【0074】すなわち、図6および図7から、第2の誘
電体層8の膜厚が100nm程度のとき、非線形材料層
6が結晶状態を維持可能なしきい値温度以下の温度、す
なわち室温近傍の温度において、光学記録媒体にレーザ
光を照射した場合に無反射条件が成立しているので、レ
ーザ光により非線形材料層6の加熱され、高温になった
高温領域12のみからレーザ光の反射光を得ることがで
きることが分かる。
電体層8の膜厚が100nm程度のとき、非線形材料層
6が結晶状態を維持可能なしきい値温度以下の温度、す
なわち室温近傍の温度において、光学記録媒体にレーザ
光を照射した場合に無反射条件が成立しているので、レ
ーザ光により非線形材料層6の加熱され、高温になった
高温領域12のみからレーザ光の反射光を得ることがで
きることが分かる。
【0075】また、ディスク基板2上におけるこれらの
膜のうち、下地層3、反射層4、第1の誘電体層5、非
線形材料層6、記録再生層7および第2の誘電体層8に
ついては、第1の実施形態におけると同様である。
膜のうち、下地層3、反射層4、第1の誘電体層5、非
線形材料層6、記録再生層7および第2の誘電体層8に
ついては、第1の実施形態におけると同様である。
【0076】また、第2の誘電体層8上に設けられた反
射率調整層22は、光磁気ディスク21に照射されるレ
ーザ光の反射率を調整するためのものである。この第1
の実施形態においては、反射率調整層22は、例えば膜
厚が10nmの銀パラジウム銅(AgPdCu)合金か
らなる。また、反射率調整層22上に設けられた保護層
23は、この光磁気ディスク21を構成する下地層3、
反射層4、第1の誘電体層5、非線形材料層6、記録再
生層7、第2の誘電体層8および反射率調整層22を保
護するためのものであるとともに、記録や再生の際に用
いられる光学ヘッドに対する摺動性を十分に確保するた
めのものである。そのため、この第2の実施形態による
光磁気ディスク21においては、保護層23は、例えば
その膜厚が10nmの水素化カーボンからなる。
射率調整層22は、光磁気ディスク21に照射されるレ
ーザ光の反射率を調整するためのものである。この第1
の実施形態においては、反射率調整層22は、例えば膜
厚が10nmの銀パラジウム銅(AgPdCu)合金か
らなる。また、反射率調整層22上に設けられた保護層
23は、この光磁気ディスク21を構成する下地層3、
反射層4、第1の誘電体層5、非線形材料層6、記録再
生層7、第2の誘電体層8および反射率調整層22を保
護するためのものであるとともに、記録や再生の際に用
いられる光学ヘッドに対する摺動性を十分に確保するた
めのものである。そのため、この第2の実施形態による
光磁気ディスク21においては、保護層23は、例えば
その膜厚が10nmの水素化カーボンからなる。
【0077】そして、この第2の実施形態によるこれら
の反射率調整層22および保護層23が積層された光磁
気ディスク21においても、レーザ光L1が照射された
ことにより加熱された高温領域12においてレーザ光L
1の反射光が得られ、それ以外の部分の室温近傍領域1
1においてはレーザ光L1の反射光を得ることがないよ
うに、光学特性が設定されている。
の反射率調整層22および保護層23が積層された光磁
気ディスク21においても、レーザ光L1が照射された
ことにより加熱された高温領域12においてレーザ光L
1の反射光が得られ、それ以外の部分の室温近傍領域1
1においてはレーザ光L1の反射光を得ることがないよ
うに、光学特性が設定されている。
【0078】この第2の実施形態による光磁気ディスク
における再生方法および記録方法に関しては、第1の実
施形態におけると同様であるので、説明を省略する。
における再生方法および記録方法に関しては、第1の実
施形態におけると同様であるので、説明を省略する。
【0079】以上説明したように、この第2の実施形態
によれば、ディスク基板2上の各層を、室温近傍の温度
において無反射条件が成立するように構成していること
により、レーザ光L1の照射により加熱された領域から
の反射光のみを得ることができ、その他の室温近傍の温
度の領域からの反射光を抑制することができるため、第
1の実施形態におけると同様の効果を得ることができ
る。
によれば、ディスク基板2上の各層を、室温近傍の温度
において無反射条件が成立するように構成していること
により、レーザ光L1の照射により加熱された領域から
の反射光のみを得ることができ、その他の室温近傍の温
度の領域からの反射光を抑制することができるため、第
1の実施形態におけると同様の効果を得ることができ
る。
【0080】次に、この発明の第3の実施形態による光
磁気ディスクについて説明する。なお、この第3の実施
形態による光磁気ディスクは、ディスク基板が設けられ
た側からレーザ光L1を照射することにより、情報信号
の記録/再生を行うように構成された光磁気ディスクで
ある。図8に、この第3の実施形態による光磁気ディス
クを示す。
磁気ディスクについて説明する。なお、この第3の実施
形態による光磁気ディスクは、ディスク基板が設けられ
た側からレーザ光L1を照射することにより、情報信号
の記録/再生を行うように構成された光磁気ディスクで
ある。図8に、この第3の実施形態による光磁気ディス
クを示す。
【0081】図8に示すように、この第3の実施形態に
よる光磁気ディスク31においては、ディスク基板32
上に、第1の誘電体層33、記録再生層34、Sbから
なる非線形材料層35、第2の誘電体層36および反射
層37が順次積層されて設けられている。
よる光磁気ディスク31においては、ディスク基板32
上に、第1の誘電体層33、記録再生層34、Sbから
なる非線形材料層35、第2の誘電体層36および反射
層37が順次積層されて設けられている。
【0082】ディスク基板32は、第1の誘電体層3
3、記録再生層34、非線形材料層35、第2の誘電体
層36および反射層37は、第1の実施形態におけると
同様の構成を有する。また、これらの膜の膜厚の一例を
挙げると、それぞれ記録再生層34の膜厚が10nm、
非線形材料層35の膜厚が5nm、第2の誘電体層36
の膜厚が100nm、反射層37の膜厚が40nmであ
る。
3、記録再生層34、非線形材料層35、第2の誘電体
層36および反射層37は、第1の実施形態におけると
同様の構成を有する。また、これらの膜の膜厚の一例を
挙げると、それぞれ記録再生層34の膜厚が10nm、
非線形材料層35の膜厚が5nm、第2の誘電体層36
の膜厚が100nm、反射層37の膜厚が40nmであ
る。
【0083】また、この第3の実施形態による光磁気デ
ィスク31の製造方法、記録方法および再生方法におい
ては、第1の実施形態におけると同様であるので、説明
を省略する。
ィスク31の製造方法、記録方法および再生方法におい
ては、第1の実施形態におけると同様であるので、説明
を省略する。
【0084】また、この第3の実施形態による光磁気デ
ィスク31を構成する各層において、室温近傍で無反射
条件が成立するようにした設定方法について説明する。
ィスク31を構成する各層において、室温近傍で無反射
条件が成立するようにした設定方法について説明する。
【0085】すなわち、本発明者は、以上のように構成
された光磁気ディスク31の構成において、反射率の計
算シュミレーションを行った。この計算シュミレーショ
ンにおいては、第1の誘電体層33の膜厚をパラメータ
とし、Sbからなる非線形材料層35が結晶状態の場合
について反射率の計算を行った。図9に、この第3の実
施形態による光磁気ディスク31における反射率の、第
1の誘電体層膜厚依存性の計算結果を示す。また、図1
0に、この第3の実施形態による光磁気ディスク31の
非線形材料層35が結晶状態の場合の反射率と、非晶質
状態の場合の反射率との差の、第1の誘電体層膜厚依存
性の計算結果を示す。
された光磁気ディスク31の構成において、反射率の計
算シュミレーションを行った。この計算シュミレーショ
ンにおいては、第1の誘電体層33の膜厚をパラメータ
とし、Sbからなる非線形材料層35が結晶状態の場合
について反射率の計算を行った。図9に、この第3の実
施形態による光磁気ディスク31における反射率の、第
1の誘電体層膜厚依存性の計算結果を示す。また、図1
0に、この第3の実施形態による光磁気ディスク31の
非線形材料層35が結晶状態の場合の反射率と、非晶質
状態の場合の反射率との差の、第1の誘電体層膜厚依存
性の計算結果を示す。
【0086】図9から、第1の誘電体層33が240n
m程度のときに、反射率が極小になり、非線形材料層3
5が結晶状態であるとともに、室温近傍の温度の場合
に、少なくともレーザ光L1の波長の光を反射しない条
件を満たすことが分かる。すなわち、記録再生層34、
非線形材料層35、第2の誘電体層36および反射層3
7を上述の膜厚に設定し、さらに、第1の誘電体層33
の膜厚を240nmに設定することにより、室温近傍に
おいて、再生に用いられるレーザ光の波長の光を反射し
ないようにすることができ、非線形材料層6が非晶質状
態になった部分からのみ反射光を得ることができるよう
になることが分かる。また、図10から、第1の誘電体
層33の膜厚が240nm程度の場合において、反射率
差が−6%〜−5%程度になることが分かり、十分に大
きな反射率差を確保することが可能になることが分か
る。
m程度のときに、反射率が極小になり、非線形材料層3
5が結晶状態であるとともに、室温近傍の温度の場合
に、少なくともレーザ光L1の波長の光を反射しない条
件を満たすことが分かる。すなわち、記録再生層34、
非線形材料層35、第2の誘電体層36および反射層3
7を上述の膜厚に設定し、さらに、第1の誘電体層33
の膜厚を240nmに設定することにより、室温近傍に
おいて、再生に用いられるレーザ光の波長の光を反射し
ないようにすることができ、非線形材料層6が非晶質状
態になった部分からのみ反射光を得ることができるよう
になることが分かる。また、図10から、第1の誘電体
層33の膜厚が240nm程度の場合において、反射率
差が−6%〜−5%程度になることが分かり、十分に大
きな反射率差を確保することが可能になることが分か
る。
【0087】以上説明したように、この第3の実施形態
による光磁気ディスク31においては、光磁気ディスク
31を構成する第1の誘電体層33、記録再生層34、
非線形材料層35、第2の誘電体層36および反射層3
7のそれぞれの膜厚を、室温近傍において少なくとも再
生に用いられるレーザ光を反射しない条件にすることに
より、非線形材料層35が加熱されて非晶質状態になっ
た部分以外の部分(非線形材料層35が結晶状態の部
分)からのレーザ光の反射を得られないようにすること
ができるので、隣接トラックからのクロストークを防止
することができるとともに、実効的な光スポット径の縮
小化を図ることができる。
による光磁気ディスク31においては、光磁気ディスク
31を構成する第1の誘電体層33、記録再生層34、
非線形材料層35、第2の誘電体層36および反射層3
7のそれぞれの膜厚を、室温近傍において少なくとも再
生に用いられるレーザ光を反射しない条件にすることに
より、非線形材料層35が加熱されて非晶質状態になっ
た部分以外の部分(非線形材料層35が結晶状態の部
分)からのレーザ光の反射を得られないようにすること
ができるので、隣接トラックからのクロストークを防止
することができるとともに、実効的な光スポット径の縮
小化を図ることができる。
【0088】次に、この発明の第4の実施形態による光
磁気ディスクについて説明する。図11に、この第2の
実施形態による光磁気ディスク41を示す。
磁気ディスクについて説明する。図11に、この第2の
実施形態による光磁気ディスク41を示す。
【0089】この第4の実施形態による光磁気ディスク
41においては、例えばゼオネックス(登録商標)から
なるディスク基板42上に、例えばSiNからなる下地
層43、例えばAlTiからなる反射層44、例えばS
iNからなる第1の誘電体層45、例えばSbTeから
なる非線形材料層46、例えばTbFeCoからなる記
録再生層47、および例えばSiNからなる第2の誘電
体層48が順次積層されて設けられている。ここで、こ
れらの層の膜厚は、室温近傍の温度において、この光磁
気ディスク41の再生時に用いられるレーザ光L2(例
えば波長が400nm程度の青色レーザ光)の波長域の
光が反射しない条件が選ばれ、一例を挙げると、反射層
4の膜厚は40nm、第1の誘電体層5の膜厚は60n
m、非線形材料層6の膜厚は10nm、記録再生層7の
膜厚は10nmである。また、レーザ光L2の波長域の
光が反射しない条件、すなわち光学条件には影響を及ぼ
さないが、光磁気ディスク41における腐食を防止し、
ディスク基板42との密着性を向上させるための下地層
43の膜厚は、例えば10nmである。なお、上述した
これらの膜厚はあくまでも一例であり、室温近傍におい
てレーザ光L2の反射が得られない条件に基づいて、そ
の他の膜厚の組み合わせを選択することも可能である。
41においては、例えばゼオネックス(登録商標)から
なるディスク基板42上に、例えばSiNからなる下地
層43、例えばAlTiからなる反射層44、例えばS
iNからなる第1の誘電体層45、例えばSbTeから
なる非線形材料層46、例えばTbFeCoからなる記
録再生層47、および例えばSiNからなる第2の誘電
体層48が順次積層されて設けられている。ここで、こ
れらの層の膜厚は、室温近傍の温度において、この光磁
気ディスク41の再生時に用いられるレーザ光L2(例
えば波長が400nm程度の青色レーザ光)の波長域の
光が反射しない条件が選ばれ、一例を挙げると、反射層
4の膜厚は40nm、第1の誘電体層5の膜厚は60n
m、非線形材料層6の膜厚は10nm、記録再生層7の
膜厚は10nmである。また、レーザ光L2の波長域の
光が反射しない条件、すなわち光学条件には影響を及ぼ
さないが、光磁気ディスク41における腐食を防止し、
ディスク基板42との密着性を向上させるための下地層
43の膜厚は、例えば10nmである。なお、上述した
これらの膜厚はあくまでも一例であり、室温近傍におい
てレーザ光L2の反射が得られない条件に基づいて、そ
の他の膜厚の組み合わせを選択することも可能である。
【0090】次に、この光磁気ディスク21における各
層の膜厚の設定方法について説明する。
層の膜厚の設定方法について説明する。
【0091】すなわち、本発明者は、以上のように構成
された光磁気ディスク41の構成において、反射率の計
算シュミレーションを行った。この計算シュミレーショ
ンにおいては、第2の誘電体層48の膜厚をパラメータ
とし、SbTeからなる非線形材料層46が結晶状態の
場合についての反射率の計算を行った。図12に、この
第4の実施形態による光磁気ディスク41における反射
率の、第2の誘電体層膜厚依存性の計算結果を示す。ま
た、図13に、この第4の実施形態による光磁気ディス
ク41の非線形材料層46が結晶状態の場合の反射率
と、非晶質状態の場合の反射率との差の、第2の誘電体
層膜厚依存性の計算結果を示す。ここで、非線形材料層
46が結晶状態とは、非線形材料層46が室温近傍の部
分にあることに対応し、非線形材料層46が非晶質状態
とは、非線形材料層46がレーザ光の照射により加熱さ
れている状態に対応する。
された光磁気ディスク41の構成において、反射率の計
算シュミレーションを行った。この計算シュミレーショ
ンにおいては、第2の誘電体層48の膜厚をパラメータ
とし、SbTeからなる非線形材料層46が結晶状態の
場合についての反射率の計算を行った。図12に、この
第4の実施形態による光磁気ディスク41における反射
率の、第2の誘電体層膜厚依存性の計算結果を示す。ま
た、図13に、この第4の実施形態による光磁気ディス
ク41の非線形材料層46が結晶状態の場合の反射率
と、非晶質状態の場合の反射率との差の、第2の誘電体
層膜厚依存性の計算結果を示す。ここで、非線形材料層
46が結晶状態とは、非線形材料層46が室温近傍の部
分にあることに対応し、非線形材料層46が非晶質状態
とは、非線形材料層46がレーザ光の照射により加熱さ
れている状態に対応する。
【0092】図12から、第2の誘電体層8が140n
m程度のときに、反射率が極小になるとともに、無反射
条件を満たすようになることが分かる。すなわち、反射
層44、第1の誘電体層45、結晶状態の非線形材料層
46、記録再生層47を上述した膜厚に設定し、さら
に、第2の誘電体層48の膜厚を140nm程度に設定
することにより、室温近傍において、再生に用いられる
レーザ光L2の波長の光を反射しないようにすることが
でき、これによって、非線形材料層46が非晶質状態に
なった部分のみから反射光を得ることが可能になること
が分かる。また、図13から、第2の誘電体層48の膜
厚が140nm程度の場合において、反射率差が−10
%〜−6%程度になり、十分な反射率差が確保されてい
ることが分かる。
m程度のときに、反射率が極小になるとともに、無反射
条件を満たすようになることが分かる。すなわち、反射
層44、第1の誘電体層45、結晶状態の非線形材料層
46、記録再生層47を上述した膜厚に設定し、さら
に、第2の誘電体層48の膜厚を140nm程度に設定
することにより、室温近傍において、再生に用いられる
レーザ光L2の波長の光を反射しないようにすることが
でき、これによって、非線形材料層46が非晶質状態に
なった部分のみから反射光を得ることが可能になること
が分かる。また、図13から、第2の誘電体層48の膜
厚が140nm程度の場合において、反射率差が−10
%〜−6%程度になり、十分な反射率差が確保されてい
ることが分かる。
【0093】すなわち、図12および図13から、第2
の誘電体層48の膜厚が140nm程度のとき、室温近
傍の温度において非線形材料層46が結晶状態になり、
このときにレーザ光L2を反射しない無反射条件が成立
しているので、レーザ光L2の照射領域のうち、室温近
傍領域11からの反射を抑制し、高温領域12のみから
反射光を得ることができることが可能になることが分か
る。
の誘電体層48の膜厚が140nm程度のとき、室温近
傍の温度において非線形材料層46が結晶状態になり、
このときにレーザ光L2を反射しない無反射条件が成立
しているので、レーザ光L2の照射領域のうち、室温近
傍領域11からの反射を抑制し、高温領域12のみから
反射光を得ることができることが可能になることが分か
る。
【0094】また、以上のように構成されたこの第4の
実施形態による光磁気ディスク41の製造方法、光磁気
ディスク41における再生方法および記録方法に関して
は、第1の実施形態におけると同様であるので、説明を
省略する。
実施形態による光磁気ディスク41の製造方法、光磁気
ディスク41における再生方法および記録方法に関して
は、第1の実施形態におけると同様であるので、説明を
省略する。
【0095】以上説明したように、この第4の実施形態
によれば、ディスク基板42上の各層を、室温近傍の温
度において無反射条件が成立するように構成しているこ
とにより、レーザ光L2の照射により加熱された領域か
らの反射光のみを得ることができ、その他の室温近傍の
温度の領域からの反射光を抑制することができるため、
第1の実施形態におけると同様の効果を得ることができ
る。
によれば、ディスク基板42上の各層を、室温近傍の温
度において無反射条件が成立するように構成しているこ
とにより、レーザ光L2の照射により加熱された領域か
らの反射光のみを得ることができ、その他の室温近傍の
温度の領域からの反射光を抑制することができるため、
第1の実施形態におけると同様の効果を得ることができ
る。
【0096】以上、この発明の実施形態について具体的
に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定され
るものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の
変形が可能である。
に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定され
るものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の
変形が可能である。
【0097】例えば、上述の実施形態において挙げた数
値、材料はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと
異なる数値、材料を用いてもよい。
値、材料はあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと
異なる数値、材料を用いてもよい。
【0098】また、上述の第1の実施形態においては、
記録再生層7の材料として、TbFeCoを用いたが、
TbFeCo以外の材料を用いることも可能であり、例
えばTbFeCoに、クロム(Cr)やニッケル(N
i)などの添加物を加えたものや、ジスプロシウム鉄コ
バルト(DyFeCo)、ガドリウム鉄コバルト(Gd
FeCo)など、またはこれらの合金膜を用いることも
可能であり、あるいは、記録再生層7を、これらの合金
膜を積層させた多層構造とすることも可能である。ま
た、上述の第1の実施形態においては、記録再生層7
を、合金ターゲットを用いたスパッタリング法により形
成しているが、記録再生層7を、Tb、Dy、Gd、F
e、Co、FeCoなどの各ターゲットを用いて、同時
スパッタリング法により形成することも可能である。
記録再生層7の材料として、TbFeCoを用いたが、
TbFeCo以外の材料を用いることも可能であり、例
えばTbFeCoに、クロム(Cr)やニッケル(N
i)などの添加物を加えたものや、ジスプロシウム鉄コ
バルト(DyFeCo)、ガドリウム鉄コバルト(Gd
FeCo)など、またはこれらの合金膜を用いることも
可能であり、あるいは、記録再生層7を、これらの合金
膜を積層させた多層構造とすることも可能である。ま
た、上述の第1の実施形態においては、記録再生層7
を、合金ターゲットを用いたスパッタリング法により形
成しているが、記録再生層7を、Tb、Dy、Gd、F
e、Co、FeCoなどの各ターゲットを用いて、同時
スパッタリング法により形成することも可能である。
【0099】また、上述の第1の実施形態においては、
第2の誘電体層8の材料として、SiNを用いている
が、そのほかの材料を用いることも可能であり、具体的
には、例えば硫化亜鉛(ZnS)と酸化シリコン(Si
O2)との混合物(ZnS・SiO2)や、SiO2など
を用いることも可能である。
第2の誘電体層8の材料として、SiNを用いている
が、そのほかの材料を用いることも可能であり、具体的
には、例えば硫化亜鉛(ZnS)と酸化シリコン(Si
O2)との混合物(ZnS・SiO2)や、SiO2など
を用いることも可能である。
【0100】また、上述の第1の実施形態においては、
ディスク基板2からの水分が反射層4や非線形材料層6
に到達することを抑制し、ディスクの腐食を低減させる
ために、ディスク基板2と反射層4との間に設けられた
下地層3の材料として、SiNを用いているが、下地層
3の材料としてSiN以外にも、SiO2を用いること
も可能である。
ディスク基板2からの水分が反射層4や非線形材料層6
に到達することを抑制し、ディスクの腐食を低減させる
ために、ディスク基板2と反射層4との間に設けられた
下地層3の材料として、SiNを用いているが、下地層
3の材料としてSiN以外にも、SiO2を用いること
も可能である。
【0101】また、上述の第1の実施形態による光磁気
ディスク1において、浮上型光学ヘッドと光磁気ディス
ク1との衝突や接触の際の光磁気ディスク1の損傷や摩
耗に対する耐性の向上を図るために、第2の誘電体層8
上に、例えば膜厚が10nm程度の、カーボン(C)や
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)を設けるように
してもよい。
ディスク1において、浮上型光学ヘッドと光磁気ディス
ク1との衝突や接触の際の光磁気ディスク1の損傷や摩
耗に対する耐性の向上を図るために、第2の誘電体層8
上に、例えば膜厚が10nm程度の、カーボン(C)や
ダイヤモンドライクカーボン(DLC)を設けるように
してもよい。
【0102】また、上述の第1の実施形態による光磁気
ディスクにおいて、非線形材料層6と記録再生層7との
間に、SiN、ZnS・SiO2、またはSiO2からな
る誘電体層を設けるようにしてもよい。
ディスクにおいて、非線形材料層6と記録再生層7との
間に、SiN、ZnS・SiO2、またはSiO2からな
る誘電体層を設けるようにしてもよい。
【0103】また、上述の第1の実施形態による光磁気
ディスク1において、第2の誘電体層8上に、例えば、
金(Au)、AlTi、AlMg、AlSi、AgPd
Cu、AgPdTiなどからなる反射率を調整するため
の反射率調整層を設けるようにすることも可能である。
ディスク1において、第2の誘電体層8上に、例えば、
金(Au)、AlTi、AlMg、AlSi、AgPd
Cu、AgPdTiなどからなる反射率を調整するため
の反射率調整層を設けるようにすることも可能である。
【0104】また、上述の第1から第4の実施形態によ
る光磁気ディスクを構成する各層の成膜において用いら
れるスパッタリング装置は、直流電源または高周波電源
のいずれの電源を用いることも可能である。
る光磁気ディスクを構成する各層の成膜において用いら
れるスパッタリング装置は、直流電源または高周波電源
のいずれの電源を用いることも可能である。
【0105】また、上述の第1の実施形態においては、
SiNの成膜を、ArガスとN2ガスとの混合ガスを用
いSiターゲットを用いた反応性スパッタリング法によ
り行うようにしているが、SiNターゲットを用いたス
パッタリング法により行うことも可能である。
SiNの成膜を、ArガスとN2ガスとの混合ガスを用
いSiターゲットを用いた反応性スパッタリング法によ
り行うようにしているが、SiNターゲットを用いたス
パッタリング法により行うことも可能である。
【0106】また、上述の第1の実施形態による光磁気
ディスク1においては、光磁気ディスク1の最表層がS
iNから構成されていたが、光磁気ディスク1の最表層
に、潤滑性を有する潤滑層を設けることも可能である。
この場合、潤滑層は、例えばダイヤモンド状炭素(Diam
ond Like Carbon、DLC)や水素化カーボンから構成
するのが好ましい。また、この潤滑層は、単層の潤滑層
でも、複数の潤滑性を有する層を積層させた積層膜でも
よい。そして、潤滑層を、複数の潤滑性を有する層を積
層させて構成する場合、好ましくは、光磁気ディスク1
の最表層から少なくとも2層における硬度(例えばビッ
カース硬度)が、ディスク基板2に向けて大きくなるよ
うに構成する。これにより、ヘッドが接触する最表層に
生じる変形を、そのディスク基板2に近い側の層が抑制
し、光磁気ディスク1の最表層の変形を最小限に抑える
ことができ、ヘッドと最表層との接触面積を低減するこ
とができる。
ディスク1においては、光磁気ディスク1の最表層がS
iNから構成されていたが、光磁気ディスク1の最表層
に、潤滑性を有する潤滑層を設けることも可能である。
この場合、潤滑層は、例えばダイヤモンド状炭素(Diam
ond Like Carbon、DLC)や水素化カーボンから構成
するのが好ましい。また、この潤滑層は、単層の潤滑層
でも、複数の潤滑性を有する層を積層させた積層膜でも
よい。そして、潤滑層を、複数の潤滑性を有する層を積
層させて構成する場合、好ましくは、光磁気ディスク1
の最表層から少なくとも2層における硬度(例えばビッ
カース硬度)が、ディスク基板2に向けて大きくなるよ
うに構成する。これにより、ヘッドが接触する最表層に
生じる変形を、そのディスク基板2に近い側の層が抑制
し、光磁気ディスク1の最表層の変形を最小限に抑える
ことができ、ヘッドと最表層との接触面積を低減するこ
とができる。
【0107】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、光学記録媒体を構成する各層を、レーザ光の照射に
よる加熱によって透過率が非線形的に変化する層を、し
きい値温度未満においては、無反射条件にしていること
により、レーザ光を照射した領域におけるレーザ光の照
射領域のしきい値温度以上の領域のみから反射信号を得
ることができるので、実効的に光スポット径が小さくな
り、再生分解能を向上させることができ、さらに、室温
近傍の領域からの反射光が得られないため、隣接トラッ
クからのクロストークのみならず、トラックに沿った隣
接した領域からのクロストークをも防止することができ
る。
ば、光学記録媒体を構成する各層を、レーザ光の照射に
よる加熱によって透過率が非線形的に変化する層を、し
きい値温度未満においては、無反射条件にしていること
により、レーザ光を照射した領域におけるレーザ光の照
射領域のしきい値温度以上の領域のみから反射信号を得
ることができるので、実効的に光スポット径が小さくな
り、再生分解能を向上させることができ、さらに、室温
近傍の領域からの反射光が得られないため、隣接トラッ
クからのクロストークのみならず、トラックに沿った隣
接した領域からのクロストークをも防止することができ
る。
【図1】この発明の第1の実施形態による光磁気ディス
クを示す断面図である。
クを示す断面図である。
【図2】この発明の第1の実施形態による光磁気ディス
クにおいて非線形材料層が結晶状態の場合における反射
率の、第2の誘電体層の膜厚依存性を示すグラフであ
る。
クにおいて非線形材料層が結晶状態の場合における反射
率の、第2の誘電体層の膜厚依存性を示すグラフであ
る。
【図3】この発明の第1の実施形態による光磁気ディス
クにおいて非線形材料層が結晶状態の場合の反射率と非
晶質状態の場合の反射率との差の、第2の誘電体層の膜
厚依存性を示すグラフである。
クにおいて非線形材料層が結晶状態の場合の反射率と非
晶質状態の場合の反射率との差の、第2の誘電体層の膜
厚依存性を示すグラフである。
【図4】この発明の第1の実施形態による光磁気ディス
クの再生方法を説明するための略線図である。
クの再生方法を説明するための略線図である。
【図5】この発明の第2の実施形態による光磁気ディス
クを示す断面図である。
クを示す断面図である。
【図6】この発明の第2の実施形態による光磁気ディス
クにおいて非線形材料層が結晶状態の場合における反射
率の、第2の誘電体層の膜厚依存性を示すグラフであ
る。
クにおいて非線形材料層が結晶状態の場合における反射
率の、第2の誘電体層の膜厚依存性を示すグラフであ
る。
【図7】この発明の第2の実施形態による光磁気ディス
クにおいて非線形材料層が結晶状態の場合の反射率と非
晶質状態の場合の反射率との差の、第2の誘電体層の膜
厚依存性を示すグラフである。
クにおいて非線形材料層が結晶状態の場合の反射率と非
晶質状態の場合の反射率との差の、第2の誘電体層の膜
厚依存性を示すグラフである。
【図8】この発明の第3の実施形態による光磁気ディス
クを示す断面図である。
クを示す断面図である。
【図9】この発明の第3の実施形態による光磁気ディス
クにおいて非線形材料層が結晶状態の場合における反射
率の、第1の誘電体層の膜厚依存性を示すグラフであ
る。
クにおいて非線形材料層が結晶状態の場合における反射
率の、第1の誘電体層の膜厚依存性を示すグラフであ
る。
【図10】この発明の第3の実施形態による光磁気ディ
スクにおいて非線形材料層が結晶状態の場合の反射率と
非晶質状態の場合の反射率との差の、第1の誘電体層の
膜厚依存性を示すグラフである。
スクにおいて非線形材料層が結晶状態の場合の反射率と
非晶質状態の場合の反射率との差の、第1の誘電体層の
膜厚依存性を示すグラフである。
【図11】この発明の第4の実施形態による光磁気ディ
スクを示す断面図である。
スクを示す断面図である。
【図12】この発明の第4の実施形態による光磁気ディ
スクにおいて非線形材料層が結晶状態の場合における反
射率の、第2の誘電体層の膜厚依存性を示すグラフであ
る。
スクにおいて非線形材料層が結晶状態の場合における反
射率の、第2の誘電体層の膜厚依存性を示すグラフであ
る。
【図13】この発明の第4の実施形態による光磁気ディ
スクにおいて非線形材料層が結晶状態の場合の反射率と
非晶質状態の場合の反射率との差の、第2の誘電体層の
膜厚依存性を示すグラフである。
スクにおいて非線形材料層が結晶状態の場合の反射率と
非晶質状態の場合の反射率との差の、第2の誘電体層の
膜厚依存性を示すグラフである。
【図14】有効フレネル係数法を説明するための略線図
である。
である。
1,21,31,41・・・光磁気ディスク、2,3
2,42・・・ディスク基板、3,43・・・下地層、
4,37,44・・・反射層、5,33,45・・・第
1の誘電体層、6,35,46・・・非線形材料層、6
a・・・透過率変化領域、6b・・・透過率非変化領
域、7,34,47・・・記録再生層、8,36,48
・・・第2の誘電体層、9・・・非線形材料層、11・
・・室温近傍領域、12・・・高温領域、13・・・室
温近傍領域、22・・・反射率調整層、23・・・保護
層
2,42・・・ディスク基板、3,43・・・下地層、
4,37,44・・・反射層、5,33,45・・・第
1の誘電体層、6,35,46・・・非線形材料層、6
a・・・透過率変化領域、6b・・・透過率非変化領
域、7,34,47・・・記録再生層、8,36,48
・・・第2の誘電体層、9・・・非線形材料層、11・
・・室温近傍領域、12・・・高温領域、13・・・室
温近傍領域、22・・・反射率調整層、23・・・保護
層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 11/105 501 G11B 11/105 501A 526 526F 531 531N 556 556A 586 586L (72)発明者 渡辺 誠 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 Fターム(参考) 5D029 MA17 NA07 NA08 NA13 5D075 CC11 CE01 EE03 FG10 5D090 AA01 BB05 BB10 CC04 EE12 FF11 5D118 AA13 BA01 BB06 BB07 CC12 CD02 CD03
Claims (15)
- 【請求項1】 基板上に、少なくとも記録再生層と透過
率が非線形的に変化する非線形材料層とが積層されて設
けられ、 レーザ光を照射することにより加熱された領域において
情報信号を再生可能に構成された光学記録媒体におい
て、 上記非線形材料層における所定のしきい値温度未満の領
域に、上記レーザ光の無反射条件が成立し、 上記非線形材料層における上記所定のしきい値温度以上
の領域に、上記レーザ光を反射可能に構成されているこ
とを特徴とする光学記録媒体。 - 【請求項2】 上記非線形材料層のしきい値温度以上の
領域が非晶質状態となり、上記非線形材料層のしきい値
温度以下の領域が結晶状態となることを特徴とする請求
項1記載の光学記録媒体。 - 【請求項3】 上記しきい値温度が、100℃以上25
0℃以下であることを特徴とする請求項1記載の光学記
録媒体。 - 【請求項4】 上記しきい値温度が、150℃以上22
0℃以下であることを特徴とする請求項1記載の光学記
録媒体。 - 【請求項5】 上記記録再生層が、光磁気記録可能な材
料から構成されていることを特徴とする請求項1記載の
光学記録媒体。 - 【請求項6】 上記レーザ光の反射光が、光学的エンハ
ンスメント条件を満たすことを特徴とする請求項1記載
の光学記録媒体。 - 【請求項7】 上記レーザ光に対して上記しきい値温度
以上の領域から得られる反射光により、上記光学記録媒
体のトラッキングまたはフォーカシングを行うことを特
徴とする請求項1記載の光学記録媒体。 - 【請求項8】 上記レーザ光に対する反射率を調整可能
に構成された反射率調整層が設けられていることを特徴
とする請求項1記載の光学記録媒体。 - 【請求項9】 基板上に、少なくとも記録再生層と透過
率が非線形的に変化する非線形材料層とが積層され、レ
ーザ光の照射により情報信号を再生するようにした光学
記録媒体の再生方法において、 上記非線形材料層が上記透過率の変化するしきい値温度
未満のときに、上記光学記録媒体に照射された上記レー
ザ光を反射しない条件が成立し、 上記レーザ光の照射領域における上記非線形材料層が上
記しきい値温度以上のときに、上記光学記録媒体に上記
レーザ光を照射して、上記レーザ光の反射が得られるよ
うに構成され、 上記光学記録媒体における上記しきい値温度以上の領域
から得られる上記レーザ光の反射光により、情報信号の
再生を行うようにしたことを特徴とする光学記録媒体の
再生方法。 - 【請求項10】 上記しきい値温度が、100℃以上2
50℃以下であることを特徴とする請求項9記載の光学
記録媒体の再生方法。 - 【請求項11】 上記しきい値温度が、150℃以上2
20℃以下であることを特徴とする請求項9記載の光学
記録媒体の再生方法。 - 【請求項12】 上記記録再生層が、光磁気記録可能な
材料から構成されていることを特徴とする請求項9記載
の光学記録媒体の再生方法。 - 【請求項13】 上記レーザ光の反射光が、光学的エン
ハンスメント条件を満たすことを特徴とする請求項9記
載の光学記録媒体の再生方法。 - 【請求項14】 上記レーザ光に対して上記しきい値温
度以上の領域から得られる反射光を用いて、上記光学記
録媒体のトラッキングまたはフォーカシングを行うよう
にしていることを特徴とする請求項9記載の光学記録媒
体の再生方法。 - 【請求項15】 上記光学記録媒体に、上記レーザ光に
対する反射率を調整可能に構成された反射率調整層が設
けられていることを特徴とする請求項9記載の光学記録
媒体の再生方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000261397A JP2002074751A (ja) | 2000-08-30 | 2000-08-30 | 光学記録媒体および光学記録媒体の再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000261397A JP2002074751A (ja) | 2000-08-30 | 2000-08-30 | 光学記録媒体および光学記録媒体の再生方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002074751A true JP2002074751A (ja) | 2002-03-15 |
Family
ID=18749243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000261397A Pending JP2002074751A (ja) | 2000-08-30 | 2000-08-30 | 光学記録媒体および光学記録媒体の再生方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002074751A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003090222A1 (fr) * | 2002-04-22 | 2003-10-30 | Fujitsu Limited | Moyen d'enregistrement optique, moyen d'enregistrement magneto-optique, dispositif d'enregistrement/de reproduction d'informations, procede d'enregistrement/de reproduction et dispositif d'enregistrement magnetique |
WO2004059636A1 (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-15 | Fujitsu Limited | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
WO2014069201A1 (ja) * | 2012-11-01 | 2014-05-08 | シャープ株式会社 | 光情報記録媒体 |
-
2000
- 2000-08-30 JP JP2000261397A patent/JP2002074751A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003090222A1 (fr) * | 2002-04-22 | 2003-10-30 | Fujitsu Limited | Moyen d'enregistrement optique, moyen d'enregistrement magneto-optique, dispositif d'enregistrement/de reproduction d'informations, procede d'enregistrement/de reproduction et dispositif d'enregistrement magnetique |
WO2004059636A1 (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-15 | Fujitsu Limited | 光磁気記録媒体およびその製造方法 |
WO2014069201A1 (ja) * | 2012-11-01 | 2014-05-08 | シャープ株式会社 | 光情報記録媒体 |
JP2014093107A (ja) * | 2012-11-01 | 2014-05-19 | Sharp Corp | 光情報記録媒体 |
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