JP2002064136A - 基板搬送用カセット - Google Patents
基板搬送用カセットInfo
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 159
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 54
- 230000009191 jumping Effects 0.000 claims description 16
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 寸法を必要以上に大きくすることなく基板の
出し入れを容易に行なうことができ、搬送の際には、基
板が飛出すのを確実に阻止することのできる基板搬送用
カセットを提供する。 【解決手段】 上フレームと下フレーム２との間に基板
保持部３が形成されている。基板保持部３には鍔状の棚
部４が等間隔に複数個形成されている。正面側には、基
板飛出し防止ストッパー６が設けられている。この基板
飛出し防止ストッパー６には爪部７が設けられている。
支点１１を有するトリガ機構１３の一方側の端部が下フ
レーム２より突出している。トリガ機構１３の他方側の
端部は接続部１０を介して、基板飛出し防止ストッパー
６に接続されている。
出し入れを容易に行なうことができ、搬送の際には、基
板が飛出すのを確実に阻止することのできる基板搬送用
カセットを提供する。 【解決手段】 上フレームと下フレーム２との間に基板
保持部３が形成されている。基板保持部３には鍔状の棚
部４が等間隔に複数個形成されている。正面側には、基
板飛出し防止ストッパー６が設けられている。この基板
飛出し防止ストッパー６には爪部７が設けられている。
支点１１を有するトリガ機構１３の一方側の端部が下フ
レーム２より突出している。トリガ機構１３の他方側の
端部は接続部１０を介して、基板飛出し防止ストッパー
６に接続されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基板搬送用カセット
に関し、特に、基板を間隔を開けて略水平方向に重ねて
搬送する際に基板が基板搬送用カセットから飛び出すの
を防止する基板搬送用カセットに関するものである。
に関し、特に、基板を間隔を開けて略水平方向に重ねて
搬送する際に基板が基板搬送用カセットから飛び出すの
を防止する基板搬送用カセットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶基板などのガラス基板の搬送する際
には、複数のガラス基板を搬送できるように基板搬送用
カセットが用いられる。そのような、従来の基板搬送用
カセットの一例について説明する。図６に示すように、
従来の基板搬送用カセットでは、上フレーム１０１と下
フレーム１０２との間に基板保持部１０３が固定されて
いる。基板保持部１０３には、基板のエッジを載置する
ための鍔状の棚部１０６が複数個等間隔に形成されてい
る。
には、複数のガラス基板を搬送できるように基板搬送用
カセットが用いられる。そのような、従来の基板搬送用
カセットの一例について説明する。図６に示すように、
従来の基板搬送用カセットでは、上フレーム１０１と下
フレーム１０２との間に基板保持部１０３が固定されて
いる。基板保持部１０３には、基板のエッジを載置する
ための鍔状の棚部１０６が複数個等間隔に形成されてい
る。
【０００３】背面側には、基板滑落防止用の支柱１０４
が設けられている。基板を出し入れする前面側には、基
板の飛び出しを防止するための爪部１０７が等間隔に縦
方向に形成された基板飛出し防止ストッパー１０５が固
定されている。この基板飛出し防止ストッパー１０５に
設けられた爪部１０７は、基板保持部１０３に形成され
た棚部１０６の上面より少し上に位置するように固定さ
れている。
が設けられている。基板を出し入れする前面側には、基
板の飛び出しを防止するための爪部１０７が等間隔に縦
方向に形成された基板飛出し防止ストッパー１０５が固
定されている。この基板飛出し防止ストッパー１０５に
設けられた爪部１０７は、基板保持部１０３に形成され
た棚部１０６の上面より少し上に位置するように固定さ
れている。
【０００４】次に、上述した基板搬送用カセットを用い
た基板の出し入れ動作について説明する。まず、図７に
示すように、ハンドラー１０９によって収納しようとす
る基板１０８を下方から略水平に保持する。そして、ハ
ンドラー１０９の下部（下端）が基板飛出し防止ストッ
パー１０５に設けられた爪部１０７の上方であり、基板
１０８の上部（上端）が基板保持部１０３に設けられた
棚部１０６の下部（下端）より下方になる位置にハンド
ラー１０９の高さを調節する。
た基板の出し入れ動作について説明する。まず、図７に
示すように、ハンドラー１０９によって収納しようとす
る基板１０８を下方から略水平に保持する。そして、ハ
ンドラー１０９の下部（下端）が基板飛出し防止ストッ
パー１０５に設けられた爪部１０７の上方であり、基板
１０８の上部（上端）が基板保持部１０３に設けられた
棚部１０６の下部（下端）より下方になる位置にハンド
ラー１０９の高さを調節する。
【０００５】そして、ハンドラー１０９を矢印１１０に
示すように水平方向に移動させて、基板搬送用カセット
内にガラス基板１０８を挿入する。
示すように水平方向に移動させて、基板搬送用カセット
内にガラス基板１０８を挿入する。
【０００６】次に、図８に示すように、基板１０８が所
定の位置まで挿入されたところでハンドローラ１０９が
停止する。その後、ハンドローラ１０９を下降させるこ
とで、基板１０８のエッジを棚部１０６に載せる。そし
て、図９に示すように、ハンドローラ１０９を矢印１１
２に示す方向に後退させる。
定の位置まで挿入されたところでハンドローラ１０９が
停止する。その後、ハンドローラ１０９を下降させるこ
とで、基板１０８のエッジを棚部１０６に載せる。そし
て、図９に示すように、ハンドローラ１０９を矢印１１
２に示す方向に後退させる。
【０００７】これにより、基板１０８の収納動作が完了
する。この収納動作を繰返すことで、複数の基板１０８
がそれぞれの棚部１０６に収納される。なお、収納され
ている基板１０８を取出す際には、上述した収納動作と
逆の動作を行なうことで基板の取出しが行なわれる。従
来の基板搬送用カセットはこのように使われていた。
する。この収納動作を繰返すことで、複数の基板１０８
がそれぞれの棚部１０６に収納される。なお、収納され
ている基板１０８を取出す際には、上述した収納動作と
逆の動作を行なうことで基板の取出しが行なわれる。従
来の基板搬送用カセットはこのように使われていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の基板搬送用カセットでは、以下に示すような問
題点があった。
た従来の基板搬送用カセットでは、以下に示すような問
題点があった。
【０００９】基板１０８が載置されたハンドローラ１０
９を略水平移動させて、基板の収納作業や取出し作業を
行なう際には、前面側に固定された基板飛出し防止スト
ッパー１０５の爪部１０７や棚部１０６をかわす必要が
ある。
９を略水平移動させて、基板の収納作業や取出し作業を
行なう際には、前面側に固定された基板飛出し防止スト
ッパー１０５の爪部１０７や棚部１０６をかわす必要が
ある。
【００１０】図７に示すように、この場合、たとえば、
棚部１０６のピッチＬ１は約１６ｍｍ、棚部１０６の下
端と爪部１０７の上端との間隔Ｌ２は約１０．５ｍｍ、
基板１０８の厚さは約０．７〜１．１ｍｍである。基板
１０８が爪部１０７や棚部１０６と接触しないように間
隔Ｌ２を確保するためには、結局、爪部１０７の厚さに
相当する高さ分だけ基板収納カセットの寸法（高さ方
向）を大きくする必要があった。
棚部１０６のピッチＬ１は約１６ｍｍ、棚部１０６の下
端と爪部１０７の上端との間隔Ｌ２は約１０．５ｍｍ、
基板１０８の厚さは約０．７〜１．１ｍｍである。基板
１０８が爪部１０７や棚部１０６と接触しないように間
隔Ｌ２を確保するためには、結局、爪部１０７の厚さに
相当する高さ分だけ基板収納カセットの寸法（高さ方
向）を大きくする必要があった。
【００１１】一方、基板収納カセットの寸法が大きくな
るを抑えるために爪部１０７の厚さを薄くしようとする
と、爪部１０７により基板１０８が飛び出すのを確実に
阻止することができなくなる問題があった。
るを抑えるために爪部１０７の厚さを薄くしようとする
と、爪部１０７により基板１０８が飛び出すのを確実に
阻止することができなくなる問題があった。
【００１２】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであり、必要以上に寸法を大きくすることな
く基板を容易に出し入れすることができ、しかも、搬送
の際に基板が飛出すのを確実に防止することができる基
板搬送用カセットを提供することを目的とする。
されたものであり、必要以上に寸法を大きくすることな
く基板を容易に出し入れすることができ、しかも、搬送
の際に基板が飛出すのを確実に防止することができる基
板搬送用カセットを提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明に係る基板搬送用
カセットは、収納本体と、基板飛出し防止手段とを備え
ている。収納本体は、複数の基板をそれぞれ略水平に収
納する。基板飛出し防止手段は、収納本体に収納された
基板が飛出すのを防止するための爪部を有している。そ
の基板飛出し防止手段は、基板の出し入れを行なう際に
は、基板の出し入れ方向の基板の端部と向かい合う位置
から爪部を下方に退避させ、基板を搬送する際には、爪
部を端部と向かい合う位置に配置させる機能を有してい
る。
カセットは、収納本体と、基板飛出し防止手段とを備え
ている。収納本体は、複数の基板をそれぞれ略水平に収
納する。基板飛出し防止手段は、収納本体に収納された
基板が飛出すのを防止するための爪部を有している。そ
の基板飛出し防止手段は、基板の出し入れを行なう際に
は、基板の出し入れ方向の基板の端部と向かい合う位置
から爪部を下方に退避させ、基板を搬送する際には、爪
部を端部と向かい合う位置に配置させる機能を有してい
る。
【００１４】この構成によれば、まず、基板の出し入れ
の際に、爪部を基板の端部と対向する所定の位置から下
方に退避させることで、基板搬送用カセットの寸法を必
要以上に大きくすることなく、基板を爪部や収納本体に
接触させることなく出し入れすることができる間隔が確
保されて容易に基板の出し入れを行なうことができる。
一方、基板を搬送する際には、爪部を所定の位置に配置
させることで、基板が飛出すのを確実に阻止することが
できる。
の際に、爪部を基板の端部と対向する所定の位置から下
方に退避させることで、基板搬送用カセットの寸法を必
要以上に大きくすることなく、基板を爪部や収納本体に
接触させることなく出し入れすることができる間隔が確
保されて容易に基板の出し入れを行なうことができる。
一方、基板を搬送する際には、爪部を所定の位置に配置
させることで、基板が飛出すのを確実に阻止することが
できる。
【００１５】好ましくは、基板飛出し防止手段は、基板
の出し入れが行なわれるステージ部上に収納本体を置く
動作と連動して、爪部を端部と向かい合う位置から下方
側に退避させ、ステージ部から収納本体を持上げる動作
と連動して、爪部を端部と向かい合う位置に配置させる
機構を含んでいる。
の出し入れが行なわれるステージ部上に収納本体を置く
動作と連動して、爪部を端部と向かい合う位置から下方
側に退避させ、ステージ部から収納本体を持上げる動作
と連動して、爪部を端部と向かい合う位置に配置させる
機構を含んでいる。
【００１６】この場合には、収納本体をステージ部に置
く動作またはステージ部から持上げる動作と連動するこ
とで、爪部を所定の対向する位置から退避させたり、あ
るいは、所定の対向する位置に配置させるのを容易に行
なうことができる。
く動作またはステージ部から持上げる動作と連動するこ
とで、爪部を所定の対向する位置から退避させたり、あ
るいは、所定の対向する位置に配置させるのを容易に行
なうことができる。
【００１７】また好ましくは、基板飛出し防止手段は、
回動中心を挟んで一方側に設けられ、ステージ部に接触
する当接部と、回動中心を挟んで他方側に設けられ、爪
部に接続された接続部とを備えたレバー部を含んでい
る。
回動中心を挟んで一方側に設けられ、ステージ部に接触
する当接部と、回動中心を挟んで他方側に設けられ、爪
部に接続された接続部とを備えたレバー部を含んでい
る。
【００１８】この場合には、当接部がステージ部に接触
することで、爪部を所定の対向する位置から下方に容易
に退避させることができる。
することで、爪部を所定の対向する位置から下方に容易
に退避させることができる。
【００１９】さらに好ましくは、基板飛出し防止手段
は、レバー部に爪部を端部と向かい合う位置に配置する
向きの付勢力を与えるための弾性部材を含んでいる。
は、レバー部に爪部を端部と向かい合う位置に配置する
向きの付勢力を与えるための弾性部材を含んでいる。
【００２０】この場合には、当接部がステージ部に接触
しているときには、爪部が所定の対向する位置から下方
に退避した状態となり、一方、当接部がステージ部に接
触していないときには、爪部は付勢力によって所定の対
向する位置に配置された状態になる。つまり、基板搬送
用カセットを持上げた状態では、爪部は所定の対向する
位置に配置された状態になって、基板が収納本体から飛
出すのを阻止することができる。
しているときには、爪部が所定の対向する位置から下方
に退避した状態となり、一方、当接部がステージ部に接
触していないときには、爪部は付勢力によって所定の対
向する位置に配置された状態になる。つまり、基板搬送
用カセットを持上げた状態では、爪部は所定の対向する
位置に配置された状態になって、基板が収納本体から飛
出すのを阻止することができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態に係る基板搬
送用カセットについて説明する。図１に示すように、上
フレーム１と下フレーム２との間に基板保持部３が固定
されている。基板保持部３には、鍔状の棚部４が等間隔
に上下方向（略垂直方向）に複数個形成されている。そ
れぞれの棚部４の上面にて基板のエッジが受止められて
基板が下方から支持される。
送用カセットについて説明する。図１に示すように、上
フレーム１と下フレーム２との間に基板保持部３が固定
されている。基板保持部３には、鍔状の棚部４が等間隔
に上下方向（略垂直方向）に複数個形成されている。そ
れぞれの棚部４の上面にて基板のエッジが受止められて
基板が下方から支持される。
【００２２】基板搬送用カセットの背面側には、上フレ
ーム１と下フレーム２との間に基板滑落防止用の支柱５
が固定されている。基板搬送用カセットの前面側（基板
を出し入れする側）には、爪部７が形成された基板飛出
し防止ストッパー６が設けられている。基板飛出し防止
ストッパー６には長孔６ａが設けられている。基板飛び
出し防止ストッパー６は、この長孔６ａに挿通されたね
じ１７を介して基板保持部３に対して上下方向に摺動可
能なように取付けられている。
ーム１と下フレーム２との間に基板滑落防止用の支柱５
が固定されている。基板搬送用カセットの前面側（基板
を出し入れする側）には、爪部７が形成された基板飛出
し防止ストッパー６が設けられている。基板飛出し防止
ストッパー６には長孔６ａが設けられている。基板飛び
出し防止ストッパー６は、この長孔６ａに挿通されたね
じ１７を介して基板保持部３に対して上下方向に摺動可
能なように取付けられている。
【００２３】さらに図２に示すように、この基板搬送用
カセットには、基板飛出し防止ストッパー６を解除する
ためのレバー部としてのトリガ機構１３が設けられてい
る。このトリガ機構１３は、回動中心としての支点１１
を有し、この支点１１を挟んでトリガ機構１３の一方側
の端部は、下フレーム２よりさらに下方に飛出してい
る。
カセットには、基板飛出し防止ストッパー６を解除する
ためのレバー部としてのトリガ機構１３が設けられてい
る。このトリガ機構１３は、回動中心としての支点１１
を有し、この支点１１を挟んでトリガ機構１３の一方側
の端部は、下フレーム２よりさらに下方に飛出してい
る。
【００２４】支点１１を挟んでトリガ機構１３の他方側
の端部には接続部１０が設けられ、基板飛出し防止スト
ッパー６と接続されている。また、支点１１を挟んでト
リガ機構１３の一方側の部分には、矢印１８に示すよう
に一方側の端部に下向きの付勢力を与えるためのばね１
２が装着されている。
の端部には接続部１０が設けられ、基板飛出し防止スト
ッパー６と接続されている。また、支点１１を挟んでト
リガ機構１３の一方側の部分には、矢印１８に示すよう
に一方側の端部に下向きの付勢力を与えるためのばね１
２が装着されている。
【００２５】次に、上述した基板搬送用カセットの動作
について説明する。まず図３に示すように、基板を収納
したり取出したりする際には、基板搬送用カセットはス
テージ２０の上に載置される。基板搬送用カセットをス
テージ２０上に載置することによって、下フレーム２よ
り下方に飛出したトリガ機構１３の一方側の端部は矢印
２１に示すように上に押上げられる。そして、支点１１
を介してトリガ機構１３の他方側の端部は矢印２２に示
すように下がることになる。
について説明する。まず図３に示すように、基板を収納
したり取出したりする際には、基板搬送用カセットはス
テージ２０の上に載置される。基板搬送用カセットをス
テージ２０上に載置することによって、下フレーム２よ
り下方に飛出したトリガ機構１３の一方側の端部は矢印
２１に示すように上に押上げられる。そして、支点１１
を介してトリガ機構１３の他方側の端部は矢印２２に示
すように下がることになる。
【００２６】トリガ機構１３の他方側の端部が下がるこ
とで、この端部と接続部１０を介して接続された基板飛
出しストッパ６が下にスライドして、基板飛出しストッ
パ６に設けられた爪部７が棚部４とほぼ同じ高さにな
る。つまり、基板８に対して基板８の取出し方向と対向
する位置にあった爪部７がその対向する位置から下方に
退避することになる。
とで、この端部と接続部１０を介して接続された基板飛
出しストッパ６が下にスライドして、基板飛出しストッ
パ６に設けられた爪部７が棚部４とほぼ同じ高さにな
る。つまり、基板８に対して基板８の取出し方向と対向
する位置にあった爪部７がその対向する位置から下方に
退避することになる。
【００２７】これにより、基板搬送用カセットの寸法
（高さ方向）を必要以上に大きくすることなく、棚部４
の下端と爪部７の上端との距離（間隔）を確保すること
ができる。その結果、この状態でハンドローラ（図示せ
ず）により爪部７や棚部４に接触させることなく基板８
を収納したり取出したりすることが容易にできる。
（高さ方向）を必要以上に大きくすることなく、棚部４
の下端と爪部７の上端との距離（間隔）を確保すること
ができる。その結果、この状態でハンドローラ（図示せ
ず）により爪部７や棚部４に接触させることなく基板８
を収納したり取出したりすることが容易にできる。
【００２８】次に、収納された基板を搬送する場合につ
いて説明する。図２に示すように、搬送する場合には、
基板搬送用カセットはステージ２０から持上げられるこ
とになる。ステージ２０から基板搬送用カセットが持上
げられると、トリガ機構１３に装着されたばね１２の付
勢力によって、トリガ機構１３の一方側の端部は矢印１
８に示す方向に下がる。一方、トリガ機構１３の他方側
の端部は矢印２３に示す方向に上がる。
いて説明する。図２に示すように、搬送する場合には、
基板搬送用カセットはステージ２０から持上げられるこ
とになる。ステージ２０から基板搬送用カセットが持上
げられると、トリガ機構１３に装着されたばね１２の付
勢力によって、トリガ機構１３の一方側の端部は矢印１
８に示す方向に下がる。一方、トリガ機構１３の他方側
の端部は矢印２３に示す方向に上がる。
【００２９】トリガ機構１３の他方側の端部が上がるこ
とで、この端部と接続部１０を介して接続された基板飛
出しストッパ６が上にスライドして、棚部７とほぼ同じ
高さの位置から、基板８に対して基板８の取出し方向と
対向する高さの位置に爪部７がスライドすることにな
る。爪部７が基板８と所定の対向する位置に配置される
ことで、搬送の際に基板８が基板搬送用カセットから飛
出すのを確実に阻止することができる。
とで、この端部と接続部１０を介して接続された基板飛
出しストッパ６が上にスライドして、棚部７とほぼ同じ
高さの位置から、基板８に対して基板８の取出し方向と
対向する高さの位置に爪部７がスライドすることにな
る。爪部７が基板８と所定の対向する位置に配置される
ことで、搬送の際に基板８が基板搬送用カセットから飛
出すのを確実に阻止することができる。
【００３０】上記のように、本基板搬送用カセットによ
れば、基板搬送用カセットをステージの上に載置する動
作と連動することで、基板飛出し防止ストッパー６の爪
部７が棚部４と同じ高さになり、基板搬送用カセットの
寸法（高さ方向）を必要以上に大きくすることなく、棚
部４の下端と爪部７の上端との距離Ｌ２を確保すること
ができて、爪部７や棚部４に接触させることなく基板８
を収納したり取出したりすることが容易にできる。
れば、基板搬送用カセットをステージの上に載置する動
作と連動することで、基板飛出し防止ストッパー６の爪
部７が棚部４と同じ高さになり、基板搬送用カセットの
寸法（高さ方向）を必要以上に大きくすることなく、棚
部４の下端と爪部７の上端との距離Ｌ２を確保すること
ができて、爪部７や棚部４に接触させることなく基板８
を収納したり取出したりすることが容易にできる。
【００３１】一方、基板搬送用カセットをステージ２０
上から持上げる動作と連動することで、基板飛出し防止
ストッパー６の爪部７が基板８と所定の対向する位置に
配置されて、基板８が飛出すのを確実に阻止することが
できる。
上から持上げる動作と連動することで、基板飛出し防止
ストッパー６の爪部７が基板８と所定の対向する位置に
配置されて、基板８が飛出すのを確実に阻止することが
できる。
【００３２】なお、この実施の形態に係る基板搬送用カ
セットでは、基板搬送用カセットを持上げた状態でトリ
ガ機構１３の一方側の端部が下フレーム２より突出する
ように構成されていたが、この他に、たとえば図４に示
すように、その一方側の腕の長さを短くして、端部が下
フレーム２より飛出さないようなトリガ機構１４を採用
してもよい。
セットでは、基板搬送用カセットを持上げた状態でトリ
ガ機構１３の一方側の端部が下フレーム２より突出する
ように構成されていたが、この他に、たとえば図４に示
すように、その一方側の腕の長さを短くして、端部が下
フレーム２より飛出さないようなトリガ機構１４を採用
してもよい。
【００３３】なお、この場合には、ステージ２０上には
突起１５が形成されていることが好ましく、特に、図５
に示すように、基板搬送用カセットがステージ２０上に
載置された状態でトリガ機構１４の一方側の端部がこの
突起１５に接触して上に押し上げられる程度の大きさの
突起１５が形成されていることが好ましい。
突起１５が形成されていることが好ましく、特に、図５
に示すように、基板搬送用カセットがステージ２０上に
載置された状態でトリガ機構１４の一方側の端部がこの
突起１５に接触して上に押し上げられる程度の大きさの
突起１５が形成されていることが好ましい。
【００３４】トリガ機構１４の一方側の端部が突起１５
に接触することで、図３に示す場合と同様に、基板飛出
し防止ストッパー６の爪部７が棚部４と同じ高さに位置
することができて、基板搬送用カセットの寸法を必要以
上に大きくすることなく、基板８の取出しを容易に行な
うことができる。また、搬送の際には、基板が飛出すの
を確実に阻止することができる。
に接触することで、図３に示す場合と同様に、基板飛出
し防止ストッパー６の爪部７が棚部４と同じ高さに位置
することができて、基板搬送用カセットの寸法を必要以
上に大きくすることなく、基板８の取出しを容易に行な
うことができる。また、搬送の際には、基板が飛出すの
を確実に阻止することができる。
【００３５】なお、上記実施の形態では、トリガ機構１
３の一方側の端部に下向きの付勢力を与えるものとして
ばねを例に挙げたが、ばねに限られるものではなく、他
の弾性部材を用いてもよい。
３の一方側の端部に下向きの付勢力を与えるものとして
ばねを例に挙げたが、ばねに限られるものではなく、他
の弾性部材を用いてもよい。
【００３６】また、上記実施の形態では、基板として液
晶表示装置のガラス基板を例に挙げて説明したが、本基
板搬送用カセットはこのようなガラス基板に限られず、
略水平方向に間隔を開けて積み重ねて搬送される基板に
対して、適用することができる。
晶表示装置のガラス基板を例に挙げて説明したが、本基
板搬送用カセットはこのようなガラス基板に限られず、
略水平方向に間隔を開けて積み重ねて搬送される基板に
対して、適用することができる。
【００３７】さらに、この明細書において挙げられた寸
法の値は一例であって、これに限られるものではない。
法の値は一例であって、これに限られるものではない。
【００３８】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【００３９】
【発明の効果】本発明に係る基板搬送用カセットによれ
ば、まず、基板の出し入れの際に、爪部を基板の端部と
対向する所定の位置から下方に退避させることで、基板
搬送用カセットの寸法を必要以上に大きくすることな
く、基板を爪部や収納本体に接触させることなく出し入
れすることができる間隔が確保されて容易に基板の出し
入れを行なうことができる。一方、基板を搬送する際に
は、爪部を所定の位置に配置させることで、基板が飛出
すのを確実に阻止することができる。
ば、まず、基板の出し入れの際に、爪部を基板の端部と
対向する所定の位置から下方に退避させることで、基板
搬送用カセットの寸法を必要以上に大きくすることな
く、基板を爪部や収納本体に接触させることなく出し入
れすることができる間隔が確保されて容易に基板の出し
入れを行なうことができる。一方、基板を搬送する際に
は、爪部を所定の位置に配置させることで、基板が飛出
すのを確実に阻止することができる。
【００４０】好ましくは、基板飛出し防止手段は、基板
の出し入れが行なわれるステージ部上に収納本体を置く
動作と連動して、爪部を端部と向かい合う位置から下方
側に退避させ、ステージ部から収納本体を持上げる動作
と連動して、爪部を端部と向かい合う位置に配置させる
機構を含んでいることで、収納本体をステージ部に置く
動作またはステージ部から持上げる動作と連動して、爪
部を所定の対向する位置から退避させたり、あるいは、
所定の対向する位置に配置させるのを容易に行なうこと
ができる。
の出し入れが行なわれるステージ部上に収納本体を置く
動作と連動して、爪部を端部と向かい合う位置から下方
側に退避させ、ステージ部から収納本体を持上げる動作
と連動して、爪部を端部と向かい合う位置に配置させる
機構を含んでいることで、収納本体をステージ部に置く
動作またはステージ部から持上げる動作と連動して、爪
部を所定の対向する位置から退避させたり、あるいは、
所定の対向する位置に配置させるのを容易に行なうこと
ができる。
【００４１】また好ましくは、基板飛出し防止手段は、
回動中心を挟んで一方側に設けられ、ステージ部に接触
する当接部と、回動中心を挟んで他方側に設けられ、爪
部に接続された接続部とを備えたレバー部を含んでいる
ことで、当接部がステージ部に接触して、爪部を所定の
対向する位置から下方に容易に退避させることができ
る。
回動中心を挟んで一方側に設けられ、ステージ部に接触
する当接部と、回動中心を挟んで他方側に設けられ、爪
部に接続された接続部とを備えたレバー部を含んでいる
ことで、当接部がステージ部に接触して、爪部を所定の
対向する位置から下方に容易に退避させることができ
る。
【００４２】さらに好ましくは、基板飛出し防止手段
は、レバー部に爪部を端部と向かい合う位置に配置する
向きの付勢力を与えるための弾性部材を含んでいること
で、当接部がステージ部に接触しているときには、爪部
が所定の対向する位置から下方に退避した状態となり、
一方、当接部がステージ部に接触していないときには、
爪部は付勢力によって所定の対向する位置に配置された
状態になる。
は、レバー部に爪部を端部と向かい合う位置に配置する
向きの付勢力を与えるための弾性部材を含んでいること
で、当接部がステージ部に接触しているときには、爪部
が所定の対向する位置から下方に退避した状態となり、
一方、当接部がステージ部に接触していないときには、
爪部は付勢力によって所定の対向する位置に配置された
状態になる。
【図１】 本発明の実施の形態に係る基板搬送用カセッ
トの正面図である。
トの正面図である。
【図２】 同実施の形態において、基板搬送用カセット
の動作を説明するための基板搬送用カセットの一側面図
である。
の動作を説明するための基板搬送用カセットの一側面図
である。
【図３】 同実施の形態において、基板搬送用カセット
の動作を説明するための基板搬送用カセットの一側面図
である。
の動作を説明するための基板搬送用カセットの一側面図
である。
【図４】 同実施の形態において、変形例に係る基板搬
送用カセットの動作を説明するための一側面図である。
送用カセットの動作を説明するための一側面図である。
【図５】 同実施の形態において、変形例に係る基板搬
送用カセットの動作を説明するための一側面図である。
送用カセットの動作を説明するための一側面図である。
【図６】 従来の基板搬送用カセットの斜視図である。
【図７】 従来の基板搬送用カセットの動作を説明する
ための第１の図である。
ための第１の図である。
【図８】 従来の基板搬送用カセットの動作を説明する
ための第２の図である。
ための第２の図である。
【図９】 従来の基板搬送用カセットの動作を説明する
ための第３の図である。
ための第３の図である。
１ 上フレーム、２ 下フレーム、３ 基板保持部、４
棚部、５ 支柱、６基板飛出し防止ストッパー、７
爪部、８ 基板、１３ トリガ機構、１２ばね、１１
支点、１０ 接続部、１４ トリガ機構、１５ 突起
部。
棚部、５ 支柱、６基板飛出し防止ストッパー、７
爪部、８ 基板、１３ トリガ機構、１２ばね、１１
支点、１０ 接続部、１４ トリガ機構、１５ 突起
部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高濱 学 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 Ｆターム(参考） 3E096 AA06 BA15 CA08 CB03 DA09 DB01 DC02 FA01 5F031 CA05 DA01 EA09 EA19
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の基板をそれぞれ略水平に収納する
ための収納本体と、 前記収納本体に収納された基板が飛出すのを防止するた
めの爪部を有する基板飛出し防止手段とを備え、 前記基板飛出し防止手段は、 基板の出し入れを行なう際には、基板の出し入れ方向の
基板の端部と向かい合う位置から前記爪部を下方に退避
させ、 基板を搬送する際には、前記爪部を前記端部と向かい合
う位置に配置させる機能を有する、基板搬送用カセッ
ト。 - 【請求項２】 前記基板飛出し防止手段は、前記基板の
出し入れが行なわれるステージ部上に前記収納本体を置
く動作と連動して、前記爪部を前記端部と向かい合う位
置から下方側に退避させ、前記ステージ部から前記収納
本体を持上げる動作と連動して、前記爪部を前記端部と
向かい合う位置に配置させる機構を含む、請求項１記載
の基板搬送用カセット。 - 【請求項３】 前記基板飛出し防止手段は、 回動中心を挟んで一方側に設けられ、前記ステージ部に
接触する当接部と、 前記回動中心を挟んで他方側に設けられ、前記爪部に接
続された接続部とを備えたレバー部を含む、請求項２記
載の基板搬送用カセット。 - 【請求項４】 前記基板飛出し防止手段は、前記レバー
部に前記爪部を前記端部と向かい合う位置に配置する向
きの付勢力を与えるための弾性部材を含む、請求項２ま
たは３記載の基板搬送用カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000251031A JP3774620B2 (ja) | 2000-08-22 | 2000-08-22 | 基板搬送用カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000251031A JP3774620B2 (ja) | 2000-08-22 | 2000-08-22 | 基板搬送用カセット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002064136A true JP2002064136A (ja) | 2002-02-28 |
| JP3774620B2 JP3774620B2 (ja) | 2006-05-17 |
Family
ID=18740505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000251031A Expired - Fee Related JP3774620B2 (ja) | 2000-08-22 | 2000-08-22 | 基板搬送用カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3774620B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007039961A1 (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | 板収容用カセット |
| US7500564B2 (en) | 2004-08-16 | 2009-03-10 | Dongbu Electronics Co., Ltd. | Wafer carrying apparatus |
| JP2013197347A (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | カセット |
| WO2020090517A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 収納装置および基板加工装置 |
| CN115743879A (zh) * | 2022-11-28 | 2023-03-07 | 广东越海集成技术有限公司 | 运输料盒 |
-
2000
- 2000-08-22 JP JP2000251031A patent/JP3774620B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7500564B2 (en) | 2004-08-16 | 2009-03-10 | Dongbu Electronics Co., Ltd. | Wafer carrying apparatus |
| WO2007039961A1 (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | 板収容用カセット |
| JP2013197347A (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Disco Abrasive Syst Ltd | カセット |
| WO2020090517A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 収納装置および基板加工装置 |
| JPWO2020090517A1 (ja) * | 2018-10-31 | 2021-09-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 収納装置および基板加工装置 |
| TWI829738B (zh) * | 2018-10-31 | 2024-01-21 | 日商三星鑽石工業股份有限公司 | 收納裝置及基板加工裝置 |
| CN115743879A (zh) * | 2022-11-28 | 2023-03-07 | 广东越海集成技术有限公司 | 运输料盒 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3774620B2 (ja) | 2006-05-17 |
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