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JP2002006050A - 二次元撮像装置の実装構造 - Google Patents

二次元撮像装置の実装構造

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Publication number
JP2002006050A
JP2002006050A JP2000191525A JP2000191525A JP2002006050A JP 2002006050 A JP2002006050 A JP 2002006050A JP 2000191525 A JP2000191525 A JP 2000191525A JP 2000191525 A JP2000191525 A JP 2000191525A JP 2002006050 A JP2002006050 A JP 2002006050A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dimensional
conversion element
photoelectric conversion
mounting structure
housing
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000191525A
Other languages
English (en)
Inventor
Fumio Hata
文夫 畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2000191525A priority Critical patent/JP2002006050A/ja
Publication of JP2002006050A publication Critical patent/JP2002006050A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 接着工程を廃止しても、蛍光板と光電変換素
子を密着させることができる実装構造を提供する。 【解決手段】 X線を可視光に変換する蛍光体を樹脂板
に塗布してなる蛍光板と、ガラス基板上に形成された二
次元光電変換素子と、これらを収納する筐体及び筐体蓋
とからなる二次元X線撮像装置の実装構造において、前
記蛍光板が、前記二次元光電変換素子と前記筐体蓋との
間に配置され、前記筐体蓋と前記蛍光板との間に設けた
X線透過性の弾性体によって、前記二次元光電変換素子
に圧着されていることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、X線撮影などに使
用する二次元撮像装置の実装構造に関する。
【0002】
【従来の技術】X線撮影などに用いる二次元撮像装置
は、X線を可視光に変換する蛍光板と、この可視光を電
気信号に変換する光電変換素子と、この光電変換素子を
その上に形成した基板と、この基板を支持する基台と、
光電変換された電気信号を処理する回路基板及び配線
と、これらを収容する外囲器などからなる実装構造を持
っている。
【0003】即ち、これを、図3を参照して具体的に説
明すると、光電変換素子2aは、主に可視光線を電気信
号に変換する半導体素子であり、この基板2b(以下、
基板という)には、半導体素子との化学作用のないこ
と、半導体形成プロセスの温度に耐えること、寸法安定
性などの必要性から、無アルカリのガラス板が多く用い
られる。また、X線を可視光線に変換する蛍光板1は、
金属化合物の蛍光体1aを樹脂などのバインダーで固
め、樹脂板1bに塗布したものが用いられる。
【0004】蛍光板1と光電変換素子2aの間隔は、X
線101が蛍光体1aに当たって発生した可視光線10
2が拡散することを防ぐため、光電変換素子2aの画素
寸法(例えば、数百マイクロメートル程度)に比べ、充
分に小さい値(例えば、数十マイクロメートル以下)に
保持する必要があるので、蛍光板1と基板2bとを接着
剤3で接着している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
構造では、基板と蛍光板の材質が異なり、従って、熱膨
張率も大きく異なるため、撮像装置の使用環境によって
は、図4に示すように、蛍光板1の接着剥がれ3aが生
じ、画像周辺部の解像力が低下するという不都合が起こ
る畏れがある。
【0006】これを防ぐためには、接着剤3の選定、接
着工程の管理に細心の注意が必要であり、これが撮像装
置のコスト低減に対する大きな障害となっていた。
【0007】本発明は、上記事情に基づいてなされたも
ので、その目的とするところは、接着工程を廃止して
も、蛍光板と光電変換素子を密着させることができる実
装構造を提供するにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】このため、本発明では、
X線を可視光に変換する蛍光体を樹脂板に塗布してなる
蛍光板と、ガラス基板上に形成された二次元光電変換素
子と、これらを収納する筐体及び筐体蓋とからなる二次
元X線撮像装置の実装構造において、前記蛍光板が、前
記二次元光電変換素子と前記筐体蓋との間に配置され、
前記筐体蓋と前記蛍光板との間に設けたX線透過性の弾
性体によって、前記二次元光電変換素子に圧着されてい
ることを特徴とする。
【0009】この場合、本発明の実施の形態として、前
記弾性体は、前記筐体蓋と前記蛍光板との間で所要の圧
縮状態で挟装されている可撓性発泡樹脂材料あるいは粘
弾性ゴム材料からなること、また、前記筐体蓋のX線透
過面が、前記二次元光電変換素子の配列寸法に比べて大
きな曲率半径を持った外側に凹のほぼ球面に成形され、
前記弾性体の圧縮圧が前記蛍光板の全面にわたってほぼ
均等に分布するように構成することが有効である。
【0010】これによって、二次元光電変換素子に対し
て蛍光板を密接することができ、撮像精度を向上でき
る。また、外囲器(筐体および筐体蓋)内での各構成部
材の組立も容易となる。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら具体的に説明する。なお、図1は本発
明における第1の実施の形態を示し、また、図2は第2
の実施の形態を示す。
【0012】(第1の実施形態)図1は、本発明に係わ
る第1の実施の形態である撮像装置の実装構造の断面図
である。ここで、符号1は蛍光板、2aは二次元光電変
換素子、2bはこの二次元光電変換素子を搭載したガラ
スなどの基板である。そして、この基板2bは、基台6
を介して、筐体7の内壁面に固定されている。
【0013】そして、X線101を、蛍光板1に当てた
ことで、発生した蛍光(可視光線)から、間接的に光電
変換素子2aで変換した電気信号が、基板2b上の回路
(図示せず)を経由し、フレキシブル回路基板4を経
て、基台6の裏側に設けた信号処理回路基板5に伝達さ
れる。
【0014】また、筐体7の正面には、筐体蓋8が接
着、ネジ止め、その他の方法で固定されており、筐体蓋
8と蛍光板1との間には、弾性体9が、所要の圧縮状態
で配置されて、蛍光板1を基板2bに対して圧接・保持
している。
【0015】なお、筐体蓋8にはCFRP(炭素繊維強
化樹脂)板などの、X線を良く透過しかつ剛性の高い材
質のものが用いられる。この筐体蓋8は、X線画像に不
均一な影響をもたらすことがないように、少なくとも、
光電変換素子2aが配置されている範囲では、均等な厚
みを持つ必要がある。
【0016】また、弾性体9の材質は、筐体蓋8と同様
に、X線を良く透過しかつ長期間の圧縮保持にも、その
弾性力を失わないことが必要であるため、可撓性発泡樹
脂材料や粘弾性ゴム材料(合成ゴムを含む)が適当であ
る。
【0017】このような構造にすることで、使用環境の
温度が変化しても、蛍光板1と光電変換素子2aとを、
常に互いに密接状態に維持することが可能となり、耐環
境性にも優れた二次元撮像装置の実装構造を構成するこ
とができる。
【0018】(第2の実施形態)図2には、本発明に係
わる第2の実施の形態が示されている。ここでは、筐体
蓋8の厚みが、前述した実施の形態のように、均等で、
極力薄いことが望ましく、リブなどの構造を持つこと
も、鮮明画像を得る上で不適当である。そこで、この筐
体蓋8のX線透過面を、図面上、Rで示すように、光電
変換素子2aの配列寸法104に比べて、はるかに大き
な曲率半径103を持つ、外側に凹のほぼ球面に成形し
ておく。
【0019】このことで、筐体蓋を8、その周囲のみで
筐体7に固定しても、蛍光板1全面にわたって、ほぼ均
一な圧接力を得ることができ、これにより、筐体蓋8
を、より薄肉・軽量化することが可能になる。
【0020】なお、符号104で示す光電変換素子配列
寸法は、通常、400ミリメートル角程度である。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
接着剤を使わないで、弾性体により、蛍光板を基板上の
二次元光電変換素子に密接させた状態に保持するので、
組立が容易で、低コストとなり、接着剤不使用による環
境性にも優れた二次元X線撮像装置の実装構造を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わる第1の実施の形態を示す断面図
である。
【図2】本発明に係わる第2の実施の形態を示す断面図
である。
【図3】(a)は従来のX線二次元撮像装置の構造を示
す断面図、(b)は蛍光板の詳細を示す断面図である。
【図4】従来のX線二次元撮像装置での不都合を図示し
た模式図である。
【符号の説明】
1 蛍光板 2a 光電変換素子 2b 基板 3 接着剤 3a 接着剤剥がれ 4 フレキシブル回路基板 5 信号処理回路基板 6 基台 7 筐体 8 筐体蓋 9 弾性体 101 X線 102 可視光線 103 曲率半径 104 光電変換素子の配列寸法
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 23/02 H01L 23/02 F 31/02 31/02 B

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 X線を可視光に変換する蛍光体を樹脂板
    に塗布してなる蛍光板と、ガラス基板上に形成された二
    次元光電変換素子と、これらを収納する筐体及び筐体蓋
    とからなる二次元X線撮像装置の実装構造において、 前記蛍光板が、前記二次元光電変換素子と前記筐体蓋と
    の間に配置され、前記筐体蓋と前記蛍光板との間に設け
    たX線透過性の弾性体によって、前記二次元光電変換素
    子に圧着されていることを特徴とする二次元撮像装置の
    実装構造。
  2. 【請求項2】 前記弾性体は、前記筐体蓋と前記蛍光板
    との間で所要の圧縮状態で挟装されている可撓性発泡樹
    脂材料からなることを特徴とする請求項1に記載の二次
    元撮像装置の実装構造。
  3. 【請求項3】 前記弾性体は、前記筐体蓋と前記蛍光板
    との間で所要の圧縮状態で挟装されている粘弾性ゴム材
    料からなることを特徴とする請求項1に記載の二次元撮
    像装置の実装構造。
  4. 【請求項4】 前記筐体蓋のX線透過面が、前記二次元
    光電変換素子の配列寸法に比べて大きな曲率半径を持っ
    た外側に凹のほぼ球面に成形され、前記弾性体の圧縮圧
    が前記蛍光板の全面にわたってほぼ均等に分布するよう
    に構成したことを特徴とする請求項1ないし3の何れか
    1項に記載の二次元撮像装置の実装構造。
JP2000191525A 2000-06-26 2000-06-26 二次元撮像装置の実装構造 Pending JP2002006050A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011059058A (ja) * 2009-09-14 2011-03-24 Fujifilm Corp 放射線画像撮影装置
WO2011148960A1 (ja) * 2010-05-25 2011-12-01 富士フイルム株式会社 放射線画像撮影装置及びその組立方法
WO2011148943A1 (ja) * 2010-05-25 2011-12-01 富士フイルム株式会社 放射線画像撮影装置
JP2012154940A (ja) * 2007-09-06 2012-08-16 Konica Minolta Medical & Graphic Inc フラットパネルディテクタ
WO2016181708A1 (ja) * 2015-05-14 2016-11-17 株式会社島津製作所 放射線検出器およびそれを備えた放射線断層撮影装置

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