JP2001183233A - 分光器および分光方法 - Google Patents
分光器および分光方法Info
- Publication number
- JP2001183233A JP2001183233A JP37182899A JP37182899A JP2001183233A JP 2001183233 A JP2001183233 A JP 2001183233A JP 37182899 A JP37182899 A JP 37182899A JP 37182899 A JP37182899 A JP 37182899A JP 2001183233 A JP2001183233 A JP 2001183233A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- diffraction grating
- collimator
- plane
- spectroscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title abstract 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 abstract description 24
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 18
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 1
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J3/1804—Plane gratings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定光の入出射部分の構造を簡素化するこ
とにより、組み付け等の作業性を向上させることができ
る分光器および分光方法を提供すること。 【解決手段】 この分光器は、入射ファイバ１０、２つ
の放物面鏡２０、２８、平面回折格子２２、２つの平面
鏡２４、２６、出射スリット３０、光検出器３２を含ん
で構成されている。２つの平面鏡２４、２６と２つの放
物面鏡２０、２８を用いることにより、出射ファイバ１
０から出射された被測定光が一方の平面鏡２４に到達す
るまでの光路と、他方の平面鏡２６によって反射された
被測定光が出射スリット３０に到達するまでの光路と
を、平面回折格子２２の刻線に沿って離隔する。
とにより、組み付け等の作業性を向上させることができ
る分光器および分光方法を提供すること。 【解決手段】 この分光器は、入射ファイバ１０、２つ
の放物面鏡２０、２８、平面回折格子２２、２つの平面
鏡２４、２６、出射スリット３０、光検出器３２を含ん
で構成されている。２つの平面鏡２４、２６と２つの放
物面鏡２０、２８を用いることにより、出射ファイバ１
０から出射された被測定光が一方の平面鏡２４に到達す
るまでの光路と、他方の平面鏡２６によって反射された
被測定光が出射スリット３０に到達するまでの光路と
を、平面回折格子２２の刻線に沿って離隔する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定光を同一の
回折格子に複数回入射させる分光器および分光方法に関
する。
回折格子に複数回入射させる分光器および分光方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、被測定光の波長特性を測定す
る計測器として、モノクロメータ（単色計）と称される
分光器が用いられている。特に、１つあるいは複数の回
折格子に被測定光を複数回入射させることにより、高い
分解能または広いダイナミックレンジを確保することが
できるダブルモノクロメータ（複単色計）が汎用されて
いる。
る計測器として、モノクロメータ（単色計）と称される
分光器が用いられている。特に、１つあるいは複数の回
折格子に被測定光を複数回入射させることにより、高い
分解能または広いダイナミックレンジを確保することが
できるダブルモノクロメータ（複単色計）が汎用されて
いる。
【０００３】例えば、特開平８−１４５７９５号公報に
は、各種の分光器が開示されている。図４および図５
は、この公報に開示された代表的な分光器の構成を示す
斜視図である。
は、各種の分光器が開示されている。図４および図５
は、この公報に開示された代表的な分光器の構成を示す
斜視図である。
【０００４】図４に示す分光器は、光ファイバ１００か
ら出射された光をコリメータ１０２によって平行光に変
換し、この平行光を平面回折格子１０４で回折する。こ
の回折光は、光路に垂直な反射面を有する平面鏡１０６
によって反射され、再び平面回折格子１０４で回折され
た後、コリメータ１０２によって集光されてスリット１
０８に入射される。図４に示す分光器は、被測定光が同
一の平面回折格子１０４で２回回折されるため、出射ス
リット１０８を通過する回折光の波長λの分解能を高く
することができる。
ら出射された光をコリメータ１０２によって平行光に変
換し、この平行光を平面回折格子１０４で回折する。こ
の回折光は、光路に垂直な反射面を有する平面鏡１０６
によって反射され、再び平面回折格子１０４で回折され
た後、コリメータ１０２によって集光されてスリット１
０８に入射される。図４に示す分光器は、被測定光が同
一の平面回折格子１０４で２回回折されるため、出射ス
リット１０８を通過する回折光の波長λの分解能を高く
することができる。
【０００５】また、図５に示す分光器は、図４に示した
構成に対して、中間スリット１１０と２枚の鏡１１２、
１１４を追加した構成を有している。図５に示す分光器
では、コリメータ１０２で反射されて戻ってきた回折光
を、一方の鏡１１２で９０°反射した後、この回折光の
集光位置に配置された中間スリット１１０を通し、その
後他方の鏡１１４で９０°反射させることにより、被測
定光をコリメータ１０２、平面回折格子１０４、平面鏡
１０６によって構成される光学系をさらに１往復させて
いる。図５に示す分光器は、被測定光が中間スリット１
１０と出射スリット１０８を通るため、ダイナミックレ
ンジを広くすることができる。
構成に対して、中間スリット１１０と２枚の鏡１１２、
１１４を追加した構成を有している。図５に示す分光器
では、コリメータ１０２で反射されて戻ってきた回折光
を、一方の鏡１１２で９０°反射した後、この回折光の
集光位置に配置された中間スリット１１０を通し、その
後他方の鏡１１４で９０°反射させることにより、被測
定光をコリメータ１０２、平面回折格子１０４、平面鏡
１０６によって構成される光学系をさらに１往復させて
いる。図５に示す分光器は、被測定光が中間スリット１
１０と出射スリット１０８を通るため、ダイナミックレ
ンジを広くすることができる。
【０００６】また、分光器の他の従来例としては、米国
特許第３，０６９，９６６号、米国特許第４，０２５，
１９６号等に開示されたものが知られている。
特許第３，０６９，９６６号、米国特許第４，０２５，
１９６号等に開示されたものが知られている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図４に示し
た従来の分光器は、被測定光を入射する光ファイバ１０
０と出射スリット１０８の両方をコリメータ１０２の焦
点位置近傍に設置する必要があるため、この焦点位置近
傍の構造が複雑になり、組み付け等の作業性が悪いとい
う問題があった。また、図５に示した従来の分光器は、
光ファイバ１００、出射スリット１０８の他に、２つの
鏡１１２、１１４と中間スリット１１０もコリメータ１
０２の焦点位置近傍に配置する必要があるため、この焦
点位置近傍の構造がさらに複雑になり、組み付け等の作
業性もさらに悪くなる。
た従来の分光器は、被測定光を入射する光ファイバ１０
０と出射スリット１０８の両方をコリメータ１０２の焦
点位置近傍に設置する必要があるため、この焦点位置近
傍の構造が複雑になり、組み付け等の作業性が悪いとい
う問題があった。また、図５に示した従来の分光器は、
光ファイバ１００、出射スリット１０８の他に、２つの
鏡１１２、１１４と中間スリット１１０もコリメータ１
０２の焦点位置近傍に配置する必要があるため、この焦
点位置近傍の構造がさらに複雑になり、組み付け等の作
業性もさらに悪くなる。
【０００８】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、被測定光の入出射部分の構
造を簡素化することにより、組み付け等の作業性を向上
させることができる分光器および分光方法を提供するこ
とにある。
たものであり、その目的は、被測定光の入出射部分の構
造を簡素化することにより、組み付け等の作業性を向上
させることができる分光器および分光方法を提供するこ
とにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明の分光器は、平面回折格子と、この平面
回折格子の刻線に平行に配置された第１および第２のコ
リメータと、少なくとも２枚の反射面を有して平面回折
格子から出射された回折光を入射光と出射光とが刻線に
沿って離隔するように折り返す第１の反射部材と、この
第１のコリメータの焦点位置の近傍に配置された出射ス
リットとを備えている。入出射光を分離して折り返す第
１の反射部材と、これら分離された２つの光のそれぞれ
に対応する第１および第２のコリメータとを有すること
により、第１のコリメータの焦点位置に出射スリット
を、第２のコリメータの焦点位置にそれ以外の光学部材
を離隔して配置することができる。したがって、各焦点
位置近傍の構造が簡素化され、組み付け等の作業性を向
上させることができる。
ために、本発明の分光器は、平面回折格子と、この平面
回折格子の刻線に平行に配置された第１および第２のコ
リメータと、少なくとも２枚の反射面を有して平面回折
格子から出射された回折光を入射光と出射光とが刻線に
沿って離隔するように折り返す第１の反射部材と、この
第１のコリメータの焦点位置の近傍に配置された出射ス
リットとを備えている。入出射光を分離して折り返す第
１の反射部材と、これら分離された２つの光のそれぞれ
に対応する第１および第２のコリメータとを有すること
により、第１のコリメータの焦点位置に出射スリット
を、第２のコリメータの焦点位置にそれ以外の光学部材
を離隔して配置することができる。したがって、各焦点
位置近傍の構造が簡素化され、組み付け等の作業性を向
上させることができる。
【００１０】具体的には、第２のコリメータの焦点位置
の近傍に、被測定光を入射する入射部材を配置すること
が望ましい。入射部材と出射スリットを離隔することに
より、それぞれの取り付け部分が複雑にならず、設計の
自由度が増すとともに、取り付け作業等がしやすくな
る。また、同じ平面回折格子に複数回の回折を行わせる
ことによる分解能の向上が可能になる。
の近傍に、被測定光を入射する入射部材を配置すること
が望ましい。入射部材と出射スリットを離隔することに
より、それぞれの取り付け部分が複雑にならず、設計の
自由度が増すとともに、取り付け作業等がしやすくな
る。また、同じ平面回折格子に複数回の回折を行わせる
ことによる分解能の向上が可能になる。
【００１１】あるいは、第１のコリメータの焦点位置の
近傍に、出射スリットとともに被測定光を入射する入射
部材を配置し、第２のコリメータの焦点位置の近傍に、
中間スリットと、この中間スリットを挟んで配置されて
第２のコリメータの出射光を第２のコリメータに反射す
る第２の反射部材とを配置することが望ましい。出射ス
リット近傍の構造と、中間スリットおよび第２の反射部
材とを離隔することができるため、従来のように出射ス
リット近傍にこれらの全てを配置する場合に比べて、そ
れぞれの部品の配置に余裕が生じ、設計の自由度が増す
とともに、取り付け作業等がしやすくなる。また、第２
の反射部材によって被測定光を反射させる際に中間スリ
ットを通すことにより、出射スリットを通る光のダイナ
ミックレンジを広くすることができる。
近傍に、出射スリットとともに被測定光を入射する入射
部材を配置し、第２のコリメータの焦点位置の近傍に、
中間スリットと、この中間スリットを挟んで配置されて
第２のコリメータの出射光を第２のコリメータに反射す
る第２の反射部材とを配置することが望ましい。出射ス
リット近傍の構造と、中間スリットおよび第２の反射部
材とを離隔することができるため、従来のように出射ス
リット近傍にこれらの全てを配置する場合に比べて、そ
れぞれの部品の配置に余裕が生じ、設計の自由度が増す
とともに、取り付け作業等がしやすくなる。また、第２
の反射部材によって被測定光を反射させる際に中間スリ
ットを通すことにより、出射スリットを通る光のダイナ
ミックレンジを広くすることができる。
【００１２】特に、中間スリットの向きを刻線と平行に
配置するとともに、刻線を回転中心として平面回折格子
を回転させたときに第２のコリメータから出射される光
が振れる向きに第２の反射部材が有する２つの反射面を
配置することが望ましい。このような配置によって、平
面回折格子に入射した光の波長幅内での角分散がさらに
増す加分散の状態を実現することができ、分解能をさら
に増すことが可能になる。
配置するとともに、刻線を回転中心として平面回折格子
を回転させたときに第２のコリメータから出射される光
が振れる向きに第２の反射部材が有する２つの反射面を
配置することが望ましい。このような配置によって、平
面回折格子に入射した光の波長幅内での角分散がさらに
増す加分散の状態を実現することができ、分解能をさら
に増すことが可能になる。
【００１３】あるいは、中間スリットの向きを刻線と垂
直に配置するとともに、刻線に沿った向きに第２の反射
部材を配置することが望ましい。このような配置によっ
て、平面回折格子に入射した光の波長幅内での角分散が
減る差分散の状態を実現することができる。この差分散
の状態では、被測定光の波長を変えた場合であっても、
出射スリットの幅を変える必要がなく、構造の簡略化が
可能になる。
直に配置するとともに、刻線に沿った向きに第２の反射
部材を配置することが望ましい。このような配置によっ
て、平面回折格子に入射した光の波長幅内での角分散が
減る差分散の状態を実現することができる。この差分散
の状態では、被測定光の波長を変えた場合であっても、
出射スリットの幅を変える必要がなく、構造の簡略化が
可能になる。
【００１４】また、上述した第１の反射部材は、入射光
の向きとほぼ１８０°異なる向きに出射光を出射するこ
とが望ましい。入射光と離隔したほぼ平行な反射光が折
り返されるため、この離隔した位置に対応させて２つの
コリメータを配置することにより、出射スリットとそれ
以外の部品等とを離隔することが容易となる。
の向きとほぼ１８０°異なる向きに出射光を出射するこ
とが望ましい。入射光と離隔したほぼ平行な反射光が折
り返されるため、この離隔した位置に対応させて２つの
コリメータを配置することにより、出射スリットとそれ
以外の部品等とを離隔することが容易となる。
【００１５】また、本発明の分光方法では、第１のコリ
メータによって平行光線に変換した被測定光を平面回折
格子によって回折させた後、この回折光を平面回折格子
の刻線に沿って離隔させてほぼ平行に折り返し、再び平
面回折格子によって回折させた後、この回折光を第２の
コリメータによって集光し、この集光位置に配置された
出射スリットに通している。平面回折格子の回折光を刻
線に沿って隔たった位置に折り返して再び平面回折格子
に入射させることにより、これらの入射光と出射光のそ
れぞれに対応するように設けられた２つのコリメータの
焦点位置を互いに離隔することができるため、分解能の
向上とともに構造の簡素化による作業性の向上を図るこ
とができる。
メータによって平行光線に変換した被測定光を平面回折
格子によって回折させた後、この回折光を平面回折格子
の刻線に沿って離隔させてほぼ平行に折り返し、再び平
面回折格子によって回折させた後、この回折光を第２の
コリメータによって集光し、この集光位置に配置された
出射スリットに通している。平面回折格子の回折光を刻
線に沿って隔たった位置に折り返して再び平面回折格子
に入射させることにより、これらの入射光と出射光のそ
れぞれに対応するように設けられた２つのコリメータの
焦点位置を互いに離隔することができるため、分解能の
向上とともに構造の簡素化による作業性の向上を図るこ
とができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した一実施形
態の分光器について、図面を参照しながら説明する。
態の分光器について、図面を参照しながら説明する。
【００１７】〔第１の実施形態〕図１は、第１の実施形
態の分光器の概略構成を示す図である。図１に示すよう
に、本実施形態の分光器は、入射ファイバ１０、２つの
放物面鏡２０、２８、平面回折格子２２、２つの平面鏡
２４、２６、出射スリット３０、光検出器３２を含んで
構成されている。
態の分光器の概略構成を示す図である。図１に示すよう
に、本実施形態の分光器は、入射ファイバ１０、２つの
放物面鏡２０、２８、平面回折格子２２、２つの平面鏡
２４、２６、出射スリット３０、光検出器３２を含んで
構成されている。
【００１８】入射ファイバ１０は、被測定光を一方の放
物面鏡２０に向けて出射するためのものであり、放物面
鏡２０の焦点位置にほぼ一致するように出射端の位置が
設定されている。
物面鏡２０に向けて出射するためのものであり、放物面
鏡２０の焦点位置にほぼ一致するように出射端の位置が
設定されている。
【００１９】２つの放物面鏡２０、２８は、平面回折格
子２２の刻線方向に平行に所定の間隔を隔てて配置され
ている。一方の放物面鏡２０の焦点位置には、上述した
入射ファイバ１０の出射端が配置されており、入射ファ
イバ１０の出射端から放射状に出射された被測定光が放
物面鏡２０によって反射されて平行光に変換される。ま
た、他方の放物面鏡２８の焦点位置には、出射スリット
３０が配置されており、放物面鏡２８に入射された平行
光が反射されて出射スリット３０において集光される。
この出射スリット３０を通すことにより、被測定光から
不要な波長成分が除去され、光検出器３２に入射され
る。光検出器３２は、出射スリット３０を通して入射さ
れた光の強度を検出する。
子２２の刻線方向に平行に所定の間隔を隔てて配置され
ている。一方の放物面鏡２０の焦点位置には、上述した
入射ファイバ１０の出射端が配置されており、入射ファ
イバ１０の出射端から放射状に出射された被測定光が放
物面鏡２０によって反射されて平行光に変換される。ま
た、他方の放物面鏡２８の焦点位置には、出射スリット
３０が配置されており、放物面鏡２８に入射された平行
光が反射されて出射スリット３０において集光される。
この出射スリット３０を通すことにより、被測定光から
不要な波長成分が除去され、光検出器３２に入射され
る。光検出器３２は、出射スリット３０を通して入射さ
れた光の強度を検出する。
【００２０】２つの平面鏡２４、２６は、平面回折格子
２２の刻線方向に平行に所定の間隔を隔てて配置されて
いる。一方の平面鏡２４は、平面回折格子２２によって
回折された光を平面回折格子２２の刻線方向に平行にほ
ぼ９０°反射する。他方の平面鏡２６は、一方の平面鏡
２４によって反射された被測定光をさらにほぼ９０°反
射する。これら２つの平面鏡２４、２６によって、平面
回折格子２２から出射された被測定光を再び平面回折格
子２２に向けて折り返している。
２２の刻線方向に平行に所定の間隔を隔てて配置されて
いる。一方の平面鏡２４は、平面回折格子２２によって
回折された光を平面回折格子２２の刻線方向に平行にほ
ぼ９０°反射する。他方の平面鏡２６は、一方の平面鏡
２４によって反射された被測定光をさらにほぼ９０°反
射する。これら２つの平面鏡２４、２６によって、平面
回折格子２２から出射された被測定光を再び平面回折格
子２２に向けて折り返している。
【００２１】また、平面回折格子２２は、所定の向きに
一定間隔で刻線が形成されており、放物面鏡２０あるい
は平面鏡２６から入射された被測定光を回折する。図１
においては、鉛直方向に平行に複数の溝が形成されてお
り、刻線方向に垂直な向きに沿った平面回折格子２２の
幅をＷ、溝密度をρ［／mm］とする。この平面回折格子
２２には、刻線方向に平行な回転軸を有するモータ等の
回動機構（図示せず）が取り付けられており、この回動
機構によって回転軸を中心に平面回折格子２２が回動可
能に構成されている。
一定間隔で刻線が形成されており、放物面鏡２０あるい
は平面鏡２６から入射された被測定光を回折する。図１
においては、鉛直方向に平行に複数の溝が形成されてお
り、刻線方向に垂直な向きに沿った平面回折格子２２の
幅をＷ、溝密度をρ［／mm］とする。この平面回折格子
２２には、刻線方向に平行な回転軸を有するモータ等の
回動機構（図示せず）が取り付けられており、この回動
機構によって回転軸を中心に平面回折格子２２が回動可
能に構成されている。
【００２２】上述した入射ファイバ１０が入射部材に、
放物面鏡２０、２８が第１および第２のコリメータに、
平面鏡２４、２６が第１の反射部材にそれぞれ対応す
る。
放物面鏡２０、２８が第１および第２のコリメータに、
平面鏡２４、２６が第１の反射部材にそれぞれ対応す
る。
【００２３】本実施形態の分光器はこのような構造を有
しており、次にその動作を説明する。
しており、次にその動作を説明する。
【００２４】外部から入射ファイバ１０を介して導入さ
れた入射光４０は、一方の放物面鏡２０によって反射さ
れて平行光４１に変換され、平面回折格子２２に入射さ
れる。平面回折格子２２は、一方の放物面鏡２０から入
射された平行光４１を回折して回折光４２として出射す
る。この回折光４２は、一方の平面鏡２４に入射され、
２つの平面鏡２４、２６によってほぼ１８０°の向きに
反射される。しかも、２つの平面鏡２４、２６を用いる
ことにより、これら平面鏡２４、２６に入射される回折
光４２の光路と、これらの平面鏡２４、２６から出射さ
れる回折光４３の光路とを、平面回折格子２２の刻線の
向きに所定距離ずらすことができる。
れた入射光４０は、一方の放物面鏡２０によって反射さ
れて平行光４１に変換され、平面回折格子２２に入射さ
れる。平面回折格子２２は、一方の放物面鏡２０から入
射された平行光４１を回折して回折光４２として出射す
る。この回折光４２は、一方の平面鏡２４に入射され、
２つの平面鏡２４、２６によってほぼ１８０°の向きに
反射される。しかも、２つの平面鏡２４、２６を用いる
ことにより、これら平面鏡２４、２６に入射される回折
光４２の光路と、これらの平面鏡２４、２６から出射さ
れる回折光４３の光路とを、平面回折格子２２の刻線の
向きに所定距離ずらすことができる。
【００２５】平面鏡２６によって反射された回折光４３
は、再び平面回折格子２２に入射される。平面回折格子
２２は、この入射された回折光４３を再び回折して回折
光４４として出射する。この回折光４４は、他方の放物
面鏡２８によって反射されて、この放物面鏡２８の焦点
位置に配置された出射スリット３０上で結像する。
は、再び平面回折格子２２に入射される。平面回折格子
２２は、この入射された回折光４３を再び回折して回折
光４４として出射する。この回折光４４は、他方の放物
面鏡２８によって反射されて、この放物面鏡２８の焦点
位置に配置された出射スリット３０上で結像する。
【００２６】ところで、平面回折格子２２を回転軸を中
心に微少角度回転させると、放物面鏡２０から平面回折
格子２２に入射される平行光４１の入射角と、平面回折
格子２２から平面鏡２４に向けて出射される回折光４２
の回折角が変化する。平面鏡２６によって反射され、平
面回折格子２２に入射される回折光４３についても同様
であり、このようにして平面回折格子２２を回転させる
ことにより、入射角と回折角とが変化するため、出射ス
リット３０を通過する光の波長λを変化させることが可
能になる。
心に微少角度回転させると、放物面鏡２０から平面回折
格子２２に入射される平行光４１の入射角と、平面回折
格子２２から平面鏡２４に向けて出射される回折光４２
の回折角が変化する。平面鏡２６によって反射され、平
面回折格子２２に入射される回折光４３についても同様
であり、このようにして平面回折格子２２を回転させる
ことにより、入射角と回折角とが変化するため、出射ス
リット３０を通過する光の波長λを変化させることが可
能になる。
【００２７】このように、本実施形態の分光器では、平
面回折格子２２から出射された回折光４２を２つの平面
鏡２４、２６を用いることにより、ほぼ１８０°異なる
向きに折り返して平面回折格子２２に入射しており、入
射ファイバ１０から出射された被測定光が出射スリット
３０に到達するまでに同じ平面回折格子２２によって２
回回折される。したがって、出射スリット３０を通過す
る回折光の波長λの分解能（＝λ／Δλ＝２Ｗρ）を高
くすることができる。
面回折格子２２から出射された回折光４２を２つの平面
鏡２４、２６を用いることにより、ほぼ１８０°異なる
向きに折り返して平面回折格子２２に入射しており、入
射ファイバ１０から出射された被測定光が出射スリット
３０に到達するまでに同じ平面回折格子２２によって２
回回折される。したがって、出射スリット３０を通過す
る回折光の波長λの分解能（＝λ／Δλ＝２Ｗρ）を高
くすることができる。
【００２８】また、２つの平面鏡２４、２６と２つの放
物面鏡２０、２８を用いることにより、入射ファイバ１
０から入射された被測定光が一方の平面鏡２４に到達す
るまでの光路と、他方の平面鏡２６によって反射された
被測定光が出射スリット３０に到達するまでの光路と
を、平面回折格子２２の刻線に沿って離隔することがで
きる。したがって、入射ファイバ１０と出射スリット３
０のそれぞれの位置を離隔することができ、それぞれの
取り付け部分が複雑になることがなく、設計の自由度が
増すとともに、これらの取り付け作業がしやすくなる。
物面鏡２０、２８を用いることにより、入射ファイバ１
０から入射された被測定光が一方の平面鏡２４に到達す
るまでの光路と、他方の平面鏡２６によって反射された
被測定光が出射スリット３０に到達するまでの光路と
を、平面回折格子２２の刻線に沿って離隔することがで
きる。したがって、入射ファイバ１０と出射スリット３
０のそれぞれの位置を離隔することができ、それぞれの
取り付け部分が複雑になることがなく、設計の自由度が
増すとともに、これらの取り付け作業がしやすくなる。
【００２９】〔第２の実施形態〕図２は、第２の実施形
態の分光器の概略構成を示す図である。図２に示すよう
に、本実施形態の分光器は、入射ファイバ１０、２つの
放物面鏡２０、２８、平面回折格子２２、２つの平面鏡
２４、２６、出射スリット３０、光検出器３２、中間ス
リット５０、２つの斜鏡５２、５４を含んで構成されて
いる。
態の分光器の概略構成を示す図である。図２に示すよう
に、本実施形態の分光器は、入射ファイバ１０、２つの
放物面鏡２０、２８、平面回折格子２２、２つの平面鏡
２４、２６、出射スリット３０、光検出器３２、中間ス
リット５０、２つの斜鏡５２、５４を含んで構成されて
いる。
【００３０】図２に示した本実施形態の分光器は、図１
に示した第１の実施形態の分光器に対して、出射スリッ
ト３０と光検出器３２を入射ファイバ１０の近傍である
一方の放物面鏡２０の焦点位置近傍に配置するととも
に、他方の放物面鏡２８の焦点位置近傍に中間スリット
５０と２つの斜鏡５２、５４を配置した点が異なってい
る。なお、図１に示した第１の実施形態の分光器と基本
的に同じ部材については同一符号を付し、詳細な説明は
省略する。
に示した第１の実施形態の分光器に対して、出射スリッ
ト３０と光検出器３２を入射ファイバ１０の近傍である
一方の放物面鏡２０の焦点位置近傍に配置するととも
に、他方の放物面鏡２８の焦点位置近傍に中間スリット
５０と２つの斜鏡５２、５４を配置した点が異なってい
る。なお、図１に示した第１の実施形態の分光器と基本
的に同じ部材については同一符号を付し、詳細な説明は
省略する。
【００３１】２つの斜鏡５２、５４は、放物面鏡２８に
よって集光された光を再び放物面鏡２８に向けて反射す
るためのものである。これら２つの斜鏡５２、５４が第
２の反射部材に対応する。２つの斜鏡５２、５４は、平
面回折格子２２を刻線に平行な回転軸を中心に回転させ
たときに、放物面鏡２８から出射される光が振れる向き
に配置されており、一方の斜鏡５２によって放物面鏡２
８から出射された被測定光がほぼ９０°反射され、この
反射光が集光される位置に配置された中間スリット５０
を通した光が他方の斜鏡５４によってほぼ９０°反射さ
れ、再び放物面鏡２８に向けて折り返される。
よって集光された光を再び放物面鏡２８に向けて反射す
るためのものである。これら２つの斜鏡５２、５４が第
２の反射部材に対応する。２つの斜鏡５２、５４は、平
面回折格子２２を刻線に平行な回転軸を中心に回転させ
たときに、放物面鏡２８から出射される光が振れる向き
に配置されており、一方の斜鏡５２によって放物面鏡２
８から出射された被測定光がほぼ９０°反射され、この
反射光が集光される位置に配置された中間スリット５０
を通した光が他方の斜鏡５４によってほぼ９０°反射さ
れ、再び放物面鏡２８に向けて折り返される。
【００３２】本実施形態の分光器はこのような構造を有
しており、次にその動作を説明する。図１に示した分光
器と同様に、外部から入射ファイバ１０を介して導入さ
れた被測定光は、一方の放物面鏡２０、平面回折格子２
２、一方の平面鏡２４、他方の平面鏡２６、平面回折格
子２２のそれぞれにおいて反射あるいは回折された後、
他方の放物面鏡２８によって集光される。上述したよう
に、この放物面鏡２８によって集光された被測定光は、
一方の斜鏡５２によって反射されてその進行方向が９０
°変えられた後に、集光位置に配置された中間スリット
５０を通って他方の斜鏡５４によって反射されてさらに
その進行方向がほぼ９０°変えられて、放物面鏡２８側
に折り返される。このようにして再び放物面鏡２８に入
射された被測定光は、これまで進行してきた光路を逆行
し、放物面鏡２０の焦点位置近傍に配置された出射スリ
ット３０を通って光検出器３２に到達する。
しており、次にその動作を説明する。図１に示した分光
器と同様に、外部から入射ファイバ１０を介して導入さ
れた被測定光は、一方の放物面鏡２０、平面回折格子２
２、一方の平面鏡２４、他方の平面鏡２６、平面回折格
子２２のそれぞれにおいて反射あるいは回折された後、
他方の放物面鏡２８によって集光される。上述したよう
に、この放物面鏡２８によって集光された被測定光は、
一方の斜鏡５２によって反射されてその進行方向が９０
°変えられた後に、集光位置に配置された中間スリット
５０を通って他方の斜鏡５４によって反射されてさらに
その進行方向がほぼ９０°変えられて、放物面鏡２８側
に折り返される。このようにして再び放物面鏡２８に入
射された被測定光は、これまで進行してきた光路を逆行
し、放物面鏡２０の焦点位置近傍に配置された出射スリ
ット３０を通って光検出器３２に到達する。
【００３３】このように、本実施形態の分光器では、平
面回折格子２２から出射された回折光を２つの平面鏡２
４、２６を用いることによりほぼ１８０°異なる向きに
折り返して平面回折格子２２に入射しており、入射ファ
イバ１０から入射された被測定光が他方の放物面鏡２８
に到達するまでに、同じ平面回折格子２２によって２回
回折される。しかも、被測定光は、その後この放物面鏡
２８の焦点位置近傍に配置された中間スリット５０を通
した後にそれまでと同じ光路を逆行して、平面回折格子
２２によってさらに２回回折される。したがって、出射
スリット３０に加えて中間スリット５０を通すことによ
り、被測定光から不要な波長成分が除去されるため、ダ
イナミックレンジを広くすることができる。また、平面
回折格子２２を回転させたときに被測定光が振れる方向
に、２つの斜鏡５２、５４を配置することにより、加分
散配列を実現することができるため、出射スリット３０
を通過する回折光の波長λの分解能（＝λ／Δλ＝４Ｗ
ρ）をさらに高くすることができる。
面回折格子２２から出射された回折光を２つの平面鏡２
４、２６を用いることによりほぼ１８０°異なる向きに
折り返して平面回折格子２２に入射しており、入射ファ
イバ１０から入射された被測定光が他方の放物面鏡２８
に到達するまでに、同じ平面回折格子２２によって２回
回折される。しかも、被測定光は、その後この放物面鏡
２８の焦点位置近傍に配置された中間スリット５０を通
した後にそれまでと同じ光路を逆行して、平面回折格子
２２によってさらに２回回折される。したがって、出射
スリット３０に加えて中間スリット５０を通すことによ
り、被測定光から不要な波長成分が除去されるため、ダ
イナミックレンジを広くすることができる。また、平面
回折格子２２を回転させたときに被測定光が振れる方向
に、２つの斜鏡５２、５４を配置することにより、加分
散配列を実現することができるため、出射スリット３０
を通過する回折光の波長λの分解能（＝λ／Δλ＝４Ｗ
ρ）をさらに高くすることができる。
【００３４】また、２つの平面鏡２４、２６と２つの放
物面鏡２０、２８を用いることにより、入射ファイバ１
０あるいは出射スリット３０と一方の平面鏡２４との間
を進行する被測定光の光路と、中間スリット５０と他方
の平面鏡２６との間を進行する被測定光の光路とを、平
面回折格子２２の刻線に沿って離隔することができる。
したがって、入射ファイバ１０および出射スリット３０
と、２つの斜鏡５２、５４および中間スリット５０のそ
れぞれの位置を離隔することができ、それぞれの取り付
け部分が複雑になることを防止することができる。ま
た、設計の自由度が増すとともに、これらの取り付け作
業がしやすくなる。
物面鏡２０、２８を用いることにより、入射ファイバ１
０あるいは出射スリット３０と一方の平面鏡２４との間
を進行する被測定光の光路と、中間スリット５０と他方
の平面鏡２６との間を進行する被測定光の光路とを、平
面回折格子２２の刻線に沿って離隔することができる。
したがって、入射ファイバ１０および出射スリット３０
と、２つの斜鏡５２、５４および中間スリット５０のそ
れぞれの位置を離隔することができ、それぞれの取り付
け部分が複雑になることを防止することができる。ま
た、設計の自由度が増すとともに、これらの取り付け作
業がしやすくなる。
【００３５】また、出射スリット３０と中間スリット５
０とが互いに離れた位置に配置されるため、放物面鏡２
８から出射されて中間スリット５０に向かう被測定光の
一部が出射スリット３０に進入する、いわゆるクロスト
ークあるいは迷光等の現象を防止することができ、さら
にダイナミックレンジを上げることができる。
０とが互いに離れた位置に配置されるため、放物面鏡２
８から出射されて中間スリット５０に向かう被測定光の
一部が出射スリット３０に進入する、いわゆるクロスト
ークあるいは迷光等の現象を防止することができ、さら
にダイナミックレンジを上げることができる。
【００３６】〔第３の実施形態〕図３は、第３の実施形
態の分光器の概略構成を示す図である。図３に示すよう
に、本実施形態の分光器は、入射ファイバ１０、２つの
放物面鏡２０、２８、平面回折格子２２、２つの平面鏡
２４、２６、出射スリット３０、光検出器３２、中間ス
リット６０、２つの斜鏡６２、６４を含んで構成されて
いる。
態の分光器の概略構成を示す図である。図３に示すよう
に、本実施形態の分光器は、入射ファイバ１０、２つの
放物面鏡２０、２８、平面回折格子２２、２つの平面鏡
２４、２６、出射スリット３０、光検出器３２、中間ス
リット６０、２つの斜鏡６２、６４を含んで構成されて
いる。
【００３７】図３に示した本実施形態の分光器は、図２
に示した第２の実施形態の分光器に対して、中間スリッ
ト５０および２つの斜鏡５２、５４を、配置状態が異な
る中間スリット６０および２つの斜鏡６２、６４に置き
換えた点が異なっている。なお、図１および図２に示し
た分光器と基本的に同じ部材については同一符号を付
し、詳細な説明は省略する。
に示した第２の実施形態の分光器に対して、中間スリッ
ト５０および２つの斜鏡５２、５４を、配置状態が異な
る中間スリット６０および２つの斜鏡６２、６４に置き
換えた点が異なっている。なお、図１および図２に示し
た分光器と基本的に同じ部材については同一符号を付
し、詳細な説明は省略する。
【００３８】２つの斜鏡６２、６４は、放物面鏡２８に
よって集光された光を再び放物面鏡２８に向けて反射す
るためのものである。これら２つの斜鏡６２、６４が第
２の反射部材に対応する。２つの斜鏡６２、６４は、平
面回折格子２２の刻線に平行な向きに並べて配置されて
おり、一方の斜鏡６２によって放物面鏡２８から出射さ
れた被測定光がほぼ９０°反射され、この反射光が集光
される位置に配置された中間スリット６０を通った光が
他方の斜鏡６４によってほぼ９０°反射され、再び放物
面鏡２８に向けて折り返される。
よって集光された光を再び放物面鏡２８に向けて反射す
るためのものである。これら２つの斜鏡６２、６４が第
２の反射部材に対応する。２つの斜鏡６２、６４は、平
面回折格子２２の刻線に平行な向きに並べて配置されて
おり、一方の斜鏡６２によって放物面鏡２８から出射さ
れた被測定光がほぼ９０°反射され、この反射光が集光
される位置に配置された中間スリット６０を通った光が
他方の斜鏡６４によってほぼ９０°反射され、再び放物
面鏡２８に向けて折り返される。
【００３９】本実施形態の分光器はこのような構造を有
しており、次にその動作を説明する。図１に示した分光
器と同様に、外部から入射ファイバ１０を介して導入さ
れた被測定光は、一方の放物面鏡２０、平面回折格子２
２、一方の平面鏡２４、他方の平面鏡２６、平面回折格
子２２のそれぞれにおいて反射あるいは回折された後、
他方の放物面鏡２８によって集光される。上述したよう
に、この放物面鏡２８によって集光された被測定光は、
一方の斜鏡６２によって反射されて、平面回折格子２２
の刻線に沿うようにその進行方向が９０°変えられた後
に、集光位置に配置された中間スリット６０を通って他
方の斜鏡６４によって反射されてさらにその進行方向が
ほぼ９０°変えられ、放物面鏡２８側に折り返される。
このようにして放物面鏡２８に再び入射された被測定光
は、これまで進行してきた光路を逆行し、放物面鏡２０
の焦点位置近傍に配置された出射スリット３０を通って
光検出器３２に到達する。
しており、次にその動作を説明する。図１に示した分光
器と同様に、外部から入射ファイバ１０を介して導入さ
れた被測定光は、一方の放物面鏡２０、平面回折格子２
２、一方の平面鏡２４、他方の平面鏡２６、平面回折格
子２２のそれぞれにおいて反射あるいは回折された後、
他方の放物面鏡２８によって集光される。上述したよう
に、この放物面鏡２８によって集光された被測定光は、
一方の斜鏡６２によって反射されて、平面回折格子２２
の刻線に沿うようにその進行方向が９０°変えられた後
に、集光位置に配置された中間スリット６０を通って他
方の斜鏡６４によって反射されてさらにその進行方向が
ほぼ９０°変えられ、放物面鏡２８側に折り返される。
このようにして放物面鏡２８に再び入射された被測定光
は、これまで進行してきた光路を逆行し、放物面鏡２０
の焦点位置近傍に配置された出射スリット３０を通って
光検出器３２に到達する。
【００４０】このように、本実施形態の分光器では、第
２の実施形態の分光器と同様に、出射スリット３０に加
えて中間スリット６０を通すことにより、被測定光から
不要な波長成分が除去されるため、ダイナミックレンジ
を広くすることができる。また、出射スリット３０を通
過する回折光の波長λの分解能（＝λ／Δλ＝２Ｗρ）
は第１の実施形態の分光器と同じであるが、平面回折格
子２２の刻線と平行に２つの斜鏡６２、６４を配置する
ことにより、差分散配列を実現することができ、平面回
折格子２２を回転させて被測定光の波長を変える際に、
出射スリット３０のスリット幅のみを変えればよく、中
間スリット６０のスリット幅は変える必要がないため、
加分散配列を有する第２の実施形態の分光器と同じ広い
ダイナミックレンジを、比較的簡素な構成によって実現
することができる。
２の実施形態の分光器と同様に、出射スリット３０に加
えて中間スリット６０を通すことにより、被測定光から
不要な波長成分が除去されるため、ダイナミックレンジ
を広くすることができる。また、出射スリット３０を通
過する回折光の波長λの分解能（＝λ／Δλ＝２Ｗρ）
は第１の実施形態の分光器と同じであるが、平面回折格
子２２の刻線と平行に２つの斜鏡６２、６４を配置する
ことにより、差分散配列を実現することができ、平面回
折格子２２を回転させて被測定光の波長を変える際に、
出射スリット３０のスリット幅のみを変えればよく、中
間スリット６０のスリット幅は変える必要がないため、
加分散配列を有する第２の実施形態の分光器と同じ広い
ダイナミックレンジを、比較的簡素な構成によって実現
することができる。
【００４１】また、２つの平面鏡２４、２６と２つの放
物面鏡２０、２８を用いることにより、入射ファイバ１
０あるいは出射スリット３０と一方の平面鏡２４との間
を進行する被測定光の光路と、中間スリット６０と他方
の平面鏡２６との間を進行する被測定光の光路とを、平
面回折格子２２の刻線に沿って離隔することができる点
については第２の実施形態の分光器と同様である。した
がって、入射ファイバ１０および出射スリット３０と、
２つの斜鏡６２、６４および中間スリット６０のそれぞ
れの位置を離隔することができ、それぞれの取り付け部
分が複雑になることを防止することができる。また、設
計の自由度が増すとともに、これらの取り付け作業がし
やすくなる。
物面鏡２０、２８を用いることにより、入射ファイバ１
０あるいは出射スリット３０と一方の平面鏡２４との間
を進行する被測定光の光路と、中間スリット６０と他方
の平面鏡２６との間を進行する被測定光の光路とを、平
面回折格子２２の刻線に沿って離隔することができる点
については第２の実施形態の分光器と同様である。した
がって、入射ファイバ１０および出射スリット３０と、
２つの斜鏡６２、６４および中間スリット６０のそれぞ
れの位置を離隔することができ、それぞれの取り付け部
分が複雑になることを防止することができる。また、設
計の自由度が増すとともに、これらの取り付け作業がし
やすくなる。
【００４２】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変
形実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、
コリメータとして放物面鏡２０、２８を用いたが、集光
レンズを用いるようにしてもよい。また、２つの平面鏡
２４、２６を用いて入射光の進行方向をほぼ１８０°折
り返すとともにそれらの光路を平面回折格子２２の刻線
に沿って離隔したが、これら平面鏡は３つ以上を組み合
わせるようにしてもよい。あるいは、同一部材内の互い
に直交した２つの反射面を用いて、入射光を反射するよ
うにしてもよい。
ものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変
形実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、
コリメータとして放物面鏡２０、２８を用いたが、集光
レンズを用いるようにしてもよい。また、２つの平面鏡
２４、２６を用いて入射光の進行方向をほぼ１８０°折
り返すとともにそれらの光路を平面回折格子２２の刻線
に沿って離隔したが、これら平面鏡は３つ以上を組み合
わせるようにしてもよい。あるいは、同一部材内の互い
に直交した２つの反射面を用いて、入射光を反射するよ
うにしてもよい。
【００４３】また、上述した各実施形態の入射ファイバ
１０、出射スリット３０と中間スリット５０、６０等を
組み合わせて分光器を構成してもよい。例えば、図２に
示した加分散配列の分光器において、出射スリット３０
を図３に示した中間スリット６０と２つの斜鏡６２、６
４に置き換えるとともに、中間スリット６０の近傍に出
射スリット３０と光検出器３２を移動するようにしても
よい。この場合には、加分散配列と差分散配列を組み合
わせた分光器を実現することができる。どのような組み
合わせにした場合であっても、従来であれば１箇所に集
中して配置されていた入射ファイバ１０、出射スリット
３０や中間スリット５０、６０等を２箇所に分散配置す
ることが可能になるため、各部品の配置に余裕が生じ、
構造の簡略化や組み付け等の作業性の向上が可能にな
る。
１０、出射スリット３０と中間スリット５０、６０等を
組み合わせて分光器を構成してもよい。例えば、図２に
示した加分散配列の分光器において、出射スリット３０
を図３に示した中間スリット６０と２つの斜鏡６２、６
４に置き換えるとともに、中間スリット６０の近傍に出
射スリット３０と光検出器３２を移動するようにしても
よい。この場合には、加分散配列と差分散配列を組み合
わせた分光器を実現することができる。どのような組み
合わせにした場合であっても、従来であれば１箇所に集
中して配置されていた入射ファイバ１０、出射スリット
３０や中間スリット５０、６０等を２箇所に分散配置す
ることが可能になるため、各部品の配置に余裕が生じ、
構造の簡略化や組み付け等の作業性の向上が可能にな
る。
【００４４】
【発明の効果】上述したように、本発明によれば、入出
射光を所定距離分離して折り返す第１の反射部材と、こ
れら分離された２つの光のそれぞれに対応する第１およ
び第２のコリメータとを備えることにより、第１のコリ
メータの焦点位置に出射スリットを、第２のコリメータ
の焦点位置にそれ以外の光学部材を離隔して配置するこ
とができるため、各焦点位置近傍の構造が簡素化され、
組み付け等の作業性を向上させることができる。
射光を所定距離分離して折り返す第１の反射部材と、こ
れら分離された２つの光のそれぞれに対応する第１およ
び第２のコリメータとを備えることにより、第１のコリ
メータの焦点位置に出射スリットを、第２のコリメータ
の焦点位置にそれ以外の光学部材を離隔して配置するこ
とができるため、各焦点位置近傍の構造が簡素化され、
組み付け等の作業性を向上させることができる。
【図１】第１の実施形態の分光器の概略的な構成を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図２】第２の実施形態の分光器の概略的な構成を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図３】第３の実施形態の分光器の概略的な構成を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図４】従来の分光器の概略的な構成を示す斜視図であ
る。
る。
【図５】従来の分光器の他の概略的な構成を示す斜視図
である。
である。
１０ 入射ファイバ ２０、２８ 放物面鏡 ２２ 平面回折格子 ２４、２６ 平面鏡 ３０ 出射スリット ３２ 光検出器 ５０、６０ 中間スリット ５２、５４、６２、６４ 斜鏡
Claims (7)
- 【請求項１】 平面回折格子と、 前記平面回折格子の刻線に平行に配置された第１および
第２のコリメータと、 少なくとも２枚の反射面を有し、前記平面回折格子から
出射された回折光を、入射光と出射光とが前記刻線に沿
って離隔するように折り返す第１の反射部材と、 前記第１のコリメータの焦点位置の近傍に配置された出
射スリットと、 を備えることを特徴とする分光器。 - 【請求項２】 請求項１において、 前記第２のコリメータの焦点位置の近傍に、被測定光を
入射する入射部材を配置することを特徴とする分光器。 - 【請求項３】 請求項１において、 前記第１のコリメータの焦点位置の近傍に、前記出射ス
リットとともに被測定光を入射する入射部材を配置し、 前記第２のコリメータの焦点位置の近傍に、中間スリッ
トと、この中間スリットを挟んで配置されて前記第２の
コリメータの出射光を前記第２のコリメータに反射する
第２の反射部材とを配置することを特徴とする分光器。 - 【請求項４】 請求項３において、 前記中間スリットの向きを前記刻線と平行に配置すると
ともに、前記刻線を回転中心として前記平面回折格子を
回転させたときに前記第２のコリメータから出射される
光が振れる向きに前記第２の反射部材を配置することを
特徴とする分光器。 - 【請求項５】 請求項３において、 前記中間スリットの向きを前記刻線と垂直に配置すると
ともに、前記刻線に沿った向きに前記第２の反射部材を
配置することを特徴とする分光器。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれかにおいて、 前記第１の反射部材は、入射光の向きとほぼ１８０°異
なる向きに出射光を出射することを特徴とする分光器。 - 【請求項７】 第１のコリメータによって平行光線に変
換した被測定光を平面回折格子によって回折させた後、
この回折光を前記平面回折格子の刻線に沿って離隔させ
てほぼ平行に折り返し、再び前記平面回折格子によって
回折させた後、この回折光を第２のコリメータによって
集光し、この集光位置に配置された出射スリットに通す
ことを特徴とする分光方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37182899A JP2001183233A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 分光器および分光方法 |
| CA002305081A CA2305081C (en) | 1999-12-27 | 2000-04-12 | Monochromator and spectrometric method |
| US09/548,581 US6411382B1 (en) | 1999-12-27 | 2000-04-13 | Monochromator and spectrometric method |
| FR0005111A FR2803033B1 (fr) | 1999-12-27 | 2000-04-20 | Monochromateur et procede spectrometrique |
| DE10020423A DE10020423B4 (de) | 1999-12-27 | 2000-04-26 | Monochromator und spektrometrisches Verfahren |
| GB0010190A GB2357858B (en) | 1999-12-27 | 2000-04-26 | Monochromator and spectrometric method using plane diffraction grating |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37182899A JP2001183233A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 分光器および分光方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001183233A true JP2001183233A (ja) | 2001-07-06 |
Family
ID=18499381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37182899A Pending JP2001183233A (ja) | 1999-12-27 | 1999-12-27 | 分光器および分光方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6411382B1 (ja) |
| JP (1) | JP2001183233A (ja) |
| CA (1) | CA2305081C (ja) |
| DE (1) | DE10020423B4 (ja) |
| FR (1) | FR2803033B1 (ja) |
| GB (1) | GB2357858B (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002054993A (ja) * | 2000-06-01 | 2002-02-20 | Advantest Corp | 分光器および分光方法 |
| US6879396B2 (en) | 2001-10-31 | 2005-04-12 | Ando Electric Co., Ltd. | Monochromator and optical spectrum analyzer using the same |
| JP2009175038A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Yokogawa Electric Corp | 分光器 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2348568C (en) * | 2000-06-01 | 2003-02-04 | Advantest Corporation | Monochromator and spectrometric method |
| JP2003222556A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-08 | Ando Electric Co Ltd | マルチパスモノクロメータ |
| JP2004037863A (ja) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 回折格子の位置合わせ方法及び回折格子の位置合わせ装置 |
| EP1695038B1 (en) * | 2003-12-12 | 2013-02-13 | Semequip, Inc. | Controlling the flow of vapors sublimated from solids |
| US7209230B2 (en) | 2004-06-18 | 2007-04-24 | Luckoff Display Corporation | Hand-held spectra-reflectometer |
| US7233394B2 (en) | 2005-06-20 | 2007-06-19 | Luckoff Display Corporation | Compact spectrometer |
| US7817274B2 (en) | 2007-10-05 | 2010-10-19 | Jingyun Zhang | Compact spectrometer |
| WO2009070459A1 (en) | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Jingyun Zhang | Miniature spectrometers working with cellular phones and other portable electronic devices |
| CN102419205B (zh) * | 2011-08-16 | 2013-08-21 | 清华大学 | 一种能同时压缩光斑并提高分辨率的光路 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2922331A (en) | 1953-03-24 | 1960-01-26 | Walter G Finch | Spectroscopic device |
| US2868063A (en) * | 1957-05-16 | 1959-01-13 | Leeds & Northrup Co | Adjustable mirror support in successive dispersion monochromator |
| US3069966A (en) | 1959-12-07 | 1962-12-25 | John U White | Optical apparatus employing diffraction grating |
| JPS5039693Y1 (ja) * | 1970-02-25 | 1975-11-14 | ||
| US3775010A (en) | 1972-02-29 | 1973-11-27 | Cary Instruments | Assymmetric double pass grating monochromator |
| US3936191A (en) | 1974-03-22 | 1976-02-03 | Varian Associates | Optical arrangement for double-passing Ebert monochromator and for coupling double monochromator systems |
| US4025196A (en) | 1974-07-29 | 1977-05-24 | Varian Associates | Asymmetric double pass grating monochromator |
| CA1306632C (en) | 1986-12-01 | 1992-08-25 | Hironobu Kobayashi | Spectroscope apparatus and reaction apparatus using the same |
| US5223405A (en) | 1987-02-11 | 1993-06-29 | The Secretary Of State For Scotland | Sampling by pressing between adsorbent and substrate surfaces |
| US5233405A (en) * | 1991-11-06 | 1993-08-03 | Hewlett-Packard Company | Optical spectrum analyzer having double-pass monochromator |
| US5532818A (en) * | 1993-12-27 | 1996-07-02 | Advantest Corporation | Difference dispersive double-path monochromator having wavelength-independent imaging point |
| JPH08145795A (ja) | 1994-11-21 | 1996-06-07 | Anritsu Corp | 複単色計 |
| DE19532611C2 (de) * | 1994-12-26 | 2001-12-06 | Advantest Corp | Doppelwegmonochromator in Differenzdispersionsanordnung |
| FR2754054B1 (fr) | 1996-10-02 | 1998-12-18 | Photonetics | Analyseur de spectre optique et procede d'analyse de spectre correspondant |
| JP3861496B2 (ja) * | 1998-07-13 | 2006-12-20 | 横河電機株式会社 | ２段式分光器 |
-
1999
- 1999-12-27 JP JP37182899A patent/JP2001183233A/ja active Pending
-
2000
- 2000-04-12 CA CA002305081A patent/CA2305081C/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-13 US US09/548,581 patent/US6411382B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-20 FR FR0005111A patent/FR2803033B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-26 DE DE10020423A patent/DE10020423B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-26 GB GB0010190A patent/GB2357858B/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002054993A (ja) * | 2000-06-01 | 2002-02-20 | Advantest Corp | 分光器および分光方法 |
| US6879396B2 (en) | 2001-10-31 | 2005-04-12 | Ando Electric Co., Ltd. | Monochromator and optical spectrum analyzer using the same |
| JP2009175038A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Yokogawa Electric Corp | 分光器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2803033A1 (fr) | 2001-06-29 |
| CA2305081C (en) | 2003-03-25 |
| CA2305081A1 (en) | 2001-06-27 |
| US6411382B1 (en) | 2002-06-25 |
| GB2357858B (en) | 2002-02-20 |
| GB2357858A (en) | 2001-07-04 |
| DE10020423B4 (de) | 2007-10-11 |
| FR2803033B1 (fr) | 2005-05-27 |
| DE10020423A1 (de) | 2001-07-05 |
| GB0010190D0 (en) | 2000-06-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08136345A (ja) | 複単色計 | |
| JP3861496B2 (ja) | ２段式分光器 | |
| JP3250426B2 (ja) | 光スペクトラム測定装置 | |
| JP2001183233A (ja) | 分光器および分光方法 | |
| JP4645173B2 (ja) | 分光器、及びこれを備えている顕微分光装置 | |
| JPH0584451B2 (ja) | ||
| JP2009121986A (ja) | 分光装置 | |
| JPH11183249A (ja) | 分光器 | |
| JP4340833B2 (ja) | 偏光解消板及び偏光解消板を用いた光学装置 | |
| JPH08145795A (ja) | 複単色計 | |
| JP4009818B2 (ja) | 分光器及びそれを用いた光スペクトラムアナライザ | |
| JPH09210781A (ja) | 分光装置 | |
| US6549281B2 (en) | Monochromator and spectrometric method | |
| US20030142308A1 (en) | Multi-path monochromator | |
| JP3274035B2 (ja) | モノクロメータ | |
| JP2000162042A (ja) | 分光器 | |
| JP3278257B2 (ja) | 複単色計 | |
| US6583874B1 (en) | Spectrometer with holographic and echelle gratings | |
| JPH01314927A (ja) | ２次元像分光装置 | |
| US8922770B2 (en) | Spectral device and confocal scanning microscope provided with spectral device | |
| JP2002054993A (ja) | 分光器および分光方法 | |
| JP2009264895A (ja) | モノクロメータ | |
| JPH07111376B2 (ja) | 多波長同時測光光度計 | |
| JPH02145927A (ja) | フーリエ変換型干渉分光器 | |
| JPH03210435A (ja) | ２重単色光分光器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061109 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081017 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081209 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090901 |