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JP2001153924A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

Info

Publication number
JP2001153924A
JP2001153924A JP33809199A JP33809199A JP2001153924A JP 2001153924 A JP2001153924 A JP 2001153924A JP 33809199 A JP33809199 A JP 33809199A JP 33809199 A JP33809199 A JP 33809199A JP 2001153924 A JP2001153924 A JP 2001153924A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
circuit
memory device
semiconductor memory
power supply
pads
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP33809199A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koichi Goto
浩一 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC IC Microcomputer Systems Co Ltd
Original Assignee
NEC IC Microcomputer Systems Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC IC Microcomputer Systems Co Ltd filed Critical NEC IC Microcomputer Systems Co Ltd
Priority to JP33809199A priority Critical patent/JP2001153924A/en
Publication of JP2001153924A publication Critical patent/JP2001153924A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the area of a chip by reducing the number of pads for monitoring and measuring the output voltage of a reference voltage-generating circuit and the output voltage of a step-down circuit in a semiconductor storage device having on the chip at least the step-down circuit, the reference voltage- generating circuit, a test circuit and a plurality of the pads for connecting the chip to the outside. SOLUTION: The outputs of the reference voltage-generating circuit 12 and the step-down circuit 13 are connected to the same pad 2 via pMOS transistors P1 and P2, respectively. Complementary output signals C1 and C2 from the test circuit 14 are inputted to gate electrodes of the pMOS transistors P1 and P2, thereby complementarily turning the transistors on and off. Accordingly, one pad is shared in place of conventionally required two pads. Since the MOS transistor as a circuit element is small, an area increase by the test circuit 14 and the pMOS transistors P1 and P2 is negligible in comparison with an area decrease by one pad.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置に
関し、特に、チップ上のパッド数を削減するのに有効な
技術に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device and, more particularly, to a technique effective for reducing the number of pads on a chip.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体記憶装置の大容量化は著し
く、これに伴って、チップ内の各種回路やメモリセルを
構成するMOSトランジスタは、ゲート幅やゲート長な
どの平面寸法も、ゲート酸化膜厚などの立体的な寸法も
微細化されている。また、メモリセルの一構成要素であ
るキャパシタにあっても、面積の縮小にも拘らず容量を
確保するために、誘電体膜厚が薄膜化されている。
2. Description of the Related Art In recent years, the capacity of a semiconductor memory device has been remarkably increased, and accordingly, MOS transistors forming various circuits and memory cells in a chip have a planar dimension such as a gate width and a gate length, and a gate oxide. Three-dimensional dimensions such as film thickness have also been reduced. In addition, even in a capacitor which is a component of a memory cell, the dielectric film thickness is reduced in order to secure a capacity despite a reduction in area.

【0003】上述のような微細化、薄膜化された素子に
より回路を構成する大容量の記憶装置においては、例え
ばMOSトランジスタのゲート絶縁膜やキャパシタの誘
電体膜の破壊や劣化あるいは、短チャネルMOSトラン
ジスタのソース・ドレイン間に高電界が加わることによ
るトランジスタ特性の悪化などを防止し、延いては記憶
装置の信頼性を確保するために、素子に加わる電界を低
くするべく、チップ内で実際に回路を動作させる電源電
圧(内部電源電圧)を、記憶装置の外部から供給される
電源電圧(外部電源電圧)より低くすることが行なわ
れ、そのために、外部電源電圧を所定の内部電源電圧ま
で下げる降圧回路を備えている。また、降圧させるとき
に基準として用いる電圧を得るために、外部電源電圧に
依存しない一定の電圧(基準電圧)を発生するための基
準電圧発生回路を備えている。
In a large-capacity storage device in which a circuit is constituted by miniaturized and thinned elements as described above, for example, breakdown or deterioration of a gate insulating film of a MOS transistor or a dielectric film of a capacitor or a short channel MOS In order to prevent the deterioration of transistor characteristics due to the application of a high electric field between the source and drain of the transistor, and to reduce the electric field applied to the element in order to reduce the electric field applied to the element in order to ensure the reliability of the storage device, A power supply voltage (internal power supply voltage) for operating the circuit is made lower than a power supply voltage (external power supply voltage) supplied from outside the storage device. For this purpose, the external power supply voltage is reduced to a predetermined internal power supply voltage. It has a step-down circuit. Further, a reference voltage generating circuit for generating a constant voltage (reference voltage) independent of an external power supply voltage is provided in order to obtain a voltage used as a reference when the voltage is lowered.

【0004】図6に、半導体記憶装置における外部電源
電圧VCCと、内部(降圧)電源電圧VINT と、基準電圧
REF の関係の一例を示す。図6において、横軸は外部
電源電圧VCCを表し、縦軸は各電圧VCC、VINT 、V
REF を表す。図6に示すように、基準電圧VREF は、外
部電源電圧VCCが低いあいだは外部電源電圧VCCに比例
し、外部電源電圧の或る値VCC1 以上では外部電源電圧
に関わりなく一定になる。一方、内部電源電圧VINT
は、外部電源電圧がVCC1 以下の低い領域では外部電源
電圧VCCと同じ値となり、外部電源電圧がVCC1 〜V
CC2 の範囲では基準電圧VREF によって決まる一定値を
保つ。更に、外部電源電圧がVCC2 以上の領域では外部
電源電圧に比例する直線となる。半導体記憶装置におい
ては、顧客に対して、外部電源電圧がVCC1 〜VCC2
範囲で動作を保証するのが一般的であり、外部電源電圧
がVCC2 以上の領域は、製造工程中で記憶装置に動作保
証範囲以上の温度と電圧を同時に加えて初期故障をスク
リーニングする、いわゆるBT(バイアス・テンペレチ
ャー)試験の際に用いられる。
FIG. 6 shows an example of a relationship among an external power supply voltage V CC , an internal (step-down) power supply voltage V INT, and a reference voltage V REF in a semiconductor memory device. In FIG. 6, the horizontal axis represents the external power supply voltage V CC , and the vertical axis represents each of the voltages V CC , V INT , V CC
Indicates REF . As shown in FIG. 6, the reference voltage V REF is during external power supply voltage V CC is low in proportion to the external power supply voltage V CC, constant regardless of the external power supply voltage at a certain value V CC1 or more external power supply voltage Become. On the other hand, the internal power supply voltage V INT
Is the same value as the external power supply voltage V CC in the region where the external power supply voltage is lower than V CC1 and the external power supply voltage is V CC1 to V CC1.
In the range of CC2, a constant value determined by the reference voltage VREF is maintained. Further, in a region where the external power supply voltage is equal to or higher than V CC2 , a straight line proportional to the external power supply voltage is obtained. In a semiconductor memory device, it is general that the operation is guaranteed to the customer when the external power supply voltage is in the range of V CC1 to V CC2 , and the area where the external power supply voltage is V CC2 or more is stored during the manufacturing process. It is used in a so-called BT (bias-temperature) test in which an initial failure is screened by simultaneously applying a temperature and a voltage higher than the operation guarantee range to the device.

【0005】ところで、上述した基準電圧発生回路の出
力電圧VREF の値及び内部電源電圧としての降圧回路の
出力電圧VINT の値は、記憶装置の動作マージンや延い
ては記憶装置が正常に動作するかどうかを支配する重要
な要因であるので、それらの値は正確に把握しておく必
要がある。そこで、電圧を記憶装置の外部から直接測定
できるようにするために、基準電圧発生回路及び降圧回
路それぞれの出力点をチップ上のパッド(チップ上に設
けられた、チップの外部との接続用電極)に引き出して
おかなければならない。その場合、従来、基準電圧発生
回路の出力点はそれ専用のパッドに接続し、一方、降圧
回路の出力点もそれ専用のパッドに接続するようにし
て、それぞれの出力電圧VREF 、VINT を別々のパッド
に出力することが一般的に行なわれている。尚、基準電
圧VREF と降圧電源電圧VINT とは、その電圧値が記憶
装置の外部から測定できるようになってさえいれば十分
であり、必ずしも両方同時に測定できなくても構わな
い。
By the way, the value of the output voltage V REF of the reference voltage generating circuit and the value of the output voltage V INT of the step-down circuit as the internal power supply voltage depend on the operation margin of the storage device and, consequently, the normal operation of the storage device. It is important to know exactly what these values are because they are important factors that govern whether or not to do so. Therefore, in order to enable the voltage to be directly measured from outside the storage device, the output points of the reference voltage generation circuit and the step-down circuit are connected to pads on the chip (electrodes for connection with the outside of the chip provided on the chip). ). In that case, conventionally, the output point of the reference voltage generation circuit is connected to the dedicated pad, while the output point of the step-down circuit is also connected to the dedicated pad, so that the respective output voltages V REF and V INT are connected. It is common to output to separate pads. It should be noted that the reference voltage V REF and the step-down power supply voltage V INT are sufficient as long as their voltage values can be measured from outside the storage device, and it is not always necessary to measure both at the same time.

【0006】図7に、上述のような従来の半導体記憶装
置におけるチップの、レイアウトの一例を模式的に示
す。図7を参照して、この図に示すチップ1Cには、テ
スト回路ブロック11Bと、基準電圧発生回路12と、
降圧回路13の3つの回路ブロックが形成されており、
チップの縁辺部には2つのパッド20,21が設けられ
ている。勿論、チップ上には、これら3つの回路及び2
つのパッドの他に、例えばメモリセルアレイや行・列の
アドレスデコーダ及びドライバ或いは、センスアンプや
入・出力回路等々の記憶動作に必要な各種の回路ブロッ
クや、それらの回路ブロック間を接続する配線が形成さ
れており、更には、各回路ブロックとチップの外部との
間で入・出力信号をやり取りしたり或いは外部電源電圧
CCを受・給電するための数多くのパッドが形成されて
いるが、説明を簡潔にするために、図示はしていない。
FIG. 7 schematically shows an example of a layout of a chip in a conventional semiconductor memory device as described above. Referring to FIG. 7, a chip 1C shown in FIG. 7 includes a test circuit block 11B, a reference voltage generation circuit 12,
Three circuit blocks of the step-down circuit 13 are formed,
Two pads 20 and 21 are provided on the edge of the chip. Of course, these three circuits and 2
In addition to the one pad, for example, various circuit blocks required for storage operation such as a memory cell array, an address decoder and a driver of a row and a column, a sense amplifier and an input / output circuit, and wiring for connecting the circuit blocks are provided. Are formed, and furthermore, a number of pads are formed for exchanging input / output signals between each circuit block and the outside of the chip or for receiving and supplying an external power supply voltage V CC , Not shown for simplicity.

【0007】図7に示すチップ1Cにあっては、基準電
圧発生回路12の出力点はパッド20に直結し降圧回路
13の出力点はパッド21に直結していて、基準電圧発
生回路の出力電圧VREF はパッド20を介して、また降
圧回路の出力電圧VINT はパッド21を介して、それぞ
れ外部から測定できる。
In the chip 1C shown in FIG. 7, the output point of the reference voltage generating circuit 12 is directly connected to the pad 20 and the output point of the step-down circuit 13 is directly connected to the pad 21. V REF can be measured from the outside via the pad 20, and the output voltage V INT of the step-down circuit can be measured from the outside via the pad 21.

【0008】テスト回路ブロック11Bは幾つかのテス
ト回路を含んでいて、外部から入力されるチップセレク
ト信号CS、ロウ・アドレス・ストローブ信号RAS、
カラム・アドレス・ストローブ信号CAS及びライトイ
ネーブル信号WEが或る状態のときに記憶装置を試験モ
ードにエントリーさせ、そのときのアドレス信号An
デコードした結果に応じてテスト回路ブロック11B中
のどのテスト回路を活性化させるかによって、所望の機
能試験を行えるようにする。このテスト回路ブロック1
1Bは、記憶装置が製品として出荷される迄の間に記憶
装置の機能等を試験するために、半導体記憶装置に通常
的に設けられる回路である。
The test circuit block 11B includes several test circuits, and includes a chip select signal CS, a row address strobe signal RAS,
Column address strobe signal CAS and a write enable signal WE is the entry of the storage device to the test mode when a certain condition, which test in the test circuit block 11B according to the result obtained by decoding the address signal A n at that time A desired function test can be performed depending on whether the circuit is activated. This test circuit block 1
1B is a circuit normally provided in the semiconductor memory device for testing the function of the memory device before the memory device is shipped as a product.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、近年
の半導体記憶装置における大容量化は著しく、そのため
にMOSトランジスタやキャパシタのような素子や回路
ブロック間の配線などは非常に微細化され、記憶動作に
必要な回路ブロックやメモリセルアレイなどのいわゆる
内部回路の面積は縮小傾向にある。ところが、チップ上
に設けられるパッドの方は、更にその先、例えばワイヤ
ボンディングなどによって、パッケージに設けられる例
えばリード端子のような外部接続端子に接続されるもの
であって、その外部接続端子との接続構造或いは工法の
関係上、面積を現状より縮小することは困難な状況にあ
る。その結果、チップの面積はパッドの数に大きく左右
されるようになってきている。
As described above, the capacity of a semiconductor memory device in recent years has increased remarkably. For this reason, elements such as MOS transistors and capacitors and wiring between circuit blocks have been extremely miniaturized. The area of so-called internal circuits, such as circuit blocks and memory cell arrays, required for storage operations has been decreasing. However, the pad provided on the chip is further connected to an external connection terminal such as a lead terminal provided on the package by, for example, wire bonding. Due to the connection structure or the construction method, it is difficult to reduce the area from the current state. As a result, the area of the chip has been greatly influenced by the number of pads.

【0010】ところが、従来の半導体記憶装置は、必ず
しも両方同時に測定する必要のない基準電圧VREF と内
部電源電圧VINT のために、それぞれ専用の2つのパッ
ドを設けている。そこで、それら2つのパッドを1つの
パッドで共用できれば、チップの面積をその分縮小でき
ることになる。
However, the conventional semiconductor memory device has two dedicated pads for the reference voltage V REF and the internal power supply voltage V INT which need not always be measured simultaneously. Therefore, if these two pads can be shared by one pad, the chip area can be reduced accordingly.

【0011】従って本発明は、チップ上に降圧回路と、
基準電圧発生回路と、テスト回路ブロックと、チップの
外部との接続のための複数のパッドとを少なくとも備え
る半導体記憶装置において、基準電圧発生回路の出力電
圧と降圧回路の出力電圧とを監視、測定するためのパッ
ド数を削減することを目的とするものである。
Therefore, the present invention provides a step-down circuit on a chip,
In a semiconductor memory device including at least a reference voltage generation circuit, a test circuit block, and a plurality of pads for connection to the outside of the chip, monitor and measure the output voltage of the reference voltage generation circuit and the output voltage of the step-down circuit. The purpose of the present invention is to reduce the number of pads for performing the operation.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明の半導体記憶装置
は、チップ上に、外部から与えられる電源電圧を降圧す
る降圧回路と、前記電源電圧に依存しない電圧を発生さ
せる基準電圧発生回路と、外部からの信号に応じて半導
体記憶装置を試験モードに切り替えて半導体記憶装置の
機能を試験するためのテスト回路ブロックと、チップの
外部との電気的接続のための複数のパッドとを少なくと
も備え、前記基準電圧発生回路の出力点と一のパッドと
の間及び前記降圧回路の出力点と前記一のパッドとの間
に各一に接続されたアナログスイッチと、半導体記憶装
置が試験モードにエントリーしたかしないかに応じて前
記アナログスイッチの開閉を切り替える手段であって、
一方のアナログスイッチの開閉と他方のアナログスイッ
チの開閉とが互いに相補を保つように切り替える切替え
手段とを有することを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a semiconductor memory device comprising: a step-down circuit for stepping down a power supply voltage externally supplied; a reference voltage generating circuit for generating a voltage independent of the power supply voltage; A test circuit block for switching the semiconductor memory device to a test mode in accordance with an external signal to test the function of the semiconductor memory device, and at least a plurality of pads for electrical connection to the outside of the chip; An analog switch connected between the output point of the reference voltage generation circuit and one pad and between the output point of the step-down circuit and the one pad, and the semiconductor memory device has entered the test mode. Means for switching the opening and closing of the analog switch depending on whether or not
Switching means for switching the opening and closing of one analog switch and the opening and closing of the other analog switch so as to be complementary to each other is provided.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図1は、本発明の第1の
実施の形態に係る半導体記憶装置におけるチップの、レ
イアウトの一例を模式的に示す図である。図1と図7と
を比較して、本実施の形態に係るチップ1Aが従来の半
導体記憶装置のチップ1Cと異なるのは、 電圧測定用のパッドの数が1つ(パッド2)に減って
いて、基準電圧発生回路12の出力電圧も降圧回路13
の出力電圧も、同じ1つのパッド2を介して出力される
点、 基準電圧発生回路12の出力点とパッド2との間にp
チャネル型MOSトランジスタ(pMOSトランジス
タ)P1が、また降圧回路13の出力点とパッド2との
間にpMOSトランジスタP2が、それぞれ電流経路を
なすように挿入されている点及び、 テスト回路ブロック11Aに、上記のpMOSトラン
ジスタP1,P2のオン、オフを制御するためのテスト
回路14が増設されていることである。
Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of a layout of a chip in the semiconductor memory device according to the first embodiment of the present invention. Comparing FIG. 1 with FIG. 7, chip 1A according to the present embodiment is different from chip 1C of the conventional semiconductor memory device in that the number of voltage measurement pads is reduced to one (pad 2). The output voltage of the reference voltage generation circuit 12 is also
Is also output through the same one pad 2, and p is output between the output point of the reference voltage generating circuit 12 and the pad 2.
The channel type MOS transistor (pMOS transistor) P1 and the pMOS transistor P2 inserted between the output point of the step-down circuit 13 and the pad 2 so as to form a current path, and the test circuit block 11A A test circuit 14 for controlling on / off of the pMOS transistors P1 and P2 is additionally provided.

【0014】pMOSトランジスタP1のゲート電極に
はテスト回路14からの信号C1が入力され、一方、p
MOSトランジスタP2のゲート電極には同じくテスト
回路14からの信号C2がそれぞれ入力されている。2
つの信号C1,C2は互いに相補の信号である。テスト
回路14は、チップセレクト信号CS、ロウ・アドレス
・ストローブ信号RAS、カラム・アドレス・ストロー
ブ信号CAS及びライトイネーブル信号WEに応じて記
憶装置が試験モードにエントリーしたとき、アドレス信
号An をデコードした結果の信号によって活性化される
回路であるが、その出力信号C1,C2は共に、テスト
回路14が非活性状態にあるときと活性状態にあるとき
とで、互いに相補の関係を保ちながらレベルが入れ替わ
る。
The signal C1 from the test circuit 14 is input to the gate electrode of the pMOS transistor P1.
The signal C2 from the test circuit 14 is also input to the gate electrode of the MOS transistor P2. 2
The two signals C1 and C2 are complementary to each other. Test circuit 14, when the chip select signal CS, a row address strobe signal RAS, a storage device in response to a column address strobe signal CAS and a write enable signal WE has entry to the test mode, and decodes the address signal A n The output signal C1 and the output signal C2 are both activated when the test circuit 14 is in the inactive state and when the test circuit 14 is in the active state. Interchange.

【0015】図2に、本実施の形態における各信号の動
作波形を示す。図2を参照して、時刻T10に、外部か
らチップ1Aに入力されているチップセレクト信号C
S、ロウ・アドレス・ストローブ信号RAS、カラム・
アドレス・ストローブ信号CAS及びライトイネーブル
信号WEがハイレベルからロウレベルに変化すると、そ
の直後のクロック信号CLKの立上り(時刻T11)で
記憶装置は試験モードにエントリーし、テスト回路14
が活性化される。時刻T11以前は、記憶装置は通常の
記憶動作モードにあって、テスト回路は非活性状態にな
っている。
FIG. 2 shows an operation waveform of each signal in the present embodiment. Referring to FIG. 2, at time T10, chip select signal C externally input to chip 1A.
S, row address strobe signal RAS, column
When the address strobe signal CAS and the write enable signal WE change from the high level to the low level, the storage device enters the test mode at the rising edge of the clock signal CLK immediately after (time T11), and the test circuit 14
Is activated. Before time T11, the storage device is in a normal storage operation mode, and the test circuit is in an inactive state.

【0016】いま、記憶装置が時刻T11以前の通常の
記憶動作モードにあるときは、テスト回路14は非活性
状態にあり、ハイレベルの信号C1とロウレベルの信号
C2とを出力している。従って、pMOSトランジスタ
P1はオフ状態に、pMOSトランジスタP2はオン状
態になっていて、パッド2には降圧回路13の出力であ
る内部電源電圧VINT が出力されている。
When the storage device is in a normal storage operation mode before time T11, the test circuit 14 is inactive and outputs a high-level signal C1 and a low-level signal C2. Therefore, the pMOS transistor P1 is in the off state, the pMOS transistor P2 is in the on state, and the internal power supply voltage V INT output from the step-down circuit 13 is output to the pad 2.

【0017】時刻T11に記憶装置が試験モードにエン
トリーすると、それと同時に、テスト回路14の出力信
号C1がそれまでのハイレベルからロウレベルに遷移
し、信号C2はロウレベルからハイレベルに遷移する。
これにより、pMOSトランジスタP1がオフ状態から
オン状態に切り替り、pMOSトランジスタP2がオン
状態からオフ状態に切り替って、パッド2には基準電圧
発生回路12の出力である基準電圧VREF が出力され
る。
When the storage device enters the test mode at time T11, at the same time, the output signal C1 of the test circuit 14 changes from the high level to the low level, and the signal C2 changes from the low level to the high level.
As a result, the pMOS transistor P1 switches from the off state to the on state, the pMOS transistor P2 switches from the on state to the off state, and the reference voltage V REF output from the reference voltage generation circuit 12 is output to the pad 2. You.

【0018】本実施の形態によれば、試験モードへエン
トリーさせてテスト回路14を活性化することで、1つ
のパッドで基準電圧発生回路の出力電圧と降圧回路の出
力電圧を切り替えて、直接測定することができる。その
場合、チップセレクト信号CS、ロウ・アドレス・スト
ローブ信号RAS、カラム・アドレス・ストローブ信号
CAS及びライトイネーブル信号WEもアドレス信号A
n も、いずれも通常の記憶動作に必要な信号であるの
で、パッド2への出力電圧の切替えのために新たな制御
信号が必要になったり、その入力のためにパッドが増加
することはない。つまり、記憶装置全体として、パッド
の数が1つ減る。
According to the present embodiment, by entering the test mode and activating the test circuit 14, the output voltage of the reference voltage generation circuit and the output voltage of the step-down circuit are switched by one pad, and the direct measurement is performed. can do. In this case, the chip select signal CS, the row address strobe signal RAS, the column address strobe signal CAS, and the write enable signal WE are also the address signals A.
Since n is also a signal necessary for normal storage operation, a new control signal is not required for switching the output voltage to the pad 2 and the number of pads does not increase due to its input. . That is, the number of pads is reduced by one in the entire storage device.

【0019】本実施の形態の場合、pMOSトランジ
スタが2つ(P1,P2)と、テスト回路14と、
テスト回路14からpMOSトランジスタP1,P2の
ゲート電極までの配線が増える。又、アドレス信号A
n のデコーダに、テスト回路14を選択して活性化、非
活性化させる構成を追加する必要がある。しかしなが
ら、それらのために必要な面積はパッド1つ当りの面積
に比べて圧倒的に小さいので、チップ全体では、概略、
パッド1つ分だけ面積を縮小できる。例えば、128メ
ガビットなどの典型的な大容量DRAMでは、パッド
は、1個当り100μm×100μm程度の四角形をし
たものが一般的である。これに対し、例えば128Mビ
ット程度の大容量の記憶装置において、チップ内の内部
回路を構成するMOSトランジスタには、典型的には、
チャネル長が1.0μm、チャネル長が0.7μm程度
のものが用いられる。そして、後述するように、テスト
回路14は、せいぜい8個程度のMOSトランジスタが
構成でき、また、アドレス信号An のデコ―ダの構成追
加に必要なトランジスタも数個程度と見積られるので、
上述のテスト回路14や上記〜の理由で増加する面
積は、パッド1個の数パーセントにしかならない。しか
も、パッドの場合は、チップの縁辺などに規則的に配列
しなければならないことから、パッド数の増加は直ちに
チップ面積に影響するのに対し、テスト回路のトランジ
スタやスイッチとしてのMOSトランジスタP1,P2
或いは配線などは、チップ上のデッド・スペースなどに
レイアウトすることができるので、極論すればチップ面
積に及ぼす影響はないといって構わない。
In the case of this embodiment, two pMOS transistors (P1, P2), a test circuit 14,
The number of wirings from the test circuit 14 to the gate electrodes of the pMOS transistors P1 and P2 increases. Address signal A
It is necessary to add a configuration for selecting and activating and deactivating the test circuit 14 to the n decoders. However, the area required for them is overwhelmingly smaller than the area per pad, so the overall chip
The area can be reduced by one pad. For example, in a typical large-capacity DRAM of 128 megabits or the like, each pad generally has a square shape of about 100 μm × 100 μm. On the other hand, in a large-capacity storage device of, for example, about 128 Mbits, MOS transistors forming an internal circuit in a chip typically include:
A channel having a channel length of about 1.0 μm and a channel length of about 0.7 μm is used. As described later, the test circuit 14, at most can configure about eight MOS transistors, also, Deco address signal A n - so also the transistors required to configure additional Da estimated at several approximately,
The area which increases due to the above-mentioned test circuit 14 or the above-mentioned reason is only a few percent of one pad. In addition, in the case of pads, since they must be regularly arranged at the edge of the chip, etc., an increase in the number of pads immediately affects the chip area, whereas MOS transistors P1 and T1 as transistors and switches in the test circuit are used. P2
Alternatively, the wiring and the like can be laid out in a dead space or the like on the chip. Therefore, it can be said that there is no influence on the chip area in extreme cases.

【0020】尚、本実施の形態においては、基準電圧発
生回路12の出力点とパッド2との間及び、降圧回路1
3の出力点とパッド2との間に挿入するMOSトランジ
スタにpチャネル型のものを用いたが、これらのトラン
ジスタをnチャネル型MOSトランジスタで構成するこ
ともできる。但し、その場合は、パッド2と基準電位発
生回路12の出力点との間及び、パッド2と降圧回路1
3の出力点の間には、nMOSトランジスタにおける所
謂「しきい値落ち」(nMOSトランジスタにおいて、
ドレイン電圧とゲート電圧が与えられたとき、ソース電
圧はゲート電圧からトランジスタのしきい値電圧を差し
引いた電圧以上にはならない現象)による電位差が生じ
るので、基準電圧VREF 及び降圧電源電圧VINT を正確
に測定するには、測定したパッド2の電圧値にnMOS
トランジスタのしきい値電圧に基づく補正を加える必要
がある。
In this embodiment, between the output point of the reference voltage generating circuit 12 and the pad 2 and between the step-down circuit 1
Although a p-channel type MOS transistor is used as the MOS transistor inserted between the output point No. 3 and the pad 2, these transistors may be constituted by n-channel type MOS transistors. In this case, however, the pad 2 and the output point of the reference potential generating circuit 12 and the pad 2 and the step-down circuit 1
3 between the output points, the so-called “threshold drop” in the nMOS transistor (in the nMOS transistor,
When the drain voltage and the gate voltage are given, a potential difference occurs due to a phenomenon that the source voltage does not become more than a voltage obtained by subtracting the threshold voltage of the transistor from the gate voltage), so that the reference voltage V REF and the step-down power supply voltage V INT To measure accurately, the voltage value of the measured pad 2 must be
It is necessary to make correction based on the threshold voltage of the transistor.

【0021】次に、本発明の第2の実施の形態について
説明する。図3は、本発明の第2の実施の形態に係る半
導体記憶装置におけるチップの、レイアウトの一例を模
式的に示す図である。図3と図1とを比較して、本実施
の形態に係るチップ1Bが第1の実施の形態に係るチッ
プ1Aと異なるのは、 pMOSトランジスタに替えて、nMOSトランジス
タN1,N2を用いている点、 それらnMOSトランジスタN1,N2のゲート電極
に、昇圧回路15からの昇圧出力電圧VB を、それぞれ
pMOSトランジスタP3,P4を介して入力している
点及び、 上記pMOSトランジスタP3,P4を、テスト回路
14からの信号C1,C2で相補にオン、オフさせてい
る点である。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 3 is a diagram schematically showing an example of a layout of a chip in a semiconductor memory device according to a second embodiment of the present invention. Comparing FIG. 3 with FIG. 1, chip 1B according to the present embodiment is different from chip 1A according to the first embodiment in that nMOS transistors N1 and N2 are used instead of pMOS transistors. point, the gate electrode thereof nMOS transistors N1, N2, a boosted output voltage V B from the booster circuit 15, and a point is input through the pMOS transistor P3, P4 respectively, the pMOS transistor P3, P4, test The point is that they are turned on and off complementarily by the signals C1 and C2 from the circuit 14.

【0022】昇圧回路15は、外部電源電圧VCCをこれ
より高い電圧VCC+α(=VB )に昇圧する回路であっ
て、例えば大容量のDRAMにおいて、1トランジスタ
1キャパシタ構成のメモリセルからデータ線に読み出さ
れ或いはデータ線からメモリセルに書き込まれる信号電
圧が、スイッチとしてのnMOSトランジスタにおける
しきい値落ちによって低下してしまうのを防ぐために、
ワード線に高い電圧を与えるためのものであって、従
来、大容量の半導体記憶装置には欠かせない回路であ
る。本実施の形態においては、そのような従来の半導体
記憶装置に搭載されている昇圧回路をそのまま流用する
ので、昇圧回路15を特に新たに設ける必要はなく、こ
れによるチップ面積の増加はない。
The booster circuit 15 boosts the external power supply voltage V cc to a higher voltage V cc + α (= V B ). For example, in a large-capacity DRAM, a booster circuit 15 starts with a memory cell of one transistor and one capacitor. In order to prevent a signal voltage read to the data line or written to the memory cell from the data line from being lowered by a threshold drop in the nMOS transistor as a switch,
It is for applying a high voltage to a word line, and is conventionally an indispensable circuit for a large-capacity semiconductor memory device. In the present embodiment, since the booster circuit mounted on such a conventional semiconductor memory device is used as it is, it is not necessary to newly provide the booster circuit 15 and the chip area does not increase.

【0023】図4に、本実施の形態における各信号の動
作波形を示す。図4を参照して、本実施の形態において
も、第1の実施の形態におけると同様に、時刻T20に
おいてロウ・アドレス・ストローブ信号RAS、カラム
・アドレス・ストローブ信号CAS及びライトイネーブ
ル信号WEがハイレベルからロウレベルに立ち下がった
直後のクロック信号CLKの立上り(時刻T21)で、
通常の記憶動作モードから試験モードにエントリーす
る。
FIG. 4 shows an operation waveform of each signal in the present embodiment. Referring to FIG. 4, in the present embodiment, as in the first embodiment, at time T20, row address strobe signal RAS, column address strobe signal CAS, and write enable signal WE become high. The rising edge of the clock signal CLK immediately after falling from the low level to the low level (time T21)
The test mode is entered from the normal storage operation mode.

【0024】いま、記憶装置が時刻T21以前の通常の
記憶動作モードにあるときは、テスト回路14は非活性
状態にあり、ハイレベルの信号C1とロウレベルの信号
C2を出力している。従って、テスト回路14の出力点
に接続されている2つのpMOSトランジスタのうちト
ランジスタP3はオフ状態になっている。一方、pMO
SトランジスタP4はオン状態になっていて、パッド2
に接続されているnMOSトランジスタN2のゲート電
極に、昇圧回路15の出力電圧VB を伝達している。そ
の結果、パッド2に接続されている2つのnMOSトラ
ンジスタのうちトランジスタN1はオフ状態に、nMO
SトランジスタN2はオン状態になっていて、パッド2
には降圧回路13の出力である内部電源電圧VINT が出
力されている。このとき、nMOSトランジスタN2の
ゲート電極に印加されている昇圧回路15の出力電圧V
B は、電源電圧VCCより高いVCC+αの電圧に昇圧され
ているので、nMOSトランジスタN2におけるしきい
値落ちはない。従って、パッド2には内部電源電圧V
INT がそのまま出力され、内部電源電圧VINT の測定値
に補正を加える必要はない。
When the storage device is in a normal storage operation mode before time T21, the test circuit 14 is in an inactive state and outputs a high-level signal C1 and a low-level signal C2. Therefore, the transistor P3 of the two pMOS transistors connected to the output point of the test circuit 14 is off. On the other hand, pMO
The S transistor P4 is in the ON state and the pad 2
The gate electrode of the nMOS transistor N2 is connected to, and transmits the output voltage V B of the booster circuit 15. As a result, the transistor N1 of the two nMOS transistors connected to the pad 2 is turned off,
The S transistor N2 is in the ON state and the pad 2
Outputs the internal power supply voltage V INT output from the step-down circuit 13. At this time, the output voltage V of the booster circuit 15 applied to the gate electrode of the nMOS transistor N2
Since B has been boosted to a voltage of V CC + α higher than the power supply voltage V CC, there is no threshold drop in the nMOS transistor N2. Therefore, the internal power supply voltage V
INT is output as it is, and there is no need to correct the measured value of the internal power supply voltage VINT .

【0025】次に、時刻T21に記憶装置が試験モード
にエントリーすると、それと同時に、テスト回路14の
出力信号C1がそれまでのハイレベルからロウレベルに
遷移し、信号C2はロウレベルからハイレベルに遷移す
る。これにより、テスト回路14に接続されている2つ
のpMOSトランジスタのうちトランジスタP3はオフ
状態からオン状態に切り替り、pMOSトランジスタP
4はオフ状態に変る。その結果、パッド2に接続されて
いる2つのnMOSトランジスタのうちトランジスタN
1は、ゲート電極に昇圧回路15の出力電圧VB を与え
られてオフ状態からオン状態に変化し、一方、nMOS
トランジスタN2はオン状態からオフ状態に変化して、
パッド2には基準電圧発生回路12の出力である基準電
圧VREFが出力される。このとき、nMOSトランジス
タN1のゲート電極には、電源電圧VCCより高いVCC
αの電圧にされた昇圧回路15の出力電圧VB が印加さ
れるので、nMOSトランジスタN1におけるしきい値
落ちはない。従って、パッド2には基準電圧VREF がそ
のまま出力され、その測定値に補正を加える必要はな
い。
Next, when the storage device enters the test mode at time T21, at the same time, the output signal C1 of the test circuit 14 changes from the previous high level to the low level, and the signal C2 changes from the low level to the high level. . As a result, the transistor P3 of the two pMOS transistors connected to the test circuit 14 switches from the off state to the on state, and the pMOS transistor P3
4 changes to the off state. As a result, of the two nMOS transistors connected to the pad 2, the transistor N
1 is changed from the OFF state to the ON state given the output voltage V B of the booster circuit 15 to the gate electrode, whereas, nMOS
The transistor N2 changes from the on state to the off state,
The reference voltage V REF output from the reference voltage generation circuit 12 is output to the pad 2. At this time, the gate electrode of the nMOS transistor N1 has V CC + higher than the power supply voltage V CC.
Since the output voltage V B of the booster circuit 15 which is the voltage α is applied, there is no threshold voltage drop of the nMOS transistor N1. Accordingly, the reference voltage V REF is output to the pad 2 as it is, and there is no need to correct the measured value.

【0026】図5に、本実施の形態におけるテスト回路
14の一例の回路図を示す。この図に示すテスト回路1
4は、アドレス信号An のデコード出力がハイレベルの
とき活性化され、デコード出力がロウレベルのときは非
活性状態にある。いま、デコード出力がロウレベルでテ
スト回路14が非活性状態にあるとき、すなわち図4に
示すタイミングチャートにおいて時刻T21以前の場合
は、nMOSトランジスタN5がオン状態、N7がオフ
状態で、pMOSトランジスタP4はオン状態になる。
又、nMOSトランジスタN6がオフ状態、N8がオン
状態で、pMOSトランジスタP3はオフ状態になる。
従って、図3において、nMOSトランジスタN2は、
pMOSトランジスタP4を介してゲート電極に昇圧電
圧VB =VCC+αを与えられるので導通し、降圧回路の
出力電圧VINT をパッド2に出力する。一方、nMOS
トランジスタN1は、基準電圧発生回路12の出力点と
パッド2との間を遮断する。
FIG. 5 shows a circuit diagram of an example of the test circuit 14 in the present embodiment. Test circuit 1 shown in FIG.
4, the decode output of the address signal A n is activated at the high level, when the decode output is at a low level in an inactive state. Now, when the decode output is low level and the test circuit 14 is in the inactive state, that is, before the time T21 in the timing chart shown in FIG. 4, the nMOS transistor N5 is on, the N7 is off, and the pMOS transistor P4 is It turns on.
Further, the nMOS transistor N6 is off, the N8 is on, and the pMOS transistor P3 is off.
Therefore, in FIG. 3, the nMOS transistor N2 is
Since the boosted voltage V B = V CC + α is applied to the gate electrode via the pMOS transistor P 4, the gate electrode is turned on, and the output voltage V INT of the step-down circuit is output to the pad 2. On the other hand, nMOS
Transistor N1 cuts off between the output point of reference voltage generating circuit 12 and pad 2.

【0027】一方、デコード出力がロウレベルでテスト
回路14が非活性状態にあるとき、すなわち図4に示す
タイミングチャートにおいて時刻T21以後は、nMO
SトランジスタN5がオフ状態、N7がオン状態で、p
MOSトランジスタP4はオフ状態になる。又、nMO
SトランジスタN6がオン状態、N8がオフ状態で、p
MOSトランジスタP3はオン状態になる。従って、図
3において、nMOSトランジスタN1は、pMOSト
ランジスタP3を介してゲート電極に昇圧電圧VB を与
えられるので導通し、基準電圧発生回路の出力電圧V
REF をパッド2に出力する。一方、nMOSトランジス
タN2は、降圧回路13の出力点とパッド2との間を遮
断する。
On the other hand, when the decode output is low level and test circuit 14 is inactive, ie, after time T21 in the timing chart shown in FIG.
When the S transistor N5 is off and N7 is on, p
MOS transistor P4 is turned off. Also, nMO
When the S transistor N6 is on and N8 is off, p
MOS transistor P3 is turned on. Thus, in FIG. 3, nMOS transistor N1 becomes conductive because given the boosted voltage V B to the gate electrode through the pMOS transistor P3, the output voltage V of the reference voltage generating circuit
REF is output to pad 2. On the other hand, the nMOS transistor N2 cuts off between the output point of the step-down circuit 13 and the pad 2.

【0028】一例として図5に示すテスト回路14は、
当然、第1の実施の形態に係る記憶装置にも適用でき
る。但し、第2の実施の形態においては、第1の実施の
形態におけると違って、昇圧電圧VB をオン、オフする
ので、テスト回路14中のnMOSトランジスタN5,
N6には、高い電界が加わることを考慮して、ゲート幅
が3.0μm程度、ゲート長が1.0μm程度の、第1
の実施の形態におけるよりサイズの大きいトランジスタ
を用いる方が望ましい。また、第1の実施の形態に比
べ、2つのpMOSトランジスタP3,P4が余分に必
要である。従って、第1の実施の形態に比べ、それらの
分面積が大きくなるが、その増加分はパッド1個の面積
に比べて無視できる。
As an example, the test circuit 14 shown in FIG.
Naturally, the present invention can be applied to the storage device according to the first embodiment. However, in the second embodiment, unlike those of the first embodiment, on a step-up voltage V B, so off, nMOS transistor N5 in the test circuit 14,
Considering that a high electric field is applied to N6, the first gate having a gate width of about 3.0 μm and a gate length of about 1.0 μm is used.
It is preferable to use a transistor having a larger size than that of the embodiment. Further, compared with the first embodiment, two additional pMOS transistors P3 and P4 are required. Therefore, the area is larger than that of the first embodiment, but the increase is negligible compared to the area of one pad.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明によれば、基準電圧発生回路の出
力電圧及び降圧回路の出力電圧の監視、測定のために従
来2つ必要であったパッドを同じ1つのパッドで共用で
きるので、パッド数が減った分、チップ面積を縮小でき
る。
According to the present invention, two pads which are conventionally required for monitoring and measuring the output voltage of the reference voltage generating circuit and the output voltage of the step-down circuit can be shared by the same one pad. The chip area can be reduced by the reduced number.

【0030】アナログスイッチには、pMOSトランジ
スタ或いはnMOSトランジスタを用いることができ
る。nMOSトランジスタをアナログスイッチとして用
いるときは、nMOSトランジスタのしきい値落ち現象
に基づく測定値の補正が必要になるが、その場合は、従
来の記憶装置に通常搭載されている昇圧回路の出力電圧
をアナログスイッチとしてのnMOSトランジスタのゲ
ート電極に入力するように構成すれば、測定値の補正が
不要になる。
A pMOS transistor or an nMOS transistor can be used for the analog switch. When an nMOS transistor is used as an analog switch, it is necessary to correct a measured value based on a phenomenon in which the threshold voltage of the nMOS transistor drops. In this case, the output voltage of a booster circuit usually mounted in a conventional storage device is required. If input is made to the gate electrode of the nMOS transistor as an analog switch, correction of the measured value is not required.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係る半導体記憶装
置におけるチップのレイアウトの一例を模式的に示す図
である。
FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of a layout of a chip in a semiconductor memory device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】第1の実施の形態における各信号の動作波形を
示す図である。
FIG. 2 is a diagram showing operation waveforms of respective signals in the first embodiment.

【図3】本発明の第2の実施の形態に係る半導体記憶装
置におけるチップのレイアウトの一例を模式的に示す図
である。
FIG. 3 is a diagram schematically illustrating an example of a layout of a chip in a semiconductor memory device according to a second embodiment of the present invention;

【図4】第2の実施の形態における各信号の動作波形を
示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating operation waveforms of respective signals according to the second embodiment.

【図5】テスト回路の一例の回路図を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a circuit diagram of an example of a test circuit.

【図6】半導体記憶装置における、外部電源電圧と、内
部電源電圧と、基準電圧との関係の一例を示す図であ
る。
FIG. 6 is a diagram showing an example of a relationship among an external power supply voltage, an internal power supply voltage, and a reference voltage in a semiconductor memory device.

【図7】従来の技術による半導体記憶装置におけるチッ
プのレイアウトの一例を模式的に示す図である。
FIG. 7 is a diagram schematically illustrating an example of a layout of a chip in a semiconductor memory device according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1A,1B,1C チップ 2 パッド 11A,11B テスト回路ブロック 12 基準電圧発生回路 13 降圧回路 14 テスト回路 15 昇圧回路 20,21 パッド 1A, 1B, 1C chip 2 pad 11A, 11B test circuit block 12 reference voltage generation circuit 13 step-down circuit 14 test circuit 15 step-up circuit 20, 21 pad

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 チップ上に、外部から与えられる電源電
圧を降圧する降圧回路と、前記電源電圧に依存しない電
圧を発生させる基準電圧発生回路と、外部からの信号に
応じて半導体記憶装置を試験モードに切り替えて半導体
記憶装置の機能を試験するためのテスト回路ブロック
と、チップの外部との電気的接続のための複数のパッド
とを少なくとも備え、 前記基準電圧発生回路の出力点と一のパッドとの間及び
前記降圧回路の出力点と前記一のパッドとの間に各一に
接続されたアナログスイッチと、 半導体記憶装置が試験モードにエントリーしたかしない
かに応じて前記アナログスイッチの開閉を切り替える手
段であって、一方のアナログスイッチの開閉と他方のア
ナログスイッチの開閉とが互いに相補を保つように切り
替える切替え手段とを有することを特徴とする半導体記
憶装置。
1. A step-down circuit for stepping down a power supply voltage applied from outside, a reference voltage generating circuit generating a voltage independent of the power supply voltage on a chip, and testing a semiconductor memory device in response to an external signal A test circuit block for switching to a mode to test the function of the semiconductor memory device, and at least a plurality of pads for electrical connection to the outside of the chip; and one pad with an output point of the reference voltage generation circuit And an analog switch respectively connected between the output point of the step-down circuit and the one pad; and opening and closing the analog switch depending on whether or not the semiconductor memory device enters a test mode. Switching means for switching the opening and closing of one analog switch and the opening and closing of the other analog switch so as to be complementary to each other; The semiconductor memory device characterized in that it comprises.
【請求項2】 前記アナログスイッチに、MOS電界効
果トランジスタを用いたことを特徴とする、請求項1に
記載の半導体記憶装置。
2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein a MOS field effect transistor is used for said analog switch.
【請求項3】 前記MOS電界効果トランジスタがpチ
ャネル型のものであることを特徴とする、請求項2に記
載の半導体記憶装置。
3. The semiconductor memory device according to claim 2, wherein said MOS field effect transistor is of a p-channel type.
【請求項4】 前記MOS電界効果トランジスタがnチ
ャネル型のものであることを特徴とする、請求項2に記
載の半導体記憶装置。
4. The semiconductor memory device according to claim 2, wherein said MOS field effect transistor is of an n-channel type.
【請求項5】 チップ上に、外部から与えられる電源電
圧を昇圧して各々の前記nチャネル型MOS電界効果ト
ランジスタのゲート電極に供給する昇圧回路を更に備
え、 前記昇圧回路の出力電圧の供給先を前記切替え手段によ
って相補に切り替えることにより、2つの前記nチャネ
ル型MOS電界効果トランジスタの導通、非導通を相補
に切りかえるようにしたことを特徴とする、請求項4に
記載の半導体記憶装置。
5. A booster circuit on a chip for boosting an externally applied power supply voltage and supplying the boosted voltage to a gate electrode of each of the n-channel MOS field effect transistors, wherein a supply destination of an output voltage of the booster circuit is provided. 5. The semiconductor memory device according to claim 4, wherein the switching means switches the conduction and non-conduction of the two n-channel MOS field-effect transistors in a complementary manner.
【請求項6】 チップ上に、外部から与えられる電源電
圧を降圧する降圧回路と、 前記電源電圧に依存しない電圧を発生する基準電圧発生
回路と、 半導体記憶装置が試験モードにエントリーしたかしない
かによって状態が切り替る互いに相補の2つの信号を出
力するテスト回路と、 外部との電気的接続のための複数のパッドと、 前記降圧回路の出力点と前記複数のパッドの内の一つの
パッドとの間に電流経路をなすように接続された第1の
pチャネル型MOS電界効果トランジスタと、 前記基準電圧発生回路の出力点と前記一つのパッドとの
間に電流経路をなすように接続された第2のpチャネル
型MOS電界効果トランジスタとを含み、 前記テスト回路の相補の2つの出力信号を、前記第1及
び第2のpチャネル型MOS電界効果トランジスタのゲ
ート電極に1つずつ割り当てて入力するようにしたこと
を特徴とする半導体記憶装置。
6. A step-down circuit for stepping down a power supply voltage applied from the outside on a chip, a reference voltage generating circuit for generating a voltage independent of the power supply voltage, and whether or not the semiconductor memory device enters a test mode A test circuit for outputting two signals complementary to each other, a plurality of pads for electrical connection with the outside, an output point of the step-down circuit, and one of the plurality of pads. A first p-channel MOS field-effect transistor connected to form a current path between the first and second pads, and a current path connected between an output point of the reference voltage generation circuit and the one pad. And a second p-channel MOS field-effect transistor, comprising: two complementary output signals of the test circuit; A semiconductor memory device, wherein one of the gates is assigned to each of the gates and input.
【請求項7】 チップ上に、外部から与えられる電源電
圧を降圧する降圧回路と、 前記電源電圧に依存しない電圧を発生する基準電圧発生
回路と、 半導体記憶装置が試験モードにエントリーしたかしない
かによって状態が切り替る互いに相補の2つの信号を出
力するテスト回路と、 外部との電気的接続のための複数のパッドと、 前記降圧回路の出力点と前記複数のパッドの内の一つの
パッドとの間に電流経路をなすように接続された第1の
nチャネル型MOS電界効果トランジスタと、 前記基準電圧発生回路の出力点と前記一つのパッドとの
間に電流経路をなすように接続された第2のnチャネル
型MOS電界効果トランジスタとを含み、 前記テスト回路の相補の2つの出力信号を、前記第1及
び第2のnチャネル型MOS電界効果トランジスタのゲ
ート電極に1つずつ割り当てて入力するようにしたこと
を特徴とする半導体記憶装置。
7. A step-down circuit for stepping down a power supply voltage applied from the outside on a chip, a reference voltage generating circuit for generating a voltage independent of the power supply voltage, and whether or not the semiconductor memory device enters a test mode A test circuit for outputting two signals complementary to each other, a plurality of pads for electrical connection with the outside, an output point of the step-down circuit, and one of the plurality of pads. A first n-channel MOS field-effect transistor connected to form a current path between the first and second pads, and a current path connected between an output point of the reference voltage generation circuit and the one pad. And a second n-channel MOS field-effect transistor, wherein the two complementary output signals of the test circuit are supplied to the first and second n-channel MOS field-effect transistors. A semiconductor memory device, wherein one of the gates is assigned to each of the gates and input.
【請求項8】 チップ上に、外部から与えられる電源電
圧を降圧する降圧回路と、 前記電源電圧に依存しない電圧を発生する基準電圧発生
回路と、 半導体記憶装置が試験モードにエントリーしたかしない
かによって状態が切り替る互いに相補の2つの信号を出
力するテスト回路と、 前記電源電圧を昇圧する回路と、 外部との電気的接続のための複数のパッドと、 前記降圧回路の出力点と前記複数のパッドの内の一つの
パッドとの間に電流経路をなすように接続された第1の
nチャネル型MOS電界効果トランジスタと、 前記基準電圧発生回路の出力点と前記一つのパッドとの
間に電流経路をなすように接続された第2のnチャネル
型MOS電界効果トランジスタと、 前記昇圧回路の出力点と前記第1のnチャネル型MOS
電界効果トランジスタのゲート電極との間に電流経路を
なすように接続されたアナログスイッチであって、開閉
が前記テスト回路の一方の出力信号によって制御される
アナログスイッチと、 前記昇圧回路の出力点と前記第2のnチャネル型MOS
電界効果トランジスタのゲート電極との間に電流経路を
なすように接続されたアナログスイッチであって、開閉
が前記テスト回路の他方の出力信号によって制御される
アナログスイッチとを備えることを特徴とする半導体記
憶装置。
8. A step-down circuit for stepping down an externally applied power supply voltage on a chip, a reference voltage generation circuit for generating a voltage independent of the power supply voltage, and whether or not the semiconductor memory device enters a test mode A test circuit that outputs two signals complementary to each other, a circuit that boosts the power supply voltage, a plurality of pads for electrical connection with the outside, an output point of the step-down circuit, and the plurality of pads. A first n-channel MOS field-effect transistor connected so as to form a current path with one of the pads, and between the output point of the reference voltage generation circuit and the one pad A second n-channel MOS field-effect transistor connected to form a current path, an output point of the booster circuit, and the first n-channel MOS
An analog switch connected to form a current path between the gate electrode of the field effect transistor and an analog switch whose opening and closing are controlled by one output signal of the test circuit; and an output point of the booster circuit. The second n-channel MOS
A semiconductor switch comprising: an analog switch connected to form a current path with a gate electrode of a field-effect transistor, wherein the analog switch is controlled to be opened and closed by the other output signal of the test circuit. Storage device.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004303396A (en) * 2003-03-28 2004-10-28 Hynix Semiconductor Inc Nand flash memory test structure and measuring method for nand flash memory channel voltage
US7102413B2 (en) 2002-12-03 2006-09-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor integrated circuit device
JP2007278987A (en) * 2006-04-11 2007-10-25 Ricoh Co Ltd Semiconductor testing device
KR100897695B1 (en) 2006-05-18 2009-05-15 후지쯔 마이크로일렉트로닉스 가부시키가이샤 Semiconductor device
JP2009288056A (en) * 2008-05-29 2009-12-10 Toshiba Corp Scan flip-flop having scan output signal cutoff function
CN103713182A (en) * 2014-01-07 2014-04-09 上海华虹宏力半导体制造有限公司 Monitoring circuit and system for voltages in chip

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7102413B2 (en) 2002-12-03 2006-09-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor integrated circuit device
JP2004303396A (en) * 2003-03-28 2004-10-28 Hynix Semiconductor Inc Nand flash memory test structure and measuring method for nand flash memory channel voltage
JP2007278987A (en) * 2006-04-11 2007-10-25 Ricoh Co Ltd Semiconductor testing device
KR100897695B1 (en) 2006-05-18 2009-05-15 후지쯔 마이크로일렉트로닉스 가부시키가이샤 Semiconductor device
JP2009288056A (en) * 2008-05-29 2009-12-10 Toshiba Corp Scan flip-flop having scan output signal cutoff function
CN103713182A (en) * 2014-01-07 2014-04-09 上海华虹宏力半导体制造有限公司 Monitoring circuit and system for voltages in chip

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