JP2001062287A - 有害物質処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 、放電と各種触媒との関係を利用してで効率
的に有害物質を除去することのできる有害物質処理装置
を提供する。 【解決手段】 有害物質を含む流体３Ａを取り込んで前
記有害物質を取り除いた流体３Ｂを排出する筐体２と、
この筐体２内に設けられ、当該筐体２内に取り込まれた
流体中に含まれる有害物質を分解除去する放電部（高電
圧端子４）と、前記筐体２内に設けられ、前記放電部４
の放電によって活性化され前記流体中に含まれる有害物
質を分解除去、または前記流体中に含まれる有害物質を
吸着除去する触媒部（光触媒部５）とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、放電を利用すると
ともに、その放電と各種触媒との関係で効率的に有害物
質を除去する有害物質処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、大気中に含まれるダイオキシン類
やＮＯｘ等の有害物質、汚水中の有害物質等により環境
が汚染されていることに強い危惧が持たれており、これ
らの有害物質を効果的に取り除く手法の研究・開発が盛
んに行われている。

【０００３】従来、上述した有害物質を取り除く手法の
一例として、放電を用いた放電処理装置によるものや、
光触媒を用いた光触媒反応装置によるもの等が知られて
いる。

【０００４】図３２は、放電により排ガス中に含まれる
有害物質を取り除く方法を示す説明図である。

【０００５】この方法は、筐体内に取り込まれた排ガス
中でパルスコロナ放電を発生させ、このパルスコロナ放
電により生成される高エネルギー電子が排ガス分子に衝
突して活性化学種を生成し、この活性化学種が排ガス中
の有害物質に作用して有害物質を化学反応により除去す
る、というものである。

【０００６】また、従来、短波長光線の照射によって励
起されて活性化する光触媒を適用し、この光触媒と接
触、付着または接近した無機性、有機性の物質に光触媒
反応で化学反応を起こさせて、例えば物質の表面から汚
れ成分を除去する洗浄、汚れ成分の付着を防止する防
汚、殺菌、脱臭、空気の清浄、燃焼排ガスの浄化、排気
処理、水の清浄、排水処理、有機合成または有機分解反
応の促進、無機性、有機性の環境汚染物質の分解、さら
に水の分解による水素や酸素の発生などを起こさせるこ
とも広く検討されている。これらの応用分野は光励起さ
れたときに生ずる強力な光触媒の酸化力、還元力による
光触媒反応、光触媒作用を利用するものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
放電により有害物資を除去する放電処理装置、あるいは
光触媒により有害物質を除去する光触媒反応装置では、
以下のような問題があった。

【０００８】放電を利用した放電処理装置では、前述し
たように、放電によって発生したラジカル等の活性化学
種が流体中の窒素酸化物（ＮＯｘ）や、硫黄酸化物（Ｓ
Ｏｘ）、あるいはダイオキシン、揮発性有機物質に作用
してこれらの有害物質を化学反応により除去するもので
あるが、放電単独では除去できない有害物質や、放電に
より生成されたオゾン等の物質が存在し、これらの物質
はそのまま排出されてしまうという問題があった。

【０００９】一方、従来の光触媒の活性化（励起）には
自然光やランプ型光源のような人工光を使用するのが主
流である。自然光を光源として使用した場合、使用時に
おけるエネルギー消費が実質的にゼロという大きな利点
があるものの、自然光はエネルギー密度が低いため、光
触媒の設置面積が大きい、あるいは極低濃度物質や長期
間の反応時間をとれるといった限定された対象にしか適
用できないといった制約がある。

【００１０】また、人工光を光源として使用した場合、
光源に供給するエネルギーの低減が光触媒反応装置の実
用化を進める上で重要となる。

【００１１】すなわち、光源が消費するエネルギーの
内、化学反応に利用されるのは光触媒を励起しうる波長
に変換された光線のみであり、他は熱に変換されて排出
されてしまうため、これが電力効率の低下につながり消
費電力の増加の原因となっている。

【００１２】従って、人工光を使用する光触媒反応装置
の場合、光源が消費するエネルギーの利用効率向上が、
光触媒反応装置の実用化を進める上での大きな課題の一
つとなっていた。

【００１３】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、放電と各種触媒との関係を利用して効率的に有害物
質を除去することのできる有害物質処理装置を提供する
ことを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、請求項１では、有害物質を含む流体が
流入し、前記有害物質が処理された流体が排出される筐
体と、前記筐体内の流体に放電処理を行う放電部と、前
記流体中に含まれる有害物質を非有害物質に変化または
前記流体中に含まれる有害物質を除去する触媒部とを備
えたことを特徴としている。

【００１５】請求項２では、請求項１に記載の有害物質
処理装置において、前記触媒部は、前記放電部の放電に
より発生する光によって活性化される光触媒を持つ光触
媒部、前記放電部の放電により生成された活性化学種の
反応場として機能する触媒部、若しくは吸着作用を持つ
吸着触媒部のいずれかで、またはこれらの触媒部を組み
合わせて構成されることを特徴としている。

【００１６】請求項３では、請求項１または２に記載の
有害物質処理装置において、前記触媒部を構成する光触
媒部は、前記放電部の上流および／または下流に設けら
れることを特徴としている。

【００１７】請求項４では、請求項２または３に記載の
有害物質処理装置において、前記触媒部を構成する光触
媒部は、前記放電部の一部または全部を囲繞して配置さ
れることを特徴としている。

【００１８】請求項５では、請求項１乃至４のいずれか
に記載の有害物質処理装置において、前記触媒部を構成
する前記放電部の放電により生成された活性化学種の反
応場として機能する触媒部は、前記放電部の下流に配
置、または前記放電部の下流に配置された光触媒部の下
流に配置されることを特徴としている。

【００１９】請求項６では、請求項１乃至５の何れかに
記載の有害物質処理装置において、前記触媒部を構成す
る前記吸着触媒部は、前記放電部の上流および／または
下流に設けられ、前記放電部の上流に配置される場合に
あっては、光触媒部が配置されている場合には当該光触
媒部の上流に配置され、前記放電部の下流に配置される
場合にあっては、光触媒部が配置されている場合には当
該光触媒部の下流に配置されることを特徴としている。

【００２０】請求項７では、請求項１乃至６のいずれか
に記載の有害物質処理装置が、ダイオキシン類若しくは
ＮＯｘを処理する焼却炉排ガス処理システム、臭気成分
を処理する脱臭システム、または揮発性有機物質若しく
はＮＯｘを処理する工場プロセスガス処理システムに使
用されることを特徴としている。

【００２１】〈作用〉流体にパルス放電や沿面放電等の
放電技術により高速電子を照射すると、流体中に含まれ
る分子の一部がラジカル（遊離基）や分子イオン等の化
学的に活性な化学種を生じ、この活性化学種が有害物質
と反応してこの有害物質を除去する。生じた活性化学種
の多くは、数ミリ秒以内に消滅する非常に短命な化学種
であるが、温度や流体の組成等によっては、例えばオゾ
ンのような数秒以上の寿命を持つ比較的長命な活性化学
種が生じることがある。

【００２２】また、流体中で放電を行うと、励起された
分子による励起光や、発生した活性化学種による化学発
光等の発光現象が生じる。

【００２３】本発明では、放電によって生じた比較的長
命な活性化学種や発光現象等を、触媒によって有害物質
の処理に利用し、有害物質の処理効率を向上させる。

【００２４】すなわち、原子や分子等に高速電子を照射
すると、高速電子の衝突による分子の分解、電子付着に
よるイオン化等が生じ、化学的に活性な活性化学種が生
成される。生じた活性化学種は不安定であり、流体中に
含まれる有害物質と化学反応を起こして有害物質を除去
するが、このとき、生成された活性化学種の全てが必ず
しも有害物質と反応するわけではない。一部の活性化学
種は、流体中の分子や他の活性化学種と反応して、元の
活性化学種よりも寿命の長い準安定な活性化学種あるい
は安定な分子へと変化する。また、放電により生じた高
速電子のエネルギーは、活性化学種の生成のみに使われ
るわけではなく、一部は流体中の原子や分子を励起し
て、励起光の発生に使用される。これら準安定な活性化
学種や励起光の生成に使用された活性化学種、分子や原
子の励起に使われたエネルギーは、有害物質除去には寄
与していない。従って、放電により生じた準安定な活性
化学種や励起光を、触媒により有害物質処理に使用すれ
ば、有害物質の処理効率は向上する。また、発生した活
性化学種、あるいは活性化学種から生じる化学種が化学
反応を起こすとき、化学発光を生じるものもある。この
とき生じる化学発光も触媒により有害物質処理に使用す
れば、エネルギーの利用効率をさらに高めることができ
る。

【００２５】一例として、アセトアルデヒドやメタノー
ルといった炭化水素系の有害物質を含んだ大気中で放電
を行った場合、活性化学種が生成されて有害物質と化学
反応を起こして有害物質を除去するが、このとき、生じ
た活性化学種の一部は準安定なオゾンの生成にも使用さ
れる。オゾンは非常に酸化力の強い化学種であり有害物
質を酸化分解することができるが、通常、その反応時間
は非常に長く、ほとんどのオゾンは有害物質処理に使用
されることなく排出されてしまう。従って、オゾンと有
害物質の反応場となる触媒を配置することにより、未利
用であったオゾンを有害物質処理に利用することが可能
となる。また、大気中の放電では、ガス分子の励起によ
り励起光が発生する。この励起光は通常では有害物質処
理に使用されることがないが、放電部の周囲に光によっ
て活性化する触媒を配置することにより、未利用であっ
た励起光を触媒を活性化する光源として利用でき、有害
物質の処理を行うことができる。このことにより、今ま
で利用されることのなかったオゾンや励起光を、触媒に
よって有害物質処理に利用可能となり、有害物質の処理
効率が向上する。

【００２６】また、放電部の放電による有害物質処理単
独では処理し得ない物質の除去も可能となる。

【００２７】

【発明の実施の形態】〈本発明の原理的説明〉実施の形
態の説明に先立って、本発明を構成する各触媒がどのよ
うに有害物質を分解除去、あるいは吸着除去するかにつ
いて説明する。

【００２８】《光により励起される触媒部（光触媒
部）》図２９に示すように、有害物資を含んだ流体中で
放電が行われると、化学的に反応性に富んだ活性化学種
（ラジカル、分子イオン等）が生成され、この活性化学
種による化学反応によって流体中に含まれる有害物質が
処理される。一方、放電部より生じる光は、触媒（光触
媒）部を励起させ、触媒部表面において有害物質に化学
反応を生じさせて有害物質を除去する。これにより、放
電作用による処理と相俟って有害物質除去の処理効率が
より促進される。

【００２９】《活性化学種の反応場として機能する触媒
部（オゾン触媒部等）》図３０に示すように、有害物質
を含んだ流体中で放電が行われた場合、化学的に反応性
に富んだ活性化学種が生成され、この活性化学種による
化学反応により有害物質が処理されることは前述の通り
である。

【００３０】一方、放電部で生じた活性化学種のうち、
例えば、オゾンのような比較的長命な活性化学種は、触
媒部表面において有害物質と反応して、放電部で処理で
きなかった有害物質を確実に処理でき、処理効率が促進
される。

【００３１】《吸着作用を持つ触媒部（吸着触媒部）》
図３１に示すように、有害物質を含んだ流体中で放電が
行われた場合、化学的に反応性に富んだ活性化学種が生
成され、この活性化学種による化学反応により有害物質
が処理されることは前述した通りである。

【００３２】一方、吸着作用を持つ触媒（吸着触媒）部
は、有害物質を吸着することにより、放電部の有害物質
処理の負荷を低減させ、有害物質の処理効率を促進させ
る。触媒部による有害物質の吸着力が低い場合でも、放
電部で生じる化学的変化により、別な化学種に変化さ
せ、吸着力を高めることが可能である。

【００３３】本発明は、放電部と、光により活性化され
る触媒部、活性化学種の反応場として機能する触媒部、
および吸着作用を持つ触媒部の各触媒部とを組み合わせ
て最適な触媒環境を創設して流体中に含まれる有害物質
を効率的に処理するようにしたものである。

【００３４】〈実施の形態の説明〉次に本発明の実施形
態について、放電部と各触媒部との組み合わせ構成を中
心に説明する。

【００３５】《パルスコロナ放電＋光触媒部の例》図１
に示す有害物質処理装置１は、入口２Ａから有害物質を
含んだ流体３Ａ（それ自体が反応物質であるか、または
反応物質を含んでいる）を導入するとともに、有害物を
除去した後の流体３Ｂを出口２Ｂから排出する筐体２
と、この筐体２のほぼ中央部に流体３Ａの流れ方向にほ
ぼ直角に配置されて放電部として機能する棒状の高電圧
端子４と、この高電圧端子４の下流側に配置された光触
媒部５と、高電圧端子４に配線６を介してパルス電圧を
印加して高電圧端子４と、筐体２間でパルスコロナ放電
を発生させる電源部７とを備えている。

【００３６】この場合、筐体２は、導電体部材で筒状に
形成されており、かつ外表面は接地されている。そし
て、前記高圧端子４との間でパルスコロナ放電による高
速電子８が生成されると、この放電作用により化学的に
反応性に富んだ活性化学種（ラジカル、分子イオン等）
が生成され、この活性化学種による化学反応によって流
体３Ａに含まれる有害物質が除去される。

【００３７】また、光触媒部５は、光触媒担持体と、こ
の光触媒担持体に担持された酸化チタン、酸化亜鉛また
は硫化カドミウムを主成分とする光触媒とから構成され
ている。光触媒担持体としては、図１に示すものは、流
体３Ａを良く流通させる平板の網目状のものが使用さ
れ、この網目の周囲に光触媒が担持される構成となって
いる。なお、光触媒担持体としては、平板網目状のもの
だけでなく、高速電子８の周囲に配置され、流体３Ａを
通過させることが可能な構造であればよく、例えば、格
子状や、鎧戸状、スポンジ状、線状、充填層等の構造で
あっても構わない。また、反応用物質によっては光触媒
反応促進のために、前述した酸化チタン、酸化亜鉛また
は硫化カドミウム等の光触媒とともに、白金、金、およ
びこれらの金属とその遷移元素との合金から選ばれる少
なくとも１種類を含む化合物を担持させてもよい。

【００３８】以上の構成において、電源部７から配線６
を介して高電圧パルスが高電圧端子４に印加されると、
この高電圧端子４と筐体２との間でパルスコロナ放電が
発生して高速電子８が生成される。この高速電子８によ
り、流体３Ａに含まれている分子と、照射される電子と
の衝突や付着が引き起こされ、このときラジカルや分子
イオンといった活性化学種が生成される。これら活性化
学種は流体３Ａ中に含まれる有害物質と化学反応を起こ
して流体中から有害物質を除去する作用をする。

【００３９】また、コロナ放電による発生した高速電子
により流体３Ａに含まれる分子や原子が励起され、励起
光が発生する。そして、この励起光により光触媒部５が
活性化され、流体中に含まれる有害物質と化学反応を生
じさせて有害物質を除去する。また、流体３Ａに含まれ
ている物質によっては、発光を伴う化学反応が生じるこ
ともあるが、この時の化学発光が光触媒を励起しうる波
長である場合には、この化学発光もまた光触媒の励起に
使用される。

【００４０】このように、放電部により有害物質が分解
除去されるとともに、放電によって分解除去されなかっ
た有害物質は光触媒部５によって確実に分解除去するこ
とができる。

【００４１】《パルスコロナ放電＋オゾン触媒部》図２
に示す有害物質処理装置１の特徴は、図１に示す装置の
光触媒部５に代えてオゾン触媒部９を設けた点にあり、
その他の構成は図１に示した有害物質処理装置１と同じ
である。

【００４２】上記構成において、上述したようにパルス
コロナ放電により生成された高速電子８によってラジカ
ルや分子イオンといった活性化学種が生成され、これら
活性化学種が流体３Ａ中に含まれる有害物質と化学反応
を起こして流体中から有害物質を除去する作用をする。

【００４３】また、放電によって、比較的長命ないわゆ
る準安定化学種であるオゾン等が発生する。このオゾン
は流体３Ａによってオゾン触媒部９に輸送され、オゾン
触媒部９に接触、あるいは接近、付着する。これによ
り、オゾン触媒を反応場として有害物質と化学反応を生
じさせ、放電部で処理できなかった有害物質を確実に処
理することができる。

【００４４】《パルスコロナ放電＋吸着触媒部》図３に
示す有害物質処理装置１の特徴は、図１に示す装置の光
触媒部５に代えて吸着触媒部１０を設けた点にあり、そ
の他の構成は図１に示した有害物質処理装置１と同じで
ある。この場合、吸着触媒部１０としては、活性炭系の
触媒などがある。

【００４５】上記構成において、上述したようにパルス
コロナ放電により生成された高速電子８によってラジカ
ルや分子イオンといった活性化学種が生成され、これら
活性化学種が流体３Ａ中に含まれる有害物質と化学反応
を起こして流体中から有害物質を除去する作用をする。

【００４６】また、放電によって、比較的長命ないわゆ
る準安定化学種であるオゾン等が発生する。吸着触媒部
１０は、このオゾンや、放電部で取り除くことのできな
かった有害物質を吸着作用によって取り除いて流体３Ｂ
として筐体外に排出する。これにより、放電作用による
処理と相俟って有害物質除去の処理効率がより促進され
る。

【００４７】《パルスコロナ放電＋光触媒部＋オゾン触
媒部》図４に示す有害物質処理装置１の特徴は、図１に
示す装置の光触媒部５の下流側に図２に示したと同様の
オゾン触媒部９を加えた点にあり、その他の構成は図１
に示した有害物質処理装置１と同じである。

【００４８】以上の構成において、上述したようにパル
スコロナ放電により生成された高速電子８によってラジ
カルや分子イオンといった活性化学種が生成され、これ
ら活性化学種が流体３Ａ中に含まれる有害物質と化学反
応を起こして流体中から有害物質を除去する作用をす
る。

【００４９】また、前述したように、コロナ放電による
発生した高速電子により流体３Ａに含まれる分子や原子
が励起され、励起光が発生し、この励起光により光触媒
部５が活性化され、流体中に含まれる有害物質と化学反
応を生じさせて有害物質が除去される。また、流体３Ａ
に含まれている物質によっては、発光を伴う化学反応が
生じることもあるが、この時の化学発光が光触媒を励起
しうる波長である場合には、この化学発光もまた光触媒
の励起に使用される。

【００５０】さらに、放電によって、比較的長命ないわ
ゆる準安定化学種であるオゾン等が発生し、このオゾン
が流体３Ａによってオゾン触媒部９に輸送され、オゾン
触媒部９に接触、あるいは接近、付着する。これによ
り、オゾン触媒を反応場として有害物質と化学反応を生
じさせ、放電部や、光触媒部５で処理できなかった有害
物質を確実に処理することができる。

【００５１】《パルスコロナ放電＋光触媒部＋吸着触媒
部》図５に示す有害物質処理装置１の特徴は、図１に示
す装置の光触媒部５の下流側に図３に示したと同様の吸
着触媒部１０を加えた点にあり、その他の構成は図１に
示した有害物質処理装置１と同じである。

【００５２】以上の構成において、上述したようにパル
スコロナ放電により生成された高速電子８によってラジ
カルや分子イオンといった活性化学種が生成され、これ
ら活性化学種が流体３Ａ中に含まれる有害物質と化学反
応を起こして流体中から有害物質を除去する作用をす
る。

【００５３】また、前述したように、コロナ放電による
発生した高速電子により流体３Ａに含まれる分子や原子
が励起され、励起光が発生し、この励起光により光触媒
部５が活性化され、流体中に含まれる有害物質と化学反
応を生じさせて有害物質が除去される。また、流体３Ａ
に含まれている物質によっては、発光を伴う化学反応が
生じることもあるが、この時の化学発光が光触媒を励起
しうる波長である場合には、この化学発光もまた光触媒
の励起に使用される。

【００５４】さらに、前述したように、コロナ放電によ
って生成されたオゾンや、放電部や光触媒部５で取り除
くことのできなかった有害物質が吸着触媒部１０のを吸
着作用によって取り除かれて流体３Ｂとして筐体外に排
出される。これにより、放電作用および光触媒作用によ
る処理と相俟って有害物質除去の処理効率がより促進さ
れる。

【００５５】《パルスコロナ放電＋オゾン触媒部＋吸着
触媒部》図６に示す有害物質処理装置１の特徴は、図１
に示す装置の光触媒部５に代えて図２および図３に示し
たと同様のオゾン触媒部９および吸着触媒部１０を設け
た点にあり、その他の構成は図１に示した有害物質処理
装置１と同じである。

【００５６】以上の構成において、上述したようにパル
スコロナ放電により生成された高速電子８によってラジ
カルや分子イオンといった活性化学種が生成され、これ
ら活性化学種が流体３Ａ中に含まれる有害物質と化学反
応を起こして流体中から有害物質を除去する作用をす
る。

【００５７】また、放電によって、比較的長命ないわゆ
る準安定化学種であるオゾン等が発生し、このオゾンが
流体３Ａによってオゾン触媒部９に輸送され、オゾン触
媒部９に接触、あるいは接近、付着する。これにより、
オゾン触媒を反応場として有害物質と化学反応を生じさ
せ、放電部や、光触媒部５で処理できなかった有害物質
を確実に処理することができる。

【００５８】さらに、前述したように、コロナ放電によ
って生成され、オゾン触媒部９で利用されなかった不要
なオゾンや、有害物質が吸着触媒部１０の吸着作用によ
って取り除かれて流体３Ｂとして筐体外が排出される。
これにより、放電作用および光触媒作用による処理と相
俟って有害物質除去の処理効率がより促進される。

【００５９】《パルスコロナ放電＋吸着触媒部＋オゾン
触媒部》図７に示す示す有害物質処理装置１の特徴は、
図１に示す装置の光触媒部５に代えて、図６に示した装
置と逆順に、放電部の下流に吸着触媒部１０と、オゾン
触媒部９とを設けた点にあり、その他の構成は図１、図
６に示した有害物質処理装置１と同じである。

【００６０】以上の構成において、上述したようにパル
スコロナ放電により生成された高速電子８によってラジ
カルや分子イオンといった活性化学種が生成され、これ
ら活性化学種が流体３Ａ中に含まれる有害物質と化学反
応を起こして流体中から有害物質を除去する作用をす
る。

【００６１】また、前述したように、コロナ放電によっ
て生成され、不要なオゾンや、有害物質が吸着触媒部１
０の吸着作用によって取り除かれる。

【００６２】さらに、この吸着触媒部１０で吸着されな
かったオゾンや有害物質は流体３Ａによってオゾン触媒
部９に輸送され、オゾン触媒部９に接触、あるいは接
近、付着する。これにより、オゾン触媒を反応場として
有害物質と化学反応を生じさせ、放電部や、吸着触媒部
１０で処理できなかった有害物質を確実に処理して流体
３Ｂとして筐体外に排出することができる。

【００６３】《パルスコロナ放電＋光触媒部＋オゾン触
媒部＋吸着触媒部》図８に示す有害物質処理装置１の特
徴は、図１に示す装置の光触媒部５の下流側に図３およ
び図４に示したと同様のオゾン触媒部９および吸着触媒
部１０を加えた点にあり、その他の構成は図１に示した
有害物質処理装置１と同じである。

【００６４】以上の構成において、上述したようにパル
スコロナ放電により生成された高速電子８によってラジ
カルや分子イオンといった活性化学種が生成され、これ
ら活性化学種が流体３Ａ中に含まれる有害物質と化学反
応を起こして流体中から有害物質を除去する作用をす
る。

【００６５】また、前述したように、コロナ放電による
発生した高速電子により流体３Ａに含まれる分子や原子
が励起され、励起光が発生し、この励起光により光触媒
部５が活性化され、流体中に含まれる有害物質と化学反
応を生じさせて有害物質が除去される。また、流体３Ａ
に含まれている物質によっては、発光を伴う化学反応が
生じることもあるが、この時の化学発光が光触媒を励起
しうる波長である場合には、この化学発光もまた光触媒
の励起に使用される。

【００６６】さらに、放電によって、比較的長命ないわ
ゆる準安定化学種であるオゾン等が発生し、このオゾン
が流体３Ａによってオゾン触媒部９に輸送され、オゾン
触媒部９に接触、あるいは接近、付着する。これによ
り、オゾン触媒を反応場として有害物質と化学反応を生
じさせ、放電部や、光触媒部５で処理できなかった有害
物質を確実に処理することができる。

【００６７】さらに、前述したように、コロナ放電によ
って生成され、オゾン触媒部９で利用されなかった不要
なオゾンや、放電部、光触媒部５およびオゾン触媒部９
で処理されなかった有害物質が吸着触媒部１０の吸着作
用によって取り除かれて流体３Ｂとして筐体外に排出さ
れる。これにより、放電作用、オゾン分解作用および光
触媒作用による処理と相俟って有害物質除去の処理効率
をより促進することができる。

【００６８】《パルスコロナ放電＋吸着触媒部＋オゾン
触媒部＋吸着触媒部》図９に示す有害物質処理装置１の
特徴は、図１に示す装置の光触媒部５に代えて、第１吸
着触媒部１０Ａ、オゾン触媒部９、および第２吸着触媒
部１０Ｂを設けた点にあり、その他の構成は図１に示し
た有害物質処理装置１と同じである。

【００６９】上記構成において、上述したようにパルス
コロナ放電により生成された高速電子８によってラジカ
ルや分子イオンといった活性化学種が生成され、これら
活性化学種が流体３Ａ中に含まれる有害物質と化学反応
を起こして流体中から有害物質を除去する作用をする。

【００７０】また、放電によって、比較的長命ないわゆ
る準安定化学種であるオゾン等が発生する。第１吸着触
媒部１０Ａは、このオゾンや、放電部で取り除くことの
できなかった有害物質を吸着作用によって取り除く。

【００７１】また、第１吸着触媒部１０Ａで吸着されな
かったオゾンは流体３Ａによってオゾン触媒部９に輸送
され、オゾン触媒を反応場として有害物質と化学反応を
生じさせ、放電部や、第１吸着触媒部１０Ａで処理でき
なかった有害物質を確実に処理する。

【００７２】さらに、オゾン触媒部９で利用されなかっ
た不要なオゾンや、処理されなかった有害物質が第２吸
着触媒部１０Ｂの吸着作用によって取り除かれて流体３
Ｂとして筐体外に排出される。これにより、放電作用、
第１の吸着作用およびオゾン分解作用による処理と相俟
って有害物質除去の処理効率をより一層促進することが
できる。

【００７３】《沿面放電＋光触媒部》図１０に示す有害
物質処理装置１の特徴は、図１に示す装置のコロナ放電
部を沿面放電部１４に代えた点にある。

【００７４】この場合、沿面放電部１４は、電極１２
と、この電極１２に対してほぼ直角方向に設けれた誘電
体の平板１３で構成されている。また、配線１６を介し
て電極１２に高圧の交流用電源部１７が接続されてい
る。

【００７５】上記の構成によれば、図１に示した有害物
質処理装置１と全く同じ作用効果を奏するとともに、放
電部を沿面放電部１４としたので、装置構成をコンパク
トにすることができるという効果を奏する。

【００７６】《沿面放電＋光触媒部＋オゾン触媒部》図
１１に示す有害物質処理装置１の特徴１０は、図４に示
す装置のコロナ放電部を沿面放電部１４に代えた点にあ
る。

【００７７】上記の構成によれば、図４に示した有害物
質処理装置１と全く同じ作用効果を奏するとともに、放
電部を沿面放電部１４としたので、装置構成をコンパク
トにすることができるという効果を奏する。

【００７８】《沿面放電＋光触媒部＋吸着触媒部》図１
２に示す有害物質処理装置１の特徴は、図５に示す装置
のコロナ放電部を沿面放電部１４に代えた点にある。

【００７９】上記の構成によれば、図５に示した有害物
質処理装置１と全く同じ作用効果を奏するとともに、放
電部を沿面放電部１４としたので、装置構成をコンパク
トにすることができるという効果を奏する。

【００８０】《沿面放電＋オゾン触媒部＋吸着触媒部》
図１３に示す有害物質処理装置１は、図６に示す装置の
コロナ放電部を沿面放電部１４に代えた点にある。

【００８１】上記の構成によれば、図６に示した有害物
質処理装置１と全く同じ作用効果を奏するとともに、放
電部を沿面放電部１４としたので、装置構成をコンパク
トにすることができるという効果を奏する。

【００８２】《沿面放電＋吸着触媒部＋オゾン触媒部》
図１４に示す有害物質処理装置１は、図７に示す装置の
コロナ放電部を沿面放電部１４に代えた点にある。

【００８３】上記の構成によれば、図７に示した有害物
質処理装置１と全く同じ作用効果を奏するとともに、放
電部を沿面放電部１４としたので、装置構成をコンパク
トにすることができるという効果を奏する。

【００８４】《沿面放電＋光触媒部＋オゾン触媒部＋吸
着触媒部》図１５に示す有害物質処理装置１は、図８に
示す装置のコロナ放電部を沿面放電部１４に代えた点に
ある。

【００８５】上記の構成によれば、図８に示した有害物
質処理装置１と全く同じ作用効果を奏するとともに、放
電部を沿面放電部１４としたので、装置構成をコンパク
トにすることができるという効果を奏する。

【００８６】《沿面放電＋吸着触媒部＋オゾン触媒部＋
吸着触媒部》図１６に示す有害物質処理装置１は、図９
に示す装置のコロナ放電部を沿面放電部１４に代えた点
にある。

【００８７】上記の構成によれば、図９に示した有害物
質処理装置１と全く同じ作用効果を奏するとともに、放
電部を沿面放電部１４としたので、装置構成をコンパク
トにすることができるという効果を奏する。

【００８８】《光触媒部＋パルスコロナ放電》図１７に
示す有害物質処理装置１は、パルスコロナ放電部の上流
側に光触媒部５を設けた点にある。

【００８９】前述したように、光触媒部５は、放電部か
ら励起光等によって活性化されるため、放電部の周囲に
あって励起光に反応できる範囲にあれば、放電部の上
流、下流に限定されるものではない。

【００９０】したがって、上記構成によれば、図１に示
した有害物質処理装置１と全く同じ作用効果を奏する。

【００９１】《光触媒部＋パルスコロナ放電＋光触媒
部》図１８に示す有害物質処理装置１の特徴は、放電部
の上流側に配置された第１光触媒部５Ａに加えて放電部
の下流側にも第２光触媒部５Ｂを設けた点にある。

【００９２】上記構成によれば、光触媒部が放電部の上
流、下流に設けられているので、放電作用によって発生
した励起光や化学発光を有効に利用でき、少ないエネル
ギー消費であっても有害物質の処理効率の向上を図れ
る。

【００９３】《光触媒部＋沿面放電》図１９に示す有害
物質処理装置１は、図１７に示した装置のパルスコロナ
放電部を沿面放電部１４に代えた点にある。

【００９４】上記の構成によれば、図１７に示した有害
物質処理装置１と全く同じ作用効果を奏するとともに、
放電部を沿面放電部１４としたので、装置構成をコンパ
クトにすることができるという効果を奏する。

【００９５】《光触媒部＋沿面放電＋光触媒部》図２０
に示す有害物質処理装置１は、図１８に示した装置のパ
ルスコロナ放電部を沿面放電部１４に代えた点にある。

【００９６】上記の構成によれば、図１８に示した有害
物質処理装置１と全く同じ作用効果を奏するとともに、
放電部を沿面放電部１４としたので、装置構成をコンパ
クトにすることができるという効果を奏する。

【００９７】〈光触媒を使用した他の配置構成例〉前述
したように、光触媒部は、放電部で生成された励起光や
化学発光を利用できる範囲であれば、放電部の一部また
は全部を囲繞して配置することができる。図２１に示す
有害物質処理装置１は、開口部から有害物質を含む流体
３Ａを吐露込む円筒状の筐体２と、この筐体２内で流体
３Ａの流れ方向に沿って中心軸付近に配置された高電圧
端子４と、筐体内面の全面または一部の面に塗布された
光触媒２１とを備え、電源部７から高圧のパルス電圧が
高電圧端子４に印加されると、高電圧端子４と筐体２と
の間でパルスコロナ放電が発生する。このとき、この放
電により発生した光によって筐体内面に塗布されている
光触媒２１が活性化され、筐体２内を通過する流体３Ａ
中に含まれる有害物質を処理する。

【００９８】このように、流体３Ａの流れと並行方向に
光触媒２１を設けることにより、放電部で発生する光が
効率よく光触媒２１に吸収され、この光触媒２１を効率
よく活性化することができる。また、上記構成によれ
ば、流体３Ａの流れを遮蔽するものが無いので、流体３
Ａに生じる圧力損失を、低く抑えることができ、処理効
率がより向上する。

【００９９】図２２に示す有害物質処理装置１は、平板
状に形成された光触媒部５を所定の間隔を持って複数段
積層し、各光触媒部５間に放電部２２を設けた構成であ
る。

【０１００】この場合、光触媒部５は、ハニカム構造の
ような流体３Ａを通過させることができる構造であり、
流体３Ａの流れ方向に対して垂直に積層配置されてい
る。また、各光触媒部５間には、図示していないが、複
数本の高電圧端子と接地電極を挿入しており、高電圧端
子と接地電極間でパルス放電を発生させ、このパルス放
電によって光触媒が活性化されるようになっている。

【０１０１】上記構成によれば、複数段の光触媒部５と
放電部２２との相互作用により、コンパクトな装置構成
であったも効率の良い処理が可能となる。

【０１０２】図２３に示す有害物質処理装置１は、筐体
２内に、流体３Ａの流れに垂直な方向に２つの高電圧端
子２３，２３を設けるとともに、これらの高電圧願意２
５を囲むように、平板状の第１光触媒部５Ａ、第２光触
媒部５Ｂ、および第３光触媒部５Ｃを配置したものであ
る。

【０１０３】この場合、高電圧端子２３は、絶縁部２４
を介して筐体２に取り付けられるとともに、高電圧端子
２３を取り囲む円筒状の接地電極２５が配置され、この
接地電極２５と高電圧端子２３間でパルスコロナ放電が
発生するようになっている。

【０１０４】上記の構成によっても、コンパクトな装置
でありながら処理効率の向上を図ることが可能となる。

【０１０５】図２４に示す有害物質処理装置１は、筐体
２内に、流体３Ａの流れに垂直な方向に２つの高電圧端
子２３，２３を設けるとともに、高電圧端子２３を中心
としてその周囲を囲むように、円筒状の第１円筒状光触
媒部２６Ａ、第２円筒状光触媒部２６Ｂを配置したもの
である。この場合、第１、第２の各円筒状光触媒部２６
Ａ，２６Ｂの内面には、金網状またはスパイラル形状の
接地電極を配置している。

【０１０６】このように、図１や図１０、図１７、１８
等に例示した光触媒部５を用いた実施形態では、流体の
上流側または下流側に照射される放電光しか触媒の活性
化に利用できないのに対して、図２４に示した実施の形
態では、高電圧端子２３の全周を光触媒部２６Ａ，２６
Ｂで囲んでいるため、より多くの放電光を触媒の活性化
に利用できる。また、図２１に例示した光触媒部５を用
いた実施形態では、流体は光触媒部５の表面を通過する
のに対し、図２４に示した実施形態では、流体は光触媒
部５内部を通過する。このため、流体と光触媒部５との
接触効率が高まり、光触媒部での処理効率が更に向上す
る。

【０１０７】〈さらに他の実施形態〉以上の光触媒を使
用した各実施形態において、筐体２は密閉系でも開放系
でもよく、流体３Ａの漏洩を考慮する必要がなければ、
上面や側面、あるいは全面を開放していても構わない。

【０１０８】また、光触媒部の例も上記の実施形態に限
定されるものではなく、放電部から発生する高速電子８
の周囲に配置され、流体３Ａを通過させることが可能な
構造であればよく、例えば、格子状や、鎧戸状、スポン
ジ状、線状、網状、充填層等種々の構造のものが考えら
れる。また、流体３Ａが液体または粘性流体等である場
合には光触媒そのものを流体中に懸濁させても良い。

【０１０９】また、光触媒は、活性成分として、例えば
酸化チタン、あるいは酸化亜鉛、あるいは硫化カドミウ
ムを主成分としたものが適用される。また、強度向上や
成形等の目的で、前記活性成分を、光触媒担持体に担持
させてもよい。この場合、反応用物質によっては光触媒
反応促進のために、これらの光触媒とともに、白金、
金、およびこれらの金属とその遷移元素との合金から選
ばれる少なくとも１種類を含む化合物を担持させてもよ
い。

【０１１０】らを組み合わせた電源が適用される。

【０１１１】さらに、以上の各実施の形態において、筐
体２内に配置される触媒部として、放電部の上流（放電
部に上流に光触媒部が配置されている場合には、その光
触媒部の上流）に吸着触媒部１０を配置しておき、筐体
２内に流入する有害物質を含む流体３Ａ中から吸着触媒
部１０で吸着できる有害物質を最初に除去しておき、そ
の後に放電処理あるいは光触媒処理等に移行するように
構成しても良い。

【０１１２】また、以上の各実施の形態において、流体
３Ａは、筐体１内を常時流通させていてもよく、あるい
は、流通、停止を繰り返しても構わない。例えば、筐体
２内に一度流体３Ａを満たし、一定時間経過後に取り出
すといった、いわゆるバッチ式処理の形態でもよい。ま
た、流体３Ａと光触媒との接触を促すため、自然対流や
強制対流といった手法を取ってもよい。

【０１１３】また、放電部に使用する電源部７はパルス
電源、電源部１７は交流電源を用いたが、直流電源や高
周波電源、あるいは、これらを組み合わせた電源のいず
れかであっても良い。

【０１１４】以上の各実施の形態で説明した有害物質処
理装置１は、ダイオキシン類若しくはＮＯｘを処理する
焼却炉排ガス処理システム、臭気成分を処理する脱臭シ
ステム、または揮発性有機物質若しくはＮＯｘを処理す
る工場プロセスガス処理システムに使用されて有効なも
のである。

【０１１５】

【実施例】次に、本発明の実施例を図２５乃至図２８を
参照しつつ説明する。なお、以下の実施例において、処
理率は、次のように定義される。

【０１１６】

【数１】処理率（％）＝｛（初期濃度−出口濃度）／初
期濃度｝×１００ 《アセトアルデヒド処理例》比較例１、比較例２、実施
例１について、アセトアルデヒドの処理率を調べた。な
お、この試験において、比較例１は放電部（パルスコロ
ナ放電）のみ、比較例２は光触媒部のみ、実施例１は放
電部＋光触媒部（図２に示す有害物質処理装置を使用）
である。表１に、その時の試験条件を示す。

【０１１７】

【表１】 図２５は、上記試験で得られたアセトアルデヒドの処理
率を示している。図からも理解されるように、アセトア
ルデヒドの処理率は、比較例１では５０％、比較例２で
は２％であったのに対して、実施例１では９０％もの高
い処理率を示した。

【０１１８】《ＮＯｘ処理例》比較例１、比較例２、実
施例１、実施例２について、ＮＯｘの処理率を調べた。
なお、この試験において、比較例１は放電部（パルスコ
ロナ放電）のみ、比較例２は光触媒部のみ、実施例１は
放電部＋光触媒部（図２に示す有害物質処理装置を使
用）、実施例２は第１光触媒部＋放電部＋第２光触媒部
（図１８に示す有害物質処理装置を使用）である。表２
に、その時の試験条件を示す。

【０１１９】

【表２】 図２６は、上記試験で得られたＮＯｘの処理率を示して
いる。図からも理解されるように、ＮＯｘの処理率は、
比較例１では５０％、比較例２では２％であったのに対
して、実施例１では７０％、実施例２では９０％もの高
い処理率を示した。

【０１２０】《硫化水素処理例》比較例１、実施例１、
実施例２、実施例３について、硫化水素の処理率を調べ
た。なお、この試験において、比較例１は放電部（パル
スコロナ放電）のみ、実施例１は放電部＋光触媒部（図
２に示す有害物質処理装置を使用）、実施例２は放電部
＋光触媒部＋ゼオライト系触媒部（図４に示す有害物質
処理装置と同様の装置を使用）、実施例３は放電部＋光
触媒部＋ゼオライト系触媒部＋（活性炭系）吸着触媒部
（図８（沿面放電の場合は図１５）に示した有害物質処
理装置と同様の装置を使用）である。表３に、その時の
試験条件を示す。

【０１２１】

【表３】 図２７は、上記試験で得られた硫化水素の処理率を示し
ている。図からも理解されるように、流化水素の処理率
は、比較例１では５０％であったのに対して、実施例１
では８５％、実施例２では９５％、実施例３では１００
％という極めて高い処理率を示した。

【０１２２】また、この硫化水素の処理率については、
放電部をパルスコロナ放電から沿面放電に代えた場合に
ついても試験を行ったが、図２７とほぼ同じ結果を得る
ことができた。表４に沿面放電時（硫化水素処理例２）
の試験条件を示す。

【０１２３】

【表４】 《オゾン処理例》比較例１、比較例２、実施例１につい
て、残存するオゾン量（ｐｐｍ）を調べた。なお、この
試験において、比較例１は放電部（パルスコロナ放電）
のみ、比較例２は放電部＋光触媒部、実施例１は放電部
＋光触媒部＋オゾン触媒部（図４（沿面放電の場合は図
１１）に示す有害物質処理装置を使用）である。表５
に、その時の試験条件を示す。

【０１２４】

【表５】 図２８は、上記試験で得られた残存オゾン量（ｐｐｍ）
を示している。図からも理解されるように、残存オゾン
量は、比較例１では９５ｐｐｍであり、比較例２では、
１０ｐｐｍであったのに対して、実施例１では残存する
オゾン量は０であり、極めて高いオゾン処理率を示し
た。

【０１２５】また、残存オゾン量についても、放電部を
パルスコロナ放電から沿面放電に代えた場合について試
験を行ったが、図２８とほぼ同じ結果を得ることができ
た。表６に沿面放電時（オゾン処理例２）の試験条件を
示す。

【０１２６】

【表６】

【０１２７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、放
電と各種触媒との関係を利用して効率的に有害物質を除
去することのできる有害物質処理装置を提供することが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る有害物質処理装置の実施形態の構
成例（パルスコロナ放電＋光触媒部）を模式的に示す説
明図である。

【図２】本発明に係る有害物質処理装置の他の実施形態
の構成例（パルスコロナ放電＋オゾン触媒部）を模式的
に示す説明図である。

【図３】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の実
施形態の構成例（パルスコロナ放電＋吸着触媒部）を模
式的に示す説明図である。

【図４】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の実
施形態の構成例（パルスコロナ放電＋光触媒部＋オゾン
触媒部）を模式的に示す説明図である。

【図５】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の実
施形態の構成例（パルスコロナ放電＋光触媒部＋吸着触
媒部）を模式的に示す説明図である。

【図６】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の実
施形態の構成例（パルスコロナ放電＋オゾン触媒部＋吸
着触媒部）を模式的に示す説明図である。

【図７】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の実
施形態の構成例（パルスコロナ放電＋吸着触媒部＋オゾ
ン触媒部）を模式的に示す説明図である。

【図８】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の実
施形態の構成例（パルスコロナ放電＋光触媒部＋オゾン
触媒部＋吸着触媒部）を模式的に示す説明図である。

【図９】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の実
施形態の構成例（パルスコロナ放電＋吸着触媒部＋オゾ
ン触媒部＋吸着触媒部）を模式的に示す説明図である。

【図１０】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（沿面放電＋光触媒部）を模式的に示
す説明図である。

【図１１】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（沿面放電＋光触媒部＋オゾン触媒
部）を模式的に示す説明図である。

【図１２】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（沿面放電＋光触媒部＋吸着触媒部）
を模式的に示す説明図である。

【図１３】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（沿面放電＋オゾン触媒部＋吸着触媒
部）を模式的に示す説明図である。

【図１４】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（沿面放電＋吸着触媒部＋オゾン触媒
部）を模式的に示す説明図である。

【図１５】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（沿面放電＋光触媒部＋オゾン触媒部
＋吸着触媒部）を模式的に示す説明図である。

【図１６】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（沿面放電＋吸着触媒部＋オゾン触媒
部＋吸着触媒部）を模式的に示す説明図である。

【図１７】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（光触媒部＋パルスコロナ放電）を模
式的に示す説明図である。

【図１８】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（光触媒部＋パルスコロナ放電＋光触
媒部）を模式的に示す説明図である。

【図１９】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（光触媒部＋沿面放電）を模式的に示
す説明図である。

【図２０】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態の構成例（光触媒部＋沿面放電＋光触媒部）を
模式的に示す説明図である。

【図２１】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態である光触媒部の配置構成例を模式的に示す説
明図である。

【図２２】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態である光触媒部の配置構成例を模式的に示す説
明図である。

【図２３】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態である光触媒部の配置構成例を模式的に示す説
明図である。

【図２４】本発明に係る有害物質処理装置のさらに他の
実施形態である光触媒部の構成例を模式的に示す説明図
である。

【図２５】本発明に係る有害物質処理装置の実施例であ
るアセトアルデヒド処理例を示す説明図である。

【図２６】本発明に係る有害物質処理装置の実施例であ
るＮＯｘ処理例を示す説明図である。

【図２７】本発明に係る有害物質処理装置の実施例であ
る硫化水素処理を示す説明図である。

【図２８】本発明に係る有害物質処理装置の実施例であ
るオゾン処理例を示す説明図である。

【図２９】本発明に係る有害物質処理装置に適用される
光により励起される触媒部の原理を示す説明図である。

【図３０】本発明に係る有害物質処理装置に適用される
活性化学種の反応場として機能する触媒部の原理を示す
説明図である。

【図３１】本発明に係る有害物質処理装置に適用される
吸着作用を持つ触媒部の原理を示す説明図である。

【図３２】放電により有害物質を処理する原理を示す説
明図である。

【符号の説明】

１ 有害物質処理装置 ２ 筐体 ２Ａ 入口 ２Ｂ 出口 ３Ａ 流体（有害物質除去前） ３Ｂ 流体（有害物質除去後） ４ 高電圧端子 ５ 光触媒部 ５Ａ 第１光触媒部 ５Ｂ 第２光触媒部 ６ 配線 ７ 電源部（パルス電源） ８ 高速電子 ９ オゾン触媒部 １０ 吸着触媒部 １０Ａ 第１吸着触媒部 １０Ｂ 第２吸着触媒部 ９ 励起用流体 １２ 電極 １３ 平板 １４ 沿面放電部 １５ 高速電子 １６ 配線 １７ 電源部（ＡＣ電源） ２１ 光触媒 ２２ 放電部 ２３ 高電圧端子 ２４ 絶縁部 ２５ 接地電極 ２６Ａ 第１円筒状光触媒部 ２６Ｂ 第２円筒状光触媒部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｊ 21/06 Ｂ０１Ｄ 53/36 ＺＡＢＧ 35/02 １０１Ａ (72)発明者 安井 祐之 神奈川県横浜市鶴見区末広町２丁目４番地 株式会社東芝京浜事業所内 Ｆターム(参考） 2E191 BA15 BD13 BD17 4D048 AA06 AA11 AA17 AA19 AA22 AB01 AB03 BA05X BA07X BA11X BA16Y BA41X BA46Y BB01 BB02 CC32 CC38 CC44 EA01 EA03 EA04 4G069 AA03 BA04B BA07B BA08B BA48A CA07 CA10 CA13 CA15 CA17 CA19 DA06 EA01Y EA18 4G075 AA37 BA05 BA08 BB04 CA15 CA18 CA32 CA54 EB01

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 有害物質を含む流体が流入し、前記有害
   物質が処理された流体が排出される筐体と、 前記筐体内の流体に放電処理を行う放電部と、 前記流体中に含まれる有害物質を非有害物質に変化また
   は前記流体中に含まれる有害物質を除去する触媒部と、 を備えたことを特徴とする有害物質処理装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の有害物質処理装置にお
   いて、 前記触媒部は、前記放電部の放電により発生する光によ
   って活性化される光触媒を持つ光触媒部、前記放電部の
   放電により生成された活性化学種の反応場として機能す
   る触媒部、若しくは吸着作用を持つ吸着触媒部のいずれ
   かで、またはこれらの触媒部を組み合わせて構成され
   る、 ことを特徴とする有害物質処理装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の有害物質処理
   装置において、 前記触媒部を構成する光触媒部は、前記放電部の上流お
   よび／または下流に設けられる、 ことを特徴とする有害物質処理装置。
4. 【請求項４】 請求項２または３に記載の有害物質処理
   装置において、 前記触媒部を構成する光触媒部は、前記放電部の一部ま
   たは全部を囲繞して配置される、 ことを特徴とする有害物質処理装置。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載の有害
   物質処理装置において、 前記触媒部を構成する前記放電部の放電により生成され
   た活性化学種の反応場として機能する触媒部は、前記放
   電部の下流に配置、または前記放電部の下流に配置され
   た光触媒部の下流に配置される、 ことを特徴とする有害物質処理装置。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５の何れかに記載の有害物
   質処理装置において、 前記触媒部を構成する前記吸着触媒部は、前記放電部の
   上流および／または下流に設けられ、 前記放電部の上流に配置される場合にあっては、光触媒
   部が配置されている場合には当該光触媒部の上流に配置
   され、 前記放電部の下流に配置される場合にあっては、光触媒
   部が配置されている場合には当該光触媒部の下流に配置
   される、 ことを特徴とする有害物質処理装置。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載の有害
   物質処理装置が、ダイオキシン類若しくはＮＯｘを処理
   する焼却炉排ガス処理システム、臭気成分を処理する脱
   臭システム、または揮発性有機物質若しくはＮＯｘを処
   理する工場プロセスガス処理システムに使用される、 ことを特徴とする有害物質処理装置。