JP2001047066A - 微量金属含有水の処理方法 - Google Patents
微量金属含有水の処理方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 １．０μｇ／Ｌ以下というような極微量領域
の水中の金属又は金属イオンを膜分離装置により効率的
に除去する。 【解決手段】 １．０μｇ／Ｌ以下の微量金属又は微量
金属イオンを含有する水にキレート剤を添加した後、膜
分離装置５に通水する微量金属含有水の処理方法。
の水中の金属又は金属イオンを膜分離装置により効率的
に除去する。 【解決手段】 １．０μｇ／Ｌ以下の微量金属又は微量
金属イオンを含有する水にキレート剤を添加した後、膜
分離装置５に通水する微量金属含有水の処理方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、１．０μｇ／Ｌ以
下の微量金属又は微量金属イオンを含有する水を膜分離
装置で効率的に処理する方法に係り、超純水中の微量金
属又は金属イオンを膜分離装置により効率的に除去して
高水質処理水を得る方法に関する。
下の微量金属又は微量金属イオンを含有する水を膜分離
装置で効率的に処理する方法に係り、超純水中の微量金
属又は金属イオンを膜分離装置により効率的に除去して
高水質処理水を得る方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ＬＳＩの集積度の上昇に伴い、半
導体分野で使用される超純水の要求水質は益々高くなっ
ており、超純水中の金属又は金属イオン量もｐｐｍ，ｐ
ｐｂレベルからｐｐｔ（ｎｇ／Ｌ）レベルないしはそれ
以下に制御する必要にせまられている。
導体分野で使用される超純水の要求水質は益々高くなっ
ており、超純水中の金属又は金属イオン量もｐｐｍ，ｐ
ｐｂレベルからｐｐｔ（ｎｇ／Ｌ）レベルないしはそれ
以下に制御する必要にせまられている。
【０００３】従来、超純水中の金属又は金属イオンの除
去は、逆浸透（ＲＯ）膜分離装置とイオン交換装置とを
組み合わせて実施されている。しかし、この方法では、
ｐｐｂ以上のレベルではイオン交換理論の通り、ほぼ完
璧な処理が可能であったが、ｐｐｔレベルではイオン交
換処理後も金属イオンが残留し、それ以上に除去するこ
とはできなかった。このような極低濃度の金属を除去す
るためには、非再生型イオン交換装置を多段に設置し
て、順次通水処理する必要があり、この場合には、現状
の装置配列を増やす必要がある。しかも、非再生型イオ
ン交換装置の除去量（交換容量）は極めて少量であるた
め、イオン交換樹脂を頻繁に交換する必要があり、交換
頻度を考慮するとランニングコストが過大となって実用
上不利である。
去は、逆浸透（ＲＯ）膜分離装置とイオン交換装置とを
組み合わせて実施されている。しかし、この方法では、
ｐｐｂ以上のレベルではイオン交換理論の通り、ほぼ完
璧な処理が可能であったが、ｐｐｔレベルではイオン交
換処理後も金属イオンが残留し、それ以上に除去するこ
とはできなかった。このような極低濃度の金属を除去す
るためには、非再生型イオン交換装置を多段に設置し
て、順次通水処理する必要があり、この場合には、現状
の装置配列を増やす必要がある。しかも、非再生型イオ
ン交換装置の除去量（交換容量）は極めて少量であるた
め、イオン交換樹脂を頻繁に交換する必要があり、交換
頻度を考慮するとランニングコストが過大となって実用
上不利である。
【０００４】なお、従来、キレート剤を添加して膜分離
する方法については、例えば特開平７−３２８３９１号
公報に還元剤を含有するＲＯ膜分離装置の供給液にキレ
ート剤を添加することにより、重金属類の触媒作用によ
る膜劣化を防止するためのマスキング剤としてキレート
剤を利用する方法が記載されている。また、特開平１１
−１０１５０号公報には、銅含有水にキレート剤を添加
した後、ＲＯ膜分離することにより、銅水酸化物の生成
を防止してＲＯ膜の目詰まりを防止する方法が記載され
ている。
する方法については、例えば特開平７−３２８３９１号
公報に還元剤を含有するＲＯ膜分離装置の供給液にキレ
ート剤を添加することにより、重金属類の触媒作用によ
る膜劣化を防止するためのマスキング剤としてキレート
剤を利用する方法が記載されている。また、特開平１１
−１０１５０号公報には、銅含有水にキレート剤を添加
した後、ＲＯ膜分離することにより、銅水酸化物の生成
を防止してＲＯ膜の目詰まりを防止する方法が記載され
ている。
【０００５】しかし、これらの公知例には、超純水レベ
ルの微量金属の除去に関する記載はなく、水中の極低濃
度の金属又は金属イオンについてキレート剤がどのよう
な作用効果を示すかは認識されていない。
ルの微量金属の除去に関する記載はなく、水中の極低濃
度の金属又は金属イオンについてキレート剤がどのよう
な作用効果を示すかは認識されていない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来の実
情に鑑みてなされたものであって、１．０μｇ／Ｌ以下
というような極微量領域における水中の金属又は金属イ
オンを膜分離装置により効率的に除去する微量金属含有
水の処理方法を提供することを目的とする。
情に鑑みてなされたものであって、１．０μｇ／Ｌ以下
というような極微量領域における水中の金属又は金属イ
オンを膜分離装置により効率的に除去する微量金属含有
水の処理方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の微量金属含有水
の処理方法は、１．０μｇ／Ｌ以下の微量金属又は微量
金属イオンを含有する水の処理方法において、前記水に
キレート剤を添加した後、膜分離装置に通水することを
特徴とする。
の処理方法は、１．０μｇ／Ｌ以下の微量金属又は微量
金属イオンを含有する水の処理方法において、前記水に
キレート剤を添加した後、膜分離装置に通水することを
特徴とする。
【０００８】本発明により、キレート剤の添加により、
水中の微量金属又は微量金属イオンが膜分離装置で除去
できる理由の詳細は明らかではないが、キレート剤を添
加することにより、水中の金属又は金属イオンが金属キ
レート化合物を形成し、見掛けのイオン半径が大きくな
ることにより膜分離装置で除去可能となるものと考えら
れる。
水中の微量金属又は微量金属イオンが膜分離装置で除去
できる理由の詳細は明らかではないが、キレート剤を添
加することにより、水中の金属又は金属イオンが金属キ
レート化合物を形成し、見掛けのイオン半径が大きくな
ることにより膜分離装置で除去可能となるものと考えら
れる。
【０００９】本発明者は、極微量領域の分析法を開発
し、現状の超純水製造装置で生産される超純水を調査し
た結果、ｐｐｔ領域の微量金属が存在することが判明し
た。これは、従来のイオン交換理論（イオン交換樹脂で
の除去率）では当然除去されるはずのものであり、理論
に反することである。
し、現状の超純水製造装置で生産される超純水を調査し
た結果、ｐｐｔ領域の微量金属が存在することが判明し
た。これは、従来のイオン交換理論（イオン交換樹脂で
の除去率）では当然除去されるはずのものであり、理論
に反することである。
【００１０】本発明者は、この微量金属について更に調
査検討した結果、超純水中の微量金属、金属イオンは従
来の溶解度理論では説明がつかず、イオン以外の形態
（一種のコロイド等）で存在する可能性が高いものと推
測した。例えば、金属（Ｆｅ）イオンの標準液を超純水
で希釈し、５０ｐｐｔ濃度の液を調製し、これを１Ｌ容
量のポリエチレン製容器に密封しておくと、図２に示す
如く、時間の経過とともに液中のＦｅイオン濃度が減少
する。この現象は金属成分が容器の表面に付着するため
に液中濃度が減少することが判明した。
査検討した結果、超純水中の微量金属、金属イオンは従
来の溶解度理論では説明がつかず、イオン以外の形態
（一種のコロイド等）で存在する可能性が高いものと推
測した。例えば、金属（Ｆｅ）イオンの標準液を超純水
で希釈し、５０ｐｐｔ濃度の液を調製し、これを１Ｌ容
量のポリエチレン製容器に密封しておくと、図２に示す
如く、時間の経過とともに液中のＦｅイオン濃度が減少
する。この現象は金属成分が容器の表面に付着するため
に液中濃度が減少することが判明した。
【００１１】この結果から、超純水中の金属はイオンと
しては存在しておらず、極微細なコロイドとして存在す
るものと推定された。即ち、微量金属は水中に対となる
イオンが存在しないため、その雰囲気中で一番安定な状
態へ移行するものと考えられ、例えばＦｅなどの金属は
超純水中で微量に存在する（ｐｐｂレベル）酸素と結合
して酸化物のコロイドとなっているものと推定された。
しては存在しておらず、極微細なコロイドとして存在す
るものと推定された。即ち、微量金属は水中に対となる
イオンが存在しないため、その雰囲気中で一番安定な状
態へ移行するものと考えられ、例えばＦｅなどの金属は
超純水中で微量に存在する（ｐｐｂレベル）酸素と結合
して酸化物のコロイドとなっているものと推定された。
【００１２】このように超純水中の極微量の金属は微細
なコロイドとして存在し、この微細コロイドは、イオン
交換樹脂との反応が極めて遅いため、イオン交換処理で
は除去し難く、また、現状で使用されている限外濾過
（ＵＦ）膜（分画分子量４０００〜１０００００）では
除去し得ないために、ＵＦ膜分離処理でも処理水中に残
留することとなる。
なコロイドとして存在し、この微細コロイドは、イオン
交換樹脂との反応が極めて遅いため、イオン交換処理で
は除去し難く、また、現状で使用されている限外濾過
（ＵＦ）膜（分画分子量４０００〜１０００００）では
除去し得ないために、ＵＦ膜分離処理でも処理水中に残
留することとなる。
【００１３】本発明の方法ではこのように、従来、イオ
ン交換処理や膜分離処理では容易に除去し得なかった水
中の微量金属を、キレート剤により大粒子化し、ＲＯ膜
やＵＦ膜で除去可能とした。
ン交換処理や膜分離処理では容易に除去し得なかった水
中の微量金属を、キレート剤により大粒子化し、ＲＯ膜
やＵＦ膜で除去可能とした。
【００１４】本発明において、膜分離装置としてはＲＯ
膜分離装置又はＵＦ膜分離装置が好適である。
膜分離装置又はＵＦ膜分離装置が好適である。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１６】本発明において処理対象となる水は、１．
０μｇ／Ｌ以下、特に１００ｎｇ／Ｌ以下という極微量
の金属又は金属イオンを含有する水であって、具体的に
は、半導体分野で使用される超純水や、電力分野で使用
される純水やコンデミ循環水などが挙げられる。
０μｇ／Ｌ以下、特に１００ｎｇ／Ｌ以下という極微量
の金属又は金属イオンを含有する水であって、具体的に
は、半導体分野で使用される超純水や、電力分野で使用
される純水やコンデミ循環水などが挙げられる。
【００１７】本発明においては、このような極微量の金
属又は金属イオンを含有する水にキレート剤を添加した
後、膜分離装置に通水して処理する。
属又は金属イオンを含有する水にキレート剤を添加した
後、膜分離装置に通水して処理する。
【００１８】添加するキレート剤としては、液体又は微
粉末状のカチオン交換樹脂が好適であるが、これに限ら
ず、エチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）、ジチオカル
バミン酸基を有するもの及びＮグルカミン酸基を有する
もの等を用いることもできる。
粉末状のカチオン交換樹脂が好適であるが、これに限ら
ず、エチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）、ジチオカル
バミン酸基を有するもの及びＮグルカミン酸基を有する
もの等を用いることもできる。
【００１９】これらのキレート剤は液体状で添加しても
粉末状で添加しても良く、膜分離処理される段階で水中
の金属又は金属イオンと粒径の大きな金属キレート化合
物を形成するに十分な量が水中に添加されていれば良
い。
粉末状で添加しても良く、膜分離処理される段階で水中
の金属又は金属イオンと粒径の大きな金属キレート化合
物を形成するに十分な量が水中に添加されていれば良
い。
【００２０】このキレート剤の添加量は、水中の金属又
は金属イオン量によって適宜決定され、通常、水中の金
属又は金属イオン量の１〜１０重量倍、一般的な純水又
は超純水であれば１〜１００ｐｐｔ程度添加すれば良
い。
は金属イオン量によって適宜決定され、通常、水中の金
属又は金属イオン量の１〜１０重量倍、一般的な純水又
は超純水であれば１〜１００ｐｐｔ程度添加すれば良
い。
【００２１】キレート剤を添加した水を膜分離装置、好
ましくはＵＦ膜分離装置又はＲＯ膜分離装置に通水する
ことで、水中の金属又は金属イオンを０．１ｐｐｔ以下
の極低濃度に低減することができる。
ましくはＵＦ膜分離装置又はＲＯ膜分離装置に通水する
ことで、水中の金属又は金属イオンを０．１ｐｐｔ以下
の極低濃度に低減することができる。
【００２２】なお、本発明の方法においては、キレート
剤の添加で形成した金属キレート化合物を凝集させて、
より一層見掛けの粒径を大きくすることが好ましく、更
に、膜分離処理に先立ち、キレート剤を添加した水に電
場や磁場をかけて金属キレート化合物を凝集させても良
い。
剤の添加で形成した金属キレート化合物を凝集させて、
より一層見掛けの粒径を大きくすることが好ましく、更
に、膜分離処理に先立ち、キレート剤を添加した水に電
場や磁場をかけて金属キレート化合物を凝集させても良
い。
【００２３】このような本発明の方法は、例えば、既存
の純水製造装置又は超純水製造装置のＵＦ膜分離装置又
はＲＯ膜分離装置の前段の任意の箇所にキレート剤の添
加手段を設けることにより容易に実施することができ、
過大な設備投資を必要とすることなく、従来の装置では
除去し得なかった極微量の金属又は金属イオンを極低濃
度にまで効率的に除去することができる。
の純水製造装置又は超純水製造装置のＵＦ膜分離装置又
はＲＯ膜分離装置の前段の任意の箇所にキレート剤の添
加手段を設けることにより容易に実施することができ、
過大な設備投資を必要とすることなく、従来の装置では
除去し得なかった極微量の金属又は金属イオンを極低濃
度にまで効率的に除去することができる。
【００２４】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００２５】実施例１ 図１に示す超純水製造装置に本発明を適用し、キレート
剤貯槽１より、キレート剤としてＥＤＴＡをタンク２内
の一次純水に１００ｐｐｔ添加した後ＵＶ酸化装置３、
非再生型イオン交換装置４及びＵＦ膜分離装置（分画分
子量８０００）５で順次処理し、各部の水のＦｅ濃度を
調べ、結果を表１に示した。
剤貯槽１より、キレート剤としてＥＤＴＡをタンク２内
の一次純水に１００ｐｐｔ添加した後ＵＶ酸化装置３、
非再生型イオン交換装置４及びＵＦ膜分離装置（分画分
子量８０００）５で順次処理し、各部の水のＦｅ濃度を
調べ、結果を表１に示した。
【００２６】比較例１ 実施例１において、キレート剤を添加しなかったこと以
外は同様にして処理し、各部の水のＦｅ濃度を調べ、結
果を表１に示した。
外は同様にして処理し、各部の水のＦｅ濃度を調べ、結
果を表１に示した。
【００２７】
【表１】
【００２８】表１より明らかなように、本発明によれ
ば、水中の微量金属をＵＦ膜分離装置で極低濃度にまで
除去することができる。
ば、水中の微量金属をＵＦ膜分離装置で極低濃度にまで
除去することができる。
【００２９】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の微量金属含
有水の処理方法によれば、極微量の金属ないし金属イオ
ンを極低濃度にまで効率的に除去することができる。本
発明によれば、要求水質として限りなく低濃度であるこ
とが要求されている超純水中の金属ないし金属イオンを
現状の超純水製造装置に過大な装置を付加することな
く、容易かつ効率的に除去することができ、本発明の工
業的有用性は極めて大である。
有水の処理方法によれば、極微量の金属ないし金属イオ
ンを極低濃度にまで効率的に除去することができる。本
発明によれば、要求水質として限りなく低濃度であるこ
とが要求されている超純水中の金属ないし金属イオンを
現状の超純水製造装置に過大な装置を付加することな
く、容易かつ効率的に除去することができ、本発明の工
業的有用性は極めて大である。
【図１】実施例で用いた超純水製造装置を示す系統図で
ある。
ある。
【図２】微量Ｆｅ含有液のＦｅ濃度の経時変化を示すグ
ラフである。
ラフである。
１ キレート剤貯槽 ２ タンク ３ ＵＶ酸化装置 ４ 非再生型イオン交換装置 ５ ＵＦ膜分離装置
Claims (2)
- 【請求項１】 １．０μｇ／Ｌ以下の微量金属又は微量
金属イオンを含有する水の処理方法において、前記水に
キレート剤を添加した後、膜分離装置に通水することを
特徴とする微量金属含有水の処理方法。 - 【請求項２】 膜分離装置が逆浸透膜分離装置又は限外
濾過膜分離装置である請求項１の微量金属含有水の処理
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22547899A JP4389301B2 (ja) | 1999-08-09 | 1999-08-09 | 微量金属含有水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22547899A JP4389301B2 (ja) | 1999-08-09 | 1999-08-09 | 微量金属含有水の処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001047066A true JP2001047066A (ja) | 2001-02-20 |
| JP4389301B2 JP4389301B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=16829960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22547899A Expired - Fee Related JP4389301B2 (ja) | 1999-08-09 | 1999-08-09 | 微量金属含有水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4389301B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017064641A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 栗田工業株式会社 | 金属汚染防止剤、金属汚染防止方法及び製品洗浄方法 |
| JP2018034157A (ja) * | 2017-10-23 | 2018-03-08 | 栗田工業株式会社 | 金属汚染防止剤、金属汚染防止膜、金属汚染防止方法及び製品洗浄方法 |
-
1999
- 1999-08-09 JP JP22547899A patent/JP4389301B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017064641A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 栗田工業株式会社 | 金属汚染防止剤、金属汚染防止方法及び製品洗浄方法 |
| WO2017056947A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 栗田工業株式会社 | 金属汚染防止剤、金属汚染防止膜、金属汚染防止方法及び製品洗浄方法 |
| US10717076B2 (en) | 2015-09-30 | 2020-07-21 | Kurita Water Industries Ltd. | Metal contamination inhibitor, metal contamination inhibition membrane, method for preventing metal contamination, and method for cleaning product |
| TWI705937B (zh) * | 2015-09-30 | 2020-10-01 | 日商栗田工業股份有限公司 | 金屬污染防止劑、金屬污染防止膜、金屬污染防止方法及製品洗淨方法 |
| JP2018034157A (ja) * | 2017-10-23 | 2018-03-08 | 栗田工業株式会社 | 金属汚染防止剤、金属汚染防止膜、金属汚染防止方法及び製品洗浄方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4389301B2 (ja) | 2009-12-24 |
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