JP2001025889A - レーザ光出射装置 - Google Patents
レーザ光出射装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工部からの戻り光によって光ファイバーが
焼損することのないレーザ光出射装置の提供。 【解決手段】 レーザ光出射装置のハウジングに光ファ
イバーのレーザ光出射端部を設けると共に、該レーザ光
出射端部から出射されたレーザ光を集光する集光光学系
を設けたレーザ光出射装置において、前記光ファイバー
のレーザ光出射端部と前記集光光学系との間に前記光フ
ァイバーのレーザ光出射端部におけるコアに対する入射
臨界角（角度Ａ）より小さい入射角を有する戻り光は全
て通過可能に、かつ、該入射臨界角（角度Ａ）より大き
く前記光ファイバーのクラッドまたはサポート層に対す
る入射臨界角（角度Ｂ）より小さい入射角を有する戻り
光の一部は通過可能とする開口絞りを設けたことを特徴
とするレーザ光出射装置。
焼損することのないレーザ光出射装置の提供。 【解決手段】 レーザ光出射装置のハウジングに光ファ
イバーのレーザ光出射端部を設けると共に、該レーザ光
出射端部から出射されたレーザ光を集光する集光光学系
を設けたレーザ光出射装置において、前記光ファイバー
のレーザ光出射端部と前記集光光学系との間に前記光フ
ァイバーのレーザ光出射端部におけるコアに対する入射
臨界角（角度Ａ）より小さい入射角を有する戻り光は全
て通過可能に、かつ、該入射臨界角（角度Ａ）より大き
く前記光ファイバーのクラッドまたはサポート層に対す
る入射臨界角（角度Ｂ）より小さい入射角を有する戻り
光の一部は通過可能とする開口絞りを設けたことを特徴
とするレーザ光出射装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はレーザ加工中の被加
工材からの戻り光に対して耐性の強いレーザ光出射装置
に関する。
工材からの戻り光に対して耐性の強いレーザ光出射装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は、従来のＹＡＧレーザなどの固体
レーザを用いたレーザ加工装置のレーザ光出射装置の概
要を示したものである。
レーザを用いたレーザ加工装置のレーザ光出射装置の概
要を示したものである。
【０００３】レーザ発振器１２０からのレーザ光は、光
ファイバー１２１によってレーザ光出射装置１２２の集
光光学系１２３まで伝送される。集光光学系１２３はコ
リメートレンズ１２４と集光レンズ１２５からなり、光
ファイバー１２１のレーザ光出射端部１２７から出射さ
れたレーザ光は、前記集光光学系１２３でコリメートし
たあと集光し、ワーク１２９の表面に照射してレーザ加
工を実施するものである。なお、光ファイバー１２１は
コネクタ１３１で前記レーザ光出射装置１２２に結合し
てある。
ファイバー１２１によってレーザ光出射装置１２２の集
光光学系１２３まで伝送される。集光光学系１２３はコ
リメートレンズ１２４と集光レンズ１２５からなり、光
ファイバー１２１のレーザ光出射端部１２７から出射さ
れたレーザ光は、前記集光光学系１２３でコリメートし
たあと集光し、ワーク１２９の表面に照射してレーザ加
工を実施するものである。なお、光ファイバー１２１は
コネクタ１３１で前記レーザ光出射装置１２２に結合し
てある。
【０００４】図５は図４の光ファイバー１２１のレーザ
光出射端部の拡大図である。光ファイバー１２１は、コ
ア１３３とクラッド１３５からなる心線にシリコンの被
覆層１３７で保護した構造となっており、前記コネクタ
１３１に取り付ける光ファイバー１２１の端末部は被覆
層１３７を剥離して心線部が露出させてある。
光出射端部の拡大図である。光ファイバー１２１は、コ
ア１３３とクラッド１３５からなる心線にシリコンの被
覆層１３７で保護した構造となっており、前記コネクタ
１３１に取り付ける光ファイバー１２１の端末部は被覆
層１３７を剥離して心線部が露出させてある。
【０００５】前記コネクタ１３１の一端には、光ファイ
バー１２１の端末部を装着するための装着穴１３９が設
けてあり、この装着穴１３９に光ファイバー１２１の端
末部が固定部材１４１を介して装着してある。
バー１２１の端末部を装着するための装着穴１３９が設
けてあり、この装着穴１３９に光ファイバー１２１の端
末部が固定部材１４１を介して装着してある。
【０００６】コネクタ１３１の装着穴１３９に装着した
光ファイバー１２１の露出した心線部は、前記コネクタ
１３１の他端部に開放した空間部１４３まで延伸して設
けてある。
光ファイバー１２１の露出した心線部は、前記コネクタ
１３１の他端部に開放した空間部１４３まで延伸して設
けてある。
【０００７】光ファイバー１２１の端部に示した角度Ａ
は、光ファイバー１２１のコア１３３とクラッド１３５
の屈折率の差から決定されるコア１３３部への入射臨界
角である。この入射臨界角より小さい角度でコア１３３
に入射してくる戻り光１４７は、コア１３３とクラッド
１３５の境界で全反射をして光ファイバー１２１の他端
まで伝送される。
は、光ファイバー１２１のコア１３３とクラッド１３５
の屈折率の差から決定されるコア１３３部への入射臨界
角である。この入射臨界角より小さい角度でコア１３３
に入射してくる戻り光１４７は、コア１３３とクラッド
１３５の境界で全反射をして光ファイバー１２１の他端
まで伝送される。
【０００８】同様に、角度Ｂはクラッド１３５とシリコ
ンからなる被覆層１３７の屈折率との差から決定される
クラッド１３５部への入射臨界角である。前記角度Ａよ
り大きく角度Ｂより小さい入射角でクラッド１３５へ入
射してくる戻り光１４９は、クラッド１３５と空気との
境界およびクラッド１３５と被覆層１３７との境界で全
反射をして光ファイバー１２１の他端まで伝送される。
ンからなる被覆層１３７の屈折率との差から決定される
クラッド１３５部への入射臨界角である。前記角度Ａよ
り大きく角度Ｂより小さい入射角でクラッド１３５へ入
射してくる戻り光１４９は、クラッド１３５と空気との
境界およびクラッド１３５と被覆層１３７との境界で全
反射をして光ファイバー１２１の他端まで伝送される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のよう
に、光ファイバーの端末部では心線（コア１３３とクラ
ッド１３５）が剥き出しだから、クラッド１３５の周囲
は空気（屈折率＝１）と接している。
に、光ファイバーの端末部では心線（コア１３３とクラ
ッド１３５）が剥き出しだから、クラッド１３５の周囲
は空気（屈折率＝１）と接している。
【００１０】そのため、クラッド１３５と空気の屈折率
の差から、角度Ｂより大きい入射角で入射してくる戻り
光１５１でも、クラッド１３５と空気との境界で全反射
してクラッド１３５の中を伝搬することになる。
の差から、角度Ｂより大きい入射角で入射してくる戻り
光１５１でも、クラッド１３５と空気との境界で全反射
してクラッド１３５の中を伝搬することになる。
【００１１】しかし、光ファイバー１２１の出射端１２
７に到達した加工部からの戻り光１５１はクラッド１３
５を伝搬していき、この戻り光１５１が被覆層１３７で
覆われた部分にくると入射臨界角は前述の角度Ｂに変化
するため、その臨界角より大なる戻り光１５１はここで
クラッド１３５から被覆層１３７に漏出することにな
る。
７に到達した加工部からの戻り光１５１はクラッド１３
５を伝搬していき、この戻り光１５１が被覆層１３７で
覆われた部分にくると入射臨界角は前述の角度Ｂに変化
するため、その臨界角より大なる戻り光１５１はここで
クラッド１３５から被覆層１３７に漏出することにな
る。
【００１２】その結果、漏出した戻り光１５１が被覆層
１３７に吸収され、被覆層１３７が発熱し、時には光フ
ァイバー１２１が焼損する原因となる。
１３７に吸収され、被覆層１３７が発熱し、時には光フ
ァイバー１２１が焼損する原因となる。
【００１３】本発明は上述の如き問題を解決するために
成されたものであり、本発明の課題は、加工部からの戻
り光によって光ファイバーが焼損することのないレーザ
光出射装置を提供することである。
成されたものであり、本発明の課題は、加工部からの戻
り光によって光ファイバーが焼損することのないレーザ
光出射装置を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する手段
として請求項１に記載のレーザ光出射装置は、レーザ光
出射装置のハウジングに光ファイバーのレーザ光出射端
部を設けると共に、該レーザ光出射端部から出射された
レーザ光を集光する集光光学系を設けたレーザ光出射装
置において、前記光ファイバーのレーザ光出射端部と前
記集光光学系との間に開口絞りを設けたことを要旨とす
るものである。
として請求項１に記載のレーザ光出射装置は、レーザ光
出射装置のハウジングに光ファイバーのレーザ光出射端
部を設けると共に、該レーザ光出射端部から出射された
レーザ光を集光する集光光学系を設けたレーザ光出射装
置において、前記光ファイバーのレーザ光出射端部と前
記集光光学系との間に開口絞りを設けたことを要旨とす
るものである。
【００１５】請求項２に記載のレーザ光出射装置は、請
求項１に記載のレーザ光出射装置において、前記開口絞
りは、前記光ファイバーのレーザ光出射端部におけるコ
アに対する入射臨界角（角度Ａ）より小さい入射角を有
する戻り光は全て通過可能に、かつ、該入射臨界角（角
度Ａ）より大きく前記光ファイバーのクラッドまたはサ
ポート層に対する入射臨界角（角度Ｂ）より小さい入射
角を有する戻り光の一部は通過可能とする開口絞りであ
ることを要旨とするものである。
求項１に記載のレーザ光出射装置において、前記開口絞
りは、前記光ファイバーのレーザ光出射端部におけるコ
アに対する入射臨界角（角度Ａ）より小さい入射角を有
する戻り光は全て通過可能に、かつ、該入射臨界角（角
度Ａ）より大きく前記光ファイバーのクラッドまたはサ
ポート層に対する入射臨界角（角度Ｂ）より小さい入射
角を有する戻り光の一部は通過可能とする開口絞りであ
ることを要旨とするものである。
【００１６】請求項３に記載のレーザ光出射装置は、請
求項２に記載のレーザ光出射装置において、前記開口絞
りを前記レーザ光出射端部と集光光学系との間に配置し
た遮蔽板に設けたことを要旨とするものである。
求項２に記載のレーザ光出射装置において、前記開口絞
りを前記レーザ光出射端部と集光光学系との間に配置し
た遮蔽板に設けたことを要旨とするものである。
【００１７】請求項４に記載のレーザ光出射装置は、請
求項２に記載のレーザ光出射装置において、前記開口絞
りを前記レーザ光出射装置のハウジングに一体的に形成
して設けたことを要旨とするものである。
求項２に記載のレーザ光出射装置において、前記開口絞
りを前記レーザ光出射装置のハウジングに一体的に形成
して設けたことを要旨とするものである。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
によって説明する。
によって説明する。
【００１９】図１は本発明に係る光ファイバーを使用し
たレーザ光出射装置の第一の実施の形態を示したもので
ある。
たレーザ光出射装置の第一の実施の形態を示したもので
ある。
【００２０】レーザ光出射装置１には、例えばＹＡＧレ
ーザ発振器３からのレーザ光が光ファイバー５によって
伝送される様に設けてある。レーザ光出射装置１に伝送
されたレーザ光ＬＢはレーザ光出射装置１のハウジング
７に設けたコリメートレンズ９と集光レンズ１１からな
る集光光学系１３によりワーク１５の表面に照射してレ
ーザ加工がなされる様に設けてある。
ーザ発振器３からのレーザ光が光ファイバー５によって
伝送される様に設けてある。レーザ光出射装置１に伝送
されたレーザ光ＬＢはレーザ光出射装置１のハウジング
７に設けたコリメートレンズ９と集光レンズ１１からな
る集光光学系１３によりワーク１５の表面に照射してレ
ーザ加工がなされる様に設けてある。
【００２１】図１に示す様に、光ファイバー５はコネク
タ１７を介してレーザ光出射装置１のハウジング７に取
り付けてある。また、図２に示す様に、光ファイバー５
はコア１９とクラッド２１からなる心線にシリコンの被
覆層２３で保護した構造となっており、前記コネクタ１
７に接続する部分の光ファイバー５の端末部は前記被覆
層２３を剥離して心線部が露出させてある。
タ１７を介してレーザ光出射装置１のハウジング７に取
り付けてある。また、図２に示す様に、光ファイバー５
はコア１９とクラッド２１からなる心線にシリコンの被
覆層２３で保護した構造となっており、前記コネクタ１
７に接続する部分の光ファイバー５の端末部は前記被覆
層２３を剥離して心線部が露出させてある。
【００２２】なお、クラッド２１の外側にコアと同質材
のサポート層と称する部分を設けた光ファイバーもあ
る。
のサポート層と称する部分を設けた光ファイバーもあ
る。
【００２３】前記コネクタ１７の光ファイバー取付け側
には、光ファイバー５の端末部を装着するための装着穴
２５が設けてあり、この装着穴２５に光ファイバー５の
端末部が固定部材２７を介して装着してある。コネクタ
１７の装着穴２５に装着された光ファイバー５の露出し
た心線部は、コネクタ１７の集光光学系側の端部に開放
した空間部２９まで延伸して設けてある。また光ファイ
バー５のレーザ光出射端部２６は、コネクタ１７の下端
面とほぼ同一面となっている。
には、光ファイバー５の端末部を装着するための装着穴
２５が設けてあり、この装着穴２５に光ファイバー５の
端末部が固定部材２７を介して装着してある。コネクタ
１７の装着穴２５に装着された光ファイバー５の露出し
た心線部は、コネクタ１７の集光光学系側の端部に開放
した空間部２９まで延伸して設けてある。また光ファイ
バー５のレーザ光出射端部２６は、コネクタ１７の下端
面とほぼ同一面となっている。
【００２４】図２において、光ファイバー５のレーザ光
出射端部２６に示した角度Ａは、光ファイバー５のコア
１９とクラッド２１の屈折率との差から決定されるコア
１９部への入射臨界角である。したがって、この入射臨
界角（角度Ａ）より小さい角度でコア１９に入射してく
る加工部からの戻り光３３は、コア１９とクラッド２１
の境界で全反射をして光ファイバー５の他端まで伝送さ
れることになる。
出射端部２６に示した角度Ａは、光ファイバー５のコア
１９とクラッド２１の屈折率との差から決定されるコア
１９部への入射臨界角である。したがって、この入射臨
界角（角度Ａ）より小さい角度でコア１９に入射してく
る加工部からの戻り光３３は、コア１９とクラッド２１
の境界で全反射をして光ファイバー５の他端まで伝送さ
れることになる。
【００２５】同様に、光ファイバー５のレーザ光出射端
部２６に示した角度Ｂは、クラッド２１とシリコンの被
覆層２３の屈折率との差から決定されるクラッド２１部
への入射臨界角である。したがって、角度Ａより大きく
角度Ｂより小さい入射角でクラッド２１へ入射してくる
戻り光３５は、クラッド２１と空気との境界およびクラ
ッド２１と被覆層２３との境界で全反射をして光ファイ
バー５の他端まで伝送されることになる。
部２６に示した角度Ｂは、クラッド２１とシリコンの被
覆層２３の屈折率との差から決定されるクラッド２１部
への入射臨界角である。したがって、角度Ａより大きく
角度Ｂより小さい入射角でクラッド２１へ入射してくる
戻り光３５は、クラッド２１と空気との境界およびクラ
ッド２１と被覆層２３との境界で全反射をして光ファイ
バー５の他端まで伝送されることになる。
【００２６】また、前述の集光光学系１３のコリメート
レンズ９と光ファイバー５のレーザ光出射端部２６との
間には、前記角度Ａより小さい入射角度の加工部からの
戻り光は全て通過可能で、かつ、角度Ａより大きく角度
Ｂより小さい入射角度の加工部からの戻り光の一部は通
過可能（一部は通過不能）な開口絞り３７を備えた遮蔽
板３９を設けてある。
レンズ９と光ファイバー５のレーザ光出射端部２６との
間には、前記角度Ａより小さい入射角度の加工部からの
戻り光は全て通過可能で、かつ、角度Ａより大きく角度
Ｂより小さい入射角度の加工部からの戻り光の一部は通
過可能（一部は通過不能）な開口絞り３７を備えた遮蔽
板３９を設けてある。
【００２７】なお、前記遮蔽板３９は前記レーザ光出射
装置１のハウジング７に熱的に接触させて設けてある。
装置１のハウジング７に熱的に接触させて設けてある。
【００２８】上記構成のレーザ光出射装置によりレーザ
加工を行った場合、加工部からの光ファイバー５のレー
ザ光出射端部２６への戻り光（または反射光）の中で、
角度Ｂより大きい入射角でクラッド２１へ入射してくる
戻り光４１は、すなわち、クラッド２１部を伝搬し被覆
層２３で漏洩するような戻り光４１は、前記遮蔽板３９
で遮断することができる。したがって、光ファイバー５
が戻り光４１で焼損することを防止できる。
加工を行った場合、加工部からの光ファイバー５のレー
ザ光出射端部２６への戻り光（または反射光）の中で、
角度Ｂより大きい入射角でクラッド２１へ入射してくる
戻り光４１は、すなわち、クラッド２１部を伝搬し被覆
層２３で漏洩するような戻り光４１は、前記遮蔽板３９
で遮断することができる。したがって、光ファイバー５
が戻り光４１で焼損することを防止できる。
【００２９】なお、遮蔽板３９の温度が高温になる場合
には、ハウジング７を冷却するようにしてもよい。
には、ハウジング７を冷却するようにしてもよい。
【００３０】図３は、本発明に係る光ファイバーを使用
したレーザ光出射装置の第二の実施の形態を示したもの
であり、前記第一の実施の形態における遮蔽板３９の構
成を変更したものである。なお、第一の実施の形態と同
一の部品には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略
する。
したレーザ光出射装置の第二の実施の形態を示したもの
であり、前記第一の実施の形態における遮蔽板３９の構
成を変更したものである。なお、第一の実施の形態と同
一の部品には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略
する。
【００３１】前記レーザ光出射装置１の集光光学系１３
の上方のハウジング７には、前記コネクタ１７が設けて
あり、このコネクタ１７に前記第一の実施の形態と同様
に光ファイバー５の端末部が固定部材２７を介して装着
してある。
の上方のハウジング７には、前記コネクタ１７が設けて
あり、このコネクタ１７に前記第一の実施の形態と同様
に光ファイバー５の端末部が固定部材２７を介して装着
してある。
【００３２】また、光ファイバー５のレーザ光出射端部
２６の下部のハウジング７には、レーザ光出射端部２６
から出射されるレーザ光が通過自在であると共に、レー
ザ加工部からの戻り光（反射光）の光ファイバー５への
入射角度を制限する開口絞り４３がハウジング７に一体
的に形成してある。なお、第一の実施の形態と同様に光
ファイバー５のレーザ光出射端部２６とコネクタ１７の
下端面とはほぼ同一面となっている。
２６の下部のハウジング７には、レーザ光出射端部２６
から出射されるレーザ光が通過自在であると共に、レー
ザ加工部からの戻り光（反射光）の光ファイバー５への
入射角度を制限する開口絞り４３がハウジング７に一体
的に形成してある。なお、第一の実施の形態と同様に光
ファイバー５のレーザ光出射端部２６とコネクタ１７の
下端面とはほぼ同一面となっている。
【００３３】上述の開口絞り４３は、戻り光４１の入射
角角が角度Ａより小さい光は全て通過させ、角度Ａより
大きく角度Ｂより小さい光の場合には、一部通過させ一
部を遮断する様に設けてある。
角角が角度Ａより小さい光は全て通過させ、角度Ａより
大きく角度Ｂより小さい光の場合には、一部通過させ一
部を遮断する様に設けてある。
【００３４】なお、角度Ａは、光ファイバー５のコア１
９とクラッド２１の屈折率の差から決定されるコア１９
部への入射臨界角である。角度Ｂは、クラッド２１とシ
リコンの被覆層２３の屈折率との差から決定されるクラ
ッド２１部への入射臨界角である。
９とクラッド２１の屈折率の差から決定されるコア１９
部への入射臨界角である。角度Ｂは、クラッド２１とシ
リコンの被覆層２３の屈折率との差から決定されるクラ
ッド２１部への入射臨界角である。
【００３５】上記構成により、ハウジング７に設けた開
口絞り４３は、前記第一の実施の形態における遮蔽板３
９と同様に機能する。開口絞り部４３が戻り光を吸収し
てもハウジング７は熱容量が大きくかつ放熱面積も大き
いので高温にはなりにくい。なお、あまり高温になる場
合にはハウジング７を水冷する様にしてもよい。
口絞り４３は、前記第一の実施の形態における遮蔽板３
９と同様に機能する。開口絞り部４３が戻り光を吸収し
てもハウジング７は熱容量が大きくかつ放熱面積も大き
いので高温にはなりにくい。なお、あまり高温になる場
合にはハウジング７を水冷する様にしてもよい。
【００３６】上述の如き構成により、クラッド２１を伝
搬し、被覆層２３で漏洩する様な入射角度の戻り光４１
のクラッド部への入射を防止することができる。したが
って、光ファイバー５が戻り光４１で焼損することがな
い。
搬し、被覆層２３で漏洩する様な入射角度の戻り光４１
のクラッド部への入射を防止することができる。したが
って、光ファイバー５が戻り光４１で焼損することがな
い。
【００３７】
【発明の効果】請求項１〜請求項４の発明によれば、ク
ラッドを伝搬し被覆層で漏洩するような戻り光のクラッ
ド部への入射を防止することができるので光ファイバー
が戻り光で焼損することがない。
ラッドを伝搬し被覆層で漏洩するような戻り光のクラッ
ド部への入射を防止することができるので光ファイバー
が戻り光で焼損することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光ファイバーを使用したレーザ光
出射装置の第一の実施の形態の説明図。
出射装置の第一の実施の形態の説明図。
【図２】図１における光ファイバーのレーザ光出射端部
の拡大図。
の拡大図。
【図３】本発明に係る光ファイバーを使用したレーザ光
出射装置の第二の実施の形態の説明図。
出射装置の第二の実施の形態の説明図。
【図４】従来のＹＡＧレーザなどの固体レーザを用いた
レーザ加工装置のレーザ光集光装置の概要図。
レーザ加工装置のレーザ光集光装置の概要図。
【図５】図４の光ファイバーのレーザ光出射端部の拡大
図。
図。
１ レーザ光出射装置 ３ レーザ発振器 ５ 光ファイバー ７ ハウジング ９ コリメートレンズ １１ 集光レンズ １３ 集光光学系 １５ ワーク １７ コネクタ １９ コア ２１ クラッド ２３ 被覆層 ２６ レーザ光出射端部 ２７ 固定部材 ３１ 心線支持部 ３３，３５，４１ 戻り光 ３７，４３ 開口絞り ３９ 遮蔽板
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ光出射装置のハウジングに光ファ
イバーのレーザ光出射端部を設けると共に、該レーザ光
出射端部から出射されたレーザ光を集光する集光光学系
を設けたレーザ光出射装置において、前記光ファイバー
のレーザ光出射端部と前記集光光学系との間に開口絞り
を設けたことを特徴とするレーザ光出射装置。 - 【請求項２】 前記開口絞りは、前記光ファイバーのレ
ーザ光出射端部におけるコアに対する入射臨界角（角度
Ａ）より小さい入射角を有する戻り光は全て通過可能
に、かつ、該入射臨界角（角度Ａ）より大きく前記光フ
ァイバーのクラッドまたはサポート層に対する入射臨界
角（角度Ｂ）より小さい入射角を有する戻り光の一部は
通過可能とする開口絞りであることを特徴とする請求項
１に記載のレーザ光出射装置。 - 【請求項３】 前記開口絞りを前記レーザ光出射端部と
集光光学系との間に配置した遮蔽板に設けたことを特徴
とする請求項２に記載のレーザ光出射装置。 - 【請求項４】 前記開口絞りを前記レーザ光出射装置の
ハウジングに一体的に形成して設けたことを特徴とする
請求項２に記載のレーザ光出射装置。
Priority Applications (1)
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| JP11201989A JP2001025889A (ja) | 1999-07-15 | 1999-07-15 | レーザ光出射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP11201989A JP2001025889A (ja) | 1999-07-15 | 1999-07-15 | レーザ光出射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001025889A true JP2001025889A (ja) | 2001-01-30 |
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ID=16450107
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP11201989A Pending JP2001025889A (ja) | 1999-07-15 | 1999-07-15 | レーザ光出射装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1999
- 1999-07-15 JP JP11201989A patent/JP2001025889A/ja active Pending
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