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JP2000306546A - ショートアーク放電ランプ - Google Patents

ショートアーク放電ランプ

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Publication number
JP2000306546A
JP2000306546A JP11114270A JP11427099A JP2000306546A JP 2000306546 A JP2000306546 A JP 2000306546A JP 11114270 A JP11114270 A JP 11114270A JP 11427099 A JP11427099 A JP 11427099A JP 2000306546 A JP2000306546 A JP 2000306546A
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JP
Japan
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cathode
discharge lamp
arc discharge
short arc
mercury
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Pending
Application number
JP11114270A
Other languages
English (en)
Inventor
Masanori Sugihara
正典 杉原
Naohisa Ikeda
尚久 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ushio Denki KK
Ushio Inc
Original Assignee
Ushio Denki KK
Ushio Inc
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Publication date
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Priority to TW092210222U priority patent/TWM249200U/zh
Priority to KR10-2000-0007023A priority patent/KR100528232B1/ko
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Priority to DE60022422T priority patent/DE60022422T2/de
Priority to US09/551,351 priority patent/US6437508B1/en
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    • F24H1/18Water-storage heaters
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    • F24H1/201Water-storage heaters with immersed heating elements, e.g. electric elements or furnace tubes using electric energy supply
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 陰極の温度上昇を抑制することにより、ラン
プから放射される紫外線にチラツキがなく、長寿命のシ
ョートアーク放電ランプを提供することにある。 【解決手段】 希ガスとともに水銀が封入された発光管
1内に陽極2と陰極3が対向配置され、発光管1内に封
入される水銀量が15mg/cc以上であり、電流値が
50A以上で点灯され、陽極2と陰極3の電極間距離を
X(mm)、入力電力をY(W)とし、Y/Xで示され
る極間入力値が500(W/mm)以上であるショート
アーク放電ランプにおいて、陰極3の先端を除く外表面
にタングステンよりなる放熱層6が形成されていること
を特徴とするショートアーク放電ランプ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、ショートアーク放
電ランプに関し、特に、液晶、カラーフィルター、プリ
ント基板の露光用のショートアーク放電ランプに関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、液晶製造工程、カラーフィル
ター製造工程、プリント基板製造工程などに用いられる
露光用の光源として、特開平2−256150に示され
ているように、一対の電極が対向配置された発光管内に
水銀が封入され、この水銀によって紫外線を放射するシ
ョートアーク放電ランプが知られている。
【0003】たとえば、紫外線によって、液晶基盤やカ
ラーフィルターを露光するためには、紫外線のエネルギ
ーが200mj程度必要であり、露光装置の露光面での
照度が10mW/cm2とすると、露光するのに20秒
かかることになる。この露光工程において生産性を上げ
る方法として、露光時間を短くすることが考えられてい
る。つまり、露光面での照度アップであり、紫外線放射
強度の強いランプが求められてきている。
【0004】また、近年、液晶等の表示デバイスが大型
化する傾向にあり、生産性のアップやコストダウンの要
求等からも、より大きな基盤を使った多面取りなどの手
法が用いられてきている。つまり、基盤の大型化にとも
なって、露光面積も大きくなっており、紫外線放射強度
の強いランプが求められてきている。
【0005】特に、液晶露光やプリント基板の露光に
は、g線、h線、i線と呼ばれる紫外線が主に使われ
る。これらの紫外線は、水銀を発光管内に多量に封入す
ることにより、ランプから放射される紫外線放射強度を
強くする有効な手段となっている。
【0006】現在、8kWクラスのランプで発光管内に
封入される水銀量が15mg/ccのランプが、この種
の露光用に使われている。今後の生産性のアップ、基盤
サイズの大型化にともない、紫外線放射強度を強くする
ために、発光管内に封入される水銀量が少なくとも15
mg/cc以上必要である。
【0007】このように発光管内に封入される水銀量が
15mg/cc以上の場合は、封入された全ての水銀を
蒸発させるために、入力電力を大きくして陽極の温度を
上げる必要があり、この結果、ランプ構造上電流値が5
0A以上となる。
【0008】一方、このようなショートアーク放電ラン
プから放射される紫外線は、露光装置内のミラーやレン
ズによって集光されて露光面に照射されるものであり、
良好に紫外線を集光させるためにアークスポットが極め
て狭い範囲、言い換えれば、アークスポットが小さいこ
とが望まれている。この結果、陰極と陽極との電極間距
離を短くしてアークスポットが小さくなるように構成さ
れている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、発光管
内に封入された多量の水銀を蒸発させるために、入力電
力を大きくして陽極の温度を上げなければならず、入力
電力が大きくなると、必然的に陰極にも大きな電流が流
れることになり、陰極の温度が上がることになる。
【0010】さらに、このような要因で陰極の温度が上
がることに加え、アークスポットを小さくするために電
極間距離を短くすると、アークスポットが小さくなるぶ
んそれだけ狭い空間にエネルギーが集中することにな
り、さらに一層、陰極の温度が上がる傾向にあった。
【0011】このような要因が重なり合い、陰極の温度
が上がり、ランプから放射される紫外線にチラツキが発
生し、露光状態が不均一になるという問題があった。ま
た、陰極の温度が上がると、陰極先端部が蒸発し、陰極
を構成しているタングテンが発光管の内壁に付着し黒化
することにより、発光管を透過する紫外線が早期に減少
し、よって、ショートアーク放電ランプから放射される
紫外線の放射強度が低下し、短寿命になるという問題が
あった。
【0012】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、その目的は、陰極の温度上昇を抑
制することにより、ランプから放射される紫外線にチラ
ツキがなく、長寿命のショートアーク放電ランプを提供
することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1に記載のショートアーク放電ランプは、希
ガスとともに水銀が封入された発光管内に陽極と陰極が
対向配置され、当該発光管内に封入される水銀量が15
mg/cc以上であり、電流値が50A以上で点灯さ
れ、陽極と陰極の電極間距離をX(mm)、入力電力を
Y(W)とし、Y/Xで示される極間入力値が500
(W/mm)以上であるショートアーク放電ランプにお
いて、前記陰極の先端を除く外表面にタングステンより
なる放熱層が形成されていることを特徴とする。
【0014】請求項2に記載のショートアークランプ
は、請求項1に記載のショートアークランプであって、
特に、前記陰極は、先端部を除く外表面に溝が形成され
ており、当該溝上にタングステンよりなる放熱層が形成
されていることを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】図1は、本発明のショートアーク
放電ランプの説明図である。ショートアーク放電ランプ
は、石英ガラスからなる発光管1の中に陽極2と陰極3
が対向配置されており、前記陽極2と陰極3はそれぞれ
気密封止部4を通り電流供給用ベース5につながってい
る。
【0016】発光管1内には、希ガスとしてキセノン、
あるいはクリプトン、アルゴン、および、紫外線を発生
させるために水銀が封入されている。陽極2と陰極3
は、タングステンより構成されおり、陰極3の先端部は
電子放射を良くするためにコーン状になっている。
【0017】陰極3には、先端部を除く外表面に陰極3
の温度上昇を抑制するための放熱層6が形成されてい
る。この放熱層6は、直径が3.5〜5.0μmのタン
グステン粉末を陰極3の外表面に焼結して形成したもの
である。具体的には、図2に示すように、直径Aが15
mmの陰極3の外表面に、その先端からの距離Bが5m
m離れた位置より、陰極3の後方に向けて放熱層6が形
成されている。このように、陰極先端部に放熱層を設け
ない理由は、アーク放電に支障をきたすことがないよう
にするためである。
【0018】他の例としては、図3に示すように、直径
Aが15mmの陰極3の外表面に、その先端からの距離
Bが5mm離れた位置より、陰極3の後方に向けてピッ
チ0.1〜0.5mm程度のネジ状あるいは凹凸状の溝
31が形成されており、その溝31上に直径が3.5〜
5.0μmのタングステン粉末を焼結して放熱層6を形
成してもよい。このように溝を設けることにより、放熱
面の表面積を大きくすることができ、更に、放熱効果を
高めることができる。
【0019】そして、図1に示されている本発明のショ
ートアーク放電ランプは、紫外線放射強度を強くするた
めに多量の水銀が封入されており、具体的には、水銀が
発光管1の体積との関係で15mg/cc以上、具体的
には25mg/cc封入されている。
【0020】このように発光管1内に封入される水銀量
が15mg/cc以上の場合は、前述したとおり、封入
された全ての水銀を蒸発させるために、入力電力を大き
くして陽極2の温度を上げる必要があり、この結果、ラ
ンプ構造上電流値が50A以上となる。図1に示されて
いる本発明のショートアーク放電ランプは、入力電力は
4300W、70Aで点灯するものである。
【0021】また、図1に示されている本発明のショー
トアーク放電ランプにおいて、陰極3と陽極2との電極
間距離Xは5mmであり、入力電力が4300Wである
ので、極間入力値(W/mm)は860である。
【0022】次に、極間入力値(W/mm)と、陰極の
温度との関係を調べる実験を行った。図1に示すショー
トアーク放電ランプを用いて、電極間距離および/また
は入力電力を変化させて極間入力値を変え、その場合に
おける陰極に放熱層を設けた場合と放熱層を設けなかっ
た場合の陰極の温度との関係を調べる実験を行った。な
お、陰極の温度は、温度によって最も影響がでる陰極先
端部の温度を測定したものである。実験結果を図4に示
す。図4は、縦軸に陰極温度、横軸に極間入力値(W/
mm)を示すものである。
【0023】図4中、Bは、陰極に放熱層がない場合
で、Bで示すように極間入力値が500では、陰極先端
部の温度が約2900℃となっている。また、極間入力
値の増加とともに陰極先端部の温度が急激に上昇してい
くのがわかる。陰極に放熱層がない場合、Bで示すよう
に極間入力値が500を超えると、陰極全体の温度が著
しく高くなり、特に、陰極先端部が2900℃を大きく
超える値となり、ランプから放射される紫外線にチラツ
キが発生し、このランプを露光装置の光源として利用す
ると液晶基盤等の被処理物の露光状態が不均一になる。
【0024】図4中、Aは、陰極に放熱層がある場合で
あり、極間入力値が500以上の場合では、極間入力値
が大きくなるにしたがって、陰極先端部の温度が高くな
る傾向にあるが、その温度上昇の度合いは、放熱層がな
い場合と比較して小さくなっている。この結果から明ら
かなように、放熱層によって積極的に陰極の熱を放熱す
ることができ、陰極全体、特に高温となる陰極先端部の
温度上昇を有効に抑制することができ、ランプから放射
される紫外線にチラツキが発生せず、このランプを露光
装置の光源として利用すると液晶基盤等の被処理物の露
光状態が均一になる。
【0025】次に、図1に示す本発明のショートアーク
放電ランプと、陰極に放熱層を設けていないこと以外は
図1に示すランプと同じ従来のショートアーク放電ラン
プの点灯時間の経過に伴う照度維持率の変化を求める実
験を行った。実験結果を図5に示す。図5は、縦軸に照
度維持率、横軸に点灯時間(h:時間)を示し、各ラン
プの初期点灯時の照度を100%として相対的に表した
ものである。
【0026】図5中、従来のショートアーク放電ランプ
は、曲線Bで示すように700時間点灯すると照度維持
率が77%まで低下しているのに対し、発明のショート
アーク放電ランプは、曲線Aで示すように700時間点
灯しても照度維持率が87%と高い値を維持しており、
長時間点灯しても照度維持率の低下が少なく、言い換え
れば、長寿命のランプであることがわかる。すなわち、
本発明のショートアーク放電ランプは、放熱層によって
積極的に陰極の熱を放熱することができるので、陰極先
端部の温度上昇を有効に抑制することができ、陰極先端
部の蒸発を抑制でき、従って、陰極材料の蒸発による発
光管の黒化を抑制でき、長時間点灯しても照度維持率の
低下が少ない長寿命のショートアーク放電ランプとな
る。
【0027】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のショート
アーク放電ランプによれば、陰極の先端を除く外表面に
タングステンよりなる放熱層が形成されているので、多
量の水銀が発光管内に封入され、この水銀を完全に蒸発
させることに起因して陰極の温度が高くなっても、陰極
に形成された放熱層によって、積極的に陰極の熱を放熱
することができるので、陰極全体、特に高温となる陰極
先端部の温度上昇を有効に抑制することができ、ランプ
から放射される紫外線にチラツキが発生することがな
い。また、放熱層によって積極的に陰極の熱を放熱する
ことができるので、陰極先端部の温度上昇を有効に抑制
することができ、陰極先端部の蒸発を抑制でき、従っ
て、陰極材料の蒸発による発光管の黒化を抑制できるの
で、長時間点灯しても照度維持率の低下が少ない長寿命
のショートアーク放電ランプとなる。
【0028】また、陰極は、先端部を除く外表面に溝が
形成されているので、放熱面の表面積を大きくすること
ができ、更に、放熱効果を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のショートアーク放電ランプの説明図で
ある。
【図2】本発明のショートアーク放電ランプの陰極のみ
の拡大説明図である。
【図3】本発明のショートアーク放電ランプの陰極のみ
の拡大説明図である。
【図4】陰極に放熱層がある場合とない場合の極間入力
値に対する陰極温度の変化を示す実験データ説明図であ
る。
【図5】本発明のショートアーク放電ランプと従来のシ
ョートアーク放電ランプの点灯時間にともなう照度維持
率の変化を示す実験データ説明図である。
【符号の説明】
1 発光管 2 陽極 3 陰極 31 溝 4 気密封止部 5 電流供給用ベース 6 放熱層

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 希ガスとともに水銀が封入された発光管
    内に陽極と陰極が対向配置され、当該発光管内に封入さ
    れる水銀量が15mg/cc以上であり、電流値が50
    A以上で点灯され、陽極と陰極の電極間距離をX(m
    m)、入力電力をY(W)とし、Y/Xで示される極間
    入力値が500(W/mm)以上であるショートアーク
    放電ランプにおいて、 前記陰極の先端を除く外表面にタングステンよりなる放
    熱層が形成されていることを特徴とするショートアーク
    放電ランプ。
  2. 【請求項2】 前記陰極は、先端部を除く外表面に溝が
    形成されており、当該溝上にタングステンよりなる放熱
    層が形成されていることを特徴とする請求項1のショー
    トアーク放電ランプ。
JP11114270A 1999-04-21 1999-04-21 ショートアーク放電ランプ Pending JP2000306546A (ja)

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DE60022422T DE60022422T2 (de) 1999-04-21 2000-04-17 Kurzbogen-Entladungslampe
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DE (1) DE60022422T2 (ja)
TW (1) TWM249200U (ja)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002013229A1 (fr) * 2000-08-03 2002-02-14 Ushio Denki Kabushiki Kaisya Lampe de decharge a haute pression d'arc court
JP2003157794A (ja) * 2001-11-21 2003-05-30 Ushio Inc ショートアーク型高圧放電ランプ
JP2003257363A (ja) * 2002-03-01 2003-09-12 Ushio Inc ショートアーク型放電ランプ
JP2004259639A (ja) * 2003-02-27 2004-09-16 Allied Material Corp 放電ランプ及びその電極構造
JP2005005258A (ja) * 2003-05-19 2005-01-06 Ushio Inc エキシマランプ発光装置
JP2008016389A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Ushio Inc ショートアークランプ
US7323132B2 (en) 2002-09-30 2008-01-29 Matsushita Electric Works, Ltd. Method of making three-dimensional object
JP2009105059A (ja) * 2009-01-05 2009-05-14 Allied Material Corp 放電ランプの電極構造
JP2012022780A (ja) * 2010-07-12 2012-02-02 Ushio Inc 高圧放電ランプ
JP2018077945A (ja) * 2016-11-07 2018-05-17 ウシオ電機株式会社 放電ランプ用電極およびその製造方法
KR20220162038A (ko) 2021-05-31 2022-12-07 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법
KR20230045534A (ko) 2021-09-28 2023-04-04 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법
KR20230165690A (ko) 2022-05-27 2023-12-05 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법
KR20240057960A (ko) 2022-10-25 2024-05-03 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 방전 램프

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001035444A1 (en) * 1999-11-11 2001-05-17 Koninklijke Philips Electronics N.V. High-pressure discharge lamp
US20060175973A1 (en) * 2005-02-07 2006-08-10 Lisitsyn Igor V Xenon lamp
DE102006023970A1 (de) * 2006-05-22 2007-11-29 Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH Elektrode für eine Entladungslampe sowie ein Verfahren zum Herstellen einer derartigen Elektrode
JP5664602B2 (ja) * 2012-07-10 2015-02-04 ウシオ電機株式会社 ショートアーク型水銀ランプ
DE102018207038A1 (de) * 2018-05-07 2019-11-07 Osram Gmbh Elektrode für eine entladungslampe, entladungslampe und verfahren zum herstellen einer elektrode
JP7413939B2 (ja) * 2020-06-29 2024-01-16 ウシオ電機株式会社 ショートアーク型放電ランプ

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1182743B (de) * 1961-11-10 1964-12-03 Patra Patent Treuhand Anode fuer eine Hochdruckentladungslampe, insbesondere fuer eine Edelgas-Hochdruckentladungslampe
DE1151877B (de) * 1961-11-27 1963-07-25 Patra Patent Treuhand Kathode fuer eine Hochdruckentladungslampe, vorzugsweise Edelgashochdrucklampe
BE636192A (ja) * 1962-08-17
US3849690A (en) * 1973-11-05 1974-11-19 Gte Sylvania Inc Flash tube having improved cathode
GB2107921A (en) * 1981-10-15 1983-05-05 Emi Plc Thorn Discharge lamp electrode
DE3723271A1 (de) * 1987-07-14 1989-01-26 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Kathode fuer eine hochdruckentladungslampe
JP2601435B2 (ja) * 1989-03-29 1997-04-16 ウシオ電機株式会社 半導体ウエハー露光用ショートアーク水銀ランプ
JPH02304857A (ja) * 1989-05-19 1990-12-18 Ushio Inc ショートアーク型高圧水銀蒸気ランプ
GB9413973D0 (en) * 1994-07-11 1994-08-31 Rank Brimar Ltd Electrode structure
DE9415217U1 (de) * 1994-09-21 1996-01-25 Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH, 81543 München Hochdruckentladungslampe
JPH09231946A (ja) * 1996-02-23 1997-09-05 Ushio Inc ショートアーク型放電ランプ
JPH10208696A (ja) * 1997-01-27 1998-08-07 Ushio Inc ショートアーク型放電ランプ
JP3489373B2 (ja) * 1997-02-07 2004-01-19 ウシオ電機株式会社 ショートアーク型水銀ランプ
DE19749908A1 (de) * 1997-11-11 1999-05-12 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Elektrodenbauteil für Entladungslampen
DE19835476A1 (de) * 1998-08-06 2000-02-10 Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh Elektrode für eine Hochdruckentladungslampe mit langer Lebensdauer

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002013229A1 (fr) * 2000-08-03 2002-02-14 Ushio Denki Kabushiki Kaisya Lampe de decharge a haute pression d'arc court
JP2003157794A (ja) * 2001-11-21 2003-05-30 Ushio Inc ショートアーク型高圧放電ランプ
JP2003257363A (ja) * 2002-03-01 2003-09-12 Ushio Inc ショートアーク型放電ランプ
US7323132B2 (en) 2002-09-30 2008-01-29 Matsushita Electric Works, Ltd. Method of making three-dimensional object
JP2004259639A (ja) * 2003-02-27 2004-09-16 Allied Material Corp 放電ランプ及びその電極構造
JP2005005258A (ja) * 2003-05-19 2005-01-06 Ushio Inc エキシマランプ発光装置
JP2008016389A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Ushio Inc ショートアークランプ
JP2009105059A (ja) * 2009-01-05 2009-05-14 Allied Material Corp 放電ランプの電極構造
JP2012022780A (ja) * 2010-07-12 2012-02-02 Ushio Inc 高圧放電ランプ
JP2018077945A (ja) * 2016-11-07 2018-05-17 ウシオ電機株式会社 放電ランプ用電極およびその製造方法
KR20220162038A (ko) 2021-05-31 2022-12-07 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법
KR20230045534A (ko) 2021-09-28 2023-04-04 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법
KR20230165690A (ko) 2022-05-27 2023-12-05 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법
KR20240057960A (ko) 2022-10-25 2024-05-03 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 방전 램프

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