JP2000306546A - ショートアーク放電ランプ - Google Patents
ショートアーク放電ランプInfo
- Publication number
- JP2000306546A JP2000306546A JP11114270A JP11427099A JP2000306546A JP 2000306546 A JP2000306546 A JP 2000306546A JP 11114270 A JP11114270 A JP 11114270A JP 11427099 A JP11427099 A JP 11427099A JP 2000306546 A JP2000306546 A JP 2000306546A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- discharge lamp
- arc discharge
- short arc
- mercury
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
- F24H1/00—Water heaters, e.g. boilers, continuous-flow heaters or water-storage heaters
- F24H1/18—Water-storage heaters
- F24H1/20—Water-storage heaters with immersed heating elements, e.g. electric elements or furnace tubes
- F24H1/201—Water-storage heaters with immersed heating elements, e.g. electric elements or furnace tubes using electric energy supply
- F24H1/202—Water-storage heaters with immersed heating elements, e.g. electric elements or furnace tubes using electric energy supply with resistances
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
- H01J61/06—Main electrodes
- H01J61/073—Main electrodes for high-pressure discharge lamps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03D—WIND MOTORS
- F03D9/00—Adaptations of wind motors for special use; Combinations of wind motors with apparatus driven thereby; Wind motors specially adapted for installation in particular locations
- F03D9/20—Wind motors characterised by the driven apparatus
- F03D9/25—Wind motors characterised by the driven apparatus the apparatus being an electrical generator
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
- F24H9/00—Details
- F24H9/12—Arrangements for connecting heaters to circulation pipes
- F24H9/13—Arrangements for connecting heaters to circulation pipes for water heaters
- F24H9/133—Storage heaters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
- F24H9/00—Details
- F24H9/18—Arrangement or mounting of grates or heating means
- F24H9/1809—Arrangement or mounting of grates or heating means for water heaters
- F24H9/1818—Arrangement or mounting of electric heating means
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
- F24H9/00—Details
- F24H9/20—Arrangement or mounting of control or safety devices
- F24H9/2007—Arrangement or mounting of control or safety devices for water heaters
- F24H9/2014—Arrangement or mounting of control or safety devices for water heaters using electrical energy supply
- F24H9/2021—Storage heaters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/52—Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
- H01J61/523—Heating or cooling particular parts of the lamp
- H01J61/526—Heating or cooling particular parts of the lamp heating or cooling of electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/82—Lamps with high-pressure unconstricted discharge having a cold pressure > 400 Torr
- H01J61/822—High-pressure mercury lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/84—Lamps with discharge constricted by high pressure
- H01J61/86—Lamps with discharge constricted by high pressure with discharge additionally constricted by close spacing of electrodes, e.g. for optical projection
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24H—FLUID HEATERS, e.g. WATER OR AIR HEATERS, HAVING HEAT-GENERATING MEANS, e.g. HEAT PUMPS, IN GENERAL
- F24H2250/00—Electrical heat generating means
- F24H2250/02—Resistances
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/70—Wind energy
- Y02E10/72—Wind turbines with rotation axis in wind direction
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Discharge Lamp (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
プから放射される紫外線にチラツキがなく、長寿命のシ
ョートアーク放電ランプを提供することにある。 【解決手段】 希ガスとともに水銀が封入された発光管
1内に陽極2と陰極3が対向配置され、発光管1内に封
入される水銀量が15mg/cc以上であり、電流値が
50A以上で点灯され、陽極2と陰極3の電極間距離を
X(mm)、入力電力をY(W)とし、Y/Xで示され
る極間入力値が500(W/mm)以上であるショート
アーク放電ランプにおいて、陰極3の先端を除く外表面
にタングステンよりなる放熱層6が形成されていること
を特徴とするショートアーク放電ランプ。
Description
電ランプに関し、特に、液晶、カラーフィルター、プリ
ント基板の露光用のショートアーク放電ランプに関する
ものである。
ター製造工程、プリント基板製造工程などに用いられる
露光用の光源として、特開平2−256150に示され
ているように、一対の電極が対向配置された発光管内に
水銀が封入され、この水銀によって紫外線を放射するシ
ョートアーク放電ランプが知られている。
ラーフィルターを露光するためには、紫外線のエネルギ
ーが200mj程度必要であり、露光装置の露光面での
照度が10mW/cm2とすると、露光するのに20秒
かかることになる。この露光工程において生産性を上げ
る方法として、露光時間を短くすることが考えられてい
る。つまり、露光面での照度アップであり、紫外線放射
強度の強いランプが求められてきている。
化する傾向にあり、生産性のアップやコストダウンの要
求等からも、より大きな基盤を使った多面取りなどの手
法が用いられてきている。つまり、基盤の大型化にとも
なって、露光面積も大きくなっており、紫外線放射強度
の強いランプが求められてきている。
は、g線、h線、i線と呼ばれる紫外線が主に使われ
る。これらの紫外線は、水銀を発光管内に多量に封入す
ることにより、ランプから放射される紫外線放射強度を
強くする有効な手段となっている。
封入される水銀量が15mg/ccのランプが、この種
の露光用に使われている。今後の生産性のアップ、基盤
サイズの大型化にともない、紫外線放射強度を強くする
ために、発光管内に封入される水銀量が少なくとも15
mg/cc以上必要である。
15mg/cc以上の場合は、封入された全ての水銀を
蒸発させるために、入力電力を大きくして陽極の温度を
上げる必要があり、この結果、ランプ構造上電流値が5
0A以上となる。
プから放射される紫外線は、露光装置内のミラーやレン
ズによって集光されて露光面に照射されるものであり、
良好に紫外線を集光させるためにアークスポットが極め
て狭い範囲、言い換えれば、アークスポットが小さいこ
とが望まれている。この結果、陰極と陽極との電極間距
離を短くしてアークスポットが小さくなるように構成さ
れている。
内に封入された多量の水銀を蒸発させるために、入力電
力を大きくして陽極の温度を上げなければならず、入力
電力が大きくなると、必然的に陰極にも大きな電流が流
れることになり、陰極の温度が上がることになる。
がることに加え、アークスポットを小さくするために電
極間距離を短くすると、アークスポットが小さくなるぶ
んそれだけ狭い空間にエネルギーが集中することにな
り、さらに一層、陰極の温度が上がる傾向にあった。
が上がり、ランプから放射される紫外線にチラツキが発
生し、露光状態が不均一になるという問題があった。ま
た、陰極の温度が上がると、陰極先端部が蒸発し、陰極
を構成しているタングテンが発光管の内壁に付着し黒化
することにより、発光管を透過する紫外線が早期に減少
し、よって、ショートアーク放電ランプから放射される
紫外線の放射強度が低下し、短寿命になるという問題が
あった。
されたものであって、その目的は、陰極の温度上昇を抑
制することにより、ランプから放射される紫外線にチラ
ツキがなく、長寿命のショートアーク放電ランプを提供
することにある。
に、請求項1に記載のショートアーク放電ランプは、希
ガスとともに水銀が封入された発光管内に陽極と陰極が
対向配置され、当該発光管内に封入される水銀量が15
mg/cc以上であり、電流値が50A以上で点灯さ
れ、陽極と陰極の電極間距離をX(mm)、入力電力を
Y(W)とし、Y/Xで示される極間入力値が500
(W/mm)以上であるショートアーク放電ランプにお
いて、前記陰極の先端を除く外表面にタングステンより
なる放熱層が形成されていることを特徴とする。
は、請求項1に記載のショートアークランプであって、
特に、前記陰極は、先端部を除く外表面に溝が形成され
ており、当該溝上にタングステンよりなる放熱層が形成
されていることを特徴とする。
放電ランプの説明図である。ショートアーク放電ランプ
は、石英ガラスからなる発光管1の中に陽極2と陰極3
が対向配置されており、前記陽極2と陰極3はそれぞれ
気密封止部4を通り電流供給用ベース5につながってい
る。
あるいはクリプトン、アルゴン、および、紫外線を発生
させるために水銀が封入されている。陽極2と陰極3
は、タングステンより構成されおり、陰極3の先端部は
電子放射を良くするためにコーン状になっている。
の温度上昇を抑制するための放熱層6が形成されてい
る。この放熱層6は、直径が3.5〜5.0μmのタン
グステン粉末を陰極3の外表面に焼結して形成したもの
である。具体的には、図2に示すように、直径Aが15
mmの陰極3の外表面に、その先端からの距離Bが5m
m離れた位置より、陰極3の後方に向けて放熱層6が形
成されている。このように、陰極先端部に放熱層を設け
ない理由は、アーク放電に支障をきたすことがないよう
にするためである。
Aが15mmの陰極3の外表面に、その先端からの距離
Bが5mm離れた位置より、陰極3の後方に向けてピッ
チ0.1〜0.5mm程度のネジ状あるいは凹凸状の溝
31が形成されており、その溝31上に直径が3.5〜
5.0μmのタングステン粉末を焼結して放熱層6を形
成してもよい。このように溝を設けることにより、放熱
面の表面積を大きくすることができ、更に、放熱効果を
高めることができる。
ートアーク放電ランプは、紫外線放射強度を強くするた
めに多量の水銀が封入されており、具体的には、水銀が
発光管1の体積との関係で15mg/cc以上、具体的
には25mg/cc封入されている。
が15mg/cc以上の場合は、前述したとおり、封入
された全ての水銀を蒸発させるために、入力電力を大き
くして陽極2の温度を上げる必要があり、この結果、ラ
ンプ構造上電流値が50A以上となる。図1に示されて
いる本発明のショートアーク放電ランプは、入力電力は
4300W、70Aで点灯するものである。
トアーク放電ランプにおいて、陰極3と陽極2との電極
間距離Xは5mmであり、入力電力が4300Wである
ので、極間入力値(W/mm)は860である。
温度との関係を調べる実験を行った。図1に示すショー
トアーク放電ランプを用いて、電極間距離および/また
は入力電力を変化させて極間入力値を変え、その場合に
おける陰極に放熱層を設けた場合と放熱層を設けなかっ
た場合の陰極の温度との関係を調べる実験を行った。な
お、陰極の温度は、温度によって最も影響がでる陰極先
端部の温度を測定したものである。実験結果を図4に示
す。図4は、縦軸に陰極温度、横軸に極間入力値(W/
mm)を示すものである。
で、Bで示すように極間入力値が500では、陰極先端
部の温度が約2900℃となっている。また、極間入力
値の増加とともに陰極先端部の温度が急激に上昇してい
くのがわかる。陰極に放熱層がない場合、Bで示すよう
に極間入力値が500を超えると、陰極全体の温度が著
しく高くなり、特に、陰極先端部が2900℃を大きく
超える値となり、ランプから放射される紫外線にチラツ
キが発生し、このランプを露光装置の光源として利用す
ると液晶基盤等の被処理物の露光状態が不均一になる。
あり、極間入力値が500以上の場合では、極間入力値
が大きくなるにしたがって、陰極先端部の温度が高くな
る傾向にあるが、その温度上昇の度合いは、放熱層がな
い場合と比較して小さくなっている。この結果から明ら
かなように、放熱層によって積極的に陰極の熱を放熱す
ることができ、陰極全体、特に高温となる陰極先端部の
温度上昇を有効に抑制することができ、ランプから放射
される紫外線にチラツキが発生せず、このランプを露光
装置の光源として利用すると液晶基盤等の被処理物の露
光状態が均一になる。
放電ランプと、陰極に放熱層を設けていないこと以外は
図1に示すランプと同じ従来のショートアーク放電ラン
プの点灯時間の経過に伴う照度維持率の変化を求める実
験を行った。実験結果を図5に示す。図5は、縦軸に照
度維持率、横軸に点灯時間(h:時間)を示し、各ラン
プの初期点灯時の照度を100%として相対的に表した
ものである。
は、曲線Bで示すように700時間点灯すると照度維持
率が77%まで低下しているのに対し、発明のショート
アーク放電ランプは、曲線Aで示すように700時間点
灯しても照度維持率が87%と高い値を維持しており、
長時間点灯しても照度維持率の低下が少なく、言い換え
れば、長寿命のランプであることがわかる。すなわち、
本発明のショートアーク放電ランプは、放熱層によって
積極的に陰極の熱を放熱することができるので、陰極先
端部の温度上昇を有効に抑制することができ、陰極先端
部の蒸発を抑制でき、従って、陰極材料の蒸発による発
光管の黒化を抑制でき、長時間点灯しても照度維持率の
低下が少ない長寿命のショートアーク放電ランプとな
る。
アーク放電ランプによれば、陰極の先端を除く外表面に
タングステンよりなる放熱層が形成されているので、多
量の水銀が発光管内に封入され、この水銀を完全に蒸発
させることに起因して陰極の温度が高くなっても、陰極
に形成された放熱層によって、積極的に陰極の熱を放熱
することができるので、陰極全体、特に高温となる陰極
先端部の温度上昇を有効に抑制することができ、ランプ
から放射される紫外線にチラツキが発生することがな
い。また、放熱層によって積極的に陰極の熱を放熱する
ことができるので、陰極先端部の温度上昇を有効に抑制
することができ、陰極先端部の蒸発を抑制でき、従っ
て、陰極材料の蒸発による発光管の黒化を抑制できるの
で、長時間点灯しても照度維持率の低下が少ない長寿命
のショートアーク放電ランプとなる。
形成されているので、放熱面の表面積を大きくすること
ができ、更に、放熱効果を高めることができる。
ある。
の拡大説明図である。
の拡大説明図である。
値に対する陰極温度の変化を示す実験データ説明図であ
る。
ョートアーク放電ランプの点灯時間にともなう照度維持
率の変化を示す実験データ説明図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 希ガスとともに水銀が封入された発光管
内に陽極と陰極が対向配置され、当該発光管内に封入さ
れる水銀量が15mg/cc以上であり、電流値が50
A以上で点灯され、陽極と陰極の電極間距離をX(m
m)、入力電力をY(W)とし、Y/Xで示される極間
入力値が500(W/mm)以上であるショートアーク
放電ランプにおいて、 前記陰極の先端を除く外表面にタングステンよりなる放
熱層が形成されていることを特徴とするショートアーク
放電ランプ。 - 【請求項2】 前記陰極は、先端部を除く外表面に溝が
形成されており、当該溝上にタングステンよりなる放熱
層が形成されていることを特徴とする請求項1のショー
トアーク放電ランプ。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11114270A JP2000306546A (ja) | 1999-04-21 | 1999-04-21 | ショートアーク放電ランプ |
TW092210222U TWM249200U (en) | 1999-04-21 | 2000-02-11 | Short-arc discharging lamp |
KR10-2000-0007023A KR100528232B1 (ko) | 1999-04-21 | 2000-02-15 | 쇼트 아크 방전 램프 |
EP00108394A EP1047109B1 (en) | 1999-04-21 | 2000-04-17 | Short-arc discharge lamp |
DE60022422T DE60022422T2 (de) | 1999-04-21 | 2000-04-17 | Kurzbogen-Entladungslampe |
US09/551,351 US6437508B1 (en) | 1999-04-21 | 2000-04-18 | Short-arc discharge lamp |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11114270A JP2000306546A (ja) | 1999-04-21 | 1999-04-21 | ショートアーク放電ランプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000306546A true JP2000306546A (ja) | 2000-11-02 |
Family
ID=14633619
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11114270A Pending JP2000306546A (ja) | 1999-04-21 | 1999-04-21 | ショートアーク放電ランプ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6437508B1 (ja) |
EP (1) | EP1047109B1 (ja) |
JP (1) | JP2000306546A (ja) |
KR (1) | KR100528232B1 (ja) |
DE (1) | DE60022422T2 (ja) |
TW (1) | TWM249200U (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002013229A1 (fr) * | 2000-08-03 | 2002-02-14 | Ushio Denki Kabushiki Kaisya | Lampe de decharge a haute pression d'arc court |
JP2003157794A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Ushio Inc | ショートアーク型高圧放電ランプ |
JP2003257363A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-09-12 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
JP2004259639A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Allied Material Corp | 放電ランプ及びその電極構造 |
JP2005005258A (ja) * | 2003-05-19 | 2005-01-06 | Ushio Inc | エキシマランプ発光装置 |
JP2008016389A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Ushio Inc | ショートアークランプ |
US7323132B2 (en) | 2002-09-30 | 2008-01-29 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Method of making three-dimensional object |
JP2009105059A (ja) * | 2009-01-05 | 2009-05-14 | Allied Material Corp | 放電ランプの電極構造 |
JP2012022780A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Ushio Inc | 高圧放電ランプ |
JP2018077945A (ja) * | 2016-11-07 | 2018-05-17 | ウシオ電機株式会社 | 放電ランプ用電極およびその製造方法 |
KR20220162038A (ko) | 2021-05-31 | 2022-12-07 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법 |
KR20230045534A (ko) | 2021-09-28 | 2023-04-04 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법 |
KR20230165690A (ko) | 2022-05-27 | 2023-12-05 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법 |
KR20240057960A (ko) | 2022-10-25 | 2024-05-03 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 방전 램프 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001035444A1 (en) * | 1999-11-11 | 2001-05-17 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | High-pressure discharge lamp |
US20060175973A1 (en) * | 2005-02-07 | 2006-08-10 | Lisitsyn Igor V | Xenon lamp |
DE102006023970A1 (de) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH | Elektrode für eine Entladungslampe sowie ein Verfahren zum Herstellen einer derartigen Elektrode |
JP5664602B2 (ja) * | 2012-07-10 | 2015-02-04 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型水銀ランプ |
DE102018207038A1 (de) * | 2018-05-07 | 2019-11-07 | Osram Gmbh | Elektrode für eine entladungslampe, entladungslampe und verfahren zum herstellen einer elektrode |
JP7413939B2 (ja) * | 2020-06-29 | 2024-01-16 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型放電ランプ |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1182743B (de) * | 1961-11-10 | 1964-12-03 | Patra Patent Treuhand | Anode fuer eine Hochdruckentladungslampe, insbesondere fuer eine Edelgas-Hochdruckentladungslampe |
DE1151877B (de) * | 1961-11-27 | 1963-07-25 | Patra Patent Treuhand | Kathode fuer eine Hochdruckentladungslampe, vorzugsweise Edelgashochdrucklampe |
BE636192A (ja) * | 1962-08-17 | |||
US3849690A (en) * | 1973-11-05 | 1974-11-19 | Gte Sylvania Inc | Flash tube having improved cathode |
GB2107921A (en) * | 1981-10-15 | 1983-05-05 | Emi Plc Thorn | Discharge lamp electrode |
DE3723271A1 (de) * | 1987-07-14 | 1989-01-26 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Kathode fuer eine hochdruckentladungslampe |
JP2601435B2 (ja) * | 1989-03-29 | 1997-04-16 | ウシオ電機株式会社 | 半導体ウエハー露光用ショートアーク水銀ランプ |
JPH02304857A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-18 | Ushio Inc | ショートアーク型高圧水銀蒸気ランプ |
GB9413973D0 (en) * | 1994-07-11 | 1994-08-31 | Rank Brimar Ltd | Electrode structure |
DE9415217U1 (de) * | 1994-09-21 | 1996-01-25 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH, 81543 München | Hochdruckentladungslampe |
JPH09231946A (ja) * | 1996-02-23 | 1997-09-05 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
JPH10208696A (ja) * | 1997-01-27 | 1998-08-07 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
JP3489373B2 (ja) * | 1997-02-07 | 2004-01-19 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型水銀ランプ |
DE19749908A1 (de) * | 1997-11-11 | 1999-05-12 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Elektrodenbauteil für Entladungslampen |
DE19835476A1 (de) * | 1998-08-06 | 2000-02-10 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Elektrode für eine Hochdruckentladungslampe mit langer Lebensdauer |
-
1999
- 1999-04-21 JP JP11114270A patent/JP2000306546A/ja active Pending
-
2000
- 2000-02-11 TW TW092210222U patent/TWM249200U/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-02-15 KR KR10-2000-0007023A patent/KR100528232B1/ko not_active Expired - Lifetime
- 2000-04-17 EP EP00108394A patent/EP1047109B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-04-17 DE DE60022422T patent/DE60022422T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-04-18 US US09/551,351 patent/US6437508B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002013229A1 (fr) * | 2000-08-03 | 2002-02-14 | Ushio Denki Kabushiki Kaisya | Lampe de decharge a haute pression d'arc court |
JP2003157794A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Ushio Inc | ショートアーク型高圧放電ランプ |
JP2003257363A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-09-12 | Ushio Inc | ショートアーク型放電ランプ |
US7323132B2 (en) | 2002-09-30 | 2008-01-29 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Method of making three-dimensional object |
JP2004259639A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Allied Material Corp | 放電ランプ及びその電極構造 |
JP2005005258A (ja) * | 2003-05-19 | 2005-01-06 | Ushio Inc | エキシマランプ発光装置 |
JP2008016389A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-01-24 | Ushio Inc | ショートアークランプ |
JP2009105059A (ja) * | 2009-01-05 | 2009-05-14 | Allied Material Corp | 放電ランプの電極構造 |
JP2012022780A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Ushio Inc | 高圧放電ランプ |
JP2018077945A (ja) * | 2016-11-07 | 2018-05-17 | ウシオ電機株式会社 | 放電ランプ用電極およびその製造方法 |
KR20220162038A (ko) | 2021-05-31 | 2022-12-07 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법 |
KR20230045534A (ko) | 2021-09-28 | 2023-04-04 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법 |
KR20230165690A (ko) | 2022-05-27 | 2023-12-05 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 방전 램프 및 방전 램프용 전극의 제조 방법 |
KR20240057960A (ko) | 2022-10-25 | 2024-05-03 | 가부시키가이샤 오크세이사쿠쇼 | 방전 램프 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100528232B1 (ko) | 2005-11-15 |
TWM249200U (en) | 2004-11-01 |
EP1047109B1 (en) | 2005-09-07 |
EP1047109A1 (en) | 2000-10-25 |
DE60022422T2 (de) | 2006-06-29 |
KR20000071351A (ko) | 2000-11-25 |
US6437508B1 (en) | 2002-08-20 |
DE60022422D1 (de) | 2005-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2000306546A (ja) | ショートアーク放電ランプ | |
CN1201372C (zh) | 长寿命高压放电灯 | |
CN1577714A (zh) | 短弧型放电灯点灯装置 | |
JP3158972B2 (ja) | ショートアーク型水銀ランプ及びその点灯方法 | |
US20060055329A1 (en) | Extra-high pressure mercury lamp | |
JP4054198B2 (ja) | ショートアーク型放電灯の電極およびショートアーク型放電灯 | |
JP4400125B2 (ja) | ショートアーク型放電ランプ点灯装置 | |
JP3570370B2 (ja) | 光源装置 | |
JPH10208696A (ja) | ショートアーク型放電ランプ | |
JP2002251979A (ja) | ショートアーク型放電灯 | |
JP5664602B2 (ja) | ショートアーク型水銀ランプ | |
JP2003257365A (ja) | ショートアーク型放電灯の電極およびショートアーク型放電灯 | |
JP4670597B2 (ja) | ショートアーク型水銀ランプ | |
JP3178460B2 (ja) | 高圧水銀ランプ、および高圧水銀ランプ発光装置 | |
JP4628777B2 (ja) | ショートアーク型高圧放電ランプ | |
JP2732457B2 (ja) | ショートアーク型水銀蒸気放電灯 | |
JP2009230904A (ja) | ショートアーク型放電ランプ | |
JP2003249191A (ja) | 放電灯用電極 | |
JPH0587937B2 (ja) | ||
JPH08195186A (ja) | ショートアーク型カドミウム希ガス放電ランプ | |
JP2001135274A (ja) | ショートアーク型放電灯 | |
CN1993007B (zh) | 短弧形放电灯点灯装置、紫外线照射装置以及紫外线照射方法 | |
JPH087835A (ja) | 半導体露光用放電ランプ | |
JPS63254653A (ja) | 露光用光源 | |
JP2005203285A (ja) | 発光管の製造方法、発光管および高圧放電ランプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040823 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040907 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050705 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051108 |