JP2000147421A - 共焦点光スキャナ - Google Patents
共焦点光スキャナInfo
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- JP2000147421A JP2000147421A JP10326440A JP32644098A JP2000147421A JP 2000147421 A JP2000147421 A JP 2000147421A JP 10326440 A JP10326440 A JP 10326440A JP 32644098 A JP32644098 A JP 32644098A JP 2000147421 A JP2000147421 A JP 2000147421A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 25
- 238000005070 sampling Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
- G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
- G02B21/0036—Scanning details, e.g. scanning stages
- G02B21/0044—Scanning details, e.g. scanning stages moving apertures, e.g. Nipkow disks, rotating lens arrays
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- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 利用できる光の効率の向上が可能な共焦点光
スキャナを実現する。 【解決手段】 複数の集光手段を有する円板及び前記集
光手段と同一パターンの複数の開口を有する円板を同期
して回転させ集光手段及び開口を通過した光を集光して
試料を走査する共焦点光スキャナにおいて、集光手段の
中心点を結ぶ線分の２等分点に集光手段間の境界線が来
るように配置する。
スキャナを実現する。 【解決手段】 複数の集光手段を有する円板及び前記集
光手段と同一パターンの複数の開口を有する円板を同期
して回転させ集光手段及び開口を通過した光を集光して
試料を走査する共焦点光スキャナにおいて、集光手段の
中心点を結ぶ線分の２等分点に集光手段間の境界線が来
るように配置する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数の集光手段及
び開口を設けた円板を回転させることにより光走査を行
う共焦点光スキャナに関し、特に光効率の向上が可能な
共焦点光スキャナに関する。
び開口を設けた円板を回転させることにより光走査を行
う共焦点光スキャナに関し、特に光効率の向上が可能な
共焦点光スキャナに関する。
【０００２】
【従来の技術】共焦点光スキャナは複数の集光手段及び
開口の設けられた２枚の円板を回転させて光走査を行う
ものである。
開口の設けられた２枚の円板を回転させて光走査を行う
ものである。
【０００３】図６はこのような従来の共焦点光スキャナ
の一例を示す構成ブロック図であり、本願出願人の出願
に係る特願平４−１５４１１号（特開平５−６０９８０
号公報）に記載されたものである。
の一例を示す構成ブロック図であり、本願出願人の出願
に係る特願平４−１５４１１号（特開平５−６０９８０
号公報）に記載されたものである。
【０００４】図６において１はレーザ、２は集光手段と
してマイクロレンズが設けられた円板（以下、マイクロ
レンズ板と呼ぶ。）、３は光分岐手段であるビームスプ
リッタ、４は開口としてピンホールが設けられた円板
（以下、ピンホール板と呼ぶ。）、５は対物レンズ、６
は試料、７はリレーレンズ、８は受光器、９はマイクロ
レンズ板２及びピンホール板４を同期して回転させるモ
ータである。
してマイクロレンズが設けられた円板（以下、マイクロ
レンズ板と呼ぶ。）、３は光分岐手段であるビームスプ
リッタ、４は開口としてピンホールが設けられた円板
（以下、ピンホール板と呼ぶ。）、５は対物レンズ、６
は試料、７はリレーレンズ、８は受光器、９はマイクロ
レンズ板２及びピンホール板４を同期して回転させるモ
ータである。
【０００５】レーザ１の出力光はマイクロレンズ板２に
入射され、マイクロレンズ板２に設けられた各々のマイ
クロレンズによりビームスプリッタ３を介してピンホー
ル板４上の各々のピンホールに集光される。ピンホール
板４上の各々のピンホールを通過した光は対物レンズ５
を介して試料６の上に入射される。
入射され、マイクロレンズ板２に設けられた各々のマイ
クロレンズによりビームスプリッタ３を介してピンホー
ル板４上の各々のピンホールに集光される。ピンホール
板４上の各々のピンホールを通過した光は対物レンズ５
を介して試料６の上に入射される。
【０００６】試料６からの反射光等の戻り光は再び対物
レンズ５を介してピンホール板４に入射され、ピンホー
ル板４上の各々のピンホールを通過した光はビームスプ
リッタ３で反射され、リレーレンズ７を介して受光器８
に入射される。
レンズ５を介してピンホール板４に入射され、ピンホー
ル板４上の各々のピンホールを通過した光はビームスプ
リッタ３で反射され、リレーレンズ７を介して受光器８
に入射される。
【０００７】また、マイクロレンズ板２及びピンホール
板４は同一の軸に固定され、この軸に取付けられたモー
タ９によって同期して回転される。
板４は同一の軸に固定され、この軸に取付けられたモー
タ９によって同期して回転される。
【０００８】ここで、図６に示す従来例の動作を説明す
る。レーザ１の出力光は同期して回転するマイクロレン
ズ板２上の各々のマイクロレンズ及びピンホール板４上
の各々のピンホールを通過することにより試料６表面を
走査する。そして、試料６からの反射光は受光器８で受
光されて共焦点画像が得られる。
る。レーザ１の出力光は同期して回転するマイクロレン
ズ板２上の各々のマイクロレンズ及びピンホール板４上
の各々のピンホールを通過することにより試料６表面を
走査する。そして、試料６からの反射光は受光器８で受
光されて共焦点画像が得られる。
【０００９】また、前述のようにマイクロレンズ板２に
設けられた各々のマイクロレンズは入射光をビームスプ
リッタ３を介してピンホール板４上の各々のピンホール
に集光する。即ち、マイクロレンズの焦点位置にピンホ
ールを配置することによりレーザ１からの入射光の利用
効率を向上させることが可能になる。
設けられた各々のマイクロレンズは入射光をビームスプ
リッタ３を介してピンホール板４上の各々のピンホール
に集光する。即ち、マイクロレンズの焦点位置にピンホ
ールを配置することによりレーザ１からの入射光の利用
効率を向上させることが可能になる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図６に示す従
来例のマイクロレンズ板２においてはマイクロレンズ径
とマイクロレンズの関係により利用できる光の効率が低
い。
来例のマイクロレンズ板２においてはマイクロレンズ径
とマイクロレンズの関係により利用できる光の効率が低
い。
【００１１】例えば、図７はマイクロレンズ板２のマイ
クロレンズの一部を示す平面図であり、図７中”Ｄ００
１”及び”Ｐ００１”に示すマイクロレンズ径とマイク
ロレンズとの比が１：１０であればマイクロレンズ板２
に入射された光の１％程度しか活用できなくなる。
クロレンズの一部を示す平面図であり、図７中”Ｄ００
１”及び”Ｐ００１”に示すマイクロレンズ径とマイク
ロレンズとの比が１：１０であればマイクロレンズ板２
に入射された光の１％程度しか活用できなくなる。
【００１２】また、例えば、マイクロレンズ板２のマイ
クロレンズは円形であるため図８に示すように隣接する
正方形に内接するまでマイクロレンズを拡大した場合で
も、正方形の面積を”１”とした場合”π／４”の面積
しか利用できず図８中斜線部分に入射した光が活用でき
ず、約７８．５％（＝π／４）程度の光効率しか得られ
ないと言った問題点があった。
クロレンズは円形であるため図８に示すように隣接する
正方形に内接するまでマイクロレンズを拡大した場合で
も、正方形の面積を”１”とした場合”π／４”の面積
しか利用できず図８中斜線部分に入射した光が活用でき
ず、約７８．５％（＝π／４）程度の光効率しか得られ
ないと言った問題点があった。
【００１３】また、マイクロレンズによって絞られるビ
ーム径はマイクロレンズの開口数により決まるため開口
数が小さいとビーム径を十分絞ることが出来ないと言っ
た問題点があった。従って本発明が解決しようとする課
題は、利用できる光の効率の向上が可能な共焦点光スキ
ャナを実現することにある。
ーム径はマイクロレンズの開口数により決まるため開口
数が小さいとビーム径を十分絞ることが出来ないと言っ
た問題点があった。従って本発明が解決しようとする課
題は、利用できる光の効率の向上が可能な共焦点光スキ
ャナを実現することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、複数の
集光手段を有する円板及び前記集光手段と同一パターン
の複数の開口を有する円板を同期して回転させ前記集光
手段及び前記開口を通過した光を集光して試料を走査す
る共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段の中心点を
結ぶ線分の２等分点に前記集光手段間の境界線が来るよ
うに配置したことにより、マイクロレンズ板に入射され
た光を１００％活用することが可能になる。
るために、本発明のうち請求項１記載の発明は、複数の
集光手段を有する円板及び前記集光手段と同一パターン
の複数の開口を有する円板を同期して回転させ前記集光
手段及び前記開口を通過した光を集光して試料を走査す
る共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段の中心点を
結ぶ線分の２等分点に前記集光手段間の境界線が来るよ
うに配置したことにより、マイクロレンズ板に入射され
た光を１００％活用することが可能になる。
【００１５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明である共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段の形
状が方形であることにより、マイクロレンズ板に入射さ
れた光を１００％活用することが可能になる。
明である共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段の形
状が方形であることにより、マイクロレンズ板に入射さ
れた光を１００％活用することが可能になる。
【００１６】請求項３記載の発明は、請求項２記載の発
明である共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段の形
状が正方形であることにより、マイクロレンズ板に入射
された光を１００％活用することが可能になる。
明である共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段の形
状が正方形であることにより、マイクロレンズ板に入射
された光を１００％活用することが可能になる。
【００１７】請求項４記載の発明は、請求項１記載の発
明である共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段の形
状が三角形であることにより、マイクロレンズ板に入射
された光を１００％活用することが可能になる。
明である共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段の形
状が三角形であることにより、マイクロレンズ板に入射
された光を１００％活用することが可能になる。
【００１８】請求項５記載の発明は、請求項１記載の発
明である共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段の形
状が六角形であることにより、マイクロレンズ板に入射
された光を１００％活用することが可能になる。
明である共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段の形
状が六角形であることにより、マイクロレンズ板に入射
された光を１００％活用することが可能になる。
【００１９】請求項６記載の発明は、請求項１記載の発
明である共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段が複
数形状の集光手段の組み合わせであることにより、マイ
クロレンズ板に入射された光を１００％活用することが
可能になる。
明である共焦点光スキャナにおいて、前記集光手段が複
数形状の集光手段の組み合わせであることにより、マイ
クロレンズ板に入射された光を１００％活用することが
可能になる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を用いて詳細に
説明する。図１は本発明に係る共焦点光スキャナの一実
施例を示す構成ブロック図である。図１において１及び
３〜９は図４と同一符号を付してあり、２ａはマイクロ
レンズ板である。
説明する。図１は本発明に係る共焦点光スキャナの一実
施例を示す構成ブロック図である。図１において１及び
３〜９は図４と同一符号を付してあり、２ａはマイクロ
レンズ板である。
【００２１】レーザ１の出力光はマイクロレンズ板２ａ
に入射され、マイクロレンズ板２ａに設けられた各々の
マイクロレンズによりビームスプリッタ３を介してピン
ホール板４上の各々のピンホールに集光される。ピンホ
ール板４上の各々のピンホールを通過した光は対物レン
ズ５を介して試料６の上に入射される。
に入射され、マイクロレンズ板２ａに設けられた各々の
マイクロレンズによりビームスプリッタ３を介してピン
ホール板４上の各々のピンホールに集光される。ピンホ
ール板４上の各々のピンホールを通過した光は対物レン
ズ５を介して試料６の上に入射される。
【００２２】試料６からの反射光等の戻り光は再び対物
レンズ５を介してピンホール板４に入射され、ピンホー
ル板４上の各々のピンホールを通過した光はビームスプ
リッタ３で反射され、リレーレンズ７を介して受光器８
に入射される。
レンズ５を介してピンホール板４に入射され、ピンホー
ル板４上の各々のピンホールを通過した光はビームスプ
リッタ３で反射され、リレーレンズ７を介して受光器８
に入射される。
【００２３】また、マイクロレンズ板２ａ及びピンホー
ル板４は同一の軸に固定され、この軸に取付けられたモ
ータ９によって同期して回転される。
ル板４は同一の軸に固定され、この軸に取付けられたモ
ータ９によって同期して回転される。
【００２４】ここで、図５に示す従来例の動作を図２を
用いて説明する。図２はマイクロレンズ板２ａのマイク
ロレンズの一部を示す平面図であり、図２（Ａ）は従来
の円形マイクロレンズを用いて配置した場合を示す平面
図、図２（Ｂ）は本発明に係る正方形のマイクロレンズ
を用いて配置した場合を示す平面図である。
用いて説明する。図２はマイクロレンズ板２ａのマイク
ロレンズの一部を示す平面図であり、図２（Ａ）は従来
の円形マイクロレンズを用いて配置した場合を示す平面
図、図２（Ｂ）は本発明に係る正方形のマイクロレンズ
を用いて配置した場合を示す平面図である。
【００２５】図２中”Ｌ００１”、”Ｌ００２”、”Ｌ
００３”及び”Ｌ００４”に示す各マイクロレンズは正
方形の形状をしており、各マイクロレンズの中心点を結
ぶ線分の２等分点に境界線が来るように配置されてい
る。
００３”及び”Ｌ００４”に示す各マイクロレンズは正
方形の形状をしており、各マイクロレンズの中心点を結
ぶ線分の２等分点に境界線が来るように配置されてい
る。
【００２６】この時、円形マイクロレンズの直径を”
ａ”、正方形マイクロレンズの一辺の長さを同じく”
ａ”とし、正方形マイクロレンズの対角線の長さを”
ｂ”とすれば、 ｂ＝２1/2×ａ （１） となり、開口の口径が円形の場合と比較して”２1/2”
だけ大きくなるのでこの正方形マイクロレンズの開口数
も大きくなり絞られるビーム径が細くなって、従来例と
比較してビーム径を絞れることになるのでピンホール板
４のピンホールを通過する光が増加することになる。
ａ”、正方形マイクロレンズの一辺の長さを同じく”
ａ”とし、正方形マイクロレンズの対角線の長さを”
ｂ”とすれば、 ｂ＝２1/2×ａ （１） となり、開口の口径が円形の場合と比較して”２1/2”
だけ大きくなるのでこの正方形マイクロレンズの開口数
も大きくなり絞られるビーム径が細くなって、従来例と
比較してビーム径を絞れることになるのでピンホール板
４のピンホールを通過する光が増加することになる。
【００２７】また、各マイクロレンズの間には図７中の
斜線部に示すようなマイクロレンズ板への入射光を活用
できない部分が存在しないので入射光を１００％活用す
ることが可能になる。
斜線部に示すようなマイクロレンズ板への入射光を活用
できない部分が存在しないので入射光を１００％活用す
ることが可能になる。
【００２８】この結果、正方形の形状のマイクロレンズ
を用いると共に各マイクロレンズの中心点を結ぶ線分の
２等分点にマイクロレンズ間の境界線が来るように配置
することにより、マイクロレンズ板２ａに入射された光
を１００％活用することが可能になる。
を用いると共に各マイクロレンズの中心点を結ぶ線分の
２等分点にマイクロレンズ間の境界線が来るように配置
することにより、マイクロレンズ板２ａに入射された光
を１００％活用することが可能になる。
【００２９】なお、図２に示す実施例ではマイクロレン
ズの形状を正方形としたが三角形、方形及び六角形であ
っても各マイクロレンズの中心点を結ぶ線分の２等分点
にマイクロレンズ間の境界線が来るように配置すること
ができ、マイクロレンズ板２ａへの入射光を１００％活
用することが可能になる。
ズの形状を正方形としたが三角形、方形及び六角形であ
っても各マイクロレンズの中心点を結ぶ線分の２等分点
にマイクロレンズ間の境界線が来るように配置すること
ができ、マイクロレンズ板２ａへの入射光を１００％活
用することが可能になる。
【００３０】すなわち、図３は三角形のマイクロレンズ
を用いて配置した場合を示す平面図である。図３中”Ｌ
１０１”、”Ｌ１０２”及び”Ｌ１０３”に示す各マイ
クロレンズは正三角形の形状をしており、各マイクロレ
ンズの中心点を結ぶ線分の２等分点に境界線が来るよう
に配置されている。
を用いて配置した場合を示す平面図である。図３中”Ｌ
１０１”、”Ｌ１０２”及び”Ｌ１０３”に示す各マイ
クロレンズは正三角形の形状をしており、各マイクロレ
ンズの中心点を結ぶ線分の２等分点に境界線が来るよう
に配置されている。
【００３１】図３に示すように各マイクロレンズの間に
は図７中の斜線部に示すようなマイクロレンズ板への入
射光を活用できない部分が存在しないので入射光を１０
０％活用することが可能になる。
は図７中の斜線部に示すようなマイクロレンズ板への入
射光を活用できない部分が存在しないので入射光を１０
０％活用することが可能になる。
【００３２】また、図４は六角形のマイクロレンズを用
いて配置した場合を示す平面図である。図４中”Ｌ２０
１”、”Ｌ２０２”、”Ｌ２０３”及び”Ｌ２０４”に
示す各マイクロレンズは正六角形の形状をしており、各
マイクロレンズの中心点を結ぶ線分の２等分点に境界線
が来るように配置されている。
いて配置した場合を示す平面図である。図４中”Ｌ２０
１”、”Ｌ２０２”、”Ｌ２０３”及び”Ｌ２０４”に
示す各マイクロレンズは正六角形の形状をしており、各
マイクロレンズの中心点を結ぶ線分の２等分点に境界線
が来るように配置されている。
【００３３】図４に示すように各マイクロレンズの間に
は図７中の斜線部に示すようなマイクロレンズ板への入
射光を活用できない部分が存在しないので入射光を１０
０％活用することが可能になる。
は図７中の斜線部に示すようなマイクロレンズ板への入
射光を活用できない部分が存在しないので入射光を１０
０％活用することが可能になる。
【００３４】さらに、同一形状のマイクロレンズを用い
ることには限定されず、図５に示すような複数形状のマ
イクロレンズの組み合わせであっても構わない。図５は
複数の形状のマイクロレンズを用いた場合を示す平面図
である。
ることには限定されず、図５に示すような複数形状のマ
イクロレンズの組み合わせであっても構わない。図５は
複数の形状のマイクロレンズを用いた場合を示す平面図
である。
【００３５】図５中”Ｌ３０１”及び”Ｌ３０３”は五
角形の形状のマイクロレンズ、図５中”Ｌ３０２”は六
角形の形状のマイクロレンズ、図５中”Ｌ３０４”は長
方形の形状のマイクロレンズをそれぞれ示している。そ
して、各マイクロレンズの中心点を結ぶ線分の２等分点
に境界線が来るように配置されている。
角形の形状のマイクロレンズ、図５中”Ｌ３０２”は六
角形の形状のマイクロレンズ、図５中”Ｌ３０４”は長
方形の形状のマイクロレンズをそれぞれ示している。そ
して、各マイクロレンズの中心点を結ぶ線分の２等分点
に境界線が来るように配置されている。
【００３６】図５に示す場合であっても各マイクロレン
ズの間には図７中の斜線部に示すようなマイクロレンズ
板への入射光を活用できない部分が存在しないので入射
光を１００％活用することが可能になる。
ズの間には図７中の斜線部に示すようなマイクロレンズ
板への入射光を活用できない部分が存在しないので入射
光を１００％活用することが可能になる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１乃至請
求項６の発明によれば、各マイクロレンズの中心点を結
ぶ線分の２等分点にマイクロレンズ間の境界線が来るよ
うに配置することにより、マイクロレンズ板に入射され
た光を１００％活用することが可能になり、利用できる
光の効率の向上が可能な共焦点光スキャナが実現でき
る。
本発明によれば次のような効果がある。請求項１乃至請
求項６の発明によれば、各マイクロレンズの中心点を結
ぶ線分の２等分点にマイクロレンズ間の境界線が来るよ
うに配置することにより、マイクロレンズ板に入射され
た光を１００％活用することが可能になり、利用できる
光の効率の向上が可能な共焦点光スキャナが実現でき
る。
【図１】本発明に係る共焦点光スキャナの一実施例を示
す構成ブロック図である。
す構成ブロック図である。
【図２】マイクロレンズ板のマイクロレンズの一部を示
す平面図である。
す平面図である。
【図３】正三角形のマイクロレンズを用いて配置した場
合を示す平面図である。
合を示す平面図である。
【図４】正六角形のマイクロレンズを用いて配置した場
合を示す平面図である。
合を示す平面図である。
【図５】複数の形状のマイクロレンズを用いた場合を示
す平面図である。
す平面図である。
【図６】従来の共焦点光スキャナの一例を示す構成ブロ
ック図である。
ック図である。
【図７】マイクロレンズ板のマイクロレンズの一部を示
す平面図である。
す平面図である。
【図８】マイクロレンズ板のマイクロレンズの一部を示
す平面図である。
す平面図である。
１ レーザ ２，２ａ マイクロレンズ板 ３ ビームスプリッタ ４ ピンホール板 ５ 対物レンズ ６ 試料 ７ リレーレンズ ８ 受光器 ９ モータ
Claims (6)
- 【請求項１】複数の集光手段を有する円板及び前記集光
手段と同一パターンの複数の開口を有する円板を同期し
て回転させ前記集光手段及び前記開口を通過した光を集
光して試料を走査する共焦点光スキャナにおいて、 前記集光手段の中心点を結ぶ線分の２等分点に前記集光
手段間の境界線が来るように配置したことを特徴とする
共焦点光スキャナ。 - 【請求項２】前記集光手段の形状が方形であることを特
徴とする請求項１記載の共焦点光スキャナ。 - 【請求項３】前記集光手段の形状が正方形であることを
特徴とする請求項２記載の共焦点光スキャナ。 - 【請求項４】前記集光手段の形状が三角形であることを
特徴とする請求項１記載の共焦点光スキャナ。 - 【請求項５】前記集光手段の形状が六角形であることを
特徴とする請求項１記載の共焦点光スキャナ。 - 【請求項６】前記集光手段が複数形状の集光手段の組み
合わせであることを特徴とする請求項１記載の共焦点光
スキャナ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10326440A JP2000147421A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 共焦点光スキャナ |
| US09/432,322 US20010001581A1 (en) | 1998-11-17 | 1999-11-02 | Confocal scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10326440A JP2000147421A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 共焦点光スキャナ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000147421A true JP2000147421A (ja) | 2000-05-26 |
Family
ID=18187837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10326440A Pending JP2000147421A (ja) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | 共焦点光スキャナ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20010001581A1 (ja) |
| JP (1) | JP2000147421A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109758123A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-05-17 | 长春嵩韵精密仪器装备科技有限责任公司 | 一种手持式口腔扫描仪 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8264680B2 (en) * | 1999-05-28 | 2012-09-11 | Yokogawa Electric Corporation | Biochip reader and electrophoresis system |
| DE60044923D1 (de) * | 1999-05-28 | 2010-10-21 | Yokogawa Electric Corp | Biochip-Lesegerät |
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